JPH11220001A - Load port in semiconductor wafer processing system and load port carrying truck - Google Patents

Load port in semiconductor wafer processing system and load port carrying truck

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JPH11220001A
JPH11220001A JP1960398A JP1960398A JPH11220001A JP H11220001 A JPH11220001 A JP H11220001A JP 1960398 A JP1960398 A JP 1960398A JP 1960398 A JP1960398 A JP 1960398A JP H11220001 A JPH11220001 A JP H11220001A
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load port
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load
wafer carrier
transfer machine
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JP1960398A
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Hide Kobayashi
Kazuhiro Shino
Motoya Taniguchi
Norihiko Wada
Akira Yoshikawa
Takeshi Yoshioka
健 吉岡
明 吉川
紀彦 和田
秀 小林
和弘 示野
素也 谷口
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Hitachi Ltd
Kokusai Electric Co Ltd
国際電気株式会社
株式会社日立製作所
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a load-port carrying truck for facilitating movement of a load port of a semiconductor wafer processing system and a load port having a structure suitable to be conveyed by this truck. SOLUTION: A load port for opening and closing the lid of a wafer carrier, is mounted on the load port and can contain a wafer in a semiconductor wafer processing system, is provided with an engaging section that engages with arms 23 of a load-port carrying truck carrying this load port. The load-port carrying truck has a main body whose front side is open for loading the load port 11 and a pair of arms 23 which is provided on the upper portion of the main body slidably toward the front of the main body and engage with the engaging section of the load port.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板処理装置におけるロードポート及びロードポート搬送台車に係り、特に、今後採用が多くなる12インチ(30cm)半導体ウェハを取り扱う半導体基板処理装置に使用して好適なロードポート及びロードポート搬送台車に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a load port and the load port transporting carriage in a semiconductor substrate processing apparatus, in particular, by using the semiconductor substrate processing apparatus for handling 12 inches (30 cm) semiconductor wafers made many adopted future of the preferred load port and the load port transport truck.

【0002】 [0002]

【従来の技術】一般に、半導体基板処理装置は、エッチング装置、アッシング装置等を主たる構成装置として備え、さらに、これらの装置に半導体ウェハ(以下、単にウェハという)を運び込み、また、処理済みのウェハ取り出す移載機と、この移載機に、ウェハが格納されているウェハキャリアを開いてウェハキャリア内のウェハ渡し、移載機からの処理済みのウェハウェハキャリア内に受け取るためのロードポートとを備えて構成されている。 In general, a semiconductor substrate processing apparatus is provided with an etching apparatus, an ashing apparatus or the like as a main constituent unit, further, the semiconductor wafer to these devices (hereinafter, simply referred to as wafer) Hakobikomi and also processed wafers and retrieving transfer machine, this transfer machine, open the wafer carrier wafer is stored pass wafers in the wafer carrier, and a load port for receiving the processed wafers within the wafer carrier from the loader equipped and are configured. そして、ロードポートは、ウェハが格納されたウェハキャリアが保持されたとき、ウェハキャリアを開いて内部に格納されているウェハ、移載機を介してエッチング装置、アッシング装置等の処理装置に順次大量に渡し、処理済みのウェハ受け取らなければなければならないため、1台の移載機に対して複数台が設けられているのが一般的である。 The load port, when the wafer is held wafer carrier stored, etching apparatus, sequentially mass to the processing device, such as an ashing apparatus via the wafer stored in the internal open wafer carrier, a transfer machine in passing, because there must to be received processed wafers, it is common to a plurality are provided for one transfer apparatus.

【0003】 [0003]

【発明が解決しようとする課題】前述した半導体基板処理装置のロードポートは、故障時、保守点検時等には、 The present invention is to provide a load port of a semiconductor substrate processing apparatus described above, at the time of failure, the maintenance or the like,
移送機から取り外して保守のための場所に移動させる必要があるが、従来、このロードポートの移動は、複数の作業者により持ち運ぶことにより行われるのが一般的であった。 It is necessary to move to a location for maintenance removed from the transfer device, conventionally, the movement of the load port from being effected by carrying a plurality of workers were common. また、この移動は、ロードポートの下部に車輪を設けておき、床上をこの車輪により移動させることによって行ってもよいが、半導体基板処理装置は、クリーンルームに設置されており、そのクリーンルームの床は、空気の循環清浄化のために多数の吸気穴が設けられているため、また、ウェハが格納されたウェハキャリアを搬送する自動台車が走行するレール等が設けられているため、車輪により移動させることも、かなりの労力を必要とするものであった。 Moreover, this movement may be provided with wheels at the bottom of the load port, the floor and may be performed by moving this wheel, but a semiconductor substrate processing apparatus is installed in a clean room, the floor of the clean room since a large number of suction holes for circulation cleaning of the air is provided, also, since the rail such that the automatic carriage for carrying the wafer carrier the wafer has been stored travels is provided, is moved by the wheel it was also one that requires considerable effort.

【0004】しかし、ウェハとして12インチ(従来、 [0004] However, 12 inches (conventional as a wafer,
8インチ)もの大きさのものを取り扱うようになると、 When 8 inches) also to handle those in a size,
ロードポート自体が大型で重量の大きなものとなり、人手による前述したようなロードポートの移動が困難となることが予想される。 Load port itself becomes as large weight in large, the movement of the load port as described above manual is expected to be difficult.

【0005】本発明の目的は、前述した半導体基板処理装置のロードポートの移動を容易に行うためのロードポート搬送台車及び該台車により搬送するために好適な構造を備えたロードポートを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a load port having a structure suitable for conveying the load port transport carriage and 該台 vehicles for facilitate the movement of the load port of the semiconductor substrate processing device described above It is in.

【0006】 [0006]

【課題を解決するための手段】本発明によれば前記目的は、半導体基板処理装置におけるウェハを収納可能なウェハキャリアを載置し、ウェハキャリアの蓋を開閉するロードポートにおいて、ロードポートを搬送するロードポート搬送台車に設けた一対のアームに係合する係合手段を設けることにより達成される。 Means for Solving the Problems The present invention to the object in accordance is placed a wafer carrier capable of holding a wafer in a semiconductor substrate processing apparatus, the load port for opening and closing the lid of the wafer carrier, transporting the load port It is accomplished by providing an engagement means for engaging a pair of arms provided on the load port transport carriage to.

【0007】また、前記目的は、前記ウェハキャリアを載置する載置台の上面に、ウェハキャリア載置用プレートを設け、該プレートの下部に、プレートの上面部を水平に調整する調整機構を備え、載置台と本体部との間の側面に前記ロードポート搬送台車のアームに係合する係合溝としての切欠部を設けることにより達成される。 [0007] The object is achieved, on the upper surface of the mounting table mounting the wafer carrier, the wafer carrier mounting plate provided in the lower portion of the plate, an adjustment mechanism for adjusting the upper surface of the plate horizontally It is achieved by providing a notch as the engaging groove that engages the arm of the load port transporting carriage on the sides between the mounting table and the main body portion.

【0008】また、前記目的は、ロードポートを移載機に取り付けるための固定具が、ロードポート正面側から操作可能に設けられ、また、ロードポートが、その背面に前記移載機に取り付ける結合板を有し、該結合板の上部に設けられるフックと前記固定具とにより移載機に取り付けられ、かつ、前記結合板の下部を移載機下部に突出するベース板上に乗せることにより、また、その前面側底部に高さ調整可能な固定用足部を有し、この固定用足部により、ロードポート底部を前記ベース板上面の移載機が設置された設置面からの高さと同一になるように支持するようにすることにより達成される。 [0008] The object is achieved, fastener for attaching the load port to the transfer machine, operably disposed from the load port front, also the load port, coupled attached to the transfer apparatus on the back has a plate attached to the transfer machine by a hook provided on an upper portion of said binding plate the fixture, and, by placing the base plate on which projects at the bottom of the coupling plate loader bottom, Further, a height adjustable fixing foot on its front side bottom, this fixing foot, same height from the installation surface of the load port bottom transfer machine of the base plate top surface is installed It is achieved by such support to be.

【0009】さらに、前記目的は、半導体基板処理装置におけるウェハを収納可能なウェハキャリアの蓋を開閉するロードポートを搬送するロードポート搬送台車において、前記搬送台車を、ロードポートを搬入するために正面側の面が開いた本体部と、本体部の上部に設けられ、本体部の前方側にスライド可能に、かつ、ロードポートの係合溝に係合する一対のアームを備えて構成したことにより達成される。 Furthermore, the object is at the load port transport carriage for transporting the load port for opening and closing the lid of the retractable wafer carrier the wafer in a semiconductor substrate processing apparatus, the front of the transport carriage, in order to carry the load port a main body surface of the side is opened, it is provided on the upper portion of the main body portion, slidably to the front side of the main body portion, and, by constructing a pair of arms that engage the engaging groove of the load port It is achieved.

【0010】また、前記目的は、前記一対のアームを、 [0010] The object is achieved, the pair of arms,
該アームを支持する部材と共に、上下方向に移動可能とし、また、前記アームのスライドを人手により行うハンドルと、前記アームを人手により上下方向に移動させるための機構とを備えることにより、あるいは、前記アームの上下方向への移動を、電動または移載機からのエアーにより行う機構を備えることにより達成される。 With members for supporting the arm, and movable in the vertical direction, a handle for performing sliding of the arm by hand, by and a mechanism for moving the arm up and down manually, or the the vertical movement of the arm, is achieved by providing a mechanism for the air from the electric or transfer device.

【0011】 [0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明による半導体基板処理装置におけるロードポート及びロードポート搬送台車の一実施形態を図面により詳細に説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, will be described in detail with reference to the accompanying drawings of an embodiment of a load port and the load port transporting carriage in a semiconductor substrate processing apparatus according to the present invention.

【0012】図1は本発明が適用される半導体基板処理装置のロードポートと移載機との構成を示す図、図2は本発明の一実施形態によるロードポート搬送台車がロードポートを取り出す様子を説明する図、図3は本発明の一実施形態によるロードポート搬送台車がロードポートを搬送していく状態を説明する図である。 [0012] Figure 1 is a diagram showing a structure of a semiconductor substrate processing apparatus of the load port and transfer device to which the present invention is applied, FIG 2 is the load port transport carriage according to one embodiment of the present invention takes out the load port state diagram illustrating a FIG. 3 is a diagram for explaining a state where the load port transport vehicle according to an embodiment of the present invention will carry the load port. 図1〜図3において、11はロードポート、12はウェハキャリア蓋開閉板、13はウェハキャリア、14は移載機、15は制御ユニット、16はディスプレイ、17は操作卓、1 1 to 3, 11 load port 12 is the wafer carrier cover opening and closing plate, 13 a wafer carrier, 14 transfer machine, 15 the control unit, 16 display, 17 console, 1
8は監視ランプ、19は監視用窓、20は嵌合穴、21 8 monitoring lamp, 19 monitoring window, 20 fitting hole, 21
はロードポート搬送台車、22はレール、23はアーム、24はアームスライド用ハンドル、25はアーム上下駆動用クランク、26はスライド機構、27はロック・アンロックボタン、28は台車移動用ハンドルである。 Load port transport carriages, 22 rail, 23 arms, 24 arms the slide handle 25 arm vertical drive crank, the slide mechanism 26, the locking and unlocking button 27, 28 is a carriage moving handle .

【0013】本発明が適用される半導体基板処理装置は、図1に示すように、ロードポート11と、移載機1 [0013] semiconductor substrate processing apparatus to which the present invention is applied, as shown in FIG. 1, the load port 11, transfer device 1
4と、制御ユニット15と、図示しない半導体基板の処理装置であるエッチング装置、アッシング装置等の処理装置等により構成される。 4, a control unit 15, an etching apparatus is a processing apparatus of a semiconductor substrate (not shown), constituted by the processing apparatus such as an ashing apparatus. ロードポート11は、1台の移載機14に対して複数台取り付けることが可能であり、図示例では4台のロードポート11が移載機14に取り付けられている。 Load port 11, it is possible to attach multiple to a single transfer apparatus 14, in the illustrated example four load port 11 is attached to the transfer device 14. そして、ロードポート11は、床面に設けたレール上を走行する公知の自走式台車等により搬送されてくる内部に複数枚(通常13枚または25 Then, the load port 11, a plurality therein conveyed by a known self-propelled carriage or the like running on rails provided on the floor (usually 13 sheets or 25
枚)のウェハ収納可能なウェハキャリア13が載置されたとき、ウェハキャリア蓋開閉板12がウェハキャリア13の蓋を移載機14側に開いて、移載機14の内部に収納されるロボットが、ウェハキャリア13内に格納されているウェハ取り出し、あるいは、処理済みのウェハウェハキャリア13に格納することを可能にするものである。 When the wafer retractable wafer carrier 13 of the sheets) is placed, the robot wafer carrier cover opening and closing plate 12 opens the lid of the wafer carrier 13 to the transfer device 14 side, which is accommodated in the loader 14 but it is taken out wafer stored in the wafer carrier 13, or is to enable to store the processed wafer wafer carrier 13.

【0014】そして、図示しないエッチング装置、アッシング装置等の処理装置は、移載機14のロードポート11が配置される側とは反対側に設けられており、移載機14の内部に収納されるロボットは、ウェハキャリア13内のウェハ取り出して、そのウェハエッチング装置、アッシング装置等の処理装置内に運び入れ、処理済みのウェハウェハキャリア13に格納する動作を行う。 [0014] Then, an etching apparatus, processing apparatus such as an ashing apparatus (not shown), the side on which the load port 11 of the transfer device 14 is disposed is provided on the opposite side is housed in the loader 14 that the robot takes out the wafer in the wafer carrier 13, the wafer etching apparatus, placed transported to the processing device, such as an ashing apparatus, an operation of storing the processed wafer wafer carrier 13.
また、移載機14には、監視用窓19が設けられ、作業者が内部の動作状況を監視することが可能とされている。 Further, the transfer device 14, the monitoring window 19 is provided, there is a possible operator to monitor the internal operation conditions.

【0015】ロードポート11と並べて配置されている制御ユニット15は、ディスプレイ16と操作卓17とを備えており、図示移載機14の動作の監視制御のために、また、図示移載機14に対応して設けられている半導体基板の処理装置の監視制御のために使用される。 The control unit 15 which is arranged between the load port 11 is provided with a display 16 and a console 17, for monitoring the control of the operation of the illustrated transfer apparatus 14, also illustrated transfer device 14 It is used for supervisory control of the processing unit of the semiconductor substrate which is provided corresponding to. 移載機14の全面上部には複数の監視ランプ18が複数のロードポート11のそれぞれに対して設けられている。 The entire upper part of the transfer machine 14 a plurality of monitoring the lamp 18 is provided for each of a plurality of load ports 11.
この、監視ランプ18は、移載機14に複数設けられるロードポート11の状態を表示する。 The monitoring lamp 18 displays a state of the load port 11 provided more on the transfer machine 14. すなわち、監視ランプ18は、ロードポート11が正常に動作しているとき、例えば、緑色、黄色等の表示を行い、ロードポート11に何等かの異常が生じたとき、赤色の表示、あるいは、赤色の点滅表示を行うように制御されている。 In other words, monitoring the lamp 18, when the load port 11 is operating normally, for example, green, to display yellow, etc., when anything like the load port 11 or the abnormality occurs, red display, or red It is controlled to perform blinking display. このとき、同時に警報音等を発して異常を知らせるようにすることもできる。 At this time, it is also possible to notify the anomaly an alarm sound or the like at the same time. また、同様な監視ランプを保守室等に備えておくこともできる。 Further, it is also possible to provided the maintenance room, etc. A similar monitoring lamp.

【0016】図1に示すような半導体基板処理装置は、 [0016] semiconductor substrate processing apparatus shown in FIG. 1,
複数台が長手方向に多数並べられて配置され、また、複数台が多数並べられて配置された半導体基板処理装置が多数並列に並べて配置されるのが一般的である。 A plurality are arranged aligned multiple longitudinally, also, it is common to semiconductor substrate processing apparatus which is arranged aligned plurality numerous are arranged in parallel number. 従って、図1に示す半導体基板処理装置のロードポート11 Therefore, the load port 11 of the semiconductor substrate processing apparatus shown in FIG. 1
の前面側は、比較的狭い通路が形成されている。 The front side of a relatively narrow passage. そして、この通路の床面には、空気の循環清浄化のために多数の吸気穴が設けられ、かつ、ウェハ収納したウェハキャリア13を搬送するための自走式台車を走行させるためのレールが設けられている。 Then, on the floor of the passage, a number of intake holes provided for circulating cleaning air, and rail for running the self-propelled truck for transporting the wafer carrier 13 and wafer receiving It is provided.

【0017】なお、半導体基板処理装置、移載機等は、 [0017] It is to be noted that the semiconductor substrate processing apparatus, transfer machine, etc.,
クリーンルーム内の床面に水平になるように設置されている。 It is disposed so as to be horizontal to the floor in a clean room. また、クリーンルーム内の床面は、必ずしも全ての面が水平に設定されているとは限らない。 Also, the floor of the clean room is not necessarily all aspects are set horizontally.

【0018】ロードポート11に障害等が発生すると、 [0018] When a failure or the like occurs in the load port 11,
すでに説明したように、移載機14あるいは保守室に設けられる監視ランプ18により、その障害の発生が保守者、作業者等(以下、作業者等という)に知らされる。 As already explained, the monitoring lamps 18 provided in loader 14, or maintenance rooms, maintenance personnel occurrence of the fault, the operator or the like (hereinafter, referred to as operator, etc.) are known to.
作業者等は、これにより、本発明によるロードポート搬送台車21を障害が発生しているロードポート11の場所に搬送し、ロードポート11をロードポート搬送台車21に載置して、保守領域まで運び出すことになるが、 The operator or the like, thereby, a load port conveying cart 21 according to the present invention and transported to the location of the load port 11 a failure has occurred, by placing the load port 11 to the load port transport truck 21, to maintenance region but it will be carry out,
以下、このロードポート運び出しの動作の概要を図2、 Below, Figure 2 provides an overview of the operation of Hakobidashi the load port,
図3を参照して説明する。 It will be described with reference to FIG.

【0019】すでに説明したように、ロードポート13 [0019] As already described, the load port 13
の前側の床には、ウェハ収納したウェハキャリア13を搬送するための自走式台車を走行させるためのレール2 The front of the floor, the rail 2 for running the self-propelled truck for transporting the wafer carrier 13 and wafer receiving
2が設けられており、作業者等は、構造の詳細を後述するロードポート搬送台車21をレール22上に載せて搬送してくる。 2 is provided, the operator or the like, it comes transported by placing a load port transport carriage 21, which will be described in detail later in the structure on a rail 22. このロードポート搬送台車21の搬送は、 Transport of the load port transport truck 21,
作業者等が台車移動用ハンドル28により手で押してきてもよく、また、前述の自走式台車のために設けられている動力用の電源からの電力により、作業者等と共に自走させるようにしてもよい。 May operator or the like is becoming pressed by hand by carriage moving handle 28, also by the power from the power supply for the power provided for self-propelled truck described above, so as to self with the operator or the like it may be.

【0020】作業者等は、障害が発生しているロードポート11の場所に到着すると、まず、ロードポート11 [0020] The operator or the like, when you arrive at the location of the load port 11 a failure has occurred, first of all, the load port 11
と移載機14とを結合している複数のロードポート固定具としてのボルト(詳細については後述)を人手により外す。 A transfer device 14 and the coupling to have a plurality of load ports bolts as fasteners (for details see below) remove by hand the. ここで、作業者等は、ロードポート搬送台車21 Here, the operator or the like, the load port transport truck 21
を、ウェハキャリア13を搬送するための自走式台車ようの位置決めマークを利用してロードポート11の正面に位置させ、ロードポート搬送台車21のアーム23 And is positioned in front of the load port 11 by using the positioning marks of the self-propelled truck so to transfer the wafer carrier 13, the arms 23 of the load port conveying cart 21
を、アームスライド用ハンドル24を操作して、ロードポート11の後述する係合溝に係合させてチャックする。 And by operating the arm slide handle 24, which chuck is engaged with the engagement groove to be described later of the load port 11. その後、作業者等は、アーム上下駆動クランク25 Thereafter, the operator or the like, the arm vertical driving crank 25
を操作して、アーム23をアームスライド機構26と共に上方に10mm程度リフトアップすることにより、ロードポート11をアーム23に保持させた状態でリフトアップし、ロックボタン27を操作してアーム23のリフト状態をロックする。 By operating the, by the arms 23 to about 10mm lifted upward together with the arm sliding mechanism 26, lifted up in a state of being held with the load port 11 to the arm 23, the lift arm 23 by operating the lock button 27 to lock the state. これにより、後述するように、ロードポート11の移載機14への結合板のフックが移載機14から外れるようになる。 Thus, as described later, the hook of the coupling plate to the transfer machine 14 of the load port 11 becomes disengaged from the transfer device 14.

【0021】この状態で、作業者等は、アームスライド用ハンドル24を操作して、アーム23と共にロードポート11を100mm程度手前に引き出し、さらに、アーム上下駆動クランク25を操作して、アーム23をアームスライド機構26と共に上方にリフトアップする。 [0021] In this state, the operator or the like, by operating the arm slide handle 24, pull the load port 11 together with the arm 23 to 100mm around the front, further by operating the arm vertical driving crank 25, the arm 23 Raise upward together with the arm slide mechanism 26. この場合のリフトアップ量は、ロードポート搬送台車21 Lift up the amount of this case, the load port transport truck 21
の車輪径によって決まる台車の床面高さによって決まるが、およそ150mmである。 Is determined by the floor level of the carriage determined by the wheel diameter is about 150 mm. なお、この状態が図2に示す状態である。 Note that this state is the state shown in FIG.

【0022】作業者等は、その後、アームスライド用ハンドル24を操作して、アーム23をロードポート搬送台車21の本体側に引き込むことにより、ロードポート11をロードポート搬送台車21上に位置させ、ロック・アンロックボタン27によりロックを解除し、アーム上下駆動クランク25を操作して、アーム24をアームスライド機構26と共に降下させて、ロードポート11 The operator or the like, then, by operating the arm slide handle 24, by pulling the arm 23 to the body side of the load port transport truck 21, to position the load port 11 on the load port transport truck 21, unlock the locking and unlocking button 27 by operating the arm vertical drive crank 25 and the arm 24 are lowered together with the arm sliding mechanism 26, the load port 11
をロードポート搬送台車21の載置面29に載置する。 The placing on the mounting surface 29 of the load port conveying cart 21.
その後、作業者等は、ロードポート搬送台車21を、ロードポート11を乗せた状態で、レール22上を前述の場合と同様に保守領域まで搬送し、そこでロードポート11の保守、修理等の作業を行う。 Thereafter, the operator or the like, the load port transport truck 21, while carrying the load port 11, and conveyed on the rail 22 to a similar conservative region in the previous case, where maintenance of the load port 11, the work such as repair I do. なお、図3は、ロードポート搬送台車21が、ロードポート11を乗せた状態でレール22上を搬送される状態を示している。 Incidentally, FIG. 3, the load port conveying cart 21 shows a state to be transported on the rail 22 in a state of carrying the load port 11.

【0023】前述したように、ロードポート搬送台車2 [0023] As described above, the load port transport truck 2
1を使用することにより、他のロードポートを取り外したりすることなく、異常が発生したロードポートのみを早急に移載機から取り外すことができるので、装置全体を停止させる必要がなく、半導体基板処理装置の稼働率を悪化させることを防止することができる。 The use of 1, without removing or other load port, the abnormality can be removed only from the immediately transfer machine load port occurs, it is not necessary to stop the entire device, a semiconductor substrate processing it is possible to prevent the worsening of the operating rate of the apparatus.

【0024】図4はロードポート搬送台車の構造を説明する図、図5は上下移動機構の構造を説明する図であり、次に、前述したロードポート搬送台車11の詳細な構造を図4、図5を参照して説明する。 FIG. 4 is the figure 5 illustrating the structure of a load port conveying carriage is a view for explaining the structure of a vertical movement mechanism, then 4 a detailed structure of the load port conveying cart 11 described above, It will be described with reference to FIG. 図4、図5において、30は本体部、31は重り部、32はコ字状枠、 4, 5, 30 main unit, 31 weight part, 32 U-shaped frame,
33はアーム案内レール、34は引掛部、35は車輪、 33 arm guide rail, 34 engagement portion, 35 wheels,
36はエレベーター軸、37、38は歯車、39はチェーン、40は歯状部であり、他の符号は図1〜図3の場合と同一である。 36 elevator shaft, 37 and 38 gears, 39 chain, 40 is the teeth, and other reference numerals are the same as in FIGS.

【0025】ロードポート搬送台車21は、図4に示すように、ロードポート11を搬入するために正面側の1 The load port transporting carriage 21, as shown in FIG. 4, 1 on the front side in order to carry the load port 11
つの面が開いた6面体の形状を持つ本体部30と、本体部30の背面側に取り付けられた重り部31と、上面に設けられ、上下に移動可能に設けられたアーム23に対するスライド機構26と、車輪35とを備えて構成されている。 One of the main portion 30 in which the surface has a hexahedral shape with open, the weight section 31 attached to the rear side of the main body portion 30, provided on an upper surface, a slide mechanism relative to the arm 23 which is movable up and down 26 When is configured to include a wheel 35. そして、重り部31は、アーム24が本体部3 The weight section 31, the arm 24 is the main body portion 3
0から前方に突出して重量のあるロードポート11をリフトアップしたときに、ロードポート搬送台車21が転倒しないようにバランスを取るために設けられる。 When the 0 has been lifted up load port 11 with a weight projects forward, the load port conveying cart 21 is provided in order to balance so as not to fall. そして、アーム23をロードポート11に構成された係合溝に結合させる作業は人手により行うため、ロードポート11や移載機14に必要以上の衝撃を与えることがない。 Then, the work for coupling the engagement groove configured to arm 23 to the load port 11 is for performing manually, never give undue shock to the load port 11 and the transfer device 14.

【0026】アーム23に対するスライド機構26は、 [0026] The slide mechanism 26 with respect to the arm 23,
コ字状枠32と、このコ字状枠32の腕の部分に設けられたアーム案内レール33と、アーム案内レール33に係合してコ字状の腕の部分に引掛部34を設けたアーム23を有する部材により構成される。 A U-shaped frame 32, and an arm guide rail 33 provided on the arm portions of the U-shaped frame 32, the hook portion 34 to the portion of the U-shaped arm engages the arm guide rail 33 provided It constituted by a member having an arm 23. そして、2本のアームを結合する部分にアームスライド用ハンドル24が設けられており、このハンドル24を人手により操作することにより、アーム23をスライドさせることができる。 The arms slide handle 24 to the portion that binds the two arms is provided with, by operating the handle 24 manually, it is possible to slide the arm 23.

【0027】そして、スライド機構26は、本体部30 [0027] The slide mechanism 26 includes a main body 30
内に上下方向に移動可能に設けられるリフト機構を構成する4本のエレベーター軸36に支持されている。 It is supported by the four elevators shaft 36 constituting the lift mechanism provided movably in the vertical direction within. 図5 Figure 5
に示すように、リフト機構は、エレベーター軸36と、 As shown in, the lift mechanism includes a lift shaft 36,
このエレベーター軸36に設けられ、歯車38と噛み合う歯状部40と、2本のエレベーター軸36に係合する歯車38と、この歯車と前述で説明したアーム上下駆動クランク25と結合された歯車37と、これらの歯車3 Provided on the elevator shaft 36, the teeth 40 meshing with the gear 38, a gear 38 which engages the two elevator shaft 36, the gear is coupled with the arm vertically driving crank 25 described with the gear in the previous 37 Once, the gears 3
7、38を相互に連結するチェーン39により構成されている。 It is constituted by a chain 39 interconnecting the 7, 38. また、図示していないが、歯車38の軸は、図5に示す歯車38が噛み合っているエレベーター軸36 Although not shown, the axis of the gear 38, the elevator shaft gear 38 shown in FIG. 5 are engaged 36
の紙面の奥にある2本のエレベーター軸に噛み合っている歯車と本体部30内で結合されている。 Coupled with the gear main body portion within 30 meshing with the plane of the paper of two elevator shafts in the back. このような、 like this,
リフト機構を備えることにより、アーム上下駆動クランク25を手動で操作することにより、アーム23をスライド機構26と共に上下に駆動することができる。 By providing the lifting mechanism, by operating the arm vertical driving crank 25 manually, can be driven up and down the arm 23 with the slide mechanism 26.

【0028】なお、ロードポート搬送台車21が、ウェハキャリア搬送用の自走式台車のために設けられている動力用の電源からの電力により、あるいは、バッテリーを備えて自走するように構成されている場合、重り部3 It should be noted, load port transporting carriage 21, the power from the power supply for the power provided for self-propelled truck for transporting the wafer carrier, or be configured to self and batteries If and are, the weight portion 3
1にバッテリー、モータ等を備えて重りとすることができる。 It can be a weight provided with a battery, a motor or the like to 1. また、前述では、リフト機構は、人力により操作されるとして説明したが、これも、電動により駆動するようにしてもよく、あるいは、移載機14で使用しているエアーにより駆動するようにしてもよい。 Further, in the above, the lift mechanism has been described as being operated by human power, which also may be driven by an electric, or be driven by an air that are used in transfer machine 14 it may be.

【0029】図6は本発明の一実施形態によるロードポートの構造を説明する図、図7はロードポートの内部機器の収納状態を説明する図、図8はロードポートと移載機との連結部の構造を説明する図、図9はロードポート搬送台車がロードポートをリフトアップした状態をロードポートの背面側から見た斜視図であり、以下、これらについて説明する。 [0029] Figure 6 is consolidated in FIG, 7 is a diagram for explaining the storage state of the internal device of the load port, and 8 is the load port and the transfer device illustrating the structure of a load port according to an embodiment of the present invention Figure 9 illustrating the structure of the parts is a perspective view load port conveyance carriage saw while lifting up the load port from the back side of the load port, hereinafter, will be described. 図6〜図9において、61は本体部、62はウェハキャリア載置台、63は結合板、65 In FIGS. 6-9, 61 main body, 62 is a wafer carrier platforms, 63 coupling plate, 65
はウェハキャリア蓋開閉フック、66はウェハキャリア載置プレート、67は前扉、68は側部切欠部、69は前部切欠部、70は固定用足部、71は車輪、72は高さ調整機構、73はウェハキャリア止め具、74はウェハキャリア押し付け具、75は操作ボタン、76は緊急停止ボタン、77はロードポート固定具、78は操作部、79はコントロール基板、80は接続ケーブル、8 Wafer carrier cover opening and closing hook 66 is a wafer carrier loading plate, front door 67, 68 is a side cut-out portion, 69 the front notch, 70 fixing foot, 71 wheels, 72 height adjustment mechanism, 73 a wafer carrier stopper, 74 tool pressing the wafer carrier 75 is an operation button, an emergency stop button 76, 77 is a load port fixture 78 operation unit, 79 control board, 80 connecting cable, 8
1はケーブルトレー、82は接続具、83はロードポート受け用プレート、84は移載機側フレーム、85は蓋開閉機構、86はフックである。 1 cable trays, 82 connector, 83 load port receiving plate, transfer machine side frame 84, 85 cover opening and closing mechanism, 86 is a hook.

【0030】ロードポート11は、図6(a)、 The load port 11, as shown in FIG. 6 (a),
(b)、(c)の斜視図、側部断面図、正面断面図に示すように、側部切欠部68、前部切欠部65を有して、 (B), a perspective view of (c), cross-sectional side view, as shown in the front sectional view, a side notch 68, a front notch 65,
ウェハキャリア載置台62と結合されている本体部61 Body portion 61 which is coupled with the wafer carrier platforms 62
と、背面に設けられて移載機14との結合を行い、かつ、ウェハキャリア13の蓋の開閉機構を有する結合板63とを備えて構成される。 If, provided on the back subjected to coupling with transfer machine 14, and constituted by a coupling plate 63 having an opening and closing mechanism of the lid of the wafer carrier 13. 結合板63は、その周辺が鍔状に形成され、それ以外の部分が10cm程度の厚みを持って形成されており、この中に後述するように、ウェハキャリア13の蓋を開閉する機構が設けられる。 Binding plate 63 has its periphery is formed in a flange shape, which is the other portion is formed with a thickness of about 10 cm, as described later in this, provided a mechanism for opening and closing the lid of the wafer carrier 13 It is.

【0031】ウェハキャリア載置台62の上面には、ロードポート11の電源のオン/オフ及びウェハキャリア13の脱着のための操作ボタン75と、緊急停止ボタン76が設けられると共に、ウェハキャリア13を固定するウェハキャリア固定具73と、ウェハキャリア13を結合板63の方向に移動させるためのウェハキャリア押し付け具74とが設けられたウェハキャリア載置プレート66が設けられている。 [0031] On the upper surface of the wafer carrier platforms 62, an operation button 75 for detaching the power on / off and the wafer carrier 13 of the load port 11, together with the emergency stop button 76 is provided, fixed to the wafer carrier 13 a wafer carrier fixture 73, wafer carrier mounting plate 66 and the wafer carrier pressing member 74 is provided for moving the wafer carrier 13 in the direction of the coupling plate 63 is provided. このウェハキャリア載置プレート66は、図6(c)に示すように、その下部に高さ調整機構が設けられており、ウェハキャリア載置プレート66の上面が水平になるように調整される。 The wafer carrier loading plate 66, as shown in FIG. 6 (c), and the height adjusting mechanism is provided in its lower part, the upper surface of the wafer carrier loading plate 66 is adjusted to be horizontal.

【0032】ウェハキャリア載置台62と本体部61との間に形成されている側部切欠部68は、前述で説明したロードポート搬送台車21のアーム23の引掛部34 The side notch 68 formed between the wafer carrier platforms 62 and the main body portion 61, the hook portions 34 of the arms 23 of the load port conveyance carriage 21 described in the foregoing
に係合可能な形状に構成されている係合溝である。 A engagement groove that is configured to shape that can engage. また、前部切欠部69は、ロードポート11を移載機14 Further, the front notch 69, transfer machine load port 11 14
から人手により動かそうとするような場合に作業員等が手を掛けることができる形状とされており、図6(b) Workers, etc. When such trying to move manually are shaped to be able to apply a hand from, and FIG. 6 (b)
に示すように、ウェハキャリア載置台62の内側に鍵型に形成されている。 As shown in, it is formed on the key-shaped on the inside of the wafer carrier platforms 62. すでに説明したように、ロードポート11は、側部切欠部62にロードポート搬送台車21 As already described, the load port 11 is loaded on the side notch 62 port conveying cart 21
のアーム23の引掛部34が係合されてリフトされることになるので、ウェハキャリア載置台62と本体部61 Since the hook portion 34 of the arm 23 will be engaged is lifted, the wafer carrier platforms 62 and the main body portion 61
とが強固に結合されていることが必要であり、側部切欠部68は、実際には本体部61を構成するフレーム部に形成されるのがよい。 Doo is necessary that they are strongly bonded, the side notch 68 is actually better to be formed in the frame portion constituting the body portion 61.

【0033】ロードポート11の本体部61の下部には、図6(a)、(b)に示すように、車輪71が設けられると共に、ロードポート11が移載機14に取り付けられたときに、ロードポート11を安定に保持し、かつ、ウェハキャリア載置台62の上面ができるだけ水平になるように高さ調整する伸縮可能に構成された固定用足部70が前面側に設けられている。 [0033] The lower portion of the main body portion 61 of the load port 11, as shown in FIG. 6 (a), (b), together with the wheel 71 is provided, when the load port 11 is attached to the loader 14 , stably hold the load port 11, and the fixing foot 70 whose upper surface is stretchable configured to adjust height to be as horizontal as possible of the wafer carrier platforms 62 are provided on the front side.

【0034】ロードポート11の内部には、図7に示すように、前扉67を開いて操作可能な操作部78と、移載機側との接続のための接続ケーブル80が接続されたコントロール基板79とが収納されている。 [0034] Inside the load port 11, as shown in FIG. 7, before and operable operation unit 78 by opening the door 67, control connection cable 80 for connection to the transfer device side connected and the substrate 79 is housed. 操作部78 The operation unit 78
は、ロードポート11の保守時に、ロードポート11の動作状態を確認するために使用される。 It is, at the time of maintenance of the load port 11, which is used to check the operation state of the load port 11. また、接続ケーブル80は、接続具82を介して、ケーブルトレー81 The connection cable 80 via the connector 82, cable tray 81
上を案内されて移載機14側に接続されている。 It is guided on and is connected to the transfer device 14 side. 従って、ロードポート11を移載機14に着脱する場合には、前扉67を開いて、接続具82を着脱する作業だけで、容易にロードポート11を移載機14に着脱することができる。 Therefore, when attaching and detaching the load port 11 to the transfer device 14, before opening the door 67, only the work for attaching and detaching the connector 82, it is possible to easily attach and detach the load port 11 to the transfer device 14 .

【0035】ウェハキャリア蓋開閉板12には、ウェハキャリア13の蓋に係合する蓋開閉フック65が設けられ、また、移載機14との結合板63の内部には、蓋開閉用モータを含む蓋開閉機構85が設けられる。 [0035] wafer carrier cover opening and closing plate 12, the lid opening and closing the hook 65 is provided to engage the lid of the wafer carrier 13, Inside the coupling plate 63 of the transfer device 14, the cover opening and closing motor cover opening and closing mechanism 85 including is provided. そして、この蓋開閉機構85、ウェハキャリア13の蓋に係合する蓋開閉フック65により、ウェハキャリア13の蓋の開閉が制御される。 Then, the cover opening and closing mechanism 85, the cover opening and closing hook 65 which engages the lid of the wafer carrier 13, the opening and closing of the lid of the wafer carrier 13 is controlled.

【0036】移載機14下部の移載機側フレーム84には、ロードポート受け用プレート83が設けられており、図8(a)、(b)に示すように、ロードポート1 [0036] transfer machine 14 under the transfer machine side frame 84, is provided with a plate 83 receiving the load port, as shown in FIG. 8 (a), (b), the load port 1
1を移載機14に取り付ける場合、ロードポート11の移載機との結合板63の下部がロードポート受け用プレート83に乗せられ、図9に示すように結合板63の上部に設けられる鍵型のフック86が移載機14に設けた図3に示す嵌合穴20に係合されて取り付けられる構成とになる。 When installing 1 to transfer machine 14, key bottom of the coupling plate 63 of the transfer machine of the load port 11 is placed on a plate 83 receiving the load port, is provided on top of the binding plate 63 as shown in FIG. 9 type hook 86 is configured and mounted is engaged with the fitting hole 20 shown in FIG. 3 provided transfer machine 14. さらに、結合板63の上下方向のほぼ中央部及び下部には、ロードポート固定具77が設けられて、 Further, in the substantially central portion and the lower portion of the vertical coupling plate 63, it is provided a load port fixture 77,
ロードポート11と移載機14とが強固に取り付けられる。 And the load port 11 and the transfer device 14 is attached firmly. ロードポート固定具77は、長軸のボルトにより形成され、ロードポート11の前面側からロードポート1 Load port fixture 77 is formed by a bolt of the major axis, the load port 1 from the front side of the load port 11
1を移載機14に固定することができる。 It can be fixed 1 to transfer device 14.

【0037】ロードポート受け用プレート83は、移載機14の背面板の底部から突き出して設けられ、ロードポート11の結合板63の下部がこのロードポート受け用プレート83上に乗せられ、かつ、移載機14の背面板に設けられたロードポート結合用窓のエッジに結合板63の厚みのある部分の下部が乗せられて、ロードポート11が移載機14と結合される。 The load port receiving plate 83 is provided protruding from the bottom of the back plate of the transfer device 14, the lower portion of the coupling plate 63 of the load port 11 is placed on plate 83 receives the load port, and, is placed the lower the portion of the thickness of the binding plate 63 to the edge of the load port coupling window provided on the back plate of the transfer device 14, the load port 11 is coupled to the transfer device 14. この結合状態において、ロードポート111の底面は、およそ38mmだけ、 In this coupling state, the bottom surface of the load port 111, by approximately 38mm,
移載機14が設置されている床面から浮いている。 Transfer machine 14 is floating from the floor surface is installed.

【0038】前述のように、ロードポート11が移載機14に取り付けられている状態において、固定用足部7 [0038] As described above, in a state in which the load port 11 is attached to the transfer machine 14, the fixing foot 7
0は、床面に密着するように高さ調整されてロードポート11の重量を支持する。 0, so as to be in close contact with the floor surface is adjusted height to support the weight of the load port 11. なお、ロードポートの床面からの浮いている高さは任意である。 The height that floats from the floor of the load port is optional.

【0039】前述したように、ロードポート11は、移載機14に設けたロードポート受け用プレート83と固定用足部70とにより支持されるようにされており、これにより、ロードポート11の交換時の細かい位置調整を不要とすることができる。 [0039] As described above, the load port 11 includes a load port receiving plate 83 provided on the transfer device 14 and the fixing foot 70 are to be supported by, thereby, the load port 11 a fine position adjustment at the time of the exchange can be made unnecessary.

【0040】ロードポート搬送台車21の走行、リフトの駆動をウェハキャリア搬送用の自走式台車のために設けられている動力用の電源からの電力を利用する場合、 The travel of the load port transporting carriage 21, the case of using the power of the driving of the lift from the power supply for the power provided for self-propelled truck for transporting the wafer carrier,
ロードポート搬送台車には、電源を取り込むための機構が必要であり、以下、このための給電機構について説明する。 The load port transport vehicle, mechanism for taking power is required, it will be described below feed mechanism for this.

【0041】図10はロードポート搬送台車に給電を行う場合の構成を説明する図、図11は給電ボックス内の電極構造を説明する図である。 [0041] Figure 10 figure 11 illustrating a configuration for performing feeding to the load port transport carriage is a view for explaining the electrode structure in the feed box. 図10、図11において、91はベース板、92は給電ボックス、93は床ベース側電極、94は台車側電極、95は電極支持バーである。 10, 11, 91 base plate, 92 designates a feed box 93 the floor base side electrode, 94 is carriage-side electrode, 95 is an electrode support bar.

【0042】すでに説明したように、半導体基板処理装置は、クリーンルームに設置されており、そのクリーンルームの床には、図10に示すように、半導体ウェハが格納されたウェハキャリアを搬送する自動台車が走行する一対のレール22が、ベース板91上に設けられており、また、一対のレール22の間には台車への給電のための電極が設けられている。 [0042] As already described, the semiconductor substrate processing apparatus is installed in a clean room, the floor of the clean room, as shown in FIG. 10, an automatic carriage for carrying the wafer carrier semiconductor wafer is stored a pair of rails 22 to travel, provided on the base plate 91, also, the electrode for supplying power to the trolley is provided between the pair of rails 22. 給電ボックス92は、床面を作業者等が歩行したときに危険がないように、台車側電極94を支持する電極支持バー95が貫通するだけの幅を持った隙間が上面に設けられて、その内部に、供給側となる2本の床ベース側電極93が、ベース板91上にお互いに絶縁されて敷設されている。 Feeding box 92, so that there is no danger when the floor operator, etc. walks, gap electrode support bar 95 for supporting the carriage side electrode 94 having a width of only penetrates is provided on the upper surface, therein, the supply-side and becomes two floor base side electrodes 93 are laid insulated from each other on the base plate 91. そして、ロードポート搬送台車21の底面に取り付けられている電極支持バー95を介して設けられる2つの台車側電極94が給電ボックス92内で床ベース電極93に摺動接触している。 Then, the two bogie-side electrode 94 provided through the electrode support bar 95 is attached to the bottom surface of the load port transporting carriage 21 is in sliding contact with the floor base electrode 93 in the feed box 92.

【0043】ロードポート搬送台車21を前述したように、外部電源の利用を可能にし、内部に走行用の駆動装置、リフト用の駆動装置を設けて構成することにより、 [0043] As described above the load port transport truck 21, to allow the use of external power supply, drive for traveling therein by constituting provided a driving device for the lift,
ロードポート搬送台車21は、自走可能となり、また、 Load port transport truck 21, enables self-propelled, also,
ロードポートのリフトを電動により行うことが可能となる。 It is possible to perform by an electric lift of the load port.

【0044】前述した本発明の実施形態によれば、半導体基板処理装置のロードポートの移動を容易に行うためのロードポート搬送台車及び該台車により搬送するために好適な構造を備えたロードポートを提供することができた。 [0044] According to an embodiment of the present invention described above, the load port having a structure suitable for conveying the load port transport carriage and 該台 vehicles for easily performed movement of the load port of the semiconductor substrate processing apparatus It was able to provide.

【0045】そして、本発明の実施形態によるロードポートとロードポート搬送台車とを組み合わせて使用することにより、ロードポートの着脱を、周辺の他のロードポートと干渉することなく迅速に行うことができる。 [0045] Then, by using a combination of the load port and the load port conveyance carriage according to an embodiment of the present invention, the attachment and detachment of the load port can be quickly performed without interfering with the surrounding other load port .

【0046】図12はロードポートとロードポート搬送台車のアームとの係合に関する他の実施形態を説明する図、図13は図12が適用される本発明の他の実施形態によるロードポートの構造を説明する図であり、以下、 [0046] Figure 12 illustrates the other embodiment relating to the engagement of the arm of the load port and the load port conveying carriage FIG, 13 is the structure of the load port according to another embodiment of the present invention Figure 12 is applied It is a view for explaining the following,
これについて説明する。 This will be explained. 図12、図13において、96 12, 13, 96
は係合部、97はネジ穴、98はボルト、99は係合面である。 Engaging portion, 97 screw hole, 98 bolt, 99 is an engaging surface.

【0047】図12に示す例は、ロードポート搬送台車21のアーム23の先端に設けた係合部96とロードポート11の結合板63に設けたネジ穴とをボルト98により係合して、ロードポート搬送台車21がロードポート11を取り出すために持ち上げるようにしたものである。 The example shown in Figure 12, engages a threaded hole formed in the coupling plate 63 of the engaging portion 96 and the load port 11 provided at the tip of the arm 23 of the load port conveying cart 21 by a bolt 98, in which load port conveyance carriage 21 is so lifted to retrieve the load port 11. 従って、ロードポート11は、図13に示すように、結合板63にネジ穴97が設けられて構成されている。 Therefore, the load port 11, as shown in FIG. 13, the screw hole 97 is formed is provided to the coupling plate 63.

【0048】図12、図13に示す例において、ロードポート搬送台車21は、そのアーム23がアーム上下駆動クランク25を操作してアーム23を最も下降させた高さにおいても、アーム23が、移載機14に取り付けられているロードポート11のウエハキャリア載置台6 [0048] Figure 12, in the example shown in FIG. 13, the load port conveying cart 21, also in the height is most lowered arm 23 that the arm 23 operates the arm vertical driving crank 25, arm 23, moves wafer carrier load port 11 is attached to the mounting device 14 mounting table 6
2の上面よりも高い位置となるように構成される。 Configured to be positioned higher than the second upper surface. 係合部96は、上下に伸びる係合面99を持ち、ネジ穴97 Engaging portion 96 has a engagement surface 99 extending vertically, the screw holes 97
によりロードポート11を持ち上げたとき、ロードポート11の重心がネジ穴97の真下にない場合であっても、ロードポート11が傾かないようにする機能を持つ。 By When lifting the load port 11, even if the center of gravity of the load port 11 is not directly below the screw holes 97, with the feature that the load port 11 is not inclined. また、係合部96は、ボルト98の入る図示しない穴を持っている。 The engaging portion 96 has a hole (not shown) enters the bolt 98.

【0049】図12、図13に示す実施形態では、図4 [0049] Figure 12, in the embodiment shown in FIG. 13, FIG. 4
に示したアーム23の引掛部34は不要となり、また、 Hook portion 34 of the arm 23 is unnecessary as shown in, also,
2本のアーム23の間隔は、図2〜図4に示したよりも狭く設定される。 Distance between the two arms 23 is set narrower than shown in FIGS. アーム23のネジ穴97は結合板63 Screw holes 97 of the arms 23 coupling plate 63
のウエハキャリア載置台62の上面よりも高い位置に設けられる。 Provided at a position higher than the upper surface of the wafer carrier platforms 62. また、この実施形態では、図6に示したロードポート11の側部切欠き部68は不要となる。 Further, in this embodiment, the side notch 68 of the load port 11 shown in FIG. 6 is unnecessary.

【0050】前述した他の実施形態において、ロードポート11に障害等が発生すると、作業者等は、ロードポート搬送台車21をロードポート11の正面に位置させ、ロードポート搬送台車21のアーム23をアームスライド用ハンドル24を操作して、アーム23の先端に設けた係合部96をロードポート11の係合板63に設けたネジ穴97に接近させ、ボルト98を穴100を通してネジ穴97に係合させる。 [0050] In another embodiment described above, when a failure or the like occurs in the load port 11, the operator or the like, to position the load port conveying cart 21 in front of the load port 11, the arm 23 of the load port conveying cart 21 by operating the arm slide handle 24, lock the engagement portion 96 provided at the tip of the arm 23 is brought close to the screw hole 97 formed in the engaging plate 63 of the load port 11, the screw hole 97 of the bolt 98 through the hole 100 engaged. その後、図2〜図3ににより説明したと同様な操作によりロードポート11の保守、修理等の作業を行う。 Thereafter, the maintenance of the load port 11, the work such as repair performed by the same procedure as described above with reference to the FIGS. 2-3.

【0051】前述した本発明の他の実施形態によれば、 [0051] According to another embodiment of the present invention described above,
既製品のロードポートで、ウエハキャリア載置台62の左右両側に側部切欠き部68を設けるのが困難な場合、 Off the shelf load port of the left and right sides when the difficult provided side notch 68 of the wafer carrier platforms 62,
あるいは、側部切欠き部68にロードポートの全荷重を加えるとウエハキャリア載置台62の精度が狂う恐れのある場合に、も容易にロードポート11とロードポート搬送台車21のアーム23との係合を行うことができる。 Alternatively, the engagement of the case that could Addition of total load of the load port to the side notch 68 mad accuracy of the wafer carrier mounting table 62, the arm 23 also easily load port 11 and the load port conveying cart 21 if it is possible to perform.

【0052】 [0052]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、移載機に複数台取り付けられたロードポートの中で異常を生じたロードポートを取り除く際に、ロードポートに構成された保持部にロードポート搬送台車を係合させることだけで、稼動中の他のロードポートに影響を与えことなく、異常を生じたロードポートを取り外してそのまま保守領域にロードポートを搬送することができるので、 According to the present invention as described in the foregoing, in removing the load port that generates an abnormality in the plurality attached load port to transfer machine, the holding portion configured to load port only engaging the load port transport vehicle, without affecting other load port running, so remove the load port caused the abnormality can carry the load port directly to the maintenance area,
装置全体を停止させることがなく、半導体基板処理装置の稼働率を向上させることができる。 Without stopping the entire apparatus, it is possible to improve the operation rate of the semiconductor substrate processing apparatus.

【0053】また、本発明によれば、大きく重量物であるロードポートをロードポート搬送台車により移載機から取り除き搬送することがてきるため、作業者等の作業労力の軽減を図ることができる。 Further, according to the present invention, since as possible Te be conveyed removed from transfer machine by large heavy a is the load port conveyance carriage loading port, it is possible to reduce labor required for such a worker .

【0054】また、本発明によれば、移載機から短時間に異常を生じたロードポートを運び出すことが可能なため、半導体基板処理装置へ搬送するウエハを収納したウエハキャリアを保持したロードポートの搬送や、処理が終了したウエハを収納したウエハキャリアを保持したロードポートの搬送の障害となることがないので、半導体基板処理装置の稼動率を下げることがない。 Further, according to the present invention, since it is possible to carry out a load port that generates a short time abnormality transfer machine, the load port which holds a wafer carrier housing a wafer to be transported to a semiconductor substrate processing apparatus transport or, since the processing does not become an obstacle to the transport of the load port which holds a wafer carrier housing a wafer ended, there is no lowering the operation rate of the semiconductor substrate processing apparatus.

【0055】さらに、本発明によれば、ロードポートが移載機と直角を保つように取り付けられるため、交換の際の位置合わせが簡単であり交換時間の短縮を図ることができる。 [0055] Furthermore, according to the present invention, since the mounted so as to keep the can transfer device perpendicular load port, it is possible to align the time of replacement shortened simple and exchange time.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明が適用される半導体基板処理装置のロードポートと移載機との構成を示す図である。 1 is a diagram showing a configuration of a load port and the transfer device of the semiconductor substrate processing apparatus to which the present invention is applied.

【図2】本発明の一実施形態によるロードポート搬送台車がロードポートを取り出す様子を説明する図である。 [Figure 2] load port transport carriage according to one embodiment of the present invention is a diagram for explaining a state to take out the load port.

【図3】本発明の一実施形態によるロードポート搬送台車がロードポートを搬送していく状態を説明する図である。 [3] the load port transport carriage according to one embodiment of the present invention is a diagram for explaining a state to continue to carry the load port.

【図4】ロードポート搬送台車の構造を説明する図である。 4 is a diagram illustrating the structure of the load port transport carriage.

【図5】上下移動機構の構造を説明する図である。 5 is a diagram illustrating the structure of a vertical movement mechanism.

【図6】本発明の一実施形態によるロードポートの構造を説明する図である。 6 is a diagram illustrating the structure of a load port according to an embodiment of the present invention.

【図7】ロードポートの内部機器の収納状態を説明する図である。 FIG. 7 is a diagram for explaining a storage state of the internal equipment of the load port.

【図8】ロードポートと移載機との連結部の構造を説明する図である。 8 is a diagram illustrating the structure of the connecting portion between the load port and the transfer device.

【図9】ロードポート搬送台車がロードポートをリフトアップした状態をロードポートの背面側から見た斜視図である。 9 is a perspective view of the load port conveyance carriage saw while lifting up the load port from the back side of the load port.

【図10】ロードポート搬送台車に給電を行う場合の構成を制御する図である。 10 is a diagram for controlling the configuration of the case where the power supply to the load port transport carriage.

【図11】給電ボックス内の電極構造を説明する図である。 11 is a diagram illustrating an electrode structure of the power supply box.

【図12】ロードポートとロードポート搬送台車のアームとの係合に関する他の実施形態を説明する図であ。 [12] FIG der illustrating another embodiment relating to the engagement of the arm of the load port and the load port conveyance carriage.

【図13】本発明の他の実施形態によるロードポートの構造を説明する図である。 13 is a diagram illustrating the structure of a load port according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

11 ロードポート 12 ウェハキャリア蓋開閉板 13 ウェハキャリア 14 移載機 15 制御ユニット 16 ディスプレイ 17 操作卓 18 監視ランプ 19 監視用窓 20 嵌合穴 21 ロードポート搬送台車 22 レール 23 アーム 24 アームスライド用ハンドル 25 アーム上下駆動用クランク 26 スライド機構 27 ロックボタン 28 台車移動用ハンドル 29 載置面 30 本体部 31 重り部 32 コ字状枠 33 アーム案内レール 34 引掛部 35 車輪 36 エレベーター軸 37、38 歯車 39 チェーン 40 歯状部 61 本体部 62 ウェハキャリア載置台 63 結合板 65 ウェハキャリア蓋開閉フック 66 ウェハキャリア載置プレート 67 前扉 68 側部切欠部 69 前部切欠部 70 固定用足部 71 車輪 72 高さ調整機構 11 load port 12 wafer carrier lid closing plate 13 wafer carrier 14 transfer machine 15 control unit 16 display 17 console 18 monitors the lamp 19 monitoring window 20 fitting hole 21 load port conveying cart 22 rails 23 arm 24 arm slide handle 25 crank arm vertically driving 26 slide mechanism 27 lock button 28 carriage moving handle 29 mounting surface 30 body 31 the weight portion 32 the U-shaped frame 33 arm guide rail 34 hook portions 35 wheels 36 lift shaft 37, 38 gear 39 chain 40 teeth 61 main body 62 wafer carrier platforms 63 coupling plate 65 wafer carrier cover opening and closing the hook 66 wafer carrier loading plate 67 before the door 68 side notch 69 front notch 70 for fixing legs 71 the wheel 72 height adjustment mechanism 73 ウェハキャリア止め具 74 ウェハキャリア押し付け具 75 操作ボタン 76 緊急停止ボタン 77 ロードポート固定具 78 操作部 79 コントロール基板 80 接続ケーブル 81 ケーブルトレー 82 接続具 83 ロードポート受け用プレート 84 移載機側フレーム 85 蓋開閉機構 86 フック 91 ベース板 92 給電ボックス 93 床ベース側電極 94 台車側電極 95 電極支持バー 96 係合部 97 ネジ穴 98 ボルト 99 係合面 73 wafer carrier stopper 74 wafer carrier pressing tool 75 operation buttons 76 Emergency stop button 77 load port fastener 78 operation unit 79 control board 80 connecting cable 81 cable tray 82 connector 83 load port receiving plate 84 transfer machine side frame 85 cover opening and closing mechanism 86 hook 91 the base plate 92 the feed box 93 bed base side electrode 94 truck side electrode 95 electrode support bar 96 engages portion 97 screw hole 98 bolt 99 engaging surface

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷口 素也 東京都千代田区神田駿河台四丁目6番地 株式会社日立製作所電子デバイス製造シス テム推進本部内 (72)発明者 和田 紀彦 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所デザイン研究所内 (72)発明者 小林 秀 東京都小平市上水本町五丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者 示野 和弘 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) inventor Taniguchi Moto也, Chiyoda-ku, Tokyo Surugadai, Kanda chome 6 address Hitachi, Ltd. electronic device manufacturing system Promotion within the headquarters (72) inventor Norihiko Wada Tokyo Kokubunji Higashikoigakubo one chome 280 address, Hitachi, Ltd. design the laboratory (72) inventor Shigeru Kobayashi Tokyo Kodaira Josuihon-cho, chome No. 20 No. 1 Co., Ltd. Hitachi semiconductor business unit (72) inventor Shimeno Kazuhiro Nakano-ku, Tokyo Higashi-Nakano Third Street No. 14 No. 20 International Electrotechnical within Co., Ltd.

Claims (11)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】移載機に搬送され、該移載機から半導体基板処理装置に搬送されるウェハを収納するウェハキャリアを保持し、前記移載機に取り付けられるロードポートにおいて、前記ロードポートに該ロードポートを搬送するロードポート搬送台車と係合する保持部を構成したことを特徴とするロードポート。 Is conveyed to 1. A transfer device holds the wafer carrier for accommodating the wafers conveyed from 該移 transfer machine in a semiconductor substrate processing apparatus, the load port is attached to the transfer machine, the load port load port, characterized in that it has a holding portion that engages the load port transport carriage for transporting the load port.
  2. 【請求項2】 移載機に搬送され、該移載機から半導体基板処理装置に搬送されるウェハを収納するウェハキャリアを保持し、前記移載機に取り付けられるロードポートにおいて、前記ロードポートを搬送するロードポート搬送台車に設けた一対のアームとの係合手段を設けたことを特徴とするロードポート。 Is conveyed to 2. A transfer device holds the wafer carrier for accommodating the wafers conveyed from 該移 transfer machine in a semiconductor substrate processing apparatus, the load port is attached to the transfer machine, the load port load port, characterized in that a engagement means with the pair of arms provided on the load port transport carriage for transporting.
  3. 【請求項3】 移載機に搬送され、該移載機から半導体基板処理装置に搬送されるウェハを収納するウェハキャリアを保持し、前記移載機に取り付けられるロードポートにおいて、ロードポートをウェハキャリアを載置する載置台と本体部とにより構成し、前記載置台と本体部との間の側面に、ロードポート搬送台車のアームに係合する係合溝としての切欠部が設けられることを特徴とするロードポート。 Is conveyed to 3. A transfer device holds the wafer carrier for accommodating the wafers conveyed from 該移 transfer machine in a semiconductor substrate processing apparatus, the load port is attached to the transfer machine, the wafer loading port constituted by the mounting table and the main body portion for mounting the carrier, a side surface between the mounting table and the main body, that the notch of the engagement groove for engaging the arm of the load port conveyance carriage is provided load port to be characterized.
  4. 【請求項4】 前記ウェハキャリアを載置する載置台の上面には、ウェハキャリア載置用プレートが設けられ、 The wherein the upper surface of the mounting table mounting the wafer carrier, wafer carrier mounting plate is provided,
    該プレートの下部には、プレートの上面部を水平に調整する調整機構を備えていることを特徴とする請求項3記載のロードポート。 The bottom of the plate, the load port according to claim 3, characterized in that it comprises an adjusting mechanism for adjusting the upper surface of the plate horizontally.
  5. 【請求項5】 ロードポートを移載機に取り付けるための固定具が、ロードポート正面側から操作可能に設けられていることを特徴とする請求項2または4記載のロードポート。 5. A fastener for attachment to the transfer machine load port, claim 2 or 4 load port according, characterized in that is provided to be operated from the load port front.
  6. 【請求項6】 前記ロードポートは、その背面に前記移載機に取り付ける結合板を有し、該結合板の上部に設けられるフックと前記固定具とにより移載機に取り付けられ、かつ、前記結合板の下部が移載機下部に突出するベース板上に乗せられることを特徴とする請求項5記載のロードポート。 Wherein said load port includes a coupling plate attached to said transfer machine to the back, attached to the transfer machine by a hook provided on an upper portion of said binding plate the fixture, and the load port according to claim 5, wherein the lower portion of the coupling plate is placed on the base plate on the projecting transfer machine lower.
  7. 【請求項7】 前記ロードポートは、その前面側底部に高さ調整可能な固定用足部を有し、この固定用足部により、ロードポート底部が前記ベース板上面の移載機が設置された設置面からの高さと同一になるように支持されることを特徴とする請求項6記載のロードポート。 Wherein said load port has its front side bottom height-adjustable fixing foot in part, this by fixing foot, is installed load port bottom transfer machine of the base plate upper surface load port according to claim 6, wherein the support is the fact to be the same as the height of the installation surface was.
  8. 【請求項8】 半導体基板処理装置におけるウェハを収納可能なウェハキャリアの蓋を開閉するロードポートを搬送するロードポート搬送台車において、ロードポートを搬入するために正面側の面が開いた本体部と、本体部の上部に設けられ、本体部の前方側にスライド可能に、 8. The load port transport carriage for transporting the load port for opening and closing the lid of the retractable wafer carrier the wafer in a semiconductor substrate processing apparatus, a main body surface of the front side is opened in order to carry the load port , provided on the upper portion of the main body portion, slidably to the front side of the main body portion,
    かつ、ロードポートに設けた係合手段に係合する一対のアームを備えたことを特徴とするロードポート搬送台車。 And, load port transport vehicle, characterized in that it comprises a pair of arms that engage the engaging means provided on the load port.
  9. 【請求項9】 前記一対のアームは、該アームを支持する部材と共に、上下方向に移動可能であることを特徴とする請求項8記載のロードポート搬送台車。 Wherein said pair of arms, together with the member for supporting the arm, load port transport carriage according to claim 8, characterized in that it is movable in the vertical direction.
  10. 【請求項10】 前記アームのスライドを人手により行うハンドルと、前記アームを人手により上下方向に移動させるための機構とが備えられることを特徴とする請求項9記載のロードポート搬送台車。 10. A handle for performing manually the slide of the arm, the load port transport carriage according to claim 9 wherein the mechanism and characterized in that is provided for moving the arm up and down manually.
  11. 【請求項11】 前記アームの上下方向への移動を、電動または移載機からのエアーにより行う機構を備えたことを特徴とする請求項9記載のロードポート搬送台車。 11. vertical movement in the direction, the load port transport carriage according to claim 9, wherein further comprising a mechanism for the air from the electric or transfer machine of the arm.
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