JPH1072229A - Apparatus for producing optical fiber preform - Google Patents
Apparatus for producing optical fiber preformInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、軸心の回りに回転
しつつあるターゲットの外周に複数のバーナを対向さ
せ、これらバーナの火炎中で形成したガラス微粒子をタ
ーゲットの外周に堆積させて多孔質の光ファイバ母材を
製造する光ファイバ母材製造装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method in which a plurality of burners are opposed to the outer periphery of a target rotating around an axis, and glass fine particles formed in the flame of these burners are deposited on the outer periphery of the target to form a porous body. The present invention relates to an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a quality optical fiber preform.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のこの種の光ファイバ母材製造装置
は、図５に示すように、コアプリフォームよりなるター
ゲット１をその軸心の回りに回転させるターゲット支持
機構２を備えている。該ターゲット支持機構２はＵ型フ
レーム３を有し、該Ｕ型フレーム３の両対向端にはター
ゲット１を支持するチャック４ａ，４ｂが回転自在に支
持されている。一方のチャック４ａはモータ５で回転さ
れるようになっており、このチャック４ａの回転により
ターゲット１がその軸心の回りに回転されるようになっ
ている。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 5, a conventional optical fiber preform manufacturing apparatus of this type includes a target support mechanism 2 for rotating a target 1 made of core preform around its axis. The target support mechanism 2 has a U-shaped frame 3, and chucks 4 a and 4 b for supporting the target 1 are rotatably supported at opposite ends of the U-shaped frame 3. One chuck 4a is rotated by a motor 5, and the rotation of the chuck 4a causes the target 1 to rotate around its axis.
【０００３】このようにして回転するターゲット１の外
周には、複数のバーナ６ａ，６ｂが一方の側から対向さ
れている。[0003] A plurality of burners 6a and 6b are opposed to the outer periphery of the target 1 rotating in this manner from one side.
【０００４】これらバーナ６ａ，６ｂは、各トラバース
機構７ａ，７ｂによってターゲット１の長手方向に沿っ
てそれぞれトラバースされるようになっている。各トラ
バース機構７ａ，７ｂは、ターゲット１に対して平行す
る向きでそれぞれ配置されたスクリュー軸８ａ，８ｂ
と、これらスクリュー軸８ａ，８ｂを回転自在に支持す
るＵ型フレーム９ａ，９ｂと、各スクリュー軸８ａ，８
ｂを回転するモータ１０ａ，１０ｂと、対応するバーナ
６ａ，６ｂを支持した状態で各スクリュー軸８ａ，８ｂ
に螺合されていてこれらスクリュー軸８ａ，８ｂの回転
により各バーナ６ａ，６ｂをターゲット１の長手方向に
沿ってそれぞれトラバースさせるトラバースブロック１
１ａ，１１ｂとを有して構成されている。[0004] The burners 6a, 6b are traversed along the longitudinal direction of the target 1 by traverse mechanisms 7a, 7b, respectively. Each traverse mechanism 7a, 7b has a screw shaft 8a, 8b arranged in a direction parallel to the target 1.
U-shaped frames 9a, 9b rotatably supporting the screw shafts 8a, 8b;
b and the corresponding screw shafts 8a, 8b while supporting the corresponding burners 6a, 6b.
And a traverse block 1 that traverses each burner 6a, 6b along the longitudinal direction of the target 1 by rotating the screw shafts 8a, 8b.
1a and 11b.
【０００５】各バーナ６ａ，６ｂには、ガス供給装置１
２からフレキシブルなガス供給管１３ａ，１３ｂを経て
原料ガス，可燃ガス，助燃ガス等が供給されるようにな
っている。[0005] Each of the burners 6a and 6b has a gas supply device 1
The raw material gas, combustible gas, auxiliary gas, and the like are supplied from 2 through flexible gas supply pipes 13a and 13b.
【０００６】このような光ファイバ母材製造装置では、
ターゲット支持機構２により軸心の回りに回転させつつ
あるターゲット１の外周に各バーナ６ａ，６ｂを対向さ
せ、これらバーナ６ａ，６ｂの火炎中で形成したガラス
微粒子をターゲット１の外周に堆積させて多孔質の光フ
ァイバ母材１４を製造する。In such an optical fiber preform manufacturing apparatus,
Each burner 6a, 6b is made to face the outer periphery of the target 1 being rotated around the axis by the target support mechanism 2, and the glass fine particles formed in the flame of the burners 6a, 6b are deposited on the outer periphery of the target 1. A porous optical fiber preform 14 is manufactured.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の光ファイバ母材製造装置では、トラバース機
構７ａ，７ｂの可動部から出るダストが多孔質の光ファ
イバ母材１４内に混入され、光ファイバ母材１４の品質
が低下する問題点があった。However, in such a conventional optical fiber preform manufacturing apparatus, dust coming out of the movable portions of the traverse mechanisms 7a and 7b is mixed into the porous optical fiber preform 14, and the There was a problem that the quality of the fiber preform 14 deteriorated.
【０００８】また、バーナ６ａ，６ｂから噴出される塩
素系ガスでトラバース機構７ａ，７ｂ等が腐食される問
題点があった。There is also a problem that the traverse mechanisms 7a, 7b and the like are corroded by chlorine-based gas ejected from the burners 6a, 6b.
【０００９】特に、これらの影響は、光ファイバ母材１
４の外径が太くなり、バーナの個数が増え、トラバース
機構の個数が増えるにつれてますます大きくなる問題点
があった。In particular, these effects are caused by the optical fiber preform 1
There is a problem in that the outer diameter of No. 4 becomes larger, the number of burners increases, and the number of traverse mechanisms increases.
【００１０】本発明の目的は、バーナの個数が増え、ト
ラバース機構の個数が増えても、相互に悪影響を及ぼさ
ない光ファイバ母材製造装置を提供することにある。It is an object of the present invention to provide an optical fiber preform manufacturing apparatus which does not adversely affect each other even if the number of burners increases and the number of traverse mechanisms increases.
【００１１】本発明の他の目的は、各バーナと各トラバ
ース機構とを独立した部屋に収容した際に相互の部屋を
仕切る隔壁に設けられていて各トラバース機構のバーナ
支持体を貫通させるトラバース用スリットを利用して反
応室とトラバース機構収容室との相互の悪影響防止と各
部屋に対する清浄空気の供給とを行える光ファイバ母材
製造装置を提供することにある。Another object of the present invention is to provide a traverse mechanism which is provided on a partition wall for partitioning each burner and each traverse mechanism in an independent room and penetrates a burner support of each traverse mechanism. An object of the present invention is to provide an optical fiber preform manufacturing apparatus capable of preventing a mutual adverse effect between a reaction chamber and a traverse mechanism accommodating chamber using a slit and supplying clean air to each chamber.
【００１２】本発明の他の目的は、反応室とトラバース
機構収容室とのガスの流通による悪影響の防止を容易に
確実に行える光ファイバ母材製造装置を提供することに
ある。Another object of the present invention is to provide an optical fiber preform manufacturing apparatus capable of easily and surely preventing an adverse effect due to gas flow between a reaction chamber and a traverse mechanism accommodating chamber.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明は、軸心の回りに
回転しつつあるターゲットの外周に複数のバーナを対向
させ、これらバーナを各トラバース機構によってターゲ
ットの長手方向に沿ってそれぞれトラバースさせてター
ゲットの外周に各バーナの火炎中で形成したガラス微粒
子を堆積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光フ
ァイバ母材製造装置を改良するものである。According to the present invention, a plurality of burners are opposed to the outer periphery of a target rotating around an axis, and these burners are traversed by respective traverse mechanisms along the longitudinal direction of the target. An optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass fine particles formed in the flame of each burner on the outer periphery of a target.
【００１４】本発明に係る光ファイバ母材製造装置にお
いては、ターゲットと各バーナとを収容する反応室から
独立させて各トラバース機構を収容するトラバース機構
収容室が設けられていることを特徴とする。In the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention, a traverse mechanism accommodating chamber for accommodating each traverse mechanism is provided independently of a reaction chamber accommodating the target and each burner. .
【００１５】このようにターゲットと各バーナとを反応
室内に収容し、各トラバース機構を反応室から独立した
トラバース機構収容室内に収容すると、バーナの個数が
増え、トラバース機構の個数が増えても、各部屋が独立
しているので相互に悪影響を及ぼさないようになる。As described above, when the target and each burner are housed in the reaction chamber and each traverse mechanism is housed in the traverse mechanism housing chamber independent of the reaction chamber, the number of burners increases and even if the number of traverse mechanisms increases. Each room is independent and does not adversely affect each other.
【００１６】従って、光ファイバ母材の外径の大径化
を、光ファイバ母材の品質を低下させないで容易に行う
ことができる。Accordingly, the outer diameter of the optical fiber preform can be easily increased without deteriorating the quality of the optical fiber preform.
【００１７】このような光ファイバ母材製造装置の具体
化は、ターゲットを収容する反応室から独立させてトラ
バース機構を収容するトラバース機構収容室を設け、反
応室内で各バーナはターゲットの外周に対して一方側か
ら対向させ、反応室には各バーナが配置されている側に
対してターゲットを間にして反対側に反応室用排気ダク
トを接続し、反応室を形成する反応容器とトラバース機
構収容室を形成する隔壁都の対向部分には各トラバース
機構がトラバースするバーナの支持体であるバーナ支持
体を貫通させるためのトラバース用スリットをトラバー
ス方向に沿ってそれぞれ設け、各トラバース用スリット
の箇所には清浄化された空気を吹出してこの空気で該ス
リットを仕切ると共に反応室とトラバース機構収容室と
に供給する空気吹出し口をそれぞれ設け、トラバース機
構収容室にはトラバース機構収容室用排気ダクトを接続
することにより行うことができる。In an embodiment of such an optical fiber preform manufacturing apparatus, a traverse mechanism accommodating chamber for accommodating a traverse mechanism is provided independently of a reaction chamber accommodating a target. The reaction chamber is connected to the reaction chamber exhaust duct on the opposite side with the target between the side where each burner is located, and the reaction chamber and the traverse mechanism are housed in the reaction chamber. Traverse slits are provided along the traverse direction to penetrate the burner support which is the support of the burner which each traverse mechanism traverses in the opposing portion of the partition wall forming the chamber, and at each traverse slit location. Blows the purified air to separate the slit with the air and supply the air to the reaction chamber and the traverse mechanism accommodating chamber. And providing a mouth, respectively, the traverse mechanism housing chamber can be done by connecting an exhaust duct traverse mechanism housing chamber.
【００１８】このようにターゲットと各バーナとを反応
室内に収容し、各トラバース機構を反応室から独立した
トラバース機構収容室内に収容すると、前述したように
バーナの個数が増え、トラバース機構の個数が増えて
も、各部屋が独立しているので相互に悪影響を及ぼさな
いようになる。As described above, when the target and each burner are housed in the reaction chamber and each traverse mechanism is housed in the traverse mechanism housing chamber independent of the reaction chamber, the number of burners increases and the number of traverse mechanisms increases as described above. Even if it increases, each room will be independent and will not adversely affect each other.
【００１９】特に、トラバース用スリットの箇所に空気
吹出し口を設け、該空気吹出し口から清浄化された空気
を吹出してこの空気で該スリットを仕切ると共に反応室
とトラバース機構収容室とに該空気を供給すると、トラ
バース用スリットがあってもエアカーテン作用により反
応室とトラバース機構収容室との空気が相互に流通する
ことがなくなり、またこの清浄な吹出し空気を利用して
反応室とトラバース機構収容室とに清浄な空気を供給す
ることができる。In particular, an air outlet is provided at the position of the traverse slit, and purified air is blown from the air outlet to partition the slit with the air and to supply the air to the reaction chamber and the traverse mechanism accommodating chamber. When supplied, even if there is a traverse slit, the air between the reaction chamber and the traverse mechanism accommodating chamber does not circulate mutually due to the air curtain action, and the reaction chamber and the traverse mechanism accommodating chamber are utilized by using the clean blown air. And clean air can be supplied.
【００２０】このような光ファイバ母材製造装置では、
大気圧をＰ0 、空気吹出し口の吹出し圧力をＰ1 、トラ
バース機構収容室内の圧力をＰ2 、反応室内の圧力をＰ
3 、各排気ダクトの排気圧をＰ4 としたとき、これらの
圧力関係がＰ0 ＞Ｐ1 ＞Ｐ2＞Ｐ3 ＞Ｐ4 となるように
設定することが好ましい。In such an optical fiber preform manufacturing apparatus,
The atmospheric pressure is P0, the air pressure at the air outlet is P1, the pressure in the traverse mechanism housing chamber is P2, and the pressure in the reaction chamber is P2.
3. When the exhaust pressure of each exhaust duct is P4, it is preferable to set such a relationship that these pressures satisfy P0>P1>P2>P3> P4.
【００２１】このような圧力に設定すると、空気吹出し
口から反応室内とトラバース機構収容室内とに支障なく
清浄な空気を供給することができると共に反応室内のガ
スがトラバース機構収容室内に漏れるのを防止でき、且
つ反応室内やトラバース機構収容室内のガスを良好に各
排気ダクトに排気させることができる。When the pressure is set to such a value, clean air can be supplied from the air outlet into the reaction chamber and the traverse mechanism accommodating chamber without any trouble, and gas in the reaction chamber is prevented from leaking into the traverse mechanism accommodating chamber. The gas in the reaction chamber and the traverse mechanism accommodating chamber can be satisfactorily exhausted to each exhaust duct.
【００２２】[0022]
【発明の実施の形態】図１乃至図３は、本発明に係る光
ファイバ母材製造装置における実施の形態の第１例を示
したものである。1 to 3 show a first embodiment of an optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention.
【００２３】本例の光ファイバ母材製造装置において
は、従来の200 〜400 kmの光ファイバ母材より大サイズ
の1500kmの光ファイバ母材を、３本のバーナ６ａ，６
ｂ，６ｃと、これらバーナ６ａ〜６ｃを個々にトラバー
スする３つのトラバース機構７ａ，７ｂ，７ｃとを用い
て製造する縦型の装置に適用したものである。In the optical fiber preform manufacturing apparatus of this embodiment, an optical fiber preform of 1500 km, which is larger than the conventional optical fiber preform of 200 to 400 km, is provided with three burners 6a and 6b.
The present invention is applied to a vertical device manufactured using b, 6c and three traverse mechanisms 7a, 7b, 7c for individually traversing the burners 6a to 6c.
【００２４】この光ファイバ母材製造装置においては、
ターゲット１と各バーナ６ａ〜６ｃとを収容する反応室
１５が反応容器１６により縦向きに形成されている。In this optical fiber preform manufacturing apparatus,
A reaction chamber 15 accommodating the target 1 and each of the burners 6a to 6c is formed vertically by a reaction container 16.
【００２５】この反応室１５から独立させて各トラバー
ス機構７ａ〜７ｃを個々に収容するトラバース機構収容
室１７ａ，１７ｂ，１７ｃが、隔壁１８ａ〜１８ｃによ
り縦向きに形成されている。各隔壁１８ａ〜１８ｃは、
共通の外壁１８内に収容されている。本例では、反応容
器１６と各隔壁１８ａ〜１８ｃが対向する部分では、外
壁１８が省略されている。Traverse mechanism accommodating chambers 17a, 17b and 17c for accommodating the traverse mechanisms 7a to 7c independently of the reaction chamber 15 are formed vertically by partition walls 18a to 18c. Each partition 18a-18c
It is housed in a common outer wall 18. In this example, the outer wall 18 is omitted in a portion where the reaction vessel 16 and each of the partition walls 18a to 18c face each other.
【００２６】反応室１５内で各バーナ６ａ〜６ｃは、タ
ーゲット１の外周に対して一方側から対向されている。
反応室１５には、各バーナ６ａ〜６ｃが配置されている
側に対してターゲット１を間にして反対側に反応室用排
気ダクト１９が接続されている。この排気ダクト１９の
下流には、図示しないが吸引用ブロアと排気ガスを無害
化処理するガス処理装置が接続されている。反応室１５
内には、反応室用排気ダクト１９につながるテーパ型の
排気フード２０が設けられている。In the reaction chamber 15, each of the burners 6a to 6c is opposed to the outer periphery of the target 1 from one side.
A reaction chamber exhaust duct 19 is connected to the reaction chamber 15 on the opposite side of the target 1 with respect to the side where the burners 6a to 6c are arranged. Downstream of the exhaust duct 19, a suction blower and a gas processing device for detoxifying the exhaust gas are connected (not shown). Reaction chamber 15
Inside, a tapered exhaust hood 20 connected to the reaction chamber exhaust duct 19 is provided.
【００２７】反応室１５を形成する反応容器１６と各ト
ラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃを形成する各隔壁１
８ａ〜１８ｃとの対向部分には、各トラバース機構７ａ
〜７ｃがトラバースするバーナ６ａ〜６ｃの支持体であ
るバーナ支持体２１ａ，２１ｂ，２１ｃを貫通させるた
めのトラバース用スリット２２ａ，２２ｂ，２２ｃが上
下向きのトラバース方向に沿ってそれぞれ設けられてい
る。The reaction vessel 16 forming the reaction chamber 15 and the partition walls 1 forming the traverse mechanism accommodating chambers 17a to 17c.
8a to 18c, each traverse mechanism 7a
Traverse slits 22a, 22b, and 22c for penetrating burner supports 21a, 21b, and 21c, which are supports of the burners 6a to 6c through which the traverses 7c to 7c traverse, are provided along the vertical traverse direction.
【００２８】これらトラバース用スリット２２ａ〜２２
ｃの箇所には、清浄化された空気を吹出してこの空気で
該スリットを仕切ると共に反応室１５とトラバース機構
収容室１７ａ〜１７ｃとに供給する空気吹出し口２３
ａ，２３ｂ，２３ｃが各トラバース用スリット２２ａ〜
２２ｃの長手方向に沿った対向面にそれぞれ対向口部を
開口させて設けられている。These traverse slits 22a-22
At the point c, an air outlet 23 for blowing the purified air to partition the slit with the air and to supply the reaction chamber 15 and the traverse mechanism accommodating chambers 17a to 17c.
a, 23b, and 23c are traverse slits 22a to
Opposing openings are provided on opposing surfaces along the longitudinal direction of 22c.
【００２９】この装置は、エアフィルタ２４ａ，２４
ｂ，２４ｃ，２４ｄを備えた空気清浄化装置２５ａ，２
５ｂ，２５ｃ，２５ｄを外壁１８の上部に備えている。
これら空気清浄化装置２５ａ〜２５ｄで得られたパーテ
ィクルのほとんどない清浄な空気は、外壁１８と各隔壁
１８ａ〜１８ｃとの間に形成された第１〜第４の空気供
給通路２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄを経て各空気吹
出し口２３ａ〜２３ｃの長手方向に沿った両対向口部か
ら逆向きで吹出すように供給されるようになっている。This device comprises air filters 24a, 24a
b, 24c, 24d, an air cleaning device 25a, 2
5b, 25c and 25d are provided on the upper portion of the outer wall 18.
The clean air with almost no particles obtained by the air purifying devices 25a to 25d is supplied to the first to fourth air supply passages 26a, 26b, 26c formed between the outer wall 18 and the partition walls 18a to 18c. , 26d, and are supplied so as to be blown in opposite directions from both opposing openings along the longitudinal direction of each of the air outlets 23a to 23c.
【００３０】各トラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃに
は、トラバース機構収容室用排気ダクト２７ａ，２７
ｂ，２７ｃが接続されている。これら排気ダクト２７ａ
〜２７ｃは反応室用排気ダクト１９に接続されている。
また各排気ダクト２７ａ〜２７ｃには、各トラバース機
構収容室１７ａ〜１７ｃ内の圧力を調整するダンパ２８
ａ，２８ｂ，２８ｃが接続されている。Each of the traverse mechanism accommodating chambers 17a to 17c has a traverse mechanism accommodating chamber exhaust duct 27a, 27c.
b, 27c are connected. These exhaust ducts 27a
27c are connected to the reaction chamber exhaust duct 19.
Each of the exhaust ducts 27a to 27c has a damper 28 for adjusting the pressure in each of the traverse mechanism accommodating chambers 17a to 17c.
a, 28b and 28c are connected.
【００３１】このような光ファイバ母材製造装置では、
使用に際し、大気圧をＰ0 、空気吹出し口２３ａ〜２３
ｃの吹出し圧力をＰ1 、トラバース機構収容室１７ａ〜
１７ｃ内の圧力をＰ2 、反応室１５内の圧力をＰ3 、各
排気ダクト１９，２７ａ〜２７ｃの排気圧をＰ4 とした
とき、これらの圧力関係を Ｐ0 ＞Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞Ｐ3 ＞Ｐ4 に設定する。このような圧力設定は、各排気ダクト２７
ａ〜２７ｃのダンパ２８ａ〜２８ｃの開度を調整するこ
とにより行う。In such an optical fiber preform manufacturing apparatus,
At the time of use, the atmospheric pressure is P0, and the air outlets 23a to 23a
c, the traverse mechanism accommodating chamber 17a-
Assuming that the pressure in the chamber 17c is P2, the pressure in the reaction chamber 15 is P3, and the exhaust pressures of the exhaust ducts 19 and 27a to 27c are P4, these pressure relationships are set as P0>P1>P2>P3> P4. . Such a pressure setting depends on each exhaust duct 27.
This is performed by adjusting the degree of opening of the dampers 28a to 28c a to 27c.
【００３２】また、各トラバース用スリット２２ａ〜２
２ｃの長手方向に沿った対向面にそれぞれ対向口部を開
口させて設けられている各空気吹出し口２３ａ〜２３ｃ
から前述した圧力Ｐ1 で清浄空気を互いに逆向きで該ス
リット内に噴出させる。これにより各トラバース用スリ
ット２２ａ〜２２ｃが清浄空気のエアカーテン作用によ
り仕切られて、反応室１５内と各トラバース機構収容室
１７ａ〜１７ｃ内との空気の相互流通がなくなり、また
この清浄空気が反応室１５と各トラバース機構収容室１
７ａ〜１７ｃとに供給される。この清浄空気は、前述し
た空気清浄化装置２５ａ〜２５ｄでパーティクルをほと
んど含まないようにして形成し、第１〜第４の空気供給
通路２６ａ〜２６ｄを経て各空気吹出し口２３ａ〜２３
ｃに供給する。Each traverse slit 22a-2
Air outlets 23a to 23c which are provided on the opposing surfaces along the longitudinal direction of 2c so that the opposing ports are respectively opened.
Then, clean air is jetted into the slit in the opposite direction to each other at the pressure P1 described above. As a result, the traverse slits 22a to 22c are separated by the air curtain action of the clean air, so that there is no mutual flow of air between the reaction chamber 15 and the traverse mechanism accommodating chambers 17a to 17c. Room 15 and each traverse mechanism accommodation room 1
7a to 17c. This clean air is formed so as to contain almost no particles by the above-described air cleaning devices 25a to 25d, and passes through the first to fourth air supply passages 26a to 26d to form the air outlets 23a to 23d.
c.
【００３３】かかる状態で、ターゲット１を図示しない
ターゲット支持機構によって軸心の回りに所定速度で回
転させつつ、各バーナ６ａ〜６ｃを各トラバース機構７
ａ〜７ｃにより相互間に所定間隔をあけて同方向にトラ
バースさせ、ターゲット１のトラバース端部に達したら
反対方向にトラバースさせて、各バーナ６ａ〜６ｃをタ
ーゲット１の長手方向に往復させる。In this state, the respective burners 6a to 6c are rotated by the target support mechanism (not shown) at a predetermined speed around the axis while the respective traverse mechanisms 7 are rotated.
The burners 6a to 6c are reciprocated in the longitudinal direction of the target 1 by traversing in the same direction at predetermined intervals between the burners 6a to 6c, and traverse in the opposite direction when reaching the traverse end of the target 1.
【００３４】各バーナ６ａ〜６ｃには、支燃ガスとして
の酸素と、可燃ガスとしての水素と、ガラス原料として
の四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ4 ）を供給し、バーナ先端の
酸水素火炎中で酸化反応を起こさせてガラス微粒子（Ｓ
ｉＯ2 微粒子）を形成し、このガラス微粒子をターゲッ
ト１に堆積させ、多孔質の光ファイバ母材１４を形成す
る。Each of the burners 6a to 6c is supplied with oxygen as a supporting gas, hydrogen as a combustible gas, and silicon tetrachloride (SiCl 4 ) as a glass material, and is oxidized in an oxyhydrogen flame at the tip of the burner. A reaction is caused to cause glass fine particles (S
iO 2 fine particles) is formed, the glass particles are deposited on the target 1, to form an optical fiber preform 14 of porous.
【００３５】この際に、各バーナ６ａ〜６ｃは上りは低
速で上昇させてターゲット１に対する堆積を行い、下り
は高速で下降させて出発位置に速やかに戻すようにし、
一方向からのみガラス微粒子の堆積を行わせる。At this time, each of the burners 6a to 6c is raised at a low speed to deposit on the target 1 and is lowered at a high speed so as to quickly return to the starting position.
Glass particles are deposited only from one direction.
【００３６】この光ファイバ母材製造装置では、ターゲ
ット１と各バーナ６ａ〜６ｃとを反応室１５内に収容
し、各トラバース機構７ａ〜７ｃを反応室１５から独立
したトラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃ内に収容して
いるので、バーナの個数が増え、トラバース機構の個数
が増えても、各部屋が独立しているので相互に悪影響を
及ぼさないようになる。即ち、各トラバース機構７ａ〜
７ｃの可動部から出るダストが多孔質の光ファイバ母材
１４内に混入されて光ファイバ母材１４の品質が低下す
るのを防止でき、また各バーナ６ａ〜６ｃから噴出され
る塩素系ガスで各トラバース機構７ａ〜７ｃ等が腐食さ
れるのを防止できる。従って、光ファイバ母材１４の外
径の大径化を、光ファイバ母材１４の品質を低下させな
いで容易に行うことができる。In this optical fiber preform manufacturing apparatus, the target 1 and the burners 6a to 6c are housed in the reaction chamber 15, and the traverse mechanisms 7a to 7c are traverse mechanism housing chambers 17a to 17c independent of the reaction chamber 15. Since the number of burners increases and the number of traversing mechanisms increases, the rooms are independent of each other and do not adversely affect each other. That is, each traverse mechanism 7a-
7c can be prevented from being mixed into the porous optical fiber preform 14 and degrading the quality of the optical fiber preform 14, and the chlorine-based gas ejected from each of the burners 6a to 6c can be used. Corrosion of each of the traverse mechanisms 7a to 7c can be prevented. Accordingly, it is possible to easily increase the outer diameter of the optical fiber preform without deteriorating the quality of the optical fiber preform.
【００３７】また、本例では、各部の圧力関係をＰ0 ＞
Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞Ｐ3 ＞Ｐ4 に設定しているので、各空気吹
出し口２３ａ〜２３ｃから反応室１５内と各トラバース
機構収容室１７ａ〜１７ｃ内とに支障なく清浄な空気を
供給することができると共に反応室１５内のガスが各ト
ラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃ内に漏れるのを防止
でき、且つ反応室１５内や各トラバース機構収容室１７
ａ〜１７ｃ内のガスを良好に各排気ダクト１９，１７ａ
〜１７ｃに排気させることができる。In this embodiment, the pressure relationship of each part is expressed as P0>
Since P1>P2>P3> P4, clean air can be supplied from the air outlets 23a to 23c into the reaction chamber 15 and the traverse mechanism accommodating chambers 17a to 17c without any trouble. The gas in the reaction chamber 15 can be prevented from leaking into the traverse mechanism housing chambers 17a to 17c, and the gas in the reaction chamber 15 and the traverse mechanism housing chambers 17a to 17c can be prevented.
a through 17c to each of the exhaust ducts 19 and 17a.
To 17c.
【００３８】また、トラバース用スリット２２ａ〜２２
ｃの空気吹出し口２３ａ〜２３ｃに外壁１８と各隔壁１
８〜１８ｃとの間の第１〜第４の空気供給通路２６ａ〜
２６ｄを経て供給すると、空気吹出し口２３ａ〜２３ｃ
がトラバース方向に長くてもその長手方向に容易に一様
に空気を供給することができる。Further, traverse slits 22a to 22
c at the air outlets 23a-23c.
8 to 18c to the first to fourth air supply passages 26a to 26c.
When supplied via 26d, the air outlets 23a to 23c
Can be easily and uniformly supplied in the longitudinal direction even if it is long in the traverse direction.
【００３９】図４は、本発明に係る光ファイバ母材製造
装置における実施の形態の第２例を示したものである。FIG. 4 shows a second example of the embodiment of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention.
【００４０】本例の光ファイバ母材製造装置において
は、各ダンパ２８ａ〜２８ｃより下流側で各トラバース
機構収容室用排気ダクト２７ａ〜２７ｃに吸引用ブロア
２９ａ，２９ｂ，２９ｃがそれぞれ接続されている。そ
の他の構成及び条件等は、前述した第１例と同様であ
る。In the optical fiber preform manufacturing apparatus of this embodiment, suction blowers 29a, 29b and 29c are connected to the traverse mechanism accommodating chamber exhaust ducts 27a to 27c downstream of the dampers 28a to 28c, respectively. . Other configurations and conditions are the same as those in the first example.
【００４１】このように各トラバース機構収容室用排気
ダクト２７ａ〜２７ｃに吸引用ブロア２９ａ〜２９ｃを
それぞれ設けると、圧力の調整範囲が広くなり、前述し
た圧力設定（Ｐ0 ＞Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞Ｐ3 ＞Ｐ4 ）をこれら
吸引用ブロア２９ａ〜２９ｃの調整により一層容易に行
うことができる。When the suction blowers 29a to 29c are respectively provided in the exhaust ducts 27a to 27c for the traverse mechanism accommodating chambers as described above, the pressure adjustment range is widened, and the pressure setting described above (P0>P1>P2>P3>). P4) can be more easily performed by adjusting the suction blowers 29a to 29c.
【００４２】なお、この第２例の場合、吸引用ブロア２
９ａ〜２９ｃで回転数制御を行なうようにすれば、ダン
パ２８ａ〜２８ｃを省略することができる。In the case of the second example, the suction blower 2
If the rotation speed is controlled by 9a to 29c, the dampers 28a to 28c can be omitted.
【００４３】[0043]
【実施例】図１に示す光ファイバ母材製造装置の実施例
について、以下に説明する。空気清浄化装置２５ａ〜２
５ｄから清浄化空気を20〜30ｍ3 ／min の割合で各空気
吹出し口２３ａ〜２３ｃに供給する。各トラバース機構
７ａ〜７ｃが各バーナ６ａ〜６ｃをトラバースする最高
速度は0.8 〜1.5 ｍ／sec である。各バーナ６ａ〜６ｃ
へのＳｉＣｌ4 の供給量は、最高35ｇ／min としてい
る。光ファイバ母材１４の長さは1500mm、光ファイバ母
材１４の仕上り外径はφ250mm である。各排気ダクト１
９，１７ａ〜１７ｃの排気圧Ｐ4 は−80〜−150 mmＨ2
０、トラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃ内の圧力Ｐ2
は排気圧Ｐ4 より数mmＨ2 ０高い。各バーナ６ａ〜６ｃ
に供給する原料ガス量は、光ファイバ母材１４のサイズ
が大きくなるに従って多くしているが、排気圧Ｐ4 の負
圧が大きいので、この量の変化は無視できる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the optical fiber preform manufacturing apparatus shown in FIG. 1 will be described below. Air purifiers 25a-2
From 5d, clean air is supplied to each of the air outlets 23a to 23c at a rate of 20 to 30 m 3 / min. The maximum speed at which the traverse mechanisms 7a to 7c traverse the burners 6a to 6c is 0.8 to 1.5 m / sec. Each burner 6a-6c
The maximum supply amount of SiCl 4 is 35 g / min. The length of the optical fiber preform 14 is 1500 mm, and the finished outer diameter of the optical fiber preform 14 is 250 mm. Each exhaust duct 1
Exhaust pressure P4 of 9,17a~17c is -80 to-0.99 mmH 2
0, pressure P2 in the traverse mechanism accommodating chambers 17a to 17c
The number mmH 2 0 higher than exhaust pressure P4. Each burner 6a-6c
Is increased as the size of the optical fiber preform 14 increases, but since the negative pressure of the exhaust pressure P4 is large, a change in this amount can be ignored.
【００４４】上記例では、各トラバース機構７ａ〜７ｃ
毎に独立したトラバース機構収容室１７ａ〜１７ｃを設
けたが、各トラバース機構７ａ〜７ｃは共通のトラバー
ス機構収容室に収容することもできる。In the above example, each of the traverse mechanisms 7a to 7c
Although the independent traverse mechanism accommodating chambers 17a to 17c are provided for each, the traverse mechanisms 7a to 7c can be accommodated in a common traverse mechanism accommodating chamber.
【００４５】このようにすると、光ファイバ母材製造装
置の構造をより簡略化することができる。With this arrangement, the structure of the optical fiber preform manufacturing apparatus can be further simplified.
【００４６】以下、本明細書に開示した複数の発明の内
のいくつかについて、その構成要件を記載する。Hereinafter, constituent elements of some of the plurality of inventions disclosed in this specification will be described.
【００４７】（１） 軸心の回りに回転しつつあるター
ゲットの外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナ
を各トラバース機構によって前記ターゲットの長手方向
に沿ってそれぞれトラバースさせて前記ターゲットの外
周に前記各バーナの火炎中で形成したガラス微粒子を堆
積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ
母材製造装置において、前記ターゲットと前記各バーナ
とを収容する反応室から独立させて前記各トラバース機
構を収容するトラバース機構収容室が設けられているこ
とを特徴とする光ファイバ母材製造装置。(1) A plurality of burners are made to face the outer periphery of the target rotating around the axis, and these burners are traversed along the longitudinal direction of the target by the respective traverse mechanisms, so that the burners traverse the outer periphery of the target. In an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass microparticles formed in the flame of each burner, the target and the reaction chamber accommodating each of the burners are independent of the reaction chamber. An optical fiber preform manufacturing apparatus, wherein a traverse mechanism accommodating chamber for accommodating each traverse mechanism is provided.
【００４８】（２） 前記トラバース機構収容室が前記
各トラバース機構毎に独立させて設けられていることを
特徴とする前記（１）に記載の光ファイバ母材製造装
置。(2) The optical fiber preform manufacturing apparatus according to (1), wherein the traverse mechanism accommodating chamber is provided independently for each of the traverse mechanisms.
【００４９】（３） 軸心の回りに回転しつつあるター
ゲットの外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナ
を各トラバース機構によって前記ターゲットの長手方向
に沿ってそれぞれトラバースさせて前記ターゲットの外
周に前記各バーナの火炎中で形成したガラス微粒子を堆
積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ
母材製造方法において、前記ターゲットと前記各バーナ
とを収容する反応室から独立させて前記各トラバース機
構を収容するトラバース機構収容室を設け、前記反応室
内の圧力を前記トラバース機構収容室内の圧力より低く
した状態で前記反応室内で前記光ファイバ母材の製造を
行なうことを特徴とする光ファイバ母材製造方法。(3) A plurality of burners are made to face the outer periphery of the target rotating around the axis, and these burners are traversed by the respective traverse mechanisms along the longitudinal direction of the target so that the burners traverse the outer periphery of the target. In the optical fiber preform manufacturing method of manufacturing a porous optical fiber base material by depositing glass fine particles formed in the flame of each burner, the target and the reaction chamber accommodating each burner are independent of each other. A traverse mechanism accommodating chamber for accommodating each traverse mechanism is provided, and the optical fiber preform is manufactured in the reaction chamber in a state where the pressure in the reaction chamber is lower than the pressure in the traverse mechanism accommodating chamber. Fiber preform manufacturing method.
【００５０】（４） 前記トラバース機構収容室を前記
各トラバース機構毎に独立させて設けていることを特徴
とする前記（３）に記載の光ファイバ母材製造方法。(4) The method of manufacturing an optical fiber preform according to (3), wherein the traverse mechanism accommodating chamber is provided independently for each of the traverse mechanisms.
【００５１】（５） 軸心の回りに回転しつつあるター
ゲットの外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナ
を各トラバース機構によって前記ターゲットの長手方向
に沿ってそれぞれトラバースさせて前記ターゲットの外
周に前記各バーナの火炎中で形成したガラス微粒子を堆
積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ
母材製造装置において、前記ターゲットと前記各バーナ
とを収容する反応室から独立させて前記各トラバース機
構を収容するトラバース機構収容室が設けられ、前記反
応室内で前記各バーナは前記ターゲットの外周に対して
一方側から対向され、前記反応室には前記各バーナが配
置されている側に対して前記ターゲットを間にして反対
側に反応室用排気ダクトが接続され、前記反応室を形成
する反応容器と前記トラバース機構収容室を形成する隔
壁との対向部分には前記各トラバース機構がトラバース
する前記バーナの支持体であるバーナ支持体を貫通させ
るためのトラバース用スリットがトラバース方向に沿っ
てそれぞれ設けられ、前記各トラバース用スリットの箇
所には清浄化された空気を吹出してこの空気で該スリッ
トを仕切ると共に前記反応室と前記トラバース機構収容
室とに供給する空気吹出し口がそれぞれ設けられ、前記
トラバース機構収容室にはトラバース機構収容室用排気
ダクトが接続されていることを特徴とする光ファイバ母
材製造装置。(5) A plurality of burners are made to face the outer periphery of the target rotating around the axis, and these burners are traversed by the respective traverse mechanisms along the longitudinal direction of the target, so that the burners are moved to the outer periphery of the target. In an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass microparticles formed in the flame of each burner, the target and the reaction chamber accommodating each of the burners are independent of the reaction chamber. A traverse mechanism accommodating chamber for accommodating each traverse mechanism is provided, and in the reaction chamber, each burner is opposed to the outer periphery of the target from one side, and in the reaction chamber, a side on which each burner is disposed. An exhaust duct for a reaction chamber is connected to the opposite side with the target therebetween, and a reaction vessel forming the reaction chamber and the Traverse slits are provided along the traverse direction to penetrate a burner support which is a support of the burner to be traversed by each of the traverse mechanisms at a portion facing the partition forming the traverse mechanism accommodating chamber, At each traverse slit, there is provided an air outlet for blowing the purified air to separate the slit with the air and supplying the air to the reaction chamber and the traverse mechanism housing chamber. An optical fiber preform manufacturing apparatus, wherein an exhaust duct for a traverse mechanism accommodating chamber is connected to the optical fiber preform.
【００５２】（６） 前記トラバース機構収容室が前記
各トラバース機構毎に独立させて設けられていることを
特徴とする前記（５）に記載の光ファイバ母材製造装
置。(6) The optical fiber preform manufacturing apparatus according to (5), wherein the traverse mechanism accommodating chamber is provided independently for each of the traverse mechanisms.
【００５３】（７） 前記隔壁を収容する外壁と前記隔
壁との間には、前記空気吹出し口に清浄化された空気を
供給する空気供給通路が設けられていることを特徴とす
る前記（５）または（６）に記載の光ファイバ母材製造
装置。(7) An air supply passage for supplying purified air to the air outlet is provided between an outer wall accommodating the partition and the partition. ) Or the optical fiber preform manufacturing apparatus according to (6).
【００５４】（８） 軸心の回りに回転しつつあるター
ゲットの外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナ
を各トラバース機構によって前記ターゲットの長手方向
に沿ってそれぞれトラバースさせて前記ターゲットの外
周に前記各バーナの火炎中で形成したガラス微粒子を堆
積させて多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ
母材製造方法において、前記ターゲットと前記各バーナ
とを収容する反応室から独立させて前記各トラバース機
構を収容するトラバース機構収容室を設け、前記反応室
内で前記各バーナは前記ターゲットの外周に対して一方
側から対向させ、前記反応室には前記各バーナが配置さ
れている側に対して前記ターゲットを間にして反対側に
反応室用排気ダクトを接続し、前記反応室を形成する反
応容器と前記トラバース機構収容室を形成する隔壁との
対向部分には前記各トラバース機構がトラバースする前
記バーナの支持体であるバーナ支持体を貫通させるため
のトラバース用スリットをトラバース方向に沿ってそれ
ぞれ設け、前記各トラバース用スリットの箇所には清浄
化された空気を吹出してこの空気で該スリットを仕切る
と共に前記反応室と前記トラバース機構収容室とに供給
する空気吹出し口をそれぞれ設け、前記トラバース機構
収容室にはトラバース機構収容室用排気ダクトを接続
し、大気圧をＰ0 、前記空気吹出し口の吹出し圧力をＰ
1 、前記トラバース機構収容室内の圧力をＰ2 、前記反
応室内の圧力をＰ3 、前記各排気ダクトの排気圧をＰ4
としたとき、これらの圧力関係を Ｐ0 ＞Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞Ｐ3 ＞Ｐ4 に設定して前記反応室内で前記光ファイバ母材の製造を
行なうことを特徴とする光ファイバ母材製造方法。(8) A plurality of burners are made to face the outer periphery of the target rotating around the axis, and the burners are traversed by the respective traverse mechanisms along the longitudinal direction of the target, so that the burners are moved to the outer periphery of the target. In the optical fiber preform manufacturing method of manufacturing a porous optical fiber base material by depositing glass fine particles formed in the flame of each burner, the target and the reaction chamber accommodating each burner are independent of each other. A traverse mechanism accommodating chamber for accommodating each traverse mechanism is provided, and each burner is opposed to the outer periphery of the target from one side in the reaction chamber, and the reaction chamber is provided on the side where the respective burners are arranged. A reaction chamber exhaust duct is connected to the opposite side with the target therebetween, and the reaction vessel and the traverse forming the reaction chamber are connected to each other. Traverse slits are provided along the traverse direction for penetrating a burner support which is a support for the burner to be traversed by each of the traverse mechanisms in a portion facing the partition forming the source mechanism accommodating chamber. At the location of each traverse slit, air is supplied to the reaction chamber and the traverse mechanism accommodating chamber while blowing the purified air to partition the slit with the air and to provide the air outlets to the traverse mechanism accommodating chamber. Is connected to an exhaust duct for the traverse mechanism accommodating chamber, the atmospheric pressure is set to P0, and the air pressure at the air outlet is set to P0.
1, the pressure in the traverse mechanism accommodating chamber is P2, the pressure in the reaction chamber is P3, and the exhaust pressure of each exhaust duct is P4.
Wherein the pressure relationship is set as P0>P1>P2>P3> P4 and the optical fiber preform is manufactured in the reaction chamber.
【００５５】（９） 前記トラバース機構収容室は前記
各トラバース機構毎に独立させて設けていることを特徴
とする前記（８）に記載の光ファイバ母材製造方法。(9) The method of manufacturing an optical fiber preform according to (8), wherein the traverse mechanism accommodating chamber is provided independently for each of the traverse mechanisms.
【００５６】[0056]
【発明の効果】本発明に係る光ファイバ母材製造装置に
おいては、ターゲットと各バーナとを反応室内に収容
し、各トラバース機構を反応室から独立したトラバース
機構収容室内に収容しているので、バーナの個数が増
え、トラバース機構の個数が増えても、各部屋が独立し
ているので相互に悪影響を及ぼさないようにすることが
できる。従って、光ファイバ母材の外径の大径化を、光
ファイバ母材の品質を低下させないで容易に行うことが
できる。In the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention, the target and each burner are housed in the reaction chamber, and each traverse mechanism is housed in the traverse mechanism housing chamber independent of the reaction chamber. Even if the number of burners increases and the number of traversing mechanisms increases, each room is independent, so that mutual adverse effects can be prevented. Therefore, it is possible to easily increase the outer diameter of the optical fiber preform without deteriorating the quality of the optical fiber preform.
【図１】本発明に係る光ファイバ母材製造装置における
実施の形態の第１例を示した横断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a first example of an embodiment of an optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention.
【図２】図１に示す装置の要部斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a main part of the device shown in FIG.
【図３】図１のＸ−Ｘ線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line XX of FIG. 1;
【図４】本発明に係る光ファイバ母材製造装置における
実施の形態の第２例の要部構成を示した横断面図であ
る。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a main configuration of a second example of the embodiment of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present invention.
【図５】従来の光ファイバ母材製造装置の斜視図であ
る。FIG. 5 is a perspective view of a conventional optical fiber preform manufacturing apparatus.
１ ターゲット ２ ターゲット支持機構 ３ Ｕ型フレーム ４ａ，４ｂ チャック ５ モータ ６ａ〜６ｃ バーナ ７ａ〜７ｃ トラバース機構 ８ａ，８ｂ スクリュー軸 ９ａ，９ｂ Ｕ型フレーム １０ａ，１０ｂ モータ １１ａ，１１ｂ トラバースブロック １２ ガス供給装置 １３ａ，１３ｂ ガス供給管 １４ 光ファイバ母材 １５ 反応室 １６ 反応容器 １７ａ〜１７ｃ トラバース機構収容室 １８ 外壁 １８ａ〜１８ｃ 隔壁 １９ 反応室用排気ダクト ２０ 排気フード ２１ａ〜２１ｃ バーナ支持体 ２２ａ〜２２ｃ トラバース用スリット ２３ａ〜２３ｃ 空気吹出し口 ２４ａ〜２４ｄ エアフィルタ ２５ａ〜２５ｄ 空気清浄化装置 ２６ａ〜２６ｄ 第１〜第４の空気供給通路 ２７ａ〜２７ｃ トラバース機構収容室用排気ダクト ２８ａ〜２８ｃ ダンパ ２９ａ〜２９ｃ 吸引用ブロア Reference Signs List 1 target 2 target support mechanism 3 U-shaped frame 4a, 4b chuck 5 motor 6a-6c burner 7a-7c traverse mechanism 8a, 8b screw shaft 9a, 9b U-shaped frame 10a, 10b motor 11a, 11b traverse block 12 gas supply device 13a , 13b gas supply pipe 14 optical fiber preform 15 reaction chamber 16 reaction vessel 17a-17c traverse mechanism accommodating chamber 18 outer wall 18a-18c partition wall 19 reaction chamber exhaust duct 20 exhaust hood 21a-21c burner support 22a-22c traverse slit 23a to 23c Air outlets 24a to 24d Air filters 25a to 25d Air cleaners 26a to 26d First to fourth air supply passages 27a to 27c Exhaust ducts for traverse mechanism housing chambers 28a to 28c Dampers 29a-29c Suction blower
Claims (3)
の外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナを各ト
ラバース機構によって前記ターゲットの長手方向に沿っ
てそれぞれトラバースさせて前記ターゲットの外周に前
記各バーナの火炎中で形成したガラス微粒子を堆積させ
て多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製
造装置において、 前記ターゲットと前記各バーナとを収容する反応室から
独立させて前記各トラバース機構を収容するトラバース
機構収容室が設けられていることを特徴とする光ファイ
バ母材製造装置。1. A plurality of burners are made to face the outer periphery of a target rotating around an axis, and these burners are traversed along the longitudinal direction of the target by respective traverse mechanisms, and the burners are traversed on the outer periphery of the target. In an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass fine particles formed in the flame of each burner, each of the above-described targets and the respective burner are independent of a reaction chamber accommodating the burner. An optical fiber preform manufacturing apparatus, wherein a traverse mechanism housing chamber for housing a traverse mechanism is provided.
の外周に複数のバーナを対向させ、これらバーナを各ト
ラバース機構によって前記ターゲットの長手方向に沿っ
てそれぞれトラバースさせて前記ターゲットの外周に前
記各バーナの火炎中で形成したガラス微粒子を堆積させ
て多孔質の光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材製
造装置において、 前記ターゲットと前記各バーナとを収容する反応室から
独立させて前記各トラバース機構を収容するトラバース
機構収容室が設けられ、 前記反応室内で前記各バーナは前記ターゲットの外周に
対して一方側から対向され、 前記反応室には前記各バーナが配置されている側に対し
て前記ターゲットを間にして反対側に反応室用排気ダク
トが接続され、 前記反応室を形成する反応容器と前記トラバース機構収
容室を形成する隔壁との対向部分には前記各トラバース
機構がトラバースする前記バーナの支持体であるバーナ
支持体を貫通させるためのトラバース用スリットがトラ
バース方向に沿ってそれぞれ設けられ、 前記各トラバース用スリットの箇所には清浄化された空
気を吹出してこの空気で該スリットを仕切ると共に前記
反応室と前記トラバース機構収容室とに供給する空気吹
出し口がそれぞれ設けられ、 前記トラバース機構収容室にはトラバース機構収容室用
排気ダクトが接続されていることを特徴とする光ファイ
バ母材製造装置。2. A plurality of burners are opposed to the outer periphery of a target rotating around an axis, and these burners are traversed along the longitudinal direction of the target by respective traverse mechanisms. In an optical fiber preform manufacturing apparatus for manufacturing a porous optical fiber preform by depositing glass fine particles formed in the flame of each burner, each of the above-described targets and the respective burner are independent of a reaction chamber accommodating the burner. A traverse mechanism accommodating chamber for accommodating a traverse mechanism is provided, wherein each of the burners is opposed to the outer periphery of the target from one side in the reaction chamber, and a side of the reaction chamber where the respective burners are arranged. A reaction chamber exhaust duct is connected to the opposite side with the target therebetween, and the reaction vessel forming the reaction chamber is connected to the reaction chamber. Traverse slits for penetrating a burner support which is a support for the burner to be traversed by each of the traverse mechanisms are provided along a traverse direction in a portion facing the partition wall forming the berth mechanism accommodation chamber, At each traverse slit, there is provided an air outlet for blowing the purified air to separate the slit with the air and supplying the air to the reaction chamber and the traverse mechanism housing chamber. An optical fiber preform manufacturing apparatus, wherein an exhaust duct for a traverse mechanism accommodating chamber is connected to the optical fiber preform.
し圧力をＰ1 、前記トラバース機構収容室内の圧力をＰ
2 、前記反応室内の圧力をＰ3 、前記各排気ダクトの排
気圧をＰ4 としたとき、これらの圧力関係が Ｐ0 ＞Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞Ｐ3 ＞Ｐ4 に設定されていることを特徴とする請求項２に記載の光
ファイバ母材製造装置。3. The air pressure is P0, the air pressure at the air outlet is P1, and the pressure in the traverse mechanism accommodating chamber is P3.
2. The pressure relationship in the reaction chamber is defined as P3 and the exhaust pressure of each exhaust duct is defined as P4, and the relationship of these pressures is set as P0>P1>P2>P3> P4. 2. The optical fiber preform manufacturing apparatus according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22837296A JP3691600B2 (en) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | Optical fiber preform manufacturing equipment |
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