JPH11154626A - Method and device of manufacture of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor - Google Patents

Method and device of manufacture of electrode foil for aluminum electrolytic capacitor

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JPH11154626A
JPH11154626A JP9320892A JP32089297A JPH11154626A JP H11154626 A JPH11154626 A JP H11154626A JP 9320892 A JP9320892 A JP 9320892A JP 32089297 A JP32089297 A JP 32089297A JP H11154626 A JPH11154626 A JP H11154626A
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JP
Japan
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aluminum foil
foil
copper
aluminum
etching
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Application number
JP9320892A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoichi Harada
洋一 原田
Takehiko Nakahara
武彦 中原
Koichi Kojima
浩一 小島
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and a device of manufacture of an electrode foil for a high quality and highly reliable aluminum electrolytic capacitor having no deposition of copper. SOLUTION: A change-over switch 14, which switches polarity of chemical formation DC power source 11 applying a DC current to aluminum foil 13 and a chemical reaction cathode plate 12 in a chemical reaction vessel 4, is provided, and growth of copper deposited on a chemical formation cathode plate 12 can be blocked and the deposition of copper on the aluminum foil 13 can be prevented by applying reverse polarity voltage for a prescribed time at the prescribed interval while chemical formation is performed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は各種電子機器に使用
されるアルミ電解コンデンサの主要部品である電極箔を
製造する際に利用されるアルミ電解コンデンサ用電極箔
の製造方法およびその製造装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor used for manufacturing an electrode foil which is a main component of an aluminum electrolytic capacitor used for various electronic devices, and an apparatus for manufacturing the same. It is.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器の小型化、高性能化が進められ
る中で、アルミ電解コンデンサにも同様に小型化、高性
能化が求められ、このような要望に対応するためには電
極箔の高容量化と高信頼性化が重要な技術となり、電極
箔の表面積を拡大するためのエッチング技術、電極箔の
表面に形成する酸化皮膜の膜質向上がとりわけ大きな技
術課題であり、また合金系陰極箔においては容量向上の
他に製品としての信頼性に大きな影響を与えるエッチン
グ後の電極箔表面に残留する銅の除去が重要な技術課題
であり、各社ともにこのような技術課題を解決すること
に対してしのぎを削っているのが実情であった。
2. Description of the Related Art As electronic devices have been reduced in size and performance, aluminum electrolytic capacitors have also been required to be reduced in size and performance. High capacity and high reliability have become important technologies, and etching technology to increase the surface area of the electrode foil, and improvement of the quality of the oxide film formed on the surface of the electrode foil are particularly important technical issues. In the case of foil, removal of copper remaining on the electrode foil surface after etching, which has a significant effect on product reliability, is an important technical issue in addition to capacity improvement. On the other hand, it was a fact that they were competing.

【0003】このような従来のアルミ電解コンデンサ用
電極箔の製造方法およびその製造装置について、以下に
図面を用いて説明する。
[0003] A method and an apparatus for manufacturing such a conventional electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor will be described below with reference to the drawings.

【0004】図2は従来のアルミ電解コンデンサ用電極
箔の製造装置の構成を示す概念図であり、同図におい
て、1はロール状に巻回されたアルミニウム箔を供給す
る巻き出しロール、2は前処理槽、3はエッチング槽、
4は化成槽、5は脱銅槽、6は後処理槽、7は乾燥炉、
8は巻き取りロール、9はエッチング陰極板、10はエ
ッチング用直流電源、11は化成用直流電源、12は化
成陰極板、13はアルミニウム箔である。
FIG. 2 is a conceptual diagram showing the structure of a conventional apparatus for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor. In FIG. 2, reference numeral 1 denotes an unwinding roll for supplying an aluminum foil wound in a roll shape; Pretreatment tank, 3 is an etching tank,
4 is a chemical conversion tank, 5 is a copper removal tank, 6 is a post-treatment tank, 7 is a drying furnace,
8 is a take-up roll, 9 is an etching cathode plate, 10 is a DC power source for etching, 11 is a DC power source for formation, 12 is a formation cathode plate, and 13 is an aluminum foil.

【0005】このように構成されたアルミ電解コンデン
サ用電極箔の製造装置を用いて、アルミ電解コンデンサ
用合金系陰極箔を製造する場合を例にして以下に説明す
る。
[0005] An example in which an alloy-based cathode foil for an aluminum electrolytic capacitor is manufactured using the apparatus for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor thus configured will be described below.

【0006】まず、アルミニウム箔13として銅を0.
1〜1%含む厚さ20〜50μのものを用い、前処理槽
2でアルカリまたは酸系の処理液により表面を清浄にす
る。次に、この前処理済みのアルミニウム箔13をエッ
チング槽3に搬送し、硫酸、硝酸、燐酸等の微量不純物
を含み、70〜90℃に加温した塩酸系のエッチング液
にアルミニウム箔13を浸漬する。
First, copper is used as the aluminum foil 13.
A surface having a thickness of 20 to 50 μm containing 1 to 1% is cleaned with an alkali or acid-based treatment liquid in the pretreatment tank 2. Next, the pretreated aluminum foil 13 is transported to the etching bath 3 and immersed in a hydrochloric acid-based etching solution containing a small amount of impurities such as sulfuric acid, nitric acid, and phosphoric acid and heated to 70 to 90 ° C. I do.

【0007】この時、アルミニウム箔13を正極とし、
このアルミニウム箔13の両側に平行に配置したエッチ
ング陰極板9を負極としてエッチング用直流電源10よ
り直流電流を印加することにより、アルミニウム箔13
の表面を化学的および電気的にエッチングして表面積を
拡大するエッチング工程を行う。また、このエッチング
工程においては、エッチング液中にアルミニウム、銅が
溶け出してアルミニウムイオン、銅イオンとして存在
し、そしてこのエッチング液中の銅イオンの一部はエッ
チング陰極板9上に電気的に集められて金属銅として析
出するが、残りの銅イオンの一部はアルミニウム箔13
の表面上に析出して次工程へ持ち込まれる。
At this time, the aluminum foil 13 is used as a positive electrode,
By applying a DC current from an etching DC power supply 10 with the etching cathode plate 9 arranged in parallel on both sides of the aluminum foil 13 as a negative electrode, the aluminum foil 13
An etching step is performed to increase the surface area by chemically and electrically etching the surface of the substrate. In this etching step, aluminum and copper are dissolved in the etching solution and exist as aluminum ions and copper ions, and some of the copper ions in the etching solution are electrically collected on the etching cathode plate 9. Is deposited as metallic copper, and a part of the remaining copper ions is
Deposited on the surface of the substrate and carried to the next step.

【0008】次に、このエッチング済みのアルミニウム
箔13を化成槽4に搬送し、この化成槽4で60〜70
℃に加温した化成液中でアルミニウム箔13を正極と
し、このアルミニウム箔13の両側に平行に配置した化
成陰極板12を負極として化成用直流電源11によって
直流電流を印加することにより、アルミニウム箔13と
アルミニウム箔13の表面に析出した銅との間に陽極酸
化によって薄い酸化皮膜を形成する化成を行う。
Next, the etched aluminum foil 13 is conveyed to a chemical conversion tank 4, where the aluminum foil 13 is subjected to 60-70.
The aluminum foil 13 is used as a positive electrode in a chemical solution heated to 0 ° C., and a direct current is applied by a direct-current power source 11 for formation using a negative electrode 12 formed in parallel with both sides of the aluminum foil 13 as a negative electrode. Chemical formation is performed in which a thin oxide film is formed by anodic oxidation between 13 and copper deposited on the surface of aluminum foil 13.

【0009】その後、この化成後のアルミニウム箔13
を脱銅槽5に搬送し、この脱銅槽5で40〜50℃に加
温した酸性液中にアルミニウム箔13を浸漬することに
より、アルミニウム箔13の表面上に析出した銅を溶解
して除去した後、後処理槽6による後処理、乾燥炉7に
よる乾燥工程を経て巻き取りロール8に巻き取ることに
よりアルミ電解コンデンサ用合金系陰極箔を製造してい
た。
Thereafter, the aluminum foil 13 after the formation is formed.
Is transferred to a copper removal tank 5, and the aluminum foil 13 is immersed in an acid solution heated to 40 to 50 ° C. in the copper removal tank 5 to dissolve copper precipitated on the surface of the aluminum foil 13. After the removal, a post-treatment in a post-treatment tank 6 and a drying step in a drying furnace 7 were taken up on a take-up roll 8 to produce an alloy-based cathode foil for an aluminum electrolytic capacitor.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
のアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法では、アル
ミニウム箔13とアルミニウム箔13の表面に析出した
銅との間に陽極酸化によって薄い酸化皮膜を形成する化
成中に、アルミニウム箔13の表面に析出している銅の
一部がイオン化して化成液中に拡散して化成陰極板12
上に再び析出し、そしてこの化成陰極板12上に析出し
た銅が時間と共に成長し、長時間の稼動により厚膜化し
て化成陰極板12から脱離し、化成液中を浮遊する場合
があった。この化成液中を浮遊する銅がアルミニウム箔
13に付着し、そして後工程でこの銅が除去されずに製
品にまで持ち込まれるとその製品はショート不良を起こ
す可能性があり、製品の信頼性を低下させるという課題
を有していた。
However, in the above-mentioned conventional method for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor, a thin oxide film is formed between the aluminum foil 13 and copper deposited on the surface of the aluminum foil 13 by anodic oxidation. During the formation, a part of the copper deposited on the surface of the aluminum foil 13 is ionized and diffuses into the formation solution to form the copper plate 12.
Copper deposited again on the cathode plate 12 and grown on the cathode plate 12 grows with time, becomes thicker by long-time operation, detaches from the cathode plate 12, and floats in the formation solution. . If the copper floating in the chemical conversion solution adheres to the aluminum foil 13 and is brought to the product without removing the copper in a later process, the product may cause a short-circuit failure, and the reliability of the product is reduced. There was a problem of lowering.

【0011】本発明はこのような従来の課題を解決し、
化成陰極板上に析出した銅の成長を阻止することができ
ると共に銅が化成液中を浮遊することが無くなって銅の
付着が無い高品質、高信頼性の電極箔を製造することが
できるアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法および
その製造装置を提供することを目的とするものである。
The present invention solves such a conventional problem,
Aluminum that can prevent the growth of copper deposited on the chemical conversion cathode plate and can produce a high-quality and highly reliable electrode foil without copper floating in the chemical conversion solution and no adhesion of copper An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an electrode foil for an electrolytic capacitor and an apparatus for manufacturing the same.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明によるアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方
法は、少なくとも微量の不純物を含むアルミニウム箔の
表面積を拡大するエッチング工程と、エッチング後のア
ルミニウム箔の表面に陽極酸化により酸化皮膜を形成す
る酸化皮膜形成工程と、アルミニウム箔の表面に析出し
た銅を除去する脱銅工程とを有し、上記酸化皮膜形成工
程の陽極酸化時にアルミニウム箔に印加する電圧の極性
とは逆の極性の電圧をアルミニウム箔に所定時間印加す
る銅溶解工程を上記酸化皮膜形成工程の中に所定の間隔
で設けるようにしたものである。また、製造装置として
は、酸化皮膜形成部でアルミニウム箔ならびに化成陰極
板に直流電流を印加する直流電源の極性を切り替える極
性切り替え部を設けた構成としたものである。
In order to solve the above-mentioned problems, a method for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to the present invention comprises: an etching step for enlarging the surface area of an aluminum foil containing at least a trace amount of impurities; An oxide film forming step of forming an oxide film on the surface of the aluminum foil by anodic oxidation, and a copper removing step of removing copper deposited on the surface of the aluminum foil, A copper dissolving step of applying a voltage having a polarity opposite to the polarity of the applied voltage to the aluminum foil for a predetermined time is provided at predetermined intervals in the oxide film forming step. The manufacturing apparatus has a configuration in which a polarity switching unit that switches the polarity of a DC power supply that applies a DC current to the aluminum foil and the formation cathode plate is provided in the oxide film forming unit.

【0013】この方法により、化成陰極板上に析出した
銅の成長を阻止することができると共に銅が化成液中を
浮遊することが無くなって銅の付着が無い高品質、高信
頼性の電極箔を製造することができる。
According to this method, it is possible to prevent the growth of copper deposited on the formation cathode plate, and to prevent the copper from floating in the formation solution and to prevent the adhesion of copper. Can be manufactured.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、少なくとも微量の不純物を含むアルミニウム箔の表
面積を拡大するエッチング工程と、エッチング後のアル
ミニウム箔の表面に陽極酸化により酸化皮膜を形成する
酸化皮膜形成工程と、アルミニウム箔の表面に析出した
銅を除去する脱銅工程とを有し、上記酸化皮膜形成工程
の陽極酸化時にアルミニウム箔に印加する電圧の極性と
は逆の極性の電圧をアルミニウム箔に所定時間印加する
銅溶解工程を上記酸化皮膜形成工程の中に所定の間隔で
設けるようにしたものであり、この製造方法によれば、
酸化皮膜形成工程の陽極酸化時に化成陰極板上に析出す
る銅を逆極性の電圧を化成陰極板に印加することにより
溶解して銅の成長を阻止すると共に銅が化成液中を浮遊
するのを無くすることができるという作用を有する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The invention according to claim 1 of the present invention provides an etching step for enlarging the surface area of an aluminum foil containing at least a trace amount of impurities, and forming an oxide film on the surface of the etched aluminum foil by anodic oxidation. An oxide film forming step to be formed, and a copper removing step of removing copper deposited on the surface of the aluminum foil, having a polarity opposite to the polarity of the voltage applied to the aluminum foil during anodic oxidation in the oxide film forming step. A copper dissolving step of applying a voltage to the aluminum foil for a predetermined time is provided at predetermined intervals in the oxide film forming step, and according to this manufacturing method,
The copper deposited on the formation cathode plate during the anodic oxidation in the oxide film formation step is dissolved by applying a voltage of the opposite polarity to the formation cathode plate, thereby preventing the growth of copper and preventing the copper from floating in the formation solution. It has the effect that it can be eliminated.

【0015】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の発明において、アルミニウム箔が合金系陰極箔である
としたものであり、請求項1に記載の発明による作用と
同様の作用を有する。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the aluminum foil is an alloy-based cathode foil, and has the same function as that of the first aspect of the invention. Have.

【0016】請求項3に記載の発明は、請求項1に記載
の発明において、不純物が銅であるとしたものであり、
請求項1に記載の発明による作用と同様の作用を有す
る。
According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the impurity is copper.
It has the same operation as the operation according to the first aspect of the present invention.

【0017】請求項4に記載の発明は、請求項1に記載
の発明において、アルミニウム箔を所定の長さのロール
状品を連続して複数継ぎ合わせたロール状品で供給し、
かつこのロール状品の継ぎ合わせ部が酸化皮膜形成工程
を通過する際に銅溶解工程を行わせるようにしたもので
あり、製品として使用しない継ぎ合わせ部で銅溶解工程
を行うために化成によりアルミニウム箔の表面に形成さ
れる酸化皮膜の状態に影響を与えることが無くなって品
質の安定化が図れるという作用を有する。
According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the aluminum foil is supplied as a roll-shaped product obtained by continuously joining a plurality of roll-shaped products having a predetermined length,
In addition, a copper dissolving process is performed when the joint portion of the roll-shaped article passes through the oxide film forming process.In order to perform the copper dissolving process at the joint portion not used as a product, aluminum is formed by chemical conversion. This has the effect of stabilizing the quality without affecting the state of the oxide film formed on the surface of the foil.

【0018】請求項5に記載の発明は、ロール状のアル
ミニウム箔を供給する巻き出し部と、この巻き出し部か
ら供給されたアルミニウム箔をエッチング液に浸漬する
エッチング槽を有し、かつこのエッチング槽内のエッチ
ング液に浸漬されたアルミニウム箔を正極に、エッチン
グ液中のアルミニウム箔の両面に対向するように配設さ
れたエッチング陰極板を負極に接続したエッチング用直
流電源より直流電流を印加してアルミニウム箔の表面を
化学的ならびに電気的にエッチングするエッチング部
と、このエッチングされたアルミニウム箔を化成液に浸
漬する化成槽を有し、かつこの化成槽内の化成液に浸漬
されたアルミニウム箔を正極に、化成液中のアルミニウ
ム箔の両面に対向するように配設された化成陰極板を負
極に接続した化成用直流電源より直流電流を印加してア
ルミニウム箔とアルミニウム箔上に析出した銅との間に
酸化皮膜を形成する酸化皮膜形成部と、この酸化皮膜形
成部でアルミニウム箔ならびに化成陰極板に直流電流を
印加する化成用直流電源の極性を切り替える極性切り替
え部と、上記酸化皮膜形成部で酸化皮膜が形成されたア
ルミニウム箔を酸性液に浸漬する脱銅槽を有し、かつこ
の脱銅槽内でアルミニウム箔の表面に析出した銅を溶解
除去する脱銅部と、この脱銅部を通過したアルミニウム
箔をロール状に巻き取る巻き取り部からなる構成とした
ものであり、酸化皮膜形成部において化成陰極板上に析
出する銅を逆極性の電圧を化成陰極板に印加することに
より溶解して銅の成長を阻止すると共に、銅が化成液中
を浮遊するのを無くすることができるという作用を有す
る。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an unwinding section for supplying a rolled aluminum foil, an etching tank for immersing the aluminum foil supplied from the unwinding section in an etching solution, and A DC current is applied from a DC power supply for etching in which an aluminum foil immersed in an etching solution in a tank is connected to a positive electrode, and an etching cathode plate disposed opposite to both surfaces of the aluminum foil in the etching solution is connected to a negative electrode. An etching section for chemically and electrically etching the surface of an aluminum foil by means of an aluminum foil having a chemical conversion tank for immersing the etched aluminum foil in a chemical conversion liquid, and immersed in a chemical conversion liquid in the chemical conversion tank Is connected to the anode and the cathode is connected to the anode and the cathode is placed on both sides of the aluminum foil in the chemical solution. An oxide film is formed between the aluminum foil and the copper deposited on the aluminum foil by applying a DC current from a power supply, and a DC current is applied to the aluminum foil and the cathode plate at the oxide film formation portion. A polarity switching unit for switching the polarity of the DC power supply to be applied, and a copper removal tank for immersing the aluminum foil on which the oxide film is formed in the oxide film formation unit in an acid solution, and in the copper removal tank, It consists of a copper removal part that dissolves and removes the copper deposited on the surface of the foil, and a winding part that winds up the aluminum foil that has passed through the copper removal part into a roll shape. The copper deposited on the plate is dissolved by applying a voltage of the opposite polarity to the formation cathode plate to prevent the growth of copper and to prevent the copper from floating in the formation solution. It has the effect of say.

【0019】請求項6に記載の発明は、請求項5に記載
の発明において、直流電源に接続された一対の電極を化
成槽内を循環する化成液中に配設した構成としたもので
あり、化成液中に溶解した銅を一対の電極の負極板上に
析出させて除去することができるため、化成液中を銅が
浮遊するのを無くすることができるという作用を有す
る。
According to a sixth aspect of the present invention, in the fifth aspect of the invention, a pair of electrodes connected to a DC power supply are arranged in a chemical solution circulating in a chemical conversion tank. In addition, since copper dissolved in the chemical conversion solution can be deposited on the negative electrode plate of the pair of electrodes and removed, copper has an effect of preventing floating in the chemical formation solution.

【0020】以下、本発明の一実施の形態について図面
を用いて説明する。なお、従来の技術の項で説明した部
品と同じ構成の部品には同一の符号を付し、その詳細な
説明は省略する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. Components having the same configuration as the components described in the section of the related art are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0021】図1は同実施の形態によるアルミ電解コン
デンサ用電極箔の製造装置の構成を示す概念図であり、
同図において、1は巻き出しロール、2は前処理槽、3
はエッチング槽、4は化成槽、5は脱銅槽、6は後処理
槽、7は乾燥炉、8は巻き取りロール、9はエッチング
陰極板、10はエッチング用直流電源、11は化成用直
流電源、12は化成陰極板、13はアルミニウム箔であ
り、以上の構成は従来の技術の項で説明した図2の同装
置と同じものである。
FIG. 1 is a conceptual diagram showing the configuration of an apparatus for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to the embodiment.
In the figure, 1 is an unwinding roll, 2 is a pretreatment tank, 3
Is an etching tank, 4 is a formation tank, 5 is a copper removal tank, 6 is a post-treatment tank, 7 is a drying furnace, 8 is a take-up roll, 9 is an etching cathode plate, 10 is a DC power supply for etching, and 11 is a DC for formation. A power supply, 12 is a chemical cathode plate, and 13 is an aluminum foil. The above configuration is the same as that of FIG. 2 described in the section of the prior art.

【0022】14は切り替えスイッチであり、この切り
替えスイッチ14は化成用直流電源11から出力される
直流電圧の極性を図中のA側とB側に切り替え可能なよ
うに設けられ、上記化成用直流電源11から出力される
直流電圧はこの切り替えスイッチ14を介して化成陰極
板12とアルミニウム箔13に印加されるように接続さ
れている。
Reference numeral 14 denotes a changeover switch. The changeover switch 14 is provided so that the polarity of the DC voltage output from the formation DC power supply 11 can be switched between A side and B side in the figure. The DC voltage output from the power supply 11 is connected via the changeover switch 14 so as to be applied to the formation cathode plate 12 and the aluminum foil 13.

【0023】次に、このように構成された本実施の形態
のアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造装置を用いてア
ルミ電解コンデンサ用合金系陰極箔を製造する場合を例
にして、その製造プロセスを以下に説明する。
Next, an example in which an alloy-based cathode foil for an aluminum electrolytic capacitor is manufactured using the apparatus for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor of the present embodiment having the above-described configuration will be described. This will be described below.

【0024】まず、アルミニウム箔13として0.3%
の銅と微量の鉄を含む厚さ50μmのロール状品を使用
し、このアルミニウム箔13を約10m/分の送り速度
で搬送し、表面の圧延油、自然酸化皮膜を除いてエッチ
ングを均一に行うため、2%の水酸化ナトリウムを含有
し、かつ液温が50℃の前処理槽2の処理液にアルミニ
ウム箔13を10秒間浸漬して前処理を行った。
First, as the aluminum foil 13, 0.3%
The aluminum foil 13 is transported at a feed speed of about 10 m / min using a 50 μm-thick roll-shaped product containing copper and a small amount of iron, and the etching is uniformly performed except for the rolling oil and the natural oxide film on the surface. To perform the pretreatment, the aluminum foil 13 was immersed in the treatment liquid in the pretreatment tank 2 containing 2% sodium hydroxide at a liquid temperature of 50 ° C. for 10 seconds to perform the pretreatment.

【0025】続いて、アルミニウム箔13を水洗いして
エッチング槽3に搬送し、微量の硫酸を含有し、かつ7
%の塩酸からなる液温が80℃のエッチング液に浸漬す
ると同時に、アルミニウム箔13を正極とし、かつエッ
チング陰極板9を負極としてエッチング用直流電源10
から0.1A/cm2の電流をアルミニウム箔13に10
秒間流して化学および電解エッチングを行った。
Subsequently, the aluminum foil 13 is washed with water and conveyed to the etching tank 3 and contains a small amount of sulfuric acid.
% Of hydrochloric acid at the same time as the immersion in an etching solution at a temperature of 80 ° C., and at the same time, a DC power supply 10
Current of 0.1 A / cm 2 to the aluminum foil 13
Chemical and electrolytic etching was performed by flowing for 2 seconds.

【0026】なお、このエッチング工程においてアルミ
ニウム箔13中のアルミニウムはアルミニウムイオンと
してエッチング液中に溶解し、かつアルミニウム箔13
に含まれた銅も銅イオンとしてエッチング液中に溶解す
るが、
In this etching step, the aluminum in the aluminum foil 13 dissolves in the etching solution as aluminum ions and the aluminum foil 13
The copper contained in is also dissolved in the etching solution as copper ions,

【0027】[0027]

【化1】 Embedded image

【0028】の反応が左に進むため、アルミニウム箔1
3とエッチング液との界面近くに存在する銅イオンはア
ルミニウムを酸化し、かつ自身は還元されて金属銅とな
ってアルミニウム箔13の表面に析出する。
Since the reaction proceeds to the left, the aluminum foil 1
The copper ions existing near the interface between 3 and the etching solution oxidize the aluminum and reduce itself to form metallic copper, which is deposited on the surface of the aluminum foil 13.

【0029】続いて、このエッチング済みのアルミニウ
ム箔13を水洗いして化成槽4に搬送し、10%のアジ
ピン酸を含有し、かつ液温が70℃の化成液中で、化成
用直流電源11の切り替えスイッチ14をA側にした状
態でアルミニウム箔13を正極とし、かつ化成陰極板1
2を負極として化成電圧5Vで化成を行うことにより、
アルミニウム箔13とアルミニウム箔13上に析出した
銅との間に酸化皮膜を形成して銅の還元、アルミニウム
の酸化による電荷のやりとりが起こらないようにする。
Subsequently, the etched aluminum foil 13 is washed with water, transported to a chemical conversion tank 4, and contained in a chemical solution containing 10% adipic acid and having a temperature of 70 ° C., and a DC power source 11 for chemical formation. The aluminum foil 13 is used as a positive electrode while the changeover switch 14 of the
By performing formation at a formation voltage of 5 V using 2 as a negative electrode,
An oxide film is formed between the aluminum foil 13 and copper deposited on the aluminum foil 13 to prevent exchange of electric charge due to reduction of copper and oxidation of aluminum.

【0030】また、この化成を連続して行うと化成陰極
板12上には徐々に銅が析出し、時間経過と共に銅が成
長して厚膜化して剥離に至るため、この銅の剥離が発生
する前に切り替えスイッチ14を図中B側に切り替えて
化成用直流電源11の極性を切り替えることによってア
ルミニウム箔13を負極に、かつ化成陰極板12を正極
にして化成陰極板12上に析出した銅を化成液中に溶解
させる。この極性を反転させる時間は極めて短時間で良
く、極性反転で生じるアルミニウム箔13の不良はほと
んど発生しないものであるが、本発明ではアルミニウム
箔13の不良を最小にするために、原箔の継ぎ目が化成
槽4を通過するタイミングに合わせて約8時間間隔で2
0秒間行った。
When the formation is continuously performed, copper is gradually deposited on the formation cathode plate 12, and as time elapses, the copper grows and becomes thicker, resulting in peeling. Before switching, the changeover switch 14 is switched to the side B in the figure to switch the polarity of the direct-current power supply 11 for formation, so that the aluminum foil 13 is used as a negative electrode and the formation cathode plate 12 is used as a positive electrode. Is dissolved in a chemical solution. The time for reversing the polarity may be extremely short, and the failure of the aluminum foil 13 caused by the polarity reversal hardly occurs. However, in the present invention, in order to minimize the failure of the aluminum foil 13, a seam of the original foil is used. At an interval of about 8 hours according to the timing of passing through the formation tank 4.
Performed for 0 seconds.

【0031】この逆極性状態に保持する時間としては、
連続で化成する時間にもよるが、おおむね10秒間で銅
が溶解するので、それ以上であれば良いものであり、上
記逆極性状態で保持した時間である20秒間を経過後、
再び切り替えスイッチ14を図中A側に戻して通常の化
成を連続して行うようにする。
The time for maintaining the reverse polarity state is as follows.
Although it depends on the time of continuous chemical formation, copper dissolves in about 10 seconds, so it is better if it is longer than that, and after elapse of 20 seconds, which is the time maintained in the opposite polarity state,
The changeover switch 14 is returned to the A side in the figure again so that normal formation is continuously performed.

【0032】また、上記極性反転により化成液中に溶解
した銅は、化成装置とは別に独立して構成され、循環す
る化成液中に一対の電極が配設されるように構成された
図示しない銅溶解部の電極間に直流電流を印加すること
によって負極板上に析出させて除去するようにしてお
り、さらにこのようにして化成を終えたアルミニウム箔
13は、後処理槽6による後処理工程と乾燥炉7による
乾燥工程を経てアルミ電解コンデンサ用合金系陰極箔と
して完成するものである。
The copper dissolved in the chemical conversion solution by the polarity reversal is formed separately from the chemical conversion apparatus, and is configured so that a pair of electrodes is disposed in the circulating chemical conversion solution, not shown. A direct current is applied between the electrodes of the copper dissolving portion to deposit and remove the negative electrode plate on the negative electrode plate. Further, the aluminum foil 13 that has been formed in this manner is subjected to a post-treatment step in the post-treatment tank 6. And a drying step by a drying furnace 7 to complete an alloy-based cathode foil for an aluminum electrolytic capacitor.

【0033】このように化成陰極板12上に析出した銅
が時間経過と共に厚膜化して剥離する前に化成陰極板1
2上から銅を除去することにより、銅片が化成液中を浮
遊することが無く、またアルミニウム箔13に付着する
こともなくなり、優れた品質の電極箔を安定して得るこ
とができるものである。
Before the copper deposited on the formation cathode plate 12 becomes thicker with time and peels off, the formation cathode plate 1
2. By removing copper from above, the copper pieces do not float in the chemical conversion solution and do not adhere to the aluminum foil 13, so that an electrode foil of excellent quality can be stably obtained. is there.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上のように本発明によるアルミ電解コ
ンデンサ用電極箔の製造方法およびその製造装置は、酸
化皮膜形成部でアルミニウム箔ならびに化成陰極板に直
流電流を印加する直流電源の極性を切り替える極性切り
替え部を設け、この極性切り替え部を操作して酸化皮膜
形成工程の化成時にアルミニウム箔に印加する電圧の極
性とは逆の極性の電圧をアルミニウム箔に所定時間印加
する銅溶解工程を上記酸化皮膜形成工程の中に所定の間
隔で設けることにより、酸化皮膜形成工程の陽極酸化時
に化成陰極板上に析出する銅を逆極性の電圧を化成陰極
板に印加することにより溶解して銅の成長を阻止すると
共に銅が化成液中を浮遊することが無くなるため、銅の
付着が無い、高品質、高信頼性のアルミ電解コンデンサ
用電極箔を製造することができるものである。
As described above, the method and apparatus for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to the present invention switch the polarity of a DC power supply for applying a DC current to an aluminum foil and a formation cathode plate at an oxide film forming portion. A polarity switching unit is provided. By operating the polarity switching unit, the copper dissolving step of applying a voltage having a polarity opposite to the polarity of the voltage applied to the aluminum foil during the formation of the oxide film forming step to the aluminum foil for a predetermined time is performed by the above oxidation By providing at predetermined intervals in the film forming process, copper deposited on the formation cathode plate during anodic oxidation in the oxide film formation process is dissolved by applying a voltage of the opposite polarity to the formation cathode plate to grow copper. To prevent copper from floating in the chemical conversion solution, and to produce high quality and highly reliable electrode foil for aluminum electrolytic capacitors without copper adhesion. It is what it is.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態によるアルミ電解コンデ
ンサ用電極箔の製造装置の構成を示す概念図
FIG. 1 is a conceptual diagram showing the configuration of an apparatus for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来のアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造装
置の構成を示す概念図
FIG. 2 is a conceptual diagram showing a configuration of a conventional apparatus for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 巻き出しロール 2 前処理槽 3 エッチング槽 4 化成槽 5 脱銅槽 6 後処理槽 7 乾燥炉 8 巻き取りロール 9 エッチング陰極板 10 エッチング用直流電源 11 化成用直流電源 12 化成陰極板 13 アルミニウム箔 14 切り替えスイッチ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Unwinding roll 2 Pretreatment tank 3 Etching tank 4 Chemical tank 5 Copper removal tank 6 Postprocessing tank 7 Drying furnace 8 Winding roll 9 Etching cathode plate 10 DC power supply for etching 11 DC power supply for formation 12 Cathode plate 13 Aluminum foil 14 Changeover switch

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも微量の不純物を含むアルミニ
ウム箔の表面積を拡大するエッチング工程と、エッチン
グ後のアルミニウム箔の表面に陽極酸化により酸化皮膜
を形成する酸化皮膜形成工程と、アルミニウム箔の表面
に析出した銅を除去する脱銅工程とを有し、上記酸化皮
膜形成工程の陽極酸化時にアルミニウム箔に印加する電
圧の極性とは逆の極性の電圧をアルミニウム箔に所定時
間印加する銅溶解工程を上記酸化皮膜形成工程の中に所
定の間隔で設けるようにしたアルミ電解コンデンサ用電
極箔の製造方法。
1. An etching step for increasing the surface area of an aluminum foil containing at least a trace amount of impurities, an oxide film forming step of forming an oxide film on the surface of the etched aluminum foil by anodic oxidation, and depositing on the surface of the aluminum foil. And a copper dissolving step of applying a voltage having a polarity opposite to the polarity of the voltage applied to the aluminum foil during the anodic oxidation of the oxide film forming step to the aluminum foil for a predetermined time. A method for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor, wherein the electrode foil is provided at predetermined intervals in an oxide film forming step.
【請求項2】 アルミニウム箔が合金系陰極箔である請
求項1に記載のアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方
法。
2. The method for producing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the aluminum foil is an alloy-based cathode foil.
【請求項3】 不純物が銅である請求項1に記載のアル
ミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法。
3. The method for producing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the impurity is copper.
【請求項4】 アルミニウム箔を所定の長さのロール状
品を連続して複数継ぎ合わせたロール状品で供給し、か
つこのロール状品の継ぎ合わせ部が酸化皮膜形成工程を
通過する際に銅溶解工程を行わせるようにした請求項1
に記載のアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造方法。
4. An aluminum foil is supplied in the form of a roll in which a plurality of rolls each having a predetermined length are continuously spliced, and when a spliced portion of the rolls passes through an oxide film forming step. 2. The method according to claim 1, wherein a copper dissolving step is performed.
2. The method for producing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to item 1.
【請求項5】 ロール状のアルミニウム箔を供給する巻
き出し部と、この巻き出し部から供給されたアルミニウ
ム箔をエッチング液に浸漬するエッチング槽を有し、か
つこのエッチング槽内のエッチング液に浸漬されたアル
ミニウム箔を正極に、エッチング液中のアルミニウム箔
の両面に対向するように配設されたエッチング陰極板を
負極に接続したエッチング用直流電源より直流電流を印
加してアルミニウム箔の表面を化学的ならびに電気的に
エッチングするエッチング部と、このエッチングされた
アルミニウム箔を化成液に浸漬する化成槽を有し、かつ
この化成槽内の化成液に浸漬されたアルミニウム箔を正
極に、化成液中のアルミニウム箔の両面に対向するよう
に配設された化成陰極板を負極に接続した化成用直流電
源より直流電流を印加してアルミニウム箔とアルミニウ
ム箔上に析出した銅との間に酸化皮膜を形成する酸化皮
膜形成部と、この酸化皮膜形成部でアルミニウム箔なら
びに化成陰極板に直流電流を印加する化成用直流電源の
極性を切り替える極性切り替え部と、上記酸化皮膜形成
部で酸化皮膜が形成されたアルミニウム箔を酸性液に浸
漬する脱銅槽を有し、かつこの脱銅槽内でアルミニウム
箔の表面に析出した銅を溶解除去する脱銅部と、この脱
銅部を通過したアルミニウム箔をロール状に巻き取る巻
き取り部からなるアルミ電解コンデンサ用電極箔の製造
装置。
5. An unwinding section for supplying a rolled aluminum foil, an etching tank for immersing the aluminum foil supplied from the unwinding section in an etching solution, and immersing in an etching solution in the etching tank. A DC current is applied from a DC power source for etching in which the etched aluminum foil is used as a positive electrode, and an etching cathode plate arranged opposite to both surfaces of the aluminum foil in the etching solution is connected to the negative electrode to chemically treat the surface of the aluminum foil. An etching section for electrically and electrically etching, and a chemical conversion tank for immersing the etched aluminum foil in a chemical conversion liquid, and using the aluminum foil immersed in the chemical conversion liquid in the chemical conversion tank as a positive electrode, DC current was applied from a DC power supply for formation in which a formation cathode plate arranged on both sides of the aluminum foil was connected to the anode. An oxide film forming part for forming an oxide film between the aluminum foil and the copper deposited on the aluminum foil by applying a heat treatment, and a DC power supply for chemical formation for applying a DC current to the aluminum foil and the cathode plate at the oxide film forming part A polarity switching unit for switching the polarity of the aluminum foil having an oxide film formed in the oxide film forming unit has a copper removal tank for immersing the aluminum foil in an acidic solution, and deposited on the surface of the aluminum foil in the copper removal tank. An apparatus for manufacturing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor, comprising a copper removal part for dissolving and removing copper and a winding part for winding the aluminum foil passing through the copper removal part into a roll.
【請求項6】 直流電源に接続された一対の電極を化成
槽内を循環する化成液中に配設した請求項5に記載のア
ルミ電解コンデンサ用電極箔の製造装置。
6. The apparatus for producing an electrode foil for an aluminum electrolytic capacitor according to claim 5, wherein a pair of electrodes connected to a DC power supply are disposed in a chemical solution circulating in the chemical formation tank.
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