JPH11132992A - Small-sized oxygen electrode - Google Patents

Small-sized oxygen electrode

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JPH11132992A
JPH11132992A JP9300080A JP30008097A JPH11132992A JP H11132992 A JPH11132992 A JP H11132992A JP 9300080 A JP9300080 A JP 9300080A JP 30008097 A JP30008097 A JP 30008097A JP H11132992 A JPH11132992 A JP H11132992A
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JP
Japan
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electrode
working electrode
paste
working
counter electrode
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Pending
Application number
JP9300080A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shogo Ishikawa
省吾 石川
Junko Kato
純子 加藤
Kazuhisa Harima
和久 播磨
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FDK Corp
Original Assignee
FDK Corp
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Publication date
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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the cost of the title electrode and to make the electrode disposable by printing Ag paste on one surface of a rigid substrate to form a counter electrode and an acting electrode having a predetermined shape and printing insulating paste on the intermediate parts of the counter electrode, the acting electrode and a reference electrode excepting the pad parts of the leading end parts and roots of those electrodes to form insulating films. SOLUTION: Ag paste is printed on the single surface of a rigid substrate 12 to simultaneously produce a large number of counter electrodes 1, acting electrodes 2, insulating films 4 and pads 5 or counter electrodes 1, acting electrodes 2, reference electrodes 3, insulating films 4 and pads 5 and this substrate is cut into individual elements 11 to produce oxygen electrodes. Herein, each of the insulating films 4 is formed by printing the insulating paste. Then, the small-sized oxygen electrode is immersed in a sample soln. (sewage of which the oxygen concn. must be measured or the like) 22 to be hermetically closed and the current flowing to the acting electrodes 2 is measured to measure the concn. of oxygen.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、小型酸素電極に関
するものである。医療および環境分野などでは、数十種
類の異なる溶液中の酸素濃度を同時に測定し、分析・検
査する用途で使用される酸素電極がある。この酸素電極
について、その構成材料、工程を極力抑えて製品価額を
低減する要望がある。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a small oxygen electrode. In the medical and environmental fields, there are oxygen electrodes used for measuring, analyzing, and testing oxygen concentrations in dozens of different solutions at the same time. There is a demand for reducing the product value of the oxygen electrode by minimizing its constituent materials and processes.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、酸素電極は、塩化カリウム等の電
解質中に負極よりなる作用極と、正極よりなる対極とを
設けて構成しており、作用極上において溶存酸素と水と
電子が反応して水酸イオンを発生し、溶存酸素濃度に比
例して対極(正極)・作用極(負極)間に電流が流れ、
この電流を測定して溶存酸素濃度を推定することが行わ
れている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an oxygen electrode is constituted by providing a working electrode consisting of a negative electrode and a counter electrode consisting of a positive electrode in an electrolyte such as potassium chloride, and dissolved oxygen, water and electrons react on the working electrode. To generate hydroxyl ions, and a current flows between the counter electrode (positive electrode) and working electrode (negative electrode) in proportion to the dissolved oxygen concentration.
The current is measured to estimate the dissolved oxygen concentration.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来の上述した酸素電
極は、その構成材料が高価なため、製品価額も高く、使
い捨ての使用ができないという問題があった。このた
め、酸素電極の用途として高精度の定量性を必要としな
いが、使い捨てでき、非常に価額の安い小型酸素電極の
要望があった。
The conventional oxygen electrode described above has a problem in that the constituent material is expensive, the product price is high, and the oxygen electrode cannot be disposable. For this reason, there is a demand for a small-sized oxygen electrode which is disposable and very inexpensive, although high-precision quantitativeness is not required for the use of the oxygen electrode.

【0004】本発明は、これらの問題を解決するため、
酸素電極の構成材料などを再検討し、使い捨て可能で安
価な構成材料で実現して非常に安価な小型酸素電極を提
供することを目的としている。
[0004] The present invention solves these problems,
An object of the present invention is to reexamine the constituent materials of the oxygen electrode and the like, and to provide a very inexpensive small-sized oxygen electrode realized by a disposable and inexpensive constituent material.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】図1、図6、図8、図1
0、図12、図15、図17および図19を参照して課
題を解決するための手段を説明する。
FIG. 1, FIG. 6, FIG. 8, FIG.
Means for solving the problem will be described with reference to FIGS. 0, 12, 15, 17, and 19.

【0006】図1、図6、図8、図10、図12、図1
5、図17および図19において、素子11は、対極
1、作用極2、参照極3、絶縁膜4、パッド5などから
構成される酸素電極である。
FIGS. 1, 6, 8, 10, 12, and 1
5, in FIGS. 17 and 19, the element 11 is an oxygen electrode including a counter electrode 1, a working electrode 2, a reference electrode 3, an insulating film 4, a pad 5, and the like.

【0007】対極1は、Agペーストを印刷あるいはA
gを蒸着した電極であって、作用極2に電流を供給する
ためのものである。作用極2は、Agペーストを印刷あ
るいはAgを蒸着した電極であって、対極1との間に流
れる電流eを測定して酸素濃度を検出するためのもので
ある。
The counter electrode 1 is formed by printing Ag paste or A
g is an electrode on which g is deposited, and is for supplying a current to the working electrode 2. The working electrode 2 is an electrode on which an Ag paste is printed or Ag is deposited, and serves to detect the oxygen concentration by measuring a current e flowing between the working electrode 2 and the counter electrode 1.

【0008】参照極3は、Agペーストを印刷あるいは
Agを蒸着した電極であって、表面がAg/AgClと
なり、対極1との間にバイアス電流を流すためのもので
ある。
The reference electrode 3 is an electrode on which an Ag paste is printed or Ag is deposited, and has a surface of Ag / AgCl for flowing a bias current between itself and the counter electrode 1.

【0009】次に、構造を順次説明する。図1に示すよ
うに、固い基板上の一方の面にAgペーストを印刷して
形成した所定形状の対極1と作用極2あるいは対極1と
作用極2と参照極3の1組みと、所定形状に形成した対
極1と作用極2あるいは対極1と作用極2と参照極3の
先端の部分および根元のパッド5の部分を除いた所定中
間部分に絶縁ペーストを印刷して形成した絶縁膜4とか
ら小型酸素電極を構成するようにしている。
Next, the structure will be described sequentially. As shown in FIG. 1, a predetermined shape of a counter electrode 1 and a working electrode 2 or a set of a counter electrode 1, a working electrode 2 and a reference electrode 3 formed by printing an Ag paste on one surface of a hard substrate, and a predetermined shape An insulating film 4 formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding a tip portion of the counter electrode 1 and the working electrode 2 or a tip portion of the counter electrode 1, the working electrode 2 and the reference electrode 3 and a portion of the base pad 5; To form a small oxygen electrode.

【0010】また、図1に示すように、固い基板上の一
方の面にAgを蒸着して形成した所定形状の対極1と作
用極2あるいは対極1と作用極2と参照極3の1組み
と、所定形状に形成した対極1と作用極2あるいは対極
1と作用極2と参照極3の先端の部分および根元のパッ
ド5の部分を除いた所定中間部分に絶縁ペーストを印刷
して形成した絶縁膜4とから小型酸素電極を構成するよ
うにしている。
As shown in FIG. 1, a set of a counter electrode 1 and a working electrode 2 or a pair of a counter electrode 1, a working electrode 2 and a reference electrode 3 having a predetermined shape formed by evaporating Ag on one surface of a hard substrate. And an insulating paste is printed on a predetermined intermediate portion of the counter electrode 1 and the working electrode 2 or the counter electrode 1, the working electrode 2 and the reference electrode 3 excluding the tip portion and the root pad 5 portion. A small oxygen electrode is constituted by the insulating film 4.

【0011】また、図6に示すように、固い基板上の一
方の面にAgペーストを印刷して形成した所定形状の対
極1と他の面にAgペーストを印刷して形成した所定形
状の作用極2あるいは作用極2と参照極3の1組みと、
所定形状に形成した一方の面の対極1、および他の面の
作用極2あるいは作用極2と参照極3の先端の部分およ
び根元のパッド5の部分を除いた所定中間部分に絶縁ペ
ーストを印刷して形成した絶縁膜4とから小型酸素電極
を構成するようにしている。
As shown in FIG. 6, a counter electrode 1 having a predetermined shape formed by printing an Ag paste on one surface of a hard substrate and an action of a predetermined shape formed by printing an Ag paste on the other surface. A pair of pole 2 or working pole 2 and reference pole 3,
An insulating paste is printed on a counter electrode 1 on one surface formed in a predetermined shape, and on a predetermined intermediate portion excluding the working electrode 2 or the working electrode 2 and the tip of the reference electrode 3 and the base pad 5 on the other surface. The insulating film 4 formed as described above constitutes a small oxygen electrode.

【0012】また、図6に示すように、固い基板上の一
方の面にAgを蒸着して形成した所定形状の対極1と他
の面にAgを蒸着して形成した所定形状の作用極2ある
いは作用極2と参照極3の1組みと、所定形状に形成し
た一方の面の対極1、および他の面の作用極2あるいは
作用極2と参照極3の先端の部分および根元のパッド5
の部分を除いた所定中間部分に絶縁ペーストを印刷して
形成した絶縁膜4とから小型酸素電極を構成するように
している。
As shown in FIG. 6, a counter electrode 1 of a predetermined shape formed by evaporating Ag on one surface of a hard substrate and a working electrode 2 of a predetermined shape formed by evaporating Ag on the other surface. Alternatively, one set of the working electrode 2 and the reference electrode 3, the counter electrode 1 on one surface formed into a predetermined shape, and the working electrode 2 on the other surface or the tip of the working electrode 2 and the reference electrode 3 and the pad 5 at the base
A small oxygen electrode is constituted by an insulating film 4 formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding the portion.

【0013】また、図8に示すように、柔軟性のあるフ
ィルム基板上の一方の面にAgペーストを印刷して形成
した所定形状の対極1と作用極2あるいは対極1と作用
極2と参照極3の1組みと、所定形状に形成した対極1
と作用極2あるいは対極1と作用極2と参照極3の先端
の部分および根元のパッド5の部分を除いた所定中間部
分に絶縁ペーストを印刷して形成した絶縁膜4とから小
型酸素電極を構成するようにしている。
As shown in FIG. 8, a reference electrode 1 and a working electrode 2 having a predetermined shape formed by printing an Ag paste on one surface of a flexible film substrate, or a reference electrode 1 and a working electrode 2 are referred to. One set of poles 3 and a counter electrode 1 formed in a predetermined shape
And a working electrode 2 or a counter electrode 1, a working electrode 2 and an insulating film 4 formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding a tip portion of the reference electrode 3 and a portion of the base pad 5. It is composed.

【0014】また、図8に示すように、柔軟性のあるフ
ィルム基板上の一方の面にAgを蒸着して形成した所定
形状の対極1と作用極2あるいは対極1と作用極2と参
照極3の1組みと、所定形状に形成した対極1と作用極
2あるいは対極1と作用極2と参照極3の先端の部分お
よび根元のパッド5の部分を除いた所定中間部分に絶縁
ペーストを印刷して形成した絶縁膜4とから小型酸素電
極を構成するようにしている。
As shown in FIG. 8, a counter electrode 1 and a working electrode 2 or a counter electrode 1, a working electrode 2 and a reference electrode having a predetermined shape formed by evaporating Ag on one surface of a flexible film substrate. 3 and a counter electrode 1 and a working electrode 2 formed in a predetermined shape, or an insulating paste is printed on a predetermined intermediate portion excluding a tip portion of the counter electrode 1 and a working electrode 2 and a reference electrode 3 and a portion of a base pad 5. The insulating film 4 formed as described above constitutes a small oxygen electrode.

【0015】また、図10に示すように、柔軟性のある
フィルム基板上の一方の面にAgペーストを印刷して形
成した所定形状の対極1と他の面にAgペーストを印刷
して形成した所定形状の作用極2あるいは作用極2と参
照極3の1組みと、所定形状に形成した一方の面の対極
1、および他の面の作用極2あるいは作用極2と参照極
3の先端の部分および根元のパッド5の部分を除いた所
定中間部分に絶縁ペーストを印刷して形成した絶縁膜4
とから小型酸素電極を構成するようにしている。
As shown in FIG. 10, a counter electrode 1 having a predetermined shape formed by printing an Ag paste on one surface of a flexible film substrate and an Ag paste printed on another surface. A working electrode 2 having a predetermined shape or one set of a working electrode 2 and a reference electrode 3, a counter electrode 1 on one surface formed into a predetermined shape, and a working electrode 2 or a working electrode 2 on another surface or a tip of the reference electrode 3. Insulating film 4 formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding a portion and a root pad 5 portion
Thus, a small oxygen electrode is formed.

【0016】また、図10に示すように、柔軟性のある
フィルム基板上の一方の面にAgを蒸着して形成した所
定形状の対極1と他の面にAgを蒸着して形成した所定
形状の作用極2あるいは作用極2と参照極3の1組み
と、所定形状に形成した一方の面の対極1、および他の
面の作用極2あるいは作用極2と参照極3の先端の部分
および根元のパッド5の部分を除いた所定中間部分に絶
縁ペーストを印刷して形成した絶縁膜4とから小型酸素
電極を構成するようにしている。
As shown in FIG. 10, a counter electrode 1 having a predetermined shape formed by evaporating Ag on one surface of a flexible film substrate and a predetermined shape formed by evaporating Ag on the other surface. Working electrode 2 or one set of working electrode 2 and reference electrode 3, counter electrode 1 on one surface formed in a predetermined shape, and working electrode 2 on the other surface or the tip of working electrode 2 and reference electrode 3 and A small oxygen electrode is constituted by the insulating film 4 formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding the base pad 5.

【0017】また、図12に示すように、固い基板上の
一方の面にAgペーストを印刷して形成した所定形状の
対極1と作用極2あるいは対極1と作用極2と参照極3
の複数組みと、所定形状に形成した対極1と作用極2あ
るいは対極1と作用極2と参照極3の先端の部分および
根元のパッド5の部分を除いた所定中間部分に絶縁ペー
ストを印刷して形成した絶縁膜4とから小型酸素電極を
構成するようにしている。
As shown in FIG. 12, a counter electrode 1 and a working electrode 2 or a counter electrode 1, a working electrode 2 and a reference electrode 3 each having a predetermined shape formed by printing an Ag paste on one surface of a hard substrate.
And an insulating paste is printed on a predetermined intermediate portion excluding the tip of the counter electrode 1 and the working electrode 2 or the counter electrode 1, the working electrode 2 and the reference electrode 3 and the portion of the base pad 5 formed in a predetermined shape. The small-sized oxygen electrode is constituted by the insulating film 4 formed as described above.

【0018】また、図12に示すように、固い基板上の
一方の面にAgを蒸着して形成した所定形状の対極1と
作用極2あるいは対極1と作用極2と参照極3の複数組
みと、所定形状に形成した対極1と作用極2あるいは対
極1と作用極2と参照極3の先端の部分および根元のパ
ッド5の部分を除いた所定中間部分に絶縁ペーストを印
刷して形成した絶縁膜4とから小型酸素電極を構成する
ようにしている。
As shown in FIG. 12, a plurality of sets of a counter electrode 1 and a working electrode 2 or a pair of a counter electrode 1, a working electrode 2 and a reference electrode 3 having a predetermined shape formed by evaporating Ag on one surface of a hard substrate. And an insulating paste is printed on a predetermined intermediate portion of the counter electrode 1 and the working electrode 2 or the counter electrode 1, the working electrode 2 and the reference electrode 3 excluding the tip portion and the root pad 5 portion. A small oxygen electrode is constituted by the insulating film 4.

【0019】また、図15に示すように、固い基板上の
一方の面にAgペーストを印刷して形成した所定形状の
対極1と他の面にAgペーストを印刷して形成した所定
形状の作用極2あるいは作用極2と参照極3の複数組み
と、所定形状に形成した一方の面の対極1、および他の
面の作用極2あるいは作用極2と参照極3の先端の部分
および根元のパッド5の部分を除いた所定中間部分に絶
縁ペーストを印刷して形成した絶縁膜4とから小型酸素
電極を構成するようにしている。
As shown in FIG. 15, a counter electrode 1 having a predetermined shape formed by printing an Ag paste on one surface of a hard substrate and a function of a predetermined shape formed by printing an Ag paste on the other surface. Pole 2 or a plurality of sets of working electrode 2 and reference electrode 3, counter electrode 1 on one surface formed into a predetermined shape, and working electrode 2 or working electrode 2 on the other surface and the tip portion and reference electrode 3 of reference electrode 3 A small oxygen electrode is constituted by the insulating film 4 formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding the portion of the pad 5.

【0020】また、図15に示すように、固い基板上の
一方の面にAgを蒸着して形成した所定形状の対極1と
他の面にAgを蒸着して形成した所定形状の作用極2あ
るいは作用極2と参照極3の複数組みと、所定形状に形
成した一方の面の対極1、および他の面の作用極2ある
いは作用極2と参照極3の先端の部分および根元のパッ
ド5の部分を除いた所定中間部分に絶縁ペーストを印刷
して形成した絶縁膜4とから小型酸素電極を構成するよ
うにしている。
As shown in FIG. 15, a counter electrode 1 having a predetermined shape formed by evaporating Ag on one surface of a hard substrate and a working electrode 2 having a predetermined shape formed by evaporating Ag on the other surface. Alternatively, a plurality of pairs of the working electrode 2 and the reference electrode 3, the counter electrode 1 on one surface formed into a predetermined shape, and the working electrode 2 on the other surface or the tip portion of the working electrode 2 and the reference electrode 3 and the pad 5 at the root A small oxygen electrode is constituted by an insulating film 4 formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding the portion.

【0021】また、図17に示すように、柔軟性のある
フィルム基板上の一方の面にAgペーストを印刷して形
成した所定形状の対極1と作用極2あるいは対極1と作
用極2と参照極3の複数組みと、所定形状に形成した対
極1と作用極2あるいは対極1と作用極2と参照極3の
先端の部分および根元のパッド5の部分を除いた所定中
間部分に絶縁ペーストを印刷して形成した絶縁膜4とか
ら小型酸素電極を構成するようにしている。
As shown in FIG. 17, reference is made to a counter electrode 1 and a working electrode 2 or a counter electrode 1 and a working electrode 2 each having a predetermined shape formed by printing an Ag paste on one surface of a flexible film substrate. An insulating paste is applied to a plurality of sets of the poles 3 and a predetermined intermediate portion excluding a tip portion of the counter electrode 1 and the working electrode 2 or a tip portion of the counter electrode 1, the working electrode 2 and the reference electrode 3 and a portion of the base pad 5 formed in a predetermined shape. A small oxygen electrode is constituted by the insulating film 4 formed by printing.

【0022】また、図17に示すように、柔軟性のある
フィルム基板上の一方の面にAgを蒸着して形成した所
定形状の対極1と作用極2あるいは対極1と作用極2と
参照極3の複数組みと、所定形状に形成した対極1と作
用極2あるいは対極1と作用極2と参照極3の先端の部
分および根元のパッド5の部分を除いた所定中間部分に
絶縁ペーストを印刷して形成した絶縁膜4とから小型酸
素電極を構成するようにしている。
Further, as shown in FIG. 17, a counter electrode 1 and a working electrode 2 or a counter electrode 1, a working electrode 2 and a reference electrode having a predetermined shape formed by evaporating Ag on one surface of a flexible film substrate. 3 and a counter electrode 1 and a working electrode 2 formed in a predetermined shape or an insulating paste is printed on a predetermined intermediate portion excluding a tip portion of the counter electrode 1 and a working electrode 2 and a reference electrode 3 and a portion of a base pad 5. The insulating film 4 formed as described above constitutes a small oxygen electrode.

【0023】また、図19に示すように、柔軟性のある
フィルム基板上の一方の面にAgペーストを印刷して形
成した所定形状の対極1と他の面にAgペーストを印刷
して形成した所定形状の作用極2あるいは作用極2と参
照極3の複数組みと、所定形状に形成した一方の面の対
極1、および他の面の作用極2あるいは作用極2と参照
極3の先端の部分および根元のパッド5の部分を除いた
所定中間部分に絶縁ペーストを印刷して形成した絶縁膜
4とから小型酸素電極を構成するようにしている。
As shown in FIG. 19, a counter electrode 1 having a predetermined shape formed by printing an Ag paste on one surface of a flexible film substrate and an Ag paste printed on another surface. A working electrode 2 having a predetermined shape or a plurality of sets of a working electrode 2 and a reference electrode 3; a counter electrode 1 on one surface formed into a predetermined shape; A small oxygen electrode is constituted by the insulating film 4 formed by printing an insulating paste on a portion and a predetermined intermediate portion excluding the portion of the base pad 5.

【0024】また、図19に示すように、柔軟性のある
フィルム基板上の一方の面にAgを蒸着して形成した所
定形状の対極1と他の面にAgを蒸着して形成した所定
形状の作用極2あるいは作用極2と参照極3の複数組み
と、所定形状に形成した一方の面の対極1、および他の
面の作用極2あるいは作用極2と参照極3の先端の部分
および根元のパッド5の部分を除いた所定中間部分に絶
縁ペーストを印刷して形成した絶縁膜4とから小型酸素
電極を構成するようにしている。
As shown in FIG. 19, a counter electrode 1 having a predetermined shape formed by evaporating Ag on one surface of a flexible film substrate and a predetermined shape formed by evaporating Ag on the other surface. Working electrode 2 or a plurality of sets of working electrode 2 and reference electrode 3; counter electrode 1 on one surface formed in a predetermined shape; and working electrode 2 on the other surface or the tip of working electrode 2 and reference electrode 3; A small oxygen electrode is constituted by the insulating film 4 formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding the base pad 5.

【0025】これらの際に、絶縁膜4で覆われない対極
1の面積と作用極2の面積との比を1対50以上とする
ようにしている。従って、酸素電極の構成材料などを再
検討し、使い捨て可能で必要に安価な構成材料で実現し
て非常に安価な小型酸素電極を提供することが可能とな
る。
At this time, the ratio of the area of the counter electrode 1 not covered with the insulating film 4 to the area of the working electrode 2 is set to 1:50 or more. Therefore, it is possible to reexamine the constituent material of the oxygen electrode and the like, and to provide a very inexpensive small-sized oxygen electrode realized by a disposable and necessary and inexpensive constituent material.

【0026】[0026]

【発明の実施の形態】次に、図1から図22を用いて本
発明の実施の形態および動作を順次詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, embodiments and operations of the present invention will be sequentially described in detail with reference to FIGS.

【0027】図1は、本発明の構造説明図(その1、片
面)を示す。図1は、固い基板12の片面上に1組みの
酸素電極を持つ素子11を多数設けたものである。図1
の(a)は対極1と作用極2から構成される素子11の
例を示し、図1の(b)は対極1と作用極2と参照極3
とから構成される素子11の例を示す。
FIG. 1 is a structural explanatory view (part 1, one side) of the present invention. FIG. 1 shows a case where a number of elements 11 each having one set of oxygen electrodes are provided on one surface of a hard substrate 12. FIG.
(A) shows an example of an element 11 composed of a counter electrode 1 and a working electrode 2, and (b) of FIG.
An example of the element 11 composed of

【0028】図1の(a)および(b)において、素子
11は、溶液中の酸素を検出するものであって、図1の
(a)に示すように対極1、作用極2、絶縁膜4および
パッド5、あるいは図1の(b)に示すように対極1、
作用極2、参照極3、絶縁膜4およびパッド5のいずれ
から構成されるものである。
In FIGS. 1A and 1B, an element 11 detects oxygen in a solution. As shown in FIG. 1A, a counter electrode 1, a working electrode 2, and an insulating film are provided. 4 and pad 5, or counter electrode 1, as shown in FIG.
Each of the working electrode 2, the reference electrode 3, the insulating film 4 and the pad 5 is constituted.

【0029】対極1は、表面をAg(銀)にした電極で
あって、Agペーストを印刷あるいはAgを蒸着などし
て製造したものであり、作用極2に対して溶液中の酸素
濃度に対応した電流(電子e)を供給するためのもので
ある。
The counter electrode 1 is an electrode whose surface is made of Ag (silver), which is manufactured by printing an Ag paste or depositing Ag, and corresponding to the working electrode 2 according to the oxygen concentration in the solution. This is for supplying the generated current (electrons e).

【0030】作用極2は、表面をAg(銀)にした電極
であって、Agペーストを印刷あるいはAgを蒸着など
して製造したものであり、溶液中の酸素の濃度に対応し
て対極1との間に流れる電流(電子e)を測定して酸度
濃度を検出するためのものである。
The working electrode 2 is an electrode whose surface is made of Ag (silver), which is manufactured by printing an Ag paste or depositing Ag, and has a counter electrode 1 corresponding to the concentration of oxygen in the solution. Is used to detect the acidity concentration by measuring the current (electrons e) flowing between them.

【0031】参照極3は、表面をAg(銀)およびAg
Cl(塩化銀)として電極であって、対極1との間にバ
イアス電流を流すためのものである。絶縁膜4は、対極
1、作用極2、参照極3の所定部分およびパッド5の部
分を残して他の部分を絶縁するものである。
The reference electrode 3 is made of Ag (silver) and Ag
It is an electrode as Cl (silver chloride) for flowing a bias current between itself and the counter electrode 1. The insulating film 4 insulates other portions except for a predetermined portion of the counter electrode 1, the working electrode 2, the reference electrode 3 and the pad 5.

【0032】パッド5は、対極1、作用極2、参照極3
を外部端子に接続するためのパッドである。図1の
(c)は、図1の(a)あるいは(b)の素子11の多
数の組みを基板12上に形成した様子を示す。ここで
は、固い基板(例えば1.2mmtのガラスエポキシ基
板)12上にV溝13を設けて折れやすくした素子11
を多数一度に製造するようにした様子を示す。
The pad 5 includes a counter electrode 1, a working electrode 2, and a reference electrode 3.
Is a pad for connecting to an external terminal. FIG. 1C shows a state in which a number of sets of the elements 11 shown in FIG. 1A or 1B are formed on a substrate 12. Here, a V-groove 13 is provided on a hard substrate (for example, a glass epoxy substrate of 1.2 mmt) 12 to make it easy to break.
Are manufactured in large numbers at a time.

【0033】以上の図1の(a)あるいは(b)に示す
素子11を図1の(c)に示すように固い基板(ガラス
エポキシ基板)12上に多数一度に製造し、V溝13の
部分で切断し更に各素子11毎に切断することにより、
1枚の基板12から多数の素子11を1度に製造でき、
安価に製造することが可能となる。
As shown in FIG. 1C, a large number of the devices 11 shown in FIGS. 1A and 1B are manufactured on a hard substrate (glass epoxy substrate) 12 at a time. By cutting at each part and further cutting each element 11,
A large number of elements 11 can be manufactured at once from one substrate 12,
It can be manufactured at low cost.

【0034】図1の(d)は、図1の(a)あるいは
(b)の素子を実際に試料溶液12に浸して当該試料溶
液12中の酸素濃度を測定するときの様子を示す。ここ
では、試料容器21に微量の試料溶液22(公知のリン
酸緩衝液、酸素濃度を調べようとする例えば汚水、微生
物)を入れた後に流動パラフィン23で密閉し、後述す
る図3あるいは図5に示すように結線して作用極2に流
れる電流を測定して酸素濃度を検出(図4参照)するこ
とが可能となる。
FIG. 1D shows a state in which the device shown in FIG. 1A or 1B is actually immersed in the sample solution 12 and the oxygen concentration in the sample solution 12 is measured. Here, a small amount of a sample solution 22 (a known phosphate buffer, for example, sewage or microorganisms whose oxygen concentration is to be checked) is placed in a sample container 21 and then sealed with liquid paraffin 23. As shown in FIG. 4, it is possible to detect the oxygen concentration by measuring the current flowing through the working electrode 2 (see FIG. 4).

【0035】次に、図2のフローチャートに示す順序に
従い、図1の構成の製造方法および製造した小型酸素電
極を用いて酸素濃度を測定する手順を順次詳細に説明す
る。図2は、本発明の動作説明フローチャート(その
1)を示す。
Next, in accordance with the sequence shown in the flow chart of FIG. 2, the manufacturing method of the configuration of FIG. 1 and the procedure of measuring the oxygen concentration using the manufactured small oxygen electrode will be sequentially described in detail. FIG. 2 is a flowchart (part 1) for explaining the operation of the present invention.

【0036】図2において、S1は、基板に電極パター
ンをAgペーストで印刷する。これは、図1の(c)の
基板12上に図1の(a)の対極1、作用極2およびパ
ッド5、あるいは図1の(b)の対極1、作用極2、参
照極3およびパッド5の電極パターンをAgペーストで
印刷する。尚、図1の(a)、(b)に図示のように基
板12の片面上に対極1、作用極2、参照極3、パッド
5をAgペーストで印刷してもよいが、この他に両面に
分けて印刷、即ち、基板11の一方の面に図1の(a)
の対極1をAgペーストで印刷し、基板11の他の面に
図1の(a)の作用極2をAgペーストで印刷するよう
にしてもよい(図6の(a)、(b)参照)。同様に、
基板11の一方の面に図1の(b)の対極1をAgペー
ストで印刷し、基板11の他の面に図1の(a)の作用
極2および参照極3をAgペーストで印刷するようにし
てもよい(図6の(c)、(d)参照)。
In FIG. 2, in step S1, an electrode pattern is printed on a substrate using an Ag paste. This is because the counter electrode 1, the working electrode 2 and the pad 5 of FIG. 1A are formed on the substrate 12 of FIG. 1C, or the counter electrode 1, the working electrode 2, the reference electrode 3 of FIG. The electrode pattern of the pad 5 is printed with an Ag paste. The counter electrode 1, the working electrode 2, the reference electrode 3, and the pad 5 may be printed on one surface of the substrate 12 with an Ag paste as shown in FIGS. The printing is performed on both sides, that is, on one side of the substrate 11, FIG.
May be printed with Ag paste, and the working electrode 2 of FIG. 1A may be printed with Ag paste on the other surface of the substrate 11 (see FIGS. 6A and 6B). ). Similarly,
The counter electrode 1 of FIG. 1B is printed on one surface of the substrate 11 with an Ag paste, and the working electrode 2 and the reference electrode 3 of FIG. 1A are printed on the other surface of the substrate 11 with an Ag paste. (See (c) and (d) of FIG. 6).

【0037】S2は、乾燥する。これは、S1でAgペ
ースで印刷した基板11を乾燥し、表面にAgが露出し
て基板11に固着するようにする。S3は、絶縁ペース
トでリード部分を印刷する。これは、片面の場合には片
面上に図1の(a)あるいは(b)の斜線に示すように
絶縁膜4を絶縁ペーストで印刷する。この際、対極1、
作用極2、参照極3の絶縁されない部分の面積が一定値
になるように絶縁ペーストで印刷すると共に、パッド5
の部分は外部端子に接続するために絶縁ペーストで印刷
しない。
Step S2 is dried. This is to dry the substrate 11 printed at the Ag pace in S1 so that Ag is exposed on the surface and adheres to the substrate 11. In step S3, the lead portion is printed with an insulating paste. That is, in the case of one side, the insulating film 4 is printed on one side with an insulating paste as shown by oblique lines in FIG. 1 (a) or (b). At this time, counter electrode 1,
The working electrode 2 and the reference electrode 3 are printed with an insulating paste so that the areas of the non-insulated portions of the working electrode 2 and the reference electrode 3 have constant values.
Is not printed with insulating paste to connect to external terminals.

【0038】S4は、乾燥する。これは、S3で印刷し
た絶縁ペーストを乾燥する。S5は、個別素子11に切
断する。これにより、図1の(c)の状態から図1の
(a)あるいは(b)の個別の素子11に切断されるこ
ととなる。
Step S4 is drying. This dries the insulating paste printed in S3. In step S5, the individual elements 11 are cut. Thus, the individual element 11 shown in FIG. 1A or FIG. 1B is cut from the state shown in FIG. 1C.

【0039】S6は、容器にリン酸緩衝液、汚水、微生
物を入れる。S7は、流動パラフィンで密封する。S8
は、酸素濃度を測定する。これらS6、S7、S8は、
既述した図1の(d)に示すように、S1ないしS5で
完成した小型酸素電極について、酸素濃度を測定しよう
とする、ここでは汚水について、公知のように、リン酸
緩衝液と、当該汚水、微生物を図1の(d)の試料溶液
21に入れ、素子11を図示のように入れた後、流動パ
ラフィンで蓋をするように密封する。そして、後述する
図3あるいは図5に示すように結線した後、対極1から
作用極2に流れる電流を例えば図4に示すように測定し
て酸素濃度を測定することが可能となる。
In step S6, a phosphate buffer, sewage, and microorganisms are placed in the container. S7 is sealed with liquid paraffin. S8
Measures the oxygen concentration. These S6, S7, S8 are:
As shown in FIG. 1 (d) described above, the oxygen concentration of the small oxygen electrode completed in S1 to S5 is to be measured. Sewage and microorganisms are put into the sample solution 21 shown in FIG. 1D, the element 11 is put as shown in the figure, and then sealed with liquid paraffin so as to cover the element. Then, after connection is made as shown in FIG. 3 or FIG. 5 described later, the oxygen concentration can be measured by measuring the current flowing from the counter electrode 1 to the working electrode 2 as shown in FIG. 4, for example.

【0040】以上のように、固い基板12上にAgペー
ストで片面あるいは両面に印刷して対極1と作用極2と
絶縁膜4とパッド5、あるいは対極1と作用極2と参照
極3と絶縁膜4とパッド5を多数同時に製造した後、個
別の素子11に切断して小型酸素電極を製造する。そし
て、この製造した小型酸素電極を図1の(d)に示すよ
うに、試料容器21中に試料溶液(酸素濃度を測定しよ
うとする、ここでは汚水、その他の公知のリン酸緩衝
液、微生物)22を入れて密閉し、作用極2に流れる電
流を測定して酸素濃度を測定することが可能となる。以
下順次詳細に説明する。
As described above, one or both sides are printed with Ag paste on the hard substrate 12 to insulate the counter electrode 1, the working electrode 2, the insulating film 4 and the pad 5, or the counter electrode 1, the working electrode 2, and the reference electrode 3 from each other. After a large number of films 4 and pads 5 are manufactured at the same time, they are cut into individual elements 11 to manufacture small oxygen electrodes. Then, as shown in FIG. 1 (d), the manufactured small oxygen electrode is placed in a sample container 21 in which a sample solution (here, sewage, other known phosphate buffer, microorganism, etc. ) 22 is closed and sealed, and the oxygen concentration can be measured by measuring the current flowing through the working electrode 2. The details will be sequentially described below.

【0041】図3は、本発明の測定説明図を示す。これ
は、片面に対極1、作用極2、参照極3を設けたときの
接続方法を示す。図示のように、対極1の面積と、作用
極2の面積とがそれぞれ一定とした場合、対極1から作
用極2に流れる電流iは、図中に記載したように、 O2+2H2O+e-→4OH- で示す量の電流e-が流れるので、これを測定して図4
に示すように記録し、酸素に対する応答特性および濃度
を求めることが可能となる。この際、対極1の面積と、
作用極2の面積との比は、実験によれば1対50以上の
ときに良好な電流を検出できる。
FIG. 3 is a diagram illustrating the measurement of the present invention. This shows a connection method when the counter electrode 1, the working electrode 2, and the reference electrode 3 are provided on one surface. As shown in the figure, when the area of the counter electrode 1 and the area of the working electrode 2 are respectively constant, the current i flowing from the counter electrode 1 to the working electrode 2 is O 2 + 2H 2 O + e − as shown in the figure. Since a current e − of the amount indicated by 4OH flows, this is measured and FIG.
And the response characteristic to oxygen and the concentration can be obtained. At this time, the area of the counter electrode 1 and
According to an experiment, a good current can be detected when the ratio to the area of the working electrode 2 is 1:50 or more.

【0042】図4は、本発明の酸素に対する応答性測定
例を示す。これは、既述した図1の(d)のように本発
明に係る小型酸素電極の素子11を、試料溶液22を入
れた試料容器21中に入れて流動パラフィン23で密閉
した後、既述した図3に示すように接続して作用極2に
流れる電流を測定して縦軸、時間を横軸としたときの測
定例である。ここでは、25°C、1atmのときの測
定例である。
FIG. 4 shows an example of the measurement of the response to oxygen of the present invention. This is because the small oxygen electrode element 11 according to the present invention is placed in a sample container 21 containing a sample solution 22 and sealed with liquid paraffin 23 as shown in FIG. 3 is a measurement example in which the current flowing through the working electrode 2 connected as shown in FIG. Here, a measurement example at 25 ° C. and 1 atm is shown.

【0043】図5は、本発明の測定説明図を示す。これ
は、図3が片面に対極1、作用極2、参照極3を設けの
に対し、両面に設けた例であって、一面に対極1を設
け、他の面に作用極2と参照極3を設けたものであり、
接続方法は既述した図3と同一である。対極1の面積
と、作用極2の面積とがそれぞれ一定とした場合、対極
1から作用極2に流れる電流iは、図3と同様に、 O2+2H2O+e-→4OH- で示す量の電流e-が流れるので、これを測定して図4
に示すように記録し、酸素に対する応答特性および濃度
を求めることが可能となる。
FIG. 5 is a diagram illustrating the measurement of the present invention. This is an example in which the counter electrode 1, the working electrode 2 and the reference electrode 3 are provided on one surface, whereas the counter electrode 1 is provided on one surface and the working electrode 2 and the reference electrode are provided on the other surface in FIG. 3 is provided,
The connection method is the same as that of FIG. Assuming that the area of the counter electrode 1 and the area of the working electrode 2 are constant, the current i flowing from the counter electrode 1 to the working electrode 2 is, as in FIG. 3, the amount of O 2 + 2H 2 O + e → 4OH . current e - so it flows, to measure this Figure 4
And the response characteristic to oxygen and the concentration can be obtained.

【0044】図6は、本発明の構造説明図(その2、両
面)を示す。これは、一方の面に対極1を設け、他の面
に作用極2、あるいは作用極2と参照極3を設けた例で
ある。
FIG. 6 is a structural explanatory view of the present invention (No. 2, both sides). This is an example in which a counter electrode 1 is provided on one surface and a working electrode 2 or a working electrode 2 and a reference electrode 3 are provided on the other surface.

【0045】図6の(a)および(b)は、一方の面に
対極1を設け、他の面に作用極2を設けた例を示す。図
6の(a)は一方の面(表)に図示のように対極を設け
た例を示し、図6の(b)は他方の面(裏)に図示のよ
うに作用極2を設けた例を示す。斜線の部分の一方の面
(表)および他方の面(裏)にそれぞれ絶縁膜4を設け
て絶縁を図っている。そして、対極1、作用極2のそれ
ぞれのパッド5から外部端子にそれぞれ接続するように
している。
FIGS. 6A and 6B show examples in which a counter electrode 1 is provided on one surface and a working electrode 2 is provided on the other surface. FIG. 6A shows an example in which a counter electrode is provided on one surface (front) as shown, and FIG. 6B shows an example in which a working electrode 2 is provided on the other surface (back) as shown. Here is an example. An insulating film 4 is provided on one surface (front) and the other surface (back) of the hatched portion to achieve insulation. The pads 5 of the counter electrode 1 and the working electrode 2 are connected to external terminals.

【0046】図6の(c)および(d)は、一方の面に
対極1を設け、他の面に作用極2と参照極3を設けた例
を示す。図6の(c)は一方の面(表)に図示のように
対極1を設けた例を示し、図6の(d)は他方の面
(裏)に図示のように作用極2と参照極3を設けた例を
示す。斜線の部分の一方の面(表)およい他方の面
(裏)にそれぞれ絶縁膜4を設けて絶縁を図っている。
そして、対極1、作用極2、参照極3のそれぞれのパッ
ド5から外部端子にそれぞれ接続するようにしている。
FIGS. 6C and 6D show examples in which a counter electrode 1 is provided on one surface and a working electrode 2 and a reference electrode 3 are provided on the other surface. FIG. 6C shows an example in which the counter electrode 1 is provided on one surface (front) as shown in the figure, and FIG. 6D shows the working electrode 2 as shown on the other surface (back). An example in which the pole 3 is provided is shown. An insulating film 4 is provided on one surface (front) and the other surface (back) of the hatched portion to achieve insulation.
The pads 5 of the counter electrode 1, the working electrode 2, and the reference electrode 3 are connected to the external terminals.

【0047】図6の(e)は、基板12上にV溝13を
設けて切断し易くした様子を示す。このように基板12
上にV溝13を設けて一度に図6の(a)、(b)、あ
るいは(c)、(d)の構造の対極1と作用極2、ある
いは対極1と作用極2と参照極3、更に絶縁膜4をそれ
ぞれ形成した後、各素子11に切断して当該図6の
(a)、(b)、あるいは図6の(c)、(d)のよう
に製造することが可能となる。
FIG. 6E shows a state in which a V-groove 13 is provided on the substrate 12 to facilitate cutting. Thus, the substrate 12
The V-groove 13 is provided on the upper surface and the counter electrode 1 and the working electrode 2 or the counter electrode 1, the working electrode 2 and the reference electrode 3 having the structure shown in FIGS. 6A, 6B, 6C and 6D at a time. After the insulating film 4 is further formed, each element 11 can be cut and manufactured as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b) or FIGS. 6 (c) and 6 (d). Become.

【0048】図6の(f)は、図6の(a)ないし図6
の(e)で既述したようにして製造した素子11を、試
料溶液22を試料容器21内に入れた中に挿入して流動
パラフィン23で密閉した後、既述したように作用極2
に流れる電流を測定して試料溶液22中の酸素濃度を測
定することが可能となる。
FIG. 6 (f) shows FIGS. 6 (a) to 6
(E), the element 11 manufactured as described above is inserted into the sample container 21 in the sample container 21 and sealed with the liquid paraffin 23, and then the working electrode 2 is manufactured as described above.
It is possible to measure the oxygen concentration in the sample solution 22 by measuring the current flowing through the sample solution 22.

【0049】図7は、本発明の説明フローチャート(そ
の2)を示す。これは、図2のフローチャートがAgペ
ーストを印刷によって電極パターン(対極1、作用極
2、参照極3の電極パターン)を形成していたのに対
し、Agを蒸着によって形成する場合のフローチャート
である。
FIG. 7 is a flowchart (part 2) for explaining the present invention. This is a flowchart in a case where the electrode pattern (electrode pattern of the counter electrode 1, the working electrode 2, and the reference electrode 3) is formed by printing the Ag paste in the flowchart of FIG. 2, whereas Ag is formed by vapor deposition. .

【0050】図7において、S11は、基板に電極パタ
ーンをメタルマスクを用いてAgを蒸着する。これは、
図1の(c)の基板12上に図1の(a)の対極1、作
用極2およびパッド5、あるいは図1の(b)の対極
1、作用極2、参照極3およびパッド5の電極パターン
を、メタルマスクを用いて蒸着によって成膜する。尚、
図1の(a)、(b)に図示のように基板12の片面上
に対極1、作用極2、参照極3、パッド5をメタルマス
クでAgを蒸着してもよいが、図6の(a)、(b)、
あるいは図6の(c)、(d)に示すように両面に分け
て印刷、即ち、基板11の一方の面に図6の(a)の対
極1をメタルマスクを用いてAgを蒸着し、基板11の
他の面に図6の(b)の作用極2をメタルマスクを用い
てAgを蒸着するようにしてもよい。同様に、基板11
の一方の面に図6の(c)の対極1をメタルマスクを用
いてAgを蒸着し、基板11の他の面に図6の(d)の
作用極2および参照極3をメタルマスクを用いてAgを
蒸着するようにしてもよい。
In FIG. 7, in step S11, Ag is deposited on the substrate by using a metal mask as an electrode pattern. this is,
The counter electrode 1, the working electrode 2, and the pad 5 of FIG. 1A or the counter electrode 1, the working electrode 2, the reference electrode 3, and the pad 5 of FIG. 1B are formed on the substrate 12 of FIG. An electrode pattern is formed by vapor deposition using a metal mask. still,
As shown in FIGS. 1A and 1B, Ag may be deposited on one surface of the substrate 12 using a metal mask for the counter electrode 1, the working electrode 2, the reference electrode 3, and the pad 5. (A), (b),
Alternatively, as shown in FIGS. 6C and 6D, printing is performed on both sides separately, that is, Ag is vapor-deposited on one surface of the substrate 11 using the metal mask as the counter electrode 1 of FIG. Ag may be vapor-deposited on the other surface of the substrate 11 using the metal mask for the working electrode 2 of FIG. Similarly, the substrate 11
Ag is vapor-deposited on one surface of the counter electrode 1 of FIG. 6C using a metal mask, and the working electrode 2 and the reference electrode 3 of FIG. Ag may be used for vapor deposition.

【0051】S12は、絶縁ペーストでリード部分を印
刷する。これは、片面の場合には片面上に図1の(a)
あるいは(b)の斜線に示すように絶縁膜4を絶縁ペー
ストで印刷する。この際、対極1、作用極2、参照極3
の絶縁されない部分の面積が一定値になるように絶縁ペ
ーストで印刷すると共に、パッド5の部分は外部端子に
接続するために絶縁ペーストで印刷しない。また、両面
の場合には図6の(a)、(b)、あるいは(c)、
(d)に示すように絶縁膜4を絶縁ペーストで印刷す
る。
In step S12, a lead portion is printed with an insulating paste. This is because, in the case of one side, the one side of FIG.
Alternatively, the insulating film 4 is printed with an insulating paste as shown by oblique lines in FIG. At this time, counter electrode 1, working electrode 2, reference electrode 3
Is printed with an insulating paste so that the area of the non-insulated portion becomes a constant value, and the portion of the pad 5 is not printed with the insulating paste to connect to an external terminal. Also, in the case of both sides, (a), (b) or (c) in FIG.
As shown in (d), the insulating film 4 is printed with an insulating paste.

【0052】S13は、乾燥する。これは、S12で印
刷した絶縁ペーストを乾燥する。S14は、個別素子1
1に切断する。これにより、図1の(c)の状態から図
1の(a)あるいは(b)の個別の素子11に切断、あ
るいは図6の(e)の状態から図6の(a)、(b)、
あるいは図6の(c)、(d)の個別の素子11に切断
する。そして、図2のS6に進む。
In step S13, drying is performed. This dries the insulating paste printed in S12. S14 is the individual element 1
Cut into 1 As a result, the individual element 11 shown in FIG. 1A or FIG. 1B is cut from the state shown in FIG. 1C, or the state shown in FIG. ,
Alternatively, the individual elements 11 shown in FIGS. 6C and 6D are cut. Then, the process proceeds to S6 of FIG.

【0053】以上のように、固い基板12上にメタルマ
スクを用いてAg蒸着で片面あるいは両面に対極1と作
用極2と絶縁膜4とパッド5、あるいは対極1と作用極
2と参照極3と絶縁膜4とパッド5を多数同時に製造し
た後、個別の素子11に切断して小型酸素電極を製造す
る。そして、この製造した小型酸素電極を図1の(d)
あるいは図6の(f)に示すように、試料容器21中に
試料溶液(酸素濃度を測定しようとする、ここでは汚
水、その他の公知のリン酸緩衝液、微生物)22を入れ
て密閉し、作用極2に流れる電流を測定して酸素濃度を
測定することが可能となる。
As described above, the counter electrode 1, the working electrode 2, the insulating film 4 and the pad 5, or the counter electrode 1, the working electrode 2 and the reference electrode 3 are formed on one or both surfaces of the hard substrate 12 by Ag vapor deposition using a metal mask. And a large number of insulating films 4 and pads 5 are manufactured at the same time, and then cut into individual elements 11 to manufacture a small oxygen electrode. Then, this manufactured small-sized oxygen electrode is connected to FIG.
Alternatively, as shown in FIG. 6 (f), a sample solution (here, sewage, other known phosphate buffer, microorganisms) 22 for which the oxygen concentration is to be measured is put in a sample container 21 and sealed. The oxygen concentration can be measured by measuring the current flowing through the working electrode 2.

【0054】図8は、本発明の構造説明図(その3、片
面)を示す。図8は、柔軟なフィルム14の片面上に1
組みの酸素電極を持つ素子11を多数設けたものであ
る。図8の(a)は対極1と作用極2から構成される素
子11の例を示し、図8の(b)は対極1と作用極2と
参照極3とから構成される素子11の例を示す。
FIG. 8 is a structural explanatory view of the present invention (No. 3, one side). FIG. 8 shows one side of flexible film 14 on one side.
A large number of elements 11 each having a pair of oxygen electrodes are provided. FIG. 8A shows an example of an element 11 composed of a counter electrode 1 and a working electrode 2, and FIG. 8B shows an example of an element 11 composed of a counter electrode 1, a working electrode 2 and a reference electrode 3. Is shown.

【0055】図8の(a)および(b)において、素子
11は、溶液中の酸素を検出するものであって、図8の
(a)に示すように対極1、作用極2、絶縁膜4および
パッド5、あるいは図8の(b)に示すように対極1、
作用極2、参照極3、絶縁膜4およびパッド5のいずれ
から構成されるものである。ここで、対極1、作用極
2、参照極3、絶縁膜4およびパッド5は、既述した図
1のものと同一であるので説明を省略する。
In FIGS. 8A and 8B, the element 11 detects oxygen in the solution. As shown in FIG. 8A, the counter electrode 1, the working electrode 2, and the insulating film are used. 4 and pad 5, or counter electrode 1, as shown in FIG.
Each of the working electrode 2, the reference electrode 3, the insulating film 4 and the pad 5 is constituted. Here, the counter electrode 1, the working electrode 2, the reference electrode 3, the insulating film 4, and the pad 5 are the same as those in FIG.

【0056】図8の(c)は、図8の(a)あるいは
(b)の素子11の多数の組みを柔軟なフィルム14上
に形成した様子を示す。ここでは、柔軟なフィルム基板
(例えば0.2mmtのPET(ポリエチレンフタレー
ト)フィルム14上に素子11を多数一度に製造するよ
うにした様子を示す。
FIG. 8C shows a state in which a large number of sets of the element 11 shown in FIG. 8A or 8B are formed on a flexible film 14. Here, a state in which a large number of elements 11 are manufactured on a flexible film substrate (for example, a PET (polyethylene phthalate) film 14 of 0.2 mmt) is shown.

【0057】以上の図8の(a)あるいは(b)に示す
素子11を図8の(c)に示すように柔軟なフィルム1
4上に多数一度に製造し、各素子11に切断することに
より、1枚の柔軟なフィルム14から多数の素子11を
1度に製造でき、安価に製造することが可能となる。
The element 11 shown in FIG. 8A or FIG. 8B is replaced with a flexible film 1 as shown in FIG.
4, a large number of devices 11 can be manufactured at once from one flexible film 14, and can be manufactured at low cost.

【0058】図8の(d)は、図8の(a)あるいは
(b)の素子11を実際に試料溶液12に浸して当該試
料溶液12中の酸素濃度を測定するときの様子を示す。
ここでは、試料容器21に微量の試料溶液22(公知の
リン酸緩衝液、酸素濃度を調べようとする例えば汚水、
微生物)を入れた後に流動パラフィン23で密閉し、既
述した図3あるいは図5に示すように結線して作用極2
に流れる電流を測定して酸素濃度を検出(図4参照)す
ることが可能となる。
FIG. 8D shows a state in which the element 11 of FIG. 8A or 8B is actually immersed in the sample solution 12 and the oxygen concentration in the sample solution 12 is measured.
Here, a very small amount of a sample solution 22 (known phosphate buffer, known oxygen
(Microorganism), and then sealed with liquid paraffin 23 and connected as shown in FIG. 3 or FIG.
It is possible to detect the oxygen concentration by measuring the current flowing through the device (see FIG. 4).

【0059】次に、図9のフローチャートに示す順序に
従い、図8の構成の製造方法および製造した小型酸素電
極を用いて酸素濃度を測定する手順を順次詳細に説明す
る。図9は、本発明の動作説明フローチャート(その
3)を示す。
Next, in accordance with the order shown in the flow chart of FIG. 9, the manufacturing method of the configuration of FIG. 8 and the procedure of measuring the oxygen concentration using the manufactured small oxygen electrode will be sequentially described in detail. FIG. 9 is a flowchart (part 3) for explaining the operation of the present invention.

【0060】図9において、S21は、フィルム(PE
T)上に電極パターンをAgペーストで印刷する。これ
は、図8の(c)のフィルム14上に図8の(a)の対
極1、作用極2およびパッド5、あるいは図8の(b)
の対極1、作用極2、参照極3およびパッド5の電極パ
ターンをAgペーストで印刷する。尚、図8の(a)、
(b)に図示のようにフィルム14の片面上に対極1、
作用極2、参照極3、パッド5をAgペーストで印刷し
てもよいが、この他に両面に分けて印刷、即ち、基板1
1の一方の面に後述する図10の(a)の対極1をAg
ペーストで印刷し、基板11の他の面に後述する図10
の(b)の作用極2をAgペーストで印刷するようにし
てもよい。同様に、基板11の一方の面に後述する図1
0の(c)の対極1をAgペーストで印刷し、基板11
の他の面に後述する図10の(d)の作用極2および参
照極3をAgペーストで印刷するようにしてもよい。
In FIG. 9, S21 is a film (PE
T) Print the electrode pattern on the top with Ag paste. This is because the counter electrode 1, the working electrode 2 and the pad 5 shown in FIG. 8A are formed on the film 14 shown in FIG.
The electrode patterns of the counter electrode 1, the working electrode 2, the reference electrode 3 and the pad 5 are printed with an Ag paste. In addition, (a) of FIG.
(B), the counter electrode 1 on one side of the film 14 as shown in FIG.
The working electrode 2, the reference electrode 3, and the pad 5 may be printed with an Ag paste.
On one surface of the first electrode 1, a counter electrode 1 shown in FIG.
It is printed with a paste, and is printed on the other surface of the substrate 11 in FIG.
(B) may be printed with an Ag paste. Similarly, on one surface of the substrate 11, FIG.
The counter electrode 1 of (c) of FIG.
The working electrode 2 and the reference electrode 3 shown in FIG. 10D described later may be printed with Ag paste on another surface.

【0061】S22は、乾燥する。これは、S21でA
gペースで印刷したフィルム14を乾燥し、表面にAg
が露出してフィルム14に固着するようにする。S23
は、絶縁ペーストでリード部分を印刷する。これは、片
面の場合には片面上に図8の(a)あるいは(b)の斜
線に示すように絶縁膜4を絶縁ペーストで印刷する。こ
の際、対極1、作用極2、参照極3の絶縁されない部分
の面積が一定値になるように絶縁ペーストで印刷すると
共に、パッド5の部分は外部端子に接続するために絶縁
ペーストで印刷しない。また、両面の場合には両面上に
後述する図10の(c)ないし(d)の斜線に示すよう
に絶縁膜4を絶縁ペーストで印刷する。この際、対極
1、作用極2、参照極3の絶縁されない部分の面積が一
定値になるように絶縁ペーストで印刷すると共に、パッ
ド5の部分は外部端子に接続するために絶縁ペーストで
印刷しない。
Step S22 is to dry. This is A in S21
g The film 14 printed at a pace is dried, and the surface is coated with Ag.
Is exposed and fixed to the film 14. S23
Print the lead portion with an insulating paste. That is, in the case of one side, the insulating film 4 is printed on one side with an insulating paste as shown by oblique lines in FIG. 8A or 8B. At this time, printing is performed with an insulating paste so that the areas of the non-insulated portions of the counter electrode 1, the working electrode 2, and the reference electrode 3 have a constant value, and the pads 5 are not printed with the insulating paste to connect to the external terminals. . In the case of both sides, the insulating film 4 is printed on both sides with an insulating paste as shown by oblique lines in FIGS. At this time, printing is performed with an insulating paste so that the areas of the non-insulated portions of the counter electrode 1, the working electrode 2, and the reference electrode 3 have a constant value, and the pads 5 are not printed with the insulating paste to connect to the external terminals. .

【0062】S24は、乾燥する。これは、S23で印
刷した絶縁ペーストを乾燥する。S25は、個別素子1
1に切断する。これにより、図8の(c)の状態から図
8の(a)あるいは(b)の個別の素子11に切断され
ることとなる。
In step S24, drying is performed. This dries the insulating paste printed in S23. S25 is the individual element 1
Cut into 1 As a result, the individual element 11 shown in FIG. 8A or FIG. 8B is cut from the state shown in FIG. 8C.

【0063】S26は、容器にリン酸緩衝液、汚水、微
生物を入れる。S27は、流動パラフィンで密封する。
S28は、酸素濃度を測定する。これらS26、S2
7、S28は、既述した図1の(d)に示すように、S
21ないしS25で完成した小型酸素電極について、酸
素濃度を測定しようとする、ここでは汚水について、公
知のように、リン酸緩衝液と、当該汚水、微生物を図8
の(d)の試料溶液21に入れ、素子11を図示のよう
に入れた後、流動パラフィン23で蓋をするように密封
する。そして、既述した図3あるいは図5に示すように
結線した後、作用極2に流れる電流を例えば既述した図
4に示すように測定して酸素濃度を測定することが可能
となる。
In step S26, a phosphate buffer, sewage, and microorganisms are placed in the container. S27 seals with liquid paraffin.
In step S28, the oxygen concentration is measured. These S26 and S2
7 and S28, as shown in FIG.
The oxygen concentration of the small oxygen electrode completed in 21 to S25 is to be measured. Here, as for the sewage, the phosphate buffer, the sewage and the microorganisms are known as shown in FIG.
(D), the device 11 is placed as shown in the figure, and then sealed with liquid paraffin 23 so as to cover the device. Then, after the connection as shown in FIG. 3 or FIG. 5 described above, the oxygen concentration can be measured by measuring the current flowing through the working electrode 2 as shown in FIG. 4 described above, for example.

【0064】以上のように、柔軟なフィルム(PETフ
ィルム)14上にAgペーストで片面あるいは両面に印
刷して対極1と作用極2と絶縁膜4とパッド5、あるい
は対極1と作用極2と参照極3と絶縁膜4とパッド5を
多数同時に製造した後、個別の素子11に切断して小型
酸素電極を製造する。そして、この製造した小型酸素電
極を図8の(d)に示すように、試料容器21中に試料
溶液(酸素濃度を測定しようとする、ここでは汚水、そ
の他の公知のリン酸緩衝液、微生物)22を入れて密閉
し、作用極2に流れる電流を測定して酸素濃度を測定す
ることが可能となる。
As described above, one side or both sides are printed on a flexible film (PET film) 14 with Ag paste to form the counter electrode 1, the working electrode 2, the insulating film 4, and the pad 5, or the counter electrode 1, the working electrode 2 After a large number of reference electrodes 3, insulating films 4, and pads 5 are manufactured at the same time, they are cut into individual elements 11 to manufacture small oxygen electrodes. Then, as shown in FIG. 8 (d), the manufactured small oxygen electrode is placed in a sample container 21 in a sample solution (to be measured for oxygen concentration, here sewage, other known phosphate buffer, microorganisms). ) 22 is closed and sealed, and the oxygen concentration can be measured by measuring the current flowing through the working electrode 2.

【0065】図10は、本発明の構造説明図(その4、
両面)を示す。これは、一方の面に対極1を設け、他の
面に作用極2、あるいは作用極2と参照極3を設けた例
である。
FIG. 10 is a structural explanatory view of the present invention (No. 4,
Both sides). This is an example in which a counter electrode 1 is provided on one surface and a working electrode 2 or a working electrode 2 and a reference electrode 3 are provided on the other surface.

【0066】図10の(a)および(b)は、一方の面
に対極1を設け、他の面に作用極2を設けた例を示す。
図10の(a)は一方の面(表)に図示のように対極1
を設けた例を示し、図10の(b)は他方の面(裏)に
図示のように作用極2を設けた例を示す。斜線の部分の
一方の面(表)および他方の面(裏)にそれぞれ絶縁膜
4を設けて絶縁を図っている。そして、対極1、作用極
2のそれぞれのパッド5から外部端子にそれぞれ接続す
るようにしている。
FIGS. 10A and 10B show examples in which a counter electrode 1 is provided on one surface and a working electrode 2 is provided on the other surface.
FIG. 10 (a) shows the counter electrode 1 as shown in FIG.
10B shows an example in which the working electrode 2 is provided on the other surface (back side) as shown in FIG. An insulating film 4 is provided on one surface (front) and the other surface (back) of the hatched portion to achieve insulation. The pads 5 of the counter electrode 1 and the working electrode 2 are connected to external terminals.

【0067】図10の(c)および(d)は、一方の面
に対極1を設け、他の面に作用極2と参照極3を設けた
例を示す。図10の(c)は一方の面(表)に図示のよ
うに対極1を設けた例を示し、図10の(d)は他方の
面(裏)に図示のように作用極2と参照極3を設けた例
を示す。斜線の部分の一方の面(表)およい他方の面
(裏)にそれぞれ絶縁膜4を設けて絶縁を図っている。
そして、対極1、作用極2、参照極3のそれぞれのパッ
ド5から外部端子にそれぞれ接続するようにしている。
FIGS. 10C and 10D show examples in which a counter electrode 1 is provided on one surface and a working electrode 2 and a reference electrode 3 are provided on the other surface. FIG. 10C shows an example in which the counter electrode 1 is provided on one surface (front) as shown in the figure, and FIG. 10D shows the working electrode 2 as shown on the other surface (back). An example in which the pole 3 is provided is shown. An insulating film 4 is provided on one surface (front) and the other surface (back) of the hatched portion to achieve insulation.
The pads 5 of the counter electrode 1, the working electrode 2, and the reference electrode 3 are connected to the external terminals.

【0068】図10の(e)は、フィルム(PETフィ
ルム)14上に設けた様子を示す。このようにフィムル
14上に多数の素子11を形成して一度に図10の
(a)、(b)、あるいは(c)、(d)の構造の対極
1と作用極2、あるいは対極1と作用極2と参照極3、
更に絶縁膜4をそれぞれ形成した後、各素子11に切断
して当該図10の(a)、(b)、あるいは図10の
(c)、(d)のように製造することが可能となる。
FIG. 10E shows a state in which the film is provided on a film (PET film) 14. As described above, a number of elements 11 are formed on the film 14 and the counter electrode 1 and the working electrode 2 or the counter electrode 1 having the structure shown in FIG. 10A, FIG. 10B, FIG. Working electrode 2 and reference electrode 3,
Further, after each of the insulating films 4 is formed, it is possible to cut the devices 11 and manufacture them as shown in FIGS. 10A and 10B or FIGS. 10C and 10D. .

【0069】図10の(f)は、図10の(a)ないし
図10の(e)で既述したようにして製造した素子11
を、試料溶液22を試料容器21内に入れた中に挿入し
て流動パラフィン23で密閉した後、既述したように作
用極2に流れる電流を測定して試料溶液22中の酸素濃
度を測定することが可能となる。
FIG. 10F shows an element 11 manufactured as described above with reference to FIGS. 10A to 10E.
Is inserted into the sample solution 22 in the sample container 21 and sealed with the liquid paraffin 23. Then, as described above, the current flowing through the working electrode 2 is measured to measure the oxygen concentration in the sample solution 22. It is possible to do.

【0070】図11は、本発明の説明フローチャート
(その4)を示す。これは、図9のフローチャートがA
gペーストを印刷によって電極パターン(対極1、作用
極2、参照極3の電極パターン)を形成していたのに対
し、Agを蒸着によって形成する場合のフローチャート
である。
FIG. 11 is a flowchart (part 4) for explaining the present invention. This is because the flowchart in FIG.
7 is a flowchart in a case where an electrode pattern (electrode pattern of a counter electrode 1, a working electrode 2, and a reference electrode 3) is formed by printing g paste and Ag is formed by vapor deposition.

【0071】図11において、S31は、フィルム(P
ETフィルム)14上に電極パターンをメタルマスクを
用いてAgを蒸着する。これは、図8の(c)のフィル
ム14上に図8の(a)の対極1、作用極2およびパッ
ド5、あるいは図8の(b)の対極1、作用極2、参照
極3およびパッド5の電極パターンを、メタルマスクを
用いて蒸着によって成膜する。尚、図10の(a)、
(b)に図示のようにフィルム14の片面上に対極1、
作用極2、参照極3、パッド5をメタルマスクでAgを
蒸着してもよいが、図10の(a)、(b)、あるいは
図10の(c)、(d)に示すように両面に分けて印
刷、即ち、フィルム14の一方の面に図10の(a)の
対極1をメタルマスクを用いてAgを蒸着し、フィルム
14の他の面に図10の(b)の作用極2をメタルマス
クを用いてAgを蒸着するようにしてもよい。同様に、
フィルム14の一方の面に図10の(c)の対極1をメ
タルマスクを用いてAgを蒸着し、フィルム14の他の
面に図10の(d)の作用極2および参照極3をメタル
マスクを用いてAgを蒸着するようにしてもよい。
In FIG. 11, S31 is a film (P
Ag is vapor-deposited on the ET film 14 using a metal mask as an electrode pattern. This is because the counter electrode 1, the working electrode 2, and the pad 5 of FIG. 8A are formed on the film 14 of FIG. 8C, or the counter electrode 1, the working electrode 2, the reference electrode 3 of FIG. The electrode pattern of the pad 5 is formed by vapor deposition using a metal mask. In addition, (a) of FIG.
(B), the counter electrode 1 on one side of the film 14 as shown in FIG.
Ag may be deposited on the working electrode 2, the reference electrode 3, and the pad 5 using a metal mask, but as shown in FIGS. 10 (a) and 10 (b) or FIGS. 10 (c) and 10 (d), In other words, Ag is vapor-deposited on one surface of the film 14 using the metal mask on the counter electrode 1 of FIG. 10A, and the working electrode of FIG. Ag may be vapor-deposited using a metal mask. Similarly,
Ag was deposited on one surface of the film 14 using the metal mask as the counter electrode 1 in FIG. 10C, and the working electrode 2 and the reference electrode 3 in FIG. Ag may be deposited using a mask.

【0072】S32は、絶縁ペーストでリード部分を印
刷する。これは、片面の場合には片面上に図8の(a)
あるいは(b)の斜線に示すように絶縁膜4を絶縁ペー
ストで印刷する。この際、対極1、作用極2、参照極3
の絶縁されない部分の面積が一定値になるように絶縁ペ
ーストで印刷すると共に、パッド5の部分は外部端子に
接続するために絶縁ペーストで印刷しない。また、両面
の場合には図10の(a)、(b)、あるいは(c)、
(d)に示すように絶縁膜4を絶縁ペーストで印刷す
る。
In step S32, the lead portion is printed with an insulating paste. This is because, in the case of one side, the one side of FIG.
Alternatively, the insulating film 4 is printed with an insulating paste as shown by oblique lines in FIG. At this time, counter electrode 1, working electrode 2, reference electrode 3
Is printed with an insulating paste so that the area of the non-insulated portion becomes a constant value, and the portion of the pad 5 is not printed with the insulating paste to connect to an external terminal. In the case of both sides, (a), (b) or (c) in FIG.
As shown in (d), the insulating film 4 is printed with an insulating paste.

【0073】S33は、乾燥する。これは、S32で印
刷した絶縁ペーストを乾燥する。S34は、個別素子1
1に切断する。これにより、図8の(c)の状態から図
8の(a)あるいは(b)の個別の素子11に切断、あ
るいは図10の(e)の状態から図10の(a)、
(b)、あるいは図10の(c)、(d)の個別の素子
11に切断する。そして、図9のS26に進む。
In step S33, drying is performed. This dries the insulating paste printed in S32. S34 is the individual element 1
Cut into 1 As a result, the individual element 11 shown in FIG. 8A or FIG. 8B is cut from the state shown in FIG. 8C, or the state shown in FIG.
(B) or cutting into individual elements 11 of (c) and (d) of FIG. Then, the process proceeds to S26 of FIG.

【0074】以上のように、柔軟なフィルム14上にメ
タルマスクを用いてAg蒸着で片面あるいは両面に対極
1と作用極2と絶縁膜4とパッド5、あるいは対極1と
作用極2と参照極3と絶縁膜4とパッド5を多数同時に
製造した後、個別の素子11に切断して小型酸素電極を
製造する。そして、この製造した小型酸素電極を図8の
(d)あるいは図10の(f)に示すように、試料容器
21中に試料溶液(酸素濃度を測定しようとする、ここ
では汚水、その他の公知のリン酸緩衝液、微生物)22
を入れて密閉し、作用極2に流れる電流を測定して酸素
濃度を測定することが可能となる。
As described above, the counter electrode 1, the working electrode 2, the insulating film 4, and the pad 5, or the counter electrode 1, the working electrode 2, and the reference electrode are formed on one or both sides by Ag vapor deposition using a metal mask on the flexible film 14. After manufacturing a large number of the insulating films 4, the insulating films 4 and the pads 5 at the same time, the device is cut into individual elements 11 to manufacture a small oxygen electrode. Then, as shown in FIG. 8 (d) or FIG. 10 (f), the manufactured small oxygen electrode is placed in a sample container 21 in which a sample solution (oxygen concentration is to be measured; Phosphate buffer, microorganism) 22
And sealing is performed, and the current flowing through the working electrode 2 is measured to measure the oxygen concentration.

【0075】図12は、本発明の構造説明図(その5、
片面)を示す。図12は、固い基板12の片面上に複数
組みの酸素電極を持つ素子11を多数設けたものであ
る。図12の(a)は基板12上の複数組みの酸素電極
を持つ素子11の外観形状の例を示す。ここでは、V溝
を設けて複数組みの酸素電極を持つ素子11が容易に切
断できるようにしている。
FIG. 12 is a structural explanatory view of the present invention (No. 5,
(One side). FIG. 12 shows a configuration in which a number of elements 11 each having a plurality of sets of oxygen electrodes are provided on one surface of a hard substrate 12. FIG. 12A shows an example of the external shape of an element 11 having a plurality of sets of oxygen electrodes on a substrate 12. Here, V-grooves are provided so that the element 11 having a plurality of sets of oxygen electrodes can be easily cut.

【0076】図12の(b)は対極1と作用極2の複数
組みから構成される素子11の例を示す。図12の
(c)は、図12の(b)の1つの素子11の詳細構成
例を示す。ここでは、固い基板(例えば1.2mmtの
ガラスエポキシ基板)12上に12組みの酸素電極(対
極1、作用極2からなる酸素電極)を設けた例を示す。
また、図示のように、リード線9、パッド5を酸素電極
毎にそれぞれ設けている。
FIG. 12B shows an example of the element 11 composed of a plurality of pairs of the counter electrode 1 and the working electrode 2. (C) of FIG. 12 illustrates a detailed configuration example of one element 11 of (b) of FIG. Here, an example is shown in which 12 sets of oxygen electrodes (oxygen electrodes including a counter electrode 1 and a working electrode 2) are provided on a hard substrate (for example, a glass epoxy substrate of 1.2 mmt).
As shown, a lead wire 9 and a pad 5 are provided for each oxygen electrode.

【0077】図12の(d)は、図12の(c)の上か
ら絶縁膜4を成膜した様子を示す。図12の(e)は、
図12の(d)の素子11を実際に試料溶液22に浸し
て当該試料溶液22中の酸素濃度を測定するときの様子
を示す。ここでは、試料容器21に微量の試料溶液22
(公知のリン酸緩衝液、酸素濃度を調べようとする例え
ば汚水、微生物)を個別あるいは全体を1つとして入れ
た後に流動パラフィン23で密閉し、既述した図3ある
いは図5に示すように結線して作用極2に流れる電流を
測定して酸素濃度を検出(図4参照)することが可能と
なる。
FIG. 12D shows a state in which the insulating film 4 is formed from the top of FIG. 12C. (E) of FIG.
FIG. 12D shows a state in which the element 11 of FIG. 12D is actually immersed in the sample solution 22 and the oxygen concentration in the sample solution 22 is measured. Here, a small amount of the sample solution 22 is placed in the sample container 21.
(Known phosphate buffer, sewage, microorganisms to be examined for oxygen concentration) individually or as a whole, and then sealed with liquid paraffin 23, as shown in FIG. 3 or FIG. It is possible to detect the oxygen concentration by measuring the current flowing through the working electrode 2 after the connection (see FIG. 4).

【0078】図13は、本発明の酸素に対する応答性測
定例を示す。これは、既述した図12の(e)のように
本発明に係る小型酸素電極の素子11を構成するn組み
の酸素電極(対極1と作用極2からなる酸素電極)を、
試料溶液22を入れた試料容器21中にそれぞれ入れて
流動パラフィン23で密閉した後、既述した図3に示す
ように接続して作用極2に流れる電流を測定して縦軸、
時間を横軸としたときの測定例である。ここでは、25
°C、1atmのときの測定例である。
FIG. 13 shows an example of measuring the response to oxygen of the present invention. This means that n sets of oxygen electrodes (an oxygen electrode composed of a counter electrode 1 and a working electrode 2) constituting the element 11 of the small oxygen electrode according to the present invention as shown in FIG.
After each sample was placed in a sample container 21 containing a sample solution 22 and sealed with liquid paraffin 23, the current flowing through the working electrode 2 was measured by connecting as shown in FIG.
It is a measurement example when time is set on the horizontal axis. Here, 25
It is an example of measurement at ° C and 1 atm.

【0079】次に、図14のフローチャートに示す順序
に従い、図12の構成の製造方法および製造した小型酸
素電極を用いて酸素濃度を測定する手順を順次詳細に説
明する。
Next, in accordance with the sequence shown in the flow chart of FIG. 14, the manufacturing method of the configuration of FIG. 12 and the procedure of measuring the oxygen concentration using the manufactured small oxygen electrode will be sequentially described in detail.

【0080】図14は、本発明の動作説明フローチャー
ト(その5)を示す。図14において、S41は、基板
に電極パターン群をAgペーストで印刷する。これは、
図12の(a)の基板12上に図12の(c)の対極
1、作用極2およびパッド5、あるいは対極1、作用極
2、参照極3およびパッド5の電極パターンをAgペー
ストで図12の(b)に示すように印刷する。尚、図1
2の(c)に図示のように基板12の片面上に対極1、
作用極2、パッド5をAgペーストで印刷してもよい
が、この他に両面に分けて印刷、即ち、基板11の一方
の面に後述する図15の(b)の対極1をAgペースト
で印刷し、基板11の他の面に図15の(c)の作用極
2をAgペーストで印刷するようにしてもよい。同様
に、基板11の一方の面に対極1をAgペーストで印刷
し、基板11の他の面に作用極2および参照極3をAg
ペーストで印刷するようにしてもよい。
FIG. 14 is a flowchart (part 5) for explaining the operation of the present invention. In FIG. 14, in S41, an electrode pattern group is printed on a substrate by using an Ag paste. this is,
The electrode pattern of the counter electrode 1, the working electrode 2 and the pad 5 of FIG. 12C, or the electrode pattern of the counter electrode 1, the working electrode 2, the reference electrode 3 and the pad 5 of FIG. 12C is shown on the substrate 12 of FIG. Printing is performed as shown in FIG. FIG.
2 (c), the counter electrode 1 is placed on one side of the substrate 12 as shown in FIG.
The working electrode 2 and the pad 5 may be printed with an Ag paste. Alternatively, the working electrode 2 and the pad 5 may be printed separately on both sides, that is, the counter electrode 1 of FIG. The working electrode 2 shown in FIG. 15C may be printed on the other surface of the substrate 11 with an Ag paste. Similarly, the counter electrode 1 is printed on one surface of the substrate 11 with Ag paste, and the working electrode 2 and the reference electrode 3 are printed on the other surface of the substrate 11 with Ag.
You may make it print with a paste.

【0081】S42は、乾燥する。これは、S41でA
gペースで印刷した基板11を乾燥し、表面にAgが露
出して基板11に固着するようにする。S43は、絶縁
ペーストでリード部分を印刷する。これは、片面の場合
には片面上に図12の(d)の斜線に示すように絶縁膜
4を絶縁ペーストで印刷する。この際、対極1、作用極
2の絶縁されない部分の面積が一定値になるように絶縁
ペーストで印刷すると共に、パッド5の部分は外部端子
に接続するために絶縁ペーストで印刷しない。また、両
面の場合には、後述する図15の(e)、(g)に示す
絶縁膜4をそれぞれ印刷する。
In step S42, drying is performed. This is A in S41
The substrate 11 printed at the g pace is dried so that Ag is exposed on the surface and adheres to the substrate 11. In step S43, the lead portion is printed with an insulating paste. In this case, in the case of one side, the insulating film 4 is printed on one side with an insulating paste as shown by oblique lines in FIG. At this time, printing is performed with the insulating paste so that the areas of the non-insulated portions of the counter electrode 1 and the working electrode 2 have a constant value, and the pad 5 is not printed with the insulating paste to connect to the external terminals. In the case of double-sided printing, an insulating film 4 shown in FIGS.

【0082】S44は、乾燥する。これは、S43で印
刷した絶縁ペーストを乾燥する。S45は、電極パター
ン群(個別素子11)に切断する。これにより、図12
の(d)の個別の素子11に切断されることとなる。
In step S44, drying is performed. This dries the insulating paste printed in S43. S45 cuts into electrode pattern groups (individual elements 11). As a result, FIG.
(D), the individual elements 11 are cut.

【0083】S46は、容器にリン酸緩衝液、汚水、微
生物を入れる。S47は、流動パラフィンで密封する。
S48は、酸素濃度を測定する。これらS46、S4
7、S48は、既述した図12の(e)に示すように、
S41ないしS45で完成した小型酸素電極について、
酸素濃度を測定しようとする、ここでは汚水について、
公知のように、リン酸緩衝液と、当該汚水、微生物を図
12の(e)の試料溶液21に個別あるいは全体で入
れ、素子11を図示のように入れた後、流動パラフィン
で蓋をするように密封する。そして、既述した図3ある
いは図5に示すように結線した後、作用極2に流れる電
流を例えば図13に示すように測定して酸素濃度を測定
することが可能となる。
In step S46, a phosphate buffer, sewage, and microorganisms are placed in the container. S47 seals with liquid paraffin.
In step S48, the oxygen concentration is measured. These S46 and S4
7, S48, as shown in (e) of FIG.
Regarding the small oxygen electrode completed in S41 to S45,
Try to measure the oxygen concentration, here for sewage,
As is well known, the phosphate buffer, the wastewater, and the microorganisms are individually or entirely put in the sample solution 21 of FIG. 12E, and the element 11 is put as shown in the figure, and then covered with liquid paraffin. To seal. Then, after the connection as shown in FIG. 3 or FIG. 5 described above, the oxygen concentration can be measured by measuring the current flowing through the working electrode 2 as shown in FIG. 13, for example.

【0084】以上のように、固い基板12上にAgペー
ストで片面あるいは両面に印刷して対極1と作用極2と
絶縁膜4とパッド5、あるいは対極1と作用極2と参照
極3と絶縁膜4とパッド5が複数組みからなる素子11
を多数同時に製造した後、個別の素子11に切断して小
型酸素電極を製造する。そして、この製造した小型酸素
電極を図12の(e)に示すように、試料容器21中に
試料溶液(酸素濃度を測定しようとする、ここでは汚
水、その他の公知のリン酸緩衝液、微生物)22を個別
あるいは全体を1つとして入れて密閉し、作用極2に流
れる電流を測定して酸素濃度を測定することが可能とな
る。
As described above, one side or both sides are printed on the hard substrate 12 with Ag paste to insulate the counter electrode 1, the working electrode 2, the insulating film 4, and the pad 5, or the counter electrode 1, the working electrode 2, and the reference electrode 3 from each other. Element 11 having a plurality of sets of film 4 and pad 5
Are manufactured at the same time, and then cut into individual elements 11 to manufacture a small oxygen electrode. Then, as shown in FIG. 12 (e), the manufactured small oxygen electrode is placed in a sample container 21 in a sample solution (to be measured for oxygen concentration, here, sewage, other known phosphate buffer, microorganisms). ) 22 can be individually or wholly put in one and sealed, and the current flowing through the working electrode 2 can be measured to measure the oxygen concentration.

【0085】図15は、本発明の構造説明図(その6、
両面)を示す。図15は、固い基板12の両面上に複数
組みの酸素電極を持つ素子11を多数設けたものであ
る。図15の(a)は、基板12上の複数組みの酸素電
極を持つ素子11の外観形状の例を示す。ここでは、V
溝を設けて複数組みの酸素電極を持つ素子11が容易に
切断できるようにしている。
FIG. 15 is a structural explanatory view of the present invention (No. 6,
Both sides). FIG. 15 shows a configuration in which a large number of elements 11 having a plurality of sets of oxygen electrodes are provided on both surfaces of a hard substrate 12. FIG. 15A shows an example of the external shape of an element 11 having a plurality of sets of oxygen electrodes on a substrate 12. Here, V
The groove is provided so that the element 11 having a plurality of sets of oxygen electrodes can be easily cut.

【0086】図15の(b)は、基板12の一方の面
(表)に複数組みの対極1を形成した様子を示す。図1
5の(c)は、基板12の他の面(裏)に複数組みの作
用極1を形成した様子を示す。
FIG. 15B shows a state in which a plurality of pairs of counter electrodes 1 are formed on one surface (front) of the substrate 12. FIG.
FIG. 5C shows a state in which a plurality of sets of working electrodes 1 are formed on the other surface (back surface) of the substrate 12.

【0087】図15の(d)は、図15の(b)の一方
の面(表)の複数組みの対極1、リ−ド線9、パッド5
を形成して切り出した様子を示す。図15の(e)は、
図15の(d)の一方の面(表)の複数組みの対極1の
リード線9の部分に絶縁膜4を斜線で示すように形成し
た様子を示す。
FIG. 15D shows a plurality of sets of the counter electrode 1, the lead wire 9, and the pad 5 on one surface (table) of FIG.
Is formed and cut out. (E) of FIG.
FIG. 15D shows a state in which the insulating film 4 is formed as shown by hatching on the lead wire 9 of a plurality of sets of the counter electrode 1 on one surface (table) of FIG.

【0088】図15の(f)は、図15の(c)の他の
面(裏)の複数組みの作用極2、リ−ド線9、パッド5
を形成して切り出した様子を示す。図15の(g)は、
図15の(f)の他の面(裏)の複数組みの作用極2の
リード線9の部分に絶縁膜4を斜線で示すように形成し
た様子を示す。
FIG. 15F shows a plurality of sets of the working electrode 2, the lead wire 9, and the pad 5 on the other surface (back surface) of FIG.
Is formed and cut out. (G) of FIG.
FIG. 15F shows a state in which the insulating film 4 is formed on the other surface (back surface) of the lead wire 9 of the plurality of working electrodes 2 as indicated by oblique lines.

【0089】図15の(h)は、図15の(e)、
(g)のように形成した素子11を実際に試料溶液22
に浸して当該試料溶液22中の酸素濃度を測定するとき
の様子を示す。ここでは、試料容器21に微量の試料溶
液22(公知のリン酸緩衝液、酸素濃度を調べようとす
る例えば汚水、微生物)を個別あるいは全体を1つとし
て入れた後に流動パラフィン23で密閉し、既述した図
3あるいは図5に示すように結線して作用極2に流れる
電流を測定して酸素濃度を検出することが可能とな図1
6は、本発明の説明フローチャート(その6)を示す。
これは、図14のフローチャートがAgペーストを印刷
によって電極パターン(対極1、作用極2、参照極3の
電極パターン)を形成していたのに対し、Agを蒸着に
よって形成する場合のフローチャートである。
FIG. 15 (h) is a diagram corresponding to FIG. 15 (e),
The element 11 formed as shown in FIG.
2 shows a state when the oxygen concentration in the sample solution 22 is measured by immersion in the sample solution 22. Here, a small amount of a sample solution 22 (a known phosphate buffer solution, for example, sewage or microorganisms whose oxygen concentration is to be checked) is individually or entirely placed in a sample container 21 and then sealed with liquid paraffin 23. As shown in FIG. 3 or FIG. 5 described above, it is possible to detect the oxygen concentration by measuring the current flowing through the working electrode 2 by connecting.
FIG. 6 shows an explanatory flowchart (part 6) of the present invention.
This is a flowchart in the case where the electrode pattern (electrode pattern of the counter electrode 1, the working electrode 2, and the reference electrode 3) is formed by printing an Ag paste in the flowchart of FIG. 14, whereas Ag is formed by vapor deposition. .

【0090】図16において、S51は、基板に電極パ
ターンをメタルマスクを用いてAgを蒸着する。これ
は、図12の(a)の基板12上に対極1、作用極2お
よびパッド5の電極パターンを、メタルマスクを用いて
蒸着によって成膜する。尚、図12の(b)に図示のよ
うに基板12の片面上に対極1、作用極2、パッド5を
メタルマスクでAgを蒸着してもよいが、図15の
(b)、(c)に示すように両面に分けて印刷、即ち、
基板11の一方の面に図15の(b)の対極1をメタル
マスクを用いてAgを蒸着し、基板11の他の面に図1
5の(c)の作用極2をメタルマスクを用いてAgを蒸
着するようにしてもよい。同様に、基板11の一方の面
に対極1をメタルマスクを用いてAgを蒸着し、基板1
1の他の面に作用極2および参照極3をメタルマスクを
用いてAgを蒸着するようにしてもよい。
In FIG. 16, in step S51, Ag is deposited on the substrate by using a metal mask as an electrode pattern. In this method, the electrode patterns of the counter electrode 1, the working electrode 2, and the pad 5 are formed on the substrate 12 of FIG. 12A by vapor deposition using a metal mask. As shown in FIG. 12B, Ag may be deposited on one surface of the substrate 12 using a metal mask for the counter electrode 1, the working electrode 2, and the pad 5, but FIGS. 15B and 15C ) To print on both sides as shown in
Ag is vapor-deposited on one surface of the substrate 11 using the metal mask as the counter electrode 1 of FIG.
Ag may be deposited on the working electrode 2 of (c) of FIG. 5 using a metal mask. Similarly, on one surface of the substrate 11, Ag was vapor-deposited on the counter electrode 1 using a metal mask.
Ag may be vapor-deposited on the other surface of the working electrode 2 and the reference electrode 3 using a metal mask.

【0091】S52は、絶縁ペーストでリード部分を印
刷する。これは、片面の場合には片面上に図12の
(d)の斜線に示すように絶縁膜4を絶縁ペーストで印
刷する。この際、対極1、作用極2の絶縁されない部分
の面積が一定値になるように絶縁ペーストで印刷すると
共に、パッド5の部分は外部端子に接続するために絶縁
ペーストで印刷しない。また、両面の場合には図15の
(e)、(g)に示すように絶縁膜4を絶縁ペーストで
印刷する。
In step S52, a lead portion is printed with an insulating paste. In this case, in the case of one side, the insulating film 4 is printed on one side with an insulating paste as shown by oblique lines in FIG. At this time, printing is performed with the insulating paste so that the areas of the non-insulated portions of the counter electrode 1 and the working electrode 2 have a constant value, and the pad 5 is not printed with the insulating paste to connect to the external terminals. In the case of both sides, as shown in FIGS. 15E and 15G, the insulating film 4 is printed with an insulating paste.

【0092】S53は、乾燥する。これは、S52で印
刷した絶縁ペーストを乾燥する。S54は、電極パター
ン群(個別素子11)に切断する。これにより、個別の
素子11に切断する。そして、図14のS46に進む。
In step S53, drying is performed. This dries the insulating paste printed in S52. S54 cuts into electrode pattern groups (individual elements 11). Thus, the individual elements 11 are cut. Then, the process proceeds to S46 of FIG.

【0093】以上のように、固い基板12上にメタルマ
スクを用いてAg蒸着で片面あるいは両面に複数組みの
対極1と作用極2と絶縁膜4とパッド5、あるいは複数
組みの対極1と作用極2と参照極3と絶縁膜4とパッド
5を多数同時に製造した後、個別の素子11に切断して
小型酸素電極を製造する。そして、この製造した小型酸
素電極を図12の(e)あるいは図15の(h)に示す
ように、試料容器21中に試料溶液(酸素濃度を測定し
ようとする、ここでは汚水、その他の公知のリン酸緩衝
液、微生物)22を入れて密閉し、作用極2に流れる電
流を測定して酸素濃度を測定することが可能となる。
As described above, a plurality of sets of the counter electrode 1, the working electrode 2, the insulating film 4, and the pad 5, or the plurality of sets of the counter electrode 1 are formed on one or both sides of the hard substrate 12 by Ag vapor deposition using a metal mask. After a large number of the electrodes 2, the reference electrodes 3, the insulating films 4, and the pads 5 are simultaneously manufactured, a small oxygen electrode is manufactured by cutting the individual elements 11. Then, as shown in FIG. 12 (e) or FIG. 15 (h), the manufactured small oxygen electrode is placed in a sample container 21 in which a sample solution (oxygen concentration is to be measured; (A phosphate buffer solution, a microorganism) 22 is sealed, and the oxygen concentration can be measured by measuring the current flowing through the working electrode 2.

【0094】図17は、本発明の構造説明図(その7、
片面)を示す。図17は、柔軟なフィルム(PETフィ
ルム)14の片面上に複数組みの酸素電極を持つ素子1
1を多数設けたものである。
FIG. 17 is a structural explanatory view of the present invention (No. 7,
(One side). FIG. 17 shows an element 1 having a plurality of sets of oxygen electrodes on one side of a flexible film (PET film) 14.
1 is provided in large numbers.

【0095】図17の(a)はフィルム14上の複数組
みの酸素電極を持つ素子11の外観の例を示す。図17
の(b)は、図17の(a)のフィルム14から複数の
酸素電極を持つ素子11の1つを示す。ここでは、素子
1は、複数組みの対極1、作用極2、リード線9、パッ
ド5から構成されている。
FIG. 17A shows an example of the appearance of an element 11 having a plurality of sets of oxygen electrodes on a film 14. FIG.
(B) shows one of the elements 11 having a plurality of oxygen electrodes from the film 14 in (a) of FIG. Here, the element 1 includes a plurality of pairs of counter electrodes 1, working electrodes 2, lead wires 9, and pads 5.

【0096】図17の(c)は、図17の(b)の複数
組みから構成される素子11のリード線9の部分に絶縁
膜4を形成した様子を示す。図17の(d)は、図17
の(c)の素子11を実際に試料溶液22に浸して当該
試料溶液22中の酸素濃度を測定するときの様子を示
す。ここでは、試料容器21に微量の試料溶液22(公
知のリン酸緩衝液、酸素濃度を調べようとする例えば汚
水、微生物)を個別あるいは全体を1つとして入れた後
に流動パラフィン23で密閉し、既述した図3あるいは
図5に示すように結線して作用極2に流れる電流を測定
して酸素濃度を検出することが可能となる。
FIG. 17C shows a state in which the insulating film 4 is formed on the lead wire 9 of the element 11 composed of a plurality of sets shown in FIG. 17B. (D) of FIG.
(C) shows a state when the element 11 is actually immersed in the sample solution 22 and the oxygen concentration in the sample solution 22 is measured. Here, a small amount of a sample solution 22 (a known phosphate buffer solution, for example, sewage or microorganisms for which an oxygen concentration is to be checked) is individually or individually placed in a sample container 21 and then sealed with liquid paraffin 23. As shown in FIG. 3 or FIG. 5, the oxygen concentration can be detected by measuring the current flowing through the working electrode 2 as described above.

【0097】図18は、本発明の動作説明フローチャー
ト(その7)を示す。図18において、S61は、フィ
ルム(PETフィルム)14に電極パターン群をAgペ
ーストで印刷する。これは、図17の(a)のフィルム
14上に対極1、作用極2、リード線9、パッド5の電
極パターンをAgペーストで印刷する。尚、両面に分け
て印刷、即ち、フィルム14の一方の面に後述する図1
9の(a)の対極1をAgペーストで印刷し、フィルム
14の他の面に図19の(b)の作用極2をAgペース
トで印刷するようにしてもよい。同様に、フィルム14
の一方の面に対極1をAgペーストで印刷し、フィルム
14の他の面に作用極2および参照極3をAgペースト
で印刷するようにしてもよい。
FIG. 18 is a flow chart (7) for explaining the operation of the present invention. In FIG. 18, in S61, an electrode pattern group is printed on a film (PET film) 14 using an Ag paste. In this method, the electrode patterns of the counter electrode 1, the working electrode 2, the lead wire 9, and the pad 5 are printed on the film 14 of FIG. It should be noted that printing is performed on both sides separately, that is, on one side of the film 14, FIG.
The counter electrode 1 of FIG. 9A may be printed with an Ag paste, and the working electrode 2 of FIG. 19B may be printed on the other surface of the film 14 with an Ag paste. Similarly, film 14
The counter electrode 1 may be printed on one surface of the film 14 with an Ag paste, and the working electrode 2 and the reference electrode 3 may be printed on the other surface of the film 14 with an Ag paste.

【0098】S62は、乾燥する。これは、S61でA
gペースで印刷したフィルム14を乾燥し、表面にAg
が露出して基板11に固着するようにする。S63は、
絶縁ペーストでリード部分を印刷する。これは、片面の
場合には片面上に図17の(c)の斜線に示すように絶
縁膜4を絶縁ペーストで印刷する。この際、対極1、作
用極2の絶縁されない部分の面積が一定値になるように
絶縁ペーストで印刷すると共に、パッド5の部分は外部
端子に接続するために絶縁ペーストで印刷しない。ま
た、両面の場合には、後述する図19の(d)、(f)
に示す絶縁膜4をそれぞれ印刷する。
In step S62, drying is performed. This is A in S61
g The film 14 printed at a pace is dried, and the surface is coated with Ag.
Is exposed and fixed to the substrate 11. S63,
Print the leads with insulating paste. In this case, in the case of one side, the insulating film 4 is printed on one side with an insulating paste as shown by oblique lines in FIG. At this time, printing is performed with an insulating paste so that the areas of the non-insulated portions of the counter electrode 1 and the working electrode 2 have a constant value, and the pad 5 is not printed with the insulating paste to connect to external terminals. In the case of both sides, (d) and (f) of FIG.
Are printed, respectively.

【0099】S64は、乾燥する。これは、S63で印
刷した絶縁ペーストを乾燥する。S65は、電極パター
ン群(個別素子11)に切断する。これにより、図17
の(c)の個別の素子11に切断されることとなる。
In step S64, drying is performed. This dries the insulating paste printed in S63. S65 cuts into electrode pattern groups (individual elements 11). As a result, FIG.
(C), the individual elements 11 are cut.

【0100】S66は、容器にリン酸緩衝液、汚水、微
生物を入れる。S67は、流動パラフィンで密封する。
S68は、酸素濃度を測定する。これらS66、S6
7、S68は、既述した図17の(d)に示すように、
S61ないしS65で完成した小型酸素電極について、
酸素濃度を測定しようとする、ここでは汚水について、
公知のように、リン酸緩衝液と、当該汚水、微生物を図
17の(d)の試料溶液21に個別あるいは全体で入
れ、素子11を図示のように入れた後、流動パラフィン
で蓋をするように密封する。そして、既述した図3ある
いは図5に示すように結線した後、作用極2に流れる電
流を測定して酸素濃度を測定することが可能となる。
In step S66, a phosphate buffer, sewage, and microorganisms are placed in the container. In step S67, the container is sealed with liquid paraffin.
In step S68, the oxygen concentration is measured. These S66, S6
7, S68 is performed as shown in FIG.
For the small oxygen electrode completed in S61 to S65,
Try to measure the oxygen concentration, here for sewage,
As is known, the phosphate buffer, the wastewater and the microorganisms are individually or entirely put into the sample solution 21 shown in FIG. 17D, and the element 11 is put as shown in the figure, and then covered with liquid paraffin. To seal. Then, after the connection as shown in FIG. 3 or FIG. 5 described above, the oxygen concentration can be measured by measuring the current flowing through the working electrode 2.

【0101】以上のように、柔軟なフィルム14上にA
gペーストで片面あるいは両面に印刷して対極1と作用
極2と絶縁膜4とパッド5、あるいは対極1と作用極2
と参照極3と絶縁膜4とパッド5が複数組みからなる素
子11を多数同時に製造した後、個別の素子11に切断
して小型酸素電極を製造する。そして、この製造した小
型酸素電極を図17の(d)に示すように、試料容器2
1中に試料溶液(酸素濃度を測定しようとする、ここで
は汚水、その他の公知のリン酸緩衝液、微生物)22を
個別あるいは全体を1つとして入れて密閉し、作用極2
に流れる電流を測定して酸素濃度を測定することが可能
となる。
As described above, the flexible film 14
g printed on one or both sides with paste, counter electrode 1, working electrode 2, insulating film 4 and pad 5, or counter electrode 1 and working electrode 2
After manufacturing a large number of devices 11 each including a plurality of sets including the reference electrode 3, the insulating film 4, and the pad 5, the device 11 is cut into individual devices 11 to manufacture a small oxygen electrode. Then, the manufactured small oxygen electrode is connected to the sample container 2 as shown in FIG.
A sample solution (to be measured for oxygen concentration, here, sewage, other known phosphate buffer, microorganisms) 22 is placed individually or as a whole in one and sealed.
It is possible to measure the oxygen concentration by measuring the current flowing through the device.

【0102】図19は、本発明の構造説明図(その8、
両面)を示す。図19は、柔軟なフィルム14の両面上
に複数組みの酸素電極を持つ素子11を多数設けたもの
である。
FIG. 19 is a structural explanatory view of the present invention (No. 8,
Both sides). FIG. 19 shows a configuration in which a number of elements 11 having a plurality of sets of oxygen electrodes are provided on both sides of a flexible film 14.

【0103】図19の(a)は、フィルム14の一方の
面(表)に複数組みの対極1、リード線9、およびパッ
ド5から構成される素子11を形成した様子を示す。図
19の(b)は、フィルム14の他の面(裏)に複数組
みの作用極2、リード線9、およびパッド5から構成さ
れる素子11を形成した様子を示す。
FIG. 19A shows a state in which an element 11 composed of a plurality of pairs of counter electrodes 1, lead wires 9 and pads 5 is formed on one surface (table) of a film 14. FIG. 19B shows a state in which the element 11 including a plurality of sets of the working electrode 2, the lead wire 9, and the pad 5 is formed on the other surface (back surface) of the film 14.

【0104】図19の(c)は、図19の(a)のフィ
ルム14の一方の面(表)に複数組みの対極1、リード
線9およびパッド5を1つ取り出した様子を示す。図1
9の(d)は、図19の(c)のリード線9の部分に絶
縁膜4を成膜した様子を示す。
FIG. 19C shows a state in which a plurality of sets of the counter electrode 1, the lead wire 9, and one pad 5 are taken out on one surface (table) of the film 14 of FIG. 19A. FIG.
(D) of FIG. 9 shows a state in which the insulating film 4 is formed on the portion of the lead wire 9 in (c) of FIG.

【0105】図19の(e)は、図19の(b)のフィ
ルム14の一方の面(表)に複数組みの作用極2、リー
ド線9およびパッド5を1つ取り出した様子を示す。図
19の(f)は、図19の(e)のリード線9の部分に
絶縁膜4を成膜した様子を示す。
FIG. 19 (e) shows a state in which a plurality of sets of the working electrode 2, the lead wire 9 and one pad 5 are taken out on one surface (table) of the film 14 of FIG. 19 (b). FIG. 19F shows a state in which the insulating film 4 is formed on the portion of the lead wire 9 in FIG. 19E.

【0106】図19の(g)は、図19の(d)、
(f)のように形成した素子11を実際に試料溶液22
に浸して当該試料溶液22中の酸素濃度を測定するとき
の様子を示す。ここでは、試料容器21に微量の試料溶
液22(公知のリン酸緩衝液、酸素濃度を調べようとす
る例えば汚水、微生物)を個別あるいは全体を1つとし
て入れた後に流動パラフィン23で密閉し、既述した図
3あるいは図5に示すように結線して作用極2に流れる
電流を測定して酸素濃度を検出することが可能となる。
FIG. 19 (g) is the same as FIG. 19 (d),
The element 11 formed as shown in FIG.
2 shows a state when the oxygen concentration in the sample solution 22 is measured by immersion in the sample solution 22. Here, a small amount of a sample solution 22 (a known phosphate buffer solution, for example, sewage or microorganisms whose oxygen concentration is to be checked) is individually or entirely placed in a sample container 21 and then sealed with liquid paraffin 23. As shown in FIG. 3 or FIG. 5, the oxygen concentration can be detected by measuring the current flowing through the working electrode 2 as described above.

【0107】図20は、本発明の説明フローチャート
(その8)を示す。これは、図18のフローチャートが
Agペーストを印刷によって電極パターン(対極1、作
用極2、参照極3の電極パターン)を形成していたのに
対し、Agを蒸着によって形成する場合のフローチャー
トである。
FIG. 20 is a flow chart (8) for explaining the present invention. This is a flowchart in a case where the electrode pattern (electrode pattern of the counter electrode 1, the working electrode 2, and the reference electrode 3) is formed by printing the Ag paste in the flowchart of FIG. .

【0108】図20において、S71は、フィルム(P
ETフィルム)14に電極パターンをメタルマスクを用
いてAgを蒸着する。これは、図17の(a)のフィル
ム14上に対極1、作用極2、リード線9およびパッド
5の電極パターンを、メタルマスクを用いて蒸着によっ
て成膜する。尚、図17の(a)に図示のようにフィル
ム14の片面上に対極1、作用極2、パッド5をメタル
マスクでAgを蒸着してもよいが、図19の(a)、
(b)に示すように両面に分けて印刷、即ち、基板11
の一方の面に図19の(a)の対極1をメタルマスクを
用いてAgを蒸着し、基板11の他の面に図19の
(b)の作用極2、リード線9、パッド5をメタルマス
クを用いてAgを蒸着するようにしてもよい。
In FIG. 20, S71 is a film (P
Ag is vapor-deposited on the ET film 14 using a metal mask as an electrode pattern. In this method, the electrode patterns of the counter electrode 1, the working electrode 2, the lead wire 9 and the pad 5 are formed on the film 14 of FIG. 17A by vapor deposition using a metal mask. As shown in FIG. 17A, the counter electrode 1, the working electrode 2, and the pad 5 may be deposited on one surface of the film 14 with Ag using a metal mask.
(B) As shown in FIG.
19A is vapor-deposited on one surface of the substrate 11 with a metal mask using a metal mask, and the working electrode 2, lead wire 9 and pad 5 of FIG. Ag may be deposited using a metal mask.

【0109】S72は、絶縁ペーストでリード部分を印
刷する。これは、片面の場合には片面上に図17の
(c)の斜線に示すように絶縁膜4を絶縁ペーストで印
刷する。この際、対極1、作用極2の絶縁されない部分
の面積が一定値になるように絶縁ペーストで印刷すると
共に、パッド5の部分は外部端子に接続するために絶縁
ペーストで印刷しない。また、両面の場合には図19の
(d)、(f)に示すように絶縁膜4を絶縁ペーストで
印刷する。
In step S72, the lead portion is printed with an insulating paste. In this case, in the case of one side, the insulating film 4 is printed on one side with an insulating paste as shown by oblique lines in FIG. At this time, printing is performed with the insulating paste so that the areas of the non-insulated portions of the counter electrode 1 and the working electrode 2 have a constant value, and the pad 5 is not printed with the insulating paste to connect to the external terminals. In the case of both sides, as shown in FIGS. 19D and 19F, the insulating film 4 is printed with an insulating paste.

【0110】S73は、乾燥する。これは、S72で印
刷した絶縁ペーストを乾燥する。S74は、電極パター
ン群(個別素子11)に切断する。これにより、個別の
素子11に切断する。そして、図18のS66に進む。
Step S73 is to dry. This dries the insulating paste printed in S72. S74 cuts into electrode pattern groups (individual elements 11). Thus, the individual elements 11 are cut. Then, the process proceeds to S66 in FIG.

【0111】以上のように、柔軟なフィルム14上にメ
タルマスクを用いてAg蒸着で片面あるいは両面に複数
組みの対極1と作用極2と絶縁膜4とパッド5、あるい
は複数組みの対極1と作用極2と参照極3と絶縁膜4と
パッド5を多数同時に製造した後、個別の素子11に切
断して小型酸素電極を製造する。そして、この製造した
小型酸素電極を図17の(d)あるいは図19の(g)
に示すように、試料容器21中に試料溶液(酸素濃度を
測定しようとする、ここでは汚水、その他の公知のリン
酸緩衝液、微生物)22を入れて密閉し、作用極2に流
れる電流を測定して酸素濃度を測定することが可能とな
る。
As described above, a plurality of sets of the counter electrode 1, the working electrode 2, the insulating film 4, and the pad 5, or the plurality of sets of the counter electrodes 1 are formed on one or both sides of the flexible film 14 by Ag vapor deposition using a metal mask. After a large number of working electrodes 2, reference electrodes 3, insulating films 4, and pads 5 are manufactured at the same time, they are cut into individual elements 11 to manufacture a small oxygen electrode. Then, the manufactured small oxygen electrode is connected to FIG. 17 (d) or FIG. 19 (g).
As shown in (2), a sample solution (sewage, other known phosphate buffer, microorganisms here) to be subjected to measurement of oxygen concentration 22 is put in a sample container 21 and sealed. By measuring, it becomes possible to measure the oxygen concentration.

【0112】図21は、本発明の電極パターン群の説明
図を示す。図21の(a)は、12組みの酸素電極を結
線した様子を示す。ここでは、12組みの酸素電極を構
成する対極1を共通接続して接地し、作用極2をそれぞ
れ12組み引き出して個別に流れる電流を測定できるよ
うに図示外の測定器に接続する。
FIG. 21 is an explanatory view of an electrode pattern group according to the present invention. FIG. 21A shows a state in which twelve sets of oxygen electrodes are connected. Here, the counter electrode 1 constituting the 12 sets of oxygen electrodes is commonly connected and grounded, and the working electrode 2 is connected to a measuring device (not shown) so that 12 sets of the working electrodes 2 can be drawn out and the current flowing individually can be measured.

【0113】図21の(b)は、斜線の部分のリード線
の部分に絶縁膜4を形成した様子を示す。パッド5から
それぞれの外部端子に接続する。図22は、本発明の製
造例を示す。これは、既述したフィルム(PETフィル
ム)14を巻いた左側のロールから当該フィルム14を
右方向に繰り出しながら、最初の印刷の部分で電極パタ
ーン(対極1、作用極2、参照極3など)を印刷して最
初の乾燥炉で乾燥する。次の、印刷の部分で絶縁ペース
トを印刷し最後の乾燥炉で乾燥し、完成品を右側のロー
ルに巻取り、流れ作業的にフィルム14上に電極パター
ンの形成、絶縁膜4の形成を行うことが可能となる。
FIG. 21B shows a state in which the insulating film 4 is formed on the oblique line portion of the lead wire. The pad 5 is connected to each external terminal. FIG. 22 shows a production example of the present invention. This is because the film (PET film) 14 is wound rightward from the left roll around which the film 14 is wound, and the electrode pattern (counter electrode 1, working electrode 2, reference electrode 3, etc.) is formed in the first printing portion. And dried in the first drying oven. Next, the insulating paste is printed in the printing part, dried in the last drying oven, the finished product is wound up on the right roll, and the electrode pattern and the insulating film 4 are formed on the film 14 in a flow operation. It becomes possible.

【0114】[0114]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
固い基板あるいは柔軟なフィルムの片面あるいは両面に
分けて対極1、作用極2、参照極3をAgペーストある
いは蒸着で形成した後、リード線の部分を絶縁ペースト
で印刷して絶縁し、個別の素子11に切断して小型酸素
電極を多量生産できる構造を採用しているため、簡単な
構造で量産し易くかつ安価な材料を使用して酸素電極を
製造できるようになった。これにらにより、安価かつ小
型の使い捨て可能な小型酸素電極を実現することが可能
となった。
As described above, according to the present invention,
After forming the counter electrode 1, the working electrode 2, and the reference electrode 3 on a hard substrate or a flexible film on one side or both sides by Ag paste or vapor deposition, the lead wires are printed and insulated by an insulating paste to insulate the individual elements. Since a structure capable of mass-producing a small oxygen electrode by cutting into 11 is adopted, the oxygen electrode can be manufactured using a simple structure, which is easy to mass-produce, and using an inexpensive material. Thus, it has become possible to realize an inexpensive and small disposable small oxygen electrode.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の構造説明図(その1、片面)である。FIG. 1 is a structural explanatory view of the present invention (No. 1, one side).

【図2】本発明の動作説明フローチャート(その1)で
ある。
FIG. 2 is a flowchart (part 1) for explaining the operation of the present invention.

【図3】本発明の測定説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of measurement according to the present invention.

【図4】本発明の酸素に対する応答性測定例である。FIG. 4 is an example of measurement of responsiveness to oxygen according to the present invention.

【図5】本発明の測定説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of measurement according to the present invention.

【図6】本発明の構造説明図(その2、両面)である。FIG. 6 is a structural explanatory view of the present invention (No. 2, both sides).

【図7】本発明の動作説明フローチャート(その2)で
ある。
FIG. 7 is a flowchart (part 2) for explaining the operation of the present invention.

【図8】本発明の構造説明図(その3、片面)である。FIG. 8 is a structural explanatory view (part 3, one side) of the present invention.

【図9】本発明の動作説明フローチャート(その3)で
ある。
FIG. 9 is a flowchart (part 3) for explaining the operation of the present invention.

【図10】本発明の構造説明図(その4、両面)であ
る。
FIG. 10 is a structural explanatory view (No. 4, both sides) of the present invention.

【図11】本発明の動作説明フローチャート(その4)
である。
FIG. 11 is a flowchart (part 4) for explaining the operation of the present invention.
It is.

【図12】本発明の構造説明図(その5、片面)であ
る。
FIG. 12 is a structural explanatory view of the present invention (No. 5, one side).

【図13】本発明の酸素に対する応答性測定例である。FIG. 13 is a measurement example of the responsiveness to oxygen of the present invention.

【図14】本発明の動作説明フローチャート(その5)
である。
FIG. 14 is a flowchart (part 5) for explaining the operation of the present invention;
It is.

【図15】本発明の構造説明図(その6、両面)であ
る。
FIG. 15 is a structural explanatory view (No. 6, both sides) of the present invention.

【図16】本発明の動作説明フローチャート(その6)
である。
FIG. 16 is a flowchart (part 6) for explaining the operation of the present invention.
It is.

【図17】本発明の構造説明図(その7、片面)であ
る。
FIG. 17 is a structural explanatory view (No. 7, one side) of the present invention.

【図18】本発明の動作説明フローチャート(その7)
である。
FIG. 18 is a flowchart for explaining the operation of the present invention (part 7).
It is.

【図19】本発明の構造説明図(その8、両面)であ
る。
FIG. 19 is a structural explanatory view (No. 8, both sides) of the present invention.

【図20】本発明の動作説明フローチャート(その8)
である。
FIG. 20 is a flowchart (part 8) for explaining the operation of the present invention;
It is.

【図21】本発明の電極パターン群の説明図である。FIG. 21 is an explanatory diagram of an electrode pattern group according to the present invention.

【図22】本発明の製造例である。FIG. 22 is a production example of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:対極 2:作用極 3:参照極 4:絶縁膜 5:パッド 9:リード線 11:素子 12:基板 13:V溝 14:フィルム(PETフィルム) 21:容器(試料容器) 22:試料溶液 23:流動パラフィン 1: counter electrode 2: working electrode 3: reference electrode 4: insulating film 5: pad 9: lead wire 11: element 12: substrate 13: V-groove 14: film (PET film) 21: container (sample container) 22: sample solution 23: Liquid paraffin

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】固い基板上の一方の面にAgペーストを印
刷して形成した所定形状の対極と作用極あるいは対極と
作用極と参照極の1組みと、 上記所定形状に形成した対極と作用極あるいは対極と作
用極と参照極の先端の部分および根元のパッド部分を除
いた所定中間部分に絶縁ペーストを印刷して形成した絶
縁膜とから構成したことを特徴とする小型酸素電極。
1. A counter electrode having a predetermined shape and a working electrode formed by printing an Ag paste on one surface of a hard substrate, or a set of a counter electrode, a working electrode and a reference electrode, and a counter electrode formed in the predetermined shape. A small oxygen electrode comprising: an insulating film formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding a tip portion of a working electrode, a working electrode, and a reference electrode, and a pad portion at the base of the working electrode and the reference electrode.
【請求項2】固い基板上の一方の面にAgを蒸着して形
成した所定形状の対極と作用極あるいは対極と作用極と
参照極の1組みと、 上記所定形状に形成した対極と作用極あるいは対極と作
用極と参照極の先端の部分および根元のパッド部分を除
いた所定中間部分に絶縁ペーストを印刷して形成した絶
縁膜とから構成したことを特徴とする小型酸素電極。
2. A predetermined shape of a counter electrode and a working electrode or a set of a counter electrode, a working electrode and a reference electrode formed by evaporating Ag on one surface of a hard substrate, and a counter electrode and a working electrode formed in the predetermined shape. Alternatively, a small oxygen electrode comprising an insulating film formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding a tip portion of a counter electrode, a working electrode, a reference electrode and a pad portion at a root.
【請求項3】固い基板上の一方の面にAgペーストを印
刷して形成した所定形状の対極と他の面にAgペースト
を印刷して形成した所定形状の作用極あるいは作用極と
参照極の1組みと、 上記所定形状に形成した一方の面の対極、および他の面
の作用極あるいは作用極と参照極の先端の部分および根
元のパッド部分を除いた所定中間部分に絶縁ペーストを
印刷して形成した絶縁膜とから構成したことを特徴とす
る小型酸素電極。
3. A working electrode having a predetermined shape formed by printing Ag paste on one surface of a hard substrate and a working electrode or a working electrode having a predetermined shape formed by printing Ag paste on another surface, and a reference electrode. An insulating paste is printed on one set and a counter electrode on one surface formed in the predetermined shape, and a predetermined intermediate portion excluding the working electrode on the other surface or the tip portion of the working electrode and the reference electrode and the pad portion at the base. A small oxygen electrode characterized by comprising an insulating film formed by the above method.
【請求項4】固い基板上の一方の面にAgを蒸着して形
成した所定形状の対極と他の面にAgを蒸着して形成し
た所定形状の作用極あるいは作用極と参照極の1組み
と、 上記所定形状に形成した一方の面の対極、および他の面
の作用極あるいは作用極と参照極の先端の部分および根
元のパッド部分を除いた所定中間部分に絶縁ペーストを
印刷して形成した絶縁膜とから構成したことを特徴とす
る小型酸素電極。
4. A working electrode having a predetermined shape formed by evaporating Ag on one surface of a hard substrate and a working electrode having a predetermined shape formed by evaporating Ag on another surface, or a set of a working electrode and a reference electrode. And forming an insulating paste on a counter electrode of one surface formed in the predetermined shape, and a predetermined intermediate portion excluding the working electrode or the working electrode and the tip portion of the working electrode and the reference electrode and the pad portion at the base of the other surface. A small oxygen electrode comprising: an insulating film;
【請求項5】柔軟性のあるフィルム基板上の一方の面に
Agペーストを印刷して形成した所定形状の対極と作用
極あるいは対極と作用極と参照極の1組みと、 上記所定形状に形成した対極と作用極あるいは対極と作
用極と参照極の先端の部分および根元のパッド部分を除
いた所定中間部分に絶縁ペーストを印刷して形成した絶
縁膜とから構成したことを特徴とする小型酸素電極。
5. A predetermined shape of a counter electrode and a working electrode or a set of a counter electrode, a working electrode and a reference electrode formed by printing an Ag paste on one surface of a flexible film substrate; Characterized by comprising an insulating film formed by printing an insulating paste on a counter electrode and a working electrode, or a predetermined intermediate portion excluding a tip portion of a counter electrode, a working electrode and a reference electrode and a root pad portion. electrode.
【請求項6】柔軟性のあるフィルム基板上の一方の面に
Agを蒸着して形成した所定形状の対極と作用極あるい
は対極と作用極と参照極の1組みと、 上記所定形状に形成した対極と作用極あるいは対極と作
用極と参照極の先端の部分および根元のパッド部分を除
いた所定中間部分に絶縁ペーストを印刷して形成した絶
縁膜とから構成したことを特徴とする小型酸素電極。
6. A predetermined shape of a counter electrode and a working electrode or a set of a counter electrode, a working electrode and a reference electrode formed by evaporating Ag on one surface of a flexible film substrate; A small oxygen electrode comprising an insulating film formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding a tip portion of a counter electrode and a working electrode or a tip portion of a counter electrode, a working electrode, and a reference electrode and a base pad portion. .
【請求項7】柔軟性のあるフィルム基板上の一方の面に
Agペーストを印刷して形成した所定形状の対極と他の
面にAgペーストを印刷して形成した所定形状の作用極
あるいは作用極と参照極の1組みと、 上記所定形状に形成した一方の面の対極、および他の面
の作用極あるいは作用極と参照極の先端の部分および根
元のパッド部分を除いた所定中間部分に絶縁ペーストを
印刷して形成した絶縁膜とから構成したことを特徴とす
る小型酸素電極。
7. A working electrode or working electrode having a predetermined shape formed by printing an Ag paste on one surface of a flexible film substrate and printing an Ag paste on another surface. And a set of a reference electrode, and a counter electrode on one surface formed in the above-mentioned predetermined shape, and a working electrode on the other surface or a predetermined intermediate portion excluding the tip portion of the working electrode and the reference electrode and the base pad portion. A small oxygen electrode comprising: an insulating film formed by printing a paste.
【請求項8】柔軟性のあるフィルム基板上の一方の面に
Agを蒸着して形成した所定形状の対極と他の面にAg
を蒸着して形成した所定形状の作用極あるいは作用極と
参照極の1組みと、 上記所定形状に形成した一方の面の対極、および他の面
の作用極あるいは作用極と参照極の先端の部分および根
元のパッド部分を除いた所定中間部分に絶縁ペーストを
印刷して形成した絶縁膜とから構成したことを特徴とす
る小型酸素電極。
8. A counter electrode of a predetermined shape formed by evaporating Ag on one surface of a flexible film substrate and Ag on another surface.
And a set of a working electrode or a working electrode and a reference electrode formed in a predetermined shape, a counter electrode on one surface formed in the predetermined shape, and a working electrode or a working electrode on the other surface or a tip of the reference electrode. A small oxygen electrode, comprising: an insulating film formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding a portion and a root pad portion.
【請求項9】固い基板上の一方の面にAgペーストを印
刷して形成した所定形状の対極と作用極あるいは対極と
作用極と参照極の複数組みと、 上記所定形状に形成した対極と作用極あるいは対極と作
用極と参照極の先端の部分および根元のパッド部分を除
いた所定中間部分に絶縁ペーストを印刷して形成した絶
縁膜とから構成したことを特徴とする小型酸素電極。
9. A counter electrode and a working electrode of a predetermined shape formed by printing an Ag paste on one surface of a hard substrate, or a plurality of pairs of a counter electrode, a working electrode and a reference electrode, and a function of the counter electrode formed in the predetermined shape. A small oxygen electrode comprising: an insulating film formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding a tip portion of a working electrode, a working electrode, and a reference electrode, and a pad portion at the base of the working electrode and the reference electrode.
【請求項10】固い基板上の一方の面にAgを蒸着して
形成した所定形状の対極と作用極あるいは対極と作用極
と参照極の複数組みと、 上記所定形状に形成した対極と作用極あるいは対極と作
用極と参照極の先端の部分および根元のパッド部分を除
いた所定中間部分に絶縁ペーストを印刷して形成した絶
縁膜とから構成したことを特徴とする小型酸素電極。
10. A counter electrode and a working electrode of a predetermined shape formed by evaporating Ag on one surface of a hard substrate, or a plurality of pairs of a counter electrode, a working electrode and a reference electrode, and a counter electrode and a working electrode formed in the predetermined shape. Alternatively, a small oxygen electrode comprising an insulating film formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding a tip portion of a counter electrode, a working electrode, a reference electrode and a pad portion at a root.
【請求項11】固い基板上の一方の面にAgペーストを
印刷して形成した所定形状の対極と他の面にAgペース
トを印刷して形成した所定形状の作用極あるいは作用極
と参照極の複数組みと、 上記所定形状に形成した一方の面の対極、および他の面
の作用極あるいは作用極と参照極の先端の部分および根
元のパッド部分を除いた所定中間部分に絶縁ペーストを
印刷して形成した絶縁膜とから構成したことを特徴とす
る小型酸素電極。
11. A counter electrode having a predetermined shape formed by printing an Ag paste on one surface of a hard substrate and a working electrode having a predetermined shape formed by printing an Ag paste on another surface, or a working electrode and a reference electrode. A plurality of sets, and an insulating paste is printed on a counter electrode on one surface formed in the above-mentioned predetermined shape, and on a predetermined intermediate portion excluding the working electrode on the other surface or the tip portion of the working electrode and the reference electrode and the pad portion at the base. A small oxygen electrode characterized by comprising an insulating film formed by the above method.
【請求項12】固い基板上の一方の面にAgを蒸着して
形成した所定形状の対極と他の面にAgを蒸着して形成
した所定形状の作用極あるいは作用極と参照極の複数組
みと、 上記所定形状に形成した一方の面の対極、および他の面
の作用極あるいは作用極と参照極の先端の部分および根
元のパッド部分を除いた所定中間部分に絶縁ペーストを
印刷して形成した絶縁膜とから構成したことを特徴とす
る小型酸素電極。
12. A counter electrode having a predetermined shape formed by evaporating Ag on one surface of a hard substrate and a working electrode having a predetermined shape formed by evaporating Ag on another surface, or a plurality of sets of working electrodes and reference electrodes. And forming an insulating paste on a counter electrode of one surface formed in the predetermined shape, and a predetermined intermediate portion excluding the working electrode or the working electrode and the tip portion of the working electrode and the reference electrode and the pad portion at the base of the other surface. A small oxygen electrode characterized by comprising an insulating film formed as described above.
【請求項13】柔軟性のあるフィルム基板上の一方の面
にAgペーストを印刷して形成した所定形状の対極と作
用極あるいは対極と作用極と参照極の複数組みと、 上記所定形状に形成した対極と作用極あるいは対極と作
用極と参照極の先端の部分および根元のパッド部分を除
いた所定中間部分に絶縁ペーストを印刷して形成した絶
縁膜とから構成したことを特徴とする小型酸素電極。
13. A predetermined shape formed by printing an Ag paste on one surface of a flexible film substrate, and a plurality of sets of a counter electrode, a working electrode, and a reference electrode, a working electrode, and a reference electrode; Characterized by comprising an insulating film formed by printing an insulating paste on a counter electrode and a working electrode, or a predetermined intermediate portion excluding a tip portion of a counter electrode, a working electrode and a reference electrode and a root pad portion. electrode.
【請求項14】柔軟性のあるフィルム基板上の一方の面
にAgを蒸着して形成した所定形状の対極と作用極ある
いは対極と作用極と参照極の複数組みと、 上記所定形状に形成した対極と作用極あるいは対極と作
用極と参照極の先端の部分および根元のパッド部分を除
いた所定中間部分に絶縁ペーストを印刷して形成した絶
縁膜とから構成したことを特徴とする小型酸素電極。
14. A predetermined shape of a counter electrode and a working electrode or a plurality of sets of a counter electrode, a working electrode and a reference electrode formed by evaporating Ag on one surface of a flexible film substrate; A small oxygen electrode comprising an insulating film formed by printing an insulating paste on a counter electrode and a working electrode or a predetermined intermediate portion excluding a tip portion of a counter electrode, a working electrode and a reference electrode, and a root pad portion; .
【請求項15】柔軟性のあるフィルム基板上の一方の面
にAgペーストを印刷して形成した所定形状の対極と他
の面にAgペーストを印刷して形成した所定形状の作用
極あるいは作用極と参照極の複数組みと、 上記所定形状に形成した一方の面の対極、および他の面
の作用極あるいは作用極と参照極の先端の部分および根
元のパッド部分を除いた所定中間部分に絶縁ペーストを
印刷して形成した絶縁膜とから構成したことを特徴とす
る小型酸素電極。
15. A working electrode or working electrode having a predetermined shape formed by printing an Ag paste on one surface of a flexible film substrate and printing an Ag paste on another surface. And a plurality of pairs of reference electrodes, and a counter electrode on one surface formed into the above-mentioned predetermined shape, and a working electrode on the other surface or a predetermined intermediate portion excluding the tip portion of the working electrode and the reference electrode and the pad portion at the base. A small oxygen electrode comprising: an insulating film formed by printing a paste.
【請求項16】柔軟性のあるフィルム基板上の一方の面
にAgを蒸着して形成した所定形状の対極と他の面にA
gを蒸着して形成した所定形状の作用極あるいは作用極
と参照極の複数組みと、 上記所定形状に形成した一方の面の対極、および他の面
の作用極あるいは作用極と参照極の先端の部分および根
元のパッド部分を除いた所定中間部分に絶縁ペーストを
印刷して形成した絶縁膜とから構成したことを特徴とす
る小型酸素電極。
16. A counter electrode having a predetermined shape formed by evaporating Ag on one surface of a flexible film substrate and A on another surface.
g of a working electrode of a predetermined shape formed by vapor deposition or a plurality of sets of a working electrode and a reference electrode; a counter electrode of one surface formed in the predetermined shape; and a working electrode of another surface or a tip of a working electrode and a reference electrode. And an insulating film formed by printing an insulating paste on a predetermined intermediate portion excluding a base portion and a pad portion at the base.
【請求項17】上記絶縁膜で覆われない上記対極の面積
と上記作用極の面積との比を1対50以上としたことを
特徴とする請求項1ないし請求項16記載のいずれかの
小型酸素電極。
17. A small-sized device according to claim 1, wherein a ratio of an area of said counter electrode not covered with said insulating film to an area of said working electrode is 1:50 or more. Oxygen electrode.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6285728B1 (en) * 1996-08-08 2001-09-04 Kabushiki Kaisha Toshiba Control rod for nuclear reactor
JP2012032206A (en) * 2010-07-29 2012-02-16 National Institute Of Advanced Industrial & Technology Electrochemical analysis device
CN109557156A (en) * 2018-08-31 2019-04-02 国竤工业有限公司 Micro-fluidic electrochemica biological sensor and preparation method thereof

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