JPH08168232A - Linear encoder device - Google Patents

Linear encoder device

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JPH08168232A
JPH08168232A JP33044894A JP33044894A JPH08168232A JP H08168232 A JPH08168232 A JP H08168232A JP 33044894 A JP33044894 A JP 33044894A JP 33044894 A JP33044894 A JP 33044894A JP H08168232 A JPH08168232 A JP H08168232A
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magnetic
linear
linear synchronous
magnetic field
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JP33044894A
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Inventor
Takuya Maeda
Masatoyo Sogabe
Mitsuyuki Taniguchi
拓也 前田
正豊 曽我部
満幸 谷口
Original Assignee
Fanuc Ltd
ファナック株式会社
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Abstract

PURPOSE: To obviate the mechanical connection between a linear encoder device and a liner synchronous motor, by integrally installing on the liner synchronous motor side a detection unit for detecting the magnetic field generated by the motor.
CONSTITUTION: A linear encoder device is integrated with a linear synchronous motor 2. The stator 23 of the linear synchronous motor 2 includes a yoke 24 that extends in the direction of the movement of a movable element 21 and constitutes a base. Permanent magnets 25 of different polarity that are alternately placed in the direction of the movement at a constant interval. Provided with coils 22, the movable element 21 is installed in such a way that it can travel with a constant gap 26 maintained between it and the permanent magnets 25. The encoder device 1 includes a detection unit 11 installed on the movable element 21 side, and the unit is positioned at the end of the movable element 21 in the direction of movement. When the linear synchronous motor 2 is driven, the movable element 21 is moved along the stator 23. While the movable element is moving, variation in magnetic field is detected and the information on the movement of the linear synchronous motor 2 is output. This obviates the mechanical connection between the linear encoder device and the linear synchronous motor.
COPYRIGHT: (C)1996,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、リニアエンコーダ装置に関し、特に、リニア同期モータの位置検出を行なうリニアエンコーダ装置に関する。 The present invention relates to relates to a linear encoder device, in particular, it relates to a linear encoder device that performs position detection of the linear synchronous motor.

【0002】 [0002]

【従来の技術】一般に電磁力によって直線的な運動あるいは往復運動を与える駆動装置としてリニア同期モータが知られており、また直線的な運動あるいは往復運動を行なう移動体の位置を求める検出装置としてリニアエンコーダ装置が知られている。 Linear synchronous motor is known as a driving device for providing a linear movement or a reciprocating motion by an electromagnetic force of the Related Art Generally, also linear as a detection device for determining the position of a moving object performing a linear movement or reciprocation the encoder apparatus is known. そして、従来のリニア同期モータにおいては、このリニア同期モータによって移動した位置や移動速度及び電流位相を決めるための磁極位置についての情報を得るために、別個の独立したリニアエンコーダを併設させている。 Then, in the conventional linear synchronous motor, in order to obtain information about the magnetic pole position to determine the moved position and the moving speed and the current phase by this linear synchronous motor, which is features a separate and independent linear encoder. 図10は従来のリニア同期モータに設置したリニアエンコーダ装置の構成を説明するための図である。 Figure 10 is a diagram for explaining the configuration of the linear encoder device installed in a conventional linear synchronous motor. 図10において、リニア同期モータ6は複数個のコイル64が配置された固定部63と、 10, the linear synchronous motor 6 to the fixed portion 63 in which a plurality of coils 64 are arranged,
永久磁石62が設置された可動部61とを備え、固定部63側のコイル64の励磁を順に切り替えることによって可動部61の駆動を行っている。 And a movable portion 61 that the permanent magnet 62 is installed, is performed to drive the movable unit 61 by switching the excitation of the fixed portion 63 side of the coil 64 in order.

【0003】このリニア同期モータ6の移動位置、移動速度、磁極位置を知るために、リニアエンコーダ5が併設される。 [0003] movement position of the linear synchronous motor 6, the moving speed, in order to know the magnetic pole position, the linear encoder 5 is juxtaposed. リニアエンコーダ5は、例えば検出部54が配置された固定部53と、永久磁石52が設置された可動部51とを備え、可動部51の移動に伴う永久磁石5 Linear encoder 5, for example, a fixing portion 53 which detector 54 is disposed, and a movable portion 51 that the permanent magnet 52 is installed, the permanent magnet 5 with the movement of the movable portion 51
2の磁界変化を検出部54で検出している。 The second magnetic field changes are detected by the detector 54. そして、このリニアエンコーダ5とリニア同期モータ6とは結合部7によって機械的に連結し、リニア同期モータ6による可動部61の動きをリニアエンコーダ5の可動部51に伝えることによって、リニアエンコーダによるリニア同期モータの移動状態の検出を行なっている。 Then, by the linear encoder 5 and the linear synchronous motor 6 mechanically coupled by joints 7, transmit the movement of the movable portion 61 by the linear synchronous motor 6 to the movable portion 51 of the linear encoder 5, linear by linear encoder It is performed to detect the moving state of the synchronous motor. なお、前記リニア同期モータおリニアエンコーダの構成は一例であって、その他種々の構成が知られている。 The configuration of the linear synchronous motor Contact linear encoder is an example, and other various configurations are known.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来のリニアエンコーダ装置においては、リニア同期モータに対して別個のリニアエンコーダを必要とし、それらを機械的に接続しなければならないという問題点を有している。 [SUMMARY OF THE INVENTION However, in the conventional linear encoder device requires a separate linear encoder with respect to linear synchronous motors, they have a problem that must be mechanically connected there. このような構成のため、従来のリニアエンコーダ装置では、装置が大型化し、構成部品の点数が増加するという問題が生じたり、また、リニア同期モータにおける磁界とリニアエンコーダによる検出出力との間の位相を合わせるために、両者の位置合わせが必要となるという問題も生じることになる。 With this structure, the conventional linear encoder apparatus, the apparatus becomes large in size, or there is a problem that the number of components is increased, also the phase between the detection output of the magnetic field and linear encoder in the linear synchronous motor in order to match the, also it will occur a problem that both the alignment is required. そこで、本発明は前記した従来のリニアエンコーダ装置の問題点を解決して、リニア同期モータとの機械的接続を不要とするリニアエンコーダ装置を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention is to solve the problems of the conventional linear encoder apparatus described above, and an object thereof is to provide a linear encoder device that does not require a mechanical connection between the linear synchronous motor.

【0005】 [0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、リニア同期モータの移動状態を検出するリニアエンコーダ装置であって、リニア同期モータの発生する磁界を検出する検出部をリニア同期モータ側に一体に備えることにより、前記目的を達成するものである。 Means for Solving the Problems The present invention provides a linear encoder device for detecting a moving state of the linear synchronous motor comprises integrally a detection unit that detects the magnetic field generated by the linear synchronous motor in the linear synchronous motor side by, it is intended to achieve the above object. 本発明のリニアエンコーダ装置は、リニア同期モータあるいはリニア同期モータにより駆動される移動体の移動位置や移動速度等の移動情報を検出するための装置であり、リニア同期モータが発生する磁界を検出することによって該移動情報を得るものである。 Linear encoder apparatus of the present invention is a device for detecting the movement information such as the moving position and the moving speed of the moving body driven by a linear synchronous motor or a linear synchronous motor, detects a magnetic field linear synchronous motor generates it is intended to obtain the moving information by. リニア同期モータが発生する磁界は、リニア同期モータの移動方向に沿って磁界変化している。 Magnetic field linear synchronous motor generates is in the magnetic field varies along the direction of movement of the linear synchronous motor. 本発明のリニアエンコーダ装置は、該磁界変化を検出することによってリニア同期モータの移動部分の移動情報を求めるものである。 Linear encoder apparatus of the present invention is to obtain the moving information of the moving part of the linear synchronous motor by detecting a magnetic field change.

【0006】本発明のリニアエンコーダ装置において、 [0006] In the linear encoder device of the present invention,
検出部をリニア同期モータの移動方向に対してリニア同期モータの可動部の磁界発生部の端部に設置することができ、これによって、リニア同期モータの固定部に配設された磁界発生部の主磁束を検出することができる。 Detector can be installed at the ends of the magnetic field generating portion of the movable portion of the linear synchronous motor to the moving direction of the linear synchronous motor, whereby the linear disposed on the fixed portion of the synchronous motor the magnetic field generating unit it is possible to detect the main magnetic flux. また、本発明のリニアエンコーダ装置において、検出部をリニア同期モータの移動方向に対してリニア同期モータの可動部の磁界発生部の側部に設置することができ、これによって、リニア同期モータの固定部に配設された磁界発生部の横方向の漏れ磁束を検出することができる。 Further, in the linear encoder device of the present invention, the detection unit can be installed on the side of the magnetic field generation portion of the movable portion of the linear synchronous motor to the moving direction of the linear synchronous motor, whereby, in the linear synchronous motor fixing lateral leakage flux of the magnetic field generating unit disposed in the part can be detected.

【0007】また、本発明のリニアエンコーダ装置において、検出部をリニア同期モータの固定部の磁界発生部に併設することができ、これによって、リニア同期モータの可動部の磁界を検出することができる。 Further, in the linear encoder device of the present invention, the detection unit can be features of the magnetic field generation portion of the fixed portion of the linear synchronous motor, which makes it possible to detect the magnetic field of the movable portion of the linear synchronous motor . また、本発明のリニアエンコーダ装置において、その磁路の両端がリニア同期モータの固定部の磁界発生部の異なる位置の磁極に対向した磁路構成手段と、磁路中に配置され磁路中の磁界状態を検出する磁気検出手段とを検出部に備えさせることができ、これによって、リニア同期モータの固定部に配設された磁界発生部の主磁束を検出することができる。 Further, in the linear encoder device of the present invention, the magnetic path constituting means for both ends of the magnetic path is opposed to the magnetic poles of different positions of the magnetic field generation portion of the fixed portion of the linear synchronous motor, in a magnetic path is disposed in the magnetic path can let a magnetic detection means for detecting the magnetic field state to the detection section, thereby, it is possible to detect the primary magnetic flux of the magnetic field generator disposed in the fixed portion of the linear synchronous motor.

【0008】 [0008]

【作用】リニア同期モータを駆動すると、移動部に対する固定部側の磁界状態が変化する。 SUMMARY OF] Driving the linear synchronous motor, the magnetic field state of the fixing unit side changes to the mobile unit. 本発明のリニアエンコーダ装置が備えた検出部は、前記リニア同期モータの磁界変化を検出する。 Linear encoder device detector with the present invention detects the change in magnetic field of the linear synchronous motor. このリニア同期モータの磁界変化はリニア同期モータにおける移動部の位置や速度等の移動情報と対応しており、検出部の検出信号によってリニア同期モータの移動情報を求めることができる。 The linear synchronous motor of the magnetic field change can be obtained linear movement information of the position and speed of the moving portion in the synchronous motor and corresponds, movement information of the linear synchronous motor by the detection signal of the detection unit. リニア同期モータの移動方向に対してリニア同期モータの可動部の磁界発生部の端部に設置した検出部は、リニア同期モータの固定部に配設された磁界発生部の主磁束を検出する。 Detector installed in an end portion of the magnetic field generating portion of the movable portion of the linear synchronous motor to the moving direction of the linear synchronous motor, detects a main magnetic flux of the magnetic field generator disposed in the fixed portion of the linear synchronous motor. リニア同期モータが駆動されると可動部は固定部に対して移動する。 When the linear synchronous motor is driven movable portion moves relative to the fixed part. この移動によって、固定部側の磁界発生部からの磁界は強度及び方向が変化する。 This movement, magnetic field from the magnetic field generation portion of the fixed portion side is intensity and direction changes. 可動部側に設けられた検出部はこの磁界変化を、リニア同期モータの移動情報として検出することができる。 Detecting portion provided on the movable portion side of the magnetic field change can be detected as the movement information of the linear synchronous motor. また、可動部の側部に設けた検出部は、リニア同期モータの固定部に配設された磁界発生部の漏れ磁束を検出し、該漏れ磁束の移動に伴う変化を検出することによって、リニア同期モータの移動情報を検出することができる。 The detection unit which is provided on the side of the movable portion, by detecting the leakage magnetic flux of the linear synchronous motor of the fixed portion disposed in the magnetic field generating unit, detects a change caused by the movement of 該漏 Re flux, linear it can detect the movement information of the synchronous motor.

【0009】また、検出部をリニア同期モータの固定部の磁界発生部に平行して複数個の磁界検出手段を併設している構成の場合には、リニア同期モータの可動部に近接した位置にある磁界検出手段が該可動部の磁界を検出し、可動部の移動情報を求めることができる。 Further, in the case of the configuration in parallel detector to the magnetic field generation portion of the fixed portion of the linear synchronous motor has features a plurality of magnetic field detection means, at a position close to the movable portion of the linear synchronous motor there the magnetic field detecting means detects a magnetic field of the movable portion, it is possible to obtain the moving information of the movable portion. また、磁路中に配置され磁路中の磁界状態を検出する磁気検出手段を用いる場合には、その磁路の両端がリニア同期モータの固定部の磁界発生部の異なる位置の磁極に対向しており、移動部の移動に伴って磁路中を通過する磁束の強度及び方向が変化する。 In the case of using a magnetic detection means for detecting the magnetic field condition in the magnetic path is disposed in the magnetic path is opposed to the magnetic poles of different positions of the magnetic field generation portion of both ends of the magnetic path is linear synchronous motor of the fixed part and has, strength and direction of magnetic flux changes which passes through the magnetic path with the movement of the moving portion. この磁路中の磁束の変化を磁気検出手段によって検出することにより、移動体の移動情報を検出することができる。 By detecting the change in magnetic flux in the magnetic path by the magnetic detection means, it is possible to detect the movement information of the moving object.

【0010】 [0010]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図を参照しながら詳細に説明する。 EXAMPLES Hereinafter, a description will be given of an embodiment of the present invention in detail with reference to FIG. (本発明の第1の実施例)はじめに、図1,図2を用いて本発明のエンコーダ装置を実施する構成例について説明する。 (First embodiment of the present invention) First, FIG. 1, a configuration example for implementing the encoder apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. 図1は本発明のリニアエンコーダ装置の第1の実施例の構成を説明する断面図であり、図2は本発明のリニアエンコーダ装置の第1の実施例の構成を説明する斜視図である。 Figure 1 is a sectional view illustrating the configuration of a first embodiment of a linear encoder apparatus of the present invention, FIG 2 is a perspective view illustrating the configuration of a first embodiment of a linear encoder apparatus of the present invention.

【0011】図1において、リニアエンコーダ装置1はリニア同期モータ2と一体に形成されて構成されている。 [0011] In FIG 1, the linear encoder device 1 is constructed integrally formed with the linear synchronous motor 2. 第1の実施例におけるリニア同期モータ2は固定子23と該固定子23に対して移動する可動子21とを備え、固定子23は可動子21の移動方向に延長して形成されたベースを構成するヨーク24と該ヨーク24上に移動方向に沿って配置された永久磁石25とを有している。 Linear synchronous motor 2 in the first embodiment and a movable member 21 which moves relative to the stator 23 and the stator 23, the base stator 23 is formed extending in the moving direction of the movable element 21 along the movement direction on the yoke 24 and the yoke 24 forming and a permanent magnet 25 disposed. 該永久磁石25は交互に異なる磁極が一定周期で配置されている。 The permanent magnets 25 have different magnetic poles alternately are arranged at a constant period. また、可動子21はコイル22を有して、前記永久磁石25と一定間隔のギャップ26を形成して移動可能に設けられている。 Further, the movable element 21 has a coil 22 is provided to be movable by a gap 26 of constant spacing between the permanent magnet 25. また、この可動子21 In addition, the movable element 21
にはテーブル3等の移動体を設けることができる。 It can be provided a moving body such as a table 3.

【0012】一方、本発明のエンコーダ装置1は可動子21側に設けた検出部11を備えている。 Meanwhile, the encoder device 1 of the present invention includes a detecting unit 11 provided on the movable element 21 side. 検出部11の可動子21における取付け位置は、可動子21の移動方向に端部とし、取付け部12によってリニア同期モータ2の永久磁石25に対向するよう設置され、永久磁石2 Mounting position in the movable element 21 of the detector 11, and the end portion in the moving direction of the movable element 21 is disposed so as to face the permanent magnets 25 of the linear synchronous motor 2 by the mounting unit 12, the permanent magnet 2
5が形成する磁界を検出する。 5 detects the magnetic field formed. 検出部11としては、例えばホール素子や磁気抵抗素子等の磁気検出手段を用いることができる。 As detection section 11, a magnetic detector such as, for example, a Hall element or magneto resistance element. リニア同期モータ2が駆動すると、可動子21は固定子23に対して移動する。 When the linear synchronous motor 2 is driven, the movable element 21 moves relative to the stator 23. この可動子2 The mover 2
1の移動に伴って、検出部11付近の磁界の強度及び方向が変化する。 With the movement of the 1, the intensity and direction of the magnetic field in the vicinity of the detection unit 11 changes. 検出部11はこの磁界の変化を検出して、リニア同期モータ2の移動情報を出力する。 Detector 11 detects the change in magnetic field, and outputs the movement information of the linear synchronous motor 2. 検出部11は可動子21に隣接して設置されているため、可動子21が有するのコイル22の磁界の影響を受ける可能性があるが、検出部11の磁気検出手段の設置位置をコイル22からの磁界の影響を無視するに充分な距離としたり、磁気検出手段の設置方向をコイル22からの磁界の影響が少なくなる方向とすることによって、永久磁石25の磁界変化を有効に検出することができる。 Since the detection unit 11 is installed adjacent to the movable element 21, but may be subject to influence of the magnetic field of the coil 22 of a movable element 21, the coil installation position of the magnetic detector of the detecting section 11 22 or a sufficient distance to ignore the influence of the magnetic field from, by the direction in which the influence of the magnetic field is reduced in the installation direction of the magnetic detection means from the coil 22, to effectively detect the magnetic field variation of the permanent magnet 25 can.

【0013】(本発明の第2の実施例)次に、図3の本発明のリニアエンコーダ装置の第2の実施例の構成を説明する斜視図を用いて説明する。 [0013] (second embodiment of the present invention) will now be described with reference to a perspective view illustrating the configuration of a second embodiment of the linear encoder device of the present invention in FIG. 図3の示す第2の実施例は、検出部12の設置位置のみ相違し、その他の構成については前記第1の実施例とほぼ同じである。 Second embodiment indicated by FIG. 3, differs only installation position of the detector 12, is substantially the same as the first embodiment other configurations. そこで、以下では検出部12についてのみ説明する。 Therefore, a description will be given only detecting unit 12 in the following. 検出部12は、リニア同期モータ2の可動子21の側部に設置され、リニア同期モータ2の固定子23側に配置された永久磁石25の横方向に形成されている漏れ磁束を検出することによって、リニア同期モータの移動情報を求めるものである。 Detector 12 is disposed on the side of the linear synchronous motor 2 of the movable element 21, to detect the leakage flux which is formed in the lateral direction of the permanent magnet 25 disposed on the stator 23 side of the linear synchronous motor 2 by, and requests handover information of the linear synchronous motor.

【0014】(本発明の第3〜第5の実施例)次に、本発明の第3〜第5の実施例について、図4の(a)〜 [0014] (third to fifth embodiments of the present invention) Next, the third to fifth embodiments of the present invention, in FIG. 4 (a) ~
(c)を用いて説明する。 It will be described with reference to (c). 第3〜第5の実施例は、本発明のリニアエンコーダ装置を構成するリニア同期モータ2として、固定子側にコイル27をその移動方向に沿って複数個配置し、可動子側に永久磁石26を設置するものであり、リニアエンコーダ装置の検出部13〜15はリニア同期モータの固定子側に複数個配設するものである。 Example of third to fifth, as a linear synchronous motor 2 constituting the linear encoder device of the present invention, a plurality arranged along the coil 27 to the moving direction of the stator side, the permanent magnet 26 to the movable section is intended to install the detection unit 13 to 15 of the linear encoder device is for a plurality disposed in the stator side of the linear synchronous motor.

【0015】図4の(a)において、検出部13は、リニア同期モータの固定部側にコイル27に沿って併設することにより構成される。 [0015] in FIG. 4 (a), the detection unit 13 is constituted by features along the coil 27 on the fixed portion side of the linear synchronous motor. 可動子21側の永久磁石26 The movable element 21 side of the permanent magnet 26
と固定子側のコイル27及び検出部13は対向して配置され、可動子21の移動に伴ってコイル27及び検出部13らに対する磁界状態が変化する。 The coil 27 and the detecting portion 13 of the stator side are disposed so as to face each other, magnetic field state changes to the coil 27 and the detecting section 13 et with the movement of the movable element 21. 検出13はこの磁界変化を検出することよって、移動子21の移動情報を求めることができる。 Detection 13 I'm detecting the magnetic field change can be obtained movement information of the movable element 21.

【0016】図4の(b)に示す本発明の第4の実施例は、図4の(a)に示す構成のリニアエンコーダ装置において、コイル27による検出部14への影響を防止するためにコイル27と検出部14との間に磁気シールド41を設け、永久磁石26の磁界をより効率的に検出する構成である。 Fourth embodiment of the present invention shown in [0016] in FIG. 4 (b), the linear encoder apparatus shown in FIG. 4 (a), in order to prevent the influence on the detecting section 14 by the coil 27 the magnetic shield 41 is provided between the coil 27 and the detection unit 14 is more efficiently detect constituting the magnetic field of the permanent magnet 26.

【0017】また、図4の(c)に示す本発明の第5の実施例は、図4の(a)に示す構成のリニアエンコーダ装置において、コイル27による検出部14への影響を防止するために検出部15の設置位置を永久磁石26に接近した位置となるよう構成し、永久磁石26の磁界をより効率的に検出する構成である。 Further, a fifth embodiment of the present invention shown in (c) of FIG. 4, the linear encoder apparatus shown in FIG. 4 (a), to prevent the influence of the detection unit 14 by the coil 27 configured so as to be approached to the installation position of the detector 15 to the permanent magnet 26 to the position, it is more efficiently detect constituting the magnetic field of the permanent magnet 26.

【0018】(本発明の第6の実施例)図5は、本発明のリニアエンコーダ装置の第6の実施例を説明するための断面図である。 [0018] Figure 5 (Example of the sixth invention) is a sectional view for explaining the sixth embodiment of the linear encoder device of the present invention. 図5に示す第6の実施例は、検出部1 The sixth embodiment shown in FIG. 5, the detection unit 1
6の構成のみ相違し、その他の構成については前記第1 Configuration 6 differ only, said other configurations first
の実施例とほぼ同じである。 Examples to be approximately the same. そこで、以下では検出部1 Therefore, the detection unit 1 in the following
6についてのみ説明する。 A description will be given only 6. 第6の実施例の検出部16 Detector 16 of the sixth embodiment
は、磁気検出手段42と磁路43とから構成される。 Consists magnetic detection unit 42 and the magnetic path 43. 磁路43は高い透過磁率を有した磁性材料によって概略コの字状の形状に形成した構成要素であり、その一方の端部である第1磁路端部44及び他方の端部である第2磁路端部45は共に固定子23側の永久磁石25にギャップ26を介して対向している。 The magnetic path 43 is a high magnetic material having a permeability permeability is a component which is formed in-shape outline co first magnetic path end portion 44 and the other end which is one end thereof 2 magnetic path end portion 45 is opposed through the gap 26 to the permanent magnet 25 of the stator 23 side together. また、第1磁路端部44 The first magnetic path end portion 44
が対向する永久磁石25の磁極と第2磁路端部45の対向する磁極とは、その極性が異なるように設定されている。 There The opposite poles of the magnetic pole and the second magnetic path end portion 45 of the permanent magnet 25 that faces, the polarity is set to be different.

【0019】さらに、この磁路43の途中には磁気検出手段42が設置され、磁路内を通過する磁束の強度や方向を検出する。 Furthermore, the magnetic detection unit 42 in the middle of the magnetic path 43 is disposed to detect the intensity and direction of the magnetic flux passing through the magnetic path. 例えば、磁気検出手段42としてホール素子を用いる場合には、磁束の強度と共にその磁束方向を検出することができる。 For example, in the case of using a Hall element as a magnetic detecting means 42 can detect the magnetic flux direction the strength of the magnetic flux. 図5では、磁気検出手段42 In Figure 5, the magnetic detection means 42
を磁路43の中央部分としているが、磁路43内であれば任意の位置とすることができる。 The although the central portion of the magnetic path 43, may be any position as long as within the magnetic path 43.

【0020】次に、図7を用いて本発明の第6の実施例の作用について説明する。 [0020] Next, the operation of the sixth embodiment of the present invention with reference to FIG. なお、図7は固定子側の永久磁石と可動子側のコイル及び検出部16との関係のみを概略的に示し、永久磁石による磁束を実線の矢印により示し、コイルによる磁束を破線の矢印によって示している。 Note that FIG. 7 schematically shows only the relationship between the coil and the detection unit 16 of the permanent magnet of the stator side and the movable section, the magnetic flux generated by the permanent magnet shown by the solid arrows, the magnetic flux by the coil dashed arrows shows. はじめに、可動子と固定子は、図7の(a)に示すような位置関係にある場合には、第1磁路端部44は永久磁石のN極と対向し第2磁路端部45は永久磁石のS First, the mover and the stator, when a positional relationship as shown in FIG. 7 (a), the second magnetic path end first magnetic path end portion 44 faces the N pole of the permanent magnet 45 the permanent magnet S
極と対向し、永久磁石のN極と対向するコイルはS極でありS極と対向するコイルはN極である。 Opposite the pole, N pole facing the coil of the permanent magnet is a coil which faces the S-pole and S pole is an N pole. このとき、磁気検出手段42には図中の右方向に永久磁石による磁束とコイルによる磁束が通過する。 At this time, the magnetic flux passes by the magnetic flux and the coil by the permanent magnets in the right direction in the drawing in the magnetic detection unit 42. したがって、磁気検出手段42は図中の右方向の大きな磁界を検出することになる。 Therefore, the magnetic detection means 42 will detect the large magnetic field in the right direction in FIG.

【0021】次に、可動子が図の右方向に移動する場合には、図7の(b)に示すようにコイルの極性が反転して、永久磁石のN極と対向するコイルの極性もN極となり、S極と対向するコイルの極性もS極となる。 Next, when the movable member is moved to the right in FIG inverts the polarity of the coils as shown in (b) of FIG. 7, also the polarity of the coil which faces the N pole of the permanent magnet becomes N pole, the coil polarity facing the S pole becomes the S pole. このとき、磁気検出手段42においては、永久磁石による磁束は図中の右方向となり、一方コイルによる磁束は反対に図中の左方向となる。 In this case, the magnetic sensing means 42, the magnetic flux by the permanent magnets becomes the right direction in the drawing, whereas the magnetic flux by the coil is the left direction in FIG opposite. したがって、磁気検出手段42は永久磁石による磁束とコイルによる磁束の差に対応する小さな磁界強度を検出することになる。 Therefore, the magnetic detection means 42 will detect the small magnetic field intensity corresponding to the difference between the magnetic flux by the magnetic flux and the coil by the permanent magnet. さらに、可動子が図の右方向に移動する場合には、図7の(c)に示すように第1磁路端部44及び第2磁路端部45は、永久磁石のN極とS極との境界部分と対向する位置となる。 Furthermore, when the movable member is moved to the right in the figure, the first magnetic path end portion 44 and the second magnetic path end portion 45 as shown in FIG. 7 (c), the permanent magnet N pole and S a position facing the boundary between the poles.
このとき、磁気検出手段42においては、永久磁石による磁束はほぼなくなり、一方コイルによる磁束は図中の左方向となる。 In this case, the magnetic sensing means 42, the magnetic flux by the permanent magnet disappears almost whereas the magnetic flux by the coil is the left direction in FIG. したがって、磁気検出手段42はコイルによる磁束のみを検出することになる。 Therefore, the magnetic detection means 42 will detect only the magnetic flux by the coil.

【0022】可動子が図7の(d)に示す位置関係となった場合には、第1磁路端部44は永久磁石のS極と対向し第2磁路端部45は永久磁石のN極と対向し、永久磁石のN極と対向するコイルはS極でありS極と対向するコイルはN極である。 The mover when a positional relationship shown in (d) of FIG. 7, the first magnetic path end portion 44 and the second magnetic path end portion 45 faces the S pole of the permanent magnet of the permanent magnet faces the N pole, the N pole facing the coil of the permanent magnet is a coil which faces the S-pole and S pole is an N pole. このとき、磁気検出手段42には図中の左方向に永久磁石による磁束とコイルによる磁束が通過する。 At this time, the magnetic flux passes by the magnetic flux and the coil by the permanent magnet to the left in the drawing in the magnetic detection unit 42. したがって、磁気検出手段42は図中の左方向の大きな磁界を検出することになる。 Therefore, the magnetic detection means 42 will detect the large magnetic field in the left direction in FIG. 前記図7の(d)の位置から可動子がわずかに移動すると図7の(e)に示すように、第1磁路端部44は永久磁石のS When the movable element is moved slightly from the position of (d) of FIG. 7 as shown in (e) in FIG. 7, the first magnetic path end portion 44 of the permanent magnets S
極と対向し第2磁路端部45は永久磁石のN極と対向したままでコイルの極性が反転して、永久磁石のN極と対向するコイルはN極でありS極と対向するコイルはS極なる。 Coil electrode opposed to the second magnetic path end portion 45 inverts the polarity of the coil while facing the N pole of the permanent magnet, the N pole facing the coil of the permanent magnet facing the a N pole S pole is the S pole. このとき、磁気検出手段42においては、永久磁石による磁束は図中の左方向となり、一方コイルによる磁束は反対に図中の右方向となる。 In this case, the magnetic sensing means 42, the magnetic flux by the permanent magnets becomes the left direction in the drawing, whereas the magnetic flux by the coil is the right direction in FIG opposite. したがって、磁気検出手段42は永久磁石による磁束とコイルによる磁束の差に対応する小さな磁界強度を検出することになる。 Therefore, the magnetic detection means 42 will detect the small magnetic field intensity corresponding to the difference between the magnetic flux by the magnetic flux and the coil by the permanent magnet.

【0023】さらに可動子が図の右方向に移動すると、 [0023] Furthermore, the movable element is moved in the right direction in the drawing,
図7の(f)に示すように第1磁路端部44及び第2磁路端部45は、永久磁石のN極とS極との境界部分と対向する位置となる。 The first magnetic path end portion 44 and the second magnetic path end portion 45 as shown in (f) of FIG. 7, a boundary portion and a position facing the N pole and the S pole of the permanent magnet. このとき、磁気検出手段42においては、永久磁石による磁束はほぼなくなり、一方コイルによる磁束は図中の右方向となる。 In this case, the magnetic sensing means 42, the magnetic flux by the permanent magnet disappears almost whereas the magnetic flux by the coil is the right direction in FIG. したがって、磁気検出手段42はコイルによる磁束のみを検出することになる。 Therefore, the magnetic detection means 42 will detect only the magnetic flux by the coil. その後可動子が図の右方向に移動すると、前記図7 Thereafter, when the movable element is moved to the right in the drawing, FIG. 7
の(a)に示す位置関係となり、前記した図7の(a) Of it becomes the position relation shown in (a), of FIG. 7 (a) above
から図7の(f)を繰り返すことになる。 It will be repeated in FIG. 7 (f) from. したがって、 Therefore,
検出部の検出する磁界の強度及び方向はリニア同期モータの移動に伴ってが変化することになり、この検出部の検出出力によってリニア同期モータの移動情報を求めることができる。 Intensity and direction of the detection magnetic field of the detector will be along with the movement of the linear synchronous motor is changed, it is possible to determine the movement information of the linear synchronous motor by the detection output of the detection unit.

【0024】(本発明の第7の実施例)図6は、本発明のリニアエンコーダ装置の第7の実施例を説明するための断面図である。 [0024] (Seventh embodiment of the present invention) FIG. 6 is a sectional view for explaining a seventh embodiment of the linear encoder device of the present invention. 図6に示す第7の実施例は、検出部1 The seventh embodiment shown in FIG. 6, the detection unit 1
7の構成のみ相違し、その他の構成については前記第1 7 only configuration different, said other configurations first
及び第6の実施例とほぼ同じである。 And it is substantially the same as the sixth embodiment. そこで、以下では検出部17についてのみ説明する。 Therefore, a description will be given only detecting unit 17 in the following.

【0025】第7の実施例の検出部17は前記第6の実施例の検出部16とほぼ同じ構成であり、磁気検出手段42と磁路43とから構成される。 The detection unit 17 of the seventh embodiment is almost the same as that of the detecting portion 16 of the sixth embodiment, and a magnetic detection unit 42 and the magnetic path 43. 磁路43は高い透過磁率を有した磁性材料によって概略コの字状の形状に形成した構成要素であり、その一方の端部である第1磁路端部46及び他方の端部である第2磁路端部47は共に固定子23側の永久磁石25にギャップ26を介して対向している。 The magnetic path 43 is a high magnetic material having a permeability permeability is a component which is formed in-shape outline co first magnetic path end portion 46 and the other end which is one end thereof 2 magnetic path end portion 47 is opposed through the gap 26 to the permanent magnet 25 of the stator 23 side together. また、第1磁路端部46が対向する永久磁石25の磁極と第2磁路端部47の対向する磁極とは、 Further, the magnetic pole first magnetic path end portion 46 is opposed to the magnetic pole and the second magnetic path end portion 47 of the permanent magnets 25 facing each other,
その極性が異なるように設定し、コイルの磁界の影響を受けない程度の距離に設置されている。 Its polarity is set to be different, it is installed at a distance of an extent which is not affected by the magnetic field of the coil. また、この磁路43の途中には前記第6の実施例と同様に磁気検出手段42が設置され、磁路内を通過する磁束の強度や方向を検出する。 Moreover, this in the middle of the magnetic path 43 is the sixth magnetic detection unit 42 similarly to the embodiment of the is installed and detects the strength and direction of magnetic flux passing through the magnetic path. 例えば、磁気検出手段42としてホール素子を用いる場合には、磁束の強度と共にその磁束方向を検出することができる。 For example, in the case of using a Hall element as a magnetic detecting means 42 can detect the magnetic flux direction the strength of the magnetic flux. 図6では、磁気検出手段42を磁路43の中央部分としているが、磁路43内であれば任意の位置とすることができる。 In Figure 6, the magnetic detection means 42 is the central portion of the magnetic path 43, may be any position as long as within the magnetic path 43.

【0026】次に、図8を用いて本発明の第7の実施例の作用について説明する。 Next, a description will be given of the operation of the seventh embodiment of the present invention with reference to FIG. なお、図7は固定子側の永久磁石と可動子側のコイル及び検出部17との関係のみを概略的に示し、永久磁石による磁束を実線の矢印により示し、コイルによる磁束を破線の矢印によって示している。 Note that FIG. 7 schematically shows only the relationship between the coil and the detection unit 17 of the permanent magnet of the stator side and the movable section, the magnetic flux generated by the permanent magnet shown by the solid arrows, the magnetic flux by the coil dashed arrows shows. はじめに、可動子と固定子は、図8の(a)に示すような位置関係にある場合には、第1磁路端部46は永久磁石のS極と対向し第2磁路端部47は永久磁石のN First, the mover and the stator, when a positional relationship as shown in (a) of FIG. 8, first magnetic path end portion 46 faces the S pole of the permanent magnet second path end portion 47 the permanent magnet N
極と対向し、永久磁石のN極と対向するコイルはS極でありS極と対向するコイルはN極である。 Opposite the pole, N pole facing the coil of the permanent magnet is a coil which faces the S-pole and S pole is an N pole. このとき、磁気検出手段42には図中の左方向に永久磁石による磁束が通過する。 At this time, the magnetic flux passes through the permanent magnets in the left direction in the drawing in the magnetic detection unit 42. したがって、磁気検出手段42は図中の左方向の磁界を検出することになる。 Therefore, the magnetic detection means 42 will detect the magnetic field in the left direction in FIG.

【0027】次に、可動子が図の右方向に移動する場合には、図8の(b)に示すようにコイルの極性が反転して、永久磁石のN極と対向するコイルの極性もN極となり、S極と対向するコイルの極性もS極となる。 Next, when the movable member is moved to the right in FIG inverts the polarity of the coils as shown in FIG. 8 (b), also the polarity of the coil which faces the N pole of the permanent magnet becomes N pole, the coil polarity facing the S pole becomes the S pole. このとき、磁気検出手段42においては、永久磁石による磁束は図中の左方向となる。 In this case, the magnetic sensing means 42, the magnetic flux by the permanent magnet in the left direction in FIG. したがって、磁気検出手段42 Therefore, the magnetic detection means 42
は図中の左方向の磁界を検出することになる。 It will detect the magnetic field in the left direction in FIG. さらに、 further,
可動子が図の右方向に移動する場合には、図8の(c) Mover when moving in the right direction in the drawing, shown in FIG. 8 (c)
に示すように第1磁路端部46及び第2磁路端部47 The As shown in 1 magnetic path end portion 46 and the second magnetic path end portion 47
は、永久磁石のN極とS極との境界部分と対向する位置となる。 Is a boundary position opposed to the N pole and the S pole of the permanent magnet. このとき、磁気検出手段42においては、永久磁石による磁束はほぼなくなり、磁気検出手段42の出力は減少する。 In this case, the magnetic sensing means 42, the magnetic flux by the permanent magnet disappears almost output of the magnetic detector 42 decreases.

【0028】可動子が図8の(d)に示す位置関係となった場合には、第1磁路端部46は永久磁石のN極と対向し第2磁路端部47は永久磁石のS極と対向し、永久磁石のN極と対向するコイルはS極でありS極と対向するコイルはN極である。 The mover when a positional relationship shown in FIG. 8 (d), the second magnetic path end portion 47 first magnetic path end portion 46 faces the N pole of the permanent magnet of the permanent magnet opposite the S pole, N pole facing the coil of the permanent magnet is a coil which faces the S-pole and S pole is an N pole. このとき、磁気検出手段42には図中の右方向に永久磁石による磁束が通過する。 At this time, the magnetic flux passes through the permanent magnets in the right direction in the drawing in the magnetic detection unit 42. したがって、磁気検出手段42は図中の右方向の磁界を検出することになる。 Therefore, the magnetic detection means 42 will detect the magnetic field in the right direction in FIG. 前記図8の(d)の位置から可動子がわずかに移動すると図8の(e)に示すように、第1磁路端部46は永久磁石のN極と対向し第2磁路端部47 When the movable element is moved slightly from the position of (d) of FIG. 8 as shown in (e) in FIG. 8, the second magnetic path end first magnetic path end portion 46 faces the N pole of the permanent magnet 47
は永久磁石のS極と対向したままでコイルの極性が反転して、永久磁石のN極と対向するコイルはN極でありS Inverts the polarity of the coil while facing the S pole of the permanent magnet, the N pole facing the coil of the permanent magnet is N pole S
極と対向するコイルはS極となる。 Coil which faces the pole is an S pole. このとき、磁気検出手段42においては、永久磁石による磁束は図中の右方向となり、磁気検出手段42は永久磁石による磁界を検出することになる。 In this case, the magnetic sensing means 42, the magnetic flux by the permanent magnets becomes the right direction in the drawing, the magnetic detection means 42 will detect the magnetic field by the permanent magnets.

【0029】さらに可動子が図の右方向に移動すると、 [0029] Further the movable element is moved in the right direction in the drawing,
図8の(f)に示すように第1磁路端部46及び第2磁路端部47は、永久磁石のN極とS極との境界部分と対向する位置となる。 The first magnetic path end portion 46 and the second magnetic path end portion 47 as shown in (f) of FIG. 8 is a boundary position opposed to the N pole and the S pole of the permanent magnet. このとき、磁気検出手段42においては、永久磁石による磁束はほぼなくなり、磁気検出手段42の出力は減少する。 In this case, the magnetic sensing means 42, the magnetic flux by the permanent magnet disappears almost output of the magnetic detector 42 decreases. その後可動子が図の右方向に移動すると、前記図8の(a)に示す位置関係となり、 Thereafter, when the movable element is moved in the right direction in the figure, becomes the position relation shown in (a) of FIG. 8,
前記した図8の(a)から図8の(f)を繰り返すことになる。 It will be repeated (f) of FIG. 8 (a) to FIG. 8 described above. したがって、検出部の検出する磁界の強度及び方向はリニア同期モータの移動に伴ってが変化することになり、この検出部の検出出力によってリニア同期モータの移動情報を求めることができる。 Accordingly, the strength and direction of the magnetic field detected by the detection unit will be in accordance with the movement of the linear synchronous motor is changed, it is possible to determine the movement information of the linear synchronous motor by the detection output of the detection unit.

【0030】(本発明の第8の実施例)図9は、本発明のリニアエンコーダ装置の第8の実施例を説明するための断面図である。 FIG. 9 (eighth embodiment of the present invention) is a sectional view for explaining the eighth embodiment of the linear encoder device of the present invention. 図9に示す第8の実施例は、多極型L The eighth embodiment shown in FIG. 9, multi-pole L
DMによるリニア同期モータに本発明のリニアエンコーダ装置を適用したものである。 It is obtained by applying the linear encoder device of the present invention in the linear synchronous motor according to DM. リニア同期モータは、永久磁石を2つのサイドヨーク28に複数個分割配列し、 Linear synchronous motor, a plurality dividing arranged permanent magnets on two side yokes 28,
該サイドヨーク28とセンタコア29との間でコイル2 Coil 2 between the side yokes 28 and the center core 29
2Aとコイル22Bを移動子させる構成である。 The 2A and the coil 22B is configured to move the child.

【0031】そして、本発明のリニアエンコーダ装置の検出部18は、両サイドヨーク28の永久磁石間において磁路を形成する磁路49及び、該磁路49中に設けられる磁気検出手段48とを含んでいる。 [0031] Then, the detection unit 18 of the linear encoder device of the present invention, the magnetic path 49 and forms a magnetic path between the permanent magnets on both side yoke 28 and a magnetic detector 48 provided in the magnetic path 49 which comprise. 磁路43は高い透過磁率を有した磁性材料によって形成した構成要素であり、その一方の端部である第1磁路端部及び他方の端部である第2磁路端部は両サイドヨーク28の永久磁石にギャップ26を介して対向し、第1磁路端部が対向する永久磁石の磁極と第2磁路端部の対向する磁極とは、 Magnetic path 43 is a component formed of a magnetic material having high permeability permeability, the second magnetic path end both side yokes are first magnetic path end and the other end which is one end thereof face each other with a gap 26 to the permanent magnet 28, the magnetic pole first magnetic path end faces of the magnetic pole and the second magnetic path end of the opposing permanent magnets,
その極性が異なるように設定している。 The polarity is set to be different. また、この磁路49の途中には磁気検出手段48が設置され、磁路49 The magnetic detector 48 is installed in the middle of the path 49, path 49
内を通過する磁束の強度や方向を検出する。 Detecting the strength and direction of magnetic flux passing through the inner. 例えば、磁気検出手段48としてホール素子を用いる場合には、磁束の強度と共にその磁束方向を検出することができる。 For example, in the case of using a Hall element as a magnetic detecting means 48 can detect the magnetic flux direction the strength of the magnetic flux.
なお、磁気検出手段48を磁路43内の任意の位置とすることができる。 Incidentally, it is possible to a magnetism detection unit 48 and an arbitrary position within the magnetic path 43.

【0032】図9の(a)から図の右方向に移動すると、磁路の各端部が対向する永久磁石による磁界強度及び極性が変化する。 [0032] Moving to FIG. 9 (a) to the right in the figure, the ends of the magnetic path is the magnetic field strength and polarity are changed by the permanent magnets opposite. 磁気検出手段48はこの磁界の変化を検出することになり、この検出部の検出出力によってリニア同期モータの移動情報を求めることができる。 Magnetic detection means 48 will detect the change in the magnetic field, it is possible to determine the movement information of the linear synchronous motor by the detection output of the detection unit. この実施例の場合には、コイルによる磁界の変化の影響を減少させることができる。 In the case of this embodiment can reduce the influence of change in the magnetic field by the coil.

【0033】 [0033]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、 As described in the foregoing, according to the present invention,
リニア同期モータとの機械的接続を不要とするリニアエンコーダ装置を提供するを提供することができる。 The mechanical connection between the linear synchronous motor may be provided to provide a linear encoder device unnecessary.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明のリニアエンコーダ装置の第1の実施例の構成を説明する断面図である。 1 is a cross-sectional view illustrating the configuration of a first embodiment of a linear encoder apparatus of the present invention.

【図2】本発明のリニアエンコーダ装置の第1の実施例の構成を説明する斜視図である。 2 is a perspective view illustrating the configuration of a first embodiment of a linear encoder apparatus of the present invention.

【図3】本発明のリニアエンコーダ装置の第2の実施例の構成を説明する斜視図である。 3 is a perspective view illustrating the configuration of a second embodiment of the linear encoder device of the present invention.

【図4】本発明のリニアエンコーダ装置の第3〜第5の実施例の構成を説明する斜視図である。 4 is a perspective view illustrating the configuration of the third to fifth embodiment of the linear encoder device of the present invention.

【図5】本発明のリニアエンコーダ装置の第6の実施例を説明するための断面図である。 5 is a sectional view for explaining the sixth embodiment of the linear encoder device of the present invention.

【図6】本発明のリニアエンコーダ装置の第7の実施例を説明するための断面図である。 6 is a sectional view for explaining a seventh embodiment of the linear encoder device of the present invention.

【図7】本発明のリニアエンコーダ装置の第6の実施例の作用を説明するための概略図である。 7 is a schematic diagram illustrating the operation of the sixth embodiment of the linear encoder device of the present invention.

【図8】本発明のリニアエンコーダ装置の第7の実施例の作用を説明するための概略図である。 8 is a schematic diagram for explaining the operation of the seventh embodiment of the linear encoder device of the present invention.

【図9】本発明のリニアエンコーダ装置の第8の実施例を説明するための断面図である。 9 is a sectional view for explaining the eighth embodiment of the linear encoder device of the present invention.

【図10】従来のリニア同期モータに設置したリニアエンコーダ装置の構成を説明するための図である。 10 is a diagram for explaining the configuration of installing the conventional linear synchronous motor has a linear encoder device.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 リニアエンコーダ装置 2 リニア同期モータ 3 テーブル 11,12,13,15,16,17,18 検出部 21 可動子 22 コイル 23 固定子 24 ヨーク 25 永久磁石 26 ギャップ 42,48 磁気検出手段 43,49 磁路 44,45,46,47 磁路端 1 the linear encoder device 2 linear synchronous motor 3 table 11,12,13,15,16,17,18 detector 21 armature 22 coils 23 stator 24 yoke 25 permanent magnet 26 gap 42, 48 the magnetic detection means 43, 49 magnetic road 44, 45, 46, and 47 magnetic path end

Claims (5)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 リニア同期モータの移動状態を検出するリニアエンコーダ装置であって、前記リニア同期モータの永久磁石が発生する磁界を検出する検出部をリニア同期モータ側に一体に備えたことを特徴とするリニアエンコーダ装置。 1. A linear encoder device for detecting a moving state of the linear synchronous motor, characterized in that integrally includes detection unit for detecting a magnetic field in which the linear synchronous motor of the permanent magnet is generated in the linear synchronous motor side linear encoder device according to.
  2. 【請求項2】 前記検出部は、リニア同期モータの移動方向に対してリニア同期モータの可動部の磁界発生部の端部に設置することを特徴とする請求項1記載のリニアエンコーダ装置。 Wherein said detection unit includes a linear synchronous motor linear encoder apparatus according to claim 1, wherein placing the ends of the magnetic field generating portion of the movable portion of the linear synchronous motor to the moving direction of the.
  3. 【請求項3】 前記検出部は、リニア同期モータの移動方向に対してリニア同期モータの可動部の磁界発生部の側部に設置することを特徴とする請求項1記載のリニアエンコーダ装置。 Wherein the detection unit includes a linear synchronous motor linear encoder apparatus according to claim 1, wherein placing the sides of the magnetic field generation portion of the movable portion of the linear synchronous motor to the moving direction of the.
  4. 【請求項4】 前記検出部はリニア同期モータの固定部の磁界発生部に併設することを特徴とする請求項1記載のリニアエンコーダ装置。 Wherein said detector is a linear encoder device according to claim 1, characterized in that features the magnetic field generating portion of the fixed portion of the linear synchronous motor.
  5. 【請求項5】 前記検出部は、その磁路の両端がリニア同期モータの固定部の磁界発生部の異なる位置の磁極に対向した磁路構成手段と、磁路中に配置され磁路中の磁界状態を検出する磁気検出手段を備えたことを特徴とする、請求項1記載のリニアエンコーダ装置。 Wherein said detecting section includes a magnetic path constituting means for both ends of the magnetic path is opposed to the magnetic poles of different positions of the magnetic field generation portion of the fixed portion of the linear synchronous motor, in a magnetic path is disposed in the magnetic path characterized by comprising a magnetic detecting means for detecting the magnetic field state, the linear encoder apparatus according to claim 1.
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