JPH1095116A - Ink jet recording head, ink jet recording device, and ink jet receding method - Google Patents

Ink jet recording head, ink jet recording device, and ink jet receding method

Info

Publication number
JPH1095116A
JPH1095116A JP20655297A JP20655297A JPH1095116A JP H1095116 A JPH1095116 A JP H1095116A JP 20655297 A JP20655297 A JP 20655297A JP 20655297 A JP20655297 A JP 20655297A JP H1095116 A JPH1095116 A JP H1095116A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
driving
ink jet
resistance value
recording
detecting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP20655297A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3372834B2 (en
Inventor
Hirokazu Komuro
博和 小室
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP20655297A priority Critical patent/JP3372834B2/en
Publication of JPH1095116A publication Critical patent/JPH1095116A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3372834B2 publication Critical patent/JP3372834B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve reliability by precisely controlling engergy applied to an electric heat conversion body without increasing the cost of a printer main body or a head, improving the yeild due to reduction in the variability of the printing performance of the head, and eliminating an earlier breakage of the electric heat conversion body. SOLUTION: An element 31 is provided on a substrate for detecting the characteristics of a driving element, and energy applied to a conversion body can be maintained constant between heads by changing the driving condition of the head based on the information so detected. A characteristic detecting element of the driving element measures an ON resistance value. It is also possible to have a single signal wire to be taken outside by connecting the element 31 to an element 32 for detecting the variability of a sheet resistance value in a parallel fashion.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、被記録媒体に対し
て記録を行う記録ヘッド、記録装置および記録方法に関
し、さらに詳しく言えば、液体をオリフイスから噴射し
て液滴を形成するインクジェット記録ヘッド、インクジ
ェット記録装置およびインクジェット記録方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recording head, a recording apparatus, and a recording method for recording on a recording medium, and more particularly, to an ink jet recording head for ejecting a liquid from an orifice to form a droplet. The present invention relates to an inkjet recording apparatus and an inkjet recording method.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種のインクジェット記録に関し、例
えば特開昭54−51837に記載されているような熱
エネルギーを液体に作用させて、液滴吐出の原動力を得
るインクジェット記録方法が知られている。
2. Description of the Related Art With respect to this type of ink jet recording, there is known an ink jet recording method in which thermal energy is applied to a liquid to obtain the driving force of droplet discharge, as described in, for example, JP-A-54-51837. .

【0003】即ち、上述の公報に開示されている記録法
は、熱エネルギーの作用を受けた液体が加熱されて気泡
を発生し、この気泡発生に基づく作用力によって、記録
ヘッド部先端のオリフィスから液滴を吐出して被記録部
材に記録が行われるものである。
That is, in the recording method disclosed in the above-mentioned publication, the liquid which has been subjected to the action of thermal energy is heated to generate bubbles, and the action force based on the generation of the bubbles causes the orifice at the tip of the recording head to generate a bubble. The recording is performed on the recording member by discharging droplets.

【0004】この記録法に適用される記録ヘッドは、一
般に液体を吐出するために設けられたオリフィス(吐出
口)と、液滴を吐出するための熱エネルギーを発生する
手段である電気熱変換体としての発熱抵抗体とそれをイ
ンクから保護する上部保護層と、オリフイスに連通する
と共に液滴を吐出するための熱エネルギーが液体に作用
する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路とを
有する液吐出部を具備している。
A recording head applied to this recording method generally comprises an orifice (discharge port) provided for discharging liquid, and an electrothermal transducer which is means for generating thermal energy for discharging droplets. A liquid comprising a heating element as a part, an upper protective layer for protecting the same from ink, and a thermal action part which is a part which communicates with the orifice and is a part where thermal energy for discharging droplets acts on the liquid. And a liquid discharge section having a flow path.

【0005】ところで、これら電気熱変換体を駆動する
ための駆動素子を電気実装部の簡略化のため同一素子基
体内に作り込むことが特開昭57−72867に提案さ
れている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-72867 proposes that drive elements for driving these electrothermal transducers be formed in the same element base for simplifying an electric mounting portion.

【0006】このように素子基体に作り込まれている駆
動素子は、バイポーラトランジスタ及びNMOSトラン
ジスタで形成されているのが一般的である。そしてそれ
ぞれのトランジスタには、ともにON抵抗値がある。特
に、NMOSトランジスタではON抵抗値のばらつきが
大きいと云われる。
[0006] Generally, the driving element formed on the element substrate is formed of a bipolar transistor and an NMOS transistor. Each transistor has an ON resistance value. In particular, it is said that the variation in the ON resistance value is large in the NMOS transistor.

【0007】また、特願平5−223495に述ベられ
ているように、電気熱変換体を構成する発熱抵抗層のシ
ート抵抗値のばらつきに対応して電気熱変換体に印加さ
れるエネルギーの補正を行う場合には、電気熱変換体が
形成される素子基体上にシート抵抗値のばらつきを検知
する素子を設け、その情報をへッドから取り出し、プリ
ンター側からヘッドに入力される駆動信号の条件、具体
的にはパルス幅を変えることによってその補正を行って
おり、このような補正によって電気熱変換信号体に印加
されるエネルギーを一定にしている。
Further, as described in Japanese Patent Application No. 5-223495, the energy applied to the electrothermal converter in response to the variation in the sheet resistance of the heat generating resistor layer constituting the electrothermal converter. When performing correction, an element for detecting a variation in sheet resistance is provided on the element substrate on which the electrothermal transducer is formed, the information is taken out from the head, and a drive signal input to the head from the printer side is provided. Is corrected by changing the conditions, specifically, the pulse width, and the energy applied to the electrothermal conversion signal body is kept constant by such correction.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】電気熱変換体に印加す
るエネルギー量は印字性能及び耐久性に非常に関係す
る。印字性能の面では、エネルギー量を上げれば上げる
ほど良い。耐久性の面では電気熱変換体の破断を防止す
るためエネルギーを下げなければならない。特に、高密
度高精彩記録になればなるほど従来よりも小さな液滴を
吐出しなければならない。そのため従来よりも印字性能
に関して十分配慮しなければならない。
The amount of energy applied to the electrothermal converter is greatly related to printing performance and durability. In terms of printing performance, the higher the energy amount, the better. In terms of durability, the energy must be reduced in order to prevent the electrothermal transducer from breaking. In particular, as high-density, high-definition recording is performed, smaller droplets must be ejected than before. For this reason, it is necessary to pay more attention to the printing performance than before.

【0009】また、近年、エコロジーの観点からへッド
とインクタンク一体型カートリッジからへッドとインク
タンク分離型に変わってきており、インクタンクだけを
交換することでヘッドを長期間使用するためへッドは従
来よりも耐久性が要求されている。
In recent years, from the viewpoint of ecology, the head and ink tank integrated type cartridge has been changed to a head and ink tank separated type. In order to use the head for a long period of time by replacing only the ink tank. The head is required to have higher durability than before.

【0010】したがって、電気熱変換体に印加されるエ
ネルギー量を精密に制御しなければならなくなってい
る。
Therefore, the amount of energy applied to the electrothermal converter must be precisely controlled.

【0011】しかしながら、前述したように前述電気熱
変換体を駆動するための駆動素子にはON抵抗が存在
し、それも駆動素子作製プロセスに起因するばらつきが
存在する。ヘッド印加電圧一定の場合、ON抵抗値のば
らつきによって、電気熱変換体の両端に印加される電圧
のばらつきが発生し、ヘッドごとに印字性能が変わって
しまうことがあり、不良印字のヘッドが発生することが
あった。また、ヘッドによって早期に電気熱変換体が断
線することがあった。
However, as described above, a driving element for driving the electrothermal transducer has an ON resistance, which also has variations due to the driving element manufacturing process. When the voltage applied to the head is constant, variation in the ON resistance value causes variation in the voltage applied to both ends of the electrothermal transducer, which may change the printing performance for each head, resulting in defective printing heads. There was something to do. In addition, the electrothermal transducer may be disconnected early by the head.

【0012】特に、プロセスが簡単であることにより駆
動素子作製プロセスのコストダウンを成すことができる
NMOSトランジスタの場合、ON抵抗値のばらつきが
大きい。したがって駆動素子がNMOSトランジスタで
ある場合、上記問題が発生することが予想される。
In particular, in the case of an NMOS transistor which can reduce the cost of the drive element manufacturing process due to the simplicity of the process, the variation in the ON resistance value is large. Therefore, when the driving element is an NMOS transistor, the above problem is expected to occur.

【0013】当然、ON抵抗値のばらつきをヘッド出荷
時にヘッドごとに測定し、それによって駆動条件を設定
すればよいが、ヘッドがユーザーによる交換可能なタイ
プの場合には、ヘッドの交換ごとにユーザーが駆動条件
を設定しなくてはならない。
Naturally, the variation of the ON resistance value may be measured for each head when the head is shipped, and the driving condition may be set accordingly. However, if the head is of a type that can be replaced by a user, the user is required to replace the head every time the head is replaced. Must set the driving conditions.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上述のような課題を解決
する目的を達成するための記録ヘッドは、熱エネルギー
を発生するための電気熱変換体を構成する発熱抵抗層と
電極層とを有し、電気熱変換体を駆動する複数の駆動素
子が同一素子基体上に作り込まれている記録ヘッドであ
って、駆動素子の特性を検知する検知素子が素子基体上
に作り込まれていることを特徴とする記録ヘッドであ
る。
A recording head for achieving the object to solve the above-mentioned problems has a heating resistance layer and an electrode layer which constitute an electrothermal converter for generating thermal energy. A plurality of driving elements for driving the electrothermal transducer are formed on the same element base, and a detection element for detecting the characteristics of the driving elements is formed on the element base. The recording head is characterized by the following.

【0015】このような記録ヘッドは、液体にエネルギ
ーを与えることでこの液体中に気泡を形成させる電気熱
変換対が配された熱作用部を備え、インク吐出用の吐出
口に連通したインク流路を有するものであってもよい。
[0015] Such a recording head is provided with a heat-acting portion provided with an electrothermal conversion pair for forming a bubble in the liquid by applying energy to the liquid, and an ink flow communicating with a discharge port for ink discharge. It may have a road.

【0016】また、被記録媒体に対して記録を行う記録
装置は上述の記録ヘッドと、記録媒体を搬送する手段を
有する装置である。
A recording apparatus for performing recording on a recording medium is an apparatus having the above-described recording head and a unit for conveying the recording medium.

【0017】また、被記録媒体に対して記録を行う記録
方法は、記録を行うための電気熱変換体を駆動するため
の駆動素子と、駆動素子の特性を検知するための駆動素
子特性検知手段とを有する記録ヘッドを提供し、駆動素
子特性検知素子によって駆動素子の特性を検知し、その
検知結果により電気熱変換体の駆動条件を変えるような
方法である。
A recording method for performing recording on a recording medium includes a driving element for driving an electrothermal transducer for performing recording and a driving element characteristic detecting means for detecting characteristics of the driving element. This is a method of providing a recording head having: a driving element characteristic detecting element for detecting characteristics of the driving element, and changing a driving condition of the electrothermal transducer based on the detection result.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態について
図面を参照して説明する。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings.

【0019】まず、本発明に用いられる「記録」とは、
文字や図形当の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付
与することだけでなくパターン当の意味を持たない画像
を付与することをも意味するものである。
First, the “record” used in the present invention is:
This means not only providing an image having the meaning of characters and graphics to the recording medium, but also giving an image having no meaning of the pattern.

【0020】また、本発明は紙、糸、繊維、布巾、皮
革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス
等の被記録媒体に対し記録を行う、プリンター、複写
機、通信システムを有するファクシミリ、プリンター部
を有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理
装置と複合的に組み合せた産業用記録装置に適用可能な
発明である。
The present invention also provides a printer, a copier, a facsimile having a communication system for recording on a recording medium such as paper, thread, fiber, cloth, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics and the like. The present invention is applicable to an apparatus such as a word processor having a section, and an industrial recording apparatus combined with various processing apparatuses.

【0021】さらに、以下に用いる「素子基体」とは、
シリコン半導体からなる単なる基体を指し示すものでは
なく、各素子や配線等が設けられた基体を示すものであ
る。さらに、「素子基体上」とは、単に素子基体の上を
指し示すだけでなく、素子基体の表面、表面近傍の素子
基体内部側をも示すものである。また、本発明でいう
「作り込み」とは、別体の各素子を単に基体上に配置す
ることを指し示している言葉ではなく、各素子を半導体
回路の製造工程等によって素子基体上に一体的に形成、
製造することを示すものである。
Further, the “element substrate” used below is
It does not indicate a simple substrate made of a silicon semiconductor, but a substrate provided with each element, wiring, and the like. Further, "on the element substrate" indicates not only the element substrate but also the surface of the element substrate and the inside of the element substrate near the surface. Further, the term “built-in” in the present invention is not a term indicating that each of the separate elements is simply arranged on the base, but the respective elements are integrally formed on the element base by a semiconductor circuit manufacturing process or the like. Formed into
It indicates that it is manufactured.

【0022】以下の説明では、電気熱変換体が発生する
熱を流路中のインクに与えて膜沸騰現象に伴う圧力で吐
出口からインクを吐出するためのインクジェット記録ヘ
ッドで行うが、これに限らず記録を行うための電気熱変
換体とこの電気熱変換体を駆動するための駆動素子とが
同じ素子基体上に配された形態のヘッドであれば本発明
を適用することができる。
In the following description, an ink jet recording head for applying heat generated by an electrothermal transducer to ink in a flow path and ejecting ink from an ejection port at a pressure associated with a film boiling phenomenon is used. The present invention is not limited to this, and the present invention can be applied to a head in which an electrothermal transducer for performing recording and a driving element for driving the electrothermal transducer are arranged on the same element substrate.

【0023】まず、本発明の記録ヘッドの構成について
説明する。
First, the configuration of the recording head of the present invention will be described.

【0024】図1は、本発明の記録ヘッドの模式的斜視
図、図2は、本発明の記録ヘッドの分解斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view of the recording head of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of the recording head of the present invention.

【0025】図1の斜視図でわかるように、本例でのイ
ンクジェットカートリッジJICは、インクジェットヘ
ッドユニットとインクタンクとが一体化されたものであ
り、インクの収納割合が大きくなっているものである。
このインクジェットカートリッジJCは、インクジェッ
ト記録装置本体IJRAに載置されているキャリッジの
位置決め手段および電気的接点によって固定支持される
とともに、このキャリッジに対して着脱可能なディスポ
ーザブルタイプである。インクジェットユニットIJU
は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じさせ
るための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて
記録を行うバブルジェット方式のユニットである。
As can be seen from the perspective view of FIG. 1, the ink jet cartridge JIC in this embodiment is one in which the ink jet head unit and the ink tank are integrated, and has a large ink storage ratio. .
The ink jet cartridge JC is of a disposable type which is fixed and supported by positioning means and electrical contacts of a carriage mounted on the ink jet recording apparatus main body IJRA, and is detachable from the carriage. Inkjet unit IJU
Is a bubble jet type unit that performs recording using an electrothermal converter that generates thermal energy for causing film boiling in ink in response to an electric signal.

【0026】図2において、100はSi基板上に複数
の列状に配された電気熱変換体(吐出ヒータ)と、これ
に電力を供給するAI等の電気配線、電気熱変換体を選
択的に駆動するための駆動素子と後述する駆動素子特性
検知手段等が成膜技術により作り込まれているヒータボ
ード(素子基体)である。200はヒータボード100
に対する配線基板である。
In FIG. 2, reference numeral 100 designates an electrothermal transducer (discharge heater) arranged in a plurality of rows on an Si substrate, an electric wiring such as an AI for supplying power thereto, and an electrothermal transducer. This is a heater board (element base) in which a driving element for driving the substrate and a driving element characteristic detecting means to be described later are formed by a film forming technique. 200 is the heater board 100
Wiring board.

【0027】1300は、前述の電気熱変換体に対応し
て設けられた複数のインク流路をそれぞれ区分するため
の隔壁(溝)や各インク流路(液流路)へインクを与え
るためにインクを収納するための供給液室等を設けた溝
付天板で、各インク流路に対応した吐出口を複数有する
オリフィスプレート400を一体成型したものである。
これらの一体成型材料としてはポリサルフォン樹脂が望
ましいが、他の成型樹脂材料でも良い。
Reference numeral 1300 designates a partition (groove) for dividing a plurality of ink flow paths provided corresponding to the above-mentioned electrothermal transducer and an ink for supplying ink to each ink flow path (liquid flow path). An orifice plate 400 having a plurality of discharge ports corresponding to each ink flow path is integrally formed with a grooved top plate provided with a supply liquid chamber and the like for accommodating ink.
Polysulfone resin is desirable as these integrally molded materials, but other molded resin materials may be used.

【0028】300は配線基板200の裏面を平面で支
持する例えば金属性の支持体で、インクジェットユニッ
トの底板となる。500は押圧部材である押さえばねで
あり、M字形状でそのM字の中央で共通液室を軽圧で押
圧するとともに前だれ部501で液路の一部、好ましく
は吐出口近傍の領域を線圧で集中付勢力によってヒータ
ボード100と天板1300とを圧着固定している。
Reference numeral 300 denotes, for example, a metallic support for supporting the rear surface of the wiring substrate 200 on a flat surface, and serves as a bottom plate of the ink jet unit. Reference numeral 500 denotes a pressing spring which is a pressing member. The pressing spring 500 has an M-shape and presses the common liquid chamber at a center of the M-shape with a light pressure. The heater board 100 and the top plate 1300 are pressed and fixed by the concentrated urging force by the linear pressure.

【0029】インクタンクは、カートリッジ本体100
0と、インク吸収体900とインク吸収体900をカー
トリッジ本体1000の上記ユニットIJU取付面とは
反対側の側面から挿入した後、これを封止する蓋部材1
100とで構成されている。1200はユニットIJU
に対してインクを供給するための供給口である。140
1はカートリッジ内部を大気に連通するために蓋部材に
設けられた大気連通口である。なお、本実施例において
は天板1300は耐インク性に優れたポリサルフォン、
ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド、
ポリプロピレンなどの樹脂を用い、ポリフィスプレート
部400とともに金型内で一体に同時成型してある。
The ink tank is a cartridge body 100
0, the ink absorber 900 and the lid member 1 for inserting the ink absorber 900 from the side of the cartridge body 1000 opposite to the unit IJU mounting surface, and then sealing the unit IJU.
100. 1200 is a unit IJU
Is a supply port for supplying ink to the printer. 140
Reference numeral 1 denotes an atmosphere communication port provided in the lid member for communicating the inside of the cartridge with the atmosphere. In this embodiment, the top plate 1300 is made of polysulfone having excellent ink resistance.
Polyether sulfone, polyphenylene oxide,
Using a resin such as polypropylene, it is integrally molded together with the polyplate plate 400 in a mold.

【0030】上述のように一体成型部品は、インク供給
部材600、天板・オリフィスプレート一体、インク本
体1000としたので組立て精度が高水準になるばかり
でなく、大量生産の品質向上に極めて有効である。ま
た、部品点数の個数は従来に比較して現象できているの
で、所望特性を確実に発揮できる。
As described above, since the integrally molded parts are the ink supply member 600, the top plate and the orifice plate, and the ink body 1000, not only the assembling accuracy is at a high level, but also it is extremely effective in improving the quality of mass production. is there. In addition, since the number of parts is smaller than that of the related art, the desired characteristics can be surely exhibited.

【0031】次に、本発明の特徴要件についてさらに詳
細に説明する。
Next, the features of the present invention will be described in more detail.

【0032】本発明では前述のような課題を解決するた
めに素子基体上に形成している駆動素子特性検知素子を
素子基体上に設けている。そして、そこで検出した情報
に基づいてヘッドの駆動条件を変えている。具体的に
は、図3の等価回路を示すように素子基体に設けられた
駆動素子と同じ設計、同じ工程で作られた駆動素子をO
N抵抗値測定用素子としてヘッドを構成する素子基体の
一つ一つに配置する。そして、そのON抵抗値測定用素
子をヘッド外部の装置側から駆動し、印加電流と測定電
圧の関係からON抵抗値を算出し、装置側にあらかじめ
設定してあるテーブルを用いて、駆動条件であるパルス
幅を可変させる。このようにすれば、電気熱変換体に印
加されるエネルギーを各ヘッド間で一定にすることがで
きる。エネルギーがヘッド間で一定になれば、ヘッド間
で一定な印字性能が得られ、印字歩留まりが向上する。
また、早期断線もなくなり、信頼性をさらに向上させる
ことができる。
In the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, the driving element characteristic detecting element formed on the element substrate is provided on the element substrate. Then, the driving condition of the head is changed based on the information detected there. Specifically, as shown in the equivalent circuit of FIG. 3, the drive element formed in the same design and the same process as the drive element provided on the element substrate is
The element for measuring the N resistance is arranged on each of the element bases constituting the head. Then, the device for measuring the ON resistance is driven from the device side outside the head, the ON resistance value is calculated from the relationship between the applied current and the measured voltage, and the driving condition is determined by using a table preset in the device side. A certain pulse width is varied. With this configuration, the energy applied to the electrothermal transducer can be made constant among the heads. If the energy is constant between the heads, constant printing performance is obtained between the heads, and the printing yield is improved.
In addition, there is no early disconnection, and the reliability can be further improved.

【0033】なお、ON抵抗値は一般的に低い値(〜1
0Ω)であることが多いので電気熱変換体の駆動素子と
同じ設計の駆動素子のON抵抗値測定用素子では測定精
度(S/N比)が十分でない場合があるが、その時は、
測定精度を向上させるような設計を変えたON抵抗値測
定用素子を用いることもできる。なお、この時ばらつき
量の相対値は変わらないようにする必要があり、NMO
Sトランジスタの場合に具体的にはゲート長を変えるこ
とで対応することができる。
The ON resistance value is generally a low value (up to 1).
0Ω) in many cases, the measurement accuracy (S / N ratio) may not be sufficient with the ON resistance value measurement element of the drive element having the same design as the drive element of the electrothermal transducer.
It is also possible to use an element for measuring the ON resistance whose design is changed so as to improve the measurement accuracy. At this time, it is necessary to keep the relative value of the variation amount unchanged.
Specifically, in the case of the S transistor, it can be dealt with by changing the gate length.

【0034】また、特願平5−223495に述べられ
ているように電気熱変換体が形成される素子基体上にシ
ート抵抗値のばらつきを検知する素子を作り込み、図4
で示すように前述のON抵抗知測定用素子とともに作り
込む構成にすることもできる。この時、ON抵抗値測定
用素子からの信号線と、シート抵抗値のばらつきを検知
する素子からの信号線との2本が通常必要となる。しか
し、ON抵抗値測定用素子からの信号線と、シート抵抗
値のばらつきを検知する素子からの信号線とを素子基体
内で結線し、信号線1本で対応する構成とすると良い。
具体的には、図4で示すようにON抵抗値測定用素子と
シート抵抗値のばらつきを検知する素子とを並列に結線
すると良い。ON抵抗値測定用素子にある信号、例えば
ブロック選択信号を与えてON抵抗値測定用素子すなわ
ち駆動素子をONさせたり、0FFさせたりすること
で、駆動素子のON抵抗と、電気熱変換体のシート抵抗
を一つの外部出力端子で取り出すことができる。
As described in Japanese Patent Application No. 5-223495, an element for detecting a variation in sheet resistance is formed on an element substrate on which an electrothermal transducer is formed.
As shown in the figure, it is also possible to adopt a configuration in which it is formed together with the above-described element for measuring ON resistance. At this time, two lines, a signal line from the element for measuring the ON resistance and a signal line from the element for detecting the variation in the sheet resistance, are usually required. However, it is preferable that the signal line from the element for measuring the ON resistance value and the signal line from the element for detecting the variation of the sheet resistance value are connected in the element base, and one signal line is used to correspond.
Specifically, as shown in FIG. 4, it is preferable to connect the element for measuring the ON resistance value and the element for detecting the variation of the sheet resistance value in parallel. The ON resistance of the drive element and the electrothermal converter are controlled by turning on or turning off the ON resistance measurement element, that is, the drive element by applying a signal, for example, a block selection signal, to the ON resistance measurement element. The sheet resistance can be taken out by one external output terminal.

【0035】ONの時は、ON抵抗値測定用素子とシー
ト抵抗値のばらつきを検知する素子の情報(抵抗値)を
検知することができ、OFFの時は、シート抵抗値のば
らつきを検知する素子のみの情報を検知できる。このよ
うにすれば、外部に取り出す信号線を1本にできるので
プリンター本体、ヘッドのコストをアップさせずヘッド
の印字性能ばらつきの減少により歩留まり向上、電気熱
変換体の早期破断がなくなり、信頼性が向上する。
When ON, the information (resistance value) of the ON resistance value measuring element and the element for detecting the variation of the sheet resistance value can be detected, and when OFF, the variation of the sheet resistance value can be detected. Information of only the element can be detected. In this way, since only one signal line can be taken out to the outside, the cost of the printer body and the head is not increased, the print performance of the head is reduced, the yield is improved, and the electrothermal transducer is not broken early. Is improved.

【0036】以上のようにしてON抵抗値測定用素子の
測定結果や、発熱抵抗体のシート抵抗値のばらつきの測
定結果を外部出力端子を介して外部端子に出力すること
によって、これら出力結果から駆動素子や発熱素子の駆
動条件を変えることができる。
As described above, the measurement result of the element for measuring the ON resistance value and the measurement result of the variation of the sheet resistance value of the heating resistor are output to the external terminal via the external output terminal. The driving conditions of the driving element and the heating element can be changed.

【0037】また、ON抵抗値のばらつきとシート抵抗
値のばらつきの情報を外部に取り出して外部から駆動条
件を変えなくても、ON抵抗値のばらつきとシート抵抗
値のばらつきの情報ともヘッド内部の情報であるためヘ
ッド内部で演算処理させれば外部取り出し信号線をなく
すことができ、信頼性、コストの観点から有利になる。
当然、素子基体内に駆動素子を作製しているので演算素
子、予め決められているテーブルを作製することは容易
であり、コストアップの要因にはならない。したがっ
て、基板内にON抵抗値測定用素子とシート抵抗値のば
らつきを検知する素子を形成し、その情報を演算処理
し、駆動条件を変える素子を設けることによって、信号
線が減るのでプリンター本体、ヘッドのコストをアップ
させずへッドの印宇性能ばらつきの減少により歩留まり
向上、電気熱変換体の早期破断がなくなり、信頼性が向
上する。
Further, even if the information on the variation in the ON resistance value and the variation in the sheet resistance value is taken out to the outside and the driving conditions are not changed from the outside, the information on the variation in the ON resistance value and the variation in the sheet resistance value are also stored inside the head. Since it is information, if it is subjected to arithmetic processing inside the head, it is possible to eliminate the externally taken out signal line, which is advantageous from the viewpoint of reliability and cost.
Naturally, since the driving element is manufactured in the element base, it is easy to manufacture the arithmetic element and the predetermined table, and this does not cause a cost increase. Therefore, by forming an element for measuring the ON resistance value and an element for detecting the variation of the sheet resistance value in the substrate, performing arithmetic processing of the information, and providing an element for changing the driving conditions, the number of signal lines is reduced, so that the printer main body is reduced. Without increasing the cost of the head, the variation in the performance of the printing of the head is reduced, thereby improving the yield and eliminating the early breakage of the electrothermal transducer, thereby improving the reliability.

【0038】次に、本発明の回路構成について等価回路
図面を参照して説明する。
Next, the circuit configuration of the present invention will be described with reference to the equivalent circuit drawings.

【0039】図3は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの一実施形態例に用いられるON抵抗値測定素子11
の等価回路図である。
FIG. 3 shows an ON resistance value measuring element 11 used in an embodiment of the ink jet recording head of the present invention.
3 is an equivalent circuit diagram of FIG.

【0040】まず、シリコン基板上にMOSプロセスで
電気熱変換体を駆動する駆動素子を形成する。その時図
3に示すような回路でON抵抗値測定素子11を電気熱
変換体を駆動する駆動素子と同じ設計で形成する。次に
電気熱変換体と電気熱変換体に電気を供給する電極を形
成する。電気熱変換体の大きさは50μ×50μで電気
熱変換体を形成する発熱抵抗層はシート抵抗値40Ω/
□であり電気熱変換体の抵抗値は40Ωであった。電極
の総抵抗値は2Ωであった。次に素子基体上にノズル及
び吐出ロを形成した溝板を貼り付け、ヘッドが完成す
る。
First, a drive element for driving an electrothermal transducer is formed on a silicon substrate by a MOS process. At this time, the ON resistance value measuring element 11 is formed with the same design as the driving element for driving the electrothermal transducer in a circuit as shown in FIG. Next, an electrothermal converter and an electrode for supplying electricity to the electrothermal converter are formed. The size of the electrothermal converter is 50 μ × 50 μ, and the heat generating resistance layer forming the electrothermal converter has a sheet resistance value of 40Ω /.
□ and the resistance of the electrothermal converter was 40Ω. The total resistance of the electrode was 2Ω. Next, a groove plate on which a nozzle and a discharge roller are formed is attached on the element substrate, and a head is completed.

【0041】検出方法は、内部端子14を常時ONの状
態にして外部出力端子13により測定する。
In the detection method, measurement is performed by the external output terminal 13 while the internal terminal 14 is always on.

【0042】[0042]

【表1】 表1に3つのへッドのON抵抗値測定素子11の検出
値、そしてその値によって変えた駆動条件であるパルス
幅、そしてパルス幅を変えることによって制御したヒー
タに印加されるエネルギーを示している。なお、駆動電
圧は10Vである。表1でわかるようにON抵抗値測定
素子11の検出値によりパルス幅を変えることによって
ヒータに印加されるエネルギーを一定にできることがわ
かる。このように、ヘッドに形成したON抵抗値測定素
子11からの測定結果に基づいてヘッドの駆動条件を変
えることによってヒータに印加されるエネルギーを一定
にすることができる。このことで印字性能のばらつきを
減らすことができ、歩留まり向上、電気熱変換体の早期
破断の防止による信頼性を図ることができる。
[Table 1] Table 1 shows the detection values of the ON resistance value measuring elements 11 of the three heads, the pulse width as the driving condition changed according to the values, and the energy applied to the heater controlled by changing the pulse width. I have. The driving voltage is 10V. As can be seen from Table 1, the energy applied to the heater can be made constant by changing the pulse width according to the detection value of the ON resistance value measuring element 11. Thus, the energy applied to the heater can be made constant by changing the driving conditions of the head based on the measurement result from the ON resistance value measuring element 11 formed on the head. As a result, variations in printing performance can be reduced, yield can be improved, and reliability can be improved by preventing early breakage of the electrothermal transducer.

【0043】次に、第2の実施形態例について説明す
る。
Next, a second embodiment will be described.

【0044】素子基体の作製方法及び電気熱変換体と電
極の大きさ及び抵抗値は第1の実施形態例と同じであ
る。回路図も同じであるので図示を省略する。異なる点
は測定精度(S/N比)を良くするため、ON抵抗値測
定素子11の抵抗値を第1の実施形態例の場合の30倍
にしてある。ON抵抗値のばらつきの相対値を同じにす
るために、ON抵抗素子の構成は駆動素子の構成と同じ
設計にしてある。異なる点は、ON抵抗素子のゲート長
を駆動素子のゲート長の1/30にしてある。このよう
にすると検出値はON抵抗値の30倍になり、測定精度
(S/N比)が良くなる。
The method of manufacturing the element substrate, the size and resistance of the electrothermal transducer and the electrodes are the same as those of the first embodiment. Since the circuit diagram is the same, the illustration is omitted. The difference is that the resistance value of the ON resistance value measuring element 11 is 30 times that of the first embodiment in order to improve the measurement accuracy (S / N ratio). In order to make the relative value of the variation of the ON resistance value the same, the configuration of the ON resistance element is designed to be the same as the configuration of the driving element. The difference is that the gate length of the ON resistance element is 1/30 of the gate length of the drive element. In this case, the detected value is 30 times the ON resistance value, and the measurement accuracy (S / N ratio) is improved.

【0045】検出方法は、前例と同様に内部端子14を
常時ONの状態にして外部出力端子13により測定す
る。
As for the detection method, the internal terminal 14 is always kept ON as in the previous example, and the measurement is performed by the external output terminal 13.

【0046】[0046]

【表2】 表2に、3つのへッドのON抵抗値測定素子11の検出
値、そして換算したON抵抗値そしてその値によって変
えた駆動条件であるパルス幅、そしてパルス幅を変える
ことによって制御したヒータに印加されるエネルギーを
示している。なお、駆動電圧は10Vである。表2でわ
かるようにON抵抗値測定素子11の検出値によりパル
ス幅を変えることによってヒータに印加されるエネルギ
ーを一定にでぎることがわかる。このように、ヘッドに
ON抵抗値測定素子11を形成しそれによってヘッドの
駆動条件を変えることによってヒータに印加されるエネ
ルギーを一定にでき、それによって印字性能ばらつきの
減少により歩留まり向上、電気熱変換体の早期破断がな
くなり、信頼性が向上する。
[Table 2] Table 2 shows the detected values of the ON resistance measuring elements 11 of the three heads, the converted ON resistance values, the pulse widths as the driving conditions changed according to the values, and the heaters controlled by changing the pulse widths. The applied energy is shown. The driving voltage is 10V. As can be seen from Table 2, the energy applied to the heater can be kept constant by changing the pulse width according to the detected value of the ON resistance value measuring element 11. In this manner, the energy applied to the heater can be made constant by forming the ON resistance value measuring element 11 on the head and thereby changing the driving conditions of the head, thereby improving the yield by reducing the variation in printing performance and improving the electrothermal conversion. Premature rupture of the body is eliminated and reliability is improved.

【0047】次に、第3の実施形態例について説明す
る。
Next, a third embodiment will be described.

【0048】図4は、第3の実施形態例の記録ヘッドに
用いられるON抵抗値測定素子31およびシート抵抗値
測定素子32の等価回路図である。
FIG. 4 is an equivalent circuit diagram of the ON resistance value measuring element 31 and the sheet resistance value measuring element 32 used in the recording head of the third embodiment.

【0049】素子基体の作製方法及び電気熱変換体と電
極の大きさは第1の実施形態例と同じである。ON抵抗
値測定素子31は第2の実施形態例の場合と同じであ
る。シート抵抗値測定素子31は縦横比を4対1にして
シート抵抗値の4倍の大きさにしてある。また、大きさ
を400μ×100μと大きくしてパターン形成のばら
つきの影響を少なくしている。
The method of manufacturing the element substrate and the sizes of the electrothermal transducer and the electrodes are the same as those of the first embodiment. The ON resistance value measuring element 31 is the same as in the case of the second embodiment. The sheet resistance measuring element 31 has an aspect ratio of 4: 1 and is four times the sheet resistance. In addition, the size is increased to 400 μ × 100 μ to reduce the influence of variation in pattern formation.

【0050】そして、図4で示してあるように、ON抵
抗値測定素子31とシート抵抗値測定素子32を並列に
結線してある。そして、ON抵抗値測定素子31にON
信号として、内部端子34に電気熱変換体のブロック選
択信号の2番ブロックを選択したときにON信号が入る
ように信号をつなげた。
Then, as shown in FIG. 4, an ON resistance value measuring element 31 and a sheet resistance value measuring element 32 are connected in parallel. Then, the ON resistance value measuring element 31 is turned ON.
As a signal, a signal is connected to the internal terminal 34 so that an ON signal is input when the second block of the block selection signal of the electrothermal converter is selected.

【0051】このような結線をすると、ON信号が入っ
た時すなわち内部端子34にブロック2を選択したとき
は、ON抵抗値測定素子31とシート抵抗値測定素子3
2の並列の抵抗値、OFFの時すなわちブロック2以外
を選択したときは、シート抵抗値測定素子32のみの抵
抗値が外部出力端子33にて測定される。この二つのデ
ータから、ON抵抗値、シート抵抗値が計算によって得
られる。
With this connection, when an ON signal is input, that is, when the block 2 is selected as the internal terminal 34, the ON resistance measuring element 31 and the sheet resistance measuring element 3
When the two parallel resistance values are OFF, that is, when a block other than the block 2 is selected, the resistance value of only the sheet resistance measurement element 32 is measured at the external output terminal 33. From these two data, the ON resistance value and the sheet resistance value can be obtained by calculation.

【0052】[0052]

【表3】 表3に、4つのへッドのON抵抗値測定素子31にOF
Fの時、すなわち内部端子34にブロック2以外を選択
したときの検出値すなわちシート抵抗値、ON信号が入
った時、すなわち内部端子34にブロック2を選択した
ときの検出値、そして換算したON抵抗値、そしてその
値によって変えた駆動条件であるパルス幅、そしてパル
ス幅を変えることによって制御したヒータに印加される
エネルギーを示している。なお、駆動電圧は10Vであ
る。表3でわかるようにON抵抗値測定素子31の検出
値およびシート抵抗値測定素子32測定のシート抵抗値
により、パルス幅を変えることによってヒータに印加さ
れるエネルギーを−定にできることがわかる。このよう
に、ヘッドにON抵抗値測定素子31とシート抵抗値測
定素子32とを形成しそれを結線し、その検出値により
へッドの駆動条件を変えることによってヒータに印加さ
れるエネルギーを−定にでき、それによって印字性能ば
らつきの減少により歩留まり向上、電気熱変換体の早期
破断がなくなり、信頼性が向上する。また、信号線を増
やさずに行えるのでヘッド、プリンター本体はコストア
ップしない。
[Table 3] Table 3 shows that the OF resistance measuring elements 31 of the four heads
At the time of F, that is, the detection value when the block other than the block 2 is selected as the internal terminal 34, that is, the sheet resistance value, when the ON signal is input, that is, the detection value when the block 2 is selected as the internal terminal 34, and the converted ON It shows a resistance value, a pulse width as a driving condition changed by the value, and energy applied to the heater controlled by changing the pulse width. The driving voltage is 10V. As can be seen from Table 3, the energy applied to the heater can be made constant by changing the pulse width based on the detected value of the ON resistance measuring element 31 and the sheet resistance measured by the sheet resistance measuring element 32. In this manner, the ON resistance value measuring element 31 and the sheet resistance value measuring element 32 are formed on the head, connected to each other, and the driving condition of the head is changed according to the detected value to reduce the energy applied to the heater. As a result, the yield can be improved by reducing the variation in printing performance, and the early breakage of the electrothermal converter can be eliminated, and the reliability can be improved. In addition, since it can be performed without increasing the number of signal lines, the cost of the head and the printer does not increase.

【0053】次に、第4の実施形態例について説明す
る。
Next, a fourth embodiment will be described.

【0054】図5は、第4の実施形態例内におけるON
抵抗値測定素子41、シート抵抗値測定素子42、これ
らの結線および演算回路43図である。
FIG. 5 shows ON in the fourth embodiment.
FIG. 3 is a diagram illustrating a resistance value measuring element 41, a sheet resistance value measuring element 42, a connection thereof, and an arithmetic circuit 43.

【0055】素子基体の作製方法および電気熱変換体と
電極の大きさは第1の実施形態例と同じである。ON抵
抗値測定素子41は第2の実施形態例と同じである。シ
ート抵抗値測定素子42は第3の実施形態例と同じであ
る。
The method of manufacturing the element substrate and the sizes of the electrothermal transducer and the electrodes are the same as those of the first embodiment. The ON resistance value measuring element 41 is the same as that of the second embodiment. The sheet resistance measuring element 42 is the same as in the third embodiment.

【0056】そして、図5で示してあるように、ON抵
抗値測定素子41とシート抵抗値測定素子42を並列に
結線してある。そして、ON抵抗値測定素子41にON
信号として内部端子34に電気熱変換体のブロック選択
信号の2番ブロックを選択したときにON信号が入るよ
うに信号をつなげた。
As shown in FIG. 5, an ON resistance value measuring element 41 and a sheet resistance value measuring element 42 are connected in parallel. Then, the ON resistance value measuring element 41 is turned ON.
A signal was connected to the internal terminal 34 so that an ON signal was input when the second block of the block selection signal of the electrothermal converter was selected as the signal.

【0057】さらに、この信号線を演算回路ヘとつなげ
ている。また、ON抵抗値測定素子と41シート抵抗値
測定素子42を並列に結線し抵抗値を検出する回路につ
なげている。そして、その値を演算回路ヘ送る。−方そ
の値をもとに、ROM上にあるテーブル45にしたがっ
て、ヒート信号即ちパルス幅を可変する。そして、その
ヒート信号とビット選択信号のAND46で駆動素子の
ON/OFFする。このようにヘッドの基板内にこれら
の素子を形成することによって、ヘッド外部に信号を出
す必要がなくなり、信頼性向上およびコストダウンを計
ることができた。また、これら回路の形成は駆動素子と
同時に同一基板上に形成することが可能であり、コスト
アップはしない。したがって、ヘッド、プリンタートー
タルとしての信頼性向上、コストダウンすることができ
た。
Further, this signal line is connected to an arithmetic circuit. Further, an ON resistance value measuring element and a 41 sheet resistance value measuring element 42 are connected in parallel, and are connected to a circuit for detecting a resistance value. Then, the value is sent to the arithmetic circuit. Based on the value, the heat signal, that is, the pulse width is varied according to the table 45 on the ROM. Then, the drive element is turned ON / OFF by AND 46 of the heat signal and the bit selection signal. By forming these elements in the substrate of the head in this way, it is not necessary to output a signal to the outside of the head, thereby improving reliability and reducing costs. In addition, these circuits can be formed on the same substrate at the same time as the driving elements, and the cost does not increase. Therefore, the reliability and cost of the head and the printer as a whole were improved.

【0058】以下に本発明の記録ヘッドを適用したイン
クジェット記録装置を説明する。
Hereinafter, an ink jet recording apparatus to which the recording head of the present invention is applied will be described.

【0059】図6は、本発明が適用されるインクジェッ
ト記録装置IJRAの模式的斜視図(外観図)である。
駆動モータ5013の正逆回転に連動して駆動力伝達ギ
ア5011、5009を介して回転するリードスクリュ
ー5005の螺旋溝5004に対して係合するキャリッ
ジHCはピン(不図示)を有し、矢印1、2方向に往復
移動される。5002は紙押さえ板であり、キャリッジ
移動方向にわたって紙をプラテン5000に対して押圧
する。5007、5008はフォトカプラでキャリッジ
のレバー5006のこの域での存在を確認してモータ5
013の回転方向切換等を行うためのホームポジション
検知手段である。5016は記録ヘッド前面をキャップ
するキャップ部材5022を支持する部材で、5015
はこのキャップ内を吸引する吸引手段でキャップ内開口
5023を介して記録ヘッドの吸引回復を行う。501
7はクリーニングブレードで、5019はこのブレード
を前後方向に移動可能にする部材であり、本体支持板5
018にこれらは支持されている。ブレードはこの形態
でなく周知のクリーニングブレードが本例に適用できる
ことは言うまでもない。また、5012は、吸引回復の
吸引を開始するためのレバーで、キャリッジと係合する
カム5020の移動に伴って移動し、駆動モニタからの
駆動力がクラッチ切換等の公知の伝達手段で移動制御さ
れる。
FIG. 6 is a schematic perspective view (external view) of an ink jet recording apparatus IJRA to which the present invention is applied.
The carriage HC that engages with the helical groove 5004 of the lead screw 5005 that rotates via the driving force transmission gears 5011 and 5009 in conjunction with the forward and reverse rotation of the drive motor 5013 has a pin (not shown). Reciprocated in two directions. A paper pressing plate 5002 presses the paper against the platen 5000 in the carriage movement direction. Reference numerals 5007 and 5008 denote photocouplers for confirming the presence of the carriage lever 5006 in this region and for determining the motor 5
It is a home position detecting means for performing the rotation direction switching of 013 and the like. A member 5016 supports a cap member 5022 for capping the front surface of the recording head.
The suction means for sucking the inside of the cap performs suction recovery of the recording head through the opening 5023 in the cap. 501
Numeral 7 denotes a cleaning blade, and numeral 5019 denotes a member which enables the blade to move in the front-rear direction.
018 these are supported. It goes without saying that the blade is not limited to this form, and a known cleaning blade can be applied to this embodiment. Reference numeral 5012 denotes a lever for starting suction for suction recovery, which moves with the movement of the cam 5020 which engages with the carriage, and controls the movement of the driving force from the drive monitor by a known transmission means such as clutch switching. Is done.

【0060】これらのキャッピング、クリーニング、吸
引回復は、キャリッジがホームポジション側領域に来た
ときにリードスクリュー5005の作用によってそれら
の対応位置で所望の処理が行えるように構成されている
が、周知のタイミングで所望の作動を行うようにすれ
ば、本例には何れも適用できる。上述における各構成は
単独でも複合的に見ても優れた発明であり、本発明にと
って好ましい構成例を示している。
The capping, cleaning, and suction recovery are configured such that desired operations can be performed at the corresponding positions by the action of the lead screw 5005 when the carriage comes to the home position side area. If a desired operation is performed at the timing, any of the embodiments can be applied. Each of the configurations described above is an excellent invention when viewed alone or in combination, and shows preferred configuration examples for the present invention.

【0061】なお、本装置にはインク吐出圧発生素子を
駆動するための駆動信号供給手段を有している。
This apparatus has a drive signal supply means for driving the ink ejection pressure generating element.

【0062】[0062]

【発明の効果】以上説明した通り、本発明により、駆動
素子の特性を検知する素子を基板上に設け、そこで検出
した情報によってヘッドの駆動条件を変えることによっ
て、電気熱変換体に印加されるエネルギーをヘッド間で
一定にすることができる。エネルギーがヘッド間で一定
になれば、ヘッド間で一定な印字性能が得られ、印字歩
留まりが向上する。また、早期断線も無くなり、信頼性
が向上する。
As described above, according to the present invention, the element for detecting the characteristics of the driving element is provided on the substrate, and the driving condition of the head is changed based on the detected information. Energy can be kept constant between heads. If the energy is constant between the heads, constant printing performance is obtained between the heads, and the printing yield is improved. In addition, early disconnection is eliminated, and reliability is improved.

【0063】また、駆動素子の特性を検知する素子とし
てのON抵抗値測定用素子とシート抵抗値のばらつきを
検知する素子を並列に結線し、ON抵抗値測定用素子に
ある信号、例えばブロック選択信号を与えてON抵抗値
測定用素子すなわち駆動素子をONさせたり、OFFさ
せたりする。ONのときはON抵抗値測定用素子とシー
ト抵抗値のばらつきを検知する素子の情報、OFFの時
はシート抵抗値のばらつきを検知する素子のみの情報を
検知できる。このようにすれば、外部に取り出す信号線
を1本にできるのでプリンター本体、ヘッドのコストを
アップさせずにヘッドの印字性能ばらつきの減少により
歩留まりが向上し、電気熱変換体の早期破断がなくな
り、信頼性が向上する。
Further, an element for measuring the ON resistance value as an element for detecting the characteristics of the driving element and an element for detecting the variation in the sheet resistance value are connected in parallel, and a signal in the element for measuring the ON resistance value, for example, a block selection signal A signal is applied to turn on or off the element for measuring the ON resistance, that is, the drive element. When ON, information on the ON resistance value measuring element and the element for detecting the variation in the sheet resistance value can be detected, and when OFF, information on only the element for detecting the variation in the sheet resistance value can be detected. By doing so, the number of signal lines that can be extracted to the outside can be reduced to one, so that the printing performance of the head is reduced without increasing the cost of the printer body and the head, the yield is improved, and the early breakage of the electrothermal transducer is eliminated. , Reliability is improved.

【0064】さらに、基板内にON抵抗値測定用素子と
シート抵抗値のばらつきを検知する素子を形成し、その
情報を演算処理し、駆動条件を変える素子を設けること
によって、信号線が減るのでプリンター本体、ヘッドの
コストをアップさせずヘッドの印字性能ばらつきの減少
により歩留まり向上、電気熱変換体の早期破断がなくな
り、信頼性が向上する。
Further, by forming an element for measuring the ON resistance value and an element for detecting the variation of the sheet resistance value in the substrate, performing an arithmetic operation on the information and providing an element for changing the driving conditions, the number of signal lines is reduced. Without increasing the cost of the printer body and the head, the printing performance of the head is reduced, and the yield is improved, and the early breakage of the electrothermal transducer is eliminated, thereby improving the reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の記録ヘッドの模式的斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of a recording head according to the present invention.

【図2】本発明の記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of the recording head of the present invention.

【図3】本発明のインクジェット記録ヘッドの一実施形
態例に用いられるON抵抗値測定素子の等価回路図であ
る。
FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of an ON resistance value measuring element used in an embodiment of the inkjet recording head of the present invention.

【図4】本発明の記録ヘッドの第3の実施形態例に用い
られるON抵抗値測定素子およびシート抵抗値測定素子
の等価回路図である。
FIG. 4 is an equivalent circuit diagram of an ON resistance value measuring element and a sheet resistance value measuring element used in a third embodiment of the recording head of the present invention.

【図5】本発明の記録ヘッドの第4の実施形態例に用い
られるON抵抗値測定素子、シート抵抗値測定素子、こ
れらの結線および演算回路図である。
FIG. 5 is an ON resistance value measuring element and a sheet resistance value measuring element used in a fourth embodiment of the recording head of the present invention, their connections, and an arithmetic circuit diagram.

【図6】本発明の記録装置の概要を示す模式的斜視図で
ある。
FIG. 6 is a schematic perspective view showing an outline of a recording apparatus of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11,31,41 ON抵抗値測定素子 13,33 外部出力端子 14,34 内部端子 32,42 シート抵抗値測定素子 43 演算回路 44 抵抗値測定回路 45 テーブル 46 AND回路 47 駆動素子 48 電気熱変換体 11, 31, 41 ON resistance measuring element 13, 33 External output terminal 14, 34 Internal terminal 32, 42 Sheet resistance measuring element 43 Arithmetic circuit 44 Resistance measuring circuit 45 Table 46 AND circuit 47 Driving element 48 Electrothermal converter

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 熱エネルギーを発生するための電気熱変
換体を構成する発熱抵抗層と電極層とを素子基体上に有
し、前記電気熱変換体を駆動する複数の駆動素子が同一
素子基体上に作り込まれている、被記録媒体に対して記
録を行うインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記駆動素子の特性を検知する検知素子が前記素子基体
上に作り込まれていることを特徴とするインクジェット
記録ヘッド。
An electrothermal transducer for generating thermal energy has a heating resistor layer and an electrode layer on an element substrate, and a plurality of drive elements for driving the electrothermal transducer are on the same element substrate. An ink jet recording head for performing recording on a recording medium, wherein a detecting element for detecting characteristics of the driving element is formed on the element substrate. head.
【請求項2】 液体に熱エネルギーを与えることにより
該液体中に気泡を形成させる電気熱変換対が配された熱
作用部を備え、インク吐出用の吐出口に連通してたイン
ク流路を有する、請求項1記載のインクジェット記録ヘ
ッド。
2. A method according to claim 1, further comprising the step of: providing a heat acting portion provided with an electrothermal conversion pair for forming bubbles in the liquid by applying thermal energy to the liquid, wherein the ink flow path communicates with a discharge port for discharging ink. The inkjet recording head according to claim 1, further comprising:
【請求項3】 前記駆動素子はNMOSトランジスタで
ある、請求項1記載のインクジェット記録ヘッド。
3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein said driving element is an NMOS transistor.
【請求項4】 前記駆動素子特性検知素子は、前記駆動
素子のON抵抗値測定素子である、請求項1記載のイン
クジェット記録ヘッド。
4. The ink jet recording head according to claim 1, wherein said driving element characteristic detecting element is an ON resistance value measuring element of said driving element.
【請求項5】 さらに、発熱抵抗層のシート抵抗値を測
定するシート抵抗値測定素子が、前記素子基体上に作り
込まれている、請求項1記載のインクジェット記録ヘッ
ド。
5. The ink jet recording head according to claim 1, wherein a sheet resistance value measuring element for measuring a sheet resistance value of the heating resistance layer is formed on the element substrate.
【請求項6】 前記駆動素子特性の検知とシート抵抗の
測定とが一つの端子で行えるよう、前記駆動素子特性検
知素子とシート抵抗値測定素子が前記素子基体上で結線
されている、請求項5記載のインクジェット記録ヘッ
ド。
6. The driving element characteristic detecting element and the sheet resistance value measuring element are connected on the element base so that the detecting of the driving element characteristic and the measurement of the sheet resistance can be performed with one terminal. 5. The ink jet recording head according to 5.
【請求項7】 前記駆動素子特性検知素子によって検知
した情報を演算処理して電気熱変換体の駆動条件を変え
るための手段を同一素子基体上に有する、請求項1記載
のインクジェット記録ヘッド。
7. The ink jet recording head according to claim 1, further comprising means for performing arithmetic processing on information detected by the driving element characteristic detecting element to change driving conditions of the electrothermal transducer on the same element substrate.
【請求項8】 前記両方の素子によって検知した情報を
同一基板内で演算処理して電気熱変換体の駆動条件を変
えるための手段を備えている、請求項5記載のインクジ
ェット記録ヘッド。
8. An ink jet recording head according to claim 5, further comprising means for performing arithmetic processing on the information detected by said two elements in the same substrate to change the driving condition of the electrothermal transducer.
【請求項9】 被記録媒体に対して記録を行う記録装置
であって、 請求項1または請求項2記載の記録ヘッドと、該記録ヘ
ッドによって記録がなされる被記録媒体を搬送するため
の被記録媒体搬送手段とを有する、インクジェット記録
装置。
9. A recording apparatus for performing recording on a recording medium, comprising: a recording head according to claim 1; and a recording medium for transporting a recording medium on which recording is performed by the recording head. An inkjet recording apparatus, comprising: a recording medium transport unit.
【請求項10】 被記録媒体に対して記録を行う記録方
法であって、 記録を行うための電気熱変換体と、該電気熱変換体を駆
動するための駆動素子と、駆動素子の特性を検知するた
めの駆動素子特性を検知手段とを有する記録ヘッドを備
え、 前記駆動素子特性検知素子によって駆動素子の特性を検
知し、 その結果により前記電気熱変換体の駆動条件を変える、
インクジェット記録方法。
10. A recording method for performing recording on a recording medium, comprising: an electrothermal transducer for performing recording; a driving element for driving the electrothermal transducer; and characteristics of the driving element. A recording head having a driving element characteristic detecting means for detecting, detecting a characteristic of the driving element by the driving element characteristic detecting element, and changing a driving condition of the electrothermal transducer according to a result thereof;
Ink jet recording method.
【請求項11】 前記駆動素子特性検知素子により駆動
素子のON抵抗値を検出する、請求項10記載のインク
ジェット記録方法。
11. The ink jet recording method according to claim 10, wherein the ON resistance value of the driving element is detected by the driving element characteristic detecting element.
【請求項12】 前記電気熱変換体の駆動によって、吐
出口からインクを吐出する、請求項11記載のインクジ
ェット記録方法。
12. The ink jet recording method according to claim 11, wherein the ink is ejected from an ejection port by driving the electrothermal transducer.
JP20655297A 1996-07-31 1997-07-31 Ink jet recording head, ink jet recording apparatus, and substrate for ink jet recording head Expired - Fee Related JP3372834B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20655297A JP3372834B2 (en) 1996-07-31 1997-07-31 Ink jet recording head, ink jet recording apparatus, and substrate for ink jet recording head

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20207796 1996-07-31
JP8-202077 1996-07-31
JP20655297A JP3372834B2 (en) 1996-07-31 1997-07-31 Ink jet recording head, ink jet recording apparatus, and substrate for ink jet recording head

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1095116A true JPH1095116A (en) 1998-04-14
JP3372834B2 JP3372834B2 (en) 2003-02-04

Family

ID=26513177

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20655297A Expired - Fee Related JP3372834B2 (en) 1996-07-31 1997-07-31 Ink jet recording head, ink jet recording apparatus, and substrate for ink jet recording head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3372834B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6523922B2 (en) 2000-04-03 2003-02-25 Canon Kabushiki Kaisha Printhead as well as printing apparatus comprising such printhead
US6582045B2 (en) 2001-04-27 2003-06-24 Canon Kabushiki Kaisha Printing apparatus and printing control method
US7841685B2 (en) 2006-06-27 2010-11-30 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Printing apparatus and driver IC having a dummy drive circuit

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6523922B2 (en) 2000-04-03 2003-02-25 Canon Kabushiki Kaisha Printhead as well as printing apparatus comprising such printhead
US6582045B2 (en) 2001-04-27 2003-06-24 Canon Kabushiki Kaisha Printing apparatus and printing control method
US7841685B2 (en) 2006-06-27 2010-11-30 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Printing apparatus and driver IC having a dummy drive circuit

Also Published As

Publication number Publication date
JP3372834B2 (en) 2003-02-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3143549B2 (en) Substrate for thermal recording head, inkjet recording head using the substrate, inkjet cartridge, inkjet recording apparatus, and method of driving recording head
KR100653795B1 (en) Element board for printhead, printhead and printhead control method
US8287082B2 (en) Method of detecting discharging state of inkjet recording head
EP0376314A2 (en) A liquid jet recording apparatus
JP5213367B2 (en) Inkjet recording head
US8197021B2 (en) Recording head driving method and recording apparatus
KR0172194B1 (en) Ink jet recording apparatus
EP0822072B1 (en) Recording head and recording method
KR100435011B1 (en) Printing apparatus and printing control method
JP2675163B2 (en) Ink remaining amount detecting device, ink jet head cartridge having the remaining ink amount detecting device, and ink jet recording device equipped with the cartridge
JPH02165954A (en) Ink jet recorder and recording head mounted in the same recorder
JPH1095116A (en) Ink jet recording head, ink jet recording device, and ink jet receding method
JP2009262510A (en) Board for inkjet head, inkjet head, and inkjet recording apparatus equipped with the inkjet head
JP2003145765A (en) Recorder and its discharge method
JPH1034971A (en) Mechanism for detecting ink in liquid chamber of ink jet recorder and ink jet recorder mounting that mechanism
JP4266569B2 (en) Recording apparatus and recording control method for recording apparatus
JP3998239B2 (en) Inkjet head substrate, inkjet head, and inkjet recording apparatus using the inkjet head
JP4974664B2 (en) RECORDING HEAD SUBSTRATE, RECORDING HEAD OR HEAD CARTRIDGE USING THE SUBSTRATE, AND RECORDING DEVICE USING THE RECORDING HEAD
JP4471357B2 (en) Liquid discharge head and liquid discharge apparatus
JP2007008084A (en) Substrate for liquid discharge, its manufacturing method, and liquid discharge apparatus
JP2004050547A (en) Basic body for ejecting liquid, recording head, recorder, and recording method
JP2004009491A (en) Ink state sensing mechanism
JP3441915B2 (en) Recording device
JP4261874B2 (en) Recording head and recording apparatus
JP2644019B2 (en) Ink jet recording device

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071122

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081122

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081122

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091122

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111122

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121122

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131122

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees