JPH11130554A - Joined structure of ceramic raw materials - Google Patents

Joined structure of ceramic raw materials

Info

Publication number
JPH11130554A
JPH11130554A JP29567997A JP29567997A JPH11130554A JP H11130554 A JPH11130554 A JP H11130554A JP 29567997 A JP29567997 A JP 29567997A JP 29567997 A JP29567997 A JP 29567997A JP H11130554 A JPH11130554 A JP H11130554A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
pin
joining
ceramic raw
groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP29567997A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuji Okuda
裕次 奥田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibiden Co Ltd filed Critical Ibiden Co Ltd
Priority to JP29567997A priority Critical patent/JPH11130554A/en
Publication of JPH11130554A publication Critical patent/JPH11130554A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a joined structure of ceramic raw materials, not generating cracks on the joined interface and strongly joining both the ceramic raw materials to each other by disposing an adhesive reservoir or an air vent groove on the surface of either of the depressed portion of the first ceramic raw material and the projected portion of the second ceramic raw material, when the projected portion of the second ceramic raw material is fit into the depressed portion of the first ceramic raw material through a joining agent. SOLUTION: This joined structure of ceramic raw materials is obtained by fitting the projected pin 3 of the second ceramic raw material 3 into the depressed fitting hole 4 of the first ceramic plate raw material 2 through a ceramic joining agent, and subsequently calcining the joined product. The ceramic pin 3 is provided with an air vent groove 7. The air vent groove is single, and disposed in such a length as its one end is exposed to the upper surface. The ceramic joining agent comprises the powder of the same ceramic as that of the ceramic raw material, a binder and water, and is coated on the joining surface and subsequently calcined. The formation of plural grooves not parallel to the insertion direction on the joining surface can enlarge the joining strength.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック素材の
接合構造に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic material joining structure.

【0002】[0002]

【従来の技術】セラミック構造材は、耐熱性、耐食性に
優れており、各種治具として使用されているが、セラミ
ックは加工が困難で複雑な形状の治具を一体的に製造す
ることが困難であるため、それぞれ部分的に製造した素
材を組合せ、接合したものが使用されている。
2. Description of the Related Art Ceramic structural materials are excellent in heat resistance and corrosion resistance and are used as various jigs. However, ceramics are difficult to process and it is difficult to integrally manufacture jigs having complicated shapes. Therefore, a material obtained by combining and joining partially manufactured materials is used.

【0003】接合構造の一例を図5に示す。セラミック
プレート22には凹部としてのピン嵌入孔24が設けら
れ、そのピン嵌入孔24には凸部としてのセラミックピ
ン23が嵌入されている。ピン嵌入孔24は大径部24
aと小径部24bとからなり、両者24a,24bの境
目は段部になっている。図5では、大径部24aのある
ほうが上側である。セラミックピン23は略円筒状であ
って、下半部25側にある端面には円形状の凸部26が
形成されている。そして、被嵌入部としてのセラミック
ピン23の下半部25は、ピン嵌入孔24に嵌入された
状態で、セラミック接合剤を介して接合されている。
FIG. 5 shows an example of a joining structure. The ceramic plate 22 is provided with a pin fitting hole 24 as a concave portion, and a ceramic pin 23 as a convex portion is fitted into the pin fitting hole 24. The pin insertion hole 24 is a large diameter portion 24
a and a small-diameter portion 24b, and the boundary between the two 24a and 24b is a step. In FIG. 5, the side with the large diameter portion 24a is the upper side. The ceramic pin 23 has a substantially cylindrical shape, and a circular convex portion 26 is formed on an end face on the lower half portion 25 side. The lower half portion 25 of the ceramic pin 23 as the fitting portion is joined via a ceramic joining agent in a state of being fitted into the pin fitting hole 24.

【0004】このような構成の接合構造21は、例えば
次のような手順で作製される。まず、板状の成形体とピ
ン状の成形体とをそれぞれ作製し、かつそれらを所定温
度で仮焼成する。その結果、ある程度焼結した状態のセ
ラミックプレート22及びセラミックピン23が得られ
る。次いで、セラミックプレート22にピン嵌入孔24
を加工形成するとともに、セラミックピン23に凸部2
6を加工形成する。そして、あらかじめ用意しておいた
セラミック接合剤を塗布し、この状態でセラミックピン
23をピン嵌入孔24に嵌入する。このような組み立て
作業が終了した後、再び焼成を行う。すると、セラミッ
クプレート22、セラミックピン23及びセラミック接
合剤がともに焼結する結果、セラミックプレート22と
セラミックピン23とが接合され一体化した接続構造2
1が得られる。
[0004] The joining structure 21 having such a configuration is manufactured, for example, in the following procedure. First, a plate-shaped molded body and a pin-shaped molded body are produced, respectively, and they are calcined at a predetermined temperature. As a result, the ceramic plate 22 and the ceramic pins 23 which have been sintered to some extent are obtained. Next, the pin fitting holes 24 are formed in the ceramic plate 22.
And the projections 2 are formed on the ceramic pins 23.
6 is formed. Then, a ceramic bonding agent prepared in advance is applied, and in this state, the ceramic pin 23 is fitted into the pin fitting hole 24. After such assembling work is completed, firing is performed again. Then, as a result of sintering the ceramic plate 22, the ceramic pin 23, and the ceramic bonding agent together, the connection structure 2 in which the ceramic plate 22 and the ceramic pin 23 are bonded and integrated.
1 is obtained.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術で
はセラミックプレート22とセラミックピン23との接
合部分の強度が弱かった。このため、接合部分に大きな
荷重や衝撃が加わると、接合部分の界面にクラックが生
じ、ピン嵌入孔24からセラミックピン23が容易に抜
けてしまうという問題があった。従って、高強度の接合
構造21を実現することができなかった。
However, in the prior art, the strength of the joint between the ceramic plate 22 and the ceramic pin 23 was low. For this reason, when a large load or impact is applied to the joint portion, cracks occur at the interface of the joint portion, and there is a problem that the ceramic pin 23 easily comes off from the pin fitting hole 24. Therefore, a high-strength joint structure 21 could not be realized.

【0006】本発明は上記の課題を解決するためなされ
たものであり、その目的は、接合強度に優れたセラミッ
ク素材の接合構造を提供することにある。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a joining structure of a ceramic material having excellent joining strength.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項1に記載の発明では、第1のセラミック素
材に設けられた凹部と、第2のセラミック素材に設けら
れた凸部とが嵌合され、かつ当該嵌合部が接合剤を介し
て接合されてなる接合構造において、前記嵌合部の凹部
及び凸部の少なくともいずれかの表面に溝が形成されて
なることを特徴とするセラミック素材の接合構造をその
要旨とする。
According to the first aspect of the present invention, a concave portion provided on a first ceramic material and a convex portion provided on a second ceramic material are provided. And a fitting structure in which the fitting portion is bonded via a bonding agent, wherein a groove is formed on at least one surface of the concave portion and the convex portion of the fitting portion. The gist is a joining structure of ceramic materials.

【0008】請求項2に記載の発明では、請求項1にお
いて、前記溝は、セラミック素材の嵌合部に嵌入方向と
平行でないように形成された接合剤溜まり溝であるとし
た。請求項3に記載の発明では、請求項1において、前
記溝は、セラミック素材の非嵌合部まで連続して設けら
れた空気抜き溝であるとした。
[0008] In the invention described in claim 2, in claim 1, the groove is a bonding agent accumulation groove formed so as not to be parallel to the fitting direction of the fitting portion of the ceramic material. According to a third aspect of the present invention, in the first aspect, the groove is an air vent groove continuously provided to a non-fitting portion of the ceramic material.

【0009】以下、本発明の「作用」を説明する。請求
項1〜3に記載の発明によると、溝が形成されているこ
とで、両セラミック素材の界面に適正な量の接合剤を保
持させることができる。そのため、両セラミック素材同
士をより強固に接合することができる。
Hereinafter, the "action" of the present invention will be described. According to the first to third aspects of the present invention, since the grooves are formed, an appropriate amount of the bonding agent can be held at the interface between the two ceramic materials. Therefore, both ceramic materials can be joined more firmly.

【0010】請求項2に記載の発明によると、接合剤溜
まり溝が形成されていることで、接合剤が溝内に埋まる
ことによるアンカー効果で、両セラミック素材同士をよ
り強固に接合することができる。
[0010] According to the second aspect of the present invention, since the bonding agent reservoir groove is formed, the two ceramic materials can be more firmly bonded to each other by the anchor effect due to the bonding agent being buried in the groove. it can.

【0011】請求項3に記載の発明によると、セラミッ
ク素材を嵌合する際、嵌合部に取り残されている空気が
空気抜き溝に沿って送り出されることにより、嵌合部の
接合剤が空気によって押し出されることがない。このた
め、界面において確実に接合剤が介在した状態となり、
両セラミック素材同士をよりいっそう強固に接合するこ
とができる。なお、これに併せて上記の接合剤溜まり溝
が形成されている場合には相乗的な作用が奏されるた
め、両者がさらに強固に接合された状態となる。
According to the third aspect of the present invention, when the ceramic material is fitted, the air left in the fitting portion is sent out along the air vent groove, so that the bonding agent at the fitting portion is air-filled. It is not extruded. For this reason, a bonding agent is reliably present at the interface,
Both ceramic materials can be joined more firmly. In addition, when the above-mentioned bonding agent reservoir groove is formed in addition to this, since a synergistic action is exerted, the two are more strongly bonded.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明のセラミック素材の
接合構造を具体化した一実施形態を図1,図2(a)に
基づき詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment embodying a joining structure of a ceramic material according to the present invention will be described below in detail with reference to FIGS. 1 and 2 (a).

【0013】実施形態の接合構造1は、第1のセラミッ
ク素材としてのセラミックプレート2と、第2のセラミ
ック素材としてのセラミックピン3とからなる。図1は
それらの部分破断斜視図であり、図2(a)は接合状態
における部分断面図である。セラミックプレート2の複
数の箇所には、凹部としてのピン嵌入孔4が設けられて
いる。ピン嵌入孔4は断面円形状である。ピン嵌入孔4
は大径部4aと小径部4bとからなり、両者4a,4b
の境目は段部になっている。図1,図2(a)では、大
径部4aのあるほうが上側(ピン嵌入側)である。セラ
ミックピン3は略円筒状であって、下半部5側にある端
面には円形状の凸部6が形成されている。そして、セラ
ミックピン3の下半部5は、ピン嵌入孔4に嵌入された
状態で、セラミック接合剤を介して接合されている。
The joint structure 1 of the embodiment comprises a ceramic plate 2 as a first ceramic material and a ceramic pin 3 as a second ceramic material. FIG. 1 is a partially cutaway perspective view thereof, and FIG. 2 (a) is a partial sectional view in a joined state. At a plurality of locations of the ceramic plate 2, pin insertion holes 4 as recesses are provided. The pin insertion hole 4 has a circular cross section. Pin insertion hole 4
Is composed of a large diameter portion 4a and a small diameter portion 4b.
Border is a step. In FIGS. 1 and 2A, the side with the large diameter portion 4a is the upper side (pin insertion side). The ceramic pin 3 has a substantially cylindrical shape, and a circular convex portion 6 is formed on an end face on the lower half portion 5 side. The lower half 5 of the ceramic pin 3 is joined via a ceramic joining agent in a state of being fitted into the pin fitting hole 4.

【0014】セラミックピン3は溝としての空気抜き溝
7を備えている。この空気抜き溝7はセラミックピン3
の外周面に形成されている。ここでは空気抜き溝7は1
本のみであって、セラミックピン3の嵌入方向(即ちセ
ラミックピン3の軸線方向)に対して平行にかつ直線的
に形成されている。また、空気抜き溝7の長さは、その
一端が完全嵌入時に上面から一部露出する程度にあらか
じめ設定されていることがよい。即ち、空気抜き溝7が
非嵌合部まで連続して設けられた状態となるからであ
る。
The ceramic pin 3 has an air vent groove 7 as a groove. This air vent groove 7 is used for the ceramic pin 3
Are formed on the outer peripheral surface of. Here, the air vent groove 7 is 1
Only the book is formed parallel and linear to the fitting direction of the ceramic pin 3 (that is, the axial direction of the ceramic pin 3). The length of the air vent groove 7 is preferably set in advance so that one end thereof is partially exposed from the upper surface when completely inserted. That is, the air vent groove 7 is provided continuously to the non-fitting portion.

【0015】セラミックプレート2やセラミックピン3
は、板状の成形体とピン状の成形体とをそれぞれ作製
し、かつそれらを所定温度で仮焼成することによって得
られる。その際の出発材料としては、セラミック粉末に
バインダや分散剤等を配合して混練したものが用いられ
る。使用されるセラミック粉末としては、例えばβ型炭
化珪素粉末、α型炭化珪素粉末、窒化珪素粉末、窒化ア
ルミニウム粉末、窒化ほう素粉末、ジルコニア粉末、ア
ルミナ粉末、ムライト粉末等が挙げられる。セラミック
粉末の平均粒径は、0.10μm〜0.50μm程度、
好ましくは0.15μm〜0.30μm程度がよい。
Ceramic plate 2 and ceramic pin 3
Can be obtained by preparing a plate-shaped molded body and a pin-shaped molded body, respectively, and calcining them at a predetermined temperature. As a starting material at that time, a material obtained by mixing a ceramic powder with a binder, a dispersant, and the like and kneading the mixture is used. Examples of the ceramic powder used include β-type silicon carbide powder, α-type silicon carbide powder, silicon nitride powder, aluminum nitride powder, boron nitride powder, zirconia powder, alumina powder, and mullite powder. The average particle size of the ceramic powder is about 0.10 μm to 0.50 μm,
Preferably, the thickness is about 0.15 μm to 0.30 μm.

【0016】例えば、セラミック粉末として炭化珪素粉
末を選択した場合には、仮焼成の温度は1500℃〜2
000℃程度に設定される。前記仮焼成によって得られ
るセラミックプレート2及びセラミックピン3は、少な
くとも接合面となる領域が研磨等によって面粗度(Rm
ax)が20μm〜100μm、好ましくは50μm前
後となるように処理されることがよい。このようにする
と、セラミック接合剤による接合作用を最大限に引き出
すことができるからである。
For example, when silicon carbide powder is selected as the ceramic powder, the calcination temperature is 1500 ° C. to 2 ° C.
It is set to about 000 ° C. In the ceramic plate 2 and the ceramic pins 3 obtained by the preliminary firing, at least a region to be a bonding surface has a surface roughness (Rm
ax) is preferably 20 μm to 100 μm, and more preferably about 50 μm. This is because the bonding operation of the ceramic bonding agent can be maximized.

【0017】この後、セラミックプレート2の所定箇所
には、ドリル等によってピン嵌入孔4が加工形成され
る。また、セラミックピン3の一方側の端部には凸部6
が加工形成されるとともに、下半部5の外周面には溝加
工によって前記空気抜き溝7が形成される。なお、前記
空気抜き溝7は仮焼成後に加工形成されるばかりでな
く、仮焼成前に形成されることも可能である。ただし、
焼成時の熱による変形が避けられるため、細かい溝であ
っても精度よく形成することができるという点におい
て、仮焼成後の形成のほうが好ましい。
Thereafter, a pin insertion hole 4 is formed in a predetermined portion of the ceramic plate 2 by a drill or the like. A protrusion 6 is provided at one end of the ceramic pin 3.
The air vent groove 7 is formed on the outer peripheral surface of the lower half portion 5 by groove processing. The air vent groove 7 can be formed not only after the preliminary firing but also before the preliminary firing. However,
Since deformation due to heat during firing can be avoided, formation after preliminary firing is more preferable in that fine grooves can be accurately formed.

【0018】また、空気抜き溝7はその深さが0.1mm
〜2mm、好ましくは0.5mm〜1.0mmであることがよ
い。この深さが浅すぎると、期待する効果が充分に得ら
れなくなるおそれがある。一方、この深さが深すぎる
と、セラミック素材2,3に強度低下をもたらす原因に
もつながりかねない。
The air vent groove 7 has a depth of 0.1 mm.
22 mm, preferably 0.5 mm0.51.0 mm. If this depth is too shallow, the expected effect may not be sufficiently obtained. On the other hand, if this depth is too deep, it may lead to a cause of a decrease in strength of the ceramic materials 2 and 3.

【0019】次に、セラミックプレート2とセラミック
ピン3とを接合するためのセラミック接合剤について説
明する。ここで使用されるセラミック接合剤は、セラミ
ック粉末にバインダ及び水を配合して混練したものであ
る。
Next, a ceramic bonding agent for bonding the ceramic plate 2 and the ceramic pin 3 will be described. The ceramic bonding agent used here is obtained by mixing and kneading a binder and water with ceramic powder.

【0020】セラミック粉末としては、先に列挙したβ
型炭化珪素粉末、α型炭化珪素粉末、窒化珪素粉末、窒
化アルミニウム粉末、窒化ほう素粉末、ジルコニア粉
末、アルミナ粉末、ムライト粉末等が使用される。この
場合、前記セラミックプレート2や前記セラミックピン
3に使用されているセラミック粉末と同種のものがセラ
ミック粉末として選択されることが好ましい。異種のも
のであると接合強度が低下するか、または接合が不能に
なるおそれがあるからである。
As the ceramic powder, the above-listed β
Type silicon carbide powder, α-type silicon carbide powder, silicon nitride powder, aluminum nitride powder, boron nitride powder, zirconia powder, alumina powder, mullite powder, and the like. In this case, it is preferable that the same type of ceramic powder as that used for the ceramic plate 2 and the ceramic pin 3 is selected as the ceramic powder. This is because if they are of different types, the bonding strength may be reduced, or bonding may not be possible.

【0021】また、セラミック粉末としては、前記セラ
ミックプレート2や前記セラミックピン3を構成するセ
ラミック粉末と同程度の平均粒径を有するものが選択さ
れることが好ましい。このように設定することにより、
接合強度の低下を防止することができるからである。
Further, as the ceramic powder, it is preferable to select a ceramic powder having the same average particle diameter as the ceramic powder constituting the ceramic plate 2 and the ceramic pins 3. By setting like this,
This is because a decrease in bonding strength can be prevented.

【0022】バインダとしてはアクリル系バインダが使
用され、その他にも例えばエチルセルロース、ヒドロキ
シエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ポ
リビニルブチラール等が使用される。前記バインダは、
セラミック粉末100重量部に対して、0.5重量部〜
5重量部ほど配合されていることがよい。この範囲に設
定することにより、接合剤としての好適な粘度が得られ
るからである。
As the binder, an acrylic binder is used. In addition, for example, ethyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, carboxymethyl cellulose, polyvinyl butyral, etc. are used. The binder is
0.5 parts by weight to 100 parts by weight of ceramic powder
About 5 parts by weight may be blended. This is because by setting the content in this range, a suitable viscosity as a bonding agent can be obtained.

【0023】また、前記水に代えて、例えばα−テルピ
ネオール、テトラヒドロフラン、ベンゼン等の有機溶媒
を分散剤として配合してもよい。前記水や分散剤等は、
セラミック粉末100重量部に対して、30重量部〜4
0重量部ほど配合されていることがよい。
In place of the water, an organic solvent such as α-terpineol, tetrahydrofuran or benzene may be blended as a dispersant. The water or dispersant, etc.,
30 parts by weight to 4 parts per 100 parts by weight of ceramic powder
It is preferable that about 0 parts by weight be blended.

【0024】なお、セラミック接合剤は、材料の混練・
調製時に充分に脱気処理されることが好ましい。このよ
うな前処理は、接合強度の向上にとって確実にプラスに
作用するからである。
[0024] The ceramic bonding agent is prepared by mixing and kneading the materials.
Preferably, it is sufficiently degassed during preparation. This is because such pretreatment surely has a positive effect on improving the bonding strength.

【0025】上記のように調製されたセラミック接合剤
は、嵌入を行う前にあらかじめ接合面に塗布される。即
ち、セラミックプレート2のピン嵌入孔4の内壁面及び
セラミックピン3の下半部5の外周面にそれぞれ塗布さ
れる。なお、このように両方側に塗布してもよく、いず
れか片方側のみに塗布してもよい。ただし、セラミック
接合剤を確実に供給するためには、前者の塗布方法を採
用することのほうが好ましい。
The ceramic bonding agent prepared as described above is applied to a bonding surface in advance before fitting. That is, it is applied to the inner wall surface of the pin insertion hole 4 of the ceramic plate 2 and the outer peripheral surface of the lower half portion 5 of the ceramic pin 3. The coating may be applied to both sides as described above, or may be applied to only one of the sides. However, in order to reliably supply the ceramic bonding agent, it is more preferable to adopt the former coating method.

【0026】次に、セラミックピン3の下半部5を上面
側開口からピン嵌入孔4に嵌入する。その際、嵌合部に
取り残されている空気は、空気抜き溝7に沿って後方
(上方)に送り出される。それにより嵌合部のセラミッ
ク接合剤が空気により押し出されることが防止される。
このため、界面において確実にセラミック接合剤が介在
した状態となる。また、空気抜き溝7があることによっ
て、ピン嵌入孔4と下半部5との界面に適量のセラミッ
ク接合剤が保持される。
Next, the lower half part 5 of the ceramic pin 3 is fitted into the pin fitting hole 4 from the upper opening. At this time, the air left in the fitting portion is sent out rearward (upward) along the air vent groove 7. This prevents the ceramic bonding agent in the fitting portion from being pushed out by air.
For this reason, a state is ensured in which the ceramic bonding agent is interposed at the interface. Further, since the air vent groove 7 is provided, an appropriate amount of the ceramic bonding agent is held at the interface between the pin fitting hole 4 and the lower half portion 5.

【0027】このような嵌入組み立て作業が終了した
後、セラミックプレート2、セラミックピン3及びセラ
ミック接合剤からなる組立体は、必要に応じて乾燥され
る。乾燥温度は、80℃〜200℃がよく、好ましくは
100℃〜130℃がよい。乾燥時間の短縮を図るため
に温度を高くしすぎると、界面にクラックが生じやすく
なる。一方、温度を低くしすぎると、乾燥時間が長くな
ったり、乾燥が不十分になったりするおそれがある。ま
た、乾燥時間は1時間〜6時間程度であることがよい。
After the fitting and assembling operation is completed, the assembly including the ceramic plate 2, the ceramic pins 3, and the ceramic bonding agent is dried as necessary. The drying temperature is preferably from 80C to 200C, and more preferably from 100C to 130C. If the temperature is too high in order to shorten the drying time, cracks tend to occur at the interface. On the other hand, if the temperature is too low, the drying time may be prolonged or the drying may be insufficient. The drying time is preferably about 1 hour to 6 hours.

【0028】加熱乾燥工程を経た前記組立体は、次いで
常圧下で本焼成される。すると、セラミックプレート
2、セラミックピン3及びセラミック接合剤がともに焼
結する結果、セラミックプレート2とセラミックピン3
とが接合され一体化する。その結果、所望の接合構造1
を得ることができる。
The assembly having undergone the heating and drying step is then subjected to main firing under normal pressure. Then, the ceramic plate 2, the ceramic pins 3 and the ceramic bonding agent are sintered together, so that the ceramic plate 2 and the ceramic pins 3 are sintered.
Are joined and integrated. As a result, the desired bonding structure 1
Can be obtained.

【0029】ここで、セラミック粉末として炭化珪素粉
末を選択した場合には、このときの焼成温度は1700
℃〜2000℃程度に設定されることがよい。焼成温度
が低すぎると炭化珪素粉末の焼結が不十分となり、高い
接合強度を得ることができないからである。一方、焼成
温度が高すぎると、セラミックプレート2やセラミック
ピン3自体に変形が生じるおそれがあるからである。
Here, when silicon carbide powder is selected as the ceramic powder, the firing temperature at this time is 1700.
It is preferable that the temperature is set to about 2000C to 2000C. If the firing temperature is too low, the sintering of the silicon carbide powder becomes insufficient, so that high bonding strength cannot be obtained. On the other hand, if the firing temperature is too high, the ceramic plate 2 and the ceramic pins 3 themselves may be deformed.

【0030】[0030]

【実施例1〜4、比較例】上記の手順に従って5種の接
合構造1,21を作製し、各々について強度測定試験を
行った結果を以下に記す。
Examples 1 to 4 and Comparative Examples Five types of bonding structures 1 and 21 were produced according to the above-mentioned procedure, and the results of strength measurement tests for each were described below.

【0031】図1,図2(a)に示される実施例1は、
セラミックピン3の下半部5の外周面に空気抜き溝7が
1つのみ形成されたものである。詳細は既に説明した通
りである。
Embodiment 1 shown in FIG. 1 and FIG.
Only one air vent groove 7 is formed on the outer peripheral surface of the lower half portion 5 of the ceramic pin 3. Details are as already explained.

【0032】なお、実施例1における各部の具体的な寸
法は次の通りである。セラミックプレート2の厚さ(即
ちピン嵌入孔4の長さ)は41mm、ピン嵌入孔4の大径
部4aの内径は30mmφ、小径部4bの内径は24mmφ
である。大径部4aの長さは19mm、小径部4bの長さ
は22mmφである。セラミックピン3の全長は43mm、
凸部6の高さは7mmである。セラミックピン3の外径は
30mmφ、凸部6の部分の外径は24mmφである。空気
抜き溝7の長さは22mm、深さは1.0mmである。ま
た、実施例1ではセラミックプレート2及びセラミック
ピン3の形成用のセラミック粉末として、いずれも平均
粒径が0.2μm のβ型炭化珪素粉末を選択した。ま
た、セラミック接合剤として、β型炭化珪素粉末100
重量部に対して、アクリル系バインダを3重量部、水を
30重量部配合して混練したものを用いた。
The specific dimensions of each part in the first embodiment are as follows. The thickness of the ceramic plate 2 (that is, the length of the pin insertion hole 4) is 41 mm, the inner diameter of the large diameter portion 4a of the pin insertion hole 4 is 30 mmφ, and the inner diameter of the small diameter portion 4b is 24 mmφ.
It is. The length of the large diameter portion 4a is 19 mm, and the length of the small diameter portion 4b is 22 mmφ. The total length of the ceramic pin 3 is 43 mm,
The height of the projection 6 is 7 mm. The outer diameter of the ceramic pin 3 is 30 mmφ, and the outer diameter of the projection 6 is 24 mmφ. The length of the air vent groove 7 is 22 mm and the depth is 1.0 mm. In Example 1, β-type silicon carbide powder having an average particle diameter of 0.2 μm was selected as ceramic powder for forming the ceramic plate 2 and the ceramic pins 3. Further, as a ceramic bonding agent, β-type silicon carbide powder 100
A mixture obtained by mixing and kneading 3 parts by weight of an acrylic binder and 30 parts by weight of water with respect to parts by weight was used.

【0033】図2(b)に示される実施例2では、セラ
ミックピン3の下半部5の外周面にではなく、ピン嵌入
孔4の大径部4aの内周面に溝8が形成されている。前
記溝8は接合剤溜まり溝8であって、セラミックピン3
の嵌入方向に対して直交している。また、前記接合剤溜
まり溝8は複数本(同図では3本)であって、等間隔に
形成されている。接合剤溜まり溝8の深さは0.5mm〜
1.0mmがよく、具体的には0.75mmに設定されてい
る。
In the embodiment 2 shown in FIG. 2B, the groove 8 is formed not on the outer peripheral surface of the lower half 5 of the ceramic pin 3 but on the inner peripheral surface of the large diameter portion 4a of the pin insertion hole 4. ing. The groove 8 is a bonding agent reservoir groove 8, and the ceramic pin 3
Is perpendicular to the fitting direction of Further, the number of the bonding agent accumulation grooves 8 is three (in the figure, three), and they are formed at equal intervals. The depth of the groove 8 is 0.5 mm or more.
1.0 mm is preferable, and specifically, it is set to 0.75 mm.

【0034】図3(a)に示される実施例3では、セラ
ミックピン3の下半部5の外周面に溝9が形成されてい
る。前記溝9は接合剤溜まり溝9であって、セラミック
ピン3の嵌入方向に対して直交している。また、前記接
合剤溜まり溝9は複数本(同図では3本)であって、等
間隔に形成されている。接合剤溜まり溝9の深さは0.
5mm〜1.5mmがよく、具体的には1.0mmに設定され
ている。
In the third embodiment shown in FIG. 3A, a groove 9 is formed on the outer peripheral surface of the lower half 5 of the ceramic pin 3. The groove 9 is a bonding agent reservoir groove 9 and is orthogonal to the fitting direction of the ceramic pin 3. Further, the number of the bonding agent accumulation grooves 9 is three (in the figure, three) and formed at equal intervals. The depth of the bonding agent storing groove 9 is 0.
5 mm to 1.5 mm is preferable, and specifically, it is set to 1.0 mm.

【0035】図3(b)に示される実施例4は、実施例
1の特徴と実施例3の特徴とを兼ね備えたものである。
即ち、セラミックピン3の下半部5の外周面には、1本
の空気抜き溝7と3本の接合剤溜まり溝9とがそれぞれ
形成されている。空気抜き溝7と接合剤溜まり溝9とは
直交する位置関係にある。
The fourth embodiment shown in FIG. 3B has both the features of the first embodiment and the features of the third embodiment.
That is, on the outer peripheral surface of the lower half portion 5 of the ceramic pin 3, one air vent groove 7 and three bonding agent accumulation grooves 9 are formed, respectively. The air release groove 7 and the bonding agent reservoir groove 9 are in a positional relationship orthogonal to each other.

【0036】上記各実施例2〜4は、実施例1の接合構
造1と溝7,8,9の本数や形成位置等が相違するのみ
であるため、それ以外の各部の寸法や組成については全
く等しいものとなっている。
The above embodiments 2 to 4 are different from the joint structure 1 of the embodiment 1 only in the number of grooves 7, 8 and 9 and the formation positions. It is exactly the same.

【0037】比較例は、先に従来技術として例示した図
5の接合構造21における接合構造である。比較例は、
セラミックプレート22及びセラミックピン23のいず
れにも溝が形成されていない点で、実施例1〜4と相違
している。なお、溝7,8,9が無い点を除き、比較例
の各部の寸法や組成は実施例1〜4のそれと全く等しい
ものとなっている。
The comparative example is a joining structure in the joining structure 21 shown in FIG. Comparative examples are
Embodiment 4 is different from Embodiments 1 to 4 in that no groove is formed in any of the ceramic plate 22 and the ceramic pin 23. Except that the grooves 7, 8, and 9 are not provided, the dimensions and compositions of the respective parts of the comparative example are exactly the same as those of Examples 1 to 4.

【0038】あらかじめ上記の5種の接合構造1,21
を作製した後、強度測定試験を行った。前記装置の原理
は、図4に示される通りである。即ち、離間して配置さ
れた一対の固定ブロック11上には、被検体である接合
構造1,21が裏返しにして載置される。接合構造1,
21を構成するセラミックプレート2の上方には、押圧
ヘッド12が配置されている。この押圧ヘッド12は、
スイッチが入れられると所定スピードで下動する。ここ
ではそのスピードを0.5mm/分に設定した。
The above five types of bonding structures 1, 21
, And a strength measurement test was performed. The principle of the device is as shown in FIG. That is, the joint structures 1 and 21 as the subject are placed upside down on the pair of fixed blocks 11 arranged apart from each other. Joint structure 1,
The pressing head 12 is disposed above the ceramic plate 2 that constitutes 21. This pressing head 12
When the switch is turned on, it moves down at a predetermined speed. Here, the speed was set to 0.5 mm / min.

【0039】そして、押圧ヘッド12に対応する位置に
セラミックピン3を位置合わせし、この状態で押圧ヘッ
ド12を下動させることにより、セラミックピン3に嵌
入方向とは反対方向の荷重を付加した。その結果、接合
部分の界面にあるセラミック接合剤にクラックが入る時
点の押圧力の大きさ(kgf/cm2 )を各々測定した。この
値が大きいということは、クラックが生じにくくなって
いることを意味し、さらには接合部分の強度が高くなっ
ていることを意味する。
Then, the ceramic pin 3 was positioned at a position corresponding to the pressing head 12, and the pressing head 12 was moved downward in this state, so that a load was applied to the ceramic pin 3 in a direction opposite to the fitting direction. As a result, the magnitude (kgf / cm 2 ) of the pressing force at the time when a crack entered the ceramic bonding agent at the interface of the bonding portion was measured. The fact that this value is large means that cracks are unlikely to occur, and that the strength of the joint is high.

【0040】上記の試験を行なったところ、実施例1で
は1500kgf/cm2 、実施例2では1300kgf/cm2
実施例3では1500kgf/cm2 、実施例4では2000
kgf/cm2 という値が得られた。それに対し、比較例では
900kgf/cm2 という低い値に止まった。つまり、実施
例1〜4はいずれも比較例に勝るものとなっていた。特
に、実施例4では比較例の2倍以上の値を示し、極めて
接合部分の強度に優れたものとなっていることが明らか
となった。実施例1及び実施例3は実施例4に次いで高
い値となり、これらにおいてはほぼ同程度の接合強度が
確保されていた。
As a result of the above test, it was found that in Example 1, 1500 kgf / cm 2 , in Example 2, 1300 kgf / cm 2 ,
In Example 3, 1500 kgf / cm 2 , and in Example 4, 2000 kgf / cm 2
A value of kgf / cm 2 was obtained. On the other hand, in Comparative Example, the value was as low as 900 kgf / cm 2 . That is, Examples 1 to 4 were all superior to Comparative Examples. In particular, in Example 4, the value was twice or more the value of the comparative example, and it was clear that the strength of the bonded portion was extremely excellent. Example 1 and Example 3 had the next highest values after Example 4, and in these, almost the same bonding strength was secured.

【0041】さて、以下に実施例1〜4の特徴的な作用
効果について列挙する。 (1) 実施例1〜4は、いずれも溝7,8,9を形成
したという共通の特徴を有している。従って、セラミッ
クプレート2とセラミックピン3との界面に適当量のセ
ラミック接合剤が保持される。そのため、両者2,3同
士をより強固に接合することができる。よって、接合部
分に大きな荷重や衝撃が加わわったとしても、すぐに界
面にクラックが生じるというような不具合が起こらな
い。このため、ピン嵌入孔4からセラミックピン3が容
易に抜けてしまうという問題も解消され、高強度の接合
構造1を実現することができる。
Now, the characteristic effects of the first to fourth embodiments will be enumerated below. (1) Examples 1 to 4 all have a common feature that grooves 7, 8, and 9 are formed. Therefore, an appropriate amount of the ceramic bonding agent is held at the interface between the ceramic plate 2 and the ceramic pins 3. Therefore, both 2 and 3 can be joined more firmly. Therefore, even if a large load or impact is applied to the joint portion, a problem that a crack is immediately generated at the interface does not occur. Therefore, the problem that the ceramic pin 3 easily comes off from the pin insertion hole 4 is also solved, and the high-strength bonding structure 1 can be realized.

【0042】(2) 実施例2,3では、接合剤溜まり
溝8,9が複数本形成されている。このため、界面に保
持されるセラミック接合剤の量がより増加し、アンカー
効果も増し、セラミックプレート2とセラミックピン3
とをより強固に接合することができる。
(2) In the second and third embodiments, a plurality of bonding agent reservoir grooves 8 and 9 are formed. For this reason, the amount of the ceramic bonding agent held at the interface increases, the anchor effect also increases, and the ceramic plate 2 and the ceramic pin 3
Can be more firmly joined.

【0043】(3) 実施例1では、セラミックピン3
をピン嵌入孔4に嵌入する際、空気抜き溝7の存在によ
って、嵌合部内に取り残されている空気が除去される。
このため、界面において確実にセラミック接合剤が介在
した状態となり、セラミックプレート2とセラミックピ
ン3とをより強固に接合することができる。
(3) In the first embodiment, the ceramic pins 3
When air is inserted into the pin insertion hole 4, air remaining in the engagement portion is removed due to the presence of the air vent groove 7.
Therefore, the ceramic bonding agent is reliably interposed at the interface, and the ceramic plate 2 and the ceramic pin 3 can be bonded more firmly.

【0044】(4) また、実施例4は(2)及び
(3)の作用が相乗的に奏される結果、両者2,3同士
をさらに強固に接合することができる。よって、強度に
よりいっそう優れた接合構造1を実現することができ
る。
(4) In the fourth embodiment, the effects of (2) and (3) are synergistically achieved, so that the two and three can be more firmly joined to each other. Therefore, it is possible to realize a bonding structure 1 having better strength.

【0045】なお、本発明は上記実施形態の各実施例1
〜4に限定されることはなく、例えば次のように変更す
ることが可能である。 ◎ 空気抜き溝7は、実施例1や実施例4のように、セ
ラミックピン3の嵌入方向に対して平行に形成されてい
なくても足りるため、斜めに形成されていてもよい。
The present invention is directed to each example 1 of the above embodiment.
The number is not limited to 4, and can be changed as follows, for example. The air vent groove 7 does not have to be formed parallel to the fitting direction of the ceramic pin 3 as in the first and fourth embodiments, but may be formed diagonally.

【0046】◎ 空気抜き溝7は、セラミックプレート
2のピン嵌入孔4の内周面側に形成されてもよい。 ◎ 空気抜き溝7は1本だけ形成されるのではなく、複
数(2,3,4,5…)本形成されていることがよい。
複数本であると、界面に保持されるセラミック接合剤の
量がよりいっそう増加することに加え、空気の抜け出し
もより確実なものとなるからである。
The air vent groove 7 may be formed on the inner peripheral surface side of the pin fitting hole 4 of the ceramic plate 2. ◎ It is preferable that a plurality of (2, 3, 4, 5,...) Air vent grooves 7 are formed instead of only one.
This is because if the number is plural, the amount of the ceramic bonding agent held at the interface is further increased, and moreover, the escape of air becomes more reliable.

【0047】◎ 実施例2,3,4において、接合剤溜
まり溝8,9の本数を1本または2本というように減ら
した構成としてもよく、逆に4本、5本というように増
やした構成としてもよい。
In the second, third and fourth embodiments, the number of the bonding agent reservoir grooves 8 and 9 may be reduced to one or two, and conversely increased to four or five. It may be configured.

【0048】◎ 各実施例において、溝7,8,9の断
面形状を、例えば略V字状またはR形状に変更すること
も勿論許容される。 ◎ 空気抜き溝7や接合剤溜まり溝9は、凸部6の外周
面にも形成されていることがよい。また、接合剤溜まり
溝8は、大径部4aの内周面のみならず小径部4bの内
周面にも形成されていることがよい。
In each embodiment, it is, of course, permissible to change the cross-sectional shape of the grooves 7, 8, 9 into, for example, a substantially V shape or an R shape. The air vent groove 7 and the bonding agent reservoir groove 9 are preferably formed also on the outer peripheral surface of the projection 6. Further, the bonding agent reservoir groove 8 is preferably formed not only on the inner peripheral surface of the large diameter portion 4a but also on the inner peripheral surface of the small diameter portion 4b.

【0049】◎ 第1のセラミック素材は必ずしも板状
でなくてもよく、また、第2のセラミック素材は必ずし
もピン状でなくてもよい。 ◎ 接合剤として、樹脂系接着剤を用いてもよい。
The first ceramic material does not necessarily have to be plate-shaped, and the second ceramic material does not necessarily have to be pin-shaped. A resin adhesive may be used as the bonding agent.

【0050】ここで、特許請求の範囲に記載された技術
的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される
技術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 (1) 請求項3において、前記空気抜き溝は複数本で
あることを特徴とするセラミック素材の接合構造。この
構成であると、複数の空気抜き溝によって確実に空気が
抜けることで、よりいっそう強度に優れたものとなる。
Here, in addition to the technical ideas described in the claims, the technical ideas grasped by the above-described embodiments are listed below together with their effects. (1) The structure according to claim 3, wherein the number of the air vent grooves is plural. With this configuration, the air is reliably released by the plurality of air vent grooves, so that the strength is further improved.

【0051】(2) 請求項3において、前記空気抜き
溝は、その一端が完全嵌合時に一部露出する程度の長さ
に形成されていることを特徴とするセラミック素材の接
合構造。この構成であると、露出しているため確実に空
気が抜けることで、接合部界面の接合剤が押し出されて
しまうことがなくなり、よりいっそう強度に優れたもの
となる。
(2) The structure for joining ceramic materials according to claim 3, wherein the air vent groove is formed to have a length such that one end thereof is partially exposed when completely fitted. With this configuration, since the air is surely evacuated due to the exposure, the bonding agent at the interface of the bonding portion is not extruded, and the strength is further improved.

【0052】(3) 請求項1乃至3のいずれか1項に
おいて、前記凹部は内周面に段部を備えるピン嵌入用の
貫通孔であることを特徴とするセラミック素材の接合構
造。 (4) 請求項2,3において、前記溝は第2のセラミ
ック素材側に形成されていることを特徴とするセラミッ
ク素材の接合構造。この構成であると、第1のセラミッ
ク素材側に溝を形成する場合に比べて、形成作業を簡単
に行うことができる。
(3) The ceramic material joining structure according to any one of claims 1 to 3, wherein the recess is a through hole for pin insertion having a step on the inner peripheral surface. (4) The structure for joining ceramic materials according to claim 2 or 3, wherein the groove is formed on a second ceramic material side. With this configuration, the forming operation can be performed more easily than in the case where a groove is formed on the first ceramic material side.

【0053】(5) 請求項1乃至3のいずれか1項に
おいて、前記溝は仮焼成後に加工形成されることを特徴
とするセラミック素材の接合構造。この構成であると、
焼成時の熱による変形が避けられるため、細かい溝であ
っても精度よく形成することができる。
(5) The joining structure of ceramic materials according to any one of claims 1 to 3, wherein the groove is formed after calcination. With this configuration,
Since deformation due to heat at the time of firing is avoided, even a fine groove can be accurately formed.

【0054】なお、本明細書中において使用した技術用
語を次のように定義する。 「セラミック粉末: β型炭化珪素粉末、α型炭化珪素
粉末、窒化珪素粉末、窒化アルミニウム粉末、窒化ほう
素粉末、ジルコニア粉末、アルミナ粉末、ムライト粉末
等をいう。」
The technical terms used in the present specification are defined as follows. “Ceramic powder: refers to β-type silicon carbide powder, α-type silicon carbide powder, silicon nitride powder, aluminum nitride powder, boron nitride powder, zirconia powder, alumina powder, mullite powder, and the like.”

【0055】[0055]

【発明の効果】以上詳述したように、請求項1〜3に記
載の発明によれば、接合強度に優れたセラミック素材の
接合構造を提供することができる。
As described in detail above, according to the first to third aspects of the present invention, it is possible to provide a joining structure of a ceramic material having excellent joining strength.

【0056】特に請求項2に記載の発明によれば、界面
に保持されるセラミック接合剤の量がさらに増加するた
め、両セラミック素材同士をよりいっそう強固に接合す
ることができる。請求項3に記載の発明によれば、嵌入
時にセラミック接合剤の脱気が図られるため、両セラミ
ック素材同士をよりいっそう強固に接合することができ
る。
In particular, according to the second aspect of the present invention, since the amount of the ceramic bonding agent held at the interface is further increased, the two ceramic materials can be bonded more firmly. According to the third aspect of the present invention, since the ceramic bonding agent is degassed at the time of fitting, both ceramic materials can be bonded more firmly.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施形態のセラミックピン(実施例1)及びセ
ラミックプレートを示す部分破断斜視図。
FIG. 1 is a partially cutaway perspective view showing a ceramic pin (Example 1) and a ceramic plate of an embodiment.

【図2】(a)は実施例1のセラミックピンを接合した
ときの様子を示す部分断面図、(b)は実施例2のセラ
ミックピンを接合したときの様子を示す部分断面図。
FIG. 2A is a partial cross-sectional view illustrating a state when the ceramic pins according to the first embodiment are joined, and FIG. 2B is a partial cross-sectional view illustrating a state when the ceramic pins according to the second embodiment are joined.

【図3】(a)は実施例3のセラミックピンを接合した
ときの様子を示す部分断面図、(b)は実施例4のセラ
ミックピンを接合したときの様子を示す部分断面図。
3A is a partial cross-sectional view illustrating a state when a ceramic pin according to a third embodiment is joined, and FIG. 3B is a partial cross-sectional view illustrating a state when the ceramic pin according to the fourth embodiment is joined.

【図4】強度試験の方法を説明するための概略断面図。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view for explaining a method of a strength test.

【図5】従来例のセラミックピンを接合したときの様子
を示す部分断面図。
FIG. 5 is a partial cross-sectional view showing a state where a conventional ceramic pin is joined.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…接続構造、2…第1のセラミック素材としてのセラ
ミックプレート、3…第2のセラミック基材としてのセ
ラミックピン、4…凹部としてのピン嵌入孔、5…凸部
としてのセラミックピンの下半部、7…溝としての空気
抜き溝、8,9…溝としての接合剤溜まり溝。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Connection structure, 2 ... Ceramic plate as 1st ceramic material, 3 ... Ceramic pin as 2nd ceramic base, 4 ... Pin insertion hole as concave part, 5 ... Lower half of ceramic pin as convex part Parts, 7 ... air vent grooves as grooves, 8, 9 ... bonding agent accumulation grooves as grooves.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】第1のセラミック素材に設けられた凹部
と、第2のセラミック素材に設けられた凸部とが嵌合さ
れ、かつ当該嵌合部が接合剤を介して接合されてなる接
合構造において、 前記嵌合部の凹部及び凸部の少なくともいずれかの表面
に溝が形成されてなることを特徴とするセラミック素材
の接合構造。
A joint formed by fitting a concave portion provided on a first ceramic material and a convex portion provided on a second ceramic material, and connecting the fitted portion via a bonding agent. In the structure, a groove is formed on at least one of the surface of the concave portion and the convex portion of the fitting portion.
【請求項2】前記溝は、セラミック素材の嵌合部に嵌入
方向と平行でないように形成された接合剤溜まり溝であ
ることを特徴とする請求項1に記載のセラミック素材の
接合構造。
2. The ceramic material joining structure according to claim 1, wherein the groove is a joining agent accumulation groove formed so as not to be parallel to a fitting direction of the fitting portion of the ceramic material.
【請求項3】前記溝は、セラミック素材の非嵌合部まで
連続して設けられた空気抜き溝であることを特徴とする
請求項1に記載のセラミック素材の接合構造。
3. The ceramic material joining structure according to claim 1, wherein the groove is an air vent groove continuously provided to a non-fitting portion of the ceramic material.
JP29567997A 1997-10-28 1997-10-28 Joined structure of ceramic raw materials Pending JPH11130554A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29567997A JPH11130554A (en) 1997-10-28 1997-10-28 Joined structure of ceramic raw materials

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29567997A JPH11130554A (en) 1997-10-28 1997-10-28 Joined structure of ceramic raw materials

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11130554A true JPH11130554A (en) 1999-05-18

Family

ID=17823792

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29567997A Pending JPH11130554A (en) 1997-10-28 1997-10-28 Joined structure of ceramic raw materials

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11130554A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7682273B2 (en) * 2003-03-06 2010-03-23 Borgwarner Inc. Power transmission chain with ceramic joint components
JP2017090797A (en) * 2015-11-16 2017-05-25 日本電気硝子株式会社 Method for manufacturing wavelength conversion element, wavelength conversion element, and light emitting device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7682273B2 (en) * 2003-03-06 2010-03-23 Borgwarner Inc. Power transmission chain with ceramic joint components
JP2017090797A (en) * 2015-11-16 2017-05-25 日本電気硝子株式会社 Method for manufacturing wavelength conversion element, wavelength conversion element, and light emitting device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW200924851A (en) Nozzle member and process for producing the same
JP3469999B2 (en) Adsorber manufacturing method
CN1133496A (en) Ceramic film structure body and making method thereof
JP2008041927A (en) Manufacturing method of electrostatic chuck
EP2004373B1 (en) Method for producing a joined sintered body
JPH11130554A (en) Joined structure of ceramic raw materials
CN107835796B (en) Porous ceramic structure
US7633738B2 (en) Electrostatic chuck and manufacturing method thereof
JP2713688B2 (en) Manufacturing method of ceramic joined body
JP2802013B2 (en) Ceramic joining method
JP7265941B2 (en) zygote
JP2005279788A (en) Vacuum chuck for grinding/polishing
JP2019094233A (en) Method for producing ceramic joined body
JP2882996B2 (en) Jig for manufacturing ceramic joined body and method for manufacturing ceramic joined body using the jig
JP2571108B2 (en) Method for producing carbon member for fuel cell
JP3228546B2 (en) Vacuum suction device and manufacturing method thereof
JP4259647B2 (en) Ceramic firing jig and manufacturing method thereof
WO2008023766A1 (en) Method for producing silicon carbide member
JP5302689B2 (en) Manufacturing method of aluminum nitride joined body
JP3099043B2 (en) Jig for ceramic firing and manufacturing method thereof
JP2801947B2 (en) Ceramic joint
JP2005112647A (en) Tool for firing ceramic product and its manufacturing method
JP7125304B2 (en) METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC SUBSTRATE FOR FUEL CELL MEMBER
JPH10272614A (en) Manufacture of bonded sintered product of high-purity ceramics
JP2738900B2 (en) Manufacturing method of ceramic joined body

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Effective date: 20040106

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02