JPH109896A - Encoder for linear motor - Google Patents
Encoder for linear motorInfo
- Publication number
- JPH109896A JPH109896A JP16651596A JP16651596A JPH109896A JP H109896 A JPH109896 A JP H109896A JP 16651596 A JP16651596 A JP 16651596A JP 16651596 A JP16651596 A JP 16651596A JP H109896 A JPH109896 A JP H109896A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- linear motor
- magnetic pole
- slit plate
- phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract description 21
- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Control Of Linear Motors (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、リニヤ同期モー
タの磁極の位置、および移動速度、位置を検出するリニ
ヤモータのエンコーダに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motor encoder for detecting the position, moving speed, and position of magnetic poles of a linear synchronous motor.
【0002】[0002]
【従来の技術】リニヤ同期モータの位置を検出するエン
コーダは、回転形のロータリーエンコーダにラック、ピ
ニオンを組み合わせて直線移動を回転移動に変換して、
直線移動距離を測定していた。図6は従来例のロータリ
ーエンコーダの構成図を示す。この図6において、11
は発光素子、12は円盤上に発光素子11の光を透過す
るスリット13を設けた回転ディスク、14は発光素子
11から回転ディスク12のスリット13を透過した光
を固定位置で検出しa相、b相、z相の光源にする固定
スリット板、15はa相用受光素子、16はb相用受光
素子、17はz相用受光素子を示す。この図6におい
て、回転ディスク12はその軸を経てロータリーエンコ
ーダ外部の歯車(ピニオン)に接続しており、歯車は直
線状に歯形が設けられたラックと噛み合ってラックの直
線移動を回転移動に変換して、ラックの直線移動距離を
回転ディスク12の回転角に変換している。2. Description of the Related Art An encoder for detecting the position of a linear synchronous motor converts a linear movement into a rotational movement by combining a rotary rotary encoder with a rack and a pinion.
The linear movement distance was measured. FIG. 6 shows a configuration diagram of a conventional rotary encoder. In FIG. 6, 11
Is a light emitting element, 12 is a rotating disk provided with a slit 13 for transmitting the light of the light emitting element 11 on a disk, 14 is an a phase detecting light transmitted from the light emitting element 11 through the slit 13 of the rotating disk 12 at a fixed position, A fixed slit plate serving as a b-phase light source and a z-phase light source, 15 a light receiving element for a phase, 16 a light receiving element for b phase, and 17 a light receiving element for z phase. In FIG. 6, the rotating disk 12 is connected via its axis to a gear (pinion) outside the rotary encoder, and the gear meshes with a rack provided with a linear tooth profile to convert the linear movement of the rack into a rotational movement. Then, the linear moving distance of the rack is converted into the rotation angle of the rotating disk 12.
【0003】発光素子11の光は回転ディスク12のス
リット13を通して、さらに固定スリット板14のスリ
ットを通してそれぞれの受光素子に受光されるので、回
転ディスク12の回転により受光と遮光が交互になり受
光素子の出力はパルス状になる。また、受光素子は電気
的に90°の位相差を持つように位置をずらせて配置さ
れており、a相、b相パルスが得られる。The light of the light emitting element 11 is received by the respective light receiving elements through the slit 13 of the rotary disk 12 and further through the slit of the fixed slit plate 14, so that the rotation of the rotary disk 12 causes the light receiving and the light shielding to be alternately performed. Is pulsed. Further, the light receiving elements are arranged so as to be shifted from each other so as to have a phase difference of 90 ° electrically, so that a-phase and b-phase pulses can be obtained.
【0004】このa相パルスをカウントすることにより
移動距離が測定できる。また、単位時間内のa相パルス
をカウントすることにより移動速度が検出される。b相
パルスはa相との比較でいずれのパルスが先に立ち上が
るかで移動方向の判定に使用される。z相パルスは基準
位置を決めるために使用される。通常この種のロータリ
ーエンコーダは全移動ストロークが回転ディスク12の
一回転以内になるように歯車で調整して使用される。The moving distance can be measured by counting the a-phase pulses. Further, the moving speed is detected by counting the a-phase pulses within the unit time. The b-phase pulse is used to determine the moving direction depending on which pulse rises first in comparison with the a-phase pulse. The z-phase pulse is used to determine a reference position. Usually, this kind of rotary encoder is used by adjusting with a gear so that the entire moving stroke is within one rotation of the rotating disk 12.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の構成
では、直線移動を検出するのにロータリーエンコーダ
と、ラックとピニオンや、チェーンとチェーンスプロケ
ット等とを使って直線移動を回転移動に変換してから位
置検出をしているために検出部が小型にできない問題が
ある。また、チェーンやチェーンに代わるワイヤを使用
する場合、チェーンやワイヤの伸びにより測定精度の変
化を補う必要がある。By the way, in the conventional configuration, the linear movement is converted into the rotational movement by using a rotary encoder, a rack and a pinion, a chain and a chain sprocket to detect the linear movement. There is a problem that the detection unit cannot be downsized because the position is detected from the position. When a chain or a wire is used instead of the chain, it is necessary to compensate for a change in measurement accuracy due to the elongation of the chain or the wire.
【0006】この発明は上記課題を解決するためになさ
れたもので、その目的とするところは、直線移動を直接
検出し、測定精度の変化を補う必要がないリニヤモータ
のエンコーダを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to provide a linear motor encoder which directly detects a linear movement and does not need to compensate for a change in measurement accuracy. .
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明によ
れば、リニヤモータの位置の検出信号を発信するように
したリニヤモータのエンコーダにおいて、位置検出部
は、リニヤモータの可動部に取り付けられ、リニヤモー
タの進行方向に平行な一辺の略全長に渡って、所定のピ
ッチで光を透過する透過部、および遮光部を交互に有
し、他辺の略全長に渡って、リニヤモータの磁極のピッ
チ毎に、1磁極の長さより長い光の透過部、および透過
部以外の部分に遮光部を有する短冊型のスリット板と、
投光部および受光部をそれぞれ備えスリット板の磁極検
出側に磁極ピッチで配置した、磁極数と同数の磁極検出
用フォト・インタラプタと、投光部および受光部をそれ
ぞれ備えスリット板の位置検出側に配置した電気的に9
0°の位相差の信号を発信するフォト・インタラプタと
で構成するリニヤモータのエンコーダとする。According to the first aspect of the present invention, in a linear motor encoder for transmitting a detection signal of a position of a linear motor, the position detecting section is attached to a movable section of the linear motor. Over substantially the entire length of one side parallel to the traveling direction of the linear motor, alternately having a transmitting portion that transmits light at a predetermined pitch, and a light shielding portion, and over substantially the entire length of the other side, at every magnetic pole pitch of the linear motor. A strip-shaped slit plate having a light-transmitting portion longer than the length of one magnetic pole, and a light-shielding portion in a portion other than the transmitting portion;
The same number of magnetic pole detecting photo-interrupters as the number of magnetic poles, each having a light emitting unit and a light receiving unit, and arranged at the magnetic pole detection side of the slit plate, and a slit plate position detecting side having a light emitting unit and a light receiving unit respectively. 9 electrically placed in
It is assumed that the encoder of the linear motor includes a photo interrupter that transmits a signal having a phase difference of 0 °.
【0008】上記構成により、2個のフォト・インタラ
プタの投光部と受光部との間を位置検出側の透過部、お
よび遮光部を通過させることによりフォト・インタラプ
タの出力がオン、オフするのでそれをa相、b相パルス
が得られる。また、120°の位相差で配置した3個の
フォト・インタラプタの投光部と受光部との間をリニヤ
モータの磁極のピッチ毎に、1磁極の長さより長い光の
透過部、および透過部以外の部分に遮光部としたスリッ
ト板の磁極検出側を通過させることにより、例えば可動
部に3相の電機子巻線を持つリニヤ同期モータの場合、
u,v,wいずれの巻線がフォト・インタラプタの動作
位置にあるかが検出できるので、移動を開始する際に各
相の巻線に与える電流の大きさと極性を決めることが可
能になる。With the above configuration, the output of the photo-interrupter is turned on and off by passing between the light-projecting unit and the light-receiving unit of the two photo-interrupters through the transmission unit and the light-shielding unit on the position detection side. Then, a-phase and b-phase pulses are obtained. In addition, between the light emitting part and the light receiving part of the three photo-interrupters arranged with a phase difference of 120 °, at every magnetic pole pitch of the linear motor, a light transmitting part longer than one magnetic pole and a part other than the transmitting part For example, in the case of a linear synchronous motor having a three-phase armature winding in the movable part,
Since it is possible to detect which of the windings u, v, and w is at the operating position of the photo interrupter, it is possible to determine the magnitude and polarity of the current to be applied to the windings of each phase when the movement is started.
【0009】請求項2記載の発明によれば、請求項1記
載のリニヤモータのエンコーダにおいて、スリット板
は、光を透過する板に、透過部を形成する部分以外の部
分に遮光膜を設けて構成したリニヤモータのエンコーダ
とする。上記構成により光の透過部と遮光部は遮光膜の
有無で構成できるのでスリット板の加工部分が少なくな
り、透過部の幅を狭くして検出精度を向上させることが
可能になる。また、移動時にフォト・インタラプタへの
引っ掛かりをなくすることが可能になる。According to the second aspect of the present invention, in the linear motor encoder according to the first aspect, the slit plate is formed by providing a light-transmitting plate with a light-shielding film in a portion other than a portion forming a transmission portion. Linear motor encoder. With the above configuration, the light transmitting portion and the light shielding portion can be configured with or without the light shielding film, so that the number of processed portions of the slit plate is reduced, and the width of the transmission portion is narrowed, so that the detection accuracy can be improved. In addition, it is possible to prevent the photo interrupter from being caught when moving.
【0010】請求項3記載の発明によれば、請求項1ま
たは請求項2に記載のリニヤモータのエンコーダにおい
て、スリット板は、長手方向の両端部が台形を形成する
ようにコーナー部を切り落としたリニヤモータのエンコ
ーダとする。上記構成によりスリット板がフォト・イン
タラプタの投光部と受光部との間に進入する際のフォト
・インタラプタとの衝突を防止することが可能になる。According to the third aspect of the present invention, in the linear motor encoder according to the first or second aspect, the slit plate has a corner portion cut off so that both ends in the longitudinal direction form a trapezoid. Encoder. According to the above configuration, it is possible to prevent a collision with the photo interrupter when the slit plate enters between the light emitting unit and the light receiving unit of the photo interrupter.
【0011】請求項4記載の発明によれば、請求項1な
いし請求項3のいずれかに記載のリニヤモータのエンコ
ーダにおいて、リニヤモータの可動部に取付けられたス
リット板長さ以上の長さの移動範囲に、所定のピッチで
磁極検出用、および速度・位置検出用フォト・インタラ
プタを設けて、スリット板長さ以上の長さに渡って検出
信号が発信できるようにしたリニヤモータのエンコーダ
とする。According to a fourth aspect of the present invention, in the encoder for a linear motor according to any one of the first to third aspects, the moving range is longer than the length of the slit plate attached to the movable portion of the linear motor. In addition, a photointerrupter for magnetic pole detection and speed / position detection at a predetermined pitch is provided to provide a linear motor encoder capable of transmitting a detection signal over the length of the slit plate.
【0012】上記構成によりエンコーダのスリット板の
長さ以上の移動範囲に渡って位置検出信号を発信するこ
とが可能になる。With the above configuration, it is possible to transmit a position detection signal over a moving range that is longer than the length of the slit plate of the encoder.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】図1はこの発明の実施の形態の主
要部で(a)は側面図、(b)はスリット板とフォト・
インタラプタとの配置図、(c)はエンコーダの出力波
形図を示す。この図1において、1は速度・位置検出用
センサ(フォト・インタラプタ)、1aはA相パルス用
フォト・インタラプタ部である。1bはB相パルス用フ
ォト・インタラプタで速度・位置検出用フォト・インタ
ラプタ部1に設けられている。2は磁極検出用センサ
(フォト・インタラプタ)、2aはU相磁極用フォト・
インタラプタ、2bはV相磁極用フォト・インタラプ
タ,2cはW相磁極用フォト・インタラプタで磁極検出
用フォト・インタラプタ部2に設けられている。3は光
の透過部と遮光部を設けた矩形状スリット板、4はリニ
ヤ同期モータ、5は速度・位置検出用フォト・インタラ
プタ1a,1b,および磁極検出用フォト・インタラプ
タ2a,2b,2cの取付板を示す。なお、各インタラ
プタは投光部と受光部とを備えており、この投光部と受
光部との間にスリット板3が配置されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIGS. 1A and 1B show a main part of an embodiment of the present invention. FIG. 1A is a side view, and FIG.
FIG. 3C shows an arrangement diagram with an interrupter, and FIG. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a speed / position detection sensor (photo interrupter), and reference numeral 1a denotes an A-phase pulse photo interrupter unit. Reference numeral 1b denotes a B-phase pulse photo interrupter provided in the speed / position detection photo interrupter unit 1. 2 is a magnetic pole detection sensor (photo interrupter), 2a is a U-phase magnetic pole photo sensor.
An interrupter, 2b is a photo-interrupter for a V-phase magnetic pole, and 2c is a photo-interrupter for a W-phase magnetic pole, which is provided in the photointerrupter unit 2 for magnetic pole detection. 3 is a rectangular slit plate provided with a light transmitting portion and a light blocking portion, 4 is a linear synchronous motor, 5 is a speed / position detecting photo interrupter 1a, 1b, and a magnetic pole detecting photo interrupter 2a, 2b, 2c. 3 shows a mounting plate. Each interrupter includes a light emitting unit and a light receiving unit, and a slit plate 3 is arranged between the light emitting unit and the light receiving unit.
【0014】図1(a)において、スリット板3はリニ
ヤ同期モータ4の可動部に取り付けられており、スリッ
ト板3の一方の側には速度・位置検出用フォト・インタ
ラプタ1a,1bが進行方向に電気的に90°の位相差
を持って配置され、他方側には磁極検出用フォト・イン
タラプタ2a,2b,2cが進行方向に電気的に120
°の位相差を持って取付板5上に配置されている(図1
(b)参照)。In FIG. 1 (a), a slit plate 3 is attached to a movable portion of a linear synchronous motor 4. On one side of the slit plate 3, photo-interrupters 1a and 1b for speed / position detection are moved in the traveling direction. The magnetic pole detection photo-interrupters 2a, 2b, and 2c are electrically disposed in the traveling direction on the other side.
Are disposed on the mounting plate 5 with a phase difference of
(B)).
【0015】上記の構成でリニヤ同期モータ4を移動さ
せると磁極検出用フォト・インタラプタ2a,2b,2
cからはそれぞれ電気的に120°の位相差を持つU,
V,Wの波形が出力され、速度・位置検出用フォト・イ
ンタラプタ1a,1bからは電気的に90°の位相差を
持つA相,B相が出力される((c)参照)。このA相
パルスをカウントすることによりリニヤ同期モータ4の
移動量が検出できるので、絶対位置を検出する別のセン
サ(図示されていない)と組み合わせればリニヤ同期モ
ータ4の位置検出が可能になる。また、単位時間のA相
パルスをカウントすることにより移動速度を検出するこ
とができる。B相パルスはA相パルスといずれが先に立
ち上がるかで移動方向を検出するのに使用される。When the linear synchronous motor 4 is moved in the above configuration, the magnetic pole detection photo interrupters 2a, 2b, 2
c, U, each having an electrical phase difference of 120 °,
The V and W waveforms are output, and the A / B phases having an electrical 90 ° phase difference are output from the speed / position detection photo interrupters 1a and 1b (see (c)). Since the movement amount of the linear synchronous motor 4 can be detected by counting the A-phase pulse, the position of the linear synchronous motor 4 can be detected by combining with another sensor (not shown) for detecting an absolute position. . Further, the moving speed can be detected by counting the A-phase pulses per unit time. The B-phase pulse is used to detect the moving direction depending on which of the A-phase pulse rises first.
【0016】一方磁極検出用フォト・インタラプタ2
a,2b,2cについては可動部に3相の電機子巻線を
持ち、固定側に永久磁石を配置したリニヤ同期モータ4
を例にして図2を用いて説明する。この図2において、
3相交流電流は、リニヤ同期モータ4の移動方向を紙面
に向かって左から右方向にするために、U,W,Vの順
にされており、W,V相が逆接続されている。これを
U,V,W順にすれば移動方向は紙面に向かって右から
左方向になる。図中N,Sは永久磁石の磁極で電気的に
180°ピッチで配置されており、u,v,wはu相,
v相,w相電機子巻線を示す。各相の巻線は電気的に2
40°の幅の中で往復導体の最内側が近接して順次外側
に重ねて長円形平板を形成するように巻かれており、各
相共に長円形平板の独立巻線になっている。そして、
u,v,w相が順次電気的に120°ずつ重なって配置
されている。この構成で、U,W,V相の交流電流が印
加され、例えば固定永久磁石N,S極と電機子巻線u,
v,w相の関係位置が1Pの場合に、0fに相当する電流
を通電すると、u相は最大値Im が巻線の断面で見ると
左側に紙面の表面から裏面に向かって流れ、右側は同じ
最大値Im が紙面の裏面から表面に向かって流れる。v
相、およびw相は1/2Im が巻線の断面で見ると左側
に紙面の裏面から表面に向かって流れ、右側は同じ1/
2Im が紙面の表面から裏面に向かって流れる。その結
果、電機子巻線にはn,s磁極が発生するのでN,S固
定磁極との間でN,nは反発し、n,Sは吸引する。従
って電機子は紙面の向かって左から右に移動する。この
移動の速度は固定磁極ピッチτp ×2×交流電流の周波
数fで現される。On the other hand, a photo interrupter 2 for detecting magnetic poles
Regarding a, 2b, and 2c, a linear synchronous motor 4 having a three-phase armature winding on a movable portion and a permanent magnet disposed on a fixed side.
An example will be described with reference to FIG. In FIG.
The three-phase alternating currents are arranged in the order of U, W, and V in order to move the linear synchronous motor 4 from left to right as viewed in the drawing, and the W and V phases are reversely connected. If this is performed in the order of U, V, and W, the moving direction is from right to left as viewed in the drawing. In the figure, N and S are magnetic poles of a permanent magnet, which are electrically arranged at a pitch of 180 °, and u, v, and w are u phases,
5 shows a v-phase and w-phase armature winding. The winding of each phase is electrically 2
Within the width of 40 °, the innermost of the reciprocating conductors are wound so that they are close to each other and are sequentially superimposed on each other to form an oval flat plate, and each phase is an independent winding of an oval flat plate. And
The u, v, and w phases are sequentially electrically overlapped by 120 °. In this configuration, U-, W-, and V-phase alternating currents are applied, for example, fixed permanent magnets N and S poles and armature windings u,
When a current corresponding to 0f is applied when the relative position of the v and w phases is 1P, the maximum value Im of the u phase flows to the left side from the front side of the paper to the back side when viewed in the cross section of the winding, and the right side The same maximum value Im flows from the back to the front of the paper. v
As for the phase and the w-phase, 1/2 Im flows from the back side to the front side of the drawing when viewed in the cross section of the winding, and the same 1 /
2Im flows from the front to the back of the paper. As a result, since n and s magnetic poles are generated in the armature winding, N and n repel and n and S are attracted to the N and S fixed magnetic poles. Thus, the armature moves from left to right as viewed on the page. The speed of this movement is expressed by a fixed magnetic pole pitch τ p × 2 × frequency f of the alternating current.
【0017】従って、1サイクルの移動量は電気的に2
×τp ×1=360°となる。図中の1/6f, および2/6f
は、電気的に1/6 サイクル(=60°)進んだ時点の交
流電流の瞬時値を示し、スタート時から1/6 サイクル毎
に移動量=2×τp ×1/6サイクル=60°を移動さ
せて、そのときの2P,3Pの位置での交流電流の瞬時
値が電機子巻線上に発生させる磁極n,sを表した図で
ある。この1/6f, および2/6fにおいても電機子巻線の
n,s磁極はN,S固定磁極との間でN,nは反発し、
n,Sは吸引して電機子は紙面の向かって左から右に継
続して移動することが判る。以下3/6f,4/6f,5/6f,6/6f
についても同様に電機子巻線のn,s磁極が順次移動し
ながら発生しN,S固定磁極との間で反発と吸引を繰り
返して、電機子は紙面の向かって左から右に継続して移
動するが、詳細は省略する。Therefore, the movement amount in one cycle is electrically 2
× τ p × 1 = 360 °. 1 / 6f and 2 / 6f in the figure
Indicates the instantaneous value of the alternating current at the point of time when it has electrically advanced 1/6 cycle (= 60 °), and the amount of movement = 2 × τ p × 1/6 cycle = 60 ° every 1/6 cycle from the start Is a diagram showing magnetic poles n and s at which instantaneous values of the alternating current at the positions 2P and 3P are generated on the armature winding. Also at 1 / 6f and 2 / 6f, the n and s magnetic poles of the armature winding repel N and n with the N and S fixed magnetic poles,
It can be seen that n and S are sucked and the armature continuously moves from left to right with respect to the paper surface. Below 3 / 6f, 4 / 6f, 5 / 6f, 6 / 6f
Similarly, the n and s magnetic poles of the armature winding are generated while sequentially moving, and the repulsion and the attraction are repeated between the N and S fixed magnetic poles, so that the armature continues from left to right with respect to the paper surface. Move, but details are omitted.
【0018】上記において、固定磁極と電機子巻線との
位置関係が1Pの場合、スタート時にu相は最大値Im
を、v相、およびw相はu相とは反対方向の1/2Im
を通電することで以下交流電流の変化に従って円滑にリ
ニヤ同期モータを移動させることができる。なお、固定
磁極と電機子巻線との位置関係がスタート時に2P、ま
たは3Pの場合,電機子巻線の各相に通電する電流はそ
れぞれ1/6f, および2/6fの瞬時値に相当する値にするこ
とで以下交流電流の変化に従って円滑にリニヤ同期モー
タを移動させることができる。上記のように固定磁極と
電機子巻線との位置関係を検出することは、円滑にリニ
ヤ同期モータを移動させるために必要であり、そのため
に磁極検出用フォト・インタラプタ2a,2b,2cが
使用される。In the above description, when the positional relationship between the fixed magnetic pole and the armature winding is 1P, the u phase has the maximum value Im at the start.
And v-phase and w-phase are は Im in the opposite direction to u-phase.
, The linear synchronous motor can be moved smoothly in accordance with the change of the alternating current. When the positional relationship between the fixed magnetic pole and the armature winding is 2P or 3P at the start, the currents applied to each phase of the armature winding correspond to instantaneous values of 1 / 6f and 2 / 6f, respectively. By setting the value, the linear synchronous motor can be moved smoothly in accordance with a change in the alternating current. Detecting the positional relationship between the fixed magnetic pole and the armature winding as described above is necessary for smoothly moving the linear synchronous motor, and for this purpose, the magnetic pole detection photo interrupters 2a, 2b, and 2c are used. Is done.
【0019】[0019]
【実施例】図3はこの発明の実施例の主要部の構成図を
示す。この図3において、矩形状のスリット板30は透
明な板に光の透過部以外は遮光膜を塗膜しており30a
は磁極検出用透過部を、30bは速度・位置検出用透過
部を示す。図4はこの発明の別の実施例の主要部の構成
図を示す。この図4において、矩形状のスリット板30
0は透明な板に光の透過部以外は遮光膜を塗膜しており
30aは磁極検出用透過部を、30bは速度・位置検出
用透過部を示す。また長手方向の先後端はフォト・イン
タラプタに進入する際の衝突を防止するために台形状に
形成されている。FIG. 3 is a block diagram showing a main part of an embodiment of the present invention. In FIG. 3, a rectangular slit plate 30 is a transparent plate coated with a light-shielding film except for a light transmitting portion.
Denotes a transmission part for magnetic pole detection, and 30b denotes a transmission part for speed / position detection. FIG. 4 is a block diagram showing a main part of another embodiment of the present invention. In FIG. 4, a rectangular slit plate 30 is shown.
Reference numeral 0 denotes a transparent plate coated with a light-shielding film except for the light transmitting portion. Reference numeral 30a denotes a magnetic pole detecting transmitting portion, and 30b denotes a speed / position detecting transmitting portion. The front and rear ends in the longitudinal direction are formed in a trapezoidal shape in order to prevent collision when entering the photo interrupter.
【0020】図5はこの発明の他の実施例の主要部の構
成図を示す。この図5において、リニヤ同期モータに取
り付けられてリニヤ同期モータと共に移動するスリット
板30、または300はリニヤ同期モータと略同じ長さ
でありそれ以上の移動距離が必要な場合は速度・位置検
出用フォト・インタラプタ1a,1b、および磁極検出
用フォト・インタラプタ2a,2b,2cとは別の速度
・位置検出用フォト・インタラプタ10a,10b、お
よび磁極検出用フォト・インタラプタ20a,20b,
20cをスリット板30、または300の長さより短い
長さの間隔で離して配置することにより、リニヤ同期モ
ータの長さ以上の長さの移動範囲に渡って位置、および
磁極の検出が可能になる。FIG. 5 is a block diagram showing a main part of another embodiment of the present invention. In FIG. 5, the slit plate 30 or 300 which is attached to the linear synchronous motor and moves together with the linear synchronous motor has substantially the same length as the linear synchronous motor and is used for speed / position detection when a longer moving distance is required. The speed / position detection photo interrupters 10a, 10b and the magnetic pole detection photo interrupters 20a, 20b are different from the photo interrupters 1a, 1b and the magnetic pole detection photo interrupters 2a, 2b, 2c.
By arranging the 20c at a distance shorter than the length of the slit plate 30 or 300, it is possible to detect the position and the magnetic pole over a moving range longer than the length of the linear synchronous motor. .
【0021】[0021]
【発明の効果】この発明によれば、チェーン、およびチ
ェーンスプロケットのような機械部品が不要になるので
装置の小型化になるとともに、磁極検出により円滑に起
動できる効果がある。また、スリット板の光の透過部を
切り欠きから透明板にすること、および先後端を台形に
することにより移動時のセンサへの引っ掛かりが無くな
る効果がある。According to the present invention, since mechanical parts such as a chain and a chain sprocket are not required, the size of the apparatus can be reduced, and the start can be smoothly performed by detecting the magnetic poles. In addition, by forming the light transmitting portion of the slit plate from the cutout to a transparent plate and making the front and rear ends trapezoidal, there is an effect that the sensor is not caught when moving.
【図1】この発明の実施の形態の主要部分で(a)は側
面図、(b)はスリット板とフォト・インタラプタとの
配置図、(c)はエンコーダの出力波形図FIGS. 1A and 1B are main parts of an embodiment of the present invention, wherein FIG. 1A is a side view, FIG. 1B is a layout diagram of a slit plate and a photo interrupter, and FIG.
【図2】リニヤ同期モータの動作説明図FIG. 2 is a diagram illustrating the operation of a linear synchronous motor.
【図3】この発明の実施例の主要部分の構成図FIG. 3 is a configuration diagram of a main part of an embodiment of the present invention.
【図4】この発明の別の実施例の主要部分の構成図FIG. 4 is a configuration diagram of a main part of another embodiment of the present invention.
【図5】この発明の他の実施例の主要部分の構成図FIG. 5 is a configuration diagram of a main part of another embodiment of the present invention.
【図6】従来例の構成図FIG. 6 is a configuration diagram of a conventional example.
1 速度・位置検出用フォト・インタラプタ 1a,10a A相パルス用フォト・インタラプタ 1b,10b B相パルス用フォト・インタラプタ 2 磁極検出用フォト・インタラプタ 2a,20a u相磁極検出用フォト・インタラプタ 2b,20b v相磁極検出用フォト・インタラプタ 2c,20c w相磁極検出用フォト・インタラプタ 3,30 スリット板 300 スリット板 4 リニヤ同期モータ 5 取付板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Speed / position detection photo interrupter 1a, 10a A-phase pulse photo interrupter 1b, 10b B-phase pulse photo interrupter 2 Magnetic pole detection photo interrupter 2a, 20a u-phase magnetic pole detection photo interrupter 2b, 20b v-phase magnetic pole detection photo-interrupter 2c, 20c w-phase magnetic pole detection photo-interrupter 3, 30 slit plate 300 slit plate 4 linear synchronous motor 5 mounting plate
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 31/12 H01L 31/12 D H02P 5/00 101 H02P 5/00 101B // H02K 11/00 H02K 41/02 Z 41/02 11/00 C Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Agency reference number FI Technical display location H01L 31/12 H01L 31/12 D H02P 5/00 101 H02P 5/00 101B // H02K 11/00 H02K 41 / 02 Z 41/02 11/00 C
Claims (4)
ようにしたリニヤモータのエンコーダにおいて、位置検
出部は、リニヤモータの可動部に取り付けられ、リニヤ
モータの進行方向に平行な一辺の略全長に渡って、所定
のピッチで光を透過する透過部、および遮光部を交互に
有し、他辺の略全長に渡って、リニヤモータの磁極のピ
ッチ毎に、1磁極の長さより長い光の透過部、および透
過部以外の部分に遮光部を有する短冊型のスリット板
と、投光部および受光部をそれぞれ備えスリット板の磁
極検出側に磁極ピッチで配置した、磁極数と同数の磁極
検出用フォト・インタラプタと、投光部および受光部を
それぞれ備えスリット板の位置検出側に配置した電気的
に90°の位相差の信号を発信するフォト・インタラプ
タとで構成することを特徴とするリニヤモータのエンコ
ーダ。In a linear motor encoder configured to transmit a detection signal of a position of a linear motor, a position detecting section is attached to a movable section of the linear motor, and extends over substantially the entire length of one side parallel to the traveling direction of the linear motor. A transmission portion that transmits light at a predetermined pitch and a light-shielding portion are alternately provided, and the transmission portion of light longer than the length of one magnetic pole for each pitch of the magnetic poles of the linear motor and the transmission over substantially the entire length of the other side. A strip-shaped slit plate having a light-shielding portion in a portion other than the portion, a light-emitting portion and a light-receiving portion, each of which is provided at the magnetic pole pitch on the magnetic pole detection side of the slit plate, and has the same number of magnetic pole detection photo interrupters as the number of magnetic poles; And a photo-interrupter, each of which has a light projecting part and a light receiving part, and is arranged on the position detecting side of the slit plate and electrically transmits a signal having a phase difference of 90 °. Encoder linear motor characterized.
において、スリット板は、光を透過する板に、透過部を
形成する部分以外の部分に遮光膜を設けて構成したこと
を特徴とするリニヤモータのエンコーダ。2. The linear motor encoder according to claim 1, wherein the slit plate is formed by providing a light-transmitting plate with a light-shielding film on a portion other than a portion forming a transmission portion. Encoder.
ータのエンコーダにおいて、スリット板は、長手方向の
両端部が台形を形成するようにコーナー部を切り落とし
たことを特徴とするリニヤモータのエンコーダ。3. The encoder for a linear motor according to claim 1, wherein the slit plate has a corner portion cut off so that both ends in the longitudinal direction form a trapezoid.
のリニヤモータのエンコーダにおいて、リニヤモータの
可動部に取付けられたスリット板長さ以上の長さの移動
範囲に、所定のピッチで磁極検出用、および速度・位置
検出用フォト・インタラプタを設けて、スリット板長さ
以上の長さに渡って検出信号が発信できるようにしたこ
とを特徴とするリニヤモータのエンコーダ。4. The linear motor encoder according to claim 1, wherein a magnetic pole is detected at a predetermined pitch in a moving range of a length longer than a length of a slit plate attached to a movable portion of the linear motor. A linear motor encoder characterized in that a photo interrupter for speed and position detection is provided so that a detection signal can be transmitted over the length of the slit plate.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16651596A JPH109896A (en) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | Encoder for linear motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16651596A JPH109896A (en) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | Encoder for linear motor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH109896A true JPH109896A (en) | 1998-01-16 |
Family
ID=15832758
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16651596A Withdrawn JPH109896A (en) | 1996-06-27 | 1996-06-27 | Encoder for linear motor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH109896A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1744435A3 (en) * | 2003-08-18 | 2007-04-18 | Vorwerk & Co. Interholding GmbH | Reluctance motor |
US7732325B2 (en) | 2002-01-26 | 2010-06-08 | Applied Materials, Inc. | Plasma-enhanced cyclic layer deposition process for barrier layers |
JP2010234840A (en) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Kyosan Electric Mfg Co Ltd | Train position detection system |
CN102364306A (en) * | 2010-06-18 | 2012-02-29 | 循环工程株式会社 | Error compensating system using encoder feedback, error mapping and air pressure control |
-
1996
- 1996-06-27 JP JP16651596A patent/JPH109896A/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7732325B2 (en) | 2002-01-26 | 2010-06-08 | Applied Materials, Inc. | Plasma-enhanced cyclic layer deposition process for barrier layers |
EP1744435A3 (en) * | 2003-08-18 | 2007-04-18 | Vorwerk & Co. Interholding GmbH | Reluctance motor |
JP2010234840A (en) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Kyosan Electric Mfg Co Ltd | Train position detection system |
CN102364306A (en) * | 2010-06-18 | 2012-02-29 | 循环工程株式会社 | Error compensating system using encoder feedback, error mapping and air pressure control |
CN102364306B (en) * | 2010-06-18 | 2015-05-20 | 循环工程株式会社 | Error compensating system using encoder feedback, error mapping and air pressure control |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101071517B1 (en) | One Directional electrification-type brushless DC motor provided with ac voltage output winding and motor system | |
JP2008219959A (en) | Motor driving device | |
JP2004056892A (en) | Linear motor apparatus | |
JPH109896A (en) | Encoder for linear motor | |
KR100602800B1 (en) | precise angle control method by analog encoder system | |
US5066897A (en) | Linear driving apparatus | |
JPH023393B2 (en) | ||
US8013562B2 (en) | Driving mechanism having position encoder for two-dimensional positioning | |
KR102425874B1 (en) | Motor Having Thin Magnetic Flux Measuring Coil As Position Sensor | |
JPH0345626B2 (en) | ||
EP1309091A1 (en) | Pulse signal generator | |
US6225775B1 (en) | Synchronous electric motor | |
JPS60156256A (en) | Voice coil type linear motor with magnetic encoder | |
JP3551131B2 (en) | Encoder for synchronous motor | |
JP3093010B2 (en) | Revolver fixed position stop device | |
KR20190087210A (en) | Brushless direct current motor apparatus including a plurality of sensors | |
JP2001194189A (en) | Encoder of linear synchronous motor | |
JPS5836162A (en) | Cylindrical drive device | |
KR100669891B1 (en) | Switched reluctance motor and the motor driver | |
JPH0376108B2 (en) | ||
EP1310771A1 (en) | Pulse signal generator | |
JPH0635657Y2 (en) | Stepping motor | |
JP2824785B2 (en) | Linear motor | |
JPH0635656Y2 (en) | Stepping motor | |
JPH04304198A (en) | Motor controller |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20040105 |