JPH11144235A - Magnetic recording medium and recording method of auxiliary information - Google Patents

Magnetic recording medium and recording method of auxiliary information

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JPH11144235A
JPH11144235A JP16396598A JP16396598A JPH11144235A JP H11144235 A JPH11144235 A JP H11144235A JP 16396598 A JP16396598 A JP 16396598A JP 16396598 A JP16396598 A JP 16396598A JP H11144235 A JPH11144235 A JP H11144235A
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recording
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    • G—PHYSICS
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    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
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    • G11B5/596—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following on disks

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a magnetic recording medium capable of accurately reproducing the auxiliary information while having no unevenness on the surface. SOLUTION: In grooves 12 of a substrate 11 and in pits 13, 13..., magnetic layers are filled, and groove parts 22 and servo parts 23, 23... are formed, which are magnetically fixed parts. Recording layers 31 are laminated on the surface of the substrate 11 and brought into contact with the groove parts 22 and the servo parts 23. The surface of the recording layers 31 are formed in the flat state, and a dust is hard to stick thereto, and a magnetic head is smoothly movable. The recording layer 31 is exchangeably coupled with the servo parts 23 and the groove parts 22, and the minimum inversion magnetic field of this area is made larger than the coercive force of the recording layer 31, then the erase or inversion of the servo information does not occur at the time when the magnetic field for recording the information is applied to the data area.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気的に情報の記
録／再生が可能な磁気記録媒体に関し、また、情報の記
録再生のために用いられるサーボ情報のような補助情報
を磁気記録媒体に記録する方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium on which information can be magnetically recorded / reproduced, and auxiliary information such as servo information used for recording / reproducing information is recorded on the magnetic recording medium. How to record.

【０００２】[0002]

【従来の技術】磁気ディスクには補助情報が最初に書き
込まれる。補助情報とは、磁気ヘッドのトラック上の位
置を決めるためのトラックエラー信号のようなサーボ情
報、情報の記録位置を管理するためのアドレス情報、ア
ドレス読出しのためのＰＬＬロック情報等のように、磁
気ディスクに情報を記録再生する際に必要な情報であ
る。このような補助情報を磁気ディスクに書込む装置と
してサーボライタが知られている。図２３は、従来のサ
ーボライタの構成図である。2. Description of the Related Art Auxiliary information is first written on a magnetic disk. The auxiliary information includes servo information such as a track error signal for determining a position on a track of a magnetic head, address information for managing a recording position of information, and PLL lock information for reading an address. This is information necessary for recording and reproducing information on the magnetic disk. A servo writer is known as a device for writing such auxiliary information on a magnetic disk. FIG. 23 is a configuration diagram of a conventional servo writer.

【０００３】図中、６２は磁気ディスク装置であり、磁
気ディスクＤが装着されている。磁気ディスクＤの上方
には磁気的記録を行なう磁気ヘッド６０が配されてお
り、磁気ヘッド６０の磁気ディスクＤ上の位置を決定す
るための外部位置決め機構６５及びレーザ測長器６６が
磁気ヘッド６０の近傍に配されている。外部位置決め機
構６５はガイドピン６７を磁気ヘッド６０に向けて突出
させており、位置決め制御回路６８が外部コントローラ
６９及びレーザ測長器６６から指示を受け、ガイドピン
６７の位置を制御しつつ磁気ヘッド６０に押し当てる。
このように位置決めされた磁気ヘッド６０が、補助デー
タ作成回路６４から与えられた補助情報を記録する。ま
た、磁気ディスクＤの上方にはリファレンスヘッド６３
が配されており、一時的に記録された補助情報を再生し
てリファレンスクロック信号Ｒを生成し、その他の補助
情報を記録する際の書込みタイミングに用いるようにな
っている。In FIG. 1, reference numeral 62 denotes a magnetic disk drive on which a magnetic disk D is mounted. A magnetic head 60 for performing magnetic recording is arranged above the magnetic disk D. An external positioning mechanism 65 and a laser length measuring device 66 for determining the position of the magnetic head 60 on the magnetic disk D are provided by the magnetic head 60. It is arranged near. The external positioning mechanism 65 projects the guide pin 67 toward the magnetic head 60, and the positioning control circuit 68 receives an instruction from the external controller 69 and the laser length measuring device 66 to control the position of the guide pin 67 while controlling the position of the guide pin 67. Press on 60.
The magnetic head 60 thus positioned records the auxiliary information given from the auxiliary data creation circuit 64. The reference head 63 is located above the magnetic disk D.
Are provided, and the temporarily recorded auxiliary information is reproduced to generate a reference clock signal R, which is used for a write timing when recording other auxiliary information.

【０００４】このような従来のサーボライタでは、磁気
ディスクにサーボ情報を書き込むのに長時間が必要であ
ること、サーボライタが高価な装置であるうえに、図２
３に示した環境全体をクリーンルーム環境としなければ
ならないこと等の問題があった。特に近年、磁気ディス
ク装置の生産数の増加、製品のライフサイクルの縮小に
より、製造メーカは多数のサーボライタを製造設備とし
て保有しなければならない。また、トラック密度が高く
なると磁気ディスクに情報を記録する際にサーボ情報が
消去されたり、磁化反転されたりする虞があるという問
題があった。このようなサーボライタに関する問題点
が、磁気ディスク装置の精度向上、生産効率の向上及び
低コスト化等を阻害する要因となっている。In such a conventional servo writer, it takes a long time to write servo information on a magnetic disk, and the servo writer is an expensive device.
There is a problem that the entire environment shown in No. 3 must be a clean room environment. In particular, in recent years, due to an increase in the number of productions of magnetic disk devices and a reduction in the life cycle of a product, a manufacturer must possess a large number of servo writers as production facilities. Further, when the track density is increased, there is a problem that servo information may be erased or magnetization reversal may occur when information is recorded on the magnetic disk. Such a problem concerning the servo writer is a factor that hinders the improvement of the accuracy of the magnetic disk device, the improvement of the production efficiency, the cost reduction, and the like.

【０００５】この問題を解決するために、光ディスクの
技術を応用した磁気ディスクが提案されている（NIKKEI
ELECTRONICS 1993.7.19（No.586））。この磁気ディス
クは、ディスク表面に凹凸を形成することにより補助情
報を物理的に記録している。補助情報のフォーマットは
磁気記録の場合と同様である。図２４は、従来の物理的
な補助情報を有する磁気ディスクの構造を示す部分斜視
図であり、図２５はこの補助情報の記録方法を説明する
図である。図２４に示すように、磁気ディスクは基板７
１上に磁性膜７２を被覆しており、基板７１は螺旋状又
は同心円状に溝が形成され、径方向に拡がる部分領域に
ピットで補助情報７６が記録されている。溝はトラック
間の磁界漏れによるサイドフリジングを防止するために
形成されており、再生信号のＳ／Ｎを向上させる。磁気
ヘッド７３は、書込み用の電磁コイル７４と読取り用の
ＭＲ（磁気抵抗効果）素子７５とを備え、トラック上を
移動して磁気記録又は磁気再生を行なう。[0005] In order to solve this problem, a magnetic disk to which the technology of the optical disk is applied has been proposed (NIKKEI).
ELECTRONICS 1993.7.19 (No.586)). This magnetic disk physically records auxiliary information by forming irregularities on the disk surface. The format of the auxiliary information is the same as in the case of magnetic recording. FIG. 24 is a partial perspective view showing the structure of a conventional magnetic disk having physical auxiliary information, and FIG. 25 is a view for explaining a method of recording this auxiliary information. As shown in FIG. 24, the magnetic disk is
A magnetic film 72 is coated on the substrate 1. A groove is formed in the substrate 71 in a spiral or concentric manner. Auxiliary information 76 is recorded in pits in a partial area extending in the radial direction. The groove is formed to prevent side fringing due to magnetic field leakage between tracks, and improves the S / N of a reproduction signal. The magnetic head 73 includes an electromagnetic coil 74 for writing and an MR (magnetoresistive effect) element 75 for reading, and moves on a track to perform magnetic recording or magnetic reproduction.

【０００６】ピットによる凹凸を磁気ヘッド７３によっ
て読出す方法は、まず図２５（ａ）に示すように、ピッ
トが形成された領域で磁気ヘッド７３を径方向に移動せ
しめ、強い磁界を印加して凹凸領域を同一方向に磁化す
る。次に、図２５（ｂ）に示すように、同じ領域で磁気
ヘッド７３を同方向に移動せしめ、逆方向の弱い磁界を
印加することにより、凸領域のみの磁化が反転される。
このように、凹凸夫々の領域で逆方向に磁化されるの
で、磁気再生によりピットで記録された補助情報を読出
すことができる。In the method of reading the unevenness due to the pits with the magnetic head 73, first, as shown in FIG. 25A, the magnetic head 73 is moved in the radial direction in the area where the pits are formed, and a strong magnetic field is applied. The uneven region is magnetized in the same direction. Next, as shown in FIG. 25B, the magnetic head 73 is moved in the same direction in the same region, and a weak magnetic field in the opposite direction is applied, whereby the magnetization of only the convex region is reversed.
As described above, since the magnets are magnetized in the opposite directions in the respective areas, the auxiliary information recorded in the pits can be read by magnetic reproduction.

【０００７】このような磁気ディスクの基板７１を製造
する際には、まず、プリグルーブライタ装置を用い、レ
ーザ光の照射によりピットが形成されたガラス原板を作
成する。このガラス原板を元にして金型を作成し、射出
成形により基板にピットを転写する。作成された金型か
らは数千枚の射出成形品が短時間で製造され、低コスト
化が図られる。When manufacturing the substrate 71 of such a magnetic disk, first, a glass preform having pits formed by laser light irradiation is prepared using a pre-groove writer. A mold is created based on this glass base plate, and pits are transferred to the substrate by injection molding. Thousands of injection-molded products are manufactured in a short time from the prepared mold, and cost reduction is achieved.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】以上の如く補助情報を
記録することにより、サーボライタは不要となる。しか
しながら、前述したタイプの磁気ディスクでは、ディス
ク面上に凹凸が形成されているので、磁気ヘッドがディ
スク面に近接して記録／再生を行なう際に、ゴミが付着
しやすく、また、磁気ヘッドが凹凸面にクラッシュしや
すいという問題があった。By recording the auxiliary information as described above, a servo writer becomes unnecessary. However, in the magnetic disk of the type described above, since irregularities are formed on the disk surface, when the magnetic head performs recording / reproduction close to the disk surface, dust tends to adhere thereto. There was a problem that it was easy to crash on the uneven surface.

【０００９】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、基板と記録層との間に補助情報を記録すべき
磁気固定部を設けることにより、表面が平坦で且つ補助
情報が正確に再生できる磁気記録媒体を提供することを
目的とする。また、記録層の保磁力増大部に対応する領
域とこれより保磁力が小さい領域とで磁化方向を異なら
せ、補助情報を記録した磁気記録媒体を提供することを
目的とする。さらに、この磁気記録媒体を挟んで両側に
各極性を有する磁気印加装置を配することにより、サー
ボ情報を容易に記録できる方法を提供することを目的と
する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances. By providing a magnetic fixed portion for recording auxiliary information between a substrate and a recording layer, the surface is flat and the auxiliary information can be accurately read. It is an object to provide a magnetic recording medium that can be reproduced. It is another object of the present invention to provide a magnetic recording medium on which auxiliary information is recorded by making the magnetization direction different between a region corresponding to the coercive force increasing portion of the recording layer and a region having a smaller coercive force. It is still another object of the present invention to provide a method for easily recording servo information by disposing magnetic applying devices having respective polarities on both sides of the magnetic recording medium.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】第１発明に係る磁気記録
媒体は、基板と記録層との積層構造を有し、磁気ヘッド
により前記記録層のトラックに沿って情報が記録される
磁気記録媒体において、前記基板と前記記録層との間
で、前記記録層と磁気的に結合している磁気固定部を、
前記情報の記録再生のために用いられる補助情報に対応
する位置に設けてあることを特徴とする。A magnetic recording medium according to a first aspect of the present invention has a laminated structure of a substrate and a recording layer, and records information along a track of the recording layer by a magnetic head. In, between the substrate and the recording layer, a magnetic fixed portion magnetically coupled to the recording layer,
It is provided at a position corresponding to auxiliary information used for recording and reproducing the information.

【００１１】また第２発明に係る磁気記録媒体は、磁気
ヘッドにより記録層のトラックに沿って情報が記録され
る磁気記録媒体において、前記記録層の保磁力を増大せ
しめる保磁力増大部が、前記記録層の部分領域に対応し
て形成されており、前記記録層は前記保磁力増大部に対
応する領域とその他の領域とで異なる保磁力を有するこ
とを特徴とする。In a magnetic recording medium according to a second aspect of the present invention, in a magnetic recording medium in which information is recorded along a track of a recording layer by a magnetic head, the coercive force increasing portion for increasing the coercive force of the recording layer includes: The recording layer is formed so as to correspond to a partial region of the recording layer, and the recording layer has a different coercive force between a region corresponding to the coercive force increasing portion and another region.

【００１２】第１又は第２発明にあっては、磁気固定部
と磁気的結合した記録層の領域では、最小反転磁界が記
録層の保磁力よりも大きくなる。換言すると、磁気固定
部と磁気的結合した記録層の領域と、その他の領域とで
保磁力が異なる。従って、情報の記録時に磁界を印加し
ても磁気固定部の磁化方向には影響を与えないので、補
助情報が書換えられることはない。以下に、記録層及び
磁気固定部に用いる磁性層について、記録層の磁気的結
合した領域の最小反転磁界が保磁力よりも大きくなる状
態を説明する。According to the first or second aspect of the present invention, the minimum reversal magnetic field is larger than the coercive force of the recording layer in the region of the recording layer magnetically coupled to the magnetic fixed portion. In other words, the coercive force differs between the region of the recording layer magnetically coupled to the magnetic fixed portion and the other region. Therefore, even when a magnetic field is applied during recording of information, the magnetization direction of the magnetic fixed portion is not affected, and the auxiliary information is not rewritten. Hereinafter, a state in which the minimum reversal magnetic field in the magnetically coupled region of the recording layer is larger than the coercive force will be described for the recording layer and the magnetic layer used for the magnetic fixed portion.

【００１３】図２６は、本発明に用いる記録層及び磁気
固定部の磁化曲線を示した図である。図２６（ａ）は記
録層のヒステリシスループである。図２６（ｂ）は記録
層と磁気固定部との交換結合領域のヒステリシスループ
であり、記録層のマイナーループを太線で示している。
図２６（ｂ）から判るように、記録層及び磁気固定部に
Ｈini 以上の磁界を印加したとき、記録層と磁気固定部
との磁化方向は同方向に揃う。次に外部磁界を−Ｈ12に
すると記録層だけが反転し、記録層と磁気固定部との間
に界面磁壁が生じる。さらに外部磁界を−Ｈini まで大
きくすると磁気固定部が反転して磁化方向が揃う。この
状態から外部磁界を零にし、さらにプラス方向に磁界を
増大させて印加した場合は、外部磁界Ｈ12で記録層のみ
が反転し、記録層と磁気固定部との間に界面磁壁が生じ
た後、外部磁界Ｈini で界面磁壁は消滅して記録層と磁
気固定部との磁化方向が揃う。FIG. 26 is a diagram showing magnetization curves of the recording layer and the magnetic fixed portion used in the present invention. FIG. 26A shows a hysteresis loop of the recording layer. FIG. 26B shows a hysteresis loop of the exchange coupling region between the recording layer and the magnetic fixed part, and the minor loop of the recording layer is indicated by a thick line.
As can be seen from FIG. 26B, when a magnetic field of Hini or higher is applied to the recording layer and the magnetic fixed part, the magnetization directions of the recording layer and the magnetic fixed part are aligned in the same direction. Then an external magnetic field to only the recording layer is inverted -H 12, the interface wall is formed between the recording layer and the magnetic fixing unit. When the external magnetic field is further increased to -Hini, the magnetic fixed portion is reversed and the magnetization directions are aligned. An external magnetic field from this state to zero, the case of applying by increasing the magnetic field in the further positive direction, only the recording layer is reversed by an external magnetic field H 12, interface wall has occurred between the recording layer and the magnetic fixing unit Thereafter, the interface magnetic wall disappears due to the external magnetic field Hini, and the magnetization directions of the recording layer and the magnetic fixed portion are aligned.

【００１４】このように、記録層と磁気固定部とが交換
結合する場合には以下の式が成り立つ。 ｜−Ｈ12｜＝Ｈｃ１＋σ／（２Ｍｓ１×ｔ１） ｜Ｈini ｜＝Ｈｃ２−σ／（２Ｍｓ２×ｔ２） 但し、Ｈ12：記録層だけが反転する磁界 Ｈini ：初期化磁界 Ｈｃ１：記録層単体の保磁力 Ｈｃ２：磁気固定部単体の保磁力 Ｍｓ１：記録層単体の飽和保磁力 Ｍｓ２：磁気固定部単体の飽和保磁力 ｔ１：記録層の厚さ ｔ２：磁気固定部の厚さAs described above, when the recording layer and the magnetic fixed part are exchange-coupled, the following equation is established. | −H 12 | = Hc1 + σ / (2Ms1 × t1) | Hini | = Hc2−σ / (2Ms2 × t2) where H 12 : magnetic field in which only the recording layer is inverted Hini: initialization magnetic field Hc1: maintenance of the recording layer alone Magnetic force Hc2: Coercive force of the magnetic fixed unit alone Ms1: Saturation coercive force of the recording layer alone Ms2: Saturation coercive force of the magnetic fixed unit alone t1: Thickness of the recording layer t2: Thickness of the magnetic fixed unit

【００１５】このような記録層及び磁気固定部を用いた
磁気記録媒体に、まず、初期化磁界Ｈini よりも大きな
磁界を印加して磁気固定部及び記録層の結合領域を一方
向に磁化し、これにより補助情報を記録する。そして、
磁気記録媒体に情報を記録する際に印加する記録磁界Ｈ
ｗが、 Ｈｃ１＜｜Ｈｗ｜＜Ｈ12 の関係を満たしたとき、結合領域では補助情報が消滅す
ることなく、記録層の結合していない領域に情報を記録
することができる。これにより、補助情報は書き換えら
れることなく、正確に再生される。なお、磁気固定部が
記録層よりも先に反転するような磁化特性を有していて
も同様に機能する。First, a magnetic field larger than the initializing magnetic field Hini is applied to a magnetic recording medium using such a recording layer and a magnetic fixed portion to magnetize the coupling region between the magnetic fixed portion and the recording layer in one direction. Thereby, the auxiliary information is recorded. And
Recording magnetic field H applied when recording information on a magnetic recording medium
w is, Hc1 <| Hw | <when satisfy a relation of H 12, the coupling region without supplementary information disappears, it is possible to record information in an area that is not bonded to the recording layer. Thus, the auxiliary information is accurately reproduced without being rewritten. Note that the same function can be obtained even if the magnetic fixed portion has a magnetization characteristic that reverses before the recording layer.

【００１６】第３発明に係る磁気記録媒体は、第１発明
において、前記記録層と前記磁気固定部とは、これらの
交換結合力により夫々の磁化が実質的に同時に反転する
磁気特性を有し、前記記録層の前記磁気固定部に対応す
る領域は、前記記録層のその他の領域よりも大きな保磁
力を有することを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, in the magnetic recording medium according to the first aspect, the recording layer and the magnetic fixed portion have magnetic characteristics in which their magnetizations are substantially simultaneously reversed by their exchange coupling force. The region of the recording layer corresponding to the magnetic fixed portion has a larger coercive force than other regions of the recording layer.

【００１７】図２６（ｂ）に示した磁化曲線は、記録層
が反転した後に磁気固定部が反転し、記録層と磁気固定
部との間に界面磁壁が形成されるタイプのものである。
界面磁壁が形成されるタイプは記録層と磁気固定部との
交換結合の制御が難しく、そのために磁気ディスクの製
造マージンが小さくなる。界面磁壁が生じないタイプの
磁性層を記録層及び磁気固定部に用いることにより、製
造マージンを大きくできる。図２７は、記録層と磁気固
定部とが同時に磁化反転するタイプ（以下、一斉反転タ
イプという）の磁化曲線を示した図であり、横軸は磁界
を、縦軸は磁化を示している。The magnetization curve shown in FIG. 26 (b) is of a type in which the magnetic fixed part is reversed after the recording layer is reversed, and an interface domain wall is formed between the recording layer and the magnetic fixed part.
In the type in which the interface domain wall is formed, it is difficult to control the exchange coupling between the recording layer and the magnetic fixed part, so that the manufacturing margin of the magnetic disk is reduced. By using a magnetic layer of a type that does not generate an interface magnetic wall for the recording layer and the magnetic fixed portion, the manufacturing margin can be increased. FIG. 27 is a diagram showing a magnetization curve of a type in which the recording layer and the magnetic fixed portion reverse magnetization at the same time (hereinafter, referred to as a simultaneous reversal type). The horizontal axis represents the magnetic field, and the vertical axis represents the magnetization.

【００１８】図２７に示すように、まず記録層及び磁気
固定部に正の方向に外部磁界Ｈcxを印加して記録層と磁
気固定部との磁化方向を揃える。次に、外部磁界を小さ
くして負の磁界−Ｈcxを印加したとき、記録層と磁気固
定部との磁化は同時に反転する。このとき、記録層と磁
気固定部との間に界面磁壁は形成されない。As shown in FIG. 27, first, an external magnetic field Hcx is applied in a positive direction to the recording layer and the magnetic fixed portion to align the magnetization directions of the recording layer and the magnetic fixed portion. Next, when the external magnetic field is reduced and a negative magnetic field −Hcx is applied, the magnetizations of the recording layer and the magnetic fixed portion are simultaneously reversed. At this time, no interface domain wall is formed between the recording layer and the magnetic fixed part.

【００１９】このように、記録層と磁気固定部とが交換
結合する場合には以下の式が成り立つ。 Ｈcx＝（Ｈｃ１×Ｍｓ１×ｔ１＋Ｈｃ２×Ｍｓ２×ｔ
２）／（Ｍｓ１×ｔ１＋Ｍｓ２×ｔ２） 但し、Ｈcx：記録層及び磁気固定部が反転する磁界 Ｈｃ１：記録層単体の保磁力 Ｈｃ２：磁気固定部単体の保磁力 Ｍｓ１：記録層単体の飽和保磁力 Ｍｓ２：磁気固定部単体の飽和保磁力 ｔ１：記録層の厚さ ｔ２：磁気固定部の厚さAs described above, when the recording layer and the magnetic fixed portion are exchange-coupled, the following equation is established. Hcx = (Hc1 × Ms1 × t1 + Hc2 × Ms2 × t
2) / (Ms1 × t1 + Ms2 × t2) where, Hcx: magnetic field in which the recording layer and the magnetic fixed portion are reversed Hc1: coercive force of the recording layer alone Hc2: coercive force of the magnetic fixed unit alone Ms1: saturation coercive force of the recording layer alone Ms2: coercivity of magnetic fixed part alone t1: thickness of recording layer t2: thickness of magnetic fixed part

【００２０】このような記録層及び磁気固定部を用いた
磁気記録媒体に情報を記録する際に印加する記録磁界Ｈ
ｗが、 Ｈｃ１＜｜Ｈｗ｜＜Ｈcx の関係を満たしたとき、磁気固定部と交換結合していな
い記録層の領域に情報が記録され、その際に交換結合領
域の磁化が反転することはない。これにより、補助情報
は書き換えられることはなく、正確に再生される。A recording magnetic field H applied when information is recorded on a magnetic recording medium using such a recording layer and a magnetic fixed portion.
When w satisfies the relationship of Hc1 <| Hw | <Hcx, information is recorded in a region of the recording layer that is not exchange-coupled with the magnetic fixed portion, and the magnetization of the exchange-coupling region does not reverse at that time. . Thus, the auxiliary information is accurately reproduced without being rewritten.

【００２１】第４発明に係る磁気記録媒体は、第２発明
において、前記記録層は、前記保磁力が異なる領域の夫
々に対応して異なる方向に磁化されており、前記情報の
記録再生のために用いられる補助情報が記録されている
ことを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, in the magnetic recording medium according to the second aspect, the recording layer is magnetized in a different direction corresponding to each of the regions having the different coercive forces. Characterized in that auxiliary information used for the information is recorded.

【００２２】第４発明にあっては、高保磁力の領域と元
来の保磁力の領域とで磁化方向が異なるので、これを利
用してサーボ情報を記録する。In the fourth aspect, since the magnetization direction is different between the high coercive force region and the original coercive force region, servo information is recorded using this.

【００２３】第５発明に係る磁気記録媒体は、第１，３
又は４発明において、前記補助情報は、前記磁気ヘッド
を前記トラックに追随せしめるためのサーボ情報である
ことを特徴とする。The magnetic recording medium according to the fifth invention is characterized in that
Alternatively, in the invention of the fourth aspect, the auxiliary information is servo information for causing the magnetic head to follow the track.

【００２４】第５発明にあっては、磁気記録媒体に最初
に記録される情報であるサーボ情報の位置を、基板に予
め形成された凹凸により定めているので、長時間を要す
る位置合わせを行なう必要がない。According to the fifth aspect, since the position of the servo information, which is the information to be recorded first on the magnetic recording medium, is determined by the unevenness formed in advance on the substrate, the positioning which requires a long time is performed. No need.

【００２５】第６発明に係る磁気記録媒体は、第１又は
第３発明において、前記磁気固定部は、一方向に磁化さ
れた状態にあることを特徴とする。According to a sixth aspect of the present invention, in the magnetic recording medium according to the first or third aspect, the magnetic fixed portion is magnetized in one direction.

【００２６】第６発明にあっては、例えばサーボ情報に
対応する位置に設けられた磁気固定部が一方向に磁化さ
れているので、磁気固定部と磁気的結合された記録層の
領域を再生することにより、サーボ情報を読出すことが
できる。また、全ての磁気固定部を同方向に磁化するの
で、記録のための操作が容易である。According to the sixth aspect of the present invention, for example, since the magnetic fixed portion provided at the position corresponding to the servo information is magnetized in one direction, the area of the recording layer magnetically coupled to the magnetic fixed portion is reproduced. By doing so, servo information can be read. Further, since all the magnetic fixed portions are magnetized in the same direction, the recording operation is easy.

【００２７】第７発明に係る磁気記録媒体の補助情報の
記録方法は、第１発明の磁気記録媒体に、前記情報の記
録再生のために用いられる補助情報を記録する方法にお
いて、前記磁気記録媒体の積層方向に対向すべき両側
に、各別の極性を有する磁気印加装置を配し、前記磁気
固定部に前記積層方向の磁界を印加することを特徴とす
る。A method for recording auxiliary information on a magnetic recording medium according to a seventh invention is the method for recording auxiliary information used for recording and reproducing the information on the magnetic recording medium according to the first invention. A magnetic application device having different polarities is disposed on both sides to be opposed to each other in the stacking direction, and a magnetic field in the stacking direction is applied to the magnetic fixing portion.

【００２８】第７発明にあっては、記録層及び磁気固定
部に垂直磁化容易軸を有する磁性層を用いた場合に、基
板、磁気固定部及び記録層が積層された方向の磁界を印
加することにより補助情報が記録できるので、磁気記録
媒体の表裏面側に各極性を有する印加装置を配すること
により補助情報の記録が行なえる。In the seventh aspect, when a magnetic layer having an easy axis of perpendicular magnetization is used for the recording layer and the magnetic fixed portion, a magnetic field is applied in the direction in which the substrate, the magnetic fixed portion and the recording layer are stacked. Thus, auxiliary information can be recorded. Therefore, auxiliary information can be recorded by arranging application devices having respective polarities on the front and back surfaces of the magnetic recording medium.

【００２９】[0029]

【発明の実施の形態】以下、本発明をその実施の形態を
示す図面に基づき具体的に説明する。 第１の実施の形態 図１は、本発明の第１の実施の形態の磁気ディスクの構
造を示す部分斜視図である。図中１１はポリカーボネー
ト製の基板であり、基板１１は表面に深さ５０ｎｍを有
する断面Ｖ型のグルーブ１２を周方向に有し、グルーブ
１２間のトラック領域には深さ５０ｎｍで形成されたピ
ット１３，１３が形成されている。基板１１のトラック
ピッチは１μｍである。図１に示すように、基板１１の
グルーブ１２内及びピット１３，１３…内には磁性層が
充填されて、夫々グルーブ磁気固定部（以下、グルーブ
部という）２２及びサーボ磁気固定部（以下、サーボ部
という）２３，２３…が形成されている。基板１１の表
面には記録層３１が積層されており、記録層３１はグル
ーブ部２２及びサーボ部２３と接触している。記録層３
１の表面は平坦になっており、その上に積層された保護
層（図示せず）の表面も平坦である。記録層３１には、
グルーブ部２２に対応する上層領域にグルーブ領域３２
が形成され、グルーブ領域３２間の領域にはトラック領
域３３が形成されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be specifically described below with reference to the drawings showing the embodiments. FIG. 1 is a partial perspective view showing the structure of a magnetic disk according to a first embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 11 denotes a substrate made of polycarbonate. The substrate 11 has a V-shaped groove 12 having a depth of 50 nm on its surface in the circumferential direction, and a pit formed at a depth of 50 nm is formed in a track region between the grooves 12. 13 and 13 are formed. The track pitch of the substrate 11 is 1 μm. As shown in FIG. 1, a magnetic layer is filled in the groove 12 and the pits 13, 13... Of the substrate 11, and the groove magnetic fixed portion (hereinafter, referred to as a groove portion) 22 and the servo magnetic fixed portion (hereinafter, referred to as a groove), respectively. , 23... Are formed. A recording layer 31 is laminated on the surface of the substrate 11, and the recording layer 31 is in contact with the groove 22 and the servo 23. Recording layer 3
1 is flat, and the surface of a protective layer (not shown) laminated thereon is also flat. In the recording layer 31,
A groove region 32 is formed in an upper layer region corresponding to the groove portion 22.
Are formed, and a track region 33 is formed in a region between the groove regions 32.

【００３０】図２は磁気ディスク１の部分平面図であ
り、磁化状態を共に示している。トラック領域３３は周
方向にサーボ情報を記録する領域であるサーボ領域１７
と、例えばユーザ情報のような記録情報を記録する領域
であるデータ領域１６とを有している。トラック領域３
３のデータ領域１６には記録情報に対応した磁化方向で
記録ビットが形成されている。サーボ部２３及びグルー
ブ部２２は同一方向に磁化されている。なお、基板１１
には、ガラス基板上にフォトポリマーにて凹凸を形成し
たガラス２Ｐ基板を用いても良い。FIG. 2 is a partial plan view of the magnetic disk 1 and also shows the magnetization state. The track area 33 is a servo area 17 for recording servo information in the circumferential direction.
And a data area 16 for recording information such as user information. Track area 3
In the data area 16 of No. 3, recording bits are formed in the magnetization direction corresponding to the recording information. The servo section 23 and the groove section 22 are magnetized in the same direction. The substrate 11
In this case, a glass 2P substrate having irregularities formed on a glass substrate with a photopolymer may be used.

【００３１】以上の如き構造の磁気ディスク１を製造す
る場合の手順について以下に説明する。図３〜図７は、
磁気ディスク１の製造段階における模式的断面図であ
る。図３に示すように、基板１１のグルーブ１２，１２
間のトラックには、上述したように、サーボ情報に対応
するピット１３，１３…が形成されている。このピット
１３，１３…は、光ディスクの製造用のプレグルーブラ
イタ装置を用いて形成されている。まず、レジストを塗
布したガラス原板にレーザ光を照射し、サーボ情報に対
応させてピットを形成する。そして、このガラス原板に
基づいて基板を射出成形することにより、ピット１３，
１３…が設けられた基板１１が作成される。このように
作成された基板１１上に、図４に示すように、Ｃｏ73Ｃ
ｒ5 Ｔａ5Ｐｔ17からなるエッチング層２０を６０ｎｍ
だけスパッタ法により堆積する。グルーブ１２及びピッ
ト１３内にはエッチング層２０が充填され、エッチング
層２０の表面はグルーブ１２及びピット１３の形状に対
応して凹状になっている。図５に示すように、エッチン
グ層２０上にＣｒからなるエッチング調整層２１を１０
０ｎｍだけ成膜する。このとき、エッチング層２０表面
の凹部分にＣｒが装填され、エッチング調整層２１の表
面は平坦になっている。The procedure for manufacturing the magnetic disk 1 having the above structure will be described below. FIG. 3 to FIG.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the magnetic disk 1 at a manufacturing stage. As shown in FIG.
As described above, the pits 13, 13,... Corresponding to the servo information are formed in the intermediate tracks. The pits 13, 13,... Are formed using a pre-groove writer device for manufacturing an optical disk. First, a laser beam is irradiated on a glass substrate coated with a resist, and pits are formed in accordance with servo information. Then, the pits 13 and
13 are provided. As shown in FIG. 4, Co 73 C
The etching layer 20 made of r 5 Ta 5 Pt 17 is
Only by sputtering. The groove 12 and the pit 13 are filled with an etching layer 20, and the surface of the etching layer 20 is concave corresponding to the shape of the groove 12 and the pit 13. As shown in FIG. 5, an etching control layer 21 made of Cr is
Deposit only 0 nm. At this time, Cr is loaded in the concave portion on the surface of the etching layer 20, and the surface of the etching adjustment layer 21 is flat.

【００３２】このように基板１１上に堆積したエッチン
グ調整層２１及びエッチング層２０を、図６に示すよう
に、基板１１の表面が露出するまでエッチングを行な
う。例えばＡｒガス圧が０．２Ｐａ、投入電力は１ｋＷ
で行なった場合に、基板１１の表面が露出するまで略３
０秒を要する。エッチングにより、基板１１の表面と、
グルーブ１２及びピット１３に充填されたエッチング層
２０、即ちグルーブ部２２及びサーボ部２３の表面とが
露出しており、エッチング面は平坦である。この上に、
図７に示すように、Ｃｏ78Ｃｒ5 Ｔａ5 Ｐｔ12からなる
記録層３１を２５ｎｍだけ堆積し、その上にＣからなる
保護層１５を１５ｎｍだけ成膜する。記録層３１及び保
護層１５は表面が平坦になっている。なお、記録層３１
及びエッチング層２０は共に、Ａｒガス圧が０．５Ｐ
ａ、投入電力が１ｋＷで成膜している。The etching control layer 21 and the etching layer 20 thus deposited on the substrate 11 are etched until the surface of the substrate 11 is exposed as shown in FIG. For example, Ar gas pressure is 0.2 Pa, input power is 1 kW
About 3 seconds until the surface of the substrate 11 is exposed.
It takes 0 seconds. By etching, the surface of the substrate 11
The etching layer 20 filling the grooves 12 and the pits 13, that is, the surfaces of the groove portion 22 and the servo portion 23 are exposed, and the etching surface is flat. On top of this,
As shown in FIG. 7, a recording layer 31 made of Co 78 Cr 5 Ta 5 Pt 12 is deposited by a thickness of 25 nm, and a protective layer 15 made of C is deposited thereon by a thickness of 15 nm. The surfaces of the recording layer 31 and the protective layer 15 are flat. The recording layer 31
And the etching layer 20 has an Ar gas pressure of 0.5 P
a, The film is formed at an input power of 1 kW.

【００３３】このように製造した磁気ディスク１の表面
に例えば電磁コイルを配し、ディスクの周方向に相対移
動させて３．５ｋＯｅの磁界を印加することにより、サ
ーボ部２３及びグルーブ部２２が図２に示すように面内
の一方向に磁化される。そして、逆方向の−３．０ｋＯ
ｅの磁化を印加することにより、記録層３１とサーボ部
２３とが交換結合力した領域を除く領域の磁化が反転
し、トラック領域３３にサーボ情報が記録される。その
後、データ領域１６に略±３ｋＯｅの磁界を印加するこ
とにより、情報を記録する。なお、グルーブ部２２及び
サーボ部２３のＣｏ73Ｃｒ5 Ｔａ5 Ｐｔ17は、保磁力Ｈ
ｃが略４ｋＯｅ、飽和磁化Ｍｓが略４００emu/ccであ
る。また記録層３１のＣｏ78Ｃｒ5 Ｔａ5 Ｐｔ12は、保
磁力Ｈｃが略３ｋＯｅ、飽和磁化Ｍｓが略６００emu/cc
である。An electromagnetic coil, for example, is arranged on the surface of the magnetic disk 1 manufactured as described above, and a magnetic field of 3.5 kOe is applied by relative movement in the circumferential direction of the disk. As shown in FIG. 2, it is magnetized in one direction in the plane. And -3.0 kO in the opposite direction
By applying the magnetization of e, the magnetization of the region other than the region where the recording layer 31 and the servo unit 23 have exchange coupling force is inverted, and the servo information is recorded in the track region 33. Thereafter, information is recorded by applying a magnetic field of approximately ± 3 kOe to the data area 16. The Co 73 Cr 5 Ta 5 Pt 17 of the groove portion 22 and the servo portion 23 has a coercive force H
c is about 4 kOe, and saturation magnetization Ms is about 400 emu / cc. The Co 78 Cr 5 Ta 5 Pt 12 of the recording layer 31 has a coercive force Hc of about 3 kOe and a saturation magnetization Ms of about 600 emu / cc.
It is.

【００３４】上述したように、磁気ディスク１のサーボ
部２３と接触している記録層３１の領域は交換結合力が
はたらいている。この交換結合がはたらいている領域、
即ちサーボ領域１７で記録層３１の磁化が反転する最小
反転磁界は３．８ｋＯｅであった。これは記録層３１の
保磁力Ｈｃよりも大きい。また、交換結合していない記
録層３１の領域、即ちデータ領域１６の最小反転磁界は
保磁力Ｈｃと同じ３．０Ｏｅであった。これにより、デ
ータ領域１６に情報を記録する磁界を印加した際に、サ
ーボ領域１７に記録されたサーボ情報が消去又は反転す
ることはなく、サーボ情報を正確に再生できる。また、
記録層３１及び保護層１５の表面が平坦であるので、ゴ
ミが付着しにくく、また、磁気ヘッドが平滑に移動でき
る。なお、磁気ディスク１にサーボ情報を記録する際に
用いる磁界印加装置は、電磁コイルに限らず、磁気ディ
スク１に磁界を与えるものであれば良い。As described above, the exchange coupling force acts on the area of the recording layer 31 in contact with the servo section 23 of the magnetic disk 1. The area where this exchange coupling works,
That is, the minimum reversal magnetic field at which the magnetization of the recording layer 31 was reversed in the servo area 17 was 3.8 kOe. This is larger than the coercive force Hc of the recording layer 31. Further, the minimum reversal magnetic field of the region of the recording layer 31 that is not exchange-coupled, that is, the data region 16 was 3.0 Oe, which is the same as the coercive force Hc. Thus, when a magnetic field for recording information in the data area 16 is applied, the servo information recorded in the servo area 17 is not erased or inverted, and the servo information can be accurately reproduced. Also,
Since the surfaces of the recording layer 31 and the protective layer 15 are flat, dust hardly adheres and the magnetic head can move smoothly. The magnetic field application device used when recording servo information on the magnetic disk 1 is not limited to an electromagnetic coil, but may be any device that applies a magnetic field to the magnetic disk 1.

【００３５】また、図２に示すように、記録層３１のグ
ルーブ領域３２はグルーブ部２２との交換結合により磁
化されており、その領域の最小反転磁界は記録層３１の
保磁力Ｈｃよりも大きい。従って、情報の再生時にグル
ーブ領域３２の磁化が変化することはなく、隣りのトラ
ックからのクロストークを削減でき、正確な再生信号を
得ることができる。As shown in FIG. 2, the groove region 32 of the recording layer 31 is magnetized by exchange coupling with the groove portion 22, and the minimum reversal magnetic field in that region is larger than the coercive force Hc of the recording layer 31. . Therefore, the magnetization of the groove region 32 does not change when information is reproduced, crosstalk from an adjacent track can be reduced, and an accurate reproduction signal can be obtained.

【００３６】第２の実施の形態 図８は、本発明の第２の実施の形態の磁気ディスクの構
造を示す部分斜視図である。図中４１はポリカーボネー
ト製のワイドグルーブ型の基板である。基板４１はその
表面に高さ５０ｎｍの断面Ｖ型の凸条４２を周方向に有
し、凸条４２間のトラック領域には高さ５０ｎｍで形成
された凸部４３，４３が形成されている。基板４１のト
ラックピッチは１μｍである。図１に示すように、基板
４１の表面に磁性材料からなるエッチング層２０が被覆
されており、凸条４２上及び凸部４３，４３…上に夫々
凸条磁気固定部（以下、凸条部という）５２及びサーボ
磁気固定部（以下、サーボ部という）５３，５３…が形
成されている。凸条部５２とサーボ部５３との間にはフ
ェノール樹脂からなるエッチング調整層３０が介在され
ており、凸状部５２、サーボ部５３及びエッチング調整
層３０の表面に２５ｎｍの記録層３１が積層されてい
る。記録層３１は凸条部５２及びサーボ部５３と接触し
ている。記録層３１の表面は平坦になっており、その上
に積層された保護層（図示せず）の表面も平坦である。
記録層３１には、凸条部５２に対応する上層領域に凸条
領域３４が形成され、凸条領域３４間の領域にはトラッ
ク領域３３が形成されている。Second Embodiment FIG. 8 is a partial perspective view showing the structure of a magnetic disk according to a second embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 41 denotes a wide groove type substrate made of polycarbonate. The substrate 41 has, on its surface, ridges 42 having a V-shaped cross section with a height of 50 nm in the circumferential direction, and ridges 43, 43 having a height of 50 nm are formed in track regions between the ridges 42. . The track pitch of the substrate 41 is 1 μm. As shown in FIG. 1, an etching layer 20 made of a magnetic material is coated on a surface of a substrate 41, and a convex magnetic fixing portion (hereinafter referred to as a convex portion) is formed on the convex portions 42 and the convex portions 43, 43. ) 52 and servo magnetic fixed portions (hereinafter, referred to as servo portions) 53, 53. An etching adjustment layer 30 made of phenol resin is interposed between the ridge portion 52 and the servo portion 53, and a 25 nm recording layer 31 is laminated on the surfaces of the projection portion 52, the servo portion 53, and the etching adjustment layer 30. Have been. The recording layer 31 is in contact with the ridge portion 52 and the servo portion 53. The surface of the recording layer 31 is flat, and the surface of a protective layer (not shown) laminated thereon is also flat.
In the recording layer 31, a ridge region 34 is formed in an upper layer region corresponding to the ridge portion 52, and a track region 33 is formed in a region between the ridge regions 34.

【００３７】このような構成の磁気ディスク２は、第１
実施の形態の図２と同様の磁化状態を有しており、トラ
ック領域３３のデータ領域には記録情報に対応した磁化
方向で記録ビットが形成され、サーボ領域のサーボ部５
３及び凸条領域３４は同一方向に磁化されている。な
お、基板４１として、ガラス基板上にフォトポリマーに
て凹凸を形成したガラス２Ｐ基板を用いても良い。The magnetic disk 2 having such a configuration is the first type.
It has a magnetization state similar to that of FIG. 2 of the embodiment, and a recording bit is formed in the data area of the track area 33 in a magnetization direction corresponding to the recording information.
The 3 and the ridge regions 34 are magnetized in the same direction. Note that, as the substrate 41, a glass 2P substrate in which unevenness is formed on a glass substrate with a photopolymer may be used.

【００３８】以上の如き構造の磁気ディスク２を製造す
る場合の手順について以下に説明する。図９〜図１３
は、磁気ディスク２の製造段階における模式的断面図で
ある。図９に示すように、基板４１の凸条４２，４２間
のトラックにサーボ情報に対応する凸部４３，４３…が
形成されており、図１０に示すように、基板４１上にＣ
ｏ73Ｃｒ5 Ｔａ5 Ｐｔ17からなるエッチング層２０を６
０ｎｍだけスパッタ法により堆積する。エッチング層２
０は凸条４２及び凸部４３上に積層され、エッチング層
２０の表面は凸条４２及び凸部４３の形状に対応して凸
状になっている。エッチング層２０上に、図１１に示す
ように、フェノール樹脂からなるエッチング調整層３０
を１００ｎｍだけ塗布する。このとき、エッチング調整
層３０の表面は平坦になっている。The procedure for manufacturing the magnetic disk 2 having the above structure will be described below. 9 to 13
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the magnetic disk 2 at a manufacturing stage. As shown in FIG. 9, protrusions 43, 43... Corresponding to the servo information are formed on tracks between the protrusions 42, 42 of the substrate 41. As shown in FIG.
The etch layer 20 consisting o 73 Cr 5 Ta 5 Pt 17 6
Deposit by 0 nm by sputtering. Etching layer 2
Numerals 0 are stacked on the ridges 42 and the protrusions 43, and the surface of the etching layer 20 is convex corresponding to the shapes of the ridges 42 and the protrusions 43. As shown in FIG. 11, an etching adjustment layer 30 made of a phenol resin is formed on the etching layer 20.
Is applied by only 100 nm. At this time, the surface of the etching adjustment layer 30 is flat.

【００３９】このように基板４１上に堆積したエッチン
グ調整層３０に、図１２に示すように、エッチング層２
０の凸状部分の頂部が露出してからさらに所定時間のエ
ッチングを行なう。例えば酸素プラズマエッチングを１
分間行なう。このエッチングにより、凸状部５２及びサ
ーボ部５３の表面とエッチング調整層３０の表面とが露
出する。エッチング面は平坦である。この上に、図１３
に示すように、Ｃｏ78Ｃｒ5 Ｔａ5 Ｐｔ12からなる記録
層３１を２５ｎｍだけ堆積し、その上にＣからなる１５
ｎｍの保護層４１を成膜する。記録層３１及び保護層４
１の表面は平坦に形成される。なお、記録層３１及びエ
ッチング層２０は共に、Ａｒガス圧が０．５Ｐａ、投入
電力が１ｋＷで成膜している。As shown in FIG. 12, the etching adjustment layer 30 deposited on the substrate 41
Etching is further performed for a predetermined time after the top of the 0-shaped convex portion is exposed. For example, oxygen plasma etching
Do for a minute. By this etching, the surfaces of the convex portion 52 and the servo portion 53 and the surface of the etching adjustment layer 30 are exposed. The etched surface is flat. On top of this, FIG.
As shown in the figure, a recording layer 31 made of Co 78 Cr 5 Ta 5 Pt 12 is deposited by 25 nm, and a recording layer 31 made of C is deposited thereon.
A protective layer 41 of nm is formed. Recording layer 31 and protective layer 4
1 is formed flat. Note that both the recording layer 31 and the etching layer 20 are formed at an Ar gas pressure of 0.5 Pa and an input power of 1 kW.

【００４０】このように製造した磁気ディスク２の表面
に電磁コイルを配し、ディスクの周方向に相対移動させ
て４．０ｋＯｅの磁界を印加し、続いて逆方向の−３ｋ
Ｏｅの磁界を印加することにより、サーボ部５３及び凸
条部５２が図２に示すように面内方向に磁化され、記録
層３１とサーボ部５３との交換結合力によりトラック領
域３３にサーボ情報が記録される。そして、データ領域
１６に略±３ｋＯｅの磁界を印加して、記録情報が記録
される。なお、凸状部５２及びサーボ部５３のＣｏ73Ｃ
ｒ5 Ｔａ5 Ｐｔ17は、保磁力Ｈｃが略４ｋＯｅ、飽和磁
化Ｍｓが略４００emu/ccである。また記録層３１のＣｏ
78Ｃｒ5 Ｔａ5 Ｐｔ12は、保磁力Ｈｃが略３ｋＯｅ、飽
和磁化Ｍｓが略６００emu/ccである。An electromagnetic coil is arranged on the surface of the magnetic disk 2 manufactured as described above, and is relatively moved in the circumferential direction of the disk to apply a magnetic field of 4.0 kOe.
When the Oe magnetic field is applied, the servo portion 53 and the ridge portion 52 are magnetized in the in-plane direction as shown in FIG. 2, and the servo information is recorded in the track area 33 by the exchange coupling force between the recording layer 31 and the servo portion 53. Is recorded. Then, a magnetic field of approximately ± 3 kOe is applied to the data area 16 to record the record information. Note that the Co 73 C of the convex portion 52 and the servo portion 53
r 5 Ta 5 Pt 17 has a coercive force Hc of about 4 kOe and a saturation magnetization Ms of about 400 emu / cc. In addition, Co of the recording layer 31
78 Cr 5 Ta 5 Pt 12 is a coercive force Hc of approximately 3 kOe, the saturation magnetization Ms is almost 600 emu / cc.

【００４１】上述したように、磁気ディスク２のサーボ
部５３と接触する記録層３１の領域は交換結合力がはた
らいている。この交換結合力がはたらいている領域、即
ちサーボ領域１７で、記録層３１の磁化が反転する最小
反転磁界は３．８ｋＯｅであった。これは記録層３１の
保磁力Ｈｃよりも大きい。また、交換結合していない記
録層３１の領域、即ちデータ領域１６の最小反転磁界は
保磁力Ｈｃと同じ３．０Ｏｅであった。これにより、デ
ータ領域１６に情報を記録する磁界を印加した際に、サ
ーボ領域１７に記録されたサーボ情報が消去又は反転す
ることはなく、第１の実施の形態と同様の効果を得るこ
とができる。また、記録層３１の凸条領域３４は凸条部
５２との交換結合により磁化されており、その領域の最
小反転磁界は記録層３１の保磁力Ｈｃよりも大きい。従
って、情報の再生時に凸条領域３４の磁化が変化するこ
とはなく、隣りのトラックからのクロストークを削減で
き、正確な再生信号を得ることができる。As described above, the exchange coupling force acts on the area of the recording layer 31 that comes into contact with the servo section 53 of the magnetic disk 2. In the area where the exchange coupling force is acting, that is, in the servo area 17, the minimum reversal magnetic field at which the magnetization of the recording layer 31 is reversed is 3.8 kOe. This is larger than the coercive force Hc of the recording layer 31. Further, the minimum reversal magnetic field of the region of the recording layer 31 that is not exchange-coupled, that is, the data region 16 was 3.0 Oe, which is the same as the coercive force Hc. Thus, when a magnetic field for recording information is applied to the data area 16, the servo information recorded in the servo area 17 is not erased or inverted, and the same effect as in the first embodiment can be obtained. it can. Further, the ridge region 34 of the recording layer 31 is magnetized by exchange coupling with the ridge portion 52, and the minimum reversal magnetic field in that region is larger than the coercive force Hc of the recording layer 31. Therefore, the magnetization of the ridge region 34 does not change during the reproduction of information, and crosstalk from an adjacent track can be reduced, and an accurate reproduction signal can be obtained.

【００４２】第３の実施の形態 上述した第１及び第２の実施の形態では、磁気固定部と
記録層とが接触して完全なる交換結合力を有している場
合を説明しているが、静磁気的な結合であっても同様の
効果を得る。図１４は第３の実施の形態の磁気ディスク
の構造を示す部分断面図である。エッチング層２０のエ
ッチング時間を第１の実施の形態よりも短く、例えば２
０秒に設定することにより、図に示すように、基板１１
の表面全体がエッチング層２０で覆われ、サーボ部２３
及びグルーブ部２２の上部にエッチング調整層２１の一
部が残留している。ここでサーボ部２３及びグルーブ部
２２とは、基板１１のピット及びグルーブの上側に堆積
されたＣｏ73Ｃｒ5 Ｔａ5Ｐｔ17からなるエッチング層
２０の部分をいう。その他の構成は第１の実施の形態と
同様であり、その説明を省略する。Third Embodiment In the first and second embodiments described above, the case where the magnetic fixed portion and the recording layer are in contact with each other and have a complete exchange coupling force is described. The same effect can be obtained even with magnetostatic coupling. FIG. 14 is a partial sectional view showing the structure of the magnetic disk according to the third embodiment. The etching time of the etching layer 20 is shorter than that of the first embodiment.
By setting the time to 0 second, as shown in FIG.
Is entirely covered with the etching layer 20, and the servo section 23
In addition, a part of the etching adjustment layer 21 remains above the groove portion 22. Here, the servo portion 23 and the groove portion 22 are portions of the etching layer 20 made of Co 73 Cr 5 Ta 5 Pt 17 deposited on the pits and grooves of the substrate 11. Other configurations are the same as those of the first embodiment, and a description thereof will be omitted.

【００４３】このような構成の磁気ディスクでは、サー
ボ部２３（及びグルーブ部２２）と記録層３１との間に
Ｃｒからなるエッチング調整層２１の一部が介在してい
るので、サーボ部２３（及びグルーブ部２２）と記録層
３１とは静磁気的に結合している。この静磁気的に結合
している領域で、記録層３１の磁化が反転する最小反転
磁界は３．５ｋＯｅであった。これは記録層３１の保磁
力Ｈｃよりも大きい。また、静磁結合していない記録層
３１の領域の最小反転磁界は保磁力Ｈｃと同じ３．０Ｏ
ｅであった。これにより、データ領域１６に情報を記録
する磁界を印加した際に、サーボ領域１７に記録された
サーボ情報が消去又は反転することはなく、第１の実施
の形態と同様の効果を得ることができる（図２参照）。In the magnetic disk having such a configuration, since the etching adjustment layer 21 made of Cr intervenes between the servo section 23 (and the groove section 22) and the recording layer 31, the servo section 23 ( The groove 22) and the recording layer 31 are magnetostatically coupled. In this magnetostatically coupled region, the minimum switching field at which the magnetization of the recording layer 31 was switched was 3.5 kOe. This is larger than the coercive force Hc of the recording layer 31. The minimum reversal magnetic field in the area of the recording layer 31 that is not magnetostatically coupled is 3.0O, which is the same as the coercive force Hc.
e. Thus, when a magnetic field for recording information is applied to the data area 16, the servo information recorded in the servo area 17 is not erased or inverted, and the same effect as in the first embodiment can be obtained. (See FIG. 2).

【００４４】第４の実施の形態 次に、上述した第２の実施の形態で示したワイドグルー
ブ型の基板４１で、磁気固定部と記録層とが静磁気的に
結合している場合について説明する。図１５は第４の実
施の形態の磁気ディスクの構造を示す部分断面図であ
る。エッチング層３０のエッチング時間を第２の実施の
形態よりも短く、例えば４５秒に設定することにより、
図に示すように、エッチング層２０の凸状部分の頂部が
露出することなくエッチング調整層３０で覆われる。こ
こでサーボ部５３及びグルーブ部５２とは、基板４１の
凸部及び凸条の上側に堆積されたＣｏ73Ｃｒ5 Ｔａ5 Ｐ
ｔ17からなるエッチング層２０の部分をいう。その他の
構成は第２の実施の形態と同様であり、その説明を省略
する。Fourth Embodiment Next, the case where the magnetic fixed portion and the recording layer are magnetostatically coupled to each other in the wide groove type substrate 41 shown in the second embodiment will be described. I do. FIG. 15 is a partial sectional view showing the structure of the magnetic disk of the fourth embodiment. By setting the etching time of the etching layer 30 shorter than in the second embodiment, for example, 45 seconds,
As shown in the figure, the top of the convex portion of the etching layer 20 is covered with the etching adjustment layer 30 without being exposed. Here, the servo part 53 and the groove part 52 are Co 73 Cr 5 Ta 5 P deposited on the protrusions and the protrusions of the substrate 41.
It refers to the portion of the etch layer 20 consisting of t 17. Other configurations are the same as those of the second embodiment, and a description thereof will be omitted.

【００４５】このような構成の磁気ディスクでは、サー
ボ部５３（及びグルーブ部５２）と記録層３１との間に
フェノール樹脂からなるエッチング調整層３０が介在し
ているので、サーボ部５３（及びグルーブ部５２）と記
録層３１とは静磁気的に結合している。この静磁気的に
結合している領域で、記録層３１の磁化が反転する最小
反転磁界は３．６ｋＯｅであった。これは記録層３１の
保磁力Ｈｃよりも大きい。また、静磁結合していない記
録層３１の領域の最小反転磁界は保磁力Ｈｃと同じ３．
０Ｏｅであった。これにより、データ領域に情報を記録
する磁界を印加した際に、サーボ領域に記録されたサー
ボ情報が消去又は反転することはなく、第２の実施の形
態と同様の効果を得ることができる。In the magnetic disk having such a configuration, since the etching adjustment layer 30 made of phenol resin is interposed between the servo portion 53 (and the groove portion 52) and the recording layer 31, the servo portion 53 (and the groove portion) is provided. The portion 52) and the recording layer 31 are magnetostatically coupled. The minimum reversal magnetic field at which the magnetization of the recording layer 31 was reversed in the magnetostatically coupled region was 3.6 kOe. This is larger than the coercive force Hc of the recording layer 31. The minimum reversal magnetic field in the area of the recording layer 31 that is not magnetostatically coupled is the same as the coercive force Hc.
It was 0 Oe. Thus, when a magnetic field for recording information in the data area is applied, the servo information recorded in the servo area is not erased or inverted, and the same effect as in the second embodiment can be obtained.

【００４６】第５の実施の形態 上述した第１〜第４の実施の形態では、基板に形成され
たグルーブ又は凸条が周方向に連続しており、隣りのト
ラックからのクロストークを遮断するように構成された
場合について説明しているが、これに限るものではな
い。図１６は、第５の実施の形態の磁気ディスク３の構
造を示す部分斜視図である。磁気ディスク３の基板５１
には、周方向に不連続な第２のピット１４，１４…が形
成されている。第２のピット１４，１４…はセクタ情報
に対応する位置に形成されており、その形成方法は第１
の実施の形態のピット１３の形成方法と同様であり、説
明を省略する。Fifth Embodiment In the first to fourth embodiments described above, the grooves or ridges formed on the substrate are continuous in the circumferential direction, and cut off crosstalk from an adjacent track. The case where the configuration is made as described above is described, but the present invention is not limited to this. FIG. 16 is a partial perspective view showing the structure of the magnetic disk 3 according to the fifth embodiment. Substrate 51 of magnetic disk 3
Are formed with second pits 14, 14,... That are discontinuous in the circumferential direction. The second pits 14, 14,... Are formed at positions corresponding to the sector information.
This is the same as the method of forming the pits 13 of the embodiment, and the description is omitted.

【００４７】また、サーボ情報に対応する第１のピット
１３，１３…がトラックに形成されている。第１のピッ
ト１３，１３…の夫々は、トラックの中央寄り、一側寄
り及び他側寄りのように、トラックの幅方向の位置を異
ならせて形成されている。第１のピット１３，１３…内
には、Ｃｏ73Ｃｒ5 Ｔａ5 Ｐｔ17が充填されてサーボ部
２３，２３…が設けられている。また、第２のピット１
４，１４…内にはＣｏ 73Ｃｒ5 Ｔａ5 Ｐｔ17が充填され
てセクタ磁気固定部（以下、セクタ部という）２４，２
４…が設けられている。記録層３１には、セクタ部２
４，２４…に対応する上層領域に遮断領域３５が形成さ
れ、遮断領域３５間の領域にはトラック領域３３が形成
されている。その他の構成は、第１の実施の形態と同様
であり、その説明を省略する。The first pit corresponding to the servo information
Are formed on the track. The first pick
13 and 13 are near the center of the truck and on one side
Position of the track in the width direction, such as
It is formed by being connected. Inside the first pits 13, 13 ...
Has Co73CrFiveTaFivePt17Is filled with servo part
Are provided. Also, the second pit 1
Co within 4,14 ... 73CrFiveTaFivePt17Is filled
And a magnetic sector fixed portion (hereinafter, referred to as a sector portion) 24, 2
4 ... are provided. The recording layer 31 has a sector 2
A blocking region 35 is formed in the upper layer region corresponding to 4, 24.
The track area 33 is formed in the area between the cutoff areas 35.
Have been. Other configurations are the same as in the first embodiment.
And the description is omitted.

【００４８】遮断領域３５には、セクタ部２４，２４…
によりセクタ情報が記録されている。セクタ部２４，２
４…はサーボ部２３，２３…と同一方向に磁化されてお
り、ＭＲ素子によりセクタ情報が再生される。同時に、
セクタ部２４，２４…により隣りのトラックとのクロス
トークを遮断することができる。このように、第５の実
施の形態の磁気ディスク３では第１〜第５実施の形態と
同様の効果が得られ、さらに、サーボ情報だけではなく
セクタ情報を記録／再生することができる。In the cutoff area 35, the sector sections 24, 24,.
, Sector information is recorded. Sector part 24, 2
Are magnetized in the same direction as the servo units 23, 23, and the sector information is reproduced by the MR element. at the same time,
The crosstalk with the adjacent track can be cut off by the sector portions 24, 24. As described above, the magnetic disk 3 of the fifth embodiment has the same effects as those of the first to fifth embodiments, and can record / reproduce not only servo information but also sector information.

【００４９】第６の実施の形態 上述した第１〜第５実施の形態では、磁気固定部に面内
磁界膜を用いた場合を説明しているが、これに限るもの
ではない。図１７は第６の実施の形態の磁気ディスク４
にサーボ情報を記録する方法を説明する図であり、図１
８は図１７のＡの領域の磁化状態を示す拡大断面図であ
る。磁気ディスク４は、サーボ部２３及びグルーブ部２
２に、ＴｂＦｅＣｏからなる垂直磁化容易軸を有する希
土類遷移金属を用いている。その他の構成は上述した第
１の実施の形態と同様であり、その説明を省略する。こ
のような構成の磁気ディスク４の上方及び下方に、図１
７に示すように、前記磁化印加装置たる磁石５，６が配
設されている。上方に配された磁石５は、磁気ディスク
４の表面との対向側をＮ極に、下方に配された磁石６
は、磁気ディスク４の裏面との対向側をＳ極にして配さ
れている。Sixth Embodiment In the first to fifth embodiments described above, the case where the in-plane magnetic field film is used for the magnetic fixing portion has been described, but the present invention is not limited to this. FIG. 17 shows a magnetic disk 4 according to the sixth embodiment.
FIG. 1 is a diagram for explaining a method of recording servo information on a disk.
FIG. 8 is an enlarged sectional view showing the magnetization state of the region A in FIG. The magnetic disk 4 includes a servo section 23 and a groove section 2.
2, a rare earth transition metal made of TbFeCo and having an easy axis of perpendicular magnetization is used. Other configurations are the same as those of the above-described first embodiment, and a description thereof will be omitted. 1 above and below the magnetic disk 4 having such a configuration.
As shown in FIG. 7, magnets 5 and 6 serving as the magnetization applying device are provided. The magnet 5 disposed above has a north pole facing the surface of the magnetic disk 4 and a magnet 6 disposed below.
Are arranged such that the side facing the back surface of the magnetic disk 4 is the S pole.

【００５０】これらの磁石５，６により、磁気ディスク
４のサーボ部２３及びグルーブ部２２並びにこれらと交
換結合する記録層３１の領域に上向きの磁化が与えられ
る。このように本実施の形態では、磁気ディスク４に簡
易な操作で補助情報を記録することができる。また、垂
直磁化膜を用いた場合でも、上述したようにサーボ部２
３及びグルーブ部２２と記録層３１との交換結合力によ
り最小反転磁界が増大するので、情報の記録時に印加さ
れる記録磁界によりサーボ情報が消去されることはな
い。なお、磁化印加装置は磁石に限るものではなく、磁
気記録媒体に磁界を与えるものであれば良い。The magnets 5 and 6 impart upward magnetization to the servo section 23 and the groove section 22 of the magnetic disk 4 and the area of the recording layer 31 which is exchange-coupled with them. As described above, in the present embodiment, auxiliary information can be recorded on the magnetic disk 4 by a simple operation. Further, even when the perpendicular magnetization film is used, as described above,
Since the minimum reversal magnetic field increases due to the exchange coupling force between the third and groove portions 22 and the recording layer 31, the servo information is not erased by the recording magnetic field applied when information is recorded. The magnetizing device is not limited to a magnet, but may be any device that applies a magnetic field to a magnetic recording medium.

【００５１】第７の実施の形態．次に、記録層及び磁気
固定部の磁化が外部磁界Ｈcxで一斉反転するタイプの磁
気ディスクについて説明する。まず、磁性層の交換結合
膜が一斉反転する保磁力Ｈcxを調べるべく、Ｓｉ基板上
に第１磁性層及び第２磁性層を積層した。第１磁性層は
記録層に対応し、第２磁性層は磁気固定部に対応する。
これらの磁性層は所要の組成を有するターゲットを用い
て、マグネトロンスパッタ法により形成した。組成，膜
厚，成膜時のガス圧，飽和保磁力Ｍｓ及び保磁力Ｈｃを
表１に示す。Seventh embodiment. Next, a description will be given of a magnetic disk of a type in which the magnetizations of the recording layer and the magnetic fixed portion are simultaneously reversed by an external magnetic field Hcx. First, a first magnetic layer and a second magnetic layer were stacked on a Si substrate in order to check the coercive force Hcx at which the exchange coupling film of the magnetic layer was simultaneously reversed. The first magnetic layer corresponds to a recording layer, and the second magnetic layer corresponds to a magnetic fixed part.
These magnetic layers were formed by a magnetron sputtering method using a target having a required composition. Table 1 shows the composition, film thickness, gas pressure during film formation, coercivity Ms and coercivity Hc.

【００５２】[0052]

【表１】 [Table 1]

【００５３】Ｓｉ基板上に、まず第２磁性層を形成し、
真空を解除することなく第２磁性層上に第１磁性層を積
層した。第１磁性層は膜厚を異ならせて複数の交換結合
膜について保磁力Ｈcxを調べた。その結果を図１９に示
す。いずれの交換結合膜も第１磁性層と第２磁性層とは
完全に交換結合し、外部磁界Ｈcxで両磁性層の磁化は同
時に反転した。図１９は第１磁性層（記録層）の膜厚に
対する交換結合膜の保磁力を示すグラフであり、横軸は
第１磁性層の膜厚を示し、縦軸は交換結合力の保磁力を
示している。First, a second magnetic layer is formed on a Si substrate,
The first magnetic layer was laminated on the second magnetic layer without releasing the vacuum. The coercive force Hcx was examined for a plurality of exchange-coupling films with different thicknesses of the first magnetic layer. The result is shown in FIG. In each exchange-coupling film, the first magnetic layer and the second magnetic layer were completely exchange-coupled, and the magnetizations of both magnetic layers were simultaneously reversed by the external magnetic field Hcx. FIG. 19 is a graph showing the coercive force of the exchange coupling film with respect to the film thickness of the first magnetic layer (recording layer). The horizontal axis represents the film thickness of the first magnetic layer, and the vertical axis represents the coercive force of the exchange coupling force. Is shown.

【００５４】図から明らかなように、第１磁性層の膜厚
の増加と共にＨcxは減少する。第１磁性層と第２磁性層
との交換結合膜の保磁力Ｈcxを求める式， Ｈcx＝（Ｈｃ１×Ｍｓ１×ｔ１＋Ｈｃ２×Ｍｓ２×ｔ
２）／（Ｍｓ１×ｔ１＋Ｍｓ２×ｔ２） 但し、Ｈcx：記録層及び磁気固定部が反転する磁界 Ｈｃ１：記録層単体の保磁力 Ｈｃ２：磁気固定部単体の保磁力 Ｍｓ１：記録層単体の飽和保磁力 Ｍｓ２：磁気固定部単体の飽和保磁力 ｔ１：記録層の厚さ ｔ２：磁気固定部の厚さ により算出されたＨcxの曲線をグラフ中に破線で示し
た。グラフから判るように、これらの組成の第１，第２
磁性層は一斉反転タイプであり、第１磁性層の膜厚の増
加と共にＨcxが減少することが判る。なお、上式は光磁
気記録媒体に使用されるアモルファス希土類遷移金属多
層膜に用いられる計算式であるが、このような面内磁化
を示す磁気記録媒体においても良く一致している。ここ
で、測定値が計算値よりも僅かに大きいのは、第１磁性
層が第２磁性層上に形成される際に多結晶エピタキシャ
ル成長をするためであると考えられる。As is apparent from the figure, Hcx decreases as the thickness of the first magnetic layer increases. An expression for determining the coercive force Hcx of the exchange coupling film between the first magnetic layer and the second magnetic layer, Hcx = (Hc1 × Ms1 × t1 + Hc2 × Ms2 × t
2) / (Ms1 × t1 + Ms2 × t2) where, Hcx: magnetic field in which the recording layer and the magnetic fixed portion are reversed Hc1: coercive force of the recording layer alone Hc2: coercive force of the magnetic fixed unit alone Ms1: saturation coercive force of the recording layer alone Ms2: Coercivity of magnetic fixed part alone t1: Thickness of recording layer t2: Thickness of magnetic fixed part A curve of Hcx calculated by is shown by a broken line in the graph. As can be seen from the graph, the first and second
It can be seen that the magnetic layer is of the simultaneous reversal type, and Hcx decreases as the thickness of the first magnetic layer increases. Although the above equation is a calculation equation used for an amorphous rare earth transition metal multilayer film used for a magneto-optical recording medium, the above equation is also in good agreement for a magnetic recording medium exhibiting such in-plane magnetization. Here, it is considered that the reason why the measured value is slightly larger than the calculated value is that polycrystalline epitaxial growth occurs when the first magnetic layer is formed on the second magnetic layer.

【００５５】以上の組成の第１，第２磁性膜で、第１磁
性層の膜厚が２０ｎｍのものについて各磁性層及び交換
結合層の保磁力を調べた。その結果、第１磁性層の保磁
力Ｈｃ１は１５００Ｏｅ，第２磁性層の保磁力Ｈｃ２は
３０００Ｏｅ，これらの交換結合膜の保磁力は２５０８
Ｏｅであった。なお、交換結合膜の保磁力の計算値は２
３３０Ｏｅである。このように、交換結合膜の保磁力は
記録層として用いる第１磁性層の保磁力よりも略１ｋＯ
ｅ程度増大していることが判った。従って、この交換結
合膜に外部磁界を印加してこれらの磁化を一方向に揃え
た後、記録磁界程度（略1500Ｏｅ）の磁界を印加した場
合でも、この磁化方向は反転しないことが判った。The coercive force of each magnetic layer and exchange coupling layer was examined for the first and second magnetic films having the above composition and the first magnetic layer having a thickness of 20 nm. As a result, the coercive force Hc1 of the first magnetic layer is 1500 Oe, the coercive force Hc2 of the second magnetic layer is 3000 Oe, and the coercive force of these exchange coupling films is 2508.
Oe. The calculated value of the coercive force of the exchange coupling film is 2
330 Oe. As described above, the coercive force of the exchange-coupling film is approximately 1 kO less than the coercive force of the first magnetic layer used as the recording layer.
e was found to have increased. Therefore, it was found that, even after applying an external magnetic field to the exchange coupling film to align these magnetizations in one direction and then applying a magnetic field of about the recording magnetic field (about 1500 Oe), the magnetization direction does not reverse.

【００５６】そこで、上述した組成の第１，第２磁性層
を用いて実際にサーボパターンを有する磁気ディスクを
作成した。磁気固定部（保磁力増大部）は断面略矩形状
のピットであり、磁気固定部として上述した組成の第２
磁性層を用い、記録層として上述した組成の第１磁性層
を用いた。記録層の磁気固定部と交換結合している領域
は、磁気固定部に接触していない領域よりも大きな保磁
力を有している。磁気ディスクのその他の構成は第１の
実施の形態と同様であり、説明を省略する。Therefore, a magnetic disk having a servo pattern was actually made using the first and second magnetic layers having the above-described compositions. The magnetic fixing portion (coercive force increasing portion) is a pit having a substantially rectangular cross section, and has a second composition having the above-described composition as the magnetic fixing portion.
A magnetic layer was used, and a first magnetic layer having the above-described composition was used as a recording layer. The area of the recording layer that is exchange-coupled with the magnetic fixed part has a larger coercive force than the area that is not in contact with the magnetic fixed part. Other configurations of the magnetic disk are the same as those of the first embodiment, and the description is omitted.

【００５７】磁気ディスクの製造にあたり、まず磁気固
定部に対応するピットを形成する。磁気ディスク用Ｓｉ
基板の上にレジストを塗布し、予め作成されたパターン
マスクを用いて密着露光を行なう。これを現像して露光
部分のレジストを除去し、リアクティブイオンエッチン
グによりレジスト除去部分のＳｉをエッチングする。こ
うして記録すべきサーボ情報に対応するピットが、基板
上に形成される。このピットに、上述した第１の実施の
形態と同様にして第２磁性層を埋め込み、磁気固定部を
形成する。磁気固定部の膜厚は２０ｎｍである。次に、
磁気固定部上のレジストを除去し、記録層を形成する。In manufacturing a magnetic disk, first, pits corresponding to a magnetic fixed portion are formed. Si for magnetic disk
A resist is applied on the substrate, and contact exposure is performed using a pattern mask prepared in advance. This is developed to remove the resist in the exposed portion, and reactive resist etching is used to etch Si in the portion where the resist is removed. Thus, pits corresponding to the servo information to be recorded are formed on the substrate. In the pits, the second magnetic layer is buried in the same manner as in the above-described first embodiment to form a magnetic fixed portion. The thickness of the magnetic fixed part is 20 nm. next,
The resist on the magnetic fixed part is removed to form a recording layer.

【００５８】このように製造された磁気ディスクの記録
層単体の保磁力Ｈｃ１は1.5 ｋＯｅであり、記録層と磁
気固定部との交換結合領域では保磁力Ｈcxは2.5 ｋＯｅ
であった。図２０は磁気ディスク８にサーボ情報を記録
する第１過程を説明する図である。図２０（ａ）は模式
的斜視図であり、図２０（ｂ）は磁気ディスク８のＢ−
Ｂ線における断面図である。図に示すように、磁気ディ
スク８の面上に、長さ方向を磁気ディスク８の径方向に
沿わせて例えば永久磁石８１を配し、長さ方向が径方向
に沿う状態で永久磁石８１と磁気ディスク８とを周方向
に相対移動させる。このとき３．０ｋＯｅの磁界を印加
する。これにより、一周の回転移動で磁気固定部２３と
記録層３１の全領域の磁化が一方向に揃い、磁気固定部
２３，２３…に対応するサーボ情報が記録される。The coercive force Hc1 of the recording layer alone of the magnetic disk manufactured as described above is 1.5 kOe, and the coercive force Hcx is 2.5 kOe in the exchange coupling region between the recording layer and the magnetic fixed part.
Met. FIG. 20 is a diagram illustrating a first process of recording servo information on the magnetic disk 8. FIG. 20A is a schematic perspective view, and FIG.
It is sectional drawing in the B line. As shown in the drawing, for example, a permanent magnet 81 is arranged on the surface of the magnetic disk 8 so that the length direction is along the radial direction of the magnetic disk 8, and the permanent magnet 81 is arranged in a state where the length direction is along the radial direction. The magnetic disk 8 is relatively moved in the circumferential direction. At this time, a magnetic field of 3.0 kOe is applied. Thereby, the magnetization of the magnetic fixed part 23 and the entire area of the recording layer 31 are aligned in one direction by one rotation, and the servo information corresponding to the magnetic fixed parts 23 is recorded.

【００５９】次に、磁気ディスク８の面上の磁気ヘッド
スライダ８３により逆方向の磁化を印加する。図２１は
磁気ディスク８にサーボ情報を記録する第２過程を説明
する図であり、図２１（ａ）は模式的斜視図であり、図
２１（ｂ）は磁気ディスク８のＢ−Ｂ線における断面図
である。図に示すように、ヘッドスライダ８３が備える
電磁コイル８２を磁気ディスク８のサーボ情報を記録す
べき領域上に配し、電磁コイル８２と磁気ディスク８と
を周方向に相対移動させる。このとき−２．０ｋＯｅの
磁界を印加する。上述したように、記録層３１の磁気固
定部２３と交換結合した領域３６の保磁力Ｈcx（2508Ｏ
ｅ）は、交換結合していない領域３７の保磁力Ｈｃ1(15
00Ｏｅ）よりも大きいので、交換結合していない領域３
７だけで磁化が反転する。これによりサーボ情報が記録
される。その後、例えば磁気ヘッドスライダ８３を用い
て記録情報に対応した±２．０ｋＯｅの磁界を印加し、
情報を記録する。このときも交換結合している領域３６
の磁化は反転せず、サーボ情報が消去されることはな
い。Next, magnetization in the opposite direction is applied by the magnetic head slider 83 on the surface of the magnetic disk 8. 21A and 21B are diagrams for explaining a second process of recording servo information on the magnetic disk 8, FIG. 21A is a schematic perspective view, and FIG. It is sectional drawing. As shown in the figure, the electromagnetic coil 82 provided in the head slider 83 is arranged on an area of the magnetic disk 8 where servo information is to be recorded, and the electromagnetic coil 82 and the magnetic disk 8 are relatively moved in the circumferential direction. At this time, a magnetic field of -2.0 kOe is applied. As described above, the coercive force Hcx (2508O) of the region 36 exchange-coupled with the magnetic fixed portion 23 of the recording layer 31 is used.
e) shows the coercive force Hc1 (15) of the region 37 not exchange-coupled.
00e), the region 3 which is not exchange-coupled
The magnetization is reversed only by 7. As a result, servo information is recorded. Thereafter, a magnetic field of ± 2.0 kOe corresponding to the recorded information is applied using, for example, the magnetic head slider 83,
Record information. At this time, the exchange-coupled region 36
Is not reversed, and the servo information is not erased.

【００６０】このように、第７の実施の形態の磁気ディ
スク８にあっても、基板と記録層との間に記録層の保磁
力を増大させる保磁力増大部を設け、これを用いて補助
情報を記録することにより、表面が平坦で且つ補助情報
が正確に再生できる。また、この磁気ディスク８は、あ
る外部磁界で磁化が一斉反転するタイプの交換結合膜を
有しているので界面磁壁を生じることがなく、記録層と
磁気固定部との交換結合を厳密に制御する必要がないの
で、製造が容易である。これにより、第１〜第７の実施
の形態と比較して磁気ディスク８の製造マージンを大き
くできる。As described above, even in the magnetic disk 8 of the seventh embodiment, the coercive force increasing portion for increasing the coercive force of the recording layer is provided between the substrate and the recording layer, and the auxiliary portion is used by using the coercivity increasing portion. By recording the information, the auxiliary information can be accurately reproduced with a flat surface. Further, since the magnetic disk 8 has an exchange coupling film of a type in which the magnetization is simultaneously reversed by a certain external magnetic field, no interface domain wall is generated, and the exchange coupling between the recording layer and the magnetic fixed portion is strictly controlled. It is easy to manufacture because there is no need to do it. Thus, the manufacturing margin of the magnetic disk 8 can be increased as compared with the first to seventh embodiments.

【００６１】なお、上述した第１〜第７の実施の形態
で、記録層と磁気固定部との間にこれらの交換結合を制
御するための制御膜を介在させてあっても同様の効果を
奏する。この制御膜は非磁性膜であっても良いし、非磁
性元素を含む磁性膜であっても良い。In the first to seventh embodiments, the same effect can be obtained even if a control film for controlling the exchange coupling is interposed between the recording layer and the magnetic fixed portion. Play. This control film may be a non-magnetic film or a magnetic film containing a non-magnetic element.

【００６２】第８の実施の形態 上述した第１〜第７の実施の形態では、記録層及び磁気
固定部に磁性膜を用いることにより、磁気固定部に対応
する記録層の領域の保磁力を大きくした場合を説明し
た。しかしながら、記録層及び磁気固定部の成膜時のレ
ジスト除去の工程で真空を解除した際に、磁気固定部と
記録層との間に酸化膜が形成された場合には、これらの
交換結合力が低くなる傾向にある。交換結合力が低いと
記録層の領域による保磁力の差が小さくなり、補助情報
の記録マージンが小さくなる。そこで、真空解除の工程
を経ても十分な保磁力の差を得るべく、磁気固定部に非
磁性膜を用いて記録層の保磁力を増大させた磁気ディス
クについて説明する。Eighth Embodiment In the first to seventh embodiments described above, the use of a magnetic film for the recording layer and the magnetic pinned portion allows the coercive force of the area of the recording layer corresponding to the magnetic pinned portion to be reduced. The case where the size is increased has been described. However, when the oxide film is formed between the magnetic fixed portion and the recording layer when the vacuum is released in the step of removing the resist at the time of forming the recording layer and the magnetic fixed portion, the exchange coupling force of the oxide film is formed. Tend to be lower. If the exchange coupling force is low, the difference in coercive force depending on the area of the recording layer becomes small, and the recording margin of auxiliary information becomes small. Therefore, a magnetic disk in which the coercive force of the recording layer is increased by using a non-magnetic film for the magnetic fixing portion in order to obtain a sufficient coercive force difference even after the vacuum release step will be described.

【００６３】図２２は、本発明の第８の実施の形態の磁
気ディスク９の構造を示す部分斜視図である。図中１１
はＳｉ製の基板であり、基板１１は表面に深さ５０ｎｍ
を有する断面矩形状のグルーブを周方向に有し、グルー
ブ間のトラック領域には深さ５０ｎｍで形成されたピッ
トが形成されている。基板１１のトラックピッチは１μ
ｍである。基板１１のグルーブ内及びピット内にはＮｉ
Ｐが充填されて、磁気固定部（保磁力増大部）９１，９
１…が形成されている。基板１１及び磁気固定部９１の
表面には、ＣｏＰｔ−ＳｉＯ2 からなる記録層３１が２
０ｎｍの膜厚で積層されている。記録層３１の表面は平
坦になっており、その上に積層された保護層（図示せ
ず）の表面も平坦である。記録層３１は、磁気固定部９
１に対応する上層領域は高保磁力領域９２であり、その
他の部分は記録層単体が有する保磁力を維持している領
域９３になっている。FIG. 22 is a partial perspective view showing the structure of a magnetic disk 9 according to the eighth embodiment of the present invention. 11 in the figure
Is a substrate made of Si, and the substrate 11 has a depth of 50 nm on the surface.
Are provided in the circumferential direction, and pits formed at a depth of 50 nm are formed in track regions between the grooves. The track pitch of the substrate 11 is 1 μ
m. Ni in the grooves and pits of the substrate 11
P is filled, and the magnetic fixed portions (coercive force increasing portions) 91, 9
Are formed. A recording layer 31 made of CoPt—SiO 2 is provided on the surfaces of the substrate 11 and the magnetic fixed portion 91.
The layers are stacked with a thickness of 0 nm. The surface of the recording layer 31 is flat, and the surface of a protective layer (not shown) laminated thereon is also flat. The recording layer 31 includes the magnetic fixed section 9.
The upper layer region corresponding to 1 is a high coercive force region 92, and the other portion is a region 93 maintaining the coercive force of the recording layer alone.

【００６４】以上の如き構成の磁気ディスク９を製造す
る際には、第７の実施の形態と同様に、基板１１にグル
ーブ及びピットを形成する。次に、基板１１上にＮｉＰ
を成膜する。成膜条件は、Ｎｉ3 Ｐのターゲットを用い
てガス圧が５ｐａ，投入電力が１ｋＷであり、２０ｎｍ
の厚みのＮｉＰ膜を成膜した。その後、第１の実施の形
態と同様にして磁気固定部９１を形成し、磁気固定部上
のレジストを除去して記録層３１を形成する。When manufacturing the magnetic disk 9 having the above-described structure, grooves and pits are formed on the substrate 11 as in the seventh embodiment. Next, NiP is placed on the substrate 11.
Is formed. The film forming conditions were as follows: a Ni 3 P target was used, the gas pressure was 5 pa, the input power was 1 kW, and the thickness was 20 nm.
A NiP film having a thickness of 5 nm was formed. Thereafter, the magnetic fixed portion 91 is formed in the same manner as in the first embodiment, and the resist on the magnetic fixed portion is removed to form the recording layer 31.

【００６５】このように製造された磁気ディスク９で
は、記録層３１の高保磁力領域９２の保磁力は３ｋＯｅ
で、その他の領域９３の保磁力は１．５ｋＯｅであり、
その差は補助情報を記録するために十分な値である。In the magnetic disk 9 manufactured as described above, the coercive force of the high coercive force area 92 of the recording layer 31 is 3 kOe.
The coercive force of the other region 93 is 1.5 kOe,
The difference is a value sufficient for recording the auxiliary information.

【００６６】なお、上述した第１〜第８の実施の形態で
は、磁気ディスクの基板はグルーブ又は凸条のように、
隣のトラックのクロストークを遮蔽する部分を設けてい
るが、これに限るものではなく、グルーブ又は凸条を設
けていない基板であっても良い。In the first to eighth embodiments, the substrate of the magnetic disk is formed like a groove or a ridge.
Although a portion for blocking the crosstalk of the adjacent track is provided, the present invention is not limited to this, and a substrate having no groove or protrusion may be used.

【００６７】また、上述した実施の形態の磁気ディスク
の製造方法において、磁気固定部を形成するためにエッ
チング層又はエッチング調整層にエッチングを施す場合
を説明しているが、これに限るものではなく、例えば物
理的研磨によりエッチング層又はエッチング調整層を削
って磁気固定部を形成しても良い。In the method of manufacturing a magnetic disk according to the above-described embodiment, the case where the etching layer or the etching adjustment layer is etched to form the magnetic fixed portion is described. However, the present invention is not limited to this. For example, the magnetic fixed portion may be formed by cutting the etching layer or the etching adjustment layer by physical polishing.

【００６８】さらに、上述した実施の形態の磁気ディス
クでは、基板と記録層との間に形成される磁気固定部が
サーボ情報及びセクタ情報である場合を説明している
が、これに限るものではなく、磁気ディスクへの情報の
記録／再生のために用いられる補助情報であれば良い。Further, in the magnetic disk of the above-described embodiment, the case where the magnetic fixed portion formed between the substrate and the recording layer is the servo information and the sector information has been described, but the present invention is not limited to this. Instead, any auxiliary information used for recording / reproducing information on / from a magnetic disk may be used.

【００６９】[0069]

【発明の効果】以上のように、本発明においては、基板
と記録層との間に磁気固定部を備えており、該磁気固定
部と記録層との間に交換結合力がはたらくので、磁気固
定部に与えられた磁化は変化することがなく、補助情報
の再生を正確に行なうことができる。また、磁気固定部
に磁性膜又は非磁性膜を用いることにより、記録層の磁
気固定部に対応する領域の保磁力が、その他の領域より
も高いので補助情報が容易に記録でき、情報記録時に消
去されることがなく、またクロスライトの影響を小さく
することができる。さらに、磁気固定部とこれに磁気的
に結合する記録層の領域に同一方向の磁化を与えるの
で、補助情報が容易に記録でき、サーボライタを用いる
必要がない等、本発明は優れた効果を奏する。As described above, according to the present invention, the magnetic fixing portion is provided between the substrate and the recording layer, and the exchange coupling force acts between the magnetic fixing portion and the recording layer. The magnetization applied to the fixed portion does not change, and the auxiliary information can be accurately reproduced. In addition, by using a magnetic film or a non-magnetic film for the magnetic fixed portion, the coercive force of a region corresponding to the magnetic fixed portion of the recording layer is higher than other regions, so that auxiliary information can be easily recorded, and at the time of information recording. It is not erased, and the influence of cross writing can be reduced. Further, since the same direction of magnetization is applied to the magnetic fixed portion and the area of the recording layer magnetically coupled to the magnetic fixed portion, auxiliary information can be easily recorded, and the present invention has excellent effects such as not requiring the use of a servo writer. Play.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第１の実施の形態の磁気ディスクの構
造を示す部分斜視図である。FIG. 1 is a partial perspective view showing a structure of a magnetic disk according to a first embodiment of the present invention.

【図２】図１の磁気ディスクの部分平面図である。FIG. 2 is a partial plan view of the magnetic disk of FIG.

【図３】図１の磁気ディスクの製造段階における模式的
断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the magnetic disk of FIG. 1 at a manufacturing stage.

【図４】図１の磁気ディスクの製造段階における模式的
断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the magnetic disk of FIG. 1 at a manufacturing stage.

【図５】図１の磁気ディスクの製造段階における模式的
断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of the magnetic disk of FIG. 1 at a manufacturing stage.

【図６】図１の磁気ディスクの製造段階における模式的
断面図である。6 is a schematic cross-sectional view of the magnetic disk shown in FIG. 1 at a manufacturing stage.

【図７】図１の磁気ディスクの製造段階における模式的
断面図である。FIG. 7 is a schematic sectional view of the magnetic disk of FIG. 1 in a manufacturing stage.

【図８】本発明の第２の実施の形態の磁気ディスクの構
造を示す部分斜視図である。FIG. 8 is a partial perspective view showing a structure of a magnetic disk according to a second embodiment of the present invention.

【図９】図８の磁気ディスクの製造段階における模式的
断面図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of the magnetic disk of FIG. 8 at a manufacturing stage.

【図１０】図８の磁気ディスクの製造段階における模式
的断面図である。FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of the magnetic disk of FIG. 8 at a manufacturing stage.

【図１１】図８の磁気ディスクの製造段階における模式
的断面図である。11 is a schematic cross-sectional view of the magnetic disk shown in FIG. 8 at a manufacturing stage.

【図１２】図８の磁気ディスクの製造段階における模式
的断面図である。FIG. 12 is a schematic cross-sectional view of the magnetic disk of FIG. 8 at a manufacturing stage.

【図１３】図８の磁気ディスクの製造段階における模式
的断面図である。FIG. 13 is a schematic cross-sectional view of the magnetic disk of FIG. 8 at a manufacturing stage.

【図１４】本発明の第３の実施の形態の磁気ディスクの
構造を示す断面図である。FIG. 14 is a sectional view showing a structure of a magnetic disk according to a third embodiment of the present invention.

【図１５】本発明の第４の実施の形態の磁気ディスクの
構造を示す断面図である。FIG. 15 is a sectional view showing a structure of a magnetic disk according to a fourth embodiment of the present invention.

【図１６】本発明の第５の実施の形態の磁気ディスクの
構造を示す部分斜視図である。FIG. 16 is a partial perspective view showing a structure of a magnetic disk according to a fifth embodiment of the present invention.

【図１７】本発明の第６の実施の形態の磁気ディスクに
サーボ情報を記録する方法を説明する図である。FIG. 17 is a diagram illustrating a method for recording servo information on a magnetic disk according to a sixth embodiment of the present invention.

【図１８】図１７のＡの領域の磁化状態を示す拡大断面
図である。FIG. 18 is an enlarged sectional view showing a magnetization state of a region A in FIG. 17;

【図１９】一斉反転する交換結合膜の記録層の膜厚に対
する保磁力を示すグラフである。FIG. 19 is a graph showing the coercive force with respect to the thickness of the recording layer of the exchange coupling film that undergoes simultaneous inversion.

【図２０】第７の実施の形態の磁気ディスクにサーボ情
報を記録する第１過程を説明する図である。FIG. 20 is a diagram illustrating a first step of recording servo information on the magnetic disk according to the seventh embodiment.

【図２１】第７の実施の形態の磁気ディスクにサーボ情
報を記録する第２過程を説明する図である。FIG. 21 is a diagram illustrating a second process of recording servo information on the magnetic disk according to the seventh embodiment.

【図２２】本発明の第８の実施の形態の磁気ディスクの
構造を示す部分斜視図である。FIG. 22 is a partial perspective view showing the structure of a magnetic disk according to an eighth embodiment of the present invention.

【図２３】従来のサーボライタの構成図である。FIG. 23 is a configuration diagram of a conventional servo writer.

【図２４】従来の補助データを有する磁気ディスクの構
造を示す部分斜視図である。FIG. 24 is a partial perspective view showing the structure of a conventional magnetic disk having auxiliary data.

【図２５】図２４の補助データの記録方法を説明する図
である。FIG. 25 is a diagram illustrating a method of recording auxiliary data in FIG. 24.

【図２６】本発明に用いる記録層及び磁気固定部の磁化
曲線を示した図である。FIG. 26 is a diagram showing magnetization curves of a recording layer and a magnetic fixed portion used in the present invention.

【図２７】本発明に用いる記録層及び磁気固定部の他の
磁化曲線を示した図である。FIG. 27 is a diagram showing another magnetization curve of the recording layer and the magnetic fixed portion used in the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１，２，３，４，８，９ 磁気ディスク ５，６ 磁石 １１，４１，５１ 基板 １２ グルーブ １３，１４ ピット ２１ エッチング調整層 ２２ グルーブ部（グルーブ磁気固定部） ２３ サーボ部（サーボ磁気固定部） ２４ セクタ部 ３０ エッチング調整層 ３１ 記録層 ３２ グルーブ領域 ３３ トラック領域 ５２ 凸条部 ５３ サーボ部（サーボ磁気固定部） ９１ 磁気固定部 ９２ 高保磁力領域 1, 2, 3, 4, 8, 9 Magnetic disk 5, 6 Magnet 11, 41, 51 Substrate 12 Groove 13, 14 Pit 21 Etching adjustment layer 22 Groove part (groove magnetic fixed part) 23 Servo part (servo magnetic fixed part) 24 sector part 30 etching adjustment layer 31 recording layer 32 groove area 33 track area 52 ridge 53 servo part (servo magnetic fixing part) 91 magnetic fixing part 92 high coercive force area

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 基板と記録層との積層構造を有し、磁気
ヘッドにより前記記録層のトラックに沿って情報が記録
される磁気記録媒体において、 前記基板と前記記録層との間で、前記記録層と磁気的に
結合する磁気固定部を、前記情報の記録再生のために用
いられる補助情報に対応する位置に設けてあることを特
徴とする磁気記録媒体。1. A magnetic recording medium having a laminated structure of a substrate and a recording layer, wherein information is recorded along a track of the recording layer by a magnetic head, wherein: A magnetic recording medium characterized in that a magnetic fixed portion magnetically coupled to a recording layer is provided at a position corresponding to auxiliary information used for recording and reproducing the information. 【請求項２】 磁気ヘッドにより記録層のトラックに沿
って情報が記録される磁気記録媒体において、 前記記録層の保磁力を増大せしめる保磁力増大部が、前
記記録層の部分領域に対応して形成されており、前記記
録層は前記保磁力増大部に対応する領域とその他の領域
とで異なる保磁力を有することを特徴とする磁気記録媒
体。2. A magnetic recording medium in which information is recorded along a track of a recording layer by a magnetic head, wherein a coercive force increasing portion for increasing a coercive force of the recording layer corresponds to a partial area of the recording layer. The magnetic recording medium is formed, wherein the recording layer has a different coercive force in a region corresponding to the coercive force increasing portion and another region. 【請求項３】 前記記録層と前記磁気固定部とは、これ
らの交換結合力により夫々の磁化が実質的に同時に反転
する磁気特性を有し、前記記録層の前記磁気固定部に対
応する領域は、前記記録層のその他の領域よりも大きな
保磁力を有する請求項１記載の磁気記録媒体。3. The recording layer and the magnetic fixed portion have magnetic characteristics such that their magnetizations are substantially simultaneously reversed by their exchange coupling force, and a region corresponding to the magnetic fixed portion of the recording layer. 2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium has a larger coercive force than other areas of the recording layer. 【請求項４】 前記記録層は、前記保磁力が異なる領域
の夫々に対応して異なる方向に磁化されており、前記情
報の記録再生のために用いられる補助情報が記録されて
いる請求項２記載の磁気記録媒体。4. The information recording apparatus according to claim 2, wherein the recording layer is magnetized in a different direction corresponding to each of the areas having different coercive forces, and auxiliary information used for recording and reproducing the information is recorded. The magnetic recording medium according to the above. 【請求項５】 前記補助情報は、前記磁気ヘッドを前記
トラックに追随せしめるためのサーボ情報である請求項
１，３又は４のいずれかに記載の磁気記録媒体。5. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the auxiliary information is servo information for causing the magnetic head to follow the track. 【請求項６】 前記磁気固定部は、一方向に磁化された
状態にある請求項１又は３に記載の磁気記録媒体。6. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic fixed part is magnetized in one direction. 【請求項７】 請求項１に記載の磁気記録媒体に、前記
情報の記録再生のために用いられる補助情報を記録する
方法において、 前記磁気記録媒体の積層方向に対向すべき両側に、各別
の極性を有する磁気印加装置を配し、前記磁気固定部に
前記積層方向の磁界を印加することを特徴とする磁気記
録媒体の補助情報の記録方法。7. A method for recording auxiliary information used for recording and reproducing the information on the magnetic recording medium according to claim 1, wherein each of the auxiliary information is provided on both sides of the magnetic recording medium that are to be opposed to each other in a laminating direction. A method of recording auxiliary information on a magnetic recording medium, comprising: arranging a magnetism applying device having the following polarities;
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