JPH11145769A - Crystal resonator package product and its manufacture - Google Patents

Crystal resonator package product and its manufacture

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JPH11145769A
JPH11145769A JP33111497A JP33111497A JPH11145769A JP H11145769 A JPH11145769 A JP H11145769A JP 33111497 A JP33111497 A JP 33111497A JP 33111497 A JP33111497 A JP 33111497A JP H11145769 A JPH11145769 A JP H11145769A
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JP
Japan
Prior art keywords
crystal resonator
lid
base substrate
frequency
package product
Prior art date
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Application number
JP33111497A
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Japanese (ja)
Inventor
Shusaku Murakawa
周作 村川
Yukitsugu Sumida
幸嗣 隅田
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Sumitomo Metal SMI Electronics Device Inc
Original Assignee
Sumitomo Metal SMI Electronics Device Inc
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily adjust a frequency after a crystal resonator has been sealed by jointing a transparent and flat lid formed of glass to a base substrate for sealing the crystal resonator. SOLUTION: This crystal resonator sandwiched by electrodes is jointed into the recessed part 23a of the base substrate 23, and seal glass 22 is jointed on the upper face of the outer peripheral part of the base substrate 23. Thus, the crystal resonator is sealed between the lid 21 and the base substrate 23. The frequency of the crystal resonator is inspected, and the frequency of the crystal resonator which requires adjustment is adjusted by having it irradiated with laser beams from the outer side of the transparent glass lid and cutting the electrode. Thus, the lid 21 seals the crystal resonator and the frequency is adjusted by using the laser beam from the outside via the transparent glass lid 21. Consequently, the yield of a final product is drastically improved.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、水晶振動子パッケ
ージ製品及びその製造方法に関する。
The present invention relates to a crystal resonator package product and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】図6及び図7は、特開昭53−1394
87号公報から引用したものである。図6は従来の水晶
振動子パッケージ製品の一例を示すものである。図6に
おいて、1は金属ステム、3は金属製キャップ(リッ
ド)である。この従来例では、円筒形の金属製キャップ
3に水晶振動子が封止されるようになっている。
2. Description of the Related Art FIG. 6 and FIG.
No. 87. FIG. 6 shows an example of a conventional crystal resonator package product. In FIG. 6, 1 is a metal stem and 3 is a metal cap (lid). In this conventional example, a quartz oscillator is sealed in a cylindrical metal cap 3.

【0003】次に、図7は従来の水晶振動子パッケージ
製品の他の例を示すものである。図7において、11は
小さい孔部、12は金属製フタ、13は円筒形のガラス
パイプ、14は低融点ガラス(接着剤)、15は前記金
属製フタ12及びガラスパイプ13から成るキャップ
(リッド)、16は円筒形の金属ステム、18は水晶振
動子、19はトリミング用電極、である。この図7の水
晶振動子パイプ製品を製造するときの工程は次のとおり
である。まず、上記円筒形のキャップ15のガラスパイ
プ13を、真空中で、水晶振動子片を取付けた円筒形の
金属ステム16に接合し、その接合部分を低融点ガラス
14で接着し、水晶振動子18を形成している。その
際、低融点ガラス14から発生するガスはキャップ15
内にいったん充填するが、キャップ15の金属製フタ1
2に設けた小さい孔部から外部へ全て放出される。その
後、純度の高い半田(図示しない)を溶融して上記孔部
11を塞ぎ、水晶振動子片を完全に封止する。そして、
ガラスパイプ13を介して、外部からレーザー光を照射
して、上記水晶振動子片に形成したトリミング用電極1
9をカットすることにより、周波数の微調整(レーザー
トリミング)を行う。
FIG. 7 shows another example of a conventional crystal resonator package product. In FIG. 7, 11 is a small hole, 12 is a metal lid, 13 is a cylindrical glass pipe, 14 is a low melting point glass (adhesive), and 15 is a cap (lid) made of the metal lid 12 and the glass pipe 13. ), 16 is a cylindrical metal stem, 18 is a quartz oscillator, and 19 is a trimming electrode. The steps for manufacturing the crystal resonator pipe product of FIG. 7 are as follows. First, the glass pipe 13 of the cylindrical cap 15 is joined to a cylindrical metal stem 16 to which a quartz oscillator piece is attached in a vacuum, and the joined portion is bonded with a low-melting glass 14 to form a quartz oscillator. 18 are formed. At this time, the gas generated from the low melting point glass 14 is
Once inside, the metal lid 1 of the cap 15
All are discharged to the outside from the small holes provided in the second hole. Thereafter, high-purity solder (not shown) is melted to close the hole portion 11 and the crystal resonator piece is completely sealed. And
A laser beam is radiated from the outside through a glass pipe 13 to form a trimming electrode 1 formed on the quartz resonator blank.
By cutting 9, the frequency is finely adjusted (laser trimming).

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】前記の図6に示す従来
例では、水晶振動子片を封止するために円筒形の金属製
キャップ3を使用しているので、封止後に水晶振動子片
の周波数を外部から調整することは全く不可能である。
したがって、前記の金属キャップ3の封止時の熱などか
ら、封止後に水晶振動子片の周波数調整の必要が生じた
場合でも、外部からの調整はできないため、結局、その
製品は不良品として処理するしかなく、製品の歩留まり
が悪くなってしまうという問題がある。
In the prior art shown in FIG. 6, since the cylindrical metal cap 3 is used to seal the quartz-crystal vibrating piece, the quartz-crystal vibrating piece is sealed after the sealing. It is impossible at all to adjust the frequency from outside.
Therefore, even if it is necessary to adjust the frequency of the crystal resonator piece after sealing due to heat at the time of sealing the metal cap 3 or the like, external adjustment cannot be performed. There is a problem that the yield of the product is deteriorated due to the processing.

【0005】また、前記の図7で説明した他の従来例で
は、キャップ15は、円筒形のガラスパイプ13と金属
製フタ12から成る円筒形状に形成されているので、横
置きができない、また、円筒形状なので、立てて使用し
ても、長手方向に細長いため安定性が悪い、などの問題
がある。また、図7に示す例では、高さ寸法が大きいた
め、パッケージ全体を薄型化できない(現在の携帯型の
製品のフラット化・薄型化の要請からは、水晶振動子パ
ッケージ製品のトータルの厚みは1.0mm以内である
ことが要求されている)、という問題がある。
In the other conventional example described with reference to FIG. 7, since the cap 15 is formed in a cylindrical shape composed of a cylindrical glass pipe 13 and a metal lid 12, it cannot be placed horizontally. However, since it has a cylindrical shape, even if it is used upright, it is elongated in the longitudinal direction and has poor stability. In the example shown in FIG. 7, the entire package cannot be reduced in thickness because the height is large. (In view of the current demand for flattening and thinning of portable products, the total thickness of crystal resonator package products is 1.0 mm or less is required).

【0006】本発明は以上に述べたような従来技術の課
題に着目してなされたものであって、水晶振動子パッケ
ージ製品を横置きが可能で薄型のものにすると共に、水
晶振動子の封止後の周波数調整を行うことを可能にして
最終製品の歩留まりを向上させることができる水晶振動
子パッケージ製品及びその製造方法を提供することを目
的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and it has been made possible to make a crystal resonator package product thinner and capable of being placed horizontally, and to seal the crystal resonator. It is an object of the present invention to provide a crystal resonator package product capable of performing frequency adjustment after stopping and improving the yield of a final product, and a method of manufacturing the same.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めの本発明による水晶振動子パッケージ製品は、電極に
挟み込まれた水晶振動子と、前記水晶振動子を搭載する
ための凹部が形成された、ほぼ平板状のベース基板と、
前記水晶振動子を封止するために前記ベース基板に接合
された、透明なガラス製の平板状のリッドと、を備える
ものである。
A crystal resonator package product according to the present invention for solving the above problems has a crystal resonator sandwiched between electrodes and a concave portion for mounting the crystal resonator. A substantially flat base substrate;
A transparent glass flat lid joined to the base substrate to seal the quartz oscillator.

【0008】また、本発明による水晶振動子パッケージ
製品の製造方法は、電極で挟み込んだ水晶振動子を、ほ
ぼ平板状のベース基板に形成された凹部内に搭載するス
テップ、前記水晶振動子を封止するために、透明なガラ
ス製の平板状のリッドを、前記ベース基板に接合して、
水晶振動子を封止するステップ、前記水晶振動子の周波
数を検査するステップ、及び、前記の透明なリッドの外
側からレーザー光を照射して前記電極を部分的にカット
することにより、前記水晶振動子の周波数を調整するス
テップ、を含むものである。
In the method for manufacturing a crystal resonator package product according to the present invention, the step of mounting the crystal resonator sandwiched between the electrodes in a recess formed in a substantially flat base substrate, and sealing the crystal resonator. To stop, a transparent glass flat lid is joined to the base substrate,
Sealing the quartz oscillator, inspecting the frequency of the quartz oscillator, and irradiating a laser beam from the outside of the transparent lid to partially cut the electrode, thereby obtaining the quartz oscillator. Adjusting the frequency of the child.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】実施形態1.図1は本発明の実施
形態1に使用されるリッドを示す図で、(a)はその平
面図、(b)はそのA−A’線断側面図である。図1に
おいて、21は透明ガラス製の平板状のリッド、22は
前記リッド21の外周部に印刷されたシールガラスであ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 FIG. FIGS. 1A and 1B are views showing a lid used in the first embodiment of the present invention, wherein FIG. 1A is a plan view thereof, and FIG. 1B is a sectional side view taken along line AA ′. In FIG. 1, 21 is a flat lid made of transparent glass, and 22 is a seal glass printed on the outer periphery of the lid 21.

【0010】また、図2は本発明の実施形態1の全体構
成を示す図で、(a)はその平面図、(b)は(a)の
B−B’線断面図である。図2において、23はセラミ
ック(アルミナ)製のベース基板、23aはこのベース
基板23の上面の中央に形成された凹部であって、水晶
振動子を搭載するための凹部、24は前記凹部23a内
に形成された電極パッドである。
FIGS. 2A and 2B are views showing the overall configuration of the first embodiment of the present invention, wherein FIG. 2A is a plan view thereof, and FIG. 2B is a sectional view taken along the line BB 'of FIG. In FIG. 2, 23 is a ceramic (alumina) base substrate, 23a is a concave portion formed in the center of the upper surface of the base substrate 23, a concave portion for mounting a quartz oscillator, and 24 is inside the concave portion 23a. This is the electrode pad formed on the substrate.

【0011】次に、この実施形態1の製造工程を図3を
参照して説明する。まず、電極で挟み込んだ水晶振動子
を、ベース基板23の凹部23a内に接合する(ステッ
プ31)。そして、前記シールガラス22を前記ベース
基板23の外周部上面に接合することにより、前記リッ
ド21と前記ベース基板23との間に前記水晶振動子を
封止する(ステップ32)。その後、水晶振動子の周波
数を検査し(ステップ33)、調整が必要なものについ
ては、透明ガラス製のリッドの外側からレーザー光を照
射して前記電極をカットすることにより、前記水晶振動
子の周波数を調整する(ステップ34)。
Next, the manufacturing process of the first embodiment will be described with reference to FIG. First, the crystal unit sandwiched between the electrodes is bonded into the recess 23a of the base substrate 23 (step 31). Then, the quartz glass is sealed between the lid 21 and the base substrate 23 by joining the seal glass 22 to the upper surface of the outer peripheral portion of the base substrate 23 (step 32). Thereafter, the frequency of the crystal unit is inspected (step 33). If the frequency of the crystal unit needs to be adjusted, the electrode is cut by irradiating a laser beam from outside the lid made of a transparent glass to cut the electrode. The frequency is adjusted (step 34).

【0012】以上のように、本実施形態1によれば、リ
ッド21により水晶振動子を封止した後に、透明ガラス
製のリッド21を介して、外部から、レーザー光により
水晶振動子の周波数の調整を行うようにしているので、
最終的に水晶振動子の不良品が少なくなり、最終製品の
歩留まりが大幅に向上するようになる。また、本実施形
態1では、図2に示すように、平板状のベース基板23
及び平板状のリッド21により水晶振動子を封止するよ
うにしているので、水晶振動子パッケージ製品の全体形
状がフラットで薄型化されたものになり、最近の横置き
が可能でフラット化・薄型化された製品の要請に対して
も十分に応えられるようになる。
As described above, according to the first embodiment, after the quartz resonator is sealed by the lid 21, the frequency of the quartz resonator is controlled by a laser beam from outside through the transparent glass lid 21. Since we are making adjustments,
Eventually, the number of defective crystal resonators will be reduced, and the yield of final products will be greatly improved. Further, in the first embodiment, as shown in FIG.
In addition, since the crystal resonator is sealed by the flat lid 21, the overall shape of the crystal resonator package product is flat and thin, and recent horizontal installation is possible, making it flat and thin. It will also be able to respond to the demands of products that have been standardized.

【0013】実施形態2.次に、本発明の実施形態2を
図4及び図5に基づいて説明する。図4は本実施形態2
に使用されるリッドを示す図で、(a)はその平面図、
(b)はその側面図である。この実施形態2では、リッ
ド41を、透明ガラス製の平板で形成しているが、この
リッド41の外周囲にシールガラスを印刷していない
(シールガラスを接合していない)点で、実施形態1と
異なっている。この実施形態2では、図5に示すよう
に、前記ベース基板23の外周部の上面にシールガラス
42を塗布した後、セラミック製のベース基板23の凹
部23a内に水晶振動子を搭載し、この塗布されたシー
ルガラス42により、前記ベース基板23とリッド41
とを接合して、水晶振動子を封止するようにしている。
この実施形態2による場合でも、製造された最終製品の
構造は実施形態1とほぼ同様であるので、前述の実施形
態1による効果とほぼ同様の効果を生じることができ
る。
Embodiment 2 FIG. Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 4 shows the second embodiment.
(A) is a plan view showing a lid used for
(B) is a side view thereof. In the second embodiment, the lid 41 is formed of a flat plate made of transparent glass, but the seal glass is not printed on the outer periphery of the lid 41 (the seal glass is not joined). Different from 1. In the second embodiment, as shown in FIG. 5, after a seal glass 42 is applied to the upper surface of the outer peripheral portion of the base substrate 23, a quartz oscillator is mounted in the concave portion 23a of the ceramic base substrate 23. The base substrate 23 and the lid 41 are formed by the applied seal glass 42.
Are bonded to seal the crystal unit.
Even in the case of the second embodiment, since the structure of the manufactured final product is substantially the same as that of the first embodiment, it is possible to produce substantially the same effect as that of the first embodiment.

【0014】[0014]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明による水
晶振動子パッケージ製品では、リッドを透明ガラスによ
り製造しているので、水晶振動子を封止した後に、この
透明のリッドを介して外部からレーザー光を照射して水
晶振動子の周波数の調整を行うことができるようにな
る。よって、水晶振動子の不良品が少なくなり、最終製
品の歩留まりが大幅に向上できるようになる。
As described above, in the crystal resonator package product according to the present invention, since the lid is made of transparent glass, after the crystal resonator is sealed, external parts are inserted through the transparent lid. It is possible to adjust the frequency of the crystal oscillator by irradiating the laser beam from the substrate. Therefore, the number of defective crystal oscillators is reduced, and the yield of final products can be greatly improved.

【0015】また、本発明では、平板状のベース基板及
び平板状のリッドにより水晶振動子を封止するようにし
ているので、水晶振動子パッケージ製品の全体形状がフ
ラットで横置きが可能であり、且つ薄型化されたものに
なる。よって、最近の横置き可能でフラット化・薄型化
された製品の要請に対しても十分に応えられるような水
晶振動子パッケージ製品を提供できるようになる。
Further, in the present invention, the quartz resonator is sealed by the flat base substrate and the flat lid, so that the whole quartz resonator package product is flat and can be placed horizontally. And it becomes thinner. Therefore, it is possible to provide a crystal resonator package product that can sufficiently respond to recent demands for products that can be placed horizontally and that are flattened and thinned.

【0016】また、本発明による水晶振動子パッケージ
製品の製造方法では、水晶振動子を封止した後に、透明
ガラス製のリッドを介して、外部からレーザー光を照射
して、水晶振動子の周波数の調整を行うようにしている
ので、最終的に水晶振動子の不良品が少なくなり、水晶
振動子パッケージ製品の歩留まりを大幅に向上させるこ
とができるようになる。
In the method of manufacturing a crystal resonator package product according to the present invention, after sealing the crystal resonator, a laser beam is irradiated from the outside via a transparent glass lid, and the frequency of the crystal resonator is reduced. Is adjusted, the number of defective crystal resonators eventually decreases, and the yield of crystal resonator packaged products can be greatly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施形態1に使用されるリッド及び
シールガラスを示す図で、(a)はその平面図、(b)
はそのA−A’線断側面図である。
FIGS. 1A and 1B are views showing a lid and a seal glass used in a first embodiment of the present invention, wherein FIG.
Is a sectional view taken along the line AA ′.

【図2】 (a)は本実施形態1による水晶振動子パッ
ケージ製品を示す平面図、(b)はそのB−B’線断面
図である。
FIG. 2A is a plan view illustrating a crystal resonator package product according to the first embodiment, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line BB ′.

【図3】 本実施形態1の製造方法を説明するためのフ
ローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart illustrating a manufacturing method according to the first embodiment.

【図4】 本発明の実施形態2に使用されるリッドを示
す図で、(a)はその平面図、(b)はその側面図であ
る。
4A and 4B are views showing a lid used in a second embodiment of the present invention, wherein FIG. 4A is a plan view and FIG. 4B is a side view.

【図5】 本実施形態2による水晶振動子パッケージ製
品を示す中央断面図である。
FIG. 5 is a central sectional view showing a crystal resonator package product according to the second embodiment.

【図6】 従来の水晶振動子パッケージ製品の一例を示
す図である。
FIG. 6 is a diagram showing an example of a conventional crystal resonator package product.

【図7】 従来の水晶振動子パッケージ製品の他の例を
示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing another example of a conventional crystal resonator package product.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21,41 リッド 22,42 シールガラス 23 ベース基板 23a 凹部 24 電極パッド 21, 41 lid 22, 42 seal glass 23 base substrate 23a recess 24 electrode pad

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電極に挟み込まれた水晶振動子と、 前記水晶振動子を搭載するための凹部が形成された、ほ
ぼ平板状のベース基板と、 前記水晶振動子を封止するために前記ベース基板に接合
された、透明なガラス製の平板状のリッドと、を備えた
ことを特徴とする水晶振動子パッケージ製品。
1. A substantially flat base substrate formed with a quartz oscillator sandwiched between electrodes, a concave portion for mounting the quartz oscillator, and the base for sealing the quartz oscillator. A crystal resonator package product comprising: a transparent glass plate-shaped lid bonded to a substrate.
【請求項2】 水晶振動子パッケージ製品の製造方法で
あって、 電極で挟み込んだ水晶振動子を、ほぼ平板状のベース基
板に形成された凹部内に搭載するステップ、 前記水晶振動子を封止するために、透明なガラス製の平
板状のリッドを、前記ベース基板に接合するステップ、 前記水晶振動子の封止後に、その周波数を検査するステ
ップ、及び、 前記の透明なリッドの外側からレーザー光を照射して前
記電極を部分的にカットすることにより、前記水晶振動
子の周波数を調整するステップ、を含むことを特徴とす
る水晶振動子パッケージ製品の製造方法。
2. A method for manufacturing a crystal resonator package product, comprising: mounting a crystal resonator sandwiched between electrodes in a recess formed in a substantially flat base substrate; and sealing the crystal resonator. Bonding a transparent glass flat lid to the base substrate, inspecting the frequency after sealing the quartz oscillator, and performing a laser from outside the transparent lid. Adjusting the frequency of the crystal resonator by irradiating light to partially cut the electrode, thereby manufacturing a crystal resonator package product.
JP33111497A 1997-11-13 1997-11-13 Crystal resonator package product and its manufacture Pending JPH11145769A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6787970B2 (en) * 2003-01-29 2004-09-07 Intel Corporation Tuning of packaged film bulk acoustic resonator filters
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