JPH11215869A - Linear motor - Google Patents

Linear motor

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JPH11215869A
JPH11215869A JP1183398A JP1183398A JPH11215869A JP H11215869 A JPH11215869 A JP H11215869A JP 1183398 A JP1183398 A JP 1183398A JP 1183398 A JP1183398 A JP 1183398A JP H11215869 A JPH11215869 A JP H11215869A
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electro
linear motor
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inner cylinder
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田 毅 中
Yasubumi Otsubo
坪 泰 文 大
Shinichi Yokota
田 眞 一 横
Kazuya Edamura
村 一 弥 枝
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SHIN GIJUTSU MANAGEMENT KK
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable driving with completely new mechanism, miniaturization, and more efficient driving, by installing at least a pair of electrodes forming a moving flow of electrosensitive working medium by applying a voltage. SOLUTION: In the nearly central part of a driving shaft 118, a moving member 125 is axially fixed to the driving shaft 118. An electrode 121 is made as an anode, and an electrode 122 is made as a cathode. Decanedioic acid dibutyl is used as electrosensitive working medium 123. Between an inner cylinder 114 and a lid body 116a, a gap in which the medium 123 can flow is formed. The medium 123 which is formed between an outer cylinder 112 and the inner cylinder 114 and flows in the left direction inverts the direction by the lid body 116a, and forms a moving flow from the left toward the right direction inside the inner cylinder 114, which flow moves a moving member 125 toward the right direction. When the electrode 121 is made as a cathode and the electrode 122 is made as an anode, a moving flow from the right toward the left direction is formed, and moves the moving member 125 toward the left direction. By repeating the above process, a linear motor is linearly driven.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の技術分野】本発明は、電圧を印加することによ
り電界間を移動する電気感応作動媒体(電界共役流体
(Electro-Conjugate Fluid = ECF))を用いたリニアモ
ータに関する。さらに詳しくは本発明は、上記のような
特性を有する電気感応作動媒体を用いた非常に小型のリ
ニアモータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electro-sensitive working medium (electric conjugate fluid) which moves between electric fields by applying a voltage.
(Electro-Conjugate Fluid = ECF)). More specifically, the present invention relates to a very small linear motor using an electro-sensitive working medium having the above characteristics.

【0002】[0002]

【発明の技術的背景】絶縁性の液体に電界を印加するこ
とにより液体の特性が変動することが知られている。例
えば、液晶は、電圧の印加によってその配向性が変化し
て光透過性が変動する。また、粒子などを含有する不均
一系液体に電圧を印加するとウインズロー効果によりそ
の粘度等の特性が変動することも知られている。
BACKGROUND OF THE INVENTION It is known that the properties of a liquid can be changed by applying an electric field to the insulating liquid. For example, the liquid crystal changes its orientation by the application of a voltage, and its light transmittance changes. It is also known that when a voltage is applied to a heterogeneous liquid containing particles and the like, characteristics such as viscosity change due to the Winslow effect.

【0003】しかしながら、こうした電圧印加によって
特性が変動する液体には、例えば液晶化合物のように極
めて高価であったり、不均一系液体のように液体の分散
安定性が悪い等の問題があった。
However, liquids whose characteristics fluctuate due to the application of a voltage have problems such as extremely expensive liquid crystal compounds and poor dispersion stability of liquids such as heterogeneous liquids.

【0004】本発明者は、特定の液体に電圧を印加する
ことにより、特定の流体が移動するという新たな電気感
応効果を見い出し、この特定の液体(電気感応作動媒
体)およびこの電気感応作動媒体を用いたモーターにつ
いて既に出願している(特願平816871号、特願平
8−16872号、特願平8−76259号、特願平8
−248417号、特願平8−241679号等の明細
書参照)。これらの明細書に記載されているマイクロモ
ータは、小型化することにより、その出力パワー密度が
高くなる。
The present inventor has found a new electro-sensitive effect that a specific fluid moves by applying a voltage to a specific liquid, and the specific liquid (electro-sensitive working medium) and the electro-sensitive working medium (Japanese Patent Application Nos. 816871, 8-16872, 8-76259, and 8).
248417, Japanese Patent Application No. 8-241679, etc.). The output power density of the micromotors described in these specifications is increased by miniaturization.

【0005】しかしながら、上記の明細書に開示したモ
ータは、ロータを回転させるタイプのモータであり、所
謂線状に駆動するリニアモータについては開示されてい
ない。
[0005] However, the motor disclosed in the above specification is of a type that rotates a rotor, and does not disclose a linear motor that is driven in a linear manner.

【0006】[0006]

【発明の目的】本発明は直流電圧を印加することにより
電気感応作動媒体を流動させて、この電気感応作動媒体
の流動によって線状に駆動する非常に小型のリニアモー
タを提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a very small linear motor in which an electro-sensitive working medium is caused to flow by applying a DC voltage, and is driven linearly by the flow of the electro-sensitive working medium. I have.

【0007】[0007]

【発明の概要】本発明のリニアモータは、電気感応作動
媒体と、該電気感応作動媒体を密封して収容する媒体収
容部と、該媒体収容部から導出された駆動軸と、該駆動
軸に固定され、該電気感応作動媒体の移動流によって媒
体収容部内を該駆動軸と共に線状に移動する移動部材
と、電圧印加によって該電気感応作動媒体の移動流を形
成する少なくとも1対の電極とを備えていることを特徴
としている。
SUMMARY OF THE INVENTION A linear motor according to the present invention comprises an electro-sensitive operating medium, a medium accommodating portion for sealingly accommodating the electro-sensitive operating medium, a drive shaft extending from the medium accommodating portion, and a drive shaft. A moving member which is fixed and moves linearly in the medium accommodating portion together with the drive shaft by the moving flow of the electro-sensitive working medium, and at least one pair of electrodes forming a moving flow of the electro-sensitive working medium by applying a voltage; It is characterized by having.

【0008】本発明のリニアモータは、その電極の敷設
位置によってSE型ECFリニアモータ(Stator-electr
ode type electro-conjugate fluid linear motor)とP
E型ECFリニアモータ(Piston-electrode type elect
ro-conjugate fluid linearmotor)およびこれらのCE
型ECFリニアモータ(Complex-electrode type electr
o-conjugate fluid linear motor)に大別される。
[0008] The linear motor of the present invention has a SE-ECF linear motor (Stator-electr
ode type electro-conjugate fluid linear motor) and P
E-type ECF linear motor (Piston-electrode type elect
ro-conjugate fluid linearmotor) and their CE
Type ECF linear motor (Complex-electrode type electr
o-conjugate fluid linear motor).

【0009】SE型ECFリニアモータは、上記媒体収
容部が、外筒体と、内筒体とを備えており、外筒体と内
筒体との間に、電気感応作動媒体に非一様電界を形成す
る電極が形成されてなり、該コイル状電極に電圧を印加
して外筒体と内筒体との間に形成された電気感応作動媒
体の移動流を内筒内に導入して、該内筒体内に該内筒体
の移動部材を移動させることにより駆動する。
In the SE-type ECF linear motor, the medium accommodating portion includes an outer cylinder and an inner cylinder, and a non-uniform electric sensitive working medium is provided between the outer cylinder and the inner cylinder. An electrode for forming an electric field is formed, and a voltage is applied to the coiled electrode to introduce a moving flow of the electro-sensitive working medium formed between the outer cylinder and the inner cylinder into the inner cylinder. It is driven by moving a moving member of the inner cylinder into the inner cylinder.

【0010】PE型ECFリニアモータは、上記移動部
材が、電気感応作動媒体が流動可能な少なくとも一対の
多孔質部材からなり、該一対の多孔質部材が駆動軸に電
気的に絶縁されて固定されていると共に、該多孔質部材
に電圧を印加して、電気感応作動媒体に非一様電界を形
成して移動流を形成し、該電気感応作動媒体の移動流の
反作用により該多孔質部材を駆動軸と共に媒体収容部内
を移動させることにより駆動するリニアモータである。
[0010] In the PE-type ECF linear motor, the moving member includes at least a pair of porous members through which the electro-sensitive working medium can flow, and the pair of porous members are electrically insulated and fixed to the drive shaft. And applying a voltage to the porous member to form a moving flow by forming a non-uniform electric field in the electro-sensitive working medium, and reacting the porous member by a reaction of the moving flow of the electro-sensitive working medium. This is a linear motor that is driven by moving inside the medium accommodating section together with the drive shaft.

【0011】CE型ECFリニアモータは、SE型EC
FリニアモータとPE型ECFリニアモータとを組み合
わせたタイプであり、たとえば上記媒体収容部が、外筒
体と内筒体とを備えてなり、該内筒体内に電気感応作動
媒体に非一様電界を形成し得ると共に電極の極性反転可
能な少なくとも一対の電極が配置されており、該内筒体
と外筒体との間に、上記電極に電圧を印加することによ
り生ずる電気感応作動媒体の移動に伴って移動する移動
部材を有し、該移動部材は、上記媒体収容部から導出さ
れている駆動軸と一体化されているリニアモータであ
る。
The CE type ECF linear motor is an SE type EC
This is a type in which an F linear motor and a PE-type ECF linear motor are combined. For example, the medium storage portion includes an outer cylindrical body and an inner cylindrical body, and a non-uniform electric sensitive working medium is provided in the inner cylindrical body. At least one pair of electrodes capable of forming an electric field and capable of reversing the polarity of the electrodes are arranged, and between the inner cylinder and the outer cylinder, an electro-sensitive working medium generated by applying a voltage to the electrodes is provided. It has a moving member that moves with the movement, and the moving member is a linear motor that is integrated with a drive shaft that is derived from the medium storage unit.

【0012】一般に絶縁性流体に直流電圧を印加しても
印加電圧が絶縁性流体に作用して流体移動等が生ずると
は考えられていない。しかし、本発明者は、絶縁性媒体
として知られている流体群の一部や、ある種の有機化合
物に直流電圧を印加すると、該流体が流動することを確
認した。こうして流動する流体の運動エネルギーを取り
出すことができれば、機械的な要素を用いることなく電
気エネルギーを運動エネルギーとして利用することがで
きる。
Generally, it is not considered that even if a DC voltage is applied to an insulating fluid, the applied voltage acts on the insulating fluid to cause fluid movement or the like. However, the present inventor has confirmed that when a DC voltage is applied to a part of a group of fluids known as insulating media or certain organic compounds, the fluid flows. If the kinetic energy of the flowing fluid can be extracted in this manner, the electric energy can be used as the kinetic energy without using any mechanical element.

【0013】本発明のリニアモータは、直流電圧を印加
した際に電気感応作動媒体の流動エネルギーをピストン
のような移動部材の線状運動エネルギーとして取り出し
たものである。
In the linear motor of the present invention, when a DC voltage is applied, the flow energy of the electro-sensitive working medium is extracted as linear kinetic energy of a moving member such as a piston.

【0014】[0014]

【発明の具体的説明】次に本発明のリニアモータについ
て具体的に説明する。本発明のリニアモータは、電気感
応作動媒体と、電気感応作動媒体を密封して収容する媒
体収容部と、媒体収容部から導出された駆動軸と、駆動
軸に固定され、該電気感応作動媒体の移動流を受けて媒
体収容部内を該駆動軸と共に線状に移動する移動部材
と、電圧印加によって該電気感応作動媒体の移動流を形
成する少なくとも1対の電極とを有する。
Next, the linear motor of the present invention will be described in detail. The linear motor according to the present invention includes an electro-sensitive operating medium, a medium housing portion for hermetically housing the electro-sensitive operating medium, a drive shaft extending from the medium housing portion, and a drive shaft fixed to the drive shaft. A moving member that linearly moves in the medium accommodating section together with the drive shaft in response to the moving flow of at least one of the electrodes, and at least one pair of electrodes that form a moving flow of the electro-sensitive working medium by applying voltage.

【0015】本発明で用いる電気感応作動媒体は、印加
電圧に応じて電極間に移動流を形成可能な液体である。
ここで使用される電気感応作動媒体は、印加電圧に応じ
て電極間に移動流を形成することができる使用温度にお
いて液体の有機化合物であり、この有機化合物は実質的
に絶縁性である。
The electro-sensitive working medium used in the present invention is a liquid capable of forming a moving flow between the electrodes according to the applied voltage.
The electro-sensitive working medium used here is an organic compound which is liquid at a working temperature capable of forming a moving flow between the electrodes in response to an applied voltage, and the organic compound is substantially insulating.

【0016】このような化合物は、通常は、分子内に少
なくとも1個のエステル結合を有する化合物である。本
発明において電気感応作動媒体として用いられる上記の
ような特性を有する化合物の例を以下に示す。
Such a compound is usually a compound having at least one ester bond in the molecule. Examples of compounds having the above-mentioned properties used as the electro-sensitive working medium in the present invention are shown below.

【0017】(1) ジブチルアジペート(DBA) (2) トリブチルシトレート(TBC) (3) モノブチルマレエート(MBM) (4) ジアリルマレエート(DAM) (5) ジメチルフタレート(DMP) (6) トリアセチン(Triacetin)(1) Dibutyl adipate (DBA) (2) Tributyl citrate (TBC) (3) Monobutyl maleate (MBM) (4) Diallyl maleate (DAM) (5) Dimethyl phthalate (DMP) (6) Triacetin

【0018】[0018]

【化1】 Embedded image

【0019】(7) エチルセルソルブアセテート (8) 酢酸-2-(2-エトキシエトキシ)エチル (9) 1,2-ジアセトキシエタン (10) トリエチレングリコールジアセテート (11) ブチルセロソルブアセテート (12) ブチルカルビトールアセテート (13) 3-メトキシ-3-メチルブチルアセテート(ソルフ
ィットAC) (14) フマル酸ジブチル(DBF) (15) 2-エチルヘキシルベンジルフタレート(商品名;
プラサイザーB-8) (17) プロピレングリコールメチルエーテルアセテート
(PMA)
(7) Ethyl cellosolve acetate (8) 2- (2-ethoxyethoxy) ethyl acetate (9) 1,2-diacetoxyethane (10) Triethylene glycol diacetate (11) Butyl cellosolve acetate (12) Butyl carbitol acetate (13) 3-Methoxy-3-methylbutyl acetate (Solfit AC) (14) Dibutyl fumarate (DBF) (15) 2-Ethylhexylbenzyl phthalate (trade name;
Plasizer B-8) (17) Propylene glycol methyl ether acetate (PMA)

【0020】[0020]

【化2】 Embedded image

【0021】(18) メチルアセチルリシノレート(MA
R−N)
(18) Methyl acetyl ricinoleate (MA
RN)

【0022】[0022]

【化3】 Embedded image

【0023】(19) 2-エチルヘキシルパルミテート(商
品名;エキセパールEH-P) (20) ジブチルイタコネート(DBI)
(19) 2-Ethylhexyl palmitate (trade name: Exepearl EH-P) (20) Dibutyl itaconate (DBI)

【0024】[0024]

【化4】 Embedded image

【0025】(21) ポリエチレングリコールモノオレエ
ート(商品名;エマノーン4110) (22) ブチルステアレート(商品名;エキセパールB
S) (23) 2,2,4-トリメチル-1,3-ペンタンジオールジイソ
ブチレート(商品名:キョウワノールD)
(21) Polyethylene glycol monooleate (trade name: Emanone 4110) (22) Butyl stearate (trade name: Exepearl B)
S) (23) 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol diisobutyrate (trade name: Kyowanol D)

【0026】[0026]

【化5】 Embedded image

【0027】(24) 2,2,4-トリメチル-1,3-ペンタンジ
オールモノイソブチレート(商品名;キョウワノール
M) (25) プロピレングリコールモノエチルエーテル (26) プロピレングリコールエチルエーテルアセテート
(商品名;BP-エトキシプロピルアセテート)
(24) 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol monoisobutyrate (trade name; Kyowanol M) (25) propylene glycol monoethyl ether (26) propylene glycol ethyl ether acetate (product Name: BP-ethoxypropyl acetate)

【0028】[0028]

【化6】 Embedded image

【0029】(27) 9,10-エポキシブチルステアレート
(商品名:サンソサイザーE-4030)
(27) 9,10-epoxybutyl stearate (trade name: Sansocizer E-4030)

【0030】[0030]

【化7】 Embedded image

【0031】(28) テトラヒドロフタル酸ジオクチルエ
ステル(商品名:サンソサイザーDOTP) (29) トリブチルホスフェート(TBP) (30) トリブトキシエチルホスフェート(TBXP) (31) トリス(クロロエチル)ホスフェート(CLP) (32) 2-メチルアセト酢酸エチル (33) 1-エトキシ-2-アセトキシプロパン (34) 2-(2,2-ジクロロビニル)-3,3-ジメチルシクロプ
ロパンカルボキシリックアシッドメチルエステル(DC
M−40)
(28) Dioctyl tetrahydrophthalate (trade name: Sansocizer DOTP) (29) Tributyl phosphate (TBP) (30) Tributoxyethyl phosphate (TBXP) (31) Tris (chloroethyl) phosphate (CLP) (32) ) Ethyl 2-methylacetoacetate (33) 1-ethoxy-2-acetoxypropane (34) 2- (2,2-dichlorovinyl) -3,3-dimethylcyclopropanecarboxylic acid methyl ester (DC
M-40)

【0032】[0032]

【化8】 Embedded image

【0033】(35) リナリルアセテート(35) Linalyl acetate

【0034】[0034]

【化9】 Embedded image

【0035】(36) デカン二酸ジブチル (37) 商品名;キョウワノール-M:商品名;エキセパ
ールEH-P=1:4混合物(キョウワノール-M=2,2,4-ト
リメチル-1,3,-ペンタンジオールモノイソブチレート エキセパールEH-P=2-エチルヘキシルパルミテート (38) DAM:商品名;エキセパールBS=1:4混合物 DAM=ジアリルマレエート エキセパールBS=ブチルステアレート (39) ドデカン二酸ジブチル(Bu-OCO-(CH2)5-CH(Bu)-
COO-Bu)(DBDD) (40) ドコサン二酸ジブチル[Bu-OCO-(CH2)6-CH(CH3)
-(CH2)4-CH(CH3)-(CH2)6-COO-Bu]。
(36) Dibutyl decandioate (37) Trade name; Kyowanol-M: trade name; Exepearl EH-P = 1: 4 mixture (Kyouwanol-M = 2,2,4-trimethyl-1,3) , -Pentanediol monoisobutyrate Exepal EH-P = 2-Ethylhexyl palmitate (38) DAM: Trade name; Exepal BS = 1: 4 mixture DAM = Diallyl maleate Exeparal BS = Butyl stearate (39) Dodecane diacid Dibutyl (Bu-OCO- (CH 2 ) 5 -CH (Bu)-
COO-Bu) (DBDD) (40) Dibutyl docosantioate [Bu-OCO- (CH 2 ) 6 -CH (CH 3 )
- (CH 2) 4 -CH ( CH 3) - (CH 2) 6 -COO-Bu].

【0036】上記のような化合物は単独であるいは組み
合わせて使用することができる。このような化合物につ
いて、例えば25℃における導電率および粘度を測定す
ると下記表1に記載するような値を示す。
The above compounds can be used alone or in combination. For example, the conductivity and viscosity of such a compound at 25 ° C. are measured and the values are as shown in Table 1 below.

【0037】[0037]

【表1】 [Table 1]

【0038】そして、本発明で用いる電気感応作動媒体
としては、使用温度における導電率および粘度が下記特
定の範囲内にある化合物あるいは混合物を用いることが
好ましい。
As the electro-sensitive working medium used in the present invention, it is preferable to use a compound or a mixture whose electric conductivity and viscosity at the operating temperature are within the following specific ranges.

【0039】すなわち、上記化合物を含め、所謂絶縁性
液体と称される液体について、電界強度2kVmm-1、温度
25℃おける電気導電率σと粘度ηを測定すると、図1
に示されるように分布する。
That is, when the electric conductivity σ and the viscosity η at a field strength of 2 kVmm -1 and a temperature of 25 ° C. are measured for a liquid called an insulating liquid including the above compound, FIG.
Are distributed as shown in FIG.

【0040】本発明において、電気感応作動媒体として
使用される化合物は、縦軸が粘度であり、横軸が導電率
であるグラフ(図1)において、この電気感応作動媒体
が使用される温度において、下記の点P、点Q、点Rを
頂点とする直角三角形の内部に位置する粘度および導電
率を有する化合物であることが好ましく、または、電気
感応作動媒体を二種類以上混合して使用する場合には、
この三角形の内部に位置する粘度および導電率を有する
ように調製された二種類以上の化合物からなる混合物で
あることが好ましい。
In the present invention, the compound used as the electro-sensitive working medium has a viscosity on the vertical axis and a conductivity on the horizontal axis (FIG. 1). It is preferable that the compound is a compound having viscosity and conductivity located inside a right triangle having the following points P, Q and R as vertices, or a mixture of two or more kinds of electro-sensitive working media. in case of,
It is preferably a mixture of two or more compounds prepared to have a viscosity and conductivity located inside the triangle.

【0041】[0041]

【表2】 [Table 2]

【0042】上記表2において点P0、点Q0、点R
0は、本発明で使用される電気感応作動媒体において特
に好ましい範囲を示すものである。本発明で用いる電気
感応作動媒体として好ましい化合物の具体例を以下に示
す。
In the above Table 2, the points P 0 , Q 0 , R
0 indicates a particularly preferred range in the electro-sensitive working medium used in the present invention. Specific examples of preferred compounds as the electro-sensitive working medium used in the present invention are shown below.

【0043】(1) ジブチルアジペート(DBA)
(σ=3.01×10-9S/m,η=3.5×10-3Pa・s)、 (6) トリアセチン(Triacetin)(σ=3.64×1
0-9S/m,η=1.4×10-2Pa・s)、 (11) ブチルセロソルブアセテート(σ=2.10×
10-8S/m,η=7.0×10-4Pa・s)、 (12) ブチルカルビトールアセテート(σ=5.20
×10-8S/m,η=1.7×10-3Pa・s)、 (13) 3-メトキシ-3-メチルブチルアセテート(ソル
フィットAC)(σ=8.30×10-8S/m,η=6.0×10
-4Pa・s)、 (14) フマル酸ジブチル(DBF)(σ=2.65×
10-9S/m,η=3.5×10-3Pa・s)、 (17) プロピレングリコールメチルエーテルアセテー
ト(PMA)(σ=1.56×10-7S/m,η=6.0×10-4
Pa・s)、 (18) メチルアセチルリシノレート(MAR−N)
(σ=1.30×10-8S/m,η=1.3×10-2Pa・s)、 (20) ジブチルイタコネート(DBI)(σ=1.4
6×10-8S/m,η=3.5×10-3Pa・s)、 (23) 2,2,4-トリメチル-1,3-ペンタンジオールジイ
ソブチレート(商品名:キョウワノールD)(σ=6.2
4×10-9S/m,η=4.0×10-3Pa・s)、 (26) プロピレングリコールエチルエーテルアセテ
ート(商品名;BP-エトキシプロピルアセテート)
(σ=3.10×10-8S/m,η=6.0×10-4Pa・s)、 (27) 9,10-エポキシブチルステアレート(商品名:
サンソサイザーE-4030)(σ=5.46×10-9S/m,
η=2.0×10-2Pa・s)、 (28) テトラヒドロフタル酸ジオクチルエステル(商
品名:サンソサイザーDOTP)(σ=6.20×10-10S
/m,η=4.0×10-2Pa・s)、 (33) 1-エトキシ-2-アセトキシプロパン(σ=4.
41×10-7S/m,η=4.0×10-4Pa・s)、 (35) リナリルアセテート(σ=1.82×10-9S/m,
η=1.3×10-3Pa・s) (36) デカン二酸ジブチル(σ=1.40×10-9S/m,
η=7.0×10-3Pa・s) (39) ドデカン二酸ジブチル(DBDD)(σ=5.2
×10-9S/m,η=9.3 ×10-3Pa・s) (40) ドコサン二酸ジブチル(σ=1.04 ×10-9S/
m,η=2.5 ×10-2Pa・s) さらに、本発明で使用される電気感応作動媒体として複
数の媒体を組み合わせて使用する場合には、組み合わせ
た結果として得られる混合物の導電率および粘度が、図
1において、点P、点Qおよび点Rで規定される三角形
の内部になるようにすれば、好ましく使用することがで
きる。
(1) Dibutyl adipate (DBA)
(Σ = 3.01 × 10 −9 S / m, η = 3.5 × 10 −3 Pa · s), (6) Triacetin (σ = 3.64 × 1
0 -9 S / m, η = 1.4 × 10 -2 Pa · s), (11) Butyl cellosolve acetate (σ = 2.10 ×
10 −8 S / m, η = 7.0 × 10 −4 Pa · s), (12) Butyl carbitol acetate (σ = 5.20)
× 10 −8 S / m, η = 1.7 × 10 −3 Pa · s), (13) 3-methoxy-3-methylbutyl acetate (Solfit AC) (σ = 8.30 × 10 −8 S) /m,η=6.0×10
-4 Pa · s), (14) Dibutyl fumarate (DBF) (σ = 2.65 ×
10 −9 S / m, η = 3.5 × 10 −3 Pa · s), (17) Propylene glycol methyl ether acetate (PMA) (σ = 1.56 × 10 −7 S / m, η = 6. 0 × 10 -4
Pa · s), (18) Methyl acetyl ricinoleate (MAR-N)
(Σ = 1.30 × 10 −8 S / m, η = 1.3 × 10 −2 Pa · s), (20) dibutyl itaconate (DBI) (σ = 1.4
6 × 10 −8 S / m, η = 3.5 × 10 −3 Pa · s), (23) 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol diisobutyrate (trade name: Kyowanol D) ) (Σ = 6.2)
4 × 10 −9 S / m, η = 4.0 × 10 −3 Pa · s), (26) Propylene glycol ethyl ether acetate (trade name: BP-ethoxypropyl acetate)
(Σ = 3.10 × 10 −8 S / m, η = 6.0 × 10 −4 Pa · s), (27) 9,10-epoxybutyl stearate (trade name:
Sansocizer E-4030) (σ = 5.46 × 10 -9 S / m,
η = 2.0 × 10 −2 Pa · s), (28) Dioctyl tetrahydrophthalate (trade name: Sansocizer DOTP) (σ = 6.20 × 10 −10 S)
/ m, η = 4.0 × 10 −2 Pa · s), (33) 1-ethoxy-2-acetoxypropane (σ = 4.0.
41 × 10 −7 S / m, η = 4.0 × 10 −4 Pa · s), (35) linalyl acetate (σ = 1.82 × 10 −9 S / m,
η = 1.3 × 10 −3 Pa · s) (36) Dibutyl decandioate (σ = 1.40 × 10 −9 S / m,
η = 7.0 × 10 −3 Pa · s) (39) Dibutyl dodecandioate (DBDD) (σ = 5.2
× 10 -9 S / m, η = 9.3 × 10 -3 Pa · s) (40) Dibutyl docosantioate (σ = 1.04 × 10 -9 S / m)
m, η = 2.5 × 10 −2 Pa · s) Furthermore, when a plurality of media are used in combination as the electro-sensitive working medium used in the present invention, the conductivity of the mixture obtained as a result of the combination is used. If the viscosity is within the triangle defined by points P, Q and R in FIG. 1, it can be preferably used.

【0044】即ち、上記導電率と粘度との関係は、それ
ぞれの化合物の導電率および/または粘度が上記範囲内
にない化合物であっても、複数の化合物を混合して、こ
の混合物の導電率と粘度が上記範囲内になれば、電気感
応作動媒体として好適に使用することができる。
That is, the relationship between the conductivity and the viscosity is such that, even if the conductivity and / or viscosity of each compound is not within the above range, a plurality of compounds are mixed and the conductivity of the mixture is determined. When the viscosity is within the above range, the composition can be suitably used as an electro-sensitive working medium.

【0045】例えば、どちらも導電率および粘度が上記
範囲内にない2,2,4-トリメチル-1,3-ペンタンジオール
モノイソブチレート(商品名;キョウワノールM)(σ
=6.80×10-8S/m,η=1.2×10-2Pa・s)と、2-エ
チルヘキシルパルミテート(商品名;エキセパールEH
−P)(σ=2.60×10-10S/m,η=9.5×10-3Pa・
s)とを、1:4の重量比で混合した混合物(σ=2.6
0×10-9S/m,η=9.8×10-3Pa・s)は、本発明で使用
される電気感応作動媒体として好適に使用することがで
き、またどちらも導電率および粘度が上記範囲内にない
DAM(Diallyl Maleate)(σ=7.8×10-7S/m,η=
2.5×10-3Pa・s)と、ブチルステアレート(商品名;
エキセパールBS)(σ=3.1×10-10S/m,η=8.5
×10-3Pa・s)とを、1:4の重量比で混合した混合物
(σ=4.17×10-9S/m,η=5.0×10-3Pa・s)も電
気感応作動媒体として好適に使用することができる。
For example, neither 2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediol monoisobutyrate (trade name; Kyowanol M) (σ
= 6.80 × 10 −8 S / m, η = 1.2 × 10 −2 Pa · s) and 2-ethylhexyl palmitate (trade name: Exepearl EH)
−P) (σ = 2.60 × 10 −10 S / m, η = 9.5 × 10 −3 Pa ·
s) with a 1: 4 weight ratio (σ = 2.6).
0 × 10 −9 S / m, η = 9.8 × 10 −3 Pa · s) can be suitably used as the electro-sensitive working medium used in the present invention. Is not within the above range, DAM (Diallyl Maleate) (σ = 7.8 × 10 −7 S / m, η =
2.5 × 10 -3 Pa · s) and butyl stearate (trade name;
Exepearl BS) (σ = 3.1 × 10 −10 S / m, η = 8.5)
× 10 −3 Pa · s) in a weight ratio of 1: 4 (σ = 4.17 × 10 −9 S / m, η = 5.0 × 10 −3 Pa · s). It can be suitably used as a sensitive working medium.

【0046】さらに、電気感応作動媒体は、本発明にお
いて使用される温度において、上記の導電率および粘度
を有していればよく、25℃においては上記三角形の内
部に位置しない化合物であっても、この使用温度におい
て、導電率および粘度が上記三角形の内部にあれば好適
に使用することができる。
Further, the electro-sensitive working medium only needs to have the above-mentioned conductivity and viscosity at the temperature used in the present invention, and even if it is a compound which is not located inside the above-mentioned triangle at 25 ° C. At this use temperature, if the conductivity and the viscosity are within the above triangle, it can be suitably used.

【0047】このような電気感応作動媒体は、他の物質
を配合することを特に必要とするものではないが、この
電気感応作動媒体に、安定剤、高分子分散剤、界面活性
剤あるいは高分子増粘剤などの添加物を配合することが
できる。さらに、電気感応作動媒体は、導電率および粘
度が上記三角形の内部にあれば、エステル基を有しない
化合物であっても使用することが可能である。
Although such an electro-sensitive working medium does not particularly require the addition of another substance, a stabilizer, a polymer dispersant, a surfactant or a polymer may be added to the electro-sensitive working medium. Additives such as thickeners can be included. Furthermore, as long as the electro-sensitive working medium has a conductivity and a viscosity within the above triangle, even a compound having no ester group can be used.

【0048】本発明のリニアモータでは上記のような電
気感応作動媒体を使用する。このような構成を有する本
発明のリニアモータの内、まずSE型ECFリニアモー
タについて説明する。
The above-described electro-sensitive working medium is used in the linear motor of the present invention. Among the linear motors of the present invention having such a configuration, the SE type ECF linear motor will be described first.

【0049】図2は、本発明のSE型ECFリニアモー
タの断面を模式的に示す図であり、図3は、このSE型
ECFリニアモータで使用するコイル状電極の例を模式
的に示す図である。
FIG. 2 is a diagram schematically showing a cross section of the SE-type ECF linear motor of the present invention, and FIG. 3 is a diagram schematically showing an example of a coiled electrode used in the SE-type ECF linear motor. It is.

【0050】本発明のSE型ECFリニアモータは、上
記のような電気感応作動媒体に非一様電界が形成される
ように電極を配置して、電気感応作動媒体の移動流を形
成し、この移動流を移動部材(ピストン)で受けて線状
運動として取り出すものである。
In the SE-type ECF linear motor of the present invention, the electrodes are arranged so that a non-uniform electric field is formed in the above-described electro-sensitive working medium to form a moving flow of the electro-sensitive working medium. The moving flow is received by a moving member (piston) and taken out as a linear motion.

【0051】このSE型ECFリニアモータは、媒体収
容部110が、外筒体112と、この外筒体112の内
部に設けられた内筒体114とを有する。この外筒体1
12の両端部は、蓋体116a,116bがはめ込まれ
ている。また、この蓋体116a,116bの中心部に
は、駆動軸118が貫通する貫通孔120が形成されて
いる。内筒体112の両端部と、蓋体116a,116
bとの内周面との間には、電気感応作動媒体123が流
動可能なように間隙が形成されている。
In the SE-type ECF linear motor, the medium accommodating section 110 has an outer cylinder 112 and an inner cylinder 114 provided inside the outer cylinder 112. This outer cylinder 1
The lids 116a and 116b are fitted into both ends of the twelve. Further, a through hole 120 through which the drive shaft 118 passes is formed at the center of the lids 116a and 116b. Both ends of the inner cylinder 112 and the lids 116a, 116
A gap is formed between b and the inner peripheral surface so that the electro-sensitive working medium 123 can flow.

【0052】そして、外筒体112と内筒体114との
間には、図3に示すようなコイル状電極121,122
が装填されている。コイル状電極121,122は、内
筒体114を包み込むように内筒体114の周囲に巻回
されており、かつ電極121と電極122とは電気的に
絶縁されている。このコイル状電極121とコイル状電
極122とは、電気感応作動媒体123に非一様電界を
形成することができるように配置されている。電気感応
作動媒体123に非一様電界を形成するためには、コイ
ル状電極121,122を相互に均等に配置せず、図3
に示すように、電極121と電極122との間隔を狭め
て対とし、となりの電極121と電極122の対との間
隔を広くする配置が有利である。図3には、対となる電
極間間隔を2mmとし、対とならない電極間間隔を4mmと
することにより電気感応作動媒体123に非一様電界を
形成する例を示した。このように配置された電極の一端
部は、外部から電圧の印加が可能なように、媒体収容部
110の外部に導出されている。
Then, between the outer cylinder 112 and the inner cylinder 114, there are coiled electrodes 121, 122 as shown in FIG.
Is loaded. The coiled electrodes 121 and 122 are wound around the inner cylinder 114 so as to surround the inner cylinder 114, and the electrodes 121 and 122 are electrically insulated. The coil-shaped electrode 121 and the coil-shaped electrode 122 are arranged so that a non-uniform electric field can be formed in the electro-sensitive working medium 123. In order to form a non-uniform electric field in the electro-sensitive working medium 123, the coiled electrodes 121 and 122 are not arranged evenly with each other, and FIG.
As shown in (1), it is advantageous that the distance between the electrode 121 and the electrode 122 is reduced to form a pair and the distance between the adjacent electrode 121 and the electrode 122 is increased. FIG. 3 shows an example in which a non-uniform electric field is formed in the electro-sensitive working medium 123 by setting the interval between the paired electrodes to 2 mm and the interval between the unpaired electrodes to 4 mm. One end of the electrode arranged as described above is led out of the medium accommodating section 110 so that a voltage can be applied from the outside.

【0053】駆動軸118のほぼ中央部には、移動部材
(ピストン)125が駆動軸118に軸着されており、
この移動部材125は電気感応作動媒体123の移動流
を受けて、内筒体114内を駆動軸118と共に左右に
移動可能に形成されている。
At substantially the center of the drive shaft 118, a moving member (piston) 125 is mounted on the drive shaft 118.
The moving member 125 is formed so as to receive the moving flow of the electro-sensitive operating medium 123 and to be able to move right and left in the inner cylinder 114 together with the drive shaft 118.

【0054】上記のような電極121を陽極とし、電極
122を負極とし、電気感応作動媒体123としてデカ
ン二酸ジブチルを用いた場合、外筒体112と内筒体1
14との間にある電気感応作動媒体123は、矢印方向
(左方向)に向かう移動流を形成する。内筒体114と
蓋体116aとの間には電気感応作動媒体123が流通
可能な間隙が形成されていることから、外筒体112と
内筒体114との間で形成された左方向に流れる電気感
応作動媒体123は、蓋体116aによってその向きを
反転して、内筒体114の内側に左から右方向に向かう
移動流を形成して、移動部材125を右方向に移動させ
る。
When the electrode 121 is used as an anode, the electrode 122 is used as a negative electrode, and dibutyl decanoate is used as the electro-sensitive working medium 123, the outer cylinder 112 and the inner cylinder 1
14, the electro-sensitive working medium 123 forms a moving flow in the direction of the arrow (left direction). Since a gap through which the electro-sensitive working medium 123 can flow is formed between the inner cylinder 114 and the lid 116a, a leftward direction formed between the outer cylinder 112 and the inner cylinder 114 is formed. The direction of the flowing electro-sensitive operating medium 123 is reversed by the lid 116 a to form a moving flow from the left to the right inside the inner cylinder 114, thereby moving the moving member 125 to the right.

【0055】次いで、上記とは逆に、電極121を負極
とし、電極122を陽極とすると、内筒体114と外筒
体112との間にある電気感応作動媒体123は、左か
ら右方向への流れを形成して内筒体114と外筒体11
2との間を移動し、蓋体116bによってその流れ方向
は反転して内筒体114の筒内を右から左方向に向かう
移動流を形成し、移動部材125を左方向に移動させ
る。
Next, contrary to the above, when the electrode 121 is a negative electrode and the electrode 122 is an anode, the electro-sensitive working medium 123 between the inner cylinder 114 and the outer cylinder 112 moves from left to right. Of the inner cylinder 114 and the outer cylinder 11
2, the flow direction is reversed by the lid 116b to form a moving flow from the right to the left in the cylinder of the inner cylinder 114, and the moving member 125 is moved to the left.

【0056】上記のような操作を繰り返すことにより、
本発明のSE型ECFリニアモータは、線状に駆動す
る。上記のようなSE型ECFリニアモータにおいて、
図4に示すように、コイル状電極と移動体とを逆にして
もよい。
By repeating the above operation,
The SE type ECF linear motor of the present invention drives linearly. In the SE type ECF linear motor as described above,
As shown in FIG. 4, the coiled electrode and the moving body may be reversed.

【0057】すなわち、図4に示すSE型ECFリニア
モータでは、媒体収容部110は、外筒体112、内筒
体114、蓋体116a,116bで形成されている
が、コイル状電極121,122は、内筒体114の内
周壁面に形成されている。そして、内筒体114と外筒
体112との間には、リング状の移動部材125aが配
置されており、このリング状移動部材125aは、駆動
軸118から分岐した補助駆動軸118a,118aによ
って支持されている。
That is, in the SE-ECF linear motor shown in FIG. 4, the medium accommodating portion 110 is formed by the outer cylinder 112, the inner cylinder 114, and the lids 116a and 116b. Is formed on the inner peripheral wall surface of the inner cylinder 114. A ring-shaped moving member 125a is disposed between the inner cylinder 114 and the outer cylinder 112, and the ring-shaped moving member 125a is moved by auxiliary driving shafts 118a and 118a branched from the driving shaft 118. Supported.

【0058】なお、図4において、図2に示すSE型E
CFリニアモータと共通する部材には同一の付け番を賦
してある。上記のようなSE型ECFリニアモータにデ
カン二酸ジブチルのような電気感応作動媒体123を充
填し、上記図4に示すコイル状電極121を陽極とし、
電極122を負極として直流電圧を印加すれば、内筒体
114内を右から左方向に電気感応作動媒体123のジ
ェット噴流が形成され、このジェット噴流は蓋体116
aの内周壁に衝突して、その向きを左から右方向に変え
て、外筒体112と内筒体114との間に流れ込み、リ
ング状の移動部材125aを右方向に移動させる。この
リング状の移動部材125aの移動は、補助駆動軸11
8a,118aによって、駆動軸118に伝達され、駆
動軸118は右方向に移動する。
In FIG. 4, the SE type E shown in FIG.
Members common to the CF linear motor are given the same numbers. The above-mentioned SE type ECF linear motor is filled with an electro-sensitive working medium 123 such as dibutyl decane diate, and the coil-shaped electrode 121 shown in FIG.
When a DC voltage is applied using the electrode 122 as a negative electrode, a jet jet of the electro-sensitive working medium 123 is formed in the inner cylinder 114 from right to left, and the jet jet is formed by the lid 116.
When it collides with the inner peripheral wall of a and changes its direction from left to right, it flows between the outer cylinder 112 and the inner cylinder 114 to move the ring-shaped moving member 125a to the right. The movement of the ring-shaped moving member 125a is
The drive shaft 118 is transmitted to the drive shaft 118 by 8a and 118a, and the drive shaft 118 moves rightward.

【0059】同様にコイル状電極121,122の電極
を逆にすれば、逆方向の電気感応作動媒体123のジェ
ット噴流が形成され、リング状の移動体125aは左方
向に移動し、これに伴い、駆動軸118は左方向に移動
する。
Similarly, if the electrodes of the coiled electrodes 121 and 122 are reversed, a jet jet of the electro-sensitive working medium 123 in the opposite direction is formed, and the ring-shaped moving body 125a moves to the left. , The drive shaft 118 moves to the left.

【0060】また、本発明のリニアモータは、上記のよ
うにコイル状電極を用いることなく、一対の移動部材を
電極として用い、両者の間に電気感応作動媒体のジェッ
ト噴流を形成して、このジェット噴流の反作用によって
駆動させるPE型ECFリニアモータとすることもでき
る。
Further, the linear motor of the present invention uses a pair of moving members as electrodes without using a coil-shaped electrode as described above, and forms a jet jet of an electro-sensitive working medium between the two members. A PE-type ECF linear motor driven by the reaction of the jet jet may be used.

【0061】図5に、PE型ECFリニアモータの一例
を模式的に示す。PE型ECFリニアモータは、図5に
示すように、媒体収容部110を形成する筒状体132
とこの筒状体132の両端部に嵌合して閉塞する蓋体1
36a,136aとを有し、この蓋体136a,136a
の中心部には、駆動軸138を左右に駆動可能に軸止す
る貫通孔120が設けられている。この貫通孔120に
は駆動軸138が貫通しており、そして、この駆動軸1
38の中央部近傍には、電気感応作動媒体123が流通
可能な一対の移動部材141,142が軸着固定されて
いる。図5において、この電気感応作動媒体123が流
動可能な一対の移動部材(電極)141,142は金属
の網で形成された態様が示されている。また、この一対
の移動部材141,142間は、電気絶縁性部材143
が介装されており、移動部材141と移動部材142は
電気的に絶縁されている。
FIG. 5 schematically shows an example of a PE-type ECF linear motor. As shown in FIG. 5, the PE-type ECF linear motor has a cylindrical body 132
And the lid 1 which is fitted and closed at both ends of the cylindrical body 132
36a, 136a, and the lids 136a, 136a
A through-hole 120 is provided at the center of the shaft to rotatably drive the drive shaft 138 left and right. The drive shaft 138 penetrates the through hole 120, and the drive shaft 1
A pair of moving members 141 and 142 through which the electro-sensitive working medium 123 can flow are fixedly mounted near the center of the shaft 38. FIG. 5 shows an embodiment in which the pair of moving members (electrodes) 141 and 142 through which the electro-sensitive working medium 123 can flow are formed of a metal net. Further, between the pair of moving members 141 and 142, an electrically insulating member 143 is provided.
The moving member 141 and the moving member 142 are electrically insulated.

【0062】電気感応作動媒体123として用いられる
デカン二酸ジブチル等に非一様電圧を印加すると、陽極
から負極方向にジェット噴流が形成される。図5におい
て、駆動軸138に外部電極(図示なし)を接続して、
移動部材141を陽極とし、移動部材142を負極とす
ると、移動部材141から移動部材142方向に向かう
電気感応作動媒体123のジェット噴流が形成される。
そして、この図5に示すPE型ECFリニアモータにお
いて、移動部材141,142は、電気感応作動媒体1
23の流通が可能に形成されていることから、電圧印加
によって生じたジェット噴流の反作用によって、移動部
材141,142はジェット噴流とは逆方向に移動す
る。図5において、移動部材141を陽極とし、移動部
材142を負極とすると、移動部材141,142は左
方向に移動する。そして、この移動部材141,142
は、駆動軸138に軸着されていることから、電圧を印
加することにより生ずる移動部材141,142の上記
のような移動によって駆動軸138が左方向に駆動す
る。
When a non-uniform voltage is applied to dibutyl decanoate used as the electro-sensitive working medium 123, a jet jet is formed from the anode to the negative electrode. In FIG. 5, an external electrode (not shown) is connected to the drive shaft 138,
When the moving member 141 is an anode and the moving member 142 is a negative electrode, a jet jet of the electro-sensitive working medium 123 is formed from the moving member 141 toward the moving member 142.
In the PE-type ECF linear motor shown in FIG. 5, the moving members 141 and 142
23 are formed to be able to circulate, the moving members 141 and 142 move in the opposite direction to the jet jet due to the reaction of the jet jet generated by the voltage application. In FIG. 5, when the moving member 141 is an anode and the moving member 142 is a negative electrode, the moving members 141 and 142 move to the left. Then, the moving members 141 and 142
Is mounted on the drive shaft 138, the drive shaft 138 is driven leftward by the above-described movement of the moving members 141 and 142 caused by applying a voltage.

【0063】上記のようなPE型ECFリニアモータに
おいて、電極であり、かつ駆動源である移動部材14
1,142は、電気感応作動媒体123が流動し、電気
感応作動媒体123のジェット噴流の反作用によって移
動可能であれば、その形態などに特に制限はなく、図5
に示すように金属製の網などで形成されたメッシュ型と
することもできるし、ノズル状、環状など種々の形態に
することができる。たとえば、メッシュ状にする場合に
は、通常は、目開き0.05〜5.0mm、好ましくは
0.3〜2.0程度の金属製の網を用いることが好まし
い。
In the PE type ECF linear motor as described above, the moving member 14 which is an electrode and a driving source is used.
1, 142 is not particularly limited as long as the electro-sensitive operating medium 123 flows and can be moved by the reaction of the jet flow of the electro-sensitive operating medium 123.
As shown in FIG. 7, a mesh type formed by a metal net or the like can be used, and various forms such as a nozzle shape and an annular shape can be adopted. For example, in the case of forming a mesh, it is usually preferable to use a metal net having an aperture of 0.05 to 5.0 mm, preferably about 0.3 to 2.0.

【0064】また、本発明のリニアモータは、図2に示
されるSE型ECFリニアモータと図5に示されるPE
型ECFリニアモータとの複合型であってもよい。本発
明ではこのような複合型リニアモータを「CE型ECF
リニアモータ」と称する。
Further, the linear motor of the present invention comprises an SE type ECF linear motor shown in FIG. 2 and a PE type motor shown in FIG.
It may be a composite type with a type ECF linear motor. In the present invention, such a composite linear motor is referred to as “CE type ECF”.
It is referred to as "linear motor".

【0065】図6にCE型ECFリニアモータの一例を
示す。図6に示されるように本発明のCE型ECFリニ
アモータは、図2に示されるSE型ECFリニアモータ
と同様に、媒体収容部110を有しており、この媒体収
容部110は、外筒体112と、この外筒体112の内
部に設けられた内筒体114と、この外筒体112の両
端部を閉塞する蓋体116a,116bとからなる。ま
た、蓋体116a,116bの中心部には、駆動軸11
8が貫通する貫通孔120が形成されている。内筒体1
12の両端部と、蓋体116a,116bとの内周面と
の間には、電気感応作動媒体123が流動可能なように
間隙が形成されている。
FIG. 6 shows an example of a CE type ECF linear motor. As shown in FIG. 6, the CE-type ECF linear motor of the present invention has a medium accommodating portion 110 like the SE-type ECF linear motor shown in FIG. It comprises a body 112, an inner cylinder 114 provided inside the outer cylinder 112, and lids 116 a and 116 b for closing both ends of the outer cylinder 112. The drive shaft 11 is provided at the center of the lids 116a and 116b.
A through-hole 120 through which 8 penetrates is formed. Inner cylinder 1
A gap is formed between both end portions of the inner cover 12 and inner peripheral surfaces of the lids 116a and 116b so that the electro-sensitive working medium 123 can flow.

【0066】そして、外筒体112と内筒体114との
間には、外筒体112と内筒体114との間にある電気
感応作動媒体123に非一様電界を形成するように、図
3に示すようなコイル状電極121,122が装填され
ており、このコイル状電極121,122によって外筒
体112と内筒体114との間にある電気感応作動媒体
123の移動流が形成される。図6においては、電極1
21が陽極、電極122が陰極であり、デカン二酸ジブ
チルのような電気感応作動媒体123は、外筒体112
と内筒体114との間において、右から左方向に流れる
移動流となる。この外筒体112と内筒体114との間
で右から左方向に流れる電気感応作動媒体123の移動
流は、蓋体116aによって方向を転じ、内筒体114
内では、左から右方向に流れる移動流となる。
The non-uniform electric field is formed between the outer cylinder 112 and the inner cylinder 114 so as to form a non-uniform electric field in the electro-sensitive working medium 123 between the outer cylinder 112 and the inner cylinder 114. The coiled electrodes 121 and 122 as shown in FIG. 3 are loaded, and the coiled electrodes 121 and 122 form a moving flow of the electro-sensitive working medium 123 between the outer cylinder 112 and the inner cylinder 114. Is done. In FIG. 6, the electrode 1
Reference numeral 21 denotes an anode, electrode 122 denotes a cathode, and an electro-sensitive working medium 123 such as dibutyl decane diate comprises an outer cylinder 112.
A moving flow flows from right to left between the inner cylinder 114 and the inner cylinder 114. The moving flow of the electro-sensitive working medium 123 flowing from right to left between the outer cylinder 112 and the inner cylinder 114 is turned by the lid 116a, and
Inside, the moving flow flows from left to right.

【0067】一方、蓋体116a,116bの中心部に
形成された駆動軸138の中央部近傍には、一対の移動
部材(電極)141,142が軸着固定されている。図
6において、移動部材141と移動部材142とは 電
気感応作動媒体123が流動可能な一対の電極を形成し
ており、この移動部材141,142は金属の網で形成
された態様が示されている。また、この一対の移動部材
141,142間は、電気絶縁性部材143が介装され
ており、移動部材141と移動部材142は電気的に絶
縁されている。
On the other hand, a pair of moving members (electrodes) 141 and 142 are fixedly mounted near the center of the drive shaft 138 formed at the center of the lids 116a and 116b. In FIG. 6, the moving member 141 and the moving member 142 form a pair of electrodes through which the electro-sensitive working medium 123 can flow, and the moving members 141 and 142 are shown as being formed of a metal net. I have. An electrically insulating member 143 is interposed between the pair of moving members 141 and 142, and the moving member 141 and the moving member 142 are electrically insulated.

【0068】移動部材142が陽極となり、移動部材1
41が陰極となるように駆動軸138に直流電圧を印加
すると、内筒体114内にある電気感応作動媒体123
のジェット噴流となり、この反作用により、移動部材1
41,142は右方向に移動する。そして、外筒体11
2と内筒体114との間で生じ、内筒内の内部に流入す
る電気感応作動媒体123の移動流と共同して、移動部
材141,142を右方向に移動させる。
The moving member 142 serves as an anode, and the moving member 1
When a DC voltage is applied to the drive shaft 138 so that 41 becomes a cathode, the electro-sensitive working medium 123 in the inner cylinder 114 is
Of the moving member 1 by this reaction.
41 and 142 move rightward. And the outer cylinder 11
The moving members 141 and 142 are moved rightward in cooperation with the moving flow of the electro-sensitive working medium 123 generated between the inner cylinder 2 and the inner cylinder 114 and flowing into the inside of the inner cylinder.

【0069】また、電極に印加する電圧を正負逆転すれ
ば、移動部材141,142は右から左方向に移動す
る。本発明のリニアモータは、上記のように電気感応作
動媒体123に非一様電界を形成することにより駆動す
る。そして、このリニアモータを駆動させるのに電極間
に印加する電圧は、通常は50V〜15KV、好ましく
は100V〜10KVであり、このときに流れる電流は
通常は100μA以下、好ましくは10μA以下程度で
ある。このように本発明のリニアモータは、印加電圧は
高いが流れる電流は極めて微弱であり、このリニアモー
タが駆動することによる発熱はほとんどみられない。
When the voltage applied to the electrodes is reversed, the moving members 141 and 142 move from right to left. The linear motor of the present invention is driven by forming a non-uniform electric field in the electro-sensitive working medium 123 as described above. The voltage applied between the electrodes to drive this linear motor is usually 50 V to 15 KV, preferably 100 V to 10 KV, and the current flowing at this time is usually 100 μA or less, preferably about 10 μA or less. . As described above, in the linear motor of the present invention, although the applied voltage is high, the flowing current is extremely weak, and heat generated by driving the linear motor is hardly observed.

【0070】そして、本発明のリニアモータは、小型化
にも適しており、その大きさに特に制限はないが、通常
は直径60mm以下、好ましくは30mm以下、長さは通常
は300mm以下、好ましくは100mm以下であり、これ
までの電気感応作動媒体を用いる回転型モータの研究か
らも、小型化することにより、より高い効率で駆動す
る。
The linear motor of the present invention is suitable for miniaturization, and its size is not particularly limited. However, the diameter is usually not more than 60 mm, preferably not more than 30 mm, and the length is usually not more than 300 mm, preferably not more than 300 mm. Is less than 100 mm, and from the research on the rotary motor using the electro-sensitive working medium, it is possible to drive with higher efficiency by reducing the size.

【0071】本発明のリニアモータを形成する材料に特
に制限はないが、媒体収容部、移動体などは、電気感応
作動媒体に浸食されない合成樹脂(例:テフロン、ポリ
カーボネート、アクリル等)、セラミックス、木材、金
属、ガラス等で形成することができる。このような部材
を金属で形成し、かつこれらの部材が絶縁性を要する場
合には、表面を絶縁処理すればよい。また、電極は導電
性金属線等で形成することができる。さらに、この電極
は、プリント基板配線技術を利用してメッキなどにより
形成することも可能である。
The material for forming the linear motor of the present invention is not particularly limited, but the medium accommodating portion, the moving body and the like are made of synthetic resin (eg, Teflon, polycarbonate, acrylic, etc.) which is not eroded by the electro-sensitive working medium, ceramic, It can be formed of wood, metal, glass, or the like. When such members are formed of metal and these members require insulation, the surfaces may be subjected to insulation treatment. Further, the electrodes can be formed of a conductive metal wire or the like. Furthermore, this electrode can be formed by plating or the like using a printed circuit board wiring technique.

【0072】本発明のリニアモータは、印加電圧を切り
替えて往復運動するようにすることもできるし、また移
動部材(ピストン)に外力がかかる場合に、ピストンが
その外力に対抗するように移動するように電圧を印加す
ることにより、このリニアモータを外力を緩和するショ
クアブゾーバとして使用することもできる。
The linear motor of the present invention can reciprocate by switching the applied voltage, and when an external force is applied to the moving member (piston), the piston moves so as to oppose the external force. By applying the voltage as described above, the linear motor can be used as a shock absorber for reducing external force.

【0073】殊に、本発明のリニアモータは、電気感応
作動媒体に非一様電界が形成されるように直流電圧を印
加することにより駆動することから、従来のリニアモー
タでは駆動が困難であった強磁場環境下においても駆動
する。
In particular, since the linear motor of the present invention is driven by applying a DC voltage so that a non-uniform electric field is formed in the electro-sensitive working medium, it is difficult to drive the conventional linear motor. It operates even in a strong magnetic field environment.

【0074】本発明のリニアモータは、種々改変するこ
とができる。たとえば、図8に示すように、媒体収容部
110をループを形成するように形成し、このループ状
の媒体収容部110の一部に電極121,122を設
け、この電極121,122に電圧を印加して、電気感
応作動媒体123の循環流を形成し、この循環流を移動
部材125で受けることにより、移動部材125を上昇
させる。移動部材125には、一方の面に駆動軸118
が備え付けられており、移動部材125の移動に伴っ
て、駆動軸118は上下に駆動するようにしてもよい。
The linear motor of the present invention can be variously modified. For example, as shown in FIG. 8, the medium accommodating section 110 is formed so as to form a loop, electrodes 121 and 122 are provided on a part of the loop-shaped medium accommodating section 110, and a voltage is applied to the electrodes 121 and 122. When the voltage is applied, a circulating flow of the electro-sensitive working medium 123 is formed, and the circulating flow is received by the moving member 125, whereby the moving member 125 is raised. The moving member 125 has a drive shaft 118 on one surface.
May be provided, and the drive shaft 118 may be driven up and down as the moving member 125 moves.

【0075】[0075]

【発明の効果】本発明のリニアモータは、特定の電気感
応作動媒体に非一様電界を形成するように直流電圧を印
加するという全く新たな機構により駆動する。しかも、
小型化することにより、より効率よく駆動し、ほとんど
発熱しない。
The linear motor of the present invention is driven by a completely new mechanism that applies a DC voltage so as to form a non-uniform electric field in a specific electro-sensitive working medium. Moreover,
By downsizing, it drives more efficiently and generates little heat.

【0076】また、本発明のリニアモータは、磁力を利
用していないので、強磁場でも正常に駆動する。
Further, since the linear motor of the present invention does not use a magnetic force, it can be driven normally even in a strong magnetic field.

【0077】[0077]

【実施例】次の本発明の実施例を示して本発明をさらに
具体的に説明するが、本発明はこれらによって限定され
るものではない。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples of the present invention, but the present invention is not limited to these examples.

【0078】[0078]

【実施例1】図2に示す構造のSE型ECFニリアモー
タを製造した。このSE型ECFリニアモータは、内径
25mm、長さ38mmの外筒体と、外径16mm、長さ35
mmの内筒体とを有しており、これらの間に1対のコイル
状電極を4回巻回して電気感応作動媒体に非一様電界を
形成するように電極が配置されている。すなわち、この
一対のコイル状電極は、隣接する一方の電極間距離が2
mmであり、他方の電極間距離が4mmとなるように配置し
て、非一様電界を形成するように配置されている。一
方、内径12mmの内筒体内には、駆動軸に軸着した直径
9.7mmのピストンを配置し、こうして形成された媒体
収容部内にリナリルアセテート約13mlを充填した。
EXAMPLE 1 An SE-type ECF niria motor having the structure shown in FIG. 2 was manufactured. This SE type ECF linear motor has an outer cylindrical body having an inner diameter of 25 mm and a length of 38 mm, and an outer diameter of 16 mm and a length of 35 mm.
mm inner cylinder, between which a pair of coiled electrodes are wound four times to form a non-uniform electric field in the electro-sensitive working medium. That is, this pair of coiled electrodes has a distance between one adjacent electrode of two.
mm and the distance between the other electrodes is 4 mm, and the electrodes are arranged so as to form a non-uniform electric field. On the other hand, a piston having a diameter of 9.7 mm was mounted on an inner cylindrical body having an inner diameter of 12 mm, and about 13 ml of linalyl acetate was filled in the medium accommodating section thus formed.

【0079】上記のようにして形成されたSE型ECF
リニアモータの一対のコイル状電極に、9.0KVの直
流電圧を印加したところ、ピストンは移動運動を開始し
た。その時の移動速度をレーザ変位センサ計を用いて測
定した。結果を図7に示す。
SE-type ECF formed as described above
When a DC voltage of 9.0 KV was applied to the pair of coiled electrodes of the linear motor, the piston started to move. The moving speed at that time was measured using a laser displacement sensor meter. FIG. 7 shows the results.

【0080】その結果、ピストンは電圧印加直後から加
速を始め、約40ms後に、0.065m/sの移動速度に達
し、以後平衡状態になった。このときの電流値は2.0
μAであった。このときのピストンの移動方向は、用い
たリナリルアセテートがコイル状電極間において正極か
ら負極へとジェット噴流を発生している方向と連動して
いた。
As a result, the piston started accelerating immediately after the application of the voltage, reached a moving speed of 0.065 m / s after about 40 ms, and was in an equilibrium state thereafter. The current value at this time is 2.0
μA. The direction of movement of the piston at this time was linked to the direction in which the used linalyl acetate generated a jet jet from the positive electrode to the negative electrode between the coiled electrodes.

【0081】なお、このレーザ変位センサ計は、キーエ
ンス社製LBシリーズであり、センサーヘッドはLB-
02を用い、アンプはLB−06を用いた。測定レンジ
を±10mmに設定して測定した。
This laser displacement sensor is an LB series manufactured by Keyence Corporation, and the sensor head is an LB-series.
02 and LB-06 was used as the amplifier. The measurement was performed with the measurement range set to ± 10 mm.

【0082】このSE型ECFリニアモータにおいて、
電極の正負を逆にすればピストンは上記とは逆方向に移
動する。
In this SE type ECF linear motor,
If the polarity of the electrode is reversed, the piston moves in the opposite direction.

【0083】[0083]

【実施例2】実施例1において、リナリルアセテートの
代わりに、デカン二酸ジブチルを用いた以外は同様にし
てSE型ECFリニアモータを駆動させた。
Example 2 An SE-type ECF linear motor was driven in the same manner as in Example 1, except that dibutyl decane diate was used instead of linalyl acetate.

【0084】その結果、ピストンは電圧印加直後から加
速を始め、約50ms後に、0.47m/sの移動速度に達
し、以後平衡状態になった。このときの電流値は2.2
μAであった。このときのピストンの移動方向は、用い
たデカン二酸ジブチルがコイル状電極間において正極か
ら負極へとジェット噴流を発生している方向と連動して
いた。
As a result, the piston started accelerating immediately after the application of the voltage, reached a moving speed of 0.47 m / s after about 50 ms, and was in an equilibrium state thereafter. The current value at this time is 2.2
μA. The direction of movement of the piston at this time was linked to the direction in which the used dibutyl decane diacid generated a jet jet from the positive electrode to the negative electrode between the coiled electrodes.

【0085】[0085]

【実施例3】実施例1において、リナリルアセテートの
代わりに、ドデカン二酸ジブチルを用いた以外は同様に
してSE型ECFリニアモータを駆動させた。
Example 3 An SE-type ECF linear motor was driven in the same manner as in Example 1, except that dibutyl dodecanediate was used instead of linalyl acetate.

【0086】その結果、ピストンは電圧印加直後から加
速を始め、約50ms後に、0.45m/sの移動速度に達
し、以後平衡状態になった。このときの電流値は2.1
μAであった。このときのピストンの移動方向は、用い
たドデカン二酸ジブチルがコイル状電極間において正極
から負極へとジェット噴流を発生している方向と連動し
ていた。
As a result, the piston started accelerating immediately after the application of the voltage, reached a moving speed of 0.45 m / s about 50 ms later, and was in an equilibrium state thereafter. The current value at this time is 2.1
μA. The direction of movement of the piston at this time was linked to the direction in which the used dibutyl dodecane diacid generated a jet jet from the positive electrode to the negative electrode between the coiled electrodes.

【0087】[0087]

【実施例4】内径12mm、長さ35mmの筒内に二枚の直
径10mmの円板メッシュ型電極板を有する駆動軸を配置
した。この2枚のメッシュ型電極板は電気的に絶縁され
て対峙しており、その間隔は2.5mmであり、それぞれ
の電極を構成するメッシュの目間隔は1mmである。
Example 4 A drive shaft having two disk-shaped electrode plates having a diameter of 10 mm was arranged in a cylinder having an inner diameter of 12 mm and a length of 35 mm. The two mesh type electrode plates are electrically insulated and face each other, the interval between them is 2.5 mm, and the mesh interval between the respective electrodes is 1 mm.

【0088】この筒体にリナリルアセテート約4mlを充
填して満たし、PE型ECFリニアモータを製造し、こ
のモータのそれぞれの電極を正極、負極として、9.0
KVの直流電圧を印加した。円板メッシュ型電極板は、
電圧印加直後から、正極印加方向に移動を開始し、約3
0ms後に0.38m/sの平衡速度に達した。この時の電流
値は1.7μAであった。
The cylindrical body was filled and filled with about 4 ml of linalyl acetate to manufacture a PE-type ECF linear motor.
A DC voltage of KV was applied. Disc mesh electrode plates are
Immediately after the voltage is applied, movement in the positive electrode application direction starts, and
After 0 ms, an equilibrium velocity of 0.38 m / s was reached. The current value at this time was 1.7 μA.

【0089】リナリルアセテートのジェット噴流は、正
極から負極方向に発生しており、円板メッシュ型電極板
は、そのジェット噴流の反作用方向へと移動した。
The jet jet of linalyl acetate was generated in the direction from the positive electrode to the negative electrode, and the disk mesh type electrode plate moved in the reaction direction of the jet jet.

【0090】[0090]

【実施例5】実施例4において、リナリルアセテートの
代わりに、デカン二酸ジブチルを用いた以外は同様にし
てPE型ECFリニアモータを駆動させた。
Example 5 A PE-type ECF linear motor was driven in the same manner as in Example 4 except that dibutyl decane diate was used instead of linalyl acetate.

【0091】その結果、円板メッシュ型電極は電圧印加
直後から加速を始め、約40ms後に、0.25m/sの移動
速度に達し、以後平衡状態になった。このときの電流値
は2.0μAであった。このときのデカン二酸ジブチル
のジェット噴流は、正極から負極方向に発生しており、
円板メッシュ型電極板は、そのジェット噴流の反作用方
向へと移動した。
As a result, the disk mesh type electrode started accelerating immediately after the application of the voltage, reached a moving speed of 0.25 m / s after about 40 ms, and was in an equilibrium state thereafter. The current value at this time was 2.0 μA. The jet jet of dibutyl decanoate at this time is generated from the positive electrode to the negative electrode,
The disk mesh electrode plate moved in the reaction direction of the jet jet.

【0092】[0092]

【実施例6】実施例4において、リナリルアセテートの
代わりに、ドデカン二酸ジブチルを用いた以外は同様に
してPE型ECFリニアモータを駆動させた。
Example 6 A PE-type ECF linear motor was driven in the same manner as in Example 4, except that dibutyl dodecanediate was used instead of linalyl acetate.

【0093】その結果、円板メッシュ型電極板は電圧印
加直後から加速を始め、約40ms後に、0.22m/sの移
動速度に達し、以後平衡状態になった。このときの電流
値は2.0μAであった。このときのドデカン二酸ジブ
チルのジェット噴流は、正極から負極方向に発生してお
り、円板メッシュ型電極板は、そのジェット噴流の反作
用方向へと移動した。
As a result, the disk mesh type electrode plate started accelerating immediately after the application of the voltage, reached a moving speed of 0.22 m / s about 40 ms later, and was in an equilibrium state thereafter. The current value at this time was 2.0 μA. At this time, the jet jet of dibutyl dodecanedioxide was generated in the direction from the positive electrode to the negative electrode, and the disc-shaped electrode plate moved in the reaction direction of the jet jet.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明で使用することが好ましい電気
感応作動媒体の導電率と粘度との関係を示すグラフであ
る。
FIG. 1 is a graph showing the relationship between the conductivity and the viscosity of an electro-sensitive working medium preferably used in the present invention.

【図2】図2は、本発明のSE型ECFリニアモータの
一例を示す縦断面図である
FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing an example of an SE type ECF linear motor of the present invention.

【図3】図3は、SE型ECFリニアモータで用いられ
るコイル状電極の例を示す図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a coiled electrode used in an SE-type ECF linear motor.

【図4】図4は、SE型ECFリニアモータの他の態様
の例を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing another example of an SE-type ECF linear motor.

【図5】図5は、PE型ECFリニアモータの一例を示
す縦断面図である。
FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing an example of a PE-type ECF linear motor.

【図6】図6は、CE型ECFリニアモータの一例を示
す縦断面図である。
FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing an example of a CE type ECF linear motor.

【図7】図7は、SE型ECFリニアモータにおけるピ
ストンの時間における駆動速度の変化例を示すグラフで
ある。
FIG. 7 is a graph showing an example of a change in driving speed of a SE type ECF linear motor over time with respect to a piston.

【図8】図8は、SE型ECFリニアモータの他の態様
を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing another mode of the SE-type ECF linear motor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

110・・・媒体収容部 112・・・外筒体 114・・・内筒体 116・・・蓋体 118・・・駆動軸 121,122・・・電極 123・・・電気感応作動媒体 125・・・移動部材 132・・・筒状体 141,142・・・移動部材(電極) 143・・・電気絶縁性部材 110: Medium storage unit 112: Outer cylinder 114: Inner cylinder 116: Lid 118: Driving shaft 121, 122: Electrode 123: Electro-sensitive working medium 125: ..Movement member 132 ・ ・ ・ Cylindrical body 141,142 ・ ・ ・ Movement member (electrode) 143 ・ ・ ・ Electrically insulating member

フロントページの続き (72)発明者 枝 村 一 弥 東京都葛飾区東新小岩2−9−1−306Continued on the front page (72) Inventor Kazuya Edamura 2-9-1-306 Higashishinkoiwa, Katsushika-ku, Tokyo

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電気感応作動媒体と、該電気感応作動媒
体を密封して収容する媒体収容部と、該媒体収容部から
導出された駆動軸と、該駆動軸に固定され、該電気感応
作動媒体の移動流によって媒体収容部内を該駆動軸と共
に線状に移動する移動部材と、電圧印加によって該電気
感応作動媒体の移動流を形成する少なくとも1対の電極
とを備えていることを特徴とするリニアモータ。
1. An electro-sensitive operating medium, a medium accommodating portion for hermetically containing the electro-sensitive operating medium, a drive shaft led out from the medium accommodating portion, and fixed to the drive shaft, the electric-sensitive operating device being A moving member that linearly moves in the medium accommodating portion together with the drive shaft by the moving flow of the medium, and at least one pair of electrodes that form a moving flow of the electro-sensitive working medium by applying a voltage. Linear motor.
【請求項2】 上記媒体収容部が、外筒体と、内筒体と
を備えており、外筒体と内筒体との間に、電気感応作動
媒体に非一様電界を形成する電極が形成されてなり、該
コイル状電極に電圧を印加して外筒体と内筒体との間に
形成された電気感応作動媒体の移動流を内筒体内に導入
して、該内筒体内の移動部材を移動させることを特徴と
する請求項第1項記載のリニアモータ。
2. An electrode for forming a non-uniform electric field in an electro-sensitive operating medium between an outer cylinder and an inner cylinder, wherein the medium accommodating portion includes an outer cylinder and an inner cylinder. Is formed, and a voltage is applied to the coiled electrode to introduce a moving flow of the electro-sensitive working medium formed between the outer cylinder and the inner cylinder into the inner cylinder, and 2. The linear motor according to claim 1, wherein the moving member is moved.
【請求項3】上記媒体収容部が、外筒体と内筒体とを備
えてなり、該内筒体内に電気感応作動媒体に非一様電界
を形成し得る少なくとも一対の電極が配置されており、
該内筒体と外筒体との間に、上記電極に電圧を印加する
ことにより生ずる電気感応作動媒体の移動に伴って移動
する移動部材を有し、該移動部材は、上記媒体収容部か
ら導出されている駆動軸と一体化されていることを特徴
とする請求項第1項記載のリニアモータ。
3. The medium storage section comprises an outer cylinder and an inner cylinder, and at least one pair of electrodes capable of forming a non-uniform electric field on the electro-sensitive working medium is disposed in the inner cylinder. Yes,
A moving member that moves with the movement of the electro-sensitive working medium caused by applying a voltage to the electrode, between the inner cylinder and the outer cylinder, wherein the moving member is 2. The linear motor according to claim 1, wherein the linear motor is integrated with the derived drive shaft.
【請求項4】 上記移動部材が、電気感応作動媒体が流
動可能な少なくとも一対の多孔質部材からなり、該一対
の多孔質部材が駆動軸に電気的に絶縁されて固定されて
いると共に、該多孔質部材に電圧を印加して、電気感応
作動媒体に非一様電界を形成して移動流を形成し、該電
気感応作動媒体の移動流形成の反作用により該多孔質部
材を駆動軸と共に媒体収容部内を移動させることを特徴
とする請求項第1項記載のリニアモータ。
4. The moving member comprises at least a pair of porous members through which an electro-sensitive working medium can flow, and the pair of porous members are electrically insulated and fixed to a drive shaft. A voltage is applied to the porous member to form a non-uniform electric field in the electro-sensitive working medium to form a moving flow, and the porous member is moved together with the drive shaft by the reaction of the moving flow of the electro-sensitive working medium. 2. The linear motor according to claim 1, wherein the linear motor is moved in the housing.
【請求項5】 上記電極が電気感応作動媒体に非一様電
界を形成可能な一対のコイル状電極であることを特徴と
する請求項第2項または第3項記載のリニアモータ。
5. The linear motor according to claim 2, wherein said electrodes are a pair of coil-shaped electrodes capable of forming a non-uniform electric field in the electro-sensitive working medium.
【請求項6】 上記多孔質部材が、目開き0.05〜
5.0mmの網状電極であることを特徴とする請求項第4
項記載のリニアモータ。
6. The method according to claim 1, wherein the porous member has an opening of 0.05 to 0.05.
5. A reticulated electrode of 5.0 mm.
Linear motor according to the item.
【請求項7】 上記一対の電極間に50V〜15KVの
直流電圧を印加することを特徴とする請求項第1項乃至
第5項のいずれかの項記載のリニアモータ。
7. The linear motor according to claim 1, wherein a DC voltage of 50 V to 15 KV is applied between said pair of electrodes.
【請求項8】 電気感応作動媒体が、横軸が導電率σで
あり縦軸が粘度ηであって作動温度における流体の導電
率σと粘度ηとの関係を示すグラフにおいて、導電率σ
=4×10-10S/m,粘度η=1×100Pa・sで表される点
P、導電率σ=4×10-10S/m,粘度η=1×10-4Pa・s
で表される点Q、導電率σ=5×10 -6S/m,粘度η=1
×10-4Pa・sで表される点Rを頂点とする直角三角形の
内部に位置する導電率σおよび粘度ηを有する化合物、
または、該三角形の内部に位置する導電率σおよび粘度
ηを有するように調製された二種類以上の化合物の混合
物からなることを特徴とする請求項第1項乃至第4項の
いずれかの項記載のリニアモータ。
8. An electro-sensitive working medium, wherein the abscissa represents a conductivity σ.
The vertical axis is the viscosity η and the conductivity of the fluid at the operating temperature.
In a graph showing the relationship between the rate σ and the viscosity η, the conductivity σ
= 4 × 10-TenS / m, viscosity η = 1 × 100Point expressed in Pa · s
P, conductivity σ = 4 × 10-TenS / m, viscosity η = 1 × 10-FourPa ・ s
Q, conductivity σ = 5 × 10 -6S / m, viscosity η = 1
× 10-FourOf a right triangle with the point R as the vertex
A compound having conductivity σ and viscosity η located inside,
Or the conductivity σ and viscosity located inside the triangle
Mixing of two or more compounds prepared to have η
5. The method according to claim 1, wherein the object is made of a material.
The linear motor according to any of the above items.
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