JPH11195903A - Waveguide filter - Google Patents

Waveguide filter

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JPH11195903A
JPH11195903A JP9368418A JP36841897A JPH11195903A JP H11195903 A JPH11195903 A JP H11195903A JP 9368418 A JP9368418 A JP 9368418A JP 36841897 A JP36841897 A JP 36841897A JP H11195903 A JPH11195903 A JP H11195903A
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JP
Japan
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waveguide
type filter
pressure
waveguide type
arcing
Prior art date
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Application number
JP9368418A
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Japanese (ja)
Inventor
Motomu Wakamatsu
求 若松
Naoki Akashi
直樹 明石
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New Japan Radio Co Ltd
Original Assignee
New Japan Radio Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a filter which has sharp attenuation and a passage characteristic showing a high Q and also is easily and inexpensively installed even in a device that needs high breakdown power by providing air tight windows that hold vacuum air tight at an input end part and an output end part and specifying the degree of internal vacuum. SOLUTION: Slit windows 2 made by one set of two partition plates which face each other are arranged on plural stages in a waveguide 1 and air tight parts 4 are arranged at both ends of it. Ceramics is mainly used for the parts 4. An air release pipe 5 that is provided at the waveguide 1 reduces pressure of the internal degree of vacuum below 1×10<-3> Torr or increases pressure of internal atmospheric pressure up to more than one atmospheric pressure. The pipe 5 is sealed after the pressure is reduced or increased. As the pressure of gas is reduced less than the atmospheric pressure, arcing start voltage falls once and arcing becomes hard to be generated. However, as it is reduced further, the arcing start voltage becomes higher.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はパルスレーダ装置等
において用いられるマイクロ波の導波管形回路素子の一
種であって、必要な周波数成分は通過させ、不必要な周
波数成分は遮断するための構造を持ち、且つマイクロ波
大電力に対する耐電力度を向上させるために導波管形回
路の内部を、減圧して真空気密に、あるいは加圧して1
気圧以上の状態に保持できるような構造にした導波管形
濾波器に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a kind of microwave waveguide circuit element used in a pulse radar device or the like, which passes a necessary frequency component and blocks an unnecessary frequency component. The inside of the waveguide type circuit is decompressed and vacuum-tight or pressurized to improve the power durability against microwave high power.
The present invention relates to a waveguide type filter having a structure capable of maintaining a pressure higher than an atmospheric pressure.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来よりの導波管形濾波器について、こ
こでは代表的な構造を図6〜図8に示して、その従来技
術について概略を以下に述べる。図6は導波管形濾波器
の回路図の例である。この回路は1/4波長結合形多段
空胴濾波器と呼ばれるものであって、一対の伝送線路と
一対のサセプタンス:Bで1素子を形成し、通常は減衰
量を確保するために多段で構成されている。この図から
分かるように、各段の共振周波数は、 li (i=1、2、…) によって決定されるから、各段間の寸法は、 λg /4−(ki +ki+1 ) とすれば良い。ここに、 ki =1/2(1/2+n)λg −li /2 であり、 λg :管内波長 n=0、1、2、… である。
2. Description of the Related Art A typical structure of a conventional waveguide type filter is shown in FIGS. 6 to 8, and the prior art is briefly described below. FIG. 6 is an example of a circuit diagram of a waveguide type filter. This circuit is called a 1/4 wavelength coupling type multistage cavity filter, and forms one element with a pair of transmission lines and a pair of susceptances: B, and is usually configured with multiple stages to secure the attenuation. Have been. As can be seen from this figure, since the resonance frequency of each stage is determined by li (i = 1, 2,...), The dimension between the stages is given by λg / 4− (ki + ki + 1). good. Here, ki = 1/2 (1/2 + n) .lambda.g-li / 2, and .lambda.g: guide wavelength n = 0, 1, 2,...

【0003】この回路は導波管にて容易に実現できるも
のであり、サセプタンス:Bは導波管内に対になったス
リット窓やスタッドを設置することにより構成されてい
る。図7はサセプタンス:Bを、導波管1の中に複数段
の対になったスリット窓2により構成したものの模式図
であり、図8は共振素子として、導波管1の中に複数段
の対になったスタッド3を用いたものの模式図である。
そして、この状態で入力端部にマイクロ波が入力される
と、所定の必要な周波数成分は通過させ、不必要な周波
数成分は遮断されたマイクロ波が出力端部に出力され
る。ところが入力されるマイクロ波が小電力である場合
には何等問題はないが、ピーク電力の大きなマイクロ波
が入力された場合には耐電力度が問題となる。そして耐
電力度を越えたマイクロ波が入力されると高周波電界に
より導波管1の中にアーキングが発生する。発生したア
ーキングはパルスレーダ装置等に著しい障害を与え、時
には破壊してしまう。
This circuit can be easily realized by a waveguide, and the susceptance B is constituted by installing a pair of slit windows and studs in the waveguide. FIG. 7 is a schematic diagram of a susceptance B constituted by a plurality of pairs of slit windows 2 in a waveguide 1. FIG. FIG. 4 is a schematic view of a device using studs 3 that are paired with the stud.
Then, when a microwave is input to the input terminal in this state, a predetermined necessary frequency component is passed, and a microwave with unnecessary frequency components cut off is output to the output terminal. However, there is no problem when the inputted microwave has a small power, but when a microwave having a large peak power is inputted, the power durability becomes a problem. When a microwave exceeding the withstand power is input, arcing occurs in the waveguide 1 due to a high-frequency electric field. The generated arcing causes a remarkable obstacle to the pulse radar device or the like, and sometimes destroys it.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、ピーク電力の
大きなマイクロ波を操作するパルスレーダ装置等におい
ては、主動作周波数以外の周波数成分、即ちスプリアス
周波数を抑制するために導波管形濾波器を使用すること
が必要である。すると上記説明のように耐電力度が問題
となり、止むなく耐電力度を満足させるような導波管形
濾波器を使用すると、鋭敏な減衰や高いQ値を示す通過
特性を持つ導波管形濾波器が使用できなくなる。そうす
るとそのパルスレーダ装置等においてはスプリアス周波
数を抑制した、即ちスプリアス放射が良好な特性が得ら
れなくなる。そこでこのような場合には、耐電力度は小
さいが、鋭敏な減衰や高いQ値を示す通過特性を持つ、
即ちスプリアス放射の良好な同一特性の導波管形濾波器
を複数個並列に設置して使用する。しかし、この方法で
は複数個並列に設置された導波管形濾波器のそれぞれの
特性を合わせることが難しい。又、そのためのコストも
高くなる等の問題点があった。本発明はこの問題点を解
決し、鋭敏な減衰や高いQ値を示す通過特性を持ちなが
ら、且つ耐電力度の大きい、即ち大きなマイクロ波を操
作するパルスレーダ装置等においても容易に且つ安価に
設置できる導波管形濾波器を提供することを目的として
いる。
However, in a pulse radar device or the like which operates a microwave having a large peak power, a waveguide type filter is used to suppress frequency components other than the main operating frequency, that is, spurious frequencies. It is necessary to use. Then, as described above, the power durability becomes a problem. If a waveguide type filter that satisfactorily satisfies the power durability is used, a waveguide type filter having a sharp attenuation and a transmission characteristic showing a high Q value is used. Cannot be used. Then, the spurious frequency is suppressed in the pulse radar device or the like, that is, good characteristics of spurious radiation cannot be obtained. Therefore, in such a case, although the power durability is small, it has a passage characteristic showing a sharp attenuation and a high Q value.
That is, a plurality of waveguide type filters having the same characteristics with good spurious radiation are installed in parallel and used. However, with this method, it is difficult to match the characteristics of a plurality of waveguide filters installed in parallel. In addition, there has been a problem that the cost for this is increased. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves this problem, and can be easily and inexpensively installed even in a pulse radar device or the like which has a sharp attenuation and a high Q value and has a high withstand power, that is, a large microwave. It is an object of the present invention to provide a waveguide type filter that can be used.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】そこで本発明では上記の
課題を以下に示す第一〜第三の手段により解決した。ま
ず第一に、導波管1内部に相対する1組2枚の仕切板に
よるスリット窓2を複数段設置し、あるいは円柱棒によ
るスタッド3を複数段設置して、マイクロ波の必要な周
波数成分は通過させ、不必要な周波数成分は遮断する導
波管形濾波器において、該導波管形濾波器の入力端部と
出力端部とに真空気密を保持するための気密窓4を設置
し、該導波管形濾波器の内部の真空度を1×10-3To
rr以下としたことを特徴とするものである。
The present invention has solved the above-mentioned problems by the following first to third means. First, a plurality of slit windows 2 each composed of a pair of two partitioning plates facing each other inside the waveguide 1 or a plurality of studs 3 each formed of a cylindrical rod are installed in the waveguide 1 so that necessary frequency components of microwaves are provided. In a waveguide type filter that passes through and blocks unnecessary frequency components, an airtight window 4 for maintaining vacuum tightness is provided at an input end and an output end of the waveguide type filter. The degree of vacuum inside the waveguide type filter is set to 1.times.10@-3 To.
rr or less.

【0006】第二に、上記導波管形濾波器において、該
導波管形濾波器の内部の気圧を1気圧以上としたことを
特徴とするものである。
Secondly, in the above-mentioned waveguide type filter, the pressure inside the waveguide type filter is set to 1 atmosphere or more.

【0007】第三に、上記導波管形濾波器において、該
導波管形濾波器の内部の気圧を6フッ化イオウ(SF6
)ガスを用いて1気圧以上としたことを特徴とするも
のである。
Third, in the above-mentioned waveguide type filter, the pressure inside the waveguide type filter is reduced by sulfur hexafluoride (SF6).
) The pressure is set to 1 atm or more by using gas.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下に図1〜図5により、上記の
第一〜第三の各手段による本発明の実施形態を示す。図
1は本発明の実施例の概略図である。まず導波管1の中
に相対する1組2枚の仕切板によるスリット窓2を複数
段設置し、その両端部に気密窓4を設置している。この
形は図7の従来の導波管形濾波器の両端部に気密窓4を
設置したものである。そして気密窓4は主にセラミック
スが用いられている。なほ、スリット窓2と気密窓4と
の距離:L1 はマイクロ波の通過特性のリップル防止の
ために、概略、 L1 ≒λg /4+nλg /2 λg :管内波長 n=0、1、2、… とするのが良い。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention using the above-described first to third means will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic diagram of an embodiment of the present invention. First, a plurality of slit windows 2 each composed of a pair of two opposing partition plates are provided in a waveguide 1, and airtight windows 4 are provided at both ends thereof. In this form, airtight windows 4 are provided at both ends of the conventional waveguide type filter shown in FIG. The hermetic window 4 is mainly made of ceramics. In addition, the distance between the slit window 2 and the airtight window 4: L1 is approximately L1 ≒ λg / 4 + nλg / 2λg: guide wavelength n = 0, 1, 2,. Good to do.

【0009】そして導波管1に設置された排気管5によ
り、内部を真空度、1×10-3Torr以下に減圧する
か、又は内部の気圧を1気圧以上に加圧する。そして排
気管5は減圧又は、加圧後封止される。この導波管形濾
波器の仕様は以下のようになっている。
The interior of the waveguide 1 is evacuated to a degree of vacuum of 1 × 10 −3 Torr or less, or the internal pressure is increased to 1 atm or more by an exhaust pipe 5 installed in the waveguide 1. Then, the exhaust pipe 5 is sealed after decompression or pressurization. The specifications of this waveguide type filter are as follows.

【0010】中心周波数:F=9400MHz 通過帯域幅:F±140MHz 阻止帯域の所要減衰量:30dB(F±400MHzの
離調周波数において) 段数:3段 スリット窓の大きさ:d0 =9.3mm スリット窓2の間隔(1段目):d1 =17.8mm スリット窓2の間隔(2段目):d2 =18.9mm スリット窓2の間隔(3段目):d3 =17.8mm 段間距離(1段目):D1 =6.5mm 段間距離(2段目):D2 =6.5mm なほ、仕様されている導波管はWRJ−10である。
Center frequency: F = 9400 MHz Pass band width: F ± 140 MHz Required attenuation of stop band: 30 dB (at detuning frequency of F ± 400 MHz) Number of steps: 3 Step size of slit window: d 0 = 9.3 mm Slit Interval between windows 2 (first stage): d1 = 17.8 mm Interval between slit windows 2 (second stage): d2 = 18.9 mm Interval between slit windows 2 (third stage): d3 = 17.8 mm Distance between steps (1st stage): D1 = 6.5 mm Interstage distance (2nd stage): D2 = 6.5 mm In addition, the specified waveguide is WRJ-10.

【0011】図2は本発明の他の実施例の概略図であ
る。上記の説明のスリット窓2の代わりにスタッド3を
使用したものであり、基本的構造は図1とほぼ同じであ
る。又は、この形は図8の従来の導波管形濾波器の両端
部に気密窓4を設置したものである。即ち、気密窓4は
同じくセラミックスが用いられており、スタッド3と気
密窓4との距離:L2 も同じくマイクロ波の通過特性の
リップル防止のために、概略、 L2 ≒λg /4+nλg /2 λg :管内波長 n=0、1、2、… となっている。
FIG. 2 is a schematic view of another embodiment of the present invention. A stud 3 is used in place of the slit window 2 described above, and the basic structure is almost the same as FIG. Alternatively, this embodiment is such that the hermetic windows 4 are provided at both ends of the conventional waveguide type filter shown in FIG. That is, the hermetic window 4 is also made of ceramics, and the distance between the stud 3 and the hermetic window 4: L2 is also approximately L2Lλg / 4 + nλg / 2λg to prevent ripples in the microwave transmission characteristics. The guide wavelength n = 0, 1, 2,...

【0012】そして導波管1に設置された排気管5によ
り、内部を真空度、1×10-3Torr以下に減圧する
か、又は内部の気圧を1気圧以上に加圧する。そして排
気管5は減圧又は、加圧後封止される。この導波管形濾
波器の仕様は以下の項目を除いては図1の場合と同じで
ある。
The interior of the waveguide 1 is evacuated to a degree of vacuum of 1 × 10 −3 Torr or less or the internal pressure is increased to 1 atm or more by an exhaust pipe 5 installed in the waveguide 1. Then, the exhaust pipe 5 is sealed after decompression or pressurization. The specifications of this waveguide type filter are the same as those in FIG. 1 except for the following items.

【0013】 スタッド3の直径の大きさ:d0 =2.1mm スタッド3の間隔(1段目):d1 =17.8mm スタッド3の間隔(2段目):d2 =18.9mm スタッド3の間隔(3段目):d3 =17.8mm 段間距離(1段目):D1 =6.5mm 段間距離(2段目):D2 =6.5mmThe size of the diameter of the stud 3: d 0 = 2.1 mm The interval between the studs 3 (first stage): d 1 = 17.8 mm The interval between the studs 3 (second stage): d 2 = 18.9 mm The interval between the studs 3 (3rd stage): d3 = 17.8 mm Interstage distance (1st stage): D1 = 6.5 mm Interstage distance (2nd stage): D2 = 6.5 mm

【0014】図3は本発明の更にもう一つの実施例の概
略図であり、図4はその側面図である。この導波管形濾
波器はワッフルアイアン型低域通過濾波器と言われるも
のであり、この両端部に共振型誘電体気密窓6が設置さ
れている。そして上記2実施例と同様に、設置された排
気管5により、内部を真空度、1×10-3Torr以下
に減圧するか、又は内部の気圧を1気圧以上に加圧す
る。そして排気管5は減圧又は、加圧後封止される。
FIG. 3 is a schematic view of still another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a side view thereof. This waveguide type filter is called a waffle iron type low-pass filter, and a resonance type dielectric hermetic window 6 is provided at both ends. Then, similarly to the above-described two embodiments, the inside is reduced to a degree of vacuum of 1 × 10 −3 Torr or less, or the internal pressure is increased to 1 atm or more by the installed exhaust pipe 5. Then, the exhaust pipe 5 is sealed after decompression or pressurization.

【0015】以上説明したように、ピーク電力の大きな
マイクロ波を操作するパルスレーダ装置等においては、
耐電力度として問題となるのは高周波電界による導波管
の中のアーキングであるが、上記の実施例に示されたよ
うに、導波管形濾波器の中を減圧又は、加圧することに
よってアーキングの発生を抑制できる。それは、気体の
圧力を大気圧より減圧して行くと、いったんアーキング
開始電圧は低下して行く。即ちアーキングが発生し易く
なる。しかし、更に減圧して行き、真空度が約1×10
-3Torr以下になると大気圧の時よりもアーキング開
始電圧は高くなって行く。即ちアーキングが発生しにく
くなるのである。一方、大気圧より順次加圧をして行く
とアーキング開始電圧はそれに従って高くなって行く。
即ちアーキングが発生しにくくなる。図5は図1の実施
例での、減圧又は加圧とアーキング開始のマイクロ波の
ピーク電力との関係図である。この図からも、導波管の
中を所定の減圧又は加圧することによってアーキングの
発生を抑制できることがわかる。
As described above, in a pulse radar device or the like operating a microwave having a large peak power,
The arcing in the waveguide due to the high-frequency electric field is a problem in terms of the power durability. As shown in the above embodiment, the arcing is performed by reducing or increasing the pressure in the waveguide type filter. Can be suppressed. That is, once the gas pressure is reduced below the atmospheric pressure, the arcing start voltage decreases once. That is, arcing is likely to occur. However, the pressure was further reduced and the degree of vacuum was about 1 × 10
At -3 Torr or less, the arcing start voltage becomes higher than at atmospheric pressure. That is, arcing hardly occurs. On the other hand, when the pressure is sequentially increased from the atmospheric pressure, the arcing start voltage increases accordingly.
That is, arcing hardly occurs. FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the pressure reduction or pressurization and the peak power of the microwave at the start of arcing in the embodiment of FIG. It can be seen from this figure that the occurrence of arcing can be suppressed by applying a predetermined pressure reduction or pressure to the inside of the waveguide.

【0016】以上の3実施例において、内部の気圧を1
気圧以上に加圧する場合、大気でも良いが、6フッ化イ
オウ(SF6 )ガスを使用するとアーキング防止に更に
良い効果が得られる。
In the above three embodiments, the internal pressure is set to 1
When the pressure is increased to a pressure higher than the atmospheric pressure, the atmosphere may be used. However, if sulfur hexafluoride (SF6) gas is used, a better effect for preventing arcing can be obtained.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のように構
成することにより、従来よりの導波管形濾波器の特性と
同等の鋭敏な減衰や高いQ値を示す通過特性を持ちなが
ら、且つ従来よりの導波管形濾波器よりも耐電力度の大
きい、アーキング開始電圧の高い、即ち大きなマイクロ
波を操作するパルスレーダ装置等においても容易に且つ
安価に設置できる導波管形濾波器を提供することでき
る。
As described above, the configuration according to the present invention makes it possible to obtain a transmission characteristic exhibiting a sharp attenuation and a high Q value equivalent to those of a conventional waveguide type filter. In addition, a waveguide type filter which has a higher withstand power than a conventional waveguide type filter and a high arcing start voltage, that is, can be easily and inexpensively installed even in a pulse radar device or the like which operates a large microwave. Can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例であるところのスリット窓使
用の導波管形濾波器の概略図。
FIG. 1 is a schematic view of a waveguide type filter using a slit window according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例であるところのスタッド使用
の導波管形濾波器の概略図。
FIG. 2 is a schematic diagram of a waveguide filter using studs according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例であるところのワッフルアイ
アン型低域通過の導波管形濾波器の概略図。
FIG. 3 is a schematic diagram of a waffle-iron low-pass waveguide filter according to one embodiment of the present invention.

【図4】図3の側面図。FIG. 4 is a side view of FIG. 3;

【図5】図1の実施例におけるアーキングとマイクロ波
電力と関係図。
FIG. 5 is a diagram showing a relationship between arcing and microwave power in the embodiment of FIG. 1;

【図6】従来よりの導波管形濾波器についての代表的な
構造を示す回路図。
FIG. 6 is a circuit diagram showing a typical structure of a conventional waveguide filter.

【図7】図6のサセプタンス:Bを導波管1の中にスリ
ット窓2により構成したものの模式図。
FIG. 7 is a schematic diagram of a susceptance: B of FIG. 6 configured by a slit window 2 in a waveguide 1.

【図8】図6の共振素子として導波管1の中にスタッド
3を用いたものの模式図
FIG. 8 is a schematic diagram of a stud 3 used in the waveguide 1 as the resonance element of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1……導波管 2……スリット窓 3……スタッド 4……気密窓 5……排気管 6……共振型誘電体気密窓 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Waveguide 2 ... Slit window 3 ... Stud 4 ... Airtight window 5 ... Exhaust pipe 6 ... Resonant type dielectric airtight window

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導波管内部に相対する1組2枚の仕切板
によるスリット窓を複数段設置し、あるいは円柱棒によ
るスタッドを複数段設置して、マイクロ波の必要な周波
数成分は通過させ、不必要な周波数成分は遮断する導波
管形濾波器において、該導波管形濾波器の入力端部と出
力端部とに真空気密を保持するための気密窓を設置し、
該導波管形濾波器の内部の真空度を1×10-3Torr
以下としたことを特徴とする導波管形濾波器。
1. A plurality of slit windows each having a pair of two partition plates facing each other inside a waveguide, or a plurality of studs each formed by a cylindrical rod are provided so as to allow a necessary frequency component of microwaves to pass therethrough. In a waveguide type filter that blocks unnecessary frequency components, an airtight window for maintaining vacuum tightness is provided at an input end and an output end of the waveguide type filter,
The degree of vacuum inside the waveguide type filter is set to 1.times.10@-3 Torr.
A waveguide type filter characterized by the following.
【請求項2】 上記導波管形濾波器において、該導波管
形濾波器の内部の気圧を1気圧以上としたことを特徴と
する特許請求項1記載の導波管形濾波器。
2. The waveguide type filter according to claim 1, wherein the pressure inside the waveguide type filter is 1 atm or more.
【請求項3】 上記導波管形濾波器において、該導波管
形濾波器の内部の気圧を6フッ化イオウ(SF6 )ガス
を用いて1気圧以上としたことを特徴とする特許請求項
2記載の導波管形濾波器。
3. The waveguide-type filter according to claim 1, wherein the pressure inside the waveguide-type filter is at least 1 atm using sulfur hexafluoride (SF6) gas. 3. The waveguide type filter according to 2.
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