JP3731698B2

JP3731698B2 - Servo type vibration detector

Info

Publication number: JP3731698B2
Application number: JP33494097A
Authority: JP
Inventors: 幸司野村; 敏雄斗沢; 孝一中村
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 1997-11-19
Filing date: 1997-11-19
Publication date: 2006-01-05
Anticipated expiration: 2017-11-19
Also published as: JPH11153479A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、サーボ型振動検出器に関し、特に振子の変位から直接振動速度の検出を行なうようにしたサーボ型振動検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
はじめに、図５によりサーボ型振動検出器について説明すると、サーボ型振動検出器10は、ケース１とこのケース１の内部に設けられた駆動部２，振子３，変位検出部４およびサーボアンプ５とにより構成されている。
【０００３】
駆動部２はケース１に固着されたマグネット（永久磁石）２ａと振子３に巻回されてマグネット２ａに対向配置された駆動コイル（以下単に「コイル」と呼ぶ）２ｂとならなり、コイル２ｂに電流を流すことにより、コイル２ｂを取り付けられた振子３を移動させる電磁気力を発生できるようになっている。
振子３と、マグネット２ａとの間に、バネ３ａとダンパー３ｂとが並列に介装されている。
【０００４】
変位検出部４は、振子３に取り付けられた極板４ａとケース１側（固定側）の極板４ｂとの間で形成されたコンデンサ40の両極板４ａ, ４ｂ間の電気容量の変位を測定することにより、振子３の変位検出を行なう構成となっている。
サーボアンプ５は、駆動部２と変位検出部４とを整合させるために設けられている。
【０００５】
上述の構成において、振子３に加速度が加わって零位置からずれると、変位検出部４がこのずれ（量）を検出し、その信号を受けてサーボアンプ５は駆動部２のコイル２ｂに電流を流すように作動する。
【０００６】
この電流は、振子３のずれと逆方向の力（電磁気力）を発生し、振子３を零位置に戻すように作用する。
この電磁気力は振子３にずれを起こした加速度とバランスしているので、この電流を測定することで、振子３に加えられた加速度を検出することができる。
そして、上述の従来のサーボ型振動検出器には、図６にブロック線図で示すような加速度出力の取出し回路が組み込まれている。
【０００７】
図６中の記号ｍは振子の質量を、記号ｋはバネ３ａのバネ定数を、記号Ｄはダンパ３ｂの減衰定数を、記号αは入力加速度を、記号ｅ₀は出力電圧を、記号Ａｓは検出部４の定数（電圧／変位）を、記号Ｇ₁はサーボアンプ５のゲイン（電圧／電圧）変位帰換量を、記号Ｇ₂はサーボアンプ５の速度帰換量（微分特性を含む）を、記号Ａｆは駆動部３の定数（力／電流）をそれぞれ示しており、この回路における伝達函数ｅ₀／αは、［数１］式で表される。
【数１】

ここで、Ｓは複素数演算子である。
【０００８】
このように、従来のサーボ型振動検出器の加速度出力の取出し回路には、１台の変位検出部４の出力を変位および速度の信号に変換し、その変位信号および速度信号に基づいて、サーボアンプ５に内蔵されている第１フィルター回路５ａで変位フィードバック量を、また第２フィルター回路５ｂで速度フィードバック量をそれぞれ設定し（第２フィルター回路５ｂは電気的微分回路を含む）、各フィードバック量を１台の駆動部２を介して入力側の比較器Ｐにフィードバックして振子３の特性（ｍＳ²＋ＤＳ＋ｋ）を修正するフィードバック回路７が組み込まれている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
サーボ型振動検出器では、変位フィードバックをかけることにより、バネなどの機械的不安定さを取り除くことができて感度等が安定し、また、速度フィードバックをかけると、大きな減衰を与えることができ、その結果振動検出器の振動数特性が図７(ａ)に示した特性から図７(ｂ)示した特性に変化しダイナミックレンジが広がるなどの利点が得られる。
【００１０】
ところで、従来のように、１台の変位検出部から得られた振子の変位に基づいて得られた速度フィードバック信号および変位フィードバック信号を１台の駆動部を介して入力側にフィードバックする構成では、変位フィードバックおよび速度フィードバックの各フィードバック量が互いに拘束され、各フィードバック量をそれぞれ独立して設定できない、という問題点がある。
本発明は、このような問題点を解決しようとするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ケースと、同ケース内に設けられた駆動部と、上記ケースにバネを介して移動可能に設けられた振子と、同振子の変位を検出する変位検出部および速度を検出する速度検出部と、上記変位検出部および速度検出部で上記振子の零位置からの変位および速度がそれぞれ検出されたとき同振子を零位置に戻す電磁気力を上記駆動部に生じさせる電流を供給可能なサーボアンプとをそなえるとともに、上記の変位検出部および速度検出部で検出された上記振子の変位および速度に基づいて設定された変位フィードバック量および速度フィードバック量を上記駆動部を介して加速度の入力側の比較器に変位フィードバックおよび速度フィードバックとしてフィードバックさせるフィードバック回路をそなえたサーボ型振動検出器において、上記の変位フィードバックと速度フィードバックとを互いに独立して行なうべく、上記フィードバック回路を互いに独立した２系統で構成して課題解決の手段としている。
【００１２】
また、上記独立した２系統のフィードバック回路を構成すべく、上記の駆動部およびサーボアンプをそれぞれ２台ずつ設けて課題解決の手段としている。
【００１３】
本発明では、変位フィードバック回路と速度フィードバック回路とが独立した２系統の回路で構成されているため、互いに拘束されることなく変位フィードバック量および速度フィードバック量をそれぞれ独自に設定できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面により本発明の一実施形態としてのサーボ型振動検出器について説明すると、図１はその模式構成図、図２(ａ)はその変位検出部の側断面図、(ｂ)は図２(ａ)のＡ−Ａ矢視断面図，図３(ａ)は十字バネ接手の要部分解斜視図，(ｂ)は同分解斜視図、図４はその加速度出力の取出し回路図である。
なお図１〜４中図５，６と同じ符号はほぼ同一の部材を示している。
【００１５】
図１に示すように、この実施形態のサーボ型振動検出器も、ケース（図示せず）と、ケースに内部に設けられた駆動部２，振子３，変位検出部４，速度検出部６およびサーボアンプ５とにより形成されている。
【００１６】
駆動部２は、マグネット２ａと、振子３に巻回されてマグネット２ａに対向配置された第１駆動コイル21，第２駆動コイル22（以下それぞれ「第１コイル21」,「第２コイル22」と呼ぶ）とからなる第１および第２の２基の駆動部２Ａ，２Ｂで構成されている。符号11は振子３の円筒状軸受を示している。
【００１７】
変位検出部４は、図２に示すように、一対の固定側極板41と、一対の固定側極板41, 41間に介装された振子側極板31とをそなえるとともに、各固定側極板41と振子側極板31との各対向面上に、電極（コンデンサ）45を形成する導体45ａが絶縁板を介してそれぞれ取り付けられて構成されている。
【００１８】
速度検出部は駆動部と同様に振子に巻回されてマグネット２ａの磁気回路内に配置されたコイル６ａにより構成されている。
【００１９】
振子側極板31は、振子に対して一対の板バネ３ｃ，３ｄを十字状に配設した十字バネ接手で連結されており、一対の板バネ３ｃ，３ｄの幾何学上の交点（後述の軸線13）を中心にしてシーソーのように動けるようになっている。
【００２０】
すなわち、図３(ａ),(ｂ)に示すように、十字バネ接手は円筒状の軸受11に嵌合可能なリング部材12ａに一端部を固着された板バネ３ｃと、振子側極板31の円筒状大径部32に嵌合可能なリング部材12ｂに一端部を固着された板バネ３ｄとが、相互に直角方向に向けるようにして、両リング部材12ａ, 12ｂが同一中心軸線13上に配列されるとともに、各板バネ３ｃ，３ｄの他端を、図３(ｂ)に示すように、他方のリング部材12ｂ, 12ａに同一の連結部材14を介して連結されるようにして構成されている。
【００２１】
サーボアンプ５も、変位検出部４の出力を入力される第１サーボアンプ５Ａと、速度検出部６の出力を入力される第２サーボアンプ５Ｂとで構成されている。そして第１駆動部２Ａと変位検出部４とを整合すべく第１駆動コイル21に対する電流制御は第１サーボアンプ５Ａで行なわれる。
【００２２】
第２サーボアンプ５Ｂと第２駆動部２Ｂとの関係についても同様である。
そして、コイル６ａの出力から振動速度の検出を、また第１駆動コイル21の通電量ｉ₁から振子３に加えられた加速度の検出が行なえるようになっている。Ｒ₁, Ｒ₂はそのための負荷抵抗を示している。
【００２３】
この実施形態では、上述のように変位検出部，速度検出部および駆動部ならびにサーボアンプがそれぞれ互いに独立して構成されて、２系統の出力を取出し可能となっており、またそれらのフィードバック回路も互いに独立した２回路で構成されている。
【００２４】
すなわち、図４に示すように、変位検出部４系の回路に、変位検出部４の出力を第１サーボアンプ５Ａのフィルター回路で変位信号に変換して第１駆動部２Ａを介して入力側の比較器Ｐに変位フィードバックを行なう第１フィードバック回路７Ａが設けられており、また速度検出部６系の回路に速度検出用コイル６ａの出力を第２サーボアンプ５Ｂで速度信号に変換して第２駆動部２Ｂを介して入力側の比較器Ｐに速度フィードバックを行なう第２フィードバック回路７Ｂが設けられている。そして両フィードバック回路７Ａ，７Ｂは互いに独立したフィードバック回路を構成している。
【００２５】
図４に示した各回路における伝達函数を、出力電圧ｅ₀₁，ｅ₀₂ について解くと、［数２］式，［数３］式となる。
【数２】

【数３】

【００２６】
ここで、Ｇ₁，Ｇ₂はそれぞれ第１サーボアンプ５Ａ，第２サーボアンプ５Ｂの伝達函数をそれぞれ表している。
また、Ａｖは速度検出部６の定数（速度／電流）を、Ａｆ₁，Ａｆ₂は第１駆動部２Ａ，第２駆動部２Ｂの各定数（力／電流）をそれぞれ表している。
【００２７】
このようにして、変位フィードバック回路と速度フィードバック回路とを互いに独立した回路で構成しているため、変位フィードバックと速度フィードバックの各フィードバック量を互いに拘束されることなく、独立して設定できることになる。
【００２８】
また、各フィードバック量の設定が互いに独立して行なえるため、例えば変位フィードバックがサーボアンプの電源電圧等の制約によりかからなくなった場合でも、速度フィードバックが単独で動作し、より大きな入力振動を測定することが可能となる。
【００２９】
従来のもの（図６参照）では、フィードバック回路が単一であるめ、上記のような場合、変位，速度の両フィードバックが同時にかからなくなってしまうが、この実施形態のものではこのような不都合はなくなる。
【００３０】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、振子の変位から直接振動速度を検出する形式のサーボ型振動検出器において、変位フィードバック回路と速度フィードバック回路とが独立した２系統の回路で構成されているため、互いに拘束されることなく変位フィードバック量および速度フィードバック量をそれぞれ独自に設定できる、という効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態としてのサーボ型振動検出器の模式構成図。
【図２】 (ａ)はその変位検出部の側断面図、(ｂ)は図２(ａ)のＡ−Ａ矢視断面図。
【図３】 (ａ)は十字バネ接手の要部分解斜視図、(ｂ)は同分解斜視図。
【図４】同加速度出力の取出し回路図。
【図５】従来のサーボ型振動検出器の模式構成図。
【図６】同加速度出力の取出し回路図。
【図７】 (ａ),(ｂ)は同振動検出器の振動数特性を示す図。
【符号の説明】
１ケース
２駆動部
２Ａ第１駆動部
２Ｂ第２駆動部
２ａマグネット
２ｂ駆動コイル
３振子
３ａバネ
３ｂダンパー
３ｃ，３ｄ板バネ
４変位検出部
４ａ極板
５サーボアンプ
５Ａ第１サーボアンプ
５Ｂ第２サーボアンプ
６速度検出部
６ａ速度検出用コイル
７フィードバック回路
７Ａ第１フィードバック回路
７Ｂ第２フィードバック回路
11 軸受
12ａ，12ｂリング部材
13 軸線
14 連結部材
21 第１駆動コイル
22 第２駆動コイル
31 振子側極板
40 コンデンサ
41 固定側極板
45 第１電極（第１コンデンサ）
46 第２電極（第２コンデンサ）
45ａ，46ａ導体[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a servo-type vibration detector, and more particularly to a servo-type vibration detector that directly detects a vibration speed from a pendulum displacement.
[0002]
[Prior art]
First, the servo-type vibration detector 10 will be described with reference to FIG. 5. The servo-type vibration detector 10 includes a case 1, a drive unit 2, a pendulum 3, a displacement detection unit 4 and a servo amplifier 5 provided in the case 1. It is comprised by.
[0003]
The drive unit 2 becomes a magnet (permanent magnet) 2a fixed to the case 1 and a drive coil (hereinafter simply referred to as “coil”) 2b wound around the pendulum 3 and disposed opposite to the magnet 2a. By passing a current, an electromagnetic force for moving the pendulum 3 to which the coil 2b is attached can be generated.
A spring 3a and a damper 3b are interposed in parallel between the pendulum 3 and the magnet 2a.
[0004]
The displacement detector 4 measures the displacement of the capacitance between the two electrode plates 4a and 4b of the capacitor 40 formed between the electrode plate 4a attached to the pendulum 3 and the electrode plate 4b on the case 1 side (fixed side). By doing so, the displacement of the pendulum 3 is detected.
The servo amplifier 5 is provided to align the drive unit 2 and the displacement detection unit 4.
[0005]
In the above-described configuration, when acceleration is applied to the pendulum 3 and the position shifts from the zero position, the displacement detection unit 4 detects this shift (amount), and the servo amplifier 5 receives the signal to send a current to the coil 2b of the drive unit 2. Operates to flow.
[0006]
This current generates a force (electromagnetic force) in the opposite direction to the displacement of the pendulum 3 and acts to return the pendulum 3 to the zero position.
Since this electromagnetic force is balanced with the acceleration causing the displacement of the pendulum 3, the acceleration applied to the pendulum 3 can be detected by measuring this current.
The above-described conventional servo vibration detector incorporates an acceleration output extraction circuit as shown in a block diagram in FIG.
[0007]
6, symbol m is the mass of the pendulum, symbol k is the spring constant of the spring 3a, symbol D is the damping constant of the damper 3b, symbol α is the input acceleration, symbol e ₀ is the output voltage, and symbol As is the symbol As. The constant (voltage / displacement) of the detection unit 4, symbol G ₁ is the gain (voltage / voltage) displacement return amount of the servo amplifier 5, and symbol G ₂ is the speed return amount (including differential characteristics) of the servo amplifier 5. The symbol Af indicates the constant (force / current) of the drive unit 3, and the transfer function e ₀ / α in this circuit is expressed by the formula [1].
[Expression 1]

Here, S is a complex number operator.
[0008]
Thus, the acceleration output extraction circuit of the conventional servo vibration detector converts the output of one displacement detector 4 into displacement and speed signals, and based on the displacement signals and speed signals, A displacement feedback amount is set by the first filter circuit 5a built in the amplifier 5, and a speed feedback amount is set by the second filter circuit 5b (the second filter circuit 5b includes an electrical differentiation circuit), and each feedback amount is set. Is fed back to the comparator P on the input side via a single drive unit 2 to incorporate a feedback circuit 7 for correcting the characteristic (mS ² + DS + k) of the pendulum 3.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
Servo type vibration detectors can remove mechanical instabilities such as springs by applying displacement feedback to stabilize sensitivity, etc., and speed feedback can give large attenuation. As a result, the frequency characteristic of the vibration detector changes from the characteristic shown in FIG. 7A to the characteristic shown in FIG.
[0010]
By the way, in the structure which feeds back the speed feedback signal and displacement feedback signal which were obtained based on the displacement of the pendulum obtained from one displacement detection part to the input side via one drive part like the past, There is a problem in that each feedback amount of displacement feedback and velocity feedback is constrained to each other, and each feedback amount cannot be set independently.
The present invention is intended to solve such problems.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The present invention includes a case, a drive unit provided in the case, a pendulum movably provided in the case via a spring, a displacement detection unit for detecting the displacement of the pendulum, and a speed for detecting the speed. When the displacement and speed from the zero position of the pendulum are detected by the detection unit, the displacement detection unit, and the speed detection unit, respectively, it is possible to supply a current that causes the driving unit to generate an electromagnetic force that returns the pendulum to the zero position. A displacement feedback amount and a speed feedback amount set based on the displacement and speed of the pendulum detected by the displacement detection unit and the speed detection unit are input to the acceleration input side via the drive unit. Servo-type vibration detector equipped with a feedback circuit that feeds back and forth as displacement feedback and velocity feedback To perform a serial displacement feedback and velocity feedback independently of one another, it is a means of solving the problems constituted by mutually independent two systems of the feedback circuit.
[0012]
Further, in order to form the above-described two independent feedback circuits, two each of the drive unit and the servo amplifier are provided as means for solving the problem.
[0013]
In the present invention, since the displacement feedback circuit and the speed feedback circuit are composed of two independent circuits, the displacement feedback amount and the speed feedback amount can be set independently without being constrained to each other.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a servo type vibration detector according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram thereof, FIG. 2A is a side sectional view of the displacement detection unit, and FIG. FIG. 3A is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 3A, FIG. 3A is an exploded perspective view of a main part of a cross spring joint, FIG. 4B is an exploded perspective view thereof, and FIG.
1-4, the same reference numerals as those in FIGS. 5 and 6 indicate substantially the same members.
[0015]
As shown in FIG. 1, the servo-type vibration detector of this embodiment also includes a case (not shown), a drive unit 2, a pendulum 3, a displacement detection unit 4, a speed detection unit 6 provided in the case, It is formed by the servo amplifier 5.
[0016]
The drive unit 2 includes a magnet 2a, a first drive coil 21 and a second drive coil 22 wound around the pendulum 3 and arranged opposite to the magnet 2a (hereinafter referred to as “first coil 21” and “second coil 22”, respectively). The first and second drive units 2A and 2B are formed of Reference numeral 11 denotes a cylindrical bearing of the pendulum 3.
[0017]
As shown in FIG. 2, the displacement detector 4 includes a pair of fixed-side electrode plates 41 and a pair of fixed-

side electrode plates

41, 41 and a pendulum-side electrode plate 31. On each opposing surface of the electrode plate 41 and the pendulum side electrode plate 31, a conductor 45a forming an electrode (capacitor) 45 is respectively attached via an insulating plate.
[0018]
The speed detection unit is configured by a coil 6a wound around a pendulum and disposed in the magnetic circuit of the magnet 2a in the same manner as the drive unit.
[0019]
The pendulum side pole plate 31 is connected to the pendulum by a cross spring joint in which a pair of

leaf springs

3c and 3d are arranged in a cross shape, and a geometrical intersection (described later) of the pair of

leaf springs

3c and 3d. It can move like a seesaw around the axis 13).
[0020]
That is, as shown in FIGS. 3A and 3B, the cross spring joint has a leaf spring 3c having one end fixed to a ring member 12a that can be fitted to a cylindrical bearing 11, and a pendulum side electrode plate 31. Both ring members 12a and 12b are on the same center axis line 13 so that the leaf spring 3d having one end fixed to the ring member 12b that can be fitted to the cylindrical large-diameter portion 32 is oriented in the direction perpendicular to each other. And the other ends of the

leaf springs

3c and 3d are connected to the other ring members 12b and 12a via the same connecting member 14 as shown in FIG. 3B. Has been.
[0021]
The servo amplifier 5 is also composed of a first servo amplifier 5A to which the output of the displacement detector 4 is input and a second servo amplifier 5B to which the output of the speed detector 6 is input. The current control for the first drive coil 21 is performed by the first servo amplifier 5A in order to match the first drive unit 2A and the displacement detection unit 4.
[0022]
The same applies to the relationship between the second servo amplifier 5B and the second drive unit 2B.
Then, the detection of the vibration velocity from the output of the coil 6a, also the detection of acceleration from the energization amount i ₁ applied to the pendulum 3 of the first drive coil 21 has become so performed. R ₁ and R ₂ indicate load resistances for that purpose.
[0023]
In this embodiment, as described above, the displacement detection unit, the speed detection unit, the drive unit, and the servo amplifier are configured independently of each other, and two outputs can be taken out. It consists of two independent circuits.
[0024]
That is, as shown in FIG. 4, in the displacement detection unit 4 system circuit, the output of the displacement detection unit 4 is converted into a displacement signal by the filter circuit of the first servo amplifier 5A, and input to the input side via the first drive unit 2A. Is provided with a first feedback circuit 7A for performing displacement feedback, and the output of the speed detection coil 6a is converted into a speed signal by a second servo amplifier 5B in a circuit of the speed detector 6 system. A second feedback circuit 7B is provided that performs speed feedback to the comparator P on the input side via the two drive unit 2B. Both

feedback circuits

7A and 7B constitute feedback circuits independent of each other.
[0025]
When the transfer function in each circuit shown in FIG. 4 is solved with respect to the output voltages e ₀₁ and e ₀₂ , [Expression 2] and [Expression 3] are obtained.
[Expression 2]

[Equation 3]

[0026]
Here, G ₁ and G ₂ represent the transfer functions of the first servo amplifier 5A and the second servo amplifier 5B, respectively.
Av represents a constant (speed / current) of the speed detector 6, and Af ₁ and Af ₂ represent constants (force / current) of the first drive unit 2A and the second drive unit 2B, respectively.
[0027]
In this way, since the displacement feedback circuit and the speed feedback circuit are constituted by independent circuits, the respective feedback amounts of the displacement feedback and the speed feedback can be set independently without being restricted to each other.
[0028]
In addition, since each feedback amount can be set independently of each other, even when displacement feedback is no longer applied due to restrictions such as the power supply voltage of the servo amplifier, the speed feedback operates independently and measures larger input vibrations. It becomes possible to do.
[0029]
Since the conventional circuit (see FIG. 6) has a single feedback circuit, in the above case, both displacement and speed feedbacks are not applied at the same time. Will disappear.
[0030]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the present invention, in a servo-type vibration detector that directly detects the vibration speed from the displacement of the pendulum, the displacement feedback circuit and the speed feedback circuit are composed of two independent circuits. Therefore, there is an effect that the displacement feedback amount and the velocity feedback amount can be set independently without being constrained to each other.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a servo-type vibration detector as an embodiment of the present invention.
2A is a side cross-sectional view of the displacement detector, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 2A.
3A is an exploded perspective view of a main part of a cross spring joint, and FIG. 3B is an exploded perspective view of the same.
FIG. 4 is an extraction circuit diagram of the acceleration output.
FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a conventional servo vibration detector.
FIG. 6 is an extraction circuit diagram of the acceleration output.
FIGS. 7A and 7B are diagrams showing frequency characteristics of the vibration detector. FIGS.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Case 2 Drive part 2A 1st drive part 2B 2nd drive part 2a Magnet 2b Drive coil 3 Pendulum 3a Spring 3b Damper 3c, 3d Leaf spring 4 Displacement detection part 4a Electrode plate 5 Servo amplifier 5A 1st servo amplifier 5B 2nd servo Amplifier 6 Speed detector 6a Speed detection coil 7 Feedback circuit 7A First feedback circuit 7B Second feedback circuit
11 Bearing
12a, 12b Ring member
13 axis
14 Connecting member
21 First drive coil
22 Second drive coil
31 Pendulum side plate
40 capacitors
41 Fixed side plate
45 1st electrode (1st capacitor)
46 Second electrode (second capacitor)
45a, 46a conductor

Claims

A case, a drive unit provided in the case, a pendulum provided movably in the case via a spring, a displacement detection unit for detecting the displacement of the pendulum, and a speed detection unit for detecting the speed, A servo amplifier capable of supplying a current that causes the driving unit to generate an electromagnetic force that returns the pendulum to the zero position when the displacement detection unit and the speed detection unit detect the displacement and speed from the zero position. In the servo-type vibration detector, the displacement feedback amount and the velocity feedback amount set based on the displacement and velocity of the pendulum detected by the displacement detection unit and the velocity detection unit are converted into acceleration values via the drive unit. Provided with a feedback circuit that feeds the input side comparator as displacement feedback and velocity feedback. To perform a degree feedback independently from each other, characterized in that said feedback circuit is constituted by mutually independent two systems, servo type vibration detector.

2. The servo vibration detector according to claim 1, wherein two sets of the drive unit and two servo amplifiers are provided to form the two independent feedback circuits. 3.