JPH1096809A - Production of color filter and producing device therefor - Google Patents

Production of color filter and producing device therefor

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JPH1096809A
JPH1096809A JP25211896A JP25211896A JPH1096809A JP H1096809 A JPH1096809 A JP H1096809A JP 25211896 A JP25211896 A JP 25211896A JP 25211896 A JP25211896 A JP 25211896A JP H1096809 A JPH1096809 A JP H1096809A
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JP
Japan
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photocurable resin
light
ultraviolet rays
ultraviolet
black matrix
Prior art date
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Application number
JP25211896A
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Japanese (ja)
Inventor
Mitsuaki Morimoto
光昭 森本
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Publication of JPH1096809A publication Critical patent/JPH1096809A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the occurrence of steps on the interface between a pixel and a black matrix or between pixels adjacent to each other and to prevent hardening failure on the surface part where pixels are deposited, by reflecting UV rays which is transmitted through a photosetting resin and irradiating the coating surface of the photosetting resin with the UV rays. SOLUTION: A colored photosetting resin 3 is applied all over a light- transmitting substrate 2 on which a black matrix 6 is preliminarily formed. Then the photosetting resin 3 is irradiated with UV rays 5 through a mask 1 and the back surface of the light-transmitting substrate 2 opposite to the photosetting resin 3 so as to form pixels. The UV rays 5 are limited as UV rays 5a by the mask 1 and are transmitted through the light-transmitting substrate 2a. The UV rays are further limited as UV rays 5b by a black matrix 6 on the substrate 2a to irradiate the photosetting resin 3. The UV rays 5b transmitted through the photosetting resin 3 and limited by the black matrix 6 are reflected or a UV reflection plate 4. The reflected light is allowed to irradiate the photosetting resin 3 as UV rays 5c.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置およ
びプラズマ表示装置等の表示装置の表示光を有色光にす
るためのカラーフィルタの製造方法およびその製造装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a color filter for converting display light of a display device such as a liquid crystal display device and a plasma display device into colored light, and an apparatus for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、カラーフィルタの製造方法として
は、一般的に、以下に示した2つの方法が提案されてい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, the following two methods have been generally proposed as methods for manufacturing a color filter.

【0003】第1のカラーフィルタの製造方法として、
ガラス基板上に金属膜あるいは樹脂膜等によりブラック
マトリクスを形成した後、着色された光硬化性樹脂をそ
の上に付着させ、ガラス基板の光硬化性樹脂を付着させ
た側に光硬化性樹脂を任意の形状に光硬化させるために
照射光を制限するマスクを設け、そのマスク越しに光硬
化性樹脂に光をあてる光照射手段を設け、必要な画素形
状に光照射することにより光硬化させ、その後、現像液
にて未露光部分を除去して1色目の画素を形成し、この
作業を必要な色数、例えば液晶表示装置のカラーフィル
タであれば、赤色、緑色、青色と3回繰り返すことによ
り3色のカラーフィルタを形成していた。
[0003] As a first method of manufacturing a color filter,
After a black matrix is formed on a glass substrate by a metal film or a resin film, a colored photocurable resin is attached thereon, and the photocurable resin is applied to the side of the glass substrate to which the photocurable resin is attached. Providing a mask that restricts irradiation light in order to light cure to an arbitrary shape, providing a light irradiation unit that shines light on the photocurable resin through the mask, and performing light curing by irradiating light to a required pixel shape, Thereafter, the unexposed portion is removed with a developing solution to form a pixel of the first color, and this operation is repeated three times for a required number of colors, for example, red, green, and blue for a color filter of a liquid crystal display device. Thus, three color filters were formed.

【0004】また、第2のカラーフィルタの製造方法と
して、ガラス基板上に表示画素間の遮光パターンを形成
した後、光硬化性のインキで着色層のパターン形成を行
い、パターンを形成したガラス基板の反対側からの光に
より着色層を露光硬化させ、その後、遮光パターン上の
未硬化インキもしくは半硬化インキを溶剤で除去し、こ
れらの工程を着色数分繰り返して、カラーフィルタを形
成するものが提案されている(特開平6−174913
号公報)。
As a second method of manufacturing a color filter, a light-shielding pattern between display pixels is formed on a glass substrate, and then a pattern of a colored layer is formed with a photocurable ink to form a pattern on the glass substrate. The color layer is exposed and cured by light from the opposite side, and then the uncured or semi-cured ink on the light-shielding pattern is removed with a solvent, and these steps are repeated for several minutes to form a color filter. It has been proposed (JP-A-6-174913).
No.).

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来技術による第1の
カラーフィルタの製造方法の場合は、図10に示すよう
に、マスク越しに光硬化性樹脂へ光を照射しているた
め、画素10で光が照射されない部分が生じて、ブラッ
クマトリクス6と画素10の間に隙間9ができ、このカ
ラーフィルタを液晶表示装置に組み込んだ際に、この隙
間9から光もれが発生していた。
In the case of the first method of manufacturing a color filter according to the prior art, as shown in FIG. 10, light is applied to the photocurable resin through a mask. A portion not irradiated with light is generated, and a gap 9 is formed between the black matrix 6 and the pixel 10. When this color filter is incorporated in a liquid crystal display device, light leaks from the gap 9.

【0006】この問題を解決するために、マスクの開口
部を大きくして、ブラックマトリクス6上にも光照射す
る方法がとられるが、ブラックマトリクス6上に画素1
0の光硬化性樹脂が重なった状態で硬化するため、図1
1に示すように、ブラックマトリクス6上で光硬化性樹
脂分の膜厚が盛り上がり部分となり、表示部分とブラッ
クマトリクス6上とで段差が生じる。さらに、ブラック
マトリクス6を介して隣接する画素10との間でも段差
が生じる。このため、このカラーフィルタを液晶表示装
置に使用する場合には、画素10の上に薄膜の透明電極
を形成した際に、画素10とブラックマトリクス6上の
段差部分で透明電極の断線が生じて、信頼性が高く安定
した品質のカラーフィルタを得ることができなかった。
In order to solve this problem, a method of enlarging the opening portion of the mask and irradiating light onto the black matrix 6 is also adopted.
Since the photo-curable resin of No. 0 is cured in an overlapping state, FIG.
As shown in FIG. 1, the film thickness of the photocurable resin on the black matrix 6 becomes a raised portion, and a step is generated between the display portion and the black matrix 6. Further, a step occurs between the pixel 10 and the adjacent pixel 10 via the black matrix 6. For this reason, when this color filter is used for a liquid crystal display device, when a thin-film transparent electrode is formed on the pixel 10, the transparent electrode is disconnected at a step portion on the pixel 10 and the black matrix 6. Thus, a color filter of high reliability and stable quality could not be obtained.

【0007】この問題を解決するために、図12に示す
ように、画素10とブラックマトリクス6上の段差部分
の上に、透明樹脂を前記段差よりも膜厚が大きくなるよ
うに塗布して、光や熱により硬化させる処理を行い、オ
ーバーコート11を形成した。このことにより、オーバ
ーコート11の表面では、平らにならされて、この上に
透明電極を断線なく形成することができた。しかしなが
ら、オーバーコート処理を行うため、スループットが悪
くなり、生産コストが高くなるという問題点があった。
In order to solve this problem, as shown in FIG. 12, a transparent resin is applied on the step portion on the pixel 10 and the black matrix 6 so that the film thickness is larger than the step. A process of curing with light or heat was performed to form an overcoat 11. As a result, the surface of the overcoat 11 was flattened, and a transparent electrode could be formed thereon without disconnection. However, since the overcoat process is performed, there is a problem that the throughput is deteriorated and the production cost is increased.

【0008】また、第2のカラーフィルタの製造方法の
場合には、着色層のパターンを形成したガラス基板の反
対側からの光により着色層を露光硬化させ、その後、遮
光パターン上の未硬化インキもしくは半硬化インキを溶
剤で除去するので、画素10とブラックマトリクス6上
とで段差がほとんどない。しかしながら、基板の反対側
から光を照射しているため、光が着色層で吸収され、着
色層の表面に到達した段階では、光の強度が弱くなり、
着色層表面で硬化するには照射強度が不足ぎみになり、
着色層が未硬化状態になる。よって、溶剤で未硬化の着
色層を除去する際に画素10の表面も除去され、画素1
0とブラックマトリクス6とで段差が生じたり、画素1
0の表面に凹凸が生じたりし、この上に透明電極を形成
した場合には、透明電極の断線を生じたり、液晶表示装
置のカラーフィルタとして使用した際には、画素10の
表面の凹凸で光が散乱して、コントラストの低下や表示
品位を悪くしていた。
In the case of the second method for manufacturing a color filter, the colored layer is exposed and cured by light from the opposite side of the glass substrate on which the colored layer pattern is formed. Alternatively, since the semi-cured ink is removed with a solvent, there is almost no level difference between the pixel 10 and the black matrix 6. However, since the light is emitted from the opposite side of the substrate, the light is absorbed by the colored layer, and at the stage where the light reaches the surface of the colored layer, the intensity of the light is reduced,
In order to cure on the surface of the colored layer, the irradiation intensity becomes insufficient,
The colored layer becomes uncured. Therefore, when removing the uncured colored layer with the solvent, the surface of the pixel 10 is also removed, and the pixel 1 is removed.
0 and the black matrix 6 cause a level difference,
When the transparent electrode is formed on the surface of the pixel 10, the transparent electrode is disconnected. When the transparent electrode is used as a color filter of a liquid crystal display device, the surface of the pixel 10 may be uneven. The light was scattered, which lowered the contrast and degraded the display quality.

【0009】本発明は、上記問題点を解決するもので、
画素とブラックマトリクスの境界または隣接する画素同
士の間で段差が生じることがなく、さらに画素とブラッ
クマトリクスの上にオーバーコート処理を行わないで、
しかも画素の着色層表面部分で硬化不良を起こさないカ
ラーフィルタの製造方法およびその製造装置を提供する
ことを目的とする。
The present invention solves the above problems,
There is no step between the pixel and the boundary of the black matrix or between adjacent pixels, and no overcoating is performed on the pixel and the black matrix.
Moreover, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a color filter which does not cause curing failure at the surface of a colored layer of a pixel, and an apparatus for manufacturing the same.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
の製造方法は、透光性基板上に光硬化性樹脂を塗布する
工程と、前記光硬化性樹脂の塗布面の裏面側から紫外線
を照射する工程と、前記光硬化性樹脂を透過した前記紫
外線を反射して前記光硬化性樹脂の塗布面に前記紫外線
を照射する工程と、前記光硬化性樹脂の不要部分を除去
する工程とを備えるので、そのことにより上記目的が達
成される。
According to a method of manufacturing a color filter of the present invention, a step of applying a photo-curable resin on a light-transmitting substrate and irradiating ultraviolet rays from the back side of the coated surface of the photo-curable resin. And a step of reflecting the ultraviolet light transmitted through the photocurable resin and irradiating the ultraviolet ray to the application surface of the photocurable resin, and a step of removing unnecessary portions of the photocurable resin. Therefore, the above object is achieved.

【0011】前記紫外線は選択光であるのが望ましい。Preferably, the ultraviolet light is a selective light.

【0012】本発明のカラーフィルタの製造装置は、着
色された光硬化性樹脂を露光硬化するカラーフィルタの
製造装置であって、光硬化性樹脂の塗布面の裏面側から
前記光硬化性樹脂に紫外線を照射する手段と、前記光硬
化性樹脂を透過した前記紫外線を反射させて再度前記光
硬化性樹脂に照射する反射手段とを備えるので、そのこ
とにより上記目的が達成される。
An apparatus for manufacturing a color filter according to the present invention is an apparatus for manufacturing a color filter for exposing and curing a colored photocurable resin. The object is achieved by providing means for irradiating ultraviolet light and reflecting means for reflecting the ultraviolet light transmitted through the photocurable resin and irradiating the photocurable resin again.

【0013】前記紫外線は選択光を照射するのが望まし
い。
It is desirable that the ultraviolet light is irradiated with selective light.

【0014】前記反射手段は平面鏡であるので、そのこ
とにより上記目的が達成される。
Since the reflecting means is a plane mirror, the above object is achieved.

【0015】前記反射手段は凹部を有する反射鏡である
ので、そのことにより上記目的が達成される。
Since the reflecting means is a reflecting mirror having a concave portion, the above object is achieved.

【0016】以下、本発明の作用について説明する。Hereinafter, the operation of the present invention will be described.

【0017】ブラックマトリクスが形成された透光性基
板上に塗布された光硬化性樹脂を、透光性基板の光硬化
性樹脂が塗布された裏面から紫外線を照射するので、ブ
ラックマトリクスが遮光性マスクの働きをして、ブラッ
クマトリクス上に塗布された光硬化性樹脂を未硬化もし
くは半硬化の状態にする。一方、ブラックマトリクスに
囲まれた画素では、紫外線が照射されるので、光硬化性
樹脂は硬化する。しかしながら、光硬化性樹脂は、紫外
線を吸収する性質をもっており、紫外線が光硬化性樹脂
を通過する際に、紫外線の強度が弱まり、光硬化性樹脂
の表面では照射密度が不足して、光硬化性樹脂の表面近
傍では半硬化状態になる。
The photocurable resin applied on the translucent substrate on which the black matrix is formed is irradiated with ultraviolet light from the back surface of the translucent substrate on which the photocurable resin is applied. By acting as a mask, the photocurable resin applied on the black matrix is set in an uncured or semi-cured state. On the other hand, the pixels surrounded by the black matrix are irradiated with ultraviolet rays, so that the photocurable resin is cured. However, the photocurable resin has a property of absorbing ultraviolet rays, and when the ultraviolet rays pass through the photocurable resin, the intensity of the ultraviolet rays is weakened. In the vicinity of the surface of the conductive resin, it is in a semi-cured state.

【0018】次に、光硬化性樹脂を通過した紫外線を反
射させて光硬化性樹脂に照射するので、光硬化性樹脂の
表面近傍での照射密度の不足を補い、光硬化性樹脂を完
全に硬化する。反射光を入射光に対して180度反転し
た光路にすることにより、反射光はブラックマトリクス
上には照射されず、画素のみに照射される。よって、ブ
ラックマトリクス上の不要な光硬化性樹脂は未硬化もし
くは半硬化の状態のままで、画素のみを完全に硬化する
ことができる。反射手段を平面鏡にすることで、実現す
ることができる。
Next, since the ultraviolet light which has passed through the photocurable resin is reflected and irradiated onto the photocurable resin, the shortage of the irradiation density near the surface of the photocurable resin is compensated, and the photocurable resin is completely removed. To cure. By making the reflected light have an optical path inverted by 180 degrees with respect to the incident light, the reflected light is not irradiated on the black matrix, but is irradiated only on the pixels. Therefore, only the pixels can be completely cured while the unnecessary photocurable resin on the black matrix remains uncured or semi-cured. This can be realized by using a plane mirror as the reflecting means.

【0019】一方、紫外線は完全に平行光線ではなく、
僅かに広がりをもっているため、反射光はブラックマト
リクス上にも照射されるとともに、画素への紫外線の照
射密度が低くなる。そこで、反射手段として、凹部を有
する反射鏡にすることで、紫外線の広がりを補正して、
本来ブラックマトリクス上に照射されていた紫外線を画
素へ照射させることができ、光硬化性樹脂を硬化させる
のに、反射光を効率的に利用することができる。さら
に、ブラックマトリクス上の光硬化性樹脂を未硬化もし
くは半硬化の状態にしておくことができる。
On the other hand, ultraviolet rays are not perfectly parallel rays,
Since the light is slightly spread, the reflected light is also irradiated on the black matrix, and the density of irradiation of the ultraviolet rays to the pixels is reduced. Therefore, by using a reflecting mirror having a concave portion as the reflecting means, the spread of ultraviolet light is corrected,
Ultraviolet rays originally radiated on the black matrix can be radiated to the pixels, and the reflected light can be efficiently used to cure the photocurable resin. Further, the photocurable resin on the black matrix can be in an uncured or semi-cured state.

【0020】ブラックマトリクス上の未硬化もしくは半
硬化の光硬化性樹脂は、ブラックマトリクスへの付着力
が弱いので、容易に取り除くことができ、ブラックマト
リクスと画素とで段差をなくすことができる。また、光
硬化性樹脂の不要部分の除去に際して、画素に形成され
た光硬化性樹脂の表面近傍は完全に硬化しているので、
表面近傍が除去されることはなく、画素上では平坦な形
状のものを得ることができる。
The uncured or semi-cured photocurable resin on the black matrix has a weak adhesive force to the black matrix, so that it can be easily removed, and a step between the black matrix and the pixel can be eliminated. In addition, when removing unnecessary portions of the photocurable resin, the vicinity of the surface of the photocurable resin formed on the pixel is completely cured,
The vicinity of the surface is not removed, and a flat shape can be obtained on the pixel.

【0021】また、紫外線は遮光性マスクによって選択
的に画素へ照射するため、複数の着色された光硬化性樹
脂を硬化して画素上に形成する際に、第一の着色された
光硬化性樹脂を透光性基板の全面に均一に塗布して、第
一の着色された画素のみに、紫外線を照射して硬化させ
る。他の画素は紫外線が照射されず、未硬化状態である
ので、ブラックマトリクス上の不要な光硬化性樹脂の除
去の際に同時に除去することができる。以下、第二およ
び第三の着色された光硬化性樹脂を色数分の工程を繰り
返すことにより、ブラックマトリクスと画素とで段差の
ないカラーフィルタを形成することができる。また、隣
接する画素の着色された光硬化性樹脂が重なりあって、
硬化するようなことがない。
Further, since the ultraviolet rays are selectively irradiated to the pixels by the light-shielding mask, the first colored photo-curable resin is cured when a plurality of colored photo-curable resins are cured and formed on the pixels. The resin is uniformly applied to the entire surface of the light-transmitting substrate, and only the first colored pixels are irradiated with ultraviolet rays to be cured. Since the other pixels are not irradiated with ultraviolet rays and are in an uncured state, they can be removed at the same time as unnecessary photocurable resin on the black matrix is removed. Hereinafter, by repeating the processes for the second and third colored photocurable resins for the number of colors, a color filter having no steps between the black matrix and the pixels can be formed. Also, the colored photo-curable resins of adjacent pixels overlap,
There is no hardening.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について以下
に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below.

【0023】(実施の形態1)図1は本発明の実施の形
態を示す断面図である。ブラックマトリクス6が形成さ
れた透光性基板2a上に光硬化性樹脂3が塗布されてい
る。透光性基板2a上に光硬化性樹脂3が塗布されてい
る面の裏面側に、紫外線照射手段(図示せず)が設けら
れ平行な紫外線5を照射する。透光性基板2aと紫外線
照射手段(図示せず)の間には、透光性基板2aへ紫外
線5の照射を制限するためのマスク1が設けられてい
る。このマスク1は開口部が透光性基板2aの画素に対
応するように位置決めされて配置されている。一方、透
光性基板2a上に光硬化性樹脂3が塗布されている面側
に、透光性基板2aから透過した紫外線5bを反射する
ための紫外線反射板4が設けられている。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention. The photocurable resin 3 is applied on the translucent substrate 2a on which the black matrix 6 is formed. Ultraviolet irradiation means (not shown) is provided on the rear surface side of the surface on which the photocurable resin 3 is applied on the translucent substrate 2a, and irradiates parallel ultraviolet rays 5. A mask 1 is provided between the translucent substrate 2a and the ultraviolet irradiating means (not shown) to limit the irradiation of the ultraviolet rays 5 to the translucent substrate 2a. The mask 1 is positioned and arranged so that an opening thereof corresponds to a pixel of the translucent substrate 2a. On the other hand, on the surface of the light-transmitting substrate 2a on which the photocurable resin 3 is applied, an ultraviolet reflector 4 for reflecting the ultraviolet light 5b transmitted from the light-transmitting substrate 2a is provided.

【0024】次に、第一色目のカラーフィルタを画素に
形成する方法について説明する。
Next, a method for forming the first color filter in the pixel will be described.

【0025】ブラックマトリクス6が形成された透光性
基板2a上に第一色に着色された光硬化性樹脂3を全面
に塗布する。次に、透光性基板2a上に光硬化性樹脂3
が塗布されている面の裏面側から、紫外線照射手段(図
示せず)により平行な紫外線5を、マスク1を介して画
素に照射される。紫外線5はマスク1により制限された
紫外線5aとなり、マスク1により制限された紫外線5
aが透光性基板2aの中を透過する。さらに、マスク1
により制限された紫外線5aは、透光性基板2aに形成
されたブラックマトリクス6により制限された紫外線5
bとなって光硬化性樹脂3に照射される。光硬化性樹脂
3を通過したブラックマトリクス6により制限された紫
外線5bは、紫外線反射板4により反射された紫外線5
cとして、光硬化性樹脂3に照射する。
On the light-transmitting substrate 2a on which the black matrix 6 is formed, the photocurable resin 3 colored in the first color is applied on the entire surface. Next, the photo-curable resin 3 is placed on the translucent substrate 2a.
The parallel ultraviolet rays 5 are irradiated to the pixels via the mask 1 from the back surface side of the surface on which the is applied by ultraviolet light irradiation means (not shown). The ultraviolet light 5 becomes the ultraviolet light 5a restricted by the mask 1, and the ultraviolet light 5 restricted by the mask 1
a transmits through the translucent substrate 2a. Furthermore, mask 1
5a is restricted by the black matrix 6 formed on the translucent substrate 2a.
Irradiated on the photocurable resin 3 as b. The ultraviolet rays 5 b restricted by the black matrix 6 that has passed through the photocurable resin 3 are reflected by the ultraviolet rays 5
Irradiate the photocurable resin 3 as c.

【0026】光硬化性樹脂3は紫外線を吸収する性質が
あり、紫外線5bが光硬化性樹脂3を透過する際に表面
に近くなるほど減衰し、表面近傍での紫外線の照射密度
が不足ぎみになる。この紫外線の照射密度の不足を、紫
外線反射板4により反射された紫外線5cを光硬化性樹
脂3に照射することにより、補っている。
The photo-curable resin 3 has a property of absorbing ultraviolet rays. When the photo-curable resin 3 passes through the photo-curable resin 3, it is attenuated closer to the surface, and the irradiation density of the ultraviolet rays near the surface becomes insufficient. . The shortage of the irradiation density of the ultraviolet rays is compensated for by irradiating the photocurable resin 3 with the ultraviolet rays 5c reflected by the ultraviolet reflecting plate 4.

【0027】以上より、図2(a)に示すように光硬化
性樹脂3のうち紫外線の照射された部分の光硬化性樹脂
3aが硬化する。
As described above, as shown in FIG. 2A, the photocurable resin 3a in the portion of the photocurable resin 3 irradiated with ultraviolet rays is cured.

【0028】次に、現像を行うことにより光硬化性樹脂
3のうち紫外線の照射されていない部分の光硬化性樹脂
3bは取り除かれる。
Next, by performing development, the photocurable resin 3b in the portion of the photocurable resin 3 not irradiated with ultraviolet rays is removed.

【0029】また、紫外線5cが、紫外線反射板4に反
射された際に僅かに拡散し、ブラックマトリクス6上に
塗布された光硬化性樹脂3に照射されるが、紫外線の照
射強度は非常に小さなレベルであるため、ブラックマト
リクス6上の光硬化性樹脂3が完全に硬化することはな
く、現像の際に取り除くことができる。紫外線反射板4
としては、平面鏡を使用することができる。平面鏡を使
用する場合は、紫外線反射板で反射光の拡散を抑えるた
め、光硬化性樹脂に照射する紫外線に平行度が要求され
る。このことにより、平行な紫外線を照射するために
は、光学系が複雑になり、装置全体として高価になる
が、平面鏡と着色された光硬化性樹脂が塗布された透光
性基板との位置合わせが簡単になり、位置合わせのため
の装置構造が簡単なものになり、さらに位置合わせに要
する時間も短縮することができ、生産性を向上すること
ができる。
When the ultraviolet rays 5c are reflected by the ultraviolet reflecting plate 4, they slightly diffuse and irradiate the photocurable resin 3 applied on the black matrix 6, but the irradiation intensity of the ultraviolet rays is very high. Because of the small level, the photocurable resin 3 on the black matrix 6 is not completely cured and can be removed during development. UV reflector 4
, A plane mirror can be used. When a plane mirror is used, the degree of parallelism of the ultraviolet light applied to the photocurable resin is required in order to suppress the diffusion of the reflected light by the ultraviolet reflector. As a result, in order to irradiate the parallel ultraviolet rays, the optical system becomes complicated and the entire apparatus becomes expensive, but the alignment between the plane mirror and the transparent substrate coated with the colored photocurable resin is performed. Is simplified, the device structure for alignment is simplified, the time required for alignment can be reduced, and productivity can be improved.

【0030】現像処理を行い不要部分を除去した状態を
図2(b)に示す。1色目のカラーフィルタが画素にの
み形成され、ブラックマトリクス6上に形成されること
はない。
FIG. 2B shows a state in which the development processing has been performed to remove unnecessary portions. The first color filter is formed only in the pixel, and is not formed on the black matrix 6.

【0031】透光性基板上に塗布された光硬化性樹脂の
硬化の原理についてさらに詳細に説明する。紫外線5b
が光硬化性樹脂3に照射されたとき、光硬化性樹脂3の
厚み方向に対する紫外線透過量の分布は、例えば、紫外
線の透過率が、膜厚0.5μm毎に50%減衰する光硬
化性樹脂では図7の紫外線5bに示すようになる。
The principle of curing of the photocurable resin applied on the translucent substrate will be described in more detail. UV 5b
Is applied to the photocurable resin 3, the distribution of the amount of ultraviolet light transmitted in the thickness direction of the photocurable resin 3 is, for example, such that the ultraviolet light transmittance is attenuated by 50% for every 0.5 μm of film thickness. In the case of resin, it becomes as shown by the ultraviolet rays 5b in FIG.

【0032】一方、パターン部分が1.5μmの厚さの
光硬化性樹脂に、本発明を適用した場合の紫外線5bと
紫外線反射板4により反射された紫外線5cを加えた場
合の紫外線透過量の分布は、図7の紫外線5b+5cに
示すようになり、反射された紫外線5cにより表面の露
光不足が補われることが示されている。
On the other hand, when the ultraviolet ray 5b in the case of applying the present invention and the ultraviolet ray 5c reflected by the ultraviolet reflecting plate 4 are added to the photocurable resin having a pattern portion having a thickness of 1.5 μm, The distribution is as shown by the ultraviolet rays 5b + 5c in FIG. 7, and it is shown that the insufficient exposure of the surface is compensated by the reflected ultraviolet rays 5c.

【0033】なお、紫外線5cは、紫外線反射板4の反
射効率と光硬化性樹脂3表面での反射によるロスがある
ため、紫外線5bの約90%になっている。
The ultraviolet rays 5c are about 90% of the ultraviolet rays 5b because of the loss due to the reflection efficiency of the ultraviolet reflector 4 and the reflection on the surface of the photocurable resin 3.

【0034】また、紫外線5cが、紫外線照射板4に反
射された際に僅かに拡散し、ブラックマトリクス6上に
塗布された光硬化性樹脂3に照射されるが、これは、紫
外線5aに近似的な平行光を用いるので、その影響範囲
はわずかなものである。
When the ultraviolet rays 5c are reflected by the ultraviolet irradiation plate 4, they slightly diffuse and irradiate the photocurable resin 3 applied on the black matrix 6, which is similar to the ultraviolet rays 5a. Because the parallel light is used, the range of influence is small.

【0035】例えば、紫外線5aがもともと半値1゜の
広がりをもっていたとしても、透光性基板2と紫外線反
射板4とのクリアランスを80μmとすれば、この間で
の広がりは約1.4μmで、透光性基板2に反射してき
た場合の広がりは、ほぼ2倍の約2.8μm程度であ
る。
For example, even if the ultraviolet rays 5a originally have a half-value spread of 1 °, if the clearance between the translucent substrate 2 and the ultraviolet reflector 4 is 80 μm, the spread between them is about 1.4 μm. The spread when the light is reflected by the optical substrate 2 is about twice as large as about 2.8 μm.

【0036】さらに、拡散光が最も強い画素とブラック
マトリクス6の境界部で、反射光がほとんどブラックマ
トリクス6上に照射されたとしても、図7に示すように
反射された紫外線5cのみでは、裏面からの透過を含む
紫外線5b+5cに比べて小さなレベルであるため、画
素は硬化しても、ブラックマトリクス6上の光硬化性樹
脂3が完全に硬化しないレベルに露光量を調整すること
ができ、現像の際にシャワーおよびブラシ等の物理的な
力を加えることで、容易に取り除くことができる。
Further, even if the reflected light is mostly irradiated on the black matrix 6 at the boundary between the pixel where the diffused light is the strongest and the black matrix 6, only the reflected ultraviolet rays 5c as shown in FIG. Since the level is smaller than that of the ultraviolet rays 5b + 5c including the transmission of light, the exposure amount can be adjusted to a level at which the photocurable resin 3 on the black matrix 6 is not completely cured even if the pixels are cured. At this time, it can be easily removed by applying a physical force such as a shower and a brush.

【0037】次に、第二色目のカラーフィルタを画素に
形成する方法について説明する。
Next, a method of forming the second color filter in the pixel will be described.

【0038】図3は、第一色目のカラーフィルタを形成
した基板に第二色目の光硬化性樹脂7を塗布した状態
で、マスク1の開口部を第二色目の画素に位置決めして
配置されている。
FIG. 3 shows a state in which the opening of the mask 1 is positioned at the pixel of the second color in a state where the photocurable resin 7 of the second color is applied to the substrate on which the color filter of the first color is formed. ing.

【0039】第一色のカラーフィルタの形成方法と同様
に第二色目のカラーフィルタの形成を行う。マスク1の
下方より紫外線照射手段(図示せず)から平行な紫外線
5が照射されると、マスク1により制限された紫外線5
aが透光性基板2bの中を透過する。マスク1により制
限された紫外線5aは透光性基板2bに形成されたブラ
ックマトリクス6上により制限された紫外線5bとして
光硬化性樹脂7に照射される。光硬化性樹脂7を透過し
た紫外線5bは紫外線反射板4により反射された紫外線
5cとして、光硬化性樹脂7に照射する。
The second color filter is formed in the same manner as the first color filter. When parallel ultraviolet rays 5 are irradiated from below the mask 1 from an ultraviolet irradiation means (not shown), the ultraviolet rays 5 limited by the mask 1 are irradiated.
a transmits through the translucent substrate 2b. The ultraviolet rays 5a restricted by the mask 1 are applied to the photo-curable resin 7 as the ultraviolet rays 5b restricted by the black matrix 6 formed on the translucent substrate 2b. The ultraviolet rays 5b transmitted through the photocurable resin 7 are irradiated on the photocurable resin 7 as ultraviolet rays 5c reflected by the ultraviolet reflector 4.

【0040】光硬化性樹脂7は紫外線を吸収する性質が
あり、紫外線5bが光硬化性樹脂7を透過する際に表面
に近くなるほど減衰し、表面近傍での紫外線の照射密度
が不足ぎみになる。この紫外線の照射密度の不足を、紫
外線反射板4により反射された紫外線5cを光硬化性樹
脂7に照射することにより、補っている。
The photocurable resin 7 has a property of absorbing ultraviolet rays. When the ultraviolet rays 5b pass through the photocurable resin 7, it is attenuated closer to the surface, and the irradiation density of the ultraviolet rays near the surface becomes insufficient. . The shortage of the irradiation density of the ultraviolet rays is compensated for by irradiating the photocurable resin 7 with the ultraviolet rays 5c reflected by the ultraviolet reflecting plate 4.

【0041】以上より、図4(a)に示すように光硬化
性樹脂7のうち紫外線の照射された部分の光硬化性樹脂
7aが硬化する。
As described above, as shown in FIG. 4A, the photocurable resin 7a in the portion of the photocurable resin 7 irradiated with ultraviolet rays is cured.

【0042】次に、現像を行うことにより光硬化性樹脂
7のうち紫外線の照射されていない部分の光硬化性樹脂
7bは取り除かれる。
Next, by performing the development, the photocurable resin 7b in the portion of the photocurable resin 7 not irradiated with ultraviolet rays is removed.

【0043】また、紫外線5cが、紫外線照射板4に反
射された際に僅かに拡散し、ブラックマトリクス6上に
塗布された光硬化性樹脂7に照射されるが、紫外線の照
射強度は非常に小さなレベルであるため、ブラックマト
リクス6上の光硬化性樹脂7が完全に硬化することはな
く、現像の際に取り除くことができる。
When the ultraviolet rays 5c are reflected by the ultraviolet irradiation plate 4, the ultraviolet rays 5c slightly diffuse and irradiate the photocurable resin 7 applied on the black matrix 6, but the irradiation intensity of the ultraviolet rays is extremely high. Because of the small level, the photocurable resin 7 on the black matrix 6 is not completely cured and can be removed during development.

【0044】現像処理を行い不要部分を除去した状態を
図4(b)に示す。第二色目のカラーフィルタが画素に
のみ形成され、ブラックマトリクス6上には形成される
ことはない。
FIG. 4B shows a state in which the unnecessary portion is removed by performing the developing process. The color filter of the second color is formed only in the pixel, and is not formed on the black matrix 6.

【0045】次に、第三色目のカラーフィルタを画素に
形成する方法について説明する。
Next, a method of forming a third color filter in a pixel will be described.

【0046】図5は、第一色目のカラーフィルタおよび
第二色目のカラーフィルタを形成した基板に第三色目の
光硬化性樹脂8を塗布した状態で、マスク1の開口部を
第三色目の画素に位置決めして配置されている。
FIG. 5 shows a state in which the third color photocurable resin 8 is applied to the substrate on which the first color filter and the second color filter are formed, and the opening of the mask 1 is changed to the third color. It is positioned so as to be positioned at the pixel.

【0047】第一色および第二色のカラーフィルタの形
成方法と同様に第三色目のカラーフィルタの形成を行
う。マスク1の下方より紫外線照射手段(図示せず)か
ら平行な紫外線5が照射されると、マスク1により制限
された紫外線5aが透光性基板2cの中を透過する。マ
スク1により制限された紫外線5aは透光性基板2cに
形成されたブラックマトリクス6上により制限された紫
外線5bとして光硬化性樹脂8に照射される。光硬化性
樹脂8を透過した紫外線5bは紫外線反射板4により反
射された紫外線5cとして、光硬化性樹脂8に照射す
る。
The third color filter is formed in the same manner as the method of forming the first and second color filters. When parallel ultraviolet rays 5 are irradiated from below the mask 1 from an ultraviolet irradiation means (not shown), the ultraviolet rays 5a restricted by the mask 1 pass through the translucent substrate 2c. The ultraviolet rays 5a restricted by the mask 1 are applied to the photo-curable resin 8 as ultraviolet rays 5b restricted by the black matrix 6 formed on the translucent substrate 2c. The ultraviolet rays 5b transmitted through the photo-curable resin 8 are radiated to the photo-curable resin 8 as the ultraviolet rays 5c reflected by the ultraviolet reflector 4.

【0048】光硬化性樹脂8は紫外線を吸収する性質が
あり、紫外線5bが光硬化性樹脂8を透過する際に表面
に近くなるほど減衰し、表面近傍での紫外線の照射密度
が不足ぎみになる。この紫外線の照射密度の不足を、紫
外線反射板4により反射された紫外線5cを光硬化性樹
脂8に照射することにより、補っている。
The photo-curable resin 8 has a property of absorbing ultraviolet rays. When the ultraviolet rays 5b pass through the photo-curable resin 8, the light is attenuated closer to the surface, and the irradiation density of the ultraviolet rays near the surface becomes insufficient. . The shortage of the irradiation density of the ultraviolet rays is compensated for by irradiating the photocurable resin 8 with the ultraviolet rays 5c reflected by the ultraviolet reflecting plate 4.

【0049】以上より、図6(a)に示すように光硬化
性樹脂8のうち紫外線の照射された部分の光硬化性樹脂
8aが硬化する。
As described above, as shown in FIG. 6A, the photocurable resin 8a in the portion of the photocurable resin 8 irradiated with ultraviolet rays is cured.

【0050】次に、現像を行うことにより光硬化性樹脂
8のうち紫外線の照射されていない部分の光硬化性樹脂
8bは取り除かれる。
Next, by performing development, the photocurable resin 8b in the portion of the photocurable resin 8 not irradiated with ultraviolet rays is removed.

【0051】また、紫外線5cが、紫外線照射板4に反
射された際に僅かに拡散し、ブラックマトリクス6上に
塗布された光硬化性樹脂8に照射されるが、紫外線の照
射強度は非常に小さなレベルであるため、ブラックマト
リクス6上の光硬化性樹脂8が完全に硬化することはな
く、現像の際に取り除くことができる。
When the ultraviolet rays 5c are reflected by the ultraviolet irradiation plate 4, they slightly diffuse and irradiate the photocurable resin 8 applied on the black matrix 6, but the irradiation intensity of the ultraviolet rays is very high. Because of the small level, the photocurable resin 8 on the black matrix 6 is not completely cured and can be removed during development.

【0052】現像処理を行い不要部分を除去した状態を
図6(b)に示す。第三色目のカラーフィルタが画素に
のみ形成され、ブラックマトリクス6上には形成される
ことはない。
FIG. 6B shows a state in which the unnecessary portion is removed by performing the developing process. The color filter of the third color is formed only in the pixel, and is not formed on the black matrix 6.

【0053】したがって、三色のカラーフィルタを画素
に独立して形成し、しかもブラックマトリクス上にカラ
ーフィルタが形成されないので、ブラックマトリクスと
画素で段差を生じることはない。
Therefore, the color filters of three colors are formed independently of the pixels, and the color filters are not formed on the black matrix, so that there is no step between the black matrix and the pixels.

【0054】本実施の形態では、透光性基板上に着色さ
れた光硬化性樹脂を全面に塗布して、光硬化性樹脂が塗
布されている面の裏側から、マスクを介して選択された
紫外光を、画素に照射した。本発明は、この実施の形態
に限られず、例えば着色された光硬化性樹脂を印刷法ま
たはインクジェット法により、特定の画素にのみ選択的
に塗布した後に、光硬化性樹脂が塗布されている面の裏
側から、マスクを用いないで、透光性基板の全面に紫外
線を照射しても同様の効果を得ることができる。
In the present embodiment, a colored photocurable resin is applied over the entire surface of the light-transmitting substrate, and the photocurable resin is selected from behind the surface on which the photocurable resin is applied via a mask. Ultraviolet light was applied to the pixels. The present invention is not limited to this embodiment. For example, after a colored photocurable resin is selectively applied only to specific pixels by a printing method or an inkjet method, a surface to which the photocurable resin is applied is applied. The same effect can be obtained by irradiating the entire surface of the light-transmitting substrate with ultraviolet light without using a mask from the back side of the substrate.

【0055】(実施の形態2)本発明の他の実施の形態
について説明する。
(Embodiment 2) Another embodiment of the present invention will be described.

【0056】図8は本発明の他の実施の形態の断面図を
示す。図8に示す断面図は、図1に示す断面図とほぼ同
じである。異なる点は、透光性基板2a上に光硬化性樹
脂13が塗布されている面側に、マスク形状に対応した
凹部を備えた紫外線反射板12が設けられていることで
ある。
FIG. 8 is a sectional view of another embodiment of the present invention. The sectional view shown in FIG. 8 is almost the same as the sectional view shown in FIG. The difference is that an ultraviolet reflecting plate 12 having a concave portion corresponding to the mask shape is provided on the surface of the light-transmitting substrate 2a on which the photocurable resin 13 is applied.

【0057】次に、カラーフィルタを画素に形成する方
法について説明する。
Next, a method of forming a color filter on a pixel will be described.

【0058】マスク1の下方より紫外線照射手段(図示
せず)から平行な紫外線5が照射されると、マスク1に
より制限された紫外線5aが透光性基板2aの中を透過
する。マスク1により制限された紫外線5aは透光性基
板2aに形成されたブラックマトリクス6上により制限
された紫外線5bとして光硬化性樹脂13に照射され
る。光硬化性樹脂13を透過した紫外線5bは紫外線反
射板12により反射された紫外線5dとして、光硬化性
樹脂13に照射する。
When parallel ultraviolet rays 5 are irradiated from below the mask 1 from an ultraviolet irradiation means (not shown), the ultraviolet rays 5a restricted by the mask 1 pass through the light transmitting substrate 2a. The ultraviolet rays 5a restricted by the mask 1 are applied to the photo-curable resin 13 as ultraviolet rays 5b restricted by the black matrix 6 formed on the translucent substrate 2a. The ultraviolet rays 5b that have passed through the photocurable resin 13 are radiated to the photocurable resin 13 as ultraviolet rays 5d reflected by the ultraviolet reflector 12.

【0059】光硬化性樹脂13は紫外線を吸収する性質
があり、紫外線5bが光硬化性樹脂13を透過する際に
表面に近くなるほど減衰し、表面近傍での紫外線の照射
密度が不足ぎみになる。この紫外線の照射密度の不足
を、紫外線反射板12により反射された紫外線5dを光
硬化性樹脂13に照射することにより、補っている。
The photo-curable resin 13 has a property of absorbing ultraviolet rays. When the ultraviolet rays 5b pass through the photo-curable resin 13, the light is attenuated closer to the surface, and the irradiation density of the ultraviolet rays near the surface becomes insufficient. . The shortage of the irradiation density of the ultraviolet rays is compensated for by irradiating the photo-curable resin 13 with the ultraviolet rays 5d reflected by the ultraviolet reflecting plate 12.

【0060】以上より、図9(a)に示すように光硬化
性樹脂13のうち紫外線の照射された部分の光硬化性樹
脂13aが硬化する。
As described above, as shown in FIG. 9A, the photocurable resin 13a in the portion of the photocurable resin 13 irradiated with ultraviolet rays is cured.

【0061】次に、現像を行うことにより光硬化性樹脂
13のうち紫外線の照射されていない部分の光硬化性樹
脂13bは取り除かれる。
Next, the photocurable resin 13b in the portion of the photocurable resin 13 not irradiated with ultraviolet rays is removed by development.

【0062】また、紫外線反射板12は、反射された紫
外線5dが拡散し、ブラックマトリクス6上に塗布され
た光硬化性樹脂13に照射されるのを防ぐために、凹型
形状になっている。凹型形状にすることにより、紫外線
反射板で反射光の拡散を抑えることができるため、光硬
化性樹脂に照射する紫外線に平行度が平面鏡に比べて緩
和することができる。このことにより、凹形状と着色さ
れた光硬化性樹脂が塗布された透光性基板との位置合わ
せを厳密にする必要があるため、位置合わせのための装
置構造が複雑なものになり、さらに位置合わせに要する
時間も長くなるが、平行な紫外線を照射するためには、
光学系が平面鏡の場合に比べて簡単になり、装置全体と
して安価にすることができる。
The ultraviolet reflector 12 has a concave shape in order to prevent the reflected ultraviolet rays 5 d from diffusing and irradiating the photocurable resin 13 applied on the black matrix 6. By making the concave shape, the diffusion of the reflected light can be suppressed by the ultraviolet reflecting plate, so that the parallelism with respect to the ultraviolet light applied to the photocurable resin can be relaxed as compared with the plane mirror. Because of this, it is necessary to strictly align the concave shape and the light-transmitting substrate coated with the colored photocurable resin, so that the device structure for the alignment becomes complicated, and furthermore, Although the time required for alignment becomes longer, in order to irradiate parallel ultraviolet rays,
The optical system is simpler than in the case of a plane mirror, and the entire apparatus can be inexpensive.

【0063】現像処理を行い不要部分を除去した状態を
図9(b)に示す。第一色目のカラーフィルタが画素に
のみ形成され、ブラックマトリクス6上には形成される
ことはない。
FIG. 9B shows a state in which unnecessary portions have been removed by performing the developing process. The first color filter is formed only on the pixel, and is not formed on the black matrix 6.

【0064】第二色目および第三色目のカラーフィルタ
も第一色目と同様の方法で形成することで、ブラックマ
トリクス上にカラーフィルタが形成されず、ブラックマ
トリクスと画素で段差が生じることはない。
By forming the second color filter and the third color filter in the same manner as in the first color, no color filter is formed on the black matrix, and there is no step between the black matrix and the pixel.

【0065】[0065]

【発明の効果】本発明のカラーフィルタの製造方法は、
透光性基板上に光硬化性樹脂を塗布する工程と、前記光
硬化性樹脂の塗布面の裏面側から紫外線を照射する工程
と、前記光硬化性樹脂を透過した前記紫外線を反射して
前記光硬化性樹脂の塗布面に前記紫外線を照射する工程
と、前記光硬化性樹脂の不要部分を除去する工程とを備
えるので、画素上の光硬化性樹脂は完全に硬化して、ブ
ラックマトリクス上の光硬化性樹脂は硬化することがな
い。よって、ブラックマトリクス上の光硬化性樹脂は完
全に除去されて、ブラックマトリクスと画素とで段差が
生じることはなく、隣接する画素間で段差が生じること
がない。このことにより、従来段差の影響を無くすため
に形成していたオーバーコート処理を行う必要がない。
したがって、安価で高品質なカラーフィルタを提供する
ことができる。
The method for manufacturing a color filter according to the present invention comprises:
A step of applying a photocurable resin on the translucent substrate, a step of irradiating ultraviolet rays from the back side of the application surface of the photocurable resin, and reflecting the ultraviolet rays transmitted through the photocurable resin to reflect the ultraviolet rays. Since the method includes a step of irradiating the ultraviolet ray to the application surface of the photocurable resin and a step of removing an unnecessary portion of the photocurable resin, the photocurable resin on the pixel is completely cured, and Is not cured. Therefore, the photocurable resin on the black matrix is completely removed, so that there is no step between the black matrix and the pixel, and there is no step between adjacent pixels. Thus, it is not necessary to perform an overcoating process which has been conventionally formed to eliminate the influence of the step.
Therefore, an inexpensive and high-quality color filter can be provided.

【0066】また、紫外線は遮光性マスクによって選択
的に画素へ照射するため、複数の着色された光硬化性樹
脂を画素に独立して硬化させることができ、色数分の塗
布、紫外線の照射、不要部分の除去を繰り返すだけで、
カラーフィルタを形成することができる。この際、各色
は独立して行うので、着色された光硬化性樹脂がブラッ
クマトリクス上で重なって硬化することがなく、また画
素でも重なって硬化することはない。したがって、各色
が画素ごとに完全に独立した高品質なカラーフィルタを
提供することができる。
Further, since ultraviolet rays are selectively irradiated to the pixels by the light-shielding mask, a plurality of colored photo-curable resins can be independently cured for the pixels, and the application of the number of colors and the irradiation of the ultraviolet rays can be performed. , Just by removing unnecessary parts,
A color filter can be formed. At this time, since each color is performed independently, the colored photocurable resin does not overlap and cure on the black matrix, and does not overlap and cure even at the pixels. Therefore, a high-quality color filter in which each color is completely independent for each pixel can be provided.

【0067】本発明のカラーフィルタの製造装置は、光
硬化性樹脂の塗布面の裏面側から前記光硬化性樹脂に紫
外線を照射する手段と、前記光硬化性樹脂を透過した前
記紫外線を反射させて再度前記光硬化性樹脂に照射する
反射手段とを備えるので、ブラックマトリクスと画素で
段差のない、また隣接する画素間で段差の生じない、カ
ラーフィルタを容易にしかも低コストで簡単な装置構成
で提供することができる。
The apparatus for manufacturing a color filter according to the present invention comprises means for irradiating the photocurable resin with ultraviolet rays from the back side of the photocurable resin application surface, and reflecting the ultraviolet rays transmitted through the photocurable resin. And a reflection means for irradiating the photocurable resin again, so that there is no step between the black matrix and the pixel, and there is no step between adjacent pixels. Can be provided.

【0068】また、紫外線を遮光マスク等により選択的
に画素へ照射する手段を備えることにより、複数の着色
された光硬化性樹脂を画素に独立して硬化させた高品質
なカラーフィルタを簡単な装置構成で提供することがで
きる。
Further, by providing a means for selectively irradiating the pixels with ultraviolet rays using a light-shielding mask or the like, a high-quality color filter in which a plurality of colored photo-curable resins are independently cured for the pixels can be easily obtained. It can be provided in a device configuration.

【0069】また、紫外線を反射する手段は平面鏡を使
用しているので、紫外線を簡単な装置構成で、再び光硬
化性樹脂に照射することができる。したがって、画素上
の光硬化性樹脂を完全に硬化することができる。
Since the means for reflecting the ultraviolet rays uses a plane mirror, the ultraviolet rays can be re-irradiated to the photocurable resin with a simple apparatus configuration. Therefore, the photocurable resin on the pixel can be completely cured.

【0070】また、紫外線を反射する手段は凹部を有す
る反射鏡を使用することにより、拡散する紫外線を、簡
単な装置構成で、画素へ効率的に照射することができ
る。したがって、ブラックマトリクス上の光硬化性樹脂
には紫外線を照射しないで、画素上の光硬化性樹脂のみ
を完全に硬化することができる。
In addition, by using a reflecting mirror having a concave portion as a means for reflecting ultraviolet rays, it is possible to efficiently irradiate diffused ultraviolet rays to pixels with a simple device configuration. Therefore, only the photocurable resin on the pixels can be completely cured without irradiating the photocurable resin on the black matrix with ultraviolet rays.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態で第一色目の露光状態を
表す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating an exposure state of a first color according to an embodiment of the present invention.

【図2】(a)は本発明により第一色目の光硬化性樹脂
が硬化した状態を表す断面図である。(b)は本発明に
より第一色目の光硬化性樹脂を現像した状態を表す断面
図である。
FIG. 2A is a cross-sectional view illustrating a state in which a first-color photocurable resin is cured according to the present invention. FIG. 3B is a cross-sectional view illustrating a state in which the first-color photocurable resin is developed according to the present invention.

【図3】本発明の一実施の形態で第二色目の露光状態を
表す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an exposure state of a second color according to the embodiment of the present invention.

【図4】(a)は本発明により第二色目の光硬化性樹脂
が硬化した状態を表す断面図である。(b)は本発明に
より第二色目の光硬化性樹脂を現像した状態を表す断面
図である。
FIG. 4A is a cross-sectional view illustrating a state where a second-color photocurable resin is cured according to the present invention. FIG. 4B is a cross-sectional view illustrating a state in which the second color photocurable resin is developed according to the present invention.

【図5】本発明の一実施の形態で第三色目の露光状態を
表す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating an exposure state of a third color according to the embodiment of the present invention.

【図6】(a)は本発明により第三色目の光硬化性樹脂
が硬化した状態を表す断面図である。(b)は本発明に
より第三色目の光硬化性樹脂を現像した状態を表す断面
図である。
FIG. 6A is a cross-sectional view illustrating a state where a third-color photocurable resin is cured according to the present invention. FIG. 4B is a cross-sectional view illustrating a state where the third color photocurable resin is developed according to the present invention.

【図7】光硬化性樹脂の厚み方向に対する紫外線透過量
の分布を説明する図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating the distribution of the amount of transmitted ultraviolet light in the thickness direction of the photocurable resin.

【図8】本発明の他の実施の形態で第一色目の露光状態
を表す断面図である。
FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating an exposure state of a first color according to another embodiment of the present invention.

【図9】(a)は本発明により第一色目の光硬化性樹脂
が硬化した状態を表す断面図である。(b)は本発明に
より第一色目の光硬化性樹脂を現像した状態を表す断面
図である。
FIG. 9A is a cross-sectional view illustrating a state in which a first-color photocurable resin is cured according to the present invention. FIG. 3B is a cross-sectional view illustrating a state in which the first-color photocurable resin is developed according to the present invention.

【図10】パターンズレのために光もれを起こすカラー
フィルタの断面図である。
FIG. 10 is a cross-sectional view of a color filter that causes light leakage due to a pattern shift.

【図11】従来の技術で製造されたカラーフィルタの断
面図である。
FIG. 11 is a cross-sectional view of a color filter manufactured by a conventional technique.

【図12】従来の技術で製造されたカラーフィルタにオ
ーバーコートを施した状態を表す断面図である。
FIG. 12 is a cross-sectional view illustrating a state in which an overcoat is applied to a color filter manufactured by a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 マスク 2、2a、2b、2c 透光性基板 3、3a、3b 光硬化性樹脂 4 紫外線反射板 5、5a、5b、5c 紫外線 6 ブラックマトリクス 7、7a、7b 光硬化性樹脂 8、8a、8b 光硬化性樹脂 9 隙間 10 画素 11 オーバーコート 12 凹部を備えた紫外線反射板 13、13a、13b 光硬化性樹脂 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Mask 2, 2a, 2b, 2c Transparent substrate 3, 3a, 3b Photocurable resin 4 Ultraviolet reflector 5, 5a, 5b, 5c Ultraviolet 6 Black matrix 7, 7a, 7b Photocurable resin 8, 8a 8b Photo-curable resin 9 Gap 10 Pixel 11 Overcoat 12 Ultraviolet reflector with recess 13, 13a, 13b Photo-curable resin

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透光性基板上に光硬化性樹脂を塗布する
工程と、前記光硬化性樹脂の塗布面の裏面側から紫外線
を照射する工程と、前記光硬化性樹脂を透過した前記紫
外線を反射して前記光硬化性樹脂の塗布面に前記紫外線
を照射する工程と、前記光硬化性樹脂の不要部分を除去
する工程とを備えることを特徴とするカラーフィルタの
製造方法。
1. A step of applying a photocurable resin on a light-transmitting substrate, a step of irradiating ultraviolet rays from a back side of a surface on which the photocurable resin is applied, and a step of applying the ultraviolet rays transmitted through the photocurable resin. A step of irradiating the ultraviolet ray to the surface of the photocurable resin after reflecting the light, and a step of removing an unnecessary portion of the photocurable resin.
【請求項2】 前記紫外線は選択光であることを特徴と
する請求項1に記載のカラーフィルタの製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein the ultraviolet light is selected light.
【請求項3】 着色された光硬化性樹脂を露光硬化する
カラーフィルタの製造装置であって、 光硬化性樹脂の塗布面の裏面側から前記光硬化性樹脂に
紫外線を照射する手段と、前記光硬化性樹脂を透過した
前記紫外線を反射させて再度前記光硬化性樹脂に照射す
る反射手段とを備えることを特徴とするカラーフィルタ
の製造装置。
3. An apparatus for manufacturing a color filter for exposing and curing a colored photocurable resin, comprising: means for irradiating the photocurable resin with ultraviolet rays from a back surface side of a surface to which the photocurable resin is applied; And a reflecting means for reflecting the ultraviolet light transmitted through the photocurable resin and irradiating the photocurable resin again.
【請求項4】 前記紫外線は選択光を照射することを特
徴とする請求項3に記載のカラーフィルタの製造装置。
4. The color filter manufacturing apparatus according to claim 3, wherein the ultraviolet light irradiates selective light.
【請求項5】 前記反射手段は平面鏡であることを特徴
とする請求項3または請求項4に記載のカラーフィルタ
の製造装置。
5. The color filter manufacturing apparatus according to claim 3, wherein said reflection means is a plane mirror.
【請求項6】 前記反射手段は凹部を有する反射鏡であ
ることを特徴とする請求項3または請求項4に記載のカ
ラーフィルタの製造装置。
6. The apparatus for manufacturing a color filter according to claim 3, wherein said reflecting means is a reflecting mirror having a concave portion.
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