JPH11126313A - Magneto-resistive element, magneto-resistive head and magnetic disk device using the same - Google Patents

Magneto-resistive element, magneto-resistive head and magnetic disk device using the same

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JPH11126313A
JPH11126313A JP29281297A JP29281297A JPH11126313A JP H11126313 A JPH11126313 A JP H11126313A JP 29281297 A JP29281297 A JP 29281297A JP 29281297 A JP29281297 A JP 29281297A JP H11126313 A JPH11126313 A JP H11126313A
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JP
Japan
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film
head
magneto
magnetoresistive
magnetic
Prior art date
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Application number
JP29281297A
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Japanese (ja)
Inventor
Noboru Morita
昇 森田
Hiroyuki Ohashi
啓之 大橋
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NEC Ibaraki Ltd
Original Assignee
NEC Ibaraki Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic disk device of a high recording density by eliminating the generation of side lobes which are the off-track characteristic intrinsic to an MR head. SOLUTION: Antiferromagnetic films 10, 11 for single magnetic domaining of MR films 9 are joined to both right and left sides of the MR films 9. The intensity of the exchange coupled magnetic field (Hex) between the MR films 9 and the antiferromagnetic films 10, 11 is specified to >=135 oersteds. As a result, the side lobes of the off-track characteristics are decreased and the crosstalks from adjacent tracks are decreased and, therefore, high-density recording and reproducing may be embodied.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気抵抗効果素
子,磁気抵抗効果型ヘッドおよびこれを用いた磁気ディ
スク装置に関する。
The present invention relates to a magnetoresistive element, a magnetoresistive head, and a magnetic disk drive using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種の磁気抵抗効果素子(以
下、MR素子という)を用いた磁気抵抗効果型ヘッド
(以下、MRヘッドという)は、磁気抵抗効果素子を用
いて磁気記録媒体から放出される磁界を検出して記録情
報を再生する再生(読み出し)専用の磁気ヘッドであ
る。そして、通常、このMRヘッドと記録(書き込み)
用の誘導型磁気ヘッドとを組み合わせることにより、誘
導型・MR型複合型磁気ヘッド(以下、複合型磁気ヘッ
ドという)として磁気ディスク装置に搭載されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a magnetoresistive head (hereinafter referred to as an MR head) using a magnetoresistive element of this type (hereinafter referred to as an MR element) emits light from a magnetic recording medium using the magnetoresistive element. It is a magnetic head dedicated to reproduction (reading) for detecting recorded magnetic fields and reproducing recorded information. Usually, this MR head and recording (writing)
By combining the magnetic head with an inductive magnetic head, the magnetic head is mounted on a magnetic disk device as an inductive / MR composite magnetic head (hereinafter, referred to as a composite magnetic head).

【0003】図2は、従来の複合型磁気ヘッドの一例を
記録媒体対向面から示す正面図である。図2を参照する
と、複合型磁気ヘッド1は、MRヘッド2の上に誘導型
磁気ヘッド3を積層して構成されている。
FIG. 2 is a front view showing an example of a conventional composite magnetic head as viewed from a surface facing a recording medium. Referring to FIG. 2, the composite magnetic head 1 is configured by laminating an inductive magnetic head 3 on an MR head 2.

【0004】MRヘッド2には、スライダ基板4上に下
シールド5が構成され、その上には絶縁層を構成する下
ギャップ6が積層されている。そして、この下ギャップ
6上には、SALバイアス膜(Soft Adjacent Layer:近
接軟磁性層)7,スペーサ膜8,MR膜9が順次積層さ
れており、MR膜9の左右両側には、MR膜を単磁区化
するための反強磁性膜10,反強磁性膜11が接合され
ている。
In the MR head 2, a lower shield 5 is formed on a slider substrate 4, and a lower gap 6 forming an insulating layer is laminated thereon. On the lower gap 6, a SAL bias film (Soft Adjacent Layer: proximity soft magnetic layer) 7, a spacer film 8, and an MR film 9 are sequentially laminated. An antiferromagnetic film 10 and an antiferromagnetic film 11 for making the single magnetic domain are joined.

【0005】さらに、その上には電極膜12,電極膜1
3が積層されてMR膜9と接合され、このMR膜9およ
び電極膜12,13の上には絶縁層を構成する上ギャッ
プ14と上シールド15とが積層されている。
Further, an electrode film 12, an electrode film 1
The upper gap 14 and the upper shield 15 that constitute an insulating layer are laminated on the MR film 9 and the electrode films 12 and 13.

【0006】一方、誘導型磁気ヘッド3には、MRヘッ
ド2の上シールド15を下コアとして兼用し、その上に
書き込みギャップ16,コイルおよび絶縁層(図示せ
ず),上コア17,保護膜18を順次積層して構成され
ている。
On the other hand, in the induction type magnetic head 3, the upper shield 15 of the MR head 2 is also used as a lower core, and a write gap 16, a coil and an insulating layer (not shown), an upper core 17, and a protective film are formed thereon. 18 are sequentially laminated.

【0007】このようにして構成された複合型磁気ヘッ
ド1は、記録時には誘導型磁気ヘッド3のコイルに記録
電流を流すことにより、上下コア17,15間のギャッ
プ16に記録磁界が発生し、この磁界で記録媒体に対す
る記録が行われる。また、再生時にはMRヘッド2の電
極膜12,13を介してMR膜9にセンス電流を流して
磁気記録媒体上のトラック上を通過することにより、書
き込まれている磁気情報からの放出磁界の強さに応じて
MR膜9の両端の電圧が変調され、磁気情報として再生
される。
In the composite magnetic head 1 thus constructed, a recording magnetic field is generated in the gap 16 between the upper and lower cores 17 and 15 by applying a recording current to the coil of the induction type magnetic head 3 during recording. Recording on the recording medium is performed by this magnetic field. At the time of reproduction, a sense current flows through the MR film 9 via the electrode films 12 and 13 of the MR head 2 and passes over the track on the magnetic recording medium, thereby increasing the intensity of the magnetic field emitted from the written magnetic information. The voltage at both ends of the MR film 9 is modulated in accordance with this, and reproduced as magnetic information.

【0008】次に、MRヘッドのオフトラック特性、す
なわちMRヘッドが磁気記録媒体上のトラックからの位
置ずれを生じた際の再生出力の変化について説明する。
図3は、MRヘッドよる再生およびオフトラック特性を
説明する図であって、図3(a)は、MRヘッドにて再
生を行う状態を示す平面図である。また、図3(b)
は、MRヘッドのオフトラック特性を示す図である。
Next, the off-track characteristic of the MR head, that is, the change in the reproduction output when the MR head is displaced from the track on the magnetic recording medium will be described.
FIG. 3 is a diagram for explaining reproduction and off-track characteristics by the MR head, and FIG. 3A is a plan view showing a state in which reproduction is performed by the MR head. FIG. 3 (b)
FIG. 3 is a diagram showing off-track characteristics of an MR head.

【0009】まず、図3(a)を参照すると、MRヘッ
ド2は、電極膜12,13間のMR膜9の感応部20が
記録媒体上に記録されたトラック19の真上に達したと
きに最大の再生出力を示す。また、MRヘッド2が記録
媒体の移動方向に対して直角な方向、すなわちトラック
幅方向へ移動したときは、記録されたトラック19は、
MR膜9の感応部20の位置からずれ、MR膜9の電極
膜12,13との接合部である非感応部21もしくは非
感応部22の方へ移動するため、MRヘッド2の再生出
力は低下する。
First, referring to FIG. 3A, the MR head 2 moves when the sensitive portion 20 of the MR film 9 between the electrode films 12 and 13 reaches just above the track 19 recorded on the recording medium. Shows the maximum playback output. When the MR head 2 moves in a direction perpendicular to the moving direction of the recording medium, that is, in the track width direction, the recorded track 19 becomes
The MR head 9 shifts from the position of the sensitive part 20 of the MR film 9 and moves toward the non-sensitive part 21 or the non-sensitive part 22, which is the junction between the MR film 9 and the electrode films 12 and 13. descend.

【0010】なお、図3(a)および同図(b)では、
MRヘッド2がずれる方向を、図中、右側方向へのずれ
を符号(+)で示し、左側方向へのずれを符号(−)で
示すものとする。
In FIGS. 3A and 3B, FIG.
In the figure, the direction in which the MR head 2 shifts is indicated by a sign (+) for a rightward shift, and the sign (-) is a shift in the leftward direction.

【0011】次に、図3(b)を参照すると、MRヘッ
ド2の再生出力は、MRヘッドのセンターが記録媒体の
トラックセンター上にあるときにピーク値に達し、トラ
ックセンターからずれるに従って減少する特性(オフト
ラック特性)を有している。そして、このMRヘッドの
オフトラック特性には、図に示すようなサイドローブと
呼ばれる小さなこぶ(出力上昇)が生じる。
Next, referring to FIG. 3B, the reproduction output of the MR head 2 reaches a peak value when the center of the MR head is on the track center of the recording medium, and decreases as the MR head 2 deviates from the track center. Characteristics (off-track characteristics). Then, in the off-track characteristic of the MR head, small bumps (output rise) called side lobes occur as shown in the figure.

【0012】このサイドローブを低減するために、例え
ば、特開平8−185612号公報には、MRヘッドの
MR膜の非感応部をトラックの記録信号の磁化反転境界
に対し、傾斜して形成することによって低減する技術が
開示されている。
In order to reduce the side lobe, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-185612 discloses that a non-sensitive portion of an MR film of an MR head is formed to be inclined with respect to a magnetization reversal boundary of a track recording signal. Thus, a technique for reducing the power consumption is disclosed.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】上述したMRヘッド固
有のオフトラック特性であるサイドローブの発生は、隣
接トラックからのクロストークを増大させる原因となる
ため、高密度の記録・再生を実現する上で障害となり、
高記録密度の磁気ディスク装置には採用できないという
欠点がある。また、特開平8−185612号公報に記
載されたMRヘッドでは、サイドローブは低減するもの
の、MRヘッドの構造が複雑になるため、製造工程が増
えてコストアップの要因になるという問題がある。
The occurrence of side lobes, which are the off-track characteristics inherent to the MR head, causes an increase in crosstalk from adjacent tracks. Is an obstacle
There is a drawback that it cannot be used in a magnetic disk device having a high recording density. Further, in the MR head described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-185612, although the side lobe is reduced, the structure of the MR head is complicated, so that there is a problem that the number of manufacturing steps is increased and the cost is increased.

【0014】本発明の目的は、このような課題を解決す
るためになされたもので、サイドローブが小さく、しか
も構造が簡単なMRヘッドおよびこれを用いた高記録密
度の磁気ディスク装置を提供することにある。
An object of the present invention is to solve such a problem, and provides an MR head having a small side lobe and a simple structure, and a high recording density magnetic disk drive using the same. It is in.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明は、スライダ基板
に形成された保護膜上に、下シールド,下ギャップ,S
ALバイアス膜,スペーサ膜,磁気抵抗効果膜が順次積
層され、さらに前記磁気抵抗効果膜の両側に反強磁性
膜,電極膜が積層され、かつ前記磁気抵抗効果膜とそれ
ぞれ接合されてなるMR素子において、前記磁気抵抗効
果膜と前記反強磁性膜との間の交換結合磁界の強さが、
135エルステッド以上であることを特徴とする。そし
て、MRヘッドに、このMR素子を用いるとともに、磁
気記録再生装置に搭載することを特徴とする。
According to the present invention, a lower shield, a lower gap, and a lower gap are formed on a protective film formed on a slider substrate.
An MR element in which an AL bias film, a spacer film, and a magnetoresistive film are sequentially laminated, an antiferromagnetic film and an electrode film are laminated on both sides of the magnetoresistive film, and each is joined to the magnetoresistive film. In, the strength of the exchange coupling magnetic field between the magnetoresistive film and the antiferromagnetic film,
It is not less than 135 Oersted. The MR element is used for an MR head and mounted on a magnetic recording / reproducing apparatus.

【0016】本発明では、MR膜とその両端に接合され
た反強磁性膜との間の交換結合磁界(Hex)の強さを1
35エルステッド以上に設定したことにより、記録媒体
に記録されたトラックからの磁界に対するMR膜の非感
応部における磁化の変化が小さくなるため、サイドロー
ブを低減することができる。
According to the present invention, the strength of the exchange coupling magnetic field (Hex) between the MR film and the antiferromagnetic film joined to both ends of the MR film is one.
By setting it to 35 Oe or more, the change in magnetization in the non-sensitive portion of the MR film with respect to the magnetic field from the track recorded on the recording medium becomes small, so that the side lobe can be reduced.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して詳細に説明する。
Next, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0018】図1は、本発明の一実施の形態を記録媒体
対向面から示す正面図である。なお、図中の構成部材に
おいて、図2に示す従来例と形状および機能が同様のも
のは、同じ符号を用いた。また、ここでは、複合型磁気
ヘッドを構成するMRヘッドについて説明する。
FIG. 1 is a front view showing one embodiment of the present invention from the side facing a recording medium. In the drawings, the same reference numerals are used for components having the same shape and function as those of the conventional example shown in FIG. Here, the MR head constituting the composite magnetic head will be described.

【0019】図1を参照すると、再生専用のMR素子を
有するMRヘッド2は、アルチック(Al2 3 −Ti
C)等のセラミック材からなるスライダ基板4に形成さ
れた保護膜(Al2 3 等)の上に、パーマロイ(Ni
Fe)を用いた膜厚2μmの下シールド5が構成され、
その上に絶縁層を構成する膜厚0.07μmのAl2
3 からなる下ギャップ6が積層されている。さらに、下
ギャップ6上には膜厚23nmのCoZrMoからなる
SALバイアス膜7、膜厚10nmのTaからなるスペ
ーサ膜8、そして、膜厚20nmのNiFeからなるM
R膜9が積層されている。
Referring to FIG. 1, an MR head 2 having a read-only MR element includes an Altic (Al 2 O 3 —Ti).
C) on a protective film (such as Al 2 O 3 ) formed on a slider substrate 4 made of a ceramic material such as permalloy (Ni).
The lower shield 5 having a thickness of 2 μm using Fe) is formed,
An Al 2 O film having a thickness of 0.07 μm to form an insulating layer thereon
The lower gap 6 made of 3 is laminated. Further, on the lower gap 6, a SAL bias film 7 made of CoZrMo with a thickness of 23 nm, a spacer film 8 made of Ta with a thickness of 10 nm, and a M film made of NiFe with a thickness of 20 nm
An R film 9 is laminated.

【0020】MR膜9の左右両側には、MR膜を単磁区
化するための膜厚50nmのNiMnからなる反強磁性
膜10,11が接合され、その上にはAu(金),W
(タングステン)等を用いた電極膜12,13が積層さ
れMR膜9と接合されている。そして、MR膜9および
電極膜12,13の上には、絶縁層を構成する膜厚0.
09μmのAl2 3 からなる上ギャップ14が構成さ
れ、さらに、その上には膜厚3μmのNiFeからなる
上シールド15が構成されている。
On the left and right sides of the MR film 9, antiferromagnetic films 10 and 11 made of NiMn and having a thickness of 50 nm for making the MR film into a single magnetic domain are joined, and Au (gold), W
Electrode films 12 and 13 made of (tungsten) or the like are laminated and joined to the MR film 9. Then, on the MR film 9 and the electrode films 12 and 13, the film thickness of the insulating layer constituting the insulating layer is 0.1 mm.
An upper gap 14 made of Al 2 O 3 having a thickness of 09 μm is formed, and an upper shield 15 made of NiFe having a thickness of 3 μm is formed thereon.

【0021】次に、このように構成されたMRヘッドに
おけるオフトラック特性のサイドローブ(図3(b)参
照)と、MR膜9と反強磁性膜10,11との間の交換
結合磁界(Hex)の関係を説明する。ここで、サイドロ
ーブの大きさは、サイドローブの出力Vsideと出力の最
大値Vmax との比(Vside/Vmax ×100〔%〕で示
す)で定義するものとする。
Next, the side lobe of the off-track characteristic in the MR head thus configured (see FIG. 3B) and the exchange coupling magnetic field between the MR film 9 and the antiferromagnetic films 10 and 11 (see FIG. Hex) will be described. Here, the size of the side lobe is defined by the ratio of the output Vside of the side lobe to the maximum value Vmax of the output (indicated by Vside / Vmax × 100 [%]).

【0022】図4は、本発明のMRヘッドにおけるオフ
トラック特性のサイドローブおよびMR膜と反強磁性膜
との間の交換結合磁界(Hex)を説明する図であって、
MR膜と反強磁性膜との間の交換結合磁界(Hex)の強
さは、反強磁性膜の成膜時における結晶成長を制御する
ことにより設定する。
FIG. 4 is a view for explaining the side lobe of the off-track characteristic and the exchange coupling magnetic field (Hex) between the MR film and the antiferromagnetic film in the MR head of the present invention.
The strength of the exchange coupling magnetic field (Hex) between the MR film and the antiferromagnetic film is set by controlling crystal growth during the formation of the antiferromagnetic film.

【0023】図4を参照すると、交換結合磁界が大きく
なるに従って、サイドローブの大きさ(平均値)、およ
び規格を3%以下としたときの不良率はともに小さくな
り、交換結合磁界の強さが135エルステッド以上にな
ると、不良率が0%になることが判る。
Referring to FIG. 4, as the exchange coupling magnetic field increases, both the size (average value) of the side lobe and the failure rate when the standard is set to 3% or less decrease, and the strength of the exchange coupling magnetic field decreases. It can be seen that the defect rate becomes 0% when the value exceeds 135 Oe.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、M
R膜と反強磁性膜との間の交換結合磁界の強さを135
エルステッド以上に設定することにより、MRヘッド固
有のオフトラック特性であるサイドローブが低減し、隣
接トラックからのクロストークが減少するため、構造が
複雑になることなくコストアップを抑えたMRヘッドが
実現可能となり、高記録密度の磁気ディスク装置を提供
できるという効果がある。
As described above, according to the present invention, M
The exchange coupling magnetic field strength between the R film and the antiferromagnetic film is 135
By setting it to Oersted or higher, side lobes, which are the off-track characteristics inherent to MR heads, are reduced, and crosstalk from adjacent tracks is reduced, thus realizing an MR head with a simplified structure and reduced cost. This makes it possible to provide a magnetic disk device having a high recording density.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態を記録媒体対向面から示
す正面図である。
FIG. 1 is a front view illustrating an embodiment of the present invention as viewed from a surface facing a recording medium.

【図2】従来の複合型磁気ヘッドの一例を記録媒体対向
面から示す正面図である。
FIG. 2 is a front view showing an example of a conventional composite magnetic head from a recording medium facing surface.

【図3】MRヘッドよる再生およびオフトラック特性を
説明する図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating reproduction and off-track characteristics by an MR head.

【図4】本発明のMRヘッドにおけるオフトラック特性
のサイドローブおよびMR膜と反強磁性膜との間の交換
結合磁界(Hex)の関係を説明する図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining the relationship between the side lobe of off-track characteristics and the exchange coupling magnetic field (Hex) between the MR film and the antiferromagnetic film in the MR head of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 複合型磁気ヘッド 2 MRヘッド 3 誘導型磁気ヘッド 4 スライダ基板 5 下シールド 6 下ギャップ 7 SALバイアス膜 8 スペーサ膜 9 MR膜 10,11 反強磁性膜 12,13 電極膜 14 上ギャップ 15 上シールド 16 書き込みギャップ 17 上コア 18 保護膜 19 記録されたトラック 20 感応部 21,22 非感応部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Composite magnetic head 2 MR head 3 Inductive magnetic head 4 Slider substrate 5 Lower shield 6 Lower gap 7 SAL bias film 8 Spacer film 9 MR film 10,11 Antiferromagnetic film 12,13 Electrode film 14 Upper gap 15 Upper shield Reference Signs List 16 Write gap 17 Upper core 18 Protective film 19 Track recorded 20 Sensitive part 21, 22 Non-sensitive part

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 スライダ基板に形成された保護膜上に、
下シールド,下ギャップ,SALバイアス膜,スペーサ
膜,磁気抵抗効果膜が順次積層され、さらに前記磁気抵
抗効果膜の両側に反強磁性膜,電極膜が積層され、かつ
前記磁気抵抗効果膜とそれぞれ接合されてなる磁気抵抗
効果素子において、前記磁気抵抗効果膜と前記反強磁性
膜との間の交換結合磁界の強さが、135エルステッド
以上であることを特徴とする磁気抵抗効果素子。
1. A protective film formed on a slider substrate,
A lower shield, a lower gap, a SAL bias film, a spacer film, and a magnetoresistive film are sequentially laminated, and an antiferromagnetic film and an electrode film are laminated on both sides of the magnetoresistive film. A magnetoresistive element having a junction, wherein an exchange coupling magnetic field between the magnetoresistive film and the antiferromagnetic film has a strength of 135 Oe or more.
【請求項2】 請求項1記載の磁気抵抗効果素子を用い
ることを特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
2. A magneto-resistance effect type magnetic head using the magneto-resistance effect element according to claim 1.
【請求項3】 請求項2記載の磁気抵抗効果ヘッドを搭
載することを特徴とする磁気記録再生装置。
3. A magnetic recording / reproducing apparatus comprising the magnetoresistive head according to claim 2.
JP29281297A 1997-10-24 1997-10-24 Magneto-resistive element, magneto-resistive head and magnetic disk device using the same Pending JPH11126313A (en)

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