JPH11214198A - Linear accelerator and installation method therefor - Google Patents

Linear accelerator and installation method therefor

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JPH11214198A
JPH11214198A JP3213498A JP3213498A JPH11214198A JP H11214198 A JPH11214198 A JP H11214198A JP 3213498 A JP3213498 A JP 3213498A JP 3213498 A JP3213498 A JP 3213498A JP H11214198 A JPH11214198 A JP H11214198A
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JP
Japan
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quadrupole electromagnet
quadrupole
linear accelerator
electromagnet
charged particle
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Application number
JP3213498A
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Japanese (ja)
Inventor
Masayuki Kawai
正之 河合
Minoru Yokoyama
横山  稔
Akihiro Nakayama
章弘 中山
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Kawasaki Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Kawasaki Heavy Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compact charged particle accelerator which simplifies the alignment adjustment work of a four pole electromagnet and a beam monitor in the charged particle accelerator and an installation method therefor. SOLUTION: A charged particle accelerator is provided with an arrangement face on which two four pole electromagnets 2, 3 can be put in opposition and in which a plurality of four pole electromagnet surface plates 10 fixed by adjusting positions of the four pole electromagnets and a charged particle beam position monitor 4 in advance are arranged in a charged particle running track. Preferably, a mechanism 8 adjusting positions of the four pole electromagnet surface plates 10 at predetermined positions on a charged particle accelerator pedestal 9 is provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、四極電磁石装置を
備えた直線型加速装置およびその設置方法に関し、特に
複数の四極電磁石を備えたリニアック型直線型加速装置
における製作費用を低減しアライメント調整が容易にで
きるようにした直線型加速装置およびその設置方法に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear accelerator having a quadrupole electromagnet apparatus and a method of installing the linear accelerator, and more particularly to a linear accelerator having a plurality of quadrupole electromagnets, which can reduce the manufacturing cost and adjust the alignment. The present invention relates to a linear acceleration device and a method of installing the linear acceleration device which can be easily performed.

【0002】[0002]

【従来の技術】直線型加速装置ではビームの運動を安定
化するために、荷電粒子軌道中の随所に四極電磁石が設
けられている。四極電磁石は中心からずれて入ってくる
荷電粒子に対しそれぞれ直交する方向にローレンツ力に
よる収束もしくは発散作用を持ち、N極とS極を入れ替
えた1対の四極電磁石を交互に配置することで、結果と
して両方向共に強い収束作用をビームに与える。
2. Description of the Related Art In a linear accelerator, quadrupole electromagnets are provided at various places in a charged particle orbit in order to stabilize the movement of a beam. The quadrupole electromagnet has a convergence or divergence action by Lorentz force in the direction orthogonal to each of the charged particles coming off the center, and by alternately arranging a pair of quadrupole electromagnets in which the N pole and the S pole are exchanged, As a result, the beam has a strong convergence in both directions.

【0003】このため、直線型加速装置中の要所には、
通常、四極電磁石が連続して2個あるいは3個設けられ
るが、それぞれ電子軌道に対して正確なアライメントが
取られている必要がある。荷電粒子ビームが正確な位置
に調整されていることはビームモニターを用いて確認す
る。ビームモニターには調整時に軌道中にスクリーンを
挿入しビームの照射位置を見ることにより確認するもの
などがある。
For this reason, key points in the linear accelerator are:
Normally, two or three quadrupole electromagnets are provided continuously, but each must be accurately aligned with the electron trajectory. It is confirmed using a beam monitor that the charged particle beam is adjusted to an accurate position. Some beam monitors include a screen inserted into the orbit at the time of adjustment and confirmation by observing the irradiation position of the beam.

【0004】RF電子銃を用いた電子リニアック型自由
電子レーザ発生装置のある例においては、RF電子銃か
ら放射された荷電粒子である電子がα電磁石で方向転換
して加速器で加速され、1対の偏向電磁石によりアンジ
ュレータを挟んで配設される全反射ミラーと出力ミラー
で構成された光共振器に導かれてレーザ光を同期増幅し
た後に偏向電磁石によりビームダンパ中に棄却される。
In one example of an electron linac type free electron laser generator using an RF electron gun, electrons which are charged particles emitted from the RF electron gun are turned by an α-electromagnet, accelerated by an accelerator, and accelerated by an accelerator. The laser beam is guided to an optical resonator composed of a total reflection mirror and an output mirror disposed with an undulator interposed therebetween by the bending electromagnet and amplifies the laser light synchronously, and then is rejected into the beam damper by the bending electromagnet.

【0005】この間の輸送系内における電子ビームを適
切な状態に保持するため、例えば、RF電子銃とα電磁
石の間、α電磁石と加速器の間、加速器と偏向電磁石の
間、および偏向電磁石とアンジュレータの間に1対の四
極電磁石が挿入されている。また、第1の偏向電磁石と
第2の偏向電磁石の間には偏向方向へのエネルギー分散
の拡散を抑える目的で1個の四極電磁石が設置されてい
る。また、加速器の上流と下流、第1と第2の偏向電磁
石の間、およびアンジュレータの前後には、電子ビーム
の位置を管理するためにビームモニターが設けられてい
る。
In order to maintain the electron beam in the transport system during this time, for example, between the RF electron gun and the α-electromagnet, between the α-electromagnet and the accelerator, between the accelerator and the deflection electromagnet, and between the deflection electromagnet and the undulator A pair of quadrupole electromagnets is inserted between them. In addition, one quadrupole electromagnet is provided between the first deflection electromagnet and the second deflection electromagnet in order to suppress diffusion of energy dispersion in the deflection direction. A beam monitor is provided upstream and downstream of the accelerator, between the first and second bending electromagnets, and before and after the undulator to manage the position of the electron beam.

【0006】従来、四極電磁石やビームモニターは個別
に設置されていたため、直線型加速装置中に設備する数
だけビーム輸送系に対してアライメント調整を行う必要
があった。このため、直線型加速装置の設置工事は現場
に熟練度の高い作業者を派遣し、数多くの機器について
時間のかかるアライメント調整を行わなければならなか
った。また、アライメント調整には機器の前後に所定の
作業用スペースを確保する必要があるため、運転の目的
には無用の設備長を有する結果になっていた。
Conventionally, the quadrupole electromagnets and the beam monitors have been separately installed, so that it is necessary to adjust the alignment of the beam transport system by the number provided in the linear accelerator. For this reason, the installation work of the linear accelerator had to dispatch a highly skilled worker to the site and perform time-consuming alignment adjustment for many devices. In addition, it is necessary to secure a predetermined working space before and after the equipment for the alignment adjustment, which results in having an unnecessary equipment length for the purpose of operation.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明が解決
しようとする課題は、直線型加速装置における四極電磁
石およびビームモニターの設置方法を工夫して、アライ
メント調整作業を簡略化することにある。
An object of the present invention is to simplify the alignment adjustment work by devising a method of installing a quadrupole electromagnet and a beam monitor in a linear accelerator.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係る直線型加速装置は、2個の四極電磁石
を対置して搭載できる配置面を備え搭載した四極電磁石
について予め位置調整を行って固定した複数の四極電磁
石定盤を荷電粒子走行軌道中に配設したことを特徴とす
る。また、荷電粒子ビーム位置モニターを搭載し予め位
置調整を行った四極電磁石定盤が含まれていても良い。
なお、直線型加速装置架台上には所定の位置に四極電磁
石定盤全体を位置調整する機構が備えられていることが
好ましい。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems, a linear accelerator according to the present invention adjusts the position of a quadrupole electromagnet provided with an arrangement surface on which two quadrupole electromagnets can be mounted opposite to each other. A plurality of fixed and operated quadrupole electromagnets are arranged in a charged particle traveling orbit. Further, a quadrupole electromagnet surface plate which is equipped with a charged particle beam position monitor and whose position is adjusted in advance may be included.
It is preferable that a mechanism for adjusting the position of the entirety of the quadrupole electromagnet base plate be provided at a predetermined position on the linear accelerator base.

【0009】上記課題を解決するため、本発明に係る直
線型加速装置設置方法は、四極電磁石定盤上の四極電磁
石配置面に四極電磁石を搭載し、搭載した四極電磁石に
ついて四極電磁石定盤を基準として位置調整を行った
後、四極電磁石定盤を直線型加速装置架台上の位置固定
機構に係合させることにより、四極電磁石を荷電粒子走
行軌道中に配設することを特徴とする。また、位置調整
を行った四極電磁石定盤を直線型加速装置架台に備える
ビーム軸に対する位置調整機構に設置してビーム軸位置
調整するようにしてもよい。なお、四極電磁石定盤に荷
電粒子ビーム位置モニターを搭載し、四極電磁石と共に
荷電粒子ビーム位置モニターについて四極電磁石定盤を
基準として位置調整を行うようにしてもよい。
In order to solve the above-mentioned problems, a method of installing a linear accelerator according to the present invention comprises mounting a quadrupole electromagnet on a quadrupole electromagnet surface on a quadrupole electromagnet base plate, and mounting the quadrupole electromagnet on the basis of the quadrupole electromagnet base plate. After the position adjustment is performed, the quadrupole electromagnet is placed in the charged particle traveling trajectory by engaging the quadrupole electromagnet base plate with the position fixing mechanism on the linear accelerator base. Further, the quadrupole electromagnet surface plate whose position has been adjusted may be installed in a position adjustment mechanism for the beam axis provided in the linear accelerator mount to adjust the beam axis position. The charged particle beam position monitor may be mounted on the quadrupole electromagnet base plate, and the position of the charged particle beam position monitor may be adjusted with the quadrupole electromagnet based on the quadrupole electromagnet base plate.

【0010】本発明によれば、複数箇所に設ける四極電
磁石について、荷電粒子加速器の設置場所に限らず製造
工場等において、定盤の上に必要とする四極電磁石を搭
載して、四極電磁石のアライメント調整を定盤に対して
行って定盤上に固定したものを作成し、四極電磁石を搭
載した定盤ごと直線型加速装置架台上の所定位置に配設
すればよい。したがって、高度な技術を要し手間と時間
のかかる四極電磁石のアライメント作業を作業環境の整
った製造工場内で実施することができ、直線型加速装置
のアライメント精度を劣化させることなく装置架台上に
おけるアライメント調整作業を簡略化容易化し、費用の
節減が出来る。また、定盤上でアライメント調整を実施
しておけることから、直線型加速装置組立時に必要とさ
れる調整作業用スペースを省くことができ、装置全体を
より小型化することが可能となる。
According to the present invention, the quadrupole electromagnets provided at a plurality of locations are mounted not only at the place where the charged particle accelerator is installed but also at a manufacturing factory or the like by mounting the necessary quadrupole electromagnets on a surface plate to align the quadrupole electromagnets. What is necessary is just to make an adjustment to the surface plate, to make a fixed one on the surface plate, and to arrange the whole surface plate on which the quadrupole electromagnet is mounted at a predetermined position on the linear accelerator frame. Therefore, it is possible to perform the alignment work of the quadrupole electromagnet, which requires advanced technology and takes time and effort, in the manufacturing factory where the working environment is well-equipped, and the alignment of the linear accelerator can be performed on the device base without deteriorating the alignment accuracy. Alignment adjustment work can be simplified and facilitated, and costs can be reduced. Further, since the alignment adjustment can be performed on the surface plate, a space for adjustment work required at the time of assembling the linear accelerator can be omitted, and the entire apparatus can be further downsized.

【0011】さらに、本発明の直線型加速装置では、四
極電磁石を配設する定盤は原則的に同じ形状であればよ
いから、仕様統一して一括製作することで量産効果によ
り製造費用を低減させることが可能となる。また、荷電
粒子ビームの位置を確認するために必要とされるビーム
モニターはビーム軸を確実にとらえる必要があることか
ら四極電磁石に対する位置関係が問題となるため、四極
電磁石が搭載された定盤上に位置決めして、四極電磁石
と共にアライメント調整を行うことが好ましい。
Further, in the linear accelerator according to the present invention, since the surface plate on which the quadrupole electromagnets are to be arranged has basically the same shape, the manufacturing cost can be reduced by mass production effect by unifying the specifications and collectively manufacturing them. It is possible to do. In addition, the beam monitor required to check the position of the charged particle beam needs to accurately detect the beam axis, so the positional relationship with the quadrupole electromagnet is a problem. It is preferable to perform alignment adjustment together with the quadrupole electromagnet.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、実施例および使用例に基づ
いて本発明に係る直線型加速装置および設置方法を詳細
に説明する。図1から図3は本発明に用いられる四極電
磁石定盤の使用形態を示す斜視図、図4は本発明におけ
る四極電磁石定盤の位置調整方法を示す平面図、図5は
その立面図、図6は本発明の直線型加速装置の実施例と
して架台上に組み立てられた小型リニアックを示す平面
構成図である。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a linear accelerator according to the present invention. FIGS. 1 to 3 are perspective views showing a use form of a quadrupole electromagnet base plate used in the present invention, FIG. 4 is a plan view showing a position adjustment method of the quadrupole electromagnet base plate in the present invention, FIG. FIG. 6 is a plan view showing a small linac assembled on a gantry as an embodiment of the linear accelerator according to the present invention.

【0013】[0013]

【実施例】図1は本発明の直線型加速装置を適用した電
子リニアック型自由電子レーザ発生装置のα電磁石と加
速器の間、加速器と偏向電磁石の間、および偏向電磁石
とアンジュレータの間に配設される四極電磁石定盤10
−aを表した斜視図である。図の四極電磁石定盤10−
aでは、定盤1の上に第1の四極電磁石2と第2の四極
電磁石3が搭載されている。さらに、両電磁石の中間に
はビーム位置モニタ4が設置されている。荷電粒子ビー
ムは第1四極電磁石2と第2四極電磁石3の軸心を貫通
するビーム輸送管5の中心軸付近を通過していくように
配置される。なお、図は定盤1の一部を切り欠いてビー
ム位置モニター4が見えるように表してある。
FIG. 1 shows an electron linac-type free electron laser generator to which the linear accelerator of the present invention is applied, which is disposed between an α electromagnet and an accelerator, between an accelerator and a bending electromagnet, and between a deflection electromagnet and an undulator. Quadrupole electromagnet platen 10
It is a perspective view showing -a. Quadrupole electromagnet surface plate 10-
1A, a first quadrupole electromagnet 2 and a second quadrupole electromagnet 3 are mounted on a base 1. Further, a beam position monitor 4 is provided between the two electromagnets. The charged particle beam is arranged so as to pass near the center axis of the beam transport tube 5 that passes through the axis of the first quadrupole electromagnet 2 and the second quadrupole electromagnet 3. In the figure, a part of the surface plate 1 is cut away so that the beam position monitor 4 can be seen.

【0014】ビーム位置モニター4は、輸送管5の下方
に設けられたフランジ付きノズル管51に取付フランジ
で取り付けられている。ノズル管51は台形をしたモニ
ター支持台6の上面で支えられている。モニター支持台
6は裾に縁部分を有し定盤1にネジなどにより位置調整
が可能な状態で固定される。輸送管5内にターゲットを
出し入れする圧空駆動シリンダは支持フランジに対して
相対位置関係が変わらないように固定されている。支持
フランジは取付フランジから垂下する支持棒で支えられ
ている。支持フランジと取付フランジの間は蛇腹構造で
連結され、ターゲットが荷電粒子ビームの中心位置を正
確に検出できるように位置調整するため、支持フランジ
の固定高さを調整しても、輸送管5内の真空を保持でき
るようになっている。
The beam position monitor 4 is attached to a flanged nozzle pipe 51 provided below the transport pipe 5 with a mounting flange. The nozzle tube 51 is supported on the upper surface of the trapezoidal monitor support 6. The monitor support base 6 has an edge portion at the hem and is fixed to the surface plate 1 in a state where the position can be adjusted by screws or the like. The pneumatic drive cylinder for taking the target in and out of the transport pipe 5 is fixed so that the relative positional relationship with the support flange does not change. The support flange is supported by a support rod hanging from the mounting flange. The support flange and the mounting flange are connected in a bellows structure, and the position of the target is adjusted so that the center position of the charged particle beam can be accurately detected. Vacuum can be maintained.

【0015】圧空駆動シリンダを作動させて、ターゲッ
トを荷電粒子ビーム中に挿入しビーム照射位置を確認し
たり、運転状態に戻すため待避させたりすることができ
る。また、ターゲットの位置や姿勢を確認したり荷電粒
子の位置を観測するための覗き穴52が輸送管5の脇に
付いている。輸送管5の両端には上流側及び下流側のビ
ーム輸送管と接続するためのフランジ53が取り付けら
れている。要素同士の接続を容易にするためフランジ5
3の前に蛇腹管54を挿入しておいても良い。このよう
な構成では、輸送管5は四極電磁石で支えると共に、ノ
ズル管51位置をモニター支持台6で支えて、配管の姿
勢を保持させる。
By operating the pneumatic drive cylinder, the target can be inserted into the charged particle beam to confirm the beam irradiation position, or to be retracted to return to the operation state. Further, a viewing hole 52 for confirming the position and orientation of the target and observing the position of the charged particles is provided beside the transport pipe 5. Flanges 53 for connecting to the upstream and downstream beam transport tubes are attached to both ends of the transport tube 5. Flange 5 for easy connection of elements
The bellows tube 54 may be inserted before 3. In such a configuration, the transport pipe 5 is supported by the quadrupole electromagnet, and the position of the nozzle pipe 51 is supported by the monitor support 6 to maintain the posture of the pipe.

【0016】第1四極電磁石2と第2四極電磁石とでは
N極とS極が入れ替わった配置になっていて、収束作用
と発散作用が鉛直方向と水平方向で入れ替わるようにな
っている。したがって、ビーム輸送管5を通過中の荷電
粒子ビームは、第1四極電磁石2で例えば水平方向に発
散作用を受け、ついで第2四極電磁石3で今度は収束作
用を受けて結局軸に垂直な面内で軸周りに極めて強くエ
ネルギー集中した荷電粒子ビームになる。
The first quadrupole electromagnet 2 and the second quadrupole electromagnet are arranged such that the N pole and the S pole are exchanged, so that the convergence action and the divergence action are interchanged in the vertical and horizontal directions. Therefore, the charged particle beam passing through the beam transport tube 5 is subjected to, for example, a diverging action in the horizontal direction by the first quadrupole electromagnet 2, and then to a convergence action by the second quadrupole electromagnet 3 to end up with a plane perpendicular to the axis. It becomes a charged particle beam with very strong energy concentration around the axis inside.

【0017】荷電粒子ビームの軸が四極電磁石が中心軸
周りに形成する磁場の中心からずれているとビーム軸が
ドリフトしてしまう。そこで、まず両電磁石の軸心が同
一直線上にあるようにアライメント調整する必要があ
る。また、電磁石の軸にビーム輸送管5の中心軸が重な
るように調整する。さらに、直線型加速装置に組み上げ
られたときに実際に荷電粒子ビームが通過する位置を確
認するために用いるビーム位置モニター4のスクリーン
中心が、ビーム輸送管5の中心軸を一致するように調整
しておくことが好ましい。
If the axis of the charged particle beam is deviated from the center of the magnetic field formed around the central axis by the quadrupole electromagnet, the beam axis drifts. Therefore, it is necessary to first adjust the alignment so that the axes of both electromagnets are on the same straight line. In addition, adjustment is performed so that the center axis of the beam transport tube 5 overlaps the axis of the electromagnet. Further, the center of the screen of the beam position monitor 4 used to confirm the position where the charged particle beam actually passes when assembled in the linear accelerator is adjusted so that the center axis of the beam transport tube 5 coincides. It is preferable to keep it.

【0018】四極電磁石は電磁石支持台7の上に設置さ
れる。製作精度が高ければ単に組み上げるだけで寸法精
度が確保できるが、多少の誤差は定盤1に据え付けると
きに水準調整を行うことができる。ビーム軸に対するア
ライメント調整は定盤1上に載置した後で行い、調整後
図示しないボルトナット等により定盤上に固定される。
なお、具体的には四極電磁石を上下2つに分割して、2
個の四極電磁石の下側部分を所定の位置に配置された電
磁石支持台7上に据えた後、ビーム輸送管5を渡して中
心軸位置を調整し、その後それぞれ上側部分をかぶせて
固定する方法などがある。また、四極電磁石の軸位置の
直上や同一レベル位置に刻印されたケガキ線21、31
を利用してアライメント調整や水準調整をすることもで
きる。
The quadrupole electromagnet is installed on the electromagnet support 7. If the manufacturing accuracy is high, the dimensional accuracy can be ensured simply by assembling, but the level can be adjusted when installing the base plate 1 with some errors. The alignment adjustment with respect to the beam axis is performed after being placed on the surface plate 1, and after the adjustment, it is fixed on the surface plate with a bolt nut or the like (not shown).
Specifically, the quadrupole electromagnet is divided into upper and lower
After placing the lower part of the quadrupole electromagnets on the electromagnet support 7 arranged at a predetermined position, adjust the center axis position by passing over the beam transport tube 5, and then cover each upper part and fix them. and so on. Also, the marking lines 21 and 31 are imprinted immediately above the axial position of the quadrupole electromagnet or at the same level position.
Alignment adjustment and level adjustment can also be performed by using.

【0019】これらアライメント調整は、実際の荷電粒
子ビームを使うことができない組立工場においても、定
盤1上に四極電磁石2、3、モニター4、輸送管5等を
組み込んだ後で通常のアライメント調整方法を用いて精
度良く行うことができる。また、直線型加速装置内には
同じ構成の四極電磁石が何カ所かで用いられるが、これ
らは同じ部材を用いて同じ手順で製作することができ
る。
These alignment adjustments can be carried out in an assembly factory where an actual charged particle beam cannot be used, after the quadrupole electromagnets 2, 3, the monitor 4, the transport pipe 5, etc. are assembled on the surface plate 1, the ordinary alignment adjustment is performed. The method can be performed with high accuracy. In addition, quadrupole electromagnets having the same configuration are used in several places in the linear accelerator, and these can be manufactured by the same procedure using the same members.

【0020】図2は自由電子レーザ発生装置のRF電子
銃とα電磁石の間に配設される四極電磁石定盤10−b
を示す斜視図である。なお、本図では図1と同じ要素に
同じ参照番号を付して図1の四極電磁石定盤10−aと
の差異を明確にするようにした。この使用方法では、定
盤1の上に第1の四極電磁石2と第2の四極電磁石3が
搭載されていて、第1四極電磁石2と第2四極電磁石3
の軸心を貫通するビーム輸送管5の中心軸付近を通過し
ていくように配置されるが、ビーム位置モニタは設置さ
れていない。この位置では荷電粒子ビームの軸心位置を
管理するまでもないからである。
FIG. 2 shows a quadrupole electromagnet platen 10-b disposed between the RF electron gun and the α electromagnet of the free electron laser generator.
FIG. In this figure, the same elements as those in FIG. 1 are assigned the same reference numerals to clarify the difference from the quadrupole electromagnet base 10-a in FIG. In this usage method, a first quadrupole electromagnet 2 and a second quadrupole electromagnet 3 are mounted on a surface plate 1, and the first quadrupole electromagnet 2 and the second quadrupole electromagnet 3
Are arranged so as to pass near the central axis of the beam transport pipe 5 penetrating through the axis, but a beam position monitor is not provided. This is because it is not necessary to control the axial center position of the charged particle beam at this position.

【0021】ここで使用される定盤1は図1の定盤と同
じものでよいため、一括製作することができる。また、
第1四極電磁石2と第2四極電磁石3のアライメント調
整方法は図1におけるものと全く同じでよい。
The platen 1 used here may be the same as the platen shown in FIG. 1 and can be manufactured collectively. Also,
The method of adjusting the alignment between the first quadrupole electromagnet 2 and the second quadrupole electromagnet 3 may be exactly the same as that in FIG.

【0022】図3は自由電子レーザ発生装置の1対の偏
向電磁石の間に配設される四極電磁石定盤10−cを示
す斜視図である。本図でも、図1と同じ要素に同じ参照
番号を付して図1の四極電磁石定盤10−aとの差異を
明確にするようにした。この使用方法では、定盤1の上
に1個の四極電磁石2とビーム位置モニタ4が搭載され
ていて、四極電磁石2の中心にビーム輸送管5の中心軸
が位置するように配置される。この位置では偏向磁石で
1方向に拡散したエネルギー分散を除去すれば足りるか
らである。拡散状態を監視するためにビーム位置モニタ
ー4を設けることは望ましい。
FIG. 3 is a perspective view showing a quadrupole electromagnet base plate 10-c disposed between a pair of bending electromagnets of the free electron laser generator. Also in this drawing, the same elements as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals to clarify the difference from the quadrupole electromagnet base plate 10-a in FIG. In this usage method, one quadrupole electromagnet 2 and a beam position monitor 4 are mounted on the surface plate 1, and are arranged so that the center axis of the beam transport tube 5 is located at the center of the quadrupole electromagnet 2. At this position, it is sufficient to remove the energy dispersion diffused in one direction by the deflection magnet. It is desirable to provide a beam position monitor 4 to monitor the state of diffusion.

【0023】ここで使用される定盤1も図1の定盤と同
じものでよい。また、四極電磁石2とビーム位置モニタ
ー4のアライメント調整方法は図1におけるものと全く
同じである。
The platen 1 used here may be the same as the platen shown in FIG. The method of adjusting the alignment between the quadrupole electromagnet 2 and the beam position monitor 4 is exactly the same as that in FIG.

【0024】図4は四極電磁石定盤を直線型加速装置に
配設する方法の1例を説明する平面図、図5はその立面
図である。本図の例では、四極電磁石定盤の上流に真空
バルブ11、下流にビーム電流モニタ12が設備されて
いる。これら機器との接続はビーム輸送管5の両端に設
けた真空用フランジ53により行う。なお、図では1対
の四極電磁石とビーム位置モニタを搭載した四極電磁石
定盤10−aについて表示したが、いずれの四極電磁石
定盤であっても同じ方法で設置されるので、参照番号は
10で代表する。四極電磁石2、3およびビーム位置モ
ニタ4を搭載してアライメント調整を済ませた四極電磁
石定盤10は定盤位置調整装置8に載置する。定盤位置
調整装置8は直線型加速装置の架台9上の所定の位置に
配設されていて、4隅に設けられたネジ棒81により高
さと面の傾きを調整することが出来る。
FIG. 4 is a plan view for explaining an example of a method of disposing the quadrupole electromagnet base plate in the linear accelerator, and FIG. 5 is an elevation view thereof. In the example of this figure, a vacuum valve 11 is provided upstream of the quadrupole electromagnet base plate, and a beam current monitor 12 is provided downstream. Connection with these devices is performed by vacuum flanges 53 provided at both ends of the beam transport tube 5. Although the figure shows the quadrupole electromagnet base plate 10-a equipped with a pair of quadrupole electromagnets and a beam position monitor, any quadrupole electromagnet base plate is installed in the same manner. To represent. The quadrupole electromagnet platen 10 on which the quadrupole electromagnets 2 and 3 and the beam position monitor 4 are mounted and alignment adjustment is completed is mounted on the platen position adjustment device 8. The platen position adjusting device 8 is arranged at a predetermined position on the gantry 9 of the linear acceleration device, and can adjust the height and the inclination of the surface with screw rods 81 provided at four corners.

【0025】また、定盤位置調整装置8の面上に定盤1
の各側面に当接する位置調整具が1対ずつ設けられてい
て、この位置調整具82、83により四極電磁石等が固
定された四極電磁石定盤10全体を調整面上で位置調整
することができる。このような四極電磁石定盤10の位
置調整により四極電磁石等の相互間の位置関係を変える
ことなく、四極電磁石2、3やビーム位置モニタ4につ
いて直線型加速装置架台9に対する最終的なアライメン
ト調整を行うことができる。
The platen 1 is placed on the surface of the platen position adjusting device 8.
A pair of position adjusters abutting on each side surface is provided, and the position adjusters 82 and 83 can adjust the position of the entire quadrupole electromagnet base plate 10 on which the quadrupole electromagnets and the like are fixed on the adjustment surface. . The final alignment adjustment of the quadrupole electromagnets 2 and 3 and the beam position monitor 4 with respect to the linear accelerator rack 9 can be performed without changing the positional relationship between the quadrupole electromagnets and the like by adjusting the position of the quadrupole electromagnet base plate 10. It can be carried out.

【0026】なお、図4と図5では、定盤位置調整装置
8が直線型加速装置架台9に固定されていて、四極電磁
石定盤10の最終的なアライメント調整を定盤位置調整
装置8により実施するようになっているが、定盤位置調
整装置8を四極電磁石定盤10に付属するものとして構
成し、直線型加速装置架台9上の所定位置に図示しない
突起を備え、定盤位置調整装置8に設けた図示しない穴
と係合させて定位置に固定するようにしてもよい。この
場合は、直線型加速装置架台9に取り付ける前に四極電
磁石定盤上における要素機器の位置調整と定盤位置調整
装置上の定盤自体の位置調整を高精度で実施してから、
架台9に定盤位置調整装置自体を組み付けるようにし
て、現場におけるアライメント調整および組立工程を簡
略化することができる。
In FIGS. 4 and 5, the platen position adjusting device 8 is fixed to the linear accelerator base 9, and the final alignment adjustment of the quadrupole electromagnet platen 10 is performed by the platen position adjusting device 8. The platen position adjusting device 8 is configured to be attached to the quadrupole electromagnet platen 10 and has a projection (not shown) at a predetermined position on the linear accelerator base 9 to adjust the position of the platen. It may be fixed to a fixed position by engaging with a hole (not shown) provided in the device 8. In this case, before mounting on the linear accelerator base 9, the position adjustment of the component devices on the quadrupole electromagnet surface plate and the position adjustment of the surface plate itself on the surface plate position adjustment device are performed with high accuracy.
By assembling the platen position adjusting device itself to the gantry 9, the alignment adjustment and assembling process at the site can be simplified.

【0027】また、本図では四極電磁石の下流にビーム
電流モニタを設けているが、四極電磁石定盤1上のビー
ム輸送管5の周囲に図示しないボタン電極を設けてビー
ム電流を測定するようにしても良いことはいうまでもな
い。例えば、2個の四極電磁石に挟まれた位置にビーム
位置モニタと並べて設置することができる。
Although a beam current monitor is provided downstream of the quadrupole electromagnet in this figure, a button electrode (not shown) is provided around the beam transport tube 5 on the quadrupole electromagnet platen 1 to measure the beam current. Needless to say, this is acceptable. For example, a beam position monitor can be installed at a position between two quadrupole electromagnets.

【0028】図6は、本発明の直線型加速装置の1実施
例として示す架台9上に組み立てられた小型リニアック
の平面構成図である。図面は、説明の簡約のため、電子
ビームの輸送系に直接係る部分だけを示したものであ
り、実際の装置には図示しなかったRF導波管や冷却水
配管など、各種ユーティリティが付帯している。
FIG. 6 is a plan view of a small linac assembled on a gantry 9 as an embodiment of the linear accelerator according to the present invention. The drawings show only parts directly related to the electron beam transport system for the sake of simplicity, and various utilities such as an RF waveguide and a cooling water pipe, which are not shown, are attached to the actual device. ing.

【0029】本実施例では、RF電子銃から放射された
電子は、図2に示したような1対の四極電磁石を搭載し
た四極電磁石定盤10−bにより収束度の高い電子ビー
ムに整形された上でα電磁石に投射されて加速器の軸方
向に方向転換する。電子ビームは加速器に入射する前
に、図1に示したような1対の四極電磁石とビーム位置
モニタを搭載した四極電磁石定盤10−aを通過してよ
り高度に収束させられる。四極電磁石の間を通過すると
きの電子ビームの軸心位置はビーム位置モニタにより検
出することができる。
In this embodiment, the electrons emitted from the RF electron gun are shaped into a highly convergent electron beam by the quadrupole electromagnet base plate 10-b having a pair of quadrupole electromagnets as shown in FIG. Then, it is projected onto the α electromagnet and changes its direction in the axial direction of the accelerator. Before being incident on the accelerator, the electron beam passes through a quadrupole electromagnet base plate 10-a equipped with a pair of quadrupole electromagnets and a beam position monitor as shown in FIG. The axial position of the electron beam when passing between the quadrupole magnets can be detected by a beam position monitor.

【0030】電子は加速器で加速され、さらに加速器入
り口と同じ構成を有する四極電磁石定盤10−aを通過
し収束して、1対の偏向電磁石を通過して光共振器に導
かれる。2個の偏向磁石に挟まれた位置には、図3に示
したような1個の四極電磁石とビーム位置モニタを搭載
した四極電磁石定盤10−cが配設されていて、偏向電
磁石を通過することで水平方向に分散した電子ビーム中
の電子を軸方向に収束させる。電子ビームの位置はビー
ム位置モニタで知ることができる。
The electrons are accelerated by the accelerator, pass through a quadrupole electromagnet base plate 10-a having the same configuration as the entrance of the accelerator, converge, pass through a pair of bending electromagnets, and are guided to the optical resonator. At the position between the two bending magnets, a quadrupole electromagnet base plate 10-c equipped with one quadrupole electromagnet and a beam position monitor as shown in FIG. By doing so, electrons in the electron beam dispersed in the horizontal direction are converged in the axial direction. The position of the electron beam can be known by a beam position monitor.

【0031】光共振器はアンジュレータを挟んで配設さ
れる全反射ミラーと出力ミラーで構成され、電子ビーム
はアンジュレータで共振レーザ光と同期してエネルギ増
幅する。なお、発生した自由電子レーザは出力ミラーか
ら取り出して活用する。電子ビームはアンジュレータに
入射する前に、図1に示したような四極電磁石定盤10
−aを通過してより高度に収束させられる。ここを通過
する電子ビームの位置はビーム位置モニタで検出でき
る。電子ビームはアンジュレータを通過した後に偏向電
磁石により共振器の光路から逸らされてビームダンパに
投棄される。
The optical resonator is composed of a total reflection mirror and an output mirror disposed with an undulator interposed therebetween, and the electron beam is amplified by the undulator in synchronization with the resonance laser light. The generated free electron laser is taken out from the output mirror and used. Before the electron beam enters the undulator, a quadrupole electromagnet platen 10 as shown in FIG.
-A to be converged to a higher degree. The position of the electron beam passing therethrough can be detected by a beam position monitor. After passing through the undulator, the electron beam is deflected from the optical path of the resonator by the bending electromagnet and is discarded by the beam damper.

【0032】アンジュレータを通過した後の電子ビーム
の位置はビーム位置モニタにより観察することができ
る。アンジュレータの後ろには四極電磁石を設けないが
ビーム位置モニタを上述の四極電磁石定盤に固定して配
設するようにすると、取付部品の規格化による工程省略
の効果が見込める。
The position of the electron beam after passing through the undulator can be observed by a beam position monitor. A quadrupole electromagnet is not provided behind the undulator, but if the beam position monitor is fixedly disposed on the above-described quadrupole electromagnet base plate, the effect of omitting the process by standardizing the mounting parts can be expected.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上説明した通り、本発明の直線型加速
装置およびその設置方法によれば、装置架台における四
極電磁石およびビーム位置モニタのアライメント調整を
簡易化することにより設置工事をより能率良く行うこと
ができる。また、複数の四極電磁石を配設するときに、
規格化した部材を使用することができるため工事の効率
が向上する。さらに、アライメント調整を行うためのス
ペースを省略することにより装置全体を小型化すること
ができる。また、運転条件の変更にも容易に対処でき
る。
As described above, according to the linear acceleration device and the method of installing the same according to the present invention, the installation work can be performed more efficiently by simplifying the alignment adjustment of the quadrupole electromagnet and the beam position monitor on the device mount. be able to. Also, when arranging multiple quadrupole electromagnets,
Since standardized members can be used, construction efficiency is improved. Further, by omitting a space for performing the alignment adjustment, the entire apparatus can be downsized. Further, it is possible to easily cope with a change in operating conditions.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の直線型加速装置に用いられる四極電磁
石定盤の使用形態を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a usage form of a quadrupole electromagnet used in a linear accelerator according to the present invention.

【図2】本発明の直線型加速装置に用いられる四極電磁
石定盤の第2の使用形態を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a second use mode of the quadrupole electromagnet base plate used in the linear accelerator according to the present invention.

【図3】本発明の直線型加速装置に用いられる四極電磁
石定盤の第3の使用形態を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a third mode of use of the quadrupole electromagnet used in the linear accelerator according to the present invention.

【図4】本発明における四極電磁石定盤の位置調整方法
を示す平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing a method for adjusting the position of a quadrupole electromagnet platen according to the present invention.

【図5】図4の位置調整方法を示す立面図である。FIG. 5 is an elevation view showing the position adjusting method of FIG. 4;

【図6】本発明の直線型加速装置を適用した小型リニア
ックを示す平面構成図である。
FIG. 6 is a plan view showing a small linac to which the linear accelerator according to the present invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 定盤 2、3 四極電磁石 21、31 ケガキ線 4 ビーム位置モニタ 5 ビーム輸送管 51 ノズル管 52 覗き穴 53 フランジ 54 蛇腹管 6 モニター支持台 7 電磁石支持台 8 定盤位置調整装置 81 ネジ棒 82、83 位置調整具 9 直線型加速装置架台 10−a、b、c 四極電磁石定盤 11 真空バルブ 12 ビーム電流モニタ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Surface plate 2, 3 Quadrupole electromagnet 21, 31 Marking line 4 Beam position monitor 5 Beam transport tube 51 Nozzle tube 52 Lookout hole 53 Flange 54 Bellows tube 6 Monitor support stand 7 Electromagnet support stand 8 Surface plate position adjusting device 81 Screw rod 82 , 83 Position adjuster 9 Linear accelerator mount 10-a, b, c Quadrupole platen 11 Vacuum valve 12 Beam current monitor

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 2個の四極電磁石を対置して搭載できる
配置面を備え搭載した四極電磁石について予め位置調整
を行って固定した複数の四極電磁石定盤を荷電粒子走行
軌道中に配設したことを特徴とする直線型加速装置。
1. A plurality of quadrupole electromagnets fixed to a quadrupole electromagnet provided with an arrangement surface on which two quadrupole electromagnets can be mounted opposite to each other and adjusted in advance and arranged in a charged particle traveling orbit. A linear accelerator.
【請求項2】 前記四極電磁石定盤のいずれかが荷電粒
子ビーム位置モニターを搭載し予め位置調整を行ったも
のであることを特徴とする請求項1記載の直線型加速装
置。
2. A linear accelerator according to claim 1, wherein one of said quadrupole electromagnet base plates is equipped with a charged particle beam position monitor and has been adjusted in advance.
【請求項3】 前記直線型加速装置架台上の前記四極電
磁石定盤を配設する位置に位置調整機構が備えられてい
ることを特徴とする請求項1または2記載の直線型加速
装置。
3. The linear acceleration device according to claim 1, wherein a position adjusting mechanism is provided at a position on the linear acceleration device mount where the quadrupole electromagnet surface plate is disposed.
【請求項4】 前記位置調整機構が前記直線型加速装置
架台から取り外し可能であることを特徴とする請求項3
記載の直線型加速装置。
4. The apparatus according to claim 3, wherein the position adjusting mechanism is detachable from the linear accelerator mount.
The linear accelerator as described.
【請求項5】 請求項1から4のいずれかに記載の直線
型加速装置を備えた自由電子レーザ装置。
5. A free electron laser device provided with the linear accelerator according to claim 1.
【請求項6】 四極電磁石定盤上の四極電磁石配置面に
四極電磁石を搭載し、該搭載した四極電磁石について四
極電磁石定盤を基準として位置調整を行い、該四極電磁
石定盤を直線型加速装置架台上の位置固定機構に係合さ
せることにより、四極電磁石を荷電粒子走行軌道中に配
設することを特徴とする直線型加速装置設置方法。
6. A quadrupole electromagnet is mounted on a surface of the quadrupole electromagnet on which the quadrupole electromagnet is arranged, and the mounted quadrupole electromagnet is adjusted in position with reference to the quadrupole electromagnet. A method for installing a linear accelerator, comprising: disposing a quadrupole electromagnet in a charged particle traveling trajectory by engaging with a position fixing mechanism on a gantry.
【請求項7】 前記位置固定機構が該四極電磁石定盤を
直線型加速装置架台上の予めビーム軸上に設置できるよ
うに調整された開孔とピンからなり、該開孔とピンを係
合させることにより、四極電磁石を荷電粒子走行軌道中
に配設することを特徴とする請求項6記載の直線型加速
装置設置方法。
7. The position fixing mechanism comprises an opening and a pin adjusted so that the quadrupole electromagnet base can be installed on a beam axis on a linear accelerator base in advance, and the opening is engaged with the pin. 7. The method according to claim 6, wherein the quadrupole electromagnet is disposed in the traveling trajectory of the charged particle.
【請求項8】 前記位置固定機構がさらに直線型加速装
置架台上で位置調整可能な位置調整機構を有し、前記四
極電磁石定盤を設置した後に位置調整することを特徴と
する請求項6または7記載の直線型加速装置設置方法。
8. The apparatus according to claim 6, wherein said position fixing mechanism further includes a position adjusting mechanism capable of adjusting a position on a linear accelerator frame, and adjusts the position after installing said quadrupole electromagnet. 7. The method for installing a linear accelerator according to 7.
【請求項9】 前記四極電磁石定盤に荷電粒子ビーム位
置モニターを搭載し、前記四極電磁石について位置調整
を行うと共に荷電粒子ビーム位置モニターについて四極
電磁石定盤を基準として位置調整を行うことを特徴とす
る請求項6から8のいずれかに記載の直線型加速装置設
置方法。
9. A charged particle beam position monitor is mounted on the surface of the quadrupole electromagnet, the position of the quadrupole electromagnet is adjusted, and the position of the charged particle beam position monitor is adjusted with reference to the surface of the quadrupole electromagnet. The method for installing a linear accelerator according to any one of claims 6 to 8.
【請求項10】 請求項6から9のいずれかに記載の設
置方法により設置された直線型加速装置を備えた自由電
子レーザ装置。
10. A free electron laser device provided with a linear accelerator installed by the installation method according to claim 6. Description:
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006344466A (en) * 2005-06-08 2006-12-21 Hitachi Plant Technologies Ltd Position adjusting device for electromagnet
US7522026B2 (en) 2005-11-25 2009-04-21 Hitachi Plant Technologies, Ltd. Alignment method and system for electromagnet in high-energy accelerator
TWI514934B (en) * 2013-03-14 2015-12-21 三菱電機股份有限公司 Electromagnet support base
TWI565370B (en) * 2015-09-11 2017-01-01 三菱電機股份有限公司 Electromagnet rack, electromagnet device and particle beam treatment device
TWI625072B (en) * 2016-09-08 2018-05-21 三菱電機股份有限公司 Scanning electromagnet and method for manufacturing particle beam irradiating apparatus having scanning electromagnet
CN108735328A (en) * 2018-07-28 2018-11-02 中国原子能科学研究院 The installation collimator apparatus of quadrupole lense and installation alignment method on proton beam streamline
WO2020218245A1 (en) * 2019-04-26 2020-10-29 東芝エネルギーシステムズ株式会社 Charged particle acceleration device and method for adjusting same
CN114885490A (en) * 2022-06-02 2022-08-09 无锡市核力创芯科技有限公司 Vertically-installed beam transmission line arrangement system and arrangement method thereof
US11639768B2 (en) 2018-10-31 2023-05-02 Toshiba Energy Systems & Solutions Corporation Charged particle transport system and installation method therefor

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006344466A (en) * 2005-06-08 2006-12-21 Hitachi Plant Technologies Ltd Position adjusting device for electromagnet
US7522026B2 (en) 2005-11-25 2009-04-21 Hitachi Plant Technologies, Ltd. Alignment method and system for electromagnet in high-energy accelerator
TWI514934B (en) * 2013-03-14 2015-12-21 三菱電機股份有限公司 Electromagnet support base
TWI565370B (en) * 2015-09-11 2017-01-01 三菱電機股份有限公司 Electromagnet rack, electromagnet device and particle beam treatment device
TWI625072B (en) * 2016-09-08 2018-05-21 三菱電機股份有限公司 Scanning electromagnet and method for manufacturing particle beam irradiating apparatus having scanning electromagnet
JPWO2018047272A1 (en) * 2016-09-08 2019-02-14 三菱電機株式会社 Scanning electromagnet and method for manufacturing particle beam irradiation apparatus provided with scanning electromagnet
CN108735328A (en) * 2018-07-28 2018-11-02 中国原子能科学研究院 The installation collimator apparatus of quadrupole lense and installation alignment method on proton beam streamline
CN108735328B (en) * 2018-07-28 2023-10-24 中国原子能科学研究院 Mounting collimation device and mounting collimation method for quadrupole lens on proton beam line
US11639768B2 (en) 2018-10-31 2023-05-02 Toshiba Energy Systems & Solutions Corporation Charged particle transport system and installation method therefor
JP2020181759A (en) * 2019-04-26 2020-11-05 東芝エネルギーシステムズ株式会社 Charged particle acceleration device and adjustment method thereof
CN113711699A (en) * 2019-04-26 2021-11-26 东芝能源系统株式会社 Charged particle acceleration device and adjustment method thereof
US20210410267A1 (en) * 2019-04-26 2021-12-30 Toshiba Energy Systems & Solutions Corporation Charged particle acceleration device and method for adjusting charged particle acceleration device
KR20210109617A (en) * 2019-04-26 2021-09-06 도시바 에너지시스템즈 가부시키가이샤 Charged particle accelerator and method for adjusting the same
WO2020218245A1 (en) * 2019-04-26 2020-10-29 東芝エネルギーシステムズ株式会社 Charged particle acceleration device and method for adjusting same
US11937362B2 (en) 2019-04-26 2024-03-19 Toshiba Energy Systems & Solutions Corporation Charged particle acceleration device and method for adjusting charged particle acceleration device
CN113711699B (en) * 2019-04-26 2024-05-14 东芝能源系统株式会社 Charged particle accelerator and method for adjusting the same
CN114885490A (en) * 2022-06-02 2022-08-09 无锡市核力创芯科技有限公司 Vertically-installed beam transmission line arrangement system and arrangement method thereof

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