JPH11201165A - Control type magnetic bearing device - Google Patents
Control type magnetic bearing deviceInfo
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- JPH11201165A JPH11201165A JP10002707A JP270798A JPH11201165A JP H11201165 A JPH11201165 A JP H11201165A JP 10002707 A JP10002707 A JP 10002707A JP 270798 A JP270798 A JP 270798A JP H11201165 A JPH11201165 A JP H11201165A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、たとえばターボ
分子ポンプなどに使用され、回転体を磁気軸受により磁
気的に非接触支持する制御型磁気軸受装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a control type magnetic bearing device which is used, for example, in a turbo-molecular pump or the like, and which supports a rotating body in a magnetically non-contact manner by a magnetic bearing.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種の制御型磁気軸受装置として、１
組のアキシアル磁気軸受と２組のラジアル磁気軸受とで
回転体を非接触支持するものが知られている。アキシア
ル磁気軸受は、回転体を１つのアキシアル制御軸（アキ
シアル方向の制御軸）方向の両側から挟むように配置さ
れた１対の電磁石を備えている。各ラジアル磁気軸受
は、互いに直交する２つのラジアル制御軸（ラジアル方
向の制御軸）のそれぞれについて、回転体をラジアル制
御軸方向の両側から挟むように配置された１対の電磁石
を備えている。各磁気軸受における各制御軸方向の１対
の電磁石には、電磁石制御装置から励磁電流が供給され
る。電磁石制御装置は、１つの制御軸方向の回転体の変
位を検出する変位検出装置からの変位検出信号に基づい
てその制御軸方向の１対の電磁石に供給する励磁電流を
制御するものであり、１対の電磁石に供給される励磁電
流は、一定のバイアス電流に対して、変位検出信号に応
じて変化する制御電流を加算あるいは減算したものであ
る。つまり、１対の電磁石の一方に供給される励磁電流
は、バイアス電流に制御電流を加算したものであり、他
方に供給される励磁電流は、バイアス電流から制御電流
を減算したものである。そして、電磁石制御装置は、変
位検出信号に基づいて１対の電磁石に対する制御電流値
を演算し、一定のバイアス電流値と上記制御電流値を加
算した値を一方の電磁石に対する励磁電流値とし、上記
バイアス電流値から上記制御電流値を減算した値を他方
の電磁石に対する励磁電流値とする。2. Description of the Related Art As a control type magnetic bearing device of this kind, there is a 1
There is known a set of axial magnetic bearings and two sets of radial magnetic bearings that support a rotating body in a non-contact manner. The axial magnetic bearing includes a pair of electromagnets arranged so as to sandwich the rotating body from both sides in one axial control axis (axial control axis) direction. Each radial magnetic bearing is provided with a pair of electromagnets arranged so as to sandwich the rotating body from both sides in the radial control axis direction for each of two radial control axes (control axes in the radial direction) orthogonal to each other. An exciting current is supplied from an electromagnet controller to a pair of electromagnets in each control axis direction in each magnetic bearing. The electromagnet control device controls an excitation current supplied to a pair of electromagnets in the control axis direction based on a displacement detection signal from a displacement detection device that detects a displacement of the rotating body in one control axis direction, The excitation current supplied to the pair of electromagnets is obtained by adding or subtracting a constant bias current to a control current that changes according to a displacement detection signal. That is, the exciting current supplied to one of the pair of electromagnets is obtained by adding the control current to the bias current, and the exciting current supplied to the other is obtained by subtracting the control current from the bias current. Then, the electromagnet control device calculates a control current value for the pair of electromagnets based on the displacement detection signal, and sets a value obtained by adding a constant bias current value and the control current value to an excitation current value for one electromagnet. A value obtained by subtracting the control current value from the bias current value is set as an exciting current value for the other electromagnet.
【０００３】図１は、回転体(1)を１つのラジアル制御
軸方向に非接触支持する１対の電磁石(2)(3)、回転体
(1)の上記制御軸方向の変位を検出する変位検出装置
(4)、および変位検出装置(1)の出力信号である変位検出
信号に基づいて電磁石(2)(3)に供給する励磁電流を制御
する従来の電磁石制御装置(5)の１例を示している。FIG. 1 shows a pair of electromagnets (2) and (3) supporting a rotating body (1) in a non-contact manner in one radial control axis direction, and a rotating body.
(1) Displacement detector for detecting displacement in the control axis direction
(4) and an example of a conventional electromagnet control device (5) for controlling an excitation current supplied to the electromagnets (2) and (3) based on a displacement detection signal which is an output signal of the displacement detection device (1). ing.
【０００４】１対の電磁石(2)(3)は、回転体(1)を上記
制御軸方向の両側から挟むように配置され、制御装置
(5)から供給される励磁電流により回転体(1)を上記制御
軸方向の反対側に吸引して非接触支持するようになって
いる。A pair of electromagnets (2) and (3) are arranged so as to sandwich the rotating body (1) from both sides in the control axis direction, and a control device is provided.
The rotating body (1) is attracted to the opposite side in the control axis direction by the excitation current supplied from (5) and is supported in a non-contact manner.
【０００５】変位検出装置(4)は、図示は省略したが、
回転体(1)を上記制御軸方向の両側から挟むように配置
された１対の位置センサを備えている。各位置センサは
回転体(1)との空隙（ギャップ）の大きさに比例した信
号を出力するものであり、変位検出装置(4)は、１対の
位置センサの一方の出力信号から他方の出力信号を減算
することにより、回転体(1)の上記制御軸方向の目標位
置に対する変位に比例した変位検出信号を制御装置(5)
に出力する。The displacement detector (4) is not shown in the figure,
There is provided a pair of position sensors disposed so as to sandwich the rotating body (1) from both sides in the control axis direction. Each position sensor outputs a signal proportional to the size of a gap with the rotating body (1), and the displacement detecting device (4) uses one output signal of the pair of position sensors to output the other signal. By subtracting the output signal, a displacement detection signal proportional to the displacement of the rotating body (1) with respect to the target position in the control axis direction is output from the control device (5).
Output to
【０００６】電磁石制御装置(5)は、ＡＤ変換器(6)、制
御電流演算部(7)、ＤＡ変換器(8)、加算器(9)、減算器
(10)および２つの電力増幅器(11)(12)を備えている。The electromagnet controller (5) includes an AD converter (6), a control current calculator (7), a DA converter (8), an adder (9), and a subtractor.
(10) and two power amplifiers (11) and (12).
【０００７】変位検出装置(4)からの変位検出信号は、
ＡＤ変換器(6)によりディジタル値に変換されて、制御
電流演算部(7)に入力する。制御電流演算部(7)はたとえ
ばディジタル信号処理プロセッサで構成されており、変
位検出信号に基づいて、たとえばＰＩＤ演算により、電
磁石(2)(3)に対する制御電流値Ｉcを演算する。制御電
流演算部(17)から出力される制御電流値ＩcはＤＡ変換
器(8)によりアナログ値に変換されて、加算器(9)および
減算器(10)に供給される。加算器(9)および減算器(10)
には、制御電流値Ｉcの他に、一定のバイアス電流値Ｉo
が入力している。バイアス電流値Ｉoは、たとえば、ポ
テンショメータを調整することにより、所定の値に設定
されている。加算器(9)は、バイアス電流値Ｉoと制御電
流値Ｉcを加算し、その結果得られた信号（Ｉo＋Ｉc）
を第１の励磁電流信号として第１の電力増幅器(11)に供
給する。第１の電力増幅器(11)は、第１の励磁電流信号
（Ｉo＋Ｉc）を増幅し、これに比例する励磁電流を第１
の電磁石(2)に供給する。減算器(10)は、バイアス電流
値Ｉoから制御電流値Ｉcを減算し、その結果得られた信
号（Ｉo−Ｉc）を第２の励磁電流信号として第２の電力
増幅器(12)に供給する。第２の電力増幅器(12)は、第２
の励磁電流信号（Ｉo−Ｉc）を増幅し、これに比例する
励磁電流を第２の電磁石(3)に供給する。その結果、回
転体(1)が上記制御軸方向の目標位置に支持される。The displacement detection signal from the displacement detection device (4) is
The data is converted into a digital value by the AD converter (6) and input to the control current calculation unit (7). The control current calculation unit (7) is composed of, for example, a digital signal processor, and calculates a control current value Ic for the electromagnets (2) and (3) based on the displacement detection signal, for example, by PID calculation. The control current value Ic output from the control current calculation unit (17) is converted into an analog value by the DA converter (8) and supplied to the adder (9) and the subtracter (10). Adder (9) and subtractor (10)
Has a constant bias current value Io in addition to the control current value Ic.
Is entered. The bias current value Io is set to a predetermined value, for example, by adjusting a potentiometer. The adder (9) adds the bias current value Io and the control current value Ic, and a signal (Io + Ic) obtained as a result.
To the first power amplifier (11) as a first excitation current signal. The first power amplifier (11) amplifies the first exciting current signal (Io + Ic) and generates an exciting current proportional to the first exciting current signal (Io + Ic).
To the electromagnet (2). The subtracter (10) subtracts the control current value Ic from the bias current value Io, and supplies the resulting signal (Io-Ic) as a second excitation current signal to the second power amplifier (12). . The second power amplifier (12) includes a second power amplifier (12).
, And supplies an exciting current proportional to this to the second electromagnet (3). As a result, the rotating body (1) is supported at the target position in the control axis direction.
【０００８】上記のような従来の電磁石制御装置(5)で
は、制御電流演算部(7)で演算したディジタルの制御電
流値Ｉcをアナログ値に変換した後にバイアス電流値Ｉo
との加算あるいは減算を行っているため、次のような問
題がある。In the conventional electromagnet control device (5) as described above, the digital control current value Ic calculated by the control current calculation section (7) is converted into an analog value, and then the bias current value Io is converted.
Since addition or subtraction is performed, there is the following problem.
【０００９】まず、制御電流演算部(7)で演算された制
御電流値Ｉcは、変位検出信号の極性すなわち回転体(1)
の変位の方向により変化し、正負両方の極性をとりう
る。このため、ＤＡ変換器(8)として高価な両極性入力
のＤＡ変換器を用いる必要がある。また、バイアス電流
値Ｉoを設定するためのポテンショメータなどのアナロ
グ機器、バイアス電流値Ｉoと制御電流値Ｉcとのアナロ
グ的な加算、減算を行うための加算器(9)、減算器(10)
というアナログ回路が必要である。このため、電磁石制
御装置(5)が高価なものになる。さらに、バイアス電流
値Ｉoはポテンショメータなどによって設定されるた
め、バイアス電流値Ｉoの変更が面倒であり、とくに磁
気軸受装置の運転中にバイアス電流値Ｉoを変更するこ
とはきわめて困難である。First, the control current value Ic calculated by the control current calculation section (7) is the polarity of the displacement detection signal, that is, the rotating body (1).
It changes depending on the direction of displacement, and can take both positive and negative polarities. For this reason, it is necessary to use an expensive DA converter with a bipolar input as the DA converter (8). Also, an analog device such as a potentiometer for setting the bias current value Io, an adder (9) for performing analog-like addition and subtraction of the bias current value Io and the control current value Ic, and a subtractor (10)
Analog circuit is required. For this reason, the electromagnet controller (5) becomes expensive. Further, since the bias current value Io is set by a potentiometer or the like, it is troublesome to change the bias current value Io, and particularly it is extremely difficult to change the bias current value Io during operation of the magnetic bearing device.
【００１０】この発明の目的は、上記の問題を解決し、
電磁石制御手段の構成が簡単で安価であり、しかもバイ
アス電流値の変更が容易な磁気軸受装置を提供すること
にある。An object of the present invention is to solve the above problems,
An object of the present invention is to provide a magnetic bearing device in which the configuration of the electromagnet control means is simple and inexpensive, and the bias current value can be easily changed.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明による磁気軸受装置は、回転体を１つの制御軸方向の
両側から挟んで前記制御軸方向に非接触支持する１対の
電磁石と、前記回転体の前記制御軸方向の変位を検出す
る変位検出手段と、前記変位検出手段からの変位検出信
号に基づいて前記１対の電磁石に供給する励磁電流を制
御する電磁石制御手段とを備えている制御型磁気軸受装
置において、前記電磁石制御手段が、前記変位検出信号
に基づいて前記１対の電磁石に対する制御電流値を演算
し、一定のバイアス電流値と前記制御電流値を加算した
値を一方の励磁電流値とし、前記バイアス電流値から前
記制御電流値を減算した値を他方の励磁電流値として出
力するディジタル処理手段を備えていることを特徴とす
るものである。According to the present invention, there is provided a magnetic bearing device comprising: a pair of electromagnets which support a rotating body in a non-contact manner in the control axis direction while sandwiching a rotating body from both sides in a control axis direction; Displacement detection means for detecting displacement of the rotating body in the control axis direction, and electromagnet control means for controlling an excitation current supplied to the pair of electromagnets based on a displacement detection signal from the displacement detection means. In the control type magnetic bearing device, the electromagnet control means calculates a control current value for the pair of electromagnets based on the displacement detection signal, and adds one of a constant bias current value and the control current value to one of the values. A digital processing means is provided which outputs the value obtained by subtracting the control current value from the bias current value as the other exciting current value as the exciting current value.
【００１２】ディジタル処理手段としては、たとえばＭ
ＰＵ（マイクロプロセッサ）、ディジタル信号処理プロ
セッサなどが使用される。ディジタル信号処理プロセッ
サ（Digital Signal Processor）とは、ディジタル信号
を入力してディジタル信号を出力し、ソフトウェアプロ
グラムが可能で、高速実時間処理が可能な専用ハードウ
ェアをさす。なお、以下、これを「ＤＳＰ」と略すこと
にする。As digital processing means, for example, M
A PU (microprocessor), a digital signal processor or the like is used. A digital signal processor (Digital Signal Processor) refers to dedicated hardware that inputs a digital signal, outputs a digital signal, is capable of software programming, and is capable of high-speed real-time processing. Hereinafter, this is abbreviated as “DSP”.
【００１３】ディジタル処理手段において演算された２
つの励磁電流値は、ＤＡ変換器によりアナログ値に変換
されて、励磁電流信号として電力増幅器に供給される。2 calculated by the digital processing means
The two exciting current values are converted into analog values by a DA converter and supplied to the power amplifier as exciting current signals.
【００１４】変位検出信号に基づく制御電流値の演算、
バイアス電流値の設定、バイアス電流値に対する制御電
流値の加算、減算がディジタル処理手段によりディジタ
ル的に行われるので、従来のようなポテンショメータ、
加算器、減算器などのアナログ機器、アナログ回路が不
要である。また、ディジタル処理手段からＤＡ変換器に
供給される２つの励磁電流値は、すでにバイアス電流値
に対する制御電流値の加算、減算が行われたものである
から、これら２つの励磁電流値の極性は同一でかつ一定
であり、ＤＡ変換器として、安価な単極性入力のＤＡ変
換器を用いることができる。したがって、電磁石制御手
段の構成が簡単で、これを安価に製作することができ
る。さらに、バイアス電流値は、ディジタル処理手段に
接続された不揮発性メモリなどに記憶しておくことがで
きるので、バイアス電流値の変更が簡単であり、磁気軸
受装置の運転中でも、必要に応じて、バイアス電流値を
容易に変更することができる。Calculation of a control current value based on the displacement detection signal;
Since the setting of the bias current value, and the addition and subtraction of the control current value to and from the bias current value are performed digitally by digital processing means, a conventional potentiometer,
Analog devices such as adders and subtractors and analog circuits are not required. Since the two exciting current values supplied from the digital processing means to the DA converter have already been obtained by adding and subtracting the control current value to the bias current value, the polarities of these two exciting current values are An inexpensive unipolar input DA converter can be used as the same and constant DA converter. Therefore, the configuration of the electromagnet control means is simple, and it can be manufactured at low cost. Further, since the bias current value can be stored in a nonvolatile memory or the like connected to the digital processing means, it is easy to change the bias current value, and even during operation of the magnetic bearing device, if necessary, The bias current value can be easily changed.
【００１５】たとえば、前記ディジタル処理手段に不揮
発性メモリが接続され、前記不揮発性メモリに前記バイ
アス電流値が記憶されている。For example, a nonvolatile memory is connected to the digital processing means, and the bias current value is stored in the nonvolatile memory.
【００１６】たとえば、前記不揮発性メモリがパソコン
（パーソナルコンピュータ）などのコンピュータに接続
され、前記コンピュータにより前記不揮発性メモリに記
憶されているバイアス電流値が書き替えられる。For example, the nonvolatile memory is connected to a computer such as a personal computer (personal computer), and the computer rewrites a bias current value stored in the nonvolatile memory.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下、図２を参照して、この発明
の実施形態について説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIG.
【００１８】図２は図１の相当する図面であり、図２に
おいて、図１のものと同じ部分には同一の符号を付して
いる。FIG. 2 is a drawing corresponding to FIG. 1. In FIG. 2, the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.
【００１９】この実施形態の場合、電磁石制御装置（電
磁石制御手段）(13)は、ＡＤ変換器(6)、制御演算部(1
4)、ＤＡ変換器(15)および２つの電力増幅器(11)(12)を
備えている。制御演算部(14)はＤＳＰで構成されてお
り、これにはＲＯＭ(16)および不揮発性メモリであるフ
ラッシュメモリ(17)が接続されている。また、フラッシ
ュメモリ(17)が、シリアル通信ボード(18)およびケーブ
ル(19)を介してパソコン(20)に接続されている。ＲＯＭ
(16)には、制御演算部(14)における処理プログラムなど
が格納されている。フラッシュメモリ(17)には、バイア
ス電流値Ｉoを記憶したテーブル(20)、磁気軸受の制御
パラメータを記憶したテーブル（図示略）などが格納さ
れている。In the case of this embodiment, the electromagnet control device (electromagnet control means) (13) includes an AD converter (6) and a control operation unit (1).
4), a DA converter (15) and two power amplifiers (11) and (12). The control operation unit (14) is composed of a DSP, and is connected to a ROM (16) and a flash memory (17) which is a nonvolatile memory. A flash memory (17) is connected to a personal computer (20) via a serial communication board (18) and a cable (19). ROM
(16) stores a processing program in the control operation unit (14) and the like. The flash memory (17) stores a table (20) storing a bias current value Io, a table (not shown) storing control parameters of the magnetic bearing, and the like.
【００２０】制御演算部(14)は、機能的には、制御電流
演算手段(22)および励磁電流演算手段(23)を備えてい
る。制御電流演算手段(22)は、従来例を示す図１の制御
電流演算部(6)と同様、変位検出装置（変位検出手段）
(4)からの変位検出信号をＡＤ変換器(6)でディジタル化
した変位検出値に基づいて、電磁石(2)(3)に対する制御
電流値Ｉcを演算する。励磁電流演算手段(23)は、フラ
ッシュメモリ(17)に記憶されているバイアス電流値Ｉo
と制御電流演算手段(22)で演算された制御電流値Ｉcを
加算し、その結果得られた値（Ｉo＋Ｉc）を第１の励磁
電流値としてＤＡ変換器(15)に出力するとともに、上記
バイアス電流値Ｉoから上記制御電流値Ｉcを減算し、そ
の結果得られた値（Ｉo−Ｉc）を第２の励磁電流値とし
てＤＡ変換器(15)に出力する。第１の励磁電流値（Ｉo
＋Ｉc）はＤＡ変換器(15)によりアナログ信号に変換さ
れて、第１の励磁電流信号（Ｉo＋Ｉc）として第１の電
力増幅器(11)に供給され、第１の電力増幅器(11)は第１
の励磁電流信号（Ｉo＋Ｉc）を増幅し、これに比例する
励磁電流を第１の電磁石(2)に供給する。第２の励磁電
流値（Ｉo−Ｉc）はＤＡ変換器(15)によりアナログ信号
に変換されて、第２の励磁電流信号（Ｉo−Ｉc）として
第２の電力増幅器(12)に供給され、第２の電力増幅器(1
2)は第２の励磁電流信号（Ｉo−Ｉc）を増幅し、これに
比例する励磁電流を第２の電磁石(3)に供給する。The control calculation section (14) functionally includes control current calculation means (22) and excitation current calculation means (23). The control current calculating means (22) is a displacement detecting device (displacement detecting means), like the control current calculating section (6) of FIG.
The control current value Ic for the electromagnets (2) and (3) is calculated based on the displacement detection value obtained by digitizing the displacement detection signal from (4) by the AD converter (6). The exciting current calculating means (23) is provided with a bias current value Io stored in the flash memory (17).
And the control current value Ic calculated by the control current calculation means (22), and the resulting value (Io + Ic) is output to the DA converter (15) as the first excitation current value, The control current value Ic is subtracted from the current value Io, and the resulting value (Io-Ic) is output to the DA converter (15) as a second excitation current value. The first exciting current value (Io
+ Ic) is converted to an analog signal by a DA converter (15) and supplied to a first power amplifier (11) as a first excitation current signal (Io + Ic). The first power amplifier (11)
And an exciting current proportional to this is supplied to the first electromagnet (2). The second exciting current value (Io-Ic) is converted into an analog signal by the DA converter (15) and supplied to the second power amplifier (12) as a second exciting current signal (Io-Ic). The second power amplifier (1
2) amplifies the second exciting current signal (Io-Ic) and supplies an exciting current proportional to this to the second electromagnet (3).
【００２１】バイアス電流値Ｉoは正の値であり、その
絶対値は制御電流値Ｉcの絶対値より大きい。したがっ
て、制御演算部(14)からＤＡ変換器(15)に供給される第
１の励磁電流値（Ｉo＋Ｉc）および第２の励磁電流値
（Ｉo−Ｉc）は、常に正の値であり、ＤＡ変換器(15)と
して、安価な正の単極性入力のＤＡ変換器を用いること
ができる。The bias current value Io is a positive value, and its absolute value is larger than the absolute value of the control current value Ic. Therefore, the first exciting current value (Io + Ic) and the second exciting current value (Io-Ic) supplied from the control operation unit (14) to the DA converter (15) are always positive values, As the converter (15), an inexpensive positive unipolar input DA converter can be used.
【００２２】バイアス電流値Ｉoを変更する必要がある
ときは、パソコン(20)により、フラッシュメモリ(17)の
テーブル(20)の内容を書き替えることができる。また、
必要に応じて、パソコン(20)により、フラッシュメモリ
(17)のテーブルに記憶された磁気軸受の制御パラメータ
などを書き替えることもできる。しかしながら、電磁石
制御装置(13)は、パソコンなどのコンピュータに接続さ
れなくてもよい。When it is necessary to change the bias current value Io, the contents of the table (20) of the flash memory (17) can be rewritten by the personal computer (20). Also,
If necessary, use a personal computer (20) to
The control parameters of the magnetic bearing and the like stored in the table of (17) can be rewritten. However, the electromagnet control device (13) may not be connected to a computer such as a personal computer.
【図１】図１は、従来例を示す磁気軸受装置の主要部の
構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a main part of a magnetic bearing device showing a conventional example.
【図２】図２は、この発明の実施形態を示す磁気軸受装
置の主要部の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of a main part of a magnetic bearing device according to an embodiment of the present invention.
(1) 回転体 (2)(3) 電磁石 (4) 変位検出装置 (13) 電磁石制御装置 (14) 制御演算部 (17) フラッシュメモリ (20) パソコン (22) 制御電流演算手段 (23) 励磁電流演算手段 (1) Rotating body (2) (3) Electromagnet (4) Displacement detector (13) Electromagnet controller (14) Control operation unit (17) Flash memory (20) Personal computer (22) Control current operation means (23) Excitation Current calculation means
Claims (3)
で前記制御軸方向に非接触支持する１対の電磁石と、前
記回転体の前記制御軸方向の変位を検出する変位検出手
段と、前記変位検出手段からの変位検出信号に基づいて
前記１対の電磁石に供給する励磁電流を制御する電磁石
制御手段とを備えている制御型磁気軸受装置において、 前記電磁石制御手段が、前記変位検出信号に基づいて前
記１対の電磁石に対する制御電流値を演算し、一定のバ
イアス電流値と前記制御電流値を加算した値を一方の励
磁電流値とし、前記バイアス電流値から前記制御電流値
を減算した値を他方の励磁電流値として出力するディジ
タル処理手段を備えていることを特徴とする制御型磁気
軸受装置。1. A pair of electromagnets which support a rotating body in a non-contact manner in the control axis direction while sandwiching the rotating body from both sides in a control axis direction, and displacement detecting means for detecting a displacement of the rotating body in the control axis direction. A control type magnetic bearing device comprising: an electromagnet control unit that controls an excitation current supplied to the pair of electromagnets based on a displacement detection signal from the displacement detection unit. A control current value for the pair of electromagnets is calculated based on the signal, a value obtained by adding a constant bias current value and the control current value is set as one excitation current value, and the control current value is subtracted from the bias current value. A control type magnetic bearing device comprising digital processing means for outputting the obtained value as the other exciting current value.
が接続され、前記不揮発性メモリに前記バイアス電流値
が記憶されていることを特徴とする請求項１の制御型磁
気軸受装置。2. The control type magnetic bearing device according to claim 1, wherein a nonvolatile memory is connected to said digital processing means, and said bias current value is stored in said nonvolatile memory.
され、前記コンピュータにより前記不揮発性メモリに記
憶されているバイアス電流値が書き替えられることを特
徴とする請求項２の制御型磁気軸受装置。3. The control type magnetic bearing device according to claim 2, wherein said nonvolatile memory is connected to a computer, and said computer rewrites a bias current value stored in said nonvolatile memory.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10002707A JPH11201165A (en) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | Control type magnetic bearing device |
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|---|---|---|---|
| JP10002707A JPH11201165A (en) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | Control type magnetic bearing device |
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| JPH11201165A true JPH11201165A (en) | 1999-07-27 |
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ID=11536774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011101471A (en) * | 2009-11-04 | 2011-05-19 | Canon Inc | Device for controlling rotary motors |
| CN105333010A (en) * | 2015-12-11 | 2016-02-17 | 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司 | Magnetic bearing control device and magnetic bearing system |
Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6225323U (en) * | 1985-07-31 | 1987-02-16 | ||
| JPH02221697A (en) * | 1989-02-22 | 1990-09-04 | Shimadzu Corp | Magnetic bearing turbo molecular pump |
| JPH02252996A (en) * | 1989-03-24 | 1990-10-11 | Shimadzu Corp | Magnetic bearing turbo molecular drag pump |
| JPH0363892A (en) * | 1989-08-02 | 1991-03-19 | Sharp Corp | Single chip type microcomputer |
| JPH05240245A (en) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Shimadzu Corp | Magnetic bearing device |
| JPH06193633A (en) * | 1992-03-09 | 1994-07-15 | Hitachi Ltd | Magnetic bearing controlling method and device |
| JPH07238930A (en) * | 1994-02-28 | 1995-09-12 | Toyota Motor Corp | Magnetic bearing control device |
| JPH0828562A (en) * | 1994-07-12 | 1996-02-02 | Seiko Seiki Co Ltd | Magnetic bearing device |
| JPH0886314A (en) * | 1994-09-16 | 1996-04-02 | Toshiba Corp | Magnetic bearing device |
| JPH08200364A (en) * | 1995-01-20 | 1996-08-06 | Hitachi Ltd | Control method for magnetic bearing and device thereof |
| JPH09126238A (en) * | 1995-10-27 | 1997-05-13 | Seiko Seiki Co Ltd | Controller for magnetic bearing |
| JPH09177781A (en) * | 1995-10-23 | 1997-07-11 | Koyo Seiko Co Ltd | Magnetic bearing device |
-
1998
- 1998-01-09 JP JP10002707A patent/JPH11201165A/en active Pending
Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6225323U (en) * | 1985-07-31 | 1987-02-16 | ||
| JPH02221697A (en) * | 1989-02-22 | 1990-09-04 | Shimadzu Corp | Magnetic bearing turbo molecular pump |
| JPH02252996A (en) * | 1989-03-24 | 1990-10-11 | Shimadzu Corp | Magnetic bearing turbo molecular drag pump |
| JPH0363892A (en) * | 1989-08-02 | 1991-03-19 | Sharp Corp | Single chip type microcomputer |
| JPH05240245A (en) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Shimadzu Corp | Magnetic bearing device |
| JPH06193633A (en) * | 1992-03-09 | 1994-07-15 | Hitachi Ltd | Magnetic bearing controlling method and device |
| JPH07238930A (en) * | 1994-02-28 | 1995-09-12 | Toyota Motor Corp | Magnetic bearing control device |
| JPH0828562A (en) * | 1994-07-12 | 1996-02-02 | Seiko Seiki Co Ltd | Magnetic bearing device |
| JPH0886314A (en) * | 1994-09-16 | 1996-04-02 | Toshiba Corp | Magnetic bearing device |
| JPH08200364A (en) * | 1995-01-20 | 1996-08-06 | Hitachi Ltd | Control method for magnetic bearing and device thereof |
| JPH09177781A (en) * | 1995-10-23 | 1997-07-11 | Koyo Seiko Co Ltd | Magnetic bearing device |
| JPH09126238A (en) * | 1995-10-27 | 1997-05-13 | Seiko Seiki Co Ltd | Controller for magnetic bearing |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 樋口俊郎 他２名: "ＤＳＰを利用した５自由度制御形磁気軸受のディジタル制御システムの開発", システム制御情報学会論文誌, vol. 2, no. 6, JPNX006031351, 1989, pages 183 - 190, ISSN: 0000756125 * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011101471A (en) * | 2009-11-04 | 2011-05-19 | Canon Inc | Device for controlling rotary motors |
| CN105333010A (en) * | 2015-12-11 | 2016-02-17 | 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司 | Magnetic bearing control device and magnetic bearing system |
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