JPH11220001A - Load port in semiconductor wafer processing system and load port carrying truck - Google Patents

Load port in semiconductor wafer processing system and load port carrying truck

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JPH11220001A
JPH11220001A JP1960398A JP1960398A JPH11220001A JP H11220001 A JPH11220001 A JP H11220001A JP 1960398 A JP1960398 A JP 1960398A JP 1960398 A JP1960398 A JP 1960398A JP H11220001 A JPH11220001 A JP H11220001A
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JP
Japan
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load port
wafer
transfer machine
carrier
arm
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Application number
JP1960398A
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Japanese (ja)
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Akira Yoshikawa
明 吉川
Takeshi Yoshioka
健 吉岡
Motoya Taniguchi
素也 谷口
Norihiko Wada
紀彦 和田
Hide Kobayashi
秀 小林
Kazuhiro Shino
和弘 示野
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Hitachi Ltd
Kokusai Electric Corp
Original Assignee
Hitachi Ltd
Kokusai Electric Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a load-port carrying truck for facilitating movement of a load port of a semiconductor wafer processing system and a load port having a structure suitable to be conveyed by this truck. SOLUTION: A load port for opening and closing the lid of a wafer carrier, is mounted on the load port and can contain a wafer in a semiconductor wafer processing system, is provided with an engaging section that engages with arms 23 of a load-port carrying truck carrying this load port. The load-port carrying truck has a main body whose front side is open for loading the load port 11 and a pair of arms 23 which is provided on the upper portion of the main body slidably toward the front of the main body and engage with the engaging section of the load port.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板処理装
置におけるロードポート及びロードポート搬送台車に係
り、特に、今後採用が多くなる12インチ(30cm)半
導体ウェハを取り扱う半導体基板処理装置に使用して好
適なロードポート及びロードポート搬送台車に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a load port and a load port carrier in a semiconductor substrate processing apparatus. It relates to a suitable load port and a load port carrier.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、半導体基板処理装置は、エッチ
ング装置、アッシング装置等を主たる構成装置として備
え、さらに、これらの装置に半導体ウェハ(以下、単に
ウェハという)を運び込み、また、処理済みのウェハ取
り出す移載機と、この移載機に、ウェハが格納されてい
るウェハキャリアを開いてウェハキャリア内のウェハ渡
し、移載機からの処理済みのウェハウェハキャリア内に
受け取るためのロードポートとを備えて構成されてい
る。そして、ロードポートは、ウェハが格納されたウェ
ハキャリアが保持されたとき、ウェハキャリアを開いて
内部に格納されているウェハ、移載機を介してエッチン
グ装置、アッシング装置等の処理装置に順次大量に渡
し、処理済みのウェハ受け取らなければなければならな
いため、1台の移載機に対して複数台が設けられている
のが一般的である。
2. Description of the Related Art In general, a semiconductor substrate processing apparatus includes an etching apparatus, an ashing apparatus, and the like as main constituent devices. A transfer machine to be taken out and a load port for opening the wafer carrier storing the wafer, transferring the wafer in the wafer carrier, and receiving the wafer in the processed wafer wafer carrier from the transfer machine. It is provided with. When the wafer carrier in which the wafer is stored is held, the load port opens the wafer carrier and sequentially supplies a large amount of the wafer stored therein to a processing apparatus such as an etching apparatus and an ashing apparatus via a transfer machine. In general, a plurality of transfer apparatuses are provided for each transfer apparatus.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】前述した半導体基板処
理装置のロードポートは、故障時、保守点検時等には、
移送機から取り外して保守のための場所に移動させる必
要があるが、従来、このロードポートの移動は、複数の
作業者により持ち運ぶことにより行われるのが一般的で
あった。また、この移動は、ロードポートの下部に車輪
を設けておき、床上をこの車輪により移動させることに
よって行ってもよいが、半導体基板処理装置は、クリー
ンルームに設置されており、そのクリーンルームの床
は、空気の循環清浄化のために多数の吸気穴が設けられ
ているため、また、ウェハが格納されたウェハキャリア
を搬送する自動台車が走行するレール等が設けられてい
るため、車輪により移動させることも、かなりの労力を
必要とするものであった。
The load port of the above-described semiconductor substrate processing apparatus is used for failure, maintenance and inspection.
It is necessary to remove the transfer port and move it to a place for maintenance. Conventionally, the load port is generally moved by a plurality of workers. In addition, this movement may be performed by providing wheels below the load port and moving the wheels on the floor, but the semiconductor substrate processing apparatus is installed in a clean room, and the floor of the clean room is Since a large number of intake holes are provided for circulating and cleaning air, and a rail or the like on which an automatic carriage for transporting a wafer carrier storing wafers is provided is moved by wheels. All this required considerable effort.

【0004】しかし、ウェハとして12インチ(従来、
8インチ)もの大きさのものを取り扱うようになると、
ロードポート自体が大型で重量の大きなものとなり、人
手による前述したようなロードポートの移動が困難とな
ることが予想される。
However, a 12-inch wafer (conventionally,
8 inches).
It is anticipated that the load port itself will be large and heavy, making it difficult for the load port to be manually moved as described above.

【0005】本発明の目的は、前述した半導体基板処理
装置のロードポートの移動を容易に行うためのロードポ
ート搬送台車及び該台車により搬送するために好適な構
造を備えたロードポートを提供することにある。
It is an object of the present invention to provide a load port transport trolley for easily moving the load port of the above-described semiconductor substrate processing apparatus and a load port having a structure suitable for transport by the trolley. It is in.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明によれば前記目的
は、半導体基板処理装置におけるウェハを収納可能なウ
ェハキャリアを載置し、ウェハキャリアの蓋を開閉する
ロードポートにおいて、ロードポートを搬送するロード
ポート搬送台車に設けた一対のアームに係合する係合手
段を設けることにより達成される。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, there is provided a semiconductor substrate processing apparatus, wherein a wafer carrier capable of storing a wafer is mounted, and a load port for opening and closing a lid of the wafer carrier is provided. This is achieved by providing an engaging means that engages with a pair of arms provided on the load port carrier cart.

【0007】また、前記目的は、前記ウェハキャリアを
載置する載置台の上面に、ウェハキャリア載置用プレー
トを設け、該プレートの下部に、プレートの上面部を水
平に調整する調整機構を備え、載置台と本体部との間の
側面に前記ロードポート搬送台車のアームに係合する係
合溝としての切欠部を設けることにより達成される。
In addition, the object is to provide a wafer carrier mounting plate on an upper surface of a mounting table on which the wafer carrier is mounted, and to provide an adjusting mechanism below the plate for horizontally adjusting the upper surface of the plate. This is achieved by providing a cutout as an engaging groove for engaging with the arm of the load port carrier on the side surface between the mounting table and the main body.

【0008】また、前記目的は、ロードポートを移載機
に取り付けるための固定具が、ロードポート正面側から
操作可能に設けられ、また、ロードポートが、その背面
に前記移載機に取り付ける結合板を有し、該結合板の上
部に設けられるフックと前記固定具とにより移載機に取
り付けられ、かつ、前記結合板の下部を移載機下部に突
出するベース板上に乗せることにより、また、その前面
側底部に高さ調整可能な固定用足部を有し、この固定用
足部により、ロードポート底部を前記ベース板上面の移
載機が設置された設置面からの高さと同一になるように
支持するようにすることにより達成される。
[0008] Further, the object is to provide a fixing device for attaching the load port to the transfer machine, which is operably provided from the front side of the load port, and further comprising a coupling for attaching the load port to the transfer machine on a rear surface thereof. Having a plate, attached to the transfer machine by the hook and the fixture provided on the upper part of the coupling plate, and by mounting the lower part of the coupling plate on a base plate protruding below the transferer, In addition, the front side bottom has a height-adjustable fixing foot, and the fixing foot allows the load port bottom to have the same height as the height of the base plate upper surface from the installation surface on which the transfer machine is installed. This is achieved by providing support so that

【0009】さらに、前記目的は、半導体基板処理装置
におけるウェハを収納可能なウェハキャリアの蓋を開閉
するロードポートを搬送するロードポート搬送台車にお
いて、前記搬送台車を、ロードポートを搬入するために
正面側の面が開いた本体部と、本体部の上部に設けら
れ、本体部の前方側にスライド可能に、かつ、ロードポ
ートの係合溝に係合する一対のアームを備えて構成した
ことにより達成される。
Further, the object is to provide a load port carrier for transporting a load port for opening and closing a lid of a wafer carrier capable of storing a wafer in a semiconductor substrate processing apparatus. By having a pair of arms provided on the upper side of the main body, the main body having an open side, slidable to the front of the main body, and engaging with the engagement groove of the load port. Achieved.

【0010】また、前記目的は、前記一対のアームを、
該アームを支持する部材と共に、上下方向に移動可能と
し、また、前記アームのスライドを人手により行うハン
ドルと、前記アームを人手により上下方向に移動させる
ための機構とを備えることにより、あるいは、前記アー
ムの上下方向への移動を、電動または移載機からのエア
ーにより行う機構を備えることにより達成される。
[0010] In addition, the object is that the pair of arms includes:
Along with the member supporting the arm, the arm can be vertically moved, and a handle for manually sliding the arm, and a mechanism for manually moving the arm vertically can be provided, or This is achieved by providing a mechanism for moving the arm in the up and down direction using electric power or air from a transfer machine.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明による半導体基板処
理装置におけるロードポート及びロードポート搬送台車
の一実施形態を図面により詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a load port and a load port carrier in a semiconductor substrate processing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0012】図1は本発明が適用される半導体基板処理
装置のロードポートと移載機との構成を示す図、図2は
本発明の一実施形態によるロードポート搬送台車がロー
ドポートを取り出す様子を説明する図、図3は本発明の
一実施形態によるロードポート搬送台車がロードポート
を搬送していく状態を説明する図である。図1〜図3に
おいて、11はロードポート、12はウェハキャリア蓋
開閉板、13はウェハキャリア、14は移載機、15は
制御ユニット、16はディスプレイ、17は操作卓、1
8は監視ランプ、19は監視用窓、20は嵌合穴、21
はロードポート搬送台車、22はレール、23はアー
ム、24はアームスライド用ハンドル、25はアーム上
下駆動用クランク、26はスライド機構、27はロック
・アンロックボタン、28は台車移動用ハンドルであ
る。
FIG. 1 is a view showing a configuration of a load port and a transfer machine of a semiconductor substrate processing apparatus to which the present invention is applied, and FIG. 2 is a view showing a load port carrier truck taking out a load port according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a view for explaining a state in which a load port carrier according to an embodiment of the present invention conveys a load port. 1 to 3, 11 is a load port, 12 is a wafer carrier lid opening / closing plate, 13 is a wafer carrier, 14 is a transfer machine, 15 is a control unit, 16 is a display, 17 is a console, 1
8 is a monitoring lamp, 19 is a monitoring window, 20 is a fitting hole, 21
Is a load port transport trolley, 22 is a rail, 23 is an arm, 24 is an arm slide handle, 25 is an arm vertical drive crank, 26 is a slide mechanism, 27 is a lock / unlock button, and 28 is a trolley moving handle. .

【0013】本発明が適用される半導体基板処理装置
は、図1に示すように、ロードポート11と、移載機1
4と、制御ユニット15と、図示しない半導体基板の処
理装置であるエッチング装置、アッシング装置等の処理
装置等により構成される。ロードポート11は、1台の
移載機14に対して複数台取り付けることが可能であ
り、図示例では4台のロードポート11が移載機14に
取り付けられている。そして、ロードポート11は、床
面に設けたレール上を走行する公知の自走式台車等によ
り搬送されてくる内部に複数枚(通常13枚または25
枚)のウェハ収納可能なウェハキャリア13が載置され
たとき、ウェハキャリア蓋開閉板12がウェハキャリア
13の蓋を移載機14側に開いて、移載機14の内部に
収納されるロボットが、ウェハキャリア13内に格納さ
れているウェハ取り出し、あるいは、処理済みのウェハ
ウェハキャリア13に格納することを可能にするもので
ある。
As shown in FIG. 1, a semiconductor substrate processing apparatus to which the present invention is applied includes a load port 11 and a transfer machine 1.
4, a control unit 15, and a processing apparatus such as an etching apparatus and an ashing apparatus, which are processing apparatuses for a semiconductor substrate (not shown). A plurality of load ports 11 can be attached to one transfer device 14, and four load ports 11 are attached to the transfer device 14 in the illustrated example. The load port 11 has a plurality of (normally 13 or 25) loaded inside which are conveyed by a known self-propelled truck or the like traveling on a rail provided on the floor surface.
When a wafer carrier 13 capable of accommodating wafers is placed, the wafer carrier lid opening / closing plate 12 opens the lid of the wafer carrier 13 to the transfer machine 14 side, and the robot is housed inside the transfer machine 14. Can be taken out of the wafer stored in the wafer carrier 13 or stored in the processed wafer wafer carrier 13.

【0014】そして、図示しないエッチング装置、アッ
シング装置等の処理装置は、移載機14のロードポート
11が配置される側とは反対側に設けられており、移載
機14の内部に収納されるロボットは、ウェハキャリア
13内のウェハ取り出して、そのウェハエッチング装
置、アッシング装置等の処理装置内に運び入れ、処理済
みのウェハウェハキャリア13に格納する動作を行う。
また、移載機14には、監視用窓19が設けられ、作業
者が内部の動作状況を監視することが可能とされてい
る。
A processing device (not shown) such as an etching device and an ashing device is provided on the side of the transfer machine 14 opposite to the side where the load port 11 is arranged, and is accommodated inside the transfer machine 14. The robot removes the wafer from the wafer carrier 13, carries it into a processing apparatus such as a wafer etching apparatus or an ashing apparatus, and stores the wafer in the processed wafer wafer carrier 13.
Further, the transfer machine 14 is provided with a monitoring window 19 so that an operator can monitor the internal operation status.

【0015】ロードポート11と並べて配置されている
制御ユニット15は、ディスプレイ16と操作卓17と
を備えており、図示移載機14の動作の監視制御のため
に、また、図示移載機14に対応して設けられている半
導体基板の処理装置の監視制御のために使用される。移
載機14の全面上部には複数の監視ランプ18が複数の
ロードポート11のそれぞれに対して設けられている。
この、監視ランプ18は、移載機14に複数設けられる
ロードポート11の状態を表示する。すなわち、監視ラ
ンプ18は、ロードポート11が正常に動作していると
き、例えば、緑色、黄色等の表示を行い、ロードポート
11に何等かの異常が生じたとき、赤色の表示、あるい
は、赤色の点滅表示を行うように制御されている。この
とき、同時に警報音等を発して異常を知らせるようにす
ることもできる。また、同様な監視ランプを保守室等に
備えておくこともできる。
The control unit 15 arranged side by side with the load port 11 includes a display 16 and a console 17, and is used for monitoring and controlling the operation of the illustrated transfer machine 14. It is used for monitoring and controlling a semiconductor substrate processing apparatus provided corresponding to the above. A plurality of monitoring lamps 18 are provided on the entire upper surface of the transfer machine 14 for each of the plurality of load ports 11.
The monitoring lamp 18 displays the status of the load ports 11 provided on the transfer device 14. That is, when the load port 11 is operating normally, the monitor lamp 18 displays green or yellow, for example, and when any abnormality occurs in the load port 11, the monitor lamp 18 displays red or red. Is controlled to blink. At this time, an alarm may be emitted at the same time to notify the abnormality. Further, a similar monitoring lamp can be provided in a maintenance room or the like.

【0016】図1に示すような半導体基板処理装置は、
複数台が長手方向に多数並べられて配置され、また、複
数台が多数並べられて配置された半導体基板処理装置が
多数並列に並べて配置されるのが一般的である。従っ
て、図1に示す半導体基板処理装置のロードポート11
の前面側は、比較的狭い通路が形成されている。そし
て、この通路の床面には、空気の循環清浄化のために多
数の吸気穴が設けられ、かつ、ウェハ収納したウェハキ
ャリア13を搬送するための自走式台車を走行させるた
めのレールが設けられている。
A semiconductor substrate processing apparatus as shown in FIG.
In general, a plurality of devices are arranged and arranged in a longitudinal direction, and a plurality of semiconductor substrate processing apparatuses in which a plurality of devices are arranged and arranged are generally arranged in parallel. Therefore, the load port 11 of the semiconductor substrate processing apparatus shown in FIG.
A relatively narrow passage is formed on the front side. On the floor of this passage, a large number of intake holes are provided for air circulation cleaning, and rails for running a self-propelled carriage for transporting wafer carriers 13 containing wafers are provided. Is provided.

【0017】なお、半導体基板処理装置、移載機等は、
クリーンルーム内の床面に水平になるように設置されて
いる。また、クリーンルーム内の床面は、必ずしも全て
の面が水平に設定されているとは限らない。
Incidentally, the semiconductor substrate processing apparatus, the transfer machine, etc.
It is installed horizontally on the floor in the clean room. Also, not all the floor surfaces in the clean room are necessarily set to be horizontal.

【0018】ロードポート11に障害等が発生すると、
すでに説明したように、移載機14あるいは保守室に設
けられる監視ランプ18により、その障害の発生が保守
者、作業者等(以下、作業者等という)に知らされる。
作業者等は、これにより、本発明によるロードポート搬
送台車21を障害が発生しているロードポート11の場
所に搬送し、ロードポート11をロードポート搬送台車
21に載置して、保守領域まで運び出すことになるが、
以下、このロードポート運び出しの動作の概要を図2、
図3を参照して説明する。
When a failure or the like occurs in the load port 11,
As described above, the occurrence of the trouble is notified to the maintenance person, the worker, etc. (hereinafter, referred to as the worker, etc.) by the transfer machine 14 or the monitoring lamp 18 provided in the maintenance room.
Thus, the worker or the like transports the load port carrier trolley 21 according to the present invention to the location of the load port 11 where the failure has occurred, places the load port 11 on the load port carrier trolley 21, and moves to the maintenance area. I will carry it out,
Hereinafter, the outline of the operation of carrying out the load port is shown in FIG.
This will be described with reference to FIG.

【0019】すでに説明したように、ロードポート13
の前側の床には、ウェハ収納したウェハキャリア13を
搬送するための自走式台車を走行させるためのレール2
2が設けられており、作業者等は、構造の詳細を後述す
るロードポート搬送台車21をレール22上に載せて搬
送してくる。このロードポート搬送台車21の搬送は、
作業者等が台車移動用ハンドル28により手で押してき
てもよく、また、前述の自走式台車のために設けられて
いる動力用の電源からの電力により、作業者等と共に自
走させるようにしてもよい。
As described above, the load port 13
A rail 2 for running a self-propelled carriage for carrying a wafer carrier 13 containing wafers is provided on the front floor of
2 is provided, and an operator or the like transports a load port transport trolley 21 whose structure will be described later on a rail 22. The transport of the load port transport trolley 21 is as follows.
The worker or the like may manually push the carriage with the carriage moving handle 28, and the vehicle or the like may be self-propelled by the power from the power supply provided for the self-propelled carriage. It may be.

【0020】作業者等は、障害が発生しているロードポ
ート11の場所に到着すると、まず、ロードポート11
と移載機14とを結合している複数のロードポート固定
具としてのボルト(詳細については後述)を人手により
外す。ここで、作業者等は、ロードポート搬送台車21
を、ウェハキャリア13を搬送するための自走式台車よ
うの位置決めマークを利用してロードポート11の正面
に位置させ、ロードポート搬送台車21のアーム23
を、アームスライド用ハンドル24を操作して、ロード
ポート11の後述する係合溝に係合させてチャックす
る。その後、作業者等は、アーム上下駆動クランク25
を操作して、アーム23をアームスライド機構26と共
に上方に10mm程度リフトアップすることにより、ロー
ドポート11をアーム23に保持させた状態でリフトア
ップし、ロックボタン27を操作してアーム23のリフ
ト状態をロックする。これにより、後述するように、ロ
ードポート11の移載機14への結合板のフックが移載
機14から外れるようになる。
When the worker arrives at the location of the load port 11 where the failure has occurred, the operator first loads the load port 11.
The bolts (details will be described later) serving as a plurality of load port fixing members connecting the transfer machine 14 and the transfer machine 14 are manually removed. Here, the worker, etc.
Is positioned in front of the load port 11 using a positioning mark of a self-propelled trolley for transferring the wafer carrier 13, and the arm 23 of the load port transfer trolley 21 is
By operating the arm slide handle 24, the chuck is engaged with an engagement groove described later of the load port 11 and chucked. Thereafter, the worker or the like moves the arm vertical drive crank 25.
To lift up the arm 23 together with the arm slide mechanism 26 by about 10 mm, thereby lifting up the load port 11 while holding the load port 11 on the arm 23, and operating the lock button 27 to lift the arm 23. Lock state. As a result, the hook of the coupling plate of the load port 11 to the transfer device 14 comes off from the transfer device 14 as described later.

【0021】この状態で、作業者等は、アームスライド
用ハンドル24を操作して、アーム23と共にロードポ
ート11を100mm程度手前に引き出し、さらに、アー
ム上下駆動クランク25を操作して、アーム23をアー
ムスライド機構26と共に上方にリフトアップする。こ
の場合のリフトアップ量は、ロードポート搬送台車21
の車輪径によって決まる台車の床面高さによって決まる
が、およそ150mmである。なお、この状態が図2に示
す状態である。
In this state, the worker or the like operates the arm slide handle 24 to pull out the load port 11 together with the arm 23 by about 100 mm, and further operates the arm vertical drive crank 25 to move the arm 23. It is lifted up together with the arm slide mechanism 26. The lift-up amount in this case is the
It is about 150 mm, though it depends on the floor height of the bogie determined by the wheel diameter. This state is the state shown in FIG.

【0022】作業者等は、その後、アームスライド用ハ
ンドル24を操作して、アーム23をロードポート搬送
台車21の本体側に引き込むことにより、ロードポート
11をロードポート搬送台車21上に位置させ、ロック
・アンロックボタン27によりロックを解除し、アーム
上下駆動クランク25を操作して、アーム24をアーム
スライド機構26と共に降下させて、ロードポート11
をロードポート搬送台車21の載置面29に載置する。
その後、作業者等は、ロードポート搬送台車21を、ロ
ードポート11を乗せた状態で、レール22上を前述の
場合と同様に保守領域まで搬送し、そこでロードポート
11の保守、修理等の作業を行う。なお、図3は、ロー
ドポート搬送台車21が、ロードポート11を乗せた状
態でレール22上を搬送される状態を示している。
Then, the operator or the like operates the arm slide handle 24 to retract the arm 23 toward the main body of the load port transport vehicle 21 so that the load port 11 is positioned on the load port transport vehicle 21. The lock is released by the lock / unlock button 27, the arm vertical drive crank 25 is operated, and the arm 24 is lowered together with the arm slide mechanism 26, and the load port 11 is released.
Is mounted on the mounting surface 29 of the load port carrier 21.
Thereafter, the worker or the like transports the load port transport trolley 21 to the maintenance area on the rail 22 in a state in which the load port 11 is mounted thereon in the same manner as described above, and performs maintenance and repair work of the load port 11 there. I do. FIG. 3 shows a state in which the load port transport cart 21 is transported on the rails 22 with the load port 11 placed thereon.

【0023】前述したように、ロードポート搬送台車2
1を使用することにより、他のロードポートを取り外し
たりすることなく、異常が発生したロードポートのみを
早急に移載機から取り外すことができるので、装置全体
を停止させる必要がなく、半導体基板処理装置の稼働率
を悪化させることを防止することができる。
As described above, the load port carrier 2
By using No. 1, only the load port in which an abnormality has occurred can be quickly removed from the transfer machine without removing other load ports, so that it is not necessary to stop the entire apparatus, and the semiconductor substrate processing can be performed. It is possible to prevent the operation rate of the device from deteriorating.

【0024】図4はロードポート搬送台車の構造を説明
する図、図5は上下移動機構の構造を説明する図であ
り、次に、前述したロードポート搬送台車11の詳細な
構造を図4、図5を参照して説明する。図4、図5にお
いて、30は本体部、31は重り部、32はコ字状枠、
33はアーム案内レール、34は引掛部、35は車輪、
36はエレベーター軸、37、38は歯車、39はチェ
ーン、40は歯状部であり、他の符号は図1〜図3の場
合と同一である。
FIG. 4 is a view for explaining the structure of the load port carrier, and FIG. 5 is a diagram for explaining the structure of the vertical moving mechanism. Next, FIG. This will be described with reference to FIG. 4 and 5, 30 is a main body, 31 is a weight, 32 is a U-shaped frame,
33 is an arm guide rail, 34 is a hook, 35 is a wheel,
36 is an elevator shaft, 37 and 38 are gears, 39 is a chain, 40 is a toothed portion, and the other reference numerals are the same as those in FIGS.

【0025】ロードポート搬送台車21は、図4に示す
ように、ロードポート11を搬入するために正面側の1
つの面が開いた6面体の形状を持つ本体部30と、本体
部30の背面側に取り付けられた重り部31と、上面に
設けられ、上下に移動可能に設けられたアーム23に対
するスライド機構26と、車輪35とを備えて構成され
ている。そして、重り部31は、アーム24が本体部3
0から前方に突出して重量のあるロードポート11をリ
フトアップしたときに、ロードポート搬送台車21が転
倒しないようにバランスを取るために設けられる。そし
て、アーム23をロードポート11に構成された係合溝
に結合させる作業は人手により行うため、ロードポート
11や移載機14に必要以上の衝撃を与えることがな
い。
As shown in FIG. 4, the load port transport trolley 21 is used to carry in the load port 11 on the front side.
A main body 30 having a hexahedral shape with three open faces, a weight portion 31 attached to the rear side of the main body 30, and a slide mechanism 26 for an arm 23 provided on the upper surface and movable vertically. And wheels 35. And, the weight portion 31 is such that the arm 24 is
It is provided to balance the load port transport trolley 21 so as not to fall when the heavy load port 11 protruding forward from 0 is lifted up. And since the operation | work which couple | bonds the arm 23 with the engaging groove comprised in the load port 11 is performed manually, it does not give an unnecessary shock to the load port 11 or the transfer machine 14.

【0026】アーム23に対するスライド機構26は、
コ字状枠32と、このコ字状枠32の腕の部分に設けら
れたアーム案内レール33と、アーム案内レール33に
係合してコ字状の腕の部分に引掛部34を設けたアーム
23を有する部材により構成される。そして、2本のア
ームを結合する部分にアームスライド用ハンドル24が
設けられており、このハンドル24を人手により操作す
ることにより、アーム23をスライドさせることができ
る。
The slide mechanism 26 for the arm 23
A U-shaped frame 32, an arm guide rail 33 provided on an arm portion of the U-shaped frame 32, and a hook portion 34 provided on the U-shaped arm portion engaged with the arm guide rail 33 are provided. It is constituted by a member having an arm 23. An arm sliding handle 24 is provided at a portion where the two arms are connected, and the arm 23 can be slid by manually operating the handle 24.

【0027】そして、スライド機構26は、本体部30
内に上下方向に移動可能に設けられるリフト機構を構成
する4本のエレベーター軸36に支持されている。図5
に示すように、リフト機構は、エレベーター軸36と、
このエレベーター軸36に設けられ、歯車38と噛み合
う歯状部40と、2本のエレベーター軸36に係合する
歯車38と、この歯車と前述で説明したアーム上下駆動
クランク25と結合された歯車37と、これらの歯車3
7、38を相互に連結するチェーン39により構成され
ている。また、図示していないが、歯車38の軸は、図
5に示す歯車38が噛み合っているエレベーター軸36
の紙面の奥にある2本のエレベーター軸に噛み合ってい
る歯車と本体部30内で結合されている。このような、
リフト機構を備えることにより、アーム上下駆動クラン
ク25を手動で操作することにより、アーム23をスラ
イド機構26と共に上下に駆動することができる。
The slide mechanism 26 includes a main body 30
It is supported by four elevator shafts 36 constituting a lift mechanism movably provided in a vertical direction. FIG.
As shown in the figure, the lift mechanism includes an elevator shaft 36,
A toothed portion 40 provided on the elevator shaft 36 and meshing with the gear 38, a gear 38 engaged with the two elevator shafts 36, and a gear 37 combined with the gear and the arm vertical drive crank 25 described above. And these gears 3
It is constituted by a chain 39 connecting the elements 7 and 38 to each other. Although not shown, the shaft of the gear 38 is the elevator shaft 36 with which the gear 38 shown in FIG.
And the gears meshing with the two elevator shafts at the back of the paper surface of FIG. like this,
By providing the lift mechanism, the arm 23 can be driven up and down together with the slide mechanism 26 by manually operating the arm vertical drive crank 25.

【0028】なお、ロードポート搬送台車21が、ウェ
ハキャリア搬送用の自走式台車のために設けられている
動力用の電源からの電力により、あるいは、バッテリー
を備えて自走するように構成されている場合、重り部3
1にバッテリー、モータ等を備えて重りとすることがで
きる。また、前述では、リフト機構は、人力により操作
されるとして説明したが、これも、電動により駆動する
ようにしてもよく、あるいは、移載機14で使用してい
るエアーにより駆動するようにしてもよい。
Note that the load port transfer carriage 21 is configured to run by power from a power supply provided for a self-propelled carriage for transferring a wafer carrier or by self-propelled with a battery. Weight part 3
1 can be provided with a battery, a motor, and the like, and can be used as a weight. Further, in the above description, the lift mechanism is described as being operated by human power. However, it may be driven by electric power, or may be driven by air used in the transfer machine 14. Is also good.

【0029】図6は本発明の一実施形態によるロードポ
ートの構造を説明する図、図7はロードポートの内部機
器の収納状態を説明する図、図8はロードポートと移載
機との連結部の構造を説明する図、図9はロードポート
搬送台車がロードポートをリフトアップした状態をロー
ドポートの背面側から見た斜視図であり、以下、これら
について説明する。図6〜図9において、61は本体
部、62はウェハキャリア載置台、63は結合板、65
はウェハキャリア蓋開閉フック、66はウェハキャリア
載置プレート、67は前扉、68は側部切欠部、69は
前部切欠部、70は固定用足部、71は車輪、72は高
さ調整機構、73はウェハキャリア止め具、74はウェ
ハキャリア押し付け具、75は操作ボタン、76は緊急
停止ボタン、77はロードポート固定具、78は操作
部、79はコントロール基板、80は接続ケーブル、8
1はケーブルトレー、82は接続具、83はロードポー
ト受け用プレート、84は移載機側フレーム、85は蓋
開閉機構、86はフックである。
FIG. 6 is a view for explaining the structure of the load port according to one embodiment of the present invention, FIG. 7 is a view for explaining the storage state of the internal equipment of the load port, and FIG. 8 is a connection between the load port and the transfer machine. FIG. 9 is a perspective view of a state in which the load port carrier has lifted up the load port as viewed from the rear side of the load port, and these will be described below. 6 to 9, 61 is a main body, 62 is a wafer carrier mounting table, 63 is a coupling plate, 65
Is a wafer carrier lid opening / closing hook, 66 is a wafer carrier mounting plate, 67 is a front door, 68 is a side cutout, 69 is a front cutout, 70 is a fixing foot, 71 is a wheel, and 72 is a height adjustment. Mechanism, 73 is a wafer carrier stopper, 74 is a wafer carrier pressing tool, 75 is an operation button, 76 is an emergency stop button, 77 is a load port fixing tool, 78 is an operation section, 79 is a control board, 80 is a connection cable, 8
1 is a cable tray, 82 is a connector, 83 is a load port receiving plate, 84 is a transfer machine side frame, 85 is a lid opening / closing mechanism, and 86 is a hook.

【0030】ロードポート11は、図6(a)、
(b)、(c)の斜視図、側部断面図、正面断面図に示
すように、側部切欠部68、前部切欠部65を有して、
ウェハキャリア載置台62と結合されている本体部61
と、背面に設けられて移載機14との結合を行い、か
つ、ウェハキャリア13の蓋の開閉機構を有する結合板
63とを備えて構成される。結合板63は、その周辺が
鍔状に形成され、それ以外の部分が10cm程度の厚みを
持って形成されており、この中に後述するように、ウェ
ハキャリア13の蓋を開閉する機構が設けられる。
The load port 11 is provided as shown in FIG.
As shown in the perspective view, side sectional view, and front sectional view of (b) and (c), the side cutout 68 and the front cutout 65 are provided.
Main body 61 coupled to wafer carrier mounting table 62
And a coupling plate 63 provided on the back surface for coupling with the transfer machine 14 and having a mechanism for opening and closing the lid of the wafer carrier 13. The coupling plate 63 has a flange formed around its periphery, and the other part is formed with a thickness of about 10 cm. In this, a mechanism for opening and closing the lid of the wafer carrier 13 is provided as described later. Can be

【0031】ウェハキャリア載置台62の上面には、ロ
ードポート11の電源のオン/オフ及びウェハキャリア
13の脱着のための操作ボタン75と、緊急停止ボタン
76が設けられると共に、ウェハキャリア13を固定す
るウェハキャリア固定具73と、ウェハキャリア13を
結合板63の方向に移動させるためのウェハキャリア押
し付け具74とが設けられたウェハキャリア載置プレー
ト66が設けられている。このウェハキャリア載置プレ
ート66は、図6(c)に示すように、その下部に高さ
調整機構が設けられており、ウェハキャリア載置プレー
ト66の上面が水平になるように調整される。
An operation button 75 for turning on / off the power of the load port 11 and attaching / detaching the wafer carrier 13 and an emergency stop button 76 are provided on the upper surface of the wafer carrier mounting table 62, and the wafer carrier 13 is fixed. There is provided a wafer carrier mounting plate 66 provided with a wafer carrier fixing tool 73 to be moved and a wafer carrier pressing tool 74 for moving the wafer carrier 13 in the direction of the coupling plate 63. As shown in FIG. 6C, the wafer carrier mounting plate 66 is provided with a height adjusting mechanism at a lower portion thereof, and is adjusted so that the upper surface of the wafer carrier mounting plate 66 is horizontal.

【0032】ウェハキャリア載置台62と本体部61と
の間に形成されている側部切欠部68は、前述で説明し
たロードポート搬送台車21のアーム23の引掛部34
に係合可能な形状に構成されている係合溝である。ま
た、前部切欠部69は、ロードポート11を移載機14
から人手により動かそうとするような場合に作業員等が
手を掛けることができる形状とされており、図6(b)
に示すように、ウェハキャリア載置台62の内側に鍵型
に形成されている。すでに説明したように、ロードポー
ト11は、側部切欠部62にロードポート搬送台車21
のアーム23の引掛部34が係合されてリフトされるこ
とになるので、ウェハキャリア載置台62と本体部61
とが強固に結合されていることが必要であり、側部切欠
部68は、実際には本体部61を構成するフレーム部に
形成されるのがよい。
The side cutout 68 formed between the wafer carrier mounting table 62 and the main body 61 is provided with the hook 34 of the arm 23 of the load port carrier 21 described above.
It is an engaging groove configured to be capable of engaging with the engaging groove. In addition, the front notch 69 is used to connect the load port 11 to the transfer machine 14.
FIG. 6 (b) shows a shape in which a worker or the like can put his / her hand in the case of trying to move it manually.
As shown in the figure, the key is formed inside the wafer carrier mounting table 62. As described above, the load port 11 is provided with the load port carrier 21 in the side cutout 62.
Since the hook portion 34 of the arm 23 is engaged and lifted, the wafer carrier mounting table 62 and the main body portion 61 are lifted.
Are required to be firmly connected to each other, and it is preferable that the side cutouts 68 are actually formed in a frame portion constituting the main body 61.

【0033】ロードポート11の本体部61の下部に
は、図6(a)、(b)に示すように、車輪71が設け
られると共に、ロードポート11が移載機14に取り付
けられたときに、ロードポート11を安定に保持し、か
つ、ウェハキャリア載置台62の上面ができるだけ水平
になるように高さ調整する伸縮可能に構成された固定用
足部70が前面側に設けられている。
As shown in FIGS. 6A and 6B, wheels 71 are provided below the main body 61 of the load port 11, and when the load port 11 is attached to the transfer machine 14, In addition, an extensible fixing foot 70 for stably holding the load port 11 and adjusting the height so that the upper surface of the wafer carrier mounting table 62 is as horizontal as possible is provided on the front side.

【0034】ロードポート11の内部には、図7に示す
ように、前扉67を開いて操作可能な操作部78と、移
載機側との接続のための接続ケーブル80が接続された
コントロール基板79とが収納されている。操作部78
は、ロードポート11の保守時に、ロードポート11の
動作状態を確認するために使用される。また、接続ケー
ブル80は、接続具82を介して、ケーブルトレー81
上を案内されて移載機14側に接続されている。従っ
て、ロードポート11を移載機14に着脱する場合に
は、前扉67を開いて、接続具82を着脱する作業だけ
で、容易にロードポート11を移載機14に着脱するこ
とができる。
As shown in FIG. 7, inside the load port 11, there is provided a control unit 78 to which a front door 67 is opened and which can be operated, and a connection cable 80 for connection to the transfer machine side. The board 79 is housed. Operation unit 78
Is used to check the operation state of the load port 11 when the load port 11 is maintained. The connection cable 80 is connected to a cable tray 81 via a connector 82.
It is guided above and connected to the transfer machine 14 side. Therefore, when attaching / detaching the load port 11 to / from the transfer machine 14, the load port 11 can be easily attached / detached to / from the transfer machine 14 simply by opening the front door 67 and attaching / detaching the connection tool 82. .

【0035】ウェハキャリア蓋開閉板12には、ウェハ
キャリア13の蓋に係合する蓋開閉フック65が設けら
れ、また、移載機14との結合板63の内部には、蓋開
閉用モータを含む蓋開閉機構85が設けられる。そし
て、この蓋開閉機構85、ウェハキャリア13の蓋に係
合する蓋開閉フック65により、ウェハキャリア13の
蓋の開閉が制御される。
A lid opening / closing hook 65 which engages with the lid of the wafer carrier 13 is provided on the wafer carrier lid opening / closing plate 12, and a lid opening / closing motor is provided inside the coupling plate 63 with the transfer machine 14. A lid opening / closing mechanism 85 is provided. The opening and closing of the lid of the wafer carrier 13 is controlled by the lid opening and closing mechanism 85 and the lid opening and closing hook 65 engaged with the lid of the wafer carrier 13.

【0036】移載機14下部の移載機側フレーム84に
は、ロードポート受け用プレート83が設けられてお
り、図8(a)、(b)に示すように、ロードポート1
1を移載機14に取り付ける場合、ロードポート11の
移載機との結合板63の下部がロードポート受け用プレ
ート83に乗せられ、図9に示すように結合板63の上
部に設けられる鍵型のフック86が移載機14に設けた
図3に示す嵌合穴20に係合されて取り付けられる構成
とになる。さらに、結合板63の上下方向のほぼ中央部
及び下部には、ロードポート固定具77が設けられて、
ロードポート11と移載機14とが強固に取り付けられ
る。ロードポート固定具77は、長軸のボルトにより形
成され、ロードポート11の前面側からロードポート1
1を移載機14に固定することができる。
A load port receiving plate 83 is provided on the transfer machine side frame 84 below the transfer machine 14, and as shown in FIGS. 8 (a) and 8 (b),
When attaching the transfer port 14 to the transfer unit 14, the lower part of the coupling plate 63 for connecting the load port 11 to the transfer unit is placed on the load port receiving plate 83, and a key provided on the upper part of the coupling plate 63 as shown in FIG. The hook 86 of the mold is configured to be engaged with the fitting hole 20 shown in FIG. Further, a load port fixture 77 is provided substantially at the center and lower portion of the coupling plate 63 in the vertical direction.
The load port 11 and the transfer machine 14 are firmly attached. The load port fixing member 77 is formed by a long-axis bolt, and is provided from the front side of the load port 11 to the load port 1.
1 can be fixed to the transfer machine 14.

【0037】ロードポート受け用プレート83は、移載
機14の背面板の底部から突き出して設けられ、ロード
ポート11の結合板63の下部がこのロードポート受け
用プレート83上に乗せられ、かつ、移載機14の背面
板に設けられたロードポート結合用窓のエッジに結合板
63の厚みのある部分の下部が乗せられて、ロードポー
ト11が移載機14と結合される。この結合状態におい
て、ロードポート111の底面は、およそ38mmだけ、
移載機14が設置されている床面から浮いている。
The load port receiving plate 83 is provided so as to protrude from the bottom of the rear plate of the transfer machine 14, the lower part of the coupling plate 63 of the load port 11 is placed on the load port receiving plate 83, and The lower part of the thick portion of the coupling plate 63 is placed on the edge of the load port coupling window provided on the rear plate of the transfer device 14, and the load port 11 is coupled to the transfer device 14. In this coupled state, the bottom surface of the load port 111 is approximately 38 mm,
The transfer machine 14 is floating from the floor on which the transfer machine 14 is installed.

【0038】前述のように、ロードポート11が移載機
14に取り付けられている状態において、固定用足部7
0は、床面に密着するように高さ調整されてロードポー
ト11の重量を支持する。なお、ロードポートの床面か
らの浮いている高さは任意である。
As described above, when the load port 11 is attached to the transfer machine 14, the fixing foot 7
0 supports the weight of the load port 11 by adjusting the height so as to be in close contact with the floor surface. The height at which the load port floats from the floor surface is arbitrary.

【0039】前述したように、ロードポート11は、移
載機14に設けたロードポート受け用プレート83と固
定用足部70とにより支持されるようにされており、こ
れにより、ロードポート11の交換時の細かい位置調整
を不要とすることができる。
As described above, the load port 11 is supported by the load port receiving plate 83 provided on the transfer machine 14 and the fixing foot 70, whereby the load port 11 Fine position adjustment at the time of replacement can be omitted.

【0040】ロードポート搬送台車21の走行、リフト
の駆動をウェハキャリア搬送用の自走式台車のために設
けられている動力用の電源からの電力を利用する場合、
ロードポート搬送台車には、電源を取り込むための機構
が必要であり、以下、このための給電機構について説明
する。
In the case of using the power from the power supply provided for the self-propelled trolley for transporting the wafer carrier, the traveling of the load port transport trolley 21 and the drive of the lift are performed.
A mechanism for taking in power is required for the load port carrier, and a power supply mechanism for this purpose will be described below.

【0041】図10はロードポート搬送台車に給電を行
う場合の構成を説明する図、図11は給電ボックス内の
電極構造を説明する図である。図10、図11におい
て、91はベース板、92は給電ボックス、93は床ベ
ース側電極、94は台車側電極、95は電極支持バーで
ある。
FIG. 10 is a diagram for explaining the configuration when power is supplied to the load port carrier, and FIG. 11 is a diagram for explaining the electrode structure in the power supply box. 10 and 11, reference numeral 91 denotes a base plate, 92 denotes a power supply box, 93 denotes a floor base-side electrode, 94 denotes a bogie-side electrode, and 95 denotes an electrode support bar.

【0042】すでに説明したように、半導体基板処理装
置は、クリーンルームに設置されており、そのクリーン
ルームの床には、図10に示すように、半導体ウェハが
格納されたウェハキャリアを搬送する自動台車が走行す
る一対のレール22が、ベース板91上に設けられてお
り、また、一対のレール22の間には台車への給電のた
めの電極が設けられている。給電ボックス92は、床面
を作業者等が歩行したときに危険がないように、台車側
電極94を支持する電極支持バー95が貫通するだけの
幅を持った隙間が上面に設けられて、その内部に、供給
側となる2本の床ベース側電極93が、ベース板91上
にお互いに絶縁されて敷設されている。そして、ロード
ポート搬送台車21の底面に取り付けられている電極支
持バー95を介して設けられる2つの台車側電極94が
給電ボックス92内で床ベース電極93に摺動接触して
いる。
As described above, the semiconductor substrate processing apparatus is installed in a clean room, and on the floor of the clean room, as shown in FIG. 10, an automatic trolley for transporting a wafer carrier storing semiconductor wafers is provided. A pair of running rails 22 is provided on the base plate 91, and electrodes between the pair of rails 22 for supplying power to the bogie are provided. In the power supply box 92, a gap having a width enough to penetrate an electrode support bar 95 that supports the bogie-side electrode 94 is provided on the upper surface so that there is no danger when an operator or the like walks on the floor surface, Inside, two floor base-side electrodes 93 on the supply side are laid on the base plate 91 insulated from each other. Two truck-side electrodes 94 provided via electrode support bars 95 attached to the bottom surface of the load port transport truck 21 are in sliding contact with the floor base electrode 93 in the power supply box 92.

【0043】ロードポート搬送台車21を前述したよう
に、外部電源の利用を可能にし、内部に走行用の駆動装
置、リフト用の駆動装置を設けて構成することにより、
ロードポート搬送台車21は、自走可能となり、また、
ロードポートのリフトを電動により行うことが可能とな
る。
As described above, the load port transport trolley 21 is configured to enable use of an external power supply and to have a driving device for traveling and a driving device for lift provided therein.
The load port transport trolley 21 can move on its own,
It becomes possible to lift the load port electrically.

【0044】前述した本発明の実施形態によれば、半導
体基板処理装置のロードポートの移動を容易に行うため
のロードポート搬送台車及び該台車により搬送するため
に好適な構造を備えたロードポートを提供することがで
きた。
According to the above-described embodiment of the present invention, the load port carrier for easily moving the load port of the semiconductor substrate processing apparatus and the load port having a structure suitable for carrying by the carrier are provided. Could be provided.

【0045】そして、本発明の実施形態によるロードポ
ートとロードポート搬送台車とを組み合わせて使用する
ことにより、ロードポートの着脱を、周辺の他のロード
ポートと干渉することなく迅速に行うことができる。
Further, by using the load port according to the embodiment of the present invention and the load port carrier in combination, the load port can be quickly attached and detached without interfering with other load ports in the vicinity. .

【0046】図12はロードポートとロードポート搬送
台車のアームとの係合に関する他の実施形態を説明する
図、図13は図12が適用される本発明の他の実施形態
によるロードポートの構造を説明する図であり、以下、
これについて説明する。図12、図13において、96
は係合部、97はネジ穴、98はボルト、99は係合面
である。
FIG. 12 is a view for explaining another embodiment relating to the engagement between the load port and the arm of the load port carrier, and FIG. 13 is a structure of the load port according to another embodiment of the present invention to which FIG. 12 is applied. FIG.
This will be described. 12 and 13, 96
Is an engagement portion, 97 is a screw hole, 98 is a bolt, and 99 is an engagement surface.

【0047】図12に示す例は、ロードポート搬送台車
21のアーム23の先端に設けた係合部96とロードポ
ート11の結合板63に設けたネジ穴とをボルト98に
より係合して、ロードポート搬送台車21がロードポー
ト11を取り出すために持ち上げるようにしたものであ
る。従って、ロードポート11は、図13に示すよう
に、結合板63にネジ穴97が設けられて構成されてい
る。
In the example shown in FIG. 12, an engaging portion 96 provided at the distal end of the arm 23 of the load port carrier 21 and a screw hole provided in the coupling plate 63 of the load port 11 are engaged by a bolt 98. The load port carrier 21 is lifted to take out the load port 11. Therefore, the load port 11 is configured by providing the coupling plate 63 with the screw holes 97 as shown in FIG.

【0048】図12、図13に示す例において、ロード
ポート搬送台車21は、そのアーム23がアーム上下駆
動クランク25を操作してアーム23を最も下降させた
高さにおいても、アーム23が、移載機14に取り付け
られているロードポート11のウエハキャリア載置台6
2の上面よりも高い位置となるように構成される。係合
部96は、上下に伸びる係合面99を持ち、ネジ穴97
によりロードポート11を持ち上げたとき、ロードポー
ト11の重心がネジ穴97の真下にない場合であって
も、ロードポート11が傾かないようにする機能を持
つ。また、係合部96は、ボルト98の入る図示しない
穴を持っている。
In the example shown in FIGS. 12 and 13, even when the load port transfer cart 21 is at the highest position where the arm 23 operates the arm vertical drive crank 25 to lower the arm 23, the arm 23 can be moved. Wafer loading table 6 of load port 11 attached to loading machine 14
2 is configured to be higher than the upper surface. The engagement portion 96 has an engagement surface 99 extending vertically, and has a screw hole 97.
When the load port 11 is lifted, the load port 11 has a function of preventing the load port 11 from tilting even if the center of gravity of the load port 11 is not directly below the screw hole 97. The engaging portion 96 has a hole (not shown) into which the bolt 98 is inserted.

【0049】図12、図13に示す実施形態では、図4
に示したアーム23の引掛部34は不要となり、また、
2本のアーム23の間隔は、図2〜図4に示したよりも
狭く設定される。アーム23のネジ穴97は結合板63
のウエハキャリア載置台62の上面よりも高い位置に設
けられる。また、この実施形態では、図6に示したロー
ドポート11の側部切欠き部68は不要となる。
In the embodiment shown in FIGS. 12 and 13, FIG.
The hook 34 of the arm 23 shown in FIG.
The interval between the two arms 23 is set to be smaller than that shown in FIGS. The screw hole 97 of the arm 23 is
Is provided at a position higher than the upper surface of the wafer carrier mounting table 62. In this embodiment, the side cutout 68 of the load port 11 shown in FIG. 6 is unnecessary.

【0050】前述した他の実施形態において、ロードポ
ート11に障害等が発生すると、作業者等は、ロードポ
ート搬送台車21をロードポート11の正面に位置さ
せ、ロードポート搬送台車21のアーム23をアームス
ライド用ハンドル24を操作して、アーム23の先端に
設けた係合部96をロードポート11の係合板63に設
けたネジ穴97に接近させ、ボルト98を穴100を通
してネジ穴97に係合させる。その後、図2〜図3にに
より説明したと同様な操作によりロードポート11の保
守、修理等の作業を行う。
In the above-described other embodiment, when a failure or the like occurs in the load port 11, the worker or the like positions the load port transport vehicle 21 in front of the load port 11 and moves the arm 23 of the load port transport vehicle 21. By operating the arm slide handle 24, the engaging portion 96 provided at the tip of the arm 23 is made to approach the screw hole 97 provided in the engaging plate 63 of the load port 11, and the bolt 98 is engaged with the screw hole 97 through the hole 100. Combine. After that, operations such as maintenance and repair of the load port 11 are performed by operations similar to those described with reference to FIGS.

【0051】前述した本発明の他の実施形態によれば、
既製品のロードポートで、ウエハキャリア載置台62の
左右両側に側部切欠き部68を設けるのが困難な場合、
あるいは、側部切欠き部68にロードポートの全荷重を
加えるとウエハキャリア載置台62の精度が狂う恐れの
ある場合に、も容易にロードポート11とロードポート
搬送台車21のアーム23との係合を行うことができ
る。
According to another embodiment of the present invention described above,
When it is difficult to provide the side cutouts 68 on both the left and right sides of the wafer carrier mounting table 62 with a ready-made load port,
Alternatively, when the entire load of the load port is applied to the side cutout 68, the accuracy of the wafer carrier mounting table 62 may be degraded, the connection between the load port 11 and the arm 23 of the load port transfer carriage 21 can be easily performed. Can be combined.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、移
載機に複数台取り付けられたロードポートの中で異常を
生じたロードポートを取り除く際に、ロードポートに構
成された保持部にロードポート搬送台車を係合させるこ
とだけで、稼動中の他のロードポートに影響を与えこと
なく、異常を生じたロードポートを取り外してそのまま
保守領域にロードポートを搬送することができるので、
装置全体を停止させることがなく、半導体基板処理装置
の稼働率を向上させることができる。
As described above, according to the present invention, when a load port having an abnormality is removed from a plurality of load ports attached to a transfer machine, the holding portion provided on the load port is removed. By simply engaging the load port transport trolley, it is possible to remove the abnormal load port and transport the load port to the maintenance area without affecting the other load ports in operation.
The operation rate of the semiconductor substrate processing apparatus can be improved without stopping the entire apparatus.

【0053】また、本発明によれば、大きく重量物であ
るロードポートをロードポート搬送台車により移載機か
ら取り除き搬送することがてきるため、作業者等の作業
労力の軽減を図ることができる。
Further, according to the present invention, the load port, which is a large and heavy object, can be removed from the transfer machine by the load port transport trolley and transported, so that the work labor of the workers can be reduced. .

【0054】また、本発明によれば、移載機から短時間
に異常を生じたロードポートを運び出すことが可能なた
め、半導体基板処理装置へ搬送するウエハを収納したウ
エハキャリアを保持したロードポートの搬送や、処理が
終了したウエハを収納したウエハキャリアを保持したロ
ードポートの搬送の障害となることがないので、半導体
基板処理装置の稼動率を下げることがない。
Further, according to the present invention, the load port having an abnormality can be carried out from the transfer machine in a short time. Therefore, the load port holding the wafer carrier storing the wafer to be transferred to the semiconductor substrate processing apparatus is provided. This does not hinder the transfer of the semiconductor substrate processing apparatus or the load port holding the wafer carrier that stores the processed wafer, and thus does not lower the operation rate of the semiconductor substrate processing apparatus.

【0055】さらに、本発明によれば、ロードポートが
移載機と直角を保つように取り付けられるため、交換の
際の位置合わせが簡単であり交換時間の短縮を図ること
ができる。
Further, according to the present invention, since the load port is mounted so as to maintain a right angle with the transfer machine, the positioning at the time of replacement is simple and the replacement time can be shortened.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明が適用される半導体基板処理装置のロー
ドポートと移載機との構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a load port and a transfer machine of a semiconductor substrate processing apparatus to which the present invention is applied.

【図2】本発明の一実施形態によるロードポート搬送台
車がロードポートを取り出す様子を説明する図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a state in which a load port carrier according to an embodiment of the present invention takes out a load port.

【図3】本発明の一実施形態によるロードポート搬送台
車がロードポートを搬送していく状態を説明する図であ
る。
FIG. 3 is a diagram illustrating a state in which a load port transport trolley according to one embodiment of the present invention transports a load port.

【図4】ロードポート搬送台車の構造を説明する図であ
る。
FIG. 4 is a view for explaining the structure of a load port carrier.

【図5】上下移動機構の構造を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating the structure of a vertical movement mechanism.

【図6】本発明の一実施形態によるロードポートの構造
を説明する図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating a structure of a load port according to an embodiment of the present invention.

【図7】ロードポートの内部機器の収納状態を説明する
図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating a storage state of an internal device of the load port.

【図8】ロードポートと移載機との連結部の構造を説明
する図である。
FIG. 8 is a diagram illustrating a structure of a connecting portion between a load port and a transfer machine.

【図9】ロードポート搬送台車がロードポートをリフト
アップした状態をロードポートの背面側から見た斜視図
である。
FIG. 9 is a perspective view of a state in which the load port carrier has lifted up the load port as viewed from the rear side of the load port.

【図10】ロードポート搬送台車に給電を行う場合の構
成を制御する図である。
FIG. 10 is a diagram for controlling a configuration in a case where power is supplied to a load port carrier.

【図11】給電ボックス内の電極構造を説明する図であ
る。
FIG. 11 is a diagram illustrating an electrode structure in a power supply box.

【図12】ロードポートとロードポート搬送台車のアー
ムとの係合に関する他の実施形態を説明する図であ。
FIG. 12 is a diagram illustrating another embodiment relating to the engagement between the load port and the arm of the load port carrier.

【図13】本発明の他の実施形態によるロードポートの
構造を説明する図である。
FIG. 13 is a diagram illustrating a structure of a load port according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 ロードポート 12 ウェハキャリア蓋開閉板 13 ウェハキャリア 14 移載機 15 制御ユニット 16 ディスプレイ 17 操作卓 18 監視ランプ 19 監視用窓 20 嵌合穴 21 ロードポート搬送台車 22 レール 23 アーム 24 アームスライド用ハンドル 25 アーム上下駆動用クランク 26 スライド機構 27 ロックボタン 28 台車移動用ハンドル 29 載置面 30 本体部 31 重り部 32 コ字状枠 33 アーム案内レール 34 引掛部 35 車輪 36 エレベーター軸 37、38 歯車 39 チェーン 40 歯状部 61 本体部 62 ウェハキャリア載置台 63 結合板 65 ウェハキャリア蓋開閉フック 66 ウェハキャリア載置プレート 67 前扉 68 側部切欠部 69 前部切欠部 70 固定用足部 71 車輪 72 高さ調整機構 73 ウェハキャリア止め具 74 ウェハキャリア押し付け具 75 操作ボタン 76 緊急停止ボタン 77 ロードポート固定具 78 操作部 79 コントロール基板 80 接続ケーブル 81 ケーブルトレー 82 接続具 83 ロードポート受け用プレート 84 移載機側フレーム 85 蓋開閉機構 86 フック 91 ベース板 92 給電ボックス 93 床ベース側電極 94 台車側電極 95 電極支持バー 96 係合部 97 ネジ穴 98 ボルト 99 係合面 Reference Signs List 11 load port 12 wafer carrier lid opening / closing plate 13 wafer carrier 14 transfer machine 15 control unit 16 display 17 operation console 18 monitoring lamp 19 monitoring window 20 fitting hole 21 load port carrier 22 rail 23 arm 24 arm sliding handle 25 Arm vertical drive crank 26 Slide mechanism 27 Lock button 28 Truck moving handle 29 Mounting surface 30 Main unit 31 Weight 32 U-shaped frame 33 Arm guide rail 34 Hook 35 Wheel 36 Elevator shaft 37, 38 Gear 39 Chain 40 Toothed portion 61 Main body 62 Wafer carrier mounting table 63 Coupling plate 65 Wafer carrier lid opening / closing hook 66 Wafer carrier mounting plate 67 Front door 68 Side cutout 69 Front cutout 70 Fixing foot 71 Wheel 72 Height adjustment mechanism 73 Wafer Carrier Stopper 74 Wafer Carrier Pressing Tool 75 Operation Button 76 Emergency Stop Button 77 Load Port Fixture 78 Operation Unit 79 Control Board 80 Connection Cable 81 Cable Tray 82 Connection Tool 83 Load Port Receiving Plate 84 Transferring Machine Side Frame 85 Lid opening / closing mechanism 86 Hook 91 Base plate 92 Power supply box 93 Floor base side electrode 94 Bogie side electrode 95 Electrode support bar 96 Engagement part 97 Screw hole 98 Bolt 99 Engagement surface

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷口 素也 東京都千代田区神田駿河台四丁目6番地 株式会社日立製作所電子デバイス製造シス テム推進本部内 (72)発明者 和田 紀彦 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所デザイン研究所内 (72)発明者 小林 秀 東京都小平市上水本町五丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者 示野 和弘 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Inventor Motoya Taniguchi 4-6-6 Kanda Surugadai, Chiyoda-ku, Tokyo Within the Electronic Device Manufacturing System Promotion Division, Hitachi, Ltd. 280-chome, Hitachi, Ltd.Design Research Laboratories, Ltd. (72) Inventor, Hideshi Kobayashi 5--20-1, Kamimizuhoncho, Kodaira-shi, Tokyo In-house Semiconductor Division, Hitachi, Ltd. 3-14-20 Kokusai Electric Co., Ltd.

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】移載機に搬送され、該移載機から半導体基
板処理装置に搬送されるウェハを収納するウェハキャリ
アを保持し、前記移載機に取り付けられるロードポート
において、前記ロードポートに該ロードポートを搬送す
るロードポート搬送台車と係合する保持部を構成したこ
とを特徴とするロードポート。
1. A transfer device for holding a wafer carrier for storing a wafer transferred to a semiconductor substrate processing apparatus from a transfer device, wherein the load port is attached to the transfer device. A load port comprising a holding portion that engages with a load port transport cart that transports the load port.
【請求項2】 移載機に搬送され、該移載機から半導体
基板処理装置に搬送されるウェハを収納するウェハキャ
リアを保持し、前記移載機に取り付けられるロードポー
トにおいて、前記ロードポートを搬送するロードポート
搬送台車に設けた一対のアームとの係合手段を設けたこ
とを特徴とするロードポート。
2. A wafer carrier that holds a wafer that is transferred to a transfer machine and stores a wafer transferred from the transfer machine to a semiconductor substrate processing apparatus, wherein the load port is attached to the transfer machine. A load port provided with engagement means for engaging with a pair of arms provided on a load port transport cart for transport.
【請求項3】 移載機に搬送され、該移載機から半導体
基板処理装置に搬送されるウェハを収納するウェハキャ
リアを保持し、前記移載機に取り付けられるロードポー
トにおいて、ロードポートをウェハキャリアを載置する
載置台と本体部とにより構成し、前記載置台と本体部と
の間の側面に、ロードポート搬送台車のアームに係合す
る係合溝としての切欠部が設けられることを特徴とする
ロードポート。
3. A wafer carrier for holding a wafer which is transferred to a transfer machine and stores a wafer transferred from the transfer machine to a semiconductor substrate processing apparatus. It is constituted by a mounting table for mounting the carrier and a main body, and a cutout portion as an engaging groove for engaging with an arm of the load port carrier is provided on a side surface between the mounting table and the main body. Characteristic load port.
【請求項4】 前記ウェハキャリアを載置する載置台の
上面には、ウェハキャリア載置用プレートが設けられ、
該プレートの下部には、プレートの上面部を水平に調整
する調整機構を備えていることを特徴とする請求項3記
載のロードポート。
4. A wafer carrier mounting plate is provided on an upper surface of a mounting table on which the wafer carrier is mounted,
4. The load port according to claim 3, wherein an adjustment mechanism for adjusting an upper surface of the plate horizontally is provided at a lower portion of the plate.
【請求項5】 ロードポートを移載機に取り付けるため
の固定具が、ロードポート正面側から操作可能に設けら
れていることを特徴とする請求項2または4記載のロー
ドポート。
5. The load port according to claim 2, wherein a fixture for attaching the load port to the transfer machine is operably provided from the front side of the load port.
【請求項6】 前記ロードポートは、その背面に前記移
載機に取り付ける結合板を有し、該結合板の上部に設け
られるフックと前記固定具とにより移載機に取り付けら
れ、かつ、前記結合板の下部が移載機下部に突出するベ
ース板上に乗せられることを特徴とする請求項5記載の
ロードポート。
6. The load port has a coupling plate attached to the transfer machine on a back surface thereof, the load port is attached to the transfer machine by a hook provided on an upper portion of the coupling plate, and the fixture, and 6. The load port according to claim 5, wherein a lower portion of the coupling plate is mounted on a base plate protruding from a lower portion of the transfer machine.
【請求項7】 前記ロードポートは、その前面側底部に
高さ調整可能な固定用足部を有し、この固定用足部によ
り、ロードポート底部が前記ベース板上面の移載機が設
置された設置面からの高さと同一になるように支持され
ることを特徴とする請求項6記載のロードポート。
7. The load port has a height-adjustable fixing foot at a bottom portion on the front side thereof, and the transfer foot having the load port bottom at the upper surface of the base plate is installed by the fixing foot. 7. The load port according to claim 6, wherein the load port is supported so as to have the same height from the installation surface.
【請求項8】 半導体基板処理装置におけるウェハを収
納可能なウェハキャリアの蓋を開閉するロードポートを
搬送するロードポート搬送台車において、ロードポート
を搬入するために正面側の面が開いた本体部と、本体部
の上部に設けられ、本体部の前方側にスライド可能に、
かつ、ロードポートに設けた係合手段に係合する一対の
アームを備えたことを特徴とするロードポート搬送台
車。
8. A load port transport trolley for transporting a load port for opening and closing a wafer carrier capable of storing a wafer in a semiconductor substrate processing apparatus, wherein a main body having an open front surface for loading the load port is provided. , Provided on the upper part of the main body, slidable forward of the main body,
A load port transport trolley comprising a pair of arms that engage with engagement means provided on the load port.
【請求項9】 前記一対のアームは、該アームを支持す
る部材と共に、上下方向に移動可能であることを特徴と
する請求項8記載のロードポート搬送台車。
9. The load port carrier according to claim 8, wherein the pair of arms are movable in a vertical direction together with a member supporting the arms.
【請求項10】 前記アームのスライドを人手により行
うハンドルと、前記アームを人手により上下方向に移動
させるための機構とが備えられることを特徴とする請求
項9記載のロードポート搬送台車。
10. The load port carrier according to claim 9, further comprising a handle for manually sliding the arm, and a mechanism for manually moving the arm in a vertical direction.
【請求項11】 前記アームの上下方向への移動を、電
動または移載機からのエアーにより行う機構を備えたこ
とを特徴とする請求項9記載のロードポート搬送台車。
11. The load port carrier according to claim 9, further comprising a mechanism that moves the arm in the vertical direction by electric power or by air from a transfer machine.
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