JPH11150973A - Linear motor - Google Patents

Linear motor

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JPH11150973A
JPH11150973A JP9312978A JP31297897A JPH11150973A JP H11150973 A JPH11150973 A JP H11150973A JP 9312978 A JP9312978 A JP 9312978A JP 31297897 A JP31297897 A JP 31297897A JP H11150973 A JPH11150973 A JP H11150973A
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JP
Japan
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stator
linear motor
encoder scale
magnetic
field magnet
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JP9312978A
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Japanese (ja)
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Mitsutoshi Iko
光俊 位高
Katsuhiro Nanba
克宏 難波
Masazo Ishiyama
雅三 石山
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Minolta Co Ltd
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Publication date
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
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  • Linear Motors (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly reliable linear motor which is provided with a stator having field magnets, and a movable element having armature coils into which the stator is inserted and capable of performing reciprocating movement along the stator, and operates precisely and smoothly. SOLUTION: A linear motor LMa is fitted with a stator 1 having field magnets 11, a movable element 2 having armature coils 21 into which this stator 1 is inserted and capable of reciprocating movement along the stator 1, Hall elements h1 , h2 , h3 (first detecting sensors) which are fitted to the movable element 2 and detect the change of the magnetic information of the scale 31. Here, the Hall elements h1 , h2 , h3 and the MR element 32 are provided in regions excluding a region above the upper surface or the stator 1 out or the peripheral regions or the stator 1.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、N極の磁極とS極の磁
極とが交互に並ぶ界磁マグネットを有し、一定方向に延
びる固定子と、前記界磁マグネットに臨む電機子コイル
を有し、前記固定子に沿って往復移動可能の可動子とを
備えるリニアモータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stator having a field magnet in which N-poles and S-poles are alternately arranged and extending in a fixed direction, and an armature coil facing the field magnet. And a mover reciprocally movable along the stator.

【0002】[0002]

【従来の技術】リニアモータは、複写機、イメージスキ
ャナ、プリンタ等のOA機器、X−Yテーブル、物品搬
送装置等のFA機器、カメラ等の光学機器など広い分野
で物品、部材等を直線的に移動させることに利用されて
いる。このようなリニアモータとして、N極の磁極とS
極の磁極とが交互に並ぶ界磁マグネットを有し、一定方
向に延びる固定子と、該界磁マグネットに臨む電機子コ
イルを有し、該固定子に沿って往復移動可能の可動子と
を備えたいわゆるムービングコイル型のリニアモータが
知られている。このタイプのリニアモータでは、前記電
機子コイルを構成している各コイル部分に、それが臨ん
でいる界磁マグネットの磁極の極性に応じた電流を流す
ことで該電流と界磁マグネットの形成する磁界との相互
作用で所望する方向の可動子推力を発生させることがで
きる。
2. Description of the Related Art Linear motors are used to linearly move articles and members in a wide range of fields, such as OA equipment such as copiers, image scanners and printers, XY tables, FA equipment such as article transporters, and optical equipment such as cameras. It is used to move to. As such a linear motor, an N-pole magnetic pole and an S-pole
A pole having magnetic field magnets arranged alternately, a stator extending in a certain direction, and an armature having an armature coil facing the field magnet and capable of reciprocating along the stator. There is known a so-called moving coil type linear motor provided. In this type of linear motor, the current and the field magnet are formed by passing a current corresponding to the polarity of the magnetic pole of the field magnet facing each coil portion constituting the armature coil. The mover thrust in a desired direction can be generated by interaction with the magnetic field.

【0003】そして前記可動子推力を発生させるべく電
機子コイルへの通電を制御するために界磁マグネットの
磁極の変化を検出するセンサが可動子に搭載されてい
る。かかる界磁マグネット用のセンサとして、磁極の極
性や磁界の強さに応じた電気信号を出力することができ
るホール素子や磁気抵抗素子(MR素子)等の磁電変換
素子が通常採用される。
A sensor for detecting a change in the magnetic pole of the field magnet is mounted on the mover to control the energization of the armature coil to generate the mover thrust. As a sensor for such a field magnet, a magneto-electric conversion element such as a Hall element or a magneto-resistance element (MR element) that can output an electric signal according to the polarity of a magnetic pole or the strength of a magnetic field is usually employed.

【0004】またリニアモータでは、通常、可動子或い
は可動子に接続されて駆動される物品、部材等の被駆動
体の位置検出、速度検出、位置制御、速度制御等のため
にリニアエンコーダが採用される。リニアエンコーダは
磁気式エンコーダと光学式エンコーダに大別される。磁
気式エンコーダはN極の磁極とS極の磁極を前記界磁マ
グネットにおける磁極ピッチより細かいピッチで可動子
移動方向に交互に並べた磁気式エンコーダスケールと、
該スケールの磁気情報を読み取る磁気センサとで構成さ
れる。かかる磁気センサとしては、磁気式エンコーダス
ケールの磁極の極性や、磁界の強さに応じた電気信号を
出力する磁気抵抗素子(MR素子)やホール素子などの
磁電変換素子が通常採用される。
A linear motor usually employs a linear encoder for position detection, speed detection, position control, speed control, etc. of a movable element or a driven body such as an article or member connected to and driven by the movable element. Is done. Linear encoders are broadly classified into magnetic encoders and optical encoders. A magnetic encoder scale in which N magnetic poles and S magnetic poles are alternately arranged in the mover moving direction at a pitch finer than the magnetic pole pitch in the field magnet;
And a magnetic sensor for reading magnetic information of the scale. As such a magnetic sensor, a magneto-electric conversion element such as a magneto-resistive element (MR element) or a Hall element that outputs an electric signal according to the polarity of the magnetic pole of the magnetic encoder scale or the strength of the magnetic field is usually employed.

【0005】また、光学式エンコーダは光学的に異なる
二つの面を可動子移動方向に交互に並べた光学式エンコ
ーダスケールと、該スケールの光学的情報を読み取る光
センサとで構成される。かかる光センサとして、光学式
スケールからの光の光量に応じた電気信号を出力するこ
とができるフォトダイオードやフォトトランジスタ等の
光電変換素子や、エンコーダスケールに向けて光を照射
する発光ダイオード(LED)等の発光素子と光電変換
素子が組み合わされた、換言すればワンパッケージ化さ
れた光センサが採用されることもある。
The optical encoder comprises an optical encoder scale in which two optically different surfaces are alternately arranged in the moving direction of the mover, and an optical sensor for reading optical information of the scale. As such an optical sensor, a photoelectric conversion element such as a photodiode or a phototransistor capable of outputting an electric signal according to the amount of light from an optical scale, or a light emitting diode (LED) that irradiates light to an encoder scale In some cases, a light sensor in which a light emitting element such as described above and a photoelectric conversion element are combined, in other words, a one-packaged optical sensor is used.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに界磁マグネットの磁極の変化を検出するセンサや、
エンコーダスケール情報を読み取るセンサは、熱の影響
を受けると劣化したり、検出精度が低下するものが多い
にもかかわらず、従来は、電機子コイルからの発熱を何
ら考慮することなく、可動子に設けられ、使用されてい
る。
However, a sensor for detecting a change in the magnetic pole of the field magnet as described above,
Despite the fact that many sensors that read the encoder scale information deteriorate when exposed to heat or have reduced detection accuracy, the sensor that reads the encoder scale information without any consideration of the heat generated by the armature coil Provided and used.

【0007】例えば界磁マグネット用センサや磁気式エ
ンコーダ用センサとして採用できる磁電変換素子の一種
であるホール素子は、代表例としてInSb(インジウ
ムアンチモン)系ホール素子、InAs(インジウムひ
素)系ホール素子、GaAs(ガリウムひ素)系ホール
素子を挙げることができるが、これらは大小の差はある
ものの周囲温度によりその出力が変動する。特に、In
Sb系ホール素子は、出力信号(ホール電圧)が大きい
反面温度特性が悪く、温度によって出力電圧が大きく変
動する。また、磁電変換素子の一種であるMR素子は温
度が上昇すると出力が低下する特性がある。
For example, a Hall element, which is a kind of magnetoelectric conversion element that can be employed as a sensor for a field magnet or a sensor for a magnetic encoder, is typically an InSb (indium antimony) -based Hall element, an InAs (indium arsenide) -based Hall element, A GaAs (gallium arsenide) -based Hall element can be cited, but the output varies depending on the ambient temperature, although there is a difference in size. In particular, In
The Sb-based Hall element has a large output signal (Hall voltage), but has poor temperature characteristics, and the output voltage greatly varies depending on the temperature. Further, an MR element, which is a type of magnetoelectric conversion element, has a characteristic that the output decreases as the temperature increases.

【0008】また、既述の光学式エンコーダに採用され
る光センサにしても、温度の影響を受けると、劣化した
り、検出精度が低下したりすることがある。このように
界磁マグネット用のセンサやエンコーダ用のセンサが温
度により劣化したり、その出力が変動するようなことが
あると、検出すべき情報を精度良く検出できなかった
り、そのためにリニアモータが精度よく円滑に作動しな
かったり、誤動作したりする等の不都合が生じることに
なる。
Also, the optical sensor employed in the above-described optical encoder may be deteriorated or deteriorated in detection accuracy under the influence of temperature. If the sensor for the field magnet or the sensor for the encoder deteriorates due to temperature or the output fluctuates in this manner, the information to be detected cannot be detected with high accuracy. Inconveniences such as malfunctioning or malfunctioning occur with high accuracy.

【0009】にもかかわらず、これまでのリニアモータ
では、これらセンサが電機子コイルからの発熱の影響を
考慮せずに設けられており、界磁マグネット用のセン
サ、エンコーダ用のセンサのいずれか一方がたまたま電
機子コイルからの熱の影響の少ない位置(例えば固定子
の下方位置)に設けられることがあったとしても他方の
センサは該熱の影響を受けやすい位置(例えば固定子の
上方位置)に設けられていた。このようにいずれかのセ
ンサが電機子コイルからの熱の影響を受けやすい位置に
設けられ、その結果そのセンサによる情報検出精度が低
下すると、リニアモータ全体としては、やはり精度よく
円滑に作動しなかったり、誤動作したりする等の不都合
が生じる。このような問題は、ムービングコイル型リニ
アモータの中でも、特に、可動子における電機子コイル
が固定子に外嵌している、いわゆるシャフト型リニアモ
ータにおいて発生しやすい。
Nevertheless, in the conventional linear motor, these sensors are provided without considering the influence of heat generated from the armature coil, and either the sensor for the field magnet or the sensor for the encoder is provided. Even if one happens to be provided at a position where the influence of heat from the armature coil is small (for example, a position below the stator), the other sensor is at a position susceptible to the heat (for example, a position above the stator). ). As described above, when any of the sensors is provided at a position susceptible to the influence of heat from the armature coil, and as a result, the information detection accuracy of the sensor decreases, the linear motor as a whole still does not operate accurately and smoothly. And inconveniences such as malfunction. Such a problem is apt to occur in a so-called shaft type linear motor in which a moving coil type linear motor has an armature coil of a mover which is fitted around a stator.

【0010】また、ムービングコイル型のリニアモー
タ、なかでもシャフト型リニアモータでは、電機子コイ
ルからの発熱に関係する上記問題に加えて次のような問
題もある。一つは、磁気式エンコーダが採用され、その
磁気式エンコーダスケールが界磁マグネットとともに固
定子に形成される場合があるが、磁気式エンコーダスケ
ールの磁力は通常、界磁マグネットの磁力より弱く、磁
気式エンコーダスケールが界磁マグネットから磁気的干
渉を受けたり、該エンコーダスケルの磁気情報を読み取
るセンサも界磁マグネットの磁気の影響を受けるなどし
て、該センサによるエンコーダスケールの磁気情報の検
出精度が低下したり、検出誤差が生じたりすることがあ
る。このようにエンコーダスケール情報の検出に支障が
生じると、リニアモータが精度よく円滑に作動しなかっ
たり、誤動作したりする等の不都合が生じることにな
る。
The moving coil type linear motor, especially the shaft type linear motor, has the following problem in addition to the above-mentioned problem relating to heat generation from the armature coil. One is that a magnetic encoder is adopted, and the magnetic encoder scale may be formed on the stator together with the field magnet, but the magnetic force of the magnetic encoder scale is usually weaker than the magnetic force of the field magnet, Since the type encoder scale receives magnetic interference from the field magnet, and the sensor that reads the magnetic information of the encoder skeleton also receives the influence of the magnetism of the field magnet, the detection accuracy of the encoder scale magnetic information by the sensor is reduced. In some cases, the detection error may occur. If the detection of the encoder scale information is hindered in this way, inconveniences such as the linear motor not operating accurately and smoothly or malfunctioning may occur.

【0011】もう一つは、リニアモータの可動子が所定
方向に直線駆動されるべき被駆動体の該駆動方向を横切
る方向における片側端部に接続される状態で該被駆動体
を駆動する場合には、可動子がその移動方向及び該方向
を横切る方向に延びる被駆動体の幅方向の双方に対し直
交する軸線まわりに揺動するいわゆるヨーイング動作を
起こしやすいが、このヨーイング動作が発生すると、可
動子に搭載されている界磁マグネット用センサの界磁マ
グネットとの位置関係やエンコーダ用センサのエンター
ダスケールとの位置関係がずれたり、不安定になったり
して、そのためにリニアモータが精度よく円滑に作動し
なかったり、誤動作したりする等の不都合が生じること
になる。
Another is a case where the driven element is driven in a state where the movable element of the linear motor is connected to one end of the driven element to be linearly driven in a predetermined direction in a direction crossing the driving direction. The so-called yawing operation in which the mover swings around an axis orthogonal to both the moving direction and the width direction of the driven body extending in the direction transverse to the moving direction is likely to occur, but when this yawing operation occurs, The positional relationship between the field magnet sensor mounted on the mover and the field magnet, or the encoder sensor's positional relationship with the enterr scale may shift or become unstable, causing the linear motor to lose accuracy. Inconveniences such as poor operation or malfunction may occur.

【0012】そこで本発明は、N極の磁極とS極の磁極
とが交互に並ぶ界磁マグネットを有し、一定方向に延び
る固定子と、前記固定子に外嵌して前記界磁マグネット
に臨む電機子コイルを有し、前記固定子に沿って往復移
動可能の可動子とを備えたリニアモータであって、精度
よく円滑に作動する信頼性の高いリニアモータを提供す
ることを課題とする。
Accordingly, the present invention has a field magnet in which N magnetic poles and S magnetic poles are alternately arranged, and a stator extending in a certain direction, and a field magnet which is fitted to the stator and is fitted to the field magnet. An object of the present invention is to provide a linear motor having an armature coil facing the movable element and a movable element capable of reciprocating along the stator, and a highly reliable linear motor that operates accurately and smoothly. .

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
本発明は、N極の磁極とS極の磁極とが交互に並ぶ界磁
マグネットを有し、一定方向に延びる固定子と、前記固
定子に外嵌して前記界磁マグネットに臨む電機子コイル
を有し、前記固定子に沿って往復移動可能の可動子と、
前記可動子に設けられ、前記界磁マグネットの磁極の変
化を検出する第1の検出センサと、前記可動子の往復移
動方向に設けられたエンコーダスケールと、前記可動子
に設けられ、前記エンコーダスケールの情報を読み取る
第2の検出センサとを備えており、前記第1及び第2の
検出センサは前記固定子の周囲領域のうち該固定子の上
面上方領域を除く領域に設けられていることを特徴とす
るリニアモータを提供する。
According to the present invention, there is provided a stator having a field magnet in which N magnetic poles and S magnetic poles are alternately arranged and extending in a predetermined direction; An armature coil externally fitted to the armature and facing the field magnet, and a movable element capable of reciprocating along the stator;
A first detection sensor provided on the mover for detecting a change in magnetic pole of the field magnet; an encoder scale provided in a reciprocating direction of the mover; and an encoder scale provided on the mover. And a second detection sensor for reading the information of the first and second detection sensors, wherein the first and second detection sensors are provided in a region around the stator except a region above the upper surface of the stator. A linear motor is provided.

【0014】このリニアモータは、従来のムービングコ
イル型のリニアモータと同様に、電機子コイルに通電す
ると、電機子コイルに流れる電流と界磁マグネットが形
成する磁界との相互作用により可動子推力が発生し、該
可動子が固定子に沿って駆動される。電機子コイルへの
通電制御は、前記第1の検出センサにより検出される界
磁マグネットの磁極の極性及び(又は)磁界の強さとい
った情報と、前記第2の検出センサにより検出されるエ
ンコーダスケールからの情報とに基づいてなされる。
In this linear motor, similarly to a conventional moving coil type linear motor, when an armature coil is energized, the mover thrust is generated by the interaction between the current flowing through the armature coil and the magnetic field formed by the field magnet. Occurs and the mover is driven along the stator. The energization control of the armature coil is performed by controlling the information such as the polarity of the magnetic pole of the field magnet and / or the strength of the magnetic field detected by the first detection sensor and the encoder scale detected by the second detection sensor. Based on information from

【0015】そしてこのリニアモータでは、界磁マグネ
ットの磁極の変化を検出する第1の検出センサ及び前記
エンコーダスケールの情報を読み取る第2の検出センサ
はいずれも、固定子に外嵌する電機子コイルからの発熱
が最も流動していく領域である固定子の上面上方領域を
除く領域に設けられている。従って、第1及び第2の検
出センサは、それだけ電機子コイルからの熱の影響を受
けがたく、情報検出精度が所定のものに維持され、それ
だけリニアモータは精度よく円滑に作動し、信頼性の高
いものになっている。
In this linear motor, the first detection sensor for detecting a change in the magnetic pole of the field magnet and the second detection sensor for reading the information of the encoder scale are both armature coils fitted on the stator. This is provided in a region excluding a region above the upper surface of the stator, which is a region in which heat generated from the heater flows most. Therefore, the first and second detection sensors are less affected by the heat from the armature coil, the information detection accuracy is maintained at a predetermined level, and the linear motor operates accurately and smoothly, and the reliability is improved. Has become high.

【0016】前記第1及び第2の検出センサは、前記電
機子コイルからの熱の影響を一層確実に避けるため、こ
れらを電機子コイルの外側に設けることができる。前記
第1の検出センサとしては、例えばホール素子や磁気抵
抗素子等の磁電変換素子を挙げることができる。界磁マ
グネット用磁電変換素子の出力する電気信号は、電機子
コイルの通電制御に利用できる。界磁マグネット用磁電
変換素子及び二値化処理をすることができる界磁マグネ
ット信号処理回路を組み合わせたホールICを採用して
もよい。
The first and second detection sensors can be provided outside the armature coil in order to more reliably avoid the influence of heat from the armature coil. Examples of the first detection sensor include a magnetoelectric conversion element such as a Hall element and a magnetoresistance element. The electric signal output from the magnetoelectric conversion element for the field magnet can be used for controlling the energization of the armature coil. A Hall IC in which a field magnet magnetism conversion element and a field magnet signal processing circuit capable of performing binarization processing may be employed.

【0017】前記エンコーダスケールは磁気式エンコー
ダスケールでも、光学式エンコーダスケールでもよい。
磁気式エンコーダスケールを用するときは、前記第2の
検出センサは該エンコーダスケールの磁気情報を読み取
る磁気センサとすればよく、光学式エンコーダスケール
を採用するときは、前記第2の検出センサは該エンコー
ダスケールの光学情報を読み取る光センサとすればよ
い。
The encoder scale may be a magnetic encoder scale or an optical encoder scale.
When a magnetic encoder scale is used, the second detection sensor may be a magnetic sensor that reads magnetic information of the encoder scale. When an optical encoder scale is used, the second detection sensor is What is necessary is just to be an optical sensor which reads the optical information of an encoder scale.

【0018】かかる磁気式エンコーダ用の磁気センサと
しては、例えば磁気抵抗素子(MR素子)やホール素子
などの磁電変換素子を採用できる。また、光学式エンコ
ーダ用の光センサとしては、光学式エンコーダスケール
からの光の光量に応じた電気信号を出力することができ
るフォトダイオードやフォトトランジスタ等の光電変換
素子や、エンコーダスケールに向けて光を照射する発光
ダイオード(LED)等の発光素子と光電変換素子が組
み合わされた、換言すればワンパッケージ化された光セ
ンサなどを採用できる。
As a magnetic sensor for such a magnetic encoder, for example, a magneto-electric conversion element such as a magneto-resistance element (MR element) or a Hall element can be employed. In addition, as an optical sensor for an optical encoder, a photoelectric conversion element such as a photodiode or a phototransistor, which can output an electric signal corresponding to the amount of light from the optical encoder scale, or an optical sensor for the encoder scale. A light emitting element such as a light emitting diode (LED) for irradiating light and a photoelectric conversion element are combined, in other words, a one-packaged optical sensor or the like can be adopted.

【0019】エンコーダとして磁気式エンコーダスケー
ルとその磁気情報を読み取る磁気センサを含む磁気式エ
ンコーダを採用する場合、該磁気センサは熱の影響を受
けやすいので、第2の検出センサとしての該磁気センサ
を電機子コイルからの熱の影響を受けにくい位置に配置
する前記リニアモータ構成は特に好ましいものである。
When a magnetic encoder including a magnetic encoder scale and a magnetic sensor for reading its magnetic information is employed as the encoder, the magnetic sensor is easily affected by heat. The linear motor configuration arranged at a position that is hardly affected by heat from the armature coil is particularly preferable.

【0020】磁気式エンコーダを採用し、且つ、磁気式
エンコーダスケールを前記固定子に設けるときには、界
磁マグネットの磁極の変化を検出する前記第1の検出セ
ンサと第2の検出センサとしての該磁気センサとはでき
るだけ離して設けることが好ましい。何故なら、そうす
ることで、界磁マグネットからの磁気式エンコーダスケ
ールや磁気センサへの磁気的干渉をできるだけ少なくす
るように該界磁マグネット及び磁気式エンコーダスケー
ルを設け易くなるからである。
When a magnetic encoder is employed and a magnetic encoder scale is provided on the stator, the first detection sensor and the second detection sensor for detecting a change in the magnetic pole of the field magnet are used. It is preferable to provide the sensor as far as possible from the sensor. This is because, by doing so, the field magnet and the magnetic encoder scale can be easily provided so as to minimize magnetic interference from the field magnet to the magnetic encoder scale and the magnetic sensor.

【0021】磁気式エンコーダを採用し、且つ、磁気式
エンコーダスケールを前記固定子に設ける場合の第1検
出センサ及び第2検出センサ(磁気センサ)並びに磁気
式エンコーダスケールの配置位置として次のものを代表
例として挙げることができる。 前記第1のセンサは前記固定子の片方の横面側から
前記界磁マグネットに臨んでおり、前記エンコーダスケ
ールは前記固定子の反対側の横面側において該固定子に
設けられており、前記第2の検出センサは該固定子の該
反対側の横面側から該エンコーダスケールに臨んでい
る。 前記第1のセンサは前記固定子の下面側から前記界
磁マグネットに臨んでおり、前記エンコーダスケールは
前記固定子の横面側において該固定子に設けられてお
り、前記第2の検出センサは該固定子の横面側から該エ
ンコーダスケールに臨んでいる。 前記エンコーダスケールは前記固定子の下面側にお
いて該固定子に設けられており、前記第1のセンサは前
記固定子の横面側から前記界磁マグネットに臨んでお
り、前記第2の検出センサは該固定子の下面側から前記
エンコーダスケールに臨んでいる。
When a magnetic encoder is employed and a magnetic encoder scale is provided on the stator, the first and second detection sensors (magnetic sensors) and the positions of the magnetic encoder scale are as follows. It can be mentioned as a representative example. The first sensor faces the field magnet from one side of the stator, and the encoder scale is provided on the stator on a side opposite to the stator. The second detection sensor faces the encoder scale from the opposite side surface of the stator. The first sensor faces the field magnet from the lower surface side of the stator, the encoder scale is provided on the stator on the side surface of the stator, and the second detection sensor is It faces the encoder scale from the side of the stator. The encoder scale is provided on the stator on a lower surface side of the stator, the first sensor faces the field magnet from a lateral surface side of the stator, and the second detection sensor is The lower surface of the stator faces the encoder scale.

【0022】なお、前記界磁マグネットや磁気式エンコ
ーダスケールは固定子本体にあとから付設されているも
のでもよいが、着磁可能の固定子本体に着磁して形成し
てもよい。後者の場合、界磁マグネットはN極の磁極と
S極の磁極とが交互に並ぶように着磁可能の固定子本体
に着磁してなる駆動用着磁部により得ることができる。
また、磁気式エンコーダスケールは、N極の磁極とS極
の磁極を前記界磁マグネットにおける磁極ピッチより細
かいピッチで、着磁可能の固定子本体に着磁してなる位
置検出用着磁部により得ることができる。
The field magnet and the magnetic encoder scale may be attached to the stator body later, or may be formed by magnetizing the magnetizable stator body. In the latter case, the field magnet can be obtained by a driving magnetized portion which is magnetized on a stator main body which can be magnetized such that N-poles and S-poles are alternately arranged.
Further, the magnetic encoder scale is provided with a position detecting magnetizing portion formed by magnetizing the N pole and the S pole with a pitch finer than the magnetic pole pitch of the field magnet on the magnetizable stator body. Obtainable.

【0023】ところで前記第1の検出センサの出力はで
きるだけ大きい方が、電機子コイルに対し正確な通電制
御を行ううえで好ましい。この観点から、磁気式エンコ
ーダを採用し、且つ、磁気式エンコーダスケールを前記
固定子に設ける場合、次のリニアモータを推奨すること
ができる。すなわち、前記界磁マグネットが、前記固定
子の周囲領域のうち該固定子の上面上方領域を除く領域
に該界磁マグネットによる磁界の強さが最大となる領域
と最小となる領域が得られるように形成されており、前
記第1の検出センサは該磁界強さが最大となる領域で該
界磁マグネットに臨むように前記可動子に設けられてお
り、前記磁気式エンコーダスケールは、該磁界強さが最
小となる領域に位置するように前記固定子に形成されて
おり、前記第2の検出センサは該エンコーダスケールに
臨むように前記可動子に設けられているリニアモータで
ある。
By the way, it is preferable that the output of the first detection sensor is as large as possible in order to perform accurate energization control for the armature coil. From this viewpoint, when a magnetic encoder is employed and a magnetic encoder scale is provided on the stator, the following linear motor can be recommended. That is, the field magnet has a region where the strength of the magnetic field by the field magnet is maximum and a region where the magnetic field strength is minimum in a region around the stator other than a region above the upper surface of the stator. The first detection sensor is provided on the mover so as to face the field magnet in a region where the magnetic field strength is maximum, and the magnetic encoder scale is provided with the magnetic field strength. And the second detection sensor is a linear motor provided on the mover so as to face the encoder scale.

【0024】このようなリニアモータのさらに具体例と
して次のa)及びb)のリニアモータを例示できる。 a)前記第1のセンサは前記固定子の片方の横面側から
前記界磁マグネットに臨んでおり、前記磁気式エンコー
ダスケールは前記固定子の反対側の横面側において該固
定子に設けられており、前記第2の検出センサは該固定
子の該反対側の横面側から該エンコーダスケールに臨ん
でおり、前記界磁マグネットは、前記固定子の前記片方
の横面側で最大の磁界強さが得られるとともに前記反対
側の横面側で最小の磁界強さが得られるように形成され
ているリニアモータ。 b)前記磁気式エンコーダスケールは前記固定子の下面
側において該固定子に設けられており、前記第1のセン
サは前記固定子の横面側から前記界磁マグネットに臨ん
でおり、前記第2の検出センサは該固定子の下面側から
前記エンコーダスケールに臨んでおり、前記界磁マグネ
ットは、前記固定子の両横面側のそれぞれで最大(略最
大でもよい)の磁界強さが得られるとともに前記下面側
で最小の磁界強さが得られるように形成されているリニ
アモータ。
Further specific examples of such a linear motor include the following linear motors a) and b). a) The first sensor faces the field magnet from one side of the stator, and the magnetic encoder scale is provided on the stator on a side opposite to the stator. And the second detection sensor faces the encoder scale from the opposite side surface of the stator, and the field magnet controls a maximum magnetic field on the one side surface of the stator. A linear motor that is formed so as to obtain strength and to obtain a minimum magnetic field strength on the opposite side surface. b) The magnetic encoder scale is provided on the stator on the lower surface side of the stator, the first sensor faces the field magnet from the lateral surface side of the stator, and the second sensor Of the stator faces the encoder scale from the lower surface side of the stator, and the field magnet obtains the maximum (substantially maximum) magnetic field strength on each of the two lateral surfaces of the stator. And a linear motor formed so as to obtain a minimum magnetic field strength on the lower surface side.

【0025】なお、第1の検出センサは磁界強さが最大
となる領域で該界磁マグネットに臨んでいなくてもよい
というのであれば、次のc)、d)のリニアモータでも
よい。 c)前記界磁マグネットは、前記固定子の片方の横面側
で最大の磁界強さが得られるとともに反対側の横面側で
最小の磁界強さが得られるように形成されており、前記
磁気式エンコーダスケールは該固定子の前記反対側の横
面側において該固定子に形成されており、前記第1の検
出センサは前記固定子の下方から前記界磁マグネットに
臨んでおり、前記第2の検出センサは前記反対側の横面
側で前記磁気式エンコーダスケールに臨んでいるリニア
モータ。 d)前記界磁マグネットは、前記固定子の上面側で最大
の磁界強さが得られるとともに下面側で最小の磁界強さ
が得られるように形成されており、前記磁気式エンコー
ダスケールは該固定子の下面側で該固定子に形成されて
おり、前記第1の検出センサは前記固定子の横面側から
前記界磁マグネットに臨んでおり、前記第2の検出セン
サは前記固定子の下方から前記磁気式エンコーダスケー
ルに臨んでいるリニアモータ。
Note that the first detection sensor may be a linear motor of the following c) and d) if it is not necessary to face the field magnet in a region where the magnetic field strength is maximum. c) The field magnet is formed such that a maximum magnetic field strength is obtained on one side of the stator and a minimum magnetic field strength is obtained on the opposite side. A magnetic encoder scale is formed on the stator on the opposite side surface of the stator, and the first detection sensor faces the field magnet from below the stator, and A linear motor in which the detection sensor of 2 faces the magnetic encoder scale on the opposite side surface. d) The field magnet is formed such that a maximum magnetic field strength is obtained on the upper surface side of the stator and a minimum magnetic field strength is obtained on the lower surface side, and the magnetic encoder scale is fixed. The first detection sensor is formed on the lower surface side of the stator, the first detection sensor faces the field magnet from the side surface of the stator, and the second detection sensor is located below the stator. A linear motor facing the magnetic encoder scale.

【0026】このようなc)やd)のリニアモータで
も、前記a)やb)のリニアモータと同様に、第1の検
出センサ及び第2の検出センサは、電機子コイルからの
熱の影響を受けにくい位置に配置されており、従ってそ
れだけリニアモータの動作信頼性が向上している。ま
た、前記a)、b)、c)及びd)のリニアモータは、
磁気式エンコーダスケールが、界磁マグネットによる磁
界の強さが最小となる部位で固定子に設けられているの
で、該磁気式エンコーダスケールや、これに臨む第2の
検出センサへの界磁マグネットからの磁気的影響が抑制
されており、従ってそれだけ精度よく円滑に作動する。
In the linear motors c) and d), as in the linear motors a) and b), the first detection sensor and the second detection sensor are not affected by heat from the armature coil. Therefore, the linear motor is located at a position where the linear motor is hardly affected, and accordingly, the operational reliability of the linear motor is improved. Further, the linear motors a), b), c) and d) are
Since the magnetic encoder scale is provided on the stator at a position where the strength of the magnetic field by the field magnet is minimized, the magnetic encoder scale and the field magnet to the second detection sensor facing this are used. Magnetic effect is suppressed, and accordingly, the operation can be performed accurately and smoothly.

【0027】なお、前記界磁マグネットによる最小の磁
界強さの部分は、磁束分布が無くてもよい。例えば、磁
気式エンコーダを採用し、且つ、磁気式エンコーダスケ
ールを前記固定子に設ける場合、磁気式エンコーダスケ
ールへの界磁マグネットからの磁気的干渉を抑制するた
めに、界磁マグネットと磁気式エンコーダスケールは両
者が接触しないように互いに離反させて設けてもよい。
The portion having the minimum magnetic field strength by the field magnet may not have a magnetic flux distribution. For example, when a magnetic encoder is employed and a magnetic encoder scale is provided on the stator, the field magnet and the magnetic encoder are used to suppress magnetic interference from the field magnet to the magnetic encoder scale. The scales may be provided apart from each other so that they do not contact each other.

【0028】本発明のリニアモータは、可動子に前記第
1及び第2の検出センサを搭載できる基板を設けてもよ
い。そのようなリニアモータの例を次に挙げる。 (1)前記可動子は前記電機子コイルの横外側に配置さ
れた基板を備えており、前記第1の検出センサは該基板
に搭載されて該電機子コイル横外側から前記界磁マグネ
ットに臨んでおり、前記第2の検出センサも該基板に搭
載されており、前記エンコーダスケールは該基板上の第
2の検出センサに臨む位置に設置されているリニアモー
タ。
In the linear motor according to the present invention, the movable element may be provided with a substrate on which the first and second detection sensors can be mounted. The following is an example of such a linear motor. (1) The mover includes a substrate disposed outside the armature coil, and the first detection sensor is mounted on the substrate and faces the field magnet from outside the armature coil. A linear motor, wherein the second detection sensor is also mounted on the substrate, and the encoder scale is provided on the substrate at a position facing the second detection sensor.

【0029】この場合、該基板には前記電機子コイルに
通電して前記可動子を駆動するための1又は2以上の回
路部を設けてもよい。但し、第1及び第2のセンサがそ
れら回路部の発熱の影響を受けにくいように、該第1及
び第2の検出センサは該回路部の上方領域を除く領域で
該基板に設けることが好ましい。 (2)前記可動子は前記電機子コイルの下方に配置され
た基板を備えており、前記第1の検出センサは該基板に
搭載されて該電機子コイル下方から前記界磁マグネット
に臨んでおり、前記第2の検出センサも該基板に搭載さ
れており、前記エンコーダスケールは該基板上の第2の
検出センサに臨む位置に配置されているリニアモータ。
In this case, the substrate may be provided with one or more circuit units for driving the armature coil by energizing the armature coil. However, it is preferable that the first and second detection sensors be provided on the substrate in an area excluding an area above the circuit section so that the first and second sensors are not easily affected by heat generated by the circuit section. . (2) The mover includes a substrate disposed below the armature coil, and the first detection sensor is mounted on the substrate and faces the field magnet from below the armature coil. A linear motor, wherein the second detection sensor is also mounted on the substrate, and the encoder scale is disposed on the substrate at a position facing the second detection sensor.

【0030】前記(1)、(2)のいずれのリニアモー
タにおいても、エンコーダスケールは前記固定子外の位
置に設けることができる。前記(1)、(2)のいずれ
のリニアモータにおいても、前記エンコーダスケールが
磁気式エンコーダスケールであり、前記第2の検出セン
サが該エンコーダスケールの磁気情報を読み取る磁気セ
ンサであっても、或いは前記エンコーダスケールが光学
式エンコーダスケールであり、前記第2の検出センサが
該エンコーダスケールの光学情報を読み取る光センサで
あってもよい。
In each of the linear motors (1) and (2), the encoder scale can be provided at a position outside the stator. In any of the linear motors (1) and (2), the encoder scale may be a magnetic encoder scale, and the second detection sensor may be a magnetic sensor that reads magnetic information of the encoder scale, or The encoder scale may be an optical encoder scale, and the second detection sensor may be an optical sensor that reads optical information of the encoder scale.

【0031】前記(1)、(2)のリニアモータでも、
第1及び第2の検出センサは電機子コイルからの熱の影
響を受けにくい位置に配置されている。なお、前記基板
はこれに電機子コイルを構成するコイル群を所定結線状
態に結線するための回路パターンを形成しておき、該回
路パターンを利用してコイル群を結線すること等にも利
用できる。
In the linear motors (1) and (2),
The first and second detection sensors are arranged at positions that are hardly affected by heat from the armature coil. In addition, the circuit board may be formed with a circuit pattern for connecting a coil group constituting an armature coil in a predetermined connection state, and the circuit pattern may be used to connect the coil group. .

【0032】前記いずれのリニアモータも、被駆動体を
所定方向に直線駆動することに利用できる。被駆動体を
駆動するにあたって、前記可動子が所定方向に直線駆動
されるべき被駆動体の該駆動方向を横切る方向における
片側端部に接続されるときには、前記第1及び第2の検
出センサのうち少なくとも第2の検出センサを、前記被
駆動体駆動時における前記可動子のヨーイング動作の中
心を通る該可動子の前記所定方向に垂直な断面を含む面
又はその近傍に配置してもよい。このように第2の検出
センサを可動子ヨーイング動作の中心を通る可動子断面
を含む面又はその近傍に配置することで、可動子がヨー
イング動作しても、第2検出センサと通常細幅で界磁マ
グネットに比べて磁力の弱いエンコーダスケールとの位
置関係がずれたり、不安定になることが抑制され、それ
だけ精度良く円滑にリニアモータを制御下に駆動するこ
とができる。
Any of the above linear motors can be used for linearly driving a driven body in a predetermined direction. In driving the driven body, when the mover is connected to one end of the driven body to be linearly driven in a predetermined direction in a direction crossing the driving direction, the movable element is connected to one end of the first and second detection sensors. Among them, at least the second detection sensor may be arranged on a surface including a cross section perpendicular to the predetermined direction of the movable element passing through the center of the yawing operation of the movable element when the driven body is driven, or in the vicinity thereof. By arranging the second detection sensor on the surface including the cross section of the mover passing through the center of the mover yawing operation or in the vicinity thereof, even if the mover performs the yaw operation, the second detection sensor is normally narrower than the second detection sensor. The positional relationship with the encoder scale having a weaker magnetic force than that of the field magnet is prevented from shifting or becoming unstable, so that the linear motor can be driven accurately and smoothly under the control.

【0033】なお、第1の検出センサについても、少な
くとも一つをかかる断面を含む面又はその近傍に配置す
れば、一層精度良く円滑にリニアモータを制御下に駆動
することができる。かかる片側駆動される被駆動体とし
て、画像読み取り装置における原稿画像読み取りのため
の光学部品を搭載したスライダを代表例として挙げるこ
とができる。
If at least one of the first detection sensors is arranged on or near the surface including such a cross section, the linear motor can be driven more accurately and smoothly under control. A typical example of such a driven body driven on one side is a slider on which an optical component for reading a document image in an image reading device is mounted.

【0034】[0034]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図1から図3に本発明に係るリニ
アモータを搭載した画像読み取り装置の一例を示す。図
1は、該装置の概略平面図である。図2は、図1に示す
X−X線に沿う概略断面図である。図3は、図1に示す
Y−Y線に沿う概略断面図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 3 show an example of an image reading apparatus equipped with the linear motor according to the present invention. FIG. 1 is a schematic plan view of the device. FIG. 2 is a schematic sectional view taken along line XX shown in FIG. FIG. 3 is a schematic sectional view taken along line YY shown in FIG.

【0035】図1から図3に示す画像読み取り装置にお
いては、詳しくは後述するが、光学部品を搭載する二つ
のスライダの駆動に、それぞれ本発明に係るリニアモー
タが利用されている。この画像読み取り装置は、原稿を
載置するための透明原稿台ガラスGLを装置上部に備え
ている。原稿台ガラスGLの上部には開閉可能にカバー
CVが設けられている。なお、図1においては、カバー
CVは図示が省略されている。原稿台ガラスGLの下部
には、原稿台ガラスGL上に載置される原稿を光学的に
走査するために、原稿台ガラスGLに平行に移動するこ
とができ、光学部品を搭載する2つのスライダSL1、
SL2が配置されている。
In the image reading apparatus shown in FIGS. 1 to 3, the linear motors according to the present invention are used to drive two sliders on which optical components are mounted, as will be described in detail later. This image reading device has a transparent platen glass GL for mounting a document on the upper portion of the device. A cover CV is provided on the upper part of the platen glass GL so as to be openable and closable. In FIG. 1, the cover CV is not shown. Below the platen glass GL, two sliders, which can move in parallel with the platen glass GL and carry optical components, in order to optically scan a document placed on the platen glass GL. SL1,
SL2 is arranged.

【0036】スライダSL1にはリニアモータLMaの
可動子2が連結されており、同様にスライダSL2には
リニアモータLMbの可動子2’が連結されている。こ
れらのリニアモータLMa、LMbは実質的に同じ構成
のリニアモータである。いずれの可動子2、2’も、ス
ライダSL1、SL2を移動させる方向である原稿台ガ
ラスGLに平行なシャフト部材10に外嵌しており、シ
ャフト部材10に沿って移動できる。シャフト部材10
は図示を省略した支持部材により支持されて定位置に配
置されており、さらに界磁マグネットが形成されてい
る。このようなシャフト部材10は、二つのリニアモー
タLMa、LMbの共通の固定子1を構成している。各
可動子2、2’は、固定子1に外嵌する電機子コイル2
1、21’を有している。リニアモータLMa、LMb
は、いわゆるムービングコイル型のリニアモータであ
る。
The slider 2 of the linear motor LMb is connected to the slider SL1. Similarly, the slider 2 'of the linear motor LMb is connected to the slider SL2. These linear motors LMa and LMb are linear motors having substantially the same configuration. Each of the movers 2 and 2 ′ is externally fitted to a shaft member 10 parallel to the original table glass GL in which the sliders SL1 and SL2 are moved, and can move along the shaft member 10. Shaft member 10
Are supported at a fixed position by being supported by a support member (not shown), and further have a field magnet. Such a shaft member 10 constitutes a common stator 1 of the two linear motors LMa, LMb. Each of the movers 2, 2 ′ has an armature coil 2 fitted externally to the stator 1.
1, 21 '. Linear motors LMa, LMb
Is a so-called moving coil type linear motor.

【0037】リニアモータLMaの電機子コイル21に
通電すると、コイル21に流れる電流と、シャフト部材
10に形成されている界磁マグネットの形成する磁界と
の相互作用によって、電機子コイル21を有する可動子
2を固定子1に沿って駆動することができる。同様に、
リニアモータLMbの電機子コイル21’に通電する
と、可動子2’を固定子1に沿って駆動することができ
る。
When the armature coil 21 of the linear motor LMa is energized, the electric current flowing through the coil 21 and the magnetic field formed by the field magnet formed on the shaft member 10 interact with the movable armature coil 21 having the armature coil 21. The child 2 can be driven along the stator 1. Similarly,
When the armature coil 21 'of the linear motor LMb is energized, the mover 2' can be driven along the stator 1.

【0038】スライダSL1には、光学部品として、原
稿台ガラスGL上に載置される原稿に光を照射するため
の照明ランプLPと、原稿からの反射光をスライダSL
2の方に導くための反射ミラーm1とが搭載されてい
る。照明ランプLPは、本例では蛍光灯である。スライ
ダSL1の可動子2が取り付けられている端部とは反対
側の端部には、ローラrが設けられている。ローラr
は、原稿台ガラスGL及び固定子1に平行に配置された
板状のガイド部材G上を転動できる。これらによって、
スライダSL1は、その姿勢を保ちつつ移動することが
できる。
The slider SL1 includes, as optical components, an illumination lamp LP for irradiating light on a document placed on the platen glass GL and a slider SL for reflecting light from the document.
And a reflection mirror m1 for guiding the light to the second direction. The illumination lamp LP is a fluorescent lamp in this example. A roller r is provided at the end of the slider SL1 opposite to the end to which the mover 2 is attached. Roller r
Can roll on a plate-like guide member G arranged in parallel with the original table glass GL and the stator 1. By these,
The slider SL1 can move while maintaining its posture.

【0039】スライダSL2には、光学部品として、ス
ライダSL1上の反射ミラーm1から導かれた画像光を
読み取りユニット8に導くための反射ミラーm2、m3
が搭載されている。スライダSL2も前記スライダSL
1と同様の位置にローラrを有し、姿勢を保ちつつ移動
することができる。読み取りユニット8は、スライダS
L2上の反射ミラーm3から導かれた画像光を結像する
ためのレンズ81や、該結像された画像光を読み取るた
めの撮像素子(CCD)82を有している。なお、この
ようなユニット8に代えて、ミラーm3からの光を画像
形成用の感光体に導く反射手段を設ける等により、アナ
ログ複写機に適用可能の画像読み取り装置とすることも
できる。
Reflector mirrors m2 and m3 for guiding image light guided from the reflective mirror m1 on the slider SL1 to the reading unit 8 are provided as optical components on the slider SL2.
Is installed. The slider SL2 is also the same as the slider SL.
1 has a roller r at the same position as that of the roller 1, and can move while maintaining the posture. The reading unit 8 includes a slider S
It has a lens 81 for forming an image of the image light guided from the reflection mirror m3 on L2, and an image pickup device (CCD) 82 for reading the formed image light. It should be noted that an image reading apparatus applicable to an analog copying machine can be provided by providing a reflecting means for guiding light from the mirror m3 to a photoconductor for image formation instead of the unit 8 as described above.

【0040】原稿台ガラスGL上の所定の位置に載置さ
れる原稿の画像を読み取るときには、スライダSL1上
の照明ランプLPを点灯させて、スライダSL1、SL
2をそれぞれに連結されたリニアモータLMa、LMb
によって、原稿台ガラスGLに平行に駆動して、原稿を
走査する。スライダSL1とスライダSL2とは、例え
ばこれらの速度比が2:1となるように駆動される。こ
のとき、照明ランプLPから照射され、原稿によって反
射された光はミラーm1、m2、m3によって、順次読
み取りユニット8に導かれる。読み取りユニット8にお
いては、原稿からの反射光が結像レンズ81によって、
CCD82上に結像され、CCD82によって原稿画像
が順次読みとられる。
When reading an image of a document placed at a predetermined position on the platen glass GL, the illumination lamp LP on the slider SL1 is turned on, and the sliders SL1, SL
2 are respectively connected to linear motors LMa and LMb.
Thus, the original is driven in parallel with the original platen glass GL to scan the original. The slider SL1 and the slider SL2 are driven so that, for example, their speed ratio is 2: 1. At this time, the light emitted from the illumination lamp LP and reflected by the document is sequentially guided to the reading unit 8 by the mirrors m1, m2, and m3. In the reading unit 8, the reflected light from the original document is
An image is formed on the CCD 82, and original images are sequentially read by the CCD 82.

【0041】次に、スライダSL1、SL2を駆動する
ために各スライダに連結されているリニアモータLM
a、LMbについて詳しく説明する。前述のように、こ
れらリニアモータは実質的に同じ構成のリニアモータで
あるので、以下においては、リニアモータLMaを例に
とって、これらのリニアモータについて説明する。図4
に、リニアモータLMaの、可動子部分を断面で示す概
略平面図を示す。図5に、リニアモータLMaの図4に
示すZ−Z線に沿う概略断面図を示す。
Next, a linear motor LM connected to each slider to drive the sliders SL1 and SL2.
a and LMb will be described in detail. As described above, since these linear motors are linear motors having substantially the same configuration, the following describes these linear motors by taking the linear motor LMa as an example. FIG.
2 is a schematic plan view showing a cross section of the mover portion of the linear motor LMa. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of the linear motor LMa taken along the line ZZ shown in FIG.

【0042】図4及び図5に示すリニアモータLMa
は、いわゆるシャフト型のリニアモータである。リニア
モータLMaは、前述のように界磁用のマグネットが形
成されている直線棒状のシャフト部材10と、これに外
嵌する電機子コイル21とを有している。リニアモータ
LMaは、界磁マグネットが形成されたシャフト部材1
0を、定位置に配置する固定子とし、電機子コイル21
を固定子に沿って移動させる可動子の主要部とする、い
わゆるムービングコイル型のリニアモータである。リニ
アモータLMaは、さらにシャフト部材10に形成され
た磁気式エンコーダスケール31を含んでいる。なお、
界磁マグネット11がそうであるように、このエンコー
ダスケール31もリニアモータLMa、LMbに共通の
ものである。
The linear motor LMa shown in FIGS.
Is a so-called shaft type linear motor. The linear motor LMa has the linear rod-shaped shaft member 10 on which the field magnet is formed as described above, and the armature coil 21 fitted on the shaft member 10. The linear motor LMa includes a shaft member 1 on which a field magnet is formed.
0 is a stator arranged at a fixed position, and the armature coils 21
Is a main part of the mover that moves along the stator, that is, a so-called moving coil type linear motor. The linear motor LMa further includes a magnetic encoder scale 31 formed on the shaft member 10. In addition,
Like the field magnet 11, this encoder scale 31 is also common to the linear motors LMa and LMb.

【0043】シャフト部材10は、機械加工可能且つ着
磁可能の材料(例えば、Fe−Cr−Co系金属、マン
ガンアルミニウム(MnAl))からなる。シャフト部
材10は断面が円形に形成されており、その表面は平滑
に加工形成されている。シャフト部材10は、その長手
方向に沿って図6に示すような等ピッチの好ましくは略
矩形の磁束分布となるように着磁されている。これによ
り、シャフト部材10には、その長手方向に沿ってN極
とS極の磁極が同じ磁極幅(固定子長手方向の長さ)P
m で交互に並んだ駆動用着磁部が形成されており、これ
が界磁マグネット11となっている。
The shaft member 10 is made of a machinable and magnetizable material (for example, Fe-Cr-Co-based metal, manganese aluminum (MnAl)). The cross section of the shaft member 10 is formed in a circular shape, and the surface thereof is formed into a smooth shape. The shaft member 10 is magnetized so as to have a preferably substantially rectangular magnetic flux distribution at an equal pitch along the longitudinal direction as shown in FIG. Thereby, the magnetic poles of the N pole and the S pole have the same magnetic pole width (length in the longitudinal direction of the stator) P along the longitudinal direction of the shaft member 10.
Drive magnetized portions alternately arranged at m are formed, and this is the field magnet 11.

【0044】また界磁マグネット11は、図7に示すよ
うに、固定子1の長手方向に垂直な断面でみると、該界
磁マグネットにより形成される磁界における磁束分布M
Bが固定子1の片方の横面側(図示の例ではスライダS
L1のある側)で最大となり、反対側の横面側(スライ
ダSL1とは反対側)で最小となるように、換言すれ
ば、固定子1の片方の横面側(図示の例ではスライダS
L1のある側)で最大の磁界強さが得られ、反対側の横
面側(スライダSL1とは反対側)で最小の磁界強さが
得られるように着磁形成されている。
As shown in FIG. 7, when viewed in a section perpendicular to the longitudinal direction of the stator 1, the field magnet 11 has a magnetic flux distribution M in a magnetic field formed by the field magnet.
B is one side surface of the stator 1 (in the illustrated example, the slider S
L1 is maximum on the side and the minimum is on the opposite side (the side opposite to the slider SL1), in other words, one side of the stator 1 (the slider S in the illustrated example).
The magnetic field is formed such that the maximum magnetic field strength is obtained on the side (L1 side) and the minimum magnetic field strength is obtained on the opposite lateral surface side (opposite to the slider SL1).

【0045】そして前記磁気式エンコーダスケール31
は、図4、図5、図7等に示すように、界磁マグネット
11の磁界の強さが最小となる固定子1の前記反対側の
横面側で固定子1上に、その長手方向に沿って形成され
ている。磁気式エンコーダスケール31は、N極の磁極
とS極の磁極を界磁マグネット11における磁極ピッチ
より細かい磁極ピッチで固定子1上に位置検出用着磁部
を設けることで形成してある。
The magnetic encoder scale 31
As shown in FIG. 4, FIG. 5, FIG. 7, etc., on the stator 1 on the opposite side of the stator 1 where the strength of the magnetic field of the field magnet 11 is minimum, Are formed along. The magnetic encoder scale 31 is formed by providing a magnetized portion for position detection on the stator 1 with the magnetic poles of N and S poles at a magnetic pole pitch smaller than the magnetic pole pitch of the field magnet 11.

【0046】図4に示すように、界磁マグネット11の
各磁極の固定子長手方向の幅Pm 、換言すれば、磁極ピ
ッチPm は、本例では30mmである。また磁気式エン
コーダスケールの磁極ピッチは本例では200μmであ
る。電機子コイル21は、本例では、U、V及びW相の
3つのコイルを1組とするコイル群を2組有しており、
第1組のコイル群、第2組のコイル群の順に、固定子長
手方向に配置されている。第1組のコイル群は、コイル
U1、LV1及びLW1からなり、この順に固定子長手方向
に配置されている。第2組のコイル群は、コイルLU2
V2及びLW2からなり、この順に固定子長手方向に配置
されている。
As shown in FIG. 4, the width P m of each magnetic pole of the field magnet 11 in the longitudinal direction of the stator, in other words, the magnetic pole pitch P m is 30 mm in this example. The magnetic pole pitch of the magnetic encoder scale is 200 μm in this example. In this example, the armature coil 21 has two sets of coil groups each including three coils of U, V, and W phases.
The first set of coil groups and the second set of coil groups are arranged in the stator longitudinal direction in this order. The first set of coil groups includes coils L U1 , L V1 and L W1 , and is arranged in this order in the longitudinal direction of the stator. The second group of coils is a coil L U2 ,
L V2 and L W2 are arranged in this order in the longitudinal direction of the stator.

【0047】いずれの組の各コイルもリング状であり、
固定子1に外嵌するように配置されている。これらコイ
ルは、それには限定されないが本例では、それぞれ磁極
ピッチPm の1/3の幅に形成されている。これらコイ
ルのうちいずれの隣合う二つのコイルも、それらの中心
位置が固定子長手方向にPm /3ずつずらして配置され
ている。電機子コイル21を構成するこれら各コイル
は、本例では、その外周面を接着剤によってコーティン
グするようにして固着されており、一体化されている。
Each coil of each set is ring-shaped,
It is arranged so as to fit on the stator 1. These coils are in but this embodiment is not limited to being formed to a width of 1/3 of the pole pitch P m respectively. Also two coils adjacent the one of these coils, their center positions are staggered by P m / 3 in the lengthwise direction of the stator. In the present embodiment, each of the coils constituting the armature coil 21 is fixed so that the outer peripheral surface thereof is coated with an adhesive, and is integrated.

【0048】電機子コイル21は、固定子1に外嵌し、
中空直方体状のフレーム22の中空部分に内蔵されてお
り、フレーム22の内周面に支持されている。電機子コ
イル21とフレーム22とは一体化している。フレーム
22には、その固定子長手方向における両端部に、固定
子1に外嵌し、摺動可能な軸受け221が設けられてお
り、かかる軸受け221によって、一体化された電機子
コイル21やフレーム22は固定子1に沿って滑らかに
移動できる。一体化された電機子コイル21とフレーム
22とは、リニアモータLMaの可動子2を構成してい
る。
The armature coil 21 is fitted around the stator 1
It is built in the hollow portion of the hollow rectangular frame 22 and is supported on the inner peripheral surface of the frame 22. The armature coil 21 and the frame 22 are integrated. The frame 22 is provided at both ends in the stator longitudinal direction with bearings 221 which are fitted to the stator 1 and are slidable. The armature coil 21 and the frame which are integrated by the bearings 221 are provided. 22 can move smoothly along the stator 1. The integrated armature coil 21 and frame 22 constitute the mover 2 of the linear motor LMa.

【0049】磁極の極性に応じた電気信号を出力するこ
とができる磁電変換素子の一種であるホール素子h1
2 、h3 が、電機子コイル21の各コイルと界磁マグ
ネット11の磁極との固定子長手方向における位置関係
を検出し、その位置と各コイルが対向する界磁マグネッ
ト11の磁極の極性とに応じてコイル通電を行うために
設けられている。
A Hall element h 1 , which is a kind of magnetoelectric conversion element capable of outputting an electric signal corresponding to the polarity of the magnetic pole,
h 2 and h 3 detect the positional relationship between the coils of the armature coil 21 and the magnetic poles of the field magnet 11 in the longitudinal direction of the stator, and the positions and the polarities of the magnetic poles of the field magnet 11 to which each coil faces. Is provided to energize the coil in accordance with the above.

【0050】各ホール素子は、図4、図5及び図7に示
すように、電機子コイル21の外側において、且つ、界
磁マグネット11の磁界強さが最大となる領域、すなわ
ち固定子1のスライダSL1側の横面側で界磁マグネッ
ト11に臨んでおり、フレーム22の内面に支持されて
いる。さらに説明すると、上記のように界磁マグネット
11に臨む位置であって、固定子長手方向における次の
位置に配置されている。すなわち、固定子1の長手方向
において、コイルLU1の中心位置から図4中右側にPm
/6ずらした位置にホール素子h1 が配置されている。
同様に、コイルLV1の中心位置から図4中右側にPm
6ずらした位置にホール素子h2 が配置されており、コ
イルLW1の中心位置から図4中右側にPm /6ずらした
位置にホール素子h3 が配置されている。
As shown in FIGS. 4, 5 and 7, each Hall element is located outside the armature coil 21 and in a region where the magnetic field strength of the field magnet 11 is maximum, that is, It faces the field magnet 11 on the side of the slider SL1 and is supported by the inner surface of the frame 22. More specifically, it is located at the position facing the field magnet 11 as described above and at the next position in the longitudinal direction of the stator. That, P in the longitudinal direction of the stator 1, the right side in FIG. 4 from the center of the coil L U1 m
/ 6 Hall elements h 1 to a position shifted is located.
Similarly, from the center position of the coil L V1 , P m /
There is disposed a Hall element h 2 to 6 shifted position, the Hall element h 3 at a position shifted P m / 6 on the right side in FIG. 4 are arranged from the center of the coil L W1.

【0051】なお上記各ホール素子は、それには限定さ
れないが、ここでは電機子コイル21外から界磁マグネ
ット11に臨んでいても出力信号を大きくとれるInS
b系ホール素子である。また、可動子2のフレーム22
には、電機子コイル21の外側において、且つ、エンコ
ーダスケール31に臨む位置に磁気センサ32が搭載さ
れている。本例では磁気センサ32は磁気抵抗素子の一
種であるMR素子である。
The above-mentioned Hall elements are not limited to these, but in this case, InS can provide a large output signal even when the Hall element faces the field magnet 11 from outside the armature coil 21.
This is a b-type Hall element. Also, the frame 22 of the mover 2
, A magnetic sensor 32 is mounted outside the armature coil 21 and at a position facing the encoder scale 31. In this example, the magnetic sensor 32 is an MR element, which is a type of a magnetoresistive element.

【0052】リニアモータLMbについても、その可動
子2’の構造は前記可動子2の構造と同様であり、可動
子2’にも界磁マグネット用センサである同様のホール
素子及びエンコーダ用センサであるMR素子が搭載され
ている。図8にリニアモータLMaに関係する電気的な
回路の概略ブロック図を示す。図8に示すとおり、電機
子コイル21の各コイルが、所定の結線状態に結線され
てモータ駆動制御回路6に接続さている。また、磁気セ
ンサ(MR素子)32からの出力信号を二値化すること
ができるエンコーダ信号処理回路51、及びホール素子
1 、h2 、h3 の各出力信号を二値化することができ
る界磁マグネット信号処理回路52が設けられており、
これらもモータ駆動制御回路6に接続されている。モー
タ駆動制御回路6は、エンコーダ信号処理回路51、界
磁マグネット信号処理回路52から出力されるエンコー
ダ信号や界磁マグネット信号などに基づき、電機子コイ
ル21への通電を制御する。さらに、スライダSL1に
搭載された照明ランプLPを点灯するためのランプ点灯
回路53が設けられている。
The structure of the mover 2 'of the linear motor LMb is the same as the structure of the mover 2, and the mover 2' is also provided with a similar Hall element and encoder sensor which are field magnet sensors. A certain MR element is mounted. FIG. 8 is a schematic block diagram of an electric circuit related to the linear motor LMa. As shown in FIG. 8, each coil of the armature coil 21 is connected in a predetermined connection state and connected to the motor drive control circuit 6. Further, the encoder signal processing circuit 51 that can binarize the output signal from the magnetic sensor (MR element) 32 and the output signals of the Hall elements h 1 , h 2 , and h 3 can be binarized. A field magnet signal processing circuit 52 is provided,
These are also connected to the motor drive control circuit 6. The motor drive control circuit 6 controls energization of the armature coil 21 based on the encoder signal, the field magnet signal, and the like output from the encoder signal processing circuit 51 and the field magnet signal processing circuit 52. Further, a lamp lighting circuit 53 for lighting an illumination lamp LP mounted on the slider SL1 is provided.

【0053】前記モータ駆動制御回路6、エンコーダ信
号処理回路51、界磁マグネット信号処理回路52及び
ランプ点灯回路53は一つの電気回路基板23に搭載さ
れている。ここではかかる電気回路基板は可動子外に配
置されているが、可動子に搭載してもよい。かかる電気
回路基板を可動子に搭載するときは、ホール素子やMR
素子も該基板に搭載してもよい。但し、熱の影響を受け
やすいホール素子やMR素子等は、該基板に搭載される
回路部分で発熱の大きいものや、放熱板を設けたものの
上方領域を避けて搭載することが好ましい。
The motor drive control circuit 6, encoder signal processing circuit 51, field magnet signal processing circuit 52 and lamp lighting circuit 53 are mounted on one electric circuit board 23. Here, the electric circuit board is arranged outside the mover, but may be mounted on the mover. When such an electric circuit board is mounted on the mover, a Hall element or MR
The element may be mounted on the substrate. However, it is preferable that the Hall element, the MR element, and the like, which are easily affected by heat, are mounted so as to avoid a region above a circuit portion mounted on the substrate, which generates a large amount of heat, or a device provided with a heat sink.

【0054】前記モータ駆動制御回路6及びランプ点灯
回路53は、可動子2外の定位置に配置されて、画像読
み取り装置の全体を制御するシステム制御部9からの指
令に基づき、モータの駆動を行ったり、照明ランプLP
を点灯させたりする。可動子2外のシステム制御部9
と、電気回路基板23に形成された回路とは、ハーネス
71により接続されている。ハーネス71は、雌雄一対
のコネクタ72により電気回路基板23に接続されてい
る。
The motor drive control circuit 6 and the lamp lighting circuit 53 are arranged at fixed positions outside the mover 2 and drive the motor based on a command from a system control unit 9 for controlling the entire image reading apparatus. Go, lighting lamp LP
Lights up. System controller 9 outside mover 2
And the circuit formed on the electric circuit board 23 are connected by a harness 71. The harness 71 is connected to the electric circuit board 23 by a pair of male and female connectors 72.

【0055】本例においては、ハーネス71により、次
の信号などが伝送される。一つには、電気回路基板23
に形成された回路、さらにはホール素子h1 、h2 、h
3 、MR素子32への電源電圧の供給が行われる。ま
た、システム制御部9からモータ制御回路6へは、モー
タの駆動をスタート又はストップする旨を示す信号(ス
タート・ストップ信号)、駆動方向を示す信号(駆動方
向信号)、基準クロック信号が伝送される。さらに、シ
ステム制御部9からランプ点灯回路53へは、照明ラン
プを点灯又は消灯する旨の信号(ランプ点灯・消灯信
号)が伝送される。
In this example, the following signals are transmitted by the harness 71. One is the electric circuit board 23
And the Hall elements h 1 , h 2 , h
3. The power supply voltage is supplied to the MR element 32. Further, a signal (start / stop signal) indicating that the driving of the motor is started or stopped, a signal indicating the driving direction (driving direction signal), and a reference clock signal are transmitted from the system control unit 9 to the motor control circuit 6. You. Further, a signal (lamp on / off signal) for turning on or off the illumination lamp is transmitted from the system control unit 9 to the lamp lighting circuit 53.

【0056】次に、電気回路基板23上の上記各回路に
ついて順に説明する。電機子コイル21の第1組のU相
コイルLU1、V相コイルLV1及びW相コイルLW1と、第
2組のU相コイルLU2、V相コイルLV2、W相コイルL
W2とは、可動子2上で、或いは基板23上で次のように
結線されている。すなわち、各組のU相コイル同士、V
相コイル同士、W相コイル同士はそれぞれ並列に接続さ
れており、そしてこれら並列に接続されたコイルがスタ
ー結線されている。
Next, the above circuits on the electric circuit board 23 will be described in order. The first set of U-phase coil L U1 , V-phase coil L V1 and W-phase coil L W1 of armature coil 21 and the second set of U-phase coil L U2 , V-phase coil L V2 , W-phase coil L
W2 is connected on the mover 2 or on the substrate 23 as follows. That is, each pair of U-phase coils, V
The phase coils and the W-phase coils are respectively connected in parallel, and the coils connected in parallel are star-connected.

【0057】エンコーダ信号処理回路51は、MR素子
32から出力される電気信号を二値化処理してデジタル
信号(二値信号)に変換するための回路である。エンコ
ーダ信号処理回路51によって二値化(デジタル化)さ
れた信号に基づき、可動子2の位置検出、速度検出、駆
動制御を行うことができる。本例においては、モータ駆
動制御回路6において後述するようにPLL制御(位相
同期制御)に利用される。
The encoder signal processing circuit 51 is a circuit for binarizing an electric signal output from the MR element 32 and converting it into a digital signal (binary signal). The position detection, speed detection, and drive control of the mover 2 can be performed based on the signals binarized (digitized) by the encoder signal processing circuit 51. In this example, the motor drive control circuit 6 is used for PLL control (phase synchronization control) as described later.

【0058】界磁マグネット信号処理回路52は、ホー
ル素子h1 、h2 、h3 から出力される各電気信号を二
値化処理してデジタル信号に変換するための回路であ
る。界磁マグネット信号処理回路52によって二値化
(デジタル化)された界磁マグネット信号に基づき、本
例では、後述するようにモータ駆動制御回路6において
電機子コイル21への通電制御が行われる。
The field magnet signal processing circuit 52 is a circuit for binarizing each electric signal output from the hall elements h 1 , h 2 , h 3 and converting it into a digital signal. In this example, the motor drive control circuit 6 controls the energization of the armature coil 21 based on the field magnet signal binarized (digitized) by the field magnet signal processing circuit 52 as described later.

【0059】図9に、前記モータ駆動制御回路6の内部
構成の一例の概略ブロック図を示す。モータ駆動制御回
路6は、PLL制御回路部(位相同期制御回路部)6
2、補償回路部63及び通電制御回路部64を有してい
る。PLL制御回路部62には、システム制御部9から
リニアモータ可動子2の目的とする速度に応じた周波数
の基準クロック信号が入力される。
FIG. 9 is a schematic block diagram showing an example of the internal configuration of the motor drive control circuit 6. The motor drive control circuit 6 includes a PLL control circuit (phase synchronization control circuit) 6
2. It has a compensation circuit section 63 and a conduction control circuit section 64. A reference clock signal having a frequency corresponding to the target speed of the linear motor mover 2 is input from the system control unit 9 to the PLL control circuit unit 62.

【0060】PLL制御回路部62には、さらに、MR
素子32から出力され、エンコーダ信号処理回路51に
より二値化されたエンコーダ信号が、可動子2の実際の
移動速度を示す信号としてフィードバック入力される。
PLL制御回路部62においては、システム制御部9か
らの基準クロック信号とエンコーダ信号処理回路51か
らの移動速度を示すエンコーダ信号との位相差に応じた
信号が補償回路部63に出力される。
The PLL control circuit 62 further includes an MR
The encoder signal output from the element 32 and binarized by the encoder signal processing circuit 51 is fed back as a signal indicating the actual moving speed of the mover 2.
In the PLL control circuit section 62, a signal corresponding to the phase difference between the reference clock signal from the system control section 9 and the encoder signal indicating the moving speed from the encoder signal processing circuit 51 is output to the compensation circuit section 63.

【0061】補償回路部63においては、伝達系の進み
遅れ補償が行われ、基準クロック信号と移動速度信号と
の位相差に応じた補償された信号が通電制御回路部64
に入力される。通電制御回路部64は、かかる補償され
た信号に応じた一定電流を、各ホール素子から出力さ
れ、界磁マグネット信号処理回路によって二値化された
界磁マグネット信号に基づき、図10及び図11に示す
タイミングにて各コイルに通電する。これにより、各相
のコイルには、目的とする速度に応じた基準クロック信
号と可動子2の実際の移動速度に応じた信号との、位相
を合わせるような電流が流されるため、可動子2を目的
とする速度にて駆動することができる。
In the compensating circuit 63, lead / lag compensation of the transmission system is performed, and a compensated signal corresponding to the phase difference between the reference clock signal and the moving speed signal is supplied to the conduction control circuit 64.
Is input to The energization control circuit unit 64 outputs a constant current corresponding to the compensated signal based on the field magnet signal output from each Hall element and binarized by the field magnet signal processing circuit. Power is supplied to each coil at the timing shown in FIG. As a result, a current that matches the phases of the reference clock signal corresponding to the target speed and the signal corresponding to the actual moving speed of the mover 2 flows through the coils of each phase. At the desired speed.

【0062】なお、図10は、可動子2を図4中左方向
に駆動するときの各コイルへの通電タイミングを示して
おり、図11は、可動子2を図4中右方向に駆動すると
きの各コイルへの通電タイミングを示している。このよ
うなタイミングにて通電すると、各コイルには、それぞ
れそのコイルの固定子1長手方向における中心位置が、
界磁マグネット11の磁極の該方向における駆動方向上
流端よりPm /6駆動方向に進んだ位置から、さらに2
m /3駆動方向に進んだ位置までの間、そのコイルが
対向する磁極の極性に応じて、そのコイルが駆動方向に
電磁力を発生する向きの一定電流が流されることにな
る。したがって、各コイルに通電されるときには、その
コイルの全ての部分が一方の極性の磁極(N極又はS
極)に対向する位置にあり、N極及びS極の両極に跨が
っていない。これにより、各コイルに通電される電流
は、可動子2を駆動したい方向とは逆の方向に駆動する
推力には変換されず、全てが可動子2を駆動したい方向
に駆動する推力に変換されるので、効率がよい。また、
同様の理由により、可動子2が固定子1に沿って移動す
るとき、その推力の変動もほとんどない。
FIG. 10 shows the timing of energizing each coil when driving the mover 2 in the left direction in FIG. 4, and FIG. 11 drives the mover 2 in the right direction in FIG. At the time of energization to each coil. When energized at such a timing, each coil has a center position in the longitudinal direction of the stator 1 of the coil,
From the position advanced in the drive direction P m / 6 from the upstream end of the magnetic pole of the field magnet 11 in the drive direction in this direction, another 2
Until the position where the coil advances in the P m / 3 driving direction, a constant current in a direction in which the coil generates an electromagnetic force in the driving direction flows according to the polarity of the magnetic pole facing the coil. Therefore, when power is supplied to each coil, all the portions of the coil have magnetic poles of one polarity (N pole or S pole).
(Pole) and does not straddle both the north pole and the south pole. Thus, the current supplied to each coil is not converted into a thrust for driving the mover 2 in the direction opposite to the direction in which the mover 2 is to be driven, but is converted into a thrust for driving the mover 2 in the direction in which the mover 2 is to be driven. Therefore, efficiency is high. Also,
For the same reason, when the mover 2 moves along the stator 1, there is almost no change in the thrust.

【0063】図示を省略したが、リニアモータLMbに
ついても、リニアモータLMaについての前記モータ駆
動制御回路6、エンコーダ信号処理回路51及び界磁マ
グネット信号処理回路52と同様の回路を含む電気回路
基板が設けられており、該基板はハーネス及びコネクタ
を介してシステム制御部9に接続されており、かくして
システム制御部9からの指令に基づき、モータLMaの
場合と同様に作動する。
Although not shown, the linear motor LMb also includes an electric circuit board including circuits similar to the motor drive control circuit 6, encoder signal processing circuit 51, and field magnet signal processing circuit 52 for the linear motor LMa. The board is connected to the system controller 9 via a harness and a connector, and thus operates in the same manner as the motor LMa based on a command from the system controller 9.

【0064】以上説明したリニアモータLMaでは、界
磁マグネット用センサとして温度特性が悪く、温度によ
って出力電圧が大きく変動するInSb系ホール素子h
1 、h2 、h3 を採用し、また、エンコーダ用センサと
して温度が上昇すると出力が低下するMR素子32を採
用しているが、それらは電機子コイル21からの発熱が
最も流動していく領域である固定子1の上面上方領域を
除く領域にある固定子1の両横面側に配置されているの
で、さらに電機子コイル21の外側に配置されているの
で、たとえ長時間モータLMaを運転しても電機子コイ
ル21の通電による発熱の影響を受けがたく、従って情
報検出精度が所定のものに維持され、それだけモータL
Maは精度よく円滑に作動し、信頼性の高いものになっ
ている。
In the linear motor LMa described above, the temperature characteristics of the field magnet sensor are poor, and the InSb-based Hall element h whose output voltage greatly varies depending on the temperature is used.
1 , h 2 , and h 3 are employed, and the MR sensor 32 whose output decreases as the temperature increases as the encoder sensor is employed. However, the heat generated from the armature coil 21 flows most. Since it is arranged on both lateral sides of the stator 1 in a region other than the region above the upper surface of the stator 1 which is a region, since it is further arranged outside the armature coil 21, even if the motor LMa Even when the motor is operated, it is hardly affected by the heat generated by the energization of the armature coil 21. Therefore, the information detection accuracy is maintained at a predetermined level, and the motor L
Ma operates smoothly with high precision and is highly reliable.

【0065】また図7に示すように、ホール素子h1
2 、h3 とMR素子32とは、固定子1を間にして互
いに反対側に配置され、磁気式エンコーダスケール31
は界磁マグネット11の磁界強さが最小となる領域に位
置するように固定子1に形成され、これにMR素子32
が臨んでいるので、界磁マグネット11からのエンコー
ダスケール31やMR素子32への磁気的干渉が抑制さ
れ、それだけMR素子32によるエンコーダスケール3
1の磁気情報の検出は誤りなく精度よくなされ、これに
よってもモータLMaは精度よく円滑に作動し、信頼性
の高いものになっている。
As shown in FIG. 7, the Hall element h 1 ,
h 2 , h 3 and the MR element 32 are arranged on opposite sides of the stator 1 with the magnetic encoder scale 31 interposed therebetween.
Are formed on the stator 1 so as to be located in a region where the magnetic field strength of the field magnet 11 is minimum, and the MR element 32
, The magnetic interference from the field magnet 11 to the encoder scale 31 and the MR element 32 is suppressed, and the encoder scale 3 by the MR element 32 is reduced accordingly.
The detection of the magnetic information of No. 1 is performed without error and with high accuracy, whereby the motor LMa operates smoothly and accurately with high reliability.

【0066】さらに、図7に示すように、ホール素子h
1 、h2 、h3 は、界磁マグネット11の磁界強さが最
大となる領域で界磁マグネット11に臨んでいるので、
界磁マグネット11からの情報の検出に基づくホール素
子出力を大きくすることができ、この点でも電機子コイ
ル21への通電制御が誤りなく、正確になされ、それだ
けモータLMaの動作信頼性は高いものになっている。
Further, as shown in FIG.
1 , h 2 and h 3 face the field magnet 11 in a region where the magnetic field strength of the field magnet 11 is maximum,
The output of the Hall element based on the detection of information from the field magnet 11 can be increased, and in this respect, the control of energizing the armature coil 21 can be performed accurately without error, and the operation reliability of the motor LMa is accordingly high. It has become.

【0067】さらに、界磁マグネット11の磁界の強さ
はスライダSL1側で最大となっているので、可動子2
に働く推力は、固定子1を間にしてスライダSL1側の
方が大きくなる。従って、スライダSL1がリニアモー
タLMaにより駆動されるときに、スライダSL1の可
動子連結側とは反対側の端部がスライダの慣性力や該端
部側での走行抵抗等により遅れて移動する傾向にあると
きでも、可動子2にその遅れを補正する方向のモーメン
トが働き、その結果スライダSL1は正しい姿勢で移動
する。
Further, since the strength of the magnetic field of the field magnet 11 is maximum on the slider SL1 side,
Is larger on the slider SL1 side with the stator 1 interposed. Therefore, when the slider SL1 is driven by the linear motor LMa, the end of the slider SL1 opposite to the mover connection side tends to move with a delay due to the inertia force of the slider, the running resistance at the end, and the like. , The moment in the direction to correct the delay acts on the mover 2, and as a result, the slider SL1 moves in a correct posture.

【0068】このようなリニアモータLMaの利点はリ
ニアモータLMbについても同様に得られる。以上説明
したリニアモータでは、固定子上の界磁マグネットが形
成する磁界の磁束分布並びに界磁マグネット用センサ及
びエンコーダ用センサの配置を図7に示すように設定し
たが、これに代えて図12から図14に示す設定として
もよい。なお、図12から図14はリニアモータLMa
に代わるリニアモータでの設定を示すものであるが、リ
ニアモータLMbについても同様である。
The advantages of the linear motor LMa can be obtained for the linear motor LMb. In the linear motor described above, the magnetic flux distribution of the magnetic field formed by the field magnet on the stator and the arrangement of the sensor for the field magnet and the sensor for the encoder are set as shown in FIG. To the settings shown in FIG. 12 to 14 show linear motors LMa.
This shows the setting with a linear motor instead of the linear motor, but the same applies to the linear motor LMb.

【0069】図12に示す設定では、界磁マグネット1
1はそれにより形成される磁界における磁束分布MBが
固定子1の両横面側で最大となり、下面側で最小となる
ように、換言すれば、固定子1の両横面側で最大(略最
大でもよい)の磁界強さが得られ、下面側で最小の磁界
強さが得られるように着磁形成されている。そしてホー
ル素子h1 、h2 、h3 は、界磁マグネット11の磁界
強さが最大となる固定子横面側で界磁マグネット11に
臨み、磁気式エンコーダスケール31は界磁マグネット
11の磁界強さが最小となる固定子下面側で固定子1に
形成され、これにMR素子32が臨んでいる。
In the setting shown in FIG. 12, the field magnet 1
1 is such that the magnetic flux distribution MB in the magnetic field formed thereby becomes maximum on both sides of the stator 1 and becomes minimum on the lower side, in other words, the maximum (substantially on both sides of the stator 1). (A maximum may be obtained) and the lower surface side is magnetized so as to obtain a minimum magnetic field strength. The Hall elements h 1 , h 2 , and h 3 face the field magnet 11 on the side of the stator where the magnetic field strength of the field magnet 11 is maximum, and the magnetic encoder scale 31 controls the magnetic field of the field magnet 11. The stator 1 is formed on the lower surface of the stator where the strength is minimum, and the MR element 32 faces this.

【0070】図13に示す設定では、界磁マグネット1
1はそれにより形成される磁界における磁束分布MBが
固定子1の片方の横面側(スライダSL1のある側)で
最大となり、反対側の横面側で最小となるように、換言
すれば、固定子1の該片方の横面側で最大の磁界強さが
得られ、反対側で最小の磁界強さが得られるように着磁
形成されている。そしてホール素子h1 、h2 、h3
固定子1の下方から界磁マグネット11に臨み、磁気式
エンコーダスケール31は界磁マグネット11の磁界強
さが最小となる反対側で固定子1に形成され、これにM
R素子32が臨んでいる。
In the setting shown in FIG. 13, the field magnet 1
1 is such that the magnetic flux distribution MB in the magnetic field formed thereby becomes maximum on one side of the stator 1 (the side with the slider SL1) and becomes minimum on the opposite side of the stator, in other words, The stator 1 is magnetized so that a maximum magnetic field strength is obtained on one side surface of the stator 1 and a minimum magnetic field strength is obtained on the opposite side. The Hall elements h 1 , h 2 , and h 3 face the field magnet 11 from below the stator 1, and the magnetic encoder scale 31 contacts the stator 1 on the opposite side where the magnetic field strength of the field magnet 11 is minimized. Formed, and this
The R element 32 is facing.

【0071】図14に示す設定では、界磁マグネット1
1はそれにより形成される磁界における磁束分布MBが
固定子1の上面側で最大となり、下面側で最小となるよ
うに、換言すれば、固定子1の上面側で最大の磁界強さ
が得られ、下面側で最小の磁界強さが得られるように着
磁形成されている。そしてホール素子h1 、h2 、h 3
は固定子1の片方の横面側から界磁マグネット11に臨
み、磁気式エンコーダスケール31は界磁マグネット1
1の磁界強さが最小となる固定子下面側で固定子1に形
成され、これにMR素子32が臨んでいる。
In the setting shown in FIG. 14, the field magnet 1
1 indicates that the magnetic flux distribution MB in the magnetic field formed by the
It becomes maximum on the top side of the stator 1 and minimum on the bottom side.
In other words, in other words, the maximum magnetic field strength on the upper surface side of the stator 1
So that the minimum magnetic field strength can be obtained on the bottom side.
Magnetically formed. And the Hall element h1, HTwo, H Three
Represents the field magnet 11 from one side of the stator 1
The magnetic encoder scale 31 is the field magnet 1
1 is formed on the lower surface side of the stator where the magnetic field strength is minimum.
The MR element 32 faces this.

【0072】図12から図14に示すいずれの設定で
も、ホール素子h1 、h2 、h3 及びMR素子32は、
電機子コイル21からの発熱が最も流動していく領域で
ある固定子1の上面上方領域を除く領域において可動子
2に設けられるので、たとえ長時間リニアモータを運転
しても電機子コイル21の通電による発熱の影響を受け
がたく、それだけモータは精度よく円滑に作動し、信頼
性の高いものになっている。
In any of the settings shown in FIGS. 12 to 14, the Hall elements h 1 , h 2 , h 3 and the MR element 32
Since the armature coil 21 is provided on the mover 2 in a region excluding the region above the upper surface of the stator 1 where heat is most likely to flow, even if the linear motor is operated for a long time, the armature coil 21 The motor is less likely to be affected by the heat generated by energization, so that the motor operates accurately and smoothly, and is highly reliable.

【0073】図12から図14に示すいずれの設定にお
いても、磁気式エンコーダスケール31は界磁マグネッ
ト11の最小磁界強さの領域で固定子1に設けられてお
り、界磁マグネットからの磁気の影響がそれだけ抑制さ
れており、この点で有利である。また図12の設定で
は、ホール素子h1 、h2 、h3 が界磁マグネット11
の最大磁界強さの領域で界磁マグネットに臨んでいると
いう特徴がある。
In any of the settings shown in FIGS. 12 to 14, the magnetic encoder scale 31 is provided on the stator 1 in the region of the minimum magnetic field strength of the field magnet 11, and the magnetic scale from the field magnet is The effect is suppressed accordingly, which is advantageous in this respect. In the setting of FIG. 12, the Hall elements h 1 , h 2 , and h 3 are the field magnets 11.
In the region of the maximum magnetic field strength.

【0074】図12及び図14の設定では、MR素子3
2が電機子コイルからの熱の影響を最も受け難い固定子
下方の位置に設けられているという特徴がある。図13
の設定では、ホール素子h1 、h2 、h3 が電機子コイ
ルからの熱の影響を最も受け難い固定子下方の位置に設
けられているという特徴がある。また図13の設定で
は、界磁マグネット11の最大磁界強さの領域がスライ
ダSL1に向けられているという特徴がある。
In the setting of FIGS. 12 and 14, the MR element 3
2 is provided at a position below the stator which is least affected by heat from the armature coil. FIG.
Is characterized in that the hall elements h 1 , h 2 , and h 3 are provided at a position below the stator where the influence of heat from the armature coil is the least. Further, the setting of FIG. 13 is characterized in that the region of the maximum magnetic field strength of the field magnet 11 is directed to the slider SL1.

【0075】図12から図14に示すいずれの場合にお
いても、ホール素子及びMR素子は電機子コイルからの
熱の影響を一層確実に抑制するために該電機子コイルの
外側に配置することが一層望ましい。次に図15(A)
に示すリニアモータLMcについて説明する。このリニ
アモータは前記リニアモータLMaやLMbに代えて採
用できるものであり、前記画像読み取り装置のスライダ
SL1やSL2の駆動に供し得るものである。
In any of the cases shown in FIGS. 12 to 14, the Hall element and the MR element are preferably arranged outside the armature coil in order to more reliably suppress the influence of heat from the armature coil. desirable. Next, FIG.
The linear motor LMc shown in FIG. This linear motor can be used in place of the linear motors LMa and LMb, and can be used for driving the sliders SL1 and SL2 of the image reading device.

【0076】リニアモータLMcは、固定子1と、これ
に外嵌して移動可能の可動子20を含んでおり、ムービ
ングコイル型のシャフト型リニアモータである。固定子
1はモータLMaの場合と同構成のものであり、界磁マ
グネット11及び磁気式エンコーダスケール31を形成
してある。界磁マグネット11の磁束分布MBは図7に
示すものである。
The linear motor LMc is a moving coil type shaft type linear motor including the stator 1 and the movable element 20 which is fitted to the stator 1 and is movable. The stator 1 has the same configuration as that of the motor LMa, and forms the field magnet 11 and the magnetic encoder scale 31. The magnetic flux distribution MB of the field magnet 11 is as shown in FIG.

【0077】可動子20は電機子コイル210及びこれ
を囲む可動子フレーム220を備えているとともにホー
ル素子h1 、h2 、h3 及びMR素子32を支持してい
る。可動子20は可動子フレーム220の両端部に設け
た軸受け2210により固定子上を円滑に移動できる。
電機子コイル210はU、V及びW相の3つのコイルを
1組とするコイル群を2組有しており、第1組のコイル
群、第2組のコイル群の順に、固定子長手方向に配置さ
れている。第1組のコイル群は、コイルLU1’、LV1
及びLW1’からなり、この順に固定子長手方向に配置さ
れている。第2組のコイル群は、コイルLU2’、LV2
及びLW2’からなり、この順に固定子長手方向に配置さ
れている。いずれの組の各コイルもリング状であり、固
定子1に外嵌するように配置されている。但し、これら
コイルは、リニアモータLMaの場合と異なり、それぞ
れ磁極ピッチPm の1/3の幅より小さい幅Pcに形成
されている。隣合うコイル間にはスペーサSを設けてあ
る。これらコイルのうちいずれの隣合う二つのコイル
も、それらの中心位置が固定子長手方向にPm /3ずつ
ずらして配置されている。電機子コイル210を構成す
るこれら各コイルはスペーサSとともに、それらの外周
面を接着剤によってコーティングするようにして固着さ
れており、一体化されている。電機子コイル210は、
固定子1に外嵌し、中空直方体状のフレーム220の中
空部分に内蔵されており、フレーム220の内周面に支
持されている。
The mover 20 has an armature coil 210 and a mover frame 220 surrounding the armature coil 210 and supports the Hall elements h 1 , h 2 , h 3 and the MR element 32. The mover 20 can smoothly move on the stator by bearings 2210 provided at both ends of the mover frame 220.
The armature coil 210 has two sets of coil groups each including three coils of the U, V, and W phases. The first set of coil groups and the second set of coil groups are arranged in the stator longitudinal direction. Are located in The first set of coil groups includes coils L U1 ′, L V1
And L W1 ′, and are arranged in this order in the longitudinal direction of the stator. The coil group of the second set includes coils L U2 ′ and L V2
And L W2 ′, and are arranged in this order in the longitudinal direction of the stator. Each coil of each set is ring-shaped, and is arranged so as to fit on the stator 1. However, these coils, unlike in the case of linear motors LMa, is formed to a smaller width Pc than the width of 1/3 of the pole pitch P m respectively. Spacers S are provided between adjacent coils. Also two coils adjacent the one of these coils, their center positions are staggered by P m / 3 in the lengthwise direction of the stator. These coils constituting the armature coil 210 are fixed together with the spacer S so that their outer peripheral surfaces are coated with an adhesive, and are integrated. The armature coil 210 is
It is externally fitted to the stator 1, is built in the hollow portion of the hollow rectangular frame 220, and is supported on the inner peripheral surface of the frame 220.

【0078】ホール素子h1 、h2 、h3 は、図15
(A)に示すように、電機子コイル21の外側におい
て、且つ、界磁マグネット11の磁界強さが最大となる
領域、すなわち固定子1のスライダSL1側の横面側で
界磁マグネット11に臨んでおり、フレーム220の内
面に支持されている。さらに説明すると、上記のように
界磁マグネット11に臨む位置であって、固定子長手方
向における次の位置に配置されている。すなわち、固定
子1の長手方向において、コイルLU1’の中心位置から
図15中右側にPm /6ずらした位置にホール素子h1
が配置されている。同様に、コイルLV1’の中心位置か
ら図中右側にPm /6ずらした位置にホール素子h2
配置されており、コイルLW1’の中心位置から図中右側
にPm /6ずらした位置にホール素子h3 が配置されて
いる。
The Hall elements h 1 , h 2 and h 3 are shown in FIG.
As shown in (A), the field magnet 11 is applied outside the armature coil 21 and in a region where the magnetic field strength of the field magnet 11 is maximum, that is, on the side of the stator 1 on the side of the slider SL1. And is supported by the inner surface of the frame 220. More specifically, it is located at the position facing the field magnet 11 as described above and at the next position in the longitudinal direction of the stator. That is, in the longitudinal direction of the stator 1, the Hall element h 1 is shifted to the right side in FIG. 15 by P m / 6 from the center position of the coil L U1 ′.
Is arranged. Similarly, the coil L V1 'is arranged a Hall element h 2 at a position shifted P m / 6 to the right in the drawing from the center of the coil L W1' P m / 6 shifted right in the figure from the center of Hall elements h 3 are arranged in positions.

【0079】また、可動子20のフレーム220には、
エンコーダスケール31に臨む位置に磁気センサ(MR
素子)32が搭載されている。これは中央のスペーサS
に支持されてスケール31に臨んでいる。MR素子32
は電機子コイル210の内側に配置されているものの、
電機子コイルを構成しているコイルの直上方域を避けて
隣合うコイル間に配置されているので、モータLMaの
ときのようにMR素子を電機子コイル外に配置する場合
と同様に電機子コイルからの熱の影響が抑制されてい
る。
Further, the frame 220 of the mover 20
At the position facing the encoder scale 31, a magnetic sensor (MR
Element 32 is mounted. This is the central spacer S
And is facing the scale 31. MR element 32
Is located inside the armature coil 210,
Since the armature coil is arranged between adjacent coils avoiding the region immediately above the coil, the armature coil is arranged in the same manner as when the MR element is arranged outside the armature coil as in the case of the motor LMa. The effect of heat from the coil is suppressed.

【0080】またこのリニアモータLMcではホール素
子h3 及びMR素子32は可動子20のヨーイング動作
の中心Ycを通り、可動子進行方向GO(図15(B)
参照)に垂直な面Ysに配置されている。ヨーイング動
作とは、可動子20がスライダSL1又はSL2の片側
端部に接続され、該スライダを駆動するときに、該スラ
イダの反対側の端部に加わる走行抵抗やスライダの慣性
力により該スライダの反対側端部が可動子接続側の端部
より遅れて移動する傾向にあるために可動子20が、図
15(B)に示すように、可動子進行方向GOとスライ
ダの幅方向WDの双方に垂直な軸線Yc回りに揺動Ym
する動作である。該軸線Ycがヨーイング中心となる。
In this linear motor LMc, the Hall element h 3 and the MR element 32 pass through the center Yc of the yawing operation of the mover 20 and move in the mover moving direction GO (FIG. 15B).
(See FIG. 2). The yawing operation means that the movable element 20 is connected to one end of the slider SL1 or SL2, and when the slider is driven, a running resistance applied to the opposite end of the slider or an inertia force of the slider causes the slider to move. Since the opposite end has a tendency to move later than the end on the mover connection side, the mover 20 is moved in both the mover moving direction GO and the slider width direction WD as shown in FIG. Swinging about an axis Yc perpendicular to
Operation. The axis Yc is the center of yawing.

【0081】なおモータLMcもモータLMaの場合と
同様の電気回路により運転される。以上説明したリニア
モータLMcにおいても、リニアモータLMaについて
既述した利点と同じ利点が得られる。モータLMcでは
さらに、エンコーダスケール31に臨むMR素子32が
可動子のヨーイング動作の中心を通る面Ysに配置され
ているとともに、三つのホール素子のうち一つだけでは
あるが、ホール素子h3 も該面Ysに配置され、ホール
素子h2 は該面Ysの近傍に配置されている。従って可
動子20がたとえヨーイング動作しても、MR素子32
とスケール31との位置関係(ここでは特にMR素子と
スケールとの距離)並びにホール素子h3 、h2 と界磁
マグネット11との位置関係がずれたり、不安定になる
ことが抑制され、それだけ精度良く円滑にリニアモータ
を制御下に駆動することができる。
The motor LMc is operated by the same electric circuit as that of the motor LMa. In the linear motor LMc described above, the same advantages as those already described for the linear motor LMa can be obtained. In the motor LMc Furthermore, the MR element 32 which faces the encoder scale 31 is disposed on a surface Ys passing through the center of yawing operation of the movable element, albeit only one of the three Hall elements, also Hall element h 3 disposed said surface Ys, Hall element h 2 is disposed in the vicinity of said surface Ys. Therefore, even if the mover 20 performs a yawing operation, the MR element 32
And the scale 31 and the positional relationship between the Hall elements h 3 and h 2 and the field magnet 11 and the instability of the field magnet 11 are suppressed. The linear motor can be driven accurately and smoothly under control.

【0082】次に図16及び図18に示すリニアモータ
LMd、LMeについて説明する。これらのリニアモー
タも前記リニアモータLMaやLMbに代えて採用でき
るものであり、前記画像読み取り装置のスライダSL1
やSL2の駆動に供し得るものである。図16に示すモ
ータLMdは、固定子1dと、これに外嵌して移動可能
の可動子2dを含んでおり、ムービングコイル型のシャ
フト型リニアモータである。
Next, the linear motors LMd and LMe shown in FIGS. 16 and 18 will be described. These linear motors can be employed instead of the linear motors LMa and LMb.
And SL2. The motor LMd shown in FIG. 16 is a moving coil type shaft linear motor that includes a stator 1d and a movable element 2d that is fitted to the stator and is movable.

【0083】固定子1dは着磁可能のシャフト部材に界
磁マグネットを着磁形成したものである。該界磁マグネ
ットの磁界の磁束分布は固定子断面周囲全体にわたり実
質上等しくなっている。磁気式エンコーダスケールは形
成されていない。これ以外はモータLMaの固定子1と
同様である。可動子2dは、電機子コイル21d及びこ
れを囲む可動子フレーム22dを有している。電機子コ
イル21dの構成はモータLMaにおける電機子コイル
21と同じである。
The stator 1d is formed by magnetizing a field magnet on a magnetizable shaft member. The magnetic flux distribution of the magnetic field of the field magnet is substantially equal over the entire periphery of the stator cross section. No magnetic encoder scale is formed. Except for this, it is the same as the stator 1 of the motor LMa. The mover 2d has an armature coil 21d and a mover frame 22d surrounding the armature coil 21d. The configuration of the armature coil 21d is the same as that of the armature coil 21 in the motor LMa.

【0084】可動子フレーム22dはスライダSL1
(又はSL2)が接続される側とは反対側で開口してお
り、そこに基板Bdが設けられている。なお図中221
dはフレーム22dに設けた、固定子1dに沿って摺動
するための軸受けである。基板Bdには、ホール素子h
1 、h2 、h3 が搭載されており、これらホール素子の
電機子コイル21dに対する電気的な位置関係はモータ
LMaの場合と同じである。ホール素子h1 、h2 、h
3 は、電機子コイル21dの外側から、且つ、固定子1
dのスライダ接続側とは反対側の横外側から界磁マグネ
ットに臨んでおり、基板Bdの内面に支持されている。
The mover frame 22d includes a slider SL1.
(Or SL2) is open on the side opposite to the side to which it is connected, and the substrate Bd is provided there. 221 in the figure
d is a bearing provided on the frame 22d for sliding along the stator 1d. The substrate Bd has a Hall element h
1 , h 2 and h 3 are mounted, and the electrical positional relationship of these Hall elements with respect to the armature coil 21d is the same as that of the motor LMa. Hall elements h 1, h 2, h
Reference numeral 3 denotes the stator 1 from outside the armature coil 21d.
d faces the field magnet from the lateral outer side opposite to the slider connection side, and is supported by the inner surface of the substrate Bd.

【0085】基板Bdの外面中、ホール素子とは丁度反
対側の位置に光学式エンコーダのための光センサ42が
支持されており、この光センサ41に臨む位置に可動子
移動方向に延びる光学式エンコーダスケール41が設置
されている。ホール素子のうち少なくとも一つと該光セ
ンサ42とは可動子2dのヨーイング動作Ymの中心Y
cを通る面又はその近傍に位置している。
On the outer surface of the substrate Bd, an optical sensor 42 for an optical encoder is supported at a position just opposite to the Hall element, and an optical sensor extending in the moving direction of the mover at a position facing the optical sensor 41. An encoder scale 41 is provided. At least one of the Hall elements and the optical sensor 42 are connected to the center Y of the yawing operation Ym of the mover 2d.
It is located on or near the plane passing through c.

【0086】このリニアモータLMdも図8及び図9に
示すリニアモータLMaのための通電制御回路により通
電して駆動できる。但し、図8及び図9に示す回路中、
磁気センサ(MR素子)32及びそれが接続されたエン
コーダ信号処理回路51は、図17に示す光センサ42
及びそれに接続されるエンコーダ信号処理回路51’に
代える。
The linear motor LMd can also be energized and driven by the energization control circuit for the linear motor LMa shown in FIGS. However, in the circuits shown in FIGS. 8 and 9,
The magnetic sensor (MR element) 32 and the encoder signal processing circuit 51 to which the magnetic sensor (MR element) is connected include the optical sensor 42 shown in FIG.
And an encoder signal processing circuit 51 'connected thereto.

【0087】前記基板Bdの内面には、かかる電気回路
中のモータ駆動制御回路6、エンコーダ信号処理回路5
1’及び界磁マグネット信号処理回路52等も搭載され
ている。さらに、電機子コイル21dを構成しているコ
イル群をスター結線するための回路パターンLcも搭載
されている。基板Bdに搭載する回路部のうち発熱した
り、放熱板を設けたものは、ホール素子や光センサがこ
れらからの熱の影響を受けがたい位置に設けることが望
ましく、図示の例では、モータ駆動制御回路6及び回路
パターンLcは、ホール素子h1 、h2 、h3 及び光セ
ンサ42より上方位置に設けられており、他の回路部5
1’や52は該ホール素子等の横側に離して設けられて
いる。
On the inner surface of the substrate Bd, a motor drive control circuit 6 and an encoder signal processing circuit 5
1 'and a field magnet signal processing circuit 52 are also mounted. Further, a circuit pattern Lc for star-connecting a coil group forming the armature coil 21d is also mounted. Of the circuit units mounted on the substrate Bd, those that generate heat or are provided with a heat radiating plate are desirably provided at positions where the Hall element or the optical sensor is hardly affected by the heat from these components. The drive control circuit 6 and the circuit pattern Lc are provided above the Hall elements h 1 , h 2 , h 3 and the optical sensor 42, and the other circuit units 5
1 'and 52 are provided on the side of the Hall element and the like.

【0088】なお、図16に二点鎖線で示すように、基
板Bdを若干下方へ延長して、その部分の内面に光セン
サ42を設けるとともに、これに臨むように光学式エン
コーダスケール41を設置してもよい。このようにする
と、片面基板構成にできる。いずれにしても、エンコー
ダスケール41は、本例では固定子長手方向に光高反射
率面と光低反射率面とが交互に並んだものである。本例
においては、これら反射率の異なる二つの面は100μ
mピッチにて固定子長手方向に並んでいる。また光セン
サ42は、ここではエンコーダスケール41に向けて光
を照射する発光素子(本例では発光ダイオード)421
と、発光素子421から照射され、スケール41により
反射された光を受光して、その光量に応じた電気信号を
出力することができる光電変換素子の一つであるフォト
ダイオード422とを含んでいる。前記のエンコーダ信
号処理回路51’はフォトダイオード422の出力信号
を二値化処理するものである。
As shown by a two-dot chain line in FIG. 16, the substrate Bd is slightly extended downward, an optical sensor 42 is provided on the inner surface of the substrate Bd, and an optical encoder scale 41 is installed so as to face this. May be. In this way, a single-sided substrate configuration can be obtained. In any case, the encoder scale 41 has, in this example, light high-reflectance surfaces and light low-reflectance surfaces alternately arranged in the longitudinal direction of the stator. In this example, these two surfaces having different reflectivities are 100 μm.
The stators are arranged at m pitches in the longitudinal direction of the stator. The light sensor 42 here irradiates light toward the encoder scale 41 (a light emitting diode in this example) 421.
And a photodiode 422, which is one of photoelectric conversion elements capable of receiving light emitted from the light emitting element 421 and reflected by the scale 41 and outputting an electric signal according to the light amount. . The encoder signal processing circuit 51 ′ performs a binarization process on the output signal of the photodiode 422.

【0089】図18に示すモータLMeは、固定子1e
と、これに外嵌して移動可能の可動子2eを含んでお
り、ムービングコイル型のシャフト型リニアモータであ
る。固定子1eは図16に示すモータの固定子1dと同
構成である。可動子2eも図16に示す可動子2dと同
構成である。但し、可動子フレーム22eはスライダS
L1(又はSL2)が接続される側面に直交する下面が
開口しており、そこに基板Beが設けられている。なお
図中221eはフレーム22eに設けた、固定子1dに
沿って摺動するための軸受けである。
The motor LMe shown in FIG.
And a movable element 2e which is fitted to the outside and is movable, and is a moving coil type shaft type linear motor. The stator 1e has the same configuration as the stator 1d of the motor shown in FIG. The mover 2e has the same configuration as the mover 2d shown in FIG. However, the mover frame 22e has the slider S
The lower surface orthogonal to the side surface to which L1 (or SL2) is connected is open, and the substrate Be is provided there. In the figure, 221e is a bearing provided on the frame 22e for sliding along the stator 1d.

【0090】基板Beには、ホール素子h1 、h2 、h
3 が搭載されており、これらホール素子の電機子コイル
21eに対する電気的な位置関係はモータLMaの場合
と同じである。ホール素子h1 、h2 、h3 は、電機子
コイル21eより下方から固定子1eの界磁マグネット
に臨んでおり、基板Beの内面に支持されている。基板
Beの外面(下面)中、ホール素子とは丁度反対側の位
置に光学式エンコーダのための光センサ42が支持され
ており、この光センサ41に臨む位置に可動子移動方向
に延びる光学式エンコーダスケール41が設置されてい
る。
On the substrate Be, Hall elements h 1 , h 2 , h
3, and the electrical positional relationship of these Hall elements with respect to the armature coil 21e is the same as that of the motor LMa. The hall elements h 1 , h 2 , and h 3 face the field magnet of the stator 1e from below the armature coil 21e, and are supported on the inner surface of the substrate Be. An optical sensor 42 for an optical encoder is supported on the outer surface (lower surface) of the substrate Be at a position just opposite to the Hall element, and an optical sensor extending in the moving direction of the mover at a position facing the optical sensor 41. An encoder scale 41 is provided.

【0091】ホール素子のうち少なくとも一つと該光セ
ンサ42とは可動子2eのヨーイング動作Ymの中心Y
cを通る面又はその近傍に位置している。このリニアモ
ータLMeもモータLMdのための通電制御回路と同様
の回路により通電して駆動できる。前記基板Beの内面
には電機子コイルを構成するコイル群をスター結線する
ための回路パターンLcも形成されているが、既述のモ
ータ駆動制御回路6、エンコーダ信号処理回路51’及
び界磁マグネット信号処理回路52等も搭載してもよ
い。但し、これら回路部のうち発熱したり、放熱板が設
けあるようなものは、ホール素子や光センサへのこれら
からの熱の影響を抑制するために、例えば、図18に二
点鎖線で示すように、基板Beを若干横外側へ延長し
て、その部分に設置するとよい。
At least one of the Hall elements and the optical sensor 42 are connected to the center Y of the yawing operation Ym of the mover 2e.
It is located on or near the plane passing through c. This linear motor LMe can also be energized and driven by a circuit similar to the energization control circuit for the motor LMd. A circuit pattern Lc for star-connecting a coil group constituting an armature coil is also formed on the inner surface of the substrate Be. However, the motor drive control circuit 6, the encoder signal processing circuit 51 ', and the field magnet The signal processing circuit 52 and the like may be mounted. However, among these circuit parts, those which generate heat or have a heat sink are shown by, for example, a two-dot chain line in FIG. 18 in order to suppress the influence of heat from these on the Hall element and the optical sensor. As described above, the substrate Be may be slightly extended laterally outward, and may be installed at that portion.

【0092】以上説明したリニアモータLMdやLMe
でも、熱により劣化したり、検出性能が低下したり、誤
動作する可能性のあるホール素子h1 、h2 、h3 や光
センサ42が、電機子コイル21d、21eからの発熱
が最も流動していく領域である固定子1d、1eの上面
上方領域を除く領域にある固定子の横面側や下面側に配
置されているので、さらに電機子コイル21d、21e
の外側に配置されているので、たとえ長時間モータLM
d、LMeを運転しても電機子コイル21d、21eの
発熱の影響を受けがたく、情報検出精度が所定のものに
維持され、それだけモータLMd、LMeは精度よく円
滑に作動し、信頼性の高いものになっている。
The linear motors LMd and LMe described above
However, the Hall elements h 1 , h 2 , h 3 and the optical sensor 42, which may be deteriorated by heat, deteriorate the detection performance, or malfunction, cause the heat generated from the armature coils 21 d, 21 e to flow most. The armature coils 21d and 21e are arranged on the side surfaces and the lower surface side of the stator in the region excluding the upper regions of the stators 1d and 1e, which are moving regions.
The motor LM for a long time
d and LMe are not affected by the heat generated by the armature coils 21d and 21e, and the information detection accuracy is maintained at a predetermined value. As a result, the motors LMd and LMe operate accurately and smoothly. It is expensive.

【0093】また光センサ42は界磁マグネットの磁気
に影響されることなくスケール41の情報を検出できる
ので、一つには、界磁マグネットの着磁形成を容易に安
価に行うことができ、もう一つには、センサ42による
スケール情報の検出精度を維持でき、これによってもモ
ータLMd、LMeは精度よく円滑に作動し、信頼性の
高いものになっている。
Since the optical sensor 42 can detect the information of the scale 41 without being affected by the magnetism of the field magnet, for example, the magnetization of the field magnet can be easily and inexpensively performed. On the other hand, the detection accuracy of the scale information by the sensor 42 can be maintained, so that the motors LMd and LMe can operate accurately and smoothly, and have high reliability.

【0094】さらに、光センサ42と、三つのホール素
子のうち一つだけではあるがそのホール素子も可動子2
d、2eのヨーイング動作の中心Ycを通る面又はその
近傍に配置されているので、可動子2d、2eがたとえ
ヨーイング動作しても、センサ42とスケール41との
位置関係や、ホール素子と界磁マグネット11との位置
関係がずれたり、不安定になることが抑制され、それだ
け精度良く円滑にリニアモータを制御下に駆動すること
ができる。
Further, the optical sensor 42 and one of the three Hall elements, but only one of the Hall elements
Since the movable elements 2d and 2e are arranged in the vicinity of the plane passing through the center Yc of the yawing operation of d and 2e, the positional relationship between the sensor 42 and the scale 41 and the Hall element and the The positional relationship with the magnetic magnet 11 is prevented from shifting or becoming unstable, and the linear motor can be driven accurately and smoothly under control.

【0095】また、光学式エンコーダスケール41は、
電機子コイルからの熱のとどき難いところに位置してい
るので、樹脂を利用して安価に形成することができる。
なお、リニアモータLMd、LMeにおいても、光学式
エンコーダ(41、42)代えて磁気式エンコーダ(例
えば前記のMR素子32と磁気式スケール31)を採用
しても構わない。
The optical encoder scale 41 is
Since it is located in a place where the heat from the armature coil is difficult to reach, it can be formed at low cost using resin.
In the linear motors LMd and LMe, a magnetic encoder (for example, the MR element 32 and the magnetic scale 31 described above) may be used instead of the optical encoder (41, 42).

【0096】[0096]

【発明の効果】以上説明したように本発明によると、N
極の磁極とS極の磁極とが交互に並ぶ界磁マグネットを
有し、一定方向に延びる固定子と、前記固定子に外嵌し
て前記界磁マグネットに臨む電機子コイルを有し、前記
固定子に沿って往復移動可能の可動子とを備えたリニア
モータであって、精度よく円滑に作動する信頼性の高い
リニアモータを提供することができる。
As described above, according to the present invention, N
A field magnet in which the magnetic poles of the poles and the magnetic poles of the S pole are alternately arranged, a stator extending in a certain direction, and an armature coil externally fitted to the stator and facing the field magnet, A highly reliable linear motor, which is a linear motor including a movable element that can reciprocate along the stator, operates accurately and smoothly.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るリニアモータを搭載した画像読み
取り装置の一例の概略平面図である。
FIG. 1 is a schematic plan view of an example of an image reading apparatus equipped with a linear motor according to the present invention.

【図2】図1に示すX−X線に沿う画像読み取り装置の
概略断面図である。
FIG. 2 is a schematic sectional view of the image reading device taken along line XX shown in FIG.

【図3】図1に示すY−Y線に沿う画像読み取り装置の
概略断面図である。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the image reading device taken along line YY shown in FIG.

【図4】本発明に係るリニアモータの一例の、可動子部
分を断面で示す概略平面図である。
FIG. 4 is a schematic plan view showing a cross section of a mover portion of an example of the linear motor according to the present invention.

【図5】図4に示すZ−Z線に沿うリニアモータの概略
断面図である。
FIG. 5 is a schematic sectional view of the linear motor taken along line ZZ shown in FIG.

【図6】界磁マグネットが形成する固定子長手方向にお
ける磁束分布の一例を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing an example of a magnetic flux distribution in a stator longitudinal direction formed by a field magnet.

【図7】固定子の長手方向に垂直な断面でみた界磁マグ
ネットの磁束分布を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a magnetic flux distribution of the field magnet as viewed in a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the stator.

【図8】図4に示すリニアモータの通電制御のための回
路の一例のブロック図である。
8 is a block diagram illustrating an example of a circuit for controlling the energization of the linear motor illustrated in FIG. 4;

【図9】図8に示す回路中のモータ駆動制御回路部分を
より詳しく示すための回路ブロック図である。
9 is a circuit block diagram showing a motor drive control circuit portion in the circuit shown in FIG. 8 in more detail.

【図10】図4のリニアモータの可動子を図4中左方向
に駆動するときの、各ホール素子の検出磁極と、各コイ
ルへの通電タイミングとの関係を示す図である。
10 is a diagram showing a relationship between a detection magnetic pole of each Hall element and an energization timing to each coil when the mover of the linear motor in FIG. 4 is driven leftward in FIG.

【図11】図4のリニアモータの可動子を図4中右方向
に駆動するときの、各ホール素子の検出磁極と、各コイ
ルへの通電タイミングとの関係を示す図である。
11 is a diagram showing the relationship between the detection magnetic pole of each Hall element and the energization timing to each coil when the mover of the linear motor in FIG. 4 is driven rightward in FIG.

【図12】固定子における界磁マグネットの磁束分布の
他の例とそれに対応するセンサの配置例を示す図であ
る。
FIG. 12 is a diagram showing another example of the magnetic flux distribution of the field magnet in the stator and an example of the arrangement of the sensors corresponding thereto.

【図13】図7に示す固定子における界磁マグネットの
磁束分布に対するセンサの他の配置例を示す図である。
13 is a diagram showing another example of the arrangement of sensors for the magnetic flux distribution of the field magnet in the stator shown in FIG. 7;

【図14】固定子における界磁マグネットの磁束分布の
さらに他の例とそれに対応するセンサの配置例を示す図
である。
FIG. 14 is a diagram showing still another example of the magnetic flux distribution of the field magnet in the stator and an example of the arrangement of the sensors corresponding thereto.

【図15】図(A)は本発明に係るリニアモータのさら
に他の例の、可動子部分を断面で示す概略平面図であ
り、図(B)は可動子のヨーイング動作を示す図であ
る。
FIG. 15A is a schematic plan view showing a cross section of a mover portion of still another example of the linear motor according to the present invention, and FIG. 15B is a diagram showing a yawing operation of the mover. .

【図16】本発明に係るリニアモータのさらに他の例の
概略断面図である。
FIG. 16 is a schematic sectional view of still another example of the linear motor according to the present invention.

【図17】図16に示すリニアモータに用いる光センサ
とエンコーダ信号処理回路を示すブロック図である。
FIG. 17 is a block diagram showing an optical sensor and an encoder signal processing circuit used in the linear motor shown in FIG.

【図18】本発明に係るリニアモータのさらに他の例の
概略断面図である。
FIG. 18 is a schematic sectional view of still another example of the linear motor according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

LMa、LMb リニアモータ 1 固定子 10 シャフト部材 11 界磁マグネット 2、2’ 可動子 21、21’ 電機子コイル 22、22’ フレーム 221 軸受け 23 電気回路基板 h1 、h2 、h3 ホール素子(磁電変換素子) 31 磁気式エンコーダスケール 32 MR素子(磁気センサ) 51 エンコーダ信号処理回路 52 界磁マグネット信号処理回路 6 モータ駆動制御回路 71 ハーネス 72 コネクタ SL1、SL2 画像読み取り装置のスライダ LMc リニアモータ 20 可動子 210 電機子コイル 220 フレーム Yc ヨーイング中心 Ys ヨーイング中心を通る面 GO 可動子進行方向 WD スライダ幅方向 LMd、LMe リニアモータ 1d、1e 固定子 2d、2e 可動子 22d、22e フレーム Bd、Be 基板 51’ エンコーダ信号処理回路 41 光学式エンコーダスケール 42 光センサ 421 発光素子 422 フォトダイオード(光電変換素子) Lc スター結線用回路パターンLMa, LMb linear motor 1 stator 10 shaft member 11 field magnets 2,2 'armature 21, 21' armature coils 22, 22 'frame 221 bearing 23 electric circuit board h 1, h 2, h 3 Hall element ( Magnetoelectric conversion element 31 Magnetic encoder scale 32 MR element (magnetic sensor) 51 Encoder signal processing circuit 52 Field magnet signal processing circuit 6 Motor drive control circuit 71 Harness 72 Connector SL1, SL2 Image reading device slider LMc Linear motor 20 Movable Element 210 Armature coil 220 Frame Yc Center of yawing Ys Surface passing through the center of yawing GO Moving element traveling direction WD Slider width direction LMd, LMe Linear motor 1d, 1e Stator 2d, 2e Mover 22d, 22e Frame Bd, Be Substrate 51 ' Encoder signal processing circuit 41 optical encoder scale 42 light sensor 421 emitting element 422 photodiode (photoelectric conversion element) Lc star connecting circuit patterns

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】N極の磁極とS極の磁極とが交互に並ぶ界
磁マグネットを有し、一定方向に延びる固定子と、 前記固定子に外嵌して前記界磁マグネットに臨む電機子
コイルを有し、前記固定子に沿って往復移動可能の可動
子と、 前記可動子に設けられ、前記界磁マグネットの磁極の変
化を検出する第1の検出センサと、 前記可動子の往復移動方向に設けられたエンコーダスケ
ールと、 前記可動子に設けられ、前記エンコーダスケールの情報
を読み取る第2の検出センサとを備えており、 前記第1及び第2の検出センサは前記固定子の周囲領域
のうち該固定子の上面上方領域を除く領域に設けられて
いることを特徴とするリニアモータ。
1. A stator having a field magnet in which N-poles and S-poles are alternately arranged and extending in a fixed direction, and an armature externally fitted to the stator and facing the field magnet. A movable element having a coil and capable of reciprocating along the stator; a first detection sensor provided on the movable element for detecting a change in a magnetic pole of the field magnet; and a reciprocating movement of the movable element An encoder scale provided in a direction, and a second detection sensor provided on the mover and reading information on the encoder scale, wherein the first and second detection sensors are located around the stator. Wherein the linear motor is provided in a region excluding a region above the upper surface of the stator.
【請求項2】前記第1及び第2の検出センサは前記電機
子コイルの外側に設けられている請求項1記載のリニア
モータ。
2. The linear motor according to claim 1, wherein said first and second detection sensors are provided outside said armature coil.
【請求項3】前記エンコーダスケールは磁気式エンコー
ダスケールであり、前記第2の検出センサは該エンコー
ダスケールの磁気情報を読み取る磁気センサである請求
項1又は2記載のリニアモータ。
3. The linear motor according to claim 1, wherein said encoder scale is a magnetic encoder scale, and said second detection sensor is a magnetic sensor for reading magnetic information of said encoder scale.
【請求項4】前記第1のセンサは前記固定子の片方の横
面側から前記界磁マグネットに臨んでおり、前記エンコ
ーダスケールは前記固定子の反対側の横面側において該
固定子に設けられており、前記第2の検出センサは該固
定子の該反対側の横面側から該エンコーダスケールに臨
んでいる請求項3記載のリニアモータ。
4. The first sensor faces the field magnet from one lateral surface of the stator, and the encoder scale is provided on the stator on a lateral surface opposite to the stator. 4. The linear motor according to claim 3, wherein the second detection sensor faces the encoder scale from the opposite side surface of the stator. 5.
【請求項5】前記第1のセンサは前記固定子の下面側か
ら前記界磁マグネットに臨んでおり、前記エンコーダス
ケールは前記固定子の横面側において該固定子に設けら
れており、前記第2の検出センサは該固定子の横面側か
ら該エンコーダスケールに臨んでいる請求項3記載のリ
ニアモータ。
5. The stator according to claim 1, wherein the first sensor faces the field magnet from a lower surface of the stator, and the encoder scale is provided on the stator on a lateral surface of the stator. 4. The linear motor according to claim 3, wherein the second detection sensor faces the encoder scale from a side surface of the stator.
【請求項6】前記エンコーダスケールは前記固定子の下
面側において該固定子に設けられており、前記第1のセ
ンサは前記固定子の横面側から前記界磁マグネットに臨
んでおり、前記第2の検出センサは該固定子の下面側か
ら前記エンコーダスケールに臨んでいる請求項3記載の
リニアモータ。
6. The encoder scale is provided on the stator on a lower surface side of the stator, and the first sensor faces the field magnet from a lateral surface side of the stator. 4. The linear motor according to claim 3, wherein the second detection sensor faces the encoder scale from a lower surface of the stator.
【請求項7】前記界磁マグネットは、前記固定子の周囲
領域のうち該固定子の上面上方領域を除く領域に該界磁
マグネットによる磁界の強さが最大となる領域と最小と
なる領域が得られるように形成されており、前記第1の
検出センサは該磁界強さが最大となる領域で該界磁マグ
ネットに臨むように前記可動子に設けられており、前記
磁気式エンコーダスケールは、該磁界強さが最小となる
領域に位置するように前記固定子に形成されており、前
記第2の検出センサは該エンコーダスケールに臨むよう
に前記可動子に設けられている請求項3記載のリニアモ
ータ。
7. The field magnet has a region where the strength of the magnetic field by the field magnet is maximum and a region where the magnetic field strength is minimum in a region around the stator other than a region above the upper surface of the stator. The first detection sensor is provided on the mover so as to face the field magnet in a region where the magnetic field strength is maximum, and the magnetic encoder scale is 4. The stator according to claim 3, wherein the stator is formed so as to be located in a region where the magnetic field intensity is minimum, and the second detection sensor is provided on the mover so as to face the encoder scale. Linear motor.
【請求項8】前記界磁マグネットは、前記固定子の前記
片方の横面側で最大の磁界強さが得られるとともに前記
反対側の横面側で最小の磁界強さが得られるように形成
されている請求項4記載のリニアモータ。
8. The field magnet is formed such that a maximum magnetic field strength is obtained on one side surface of the stator and a minimum magnetic field strength is obtained on the opposite side surface. The linear motor according to claim 4, wherein:
【請求項9】前記界磁マグネットは、前記固定子の両横
面側のそれぞれで最大の磁界強さが得られるとともに前
記下面側で最小の磁界強さが得られるように形成されて
いる請求項6記載のリニアモータ。
9. The field magnet is formed such that a maximum magnetic field strength is obtained on each of both lateral surfaces of the stator and a minimum magnetic field strength is obtained on the lower surface. Item 7. The linear motor according to Item 6.
【請求項10】前記可動子は前記電機子コイルの横外側
に配置された基板を備えており、前記第1の検出センサ
は該基板に搭載されて該電機子コイル横外側から前記界
磁マグネットに臨んでおり、前記第2の検出センサも該
基板に搭載されており、前記エンコーダスケールは該基
板上の第2の検出センサに臨む位置に設置されている請
求項1記載のリニアモータ。
10. The armature includes a substrate disposed laterally outside the armature coil, and the first detection sensor is mounted on the substrate and the field magnet is disposed laterally outside the armature coil. 2. The linear motor according to claim 1, wherein the second detection sensor is also mounted on the substrate, and the encoder scale is installed on the substrate at a position facing the second detection sensor. 3.
【請求項11】前記基板は前記電機子コイルに通電して
前記可動子を駆動するための1又は2以上の回路部を備
えており、前記第1及び第2の検出センサは該回路部の
上方領域を除く領域で該基板に設けられている請求項1
0記載のリニアモータ。
11. The circuit board according to claim 1, wherein said substrate includes one or more circuit units for driving said armature by energizing said armature coil, and said first and second detection sensors are provided in said circuit unit. 2. The substrate according to claim 1, wherein the substrate is provided in an area other than an upper area.
0 linear motor.
【請求項12】前記可動子は前記電機子コイルの下方に
配置された基板を備えており、前記第1の検出センサは
該基板に搭載されて該電機子コイル下方から前記界磁マ
グネットに臨んでおり、前記第2の検出センサも該基板
に搭載されており、前記エンコーダスケールは該基板上
の第2の検出センサに臨む位置に配置されている請求項
1記載のリニアモータ。
12. The armature includes a substrate disposed below the armature coil, and the first detection sensor is mounted on the substrate and faces the field magnet from below the armature coil. 2. The linear motor according to claim 1, wherein said second detection sensor is also mounted on said substrate, and said encoder scale is arranged on said substrate at a position facing said second detection sensor.
【請求項13】前記エンコーダスケールは磁気式エンコ
ーダスケールであり、前記第2の検出センサは該エンコ
ーダスケールの磁気情報を読み取る磁気センサである請
求項10、11又は12記載のリニアモータ。
13. A linear motor according to claim 10, wherein said encoder scale is a magnetic encoder scale, and said second detection sensor is a magnetic sensor for reading magnetic information of said encoder scale.
【請求項14】前記エンコーダスケールは光学式エンコ
ーダスケールであり、前記第2の検出センサは該エンコ
ーダスケールの光学情報を読み取る光センサである請求
項10、11又は12記載のリニアモータ。
14. The linear motor according to claim 10, wherein said encoder scale is an optical encoder scale, and said second detection sensor is an optical sensor for reading optical information of said encoder scale.
【請求項15】前記可動子は所定方向に直線駆動される
べき被駆動体の該駆動方向を横切る方向における片側端
部に接続されており、前記第1及び第2の検出センサの
うち少なくとも第2の検出センサは、前記被駆動体駆動
時における前記可動子のヨーイング動作の中心を通る該
可動子の前記所定方向に垂直な断面を含む面又はその近
傍に配置されている請求項1から14のいずれかに記載
のリニアモータ。
15. The movable element is connected to one end of a driven body to be linearly driven in a predetermined direction in a direction crossing the driving direction, and at least one of the first and second detection sensors. 15. The detection sensor according to claim 1, wherein the detection sensor is disposed on a plane including a cross section perpendicular to the predetermined direction of the movable element that passes through the center of the yawing operation of the movable element when the driven body is driven, or in the vicinity thereof. The linear motor according to any one of the above.
【請求項16】前記被駆動体は画像読み取り装置におけ
る原稿画像読み取りのための光学部品を搭載したスライ
ダである請求項15記載のリニアモータ。
16. A linear motor according to claim 15, wherein said driven member is a slider on which an optical component for reading a document image in an image reading device is mounted.
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