JPH11163194A - Vlsi package - Google Patents

Vlsi package

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JPH11163194A
JPH11163194A JP32492897A JP32492897A JPH11163194A JP H11163194 A JPH11163194 A JP H11163194A JP 32492897 A JP32492897 A JP 32492897A JP 32492897 A JP32492897 A JP 32492897A JP H11163194 A JPH11163194 A JP H11163194A
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JP
Japan
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package
pkg
connection
substrate
motherboard
Prior art date
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Pending
Application number
JP32492897A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuo Otsuki
康雄 大槻
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication of JPH11163194A publication Critical patent/JPH11163194A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15311Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA

Landscapes

  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a VSLI package which is high in connection reliability with respect to a motherboard and provided with pins that are disposed in a two-dimensional arrangement. SOLUTION: Aligning pins 21 are each bonded to PKG I/O pads 14' formed on the underside of a PKG board 13 near apexes. The aligning pins 21 are inserted into aligning pin insertion holes 22 bored in a motherboard 16 at prescribed positions, whereby a package 10 is aligned with the motherboard 16.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、パッケージ下面に
2次元状にピン配列したVLSIパッケージに関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a VLSI package in which pins are two-dimensionally arranged on the lower surface of a package.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年のVLSIの高集積化により、パッ
ケージの多ピン化が進んでいる。そこで、パッケージサ
イズを小さく保ちながらより多くのピンを配置すること
ができるパッケージの形態として、BGA(ball grid
array)パッケージ等のようにパッケージ下面に2次元
状にピンが配列されたものが用いられている。
2. Description of the Related Art With the recent increase in the integration of VLSIs, the number of pins in a package has been increased. Therefore, as a form of a package in which more pins can be arranged while keeping the package size small, a BGA (ball grid
An array is used in which pins are two-dimensionally arranged on the lower surface of the package, such as a package.

【0003】図4は従来のBGAパッケージの構造の例
を示す側面図である。BGAパッケージ50において、
ICチップ51はICチップ接続用半田バンプ52を介
してパッケージ(以下、PKGと表記する)基板53に
接続されている。また、このICチップ51は、モール
ド樹脂58により樹脂封止されている。ICチップ51
と接続されたPKG基板53の、ICチップ51が搭載
された面の裏面には、複数のPKG I/Oパッド54
が形成されている。これらのPKG I/Oパッド54
は、PKG I/O接続用半田バンプ55を介してマザ
ーボード(基板)56上に形成されたマザーボードI/
Oパッド57にそれぞれ接続されている。
FIG. 4 is a side view showing an example of the structure of a conventional BGA package. In the BGA package 50,
The IC chip 51 is connected to a package (hereinafter, referred to as PKG) substrate 53 via an IC chip connection solder bump 52. The IC chip 51 is resin-sealed with a mold resin 58. IC chip 51
A plurality of PKG I / O pads 54 are provided on the back of the surface of the PKG substrate 53 connected to the IC chip 51 on which the IC chip 51 is mounted.
Are formed. These PKG I / O pads 54
Is a motherboard I / O formed on a motherboard (substrate) 56 via solder bumps 55 for PKG I / O connection.
They are connected to O pads 57, respectively.

【0004】このBGAパッケージ50をマザーボード
56に装着する際には、まず、各PKG I/Oパッド
54の位置と、これら各PKG I/Oパッド54と接
続されるべき各マザーボードI/Oパッド57との位置
とが重なるように、PKG基板53を目合わせ等により
マザーボード56に対して位置合わせした後、このPK
G基板53を仮固定治具等により仮固定する。そして、
これらのPKG I/O接続用半田バンプ55をリフロ
ー方式等によって溶融することにより、各PKGI/O
パッド54と各マザーボードI/Oパッド57とをそれ
ぞれ接続する。
When mounting the BGA package 50 on the motherboard 56, first, the positions of the respective PKG I / O pads 54 and the respective motherboard I / O pads 57 to be connected to the respective PKG I / O pads 54 are set. After the PKG substrate 53 is positioned with respect to the motherboard 56 by alignment or the like so that the position of
The G substrate 53 is temporarily fixed by a temporary fixing jig or the like. And
By melting these PKG I / O connection solder bumps 55 by a reflow method or the like, each PKGI / O
The pad 54 and each motherboard I / O pad 57 are connected.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
構造のBGAパッケージ50をマザーボード56に装着
する際には、PKG基板53のマザーボード56に対す
る位置合わせを目視により行う。このため、PKG基板
53の大きさのバラツキが比較的大きいBGAパッケー
ジ50をマザーボード56に装着する場合には、各PK
G I/Oパッド54の位置と各マザーボードI/Oパ
ッド57の位置とが互いにずれ、パッド同士の接続不良
が生じるという問題があった。
As described above, when the BGA package 50 having the conventional structure is mounted on the motherboard 56, the positioning of the PKG board 53 with respect to the motherboard 56 is visually performed. For this reason, when the BGA package 50 in which the variation in the size of the PKG substrate 53 is relatively large
There has been a problem that the position of the GI / O pad 54 and the position of each motherboard I / O pad 57 are shifted from each other, resulting in poor connection between the pads.

【0006】また、BGAパッケージ50のようにパッ
ケージの面上に2次元的にピンが配列されたVLSIパ
ッケージは、BGAパッケージ50とマザーボード56
との接続部がBGAパッケージ50自身の陰に隠れるた
め、PKG I/Oパッド54とマザーボードI/Oパ
ッド57との半田付けの良/不良を目視で検査すること
ができない。そこで、従来では、X線透過等による外観
チェックによる、PKG I/Oパッド54とマザーボ
ードI/Oパッド57との接続確認が行われている。こ
のような、外観によるチェック方法では充分な接続チェ
ックを行うことができず、VLSIパッケージとしての
信頼性を充分に確保することが困難であった。
A VLSI package in which pins are two-dimensionally arranged on the surface of a package, such as a BGA package 50, is composed of a BGA package 50 and a motherboard 56.
The connection between the PGA I / O pad 54 and the motherboard I / O pad 57 cannot be visually inspected because the connection between the PKG I / O pad 54 and the motherboard I / O pad 57 is hidden behind the BGA package 50 itself. Therefore, conventionally, the connection between the PKG I / O pad 54 and the motherboard I / O pad 57 has been confirmed by appearance check by X-ray transmission or the like. With such a check method based on the appearance, a sufficient connection check cannot be performed, and it has been difficult to sufficiently secure the reliability of the VLSI package.

【0007】そこで、パッケージの下面に2次元状にピ
ンが配列されたVLSIパッケージにおいて、マザーボ
ードに対して信頼性高く接続できるVLSIパッケージ
を提供することを、本発明の課題とする。
It is an object of the present invention to provide a VLSI package in which pins are two-dimensionally arranged on the lower surface of the package and which can be connected to a motherboard with high reliability.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明によるVLSIパ
ッケージの第1の態様は、上記課題を解決するために、
ICチップを搭載するためのパッケージ基板と、前記パ
ッケージ基板表面に2次元的に形成された複数の外部接
続端子と、前記ICチップの各電極と前記各外部接続端
子とを接続するために前記パッケージ基板内に形成され
たパッケージ内配線と、前記外部接続端子に接続される
基板側接続端子が形成された基板の所定位置に穿たれた
ホールに挿入されることにより前記各外部接続端子の前
記基板側接続端子への接続位置を合わせるために前記パ
ッケージ基板に形成された複数の位置合わせピンとを備
えることを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a VLSI package comprising:
A package substrate for mounting an IC chip, a plurality of external connection terminals formed two-dimensionally on the surface of the package substrate, and the package for connecting each electrode of the IC chip to each of the external connection terminals The wiring in the package formed in the substrate and the substrate of each of the external connection terminals are inserted into holes drilled at predetermined positions of the substrate on which the substrate-side connection terminals connected to the external connection terminals are formed. And a plurality of alignment pins formed on the package substrate for adjusting connection positions to the side connection terminals.

【0009】すなわち、パッケージ基板に形成された複
数の位置合わせピンを、基板に形成されたホールに挿入
することにより、VLSIパッケージの基板への位置合
わせを従来よりも正確に行うことができる。このため、
VLSIパッケージの基板への接続信頼性を向上させる
ことができる。
That is, by inserting a plurality of positioning pins formed on the package substrate into holes formed on the substrate, the positioning of the VLSI package on the substrate can be performed more accurately than before. For this reason,
The reliability of connection of the VLSI package to the substrate can be improved.

【0010】また、このようなVLSIパッケージを用
いる場合には、前記各位置合わせピンは前記パッケージ
基板表面の端部付近に形成されたものであることが望ま
しい。
In the case where such a VLSI package is used, it is preferable that each of the positioning pins is formed near an end of the surface of the package substrate.

【0011】また、本発明のVLSIパッケージの第2
の態様は、ICチップを搭載するためのパッケージ基板
と、前記パッケージ基板表面に2次元的に形成された複
数の外部接続端子と、前記ICチップの各電極と前記各
外部接続端子とを接続するために前記パッケージ基板内
に形成されたパッケージ内配線と、前記パッケージ内配
線を介して前記外部接続端子に接続された端子であっ
て、前記パッケージ基板の前記外部接続端子が形成され
ていない面に形成された接続モニタ端子とを備えること
を特徴とする。
Further, the second embodiment of the VLSI package of the present invention
In the aspect, the package substrate for mounting the IC chip, a plurality of external connection terminals formed two-dimensionally on the surface of the package substrate, and each electrode of the IC chip and each of the external connection terminals are connected. Wiring in the package formed in the package substrate, and a terminal connected to the external connection terminal via the wiring in the package, on a surface of the package substrate on which the external connection terminal is not formed. And a formed connection monitor terminal.

【0012】すなわち、第2の態様のVLSIパッケー
ジでは、パッケージ内配線を介して外部接続端子に電気
的に接続された接続モニタ用端子を、パッケージ基板上
に形成している。この接続モニタ端子に測定機器を接続
することにより、外部接続端子における外部回路との接
続チェックを直接電気的に行うことができる。従って、
VLSIパッケージの基板への接続信頼性を向上させる
ことができる。
That is, in the VLSI package according to the second aspect, the connection monitor terminal electrically connected to the external connection terminal via the wiring in the package is formed on the package substrate. By connecting a measuring device to this connection monitor terminal, it is possible to directly electrically check the connection between the external connection terminal and the external circuit. Therefore,
The reliability of connection of the VLSI package to the substrate can be improved.

【0013】なお、このようなVLSIパッケージを用
いる場合、前記各接続モニタ端子は前記各外部接続端子
に対応して形成されているものであっても良い。
When such a VLSI package is used, the connection monitor terminals may be formed corresponding to the external connection terminals.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明の
実施の形態を説明する。 <第1実施形態>図1は、本発明の第1実施形態による
VLSIパッケージの側面図である。また、図2は図1
に示すVLSIパッケージの下面図である。なお、これ
ら図1および図2は、BGAパッケージの構造を示して
いる。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. <First Embodiment> FIG. 1 is a side view of a VLSI package according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 shows FIG.
5 is a bottom view of the VLSI package shown in FIG. FIGS. 1 and 2 show the structure of the BGA package.

【0015】第1実施形態のBGAパッケージ10は、
ICチップ11と、PKG基板13とを備えている。I
Cチップ11は,ICチップ接続用半田バンプ12を介
してPKG基板13の上面に接続されている。また、こ
のICチップ11およびICチップ接続用半田バンプ1
2はモールド樹脂18によって樹脂封止され、PKG基
板13上に固定されている。PKG基板13の下面(I
Cチップ11が固定されていない面)には、外部接続端
子である複数のPKG I/Oパッド14がAlパター
ンにより形成されている。ICチップ11と、これら各
PKG I/Oパッド14とは、PKG基板13内部に
形成されたPKG内配線(図示せず)によって、電気的
に接続されている。
The BGA package 10 according to the first embodiment includes:
An IC chip 11 and a PKG substrate 13 are provided. I
The C chip 11 is connected to the upper surface of the PKG substrate 13 via the IC chip connection solder bumps 12. The IC chip 11 and the solder bump 1 for connecting the IC chip
2 is sealed with a mold resin 18 and fixed on the PKG substrate 13. Lower surface of PKG substrate 13 (I
On the surface on which the C chip 11 is not fixed), a plurality of PKG I / O pads 14 as external connection terminals are formed by an Al pattern. The IC chip 11 and each of the PKG I / O pads 14 are electrically connected by a PKG wiring (not shown) formed inside the PKG substrate 13.

【0016】各PKG I/Oパッド14は、図2に示
すようにPKG基板13の裏面全面にわたって、格子状
に形成されている。そして、各PKG I/Oパッド1
4上には、PKG I/O接続用半田バンプ15がそれ
ぞれ形成されている。なお、これらのPKG I/Oパ
ッド14のうち、PKG基板13の頂点付近の面上に形
成された4個のPKG I/Oパッド14’には、PK
G I/O接続用半田バンプ15の代わりに位置合わせ
ピン21が、それぞれ接着されている。なお、このPK
G基板13内部の配線についての説明は省略する。
Each PKG I / O pad 14 is formed in a grid pattern over the entire back surface of the PKG substrate 13 as shown in FIG. And each PKG I / O pad 1
On P4, solder bumps 15 for PKG I / O connection are formed. Of these PKG I / O pads 14, four PKG I / O pads 14 'formed on the surface near the apex of the PKG substrate 13 have a PK
Alignment pins 21 are bonded instead of the GI / O connection solder bumps 15, respectively. Note that this PK
Description of the wiring inside the G substrate 13 is omitted.

【0017】BGAパッケージ10や他のチップ等が装
着されるマザーボード16の表面には、各PKG I/
Oパッド14と接続するためのマザーボードI/Oパッ
ド17(基板側接続端子)が、それぞれAlパターンに
より形成されている。これらのマザーボードI/Oパッ
ド17も、PKG基板13裏面に形成されたPKGI/
Oパッド14と同様に、マザーボード16表面上に格子
状に形成されている。また、これらの各マザーボードI
/Oパッド17は、PKG I/O接続用半田バンプ1
5を介して各PKG I/Oパッド14にそれぞれ接続
されている。
On the surface of the motherboard 16 on which the BGA package 10 and other chips are mounted, each PKG I /
Motherboard I / O pads 17 (substrate-side connection terminals) for connection to the O-pads 14 are formed by Al patterns, respectively. These motherboard I / O pads 17 are also provided on PKGI /
Like the O pad 14, it is formed in a grid on the surface of the motherboard 16. In addition, each of these motherboards I
/ O pad 17 is a solder bump 1 for PKG I / O connection
5 are connected to the respective PKG I / O pads 14.

【0018】さらに、マザーボード16には、円柱状に
穿たれた4個の位置合わせピン挿入孔22が貫通形成さ
れている。各位置合わせピン21がこれらの各位置合わ
せピン挿入孔22に挿通されたときに、各PKG I/
Oパッド14の位置と各マザーボードI/Oパッド17
の位置とが正確に重なるように、マザーボード16上に
おける各位置合わせピン挿入孔22の形成位置が決めら
れている。これらの各位置合わせピン挿入孔22には、
パッケージ本体10に設けられた位置合わせピン21が
それぞれ挿入される。そして、マザーボード16の各位
置合わせピン挿入孔22を貫通した各位置合わせピン2
1の先端は、固定用接着剤23によってマザーボード1
6の裏面(BGAパッケージ10が装着されていない
面)に固着されている。
Further, four alignment pin insertion holes 22 formed in a cylindrical shape are formed through the mother board 16. When each positioning pin 21 is inserted into each of the positioning pin insertion holes 22, each PKG I /
Position of O pad 14 and each motherboard I / O pad 17
The positions where the positioning pin insertion holes 22 are formed on the motherboard 16 are determined so that the positions of the positioning pin insertion holes 22 exactly overlap. In each of these positioning pin insertion holes 22,
The positioning pins 21 provided on the package body 10 are respectively inserted. Then, each positioning pin 2 penetrating through each positioning pin insertion hole 22 of the motherboard 16.
The front end of the motherboard 1 is fixed by an adhesive 23 for fixing.
6 is fixed to the back surface (the surface on which the BGA package 10 is not mounted).

【0019】以下、第1実施形態のBGAパッケージ1
0をマザーボード16に装着する際の手順について説明
する。まず、PKG基板13とマザーボード16との向
きを合わせた後に、マザーボード16の各位置合わせピ
ン挿入孔22にPKG基板13の位置合わせピン21を
それぞれ挿入することにより、PKG基板13とマザー
ボード17とを仮止めする。そして、各PKG I/O
パッド14上に形成されたPKG I/O接続用半田バ
ンプ15をリフロー方式等により溶融して、各PKG
I/Oパッド14と各マザーボードI/Oパッド17と
をそれぞれ相互に接続する。その後、位置合わせピン挿
入穴22に挿入された位置合わせピン21の先端を、固
定用接着剤23によりマザーボード16の裏面に固定す
る。
Hereinafter, the BGA package 1 of the first embodiment will be described.
Next, a procedure for mounting 0 on the motherboard 16 will be described. First, after aligning the orientation of the PKG board 13 and the motherboard 16, the positioning pins 21 of the PKG board 13 are inserted into the respective positioning pin insertion holes 22 of the motherboard 16, so that the PKG board 13 and the motherboard 17 are separated. Temporarily fix. And each PKG I / O
The solder bumps 15 for PKG I / O connection formed on the pads 14 are melted by a reflow method or the like, and each PKG is melted.
The I / O pad 14 and each motherboard I / O pad 17 are connected to each other. After that, the tip of the positioning pin 21 inserted into the positioning pin insertion hole 22 is fixed to the back surface of the motherboard 16 with a fixing adhesive 23.

【0020】このように、第1実施形態によれば、PK
G基板13下面上の頂点付近に形成された4個のPKG
I/Oパッド14’上に接着された位置合わせピン2
1を、マザーボード16に形成された4箇所の位置合わ
せピン挿入孔22にそれぞれ挿入することによって、P
KG基板13とマザーボード16との位置合わせを行っ
ている。これにより、従来のように目視による位置合わ
せを行わずにBGAパッケージ10をマザーボード16
に装着することができるので、PKG I/Oパッド1
4とマザーボードI/Oパッド17との位置合わせ精度
が向上する。従って、これらパッド間の接続不良が生じ
ることを防ぐことができ、従来よりもBGAパッケージ
10とマザーボード16との接続信頼性を向上させるこ
とができる。
As described above, according to the first embodiment, the PK
Four PKGs formed near the apex on the lower surface of the G substrate 13
Alignment pin 2 glued on I / O pad 14 '
1 is inserted into each of the four positioning pin insertion holes 22 formed in the motherboard 16, whereby P
The KG board 13 and the motherboard 16 are aligned. This allows the BGA package 10 to be attached to the motherboard 16 without performing visual alignment as in the conventional case.
PKG I / O pad 1
4 and the motherboard I / O pad 17 are more accurately aligned. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of connection failure between these pads, and it is possible to improve the connection reliability between the BGA package 10 and the motherboard 16 as compared with the related art.

【0021】<第2実施形態>第2実施形態のVLSI
パッケージは、マザーボードへの装着を行った後に、各
PKG I/OパッドとマザーボードI/Oパッド間の
接続状態を直接電気的にチェックすることのできる接続
モニタパッドを、PKG基板上面に形成したことを特徴
とする。
<Second Embodiment> VLSI of Second Embodiment
The package has a connection monitor pad formed on the upper surface of the PKG board, which can directly and electrically check a connection state between each PKG I / O pad and the motherboard I / O pad after being mounted on the motherboard. It is characterized by.

【0022】図3は、本発明の第2実施形態によるVL
SIパッケージの縦断面図である。なお、本実施形態の
VLSIパッケージも、第1実施形態と同様にBGAパ
ッケージを例として示している。以下、第2実施形態の
VLSIパッケージの説明を行う。
FIG. 3 shows a VL according to a second embodiment of the present invention.
It is a longitudinal section of an SI package. The VLSI package of the present embodiment also illustrates a BGA package as an example, as in the first embodiment. Hereinafter, the VLSI package of the second embodiment will be described.

【0023】本実施形態のBGAパッケージ30は、I
Cチップ31とPKG基板33とを備えている。第1実
施形態と同様に、ICチップ31は、ICチップ接続用
半田バンプ32を介してPKG基板32の上面に接続さ
れ、モールド樹脂38により封止されている。このPK
G基板33の下面には、外部接続端子である複数のPK
G I/Oパッド34がAlパターンにより形成されて
おり、PKG I/O接続用半田バンプ35を介して、
マザーボード36表面のマザーボードI/Oパッド37
にそれぞれ接続されている。
The BGA package 30 of the present embodiment
A C chip 31 and a PKG substrate 33 are provided. As in the first embodiment, the IC chip 31 is connected to the upper surface of the PKG substrate 32 via the IC chip connection solder bumps 32 and is sealed with the mold resin 38. This PK
A plurality of PKs, which are external connection terminals, are
The G I / O pad 34 is formed by an Al pattern, and is connected via a solder bump 35 for PKG I / O connection.
Motherboard I / O pad 37 on motherboard 36
Connected to each other.

【0024】ICチップ31が搭載されたPKG基板3
3の上面には、さらに、PKG I/Oパッド34と同
数の接続モニタパッド41が、Alパターンにより形成
されている(図3にはその一部のみを示している)。ま
た、PKG基板33内部にはvia(配線を行うための
ホール)が形成されており、このvia内に形成された
PKG内配線42によりICチップ31と各PKG I
/Oパッド34とが電気的に接続されている。これらの
各PKG I/Oパッド34に接続されたPKG内配線
42は分岐されており、分岐されたPKG内配線42の
一部はPKG基板33に形成された各接続モニタパッド
41に接続されている。すなわち、マザーボードI/O
パッド37とPKG I/Oパッド34との接続部分
は、PKG内配線42を介して接続モニタパッド41に
プロービングされた状態となっている。
PKG board 3 on which IC chip 31 is mounted
Further, the same number of connection monitor pads 41 as the number of PKG I / O pads 34 are formed on the upper surface of Al by an Al pattern (only a part thereof is shown in FIG. 3). Also, vias (holes for wiring) are formed in the PKG substrate 33, and the IC chip 31 and each PKG I are formed by the wiring 42 in the PKG formed in the via.
/ O pad 34 is electrically connected. The PKG wiring 42 connected to each of the PKG I / O pads 34 is branched, and a part of the branched PKG wiring 42 is connected to each connection monitor pad 41 formed on the PKG substrate 33. I have. That is, motherboard I / O
The connection portion between the pad 37 and the PKG I / O pad 34 is in a state of being probed to the connection monitor pad 41 via the PKG wiring 42.

【0025】以下、本実施形態のBGAパッケージ30
をマザーボード36に装着する際の、各パッド同士の接
続チェック方法について説明する。まず、マザーボード
36に対するPKG基板33の装着位置の位置合わせを
行った後に、リフロー方式等によりPKG I/O接続
用半田バンプ35を溶融し、各PKG I/Oパッド3
4と各マザーボードI/Oパッド37とをそれぞれ接続
させる。前述したように、BGAパッケージ30におい
ては、マザーボード36に対する各パッド同士の接続部
分はBGAパッケージ30自身によって隠れてしまうた
め、目視による接続チェックを行うことは不可能であ
る。
Hereinafter, the BGA package 30 of this embodiment will be described.
A method for checking the connection between the pads when the is mounted on the motherboard 36 will be described. First, after aligning the mounting position of the PKG substrate 33 with respect to the motherboard 36, the solder bumps 35 for PKG I / O connection are melted by a reflow method or the like, and the respective PKG I / O pads 3 are melted.
4 and each motherboard I / O pad 37 are connected. As described above, in the BGA package 30, the connection portion of each pad to the motherboard 36 is hidden by the BGA package 30 itself, so that it is impossible to visually check the connection.

【0026】そこで、PKG基板33におけるICチッ
プ31が搭載された上面に形成された接続モニタパッド
41を測定機器に接続し、ネットワークアナライザ等の
TDR機能を用いることにより、これら接続部分のチェ
ックを電気的に行う。
Therefore, the connection monitor pad 41 formed on the upper surface of the PKG substrate 33 on which the IC chip 31 is mounted is connected to a measuring instrument, and the TDR function of a network analyzer or the like is used to check these connection portions electrically. Do it.

【0027】このように、第2実施形態によれば、PK
G基板内配線42を介してPKGI/Oパッド34に電
気的に接続された接続モニタ用パッド41を、PKG基
板33の上面に形成することにより、各パッド間の接続
部分の電気抵抗(インピーダンス)を直接測定すること
が可能となる。従って、従来よりも確実に接続チェック
を行うことができ、パッケージの接続信頼性が向上す
る。
As described above, according to the second embodiment, the PK
By forming the connection monitor pad 41 electrically connected to the PKGI / O pad 34 via the G substrate wiring 42 on the upper surface of the PKG substrate 33, the electric resistance (impedance) of the connection portion between the pads is formed. Can be measured directly. Therefore, the connection check can be performed more reliably than before, and the connection reliability of the package is improved.

【0028】<変形例>以上説明した各実施形態は、各
種の変更が可能である。例えば、第1実施形態におい
て、PKG基板13に接続された位置合わせピン21お
よびマザーボード16に形成された位置合わせピン挿入
孔22の数は、それぞれ2または3、あるいは5以上の
数であっても良い。
<Modifications> Various modifications can be made to the above-described embodiments. For example, in the first embodiment, the number of the alignment pins 21 connected to the PKG substrate 13 and the number of the alignment pin insertion holes 22 formed in the motherboard 16 may be 2 or 3, or 5 or more, respectively. good.

【0029】また、第2実施形態において、PKG基板
33のICチップ搭載面33aに形成された接続モニタ
パッド41は、PKG I/Oパッド34と同数として
いるが、これに限らず、複数のPKG I/Oパッド3
4のうちの一部にのみ接続モニタパッド41をそれぞれ
接続して、これら一部のPKG I/Oパッド34のそ
れぞれについて接続チェックを行っても良い。
In the second embodiment, the number of connection monitor pads 41 formed on the IC chip mounting surface 33a of the PKG substrate 33 is the same as the number of the PKG I / O pads 34. However, the present invention is not limited to this. I / O pad 3
The connection monitor pads 41 may be connected to only some of the PKG I / Os 4, and the connection check may be performed for each of these PKG I / O pads 34.

【0030】また、本発明の第1実施形態と第2実施形
態とを組み合わせて、位置合わせピン21と接続モニタ
パッド41との両方を備えることも可能である。なお、
本各実施形態においてはBGAパッケージについて説明
を行ったが、CSP(chip scale package,μ−BG
A)やLGA(land grid array),表面実装型PGA
(pin grid array)など、2次元ピン配列の他のVLS
Iパッケージにも適用することができる。
Further, by combining the first embodiment and the second embodiment of the present invention, it is also possible to provide both the positioning pin 21 and the connection monitor pad 41. In addition,
In each of the embodiments, the BGA package has been described. However, the CSP (chip scale package, μ-BG
A), LGA (land grid array), surface mount PGA
(Pin grid array), other VLS of two-dimensional pin array
It can also be applied to I packages.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明によれば、マザーボードへの接続
信頼性の高いVLSIパッケージを提供することができ
る。
According to the present invention, it is possible to provide a VLSI package with high connection reliability to a motherboard.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の第1実施形態によるVLSIパッケ
ージの側面図
FIG. 1 is a side view of a VLSI package according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 図1のVLSIパッケージの下面図FIG. 2 is a bottom view of the VLSI package of FIG. 1;

【図3】 本発明の第2実施形態によるVLSIパッケ
ージの縦断面図
FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a VLSI package according to a second embodiment of the present invention.

【図4】 従来のVLSIパッケージの側面図FIG. 4 is a side view of a conventional VLSI package.

【符号の説明】 10,30,50 BGAパッケージ 11,31,51 ICチップ 12,32,52 ICチップ接続用半田バンプ 13,33,53 PKG基板 14,14’,34,54 PKG I/Oパッド 15,35,55 PKG I/O接続用半田バンプ 16,36,56 マザーボード 17,37,57 マザーボードI/Oパッド 18,38,58 モールド樹脂 21 位置合わせピン 22 位置合わせピン挿入穴 41 接続モニタ用パッド 42 PKG内配線[Description of Signs] 10, 30, 50 BGA package 11, 31, 51 IC chip 12, 32, 52 Solder bump for connecting IC chip 13, 33, 53 PKG board 14, 14 ', 34, 54 PKG I / O pad 15, 35, 55 PKG I / O connection solder bumps 16, 36, 56 Motherboard 17, 37, 57 Motherboard I / O pad 18, 38, 58 Mold resin 21 Alignment pin 22 Alignment pin insertion hole 41 Connection monitor Pad 42 PKG wiring

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ICチップを搭載するためのパッケージ基
板と、 前記パッケージ基板表面に2次元的に形成された複数の
外部接続端子と、 前記ICチップの各電極と前記各外部接続端子とを接続
するために前記パッケージ基板内に形成されたパッケー
ジ内配線と、 前記外部接続端子に接続される基板側接続端子が形成さ
れた基板の所定位置に穿たれたホールに挿入されること
により前記各外部接続端子の前記基板側接続端子への接
続位置を合わせるために前記パッケージ基板に形成され
た複数の位置合わせピンとを備えることを特徴とするV
LSIパッケージ。
1. A package substrate for mounting an IC chip, a plurality of external connection terminals formed two-dimensionally on a surface of the package substrate, and a connection between each electrode of the IC chip and each of the external connection terminals. The wiring in the package formed in the package substrate and the external connection terminals are inserted into holes formed at predetermined positions of the substrate on which the substrate side connection terminals are formed. A plurality of alignment pins formed on the package substrate for adjusting connection positions of the connection terminals to the board-side connection terminals.
LSI package.
【請求項2】前記各位置合わせピンは前記パッケージ基
板表面の端部付近に形成されたものであることを特徴と
する請求項1記載のVLSIパッケージ。
2. The VLSI package according to claim 1, wherein each of said positioning pins is formed near an end of said package substrate surface.
【請求項3】ICチップを搭載するためのパッケージ基
板と、 前記パッケージ基板表面に2次元的に形成された複数の
外部接続端子と、 前記ICチップの各電極と前記各外部接続端子とを接続
するために前記パッケージ基板内に形成されたパッケー
ジ内配線と、 前記パッケージ内配線を介して前記外部接続端子に接続
された端子であって、前記パッケージ基板の前記外部接
続端子が形成されていない面に形成された接続モニタ端
子と、を備えることを特徴とするVLSIパッケージ。
3. A package substrate for mounting an IC chip, a plurality of external connection terminals formed two-dimensionally on the surface of the package substrate, and a connection between each electrode of the IC chip and each of the external connection terminals. And a terminal connected to the external connection terminal via the package internal wiring, wherein the external connection terminal of the package substrate is not formed. And a connection monitor terminal formed on the VLSI package.
【請求項4】前記各接続モニタ端子は前記各外部接続端
子に対応して形成されていることを特徴とする請求項3
記載のVLSIパッケージ。
4. The connection monitor terminal according to claim 3, wherein said connection monitor terminal is formed corresponding to said external connection terminal.
VLSI package as described.
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