JPH11118586A - Servo-type vibration detector - Google Patents

Servo-type vibration detector

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Publication number
JPH11118586A
JPH11118586A JP29166197A JP29166197A JPH11118586A JP H11118586 A JPH11118586 A JP H11118586A JP 29166197 A JP29166197 A JP 29166197A JP 29166197 A JP29166197 A JP 29166197A JP H11118586 A JPH11118586 A JP H11118586A
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JP
Japan
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pendulum
displacement
servo
type vibration
vibration detector
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Pending
Application number
JP29166197A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Nomura
幸司 野村
Daisuke Tsuboi
大輔 坪井
Akifumi Yano
晶史 矢野
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Akashi Corp
Original Assignee
Akashi Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Akashi Corp filed Critical Akashi Corp
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Publication of JPH11118586A publication Critical patent/JPH11118586A/en
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  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the load of a drive system and to miniaturize a servo-type vibration detector by a method wherein a pendulum is arranged and installed in such a way that its rocking center is brought close to the center of gravity of the pendulum. SOLUTION: A pendulum 3 is installed at the inside of a case 1 for a servo- type vibration detector so as to be rockable in a seesaw shape via a spring, and the position of the center of gravity W of the pendulum 3 is set so as to be brought very close to its rocking center R. A part of the pendulum 3 may be constituted of metals or the like whose specific gravity is different. When the rocking center R is brought close to the center of gravity W, the load of a drive system for the servo-type vibration detector can be reduced, and a drive part can be miniaturized. Consequently, the servo-type vibration detector can be miniaturized. In addition, as an equalizer spring, a spring whose constant is small can be used, and the natural frequency of the pendulum 3 is not changed too much.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、サーボ型振動検出
器に関し、特に小型化を可能にしたサーボ型振動検出器
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a servo-type vibration detector, and more particularly to a servo-type vibration detector capable of being downsized.

【0002】[0002]

【従来の技術】はじめに、図2〜5によりサーボ型振動
検出器について説明すると、サーボ型振動検出器10は、
ケース1とこのケース1の内部に設けられた駆動部2,
振子3,変位検出部4およびサーボアンプ5とにより構
成されている。
2. Description of the Related Art First, a servo type vibration detector will be described with reference to FIGS.
Case 1 and driving units 2 provided inside the case 1
It is composed of a pendulum 3, a displacement detector 4, and a servo amplifier 5.

【0003】駆動部2はケース1に固着されたマグネッ
ト(永久磁石)2aと振子3に巻回されてマグネット2
aに対向配置された駆動コイル(以下単に「コイル」と
呼ぶ)2bとならなり、コイル2bに電流を流すことに
より、コイル2bを取り付けられた振子3を移動させる
電磁気力を発生できるようになっている。振子3と、マ
グネット2aとの間に、バネ3aとダンパー3bとが並
列に介装されている。
A driving unit 2 is wound around a magnet (permanent magnet) 2a fixed to a case 1 and a pendulum 3 to form a magnet 2a.
The drive coil (hereinafter simply referred to as a “coil”) 2b is disposed opposite to “a”, and an electromagnetic force for moving the pendulum 3 to which the coil 2b is attached can be generated by passing a current through the coil 2b. ing. A spring 3a and a damper 3b are interposed between the pendulum 3 and the magnet 2a in parallel.

【0004】変位検出部4は、振子3に取り付けられた
極板4aとケース1側(固定側)の極板4bとの間で形
成されたコンデンサ40の両極板4a, 4b間の電気容量
の変位を測定することにより、振子3の揺動変位の検出
を行なう構成となっている。サーボアンプ5は、駆動部
2と変位検出部4とを整合させるために設けられてい
る。
[0004] The displacement detection unit 4 is provided with a capacitor 40 formed between the electrode plate 4a attached to the pendulum 3 and the electrode plate 4b on the case 1 side (fixed side) to measure the electric capacitance between the two electrode plates 4a and 4b. By measuring the displacement, the swing displacement of the pendulum 3 is detected. The servo amplifier 5 is provided for matching the drive unit 2 and the displacement detection unit 4.

【0005】上述の構成において、振子3に加速度が加
わって零位置からずれると、変位検出部4がこのずれ
(量)を検出し、その信号を受けてサーボアンプ5は駆
動部2のコイル2bに電流を流すように作動する。
In the above arrangement, when acceleration is applied to the pendulum 3 and the pendulum 3 deviates from the zero position, the displacement detecting section 4 detects this deviation (amount), and upon receiving the signal, the servo amplifier 5 causes the coil 2b of the driving section 2 to operate. It operates to supply current to the.

【0006】この電流は、振子3のずれと逆方向の力
(電磁気力)を発生し、振子3を零位置に戻すように作
用する。この電磁気力は振子3にずれを起こした加速度
とバランスしているので、この電流を測定することで、
振子3に加えられた加速度を検出することができる。
This current generates a force (electromagnetic force) in the direction opposite to the displacement of the pendulum 3, and acts to return the pendulum 3 to the zero position. Since this electromagnetic force is balanced with the acceleration that caused the pendulum 3 to shift, by measuring this current,
The acceleration applied to the pendulum 3 can be detected.

【0007】電流(値)iを計測するために、コイル2
bの電流回路に負荷抵抗Rが設けられている。そして、
上述の従来のサーボ型振動検出器には、図3にブロック
線図で示すような加速度出力の取出し回路が組み込まれ
ている。
In order to measure the current (value) i, the coil 2
A load resistor R is provided in the current circuit b. And
The above-described conventional servo-type vibration detector incorporates a circuit for extracting an acceleration output as shown in a block diagram of FIG.

【0008】図3中の記号mは振子の質量を、記号kは
バネ3aのバネ定数を、記号Dはダンパ3bの減衰定数
を、記号αは入力加速度を、記号e0は出力電圧を、記
号Asは検出部4の定数(電圧/変位)を、記号G1
サーボアンプ5のゲイン(電圧/電圧)変位帰換量を、
記号G2はサーボアンプ5の速度帰換量(微分特性を含
む)を、記号Afは駆動部3の定数(力/電流)をそれ
ぞれ示しており、この回路における伝達函数e0/α
は、[数1]式で表される。
The symbol m in FIG. 3 is the mass of the pendulum, the symbol k is the spring constant of the spring 3a, the symbol D is the damping constant of the damper 3b, the symbol α is the input acceleration, the symbol e 0 is the output voltage, symbols As, the sensor 4 constant (voltage / displacement), the symbols G 1 is a servo amplifier 5 gain (voltage / voltage) displacement attributable replacement amount,
The symbol G 2 indicates the speed conversion amount (including differential characteristics) of the servo amplifier 5, and the symbol Af indicates the constant (force / current) of the drive unit 3, and the transmission function e 0 / α in this circuit.
Is represented by [Equation 1].

【数1】e0/α=(m・As・G2・S + m・As・
1)/[mS2+(D+Af・As・G2)S + k +
Af・As・G1] ここで、Sは複素数演算子である。
[Equation 1] e 0 / α = (m · As · G 2 · S + m · As ·
G 1 ) / [mS 2 + (D + Af · As · G 2 ) S + k +
Af · As · G 1 ] where S is a complex number operator.

【0009】このように、従来のサーボ型振動検出器の
加速度出力の取出し回路には、1台の変位検出部4の出
力を変位および速度の信号に変換し、その変位信号およ
び速度信号に基づいて、サーボアンプ5に内蔵されてい
る第1フィルター回路6aで変位フィードバック量を、
また第2フィルター回路6bで速度フィードバック量を
それぞれ設定し(第2フィルター回路6bは電気的微分
回路を含む)、各フィードバック量を1台の駆動部2を
介して入力側の比較器Pにフィードバックして振子3の
特性(mS2+DS+k)を修正するフィードバック回
路7が組み込まれている。
As described above, in the conventional circuit for taking out the acceleration output of the servo type vibration detector, the output of one displacement detecting unit 4 is converted into a signal of displacement and speed, and based on the displacement signal and speed signal. The displacement feedback amount is calculated by the first filter circuit 6a built in the servo amplifier 5.
In addition, the speed feedback amounts are set by the second filter circuit 6b (the second filter circuit 6b includes an electric differentiating circuit), and the respective feedback amounts are fed back to the input side comparator P via one drive unit 2. In addition, a feedback circuit 7 for correcting the characteristic (mS 2 + DS + k) of the pendulum 3 is incorporated.

【0010】変位検出部4は、図4(a),(b)に示すよ
うに、一対の固定側極板41と、一対の固定側極板41, 41
間に介装された振子側極板31とをそなえるとともに、各
固定側極板41と振子側極板31との各対向面上に、電極
(コンデンサ)45を形成する導体45aが絶縁板を介して
それぞれ取り付けられて形成されている。
As shown in FIGS. 4A and 4B, the displacement detecting section 4 includes a pair of fixed-side electrode plates 41 and a pair of fixed-side electrode plates 41, 41.
A conductor 45a forming an electrode (capacitor) 45 is provided on an opposing surface of each fixed-side electrode plate 41 and each pendulum-side electrode plate 31 with an insulating plate. It is formed by being attached to each other.

【0011】振子側極板31は、振子に対して一対の板バ
ネ3c,3dを十字状に配設した十字バネ接手で連結さ
れており、一対の板バネ3c,3dの幾何学上の交点
(後述の軸線13)を中心にしてシーソーのように揺動で
きるようになっている。
The pendulum-side pole plate 31 is connected to the pendulum by a cross spring joint in which a pair of leaf springs 3c and 3d are arranged in a cross shape, and a geometrical intersection of the pair of leaf springs 3c and 3d. It can swing like a seesaw around an axis 13 (described later).

【0012】すなわち、図5(a),(b)に示すように、
十字バネ接手は、ケース1に固定された円筒状の軸受11
に嵌合可能なリング部材12aに一端部を固着された板バ
ネ3cと、振子側極板31の円筒状大径部32に嵌合可能な
リング部材12bに一端部を固着された板バネ3dとが、
相互に直角方向に向けるようにして、両リング部材12
a, 12bが同一中心軸線13上に配列されるとともに、各
板バネ3c,3dの他端を、図5(b)に示すように、他
方のリング部材12b, 12aに同一の連結部材14を介して
連結されるようにして構成されている。
That is, as shown in FIGS. 5A and 5B,
The cross spring joint is a cylindrical bearing 11 fixed to the case 1.
A leaf spring 3c having one end fixed to a ring member 12a that can be fitted to the plate spring, and a leaf spring 3d having one end fixed to a ring member 12b that can be fitted to the cylindrical large-diameter portion 32 of the pendulum-side electrode plate 31. And
The two ring members 12 are oriented at right angles to each other.
a and 12b are arranged on the same central axis 13, and the other ends of the leaf springs 3c and 3d are connected to the other ring members 12b and 12a by the same connecting member 14 as shown in FIG. It is constituted so that it may be connected via.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来は、振
子3については、振子3の重心W(の位置)と振子3の
回転中心R(図6参照)との位置関係について考慮が払
われておらず、したがって、従来のサーボ型振動検出器
では、振子3の重心Wが回転中心Rから大きく離れてい
て、両者間の距離Lが大きく、その結果駆動部の負荷
[振子を零位置に戻すためのトルク(m×L)]が大き
くなるため、駆動部も大型のものとなってサーボ型振動
検出器が大型化となるという問題点がある。本発明は、
このような問題点を解決しようとするものである。
By the way, conventionally, regarding the pendulum 3, the positional relationship between (the position of) the center of gravity W of the pendulum 3 and the rotation center R (see FIG. 6) of the pendulum 3 is taken into consideration. Therefore, in the conventional servo vibration detector, the center of gravity W of the pendulum 3 is far away from the center of rotation R, and the distance L between the two is large. As a result, the load on the drive unit [the pendulum returns to the zero position] Therefore, there is a problem that the drive unit becomes large and the servo type vibration detector becomes large. The present invention
It is intended to solve such a problem.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は、ケースと、同
ケース内に設けられた駆動部と、上記ケースにバネを介
してシーソー状に揺動可能に設けられた振子と、同振子
の揺動変位を検出する変位検出部と、同変位検出部で上
記振子の零位置からの揺動変位が検出されたとき同振子
を零位置に戻す電磁気力を上記駆動部に生じさせる電流
を供給可能なサーボアンプとをそなえたサーボ型振動検
出器において、上記変位検出部で検出された上記振子の
変位に基づいて設定された変位フィードバック量および
速度フィードバック量を上記駆動部を介して加速度の入
力側の比較器に変位フィードバックおよび速度フィード
バックとしてフィードバックさせるフィードバック回路
とをそなえ、上記振子をその揺動中心を同振子の重心に
接近させるように配設して課題解決の手段としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a case, a drive unit provided in the case, a pendulum provided in the case via a spring so as to be swingable in a seesaw shape, and a pendulum. A displacement detector for detecting a swing displacement, and a current for causing the drive unit to generate an electromagnetic force for returning the pendulum to a zero position when the swing detector detects a swing displacement from the zero position of the pendulum. In a servo-type vibration detector having a possible servo amplifier, a displacement feedback amount and a speed feedback amount set based on the displacement of the pendulum detected by the displacement detection unit are input to the acceleration through the drive unit. A feedback circuit for providing feedback as displacement feedback and velocity feedback to the comparator on the side of the pendulum so that the center of oscillation of the pendulum approaches the center of gravity of the pendulum. It is a means of solving the problems and set.

【0015】また、ケースと、同ケース内に設けられた
駆動部と、上記ケースにバネを介してシーソー状に揺動
可能に設けられた振子と、同振子の揺動変位を検出する
変位検出部と、同変位検出部で上記振子の零位置からの
揺動変位が検出されたとき同振子を零位置に戻す電磁気
力を上記駆動部に生じさせる電流を供給可能なサーボア
ンプとをそなえたサーボ型振動検出器において、上記変
位検出部で検出された上記振子の変位に基づいて設定さ
れた変位フィードバック量および速度フィードバック量
を上記駆動部を介して加速度の入力側の比較器に変位フ
ィードバックおよび速度フィードバックとしてフィドー
バックさせるフィードバック回路とをそなえ、上記振子
をその揺動中心を同振子の重心に接近させる形状に形成
して課題解決の手段としている。
Also, a case, a drive unit provided in the case, a pendulum provided in the case so as to be swingable in a seesaw manner via a spring, and a displacement detector for detecting a swing displacement of the pendulum. A servo amplifier capable of supplying a current for causing the drive unit to generate an electromagnetic force for returning the pendulum to the zero position when the swing detection of the pendulum from the zero position is detected by the displacement detection unit. In the servo-type vibration detector, the displacement feedback amount and the speed feedback amount set based on the displacement of the pendulum detected by the displacement detection unit are subjected to displacement feedback to the comparator on the input side of acceleration via the drive unit. It has a feedback circuit that performs feedback as velocity feedback, and forms the pendulum into a shape that makes the center of its swing close to the center of gravity of the pendulum. It is set to.

【0016】本発明では、駆動系の負荷が軽減されるこ
ととなり、サーボ型振動検出器の小型化が可能になる。
また、上下振動の検出の場合に、1G(重力)分の釣合
いバネが付設されるが、振動系負荷の軽減化により、バ
ネ定数の小さなバネでこの釣合いを行なうことができ、
振子の固有振動数をあまり変化させることがない。
In the present invention, the load on the drive system is reduced, and the size of the servo vibration detector can be reduced.
Further, in the case of detecting vertical vibration, a balancing spring for 1 G (gravity) is provided. By reducing the vibration system load, this balancing can be performed with a spring having a small spring constant.
The natural frequency of the pendulum does not change much.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、図面により本発明の一実施
形態としてのサーボ型振動検出器について、その模式説
明図としての図1により説明する。なお図1中図2〜6
と同じ符号はほぼ同一の部材を示している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A servo-type vibration detector according to one embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. 2 to 6 in FIG.
The same reference numerals indicate substantially the same members.

【0018】この実施形態のサーボ型振動検出器も、前
述の従来のものとほぼ同じ構造となっており、振子3も
前述の従来のサーボ型振動検出器と同じ機構によって、
サーボ型振動検出器のケース1の内部にバネを介してシ
ーソー状に揺動可能に設けられている。
The servo type vibration detector of this embodiment has substantially the same structure as that of the above-mentioned conventional type, and the pendulum 3 also has the same mechanism as that of the above-mentioned conventional type of servo type vibration detector.
The servo type vibration detector is provided inside the case 1 so as to be swingable in a seesaw shape via a spring.

【0019】そしてこの実施形態の場合、振子3の重心
Wの位置と揺動中心Rとが極接近するように、すなわち
振子3の重心Wと揺動中心Rとの距離Lが、L≒0とな
るように、振子3が配設されている。
In this embodiment, the position of the center of gravity W of the pendulum 3 and the center of swing R are extremely close to each other, that is, the distance L between the center of gravity W of the pendulum 3 and the center of swing R is L ≒ 0. The pendulum 3 is disposed such that

【0020】上述の目的、すなわち振子3を上記のよう
に(L≒0となるように)配設するための一手段とし
て、振子3を上記目的を達成可能な形状に加工すること
があげられる。この場合の「形状」とは、幾何学的形状
のほか、振子3の一部を比重の異なる金属等で構成した
場合をも含む。
As one means for disposing the pendulum 3 as described above (so that L ≒ 0), the pendulum 3 may be processed into a shape capable of achieving the above-mentioned purpose. . The “shape” in this case includes not only a geometric shape but also a case where a part of the pendulum 3 is made of a metal having a different specific gravity.

【0021】このように、振子3の揺動中心Rを重心W
に接近させたことにより、サーボ型振動検出器の駆動系
(振子3を零位置に戻す駆動部)の負荷を軽減すること
ができ、駆動部の小型化が可能となってサーボ型振動検
出器の小型化が可能となる。
As described above, the swing center R of the pendulum 3 is set at the center of gravity W.
, The load on the drive system of the servo-type vibration detector (the drive unit for returning the pendulum 3 to the zero position) can be reduced, and the drive unit can be downsized. Can be reduced in size.

【0022】また、上下方向の振動を検出する目的でサ
ーボ型振動検出器を設置する場合、1G(重力)分の釣
合いバネを設けているが、駆動系の負荷を軽減すること
ができることから、釣合いバネとしてバネ定数の小さな
ものでも十分初期の目的を達成でき、その結果振子3の
固有振動数をあまり変化させることがない。さらに、振
子3の形状を変更するという簡単な手段で初期の目的を
達成できるため、製造コストの点で有利である。
When a servo type vibration detector is installed to detect vertical vibration, a balancing spring for 1 G (gravity) is provided, but the load on the drive system can be reduced. Even if the spring has a small spring constant, the initial purpose can be sufficiently achieved, and as a result, the natural frequency of the pendulum 3 does not change much. Further, the initial purpose can be achieved by a simple means of changing the shape of the pendulum 3, which is advantageous in terms of manufacturing cost.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明のサーボ型
振動検出器によれば次のような効果が得られる。 (1) 振子の揺動中心を重心に接近させたことにより、サ
ーボ型振動検出器の駆動系(振子を零位置に戻す駆動
部)の負荷を軽減することができ、駆動部の小型化が可
能となってサーボ型振動検出器の小型化が可能となる。 (2) 上下方向の振動を検出する目的でサーボ型振動検出
器を設置する場合、1G(重力)分の釣合いバネを設け
ているが、駆動系の負荷を軽減することができることか
ら、釣合いバネとしてバネ定数の小さなものでも十分初
期の目的を達成でき、その結果振子3の固有振動数をあ
まり変化させることがない。 (3) 振子の形状を変更するという簡単な手段で初期の目
的を達成できるため、製造コストの点で有利である。
As described above, according to the servo type vibration detector of the present invention, the following effects can be obtained. (1) By bringing the swing center of the pendulum closer to the center of gravity, the load on the drive system (drive unit that returns the pendulum to the zero position) of the servo-type vibration detector can be reduced, and the drive unit can be downsized. As a result, the size of the servo-type vibration detector can be reduced. (2) When a servo-type vibration detector is installed to detect vertical vibration, a balancing spring for 1 G (gravity) is provided. However, since the load on the drive system can be reduced, the balancing spring is used. As a result, even if the spring constant is small, the initial purpose can be sufficiently achieved, and as a result, the natural frequency of the pendulum 3 does not change much. (3) The initial purpose can be achieved by a simple means of changing the shape of the pendulum, which is advantageous in terms of manufacturing cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態としてのサーボ型振動検出
器の要部を示す模式説明図。
FIG. 1 is a schematic explanatory view showing a main part of a servo type vibration detector as one embodiment of the present invention.

【図2】従来のサーボ型振動検出器の模式構成図。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a conventional servo vibration detector.

【図3】同加速度出力の取出し回路図。FIG. 3 is a circuit diagram for extracting the acceleration output.

【図4】(a)同変位検出部の側断面図。 (b)(a)図のA−A矢視断面図。FIG. 4A is a side sectional view of the displacement detection unit. (b) The sectional view on the AA arrow of a figure (a).

【図5】(a)同十字バネ接手の要部分解斜視図。 (b)同分解斜視図。FIG. 5A is an exploded perspective view of a main part of the cross spring joint. (b) The exploded perspective view.

【図6】同要部を示す模式説明図。FIG. 6 is a schematic explanatory view showing the main part.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ケース 2 駆動部 2a マグネット 2b 駆動コイル 3 振子 3a バネ 3b ダンパー 3c,3d 板バネ 4 変位検出部 4a 極板 5 サーボアンプ 7 フィードバック回路 11 軸受 12a,12b リング部材 13 軸線 14 連結部材 31 振子側極板 41 固定側極板 45 コンデンサ R 振子の振動中心 W 振子の重心 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Case 2 Drive part 2a Magnet 2b Drive coil 3 Pendulum 3a Spring 3b Damper 3c, 3d Leaf spring 4 Displacement detection part 4a Polar plate 5 Servo amplifier 7 Feedback circuit 11 Bearing 12a, 12b Ring member 13 Axis 14 Connecting member 31 Pendulum side pole Plate 41 Fixed side plate 45 Capacitor R Center of vibration of pendulum W Center of gravity of pendulum

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ケースと、同ケース内に設けられた駆動
部と、上記ケースにバネを介してシーソー状に揺動可能
に設けられた振子と、同振子の揺動変位を検出する変位
検出部と、同変位検出部で上記振子の零位置からの揺動
変位が検出されたとき同振子を零位置に戻す電磁気力を
上記駆動部に生じさせる電流を供給可能なサーボアンプ
とをそなえたサーボ型振動検出器において、上記変位検
出部で検出された上記振子の変位に基づいて設定された
変位フィードバック量および速度フィードバック量を上
記駆動部を介して加速度の入力側の比較器に変位フィー
ドバックおよび速度フィードバックとしてフィードバッ
クさせるフィードバック回路とをそなえ、上記振子がそ
の揺動中心を同振子の重心に接近させるように配設され
ていることを特徴とする、サーボ型振動検出器。
1. A case, a drive unit provided in the case, a pendulum provided in the case via a spring so as to be swingable in a seesaw shape, and a displacement detector for detecting a swing displacement of the pendulum. And a servo amplifier capable of supplying a current for causing the drive unit to generate an electromagnetic force for returning the pendulum to the zero position when the swing detection of the pendulum from the zero position is detected by the displacement detection unit. In the servo-type vibration detector, the displacement feedback amount and the speed feedback amount set based on the displacement of the pendulum detected by the displacement detection unit are subjected to displacement feedback to the comparator on the input side of acceleration via the drive unit. A feedback circuit for feeding back as speed feedback, wherein the pendulum is arranged so that its swing center is close to the center of gravity of the pendulum. A servo-type vibration detector.
【請求項2】 ケースと、同ケース内に設けられた駆動
部と、上記ケースにバネを介してシーソー状に揺動可能
に設けられた振子と、同振子の揺動変位を検出する変位
検出部と、同変位検出部で上記振子の零位置からの揺動
変位が検出されたとき同振子を零位置に戻す電磁気力を
上記駆動部に生じさせる電流を供給可能なサーボアンプ
とをそなえたサーボ型振動検出器において、上記変位検
出部で検出された上記振子の変位に基づいて設定された
変位フィードバック量および速度フィードバック量を上
記駆動部を介して加速度の入力側の比較器に変位フィー
ドバックおよび速度フィードバックとしてフィドーバッ
クさせるフィードバック回路とをそなえ、上記振子がそ
の揺動中心を同振子の重心に接近させる形状に形成され
ていることを特徴とする、サーボ型振動検出器。
2. A case, a drive unit provided in the case, a pendulum provided in the case via a spring so as to be swingable in a seesaw shape, and a displacement detector for detecting a swing displacement of the pendulum. A servo amplifier capable of supplying a current for causing the drive unit to generate an electromagnetic force for returning the pendulum to the zero position when the swing detection of the pendulum from the zero position is detected by the displacement detection unit. In the servo-type vibration detector, the displacement feedback amount and the speed feedback amount set based on the displacement of the pendulum detected by the displacement detection unit are subjected to displacement feedback to the comparator on the input side of acceleration via the drive unit. A feedback circuit for performing feedback as speed feedback is provided, and the pendulum is formed in a shape that brings the center of its swing close to the center of gravity of the pendulum. A servo-type vibration detector.
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