JPH1096563A - 冷凍機 - Google Patents

冷凍機

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Publication number
JPH1096563A
JPH1096563A JP25050196A JP25050196A JPH1096563A JP H1096563 A JPH1096563 A JP H1096563A JP 25050196 A JP25050196 A JP 25050196A JP 25050196 A JP25050196 A JP 25050196A JP H1096563 A JPH1096563 A JP H1096563A
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JP
Japan
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displacement sensor
circuit
displacement
signal
characteristic
Prior art date
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Application number
JP25050196A
Other languages
English (en)
Inventor
Minoru Kobayashi
小林  実
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Publication of JPH1096563A publication Critical patent/JPH1096563A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2309/00Gas cycle refrigeration machines
    • F25B2309/001Gas cycle refrigeration machines with a linear configuration or a linear motor

Landscapes

  • Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧縮機の2つのピストンおよびディスプレー
サとバランスウェイトを対向して動作させる際に、相対
する変位センサの変位に対する出力電圧特性に個体差が
あるため、その違いにより同一電圧で制御されているに
もかかわらず異なった変位となってしまい、その差によ
る加振力が発生することとなる。その結果、赤外線検出
器、光学機器等が振動して画像ぶれが生じるという問題
があった。 【解決手段】 一方の変位センサの出力電圧を他方の変
位センサの出力電圧特性に変換する特性変換回路を備え
たものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば赤外線検
出器を80K程度の低温に冷却する冷凍機に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】図9に従来の冷凍機の構成例を示す。冷
凍機は大きく分けて圧縮機1と、コールドフィンガ2
と、これらを連結する連結管3と、アクティブバランサ
4と、駆動制御回路76から構成される。
【0003】前記圧縮機1は第1の支持ばね8により位
置決めされたピストン6と第2の支持ばね22により位
置決めされたピストン20が対向して第1のシリンダ5
内部に往復運動する構造となっている。前記ピストン6
には非磁性材料からなるスリーブ9が連結され、前記第
1のスリーブ9には導電体11を巻き付けて第1の可動
コイル10を形成する。前記第1の可動コイル10には
第1のリード線17および第2のリード線18が接続さ
れ、これらのリード線17、18は第1のハウジング3
5の壁を通して外部に伸びる第1の電気接点15および
第2の電気接点16に接続され、前記駆動制御回路76
内の第1の電力供給回路81と接続している。
【0004】前記第1のハウジング35内には第1の環
状永久磁石12および第1のヨーク13が設けられてお
り、これらは、閉磁気回路を構成している。前記第1の
可動コイル10は前記第1の環状永久磁石12および第
1のヨーク13からなる閉磁気回路に設けられた間隙1
4内で前記ピストン6の軸方向に往復運動できる構造に
なっている。前記間隙14内には前記第1の可動コイル
10の運動方向を横切る半径方向に永久磁界が存在す
る。以上の前記第1の可動コイル10、前記リード線1
7、18、前記第1の環状永久磁石12、前記第1のヨ
ーク13は全体として第1のリニアモータ7を構成して
いる。
【0005】前記第1のハウジング35には前記ピスト
ン6の位置を検出するための第1の変位センサ19が取
付けられており、前記駆動制御回路76内の第1の変位
センサ用アンプ82と接続されている。
【0006】前記ピストン20についても前記ピストン
6と同様に非磁性材料からなるスリーブ23が連結さ
れ、前記第2のスリーブ23には導電体25を巻き付け
て第2の可動コイル24を形成する。前記第2の可動コ
イル24には第3のリード線31および第4のリード線
32が接続され、これらのリード線31、32は第1の
ハウジング35の壁を通して外部に伸びる第3の電気接
点29および第4の電気接点30に接続され、前記駆動
制御回路76内の第2の電力供給回路86と接続してい
る。
【0007】前記第1のハウジング35内には第2の環
状永久磁石26および第2のヨーク27が設けられてお
り、これらは、閉磁気回路を構成している。前記第2の
可動コイル24は前記第2の環状永久磁石26および第
2のヨーク27からなる閉磁気回路に設けられた間隙2
8内で前記ピストン6の軸方向に往復運動できる構造に
なっている。前記間隙28内には前記第2の可動コイル
24の運動方向を横切る半径方向に永久磁界が存在す
る。以上の前記第2の可動コイル24、前記リード線3
1、32、前記第2の環状永久磁石26、前記第2のヨ
ーク27は全体として第2のリニアモータ21を構成し
ている。
【0008】前記第1のハウジング35には前記ピスト
ン20の位置を検出するための第2の変位センサ33が
取付けられており、前記駆動制御回路76内の第2の変
位センサ用アンプ87と接続されている。
【0009】前記第1のシリンダ5内部の前記ピストン
6と前記ピストン20の間の空間を圧縮室34と呼ぶ。
前記圧縮室34には例えばヘリウムなどの高圧の作動ガ
スが封入されている。前記圧縮室34内の作動ガスが前
記第1のシリンダ5と前記ピストン6または前記第1の
シリンダ5と前記ピストン20の隙間を通過しにくくす
るために、前記第1のシリンダ5と前記ピストン6およ
び前記第1のシリンダ5と前記ピストン20との隙間は
できるだけ狭く作られている。以上が圧縮機1の構成で
ある。
【0010】一方、前記コールドフィンガ2は第3の支
持バネ47により位置決めされたディスプレーサ37が
細長い円筒状の低温シリンダ39内部を往復運動する構
造になっている。前記ディスプレーサ37には非磁性材
料からなる第3のスリーブ48が連結され、前記第3の
スリーブ48には導電体50を巻き付けて第3の可動コ
イル49を形成する。前記第3の可動コイル49には第
5のリード線56および第6のリード線57が接続さ
れ、これらのリード線56、57は第2のハウジング6
0の壁を通して外部に伸びる第5の電気接点54および
第6の電気接点55に接続され、前記駆動制御回路内の
第3の電力供給回路92と接続している。
【0011】前記第2のハウジング60内には第3の環
状永久磁石51および第3のヨーク52が設けられてお
り、これらは、閉磁気回路を構成している。前記第3の
可動コイル49は前記第3の環状永久磁石51および第
3のヨーク52からなる閉磁気回路に設けられた間隙5
3内で前記ディスプレーサ37の軸方向に往復運動でき
る構造になっている。前記間隙53内には前記第3の可
動コイル49の運動方向を横切る半径方向に永久磁界が
存在する。以上の前記第3の可動コイル49、前記リー
ド線56、57、前記第3の環状永久磁石51、前記第
3のヨーク52は全体として第3のリニアモータ46を
構成している。
【0012】前記第2のハウジング60には前記ディス
プレーサ37の位置を検出するための第3の変位センサ
59が取付けられており、前記駆動制御回路76内の第
3の変位センサ用アンプ93と接続されている。
【0013】前記コールドフィンガ2内部の空間は前記
ディスプレーサ37によって3分割されており、前記デ
ィスプレーサ37上方の空間を低温室44、前記ディス
プレーサ37中央周囲に設けられた空間を高温室45、
前記ディスプレーサ37下方を覆う空間をモータ室58
と呼ぶ。前記ディスプレーサ37内部には再生器40、
ガス通過孔42、43が設けられ、前記低温室44と前
記高温室45は前記再生器40と前記ガス通過孔42、
43を介して連通しており、前記再生器40には例えば
銅の金網などの蓄冷材41が充填されている。前記低温
室44と前記高温室45の間の前記ディスプレーサ37
周囲には第2のシリンダ38が設けられ、前記第3のシ
リンダ38と前記ディスプレーサ37の隙間を作動ガス
が通過しにくくするために前記第2のシリンダ38と前
記ディスプレーサ37の隙間はできるだけ狭く作られて
いる。同様に前記高温室45と前記モータ室58の間の
前記ディスプレーサ37周囲には第3のシリンダ36が
設けられ、前記第3のシリンダ36と前記ディスプレー
サ37の隙間を作動ガスが通過しにくくするために前記
第3のシリンダ36と前記ディスプレーサ37の隙間は
できるだけ狭く作られている。コールドフィンガ2の各
室には前記圧縮機1と同様に例えばヘリウムなどの高圧
ガスが封入されている。以上がコールドフィンガ2の構
成である。
【0014】前記アクティブバランサ4は、第4の支持
バネ63により位置決めされたバランスウェイト61が
第3のハウジング75内部を往復運動する構造になって
いる。前記バランスウェイト61には非磁性材料からな
る第4のスリーブ64が連結され、前記第4のスリーブ
64には導電体66を巻き付けて第4の可動コイル65
を形成する。前記第4の可動コイル65には第7のリー
ド線72および第8のリード線73が接続され、これら
のリード線72、73は第3のハウジング75の壁を通
して外部に伸びる第7の電気接点70および第8の電気
接点71に接続され、前記駆動制御回路76内の第4の
電力供給回路97と接続している。
【0015】前記第3のハウジング75内には第4の環
状永久磁石67および第4のヨーク68が設けられてお
り、これらは、閉磁気回路を構成している。前記第4の
可動コイル65は前記第4の環状永久磁石67および第
4のヨーク68からなる閉磁気回路に設けられた間隙6
9内で前記バランスウェイト61の軸方向に往復運動で
きる構造になっている。前記間隙69内には前記第4の
可動コイル65の運動方向を横切る半径方向に永久磁界
が存在する。以上の前記第4の可動コイル65、前記リ
ード線72、73、前記第4の環状永久磁石67、前記
第4のヨーク68は全体として第4のリニアモータ62
を構成している。
【0016】前記第3のハウジング75には前記バラン
スウェイト61の位置を検出するための第4の変位セン
サ74が取付けられており、前記駆動制御回路76内の
第4の変位センサ用アンプ98と接続されている。以上
がアクティブバランサ4の構成である。
【0017】前記圧縮機1の前記圧縮室34と前記コー
ルドフィンガ2の前記高温室45は前記連結管3を介し
て連通している。また、前記圧縮室34、前記連結管3
の内部空間、前記高温室45、前記再生器40、前記低
温室44、前記ガス通過孔42、43は互いに連通して
おり、これらの室全体を作動室99と呼ぶ。
【0018】また、前記駆動制御回路76は、以下の回
路から構成されている。前記圧縮機1の第1のピストン
6および第2のピストン20の位置指令信号を発生する
第1の位置指令信号発生回路77と、前記第1の変位セ
ンサ19へ電力を供給し、前記第1の変位センサ19か
ら発生する信号を変位に対応した電圧値として出力する
第1の変位センサ用アンプ82と、前記第1の位置指令
信号発生回路77と前記第1の変位センサ用アンプ82
からの位置信号を比較する第1の位置信号比較回路78
と、前記第1の位置信号比較回路78からの信号を前記
第1のリニアモータ7に入力する電力信号に変換する第
1の電力信号発生回路79と、前記第1の電力信号発生
回路79からの電力信号と前記第1のリニアモータ7か
らの電力帰還信号を比較する第1の電力比較回路80
と、前記第1の電力比較回路80からの信号を前記第1
のリニアモータ7に加えるべき電力として供給する第1
の電力供給回路81と、前記第2の変位センサ33へ電
力を供給し、前記第2の変位センサ33から発生する信
号を変位に対応した電圧値として出力する第2の変位セ
ンサ用アンプ86と、前記第1の位置指令信号発生回路
77と前記第2の変位センサ用アンプ86からの位置信
号を比較する第2の位置信号比較回路83と、前記第2
の位置信号比較回路83からの信号を前記第2のリニア
モータ21に入力する電力信号に変換する第2の電力信
号発生回路84と、前記第2の電力信号発生回路84か
らの電力信号と前記第2のリニアモータ21からの電力
帰還信号を比較する第2の電力比較回路85と、前記第
2の電力比較回路85からの信号を前記第2のリニアモ
ータ21に加えるべき電力として供給する第2の電力供
給回路86と、前記コールドフィンガ2のディスプレー
サ37およびアクティブバランサ4のバランスウェイト
61の位置指令信号を発生する第2の位置指令信号発生
回路88と、前記第3の変位センサ59へ電力を供給
し、前記第3の変位センサ59から発生する信号を変位
に対応した電圧値として出力する第3の変位センサ用ア
ンプ93と、前記第2の位置指令信号発生回路88と前
記第3の変位センサ用アンプ93からの位置信号を比較
する第3の位置信号比較回路89と、前記第3の位置信
号比較回路89からの信号を前記第3のリニアモータ4
6に入力する電力信号に変換する第3の電力信号発生回
路90と、前記第3の電力信号発生回路90からの電力
信号と前記第3のリニアモータ46からの電力帰還信号
を比較する第3の電力比較回路91と、前記第3の電力
比較回路91からの信号を前記第3のリニアモータ46
に加えるべき電力として供給する第3の電力供給回路9
2と、前記第4の変位センサ74へ電力を供給し、前記
第4の変位センサ74から発生する信号を変位に対応し
た電圧値として出力する第4の変位センサ用アンプ98
と、前記第2の位置指令信号発生回路88と前記第4の
変位センサ用アンプ98からの位置信号を比較する第4
の位置信号比較回路94と、前記第4の位置信号比較回
路94からの信号を前記第4のリニアモータ62に入力
する電力信号に変換する第4の電力信号発生回路95
と、前記第4の電力信号発生回路95からの電力信号と
前記第4のリニアモータ23からの電力帰還信号を比較
する第4の電力比較回路96と、前記第4の電力比較回
路96からの信号を前記第4のリニアモータ62に加え
るべき電力として供給する第4の電力供給回路97であ
る。以上が前記駆動制御回路76の構成である。
【0019】上記のように構成された従来の冷凍機の動
作について説明する。圧縮機1においては第1の電力供
給回路81より電気接点15、16およびリード線1
7、18を介して第1の可動コイル10の導電体11に
電流を供給すると、導電体11には間隙14中の永久磁
界との相互作用により軸方向にローレンツ力が働く。そ
の結果第1の可動コイル10が取付けられたピストン6
は軸方向に移動する。今、正弦波電流を第1の可動コイ
ル10の導電体11に供給すると、ピストン6は第1の
シリンダ5の内部を往復運動する。同様に第2の電力供
給回路86より電気接点29、30およびリード線3
1、32を介して第2の可動コイル24の導電体25に
電流を供給すると、導電体25には間隙28中の永久磁
界との相互作用により軸方向にローレンツ力が働く。そ
の結果第2の可動コイル24が取付けられたピストン2
0は軸方向に移動する。
【0020】今、第1の可動コイル10の導電体11に
供給するのと同じ周波数、同じ位相の正弦波電流を第2
の可動コイル24の導電体25に供給すると、ピストン
20は第1のシリンダ5の内部をピストン6と対向する
方向に往復運動する。これらの対向するピストン6とピ
ストン20の往復運動により、その間の圧縮室34から
低温室44にいたる作動室99のガス圧力に正弦波状の
波動を与える。また、ピストン6とピストン20は対向
して往復運動しているため、その運動による発生加振力
は質量、振幅の調整によりある程度相殺されることとな
る。
【0021】一方、コールドフィンガ2の第3のシリン
ダ36とディスプレーサ37の隙間は上記のピストン6
およびピストン20によって作られる圧力波動のような
短周期の圧力変化に対しては十分な密封性を有するが、
長時間的に見れば密封は不完全であるので、モータ室5
8内の圧力は、ピストン6およびピストン20によって
作られる圧力波動のおよそ平均圧力付近に保たれる。ピ
ストン6およびピストン20によって作られる圧力波動
が低温室44に伝わると、ディスプレーサ37には低温
室44とモータ室58の圧力差にディスプレーサ37の
断面積を乗じた荷重がディスプレーサ37の軸方向に作
用する。この力をガス圧駆動力とし、ガス圧駆動力と第
3の支持バネ47の相互作用によりディスプレーサ37
は軸方向に共振し、ピストン6およびピストン20と同
じ周波数かつおよそ90゜進んだ位相でコールドフィン
ガ2内を軸方向に往復する。また、コールドフィンガ2
には第3の電力供給回路92より電気接点54、55お
よびリード線56、57を介して第3の可動コイル48
の導電体50に電流を供給すると、導電体50には間隙
51中の永久磁界との相互作用により軸方向にローレン
ツ力が働く。その結果第3の可動コイル48が取付けら
れたディスプレーサ37は軸方向に移動する。
【0022】今、正弦波電流を第3の可動コイル48の
導電体50に供給すると、ディスプレーサ37はコール
ドフィンガ2内部を軸方向に往復運動する。この力をモ
ータ駆動力とする。通常はガス圧駆動力だけでもディス
プレーサ37は必要な振幅を越えて往復運動しようとす
るため、モータ駆動力をガス圧駆動力と逆の位相になる
ようにディスプレーサ37に与えて必要十分な振幅にな
るよう調整している。このようにモータ駆動力はディス
プレーサ37に制動を加える方向に作用している。ま
た、同様に第4の電力供給回路97より電気接点70、
71およびリード線72、73を介して第4の可動コイ
ル64の導電体66に電流を供給すると、導電体66に
は間隙69中の永久磁界との相互作用により軸方向にロ
ーレンツ力が働く。その結果第4の可動コイル64が取
付けられたバランスウェイト61は軸方向に移動する。
今、ディスプレーサ37の往復運動と同じ周波数、同じ
位相の正弦波電流を第4の可動コイル64の導電体66
に供給すると、バランスウェイト61はディスプレーサ
37と対向する方向に往復運動し、ディスプレーサ37
とバランスウェイト61の往復運動による発生加振力は
質量、振幅の調整によりある程度相殺されることとな
る。以上のようにピストン6、ピストン20、ディスプ
レーサ37が運動するとき下記のような原理で冷凍を発
生することができる。
【0023】まず、ディスプレーサ37がコールドフィ
ンガ2内の上部に位置しているときに、ピストン6とピ
ストン20が互いに近づく方向に移動して作動室99内
の作動ガスを圧縮する。圧縮室34内の作動ガスは連接
管3を経て、高温室45に流れ込み、この間発生する圧
縮熱は第1のハウジング35、連接管3等を介して周囲
空気に放熱される。それとともに高温室45の作動ガス
は再生器40とガス通過孔42、43を通って低温室4
4へ移動する。この時再生器40内の蓄冷材41は半サ
イクル前に蓄えた冷熱で作動ガスを予冷する。
【0024】次にピストン6とピストン20が互いに離
れる方向に移動することで作動室99内の作動ガス全体
を膨張させる。低温室44内においても作動ガスは膨張
し、この膨張によって低温室44内で低温生成が行われ
る。次にディスプレーサ37が上方に移動し、それとと
もに低温室44の低温の作動ガスは再生器40とガス通
過孔43、42を通って、高温室45に移動する。この
時再生器40内の蓄冷材41は低温の作動ガスによって
予冷される。その後再度ピストン6とピストン20が互
いに近づく方向に移動して作動ガスの圧縮が始まり、同
様のサイクルが繰り返される。ここでの作動ガスの圧縮
と膨張はそれぞれピストン6およびピストン20から仕
事を受け取ったりピストン6とピストン20へ仕事を与
えたりしながら行われているので、作動ガスは圧縮時に
は発熱し、膨張時には外部から熱を吸収する。前述のよ
うにディスプレーサ37がコールドフィンガ2内の上部
に位置しているとき、すなわち低温室44の容積が小さ
くなっているときに作動ガスの圧縮がおこり、逆にディ
スプレーサ37がコールドフィンガ2内の下部に位置し
ているとき、すなわち低温室44の容積が大きくなって
いるときに作動ガスの膨張がおこるので、低温室44は
1サイクル全体でみると膨張が主体であり、コールドフ
ィンガ2の先端外部から熱を奪い、被冷却体を冷却す
る。
【0025】
【発明が解決しようとする課題】上記のような冷凍機に
は下記に述べるような課題があった。圧縮機の2つのピ
ストンおよびディスプレーサとバランスウェイトを対向
して動作させ、両者の質量、振幅を調整することにより
ある程度の発生加振力を低減することができるが、変位
センサの変位に対する出力電圧の特性が完全な線形特性
等になることはない。そのため、相対する変位センサの
わずかな特性の違いから、同一変位であるにもかかわら
ず異なった電気信号値(電圧)を発生してしまう。その
信号と位置指令の信号が比較されてリニアモータに電流
が加えられるため、その差で加振力が発生することとな
る。その結果、赤外線検出器、光学機器等が振動して画
像ぶれが生じるという問題があった。
【0026】この発明はかかる問題点を解決するために
なされたものであり、低振動の冷凍機を実現することを
目的としている。
【0027】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる冷凍機
は、第1の変位センサと第2の変位センサの変位に対す
る出力電圧の特性を一致させる第1の特性変換回路およ
び第3の変位センサと第4の変位センサの変位に対する
出力電圧の特性を一致させる第2の特性変換回路を付加
することにより圧縮機の第1のピストンと第2のピスト
ンおよびディスプレーサとバランスウェイトの同一変位
での出力電圧の差をなくし、その差によって発生してい
た加振力を低減する。
【0028】この発明に係わる冷凍機は、第1の変位セ
ンサと第2の変位センサの変位に対する出力電圧の特性
を一致させる第1の特性変換回路および第3の変位セン
サと第4の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を
一致させる第2の特性変換回路を構成する要素として、
一方の変位センサの特性から入力された電圧を変位に換
算する関数演算回路と、もう一方の変位センサの特性か
らその換算された変位に対する出力電圧値を出力する関
数演算回路をもつことで実現し、圧縮機の第1のピスト
ンと第2のピストンおよびディスプレーサとバランスウ
ェイトの同一変位での出力電圧の差をなくし、その差に
よって発生していた加振力を低減する。
【0029】この発明に係わる冷凍機は、第1の変位セ
ンサと第2の変位センサの変位に対する出力電圧の特性
を一致させる第1の特性変換回路および第3の変位セン
サと第4の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を
一致させる第2の特性変換回路を構成する要素として、
アナログ−デジタル変換器と、2つの変位センサの同一
変位に対する出力電圧値を記憶する記憶装置と、対応す
る電圧値を読み出す制御回路と、デジタル−アナログ変
換器をもつことで実現し、圧縮機の第1のピストンと第
2のピストンおよびディスプレーサとバランスウェイト
の同一変位での出力電圧の差をなくし、その差によって
発生していた加振力を低減する。
【0030】この発明に係わる冷凍機は、第1の変位セ
ンサの変位に対する出力電圧の特性を基準関数に補正す
る第1の特性補正回路、第2の変位センサの変位に対す
る出力電圧の特性を基準関数に補正する第2の特性補正
回路、第3の変位センサの変位に対する出力電圧の特性
を基準関数に補正する第3の特性補正回路、第4の変位
センサの変位に対する出力電圧の特性を基準関数に補正
する第4の特性補正回路を付加することにより、圧縮機
の第1のピストンと第2のピストンおよびディスプレー
サとバランスウェイトの同一変位での出力電圧の差をな
くし、その差によって発生していた加振力を低減する。
【0031】この発明に係わる冷凍機は、第1の変位セ
ンサ出力特性を基準関数に補正する第1の特性補正回
路、第2の変位センサ出力特性を基準関数に補正する第
2の特性補正回路、第3の変位センサ出力特性を基準関
数に補正する第3の特性補正回路、第4の変位センサ出
力特性を基準関数に補正する第4の特性補正回路を構成
する要素として、変位センサの特性から入力された電圧
を変位に換算する関数演算回路と、基準関数でのその変
位に対する出力電圧値を出力する関数演算回路をもつこ
とで実現し、圧縮機の第1のピストンと第2のピストン
およびディスプレーサとバランスウェイトの同一変位で
の出力電圧の差をなくし、その差によって発生していた
加振力を低減する。
【0032】この発明に係わる冷凍機は、第1の変位セ
ンサ出力特性を基準関数に補正する第1の特性補正回
路、第2の変位センサ出力特性を基準関数に補正する第
2の特性補正回路、第3の変位センサ出力特性を基準関
数に補正する第3の特性補正回路、第4の変位センサ出
力特性を基準関数に補正する第4の特性補正回路を構成
する要素として、アナログ−デジタル変換器と、変位セ
ンサの特性と基準関数での同一変位に対する出力電圧値
を対応させて記憶する記憶装置と、対応する電圧値を読
み出す制御回路と、デジタル−アナログ変換器をもつこ
とで実現し、圧縮機の第1のピストンと第2のピストン
およびディスプレーサとバランスウェイトの同一変位で
の出力電圧の差をなくし、その差によって発生していた
加振力を低減する。
【0033】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1を示す図
であり、図において1〜99は上記従来装置と同一のも
のであり、ここでは説明を省略する。100は第1の変
位センサ19の変位に対する出力電圧の特性を第2の変
位センサ33の変位に対する出力電圧の特性に合わせる
ように、第1の変位センサ用アンプ82からの出力電圧
を変換する第1の特性変換回路であり、101は第3の
変位センサ59の変位に対する出力電圧の特性を第4の
変位センサ74の変位に対する出力電圧の特性に合わせ
るように、第3の変位センサ用アンプ93からの出力電
圧を変換する第2の特性変換回路である。
【0034】この発明にかかる冷凍機は上記のように構
成され、以下のように動作する。冷凍機の動作原理は図
9の従来装置と全く同じであり、ここでは省略する。図
2に示すように第1の変位センサ19と第2の変位セン
サ33の変位に対する出力電圧の特性には個体差があ
る。第1の変位センサ用アンプ82および第2の変位セ
ンサ用アンプからの出力が第1の位置指令信号発生装置
からの位置指令信号電圧値V2に合うよう制御されると
き、図2のような変位センサの特性がある場合、出力電
圧を合わせても実際の変位はX1,X2となり、変位に
差が生じて振動が発生することとなる。第1の特性変換
回路100は第1の変位センサ用アンプ82からV1と
いう電圧値が入力されるとV2に変換する。この変換に
より位置指令信号電圧V2で制御されたとき、第1のピ
ストンと第2のピストンの実際の変位がX2で一致し、
発生振動を低減することとなる。第1の特性変換回路1
00は第1の変位センサの特性を第2の変位センサの特
性に変換させる回路であることを示す。同様に第2の特
性変換回路101は第3の変位センサの特性を第4の変
位センサの特性に変換し、一致させることで発生加振力
を低減する。図1では第1の変位センサ19の特性を第
2の変位センサ33の特性に、第3の変位センサ59の
特性を第4の変位センサ74の特性に変換した例を示し
たが、逆に第2の変位センサ33の特性を第1の変位セ
ンサ19の特性に、第4の変位センサ74の特性を第3
の変位センサ59の特性に変換した場合も全く同様にこ
の発明を実施できる。
【0035】実施の形態2.図3はこの発明の実施の形
態2を示す図であり、実施の形態1における第1の特性
変換回路100の内部構成を示すものである。図におい
て102は図2の第1の変位センサ19の変位に対する
出力電圧特性を多項式等で近似し、その逆関数により入
力された電圧V1を変位X2に換算する第1の関数演算
回路である。103は第2の変位センサ33の変位に対
する出力電圧特性を多項式等で近似し、第1の関数演算
回路で換算された変位X2に対する出力電圧値V2を出
力する第2の関数演算回路である。
【0036】この発明にかかる冷凍機は上記のように構
成され、実施の形態1と同様に動作し、発生振動を低減
することができる。
【0037】図3においては第1の特性変換回路100
についての記述であるが、第2の特性変換回路101に
ついても全く同様にこの発明を実施できる。
【0038】実施の形態3.図4はこの発明の実施の形
態3を示す図であり、実施の形態1における第1の特性
変換回路100の内部構成を示すものである。図におい
て104は図2の第1の変位センサ用アンプ82からの
出力電圧V1をアナログからデジタルデータに変換する
アナログ−デジタル変換器、105は図2の第1の変位
センサ19の変位に対する出力電圧特性と第2の変位セ
ンサ33の変位に対する出力電圧特性から同じ変位X2
に対する両者の出力電圧値V1、V2を対応させて記憶
させることのできる記憶装置、106はアナログ−デジ
タル変換器104からの信号により対応する出力電圧値
を読み出す制御回路、107は制御回路106により読
み出されたデジタルデータをアナログ値に変換するデジ
タル−アナログ変換器である。
【0039】この発明にかかる冷凍機は上記のように構
成され、図2のV1という電圧が入力されたとき、それ
に対応するV2という電圧を読み出し変換して、実施の
形態1と同様に発生加振力を低減することができる。
【0040】図4においては第1の特性変換回路100
についての記述であるが、第2の特性変換回路101に
ついても全く同様にこの発明を実施できる。
【0041】実施の形態4.図5はこの発明の実施の形
態4を示す図であり、図において1〜99は上記従来装
置と同一のものでありここでは説明を省略する。108
は第1の変位センサ19の変位に対する出力電圧の特性
を一次関数等の基準関数に合わせるように第1の変位セ
ンサ用アンプ82からの出力電圧を補正する第1の特性
補正回路であり、109は第2の変位センサ33の変位
に対する出力電圧の特性を一次関数等の基準関数に合わ
せるように第2の変位センサ用アンプ87からの出力電
圧を補正する第2の特性補正回路であり、110は第3
の変位センサ59の変位に対する出力電圧の特性を一次
関数等の基準関数に合わせるように第3の変位センサ用
アンプ93からの出力電圧を補正する第3の特性補正回
路であり、111は第4の変位センサ74の変位に対す
る出力電圧の特性を一次関数等の基準関数に合わせるよ
うに第4の変位センサ用アンプ98からの出力電圧を補
正する第4の特性補正回路である。
【0042】この発明にかかる冷凍機は上記のように構
成され、以下のように動作する。冷凍機の動作原理は図
9の従来装置と全く同じであり、ここでは省略する。図
6に示すように第1の変位センサ19と第2の変位セン
サ33の変位に対する出力電圧の特性には個体差があ
る。第1の変位センサ用アンプ82および第2の変位セ
ンサ用アンプからの出力が第1の位置指令信号発生装置
からの位置指令信号電圧値V0に合うよう制御されると
き、図2のような変位センサの特性がある場合、出力電
圧を合わせても実際の変位はX1,X2となり、変位に
差が生じて振動が発生することとなる。図6の第1の特
性補正回路108は第1の変位センサ用アンプ81から
V1という電圧値が入力されると、第1の変位センサ1
9の変位に対する出力電圧の特性からV1に対する変位
量X0を求め、さらに基準関数における変位X0に対す
る出力電圧V0に補正する。第2の特性補正回路109
は第2の変位センサ用アンプ87からV2という電圧値
が入力されると、第1の変位センサ19の変位に対する
出力電圧の特性からV2に対する変位量X0を求め、さ
らに基準関数における変位X0に対する出力電圧V0に
補正する。第3の特性補正回路110、第4の特性補正
回路111についても第1の特性補正回路108、第2
の特性補正回路109と同様の基準関数におて電圧補正
される。各変位センサの変位X0に対する出力がV0に
一致することとなり、変位センサの個体差による変位差
が解消して発生加振力を低減することができる。
【0043】実施の形態5.図7はこの発明の実施の形
態5を示す図であり、実施の形態4における第1の特性
補正回路108の内部構成を示すものである。図におい
て112は図6の第1の変位センサ19の変位に対する
出力電圧特性を多項式等で近似し、その逆関数により入
力された電圧V1を変位X0に換算する第3の関数演算
回路であり、113は基準関数により第1の関数演算回
路で換算された変位X0に対する出力電圧値V0を出力
する第4の関数演算回路である。
【0044】この発明にかかる冷凍機は上記のように構
成され、実施の形態4と同様に動作し、発生振動を低減
することができる。
【0045】図7においては第1の特性補正回路108
についての記述であるが、第2の特性補正回路109、
第3の特性補正回路110、第4の特性補正回路111
についても全く同様にこの発明を実施できる。
【0046】実施の形態6.図8はこの発明の実施の形
態6を示す図であり、実施の形態4における第1の特性
補正回路108の内部構成を示すものである。図におい
て104は第1の変位センサ用アンプ82からの出力電
圧V1をアナログからデジタルデータに変換するアナロ
グ−デジタル変換器、105は第1の変位センサ19の
変位に対する出力電圧特性と基準関数から同じ変位X0
に対する両者の出力電圧値を対応させて記憶させること
のできる記憶装置、106はアナログ−デジタル変換器
104からの信号により対応する出力電圧値を読み出す
制御回路、107は制御回路107により読み出された
デジタルデータをアナログ値に変換するデジタル−アナ
ログ変換器である。
【0047】この発明にかかる冷凍機は上記のように構
成され、図6のV1という電圧が入力されたとき、それ
に対応するV0という電圧を読み出し変換して、実施の
形態4と同様に発生加振力を低減することができる。
【0048】図8においては第1の特性補正回路108
についての記述であるが、第2の特性補正回路109、
第3の特性補正回路110、第4の特性補正回路111
についても全く同様にこの発明を実施できる。
【0049】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に記載されるような効果がある。
【0050】この発明によれば、第1の変位センサと第
2の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を一致さ
せる第1の特性変換回路および第3の変位センサと第4
の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を一致させ
る第2の特性変換回路を付加することにより圧縮機の第
1のピストンと第2のピストンおよびディスプレーサと
バランスウェイトの同一変位での出力電圧の差がなくな
るため、その差によって発生する加振力を低減する効果
がある。
【0051】この発明によれば、第1の変位センサと第
2の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を一致さ
せる第1の特性変換回路および第3の変位センサと第4
の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を一致させ
る第1の特性変換回路を構成する要素として2つの関数
演算回路をもつことで実現し、圧縮機の第1のピストン
と第2のピストンおよびディスプレーサとバランスウェ
イトの同一変位での出力電圧の差がなくなるため、その
差によって発生する加振力を低減する効果がある。
【0052】この発明によれば、第1の変位センサと第
2の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を一致さ
せる第1の特性変換回路および第3の変位センサと第4
の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を一致させ
る第2の特性変換回路を構成する要素としてアナログ−
デジタル変換器、記憶装置、制御回路、デジタル−アナ
ログ変換器をもつことで実現し、圧縮機の第1のピスト
ンと第2のピストンおよびディスプレーサとバランスウ
ェイトの同一変位での出力電圧の差がなくなるため、そ
の差によって発生する加振力を低減する効果がある。
【0053】この発明によれば、第1の変位センサの変
位に対する出力電圧の特性を基準関数に補正する第1の
特性補正回路、第2の変位センサの変位に対する出力電
圧の特性を基準関数に補正する第2の特性補正回路、第
3の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を基準関
数に補正する第3の特性補正回路、第4の変位センサの
変位に対する出力電圧の特性を基準関数に補正する第4
の特性補正回路を付加することにより、圧縮機の第1の
ピストンと第2のピストンおよびディスプレーサとバラ
ンスウェイトの同一変位での出力電圧の差がなくなるた
め、その差によって発生する加振力を低減する効果があ
る。
【0054】この発明によれば、第1の変位センサ特性
を基準関数に補正する第1の特性変換回路と、第2の変
位センサ特性を基準関数に補正する第2の特性変換回路
と、第3の変位センサ特性を基準関数に補正する第3の
特性変換回路と、第4の変位センサ特性を基準関数に補
正する第4の特性変換回路を構成する要素として、2つ
の関数演算回路をもつことで実現し、圧縮機の第1のピ
ストンと第2のピストンおよびディスプレーサとバラン
スウェイトの同一変位での出力電圧の差がなくなるた
め、その差によって発生する加振力を低減する効果があ
る。
【0055】この発明によれば、第1の変位センサ特性
を基準関数に補正する第1の特性補正回路と、第2の変
位センサ特性を基準関数に補正する第2の特性変換回路
と、第3の変位センサ特性を基準関数に補正する第3の
特性変換回路と、第4の変位センサ特性を基準関数に補
正する第4の特性変換回路を構成する要素として、アナ
ログ−デジタル変換器、記憶装置、制御回路、デジタル
−アナログ変換器をもつことで実現し、圧縮機の第1の
ピストンと第2のピストンおよびディスプレーサとバラ
ンスウェイトの同一変位での出力電圧の差がなくなるた
め、その差によって発生する加振力を低減する効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明による冷凍機の実施の形態1を示す
図である。
【図2】 2つの変位センサの変位に対する出力電圧特
性を表す図である。
【図3】 この発明による冷凍機の実施の形態2を示す
図である。
【図4】 この発明による冷凍機の実施の形態3を示す
図である。
【図5】 この発明による冷凍機の実施の形態4を示す
図である。
【図6】 2つの変位センサの変位に対する出力電圧特
性と基準関数を表す図である。
【図7】 この発明による冷凍機の実施の形態5を示す
図である。
【図8】 この発明による冷凍機の実施の形態6を示す
図である。
【図9】 従来の冷凍機を示す図である。
【符号の説明】
1 圧縮機、2 コールドフィンガ、3 連結管、4
アクティブバランサ、5 第1のシリンダ、6 第1の
ピストン、7 第1のリニアモータ、8 第1の支持バ
ネ、9 第1のスリーブ、10 第1の可動コイル、1
1 導電体、12 第1の永久磁石、13 第1のヨー
ク、14 第1の間隙、15 第1の電気接点、16
第2の電気接点、17 第1のリード線、18 第2の
リード線、19 第1の変位センサ、20 第2のピス
トン、21 第2のリニアモータ、22 第2の支持バ
ネ、23 第2のスリーブ、24 第2の可動コイル、
25 導電体、26 第2の永久磁石、27 第2のヨ
ーク、28 第2の間隙、29 第3の電気接点、30
第4の電気接点、31 第3のリード線、32第4の
リード線、33 第2の変位センサ、34 圧縮空間、
35 第1のハウジング、36 第2のシリンダ、37
ディスプレーサ、38 第3のシリンダ、39 低温
シリンダ、40 蓄冷材、41 再生器、42 第1の
通気孔、43 第2の通気孔、44 低温室、45 高
温室、46 第3のリニアモータ、47 第3の支持バ
ネ、48 第3のスリーブ、49 第3の可動コイル、
50導電体、51 第3の永久磁石、52 第3のヨー
ク、53 第3の間隙、54 第5の電気接点、55
第6の電気接点、56 第5のリード線、57 第6の
リード線、58 モータ室、59 第3の変位センサ、
60 第2のハウジング、61 バランスウェイト、6
2 第4のリニアモータ、63 第4の支持バネ、64
第4のスリーブ、65 第4の可動コイル、66 導
電体、67第4の永久磁石、68 第4のヨーク、69
第4の間隙、70 第7の電気接点、71 第8の電
気接点、72 第7のリード線、73 第8のリード
線、74 第4の変位センサ、75 第3のハウジン
グ、76 駆動制御回路、77第1の位置指令信号発生
回路、78 第1の位置信号比較回路、79 第1の電
力信号発生回路、80 第1の電力比較回路、81 第
1の電力供給回路、82第1の変位センサ用アンプ、8
3 第2の位置信号比較回路、84 第2の電力信号発
生回路、85 第2の電力比較回路、86 第2の電力
供給回路、87第2の変位センサ用アンプ、88 第2
の位置指令信号発生回路、89 第3の位置信号比較回
路、90 第3の電力信号発生回路、91 第3の電力
比較回路、92 第3の電力供給回路、93 第3の変
位センサ用アンプ、94 第4の位置信号比較回路、9
5 第4の電力信号発生回路、96 第4の電力比較回
路、97 第4の電力供給回路、98 第4の変位セン
サ用アンプ、99 作動室、100 第1の特性変換回
路、101 第2の特性変換回路、102 第1の関数
演算回路、103 第2の関数演算回路、104 アナ
ログデジタル変換器、105 記憶装置、106 制御
回路、107 デジタル−アナログ変換器、108 第
1の特性補正回路、109 第2の特性補正回路、11
0 第3の特性補正回路、111 第4の特性補正回
路、112 第3の関数演算回路、113 第4の関数
演算回路。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1のシリンダ、前記第1のシリンダ内
    を往復する第1のピストン、前記第1のピストンを往復
    運動させる第1の駆動手段、前記第1のピストンの位置
    を検出する第1の変位センサ、前記第1のピストンに対
    向して前記第1のシリンダ内を往復運動する第2のピス
    トン、前記第2のピストンを往復運動させる第2の駆動
    手段、前記第2のピストンの位置を検出する第2の変位
    センサとを備えた圧縮機と、低温シリンダ、前記低温シ
    リンダ内を往復運動するディスプレーサ、前記ディスプ
    レーサを往復運動させる第3の駆動手段、前記第3のピ
    ストンの位置を検出する第3の変位センサとを備えたコ
    ールドフィンガと、前記ディスプレーサと対向して往復
    運動するバランスウェイト、前記バランスウェイトを往
    復運動させる第4の駆動手段、前記バランスウェイトの
    位置を検出する第4の変位センサとを備えたアクティブ
    バランサと、前記圧縮機と前記コールドフィンガをつな
    ぐ連結管と、上記第1、第2、第3および第4の変位セ
    ンサからの信号を変位に対応した電気量としてそれぞれ
    出力する第1、第2、第3および第4の変位センサ用ア
    ンプ、前記第1および第2のピストンへの位置指令信号
    を発生する第1の位置指令信号発生回路、前記ディスプ
    レーサおよびバランスウェイトへの位置指令信号を発生
    する第2の位置指令信号発生回路、前記第1の位置指令
    信号発生回路からの信号と前記第1の変位センサ用アン
    プからの位置信号を比較する第1の位置信号比較回路、
    前記第1の位置指令信号発生回路からの信号と第2の変
    位センサ用アンプからの位置信号を比較する第2の位置
    信号比較回路、前記第2の位置指令信号発生回路からの
    信号と第3の変位センサ用アンプからの位置信号を比較
    する第3の位置信号比較回路、前記第2の位置指令信号
    発生回路からの信号と前記第4の変位センサ用アンプか
    らの位置信号を比較する第4の位置信号比較回路、前記
    第1、第2、第3および第4の位置信号比較回路からの
    信号を受けて電力信号に換算する第1、第2、第3およ
    び第4の電力指令信号発生回路、前記第1、第2、第3
    および第4の電力指令信号発生回路からの信号と第1、
    第2、第3および第4の駆動手段からの帰還信号を比較
    する第1、第2、第3および第4の電力信号比較回路、
    前記第1、第2、第3および第4の電力信号比較回路か
    らの信号を受けて前記第1、第2、第3および第4の駆
    動手段に電力を供給する第1、第2、第3および第4の
    電力供給回路により構成された駆動制御回路とを備えた
    冷凍機において、 前記第1の変位センサの変位に対する出力電圧の特性と
    前記第2の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を
    合わせるために前記第1の変位センサ用アンプまたは前
    記第2の変位センサ用アンプからの出力電圧をどちらか
    一方の特性に合わせる第1の特性変換回路と、前記第3
    の変位センサの変位に対する出力電圧の特性と前記第4
    の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を合わせる
    ために前記第3の変位センサ用アンプまたは前記第4の
    変位センサ用アンプからの出力電圧をどちらか一方の特
    性に合わせる第2の特性変換回路を備えることを特徴と
    する冷凍機。
  2. 【請求項2】 前記第1の変位センサの特性関数から出
    力電圧を変位に換算し、さらに第2の変位センサ特性関
    数からその変位に対応する出力電圧を発生させる第1の
    アナログ演算回路により前記第1の変換回路を構成し、
    前記第3の変位センサの特性関数から出力電圧を変位に
    換算しさらに第4の変位センサ特性関数からその変位に
    対応する出力電圧を発生させる第2のアナログ演算回路
    により前記第2の変換回路を構成する請求項1記載の冷
    凍機。
  3. 【請求項3】 変位センサ用アンプからの電圧信号をア
    ナログ−デジタル変換するアナログ−デジタル変換器
    と、2つの変位センサの同じ変位に対する出力電圧値を
    記憶した記憶装置と、前記アナログ−デジタル変換入力
    された信号に対応する変換値を前記記憶装置より読み出
    すデジタル演算回路と、前記デジタル演算回路からの信
    号をデジタル−アナログ変換するデジタル−アナログ変
    換器とにより前記第1の特性変換回路および第2の特性
    変換回路を構成する請求項1記載の冷凍機。
  4. 【請求項4】 第1のシリンダ、前記第1のシリンダ内
    を往復する第1のピストン、前記第1のピストンを往復
    運動させる第1の駆動手段、前記第1のピストンの位置
    を検出する第1の変位センサ、前記第1のピストンに対
    向して前記第1のシリンダ内を往復運動する第2のピス
    トン、前記第2のピストンを往復運動させる第2の駆動
    手段、前記第2のピストンの位置を検出する第2の変位
    センサとを備えた圧縮機と、低温シリンダ、前記低温シ
    リンダ内を往復運動するディスプレーサ、前記ディスプ
    レーサを往復運動させる第3の駆動手段、前記第3のピ
    ストンの位置を検出する第3の変位センサとを備えたコ
    ールドフィンガと、前記ディスプレーサと対向して往復
    運動するバランスウェイト、前記バランスウェイトを往
    復運動させる第4の駆動手段、前記バランスウェイトの
    位置を検出する第4の変位センサとを備えたアクティブ
    バランサと、前記圧縮機と前記コールドフィンガをつな
    ぐ連結管と、前記第1、第2、第3および第4の変位セ
    ンサからの信号を変位に対応した電気量としてそれぞれ
    出力する第1、第2、第3および第4の変位センサ用ア
    ンプ、前記第1および第2のピストンへの位置指令信号
    を発生する第1の位置指令信号発生回路、ディスプレー
    サおよびバランスウェイトへの位置指令信号を発生する
    第2の位置指令信号発生回路、前記第1の位置指令信号
    発生回路からの信号と第1の変位センサ用アンプからの
    位置信号を比較する第1の位置信号比較回路、前記第1
    の位置指令信号発生回路からの信号と第2の変位センサ
    用アンプからの位置信号を比較する第2の位置信号比較
    回路、前記第2の位置指令信号発生回路からの信号と第
    3の変位センサ用アンプからの位置信号を比較する第3
    の位置信号比較回路、前記第2の位置指令信号発生回路
    からの信号と第4の変位センサ用アンプからの位置信号
    を比較する第4の位置信号比較回路、前記第1、第2、
    第3および第4の位置信号比較回路からの信号を受けて
    電力信号に換算する第1、第2、第3および第4の電力
    指令信号発生回路、前記第1、第2、第3および第4の
    電力指令信号発生回路からの信号と前記第1、第2、第
    3および第4の駆動手段からの帰還信号を比較する第
    1、第2、第3および第4の電力信号比較回路、前記第
    1、第2、第3および第4の電力信号比較回路からの信
    号を受けて前記第1、第2、第3および第4の駆動手段
    に電力を供給する第1、第2、第3および第4の電力供
    給回路により構成された駆動制御回路とを備えた冷凍機
    において、 前記第1の変位センサの変位に対する出力電圧の特性と
    前記第2の変位センサの変位に対する出力電圧の特性を
    合わせるために前記第1の変位センサ用アンプの出力電
    圧を基準となる特性に合わせる第1の特性補正回路と、
    前記第2の変位センサ用アンプの出力電力を基準となる
    特性に合わせる第2の特性補正回路と、前記第3の変位
    センサの変位に対する出力電圧の特性と前記第4の変位
    センサの変位に対する出力電圧の特性を合わせるために
    前記第3の変位センサ用アンプの出力電圧を基準となる
    特性に合わせる第3の特性補正回路と、前記第4の変位
    センサ用アンプの出力電圧を基準となる特性に合わせる
    第4の特性補正回路とを備えることを特徴とする冷凍
    機。
  5. 【請求項5】 変位センサの特性関数から出力電圧を変
    位に換算し、その変位を基準関数により補正出力電圧値
    として発生させるアナログ演算回路により第1の特性補
    正回路、第2の特性補正回路、第3の特性補正回路およ
    び第4の特性補正回路を構成する請求項4記載の冷凍
    機。
  6. 【請求項6】 変位センサ用アンプからの電圧信号をア
    ナログ−デジタル変換するアナログ−デジタル変換器
    と、変位に対する出力電圧特性とそれに対応する補正値
    を記憶した記憶装置と、前記アナログ−デジタル変換入
    力された電圧信号に対応する補正値を前記記憶装置より
    読み出すデジタル演算回路と、前記デジタル演算回路か
    ら読み出された信号をデジタル−アナログ変換するデジ
    タル−アナログ変換器とにより前記第1の特性補正回
    路、第2の特性補正回路、第3の特性補正回路および第
    4の特性補正回路とを構成する請求項4記載の冷凍機。
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