JPH1096563A - 冷凍機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧縮機の２つのピストンおよびディスプレー
サとバランスウェイトを対向して動作させる際に、相対
する変位センサの変位に対する出力電圧特性に個体差が
あるため、その違いにより同一電圧で制御されているに
もかかわらず異なった変位となってしまい、その差によ
る加振力が発生することとなる。その結果、赤外線検出
器、光学機器等が振動して画像ぶれが生じるという問題
があった。 【解決手段】 一方の変位センサの出力電圧を他方の変
位センサの出力電圧特性に変換する特性変換回路を備え
たものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば赤外線検
出器を８０Ｋ程度の低温に冷却する冷凍機に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】図９に従来の冷凍機の構成例を示す。冷
凍機は大きく分けて圧縮機１と、コールドフィンガ２
と、これらを連結する連結管３と、アクティブバランサ
４と、駆動制御回路７６から構成される。

【０００３】前記圧縮機１は第１の支持ばね８により位
置決めされたピストン６と第２の支持ばね２２により位
置決めされたピストン２０が対向して第１のシリンダ５
内部に往復運動する構造となっている。前記ピストン６
には非磁性材料からなるスリーブ９が連結され、前記第
１のスリーブ９には導電体１１を巻き付けて第１の可動
コイル１０を形成する。前記第１の可動コイル１０には
第１のリード線１７および第２のリード線１８が接続さ
れ、これらのリード線１７、１８は第１のハウジング３
５の壁を通して外部に伸びる第１の電気接点１５および
第２の電気接点１６に接続され、前記駆動制御回路７６
内の第１の電力供給回路８１と接続している。

【０００４】前記第１のハウジング３５内には第１の環
状永久磁石１２および第１のヨーク１３が設けられてお
り、これらは、閉磁気回路を構成している。前記第１の
可動コイル１０は前記第１の環状永久磁石１２および第
１のヨーク１３からなる閉磁気回路に設けられた間隙１
４内で前記ピストン６の軸方向に往復運動できる構造に
なっている。前記間隙１４内には前記第１の可動コイル
１０の運動方向を横切る半径方向に永久磁界が存在す
る。以上の前記第１の可動コイル１０、前記リード線１
７、１８、前記第１の環状永久磁石１２、前記第１のヨ
ーク１３は全体として第１のリニアモータ７を構成して
いる。

【０００５】前記第１のハウジング３５には前記ピスト
ン６の位置を検出するための第１の変位センサ１９が取
付けられており、前記駆動制御回路７６内の第１の変位
センサ用アンプ８２と接続されている。

【０００６】前記ピストン２０についても前記ピストン
６と同様に非磁性材料からなるスリーブ２３が連結さ
れ、前記第２のスリーブ２３には導電体２５を巻き付け
て第２の可動コイル２４を形成する。前記第２の可動コ
イル２４には第３のリード線３１および第４のリード線
３２が接続され、これらのリード線３１、３２は第１の
ハウジング３５の壁を通して外部に伸びる第３の電気接
点２９および第４の電気接点３０に接続され、前記駆動
制御回路７６内の第２の電力供給回路８６と接続してい
る。

【０００７】前記第１のハウジング３５内には第２の環
状永久磁石２６および第２のヨーク２７が設けられてお
り、これらは、閉磁気回路を構成している。前記第２の
可動コイル２４は前記第２の環状永久磁石２６および第
２のヨーク２７からなる閉磁気回路に設けられた間隙２
８内で前記ピストン６の軸方向に往復運動できる構造に
なっている。前記間隙２８内には前記第２の可動コイル
２４の運動方向を横切る半径方向に永久磁界が存在す
る。以上の前記第２の可動コイル２４、前記リード線３
１、３２、前記第２の環状永久磁石２６、前記第２のヨ
ーク２７は全体として第２のリニアモータ２１を構成し
ている。

【０００８】前記第１のハウジング３５には前記ピスト
ン２０の位置を検出するための第２の変位センサ３３が
取付けられており、前記駆動制御回路７６内の第２の変
位センサ用アンプ８７と接続されている。

【０００９】前記第１のシリンダ５内部の前記ピストン
６と前記ピストン２０の間の空間を圧縮室３４と呼ぶ。
前記圧縮室３４には例えばヘリウムなどの高圧の作動ガ
スが封入されている。前記圧縮室３４内の作動ガスが前
記第１のシリンダ５と前記ピストン６または前記第１の
シリンダ５と前記ピストン２０の隙間を通過しにくくす
るために、前記第１のシリンダ５と前記ピストン６およ
び前記第１のシリンダ５と前記ピストン２０との隙間は
できるだけ狭く作られている。以上が圧縮機１の構成で
ある。

【００１０】一方、前記コールドフィンガ２は第３の支
持バネ４７により位置決めされたディスプレーサ３７が
細長い円筒状の低温シリンダ３９内部を往復運動する構
造になっている。前記ディスプレーサ３７には非磁性材
料からなる第３のスリーブ４８が連結され、前記第３の
スリーブ４８には導電体５０を巻き付けて第３の可動コ
イル４９を形成する。前記第３の可動コイル４９には第
５のリード線５６および第６のリード線５７が接続さ
れ、これらのリード線５６、５７は第２のハウジング６
０の壁を通して外部に伸びる第５の電気接点５４および
第６の電気接点５５に接続され、前記駆動制御回路内の
第３の電力供給回路９２と接続している。

【００１１】前記第２のハウジング６０内には第３の環
状永久磁石５１および第３のヨーク５２が設けられてお
り、これらは、閉磁気回路を構成している。前記第３の
可動コイル４９は前記第３の環状永久磁石５１および第
３のヨーク５２からなる閉磁気回路に設けられた間隙５
３内で前記ディスプレーサ３７の軸方向に往復運動でき
る構造になっている。前記間隙５３内には前記第３の可
動コイル４９の運動方向を横切る半径方向に永久磁界が
存在する。以上の前記第３の可動コイル４９、前記リー
ド線５６、５７、前記第３の環状永久磁石５１、前記第
３のヨーク５２は全体として第３のリニアモータ４６を
構成している。

【００１２】前記第２のハウジング６０には前記ディス
プレーサ３７の位置を検出するための第３の変位センサ
５９が取付けられており、前記駆動制御回路７６内の第
３の変位センサ用アンプ９３と接続されている。

【００１３】前記コールドフィンガ２内部の空間は前記
ディスプレーサ３７によって３分割されており、前記デ
ィスプレーサ３７上方の空間を低温室４４、前記ディス
プレーサ３７中央周囲に設けられた空間を高温室４５、
前記ディスプレーサ３７下方を覆う空間をモータ室５８
と呼ぶ。前記ディスプレーサ３７内部には再生器４０、
ガス通過孔４２、４３が設けられ、前記低温室４４と前
記高温室４５は前記再生器４０と前記ガス通過孔４２、
４３を介して連通しており、前記再生器４０には例えば
銅の金網などの蓄冷材４１が充填されている。前記低温
室４４と前記高温室４５の間の前記ディスプレーサ３７
周囲には第２のシリンダ３８が設けられ、前記第３のシ
リンダ３８と前記ディスプレーサ３７の隙間を作動ガス
が通過しにくくするために前記第２のシリンダ３８と前
記ディスプレーサ３７の隙間はできるだけ狭く作られて
いる。同様に前記高温室４５と前記モータ室５８の間の
前記ディスプレーサ３７周囲には第３のシリンダ３６が
設けられ、前記第３のシリンダ３６と前記ディスプレー
サ３７の隙間を作動ガスが通過しにくくするために前記
第３のシリンダ３６と前記ディスプレーサ３７の隙間は
できるだけ狭く作られている。コールドフィンガ２の各
室には前記圧縮機１と同様に例えばヘリウムなどの高圧
ガスが封入されている。以上がコールドフィンガ２の構
成である。

【００１４】前記アクティブバランサ４は、第４の支持
バネ６３により位置決めされたバランスウェイト６１が
第３のハウジング７５内部を往復運動する構造になって
いる。前記バランスウェイト６１には非磁性材料からな
る第４のスリーブ６４が連結され、前記第４のスリーブ
６４には導電体６６を巻き付けて第４の可動コイル６５
を形成する。前記第４の可動コイル６５には第７のリー
ド線７２および第８のリード線７３が接続され、これら
のリード線７２、７３は第３のハウジング７５の壁を通
して外部に伸びる第７の電気接点７０および第８の電気
接点７１に接続され、前記駆動制御回路７６内の第４の
電力供給回路９７と接続している。

【００１５】前記第３のハウジング７５内には第４の環
状永久磁石６７および第４のヨーク６８が設けられてお
り、これらは、閉磁気回路を構成している。前記第４の
可動コイル６５は前記第４の環状永久磁石６７および第
４のヨーク６８からなる閉磁気回路に設けられた間隙６
９内で前記バランスウェイト６１の軸方向に往復運動で
きる構造になっている。前記間隙６９内には前記第４の
可動コイル６５の運動方向を横切る半径方向に永久磁界
が存在する。以上の前記第４の可動コイル６５、前記リ
ード線７２、７３、前記第４の環状永久磁石６７、前記
第４のヨーク６８は全体として第４のリニアモータ６２
を構成している。

【００１６】前記第３のハウジング７５には前記バラン
スウェイト６１の位置を検出するための第４の変位セン
サ７４が取付けられており、前記駆動制御回路７６内の
第４の変位センサ用アンプ９８と接続されている。以上
がアクティブバランサ４の構成である。

【００１７】前記圧縮機１の前記圧縮室３４と前記コー
ルドフィンガ２の前記高温室４５は前記連結管３を介し
て連通している。また、前記圧縮室３４、前記連結管３
の内部空間、前記高温室４５、前記再生器４０、前記低
温室４４、前記ガス通過孔４２、４３は互いに連通して
おり、これらの室全体を作動室９９と呼ぶ。

【００１８】また、前記駆動制御回路７６は、以下の回
路から構成されている。前記圧縮機１の第１のピストン
６および第２のピストン２０の位置指令信号を発生する
第１の位置指令信号発生回路７７と、前記第１の変位セ
ンサ１９へ電力を供給し、前記第１の変位センサ１９か
ら発生する信号を変位に対応した電圧値として出力する
第１の変位センサ用アンプ８２と、前記第１の位置指令
信号発生回路７７と前記第１の変位センサ用アンプ８２
からの位置信号を比較する第１の位置信号比較回路７８
と、前記第１の位置信号比較回路７８からの信号を前記
第１のリニアモータ７に入力する電力信号に変換する第
１の電力信号発生回路７９と、前記第１の電力信号発生
回路７９からの電力信号と前記第１のリニアモータ７か
らの電力帰還信号を比較する第１の電力比較回路８０
と、前記第１の電力比較回路８０からの信号を前記第１
のリニアモータ７に加えるべき電力として供給する第１
の電力供給回路８１と、前記第２の変位センサ３３へ電
力を供給し、前記第２の変位センサ３３から発生する信
号を変位に対応した電圧値として出力する第２の変位セ
ンサ用アンプ８６と、前記第１の位置指令信号発生回路
７７と前記第２の変位センサ用アンプ８６からの位置信
号を比較する第２の位置信号比較回路８３と、前記第２
の位置信号比較回路８３からの信号を前記第２のリニア
モータ２１に入力する電力信号に変換する第２の電力信
号発生回路８４と、前記第２の電力信号発生回路８４か
らの電力信号と前記第２のリニアモータ２１からの電力
帰還信号を比較する第２の電力比較回路８５と、前記第
２の電力比較回路８５からの信号を前記第２のリニアモ
ータ２１に加えるべき電力として供給する第２の電力供
給回路８６と、前記コールドフィンガ２のディスプレー
サ３７およびアクティブバランサ４のバランスウェイト
６１の位置指令信号を発生する第２の位置指令信号発生
回路８８と、前記第３の変位センサ５９へ電力を供給
し、前記第３の変位センサ５９から発生する信号を変位
に対応した電圧値として出力する第３の変位センサ用ア
ンプ９３と、前記第２の位置指令信号発生回路８８と前
記第３の変位センサ用アンプ９３からの位置信号を比較
する第３の位置信号比較回路８９と、前記第３の位置信
号比較回路８９からの信号を前記第３のリニアモータ４
６に入力する電力信号に変換する第３の電力信号発生回
路９０と、前記第３の電力信号発生回路９０からの電力
信号と前記第３のリニアモータ４６からの電力帰還信号
を比較する第３の電力比較回路９１と、前記第３の電力
比較回路９１からの信号を前記第３のリニアモータ４６
に加えるべき電力として供給する第３の電力供給回路９
２と、前記第４の変位センサ７４へ電力を供給し、前記
第４の変位センサ７４から発生する信号を変位に対応し
た電圧値として出力する第４の変位センサ用アンプ９８
と、前記第２の位置指令信号発生回路８８と前記第４の
変位センサ用アンプ９８からの位置信号を比較する第４
の位置信号比較回路９４と、前記第４の位置信号比較回
路９４からの信号を前記第４のリニアモータ６２に入力
する電力信号に変換する第４の電力信号発生回路９５
と、前記第４の電力信号発生回路９５からの電力信号と
前記第４のリニアモータ２３からの電力帰還信号を比較
する第４の電力比較回路９６と、前記第４の電力比較回
路９６からの信号を前記第４のリニアモータ６２に加え
るべき電力として供給する第４の電力供給回路９７であ
る。以上が前記駆動制御回路７６の構成である。

【００１９】上記のように構成された従来の冷凍機の動
作について説明する。圧縮機１においては第１の電力供
給回路８１より電気接点１５、１６およびリード線１
７、１８を介して第１の可動コイル１０の導電体１１に
電流を供給すると、導電体１１には間隙１４中の永久磁
界との相互作用により軸方向にローレンツ力が働く。そ
の結果第１の可動コイル１０が取付けられたピストン６
は軸方向に移動する。今、正弦波電流を第１の可動コイ
ル１０の導電体１１に供給すると、ピストン６は第１の
シリンダ５の内部を往復運動する。同様に第２の電力供
給回路８６より電気接点２９、３０およびリード線３
１、３２を介して第２の可動コイル２４の導電体２５に
電流を供給すると、導電体２５には間隙２８中の永久磁
界との相互作用により軸方向にローレンツ力が働く。そ
の結果第２の可動コイル２４が取付けられたピストン２
０は軸方向に移動する。

【００２０】今、第１の可動コイル１０の導電体１１に
供給するのと同じ周波数、同じ位相の正弦波電流を第２
の可動コイル２４の導電体２５に供給すると、ピストン
２０は第１のシリンダ５の内部をピストン６と対向する
方向に往復運動する。これらの対向するピストン６とピ
ストン２０の往復運動により、その間の圧縮室３４から
低温室４４にいたる作動室９９のガス圧力に正弦波状の
波動を与える。また、ピストン６とピストン２０は対向
して往復運動しているため、その運動による発生加振力
は質量、振幅の調整によりある程度相殺されることとな
る。

【００２１】一方、コールドフィンガ２の第３のシリン
ダ３６とディスプレーサ３７の隙間は上記のピストン６
およびピストン２０によって作られる圧力波動のような
短周期の圧力変化に対しては十分な密封性を有するが、
長時間的に見れば密封は不完全であるので、モータ室５
８内の圧力は、ピストン６およびピストン２０によって
作られる圧力波動のおよそ平均圧力付近に保たれる。ピ
ストン６およびピストン２０によって作られる圧力波動
が低温室４４に伝わると、ディスプレーサ３７には低温
室４４とモータ室５８の圧力差にディスプレーサ３７の
断面積を乗じた荷重がディスプレーサ３７の軸方向に作
用する。この力をガス圧駆動力とし、ガス圧駆動力と第
３の支持バネ４７の相互作用によりディスプレーサ３７
は軸方向に共振し、ピストン６およびピストン２０と同
じ周波数かつおよそ９０゜進んだ位相でコールドフィン
ガ２内を軸方向に往復する。また、コールドフィンガ２
には第３の電力供給回路９２より電気接点５４、５５お
よびリード線５６、５７を介して第３の可動コイル４８
の導電体５０に電流を供給すると、導電体５０には間隙
５１中の永久磁界との相互作用により軸方向にローレン
ツ力が働く。その結果第３の可動コイル４８が取付けら
れたディスプレーサ３７は軸方向に移動する。

【００２２】今、正弦波電流を第３の可動コイル４８の
導電体５０に供給すると、ディスプレーサ３７はコール
ドフィンガ２内部を軸方向に往復運動する。この力をモ
ータ駆動力とする。通常はガス圧駆動力だけでもディス
プレーサ３７は必要な振幅を越えて往復運動しようとす
るため、モータ駆動力をガス圧駆動力と逆の位相になる
ようにディスプレーサ３７に与えて必要十分な振幅にな
るよう調整している。このようにモータ駆動力はディス
プレーサ３７に制動を加える方向に作用している。ま
た、同様に第４の電力供給回路９７より電気接点７０、
７１およびリード線７２、７３を介して第４の可動コイ
ル６４の導電体６６に電流を供給すると、導電体６６に
は間隙６９中の永久磁界との相互作用により軸方向にロ
ーレンツ力が働く。その結果第４の可動コイル６４が取
付けられたバランスウェイト６１は軸方向に移動する。
今、ディスプレーサ３７の往復運動と同じ周波数、同じ
位相の正弦波電流を第４の可動コイル６４の導電体６６
に供給すると、バランスウェイト６１はディスプレーサ
３７と対向する方向に往復運動し、ディスプレーサ３７
とバランスウェイト６１の往復運動による発生加振力は
質量、振幅の調整によりある程度相殺されることとな
る。以上のようにピストン６、ピストン２０、ディスプ
レーサ３７が運動するとき下記のような原理で冷凍を発
生することができる。

【００２３】まず、ディスプレーサ３７がコールドフィ
ンガ２内の上部に位置しているときに、ピストン６とピ
ストン２０が互いに近づく方向に移動して作動室９９内
の作動ガスを圧縮する。圧縮室３４内の作動ガスは連接
管３を経て、高温室４５に流れ込み、この間発生する圧
縮熱は第１のハウジング３５、連接管３等を介して周囲
空気に放熱される。それとともに高温室４５の作動ガス
は再生器４０とガス通過孔４２、４３を通って低温室４
４へ移動する。この時再生器４０内の蓄冷材４１は半サ
イクル前に蓄えた冷熱で作動ガスを予冷する。

【００２４】次にピストン６とピストン２０が互いに離
れる方向に移動することで作動室９９内の作動ガス全体
を膨張させる。低温室４４内においても作動ガスは膨張
し、この膨張によって低温室４４内で低温生成が行われ
る。次にディスプレーサ３７が上方に移動し、それとと
もに低温室４４の低温の作動ガスは再生器４０とガス通
過孔４３、４２を通って、高温室４５に移動する。この
時再生器４０内の蓄冷材４１は低温の作動ガスによって
予冷される。その後再度ピストン６とピストン２０が互
いに近づく方向に移動して作動ガスの圧縮が始まり、同
様のサイクルが繰り返される。ここでの作動ガスの圧縮
と膨張はそれぞれピストン６およびピストン２０から仕
事を受け取ったりピストン６とピストン２０へ仕事を与
えたりしながら行われているので、作動ガスは圧縮時に
は発熱し、膨張時には外部から熱を吸収する。前述のよ
うにディスプレーサ３７がコールドフィンガ２内の上部
に位置しているとき、すなわち低温室４４の容積が小さ
くなっているときに作動ガスの圧縮がおこり、逆にディ
スプレーサ３７がコールドフィンガ２内の下部に位置し
ているとき、すなわち低温室４４の容積が大きくなって
いるときに作動ガスの膨張がおこるので、低温室４４は
１サイクル全体でみると膨張が主体であり、コールドフ
ィンガ２の先端外部から熱を奪い、被冷却体を冷却す
る。

【００２５】

【発明が解決しようとする課題】上記のような冷凍機に
は下記に述べるような課題があった。圧縮機の２つのピ
ストンおよびディスプレーサとバランスウェイトを対向
して動作させ、両者の質量、振幅を調整することにより
ある程度の発生加振力を低減することができるが、変位
センサの変位に対する出力電圧の特性が完全な線形特性
等になることはない。そのため、相対する変位センサの
わずかな特性の違いから、同一変位であるにもかかわら
ず異なった電気信号値（電圧）を発生してしまう。その
信号と位置指令の信号が比較されてリニアモータに電流
が加えられるため、その差で加振力が発生することとな
る。その結果、赤外線検出器、光学機器等が振動して画
像ぶれが生じるという問題があった。

【００２６】この発明はかかる問題点を解決するために
なされたものであり、低振動の冷凍機を実現することを
目的としている。

【００２７】

【課題を解決するための手段】この発明に係わる冷凍機
は、第１の変位センサと第２の変位センサの変位に対す
る出力電圧の特性を一致させる第１の特性変換回路およ
び第３の変位センサと第４の変位センサの変位に対する
出力電圧の特性を一致させる第２の特性変換回路を付加
することにより圧縮機の第１のピストンと第２のピスト
ンおよびディスプレーサとバランスウェイトの同一変位
での出力電圧の差をなくし、その差によって発生してい
た加振力を低減する。

【００２８】この発明に係わる冷凍機は、第１の変位セ
ンサと第２の変位センサの変位に対する出力電圧の特性
を一致させる第１の特性変換回路および第３の変位セン
サと第４の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を
一致させる第２の特性変換回路を構成する要素として、
一方の変位センサの特性から入力された電圧を変位に換
算する関数演算回路と、もう一方の変位センサの特性か
らその換算された変位に対する出力電圧値を出力する関
数演算回路をもつことで実現し、圧縮機の第１のピスト
ンと第２のピストンおよびディスプレーサとバランスウ
ェイトの同一変位での出力電圧の差をなくし、その差に
よって発生していた加振力を低減する。

【００２９】この発明に係わる冷凍機は、第１の変位セ
ンサと第２の変位センサの変位に対する出力電圧の特性
を一致させる第１の特性変換回路および第３の変位セン
サと第４の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を
一致させる第２の特性変換回路を構成する要素として、
アナログ−デジタル変換器と、２つの変位センサの同一
変位に対する出力電圧値を記憶する記憶装置と、対応す
る電圧値を読み出す制御回路と、デジタル−アナログ変
換器をもつことで実現し、圧縮機の第１のピストンと第
２のピストンおよびディスプレーサとバランスウェイト
の同一変位での出力電圧の差をなくし、その差によって
発生していた加振力を低減する。

【００３０】この発明に係わる冷凍機は、第１の変位セ
ンサの変位に対する出力電圧の特性を基準関数に補正す
る第１の特性補正回路、第２の変位センサの変位に対す
る出力電圧の特性を基準関数に補正する第２の特性補正
回路、第３の変位センサの変位に対する出力電圧の特性
を基準関数に補正する第３の特性補正回路、第４の変位
センサの変位に対する出力電圧の特性を基準関数に補正
する第４の特性補正回路を付加することにより、圧縮機
の第１のピストンと第２のピストンおよびディスプレー
サとバランスウェイトの同一変位での出力電圧の差をな
くし、その差によって発生していた加振力を低減する。

【００３１】この発明に係わる冷凍機は、第１の変位セ
ンサ出力特性を基準関数に補正する第１の特性補正回
路、第２の変位センサ出力特性を基準関数に補正する第
２の特性補正回路、第３の変位センサ出力特性を基準関
数に補正する第３の特性補正回路、第４の変位センサ出
力特性を基準関数に補正する第４の特性補正回路を構成
する要素として、変位センサの特性から入力された電圧
を変位に換算する関数演算回路と、基準関数でのその変
位に対する出力電圧値を出力する関数演算回路をもつこ
とで実現し、圧縮機の第１のピストンと第２のピストン
およびディスプレーサとバランスウェイトの同一変位で
の出力電圧の差をなくし、その差によって発生していた
加振力を低減する。

【００３２】この発明に係わる冷凍機は、第１の変位セ
ンサ出力特性を基準関数に補正する第１の特性補正回
路、第２の変位センサ出力特性を基準関数に補正する第
２の特性補正回路、第３の変位センサ出力特性を基準関
数に補正する第３の特性補正回路、第４の変位センサ出
力特性を基準関数に補正する第４の特性補正回路を構成
する要素として、アナログ−デジタル変換器と、変位セ
ンサの特性と基準関数での同一変位に対する出力電圧値
を対応させて記憶する記憶装置と、対応する電圧値を読
み出す制御回路と、デジタル−アナログ変換器をもつこ
とで実現し、圧縮機の第１のピストンと第２のピストン
およびディスプレーサとバランスウェイトの同一変位で
の出力電圧の差をなくし、その差によって発生していた
加振力を低減する。

【００３３】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１を示す図
であり、図において１〜９９は上記従来装置と同一のも
のであり、ここでは説明を省略する。１００は第１の変
位センサ１９の変位に対する出力電圧の特性を第２の変
位センサ３３の変位に対する出力電圧の特性に合わせる
ように、第１の変位センサ用アンプ８２からの出力電圧
を変換する第１の特性変換回路であり、１０１は第３の
変位センサ５９の変位に対する出力電圧の特性を第４の
変位センサ７４の変位に対する出力電圧の特性に合わせ
るように、第３の変位センサ用アンプ９３からの出力電
圧を変換する第２の特性変換回路である。

【００３４】この発明にかかる冷凍機は上記のように構
成され、以下のように動作する。冷凍機の動作原理は図
９の従来装置と全く同じであり、ここでは省略する。図
２に示すように第１の変位センサ１９と第２の変位セン
サ３３の変位に対する出力電圧の特性には個体差があ
る。第１の変位センサ用アンプ８２および第２の変位セ
ンサ用アンプからの出力が第１の位置指令信号発生装置
からの位置指令信号電圧値Ｖ２に合うよう制御されると
き、図２のような変位センサの特性がある場合、出力電
圧を合わせても実際の変位はＸ１，Ｘ２となり、変位に
差が生じて振動が発生することとなる。第１の特性変換
回路１００は第１の変位センサ用アンプ８２からＶ１と
いう電圧値が入力されるとＶ２に変換する。この変換に
より位置指令信号電圧Ｖ２で制御されたとき、第１のピ
ストンと第２のピストンの実際の変位がＸ２で一致し、
発生振動を低減することとなる。第１の特性変換回路１
００は第１の変位センサの特性を第２の変位センサの特
性に変換させる回路であることを示す。同様に第２の特
性変換回路１０１は第３の変位センサの特性を第４の変
位センサの特性に変換し、一致させることで発生加振力
を低減する。図１では第１の変位センサ１９の特性を第
２の変位センサ３３の特性に、第３の変位センサ５９の
特性を第４の変位センサ７４の特性に変換した例を示し
たが、逆に第２の変位センサ３３の特性を第１の変位セ
ンサ１９の特性に、第４の変位センサ７４の特性を第３
の変位センサ５９の特性に変換した場合も全く同様にこ
の発明を実施できる。

【００３５】実施の形態２．図３はこの発明の実施の形
態２を示す図であり、実施の形態１における第１の特性
変換回路１００の内部構成を示すものである。図におい
て１０２は図２の第１の変位センサ１９の変位に対する
出力電圧特性を多項式等で近似し、その逆関数により入
力された電圧Ｖ１を変位Ｘ２に換算する第１の関数演算
回路である。１０３は第２の変位センサ３３の変位に対
する出力電圧特性を多項式等で近似し、第１の関数演算
回路で換算された変位Ｘ２に対する出力電圧値Ｖ２を出
力する第２の関数演算回路である。

【００３６】この発明にかかる冷凍機は上記のように構
成され、実施の形態１と同様に動作し、発生振動を低減
することができる。

【００３７】図３においては第１の特性変換回路１００
についての記述であるが、第２の特性変換回路１０１に
ついても全く同様にこの発明を実施できる。

【００３８】実施の形態３．図４はこの発明の実施の形
態３を示す図であり、実施の形態１における第１の特性
変換回路１００の内部構成を示すものである。図におい
て１０４は図２の第１の変位センサ用アンプ８２からの
出力電圧Ｖ１をアナログからデジタルデータに変換する
アナログ−デジタル変換器、１０５は図２の第１の変位
センサ１９の変位に対する出力電圧特性と第２の変位セ
ンサ３３の変位に対する出力電圧特性から同じ変位Ｘ２
に対する両者の出力電圧値Ｖ１、Ｖ２を対応させて記憶
させることのできる記憶装置、１０６はアナログ−デジ
タル変換器１０４からの信号により対応する出力電圧値
を読み出す制御回路、１０７は制御回路１０６により読
み出されたデジタルデータをアナログ値に変換するデジ
タル−アナログ変換器である。

【００３９】この発明にかかる冷凍機は上記のように構
成され、図２のＶ１という電圧が入力されたとき、それ
に対応するＶ２という電圧を読み出し変換して、実施の
形態１と同様に発生加振力を低減することができる。

【００４０】図４においては第１の特性変換回路１００
についての記述であるが、第２の特性変換回路１０１に
ついても全く同様にこの発明を実施できる。

【００４１】実施の形態４．図５はこの発明の実施の形
態４を示す図であり、図において１〜９９は上記従来装
置と同一のものでありここでは説明を省略する。１０８
は第１の変位センサ１９の変位に対する出力電圧の特性
を一次関数等の基準関数に合わせるように第１の変位セ
ンサ用アンプ８２からの出力電圧を補正する第１の特性
補正回路であり、１０９は第２の変位センサ３３の変位
に対する出力電圧の特性を一次関数等の基準関数に合わ
せるように第２の変位センサ用アンプ８７からの出力電
圧を補正する第２の特性補正回路であり、１１０は第３
の変位センサ５９の変位に対する出力電圧の特性を一次
関数等の基準関数に合わせるように第３の変位センサ用
アンプ９３からの出力電圧を補正する第３の特性補正回
路であり、１１１は第４の変位センサ７４の変位に対す
る出力電圧の特性を一次関数等の基準関数に合わせるよ
うに第４の変位センサ用アンプ９８からの出力電圧を補
正する第４の特性補正回路である。

【００４２】この発明にかかる冷凍機は上記のように構
成され、以下のように動作する。冷凍機の動作原理は図
９の従来装置と全く同じであり、ここでは省略する。図
６に示すように第１の変位センサ１９と第２の変位セン
サ３３の変位に対する出力電圧の特性には個体差があ
る。第１の変位センサ用アンプ８２および第２の変位セ
ンサ用アンプからの出力が第１の位置指令信号発生装置
からの位置指令信号電圧値Ｖ０に合うよう制御されると
き、図２のような変位センサの特性がある場合、出力電
圧を合わせても実際の変位はＸ１，Ｘ２となり、変位に
差が生じて振動が発生することとなる。図６の第１の特
性補正回路１０８は第１の変位センサ用アンプ８１から
Ｖ１という電圧値が入力されると、第１の変位センサ１
９の変位に対する出力電圧の特性からＶ１に対する変位
量Ｘ０を求め、さらに基準関数における変位Ｘ０に対す
る出力電圧Ｖ０に補正する。第２の特性補正回路１０９
は第２の変位センサ用アンプ８７からＶ２という電圧値
が入力されると、第１の変位センサ１９の変位に対する
出力電圧の特性からＶ２に対する変位量Ｘ０を求め、さ
らに基準関数における変位Ｘ０に対する出力電圧Ｖ０に
補正する。第３の特性補正回路１１０、第４の特性補正
回路１１１についても第１の特性補正回路１０８、第２
の特性補正回路１０９と同様の基準関数におて電圧補正
される。各変位センサの変位Ｘ０に対する出力がＶ０に
一致することとなり、変位センサの個体差による変位差
が解消して発生加振力を低減することができる。

【００４３】実施の形態５．図７はこの発明の実施の形
態５を示す図であり、実施の形態４における第１の特性
補正回路１０８の内部構成を示すものである。図におい
て１１２は図６の第１の変位センサ１９の変位に対する
出力電圧特性を多項式等で近似し、その逆関数により入
力された電圧Ｖ１を変位Ｘ０に換算する第３の関数演算
回路であり、１１３は基準関数により第１の関数演算回
路で換算された変位Ｘ０に対する出力電圧値Ｖ０を出力
する第４の関数演算回路である。

【００４４】この発明にかかる冷凍機は上記のように構
成され、実施の形態４と同様に動作し、発生振動を低減
することができる。

【００４５】図７においては第１の特性補正回路１０８
についての記述であるが、第２の特性補正回路１０９、
第３の特性補正回路１１０、第４の特性補正回路１１１
についても全く同様にこの発明を実施できる。

【００４６】実施の形態６．図８はこの発明の実施の形
態６を示す図であり、実施の形態４における第１の特性
補正回路１０８の内部構成を示すものである。図におい
て１０４は第１の変位センサ用アンプ８２からの出力電
圧Ｖ１をアナログからデジタルデータに変換するアナロ
グ−デジタル変換器、１０５は第１の変位センサ１９の
変位に対する出力電圧特性と基準関数から同じ変位Ｘ０
に対する両者の出力電圧値を対応させて記憶させること
のできる記憶装置、１０６はアナログ−デジタル変換器
１０４からの信号により対応する出力電圧値を読み出す
制御回路、１０７は制御回路１０７により読み出された
デジタルデータをアナログ値に変換するデジタル−アナ
ログ変換器である。

【００４７】この発明にかかる冷凍機は上記のように構
成され、図６のＶ１という電圧が入力されたとき、それ
に対応するＶ０という電圧を読み出し変換して、実施の
形態４と同様に発生加振力を低減することができる。

【００４８】図８においては第１の特性補正回路１０８
についての記述であるが、第２の特性補正回路１０９、
第３の特性補正回路１１０、第４の特性補正回路１１１
についても全く同様にこの発明を実施できる。

【００４９】

【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に記載されるような効果がある。

【００５０】この発明によれば、第１の変位センサと第
２の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を一致さ
せる第１の特性変換回路および第３の変位センサと第４
の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を一致させ
る第２の特性変換回路を付加することにより圧縮機の第
１のピストンと第２のピストンおよびディスプレーサと
バランスウェイトの同一変位での出力電圧の差がなくな
るため、その差によって発生する加振力を低減する効果
がある。

【００５１】この発明によれば、第１の変位センサと第
２の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を一致さ
せる第１の特性変換回路および第３の変位センサと第４
の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を一致させ
る第１の特性変換回路を構成する要素として２つの関数
演算回路をもつことで実現し、圧縮機の第１のピストン
と第２のピストンおよびディスプレーサとバランスウェ
イトの同一変位での出力電圧の差がなくなるため、その
差によって発生する加振力を低減する効果がある。

【００５２】この発明によれば、第１の変位センサと第
２の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を一致さ
せる第１の特性変換回路および第３の変位センサと第４
の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を一致させ
る第２の特性変換回路を構成する要素としてアナログ−
デジタル変換器、記憶装置、制御回路、デジタル−アナ
ログ変換器をもつことで実現し、圧縮機の第１のピスト
ンと第２のピストンおよびディスプレーサとバランスウ
ェイトの同一変位での出力電圧の差がなくなるため、そ
の差によって発生する加振力を低減する効果がある。

【００５３】この発明によれば、第１の変位センサの変
位に対する出力電圧の特性を基準関数に補正する第１の
特性補正回路、第２の変位センサの変位に対する出力電
圧の特性を基準関数に補正する第２の特性補正回路、第
３の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を基準関
数に補正する第３の特性補正回路、第４の変位センサの
変位に対する出力電圧の特性を基準関数に補正する第４
の特性補正回路を付加することにより、圧縮機の第１の
ピストンと第２のピストンおよびディスプレーサとバラ
ンスウェイトの同一変位での出力電圧の差がなくなるた
め、その差によって発生する加振力を低減する効果があ
る。

【００５４】この発明によれば、第１の変位センサ特性
を基準関数に補正する第１の特性変換回路と、第２の変
位センサ特性を基準関数に補正する第２の特性変換回路
と、第３の変位センサ特性を基準関数に補正する第３の
特性変換回路と、第４の変位センサ特性を基準関数に補
正する第４の特性変換回路を構成する要素として、２つ
の関数演算回路をもつことで実現し、圧縮機の第１のピ
ストンと第２のピストンおよびディスプレーサとバラン
スウェイトの同一変位での出力電圧の差がなくなるた
め、その差によって発生する加振力を低減する効果があ
る。

【００５５】この発明によれば、第１の変位センサ特性
を基準関数に補正する第１の特性補正回路と、第２の変
位センサ特性を基準関数に補正する第２の特性変換回路
と、第３の変位センサ特性を基準関数に補正する第３の
特性変換回路と、第４の変位センサ特性を基準関数に補
正する第４の特性変換回路を構成する要素として、アナ
ログ−デジタル変換器、記憶装置、制御回路、デジタル
−アナログ変換器をもつことで実現し、圧縮機の第１の
ピストンと第２のピストンおよびディスプレーサとバラ
ンスウェイトの同一変位での出力電圧の差がなくなるた
め、その差によって発生する加振力を低減する効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明による冷凍機の実施の形態１を示す
図である。

【図２】 ２つの変位センサの変位に対する出力電圧特
性を表す図である。

【図３】 この発明による冷凍機の実施の形態２を示す
図である。

【図４】 この発明による冷凍機の実施の形態３を示す
図である。

【図５】 この発明による冷凍機の実施の形態４を示す
図である。

【図６】 ２つの変位センサの変位に対する出力電圧特
性と基準関数を表す図である。

【図７】 この発明による冷凍機の実施の形態５を示す
図である。

【図８】 この発明による冷凍機の実施の形態６を示す
図である。

【図９】 従来の冷凍機を示す図である。

【符号の説明】

１ 圧縮機、２ コールドフィンガ、３ 連結管、４
アクティブバランサ、５ 第１のシリンダ、６ 第１の
ピストン、７ 第１のリニアモータ、８ 第１の支持バ
ネ、９ 第１のスリーブ、１０ 第１の可動コイル、１
１ 導電体、１２ 第１の永久磁石、１３ 第１のヨー
ク、１４ 第１の間隙、１５ 第１の電気接点、１６
第２の電気接点、１７ 第１のリード線、１８ 第２の
リード線、１９ 第１の変位センサ、２０ 第２のピス
トン、２１ 第２のリニアモータ、２２ 第２の支持バ
ネ、２３ 第２のスリーブ、２４ 第２の可動コイル、
２５ 導電体、２６ 第２の永久磁石、２７ 第２のヨ
ーク、２８ 第２の間隙、２９ 第３の電気接点、３０
第４の電気接点、３１ 第３のリード線、３２第４の
リード線、３３ 第２の変位センサ、３４ 圧縮空間、
３５ 第１のハウジング、３６ 第２のシリンダ、３７
ディスプレーサ、３８ 第３のシリンダ、３９ 低温
シリンダ、４０ 蓄冷材、４１ 再生器、４２ 第１の
通気孔、４３ 第２の通気孔、４４ 低温室、４５ 高
温室、４６ 第３のリニアモータ、４７ 第３の支持バ
ネ、４８ 第３のスリーブ、４９ 第３の可動コイル、
５０導電体、５１ 第３の永久磁石、５２ 第３のヨー
ク、５３ 第３の間隙、５４ 第５の電気接点、５５
第６の電気接点、５６ 第５のリード線、５７ 第６の
リード線、５８ モータ室、５９ 第３の変位センサ、
６０ 第２のハウジング、６１ バランスウェイト、６
２ 第４のリニアモータ、６３ 第４の支持バネ、６４
第４のスリーブ、６５ 第４の可動コイル、６６ 導
電体、６７第４の永久磁石、６８ 第４のヨーク、６９
第４の間隙、７０ 第７の電気接点、７１ 第８の電
気接点、７２ 第７のリード線、７３ 第８のリード
線、７４ 第４の変位センサ、７５ 第３のハウジン
グ、７６ 駆動制御回路、７７第１の位置指令信号発生
回路、７８ 第１の位置信号比較回路、７９ 第１の電
力信号発生回路、８０ 第１の電力比較回路、８１ 第
１の電力供給回路、８２第１の変位センサ用アンプ、８
３ 第２の位置信号比較回路、８４ 第２の電力信号発
生回路、８５ 第２の電力比較回路、８６ 第２の電力
供給回路、８７第２の変位センサ用アンプ、８８ 第２
の位置指令信号発生回路、８９ 第３の位置信号比較回
路、９０ 第３の電力信号発生回路、９１ 第３の電力
比較回路、９２ 第３の電力供給回路、９３ 第３の変
位センサ用アンプ、９４ 第４の位置信号比較回路、９
５ 第４の電力信号発生回路、９６ 第４の電力比較回
路、９７ 第４の電力供給回路、９８ 第４の変位セン
サ用アンプ、９９ 作動室、１００ 第１の特性変換回
路、１０１ 第２の特性変換回路、１０２ 第１の関数
演算回路、１０３ 第２の関数演算回路、１０４ アナ
ログデジタル変換器、１０５ 記憶装置、１０６ 制御
回路、１０７ デジタル−アナログ変換器、１０８ 第
１の特性補正回路、１０９ 第２の特性補正回路、１１
０ 第３の特性補正回路、１１１ 第４の特性補正回
路、１１２ 第３の関数演算回路、１１３ 第４の関数
演算回路。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１のシリンダ、前記第１のシリンダ内
   を往復する第１のピストン、前記第１のピストンを往復
   運動させる第１の駆動手段、前記第１のピストンの位置
   を検出する第１の変位センサ、前記第１のピストンに対
   向して前記第１のシリンダ内を往復運動する第２のピス
   トン、前記第２のピストンを往復運動させる第２の駆動
   手段、前記第２のピストンの位置を検出する第２の変位
   センサとを備えた圧縮機と、低温シリンダ、前記低温シ
   リンダ内を往復運動するディスプレーサ、前記ディスプ
   レーサを往復運動させる第３の駆動手段、前記第３のピ
   ストンの位置を検出する第３の変位センサとを備えたコ
   ールドフィンガと、前記ディスプレーサと対向して往復
   運動するバランスウェイト、前記バランスウェイトを往
   復運動させる第４の駆動手段、前記バランスウェイトの
   位置を検出する第４の変位センサとを備えたアクティブ
   バランサと、前記圧縮機と前記コールドフィンガをつな
   ぐ連結管と、上記第１、第２、第３および第４の変位セ
   ンサからの信号を変位に対応した電気量としてそれぞれ
   出力する第１、第２、第３および第４の変位センサ用ア
   ンプ、前記第１および第２のピストンへの位置指令信号
   を発生する第１の位置指令信号発生回路、前記ディスプ
   レーサおよびバランスウェイトへの位置指令信号を発生
   する第２の位置指令信号発生回路、前記第１の位置指令
   信号発生回路からの信号と前記第１の変位センサ用アン
   プからの位置信号を比較する第１の位置信号比較回路、
   前記第１の位置指令信号発生回路からの信号と第２の変
   位センサ用アンプからの位置信号を比較する第２の位置
   信号比較回路、前記第２の位置指令信号発生回路からの
   信号と第３の変位センサ用アンプからの位置信号を比較
   する第３の位置信号比較回路、前記第２の位置指令信号
   発生回路からの信号と前記第４の変位センサ用アンプか
   らの位置信号を比較する第４の位置信号比較回路、前記
   第１、第２、第３および第４の位置信号比較回路からの
   信号を受けて電力信号に換算する第１、第２、第３およ
   び第４の電力指令信号発生回路、前記第１、第２、第３
   および第４の電力指令信号発生回路からの信号と第１、
   第２、第３および第４の駆動手段からの帰還信号を比較
   する第１、第２、第３および第４の電力信号比較回路、
   前記第１、第２、第３および第４の電力信号比較回路か
   らの信号を受けて前記第１、第２、第３および第４の駆
   動手段に電力を供給する第１、第２、第３および第４の
   電力供給回路により構成された駆動制御回路とを備えた
   冷凍機において、 前記第１の変位センサの変位に対する出力電圧の特性と
   前記第２の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を
   合わせるために前記第１の変位センサ用アンプまたは前
   記第２の変位センサ用アンプからの出力電圧をどちらか
   一方の特性に合わせる第１の特性変換回路と、前記第３
   の変位センサの変位に対する出力電圧の特性と前記第４
   の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を合わせる
   ために前記第３の変位センサ用アンプまたは前記第４の
   変位センサ用アンプからの出力電圧をどちらか一方の特
   性に合わせる第２の特性変換回路を備えることを特徴と
   する冷凍機。
2. 【請求項２】 前記第１の変位センサの特性関数から出
   力電圧を変位に換算し、さらに第２の変位センサ特性関
   数からその変位に対応する出力電圧を発生させる第１の
   アナログ演算回路により前記第１の変換回路を構成し、
   前記第３の変位センサの特性関数から出力電圧を変位に
   換算しさらに第４の変位センサ特性関数からその変位に
   対応する出力電圧を発生させる第２のアナログ演算回路
   により前記第２の変換回路を構成する請求項１記載の冷
   凍機。
3. 【請求項３】 変位センサ用アンプからの電圧信号をア
   ナログ−デジタル変換するアナログ−デジタル変換器
   と、２つの変位センサの同じ変位に対する出力電圧値を
   記憶した記憶装置と、前記アナログ−デジタル変換入力
   された信号に対応する変換値を前記記憶装置より読み出
   すデジタル演算回路と、前記デジタル演算回路からの信
   号をデジタル−アナログ変換するデジタル−アナログ変
   換器とにより前記第１の特性変換回路および第２の特性
   変換回路を構成する請求項１記載の冷凍機。
4. 【請求項４】 第１のシリンダ、前記第１のシリンダ内
   を往復する第１のピストン、前記第１のピストンを往復
   運動させる第１の駆動手段、前記第１のピストンの位置
   を検出する第１の変位センサ、前記第１のピストンに対
   向して前記第１のシリンダ内を往復運動する第２のピス
   トン、前記第２のピストンを往復運動させる第２の駆動
   手段、前記第２のピストンの位置を検出する第２の変位
   センサとを備えた圧縮機と、低温シリンダ、前記低温シ
   リンダ内を往復運動するディスプレーサ、前記ディスプ
   レーサを往復運動させる第３の駆動手段、前記第３のピ
   ストンの位置を検出する第３の変位センサとを備えたコ
   ールドフィンガと、前記ディスプレーサと対向して往復
   運動するバランスウェイト、前記バランスウェイトを往
   復運動させる第４の駆動手段、前記バランスウェイトの
   位置を検出する第４の変位センサとを備えたアクティブ
   バランサと、前記圧縮機と前記コールドフィンガをつな
   ぐ連結管と、前記第１、第２、第３および第４の変位セ
   ンサからの信号を変位に対応した電気量としてそれぞれ
   出力する第１、第２、第３および第４の変位センサ用ア
   ンプ、前記第１および第２のピストンへの位置指令信号
   を発生する第１の位置指令信号発生回路、ディスプレー
   サおよびバランスウェイトへの位置指令信号を発生する
   第２の位置指令信号発生回路、前記第１の位置指令信号
   発生回路からの信号と第１の変位センサ用アンプからの
   位置信号を比較する第１の位置信号比較回路、前記第１
   の位置指令信号発生回路からの信号と第２の変位センサ
   用アンプからの位置信号を比較する第２の位置信号比較
   回路、前記第２の位置指令信号発生回路からの信号と第
   ３の変位センサ用アンプからの位置信号を比較する第３
   の位置信号比較回路、前記第２の位置指令信号発生回路
   からの信号と第４の変位センサ用アンプからの位置信号
   を比較する第４の位置信号比較回路、前記第１、第２、
   第３および第４の位置信号比較回路からの信号を受けて
   電力信号に換算する第１、第２、第３および第４の電力
   指令信号発生回路、前記第１、第２、第３および第４の
   電力指令信号発生回路からの信号と前記第１、第２、第
   ３および第４の駆動手段からの帰還信号を比較する第
   １、第２、第３および第４の電力信号比較回路、前記第
   １、第２、第３および第４の電力信号比較回路からの信
   号を受けて前記第１、第２、第３および第４の駆動手段
   に電力を供給する第１、第２、第３および第４の電力供
   給回路により構成された駆動制御回路とを備えた冷凍機
   において、 前記第１の変位センサの変位に対する出力電圧の特性と
   前記第２の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を
   合わせるために前記第１の変位センサ用アンプの出力電
   圧を基準となる特性に合わせる第１の特性補正回路と、
   前記第２の変位センサ用アンプの出力電力を基準となる
   特性に合わせる第２の特性補正回路と、前記第３の変位
   センサの変位に対する出力電圧の特性と前記第４の変位
   センサの変位に対する出力電圧の特性を合わせるために
   前記第３の変位センサ用アンプの出力電圧を基準となる
   特性に合わせる第３の特性補正回路と、前記第４の変位
   センサ用アンプの出力電圧を基準となる特性に合わせる
   第４の特性補正回路とを備えることを特徴とする冷凍
   機。
5. 【請求項５】 変位センサの特性関数から出力電圧を変
   位に換算し、その変位を基準関数により補正出力電圧値
   として発生させるアナログ演算回路により第１の特性補
   正回路、第２の特性補正回路、第３の特性補正回路およ
   び第４の特性補正回路を構成する請求項４記載の冷凍
   機。
6. 【請求項６】 変位センサ用アンプからの電圧信号をア
   ナログ−デジタル変換するアナログ−デジタル変換器
   と、変位に対する出力電圧特性とそれに対応する補正値
   を記憶した記憶装置と、前記アナログ−デジタル変換入
   力された電圧信号に対応する補正値を前記記憶装置より
   読み出すデジタル演算回路と、前記デジタル演算回路か
   ら読み出された信号をデジタル−アナログ変換するデジ
   タル−アナログ変換器とにより前記第１の特性補正回
   路、第２の特性補正回路、第３の特性補正回路および第
   ４の特性補正回路とを構成する請求項４記載の冷凍機。