JPH11194061A - Pressure sensor driving circuit - Google Patents

Pressure sensor driving circuit

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JPH11194061A
JPH11194061A JP163798A JP163798A JPH11194061A JP H11194061 A JPH11194061 A JP H11194061A JP 163798 A JP163798 A JP 163798A JP 163798 A JP163798 A JP 163798A JP H11194061 A JPH11194061 A JP H11194061A
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temperature
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pressure sensor
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Application number
JP163798A
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Inventor
Keizo Yamamoto
慶三 山本
Original Assignee
Yazaki Corp
矢崎総業株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an accurate and small sensor driving circuit by using a digital control signal where a temperature signal from a thermally sensitive means for measuring temperature of the sensor circuit is binary-coded, by performing digital control, and by compensating the temperature of a sensor.
SOLUTION: A semiconductor pressure sensor 20 is calibrated at each preset temperature, and the gain adjustment resistance value and offset adjustment resistance value of the pressure sensor 20 in a specific temperature range are stored into a CPU 33. When pressure is measured, the temperature of the pressure sensor 20 is simultaneously detected by a thermally sensitive resistor 31, an analog signal from the thermally sensitive resistor 31 is binary-coded by an A/D converter 32 and is converted to a digital signal for sending to the CPU 33, and the offset adjustment resistance value and the gain adjustment resistance value are determined according to data being subjected to temperature calibration and storage in advance. The digital signal corresponding to the determined values is sent to a digital trimmer 34, and the resistance value of each terminal being connected to an addition circuit 43 and a non-inverted amplification circuit 42 are changed and adjusted, thus adjusting the gain of the sensor 20.
COPYRIGHT: (C)1999,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、センサの駆動回路に関し、特には、加えられた圧力に応じて出力電圧または出力電流を変化させる半導体圧力センサの温度補償回路を備えたセンサ駆動回路に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a driving circuit of the sensor, in particular, to a sensor drive circuit with a temperature compensation circuit of the semiconductor pressure sensor to vary the output voltage or the output current in response to applied pressure.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来のこの様な温度補償回路を有するセンサ駆動技術としては、例えば、特開平7−11370 As a conventional sensor driving technique having such a temperature compensation circuit, for example, JP-A-7-11370
9に圧力差測定方法及び変位測定装置が開示されている。 Pressure difference measuring method and the displacement measuring device is disclosed in 9. 図2に、この従来例の変位測定装置の構成図を示す。 Figure 2 shows a block diagram of a displacement measuring apparatus of the prior art.

【0003】図2に示す変位測定装置200は、両面に圧力差を受け変位するダイヤフライム1と固定電極間3,4間の静電容量C1,C2を検出して圧力差を求めている。 [0003] displacement measuring apparatus 200 shown in FIG. 2, seeking pressure difference by detecting the electrostatic capacitance C1, C2 between the diamond fly beam 1 and the fixed electrode between 3,4 to undergo displacement pressure difference on both sides . このような静電容量を測定する装置においては、高精度に測定する為にはダイヤフライムの変位と無関係な浮遊容量の測定レンジや温度による補正をする必要がある。 In such a device for measuring the capacitance, in order to measure with high accuracy it is necessary to the correction by the measurement range and the temperature of the displacement unrelated stray capacitance diamond fly arm.

【0004】前記従来例の変位測定装置においては、予め較正モードにてマイコン205は複数既知圧力差のもとで、時定数測定器202、A/D変換機203、タイマカウンタ206を介し静電容量C1、C2を測定し、 [0004] In the above displacement measuring device of the conventional example, under the microcomputer 205 of the plurality known pressure difference at pre-calibrated mode, the time constant measuring device 202, A / D converter 203, an electrostatic via the timer counter 206 to measure the capacity C1, C2,
このデータから浮遊容量の補正や、圧力検出に必要な定数を求めてメモリ204に記憶している。 Correction and of the stray capacitance from the data stored in the memory 204 in search of constants required for pressure sensing. 更に、この較正を予め定められた各温度で行って、定数をこの温度ごとに記憶している。 Furthermore, by performing each defined the pre-calibrated temperature, stores constants for each temperature. そして、測定モードにおいては、センサ201によりキャパシタンスを測定するとともに温度検出器214によって測定温度も同時に測定する。 Then, in the measurement mode, the measured temperature by the temperature detector 214 while measuring the capacitance by the sensor 201 is also measured at the same time. 測定した静電容C1、C2とメモリ204に記憶した定数から被測定圧力差を演算にて求め、D/A変換器20 Determined in operation a pressure difference to be measured from the measured static Den'yo C1, C2 and the stored constants in memory 204, D / A converter 20
7、V/I変換器209を介して変換器出力とする。 7, through the V / I converter 209 and the converter output. その結果、補償コンデンサーなどのハードを用いて行う調整を、測定精度を損なわずに簡潔化している。 As a result, the adjustment performed using hardware, such as the compensation capacitor, it is simplified without compromising the measurement accuracy. この様な変位測定装置200においては、マイコン205を利用してセンサ201の出力周波数を測定し、これをA/D In such a displacement measurement device 200 measures the output frequency of the sensor 201 by utilizing the microcomputer 205, which A / D
変換器203を経てデジタル信号に符号化し、そのデジタル信号をマイコン205で論理的な温度補償を行っていた。 Encoded into a digital signal via the converter 203, it has been performed a logical temperature compensation of the digital signal by the microcomputer 205.

【0005】 [0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述した変位測定装置200においては、センサ201のアナログ出力を一旦マイコン205を介してデジタル信号に変換した後にデジタル的に温度補償等を行っていた。 [SUMMARY OF THE INVENTION However, in the displacement measuring apparatus 200 described above, it has been performed digitally temperature compensation or the like after conversion into a digital signal an analog output of the sensor 201 once via the microcomputer 205. 従って、A/D変換器やタイマカウンタといったデジタル回路を構成するデジタルIC数が多くなる為、回路の規模が大きくなり、更に回路に必要な部品の費用及び組み立て時間がかかることから製品の値段が高くなるという問題点があった。 Accordingly, since the A / D converter and a digital IC number constituting a digital circuit such as a timer counter is increased, the greater the scale of the circuit, further price of the product since the costly and assembly time of the components required in the circuit there is a problem that is higher. また、デジタル的な補償をマイコン2 The microcomputer 2 digital compensation
05で行うことを考えた場合、補償用のソフトウェアが必要となり、生産コストの上昇につながってしまうといった問題点もあった。 If you have thought to do in 05, software for compensation is required, there was also a problem that leads to increase in production cost. 更に、装置の温度補償精度を高める為にはA/D変換器203及びD/A変換器207の測定精度を高める必要があり、この様な高精度化に伴い生産コストが高くなるといった問題点もある。 Furthermore, in order to raise the temperature compensation accuracy of the device it is necessary to increase the measurement accuracy of the A / D converter 203 and D / A converter 207, a problem that the production cost due to such high accuracy becomes higher there is also.

【0006】本発明は、このような多くの問題点を解決することを課題としており、センサの駆動回路において、温度補償手段にデジタル補償手段を用い、デジタルトリマを介してデジタル回路のCPUとアナログ回路の演算増幅手段とを結合してオフセット調整及びゲイン調整をするハードウェア構成とすることによって、センサの温度補償に対し高精度かつ回路規模の小さいセンサ駆動回路を提供することを課題としている。 [0006] The present invention has an object to solve many such problems, in the driving circuit of the sensor, using a digital compensation means to the temperature compensating means, CPU and analog digital circuit via the digital trimmer by the hardware configuration of the offset adjustment and gain adjustment by combining the operational amplifier means of the circuit, and it is an object to the temperature compensation of the sensor provides highly accurate and small sensor drive circuit of the circuit scale.

【0007】 [0007]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、 Means for Solving the Problems The invention according to claim 1,
感温手段を有し、前記感温手段からの温度信号に基づいてセンサの温度補償を行う機能を有するセンサ駆動回路において、前記センサ回路の温度を測定する前記感温手段からの温度信号を2進コード化したデジタル制御信号を用いデジタル制御して前記センサの温度補償を行うデジタル補償手段を有することを特徴とする圧力センサ駆動回路である。 Has a temperature sensing means, the sensor driving circuit having the function of performing temperature compensation of the sensor based on the temperature signal from the temperature sensing means, a temperature signal from the temperature sensing means for measuring the temperature of the sensor circuit 2 proceeds by digital control using a coded digital control signal is a pressure sensor drive circuit, characterized in that it comprises a digital compensation means for performing temperature compensation of the sensor.

【0008】請求項1記載の発明によれば、感温手段からのアナログ信号に基づく温度補償を行う為のアナログ補償量の制御をデジタル補償手段を用いてデジタル制御によって実行しているので、感温手段の補償をデジタル的に一括処理する場合に比べて、回路構成の規模を簡素化できる。 According to the first aspect of the invention, since running an analog compensation amount of control for temperature compensation based on the analog signal from the temperature sensing means by a digital control using a digital compensation means, sensitive the compensation of temperature means in comparison with the case of digitally batch, can be simplified scale circuit configuration. これによってデジタルICの部品点数を減らすことができ、小型かつ低価格であるセンサ駆動回路を実現できるといった効果を奏する。 This can reduce the number of parts of the digital IC, an effect such can realize the sensor drive circuit is compact and inexpensive. また、デジタル制御とすることによって、予め素子の温度較正を行ってその較正値を記憶部に保存し利用することができる。 Moreover, by a digital control, it is possible to save the calibration value in the storage unit performs temperature calibration in advance elements available. この結果、記憶部に保存されたデータを基にセンサの温度補償を瞬時に行うことが可能となる。 As a result, data stored in the storage unit it is possible to perform the temperature compensation of the sensor instantly based on.

【0009】請求項2の発明は、感温手段を有し、前記感温手段からの温度信号に基づいて温度補償を行う機能を有するセンサ駆動回路において、前記センサの温度を測定する前記感温手段からの温度信号を2進コード化したデジタル制御信号を用いデジタル制御して前記センサの温度補償を行うデジタル補償手段を有し、前記デジタル補償手段が、デジタル制御信号で抵抗値を可変できるデジタルトリマを有し、前記デジタルトリマの抵抗値に基づいてセンサ信号の増幅手段のオフセット値の補償とゲイン調整とを行うことを特徴とする圧力センサ駆動回路である。 [0009] The invention according to claim 2, comprising a temperature sensing means, the sensor driving circuit having the function of performing temperature compensation based on the temperature signal from the temperature sensing means, the temperature sensing for measuring the temperature of the sensor and digital control using a digital control signal of the temperature signal and the binary-coded from the means have a digital compensation means for performing temperature compensation of the sensor, the digital compensation means, digital capable of varying the resistance value by the digital control signal It has a trimmer, a pressure sensor drive circuit which is characterized in that the compensation and gain adjustment of the offset values ​​of the amplification means of the sensor signals based on the resistance value of the digital trimmer.

【0010】請求項2の発明によれば、デジタル補償手段に、デジタル信号で抵抗値を可変できるデジタルトリマを有することによって、アナログ回路とデジタル回路とを簡潔に結合している。 According to the invention of claim 2, the digital compensation means, by having a digital trimmer capable of varying the resistance value by the digital signal, it is briefly coupling the analog and digital circuits. すなわちセンサ信号の増幅手段のオフセット調整用抵抗とゲイン調整用抵抗とにデジタルトリマを用いることによって、CPUからのデジタル信号によって増幅手段の温度補償を行うことを可能としている。 That By using digital trimmer and offset adjustment resistor and the gain adjusting resistors of the amplifying means of the sensor signal, it is made possible to perform temperature compensation of the amplification means by a digital signal from the CPU. これによって予め記憶部に記録されたデータを基に各増幅手段のオフセット調整が可能になる。 This allows for offset adjustment of each amplifying means based on the data recorded in advance in the storage unit by. また測定精度を要しないデジタルトリマの抵抗値の選択制御にCPUを用いたデジタル処理を適用すると共に、測定精度を要するセンサの温度補償制御や増幅器のゲイン補償とオフセット補償にアナログ出力調整回路を用いたアナログ処理を適用することにより、それぞれの信号処理系を構成する回路の最適化を図ることや小型化を図ることが可能となる。 Use also with applying the digital processing using a CPU to a selected control of the resistance value of which does not require digital trimmer measurement accuracy, the analog output adjustment circuit to gain compensation and the offset compensation of the temperature compensation control and amplifier of the sensor requiring measurement accuracy by applying the analog processing had, it is possible to achieve that and size to optimize the circuit constituting the respective signal processing system. 更に複数の増幅手段のオフセット調整用抵抗及びゲイン調整用抵抗を一つのデジタルトリマで構成できるので、従来は各増幅手段毎に必要であったオフセット調整回路及びゲイン調整回路を一括し回路規模を小型化できるといった効果を奏する。 Further, since it constitutes the offset adjustment resistor and the gain adjustment resistor of the plurality of amplifying means in a single digital trimmer conventionally small bulk and circuit scale offset adjustment circuit and a gain adjustment circuit was required for each amplification means an effect such possible reduction.

【0011】請求項3の発明は、請求項1または請求項2に記載のセンサ駆動回路において、センサの出力を増幅する増幅手段と、前記増幅手段のオフセット調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要オフセット範囲に調整する制御部を有している。 [0011] A third aspect of the present invention, used in the sensor drive circuit according to claim 1 or claim 2, and amplifying means for amplifying the output of the sensor, the offset adjusting resistor of the amplification means of said digital control signal and a control unit for adjusting the required offset range Te.

【0012】請求項3記載の発明によれば、請求項1及び請求項2に示した効果と同様の効果を奏する。 According to the third aspect of the present invention, effects similar to the claims 1 and claim 2. またセンサのアナログ出力信号に増幅手段を用い、これによって温度補償に対するセンサ信号のゲイン調整を可能としている。 Also using amplification means into an analog output signal of the sensor, thereby is made possible gain adjustment of the sensor signal for temperature compensation. 更に増幅手段のオフセット調整用抵抗にデジタル補償手段を用いることにより、増幅手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。 Further by using a digital compensation means to the offset adjustment resistor of the amplifying means, the temperature compensation of the amplification means also make it possible to carry out simultaneously. これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。 This realizes a high sensor reliability and enables stable measurement against temperature change.

【0013】請求項4の発明は、請求項1乃至3に記載の圧力センサ駆動回路において、センサの出力を増幅する増幅手段を有し、前記増幅手段のゲイン調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整する制御部を有している圧力センサ駆動回路である。 [0013] A fourth aspect of the present invention, in the pressure sensor driving circuit according to claim 1 to 3, comprising amplifying means for amplifying the output of the sensor, said digital control signal gain adjusting resistor of the amplification means a pressure sensor drive circuit has a control unit for adjusting the desired gain range using.

【0014】請求項4記載の発明によれば、請求項1乃至3に示した効果と同様の効果を奏する。 According to the fourth aspect of the present invention, effects similar to the claims 1 to 3. またセンサのアナログ出力信号に増幅手段を用い、更に増幅手段のゲイン調整用抵抗をデジタル補償手段を用い、デジタル手段により温度補償に対するセンサ信号のゲイン調整を行っている。 Also using amplification means into an analog output signal of the sensor, the gain adjusting resistors of the amplifying means with a digital compensation means further adjust the gain of the sensor signal for temperature compensation by digital means. これによって、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。 This achieves high sensor reliability and enables stable measurement against temperature change.

【0015】請求項5の発明は、請求項1乃至4に記載の圧力センサ駆動回路において、センサの出力を差動モードで検出する差動手段と、前記差動手段のオフセット調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整する制御部を有している圧力センサ駆動回路である。 [0015] The invention of claim 5, wherein the pressure sensor driving circuit according to any one of claims 1 to 4, a differential means for detecting an output of a sensor in a differential mode, an offset adjustment resistor of the differential means a pressure sensor drive circuit has a control unit for adjusting the desired offset range using the digital control signal.

【0016】請求項5記載の発明によれば、請求項1乃至4に示した効果と同様の効果を奏する。 According to the fifth aspect of the invention, effects similar to the claims 1 to 4. またセンサの出力を差動手段を用いて検出し、更に差動手段のオフセット調整用抵抗をデジタル補償手段を用いることにより、差動手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。 The output of the sensor is detected by using a differential unit, further by using a digital compensation means an offset adjustment resistor of the differential means, it is made possible to carry out simultaneously the temperature compensation of the differential unit. これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。 This realizes a high sensor reliability and enables stable measurement against temperature change.

【0017】請求項6の発明は、請求項1乃至5に記載の圧力センサ駆動回路において、センサの出力を差動モードで検出する差動手段と、前記差動手段のゲイン調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整する制御部を有している圧力センサ駆動回路である。 [0017] The invention of claim 6, wherein the pressure sensor driving circuit according to claims 1 to 5, and the differential means for detecting an output of a sensor in a differential mode, the gain adjustment resistor of the differential means a pressure sensor drive circuit has a control unit for adjusting the desired gain range using the digital control signal.

【0018】請求項6記載の発明によれば、請求項1乃至5に示した効果と同様の効果を奏する。 According to the sixth aspect of the present invention, effects similar to the claims 1 to 5. また請求項6 The claim 6
記載の発明によれば、センサの出力を差動手段を用いて検出している。 According to the invention as described, it is detected by using a differential means the output of the sensor. また増幅手段のゲイン調整用抵抗をデジタル補償手段を用いることにより、差動手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。 The use of digital compensation means gain adjusting resistors of the amplifying means also make it possible to carry out simultaneously the temperature compensation of the differential unit. これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。 This realizes a high sensor reliability and enables stable measurement against temperature change.

【0019】請求項7の発明は、請求項1乃至6に記載の圧力センサ駆動回路において、センサの出力に対して加算する加算手段と、前記加算手段のオフセット値の調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整する制御部を有している圧力センサ駆動回路である。 [0019] The invention of claim 7, in the pressure sensor driving circuit according to claim 1 to 6, and adding means for adding the output of the sensor, said digital control adjusting resistors offset value of the adding means a pressure sensor drive circuit has a control unit for adjusting the desired offset range using the signal.

【0020】請求項7記載の発明によれば、請求項1乃至6に示した効果と同様の効果を奏する。 According to the invention of claim 7, wherein, effects similar to the claims 1 to 6. またセンサのアナログ出力信号に加算手段を用い、更に加算手段のオフセット調整用抵抗をデジタル補償手段を用い、デジタル手段により温度補償に対するセンサ信号のオフセット調整を行っている。 Also the adding means using the analog output signal of the sensor, further with a digital compensation means an offset adjustment resistor adding means, is carried out offset adjustment of the sensor signal for temperature compensation by digital means. これによって、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。 This achieves high sensor reliability and enables stable measurement against temperature change.

【0021】請求項8の発明は、請求項1乃至6に記載の圧力センサ駆動回路において、センサの出力に対して加算する加算手段と、前記加算手段のゲイン調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整する制御部を有している圧力センサ駆動回路である。 [0021] The invention of claim 8, in the pressure sensor driving circuit according to claim 1 to 6, and adding means for adding the output of the sensor, said digital control signal gain adjustment resistor of said adding means a pressure sensor drive circuit has a control unit for adjusting the desired gain range using.

【0022】請求項8記載の発明によれば、請求項1乃至7に示した効果と同様の効果を奏する。 According to the invention of claim 8, effects similar to the claims 1 to 7. またセンサのアナログ出力信号に加算手段を用い、更に加算手段のオフセット調整用抵抗をデジタル補償手段を用いることにより、加算手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。 Also the adding means using the analog output signal of the sensor, and further by using a digital compensation means an offset adjustment resistor adding means, and capable of performing simultaneously the temperature compensation of the adding means. これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。 This realizes a high sensor reliability and enables stable measurement against temperature change.

【0023】請求項9の発明は、前記センサが、半導体圧力センサであることを特徴とする請求項1乃至8に記載の圧力センサ駆動回路である。 The invention of claim 9, wherein the sensor is a pressure sensor driving circuit according to claim 1 to 8, characterized in that a semiconductor pressure sensor.

【0024】請求項9記載の発明によれば、半導体圧力センサの駆動回路に請求項1乃至8記載の圧力センサ駆動回路を用いている。 According to the invention of claim 9 wherein is used a pressure sensor driving circuit according to claim 1 to 8, wherein the drive circuit of a semiconductor pressure sensor. 半導体圧力センサは小型でかつ感度が大きいが、一般的には温度依存性が大きいという特徴を有する。 The semiconductor pressure sensor is small and the sensitivity is high, but generally has a feature that a large temperature dependency. 請求項1乃至8記載の圧力センサ駆動回路では、感度の優れたセンサのアナログ出力をアナログ回路で増幅する手段を用いている。 A pressure sensor driving circuit according to claim 1 to 8 wherein is used a means for amplifying an analog circuit the analog output of excellent sensor sensitivity. また温度補償に関しては、高速な自動制御が可能であるデジタル回路を用いている。 Also with respect to the temperature compensation uses a digital circuit which enables high-speed automatic control. またデジタルトリマを用いてデジタル回路とアナログ回路の接続を行い、更に補償回路の簡潔化を行っている。 Also it provides connection for digital and analog circuits using digital trimmer, further subjected to simplify the compensation circuit. その結果、小型かつ高速自動制御かつ高感度を有する圧力測定装置を実現することが可能となるといった効果を奏する。 As a result, an effect that it becomes possible to realize a pressure measuring device having a compact and high-speed automatic control and sensitive.

【0025】 [0025]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明の実施形態を説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, an embodiment of the present invention based on the drawings. 図1は、本発明の一実施形態である圧力センサ駆動回路10の構成図である。 Figure 1 is a block diagram of a pressure sensor driving circuit 10 according to an embodiment of the present invention. 本実施形態の回路は、圧力センサ20、圧力センサ20の温度補償を行うデジタル補償手段30、圧力センサ20からのアナログ信号を増幅してオフセット調整とゲイン調整とを行う為のアナログ出力調整回路40を中心に構成されている。 Circuit of this embodiment, the pressure sensor 20, a digital compensation means 30, the analog output adjustment circuit for performing the offset adjustment and gain adjustment by amplifying the analog signal from the pressure sensor 20 40 that performs temperature compensation of the pressure sensor 20 It is organized around.

【0026】圧力センサ20の温度補償を行うデジタル補償手段30は、センサ温度を測定する為の感温手段3 The digital compensation means 30 for performing temperature compensation of the pressure sensor 20, temperature sensing means 3 for measuring the sensor temperature
1、感温手段31のアナログ信号をデジタル信号に変換する為のA/Dコンバータ32、デジタル信号を処理し温度補償の為の調整抵抗値を決定するCPU33、及びCPU33からのデジタル信号に従って抵抗値を変えるデジタルトリマ34を中心に構成されている。 1, A / D converter 32 for converting the analog signal of the temperature sensitive means 31 into a digital signal, determines the adjustment resistance values ​​for the treated temperature compensated digital signal CPU 33, and the resistance value in accordance with the digital signal from the CPU 33 It is constructed around a digital trimmer 34 varied. また、この様に温度補償をデジタル補償手段30とすることによって、予め較正し記録されたデータを基にCPU33が温度補償の制御を行っている。 Further, by making the temperature compensation and digital compensation means 30 in this manner, CPU 33 on the basis of the previously calibrated recorded data is performed to control the temperature compensation. その結果、センサ20の温度補償に関して、CPU33による自動制御と高速処理を可能としている。 As a result, with respect to the temperature compensation of the sensor 20, thereby enabling automatic control and high-speed processing by CPU 33.

【0027】アナログ出力調整回路40は、圧力センサ20からのアナログ信号を差動モードで検出して増幅する差動手段41、圧力センサ20の温度補償の為のゲイン調整を行う増幅手段42、オフセット調整を行う為の加算手段43を中心に構成される。 The analog output adjustment circuit 40, differential unit 41, amplifying means 42 for gain adjustment for temperature compensation of the pressure sensor 20 to detect and amplify the analog signal from the pressure sensor 20 in the differential mode, the offset configured mainly the addition means 43 for performing the adjustment. 更に、増幅手段42 Further, the amplification means 42
のゲイン調整用抵抗と加算手段43のオフセット調整用抵抗には、デジタル補償手段30のデジタルトリマ34 The the gain adjustment resistor offset adjustment resistor adding means 43, a digital trimmer 34 of the digital compensation means 30
が用いられており、CPU33によるデジタルトリマ3 And it is used, digital trimmer 3 by CPU33
4の抵抗調整によって差動手段41と増幅手段42と加算手段43のゲイン調整とオフセット調整を行い、センサ20の温度補償を行っている。 It adjusts the gain and offset adjustment of the differential unit 41 and the amplifying means 42 adding means 43 by the resistance adjusting 4 is performed temperature compensation of the sensor 20.

【0028】この構成によって、センサ20の温度を測定する感温手段31からの温度信号を2進コード化したデジタル制御信号を用いデジタル制御してセンサ20の温度補償を行うデジタル補償手段30を有し、デジタル補償手段30が、デジタル制御信号で抵抗値を可変できる複数の可変抵抗部を有するデジタルトリマ34を有し、CPU33によって個々に制御されるデジタルトリマ34の可変抵抗部の抵抗値に基づいてセンサ信号の複数の増幅手段42のオフセット値の補償とゲイン調整とを一括して行う圧力センサ駆動回路10となる。 [0028] With this configuration, have a digital compensation means 30 for performing temperature compensation of the digital control to the sensor 20 using the digital control signal of the temperature signal and the binary-coded from the temperature sensing means 31 for measuring the temperature of the sensor 20 and, digital compensation means 30 has a digital trimmer 34 having a plurality of variable resistor capable of varying the resistance value by the digital control signal, based on the resistance of the variable resistor of a digital trimmer 34 to be controlled individually by CPU33 a pressure sensor drive circuit 10 for collectively performing a compensation and gain adjustment of the offset values ​​of the plurality of amplifying means 42 of the sensor signal Te.

【0029】この様に、圧力センサ20の出力調整にアナログ出力調整回路40を用いデジタル補償手段30の中のデジタルトリマ34を介して、アナログ出力調整回路40とCPU33によりデジタル制御されるデジタル制御回路30とを接続することによって、測定精度を要しないデジタルトリマ34の抵抗値の選択制御にCPU [0029] Thus, through digital trimmer 34 in the digital compensation means 30 using the analog output adjustment circuit 40 to the output adjustment of the pressure sensor 20, a digital control circuit which is digitally controlled by the analog output adjustment circuit 40 and the CPU33 by connecting the 30, CPU the selection control of the resistance value of which does not require digital trimmer 34 measurement accuracy
33を用いたデジタル処理を適用すると共に、測定精度を要するセンサ20の温度補償制御や増幅器42のゲイン補償と増幅器43のオフセット補償にアナログ出力調整回路40を用いたアナログ処理を適用することにより、それぞれの信号処理系を構成する回路の最適化を図ることや小型化を図ることが可能となる。 33 with applying a digital processing using, by applying an analog processing using an analog output adjustment circuit 40 to offset compensation of gain compensation and amplifier 43 of the temperature compensation control and amplifier 42 of the sensor 20 that require the measurement accuracy, can be optimized to that and size to achieve the circuits constituting each of the signal processing system to become. すなわち、圧力センサ20の出力調整にアナログ出力調整回路40を用いることによって、圧力センサ20の高感度性を有効に活用し、かつ感温手段31の補償をデジタル的に一括処理する場合に比べて、部品点数が大きくなる回路をコンパクトに構成できるアナログ回路を用いることにより、回路構成の規模を簡素化できる。 That is, by using the analog output adjustment circuit 40 to the output adjustment of the pressure sensor 20, as compared with the case where effective use of high sensitivity of the pressure sensor 20, and the compensation of the temperature sensing means 31 for digitally batch by using the analog circuit can be configured circuit parts becomes large compact, it can be simplified scale circuit configuration. これによってデジタルICの部品点数を減らすことができ、小型かつ低価格であるセンサ駆動回路10を実現できるといった効果を奏する。 This can reduce the number of parts of the digital IC, an effect such can realize the sensor drive circuit 10 is a compact and low cost. また温度補償手段をデジタル補償手段30とすることによって、自動制御と高速処理を可能とし、温度補償の調整も容易にしている。 Also by the temperature compensation means and the digital compensation means 30, to enable automatic control and high-speed processing, and also facilitates adjustment of temperature compensation. 更にデジタル補償手段30とアナログ出力調整回路40の接続にデジタルトリマ34を用いることによって、2つの回路を簡潔に接続し、かつ安価にすることを実現している。 Further by using a digital trimmer 34 to connect the digital compensator 30 and the analog output adjustment circuit 40, it is realized that the two circuits briefly connected and made inexpensive.

【0030】なお、アナログ出力調整回路40の中の増幅手段42として、具体的にはオペアンプ等を用いた非反転増幅回路42を用い、非反転増幅回路42のオフセット調整用抵抗をデジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整することもできる。 [0030] As the amplification means 42 in the analog output adjustment circuit 40, specifically using a non-inverting amplifier circuit 42 using an operational amplifier or the like, a digital control signal for adjusting the resistance offset of the non-inverting amplifier circuit 42 It can be adjusted to a desired offset range used. また、非反転増幅回路42のゲイン調整用抵抗をデジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整することもできる。 Also, the gain adjustment resistor of the non-inverting amplifier circuit 42 can be adjusted to a desired gain range using the digital control signal. 非反転増幅回路42のオフセット調整用抵抗にデジタル補償手段30を用いることにより、圧力センサ20の出力の温度補償を行うと同時に非反転増幅回路42の温度補償を行うことを可能としている。 The use of digital compensation means 30 in the offset adjustment resistor of the non-inverting amplifier circuit 42, it is made possible to perform temperature compensation of the non-inverting amplifier circuit 42 at the same time performs temperature compensation of the output of the pressure sensor 20. これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサ20を実現している。 This realizes stable possible and to reliable sensor 20 measurements were against temperature change.

【0031】また、アナログ出力調整回路40の中の差動手段41として、オペアンプ等を用いた差動増幅回路41を用い、差動増幅回路41のオフセット調整用抵抗をデジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整し、更にゲイン調整用抵抗をデジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整することもできる。 Further, as the differential means 41 in the analog output adjustment circuit 40, a differential amplifier circuit 41 using an operational amplifier or the like, the required offset adjustment resistor of the differential amplifier circuit 41 using the digital control signal of was adjusted to offset range can be further adjusting the gain adjustment resistor to a desired gain range using the digital control signal. 差動増幅回路41のオフセット調整用抵抗とゲイン調整抵抗にデジタルトリマ34を用い、デジタル制御手段30により差動増幅回路41の温度補償を行う。 Using a digital trimmer 34 in the offset adjusting resistor and the gain adjusting resistor of the differential amplifier circuit 41, temperature compensation of the differential amplifier circuit 41 by the digital control unit 30. これによって、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサ20を実現している。 This realizes a stable and high sensor 20 reliable and enables measurements against temperature change.

【0032】更に、アナログ出力調整回路40の中の加算手段43として、オペアンプ等を用いた加算回路43 Furthermore, as the adding means 43 in the analog output adjustment circuit 40, adder circuit 43 using an operational amplifier or the like
を用い、加算回路43のオフセット調整用抵抗をデジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整し、更にゲイン調整用抵抗をデジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整することもできる。 The use, the offset adjustment resistor of adder circuit 43 is adjusted to the required offset range using the digital control signal may further adjusting the gain adjustment resistor to a desired gain range using the digital control signal. 加算回路43のオフセット調整用抵抗とゲイン調整抵抗にデジタルトリマ34を用い、デジタル制御手段30によりセンサ信号の温度補償と加算回路の温度補償を行う。 Using a digital trimmer 34 in the offset adjusting resistor and the gain adjustment resistor summing circuit 43, temperature compensation of the temperature compensation and summation circuit of the sensor signal by the digital control unit 30. これによって、 by this,
温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサ20を実現している。 Thereby realizing a stable high sensor 20 reliable and enables measurements against temperature change.

【0033】次に、この一実施形態として半導体圧力センサ駆動回路10の動作について説明する。 [0033] Next, the operation of the semiconductor pressure sensor drive circuit 10 as this embodiment. 一般的に、 Typically,
半導体圧力センサ20は高感度であるというメリットがある反面、大きな温度依存性を持つというデメリットがある。 Whereas semiconductor pressure sensor 20 have a merit of being highly sensitive, there is a disadvantage of having a large temperature dependency. そこでこの様なデメリットの軽減を図ることを目的として温度補償回路が用いられている。 Therefore the temperature compensation circuit is used for the purpose of achieving a reduction of such disadvantages. まず予め定められた各温度で半導体圧力センサ20の較正を行い、所定温度範囲での圧力センサ20のゲイン調整抵抗値とオフセット調整抵抗値をCPU33に記憶させる。 Performs calibration of the semiconductor pressure sensor 20, first the predetermined temperature, and stores the gain adjustment resistance values ​​of the pressure sensor 20 and the offset adjusting resistance at a predetermined temperature range to CPU 33.

【0034】圧力の測定時には、圧力を測定すると同時に半導体圧力センサ20の温度は感温抵抗(感温手段) [0034] During the measurement of pressure, temperature thermal sensitive resistor of the semiconductor pressure sensor 20 and simultaneously measuring the pressure (temperature sensing means)
31で検出され、感温抵抗31からのアナログ信号はA Detected in 31, the analog signal from the temperature sensitive resistor 31 is A
/Dコンバータ32によって二進コード化したデジタル信号に変換される。 / D converter 32 is converted into a binary coded digital signal. 変換された信号はCPU33に送られ、CPU33では予め温度較正を行った時に記憶されているデータを基にオフセット調整用抵抗値及びゲイン調整抵抗値を決定する。 The converted signal is sent to the CPU 33, to determine the offset adjusting resistor values ​​and gain adjustment resistance value based on data stored when performing the pre-temperature calibration in CPU 33. CPU33は決定された抵抗値に対応するデジタル信号をデジタルトリマ34に送り、 CPU33 sends a digital signal corresponding to the determined resistance value to a digital trimmer 34,
加算回路43と非反転増幅回路42に接続される各端子の抵抗値を変更調整させる。 The resistance value of each terminal connected to the adder circuit 43 to the non-inverting amplifier circuit 42 is changed adjustment. その抵抗値に従って、半導体圧力センサ20のアナログ出力に対して加算回路43 In accordance with the resistance value, added to the analog output of the semiconductor pressure sensor 20 circuit 43
を用いたセンサ20のオフセット調整と非反転増幅回路42を用いたセンサ20のゲイン調整がなされ、温度補償が行われる。 Gain adjustment of the offset adjustment and the non-inverting amplifier circuit 42 sensor 20 using the sensor 20 with is made, temperature compensation is performed.

【0035】この様に、本実施形態の駆動回路は、感温抵抗31からのアナログ信号に基づく温度補償を行う為のアナログ補償量の制御をデジタル補償手段30を用いてデジタル制御によって実行し、半導体センサ20からの信号の温度補償はアナログ出力調整回路40によって補償している。 [0035] In this way, the driving circuit of this embodiment, the analog compensation amount of control for temperature compensation based on the analog signal from the temperature sensitive resistor 31 is performed by digital control using a digital compensation means 30, temperature compensation of the signal from the semiconductor sensor 20 is compensated by an analog output adjustment circuit 40. 温度補償制御の様な精密な制御を行おうとした場合には大規模な回路や煩雑なプログラムを必要とするCPU33によるデジタル制御に比べて、小規模で簡素な回路構成でこのような精密な制御を行うことができるアナログ出力調整回路40を設置したことで、センサ駆動回路の構成の簡素化や小規模化を図ることができる。 If an attempt is made to such precise control of the temperature compensation control as compared to the digital control of CPU33 that require extensive circuitry and complicated programs, such precise control in small and simple circuit arrangement that it was established the analog output adjustment circuit 40 can be performed, it is possible to simplify and scale of the structure of the sensor drive circuit. また、半導体圧力センサ20のような高感度であるが温度依存性が大きいセンサ20においても、本実施形態の駆動回路を用いることによって、センサ信号の増幅とアナログ補償量の調整をアナログ出力調整回路40 The semiconductor also in pressure is a sensitive temperature dependence is greater sensor 20, such as sensors 20, by using the driving circuit of the present embodiment, the analog output adjustment circuit to adjust the amplification and analog compensation amount of the sensor signal 40
で行っている為にセンサ20の高感度性を有効に活用できる。 It can be effectively utilized high sensitivity of the sensor 20 in order to have done in. 更に、CPU33によるデジタル温度補償30のによって自動かつ高速に処理されることで測定の安定性及び信頼性が向上する。 Furthermore, to improve stability and reliability of the measurement by being processed in an automatic and high speed by a digital temperature compensation 30 to by CPU 33. その結果、小型、高感度かつ高信頼性の圧力測定装置を実現できるといった効果を奏する。 As a result, exhibits small, such an effect can be realized pressure measuring device of high sensitivity and high reliability.

【0036】また、感温抵抗31からのアナログ信号をデジタル信号に変換するには、A/Dコンバータ32を必要とするが、感温抵抗からのアナログ信号を増幅アンプを用いて増幅させることによって、分解能の低いA/ Further, to convert the analog signal from the temperature sensitive resistor 31 into a digital signal may require an A / D converter 32, by amplified using amplifiers the analog signal from the temperature sensitive resistor , low-resolution a /
Dコンバータ32とすることができ、低価格化することができる。 Be a D converter 32, it is possible to lower prices. CPU33にA/Dコンバータ内蔵型を用いることによって、感温抵抗31からのアナログ信号をデジタル信号に変換する為のA/Dコンバータ32の部品占有スペースを省略して回路を簡略化でき、一層の小型化とコストダウンができる。 By using the A / D converter built-in CPU 33, you can simplify the circuit by omitting the component footprint of the A / D converter 32 for converting the analog signal to a digital signal from the temperature sensitive resistor 31, further It can be reduced in size and cost down. 更に、感温抵抗31を半導体圧力センサ20上に作製することによって、同様に感温抵抗31の部品スペースを省略して回路を簡略化でき、一層の小型化とコストダウンができる。 Further, by making the temperature sensitive resistor 31 on the semiconductor pressure sensor 20, similarly it can simplify the circuit by omitting the part space of the temperature sensitive resistor 31 may further miniaturization and cost reduction.

【0037】 [0037]

【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、感温手段からのアナログ信号に基づく温度補償を行う為のアナログ補償量の制御をデジタル補償手段を用いてデジタル制御によって実行しているので、感温手段の補償をデジタル的に一括処理する場合に比べて、回路構成の規模を簡素化できる。 Effects of the Invention According to the first aspect of the invention, since running an analog compensation amount of control for temperature compensation based on the analog signal from the temperature sensing means by a digital control using a digital compensation means , compared to the compensation of the temperature sensing means when digitally batch, can be simplified scale circuit configuration. これによってデジタルICの部品点数を減らすことができ、小型かつ低価格であるセンサ駆動回路を実現できるといった効果を奏する。 This can reduce the number of parts of the digital IC, an effect such can realize the sensor drive circuit is compact and inexpensive. また、デジタル制御とすることによって、予め素子の温度較正を行ってその較正値を記憶部に保存し利用することができる。 Moreover, by a digital control, it is possible to save the calibration value in the storage unit performs temperature calibration in advance elements available. この結果、記憶部に保存されたデータを基にセンサの温度補償を瞬時に行うことが可能となる。 As a result, data stored in the storage unit it is possible to perform the temperature compensation of the sensor instantly based on.

【0038】請求項2の発明によれば、デジタル補償手段に、デジタル信号で抵抗値を可変できるデジタルトリマを有することによって、アナログ回路とデジタル回路とを簡潔に結合している。 [0038] According to the invention of claim 2, the digital compensation means, by having a digital trimmer capable of varying the resistance value by the digital signal, it is briefly coupling the analog and digital circuits. すなわちセンサ信号の増幅手段のオフセット調整用抵抗とゲイン調整用抵抗とにデジタルトリマを用いることによって、CPUからのデジタル信号によって増幅手段の温度補償を行うことを可能としている。 That By using digital trimmer and offset adjustment resistor and the gain adjusting resistors of the amplifying means of the sensor signal, it is made possible to perform temperature compensation of the amplification means by a digital signal from the CPU. これによって予め記憶部に記録されたデータを基に各増幅手段のオフセット調整が可能になる。 This allows for offset adjustment of each amplifying means based on the data recorded in advance in the storage unit by. また測定精度を要しないデジタルトリマの抵抗値の選択制御にCPUを用いたデジタル処理を適用すると共に、測定精度を要するセンサの温度補償制御や増幅器のゲイン補償とオフセット補償にアナログ出力調整回路を用いたアナログ処理を適用することにより、それぞれの信号処理系を構成する回路の最適化を図ることや小型化を図ることが可能となる。 Use also with applying the digital processing using a CPU to a selected control of the resistance value of which does not require digital trimmer measurement accuracy, the analog output adjustment circuit to gain compensation and the offset compensation of the temperature compensation control and amplifier of the sensor requiring measurement accuracy by applying the analog processing had, it is possible to achieve that and size to optimize the circuit constituting the respective signal processing system. 更に複数の増幅手段のオフセット調整用抵抗及びゲイン調整用抵抗を一つのデジタルトリマで構成できるので、従来は各増幅手段毎に必要であったオフセット調整回路及びゲイン調整回路を一括し回路規模を小型化できるといった効果を奏する。 Further, since it constitutes the offset adjustment resistor and the gain adjustment resistor of the plurality of amplifying means in a single digital trimmer conventionally small bulk and circuit scale offset adjustment circuit and a gain adjustment circuit was required for each amplification means an effect such possible reduction.

【0039】請求項3記載の発明によれば、請求項1及び請求項2に示した効果と同様の効果を奏する。 [0039] According to the third aspect of the present invention, effects similar to the claims 1 and claim 2. またセンサのアナログ出力信号に増幅手段を用い、これによって温度補償に対するセンサ信号のゲイン調整を可能としている。 Also using amplification means into an analog output signal of the sensor, thereby is made possible gain adjustment of the sensor signal for temperature compensation. 更に増幅手段のオフセット調整用抵抗にデジタル補償手段を用いることにより、増幅手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。 Further by using a digital compensation means to the offset adjustment resistor of the amplifying means, the temperature compensation of the amplification means also make it possible to carry out simultaneously. これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。 This realizes a high sensor reliability and enables stable measurement against temperature change.

【0040】請求項4記載の発明によれば、請求項1乃至3に示した効果と同様の効果を奏する。 According to the fourth aspect of the present invention, effects similar to the claims 1 to 3. またセンサのアナログ出力信号に増幅手段を用い、更に増幅手段のゲイン調整用抵抗をデジタル補償手段を用い、デジタル手段により温度補償に対するセンサ信号のゲイン調整を行っている。 Also using amplification means into an analog output signal of the sensor, the gain adjusting resistors of the amplifying means with a digital compensation means further adjust the gain of the sensor signal for temperature compensation by digital means. これによって、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。 This achieves high sensor reliability and enables stable measurement against temperature change.

【0041】請求項5記載の発明によれば、請求項1乃至4に示した効果と同様の効果を奏する。 [0041] According to the fifth aspect of the invention, effects similar to the claims 1 to 4. またセンサの出力を差動手段を用いて検出し、更に差動手段のオフセット調整用抵抗をデジタル補償手段を用いることにより、差動手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。 The output of the sensor is detected by using a differential unit, further by using a digital compensation means an offset adjustment resistor of the differential means, it is made possible to carry out simultaneously the temperature compensation of the differential unit. これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。 This realizes a high sensor reliability and enables stable measurement against temperature change.

【0042】請求項6記載の発明によれば、請求項1乃至5に示した効果と同様の効果を奏する。 [0042] According to the sixth aspect of the present invention, effects similar to the claims 1 to 5. また請求項6 The claim 6
記載の発明によれば、センサの出力を差動手段を用いて検出している。 According to the invention as described, it is detected by using a differential means the output of the sensor. また増幅手段のゲイン調整用抵抗をデジタル補償手段を用いることにより、差動手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。 The use of digital compensation means gain adjusting resistors of the amplifying means also make it possible to carry out simultaneously the temperature compensation of the differential unit. これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。 This realizes a high sensor reliability and enables stable measurement against temperature change.

【0043】請求項7記載の発明によれば、請求項1乃至6に示した効果と同様の効果を奏する。 [0043] According to the invention of claim 7, wherein, effects similar to the claims 1 to 6. またセンサのアナログ出力信号に加算手段を用い、更に加算手段のオフセット調整用抵抗をデジタル補償手段を用い、デジタル手段により温度補償に対するセンサ信号のオフセット調整を行っている。 Also the adding means using the analog output signal of the sensor, further with a digital compensation means an offset adjustment resistor adding means, is carried out offset adjustment of the sensor signal for temperature compensation by digital means. これによって、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。 This achieves high sensor reliability and enables stable measurement against temperature change.

【0044】請求項8記載の発明によれば、請求項1乃至7に示した効果と同様の効果を奏する。 [0044] According to the invention of claim 8, effects similar to the claims 1 to 7. またセンサのアナログ出力信号に加算手段を用い、更に加算手段のオフセット調整用抵抗をデジタル補償手段を用いることにより、加算手段の温度補償も同時に行うことを可能としている。 Also the adding means using the analog output signal of the sensor, and further by using a digital compensation means an offset adjustment resistor adding means, and capable of performing simultaneously the temperature compensation of the adding means. これにより、温度変化に対しても安定した測定を可能とし信頼性の高いセンサを実現している。 This realizes a high sensor reliability and enables stable measurement against temperature change.

【0045】請求項9記載の発明によれば、半導体圧力センサの駆動回路に請求項1乃至8記載の圧力センサ駆動回路を用いている。 [0045] According to the invention of claim 9 wherein is used a pressure sensor driving circuit according to claim 1 to 8, wherein the drive circuit of a semiconductor pressure sensor. 半導体圧力センサは小型でかつ感度が大きいが、一般的には温度依存性が大きいという特徴を有する。 The semiconductor pressure sensor is small and the sensitivity is high, but generally has a feature that a large temperature dependency. 請求項1乃至8記載の圧力センサ駆動回路では、感度の優れたセンサのアナログ出力をアナログ回路で増幅する手段を用いている。 A pressure sensor driving circuit according to claim 1 to 8 wherein is used a means for amplifying an analog circuit the analog output of excellent sensor sensitivity. また温度補償に関しては、高速な自動制御が可能であるデジタル回路を用いている。 Also with respect to the temperature compensation uses a digital circuit which enables high-speed automatic control. またデジタルトリマを用いてデジタル回路とアナログ回路の接続を行い、更に補償回路の簡潔化を行っている。 Also it provides connection for digital and analog circuits using digital trimmer, further subjected to simplify the compensation circuit. その結果、小型かつ高速自動制御かつ高感度を有する圧力測定装置を実現することが可能となるといった効果を奏する。 As a result, an effect that it becomes possible to realize a pressure measuring device having a compact and high-speed automatic control and sensitive.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の圧力センサ駆動回路の基本構成を説明した機能ブロック図である。 1 is a functional block diagram for explaining the basic configuration of the pressure sensor driving circuit of the present invention.

【図2】従来例の変位測定装置の構成図である。 2 is a configuration diagram of a displacement measuring device of the conventional example.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

10 センサ駆動回路 20 圧力センサ 21 電源 30 デジタル補償手段 31 感温手段 32 A/Dコンバータ 33 CPU 34 デジタルトリマ 35 固定抵抗 40 アナログ出力調整回路 41 差動手段 42 増幅手段 43 加算手段 10 sensor drive circuit 20 a pressure sensor 21 power supply 30 digital compensator 31 temperature sensitive means 32 A / D converter 33 CPU 34 digital trimmer 35 fixed resistor 40 Analog output adjustment circuit 41 differential unit 42 amplifying means 43 adding means

Claims (9)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 感温手段を有し、前記感温手段からの温度信号に基づいてセンサの温度補償を行う機能を有するセンサ駆動回路において、前記センサ回路の温度を測定する前記感温手段からの温度信号を2進コード化したデジタル制御信号を用いデジタル制御して前記センサの温度補償を行うデジタル補償手段を有することを特徴とする圧力センサ駆動回路。 1. A has a temperature sensitive means, the sensor driving circuit having the function of performing temperature compensation of the sensor based on the temperature signal from the temperature sensing means, from the temperature sensing means for measuring the temperature of the sensor circuit pressure sensor drive circuit, characterized in that the temperature signal to a digital control using a binary coded digital control signal having a digital compensation means for performing temperature compensation of the sensor.
  2. 【請求項2】 感温手段を有し、前記感温手段からの温度信号に基づいて温度補償を行う機能を有するセンサ駆動回路において、前記センサの温度を測定する前記感温手段からの温度信号を2進コード化したデジタル制御信号を用いデジタル制御して前記センサの温度補償を行うデジタル補償手段を有し、前記デジタル補償手段が、デジタル制御信号で抵抗値を可変できるデジタルトリマを有し、前記デジタルトリマの抵抗値に基づいてセンサ信号の増幅手段のオフセット値の補償とゲイン調整とを行うことを特徴とする圧力センサ駆動回路。 2. A has a temperature sensitive means, the sensor driving circuit having the function of performing temperature compensation based on the temperature signal from the temperature sensing means, the temperature signal from the temperature sensing means for measuring the temperature of the sensor the digitally controlled using a binary coded digital control signal has a digital compensation means for performing temperature compensation of the sensor, the digital compensation means has a digital trimmer capable of varying the resistance value by the digital control signal, pressure sensor drive circuit which is characterized in that the compensation and gain adjustment of the offset values ​​of the amplification means of the sensor signals based on the resistance value of the digital trimmer.
  3. 【請求項3】 センサの出力を増幅する増幅手段と、前記増幅手段のオフセット調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整する制御部を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧力センサ駆動回路。 3. A amplifying means for amplifying the output of the sensor, according to claim 1, characterized in that it comprises a control unit for adjusting an offset adjusting resistor of the amplification means to a required offset range using the digital control signal or pressure sensor driving circuit according to claim 2.
  4. 【請求項4】 センサの出力を増幅する増幅手段を有し、前記増幅手段のゲイン調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整する制御部を有することを特徴とする請求項1乃至3に記載の圧力センサ駆動回路。 It has amplifying means for amplifying the output of 4. A sensor, claims and having a control unit for adjusting the desired gain range of the gain adjustment resistor by using the digital control signal of the amplifying means pressure sensor driving circuit according to claim 1 to 3.
  5. 【請求項5】 センサの出力を差動モードで検出する差動手段と、前記差動手段のオフセット調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整する制御部を有することを特徴とする請求項1乃至4に記載の圧力センサ駆動回路。 A differential means for the output of 5. A sensor for detecting a differential mode, that it has a control unit for adjusting an offset adjustment resistor of the differential unit to the desired offset range using the digital control signal pressure sensor driving circuit according to claim 1, wherein.
  6. 【請求項6】 センサの出力を差動モードで検出する差動手段と、前記差動手段のゲイン調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整する制御部を有することを特徴とする請求項1乃至5に記載の圧力センサ駆動回路。 A differential means wherein detecting the output of the sensor in a differential mode, that it has a control unit for adjusting the gain adjustment resistor of the differential unit to the desired gain range using the digital control signal pressure sensor driving circuit according to claim 1, wherein.
  7. 【請求項7】 センサの出力に対して加算する加算手段と、前記加算手段のオフセット値の調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のオフセット範囲に調整する制御部を有することを特徴とする請求項1乃至6に記載の圧力センサ駆動回路。 7. A summing means for adding the output of the sensor, and wherein the control unit for adjusting the desired offset range using the digital control signal for adjusting the resistance of the offset value of the adding means pressure sensor driving circuit according to claims 1 to 6.
  8. 【請求項8】 センサの出力に対して加算する加算手段と、前記加算手段のゲイン調整用抵抗を前記デジタル制御信号を用いて所要のゲイン範囲に調整する制御部を有することを特徴とする請求項1乃至7に記載の圧力センサ駆動回路。 8. A addition means for adding the output of the sensor, claims and having a control unit for adjusting the gain adjustment resistor of said adding means to a required gain range using the digital control signal pressure sensor driving circuit according to claim 1 to 7.
  9. 【請求項9】 前記センサが、半導体圧力センサであることを特徴とする請求項1乃至8に記載の圧力センサ駆動回路。 Wherein said sensor is a pressure sensor driving circuit according to claim 1 to 8, characterized in that a semiconductor pressure sensor.
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