JPH11160528A - Device and method for manufacturing color filter - Google Patents

Device and method for manufacturing color filter

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Publication number
JPH11160528A
JPH11160528A JP10272981A JP27298198A JPH11160528A JP H11160528 A JPH11160528 A JP H11160528A JP 10272981 A JP10272981 A JP 10272981A JP 27298198 A JP27298198 A JP 27298198A JP H11160528 A JPH11160528 A JP H11160528A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
color filter
pixel material
ink
filter
manufacturing
Prior art date
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Pending
Application number
JP10272981A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yayoi Mizutani
やよい 水谷
Takashi Yoshiyama
高史 吉山
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Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH11160528A publication Critical patent/JPH11160528A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the device and method which can manufacture a color filter of high quality. SOLUTION: This manufacturing device and manufacturing method for the color filter form many pixels by jetting pixel materials out of nozzle units 2 in pixel material drops by an ink jet method and sticking the jetted pixel material drips in specific array order in the X and Y directions of a transparent substrate G. A filter 7 which is vibrated by an exciting means 8 is arranged in the path 10 for supplying the pixel materials to the respective nozzle units 2.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタの
製造装置及び製造方法に関する。
The present invention relates to an apparatus and a method for manufacturing a color filter.

【0002】[0002]

【従来の技術】OA機器類においては、画像表示手段と
して液晶パネル等のフラットパネルディスプレイが使用
されている。このようなフラットパネルディスプレイで
カラー画像を表示する際に使用されるカラーフィルタ
は、画素材料滴(インク滴)を短時間で精度良くパター
ニングできることからインクジェット法によって製造さ
れるものがある。
2. Description of the Related Art In OA equipment, a flat panel display such as a liquid crystal panel is used as an image display means. Some color filters used when displaying a color image on such a flat panel display are manufactured by an inkjet method because they can pattern pixel material droplets (ink droplets) accurately in a short time.

【0003】インクジェット法によるカラーフィルタの
製造においては、例えば、透明基板上にブラックマトリ
クスによって形成された多数の区画に赤、緑、青(R,
G,B)の各インク滴を所定の配列順序で付着させ、多
数の画素からなる所定のカラーパターンを形成してい
る。
In the production of a color filter by an ink-jet method, for example, a large number of sections formed by a black matrix on a transparent substrate are provided with red, green, blue (R,
G and B) are applied in a predetermined arrangement order to form a predetermined color pattern composed of a large number of pixels.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、カラーフィ
ルタは、非常に微細な多数の画素を各色ごとに所定の順
序で配列したものである。このため、カラーフィルタの
製造に際しては、隣接する画素間でインクが混ざりあ
い、異なり色の場合には混色が発生したり、同一色の場
合にはインク滴が一方の画素側に偏って画素濃度がばら
つく等によって、品位が低下するという問題があり、高
品位のカラーフィルタを製造可能な製造装置及び製造方
法の提供が望まれていた。
By the way, a color filter has a large number of very fine pixels arranged in a predetermined order for each color. For this reason, when manufacturing a color filter, inks are mixed between adjacent pixels, and when different colors are mixed, color mixing occurs. There is a problem that the quality is deteriorated due to variations and the like, and it has been desired to provide a manufacturing apparatus and a manufacturing method capable of manufacturing a high-quality color filter.

【0005】しかも、OA機器類の多様化に伴い、フラ
ットパネルディスプレイで使用されるカラーフィルタに
おいては、高品位で、画素の大きさや配列等において種
々の態様のものが要求されるようになった。しかし、現
状では上記したような多様化した要求を単一の製造装置
で満たすことが難しく、高品位で、多様化した要求に対
応可能なカラーフィルタの製造装置及び製造方法の提供
も望まれていた。
In addition, with the diversification of OA equipment, color filters used in flat panel displays are required to have high quality and to have various aspects in terms of pixel size and arrangement. . However, at present, it is difficult to satisfy the diversified requirements as described above with a single manufacturing apparatus, and it is also desired to provide a high-quality color filter manufacturing apparatus and method capable of responding to diversified requirements. Was.

【0006】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、高品位なカラーフィルタを製造することが可能なカ
ラーフィルタの製造装置及び製造方法を提供することを
目的とする。
The present invention has been made in view of the above points, and has as its object to provide a color filter manufacturing apparatus and a manufacturing method capable of manufacturing a high-quality color filter.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明によれば上記目的
を達成するため、インクジェット法により画素材料を複
数のノズルユニットから吐出させて画素材料滴となし、
その吐出させた画素材料滴を透明基板のX方向及びY方
向に所定の配列順序で付着させて多数の画素とするカラ
ーフィルタの製造装置であって、前記各ノズルユニット
に画素材料を供給する経路に、加振手段によって振動が
付与されるフィルタが配置されている構成としたのであ
る。
According to the present invention, in order to achieve the above object, a pixel material is discharged from a plurality of nozzle units by an ink jet method to form a pixel material droplet.
An apparatus for manufacturing a color filter in which the discharged pixel material droplets are attached in a predetermined arrangement order in the X direction and the Y direction of a transparent substrate to form a large number of pixels, and a path for supplying a pixel material to each of the nozzle units Further, a filter to which vibration is applied by the vibrating means is arranged.

【0008】好ましくは、前記フィルタの外部から前記
画素材料の温度を制御する温度制御手段を備えた構成と
する。また、上記目的を達成するため、インクジェット
法により画素材料を複数のノズルユニットから吐出させ
て画素材料滴となし、その吐出させた画素材料滴を透明
基板のX方向及びY方向に所定の配列順序で付着させて
多数の画素とするカラーフィルタの製造方法であって、
振動を付与しながら前記画素材料を濾過し、前記各ノズ
ルユニットに供給する構成としたのである。好ましく
は、前記振動を付与する位置で前記画素材料の温度を制
御する構成とする。
[0008] Preferably, a temperature control means for controlling the temperature of the pixel material from outside the filter is provided. In order to achieve the above object, the pixel material is ejected from a plurality of nozzle units to form pixel material droplets by an inkjet method, and the ejected pixel material droplets are arranged in a predetermined arrangement order in the X direction and the Y direction on the transparent substrate. A method of manufacturing a color filter to be attached in a large number of pixels,
The structure is such that the pixel material is filtered while applying vibration and supplied to each of the nozzle units. Preferably, the temperature of the pixel material is controlled at a position where the vibration is applied.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明のカラーフィルタの
製造装置及び製造方法に係る一実施形態を図1及び図2
に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明のカラーフ
ィルタの製造方法を適用したカラーフィルタの製造装置
の概略構成を示すブロックダイアグラムである。
1 and 2 show an embodiment of a color filter manufacturing apparatus and method according to the present invention.
It will be described in detail based on. FIG. 1 is a block diagram illustrating a schematic configuration of a color filter manufacturing apparatus to which the color filter manufacturing method of the present invention is applied.

【0010】カラーフィルタの製造装置(以下、「製造
装置」という)1は、複数のノズルユニット2、インク
タンク3、加圧手段4及び体積制御手段5を備えてい
る。複数のノズルユニット2は、赤,緑,青の各色ごと
に設けられ、各色のインク滴をそれぞれのノズルユニッ
ト2から吐出させ、予め設定された所定の配列順序の多
数の画素Pからなるカラーパターンを透明基板Gに形成
する。各ノズルユニット2は、図示しない吐出ノズル、
圧電振動素子、荷電電極及び偏向電極を有しており、加
圧手段4によってインクタンク3から圧送されてくるイ
ンクを分裂させてインク滴とする。このとき、前記荷電
電極は、所定の情報信号に基づいて印加されるパルス電
圧によってインク滴に所定の電荷を付与する。一方、前
記荷電電極によって電荷を付与されたインク滴は、前記
偏向電極によって帯電レベルに応じて飛行経路が透明基
板Gに矢印で示したX方向に偏向され、画素となるべき
所定の位置に付着する。
An apparatus for manufacturing a color filter (hereinafter referred to as “manufacturing apparatus”) 1 includes a plurality of nozzle units 2, an ink tank 3, a pressurizing unit 4 and a volume control unit 5. The plurality of nozzle units 2 are provided for each color of red, green, and blue, and discharge ink droplets of each color from each nozzle unit 2 to form a color pattern including a large number of pixels P in a predetermined arrangement order. Is formed on the transparent substrate G. Each nozzle unit 2 includes a discharge nozzle (not shown),
It has a piezoelectric vibrating element, a charging electrode, and a deflecting electrode. At this time, the charging electrode applies a predetermined charge to the ink droplet by a pulse voltage applied based on a predetermined information signal. On the other hand, the ink droplet charged by the charging electrode is deflected in the X direction indicated by an arrow on the transparent substrate G according to the charge level by the deflection electrode, and adheres to a predetermined position to become a pixel. I do.

【0011】尚、透明基板Gに付着しなかったインク滴
は、図示しないガターによって回収される。また、透明
基板Gは、予めブラックマトリクスが形成されている
が、図1,図2においては省略されている。インクタン
ク3は、所定数分の図示を省略してあるが、それぞれ各
色のインクごとに設けられ、色別のインクを貯留してい
る。
The ink droplets that have not adhered to the transparent substrate G are collected by a gutter (not shown). Further, a black matrix is formed on the transparent substrate G in advance, but is omitted in FIGS. 1 and 2. Although illustration of a predetermined number of ink tanks 3 is omitted, each ink tank 3 is provided for each ink of each color and stores ink for each color.

【0012】加圧手段4は、インクタンク3に貯留した
インクを配管10を介して各ノズルユニット2に圧送す
る手段で、ポンプが使用される。体積制御手段5は、隣
接する複数のノズルユニット2において前記各吐出ノズ
ルが吐出するインク滴の体積差が3%以内となるように
制御する。具体的には、レギュレータを用いて加圧手段
4の吐出圧力を制御するか、又はファンクションジェネ
レータを用い、インク滴を生成する周波数を調整する
か、もしくは径の異なるノズルの中から、なるべく吐出
量が等しくなるよう選択し、それで吸収不可能な分は周
波数や圧力で調整するなどして、それぞれの吐出ノズル
から吐出されるインク滴の体積差が3%以内となるよう
に制御する。
The pressurizing means 4 is means for pressure-feeding the ink stored in the ink tank 3 to each nozzle unit 2 via a pipe 10, and uses a pump. The volume control means 5 controls so that the volume difference between the ink droplets ejected from each of the ejection nozzles in the plurality of adjacent nozzle units 2 is within 3%. Specifically, the discharge pressure of the pressurizing means 4 is controlled by using a regulator, the frequency of generating ink droplets is adjusted by using a function generator, or the discharge amount is preferably reduced from nozzles having different diameters. Are controlled so that the volume difference between the ink droplets ejected from each ejection nozzle is within 3%, for example, by adjusting the frequency or pressure for the portion that cannot be absorbed.

【0013】隣接する画素間でのインクの体積差が3%
を明らかに越えると、画素の光学濃度のむら肉眼で認め
られるようになることがある。体積差の確認方法として
は、形成された膜の膜厚を膜厚計等により確認する方法
がある。本実施形態の製造装置1は上記のように構成さ
れており、以下に述べる製造方法に従って高品位のカラ
ーフィルタを製造する。ここで、それぞれのインクタン
ク3に貯留された各色のインクは、加圧手段4で加圧さ
れて配管10を通って各ノズルユニット2に圧送されて
ゆくので、以下の説明においては単一の色、例えば、赤
色のインクについて説明し、他の色のインクについては
説明を省略する。
[0013] The volume difference of ink between adjacent pixels is 3%
Is clearly exceeded, the optical density unevenness of the pixel may become noticeable to the naked eye. As a method of confirming the volume difference, there is a method of confirming the film thickness of the formed film using a film thickness meter or the like. The manufacturing apparatus 1 of the present embodiment is configured as described above, and manufactures a high-quality color filter according to a manufacturing method described below. Here, the inks of the respective colors stored in the respective ink tanks 3 are pressurized by the pressurizing means 4 and are pressure-fed to the respective nozzle units 2 through the pipes 10. A description will be given of a color, for example, a red ink, and a description of other colors of ink will be omitted.

【0014】先ず、インクタンク3に貯留された赤色の
インクは、加圧手段4で加圧されて配管10を通って各
ノズルユニット2に圧送される。次に、各ノズルユニッ
ト2においては、前記圧電振動素子に印加される所定周
期の電圧によってインクを分裂させてインク滴とする。
次いで、分裂した各インク滴は、前記荷電電極から所定
の電荷が付与された後、前記偏向電極からの電場によ
り、飛行経路が帯電レベルに応じて透明基板Gに矢印で
示したX,Y方向に偏向され、画素となるべき所定の位
置に付着する。
First, the red ink stored in the ink tank 3 is pressurized by the pressurizing means 4 and sent to each nozzle unit 2 through the pipe 10 under pressure. Next, in each of the nozzle units 2, the ink is divided by a voltage of a predetermined period applied to the piezoelectric vibrating element to form an ink droplet.
Then, after each of the divided ink droplets is given a predetermined charge from the charging electrode, the flight path is changed by the electric field from the deflection electrode on the transparent substrate G in the X and Y directions indicated by arrows according to the charge level. And adheres to a predetermined position to be a pixel.

【0015】このようにして、各色のインク滴によって
予め設定された所定の配列順序の多数の画素からなるカ
ラーパターンが形成された透明基板Gは、インクの仮キ
ュア,本キュア等の各処理が施された後、保護膜,透明
電極等を形成する工程を経て最終製品としてのカラーフ
ィルタとされる。このとき、本発明のカラーフィルタの
製造方法を適用した製造装置1においては、吐出圧力制
御手段11および滴生成信号発生手段12が、隣接する
複数のノズルユニット2において前記各吐出ノズルが吐
出するインク滴の体積差が3%以内となるように制御し
ている。従って、透明基板G上に形成される各色からな
る多数の画素は、各色ごとに画素相互間におけるインク
の量が略均等となる。この結果、透明基板Gは、画素相
互間の色むらの発生が抑制される結果、最終製品として
高品質のカラーフィルタが製造される。
In this manner, the transparent substrate G on which the color pattern composed of a large number of pixels in a predetermined arrangement order set in advance by the ink droplets of each color is formed is subjected to each processing such as temporary curing of ink and main curing. After the application, a color filter as a final product is obtained through a process of forming a protective film, a transparent electrode and the like. At this time, in the manufacturing apparatus 1 to which the method for manufacturing a color filter of the present invention is applied, the ejection pressure control unit 11 and the droplet generation signal generation unit 12 use the ink ejected from each of the ejection nozzles in a plurality of adjacent nozzle units 2. The volume difference between the droplets is controlled to be within 3%. Therefore, in a large number of pixels of each color formed on the transparent substrate G, the amount of ink between the pixels is substantially equal for each color. As a result, in the transparent substrate G, the occurrence of color unevenness between pixels is suppressed, so that a high-quality color filter is manufactured as a final product.

【0016】ここで、上記実施形態は、インク滴の体積
差を制御することで、高品質のカラーフィルタを製造す
る場合について説明した。しかし、かかる目的を達成す
る手段はこれに限定されないことは言うまでもなく、そ
の手段を以下に簡単に説明する。先ず、吐出制御手段6
を設け、各ノズルに信号を与える順序を制御してもよ
い。吐出制御手段6としては、例えば、パーソナルコン
ピュータなどを使用し、複数のノズルユニット2のそれ
ぞれを予め設定した所望の吐出順序で制御する。この制
御手段6は、各ノズルに荷電電圧信号を与える順序を自
由に変えることができ、複数のノズルユニット2の作動
順序、従って、複数のノズルユニット2の吐出順序を制
御する。
Here, the above embodiment has described the case where a high quality color filter is manufactured by controlling the volume difference between ink droplets. However, it is needless to say that the means for achieving the object is not limited to this, and the means will be briefly described below. First, the discharge control means 6
May be provided to control the order in which signals are applied to the nozzles. As the ejection control means 6, for example, a personal computer or the like is used, and each of the plurality of nozzle units 2 is controlled in a predetermined desired ejection order. The control means 6 can freely change the order in which the charged voltage signals are applied to the nozzles, and control the operation order of the plurality of nozzle units 2 and, accordingly, the ejection order of the plurality of nozzle units 2.

【0017】この吐出順序の制御は、例えば、赤インク
の場合について説明すると、図2に示すように、第1ノ
ズルユニット21〜第3ノズルユニット23を制御し、先
ず、第1ノズルユニット21 で図2(a)に示すように
インク滴を塗布し、次に第2ノズルユニット22 で図2
(b)に示すようにインク滴を塗布する。しかる後、第
3ノズルユニット23 でインク滴を塗布すると、図2
(c)に示すパターンが形成される。以下、同様の順序
でインク滴の塗布を繰り返す。
In the control of the ejection order, for example, in the case of red ink, as shown in FIG. 2, the first nozzle unit 21 to the third nozzle unit 23 are controlled. As shown in FIG. 2 (a), ink droplets are applied, and then the second
An ink droplet is applied as shown in FIG. Thereafter, when the ink droplets are applied by the third nozzle unit 23, FIG.
The pattern shown in (c) is formed. Hereinafter, the application of the ink droplets is repeated in the same order.

【0018】このように、予め設定した所望の順序で塗
布すると、複数のノズルユニット21〜23相互間におけ
る吐出流量差が平均化される。この結果、透明基板G
は、形成される各色からなる多数の画素において、画素
相互間の色むらの発生が抑制され、最終製品として高品
質のカラーフィルタを製造することができる。また、図
1に示したように、配管10にフィルタ7を配置して
も、高品質のカラーフィルタを製造することができる。
As described above, when the coating is performed in a predetermined desired order, the discharge flow rate difference among the plurality of nozzle units 21 to 23 is averaged. As a result, the transparent substrate G
In many pixels formed of each color to be formed, color unevenness between pixels is suppressed, and a high-quality color filter can be manufactured as a final product. In addition, as shown in FIG. 1, even when the filter 7 is disposed in the pipe 10, a high quality color filter can be manufactured.

【0019】即ち、フィルタ7は、インク中のゴミや凝
集した顔料を濾過するもので、金属メッシュが使用され
ている。フィルタ7は、平均濾過サイズをノズルユニッ
ト2における前記吐出ノズルのノズル径の2/5以下、
より好ましくは、ノズル径の1/5以下に設定する。平
均濾過サイズがノズル径の2/5よりも大きくなると、
インク中のゴミや凝集した顔料がフィルタ7で捕捉され
ることなく、各ノズルユニット2へ送られてしまう。こ
の結果、これらが前記吐出ノズルの部分で詰まってしま
い、吐出されるインクの飛行経路が乱されて高品位なカ
ラーフィルタの製造が阻害される。一方、平均濾過サイ
ズは、ノズル径に比べて極端に小さいとフィルタ7が目
詰まりし易くなって好ましくない。平均濾過サイズは、
0.5μmを越えるのが好ましい。そして、フィルタ7
は、加振手段8によって超音波振動が付与される。な
お、平均濾過サイズは、フィルタがそのサイズの粒子の
95%以上を平均的に除去し得るような寸法を指す。
That is, the filter 7 is for filtering dust and coagulated pigment in the ink, and uses a metal mesh. The filter 7 has an average filtration size of 2/5 or less of the nozzle diameter of the discharge nozzle in the nozzle unit 2,
More preferably, it is set to 1/5 or less of the nozzle diameter. When the average filtration size is larger than 2/5 of the nozzle diameter,
The dust and the aggregated pigment in the ink are sent to each nozzle unit 2 without being captured by the filter 7. As a result, these are clogged at the discharge nozzles, disturbing the flight path of the discharged ink, and hindering the production of high-quality color filters. On the other hand, if the average filtration size is extremely smaller than the nozzle diameter, the filter 7 is likely to be clogged, which is not preferable. The average filtration size is
Preferably, it exceeds 0.5 μm. And filter 7
Is subjected to ultrasonic vibration by the vibration means 8. The average filtration size refers to a size that allows the filter to remove 95% or more of particles of that size on average.

【0020】加振手段8は、配管10のフィルタ7を設
けた部分に配置され、超音波槽8aと超音波振動子8b
とを有し、超音波槽8a内にはフィルタ7の上部まで水
が満たされ、槽内の水は熱交換器9によって冷却されて
いる。超音波振動子8bとしては、例えば、ニッケル,
フェライト等を用い、出力レベル100〜600W、周
波数は30〜60kHzのものを使用する。従って、加振
手段8は、フィルタ7の外部から超音波振動を付与し、
フィルタ7に捕捉されたインク中のゴミや凝集した顔料
を破壊してフィルタ7の目詰まりを防止している。
The vibrating means 8 is disposed at a portion of the pipe 10 where the filter 7 is provided, and includes an ultrasonic bath 8a and an ultrasonic vibrator 8b.
The ultrasonic bath 8a is filled with water up to the upper portion of the filter 7, and the water in the bath is cooled by the heat exchanger 9. As the ultrasonic vibrator 8b, for example, nickel,
A ferrite or the like having an output level of 100 to 600 W and a frequency of 30 to 60 kHz is used. Therefore, the vibration means 8 applies ultrasonic vibration from outside the filter 7,
Dust and agglomerated pigments in the ink captured by the filter 7 are destroyed, thereby preventing the filter 7 from being clogged.

【0021】熱交換器9は、超音波槽8a内の水を冷却
するもので、これにより超音波振動子8bの振動によっ
て昇温するインクを冷却し、インクの粘度変化を抑制し
ている。このように配管10にフィルタ7を配置するこ
とによって、複数のノズルユニット2へ圧送されるイン
ク中からゴミや凝集した顔料が排除される。従って、製
造装置1においては、前記吐出ノズルの目詰まりが防止
されると共に目詰まりに起因するインク滴の飛行経路の
乱れが抑制される。この結果、製造装置1は、透明基板
Gにインク滴を高精度に付着させることができ、極めて
品質に優れたカラーフィルタを製造することができる。
しかも、加振手段8の使用によって昇温するインクは、
熱交換器9で冷却した超音波槽8a内の水によって冷却
され、粘度変化が抑制されているので、この点からもイ
ンク滴の飛行経路が適正に維持される。
The heat exchanger 9 cools the water in the ultrasonic bath 8a, and thereby cools the ink whose temperature is increased by the vibration of the ultrasonic vibrator 8b, thereby suppressing the change in the viscosity of the ink. By arranging the filter 7 in the pipe 10 in this manner, dust and agglomerated pigment are removed from the ink that is pressure-fed to the plurality of nozzle units 2. Therefore, in the manufacturing apparatus 1, clogging of the discharge nozzle is prevented, and disturbance of the flight path of the ink droplet due to clogging is suppressed. As a result, the manufacturing apparatus 1 can make the ink droplets adhere to the transparent substrate G with high accuracy, and can manufacture a color filter having extremely excellent quality.
In addition, the ink whose temperature is raised by using the vibration means 8 is
Since the water is cooled by the water in the ultrasonic bath 8a cooled by the heat exchanger 9 and the change in viscosity is suppressed, the flight path of the ink droplet is appropriately maintained from this point.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
請求項1及び請求項3に記載したカラーフィルタの製造
装置及び製造方法によれば、フィルタに捕捉された画素
材料中のゴミや凝集した顔料が破壊され、フィルタの目
詰まりが防止されるので、高品位なカラーフィルタを製
造するという目的を達成することができる。
As is apparent from the above description, according to the color filter manufacturing apparatus and method according to the first and third aspects of the present invention, dust and the like in the pixel material captured by the filter are reduced. Since the agglomerated pigment is destroyed and clogging of the filter is prevented, the object of manufacturing a high-quality color filter can be achieved.

【0023】また、請求項2及び請求項4に記載したカ
ラーフィルタの製造装置及び製造方法によれば、前記画
素材料の温度制御手段を備えた構成とし、前記フィルタ
の外部から前記画素材料の温度を制御するので、画素材
料の温度変化に伴う粘度の変化が抑制されるので、画素
材料滴の飛行経路が適正に維持され、従って、製造され
るカラーフィルタの品位が一層向上する。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an apparatus and method for manufacturing a color filter, comprising: a temperature control unit for controlling the temperature of the pixel material from outside the filter. , The change in viscosity due to the temperature change of the pixel material is suppressed, so that the flight path of the pixel material droplet is properly maintained, and therefore, the quality of the color filter to be manufactured is further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のカラーフィルタの製造方法を適用した
製造装置の概略構成を示すブロックダイアグラムであ
る。
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a manufacturing apparatus to which a method for manufacturing a color filter of the present invention is applied.

【図2】図1の製造装置において、吐出制御手段によっ
て複数のノズルユニットのそれぞれを所望の吐出順序で
制御した場合をモデル的に示したプロセス図である。
FIG. 2 is a process diagram schematically showing a case where a plurality of nozzle units are controlled in a desired discharge order by a discharge control unit in the manufacturing apparatus of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 製造装置 2 ノズルユニット 3 インクタンク 4 加圧手段4 5 体積制御手段 6 吐出制御手段 7 フィルタ 8 加振手段 8a 超音波槽 8b 超音波振動子 9 熱交換器 10 配管 G 透明基板 P 画素 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Manufacturing apparatus 2 Nozzle unit 3 Ink tank 4 Pressurization means 4 5 Volume control means 6 Discharge control means 7 Filter 8 Vibration means 8a Ultrasonic tank 8b Ultrasonic transducer 9 Heat exchanger 10 Pipe G Transparent substrate P Pixel

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インクジェット法により画素材料を複数
のノズルユニットから吐出させて画素材料滴となし、そ
の吐出させた画素材料滴を透明基板のX方向及びY方向
に所定の配列順序で付着させて多数の画素とするカラー
フィルタの製造装置であって、前記各ノズルユニットに
画素材料を供給する経路に、加振手段によって振動が付
与されるフィルタが配置されていることを特徴とするカ
ラーフィルタの製造装置。
1. A pixel material is ejected from a plurality of nozzle units to form pixel material droplets by an inkjet method, and the ejected pixel material droplets are adhered in a predetermined arrangement order in the X direction and the Y direction of a transparent substrate. An apparatus for manufacturing a color filter having a large number of pixels, wherein a filter to which vibration is applied by vibrating means is disposed in a path for supplying pixel material to each of the nozzle units. Manufacturing equipment.
【請求項2】 前記フィルタの外部から前記画素材料の
温度を制御する温度制御手段を備えている、請求項1の
カラーフィルタの製造装置。
2. The color filter manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising a temperature control unit that controls the temperature of the pixel material from outside the filter.
【請求項3】 インクジェット法により画素材料を複数
のノズルユニットから吐出させて画素材料滴となし、そ
の吐出させた画素材料滴を透明基板のX方向及びY方向
に所定の配列順序で付着させて多数の画素とするカラー
フィルタの製造方法であって、振動を付与しながら前記
画素材料を濾過し、前記各ノズルユニットに供給するこ
とを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
3. A pixel material is ejected from a plurality of nozzle units to form pixel material droplets by an ink-jet method, and the ejected pixel material droplets are adhered in a predetermined arrangement order in the X direction and the Y direction of the transparent substrate. A method of manufacturing a color filter having a large number of pixels, wherein the pixel material is filtered while applying vibration and supplied to each of the nozzle units.
【請求項4】 更に、前記振動を付与する位置で前記画
素材料の温度を制御する、請求項3のカラーフィルタの
製造方法。
4. The method according to claim 3, further comprising controlling a temperature of the pixel material at a position where the vibration is applied.
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