JPH11101300A - Vibration control support device of apparatus - Google Patents
Vibration control support device of apparatusInfo
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- JPH11101300A JPH11101300A JP26634897A JP26634897A JPH11101300A JP H11101300 A JPH11101300 A JP H11101300A JP 26634897 A JP26634897 A JP 26634897A JP 26634897 A JP26634897 A JP 26634897A JP H11101300 A JPH11101300 A JP H11101300A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はエンジン、発電機等
の振動を発生する機器を定盤上に載置固定し、同定盤の
下面と基部との間に防振装置を介装した機器の防振支持
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for mounting a vibration generating device such as an engine or a generator on a surface plate, and interposing a vibration isolator between the lower surface and the base of the identification plate. The present invention relates to an anti-vibration support device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図３には、エンジン、発電機等の振動を
発生する機器を定盤上に載置、固定し、同定盤の下面と
基部との間に防振ゴムを介装するとともに、加振装置に
よって機器の起振力を打ち消す方向の制振力を発生せし
めるようにしたアクティブ防振装置の１例が示されてい
る。2. Description of the Related Art FIG. 3 shows an apparatus for generating vibration such as an engine and a generator mounted on a surface plate, fixed thereto, and provided with a vibration-proof rubber between the lower surface and the base of the identification plate. An example of an active vibration isolator in which a vibration device generates vibration damping force in a direction to cancel the vibration force of the device is shown.
【０００３】図３において１はエンジン、発電機等の振
動を発生する機器であり、同機器１は定盤２上に固定さ
れている。３は基部であり、同基部３の上面と上記定盤
２の下面との間には複数個の防振ゴム４が介装されてい
る。In FIG. 3, reference numeral 1 denotes a device for generating vibration, such as an engine and a generator, and the device 1 is fixed on a base 2. Reference numeral 3 denotes a base, and a plurality of anti-vibration rubbers 4 are interposed between the upper surface of the base 3 and the lower surface of the surface plate 2.
【０００４】１１は上記定盤２に連結して設けられた加
振器である。同加振器１１は圧電素子式、あるいは電磁
式のものが用いられ、機器１に生ずる起振力Ｆ1 に対し
て、これを打ち消す方向に制振力Ｆ2 を発生させ、上記
起振力Ｆ1 によって伝達される基部３の振動を抑制する
ようになっている。[0004] Reference numeral 11 denotes a vibrator connected to the surface plate 2. The vibrator 11 is of a piezoelectric element type or an electromagnetic type. The vibrator 11 generates a vibration damping force F 2 in a direction to cancel the vibrating force F 1 generated in the device 1. It is adapted to suppress the vibration of the base 3 to be transmitted by the F 1.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】図３に示されるような
アクティブ防振装置においては、上記のように制振力Ｆ
2 を発生させる加振器１１として圧電素子式あるいは電
磁式のものを使用している。SUMMARY OF THE INVENTION As shown in FIG.
In an active vibration isolator, the vibration damping force F
TwoA piezoelectric element type or electric
Magnetic type is used.
【０００６】しかしながら圧電素子式のものにおいて
は、出力が小さいため、機器１が大型の場合には所要の
制振力を得ることができず、充分な防振効果が得られな
い。However, in the case of the piezoelectric element type, since the output is small, when the device 1 is large, a required vibration damping force cannot be obtained, and a sufficient vibration damping effect cannot be obtained.
【０００７】また電磁式のものにおいては、大型の機器
１に使用する場合には加振器１１自体を大型化すること
によって大出力を得ることはできるが、かかる電磁式の
加振器１１はこれの大きさに対する出力（アクチュエー
タ（加振器）の重量に対する出力）が概ね一定であるた
め、機器１の大型化（大重量化）に比例して加振器１１
も大型化する。このため、かかる電磁式の加振器１１に
あっては、大型の機器１に使用する際には設置スペース
が大きくなることにより、スペースに制約のある場所で
は設置が不可能になり、また加振器１１の巨大化によっ
て加振器１１自体から発生する騒音も増大するという問
題点を抱えている。In the case of the electromagnetic type, a large output can be obtained by increasing the size of the vibrator 11 itself when it is used for a large device 1. Since the output with respect to the size (output with respect to the weight of the actuator (vibrator)) is substantially constant, the vibrator 11 is increased in proportion to the increase in the size of the device 1 (increase in weight).
Also increase in size. For this reason, such an electromagnetic vibrator 11 requires a large installation space when used for the large-sized equipment 1, and cannot be installed in a place where space is limited, and There is a problem that the noise generated from the vibrator 11 itself increases due to the enlargement of the vibrator 11.
【０００８】本発明の目的は、小型の装置で以って大き
な制振力が得られるアクチュエータを備えることによ
り、装置を大型化することなく大型の機器の防振に充分
に適応できる制振力が得られる機器の防振支持装置を提
供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an actuator capable of obtaining a large damping force with a small-sized device, so that the vibration-damping force can be sufficiently adapted to the vibration damping of a large device without increasing the size of the device. The object of the present invention is to provide an anti-vibration support device for a device that can obtain the above.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は上記のような問
題点を解決するもので、その要旨とする手段は、振動が
生起される機器が載置された定盤の下面と基部との間に
防振装置を介装してなる機器の防振装置であって、上記
防振装置は、磁歪効果により上記定盤と基部との間に制
振力を生起せしめる超磁歪材を有するアクチュエータを
備えてなることを特徴とする機器の防振支持装置にあ
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the gist of the present invention is to provide a method for mounting a vibration-generating device on a lower surface of a surface plate and a base. An anti-vibration device for a device having a vibration isolator interposed therebetween, wherein the vibration isolator has a giant magnetostrictive material that generates a vibration damping force between the base and the base by a magnetostrictive effect. A vibration isolating support device for a device, comprising:
【００１０】上記手段によれば、超磁歪材に巻回された
電磁コイルに電流を流すと、超磁歪材内部の磁場が変化
し、磁歪効果によりこの超磁歪材を備えたアクチュエー
タに制振力が発生し、この制振力が定盤と基部との間に
作用する。そして、この制振力を機器により生ずる起振
力を打ち消す方向に作用させることにより、機器から基
部へ伝達される上記起振力を最小とせしめる。According to the above-described means, when a current is applied to the electromagnetic coil wound around the giant magnetostrictive material, the magnetic field inside the giant magnetostrictive material changes, and the damping force is applied to the actuator provided with the giant magnetostrictive material by the magnetostrictive effect. Is generated, and this damping force acts between the base and the base. Then, by applying the vibration suppression force in a direction to cancel the excitation force generated by the device, the excitation force transmitted from the device to the base is minimized.
【００１１】従って、上記手段によれば、重量当りの発
生応力が大きい超磁歪材を起振力を減衰させるためのア
クチュエータとして使用することにより、小型のアクチ
ュエータで以って大きな起振力による振動を減衰させる
ことができる。これによって大型の機器に対しても、小
型で設置スペースの小さい防振装置で以って充分な防振
をなすことができる。Therefore, according to the above means, the giant magnetostrictive material having a large generated stress per weight is used as an actuator for attenuating the vibrating force. Can be attenuated. As a result, even for a large-sized device, a sufficient vibration damping can be achieved with a small vibration damping device having a small installation space.
【００１２】また、上記手段に加えて、上記基部の振動
を検出する振動検出手段と、上記アクチュエータによる
制振力を検出する制振力検出手段と、同振動検出手段か
らの基部振動の検出値及び制振力検出手段からの制振力
の検出値に基づき、上記アクチュエータの制振力を所要
値に調整する制御装置とを備える、ことも本発明に含ま
れる。Further, in addition to the above means, a vibration detecting means for detecting the vibration of the base, a vibration damping force detecting means for detecting a vibration damping force by the actuator, and a detected value of the base vibration from the vibration detecting means. The present invention also includes a control device that adjusts the damping force of the actuator to a required value based on the detected value of the damping force from the damping force detection means.
【００１３】かかる手段によれば、加速度計等の振動検
出手段によって基部に伝達されてくる振動を検出すると
ともに、荷重計等の制振力検出手段によって超磁歪材に
より発生する制振力を検出して、基部振動及び制振力の
検出信号を制御装置に入力する。そして制御装置におい
ては、上記検出信号に基づき、アクチュエータの制振力
が最適となるような電流値を求めてこれをアクチュエー
タの電源に出力して、電源からの電流を上記目標の制振
力となるように制御する。According to such means, vibration transmitted to the base is detected by vibration detecting means such as an accelerometer, and vibration damping force generated by the giant magnetostrictive material is detected by vibration damping force detecting means such as a load meter. Then, the detection signals of the base vibration and the vibration suppression force are input to the control device. Then, in the control device, based on the detection signal, a current value that optimizes the damping force of the actuator is obtained, and the current value is output to the power supply of the actuator. Control so that
【００１４】これにより、防振支持された振動等の振動
特性を監視し、その変化を制振力にフィードバックする
ことによって、機器の運転状態が時間的に変化する場合
でも、これに迅速に追従した防振作用をなすことができ
る。By monitoring the vibration characteristics of the vibration-supported vibration and the like and feeding back the change to the vibration damping force, even if the operation state of the device changes with time, it can quickly follow the change. It is possible to achieve the anti-vibration effect.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下図１〜図２を参照して本発明
の実施形態につき詳細に説明する。図１は本発明の実施
の第１形態に係る機器の防振支持装置の構成図、図２は
本発明の実施の第２形態を示す図１応当図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to FIGS. FIG. 1 is a block diagram of a vibration isolating support device for a device according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a drawing corresponding to FIG. 1 showing a second embodiment of the present invention.
【００１６】図１において、１はエンジン、発電機等の
振動を発生する機器であり、同機器１は平滑な定盤上に
載置、固定されている。３は基部であり、同基部３の上
面と上記定盤２の下面間には防振ゴム４が複数個並列に
介装されている。In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a device for generating vibrations such as an engine and a generator, and the device 1 is mounted and fixed on a smooth surface plate. Reference numeral 3 denotes a base, and a plurality of anti-vibration rubbers 4 are interposed between the upper surface of the base 3 and the lower surface of the surface plate 2 in parallel.
【００１７】２０はアクチュエータであり、上記基部３
の上面と定盤２の下面との間に複数個並列に挿み込まれ
ている。Reference numeral 20 denotes an actuator.
Are inserted in parallel between the upper surface of the base plate 2 and the lower surface of the surface plate 2.
【００１８】上記アクチュエータ２０は柱状の超磁歪材
５とこれの外周に巻回されたコイル６と同コイルに電流
を附与する電源７とによって構成されている。The actuator 20 comprises a columnar giant magnetostrictive material 5, a coil 6 wound around the column, and a power supply 7 for applying a current to the coil.
【００１９】上記超磁歪材５は、これに巻回されたコイ
ル６に電源７から電流を流すと内部の磁場が変化し、磁
歪効果によって内部歪が発生し、これによって力が発生
するものである。尚、この超磁歪材５そのものの内部構
成は周知であるので、詳細な構成、機能の説明は省略す
る。The giant magnetostrictive material 5 changes its internal magnetic field when a current is supplied from a power supply 7 to a coil 6 wound therearound, and generates an internal strain by a magnetostrictive effect, thereby generating a force. is there. Since the internal configuration of the giant magnetostrictive material 5 itself is well known, a detailed description of the configuration and functions will be omitted.
【００２０】また、上記超磁歪材５を備えたアクチュエ
ータ２０は、超磁歪材５を最適動作点に置くために偏倚
磁場や予荷重を与えて設置する。そして、かかる偏倚磁
場あるいは予荷重を与えるためには、超磁歪材５の周囲
に永久磁石を用いた磁気回路を構成する手段、あるいは
超磁歪材５に予め圧縮荷重を与えておく手段等が用いら
れる。The actuator 20 provided with the giant magnetostrictive material 5 is provided with a bias magnetic field or a preload so as to place the giant magnetostrictive material 5 at an optimum operating point. In order to apply such a bias magnetic field or preload, means for forming a magnetic circuit using a permanent magnet around the giant magnetostrictive material 5 or means for applying a compressive load to the giant magnetostrictive material 5 in advance is used. Can be
【００２１】上記構成を備えた機器の防振支持装置の稼
動時において、アクチュエータ２０の超磁歪材５に巻回
されたコイルに電源７から電流を流すと、上記のように
超磁歪材５の磁歪効果によってアクチュエータ２０には
上下方向の力Ｆ2 が発生し、この力Ｆ2 が上記定盤２と
基部３との間に作用する。When an electric current is supplied from the power supply 7 to the coil wound around the giant magnetostrictive material 5 of the actuator 20 during the operation of the anti-vibration support device of the device having the above configuration, the giant magnetostrictive material 5 A vertical force F 2 is generated in the actuator 20 by the magnetostrictive effect, and this force F 2 acts between the base 2 and the base 3.
【００２２】このとき機器１側には振動の起振力Ｆ1 が
上下方向に作用している。そこで上記アクチュエータ２
０に生起された力、即ち制振力Ｆ2 を、上記起振力Ｆ1
を打ち消す大きさあるいは周期に調整あるいは設定す
る。The vibratory force F 1 of the oscillation in this case device 1 side is acting in the vertical direction. Therefore, the actuator 2
0 occur by force, i.e. the damping force F 2, the exciting force F 1
Is adjusted or set to the size or cycle to cancel.
【００２３】これによって、上記機器１の振動の起振力
Ｆ1 が最小限に抑えられて基部３に伝達されることとな
り、基部の振動が抑制される。この超磁歪材５は単位重
量当たりの発生応力が大きいため、小型で以って大きな
制振力Ｆ2 を得ることができ、大型の機器１であって
も、アクチュエータ２０は比較的小型で以って所要の制
振力を生起することができる。[0023] Thus, it becomes possible vibratory force F 1 of the vibration of the apparatus 1 is transmitted to the base 3 is minimized, the vibration of the base is suppressed. Since this stress generated super magnetostrictive material 5 per unit weight is large, it is possible to obtain a large damping force F 2 I than small, even a device 1 large, the actuator 20 is relatively small and more than As a result, a required damping force can be generated.
【００２４】次に図２に示される実施の第２形態は図１
の第１形態に、アクチュエータによる制振力を検出する
荷重計８と基部３に加わる振動加速度を検出する加速度
計９と、同荷重計８からの制振力の検出信号及び加速度
計９からの基部３の振動加速度の検出信号が入力され、
これらの検出信号に基づき、電源７の電流を変化させて
制振力を目標値に制御する制御装置１０とを加設してい
る。Next, a second embodiment shown in FIG.
In the first embodiment, a load meter 8 for detecting a vibration damping force by an actuator, an accelerometer 9 for detecting a vibration acceleration applied to the base 3, a detection signal of a vibration damping force from the load meter 8 and a signal from the accelerometer 9 A detection signal of the vibration acceleration of the base 3 is input,
Based on these detection signals, a control device 10 that changes the current of the power supply 7 to control the damping force to a target value is additionally provided.
【００２５】即ち、図２において、超磁歪材５を備えた
アクチュエータ２０の上面と定盤２の下面との間には荷
重計８がアクチュエータ２０と同数挿設され、また基部
３上には基部３の振動加速度を検出するための加速度計
９が設けられている。That is, in FIG. 2, the same number of load meters 8 as the actuators 20 are inserted between the upper surface of the actuator 20 provided with the giant magnetostrictive material 5 and the lower surface of the base 2, and the base 3 is provided on the base 3. An accelerometer 9 for detecting the vibration acceleration of No. 3 is provided.
【００２６】上記荷重計８からのアクチュエータ２０の
制振力の検出信号及び加速度計９からの基部３の振動加
速度の検出信号は制御装置１０に入力されるようになっ
ている。A detection signal of the vibration damping force of the actuator 20 from the load meter 8 and a detection signal of the vibration acceleration of the base 3 from the accelerometer 9 are input to the control device 10.
【００２７】かかる第２形態において、機器１の振動に
よる起振力Ｆ1 に対し、上記第１形態と同様に、アクチ
ュエータ２０の超磁歪材５によって上記起振力Ｆ1 を打
ち消す制振力Ｆ2 が作用し、基部３に伝達される振動が
減衰せしめられる。この実施形態においては、さらに基
部３の振動加速度を加速度計９により検出して制御装置
１０に入力するとともに、荷重計８により上記制振力Ｆ
2 を検出して制御装置１0 に入力する。[0027] In accordance a second embodiment, with respect to excitation force F 1 caused by the vibration of the device 1, as in the first embodiment, the damping force F by super magnetostrictive material 5 of the actuator 20 cancel the exciting force F 1 2 acts to attenuate the vibration transmitted to the base 3. In this embodiment, the vibration acceleration of the base 3 is further detected by the accelerometer 9 and input to the control device 10, and the vibration damping force F is detected by the load meter 8.
2 is detected and input to the control device 10.
【００２８】そして、制御装置１０においては、これに
入力された基部３の振動加速度及び制振力に基づき、こ
の振動計の振動特性即ち制振力と上記振動加速度つまり
振動応答との関係を算出し、超磁歪材５からの制振力が
目標とする最適の制振力によるように電源７に制御信号
を出力してコイル６に流れる電流を調整する。The control device 10 calculates the relationship between the vibration characteristics of the vibrometer, ie, the vibration suppression force, and the above-mentioned vibration acceleration, ie, the vibration response, based on the vibration acceleration and the vibration suppression force of the base 3 input thereto. Then, a control signal is output to the power supply 7 so that the current flowing through the coil 6 is adjusted so that the damping force from the giant magnetostrictive material 5 depends on the target optimum damping force.
【００２９】即ち、上記制振装置１０においては、予め
記憶装置（図示省略）に設定、格納されたこの実施形態
に係る振動系の振動特性を参照して基部３の振動が最小
となるようなフィードバックゲインを求め、加速度計９
から入力される振動加速度の検出値と上記フィードバッ
クゲインとにより基部３と定盤２との間に作用させる制
振力を求め、さらにこの制振力を発生させるために超磁
歪材５に巻回されたコイル６に印加すべき電流値（電圧
を制御する場合は電圧値）に求める。一方で、上記制御
装置１０においては、上記加速度計９からの振動加速度
及び荷重計８からの制振力の検出信号に基づき、かかる
振動系の振動特性を常時モニタし、機器１の運転特性等
により振動系の振動特性が変化した場合には、新たに上
記フィードバックゲインを算出し、制振力を補正する。That is, in the vibration damping device 10, the vibration of the base 3 is minimized with reference to the vibration characteristics of the vibration system according to this embodiment which are set and stored in a storage device (not shown) in advance. The feedback gain is obtained and the accelerometer 9
A vibration damping force to be applied between the base 3 and the surface plate 2 is obtained from the detected value of the vibration acceleration input from the controller and the feedback gain, and wound around the giant magnetostrictive material 5 to generate the vibration damping force. The current value to be applied to the coil 6 (the voltage value when controlling the voltage) is determined. On the other hand, the control device 10 constantly monitors the vibration characteristics of the vibration system based on the vibration acceleration from the accelerometer 9 and the detection signal of the vibration suppression force from the load meter 8, and monitors the operating characteristics of the device 1. When the vibration characteristics of the vibration system change, the feedback gain is newly calculated and the vibration damping force is corrected.
【００３０】以上の動作により、機器１をアクチュエー
タ２０及び防振ゴム４にて防振支持してなる振動系の振
動特性を制御装置１０によって監視しその変化を同制御
装置１０にフィードバックすることによって、機器１の
運転状態が時間的に変化する場合でも、これに迅速に追
従して制振力Ｆを変化させることができ、常時有効な制
振効果を得ることができる。By the above operation, the vibration characteristics of the vibration system in which the device 1 is supported by the actuator 20 and the vibration-proof rubber 4 in a vibration-proof manner are monitored by the control device 10, and the change is fed back to the control device 10. Even when the operating state of the device 1 changes with time, the vibration damping force F can be changed by quickly following the change, and an always effective vibration damping effect can be obtained.
【００３１】尚、以上の実施形態では上記超磁歪材５を
有するアクチュエータ２０を防振ゴム４と並列に設けた
がこれを防振ゴム４と直列に設けてもよい。また、上記
超磁歪材５を有するアクチュエータ２０のみを定盤２と
基部３との間に複数個介装してもよい。尚この場合は、
超磁歪材の支持剛性が高いので高周波振動に対処する場
合に用いて好適である。In the above embodiment, the actuator 20 having the giant magnetostrictive material 5 is provided in parallel with the vibration isolating rubber 4, but it may be provided in series with the vibration isolating rubber 4. Alternatively, a plurality of actuators 20 each having the giant magnetostrictive material 5 may be interposed between the base 2 and the base 3. In this case,
Since the supporting rigidity of the giant magnetostrictive material is high, it is suitable for use in dealing with high frequency vibration.
【００３２】[0032]
【発明の効果】本発明は以上のように構成されており、
本発明によれば、重量当りの発生応力が大きい超磁歪材
を起振力を減衰させるためのアクチュエータとして使用
することにより、小型のアクチュエータで以って大きな
起振力による振動を減衰させることができる。これによ
って大型の機器に対しても、小型で設置スペースの小さ
い防振装置で以って充分な防振をなすことができる。The present invention is configured as described above.
According to the present invention, by using a giant magnetostrictive material having a large generated stress per weight as an actuator for attenuating the vibrating force, it is possible to attenuate vibration due to a large vibratory force with a small actuator. it can. As a result, even for a large-sized device, a sufficient vibration damping can be achieved with a small vibration damping device having a small installation space.
【００３３】また請求項２のように構成すれば、制御装
置によって、防振支持された振動系の振動特性を監視し
その変化を制振力にフィードバックすることにより、機
器の運転状態が時間的に変化する場合でも、これに迅速
に追従して制振力を変化させることができ、常時有効な
防振効果を得ることができる。According to a second aspect of the present invention, the control device monitors the vibration characteristics of the vibration system supported by vibration isolation and feeds back the change to the vibration damping force. , The vibration damping force can be changed by quickly following this, and an effective vibration damping effect can be always obtained.
【図１】本発明の実施の第１形態に係る機器の防振支持
装置の構成図。FIG. 1 is a configuration diagram of an anti-vibration support device for a device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施の第２形態を示す図１応当図。FIG. 2 is an equivalent view of FIG. 1 showing a second embodiment of the present invention.
【図３】従来例を示す図１応当図。FIG. 3 is a diagram showing a conventional example.
１ 機器 ２ 定盤 ３ 基部 ４ 防振ゴム ５ 超磁歪材 ６ コイル ７ 電源 ８ 荷重計 ９ 加速度計 １０ 制御装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Device 2 Surface plate 3 Base 4 Anti-vibration rubber 5 Giant magnetostrictive material 6 Coil 7 Power supply 8 Load cell 9 Accelerometer 10 Control device
Claims (2)
の下面と基部との間に防振装置を介装してなる機器の防
振装置であって、上記防振装置は、磁歪効果により上記
定盤と基部との間に制振力を生起せしめる超磁歪材を有
するアクチュエータを備えてなることを特徴とする機器
の防振支持装置。1. A vibration isolator for a device in which a vibration isolator is interposed between a lower surface of a surface plate on which a device in which vibration is generated is mounted and a base, wherein the vibration isolator is: An anti-vibration support device for an apparatus, comprising: an actuator having a super-magnetostrictive material for generating a vibration damping force between the base and the base by a magnetostrictive effect.
と、上記アクチュエータによる制振力を検出する制振力
検出手段と、同振動検出手段からの基部振動の検出値及
び制振力検出手段からの制振力の検出値に基づき、上記
アクチュエータの制振力を所要値に調整する制御装置と
を備えた請求項１に記載の機器の防振支持装置。2. A vibration detecting means for detecting vibration of the base, a vibration damping force detecting means for detecting a vibration damping force by the actuator, and a base vibration detection value and vibration damping force detecting means from the vibration detecting means. 2. The apparatus according to claim 1, further comprising: a control device that adjusts a damping force of the actuator to a required value based on a detected value of the damping force from the controller.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26634897A JPH11101300A (en) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | Vibration control support device of apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26634897A JPH11101300A (en) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | Vibration control support device of apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11101300A true JPH11101300A (en) | 1999-04-13 |
Family
ID=17429697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26634897A Pending JPH11101300A (en) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | Vibration control support device of apparatus |
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