JPH11179924A - Ink-jet head and its manufacture - Google Patents

Ink-jet head and its manufacture

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JPH11179924A
JPH11179924A JP35134597A JP35134597A JPH11179924A JP H11179924 A JPH11179924 A JP H11179924A JP 35134597 A JP35134597 A JP 35134597A JP 35134597 A JP35134597 A JP 35134597A JP H11179924 A JPH11179924 A JP H11179924A
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JP
Japan
Prior art keywords
ink
adhesive
jet head
adhesive layer
hole
Prior art date
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Pending
Application number
JP35134597A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiaki Suzuki
良明 鈴木
Akira Tsujimoto
明 辻本
Takeshi Ikegame
健 池亀
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable bonding by means of an adhesive in the order of microns with a sufficient pressure by forming a liquid stop of many layers of the adhesive in a structure in which holes for securing an ink passage are formed in the adhesive layers uniting a plurality of members and the liquid stop is formed in the circumference of the holes. SOLUTION: An adhesive epoxy sheet is laminated by Ni electroforming to an orifice plate 11 having many holes (nozzles) of a diameter, e.g. 30 μm and patterned with the use of a mask to bore a liquid stop in an adhesive layer 22 by excimer laser ablation. At this time, an adhesion pattern protected by walls of double adhesive layers is formed in the circumference of the nozzle holes. The thus-formed orifice plate 21 is bonded with a predetermined pressure at a predetermined temperature via the adhesive layer 22 to an ink-jet driving part 23 where an ink tank 24 is set, thereby constituting an ink-jet head. The ink-jet head can be manufactured with a good yield.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェット記録
ヘッド、その製造方法、及びその記録ヘッドを用いるイ
ンクジェット記録装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head, a method of manufacturing the same, and an ink jet recording apparatus using the recording head.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクの小滴を発生させそれを紙などの
被記録材に付着させ記録を行うインクジェット記録方式
は、記録時の騒音の発生が極めて小さく、かつ高速記録
が可能であり、しかも普通紙に記録を行うことのできる
記録方式である。インクジェット記録方式に用いるイン
クジェットヘッドは、インクを貯めるタンクからインク
を吐出するフェイス面までに複数の部材により形成され
る。例えばそれは、タンク、中継部、チューブ、ノズル
供給部、ノズル部、オリフィスプレートなどであり、そ
れぞれその製法は異なり、役割りも様々である。これら
の部材のうち、インク流路にかかわる部材はすべて、部
材が接着剤で接合される場合にはインクの流路を確保す
る穴を有する接着剤により、接合される。
2. Description of the Related Art An ink jet recording system in which small droplets of ink are generated and adhered to a recording material such as paper for recording is very low in noise during recording, and high-speed recording is possible. This is a recording method capable of recording on plain paper. The ink jet head used for the ink jet recording system is formed by a plurality of members from a tank for storing ink to a face surface for discharging ink. For example, it is a tank, a relay section, a tube, a nozzle supply section, a nozzle section, an orifice plate, etc., each of which has a different manufacturing method and a different role. Among these members, all members related to the ink flow path are bonded by an adhesive having a hole for securing the ink flow path when the members are bonded by an adhesive.

【0003】接着剤に穴を形成するためのパターニング
方法としては、接合がミリメートルオーダーの接合であ
る場合には手やロボットによるディスペンス塗工が多く
用いられ、ノズル部やフェイス部のように数十ミクロン
ピッチの高精細パターニングを有する場合は転写法が用
いられる。また、エキシマレーザーによるオリフィスの
穴あけ、パターニングも行われる。
[0003] As a patterning method for forming holes in the adhesive, when bonding is a bonding on the order of millimeters, dispense coating using a hand or a robot is often used. A transfer method is used in the case of having micron-pattern high-definition patterning. Drilling and patterning of the orifice by excimer laser are also performed.

【0004】接着は多くの場合加圧することにより密着
を得ながら気泡をなくし、ミクロンオーダーでのぬれを
実現する。この際インク流路となる穴をつめないように
するのは重要である。ところが、図1に略図で示すよう
に転写法で接着剤をパターニングして加圧すると、多く
の場合穴づまりを起こしてしまう。
In many cases, adhesion is achieved by applying pressure to eliminate air bubbles while obtaining close contact, thereby achieving micron-order wetting. At this time, it is important not to block the holes serving as the ink flow paths. However, when the adhesive is patterned and pressed by a transfer method as schematically shown in FIG. 1, a hole is often clogged.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】図1に示す例は、エポ
キシ接着剤をスピンコートで3000rpm程度回転さ
せて、約10μの厚さの膜を形成し、これをオリフィス
プレートに転写し、インクジェットヘッドに貼り合わせ
た様子を示す。図中、1はニッケルで作成されたオリフ
ィスプレート、2はエポキシ接着剤、3はインクジェッ
ト駆動部、4はインクタンクを模式的に示している。図
1に示す例では、接着により穴づまりを起こしている。
1’,2’,3’,4’は、それぞれ接着組立て後のオ
リフィスプレート、接着剤、駆動部、タンクを示す。
In the example shown in FIG. 1, an epoxy adhesive is rotated by about 3000 rpm by spin coating to form a film having a thickness of about 10 μm, which is transferred to an orifice plate. Shows the state of pasting. In the figure, 1 is an orifice plate made of nickel, 2 is an epoxy adhesive, 3 is an ink jet driving unit, and 4 is an ink tank. In the example shown in FIG. 1, a hole jam is caused by bonding.
Reference numerals 1 ', 2', 3 ', and 4' denote an orifice plate, an adhesive, a drive unit, and a tank, respectively, after bonding and assembly.

【0006】穴づまりを起こさぬようにするのは、加圧
を軽くして接着すればよいのだが、そうすると、接着剤
層中のゴミや気泡をつぶすことができなくなり、接着部
位からのインクもれのない接着を実現することが困難で
ある。
[0006] To prevent the hole clogging, it is only necessary to apply the adhesive by lightening the pressure. However, it is impossible to crush the dust and air bubbles in the adhesive layer, and the ink leaks from the adhesive portion. It is difficult to achieve a non-sticky bond.

【0007】本発明の目的は、 (1)十分な接着力がでるように十分加圧する。The objects of the present invention are as follows: (1) To apply sufficient pressure so as to obtain a sufficient adhesive force.

【0008】(2)インク流路となる穴を接着剤で埋ま
らないようにする。 という相反する2つの目的を達成し、なおかつゴミや欠
陥に強い、インクもれやクロスリークのない接着を実現
するところにある。
(2) A hole serving as an ink flow path is not filled with an adhesive. The objective is to achieve adhesion that is resistant to dust and defects and free of ink leakage and cross leak.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的達成のための本
発明の手段は、具体的にはミクロンオーダーから数十ミ
クロンオーダーのパターニングされた接着剤を実用化す
る際、あらかじめゴミ、欠陥が多数存在することを前提
とし、1番目の接着層が破れても2番目の接着層、3番
目の接着層が守るという考えに基づいて、液体(イン
ク)止めの構成を多層構造とすることにより、それら複
数の壁により守られた接着パターンを形成することにあ
る。
Means of the present invention for attaining the above object are as follows. Specifically, when a patterned adhesive of a micron order to a few tens of microns order is put into practical use, a large number of dusts and defects are generated in advance. Based on the premise that even if the first adhesive layer is torn, the second adhesive layer and the third adhesive layer will protect the liquid (ink) stop structure based on the idea that the first adhesive layer is torn. It is to form an adhesive pattern protected by the plurality of walls.

【0010】すなわち、本発明のインクジェットヘッド
は、接着剤で接合された複数の部材で構成されていて、
該接着剤の層にはインク流路を確保するための穴が形成
されていて、該穴の周辺が液体止めを形成しているイン
クジェットヘッドにおいて、該液体止めの接着剤の層が
多層構造の層を形成していることを特徴とするものであ
る。
That is, the ink jet head of the present invention comprises a plurality of members joined by an adhesive,
A hole for securing an ink flow path is formed in the adhesive layer, and in the ink jet head in which the periphery of the hole forms a liquid stopper, the liquid stopper adhesive layer has a multilayer structure. It is characterized in that a layer is formed.

【0011】また、本発明のインクジェットヘッドの製
造方法は、インク流路となる部分を含む複数の部材を、
該インク流路が確保されるような穴を形成し、かつ該穴
の周辺が液体止めを形成するような接着剤の層を形成す
ることにより接着するインクジェットヘッドの製造法に
おいて、該液体止めの接着剤の層が該穴のまわりに多層
構造の層を形成するように部材の接着を行うことを特徴
とするものである。
Further, according to the method of manufacturing an ink jet head of the present invention, a plurality of members including a portion serving as an ink flow path are formed by:
In a method of manufacturing an ink jet head, a hole is formed so that the ink flow path is secured, and the periphery of the hole is bonded by forming a layer of an adhesive so as to form a liquid stopper. The members are bonded so that the adhesive layer forms a multilayered layer around the hole.

【0012】本発明は、上記のように構成することによ
り、インク流路が確保されるとともに、接着部位からの
インクもれのおそれのない、耐久性に優れたインクジェ
ットヘッドを提供できるものである。
According to the present invention, an ink jet head having excellent durability can be provided which has the above-described structure, ensures an ink flow path, and has no risk of ink leaking from a bonding portion. .

【0013】[0013]

【発明の実施の形態および実施例】実施例1 オリフィスプレートとして日立マクセル社製Ni電鋳で
できた厚み10μm、30μm径の穴がノズイルとして
形成されたものを用い、そこに8ミクロン厚みの接着剤
エポキシシートをラミネートした後、エキシマレーザー
アブレーションにより、マスクを使ったパターニングに
より接着剤層の穴あけを行った。パターニング後の接着
剤層は、図2の22に示すように形成されていることを
顕微鏡で確認した。図2において、21はオリフィスプ
レートを示す。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 An orifice plate having a hole of 10 μm in thickness and 30 μm in diameter and formed as a nozil made by Ni electrocasting made by Hitachi Maxell Co., Ltd. is bonded to it with a thickness of 8 μm. After laminating the epoxy sheet, the adhesive layer was perforated by patterning using a mask by excimer laser ablation. It was confirmed by a microscope that the adhesive layer after patterning was formed as shown at 22 in FIG. In FIG. 2, reference numeral 21 denotes an orifice plate.

【0014】図3は、図2の22を拡大したものであ
る。すなわち、この実施例ではオリフィスプレートのノ
ズル穴の周辺には2重の接着剤の層の壁で守られた接着
パターンが実現されている。
FIG. 3 is an enlarged view of 22 in FIG. That is, in this embodiment, an adhesive pattern protected by a double adhesive layer wall is realized around the nozzle hole of the orifice plate.

【0015】これを、図2に示すように、インクジェッ
ト駆動部23に、温度170℃、圧力500g/100
mm2 、時間1分の条件で加圧熱圧着した。図2におい
て、24はインクタンク、21’,22’,23’,2
4’はそれぞれ接着組立て後のオリフィスプレート、接
着剤、駆動部、タンクを示す。この結果、ノズルの穴づ
まりが発生することなく、ゴミや気泡の欠陥をつぶし、
全ノズルからインクもれがない、欠陥のないインクジェ
ットヘッドが得られた。
As shown in FIG. 2, this is applied to the ink jet driving unit 23 at a temperature of 170 ° C. and a pressure of 500 g / 100 g.
Pressing and thermocompression bonding were performed under the conditions of mm 2 and time of 1 minute. In FIG. 2, reference numeral 24 denotes an ink tank, 21 ', 22', 23 ', 2
Reference numeral 4 'denotes an orifice plate, an adhesive, a drive unit, and a tank after the adhesive assembly. As a result, it is possible to crush dust and air bubble defects without clogging the nozzle holes,
An ink jet head free from defects from all the nozzles was obtained.

【0016】比較例 パターニング後の接着剤層が図4の12に示すように形
成されているオリフィスプレート11を用いた外は、実
施例1と全く同様な方法でインクジェットヘッドを製造
した。図4において、13はインクジェット駆動部、1
4はインクタンク、11’,12’,13’,14’は
それぞれ接着組立て後のオリフィスプレート、接着剤、
駆動部、タンクを示す。この比較例の場合、ノズルに穴
づまりは発生しなかったものの、ノズル穴の周辺は1重
の接着剤の層の壁で守られているため、欠陥に弱いイン
クジェットヘッドとなった。
Comparative Example An ink jet head was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the orifice plate 11 in which the adhesive layer after patterning was formed as shown in FIG. 4 was used. In FIG. 4, reference numeral 13 denotes an ink jet driving unit;
4 is an ink tank, 11 ', 12', 13 ', and 14' are orifice plates, an adhesive,
2 shows a driving unit and a tank. In the case of this comparative example, although no clogging of the nozzle occurred, the periphery of the nozzle hole was protected by a single layer of adhesive layer, so that the ink jet head was vulnerable to defects.

【0017】実施例2 レーザーパターニングマスクをかえて、パターニング後
の接着剤層が図5の32に示すように形成されているオ
リフィスプレート31を用いた外は、実施例1と全く同
様な方法でインクジェットヘッドを製造した。図5にお
いて、33はインクジェット駆動部、34はインクタン
ク、31’,32’,33’,34’はそれぞれ接着組
立て後のオリフィスプレート、接着剤、駆動部、タンク
を示す。この結果、実施例1の場合と同様に、ノズルに
穴づまりが発生することなく、欠陥に強い十分な接着力
を有するインクジェットヘッドが得られた。
Embodiment 2 A laser patterning mask is replaced with an orifice plate 31 in which an adhesive layer after patterning is formed as shown at 32 in FIG. An inkjet head was manufactured. In FIG. 5, reference numeral 33 denotes an ink jet driving unit, reference numeral 34 denotes an ink tank, and reference numerals 31 ', 32', 33 ', and 34' denote orifice plates, an adhesive, a driving unit, and a tank, respectively, after assembling and bonding. As a result, as in the case of Example 1, an ink jet head having a sufficient adhesive strength against a defect without a nozzle clogging was obtained.

【0018】さらに、本実施例のパターンにおいては複
数の接着剤の壁が接着のりしろの役目も兼ね、インク止
めの壁と接着の向上とを同時に満たし、欠陥について多
重の防衛を果たす接着パターンとなっている。
Further, in the pattern of the present embodiment, the plurality of adhesive walls also serve as a bonding margin, and simultaneously satisfy the ink stopping wall and the improvement of the bonding, and form an adhesive pattern which performs multiple defenses against defects. ing.

【0019】実施例3 本実施例は、本発明をインク中継部材に対して適用した
場合である。図6(a)は、従来のチューブジョイント
を示している。一方、図6(b)は、本発明にしたがっ
て接着剤をディスペンサーで塗った様子を示している。
このように多層構造の接着剤のパターニングをしておい
てジョイントすることにより、十分加圧できる上、穴づ
まりを起こさず、しかもゴミに強い接着を実現すること
ができた。図6において、110,111は従来のチュ
ーブジョイントを、112,113は平板を有するジョ
イントを、114は本発明にしたがってパターニングさ
れた接着剤を示す。
Embodiment 3 In this embodiment, the present invention is applied to an ink relay member. FIG. 6A shows a conventional tube joint. On the other hand, FIG. 6B shows a state in which the adhesive is applied with a dispenser according to the present invention.
By patterning the adhesive with the multilayered structure and joining as described above, it was possible to sufficiently pressurize, not to cause hole clogging, and to realize strong adhesion to dust. In FIG. 6, reference numerals 110 and 111 denote conventional tube joints, 112 and 113 denote joints having flat plates, and 114 denotes an adhesive patterned according to the present invention.

【0020】[0020]

【発明の効果】従来技術によってインクもれが起きる欠
陥がないようにするには、部材のゴミの除去、製造場所
のクリーン化などのため、非常に高価な上、歩留まりの
悪い生産となる。これに対して、本発明によれば、イン
ク流路となる穴をつぶすことなく、ミクロンないし数十
ミクロンオーダーの、パターニングされた接着剤による
接着を、十分な加圧で実施し、欠陥に強いインクジェッ
トヘッドを提供することができた。
According to the prior art, in order to eliminate the defects that cause ink leakage, the production is very expensive and the production yield is low with the elimination of dust from the members and the cleanup of the manufacturing place. On the other hand, according to the present invention, bonding with a patterned adhesive of a micron to several tens of micron order is performed with sufficient pressure without crushing a hole serving as an ink flow path, and is resistant to defects. An inkjet head could be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来例の接着の様子を説明するためのプロセス
略図
FIG. 1 is a process schematic diagram for explaining a state of bonding in a conventional example.

【図2】実施例1の本発明にしたがった接着の手順を示
す略図
FIG. 2 is a schematic diagram showing a bonding procedure according to the present invention in Example 1.

【図3】図2の22を拡大した略図FIG. 3 is a schematic diagram enlarging 22 in FIG. 2;

【図4】比較例の接着の様子を説明するためのプロセス
略図
FIG. 4 is a process schematic diagram for explaining a state of bonding in a comparative example.

【図5】実施例2の本発明にしたがった接着の手順を示
す略図
FIG. 5 is a schematic diagram showing a bonding procedure according to the present invention in Example 2.

【図6】インク中継部材の接着例を示す略図で、(a)
は従来のジョイントを示し、(b)は実施例3の本発明
にしたがったジョイントを説明するためのものである。
FIG. 6 is a schematic view showing an example of bonding an ink relay member;
Shows a conventional joint, and (b) illustrates a joint according to the third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,11,21,31,101 オリフィスプレート 2,12,22,32,103,114 パターニン
グされた接着剤 3,13,23,33 インクジェット駆動部 4,14,24,34 インクタンク 1’,11’,21’,31’ 接着組立て後のオリ
フィスプレート 2’,12’,22’,32’ 接着組立て後の接着
剤 3’,13’,23’,33’ 接着組立て後のイン
クジェット駆動部 4’,14’,24’,34’ 接着組立て後のイン
クタンク 102 接着のりしろ 110,111 従来のチューブジョイント 112,113 平板を有するジョイント
1,11,21,31,101 Orifice plate 2,12,22,32,103,114 Patterned adhesive 3,13,23,33 Ink jet driver 4,14,24,34 Ink tank 1 ', 11 ', 21', 31 'Orifice plate 2', 12 ', 22', 32 'after adhesive assembly 3', 13 ', 23', 33 'adhesive after adhesive assembly Ink jet drive 4' after adhesive assembly , 14 ′, 24 ′, 34 ′ Ink tank 102 after adhesive assembly 102 Glue margin 110, 111 Conventional tube joint 112, 113 Joint having flat plate

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 接着剤で接合された複数の部材で構成さ
れていて、該接着剤の層にはインク流路を確保するため
の穴が形成されていて、該穴の周辺が液体止めを形成し
ているインクジェットヘッドにおいて、該液体止めの接
着剤の層が多層構造の層を形成していることを特徴とす
るインクジェットヘッド。
1. An ink container comprising a plurality of members joined by an adhesive, wherein a hole for securing an ink flow path is formed in a layer of the adhesive, and the periphery of the hole serves as a liquid stopper. The ink-jet head according to claim 1, wherein the liquid-stopping adhesive layer forms a multi-layer structure.
【請求項2】 前記接着剤の層のパターニングが、レー
ザーアブレーションによる加工でパターニングされたも
のである、請求項1に記載のインクジェットヘッド。
2. The ink jet head according to claim 1, wherein the patterning of the adhesive layer is performed by processing by laser ablation.
【請求項3】 インク流路となる部分を含む複数の部材
を、該インク流路が確保されるような穴を形成し、かつ
該穴の周辺が液体止を形成するような接着剤の層を形成
することにより接着するインクジェットヘッドの製造法
において、該液体止めの接着剤の層が該穴のまわりに多
層構造の層を形成するように部材の接着を行うことを特
徴とするインクジェットヘッドの製造法。
3. A plurality of members including a portion serving as an ink flow path, an adhesive layer which forms a hole for securing the ink flow path and a liquid stopper around the hole. The method of manufacturing an ink jet head, wherein the members are bonded so that the liquid-stopping adhesive layer forms a multi-layered structure around the hole. Manufacturing method.
【請求項4】 前記接着剤の層のパターニングを、レー
ザーアブレーションによる加工でパターニングする、請
求項3に記載のインクジェットヘッドの製造法。
4. The method according to claim 3, wherein the patterning of the adhesive layer is performed by laser ablation.
【請求項5】 請求項1に記載のインクジェットヘッド
を具備するインクジェット記録装置。
5. An ink jet recording apparatus comprising the ink jet head according to claim 1.
JP35134597A 1997-12-19 1997-12-19 Ink-jet head and its manufacture Pending JPH11179924A (en)

Priority Applications (1)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014223802A (en) * 2013-05-14 2014-12-04 ゼロックス コーポレイションXerox Corporation Process for bonding interstitial epoxy adhesive for fabrication of printhead structures in high density printheads

Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014223802A (en) * 2013-05-14 2014-12-04 ゼロックス コーポレイションXerox Corporation Process for bonding interstitial epoxy adhesive for fabrication of printhead structures in high density printheads

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