JPH11212042A - Production of faraday rotator - Google Patents

Production of faraday rotator

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JPH11212042A
JPH11212042A JP10015892A JP1589298A JPH11212042A JP H11212042 A JPH11212042 A JP H11212042A JP 10015892 A JP10015892 A JP 10015892A JP 1589298 A JP1589298 A JP 1589298A JP H11212042 A JPH11212042 A JP H11212042A
Authority
JP
Japan
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magnetic field
bismuth
coercive force
rare earth
single crystal
Prior art date
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Pending
Application number
JP10015892A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazushi Shirai
一志 白井
Kenji Ishikura
賢二 石蔵
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Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
Original Assignee
Mitsubishi Gas Chemical Co Inc
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Publication date
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Publication of JPH11212042A publication Critical patent/JPH11212042A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a bismuth-substd. rare earth iron garnet single crystal film having the coercive force to prevent the degradation in the coercive force by cutting with a dicing machine. SOLUTION: The process for producing the Faraday rotator consisting of cutting the bismuth-substd. rare earth iron garnet single crystal film having the characteristic to exhibit the coercive force even after an external magnetic field sufficiently larger than a satd. magnetic field is applied thereon and is then removed to a prescribed size is the process for producing the Faraday rotator which integrates an optical material by adhesion and fixation to the bismuth-substd. rare earth iron garnet single crystal film described above, then cuts the same by the dicing machine. As a result, the bismuth-substd. rare earth iron garnet single crystal film having the coercive force to prevent the degradation in the coercive force is obtd. Since the bismuth-substd. rare earth iron garnet single crystal film is integrated with the optical material as well, the assembly thereof is easy as well.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、保磁力を有するビスマ
ス置換希土類鉄ガーネット単結晶 (以下、BIG と記す)
膜からなるファラデー回転子の製造法であり、詳しく
は、予め、光学材料を被切断物である BIG膜に接着固定
して一体化し、これをダイシングマシーンで切断して、
切断する際に生じるチッピング、またハンドリング等で
生じる表面のキズなどを抑えることにより BIG膜にこれ
ら欠陥が生じた場合に、外部磁界が無い場合に BIG膜が
磁化を保持する力が低下すること、すなわち、 BIG膜の
保磁力が低下することを防ぐものである。
The present invention relates to a bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal having coercive force (hereinafter referred to as BIG).
This is a method of manufacturing a Faraday rotator made of a film.Specifically, an optical material is bonded and fixed to a BIG film, which is an object to be cut, in advance, and this is cut by a dicing machine.
If these defects occur in the BIG film by suppressing chipping that occurs during cutting, and scratches on the surface that occur during handling, etc., the force that the BIG film retains magnetization in the absence of an external magnetic field decreases. That is, the coercive force of the BIG film is prevented from lowering.

【0002】[0002]

【従来の技術】化学式 : (RBi)3(FeM)5O12 (式中のRは
Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb,Dy, Ho, Er, Tm,
Yb およびLuからなる群から選択される1種または2種
以上のであり、MはAlおよびGaの1種または2種以上で
ある。) で表されるビスマス置換希土類鉄ガーネット単
結晶(BIG) 膜は、液相エピタキシャル(LPE) 法で工業的
に製造されている。そして、大きなファラデー効果を示
すことから、これを利用して光アイソレータ、光スイッ
チあるいは光サーキュレータと云ったデバイスが次々と
実用化されている。
2. Description of the Related Art Chemical formula: (RBi) 3 (FeM) 5 O 12 (where R is
Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm,
One or more selected from the group consisting of Yb and Lu, and M is one or more of Al and Ga. The bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal (BIG) film represented by) is industrially manufactured by a liquid phase epitaxial (LPE) method. Since the device exhibits a large Faraday effect, devices such as an optical isolator, an optical switch, and an optical circulator have been put to practical use one after another.

【0003】ファラデー効果とは、磁気光学効果の一種
であって、ファラデー効果を示す材料 (ファラデー回転
子) を透過した光の偏波面が回転する現象であり、該偏
波面の回転方向とその大きさは、ファラデー回転子への
光の入出射方向とは関係せず、ファラデー回転子に加え
た外部磁界の強度とその方向に依存する現象である。BI
G 膜をフラデー回転子とする場合について、図を用いて
説明する。図1は、ヒステリシスを持たない BIG膜の場
合であり、図2〜4はヒステリシスを示す場合であり、
特に図4は、角型ヒステリシスの場合を示す。
[0003] The Faraday effect is a kind of magneto-optical effect, and is a phenomenon in which the plane of polarization of light transmitted through a material exhibiting the Faraday effect (Faraday rotator) rotates. The phenomenon is a phenomenon that is not related to the direction of light entering and exiting the Faraday rotator but depends on the strength and direction of the external magnetic field applied to the Faraday rotator. BI
The case where the G film is used as a Friday rotator will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a case of a BIG film having no hysteresis, and FIGS. 2 to 4 show a case of showing a hysteresis.
In particular, FIG. 4 shows the case of square hysteresis.

【0004】まず、図1において、外部磁界を加えない
とファラデー回転子のファラデー回転角は、ゼロ [0]
、即ち、原点o に位置する。外部磁界が徐々に強まる
と、ファラデー回転角の絶対値 [θf or -θf 、通常、
右回りの回転をプラス、左回りをマイナスとする] は、
経路a 又は経路d を経て、次第に大きくなる [経路o →
a →b 、または、経路o →d →e]。外部磁界がある一定
の磁界強度、すなわち、飽和磁界[Hs]に達すると、ファ
ラデー回転角は、飽和した値 [飽和磁界;b点又はe 点]
となる。更に外部磁界強度が強まっても、すでにファラ
デー回転子は磁気的に飽和してしまっているから、b→c
または d→f へと移行するのみで、ファラデー回転角
の大きさに変化はない。つぎに、外部磁界を徐々に弱め
ていくと、逆の経路、即ち、c →b →a →o 、或いは、
f →e →d →o と原点o に戻る。
First, in FIG. 1, unless an external magnetic field is applied, the Faraday rotation angle of the Faraday rotator becomes zero [0].
That is, it is located at the origin o. When the external magnetic field gradually increases, the absolute value of the Faraday rotation angle [θf or -θf,
Positive for clockwise rotation and negative for counterclockwise]
It gradually increases through route a or route d [route o →
a → b or route o → d → e]. When the external magnetic field reaches a certain magnetic field strength, that is, the saturation magnetic field [Hs], the Faraday rotation angle becomes a saturated value [saturation magnetic field; point b or point e]
Becomes Even if the external magnetic field strength increases, the Faraday rotator is already magnetically saturated, so b → c
Or, only the transition from d to f does not change the magnitude of the Faraday rotation angle. Next, when the external magnetic field is gradually weakened, the reverse path, that is, c → b → a → o, or
Return to f → e → d → o and origin o.

【0005】飽和磁界の比較的大きな BIG膜、例えば、
(HoTbBi)3Fe5O12 のファラデー回転子の外部磁界に対す
る磁化特性、すなわち、外部磁界強度とファラデー回転
角との関係は、ヒステリシスが小さく、概略図1のよう
である。ところが、 BIG膜において、特に鉄Feの一部を
アルミニウムAlやガリウムGaに置換した場合、通常、置
換量に応じて飽和磁界Hsを下げたものが製造でき、か
つ、置換量に応じて磁気的なヒステリシスが大きくなる
という現象が見出された。
A BIG film having a relatively large saturation magnetic field, for example,
The magnetization characteristics of the (HoTbBi) 3 Fe 5 O 12 Faraday rotator with respect to an external magnetic field, that is, the relationship between the external magnetic field strength and the Faraday rotation angle, have a small hysteresis, as shown in FIG. However, in the case of a BIG film, particularly when a part of iron Fe is replaced by aluminum Al or gallium Ga, it is usually possible to manufacture a film in which the saturation magnetic field Hs is lowered according to the replacement amount, and magnetically depending on the replacement amount. The phenomenon that large hysteresis becomes large was found.

【0006】例えば、(GdBi)3(FeAlGa)5O12 は、外部磁
界強度とファラデー回転角との関係において、図2に示
したように、外部磁界を強めて行くとき [経路o →a →
b →c]、弱めて行くとき [経路c →b →b'→a →o]をと
り、その経路が異なる。ここに、このb'点を核形成磁界
[Hc]という。ヒステリシスがより大きくなると、この核
形成磁界Hcが原点(o) を超えて、マイナス側に入り込む
もの (図3)となる。さらに、核形成磁界Hcの絶対値が
飽和磁界Hsの絶対値よりも大きく、マイナス側に入り込
むものでは、四角形のヒステリシスカーブを描く (図
4)ものも見いだされている。
[0006] For example, (GdBi) 3 (FeAlGa) 5 O 12 shows that the relationship between the external magnetic field strength and the Faraday rotation angle increases the external magnetic field as shown in FIG. 2 [path o → a →
b → c], when weakening [path c → b → b '→ a → o], the path is different. Here, this point b 'is
[Hc]. When the hysteresis becomes larger, the nucleation magnetic field Hc goes beyond the origin (o) and enters the minus side (FIG. 3). Further, in the case where the absolute value of the nucleation magnetic field Hc is larger than the absolute value of the saturation magnetic field Hs and falls on the minus side, there is also found one that draws a square hysteresis curve (FIG. 4).

【0007】特に、図4の場合、一旦飽和された後は、
この四角形のループを描くだけとなり、磁気方向の反転
に必要な磁界が BIG膜本来の飽和磁界Hsよりも大きくな
るものもある。図3または図4のような磁気的なヒステ
リシスループを示す BIG膜は、外部磁界の無い状態でビ
スマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜が磁化を保磁し
ていることになる。なお、この図3、4において、磁化
した BIG膜の磁化方向に反対向きの外部磁界によって B
IG膜の磁化の方向が変わる磁界(=上記の核形成磁界Hc)
は、保磁力と定義される。
[0007] In particular, in the case of FIG.
In some cases, only this rectangular loop is drawn, and the magnetic field required for reversing the magnetic direction is larger than the intrinsic saturation magnetic field Hs of the BIG film. In the BIG film showing a magnetic hysteresis loop as shown in FIG. 3 or FIG. 4, the bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal film is coercive in the absence of an external magnetic field. In FIGS. 3 and 4, the external magnetic field in the direction opposite to the magnetization direction of the magnetized BIG film causes
Magnetic field that changes the direction of magnetization of the IG film (= nucleation magnetic field Hc above)
Is defined as the coercive force.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】保磁力の大きい BIG膜
を利用することで、小型で組立コストの安い光アイソレ
ータや光サーキュレータが作製できるとの視点から、本
発明者らは、保磁力が大きい四角形のヒステリシスルー
プを描く BIG膜を開発した( 特願平8-140020) 。永久磁
石を不要として、小型で組立コストの安い光アイソレー
タや光サーキュレータを作製し、これが様々な環境下で
動作するためには、 BIG膜が大きい保磁力、その絶対値
が飽和磁界Hsよりも十分に大きいことが望まれる。
SUMMARY OF THE INVENTION The present inventors have found that a coercive force having a large coercive force can be manufactured by using a BIG film having a large coercive force from the viewpoint that an optical isolator or an optical circulator having a small assembly cost can be manufactured. We have developed a BIG film that draws a square hysteresis loop (Japanese Patent Application No. 8-140020). The BIG film has a large coercive force and its absolute value is more than the saturation magnetic field Hs in order to manufacture a compact and low-cost optical isolator or optical circulator without using permanent magnets and to operate it in various environments. It is desired to be large.

【0009】しかし、製品サイズよりも十分に大きい B
IG膜の状態で十分に大きい保磁力を示すものも、所望の
製品形状に切断する際に生じるチッピングやハンドリン
グなどが原因となって表面についた溝状のキズにより、
保磁力が著しく低下するという重大な問題に直面した。
チッピングとは、切断の際に、 BIG膜の下側の切断面の
エッジが欠ける現象であり、硬くて脆い BIG膜のダイシ
ングマシーンによる切断で、これを完全に回避すること
は極めて困難であった。
However, B which is sufficiently larger than the product size
Even those that show a sufficiently large coercive force in the state of the IG film, due to groove-like scratches on the surface due to chipping and handling that occur when cutting into the desired product shape,
We faced a serious problem that the coercive force was significantly reduced.
Chipping is a phenomenon in which the edge of the lower cut surface of the BIG film is chipped at the time of cutting, and it is extremely difficult to completely avoid this by cutting the hard and brittle BIG film with a dicing machine .

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、飽
和磁界よりも大きい十分な外部磁界を加えて、外部磁界
を除いた後にも保磁力を示す特性のビスマス置換希土類
鉄ガーネット単結晶膜を所定の大きさに切断することか
らなるファラデー回転子の製造法において、該ビスマス
置換希土類鉄ガーネット単結晶膜に光学材料を接着固定
して一体化した後、ダイシングマシーンにて切断するフ
ァラデー回転子の製造法である。
That is, the present invention provides a bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal film having a characteristic that shows a coercive force even after the external magnetic field is removed by applying a sufficient external magnetic field larger than the saturation magnetic field. In a method of manufacturing a Faraday rotator, which is cut into a predetermined size, an optical material is bonded and fixed to the bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal film, and then the Faraday rotator cut with a dicing machine. It is a manufacturing method.

【0011】本発明において、該保磁力を示す特性の B
IG膜としては、磁化処理により四角形のヒステリシスル
ープを描くものが好適である。また、接着固定する光学
材料としては、ガラス偏光素子、複屈折板、ガラスまた
はガラスに金属を蒸着してなる金属薄膜ミラーが挙げら
れる。
In the present invention, the coercive force characteristic B
As the IG film, a film that draws a square hysteresis loop by a magnetization process is preferable. Examples of the optical material to be bonded and fixed include a glass polarizing element, a birefringent plate, glass and a metal thin film mirror formed by depositing a metal on glass.

【0012】以下、本発明を詳細に説明する。まず、室
温で角型ヒステリシスを示すビスマス置換希土類鉄ガー
ネット単結晶(BIG) は、磁気的な関与の大きい希土類イ
オン Gd, Tb, Ho を主成分としたものに多く、例えば、
(GdYBi)3(FeGa)5O12、(TbBi)3(FeGaAl)5O12(特開平08-1
40020)、(TbHoBi)3(FeGaAl)5O12(特開平08-186192)など
がある。また、磁性イオンではない La, Yを主成分とし
たBIG: (YLaBi)3(FeGa)5O12 においても、Gaを多量に置
換すると角型ヒステリシスを示すようになる。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. First, bismuth-substituted rare-earth iron garnet single crystals (BIG) exhibiting square hysteresis at room temperature are often mainly composed of rare earth ions Gd, Tb, and Ho, which have a large magnetic contribution.
(GdYBi) 3 (FeGa) 5 O 12 , (TbBi) 3 (FeGaAl) 5 O 12 (JP-A-08-1
40020), (TbHoBi) 3 (FeGaAl) 5 O 12 (JP-A-08-186192). Also, BIG: (YLaBi) 3 (FeGa) 5 O 12 , which is mainly a magnetic ion and mainly composed of La and Y, shows a square hysteresis when Ga is replaced in a large amount.

【0013】しかし、一般にファラデー回転子としての
BIG としては、ファラデー回転角の温度変化の大きい
(YLaBi)3(FeGa)5O12 などGaを多量に置換されたBIG は
不向きである。また、使用温度範囲 (例えば−40〜90
℃) で安定して動作するためにはこの温度範囲で十分な
保磁力を有することが必須である。これらから、本発明
においては、(TbBi)3(FeGaAl)5O12 が最も好ましい。
However, in general, a Faraday rotator
As a BIG, the temperature change of the Faraday rotation angle is large
BIG substituted with a large amount of Ga, such as (YLaBi) 3 (FeGa) 5 O 12, is not suitable. The operating temperature range (for example, -40 to 90
(° C), it is essential to have a sufficient coercive force in this temperature range. From these, (TbBi) 3 (FeGaAl) 5 O 12 is most preferred in the present invention.

【0014】BIG は、その目的とする用途に応じて、適
宜、ガラス偏光素子、複屈折板、ガラスまたはガラスに
金属を蒸着してなる金属薄膜ミラーなどを組み合わせて
使用される。例えば、光アイソレータでは、相互の偏光
方向を45度傾けた2枚の偏光素子または2枚の複屈折板
で BIGを挟んで配置される。光サーキュレータや光スイ
ッチでは、偏光方向によって光路を分ける偏光プリズム
や複屈折板とλ/2位相差板で BIGを挟んで配置され
る。また、ファラデーミラーには反射板が用いられ、光
磁界センサでは反射板と偏光素子とで BIGを挟んで配置
される。これらの使用目的に応じて選択した光学材料を
両面に接着固定し、ダイシングマシーンにて切断するこ
とにより、新たにこれら光学材料を配置することなく、
目的に使用可能となり好ましいものである。上記により
本発明のファラデー回転子を製造法するが、本発明にお
いては、切断後、熱処理し、その後に外部磁界を加えて
着磁処理することが好ましい。
The BIG is appropriately used in combination with a glass polarizing element, a birefringent plate, a glass or a metal thin film mirror obtained by depositing a metal on glass, depending on the intended use. For example, in an optical isolator, a BIG is interposed between two polarizing elements or two birefringent plates whose polarization directions are inclined by 45 degrees. In an optical circulator or an optical switch, a BIG is interposed between a polarizing prism or a birefringent plate that separates an optical path according to a polarization direction and a λ / 2 retardation plate. In addition, a reflection plate is used for the Faraday mirror, and in the optical magnetic field sensor, the reflection plate and the polarizing element are arranged with the BIG interposed therebetween. By bonding and fixing the optical materials selected according to these purposes on both sides and cutting them with a dicing machine, without newly arranging these optical materials,
It is preferable because it can be used for the purpose. The method of manufacturing the Faraday rotator of the present invention is as described above. In the present invention, it is preferable to perform heat treatment after cutting, and then perform magnetizing treatment by applying an external magnetic field.

【0015】[0015]

【効果】保磁力の低下が防止されたビスマス置換希土類
鉄ガーネット単結晶(BIG) 膜からなるファラデー回転子
が得られた。そして、目的とする光学材料が BIG膜に接
着固定されているので、目的とする光学機器の組立も容
易で簡便となった。
[Effect] A Faraday rotator made of a bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal (BIG) film in which a decrease in coercive force was prevented was obtained. Since the target optical material is bonded and fixed to the BIG film, the target optical device can be easily and easily assembled.

【0016】[0016]

【実施例】実施例1 5,000(Oe) の外部磁界による着磁にて保磁力 420(Oe)を
示した厚み 0.4mm、10mm×10mmの BIG膜((TbBi)3(FeGaA
l)5O12) を厚み 0.3mm、10mm×10mmのガラス板にて挟み
込んでエポキシ系の接着剤で固着した後、大きさ 1mm×
1mm(81個) に切断した。切断機にはディスコ社製ダイシ
ングソーを使用し、厚さ 100μmのダイヤモンドブレー
ドにて毎秒 0.3mmの速度にて行った。得られた 1mm×1m
m 品81個を 150℃で 1時間熱処理した後、室温 5,000(O
e)の外部磁界にて着磁して、保磁力を測定した。その結
果、最も小さい保磁力を示したものの値は 320(Oe)であ
った。
EXAMPLE 1 A 0.4 mm thick, 10 mm × 10 mm BIG film ((TbBi) 3 (FeGaA) showing a coercive force of 420 (Oe) when magnetized by an external magnetic field of 5,000 (Oe)
l) 5 O 12 ) is sandwiched between glass plates with a thickness of 0.3 mm and 10 mm x 10 mm and fixed with an epoxy-based adhesive.
It was cut into 1 mm (81 pieces). A dicing saw manufactured by DISCO was used as a cutting machine, and the cutting was performed at a speed of 0.3 mm / sec with a diamond blade having a thickness of 100 μm. 1mm x 1m obtained
m After heat-treating 81 pieces at 150 ° C for 1 hour,
The magnet was magnetized by the external magnetic field of e), and the coercive force was measured. As a result, the value showing the smallest coercive force was 320 (Oe).

【0017】実施例2 実施例1において、厚み 0.3mm、10mm×10mmのガラス板
に代えて、厚み 0.2mm、10mm×10mmのガラス偏光素子
(コーニング社製、商品名;ポーラコア) を用い、相互
の偏光方向45度に設定して用いた他は同様とした。その
結果、最も小さい保磁力を示したものの値は 300(Oe)で
あった。
Example 2 In Example 1, a glass polarizing element having a thickness of 0.2 mm and 10 mm × 10 mm was used instead of a glass plate having a thickness of 0.3 mm and 10 mm × 10 mm.
(Corning Co., product name; Polar core) was used, except that the polarization direction was set to 45 degrees. As a result, the value showing the smallest coercive force was 300 (Oe).

【0018】実施例3 実施例2において、厚み 0.2mm、10mm×10mmのガラス偏
光素子に代えて、厚み1mm、10mm×10mmのルチル偏光素
子を用いた他は同様とした。なお、切断前の BIG膜につ
いて、5,000(Oe) の外部磁界にて着磁したところ、その
保磁力は 410(Oe)を示した。その結果、最も小さい保磁
力を示したものの値は 330(Oe)であった。
Example 3 Example 2 was the same as Example 2, except that a 1 mm thick, 10 mm × 10 mm rutile polarizing element was used instead of the 0.2 mm thick, 10 mm × 10 mm glass polarizing element. The coercive force of the BIG film before cutting was 410 (Oe) when it was magnetized with an external magnetic field of 5,000 (Oe). As a result, the value showing the smallest coercive force was 330 (Oe).

【0019】実施例4 5,000(Oe) の外部磁界による着磁にて保持力 460(Oe)を
示した厚み 0.4mm、10mm×10mmの BIG膜((TbBi)3(FeGaA
l)5O12) を、厚み 1mm、10mm×10mmのガラス板と片面に
金属薄膜蒸着した厚み 1mm、10mm×10mmのガラスミラー
のガラス面とにて挟み込んでエポキシ系の接着剤で固着
したものを用いる他は、実施例1と同様にした。その結
果、最も小さい保磁力を示したものの値は 290(Oe)であ
った。
Example 4 A 0.4 mm thick, 10 mm × 10 mm BIG film ((TbBi) 3 (FeGaA) showing a coercive force of 460 (Oe) when magnetized by an external magnetic field of 5,000 (Oe)
l) 5 O 12 ) is sandwiched between a 1 mm thick, 10 mm × 10 mm glass plate and a glass surface of a 1 mm, 10 mm × 10 mm glass mirror with a metal thin film deposited on one side, and fixed with an epoxy adhesive The same procedures as in Example 1 were carried out except for using. As a result, the value showing the smallest coercive force was 290 (Oe).

【0020】比較例1 5,000(Oe) の外部磁界による着磁にて保持力 450(Oe)を
示した厚み 0.4mm、10mm×10mmの BIG膜((TbBi)3(FeGaA
l)5O12) を、そのまま切断に使用する他は実施例1と同
様にした。その結果、最も小さい保磁力を示したものの
値は 180(Oe)であった。
Comparative Example 1 A 0.4 mm thick, 10 mm × 10 mm BIG film ((TbBi) 3 (FeGaA) showing a coercive force of 450 (Oe) when magnetized by an external magnetic field of 5,000 (Oe)
l) The procedure of Example 1 was repeated except that 5 O 12 ) was used as it was for cutting. As a result, the value showing the smallest coercive force was 180 (Oe).

【0021】比較例2 比較例1にて切断したビスマス置換希土類鉄ガーネット
単結晶の中で、平均的な保磁力360(Oe) を有する試料の
表面にガラス切りにてキズをつけて、 150℃で1時間処
理した後、同様の着磁処理を行った。その結果、保磁力
は 120(Oe)であり、大幅に低下した。
Comparative Example 2 In the bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal cut in Comparative Example 1, the surface of a sample having an average coercive force of 360 (Oe) was scratched with a glass cutter, and 150 ° C. , And the same magnetization treatment was performed. As a result, the coercive force was 120 (Oe), which was significantly reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】磁気的なヒステリシスを示さないビスマス置換
希土類鉄ガーネット単結晶の磁気特性の一例を示す模式
図である。
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an example of magnetic properties of a bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal that does not exhibit magnetic hysteresis.

【図2】やや大きい磁気的なヒステリシスループを示す
ビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶の磁気特性の一
例を示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of magnetic properties of a bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal showing a somewhat large magnetic hysteresis loop.

【図3】大きな磁気的なヒステリシスループを示すビス
マス置換希土類鉄ガーネット単結晶の磁気特性の一例を
示す模式図である。
FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of magnetic properties of a bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal showing a large magnetic hysteresis loop.

【図4】大きな磁気的なヒステリシスのため、四角形の
ヒステリシスループをなすビスマス置換希土類鉄ガーネ
ット単結晶の磁気特性の一例を示す模式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of magnetic properties of a bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal forming a square hysteresis loop for large magnetic hysteresis.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 飽和磁界よりも大きい十分な外部磁界を
加えて、外部磁界を除いた後にも保磁力を示す特性のビ
スマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜を所定の大きさ
に切断することからなるファラデー回転子の製造法にお
いて、該ビスマス置換希土類鉄ガーネット単結晶膜に光
学材料を接着固定して一体化した後、ダイシングマシー
ンにて切断するファラデー回転子の製造法。
The method comprises cutting a bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal film having a characteristic exhibiting coercive force even after removing an external magnetic field by applying a sufficient external magnetic field larger than a saturation magnetic field to a predetermined size. In a method for manufacturing a Faraday rotator, an optical material is bonded and fixed to the bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal film, and then cut by a dicing machine.
【請求項2】 該ビスマス置換希土類鉄ガーネット単結
晶膜が、その飽和磁界よりも大きい十分な外部磁界を加
えることにより四角形のヒステリシスループを描くもの
とできる請求項1記載のファラデー回転子の製造法。
2. A method for manufacturing a Faraday rotator according to claim 1, wherein said bismuth-substituted rare earth iron garnet single crystal film can form a square hysteresis loop by applying a sufficient external magnetic field larger than its saturation magnetic field. .
【請求項3】 該接着固定する光学材料が、ガラス偏光
素子である請求項1記載のファラデー回転子の製造法。
3. The method for producing a Faraday rotator according to claim 1, wherein the optical material to be bonded and fixed is a glass polarizing element.
【請求項4】 該接着固定する光学材料が、複屈折板で
ある請求項1記載のファラデー回転子の製造法。
4. The method for producing a Faraday rotator according to claim 1, wherein the optical material to be bonded and fixed is a birefringent plate.
【請求項5】 該接着固定する光学材料が、ガラスまた
はガラスに金属を蒸着してなる金属薄膜ミラーである請
求項1記載のファラデー回転子の製造法。
5. The method for manufacturing a Faraday rotator according to claim 1, wherein the optical material to be bonded and fixed is glass or a metal thin film mirror formed by depositing metal on glass.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003337312A (en) * 2002-03-14 2003-11-28 Tdk Corp Manufacturing method for optical device, optical device, manufacturing method for faraday rotator, and optical communication system

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