JPH11103105A - Solid state laser oscillator - Google Patents

Solid state laser oscillator

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JPH11103105A
JPH11103105A JP26162697A JP26162697A JPH11103105A JP H11103105 A JPH11103105 A JP H11103105A JP 26162697 A JP26162697 A JP 26162697A JP 26162697 A JP26162697 A JP 26162697A JP H11103105 A JPH11103105 A JP H11103105A
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JP
Japan
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state laser
solid
laser medium
housing
cooling
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Masayuki Takahashi
正幸 高橋
Kiyoshi Takeuchi
清 武内
Tomoyasu Noda
智靖 野田
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Shin Meiva Industry Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To simply dispose a laser oscillator unit at a high reproducibility and improve the cooling efficiency, without complicating the structure by removably inserting the oscillator unit having a solid state laser medium cooling passage along guide members in a housing. SOLUTION: The laser oscillator comprises a solid state laser medium 23, a light-exciting flash lamp 24 and a scattering reflector 25 for reflecting the light from this lamp 24. Coolant water fed from a coolant feed port 13 flows to the periphery of the laser medium 23 and drains after cooling. A laser oscillator unit 2 incorporating the laser medium 23, lamp 24, etc., is slid along a guide rail 3 and simply disposed in a housing 1. The guide rail 3 positions it and hence it can be disposed at a good reproducibility and good cooling efficiency.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、固体レーザ発振装
置に関するものである。
The present invention relates to a solid-state laser oscillation device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、特開平8−162694号公報記
載のものに見られるように、固体レーザ媒質及びフラッ
シュランプ等をハウジングの両端開口を閉塞する蓋体と
一体に設け、これら固体レーザ媒質及びフラッシュラン
プ等をハウジングから容易に取り出せるようにした固体
レーザ発振装置が提供されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as disclosed in JP-A-8-162694, a solid-state laser medium and a flash lamp are provided integrally with a lid for closing both ends of a housing. 2. Description of the Related Art There has been provided a solid-state laser oscillation device in which a flash lamp or the like can be easily taken out of a housing.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のものでは、固体レーザ媒質及びフラッシュランプ等
をハウジングから容易に取り出すことができるものの、
再び固体レーザ媒質及びフラッシュランプ等をハウジン
グに組み入れる場合には、固体レーザ媒質などの光軸調
整を再度する必要があり、再現性が悪いという問題があ
った。
However, in the above-mentioned conventional device, the solid-state laser medium and the flash lamp can be easily taken out of the housing.
When the solid-state laser medium and the flash lamp are incorporated into the housing again, it is necessary to adjust the optical axis of the solid-state laser medium and the like again, and there is a problem that reproducibility is poor.

【0004】また、固体レーザ媒質の冷却向上を図るた
めには、固体レーザ媒質を冷却する冷却流体に方向性を
持たせるとよいが、そのためには別途仕切板等が必要と
なり、構造が複雑化するという問題があった。
In order to improve the cooling of the solid-state laser medium, the cooling fluid for cooling the solid-state laser medium is preferably provided with a direction. However, a separate partition plate or the like is required for this purpose, which complicates the structure. There was a problem of doing.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1記載の
固体レーザ発振装置は、固体レーザ媒質と、この固体レ
ーザ媒質を励起するフラッシュランプと、フラッシュラ
ンプからの光を固体レーザ媒質に向けて反射させる反射
板とが収容されるとともに、上記固体レーザ媒質を冷却
するための冷却通路を有するレーザ発振ユニットと、上
記冷却通路に連通する流出入口を有するハウジングとを
備え、上記レーザ発振ユニットがガイド部材に案内され
て上記ハウジング内に挿脱自在に設けられたものであ
る。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a solid-state laser oscillator, a solid-state laser medium, a flash lamp for exciting the solid-state laser medium, and directing light from the flash lamp to the solid-state laser medium. And a reflection plate for cooling the solid-state laser medium, a laser oscillation unit having a cooling passage for cooling the solid-state laser medium, and a housing having an outflow / inlet communicating with the cooling passage. The guide member is provided so as to be freely inserted into and removed from the housing.

【0006】本発明の請求項2記載の固体レーザ発振装
置は、前記ガイド部材が前記冷却通路及び前記流出入口
の両側に配置され、当該ガイド部材が冷却流体の仕切壁
として兼用されるように構成されたものである。
According to a second aspect of the present invention, in the solid-state laser oscillation device, the guide member is disposed on both sides of the cooling passage and the outflow / inlet port, and the guide member is also used as a partition wall for the cooling fluid. It was done.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0008】図1は、本発明に係る固体レーザ発振装置
の概略構成を示している。図において、1は両端が開口
11、12された筒状のハウジングで、該ハウジング1
内には、レーザ発振ユニット2がガイド部材としてのガ
イドレール3に沿って挿脱自在に配置されている。
FIG. 1 shows a schematic configuration of a solid-state laser oscillation device according to the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a cylindrical housing having openings 11 and 12 at both ends.
Inside, a laser oscillation unit 2 is arranged so as to be freely inserted and removed along a guide rail 3 as a guide member.

【0009】また、ハウジング1には、当該ハウジング
1に冷却水(冷却流体)を供給する冷却水供給口13
と、この冷却水を排出する冷却水排出口14とが形成さ
れている。つまり、冷却水供給口13と冷却水排出口1
4とで後述する冷却通路4(図2参照)に連通する流出
入口を構成している。
The housing 1 has a cooling water supply port 13 for supplying cooling water (cooling fluid) to the housing 1.
And a cooling water discharge port 14 for discharging the cooling water. That is, the cooling water supply port 13 and the cooling water discharge port 1
4 together form an outflow / inlet port that communicates with a cooling passage 4 (see FIG. 2) described later.

【0010】このレーザ発振ユニット2は、図2に示す
ように、その本体21の外形が前記ハウジング1の断面
形状と同様な矩形状に形成されており、前記ガイドレー
ル3を介してハウジング1の内周面と所定の間隔を隔て
て配置されている。
As shown in FIG. 2, the laser oscillation unit 2 has a main body 21 formed in a rectangular shape similar to the cross-sectional shape of the housing 1. It is arranged at a predetermined distance from the inner peripheral surface.

【0011】ガイドレール3は、ハウジング1の内面に
且つ両端開口にかけて上下にそれぞれ2本ずつ計4本が
それぞれ平行に配設されており、ハウジング1の内面か
ら内方に所定高さ突出した状態で敷設されている。
A total of four guide rails 3 are arranged in parallel on the inner surface of the housing 1 and two at the top and bottom, respectively, over the openings at both ends. The guide rails 3 project inward from the inner surface of the housing 1 by a predetermined height. Is laid.

【0012】前記本体21の前記各ガイドレール3と対
応する外周面には、当該各ガイドレール3が摺動可能な
溝22がそれぞれ形成されており、これらガイドレール
3と溝22とによりレーザ発振ユニット2がハウジング
1内に適宜間隔を隔てた状態で挿脱自在に配置されるよ
うに構成されている。
On the outer peripheral surface of the main body 21 corresponding to each of the guide rails 3, a groove 22 in which each of the guide rails 3 is slidable is formed, and laser oscillation is performed by the guide rail 3 and the groove 22. The unit 2 is configured so as to be freely inserted into and removed from the housing 1 at appropriate intervals.

【0013】そして、前記本体21内には固体レーザ媒
質23及びフラッシュランプ24等が配置されている。
A solid-state laser medium 23 and a flash lamp 24 are disposed in the main body 21.

【0014】前記固体レーザ媒質23は、前記本体21
内のぼぼ中心位置に配置されている。この固体レーザ媒
質23としては、YAG、ガラス、ルビー等が使用され
ている。
The solid-state laser medium 23 includes the main body 21.
It is located at the center of the inside. As the solid laser medium 23, YAG, glass, ruby, or the like is used.

【0015】前記フラッシュランプ24は、前記固体レ
ーザ媒質23を光励起するためのもので、当該固体レー
ザ媒質23を挟んで対象位置に平行に配置されている。
The flash lamp 24 is for optically exciting the solid-state laser medium 23, and is arranged in parallel with a target position with the solid-state laser medium 23 interposed therebetween.

【0016】これら固体レーザ媒質23及びフラッシュ
ランプ24の外周は散乱反射板25で包囲されおり、こ
の散乱反射板25が前記本体21内にボルト26などの
適宜な固設部材によって固設されている。
The outer peripheries of the solid-state laser medium 23 and the flash lamp 24 are surrounded by a scattering reflector 25, and the scattering reflector 25 is fixed in the main body 21 by an appropriate fixing member such as a bolt 26. .

【0017】また、固体レーザ媒質23とフラッシュラ
ンプ24との間には、透明な仕切板27が配設されてい
る。
A transparent partition plate 27 is provided between the solid-state laser medium 23 and the flash lamp 24.

【0018】各仕切板27は、前記散乱反射板25に保
持されており、この仕切板27により固体レーザ媒質2
3とフラッシュランプ24とを水密状に仕切っている。
Each of the partition plates 27 is held by the scattering reflector 25, and the solid laser medium 2 is held by the partition plates 27.
3 and the flash lamp 24 are partitioned in a watertight manner.

【0019】そして、前記本体21と散乱反射板25と
には前記ハウジング1内に供給される冷却水を固体レー
ザ媒質23に導く導入路41と、この冷却水をハウジン
グ1内に排出する排出路42とが形成されており、仕切
板27で仕切られた固体レーザ媒質23の周囲の空間部
43と上記導入路41及び排出路42とで冷却通路4を
形成している。
The main body 21 and the scattering reflector 25 are provided with an introduction passage 41 for guiding the cooling water supplied into the housing 1 to the solid-state laser medium 23, and a discharge passage for discharging the cooling water into the housing 1. The cooling passage 4 is formed by a space 43 around the solid-state laser medium 23 partitioned by the partition plate 27 and the introduction path 41 and the discharge path 42.

【0020】つまり、前記冷却水供給口13からハウジ
ング1内に供給された冷却水は、冷却通路4を通じて固
体レーザ媒質23の周囲に導かれ当該固体レーザ媒質2
3を冷却した後に、ハウジング1の冷却水排出口14か
ら排出される。
That is, the cooling water supplied into the housing 1 from the cooling water supply port 13 is guided to the periphery of the solid-state laser medium 23 through the cooling passage 4 and
After cooling, the cooling water 3 is discharged from the cooling water discharge port 14 of the housing 1.

【0021】また、前記ガイドレール3は、前記冷却通
路4及び流出入口を構成する冷却水供給口13と冷却水
排出口14の両側に配置されており、上述のようにハウ
ジング1内に導入される冷却水を当該ガイドレール3間
で封じ込めガイドレール3の外側のハウジング1内に浸
入するのを防止する仕切壁の役目も果たしている。
The guide rails 3 are arranged on both sides of the cooling water supply port 13 and the cooling water discharge port 14 constituting the cooling passage 4 and the outflow / inlet, and are introduced into the housing 1 as described above. It also functions as a partition wall for sealing the cooling water between the guide rails 3 and preventing the cooling water from entering the housing 1 outside the guide rails 3.

【0022】このように構成されたレーザ発振ユニット
2は、前述のようにしてハウジング1内に配置された状
態でハウジング1の両端の開口11、12を図1に示す
ように蓋体51、52によって閉塞することで、当該ハ
ウジング1内に安定的に配置される。
With the laser oscillation unit 2 thus configured, the openings 11 and 12 at both ends of the housing 1 are placed as shown in FIG. By closing the housing 1, it is stably arranged in the housing 1.

【0023】これら蓋体51、52は、ボルト53など
の適宜な固着部材により着脱自在に構成されており、そ
の中心部には開口54が形成されている。そして、上記
各開口54と対峙して出力鏡6と全反射鏡7が配設され
ている。このようにして構成された固体レーザ発振装置
は、フラッシュランプ24からの励起光が固体レーザ媒
質23に照射されることで、全反射鏡7の反射作用によ
り出力鏡6側からレーザ光が出力される。
The lids 51 and 52 are detachably formed by an appropriate fixing member such as a bolt 53, and an opening 54 is formed at the center thereof. The output mirror 6 and the total reflection mirror 7 are disposed so as to face each of the openings 54. In the solid-state laser oscillator configured as described above, when the solid-state laser medium 23 is irradiated with the excitation light from the flash lamp 24, the laser light is output from the output mirror 6 side by the reflection action of the total reflection mirror 7. You.

【0024】そして、固体レーザ発振装置の組立時に
は、固体レーザ媒質23及びフラッシュランプ24等を
組み込んだレーザ発振ユニット2をガイドレール3に沿
ってスライドさせることで、当該レーザ発振ユニット2
を簡単にハウジング1内に配置することができるととも
に、ガイドレール3により位置決めされた状態で配置さ
れるため、配置した際の再現性が良好で、煩わしい光軸
調整を行う負担を軽減することができる。即ち、高い精
度でガイドレール3を介してレーザ発振ユニット2をハ
ウジング1に配置することができる場合では、光軸調整
を殆ど必要としないし、仮に必要な場合であってもレー
ザ発振ユニット2によって基本的な調整がなされている
ため微調整で済む。
When assembling the solid-state laser oscillation device, the laser oscillation unit 2 incorporating the solid-state laser medium 23 and the flash lamp 24 is slid along the guide rail 3 so that the laser oscillation unit 2
Can be easily arranged in the housing 1 and is arranged in a state of being positioned by the guide rail 3, so that the reproducibility at the time of arrangement is good and the burden of performing troublesome optical axis adjustment can be reduced. it can. That is, when the laser oscillation unit 2 can be arranged on the housing 1 with high precision via the guide rail 3, the optical axis adjustment is hardly necessary, and even if it is necessary, the laser oscillation unit 2 Fine adjustments are required because basic adjustments have been made.

【0025】また、ガイドレール3間で冷却水を導くた
め、この冷却水に方向性を持たせることができ、ハウジ
ング1とレーザ発振ユニット2との間全体に冷却水を導
くのに比べて冷却効率が良い。
Since the cooling water is introduced between the guide rails 3, the cooling water can be given a direction, and the cooling water can be directed to the whole space between the housing 1 and the laser oscillation unit 2. Efficient.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、レ
ーザ発振ユニットをガイド部材に沿って案内させること
で、当該レーザ発振ユニットを簡単にハウジング内に配
置することができるとともに、ガイド部材により位置決
めされた状態で配置されるため、配置した際の再現性が
良好で、煩わしい光軸調整を行う負担を軽減することが
できる。
As described above, according to the present invention, the laser oscillation unit can be easily arranged in the housing by guiding the laser oscillation unit along the guide member. As a result, the reproducibility at the time of arrangement is good, and the burden of performing troublesome optical axis adjustment can be reduced.

【0027】また、ガイド部材を冷却通路及び流出入口
の両側に配置して、当該ガイド部材を冷却流体の仕切壁
として兼用し、これらガイド部材間で冷却流体を導くこ
とで、構造を複雑化することなく、冷却流体に方向性を
持たせるこができ、冷却効率を高めることができる。
Further, the guide member is disposed on both sides of the cooling passage and the outflow / inlet, and the guide member is also used as a partition wall of the cooling fluid, and the cooling fluid is guided between these guide members, thereby complicating the structure. Thus, the cooling fluid can be given directionality, and the cooling efficiency can be increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の固体レーザ発振装置の構成を示す断面
図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a solid-state laser oscillation device according to the present invention.

【図2】図1のA−A断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ハウジング 13 冷却水供給口 14 冷却水排出口 2 レーザ発振ユニット 23 固体レーザ媒質 24 フラッシュランプ 25 散乱反射板(反射板) 3 ガイドレール(ガイド部材) 4 冷却通路 Reference Signs List 1 housing 13 cooling water supply port 14 cooling water discharge port 2 laser oscillation unit 23 solid laser medium 24 flash lamp 25 scattering reflector (reflector) 3 guide rail (guide member) 4 cooling passage

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 固体レーザ媒質と、この固体レーザ媒質
を励起するフラッシュランプと、フラッシュランプから
の光を固体レーザ媒質に向けて反射させる反射板とが収
容されるとともに、上記固体レーザ媒質を冷却するため
の冷却通路を有するレーザ発振ユニットと、上記冷却通
路に連通する流出入口を有するハウジングとを備え、上
記レーザ発振ユニットがガイド部材に案内されて上記ハ
ウジング内に挿脱自在に設けられたことを特徴とする固
体レーザ発振装置。
1. A solid-state laser medium, a flash lamp for exciting the solid-state laser medium, and a reflector for reflecting light from the flash lamp toward the solid-state laser medium are housed therein, and the solid-state laser medium is cooled. A laser oscillation unit having a cooling passage for performing the operation, and a housing having an outflow / inlet communicating with the cooling passage, wherein the laser oscillation unit is guided by a guide member and is detachably provided in the housing. A solid-state laser oscillation device characterized by the above-mentioned.
【請求項2】 前記ガイド部材が前記冷却通路及び前記
流出入口の両側に配置され、当該ガイド部材が冷却流体
の仕切壁として兼用されるように構成された請求項1記
載の固体レーザ発振装置。
2. The solid-state laser oscillation device according to claim 1, wherein said guide member is arranged on both sides of said cooling passage and said outflow / inlet, and said guide member is also used as a partition wall for a cooling fluid.
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