JPH1074313A - Magnetic recording medium - Google Patents
Magnetic recording mediumInfo
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- JPH1074313A JPH1074313A JP24711896A JP24711896A JPH1074313A JP H1074313 A JPH1074313 A JP H1074313A JP 24711896 A JP24711896 A JP 24711896A JP 24711896 A JP24711896 A JP 24711896A JP H1074313 A JPH1074313 A JP H1074313A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ＭＲ（磁気抵抗
型）ヘッドを用いて再生するのに好適な磁気ディスク、
テープ等の磁気記録媒体に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk suitable for reproduction using an MR (magnetoresistive) head,
The present invention relates to a magnetic recording medium such as a tape.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ここ数年、磁気記録再生装置の高密度化
は飛躍的に達成されている。この高密度化には、ＭＲ
（磁気抵抗型）ヘッドの使用が大きく貢献している。一
方、磁気記録媒体としては金属薄膜系の磁気記録層を有
するものが主流になっている。そして、金属薄膜系の磁
気記録層を有する磁気記録媒体の多くは、保護膜として
アモルファスカーボン［ＵＳＰ Ｒｅ．３２，４６４
１]や、フッソ系潤滑剤が積層されている。ところが、
磁気記録においては、ヘッドと磁性層との間隔は小さい
ほど高密度化に有利であるが、通常の厚さが１０ｎｍ以
上もある保護膜があるとその分だけヘッドと磁性層との
間隔が大きくなるので、更なる高密度化を目指すには保
護膜の存在は不利である。2. Description of the Related Art In recent years, the density of a magnetic recording / reproducing apparatus has been dramatically increased. This high density requires MR
The use of (magnetoresistive) heads has greatly contributed. On the other hand, a magnetic recording medium having a magnetic recording layer of a metal thin film type is mainly used. Many magnetic recording media having a metal thin-film-based magnetic recording layer use amorphous carbon [USP Re. 32,464
1] and a fluorine-based lubricant. However,
In magnetic recording, the smaller the distance between the head and the magnetic layer is, the more advantageous in increasing the density. However, if there is a protective film having a normal thickness of 10 nm or more, the distance between the head and the magnetic layer is increased accordingly. Therefore, the existence of the protective film is disadvantageous in aiming for further higher density.
【０００３】厚い保護膜を必要としない磁気記録媒体と
して、本発明者は、特願平７−２１９６６８号（平成７
年８月４日出願）にて、磁性層にＦｅ（Ｃｏ）−ＳｉＯ
2グラニュラー媒体を用いたものを提案した。また、特
公平７−６０７６８号には、磁性層として、酸化鉄媒体
を使用したものが開示されている。これらの磁気記録媒
体では磁気記録層自体の硬度が高いために保護膜が不要
となっている。したがって、この保護膜を必要としない
磁気記録媒体とＭＲヘッドとを組み合わせることによ
り、更なる高密度記録を達成することができる可能性が
ある。As a magnetic recording medium that does not require a thick protective film, the present inventor has disclosed in Japanese Patent Application No. 7-219668 (1995).
(Filed on August 4, 2008), the magnetic layer was made of Fe (Co) -SiO
The one using two granular media was proposed. Japanese Patent Publication No. 7-60768 discloses a magnetic layer using an iron oxide medium. In these magnetic recording media, a protective film is not required because the hardness of the magnetic recording layer itself is high. Therefore, there is a possibility that further high-density recording can be achieved by combining a magnetic recording medium that does not require this protective film and an MR head.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ＭＲヘッドはその構造
から、静電破壊を起こしやすいという欠点を持ってい
る。金属薄膜系磁気記録層上に保護膜として厚さ１０ｎ
ｍ以上のアモルファスカーボンを成膜した磁気記録媒体
では、媒体表面抵抗が低いために静電破壊はほとんど問
題とならないが、Ｆｅ（Ｃｏ）−ＳｉＯ2磁気記録層を
有する磁気記録媒体や酸化鉄磁気記録層を有する磁気記
録媒体は、媒体表面抵抗が高いために媒体表面に静電気
が蓄積しやすく、この媒体上に蓄積した静電気がＭＲヘ
ッドを破壊してしまうという問題点があった。The structure of the MR head has a drawback that it is liable to cause electrostatic breakdown due to its structure. 10n thick as protective film on metal thin film magnetic recording layer
In the case of a magnetic recording medium on which amorphous carbon having a thickness of m or more is formed, electrostatic breakdown is hardly a problem because the medium surface resistance is low. However, a magnetic recording medium having an Fe (Co) —SiO 2 magnetic recording layer or an iron oxide magnetic A magnetic recording medium having a recording layer has a problem that static electricity easily accumulates on the medium surface due to high medium surface resistance, and the static electricity accumulated on the medium destroys the MR head.
【０００５】そこで本発明は、この問題点を解決するた
めに、絶縁性の磁気記録層上に導電性を付与する目的で
１０ｎｍ以下のアモルファスカーボンを積層することに
より、ＭＲヘッドを使用して高密度記録が達成できる磁
気記録媒体を提供することを目的とする。In order to solve this problem, the present invention uses an MR head by laminating amorphous carbon of 10 nm or less on an insulating magnetic recording layer for the purpose of imparting conductivity. An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium capable of achieving density recording.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の手段として、非磁性基体上に表面抵抗が２ＭΩ以上の
絶縁性磁気記録層が形成され、この絶縁性磁気記録層上
に厚さ１０ｎｍ以下の導電性を有するアモルファスカー
ボン層が形成されていることを特徴とする磁気記録媒体
を提供しようとするものである。As a means for achieving the above object, an insulating magnetic recording layer having a surface resistance of 2 MΩ or more is formed on a non-magnetic substrate, and a 10 nm thick layer is formed on the insulating magnetic recording layer. It is an object of the present invention to provide a magnetic recording medium characterized in that an amorphous carbon layer having the following conductivity is formed.
【０００７】[0007]
【発明の実施の形態】本発明の磁気記録媒体は、図１に
示すように、非磁性ガラス基板１等の非磁性基体上に表
面抵抗が２ＭΩ以上の絶縁性磁気記録層（図では、グラ
ニュラー磁気記録層２ａ）が形成され、この絶縁性磁気
記録層上に厚さ１０ｎｍ以下の導電性を有するアモルフ
ァスカーボン層４が形成されている。そして、このアモ
ルファスカーボン層４により、導電性の小さい磁気記録
層を有する磁気記録媒体でも、ＭＲヘッドを用いること
ができ、高密度記録が可能になる。また、媒体表面に膜
厚１〜２ｎｍのフッ素系潤滑剤を成膜することにより、
ＭＲヘッドを使用したときの潤滑性を良くすることがで
きる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As shown in FIG. 1, a magnetic recording medium according to the present invention has an insulating magnetic recording layer having a surface resistance of 2 MΩ or more on a non-magnetic substrate such as a non-magnetic glass substrate 1 (in FIG. The magnetic recording layer 2a) is formed, and the conductive amorphous carbon layer 4 having a thickness of 10 nm or less is formed on the insulating magnetic recording layer. The amorphous carbon layer 4 allows an MR head to be used even on a magnetic recording medium having a magnetic recording layer with low conductivity, and enables high-density recording. Also, by forming a fluorine-based lubricant film having a thickness of 1 to 2 nm on the medium surface,
Lubricity when the MR head is used can be improved.
【０００８】[0008]
<実施例１>まず、本発明の磁気記録媒体の第１の実施例
を図面と共に説明する。図１は、本発明の磁気記録媒体
の第１の実施例を示す概略断面図である。同図に示す磁
気記録媒体は、中央部に図示しない装置側の装着台挿入
用の孔が形成された円盤型のディスク形状になってい
る。Embodiment 1 First, a first embodiment of the magnetic recording medium of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic sectional view showing a first embodiment of the magnetic recording medium of the present invention. The magnetic recording medium shown in the figure has a disk shape in which a hole for inserting a mounting table (not shown) is formed in the center of the magnetic recording medium.
【０００９】この磁気記録媒体は、非磁性ガラス基板１
上にＦｅＣｏ−ＳｉＯ2グラニュラー磁気記録層２ａが
設けられている。このグラニュラー磁気記録層２ａは、
本発明者が先に提案した特願平７−２１９６６８号にも
とづいてＲＦ（高周波）スパッタリング装置により成膜
されたものである。すなわち、グラニュラー媒体の組成
が（ＦｅＣｏ21at％）：ＳｉＯ2＝１：１になるように
ＳｉＯ2ターゲット上にＦｅおよびＣｏチップを配置し
た複合ターゲットを用い、以下の条件に基づいて成膜さ
れたものである。This magnetic recording medium is composed of a non-magnetic glass substrate 1
FeCo-SiO 2 granular magnetic recording layer 2a is provided in the upper. This granular magnetic recording layer 2a
The film was formed by an RF (high frequency) sputtering apparatus based on Japanese Patent Application No. 7-219668 previously proposed by the present inventors. That is, a film is formed on the basis of the following conditions using a composite target in which Fe and Co chips are arranged on an SiO 2 target so that the composition of the granular medium is (FeCo 21 at%): SiO 2 = 1: 1. It is.
【００１０】ＲＦパワー：３００Ｗ ＲＦバイアスパワー：１００Ｗ Ｎｅガス圧力：１Ｐａ 基板加熱温度：３００℃ 膜厚：４０ｎｍRF power: 300 W RF bias power: 100 W Ne gas pressure: 1 Pa Substrate heating temperature: 300 ° C. Film thickness: 40 nm
【００１１】その上には、膜厚が５ｎｍのアモルファス
カーボン層４が設けられている。アモルファスカーボン
層４は、ＤＣマグネトロンスパッタリング装置でターゲ
ットにグラファイトを用いて、以下の条件に基づいて成
膜されたものである。An amorphous carbon layer 4 having a thickness of 5 nm is provided thereon. The amorphous carbon layer 4 is formed by a DC magnetron sputtering apparatus using graphite as a target under the following conditions.
【００１２】ＤＣパワー：３ｋＷ Ａｒガス圧力：０．５Ｐａ 基板加熱温度：２００℃DC power: 3 kW Ar gas pressure: 0.5 Pa Substrate heating temperature: 200 ° C.
【００１３】さらにその上には、ＭＲヘッドとの潤滑性
を良くするために厚さ１〜２ｎｍのフッソ系潤滑層３が
成膜されている。この磁気記録媒体に磁気誘導型ヘッド
で記録した後に、ＭＲヘッドでの再生を試みた。その結
果、ＭＲヘッドは静電破壊を起こさなかった。なお、こ
こで成膜したアモルファスカーボン層４は保護膜として
作用するものではなく、導電性を付与するために設けら
れている。Further, a fluorine-based lubricating layer 3 having a thickness of 1 to 2 nm is formed thereon to improve lubrication with the MR head. After recording on this magnetic recording medium with a magnetic induction type head, reproduction with an MR head was attempted. As a result, the MR head did not cause electrostatic breakdown. Note that the amorphous carbon layer 4 formed here does not act as a protective film, but is provided to impart conductivity.
【００１４】＜実施例２＞図２は本発明の磁気記録媒体
の第２の実施例を示す概略断面図である。本実施例は、
実施例１のグラニュラー磁気記録層２ａの代わりに酸化
鉄磁気記録層２ｂを設けたものである。そして、アモル
ファスカーボン層４の成膜条件を含む他の条件は、実施
例１と同様である。この磁気記録媒体に磁気誘導型ヘッ
ドで記録した後に、ＭＲヘッドでの再生を試みた。その
結果、実施例１と同様にＭＲヘッドは静電破壊を起こさ
なかった。<Embodiment 2> FIG. 2 is a schematic sectional view showing a second embodiment of the magnetic recording medium of the present invention. In this embodiment,
In this embodiment, an iron oxide magnetic recording layer 2b is provided instead of the granular magnetic recording layer 2a of the first embodiment. Other conditions including the conditions for forming the amorphous carbon layer 4 are the same as those in the first embodiment. After recording on this magnetic recording medium with a magnetic induction type head, reproduction with an MR head was attempted. As a result, as in Example 1, the MR head did not cause electrostatic breakdown.
【００１５】＜比較例１＞図３は比較例１とする磁気記
録媒体の概略縦断面図である。この磁気記録媒体は、非
磁性ガラス基板１上にＦｅＣｏ−ＳｉＯ2グラニュラー
磁気記録層２ａが設けられており、その上に直接フッソ
系潤滑層３が設けられている。なお、このグラニュラー
磁気記録層２ａは、上記した実施例１と同様にして成膜
されている。そして、グラニュラー磁気記録層２ａは表
面抵抗が高いため、この磁気記録媒体の表面抵抗も高く
なっている。この磁気記録媒体に磁気誘導型ヘッドで記
録した後に、ＭＲヘッドでの再生を試みた。その結果、
ＭＲヘッドは静電破壊を起こした。<Comparative Example 1> FIG. 3 is a schematic longitudinal sectional view of a magnetic recording medium of Comparative Example 1. In this magnetic recording medium, a FeCo—SiO 2 granular magnetic recording layer 2 a is provided on a non-magnetic glass substrate 1, and a fluorine-based lubricating layer 3 is provided directly thereon. The granular magnetic recording layer 2a is formed in the same manner as in the first embodiment. Since the granular magnetic recording layer 2a has a high surface resistance, the surface resistance of the magnetic recording medium is also high. After recording on this magnetic recording medium with a magnetic induction type head, reproduction with an MR head was attempted. as a result,
The MR head suffered electrostatic breakdown.
【００１６】＜比較例２＞図４は比較例２の概略縦断面
図である。この磁気記録媒体は、非磁性ガラス基板１上
に酸化鉄磁気記録層２ｂが設けられており、その上に直
接フッソ系潤滑層３が設けられている。なお、この酸化
鉄磁気記録層２ｂは、上記した実施例２と同様にして成
膜されている。そして、この酸化鉄磁気記録層２ｂも表
面抵抗が高いため、この磁気記録媒体の表面抵抗も高く
なっている。この磁気記録媒体に磁気誘導型ヘッドで記
録した後に、ＭＲヘッドでの再生を試みた。その結果、
比較例１と同様にＭＲヘッドは静電破壊を起こした。<Comparative Example 2> FIG. 4 is a schematic longitudinal sectional view of Comparative Example 2. In this magnetic recording medium, an iron oxide magnetic recording layer 2b is provided on a nonmagnetic glass substrate 1, and a fluorine-based lubricating layer 3 is provided directly thereon. The iron oxide magnetic recording layer 2b is formed in the same manner as in Example 2 described above. Since the surface resistance of the iron oxide magnetic recording layer 2b is also high, the surface resistance of the magnetic recording medium is also high. After recording on this magnetic recording medium with a magnetic induction type head, reproduction with an MR head was attempted. as a result,
As in Comparative Example 1, the MR head suffered electrostatic breakdown.
【００１７】[0017]
【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、表面抵抗が２
ＭΩ以上の絶縁性磁気記録層上に厚さ１０ｎｍ以下の導
電性を有するアモルファスカーボン層を形成しているの
で、表面抵抗の大きい磁気記録層を有する磁気記録媒体
において、保護膜を形成した磁気記録媒体よりも磁気ヘ
ッドとの距離を小さくした状態で、表面抵抗を小さくす
ることができる。その結果、ＭＲヘッドの静電破壊を防
止することができるので、ＭＲヘッドを使用してより高
密度の記録が可能な磁気記録媒体を製造することができ
るという効果がある。The magnetic recording medium of the present invention has a surface resistance of 2
Since a conductive amorphous carbon layer having a thickness of 10 nm or less is formed on an insulating magnetic recording layer of MΩ or more, a magnetic recording medium having a magnetic recording layer with a large surface resistance has a protective film formed thereon. The surface resistance can be reduced in a state where the distance from the magnetic head is shorter than that of the medium. As a result, the electrostatic breakdown of the MR head can be prevented, so that there is an effect that a magnetic recording medium capable of recording at higher density can be manufactured using the MR head.
【図１】本発明の磁気記録媒体の第１の実施例を示す概
略縦断面図である。FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view showing a first embodiment of a magnetic recording medium according to the present invention.
【図２】本発明の磁気記録媒体の第２の実施例を示す概
略縦断面図である。FIG. 2 is a schematic longitudinal sectional view showing a second embodiment of the magnetic recording medium of the present invention.
【図３】比較例１を示す概略縦断面図である。FIG. 3 is a schematic longitudinal sectional view showing Comparative Example 1.
【図４】比較例２を示す概略縦断面図である。FIG. 4 is a schematic longitudinal sectional view showing Comparative Example 2.
１ 非磁性ガラス基板（非磁性基体） ２ａ グラニュラー磁気記録層（絶縁性磁気記録層） ２ｂ 酸化鉄磁気記録層（絶縁性磁気記録層） ３ フッ素系潤滑剤層 ４ アモルファスカーボン層 Reference Signs List 1 nonmagnetic glass substrate (nonmagnetic substrate) 2a granular magnetic recording layer (insulating magnetic recording layer) 2b iron oxide magnetic recording layer (insulating magnetic recording layer) 3 fluorine-based lubricant layer 4 amorphous carbon layer
Claims (4)
縁性磁気記録層が形成され、この絶縁性磁気記録層上に
厚さ１０ｎｍ以下の導電性を有するアモルファスカーボ
ン層が形成されていることを特徴とする磁気記録媒体。An insulating magnetic recording layer having a surface resistance of 2 MΩ or more is formed on a non-magnetic substrate, and a conductive amorphous carbon layer having a thickness of 10 nm or less is formed on the insulating magnetic recording layer. A magnetic recording medium characterized by the above-mentioned.
記絶縁性磁気記録層としてＦｅ（Ｃｏ）−ＳｉＯ2グラ
ニュラー層を用いたことを特徴とする磁気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein an Fe (Co) —SiO 2 granular layer is used as said insulating magnetic recording layer.
記絶縁性磁気記録層として酸化鉄層を用いたことを特徴
とする磁気記録媒体。3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein an iron oxide layer is used as said insulating magnetic recording layer.
磁気記録媒体において、前記アモルファスカーボン上に
フッソ系潤滑剤を成膜したことを特徴とする磁気記録媒
体。4. A magnetic recording medium according to claim 1, wherein a fluorine-based lubricant is formed on said amorphous carbon.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24711896A JPH1074313A (en) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24711896A JPH1074313A (en) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | Magnetic recording medium |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1074313A true JPH1074313A (en) | 1998-03-17 |
Family
ID=17158708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24711896A Pending JPH1074313A (en) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | Magnetic recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1074313A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1327459C (en) * | 2004-11-12 | 2007-07-18 | 清华大学 | Magnetic particle film having controllable magnetic anisotropy and preparing method thereof |
-
1996
- 1996-08-29 JP JP24711896A patent/JPH1074313A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1327459C (en) * | 2004-11-12 | 2007-07-18 | 清华大学 | Magnetic particle film having controllable magnetic anisotropy and preparing method thereof |
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