JPH11182960A - Cryogenic refrigerating machine - Google Patents

Cryogenic refrigerating machine

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Publication number
JPH11182960A
JPH11182960A JP35686997A JP35686997A JPH11182960A JP H11182960 A JPH11182960 A JP H11182960A JP 35686997 A JP35686997 A JP 35686997A JP 35686997 A JP35686997 A JP 35686997A JP H11182960 A JPH11182960 A JP H11182960A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
noise
refrigerator
valve
valve motor
refrigerating machine
Prior art date
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Pending
Application number
JP35686997A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Fujiwara
健治 藤原
Yasuhiro Oshime
安弘 押目
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Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
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Filing date
Publication date
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Priority to JP35686997A priority Critical patent/JPH11182960A/en
Publication of JPH11182960A publication Critical patent/JPH11182960A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a high performance cryogenic refrigerating machine in which noise generation is suppressed by interposing a noise filter between a power supply and a valve motor. SOLUTION: An inverter 17 is disposed in the compressor unit 15 of a refrigerating machine 10 and a frequency converted voltage is supplied from the inverter 17 through a noise filter 18 to a valve motor in the refrigerating machine 10 for cooling a magnet 7 in a shield 13. Consequently, a high frequency noise superposed on the voltage from the inverter 1-7 can be removed through the filter 18. According to the arrangement, rotational frequency of the valve motor in the refrigerating machine 10 can be controlled continuously with a low noise frequency converted voltage and the refrigerating capacity of the refrigerating machine 10 can be controlled continuously with high accuracy.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、超伝導マグネッ
ト冷却装置等に使用される極低温冷凍装置の改良に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a cryogenic refrigeration system used for a superconducting magnet cooling system or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】MRI(磁気共鳴画像診断装置)等に用い
られる超伝導マグネットは、超伝導状態を維持するため
に10K以下の極低温に冷却しておく必要がある。とこ
ろで、近年、冷凍機の進歩は著しく、その冷凍能力を精
度よく細かに制御可能になって来ている。特に、2段ギ
フォードマクマホン冷凍機のような膨張式冷凍機におい
ては、第2シリンダ先端に設けられた膨張室を、圧縮機
からの高圧ガスが供給される高圧室と圧縮機へ戻される
低圧ガスが供給される低圧室とに切り換え接続するシリ
ンダバルブの切り換え周期を制御することによって、冷
凍能力を無段階制御更可能になっている。
2. Description of the Related Art A superconducting magnet used in an MRI (Magnetic Resonance Imaging Diagnostic Apparatus) or the like must be cooled to an extremely low temperature of 10 K or less in order to maintain a superconducting state. By the way, in recent years, refrigerating machines have made remarkable progress, and the refrigerating capacity can be precisely and precisely controlled. In particular, in an expansion refrigerator such as a two-stage Gifford McMahon refrigerator, the expansion chamber provided at the tip of the second cylinder is divided into a high-pressure chamber to which high-pressure gas is supplied from the compressor and a low-pressure gas returned to the compressor. The refrigerating capacity can be steplessly controlled by controlling the switching cycle of a cylinder valve that is connected to and connected to the low-pressure chamber to which is supplied.

【0003】上記シリンダバルブの切り換え周期の制御
は、変調した電力をバルブ駆動モータに供給して回転周
波数を制御することによって行われる。具体的には、上
記バルブ駆動モータとして交流モータを用い、供給電圧
の周波数をインバータで制御する。あるいは、上記バル
ブ駆動モータとしてステッピングモータを用い、このス
テッピングモータのオン/オフの切り換え周期をパルス
周波数発生装置で制御する。
The switching cycle of the cylinder valve is controlled by supplying modulated electric power to a valve driving motor to control a rotation frequency. Specifically, an AC motor is used as the valve drive motor, and the frequency of the supply voltage is controlled by an inverter. Alternatively, a stepping motor is used as the valve drive motor, and the switching frequency of the stepping motor on / off is controlled by a pulse frequency generator.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記MRIにおいて
は、患者の磁場変化を計測するために電気的なノイスを
非常に嫌い、MRIが設置される部屋をシールドして、
MRIへの様々なノイズの侵入を防止するようにしてい
る。
In the above-mentioned MRI, electric noise is very disliked for measuring a magnetic field change of a patient, and a room where the MRI is installed is shielded.
Various noises are prevented from entering the MRI.

【0005】しかしながら、このような環境の下で、上
記従来の超伝導マグネット冷却装置において上記超伝導
マグネットを冷却する膨張式冷凍機の冷凍能力をインバ
ータやパルスモータを使用して無段階制御しようとする
と、以下のような問題が生ずる。すなわち、上記インバ
ータやパルス周波数発生装置はそれ自体が高周波ノイズ
の発生源であるために、上記シールの外に設けられた機
械室に設置された圧縮機ユニット内に上記インバータや
パルス周波数発生装置を収納しても、インバータやパル
ス周波数発生装置から冷凍機への電気配線を介して高周
波ノイズがシールド内に侵入してしまうのである。
[0005] However, in such an environment, the conventional superconducting magnet cooling apparatus attempts to steplessly control the refrigerating capacity of an expansion refrigerator that cools the superconducting magnet using an inverter or a pulse motor. Then, the following problem occurs. That is, since the inverter or the pulse frequency generator itself is a source of high-frequency noise, the inverter or the pulse frequency generator is installed in a compressor unit installed in a machine room provided outside the seal. Even if stored, high-frequency noise will enter the shield via electrical wiring from the inverter or the pulse frequency generator to the refrigerator.

【0006】そこで、この発明の目的は、ノイズの発生
を低減した高性能な極低温冷凍装置を提供することにあ
る。
It is an object of the present invention to provide a high-performance cryogenic refrigeration system with reduced noise.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に係る発明は、冷媒ガスの膨張室を圧縮機
の高圧側と低圧側とにバルブで切り換え接続する冷凍機
を有する極低温冷凍装置において、上記バルブを駆動す
るバルブモータと、上記バルブモータに変調した電力を
供給する電力源と、上記電力源とバルブモータとの間に
介設されたノイズフィルタを備えたことを特徴としてい
る。
In order to achieve the above object, an invention according to claim 1 is an electrode having a refrigerator having a valve for switching and connecting a refrigerant gas expansion chamber between a high pressure side and a low pressure side of a compressor. The low-temperature refrigeration apparatus includes a valve motor that drives the valve, a power source that supplies modulated power to the valve motor, and a noise filter that is interposed between the power source and the valve motor. And

【0008】上記構成によれば、変調した電力を冷凍機
のバルブモータに供給する電力源から発生する高周波ノ
イズが、ノイズフィルタによってカットされて上記冷凍
機側に侵入することが防止される。
According to the above configuration, the high frequency noise generated from the power source that supplies the modulated power to the valve motor of the refrigerator is prevented from being cut by the noise filter and entering the refrigerator.

【0009】また、請求項2に係る発明は、冷媒ガスの
膨張室を圧縮機の高圧側と低圧側とにバルブで切り換え
接続する極低温冷凍装置において、上記バルブを駆動す
るバルブモータと、上記バルブモータに変調した電力を
供給する電力源と、上記電力源とバルブモータとの間に
介設された簡易ノイズフィルタおよび絶縁トランスを備
えたことを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a cryogenic refrigeration system in which a refrigerant gas expansion chamber is switched between a high pressure side and a low pressure side of a compressor by a valve. It is characterized by including a power source for supplying modulated power to the valve motor, a simple noise filter and an insulating transformer interposed between the power source and the valve motor.

【0010】上記構成によれば、変調した電力を冷凍機
のバルブモータに供給する電力源で発生する高周波ノイ
ズが、簡易ノイズフィルタによってカットされる。さら
に、突発的なノイズのような上記簡易フィルタでカット
されないノイズが絶縁トランスでカットされて上記冷凍
機側に侵入することが防止される。また、アースを経由
して上記冷凍機側から戻ってくる伝達ノイズもカットさ
れる。
According to the above configuration, high frequency noise generated by the power source that supplies the modulated power to the valve motor of the refrigerator is cut by the simple noise filter. Further, noise that is not cut by the simple filter, such as sudden noise, is prevented from being cut by the insulating transformer and entering the refrigerator. Further, transmission noise returning from the refrigerator through the ground is also cut.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、この発明を図示の実施の形
態により詳細に説明する。図1は、第1実施の形態の極
低温冷凍装置を用いた超伝導マグネット冷却装置の構成
図である。この超伝導マグネット冷却装置は冷媒方式の
冷却装置であり、超伝導マグネットを液体ヘリウム等の
冷媒中に浸漬して上記冷媒を冷凍機で極低温に冷却する
ものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the illustrated embodiments. FIG. 1 is a configuration diagram of a superconducting magnet cooling device using the cryogenic refrigeration device of the first embodiment. This superconducting magnet cooling device is a cooling device of a refrigerant system, in which a superconducting magnet is immersed in a refrigerant such as liquid helium and the refrigerant is cooled to a very low temperature by a refrigerator.

【0012】図1において、1は容器であり、中央に円
柱状の空間2を有する断面が環状の筒体に形成されてい
る。容器1内にはこの容器1と相似形を成す第1シール
ド3が封入されており、この第1シールド3内には第1
シールド3と相似形を成す第2シールド4が封入されて
いる。さらに、第2シールド4内には、第2シールド4
と相似形を成すと共に、給排口6を有する液体ヘリウム
容器5が封入されている。そして、液体ヘリウム容器5
内には、円筒状の超伝導マグネット(以下、単にマグネ
ットと言う)7が封入されている。液体ヘリウム容器5
の上記給排口6には、第2シールド4,第1シールド3
および容器1を貫通して外部に突出した給排管8の一端
が取り付けられている。一方、給排管8の他端にはバル
ブ9が取り付けられている。こうして、マグネット7
は、バルブ9および給排管8を介して液体ヘリウム容器
5内に導入された液体ヘリウム中に浸漬されている。
尚、液体ヘリウムが蒸発して成るヘリウムガスは、給排
管8およびバルブ9を介して外部に排出される。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a container, and a cross section having a columnar space 2 in the center is formed in an annular cylindrical body. A first shield 3 having a similar shape to the container 1 is sealed in the container 1, and a first shield 3 is provided in the first shield 3.
A second shield 4 having a similar shape to the shield 3 is enclosed. Further, the second shield 4 is provided inside the second shield 4.
And a liquid helium container 5 having a supply / discharge port 6 is sealed therein. And the liquid helium container 5
Inside, a cylindrical superconducting magnet (hereinafter simply referred to as a magnet) 7 is sealed. Liquid helium container 5
The second shield 4 and the first shield 3
One end of a supply / discharge pipe 8 penetrating the container 1 and protruding to the outside is attached. On the other hand, a valve 9 is attached to the other end of the supply / discharge pipe 8. Thus, the magnet 7
Is immersed in the liquid helium introduced into the liquid helium container 5 via the valve 9 and the supply / discharge pipe 8.
The helium gas formed by evaporating the liquid helium is discharged to the outside via the supply / discharge pipe 8 and the valve 9.

【0013】上記容器1の外周壁には、極低温冷凍機
(以下、単に冷凍機と言う)10が第1ヒートステーショ
ン11および第2ヒートステーション12を容器1内に
突出させて取り付けられている。そして、第1ヒートス
テーション11には第1シールド3の外周壁が取り付け
られ、第2ヒートステーション12には第2シールド4
の外周壁が取り付けられている。ここで、容器1は、外
部からのノイズをシールドするシールド13内に設置さ
れている。
On the outer peripheral wall of the container 1, a cryogenic refrigerator is provided.
A first heat station 11 and a second heat station 12 (hereinafter simply referred to as a refrigerator) are mounted so as to protrude into the container 1. The outer peripheral wall of the first shield 3 is attached to the first heat station 11, and the second shield 4 is attached to the second heat station 12.
Outer peripheral wall is attached. Here, the container 1 is installed in a shield 13 that shields external noise.

【0014】一方、機械室14には圧縮機ユニット15
が設置されており、圧縮機16で圧縮された高圧冷媒ガ
スを冷凍機10に供給する一方、冷凍機10から排出さ
れた低圧冷媒ガスを圧縮機16に回収する。圧縮機ユニ
ット15内に設けられたインバータ17は、冷凍機10
のシリンダバルブを駆動するバルブモータ(図示せず)に
供給する交流電圧を周波数変調してノイズフィルタ18
を介して電力ライン19によって供給し、冷凍機10の
冷凍能力を無段階制御する。尚、ノイズフィルタ18
は、シールド13の境界壁に設置されて、インバータ1
7から上記バルブモータへの電圧に重畳された高周波ノ
イズをカットする。
On the other hand, a compressor unit 15
Is installed to supply the high-pressure refrigerant gas compressed by the compressor 16 to the refrigerator 10, while collecting the low-pressure refrigerant gas discharged from the refrigerator 10 into the compressor 16. The inverter 17 provided in the compressor unit 15 is connected to the refrigerator 10
Frequency modulation of an AC voltage supplied to a valve motor (not shown) for driving
To control the refrigeration capacity of the refrigerator 10 in a stepless manner. The noise filter 18
Is installed on the boundary wall of the shield 13 and the inverter 1
High frequency noise superimposed on the voltage from 7 to the valve motor is cut.

【0015】上述のように、本実施の形態においては、
冷凍機10の圧縮機ユニット15内にインバータ17を
設ける。そして、インバータ17からの周波数変調され
た電圧をノイズフィルタ18を介して、シールド13内
のマグネット7冷却用の冷凍機10のバルブモータに供
給するようにしている。したがって、インバータ17か
らの電圧に重畳された高周波ノイズをノイズフィルタ1
8で除去することができる。したがって、本実施の形態
によれば、低ノイズの周波数変調電圧で冷凍機10の上
記バルブモータの回転周波数を無段階制御でき、冷凍機
10の冷凍能力を高精度に無段階制御できる高信頼性の
極低温冷凍装置を提供できる。
As described above, in the present embodiment,
An inverter 17 is provided in the compressor unit 15 of the refrigerator 10. The frequency-modulated voltage from the inverter 17 is supplied to the valve motor of the refrigerator 10 for cooling the magnet 7 in the shield 13 via the noise filter 18. Therefore, high-frequency noise superimposed on the voltage from inverter 17 is reduced by noise filter 1.
8 to remove. Therefore, according to the present embodiment, the rotation frequency of the valve motor of the refrigerator 10 can be steplessly controlled with a low noise frequency modulation voltage, and the refrigerating capacity of the refrigerator 10 can be steplessly controlled with high accuracy. Can be provided.

【0016】ところで、上述したように、上記インバー
タは高周波ノイズの発生源であるために、上記ノイズフ
ィルタ18単独で高周波ノイズをカットしようとする場
合には、大型のノイズフィルタが必要となり、コストも
掛かる。また、アース(GND)を経由してシールド13
側からバックしてくる伝達ノイズに対しては何も対策が
なされていない。そこで、以下の第2実施の形態におい
ては、大型のノイズフィルタを必要としない安価な極低
温冷凍装置について述べる。
As described above, since the inverter is a source of high-frequency noise, a large-sized noise filter is required to cut high-frequency noise by the noise filter 18 alone. Hang on. Also, shield 13 via earth (GND)
No countermeasures are taken against transmission noise coming back from the side. Therefore, in the following second embodiment, an inexpensive cryogenic refrigerator that does not require a large-sized noise filter will be described.

【0017】図2は、第2実施の形態の極低温冷凍装置
を用いた超伝導マグネット冷却装置の構成図である。こ
の超伝導マグネット冷却装置は直冷方式であり、超伝導
マグネットを冷凍機で直接極低温に冷却するものであ
る。
FIG. 2 is a configuration diagram of a superconducting magnet cooling device using the cryogenic refrigerator according to the second embodiment. This superconducting magnet cooling device is of a direct cooling type, in which a superconducting magnet is directly cooled to a very low temperature by a refrigerator.

【0018】図2において、31は容器であり、中央に
円柱状の空間32を有する断面が環状の筒体に形成され
ている。上記容器31内にはこの容器31と相似形を成
すシールド33が封入されており、このシールド33内
には円筒状の超伝導マグネット(以下、単にマグネット
と言う)34が封入されている。
In FIG. 2, reference numeral 31 denotes a container, and a cross section having a cylindrical space 32 at the center is formed in an annular cylindrical body. A shield 33 having a similar shape to the container 31 is sealed in the container 31, and a cylindrical superconducting magnet (hereinafter simply referred to as a magnet) 34 is sealed in the shield 33.

【0019】上記容器31の外周壁には、極低温冷凍機
(以下、単に冷凍機と言う)35が第1ヒートステーショ
ン36および第2ヒートステーション37を容器31内
に突出させて取り付けられている。そして、第1ヒート
ステーション36にはシールド33の外周壁が取り付け
られ、第2ヒートステーション37にはマグネット34
の外周面が取り付けられている。ここで、容器31は、
外部からのノイズをシールドするシールド38内に設置
されている。
A cryogenic refrigerator is provided on the outer peripheral wall of the container 31.
A first heat station 36 and a second heat station 37 are attached to the container 31 so as to protrude into the container 31. An outer peripheral wall of the shield 33 is attached to the first heat station 36, and a magnet 34 is attached to the second heat station 37.
Is attached to the outer peripheral surface. Here, the container 31
It is installed in a shield 38 that shields external noise.

【0020】一方、機械室39には圧縮機ユニット40
が設置されており、圧縮機41で圧縮された高圧冷媒ガ
スを冷凍機35に供給する一方、冷凍機35から排出さ
れた低圧冷媒ガスを圧縮機41に回収する。圧縮機ユニ
ット40内に設けられたインバータ42は、冷凍機35
のバルブモータ(図示せず)に供給する交流電圧を周波数
変調してノイズフィルタ43を介して電力ライン44に
よって供給し、冷凍機35の冷凍能力を無段階制御す
る。
On the other hand, in the machine room 39, a compressor unit 40
Is installed to supply the high-pressure refrigerant gas compressed by the compressor 41 to the refrigerator 35, while collecting the low-pressure refrigerant gas discharged from the refrigerator 35 into the compressor 41. The inverter 42 provided in the compressor unit 40 includes a refrigerator 35
The AC voltage supplied to the valve motor (not shown) is frequency-modulated and supplied through the power line 44 via the noise filter 43 to continuously control the refrigeration capacity of the refrigerator 35.

【0021】ここで、本実施の形態におけるノイズフィ
ルタ43は、簡易フィルタ45および絶縁トランス46
で構成されており、上記シールド38の境界壁に設置さ
れている。そして、インバータ42から上記バルブモー
タへの電圧に重畳された高周波ノイズの大半を、簡易フ
ィルタ45でカットする。そして、簡易フィルタ45で
カットしきれない突発的なノイズ等を、絶縁トランス4
6で遮断する。また、絶縁トランス46を使用すること
によって、一般に対策が難しいと言われるアース(GN
D)を経由してシールド38側からバックしてくる伝達
ノイズも併せてカットできるのである。
Here, the noise filter 43 in the present embodiment comprises a simple filter 45 and an insulating transformer 46.
And is installed on the boundary wall of the shield 38. Most of the high-frequency noise superimposed on the voltage from the inverter 42 to the valve motor is cut by the simple filter 45. Then, sudden noise and the like that cannot be completely cut by the simple filter 45 are removed by the insulating transformer 4.
Cut off at 6. In addition, by using the insulating transformer 46, the ground (GN
The transmission noise backing from the shield 38 via D) can also be cut.

【0022】上述のように、本実施の形態においては、
ノイズフィルタ43の構成要素に絶縁トランス46を加
えている。したがって、簡易フィルタ45の使用を可能
にして、低コストでの高周波ノイズのカットを実現でき
る。また、絶縁トランス46の使用によって、アース
(GND)を経由したシールド38側からの伝達ノイズも
カットできる。
As described above, in the present embodiment,
An insulating transformer 46 is added to the components of the noise filter 43. Therefore, the use of the simple filter 45 is enabled, and high-frequency noise can be cut at low cost. Also, the use of the isolation transformer 46 allows the
The transmission noise from the shield 38 side via (GND) can also be cut.

【0023】尚、上記各実施の形態においてはこの発明
を超伝導マグネット冷却装置に適用した場合を例に説明
しているが、これに限定されるものではない。例えば3
0K以下の極低温に物を冷却する装置の総てに適用可能
である。また、上記各実施の形態においては、上記変調
した電力を供給する電力源としてインバータ17,42
を用いた場合を例に説明しているが、冷凍機のバルブモ
ータがステッピングモータである場合のパルス周波数発
生装置であっても同様の効果を得ることができる。
In each of the above embodiments, the case where the present invention is applied to a superconducting magnet cooling device is described as an example, but the present invention is not limited to this. For example, 3
The present invention is applicable to all devices that cool an object to a cryogenic temperature of 0K or less. In each of the above embodiments, the inverters 17 and 42 are used as power sources for supplying the modulated power.
However, the same effect can be obtained with a pulse frequency generator in which the valve motor of the refrigerator is a stepping motor.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項1に係
る発明の極低温冷凍装置は、変調した電力を膨張式冷凍
機のバルブモータに供給する電力源と上記バルブモータ
との間に、ノイズフィルタを介設したので、上記電力源
による高周波ノイズの上記冷凍機側への侵入を上記ノイ
ズフィルタによってカットできる。したがって、ノイズ
を低減した電力で上記冷凍機の冷凍能力を無段階制御す
ることができ、低ノイズで高性能な極低温冷凍装置を提
供できる。
As is apparent from the above description, the cryogenic refrigeration apparatus according to the first aspect of the present invention comprises a power supply for supplying modulated power to a valve motor of an expansion refrigerator and the valve motor. Since the noise filter is provided, the intrusion of high-frequency noise from the power source into the refrigerator can be cut by the noise filter. Therefore, the refrigerating capacity of the refrigerator can be steplessly controlled with the reduced noise power, and a low-noise, high-performance cryogenic refrigerator can be provided.

【0025】また、請求項2に係る発明の極低温冷凍装
置は、変調した電力を膨張式冷凍機のバルブモータに供
給する電力源と上記バルブモータとの間に、簡易ノイズ
フィルタおよび絶縁トランスを介設したので、上記電力
源による高周波ノイズの上記冷凍機側への侵入を安価な
簡易ノイズフィルタによってカットし、突発的なノイズ
のような上記簡易フィルタでカットされないノイズを絶
縁トランスでカットできる。さらに、アースを経由して
上記冷凍機側から戻ってくる伝達ノイズを上記絶縁トラ
ンスでカットできる。したがって、更にノイズを低減し
た電力で上記冷凍機の冷凍能力を無段階制御することが
でき、低ノイズで高性能な極低温冷凍装置を安価に提供
できる。
In the cryogenic refrigeration apparatus according to the second aspect of the present invention, a simple noise filter and an insulating transformer are provided between the power source for supplying the modulated power to the valve motor of the expansion refrigerator and the valve motor. Because of the interposition, the intrusion of high-frequency noise from the power source into the refrigerator can be cut by an inexpensive simple noise filter, and noise that is not cut by the simple filter, such as sudden noise, can be cut by an insulating transformer. Further, transmission noise returning from the refrigerator side via the ground can be cut by the insulating transformer. Therefore, the refrigerating capacity of the refrigerator can be steplessly controlled with electric power with further reduced noise, and a low-noise, high-performance cryogenic refrigerator can be provided at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の極低温冷凍装置の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a cryogenic refrigeration apparatus of the present invention.

【図2】図1とは異なる極低温冷凍装置の構成図であ
る。
FIG. 2 is a configuration diagram of a cryogenic refrigeration apparatus different from FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10,35…冷凍機、 13,38…シー
ルド、15,40…圧縮機ユニット、 16,41
…圧縮機、17,42…インバータ、 18,
43…ノイズフィルタ、45…簡易フィルタ、
46…絶縁トランス。
10, 35 ... refrigerator, 13, 38 ... shield, 15, 40 ... compressor unit, 16, 41
... compressor, 17, 42 ... inverter, 18,
43: noise filter, 45: simple filter,
46 ... Insulation transformer.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 冷媒ガスの膨張室を圧縮機(16)の高圧
側と低圧側とにバルブで切り換え接続する冷凍機(10)
を有する極低温冷凍装置において、 上記バルブを駆動するバルブモータと、 上記バルブモータに変調した電力を供給する電力源(1
7)と、 上記電力源(17)とバルブモータとの間に介設されたノ
イズフィルタ(18)を備えたことを特徴とする極低温冷
凍装置。
A refrigerator (10) that switches and connects a refrigerant gas expansion chamber to a high pressure side and a low pressure side of a compressor (16) by a valve.
A cryogenic refrigeration apparatus having: a valve motor for driving the valve; and a power source (1) for supplying modulated power to the valve motor.
7) and a noise filter (18) provided between the power source (17) and the valve motor.
【請求項2】 冷媒ガスの膨張室を圧縮機(41)の高圧
側と低圧側とにバルブで切り換え接続する冷凍機(35)
を有する極低温冷凍装置において、 上記バルブを駆動するバルブモータと、 上記バルブモータに変調した電力を供給する電力源(4
2)と、 上記電力源(42)とバルブモータとの間に介設された簡
易ノイズフィルタ(45)および絶縁トランス(46)を備
えたことを特徴とする極低温冷凍装置。
2. A refrigerator (35) for switching a refrigerant gas expansion chamber between a high pressure side and a low pressure side of a compressor (41) by a valve.
A cryogenic refrigeration system comprising: a valve motor for driving the valve; and a power source (4) for supplying modulated power to the valve motor.
(2) A cryogenic refrigeration apparatus comprising: a simple noise filter (45) and an insulating transformer (46) interposed between the power source (42) and the valve motor.
JP35686997A 1997-12-25 1997-12-25 Cryogenic refrigerating machine Pending JPH11182960A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2004018947A1 (en) * 2002-08-20 2004-03-04 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Very low temperature refrigerator

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