JPH1069613A - Magnetic head, its manufacture and magnetic disk device using the same - Google Patents

Magnetic head, its manufacture and magnetic disk device using the same

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JPH1069613A
JPH1069613A JP22556096A JP22556096A JPH1069613A JP H1069613 A JPH1069613 A JP H1069613A JP 22556096 A JP22556096 A JP 22556096A JP 22556096 A JP22556096 A JP 22556096A JP H1069613 A JPH1069613 A JP H1069613A
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magnetic
magnetization
head
magnetic body
axis
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Japanese (ja)
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Sayuri Muramatsu
小百合 村松
Akio Murata
明夫 村田
Akio Kuroe
章郎 黒江
Osamu Kusumoto
修 楠本
Kazuo Yokoyama
和夫 横山
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic head capable of reproducing recording magnetization with superior reproducing sensitivity without providing a magnetic gap and a shield layer by orienting the axis of easy magnetization of a magnetic substance in the direction orthogonal to a conductor. SOLUTION: The magnetic head 10 has a magnetic layer 1 constituting a magnetic core, a magnetic layer 2 constituting a magnetic circuit in a loop pattern coupled magnetically with the magnetic layer 1 and a conductor line 3 provided to be intersected to the magnetic circuit for the purpose of supplying a prescribed current to the magnetic core. Then, the axis 4 of easy magnetization of the magnetic layer 1 is oriented in parallel to the direction of recording magnetization of a vertical magnetic recording medium where its recording magnetization is formed in the direction vertical to a recording surface. The axis 5 of easy magnetization of the magnetic layer 2 is oriented orthogonally to the direction of recording magnetization of the vertical magnetic recording medium.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に記
録された情報を再生する磁気ヘッド、その製造方法、及
びそれを使用した磁気ディスク装置に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a magnetic head for reproducing information recorded on a magnetic recording medium, a method of manufacturing the same, and a magnetic disk drive using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、大容量の磁気ディスク装置の需要
の拡大とともに、情報を磁気記録媒体に高密度に記録
し、また記録された情報を感度よく再生できる磁気ヘッ
ドが要求されている。また、磁気ディスク装置の小型化
に伴い、磁気記録媒体の低速度化に対応できる磁気ヘッ
ドが要求されている。このような要求に応じて、コイル
を用いた誘導型ヘッドと、磁気抵抗効果素子(MR(Ma
gneto-Resistance)素子)を用いたMRヘッドとで構成
された従来の複合型薄膜磁気ヘッドが、情報の記録、及
び再生にコイルを用いた従来の誘導型磁気ヘッドに代わ
り、開発・実用化されている。すなわち、前記誘導型磁
気ヘッドでは、その再生信号の出力が磁気記録媒体と当
該磁気ヘッドとの相対速度に比例する。このため、磁気
記録媒体の速度を小さくした場合、誘導型磁気ヘッドか
らの再生信号の出力が小さくなり、良好な再生を行うこ
とができなかった。これに対して、MRヘッドを用いた
従来の複合型薄膜磁気ヘッドでは、情報の記録には誘導
型ヘッドを用い、情報の再生にはMRヘッドを用いてい
る。MRヘッドは、周知のように、MR素子に流入する
磁束を電磁変換して再生信号を出力する磁束応答型の磁
気ヘッドであるため、上記相対速度とは無関係に高出力
の再生信号を得ることができる。このため、従来の複合
型薄膜磁気ヘッドは、磁気記録媒体の速度を小さくした
場合でも、従来の誘導型磁気ヘッドに比べて、情報を感
度よく再生する。
2. Description of the Related Art In recent years, as the demand for large-capacity magnetic disk drives has increased, a magnetic head capable of recording information on a magnetic recording medium at a high density and reproducing the recorded information with high sensitivity has been demanded. In addition, with the downsizing of the magnetic disk device, a magnetic head capable of coping with a reduction in the speed of a magnetic recording medium is required. In response to such demands, an inductive head using a coil and a magnetoresistive element (MR (Ma
gneto-Resistance element) and a conventional composite thin-film magnetic head composed of an MR head using a magnetic head were developed and put into practical use instead of a conventional inductive magnetic head using a coil for recording and reproducing information. ing. That is, in the inductive magnetic head, the output of the reproduced signal is proportional to the relative speed between the magnetic recording medium and the magnetic head. For this reason, when the speed of the magnetic recording medium is reduced, the output of the reproduction signal from the inductive magnetic head is reduced, and good reproduction cannot be performed. On the other hand, in a conventional composite type thin film magnetic head using an MR head, an inductive head is used for recording information, and an MR head is used for reproducing information. As is well known, the MR head is a magnetic flux response type magnetic head that electromagnetically converts the magnetic flux flowing into the MR element and outputs a reproduction signal, and therefore obtains a high-output reproduction signal regardless of the relative speed. Can be. For this reason, the conventional composite type thin film magnetic head reproduces information with higher sensitivity than the conventional induction type magnetic head even when the speed of the magnetic recording medium is reduced.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記のようなMRヘッ
ドを用いた従来の複合型薄膜磁気ヘッドでは、従来の誘
導型磁気ヘッドに比べて、ヘッド構造が複雑なものにな
るという問題点があった。具体的には、従来の複合型薄
膜磁気ヘッドでは、MR素子の回りに再生用の磁気ギャ
ップやシールド層を設ける必要があり、またMR素子の
MR膜を単磁区化するための磁石を配置するなどの構成
が要求された。さらに、線形な再生を行うために、バイ
アス磁界を印加するバイアス層や当該バイアス層に直流
電流を供給する電源などを設ける必要があった。また、
このような従来の複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法で
は、良好な磁気特性(再生感度)を得るために、MR素
子の周りに設けられる磁性層やシールド層に加熱処理を
行う必要があった。このため、歩留まりを向上するのが
難しいという問題点があった。
The conventional composite thin-film magnetic head using the above-described MR head has a problem that the head structure is more complicated than the conventional inductive magnetic head. Was. Specifically, in the conventional composite type thin film magnetic head, it is necessary to provide a reproducing magnetic gap and a shield layer around the MR element, and a magnet is arranged to make the MR film of the MR element into a single magnetic domain. Such a configuration was required. Furthermore, in order to perform linear reproduction, it is necessary to provide a bias layer for applying a bias magnetic field, a power supply for supplying a direct current to the bias layer, and the like. Also,
In such a conventional method of manufacturing a composite thin-film magnetic head, it was necessary to perform heat treatment on a magnetic layer and a shield layer provided around the MR element in order to obtain good magnetic characteristics (reproduction sensitivity). For this reason, there was a problem that it was difficult to improve the yield.

【0004】この発明は、以上のような問題点を解決す
るためになされたものであり、再生感度が従来の誘導型
ヘッドよりも優れ、かつ簡単な構造の磁気ヘッド、その
製造方法、及びそれを使用した磁気ディスク装置を提供
することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and a magnetic head having a simpler structure than that of a conventional inductive head with a higher read sensitivity and a method of manufacturing the same. It is an object of the present invention to provide a magnetic disk drive using the same.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
少なくとも1箇の磁性体で構成された磁気コアと、前記
磁気コア内に絶縁配置され、少なくとも高周波信号が供
給される細長い導体とを備え、前記磁性体の磁化容易軸
を前記導体に対して直交する方向に配向している。上記
のように構成することにより、磁気ギャップ、及びシー
ルド層などを設けることなく、かつ再生感度の優れた記
録磁化を再生する磁束応答型の再生ヘッドを得ることが
できる。
According to the present invention, there is provided a magnetic head comprising:
A magnetic core composed of at least one magnetic body, and an elongated conductor insulated within the magnetic core and supplied with at least a high-frequency signal, wherein the easy axis of the magnetic body is orthogonal to the conductor. Orientation. With the configuration described above, it is possible to obtain a magnetic flux responsive reproducing head that reproduces recorded magnetization with excellent reproducing sensitivity without providing a magnetic gap, a shield layer, and the like.

【0006】さらに、他の発明の磁気ヘッドは、磁気記
録媒体の表面と垂直な方向に磁化容易軸を配向した第1
の磁性体と、前記第1の磁性体の磁化容易軸と直交する
方向に磁化容易軸を配向した第2の磁性体と、前記第1
の磁性体の磁化容易軸と直交し、かつ前記第1の磁性体
と前記第2の磁性体との間に絶縁配置され、少なくとも
高周波信号が供給される導体とを備えている。上記のよ
うに構成することにより、磁気ギャップ、及びシールド
層などを設けることなく、かつ再生感度の優れた記録磁
化を再生する磁束応答型の再生ヘッドを得ることができ
る。
Further, a magnetic head according to another aspect of the present invention has a first magnetic head in which the easy axis is oriented in a direction perpendicular to the surface of the magnetic recording medium.
A second magnetic body having an easy axis of magnetization oriented in a direction orthogonal to the easy axis of the first magnetic body;
A conductor that is orthogonal to the axis of easy magnetization of the magnetic body and is insulated between the first magnetic body and the second magnetic body, and that is supplied with at least a high-frequency signal. With the configuration described above, it is possible to obtain a magnetic flux responsive reproducing head that reproduces recorded magnetization with excellent reproducing sensitivity without providing a magnetic gap, a shield layer, and the like.

【0007】さらに、他の発明の磁気ヘッドは、前記第
2の磁性体の下端部に前記第1の磁性体の下端部から突
出した突出部を設けて、前記突出部を前記磁気記録媒体
と近接して配置する。上記のように構成することによ
り、磁気記録媒体の記録磁化が、第1の磁性体の下端部
からの漏れ磁束により、消去されるのを防止する。
Further, in a magnetic head according to another aspect of the present invention, a protrusion protruding from a lower end of the first magnetic body is provided at a lower end of the second magnetic body, and the protruding part is connected to the magnetic recording medium. Place in close proximity. With the configuration described above, it is possible to prevent the recording magnetization of the magnetic recording medium from being erased by the leakage magnetic flux from the lower end of the first magnetic body.

【0008】さらに、他の発明の磁気ヘッドは、前記第
1の磁性体の膜厚に比較して、前記第2の磁性体の膜厚
を薄く形成している。上記のように構成することによ
り、再生信号の感度を向上することができる。
Further, in a magnetic head according to another aspect of the present invention, the thickness of the second magnetic body is formed thinner than the thickness of the first magnetic body. With the above configuration, the sensitivity of the reproduced signal can be improved.

【0009】本発明の磁気ヘッドの製造方法は、静磁界
中で加熱することにより、第1の磁性体の磁化容易軸を
所定の方向に配向する工程と、前記第1の磁性体上に第
1の絶縁層を形成する第1の絶縁層形成工程と、前記第
1の絶縁層上に前記第1の磁性体の磁化容易軸と直交す
る方向に導体を形成する導体形成工程と、前記導体上に
第2の絶縁層を形成する第2の絶縁層形成工程と、前記
第2の絶縁層上に第2の磁性体を、静磁界中で前記第2
の磁性体の磁化容易軸を前記第1の磁性体の磁化容易軸
と直交する方向に配向しながら形成する工程とを備え
る。上記のように構成することにより、磁気ギャップ、
及びシールド層などを設けることなく、かつ再生感度の
優れた記録磁化を再生する磁束応答型の再生ヘッドを製
造することができる。
According to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, a step of orienting a magnetization easy axis of a first magnetic body in a predetermined direction by heating in a static magnetic field; A first insulating layer forming step of forming one insulating layer, a conductor forming step of forming a conductor on the first insulating layer in a direction orthogonal to an easy axis of magnetization of the first magnetic body, and the conductor A second insulating layer forming step of forming a second insulating layer thereon, and a second magnetic body on the second insulating layer in a static magnetic field.
Forming the magnetic material while orienting the easy axis of the magnetic material in a direction orthogonal to the easy axis of the first magnetic material. With the above configuration, the magnetic gap,
In addition, it is possible to manufacture a magnetic flux responsive reproducing head that reproduces recorded magnetization with excellent reproduction sensitivity without providing a shield layer and the like.

【0010】さらに、他の発明の磁気ヘッドの製造方法
では、静磁界中で加熱することにより、第2の磁性体の
磁化容易軸を所定の方向に配向する工程と、前記第2の
磁性体上に第1の絶縁層を形成する第1の絶縁層形成工
程と、前記第1の絶縁層上に前記第2の磁性体の磁化容
易軸と平行な方向に導体を形成する導体形成工程と、前
記導体上に第2の絶縁層を形成する第2の絶縁層形成工
程と、前記第2の絶縁層上に第1の磁性体を、静磁界中
で前記第1の磁性体の磁化容易軸を前記第2の磁性体の
磁化容易軸と直交する方向に配向しながら形成する工程
とを備える。上記のように構成することにより、磁気ギ
ャップ、及びシールド層などを設けることなく、かつ再
生感度の優れた記録磁化を再生する磁束応答型の再生ヘ
ッドを製造することができる。
Further, in the method of manufacturing a magnetic head according to another aspect of the present invention, the step of orienting the axis of easy magnetization of the second magnetic body in a predetermined direction by heating in a static magnetic field; A first insulating layer forming step of forming a first insulating layer thereon, and a conductor forming step of forming a conductor on the first insulating layer in a direction parallel to the easy axis of magnetization of the second magnetic body. Forming a second insulating layer on the conductor, forming a first magnetic body on the second insulating layer in a static magnetic field, and easily magnetizing the first magnetic body in a static magnetic field. Forming the axis while orienting the axis in a direction orthogonal to the axis of easy magnetization of the second magnetic body. With the above configuration, it is possible to manufacture a magnetic flux responsive reproducing head that reproduces recorded magnetization with excellent reproducing sensitivity without providing a magnetic gap and a shield layer.

【0011】本発明の磁気ディスク装置は、磁気記録媒
体の表面と垂直な方向に磁化容易軸を配向した第1の磁
性体と、前記第1の磁性体の磁化容易軸と直交する方向
に磁化容易軸を配向した第2の磁性体と、前記第1の磁
性体、及び前記第2の磁性体のいずれか一方の磁化容易
軸と直交し、かつ前記第1の磁性体と前記第2の磁性体
との間に絶縁配置された導体と、前記導体に高周波信号
を印加するキャリア信号発振手段と、前記第1の磁性
体、及び前記第2の磁性体で構成される磁気コアにバイ
アス磁界を発生するバイアス磁界発生手段と、上記磁気
コアに対して相対的に移動するよう前記磁気記録媒体を
保持する手段とを備える。上記のように構成することに
より、磁気ギャップ、及びシールド層などを設けること
なく、かつ再生感度の優れた記録磁化を再生する磁束応
答型の再生ヘッドを得ることができる。
According to the magnetic disk drive of the present invention, a first magnetic body having an easy axis of magnetization oriented in a direction perpendicular to the surface of a magnetic recording medium, and a magnetization perpendicular to the easy axis of the first magnetic body are provided. A second magnetic body whose easy axis is oriented, and which is orthogonal to the easy magnetization axis of any one of the first magnetic body and the second magnetic body, and wherein the first magnetic body and the second magnetic body A conductor insulated between the magnetic material, a carrier signal oscillating means for applying a high-frequency signal to the conductor, and a bias magnetic field applied to a magnetic core comprising the first magnetic material and the second magnetic material And a means for holding the magnetic recording medium so as to move relative to the magnetic core. With the configuration described above, it is possible to obtain a magnetic flux responsive reproducing head that reproduces recorded magnetization with excellent reproducing sensitivity without providing a magnetic gap, a shield layer, and the like.

【0012】さらに、他の発明の磁気ディスク装置は、
前記高周波信号の周波数が500KHzから10MHz
である。上記のように構成することにより、磁気ヘッド
に接続され、再生信号を処理する回路の動作を安定なも
のにすることができる。
Further, a magnetic disk drive according to another aspect of the present invention includes:
The frequency of the high-frequency signal is 500 kHz to 10 MHz
It is. With the above configuration, the operation of the circuit connected to the magnetic head and processing the reproduced signal can be stabilized.

【0013】さらに、他の発明の磁気ヘッドは、磁気コ
アとコイルとを少なくとも備えた誘導型ヘッドと、前記
磁気コア内に配置された請求項1に記載の磁気ヘッドと
を備え、前記磁気ヘッドの磁気コアの磁化容易軸が前記
誘導型ヘッドの磁気コア内を流れる磁束の方向と平行に
前記磁気ヘッドを配置する。上記のように構成すること
により、再生感度が優れ、かつ簡単な構成の複合型薄膜
磁気ヘッドを得ることができる。
A magnetic head according to another aspect of the present invention includes an inductive head including at least a magnetic core and a coil, and the magnetic head according to claim 1 disposed in the magnetic core. The magnetic head is arranged such that the axis of easy magnetization of the magnetic core is parallel to the direction of the magnetic flux flowing in the magnetic core of the inductive head. With the above configuration, it is possible to obtain a composite thin-film magnetic head having excellent reproduction sensitivity and a simple configuration.

【0014】さらに、他の発明の磁気ディスク装置は、
請求項9に記載の磁気ヘッドを搭載している。上記のよ
うに構成することにより、磁気ディスク装置の構成を簡
単なものにすることができる。
Further, a magnetic disk drive according to another aspect of the present invention includes:
A magnetic head according to claim 9 is mounted. With the above configuration, the configuration of the magnetic disk device can be simplified.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、磁気ヘッド、その製造方
法、及びそれを使用した磁気ディスク装置を示す好まし
い実施例について、図面を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments showing a magnetic head, a method of manufacturing the same, and a magnetic disk drive using the same will be described below with reference to the drawings.

【0016】《第1の実施例》磁気ヘッドの構造 図1は、本発明を実施した第1の例としての磁気ヘッド
を示す斜視図である。図2は、図1に示した磁気ヘッド
を有する磁気再生装置の再生回路を示すブロック図であ
る。図1において、磁気ヘッド10は、磁気コアを構成
する第1の磁性層1、及び第1の磁性層1と磁気的に結
合されるとともにループ状の磁気回路を構成する第2の
磁性層2と、前記磁気回路に鎖交して設けられ、前記磁
気コアに所定の電流を供給するための導体線3を有す
る。第1の磁性層1、及び第2の磁性層2は、CoーZrー
NbーTaからなるアモルファス薄膜で形成されている。こ
のアモルファス薄膜の好ましい組成の1例は、Co87
%、Zr5.5%、Nb3%、Ta4.5%である。第1の磁性
層1の膜厚は、例えば1μmであり、第2の磁性層2の
膜厚は、例えば0.2μmである。また、第1の磁性層
1の磁化容易軸4は、記録磁化が記録面に対して垂直な
方向に形成される垂直磁気記録媒体(図示せず)の記録
磁化の方向(図の矢印7で示す方向)と平行になるよう
に、配向されている。第2の磁性層2の磁化容易軸5
は、上記垂直磁気記録媒体の記録磁化の方向と直交する
ように、配向されている。本実施例の磁気ヘッド10
は、記録情報の再生のみを行う再生ヘッドであり、第2
の磁性層2で構成された突出部2aが、垂直磁気記録媒
体の記録面と近接して垂直磁気記録媒体上に配置され
る。導体線3は、Cu薄膜等で形成され、第1の磁性層
1と第2の磁性層2との間で磁気コアを貫通して設けら
れている。導体線3の両端には、交流の定電流と直流の
微小な電流とを流すために、電極端子3a,3bが設け
られている。また、第1の磁性層1、及び第2の磁性層
2と導体線3との間には、絶縁膜6が形成され、第1の
磁性層1、及び第2の磁性層2と導体線3とを電気的に
絶縁している。
First Embodiment Structure of Magnetic Head FIG. 1 is a perspective view showing a magnetic head according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a block diagram showing a reproducing circuit of a magnetic reproducing apparatus having the magnetic head shown in FIG. In FIG. 1, a magnetic head 10 includes a first magnetic layer 1 forming a magnetic core, and a second magnetic layer 2 magnetically coupled to the first magnetic layer 1 and forming a loop-shaped magnetic circuit. And a conductor line 3 provided in linkage with the magnetic circuit to supply a predetermined current to the magnetic core. The first magnetic layer 1 and the second magnetic layer 2 are made of Co—Zr—
It is formed of an amorphous thin film made of Nb-Ta. One example of a preferable composition of the amorphous thin film is Co87
%, Zr 5.5%, Nb 3%, and Ta 4.5%. The thickness of the first magnetic layer 1 is, for example, 1 μm, and the thickness of the second magnetic layer 2 is, for example, 0.2 μm. The axis of easy magnetization 4 of the first magnetic layer 1 corresponds to the direction of the recording magnetization of the perpendicular magnetic recording medium (not shown) in which the recording magnetization is formed perpendicular to the recording surface (indicated by arrow 7 in the figure). (Direction shown). Easy axis 5 of second magnetic layer 2
Are oriented so as to be orthogonal to the direction of the recording magnetization of the perpendicular magnetic recording medium. Magnetic head 10 of the present embodiment
Is a reproducing head that performs only reproduction of recorded information.
Is formed on the perpendicular magnetic recording medium in proximity to the recording surface of the perpendicular magnetic recording medium. The conductor wire 3 is formed of a Cu thin film or the like, and is provided between the first magnetic layer 1 and the second magnetic layer 2 so as to penetrate the magnetic core. Electrode terminals 3a and 3b are provided at both ends of the conductor wire 3 to allow an AC constant current and a DC minute current to flow. Further, an insulating film 6 is formed between the first magnetic layer 1 and the second magnetic layer 2 and the conductor wire 3, and the first magnetic layer 1 and the second magnetic layer 2 are connected to the conductor wire 3. 3 is electrically insulated.

【0017】図2に示すように、磁気再生装置は、磁気
インピーダンス素子21を有する磁気ヘッド10と、磁
気ヘッド10の端子23,24に接続されたキャリヤ信
号発生器22、及び再生信号検出回路25とを有する。
磁気インピーダンス素子21は、磁気ヘッド10の導体
線3(図1)を等価的に示したものであり、端子23,
24は、それぞれ図1に示した電極端子3a,3bに相
当する。キャリヤ信号発生器22は、磁気インピーダン
ス素子21に交流の定電流であるキャリア信号と、磁気
コアを一の方向にバイアス磁化するための直流の微小な
電流とを供給する。再生信号検出回路25は、端子23
と端子24と間に生じる電圧を測定して端子26から再
生信号として出力する。
As shown in FIG. 2, the magnetic reproducing apparatus comprises a magnetic head 10 having a magnetic impedance element 21, a carrier signal generator 22 connected to terminals 23 and 24 of the magnetic head 10, and a reproduced signal detecting circuit 25. And
The magnetic impedance element 21 is equivalent to the conductor wire 3 (FIG. 1) of the magnetic head 10, and has terminals 23,
Reference numeral 24 corresponds to the electrode terminals 3a and 3b shown in FIG. The carrier signal generator 22 supplies the magnetic impedance element 21 with a carrier signal that is an AC constant current and a minute DC current for bias-magnetizing the magnetic core in one direction. The reproduction signal detection circuit 25 is connected to the terminal 23
A voltage generated between the terminal and the terminal is measured and output from the terminal as a reproduction signal.

【0018】次に、本実施例の磁気ヘッド10の再生動
作を説明する。磁気ヘッド10が垂直磁気記録媒体の記
録面上に配置された場合、第1、第2の磁性層1、2か
らなる磁気コアには、前記記録面に記録された情報の記
録磁化の磁束が通る。このため、当該磁気コアはその磁
束により磁化されて、磁気コアの透磁率が低下する。つ
まり、図2に示した磁気インピーダンス素子21のイン
ピーダンスが低下しているのと等価な状態となる。この
とき、導体線3には、キャリア信号発生器22から交流
の定電流(キャリア信号)が供給されているので、端子
23と端子24との間には、磁気インピーダンス素子2
1のインピーダンスに比例した逆起電圧が発生する。そ
の結果、再生信号検出回路25から出力される電圧信号
の値は、インピーダンスの値、すなわち透磁率に比例す
る。言い換えれば、磁気インピーダンス素子21に流入
した記録磁化の磁束量、すなわち磁界の強さに逆比例し
た電圧信号が、再生信号検出回路25から再生信号とし
て出力されることとなり、いわゆる磁束応答型の再生が
行われる。再生信号検出回路25から出力される再生信
号の値を大きくするには、磁気インピーダンス素子21
の磁気インピーダンスが大きいことが好ましく、またそ
の磁束応答性が高いことが望まれる。従って、磁気ヘッ
ド10は、磁気コアの透磁率が高い範囲内で、できるだ
け高い周波数のキャリア信号で動作するものが望まし
い。しかしながら、後続の再生信号検出回路25で安定
した動作を行うには、数MHzの周波数で使用できる磁
気コアが望ましい。
Next, the reproducing operation of the magnetic head 10 of the embodiment will be described. When the magnetic head 10 is arranged on the recording surface of the perpendicular magnetic recording medium, the magnetic core composed of the first and second magnetic layers 1 and 2 has the magnetic flux of the recording magnetization of the information recorded on the recording surface. Pass. Therefore, the magnetic core is magnetized by the magnetic flux, and the magnetic permeability of the magnetic core decreases. That is, the state is equivalent to a state where the impedance of the magnetic impedance element 21 shown in FIG. 2 is reduced. At this time, since an alternating constant current (carrier signal) is supplied to the conductor wire 3 from the carrier signal generator 22, a magnetic impedance element 2 is provided between the terminals 23 and 24.
A back electromotive voltage proportional to the impedance of 1 is generated. As a result, the value of the voltage signal output from the reproduction signal detection circuit 25 is proportional to the value of the impedance, that is, the magnetic permeability. In other words, the amount of magnetic flux of the recording magnetization flowing into the magneto-impedance element 21, that is, a voltage signal inversely proportional to the strength of the magnetic field is output as a reproduction signal from the reproduction signal detection circuit 25, which is a so-called magnetic flux response type reproduction. Is performed. To increase the value of the reproduction signal output from the reproduction signal detection circuit 25, the magnetic impedance element 21
It is preferable that the magnetic impedance is high and the magnetic flux response is high. Therefore, it is desirable that the magnetic head 10 operates with a carrier signal having a frequency as high as possible within a range where the magnetic core has a high magnetic permeability. However, a magnetic core that can be used at a frequency of several MHz is desirable for performing a stable operation in the subsequent reproduced signal detection circuit 25.

【0019】ここで、磁気ヘッド10の磁気コアを構成
する第1、第2の磁性層1、2について、図3、図4、
及び図5を参照して詳細に説明する。図3の(a)、及
び図3の(b)は、磁気インピーダンス素子の磁化容易
軸と外部磁界の磁束との位置関係を示す説明図である。
図4は図3の(a)に示した位置関係での磁気インピー
ダンス素子の出力の変化を示すグラフであり、図5は図
3の(b)に示した位置関係での磁気インピーダンス素
子の出力の変化を示すグラフである。図3の(a)に示
すように、磁気インピーダンス素子100aは、CoーZr
ーNbーTaからなるアモルファス薄膜101aに導体コイ
ル102aを鎖交している。この磁気インピーダンス素
子100aは、第1の磁性層1(図1)と同様に、その
磁化容易軸103aが外部磁界の磁束104の方向と平
行になるように、外部磁界内に配置されている。導体コ
イル102aには、キャリア信号が供給される。図3の
(b)に示すように、磁気インピーダンス素子100b
は、CoーZrーNbーTaからなるアモルファス薄膜101b
に導体コイル102bを鎖交している。この磁気インピ
ーダンス素子100bは、第2の磁性層2(図1)と同
様に、その磁化容易軸103bが外部磁界の磁束104
の方向と直交するように、外部磁界内に配置されてい
る。導体コイル102bには、キャリア信号が供給され
る。そして、外部磁界の大きさを、図示しないソレノイ
ドコイルにより変化させつつ、インピーダンスアナライ
ザーにて磁気インピーダンス素子100a,100bの
インピーダンスを測定した。尚、磁気インピーダンスの
変化率dZは、磁気インピーダンス素子に磁束が流れて
いる時のインピーダンスの値をZ、磁気インピーダンス
素子に磁束が流れていない時のインピーダンスの値をZ
0とすると、下記の(1)式で表される。 dZ=100*(Z0−Z)/Z0・・・(1)
Here, the first and second magnetic layers 1 and 2 constituting the magnetic core of the magnetic head 10 will be described with reference to FIGS.
This will be described in detail with reference to FIG. FIGS. 3A and 3B are explanatory diagrams showing the positional relationship between the easy axis of the magnetic impedance element and the magnetic flux of the external magnetic field.
FIG. 4 is a graph showing a change in the output of the magnetic impedance element in the positional relationship shown in FIG. 3A, and FIG. 5 is a graph showing the output of the magnetic impedance element in the positional relationship shown in FIG. 6 is a graph showing a change in the graph. As shown in FIG. 3A, the magneto-impedance element 100a is a Co-Zr
The conductor coil 102a is linked to the amorphous thin film 101a made of -Nb-Ta. Like the first magnetic layer 1 (FIG. 1), the magneto-impedance element 100a is arranged in the external magnetic field such that its easy axis 103a is parallel to the direction of the magnetic flux 104 of the external magnetic field. A carrier signal is supplied to the conductor coil 102a. As shown in FIG. 3B, the magneto-impedance element 100b
Is an amorphous thin film 101b composed of Co-Zr-Nb-Ta
And the conductor coil 102b is linked. The magneto-impedance element 100b has an axis of easy magnetization 103b having a magnetic flux 104 of an external magnetic field, similarly to the second magnetic layer 2 (FIG. 1).
Are arranged in the external magnetic field so as to be orthogonal to the direction of. A carrier signal is supplied to the conductor coil 102b. Then, the impedance of the magnetic impedance elements 100a and 100b was measured by an impedance analyzer while changing the magnitude of the external magnetic field using a solenoid coil (not shown). The rate of change dZ of the magnetic impedance is Z when the magnetic flux flows through the magnetic impedance element and Z when the magnetic flux does not flow through the magnetic impedance element.
If it is set to 0, it is represented by the following equation (1). dZ = 100 * (Z0−Z) / Z0 (1)

【0020】その結果、図4に示すように、導体コイル
102aに供給される電流のキャリア信号の周波数が2
MHzの場合、外部磁界の変化に応答した磁気インピー
ダンス素子100aのインピーダンスの変化率は、図の
点線で示され、その最大変化率は26%であった。ま
た、キャリア信号の周波数が235MHzの場合、前記
インピーダンスの変化率は、図の実線で示され、その最
大変化率は53%であった。さらに、この磁気インピー
ダンス素子100aでは、外部磁界が6エルステッド前
後において、インピーダンスの変化率の勾配、すなわち
感度が非常に大きくなるものであった。具体的には、キ
ャリア信号の周波数が2MHzの場合、感度は1エルス
テッド当たり22%であり、キャリア信号の周波数が2
35MHzの場合、感度は1エルステッド当たり53%
であった。これに対して、図5の実線に示すように、磁
気インピーダンス素子100bのインピーダンスの変化
率は、インピーダンスの変化率が最も大きかったキャリ
ア信号の周波数が225MHzの場合においても、その
最大変化率は17%であり、感度は1エルステッド当た
り1%であった。また、図の点線で示したキャリア信号
の周波数が2MHzの場合では、インピーダンスの最大
変化率は8%であり、感度も1エルステッド当たり0.
4%であった。このように、磁化容易軸103aを外部
磁界の磁束104と平行に配置した磁気インピーダンス
素子100aには、次の(1)、及び(2)の特徴があ
ることが上述の実験により明らかになった。 (1) 1エルステッド当りの感度が50%以上と高感
度である。 (2) 数MHzのキャリア信号の周波数で使用でき
る。
As a result, as shown in FIG. 4, the frequency of the carrier signal of the current supplied to the conductor coil 102a is 2
In the case of MHz, the rate of change of the impedance of the magneto-impedance element 100a in response to the change of the external magnetic field is indicated by the dotted line in the figure, and the maximum rate of change was 26%. When the frequency of the carrier signal was 235 MHz, the rate of change of the impedance was indicated by a solid line in the figure, and the maximum rate of change was 53%. Further, in the magnetic impedance element 100a, the gradient of the rate of change of the impedance, that is, the sensitivity becomes extremely large when the external magnetic field is around 6 Oe. Specifically, when the frequency of the carrier signal is 2 MHz, the sensitivity is 22% per Oersted, and the frequency of the carrier signal is 2 MHz.
At 35 MHz, sensitivity is 53% per Oersted
Met. On the other hand, as shown by the solid line in FIG. 5, even when the carrier signal having the largest impedance change rate is 225 MHz, the maximum change rate of the magnetic impedance element 100b is 17 % And the sensitivity was 1% per Oersted. When the frequency of the carrier signal indicated by the dotted line in the figure is 2 MHz, the maximum rate of change of the impedance is 8%, and the sensitivity is 0.1% per Oersted.
4%. The above experiment has revealed that the magneto-impedance element 100a in which the easy axis 103a is arranged in parallel with the magnetic flux 104 of the external magnetic field has the following features (1) and (2). . (1) The sensitivity per Oersted is as high as 50% or more. (2) It can be used at a carrier signal frequency of several MHz.

【0021】上記の実験に基づいて、本実施例の磁気ヘ
ッド10では、CoーZrーNbーTaからなるアモルファス薄
膜の磁化容易軸を垂直磁気記録媒体の記録磁化の方向、
及び導体線3に対して平行になるように配向し、第1の
磁性層1とする構成を採用した。また、再生時に垂直磁
気記録媒体の記録磁化が、第1の磁性層1からの漏れ磁
束により消去されるのを防止するため、垂直磁気記録媒
体に近接する突出部2aは、磁化容易軸が垂直磁気記録
媒体の記録磁化の方向と直交する第2の磁性層2で構成
した。
Based on the above experiment, in the magnetic head 10 of the present embodiment, the axis of easy magnetization of the amorphous thin film made of Co—Zr—Nb—Ta is set to the direction of the recording magnetization of the perpendicular magnetic recording medium,
The first magnetic layer 1 is oriented so as to be parallel to the conductor wire 3. Further, in order to prevent the recording magnetization of the perpendicular magnetic recording medium from being erased by the leakage magnetic flux from the first magnetic layer 1 at the time of reproduction, the protruding portion 2a close to the perpendicular magnetic recording medium has an easy axis of magnetization perpendicular to the perpendicular magnetic recording medium. The magnetic recording medium was composed of a second magnetic layer 2 orthogonal to the direction of recording magnetization.

【0022】磁気ヘッドの製造 次に、磁気ヘッド10の具体的な製造方法について、図
6を参照して説明する。図6は、図1に示した磁気ヘッ
ドの製造工程を示す説明図である。まず、図6の(a)
に示すように、表面上にアルミナ膜を鏡面加工したアル
ミナ・チタンカーバイド(AlTiC)基板31に、Co
ーZrーNbーTaからなるアモルファス合金をスパッタリン
グにより、第1の磁性層1を形成する。続いて、図6の
(b)に示すように、アルミナ・チタンカーバイド基板
31と第1の磁性層1とを静磁界中で加熱(例えば、1
00Oe、300℃)することにより、第1の磁性層1
の磁化容易軸4を所定の方向に配向する。その後、第1
の磁性層1にイオンミリング処理を行うことにより、第
1の磁性層1を所定の形状に形成する。尚、第1の磁性
層1の表面は、平坦に形成されている。次に、図6の
(c)に示すように、SiO2膜をスパッタリングによ
り形成した後でイオンミリング処理を行うことにより、
所定の形状の第1の絶縁層6aを第1の磁性層1上に形
成する。そして、Cu薄膜等をスパッタリングした後で
ドライ、またはケミカルエッチングして所定の形状にパ
ターンニングすることにより、導体線3を第1の絶縁層
6a上に形成する。この導体線3は、第1の磁性層1の
磁化容易軸4と直交するよう方向に形成される。その
後、第1の絶縁層6aと同様に、第2の絶縁層6bを導
体線3を覆うように形成する。これにより、絶縁膜6
(図1)が、第1の絶縁層6aと第2の絶縁層6bとで
形成される。続いて、図6の(d)に示すように、第1
の磁性層1と同様に、CoーZrーNbーTaからなるアモルフ
ァス合金を、静磁界中でスパッタリングすることによ
り、第2の磁性層2の磁化容易軸5を第1の磁性層1の
磁化容易軸4と直交する方向に配向しながら第2の磁性
層2を形成する。そして、第2の磁性層2にイオンミリ
ング処理を行うことにより、第2の磁性層2を所定の形
状に形成する。このように、第2の磁性層2、導体線
3、及び絶縁膜6が、平板状の第1の磁性層1上に形成
され、磁気ヘッド10が製造される。
The magnetic head manufacturing Next, a specific manufacturing method of the magnetic head 10 will be described with reference to FIG. FIG. 6 is an explanatory diagram showing a manufacturing process of the magnetic head shown in FIG. First, FIG.
As shown in FIG. 5, an alumina / titanium carbide (AlTiC) substrate 31 having an alumina film mirror-finished on its surface is coated with Co.
The first magnetic layer 1 is formed by sputtering an amorphous alloy made of -Zr-Nb-Ta. Subsequently, as shown in FIG. 6B, the alumina / titanium carbide substrate 31 and the first magnetic layer 1 are heated in a static magnetic field (for example, 1
00 Oe, 300 ° C.) to form the first magnetic layer 1
Is oriented in a predetermined direction. Then the first
The first magnetic layer 1 is formed into a predetermined shape by performing an ion milling process on the magnetic layer 1. The surface of the first magnetic layer 1 is formed flat. Next, as shown in FIG. 6C, an ion milling process is performed after forming a SiO 2 film by sputtering,
A first insulating layer 6 a having a predetermined shape is formed on the first magnetic layer 1. Then, the conductor wire 3 is formed on the first insulating layer 6a by patterning into a predetermined shape by dry or chemical etching after sputtering a Cu thin film or the like. The conductor wire 3 is formed in a direction orthogonal to the easy axis 4 of the first magnetic layer 1. After that, similarly to the first insulating layer 6a, the second insulating layer 6b is formed so as to cover the conductor wire 3. Thereby, the insulating film 6
(FIG. 1) is formed of the first insulating layer 6a and the second insulating layer 6b. Subsequently, as shown in FIG.
As in the case of the magnetic layer 1, the amorphous axis composed of Co—Zr—Nb—Ta is sputtered in a static magnetic field so that the easy axis 5 of the second magnetic layer 2 is magnetized. The second magnetic layer 2 is formed while being oriented in a direction orthogonal to the easy axis 4. Then, ion milling is performed on the second magnetic layer 2 to form the second magnetic layer 2 into a predetermined shape. In this manner, the second magnetic layer 2, the conductor wire 3, and the insulating film 6 are formed on the flat first magnetic layer 1, and the magnetic head 10 is manufactured.

【0023】この製造方法で注意することは、第1、第
2の絶縁層6a、6bを第1の磁性層1よりも小さく形
成することである。その理由は、磁気コアの表面に第
1、第2の絶縁層6a、6bによる磁気ギャップを形成
しないためである。もし、磁気ギャップが形成される
と、再生時に、磁気記録媒体からの記録磁化の磁束は、
磁気ギャップから漏洩する。このため、第1の磁性層1
を磁化するために、第2の磁性層2を介して第1の磁性
層1に導かれる磁束の量が減少、すなわち磁束の損失が
生じる。その結果、磁気ヘッド10の再生効率の低下を
招く。また、再生時には、磁束が導体線3に流れている
電流により第1、第2の磁性層1、2の内部に生じてい
る。磁気ギャップが形成されると、前記磁束が磁気ギャ
ップから磁気ヘッド10の外側に漏れてしまい、その漏
れた磁束により磁気記録媒体が磁化されてしまう恐れが
あるからである。また、磁気ヘッド10の磁気コアは第
1の磁性層1と第2の磁性層2とで構成されるため、導
体線3でのインピーダンスの変化は第1の磁性層1と第
2の磁性層2の両方の影響を受ける。記録磁化の再生感
度を向上するためには、第1の磁性層1の透磁率の変化
が導体線3でのインピーダンスの変化に対応したもので
あればよい。このため、第2の磁性層2を第1の磁性層
1のものに比べて薄く形成する方が望ましい。
It should be noted in this manufacturing method that the first and second insulating layers 6a and 6b are formed smaller than the first magnetic layer 1. The reason is that a magnetic gap is not formed by the first and second insulating layers 6a and 6b on the surface of the magnetic core. If a magnetic gap is formed, the magnetic flux of the recording magnetization from the magnetic recording medium during reproduction is
Leaks through the magnetic gap. Therefore, the first magnetic layer 1
Is magnetized, the amount of magnetic flux guided to the first magnetic layer 1 via the second magnetic layer 2 decreases, that is, a loss of magnetic flux occurs. As a result, the reproduction efficiency of the magnetic head 10 is reduced. During reproduction, a magnetic flux is generated inside the first and second magnetic layers 1 and 2 by the current flowing through the conductor wire 3. This is because, when the magnetic gap is formed, the magnetic flux leaks from the magnetic gap to the outside of the magnetic head 10, and the leaked magnetic flux may magnetize the magnetic recording medium. Further, since the magnetic core of the magnetic head 10 is composed of the first magnetic layer 1 and the second magnetic layer 2, the impedance change in the conductor wire 3 is not changed by the first magnetic layer 1 and the second magnetic layer. Both are affected. In order to improve the read sensitivity of the recorded magnetization, it is sufficient that the change in the magnetic permeability of the first magnetic layer 1 corresponds to the change in the impedance of the conductor wire 3. For this reason, it is desirable to form the second magnetic layer 2 thinner than the first magnetic layer 1.

【0024】このように、本発明の磁気ヘッド10は、
従来のMRヘッドを用いた複合型薄膜磁気ヘッドのよう
に再生用に特に磁気ギャップ、及びシールド層を設ける
必要がない。その結果、磁気ヘッド10は、MRヘッド
を用いたものに比べて簡単な構成にすることができる。
また、磁気ヘッド10は、記録磁化の磁束を直接利用し
た磁束応答型の再生ヘッドを構成しているので、その再
生感度は、従来の誘導型ヘッドのものよりも優れたもの
にできる。また、キャリア信号の周波数が数MHzで使
用できるため、磁気ヘッド10に接続される再生信号検
出回路25で安定した動作を行うことができる。
As described above, the magnetic head 10 of the present invention
Unlike the composite type thin film magnetic head using the conventional MR head, there is no need to provide a magnetic gap and a shield layer especially for reproduction. As a result, the magnetic head 10 can have a simpler configuration than that using the MR head.
In addition, since the magnetic head 10 constitutes a magnetic flux responsive reproducing head that directly uses the magnetic flux of the recording magnetization, the reproducing sensitivity can be made superior to that of the conventional inductive head. In addition, since the frequency of the carrier signal can be used at several MHz, a stable operation can be performed by the reproduction signal detection circuit 25 connected to the magnetic head 10.

【0025】《第2の実施例》図7は、本発明を実施し
た第2の例としての磁気ヘッドを示す斜視図である。図
8は、図7に示した磁気ヘッドの製造工程を示す説明図
である。この実施例では、磁気ヘッドの構成において、
平坦な表面を有する第2の磁性層上に第1の磁性層を設
けた。それ以外の点は、第1の実施例に示すものと同様
であるのでそれらの重複した説明は省略する。第1の実
施例との主な違いは、第1の磁性層1’、導体線3、及
び絶縁膜6を第2の磁性層2’上に設けたことである。
すなわち、図7に示すように、磁気ヘッド10’は、磁
気コアを構成する第1の磁性層1’、及び平坦な表面を
有する第2の磁性層2’と、前記磁気コアに所定の電流
を供給するための導体線3を有する。第1の磁性層
1’、及び第2の磁性層2’は、CoーZrーNbーTaからな
るアモルファス薄膜で形成されている。このアモルファ
ス薄膜の好ましい組成の1例は、Co87%、Zr5.5
%、Nb3%、Ta4.5%である。第1の磁性層1’の膜
厚は、例えば1μmであり、第2の磁性層2’の膜厚
は、例えば0.2μmである。
<< Second Embodiment >> FIG. 7 is a perspective view showing a magnetic head according to a second embodiment of the present invention. FIG. 8 is an explanatory diagram showing a manufacturing process of the magnetic head shown in FIG. In this embodiment, in the configuration of the magnetic head,
The first magnetic layer was provided on the second magnetic layer having a flat surface. The other points are the same as those shown in the first embodiment, and the duplicated description thereof will be omitted. The main difference from the first embodiment is that the first magnetic layer 1 ', the conductor wire 3, and the insulating film 6 are provided on the second magnetic layer 2'.
That is, as shown in FIG. 7, a magnetic head 10 ′ includes a first magnetic layer 1 ′ constituting a magnetic core, a second magnetic layer 2 ′ having a flat surface, and a predetermined current flowing through the magnetic core. Has a conductor wire 3 for supplying The first magnetic layer 1 'and the second magnetic layer 2' are formed of an amorphous thin film made of Co-Zr-Nb-Ta. One example of a preferable composition of this amorphous thin film is Co 87%, Zr 5.5
%, Nb 3%, and Ta 4.5%. The thickness of the first magnetic layer 1 ′ is, for example, 1 μm, and the thickness of the second magnetic layer 2 ′ is, for example, 0.2 μm.

【0026】また、この磁気ヘッド10’の製造方法
は、下記の手順で行われる。まず、図8の(a)に示す
ように、表面上にアルミナ膜を鏡面加工したアルミナ・
チタンカーバイド(AlTiC)基板31に、CoーZrー
NbーTaからなるアモルファス合金をスパッタリングによ
り、第2の磁性層2’を形成する。続いて、図8の
(b)に示すように、アルミナ・チタンカーバイド基板
31と第2の磁性層2’とを静磁界中で加熱(例えば、
100Oe、300℃)することにより、第2の磁性層
2’の磁化容易軸5を所定の方向に配向する。その後、
第2の磁性層2’にイオンミリング処理を行うことによ
り、第2の磁性層2’を所定の形状に形成する。尚、第
2の磁性層2’の表面は、平坦に形成されている。次
に、図8の(c)に示すように、SiO2膜をスパッタ
リングにより形成した後でイオンミリング処理を行うこ
とにより、所定の形状の第1の絶縁層6aを第2の磁性
層2’上に形成する。そして、Cu薄膜等をスパッタリ
ングした後でドライ、またはケミカルエッチングして所
定の形状にパターンニングすることにより、導体線3を
第1の絶縁層6a上に形成する。この導体線3は、第2
の磁性層2’の磁化容易軸5と平行となるように形成さ
れる。その後、第1の絶縁層6aと同様に、第2の絶縁
層6bを導体線3を覆うように形成する。これにより、
絶縁膜6(図7)が、第1の絶縁層6aと第2の絶縁層
6bとで形成される。続いて、図8の(d)に示すよう
に、第1の磁性層1と同様に、CoーZrーNbーTaからなる
アモルファス合金を、静磁界中でスパッタリングするこ
とにより、第1の磁性層1’の磁化容易軸4を第2の磁
性層2’の磁化容易軸5と直交する方向に配向しながら
第1の磁性層1’を形成する。そして、第1の磁性層
1’にイオンミリング処理を行うことにより、第1の磁
性層1’を所定の形状に形成する。このように、第1の
磁性層1’、導体線3、及び絶縁膜6が、第2の磁性層
2’上に形成され、磁気ヘッド10’が製造される。こ
の実施例では、第2の磁性層2’の表面が平坦に構成さ
れているので、第1の実施例のものに比べて、第2の磁
性層2’の膜厚を薄くすることが容易にできる。その結
果、第1の実施例のものに比べて、再生感度を容易に向
上することができる。
The method of manufacturing the magnetic head 10 'is performed according to the following procedure. First, as shown in FIG. 8A, an alumina film having an alumina film mirror-finished on the surface is used.
On a titanium carbide (AlTiC) substrate 31, Co—Zr—
A second magnetic layer 2 'is formed by sputtering an Nb-Ta amorphous alloy. Subsequently, as shown in FIG. 8B, the alumina / titanium carbide substrate 31 and the second magnetic layer 2 ′ are heated in a static magnetic field (for example,
(100 Oe, 300 ° C.) to orient the easy axis 5 of the second magnetic layer 2 ′ in a predetermined direction. afterwards,
The second magnetic layer 2 'is formed into a predetermined shape by performing an ion milling process on the second magnetic layer 2'. Note that the surface of the second magnetic layer 2 'is formed flat. Next, as shown in FIG. 8C, the first insulating layer 6a having a predetermined shape is formed by performing ion milling after forming the SiO 2 film by sputtering, thereby forming the second magnetic layer 2 ′. Form on top. Then, the conductor wire 3 is formed on the first insulating layer 6a by patterning into a predetermined shape by dry or chemical etching after sputtering a Cu thin film or the like. This conductor wire 3 is
Is formed so as to be parallel to the easy axis 5 of the magnetic layer 2 ′. After that, similarly to the first insulating layer 6a, the second insulating layer 6b is formed so as to cover the conductor wire 3. This allows
An insulating film 6 (FIG. 7) is formed by the first insulating layer 6a and the second insulating layer 6b. Subsequently, as shown in FIG. 8 (d), similarly to the first magnetic layer 1, an amorphous alloy made of Co—Zr—Nb—Ta is sputtered in a static magnetic field, so that the first magnetic layer is formed. The first magnetic layer 1 'is formed while the easy axis 4 of the layer 1' is oriented in a direction orthogonal to the easy axis 5 of the second magnetic layer 2 '. Then, the first magnetic layer 1 'is formed into a predetermined shape by performing ion milling on the first magnetic layer 1'. In this manner, the first magnetic layer 1 ', the conductor wire 3, and the insulating film 6 are formed on the second magnetic layer 2', and the magnetic head 10 'is manufactured. In this embodiment, since the surface of the second magnetic layer 2 'is configured to be flat, it is easy to make the thickness of the second magnetic layer 2' thinner than that of the first embodiment. Can be. As a result, the reproduction sensitivity can be easily improved as compared with the first embodiment.

【0027】尚、上記2つの実施例に示した磁気ヘッド
の製造方法、及び構成部材の材質は、上述したものに限
定されるものではない。例えば、第1、第2の磁性層
を、NiFe合金、Co系の他のアモルファス膜でも構
成してもよいし、Fe系の薄膜で構成してもよい。ま
た、スパッタリングを用いた薄膜の形成以外に、蒸着法
やメッキなどの薄膜形成方法を用いてもよい。さらに、
第1の磁性層と第2の磁性層とを異なるアモルファス膜
を用いて構成してもよい。また、磁気コアを第1、第2
の磁性層だけでなく、さらに多数の磁性層で構成して多
層化することにより、磁気ヘッドの高周波領域における
透磁率を向上することが可能である。
The method of manufacturing the magnetic head and the materials of the constituent members shown in the above two embodiments are not limited to those described above. For example, the first and second magnetic layers may be formed of a NiFe alloy, another Co-based amorphous film, or may be formed of an Fe-based thin film. Further, in addition to the formation of a thin film using sputtering, a thin film forming method such as an evaporation method or plating may be used. further,
The first magnetic layer and the second magnetic layer may be configured using different amorphous films. Further, the magnetic cores are first and second.
Not only the above magnetic layer but also a larger number of magnetic layers to form a multilayer structure makes it possible to improve the magnetic permeability of the magnetic head in a high frequency region.

【0028】《第3の実施例》図9は、本発明を実施し
た第3の例としての磁気ディスク装置の主要部を示す説
明図である。図10は、図9に示した磁気ディスク装置
の再生回路を示すブロック図である。図9において、磁
気ヘッド40は、第1の実施例に示した磁気ヘッド10
と同じものである。この磁気ヘッド40は、図示しない
ヘッドスライダーなどに設置され、ディスク状の垂直磁
気記録媒体35の記録面上に配置されている。磁気ヘッ
ド40において、第1の磁性層41の磁化容易軸44
は、垂直磁気記録媒体35の記録磁化36の方向と平行
になるように配向されている。また、第2の磁性層42
の磁化容易軸45は、上記記録磁化36の方向と直交す
るように配向されている。さらに、導体線43が第1の
磁性層41と第2の磁性層42とからなる磁気コアを貫
通するように絶縁配置されている。この導体線43の両
端には、電極端子43a,43bが設けられている。ま
た、導体線45には、キャリア信号である交流の低電流
と、第1の磁性層41を一の方向にバイアス磁化するた
めの直流の微小な電流が供給される。垂直磁気記録媒体
35は、垂直方向に磁化容易軸を有する、いわゆる垂直
記録用の記録媒体である。当該垂直磁気記録媒体35
は、非常に平滑な表面を持つガラスディスク上に記録層
として膜厚1μmのCoZrTa膜、その上に膜厚0.
1μmのCoCrTa膜が被着形成された二層構造であ
る。また、垂直磁気記録媒体35の直径は25mmで、
その記録面には情報がすでに記録されている。本実施例
の磁気再生装置は、スピンドルモーター等によりディス
ク状の垂直磁気記録媒体35が図9の矢印Aの方向に回
転し、磁気ヘッド40が垂直磁気記録媒体35の上を浮
上しながら記録情報の再生を行う。
<< Third Embodiment >> FIG. 9 is an explanatory diagram showing a main part of a magnetic disk drive according to a third embodiment of the present invention. FIG. 10 is a block diagram showing a reproducing circuit of the magnetic disk device shown in FIG. In FIG. 9, the magnetic head 40 is the same as the magnetic head 10 shown in the first embodiment.
Is the same as The magnetic head 40 is installed on a head slider (not shown) or the like, and is arranged on a recording surface of a disk-shaped perpendicular magnetic recording medium 35. In the magnetic head 40, the axis of easy magnetization 44 of the first magnetic layer 41
Are oriented so as to be parallel to the direction of the recording magnetization 36 of the perpendicular magnetic recording medium 35. Also, the second magnetic layer 42
Is oriented so as to be orthogonal to the direction of the recording magnetization. Further, the conductor wire 43 is insulated and arranged so as to penetrate the magnetic core including the first magnetic layer 41 and the second magnetic layer 42. At both ends of the conductor wire 43, electrode terminals 43a and 43b are provided. The conductor wire 45 is supplied with a low alternating current, which is a carrier signal, and a very small direct current for bias-magnetizing the first magnetic layer 41 in one direction. The perpendicular magnetic recording medium 35 is a so-called perpendicular recording medium having an easy axis of magnetization in the perpendicular direction. The perpendicular magnetic recording medium 35
Is a 1 μm thick CoZrTa film as a recording layer on a glass disk having a very smooth surface,
It has a two-layer structure in which a 1 μm CoCrTa film is deposited. The diameter of the perpendicular magnetic recording medium 35 is 25 mm,
Information is already recorded on the recording surface. In the magnetic reproducing apparatus of this embodiment, the disk-shaped perpendicular magnetic recording medium 35 is rotated in the direction of arrow A in FIG. 9 by a spindle motor or the like, and the magnetic head 40 flies above the perpendicular magnetic recording medium 35 while recording information. Perform playback.

【0029】図10に示すように、磁気ディスク装置
は、磁気インピーダンス素子51を有する磁気ヘッド4
0と、磁気ヘッド40の端子52,53に接続されたキ
ャリヤ信号発生器55、及び再生信号検出回路56と、
再生アンプ57を介して再生信号検出回路56に接続さ
れた再生信号処理回路58とを有する。磁気インピーダ
ンス素子51は、磁気ヘッド40の導体線43(図9)
を等価的に示したものであり、端子52,53は、それ
ぞれ図1に示した電極端子43a,43bに相当する。
キャリア信号発生器55は、キャリア信号の発振回路、
定電流ドライブ回路、及び直流電流ドライブ回路とで構
成されている(図示せず)。キャリア信号の発振回路と
定電流ドライブ回路とは、再生時に電極端子52と53
を介して磁気インピーダンス素子51にキャリア信号で
ある交流の定電流を供給する。また、直流電流ドライブ
回路は、再生時にバイヤス磁界を発生させるために、電
極端子52と53を介して導体線43(図9)に直流の
微小な電流を供給する。尚、本実施例の磁気ディスク装
置では、キャリア信号の周波数は2MHzであり、バイ
アス磁化するための直流は2mAである。再生信号検出
回路56は、AM検波回路、及びAM復調回路とで構成
されている(図示せず)。AM検波回路は、電極端子5
2と電極端子53との間に生じるAM波(Amplitude Mo
dulation)の信号を検出する。AM復調回路は、前記A
M検波回路で検出されたAM波を復調して、再生信号と
して出力する。再生アンプ57は、再生信号検出回路5
6で復調された再生信号を増幅する。再生信号処理回路
58は、再生アンプ57で増幅された再生信号を、例え
ば、符号復調などを行い出力するに適した信号に変換し
て出力端子59から表示装置などに出力する。
As shown in FIG. 10, the magnetic disk drive comprises a magnetic head 4 having a magnetic impedance element 51.
0, a carrier signal generator 55 connected to terminals 52 and 53 of the magnetic head 40, and a reproduction signal detection circuit 56;
A reproduction signal processing circuit 58 connected to a reproduction signal detection circuit 56 via a reproduction amplifier 57; The magneto-impedance element 51 is connected to the conductor line 43 of the magnetic head 40 (FIG. 9).
Are equivalently shown, and the terminals 52 and 53 correspond to the electrode terminals 43a and 43b shown in FIG. 1, respectively.
The carrier signal generator 55 includes a carrier signal oscillation circuit,
It is composed of a constant current drive circuit and a direct current drive circuit (not shown). The carrier signal oscillation circuit and the constant current drive circuit connect the electrode terminals 52 and 53 during reproduction.
A constant current of an alternating current which is a carrier signal is supplied to the magnetic impedance element 51 through the. The DC current drive circuit supplies a minute DC current to the conductor line 43 (FIG. 9) via the electrode terminals 52 and 53 in order to generate a bias magnetic field during reproduction. In the magnetic disk drive of this embodiment, the frequency of the carrier signal is 2 MHz, and the direct current for bias magnetization is 2 mA. The reproduction signal detection circuit 56 includes an AM detection circuit and an AM demodulation circuit (not shown). The AM detection circuit has an electrode terminal 5
AM wave (Amplitude Mo) generated between the electrode 2 and the electrode terminal 53
dulation) signal. The AM demodulation circuit is provided by the A
The AM wave detected by the M detection circuit is demodulated and output as a reproduced signal. The reproduction amplifier 57 includes a reproduction signal detection circuit 5
In step 6, the reproduced signal demodulated is amplified. The reproduction signal processing circuit 58 converts the reproduction signal amplified by the reproduction amplifier 57 into a signal suitable for output by performing, for example, code demodulation, and outputs the signal from an output terminal 59 to a display device or the like.

【0030】次に、本実施例の磁気ディスク装置の再生
動作について、図9、及び図10を参照して説明する。
図9に示すように、磁気ヘッド40が垂直磁気記録媒体
35の記録磁化36上を走査すると、第2の磁性層42
を通じて第1の磁性層41に記録磁化36からの漏れ磁
束が通る。第1の磁性層41は、前記磁束によって磁化
され、透磁率は低下する。一方、導体線43には、図1
0に示したキャリア信号発生器55から2MHzのキャ
リア信号が供給されており、その電極端子43a,43
b間にはキャリア信号の電流により変化する電圧Vが生
じる。この電圧Vは、V=ZI(但しIは、一定)の関
係式に基づいて電極端子43a,43b間のインピーダ
ンスZにより決定される。このインピーダンスZは、第
1の磁性層41の透磁率に比例し、第1の磁性層41の
透磁率が低下すると、インピーダンスZも低下する。す
なわち、垂直磁気記録媒体35からの漏れ磁界が大きい
とインピーダンスZが小さくなり、漏れ磁界が小さいと
インピーダンスZが大きくなる。例えば、磁気ヘッド4
0で検出される垂直磁気記録媒体35の漏れ磁界が、図
11の曲線60に示すように、−a〜+aの範囲で変動
している場合では、インピーダンスZの値は、図12の
曲線61に示すように、漏れ磁界の変化に対応して変動
する。すなわち、インピーダンスZの値は、垂直磁気記
録媒体35からの漏れ磁界である外部磁界Hextが0の
場合、インピーダンスZの値は大きな値b2をとり、外
部磁界Hextが−a又は+aの場合、インピーダンスZ
の値は小さい値b2をとる。尚、−、+の符号は、漏れ
磁界の向きを示す。
Next, the reproducing operation of the magnetic disk device of the present embodiment will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 9, when the magnetic head 40 scans over the recording magnetization 36 of the perpendicular magnetic recording medium 35, the second magnetic layer 42
Through the first magnetic layer 41, the leakage magnetic flux from the recording magnetization 36 passes. The first magnetic layer 41 is magnetized by the magnetic flux, and the magnetic permeability decreases. On the other hand, as shown in FIG.
0 is supplied with a carrier signal of 2 MHz from the carrier signal generator 55 shown in FIG.
A voltage V that varies depending on the current of the carrier signal is generated between b. The voltage V is determined by the impedance Z between the electrode terminals 43a and 43b based on the relational expression of V = ZI (where I is constant). This impedance Z is proportional to the magnetic permeability of the first magnetic layer 41, and when the magnetic permeability of the first magnetic layer 41 decreases, the impedance Z also decreases. That is, if the leakage magnetic field from the perpendicular magnetic recording medium 35 is large, the impedance Z becomes small, and if the leakage magnetic field is small, the impedance Z becomes large. For example, the magnetic head 4
When the leakage magnetic field of the perpendicular magnetic recording medium 35 detected at 0 fluctuates in the range of -a to + a as shown by the curve 60 in FIG. 11, the value of the impedance Z becomes the curve 61 in FIG. As shown in (1), it fluctuates according to the change in the leakage magnetic field. That is, when the external magnetic field Hext, which is a leakage magnetic field from the perpendicular magnetic recording medium 35, is 0, the impedance Z takes a large value b2. When the external magnetic field Hext is -a or + a, the impedance Z Z
Takes a small value b2. The signs of-and + indicate the direction of the leakage magnetic field.

【0031】このように、このインピーダンスZの値
は、記録磁化36の漏れ磁界の強さに反比例するもの
の、記録磁化36の極性には無関係である。すなわち、
磁気コアを通過する磁束量が同じであれば、電極端子4
3a,43b間に生じる電圧Vは同じ大きさとなる。こ
のため、このままではどのような信号処理を行っても記
録磁化36を再現することができない。それゆえ、本実
施例のディスク装置では、記録磁化36の極性によりイ
ンピーダンスZの値が変化するように、磁気コアの第1
の磁性層41(図9)を一の方向にバイアス磁化してい
る。具体的には、上述したように、キャリア信号発生器
55(図10)から導体線43(図9)に直流の微小な
電流を供給して、第1の磁性層41を一の方向にバイア
ス磁化している。その結果、記録磁化36の極性に応じ
て電圧Vが変化するようになる。例えば、大きさ、及び
極性がd、及び−であるバイアス磁界を磁気コアに与え
ると、外部磁界HextとインピーダンスZの関係は、図
13の曲線62で示される。この図13の曲線62と図
12の曲線61とを対比してみると、バイアス磁界dの
分だけ、曲線62が曲線61に比べて右に移動している
ことが分かる。すなわち、外部磁界Hextが−aの場
合、インピーダンスZの値は最小値c3をとる。また、
外部磁界Hextが0の場合、インピーダンスZの値は中
間値c2をとり、外部磁界Hextが+aの場合、インピー
ダンスZの値は最大値c1をとる。このように、インピ
ーダンスZの値は、バイアス磁界を与えることにより、
外部磁界Hextの極性を反映したものとなり、電極端子
43a,43b間に生じる電圧Vを用いて記録磁化36
を再現することができる。
As described above, the value of the impedance Z is inversely proportional to the strength of the leakage magnetic field of the recording magnetization 36, but is independent of the polarity of the recording magnetization 36. That is,
If the amount of magnetic flux passing through the magnetic core is the same, the electrode terminal 4
The voltage V generated between 3a and 43b has the same magnitude. For this reason, the recording magnetization 36 cannot be reproduced with any signal processing as it is. Therefore, in the disk device of the present embodiment, the first of the magnetic cores is changed so that the value of the impedance Z changes depending on the polarity of the recording magnetization 36.
The magnetic layer 41 (FIG. 9) is bias-magnetized in one direction. Specifically, as described above, a minute DC current is supplied from the carrier signal generator 55 (FIG. 10) to the conductor line 43 (FIG. 9) to bias the first magnetic layer 41 in one direction. Magnetized. As a result, the voltage V changes according to the polarity of the recording magnetization 36. For example, when a bias magnetic field having a magnitude and polarity of d and-is applied to the magnetic core, the relationship between the external magnetic field Hext and the impedance Z is shown by a curve 62 in FIG. Comparing the curve 62 in FIG. 13 with the curve 61 in FIG. 12, it can be seen that the curve 62 is shifted to the right as compared to the curve 61 by the bias magnetic field d. That is, when the external magnetic field Hext is -a, the value of the impedance Z takes the minimum value c3. Also,
When the external magnetic field Hext is 0, the value of the impedance Z takes an intermediate value c2, and when the external magnetic field Hext is + a, the value of the impedance Z takes a maximum value c1. Thus, the value of the impedance Z can be adjusted by applying a bias magnetic field.
It reflects the polarity of the external magnetic field Hext, and uses the voltage V generated between the electrode terminals 43a and 43b to make the recording magnetization 36
Can be reproduced.

【0032】また、磁気ヘッド40は、次々に極性やそ
の長さの異なる記録磁化36上を走査するので、電極端
子43a,43b間に生じる電圧Vの変化は、2MHz
のキャリア信号をキャリアーとするAM波となる。この
AM波は、再生信号検出回路56において再生信号とし
て復調され、再生アンプ57に出力される。再生アンプ
57は、復調された再生信号を増幅し、再生信号処理回
路58に出力する。再生信号処理回路58は、再生信号
を出力するに適した信号に変換し、出力端子59から出
力する。このように、本実施例の磁気ディスク装置は、
磁束応答型の磁気インピーダンス素子51を用いて垂直
磁気記録媒体35に記録された情報を再生する。このた
め、従来の誘導型ヘッドに比べて、再生信号の再生感度
を向上することができる。尚、キャリア信号の周波数を
500KHzから10MHzとすることにより、再生信
号検出回路56、再生アンプ57、及び再生信号処理回
路58での再生信号の処理を容易なものにすることがで
きる。
Since the magnetic head 40 scans over the recording magnetization 36 having different polarities and lengths one after another, the change in the voltage V generated between the electrode terminals 43a and 43b is 2 MHz.
An AM wave having the carrier signal of the carrier as a carrier. This AM wave is demodulated as a reproduction signal in the reproduction signal detection circuit 56 and output to the reproduction amplifier 57. The reproduction amplifier 57 amplifies the demodulated reproduction signal and outputs it to the reproduction signal processing circuit 58. The reproduction signal processing circuit 58 converts the reproduction signal into a signal suitable for output, and outputs the signal from an output terminal 59. Thus, the magnetic disk drive of the present embodiment
The information recorded on the perpendicular magnetic recording medium 35 is reproduced by using the magnetic flux response type magnetic impedance element 51. For this reason, the reproduction sensitivity of the reproduction signal can be improved as compared with the conventional induction type head. By adjusting the frequency of the carrier signal from 500 KHz to 10 MHz, the processing of the reproduction signal in the reproduction signal detection circuit 56, the reproduction amplifier 57, and the reproduction signal processing circuit 58 can be facilitated.

【0033】《第4の実施例》図14は、本発明を実施
した第4の例としての磁気ディスク装置の主要部を示す
説明図である。図14において、磁気ヘッド70は、磁
気コア71、磁気コア71に巻かれたコイル72、及び
磁気コア71に内蔵された磁気インピーダンス素子75
とを有する。磁気ヘッド70は、複合型の薄膜磁気ヘッ
ドであり、情報の記録に磁気コア71とコイル72を用
い、情報の再生に磁気コア71と磁気インピーダンス素
子75を用いる。磁気コア71は、例えばNiFe合金
で形成され、その磁化容易軸73は磁気コア71内を流
れる磁束74の方向を直交するように配向されている。
磁気コア71の表面には、磁気記録媒体80の記録面に
対向する磁気ギャップ71aが設けられている。コイル
72は、Cu薄膜等で形成され、所定の交流の電流が図
示しないドライブ回路から供給される。磁気コア71と
コイル72との間には、磁気ヘッド70の強度を向上す
るために、ガラスなどが設けられている。尚、磁気記録
媒体80は、面内に磁化容易軸81を有する、いわゆる
面内記録用の磁気記録媒体である。この磁気記録憶媒体
80は、非常に平滑な表面を持つガラスディスク上に記
録層として膜厚0.03μmのCoNiCr膜が被着形
成されており、その直径は25mmである。
<< Fourth Embodiment >> FIG. 14 is an explanatory diagram showing a main part of a magnetic disk drive as a fourth embodiment embodying the present invention. 14, a magnetic head 70 includes a magnetic core 71, a coil 72 wound around the magnetic core 71, and a magnetic impedance element 75 built in the magnetic core 71.
And The magnetic head 70 is a composite type thin film magnetic head, and uses a magnetic core 71 and a coil 72 for recording information, and uses a magnetic core 71 and a magnetic impedance element 75 for reproducing information. The magnetic core 71 is made of, for example, a NiFe alloy, and its easy axis 73 is oriented so that the direction of the magnetic flux 74 flowing through the magnetic core 71 is orthogonal to the magnetic core 71.
On the surface of the magnetic core 71, a magnetic gap 71a facing the recording surface of the magnetic recording medium 80 is provided. The coil 72 is formed of a Cu thin film or the like, and a predetermined alternating current is supplied from a drive circuit (not shown). Glass or the like is provided between the magnetic core 71 and the coil 72 in order to improve the strength of the magnetic head 70. The magnetic recording medium 80 is a so-called in-plane recording magnetic recording medium having an easy axis 81 in the plane. In the magnetic recording storage medium 80, a CoNiCr film having a thickness of 0.03 μm is formed as a recording layer on a glass disk having a very smooth surface, and its diameter is 25 mm.

【0034】磁気インピーダンス素子75は、CoーZrー
NbーTaからなるアモルファス膜で形成された磁気コア7
6、及びCu薄膜などで形成された導体線77を具備し
ている。この磁気コア76、及び導体線77は、例えば
第1の実施例に示した第1の磁性層1(図1)、及び導
体線3(図1)にそれぞれ相当するものである。磁気イ
ンピーダンス素子75は、その磁気コア76の磁化容易
軸79と磁気コア71内に流れる磁束74とが互いに平
行になるように、磁気ヘッド70の磁気コア71内に配
置されている。また、導体線77は、磁気コア76の磁
化容易軸79と直交する方向に、磁気コア76を貫通し
て配置されている。絶縁膜78が、磁気コア76と導体
線77との間に形成され、磁気コア76と導体線77と
を電気的に絶縁している。また、導体線77の両端に
は、導体線77にキャリア信号、及びバイアス電流を流
すための電極端子(図示せず)が設けられている。尚、
これらの電極端子は、例えば図10に示した電極端子5
2,53に相当するものである。
The magnetic impedance element 75 is made of Co-Zr-
Magnetic core 7 formed of an amorphous film made of Nb-Ta
6 and a conductor wire 77 formed of a Cu thin film or the like. The magnetic core 76 and the conductor wire 77 correspond to, for example, the first magnetic layer 1 (FIG. 1) and the conductor wire 3 (FIG. 1) shown in the first embodiment, respectively. The magnetic impedance element 75 is disposed in the magnetic core 71 of the magnetic head 70 such that the easy axis 79 of the magnetic core 76 and the magnetic flux 74 flowing in the magnetic core 71 are parallel to each other. The conductor wire 77 is arranged so as to penetrate the magnetic core 76 in a direction perpendicular to the easy axis 79 of the magnetic core 76. An insulating film 78 is formed between the magnetic core 76 and the conductor wire 77, and electrically insulates the magnetic core 76 from the conductor wire 77. At both ends of the conductor wire 77, electrode terminals (not shown) for passing a carrier signal and a bias current through the conductor wire 77 are provided. still,
These electrode terminals are, for example, the electrode terminals 5 shown in FIG.
2,53.

【0035】本実施例の磁気ディスク装置は、スピンド
ルモーター等によりディスク状の磁気記録媒体80を回
転させ、磁気ヘッド70を磁気記録媒体80上に配置し
て情報の記録、及び再生を行う。磁気ヘッド70は、図
示しないヘッドスライダーに装着され、アクチュエータ
(図示せず)により磁気記録媒体80上を移動する。磁
気ヘッド70が情報を磁気記録媒体80に記録する場合
は、従来の誘導型ヘッドと同様にコイル72に交流の電
流を流して磁気ギャップ71aに磁界を発生させる方法
で行なう。また、磁気ヘッド70が磁気記録媒体80か
ら情報を再生する場合は、磁気コア71に流れる記録情
報の磁束74の変化に対応した磁気インピーダンス素子
75の磁気コア76の透磁率の変化を、導体線77の両
端に生じる電圧の変化により検出する。そして、前記電
圧の変化を図10に示した再生信号検出回路56などに
より、再生信号に変換して出力する。このように、本実
施例の磁気ディスク装置では、情報の記録には従来の誘
導型ヘッドを用い、情報の再生には磁気インピーダンス
素子75を用いている。このため、MRヘッドを用いた
従来の複合型薄膜磁気ヘッドのように再生用に特に磁気
ギャップ、及びシールド層を設ける必要がない。その結
果、磁気ヘッド70は、MRヘッドを用いたものに比べ
て簡単な構成にすることができる。また、磁気ヘッド7
0は、記録磁化の磁束を直接利用した磁束応答型の再生
ヘッドを構成しているので、その再生感度は、従来の誘
導型ヘッドのものよりも優れたものにできる。また、キ
ャリア信号の周波数が数MHzで使用できるため、磁気
ヘッド70に接続される再生信号検出回路56などで安
定した動作を行うことができる。
In the magnetic disk drive of the present embodiment, the disk-shaped magnetic recording medium 80 is rotated by a spindle motor or the like, and the magnetic head 70 is arranged on the magnetic recording medium 80 to record and reproduce information. The magnetic head 70 is mounted on a head slider (not shown), and moves on the magnetic recording medium 80 by an actuator (not shown). When the magnetic head 70 records information on the magnetic recording medium 80, a method is used in which an alternating current is passed through the coil 72 to generate a magnetic field in the magnetic gap 71a, as in the case of the conventional induction type head. When the magnetic head 70 reproduces information from the magnetic recording medium 80, the change in the magnetic permeability of the magnetic core 76 of the magnetic impedance element 75 corresponding to the change in the magnetic flux 74 of the recorded information flowing through the magnetic core 71 is determined by a conductor line. It is detected by a change in the voltage generated at both ends of 77. Then, the change in the voltage is converted into a reproduction signal by the reproduction signal detection circuit 56 shown in FIG. 10 and output. As described above, in the magnetic disk drive of this embodiment, the conventional inductive head is used for recording information, and the magnetic impedance element 75 is used for reproducing information. Therefore, it is not necessary to provide a magnetic gap and a shield layer especially for reproduction unlike the conventional composite type thin film magnetic head using the MR head. As a result, the magnetic head 70 can have a simpler configuration than that using the MR head. The magnetic head 7
Numeral 0 constitutes a magnetic flux response type reproducing head that directly uses the magnetic flux of the recording magnetization, and thus the reproducing sensitivity can be made superior to that of the conventional induction type head. Further, since the frequency of the carrier signal can be used at several MHz, a stable operation can be performed by the reproduction signal detection circuit 56 connected to the magnetic head 70 and the like.

【0036】《第5の実施例》図15は、本発明を実施
した第5の例としての磁気ディスク装置の主要部を示す
説明図である。この実施例では、垂直方向に磁化容易軸
を有する、いわゆる垂直記録用の磁気記録媒体に情報を
記録、及び再生する磁気ヘッドを構成した。それ以外の
点は、第4の実施例に示すものと同様であるのでそれら
の重複した説明は省略する。第4の実施例との主な違い
は、第1の磁気コアと第2の磁気コアとで磁気ヘッドの
磁気コアを構成し、磁気インピーダンス素子を第1の磁
気コアに内蔵したことである。すなわち、図15に示す
ように、磁気ヘッド85は、第1の磁気コア86a、第
1の磁気コア86aと磁気的に結合した第2の磁気コア
86b、第2の磁気コア86bに巻かれたコイル72、
及び第1の磁気コア86aに内蔵された磁気インピーダ
ンス素子75とを有する。磁気ヘッド85は、複合型の
薄膜磁気ヘッドであり、情報の記録に第1、第2の磁気
コア86a,86bとコイル87を用い、情報の再生に
第1の磁気コア86aと磁気インピーダンス素子75を
用いる。第1、第2の磁気コア86a,86bは、例え
ばNiFe合金で形成され、その磁化容易軸は第1、第
2の磁気コア86a,86b内を流れる磁束88の方向
を直交するように配向されている。第1、第2の磁気コ
ア86a,86bは、磁気記録媒体90の記録面と対向
する各表面と反対側の部分で、互いに接合し磁気的に結
合している。コイル87は、Cu薄膜等で形成され、所
定の交流の電流が図示しないドライブ回路から供給され
る。第1の磁気コア86aとコイル87が巻かれた第2
の磁気コア86bとの間には、磁気ヘッド85の強度を
向上するために、ガラスなどの絶縁層89が設けられて
いる。尚、磁気記録媒体90は、垂直方向に磁化容易軸
91が配向された磁気記録媒体である。この磁気記録媒
体90は、非常に平滑な表面を持つガラスディスク上に
記録層として膜厚1μmのCoZrTa膜、その上に膜
厚0.1μmのCoCrTa膜が被着形成された二層構
造であり、その直径は25mmである。また、磁気イン
ピーダンス素子75は、第6の実施例に示したものと同
じものであり、その磁気コア76(図14)の磁化容易
軸79(図14)と第1の磁気コア86a内に流れる磁
束88とが互いに平行になるように、磁気ヘッド85の
第1の磁気コア86a内に配置されている。
<< Fifth Embodiment >> FIG. 15 is an explanatory view showing a main part of a magnetic disk drive according to a fifth embodiment of the present invention. In this embodiment, a magnetic head for recording and reproducing information on a so-called perpendicular recording magnetic recording medium having an easy axis of magnetization in the perpendicular direction was constructed. The other points are the same as those shown in the fourth embodiment, and thus the duplicated description thereof will be omitted. The main difference from the fourth embodiment is that the first magnetic core and the second magnetic core constitute the magnetic core of the magnetic head, and the magnetic impedance element is incorporated in the first magnetic core. That is, as shown in FIG. 15, the magnetic head 85 is wound around a first magnetic core 86a, a second magnetic core 86b magnetically coupled to the first magnetic core 86a, and a second magnetic core 86b. Coil 72,
And a magneto-impedance element 75 built in the first magnetic core 86a. The magnetic head 85 is a composite thin-film magnetic head. The first and second magnetic cores 86a and 86b and the coil 87 are used for recording information, and the first magnetic core 86a and the magnetic impedance element 75 are used for reproducing information. Is used. The first and second magnetic cores 86a and 86b are formed of, for example, a NiFe alloy, and their easy axes are oriented so that the directions of magnetic fluxes 88 flowing in the first and second magnetic cores 86a and 86b are orthogonal to each other. ing. The first and second magnetic cores 86a and 86b are joined and magnetically coupled to each other at a portion opposite to each surface facing the recording surface of the magnetic recording medium 90. The coil 87 is formed of a Cu thin film or the like, and a predetermined alternating current is supplied from a drive circuit (not shown). The first magnetic core 86a and the second in which the coil 87 is wound
In order to improve the strength of the magnetic head 85, an insulating layer 89 of glass or the like is provided between the magnetic core 86b. The magnetic recording medium 90 is a magnetic recording medium in which the easy axis 91 is oriented in the vertical direction. The magnetic recording medium 90 has a two-layer structure in which a 1 μm-thick CoZrTa film is formed as a recording layer on a glass disk having a very smooth surface, and a 0.1 μm-thick CoCrTa film is formed thereon. , Its diameter is 25 mm. The magnetic impedance element 75 is the same as that shown in the sixth embodiment, and flows into the easy axis 79 (FIG. 14) of the magnetic core 76 (FIG. 14) and the first magnetic core 86a. The magnetic head 88 is arranged in the first magnetic core 86a of the magnetic head 85 so as to be parallel to each other.

【0037】本実施例の磁気ディスク装置は、スピンド
ルモーター等によりディスク状の磁気記録媒体90を回
転させ、磁気ヘッド85を磁気記録媒体90上に配置し
て情報の記録、及び再生を行う。磁気ヘッド85は、図
示しないヘッドスライダーに装着され、アクチュエータ
(図示せず)により磁気記録媒体90上を移動する。磁
気ヘッド85が情報を磁気記録媒体90に記録する場合
は、従来の誘導型ヘッドと同様にコイル87に交流の電
流を流して第2の磁気コア86bの表面から磁界を発生
させる方法で行なう。また、磁気ヘッド85が磁気記録
媒体90から情報を再生する場合は、第1の磁気コア8
6aに流れる記録情報の磁束88の変化に対応した磁気
インピーダンス素子75の磁気コア76(図14)の透
磁率の変化を、導体線77(図14)の両端に生じる電
圧の変化により検出する。そして、前記電圧の変化を図
10に示した再生信号検出回路56などにより、再生信
号に変換して出力する。
In the magnetic disk device of this embodiment, a disk-shaped magnetic recording medium 90 is rotated by a spindle motor or the like, and a magnetic head 85 is arranged on the magnetic recording medium 90 to record and reproduce information. The magnetic head 85 is mounted on a head slider (not shown), and moves on the magnetic recording medium 90 by an actuator (not shown). When the magnetic head 85 records information on the magnetic recording medium 90, an AC current is applied to the coil 87 to generate a magnetic field from the surface of the second magnetic core 86b as in the case of the conventional induction type head. When the magnetic head 85 reproduces information from the magnetic recording medium 90, the first magnetic core 8
A change in the magnetic permeability of the magnetic core 76 (FIG. 14) of the magnetic impedance element 75 corresponding to a change in the magnetic flux 88 of the recorded information flowing through 6a is detected by a change in voltage generated at both ends of the conductor wire 77 (FIG. 14). Then, the change in the voltage is converted into a reproduction signal by the reproduction signal detection circuit 56 shown in FIG. 10 and output.

【0038】尚、磁気コア等の材質は、ここに記載した
ものに限られるものではない。例えば、Co系の他のア
モルファス膜やFe系の薄膜で磁気コア71を形成して
もよい。また、磁気ヘッドの磁気コアと磁気インピーダ
ンス素子の磁気コアとを同じ材質で形成してもよい。さ
らに、磁気インピーダンス素子は、その磁気コアの磁化
容易軸が磁気ヘッドの磁気コア内を流れる磁束と平行に
配置されれば、上記実施例と同様な効果が得られるもの
である。
The material of the magnetic core and the like is not limited to those described here. For example, the magnetic core 71 may be formed of another Co-based amorphous film or an Fe-based thin film. Further, the magnetic core of the magnetic head and the magnetic core of the magnetic impedance element may be formed of the same material. Further, in the magnetic impedance element, if the axis of easy magnetization of the magnetic core is arranged in parallel with the magnetic flux flowing in the magnetic core of the magnetic head, the same effect as in the above embodiment can be obtained.

【0039】[0039]

【発明の効果】本発明の磁気ヘッドによれば、少なくと
も1つの磁性体で構成された磁気コア内に、磁性体の磁
化容易軸と直交する方向に導体を絶縁配置している。こ
の磁気ヘッドを磁気記録媒体からの磁界内に配置し、導
体に少なくとも高周波電流を供給することにより、磁気
ギャップ、及びシールド層などを設けることなく、かつ
再生感度の優れた記録磁化を再生する磁束応答型の再生
ヘッドを得ることができる。
According to the magnetic head of the present invention, conductors are insulated and arranged in a direction perpendicular to the axis of easy magnetization of the magnetic material in the magnetic core composed of at least one magnetic material. By arranging this magnetic head in a magnetic field from a magnetic recording medium and supplying at least a high-frequency current to a conductor, a magnetic flux for reproducing recorded magnetization with excellent reproduction sensitivity without providing a magnetic gap and a shield layer, etc. A responsive read head can be obtained.

【0040】さらに、他の発明の磁気ヘッドによれば、
磁気記録媒体の磁化方向と平行に配向された磁化容易軸
を有する第1の磁性体と、前記磁化容易軸と直交する方
向に配向された磁化容易軸を有する第2の磁性体とで磁
気コアを構成している。磁気ヘッドを磁気記録媒体から
の磁界内に配置し、導体に少なくとも高周波電流を供給
することにより、磁気ギャップ、及びシールド層などを
設けることなく、かつ再生感度の優れた記録磁化を再生
する磁束応答型の再生ヘッドを得ることができる。
Further, according to the magnetic head of another invention,
A magnetic core comprising a first magnetic body having an easy axis oriented in parallel with a magnetization direction of a magnetic recording medium and a second magnetic body having an easy axis oriented in a direction orthogonal to the easy axis. Is composed. By placing the magnetic head in a magnetic field from a magnetic recording medium and supplying at least a high-frequency current to the conductor, a magnetic flux response that reproduces recorded magnetization with excellent reproduction sensitivity without providing a magnetic gap and a shield layer, etc. A type of reproducing head can be obtained.

【0041】さらに、他の発明の磁気ヘッドによれば、
磁気記録媒体と近接して配置される突出部が、磁気記録
媒体の記録磁化の方向と直交する方向に配向した磁化容
易軸を有する第2の磁性体で構成している。このことに
より、磁気記録媒体の記録磁化が、第1の磁性体からの
漏れ磁束により、消去されるのを防止できる。
Further, according to the magnetic head of another invention,
The protrusion disposed close to the magnetic recording medium is made of a second magnetic body having an easy axis of magnetization oriented in a direction orthogonal to the direction of the recording magnetization of the magnetic recording medium. Thus, it is possible to prevent the recording magnetization of the magnetic recording medium from being erased by the leakage magnetic flux from the first magnetic body.

【0042】さらに、他の発明の磁気ヘッドによれば、
前記第1の磁性体の膜厚に比較して、前記第2の磁性体
の膜厚を薄く形成している。このことにより、再生信号
の感度を向上することができる。
Further, according to the magnetic head of another invention,
The thickness of the second magnetic body is formed to be smaller than the thickness of the first magnetic body. Thus, the sensitivity of the reproduced signal can be improved.

【0043】本発明の磁気ヘッドの製造方法によれば、
静磁界中で加熱することにより、第1の磁性体の磁化容
易軸を所定の方向に配向し、静磁界中で製膜することで
第2の磁性体の磁化容易軸を前記第1の磁性体の磁化容
易軸と直交する方向に配向している。このように構成す
ることにより、磁気ギャップ、及びシールド層などを設
けることなく、記録磁化を再生する磁束応答型の再生ヘ
ッドを製造することができる。
According to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention,
By heating in a static magnetic field, the axis of easy magnetization of the first magnetic material is oriented in a predetermined direction, and by forming a film in a static magnetic field, the axis of easy magnetization of the second magnetic material is set in the first magnetic material. It is oriented in a direction perpendicular to the axis of easy magnetization of the body. With this configuration, it is possible to manufacture a magnetic flux responsive reproducing head that reproduces recorded magnetization without providing a magnetic gap, a shield layer, and the like.

【0044】さらに、他の発明の磁気ヘッドの製造方法
によれば、静磁界中で加熱することにより、第2の磁性
体の磁化容易軸を所定の方向に配向し、静磁界中で製膜
することで第1の磁性体の磁化容易軸を前記第2の磁性
体の磁化容易軸と直交する方向に配向している。このよ
うに構成することにより、磁気ギャップ、及びシールド
層などを設けることなく、記録磁化を再生する磁束応答
型の再生ヘッドを製造することができる。
Further, according to the method of manufacturing a magnetic head of another invention, by heating in a static magnetic field, the easy axis of the second magnetic body is oriented in a predetermined direction, and the film is formed in the static magnetic field. By doing so, the easy axis of magnetization of the first magnetic body is oriented in a direction orthogonal to the easy axis of magnetization of the second magnetic body. With this configuration, it is possible to manufacture a magnetic flux responsive reproducing head that reproduces recorded magnetization without providing a magnetic gap, a shield layer, and the like.

【0045】本発明の磁気ディスク装置によれば、磁気
記録媒体の磁化方向と平行に配向された磁化容易軸を有
する第1の磁性体と、前記磁化容易軸と直交する方向に
配向された磁化容易軸を有する第2の磁性体とで磁気コ
アを構成している。さらに、磁気コア内に絶縁配置した
導体、導体に高周波信号を印加するキャリア信号発振手
段、及び磁気コアにバイアス磁界を発生するバイアス磁
界発生手段を設けている。このように構成することによ
り、磁気ギャップ、及びシールド層などを設けることな
く、記録磁化を再生する磁束応答型の再生ヘッドを得る
ことができる。
According to the magnetic disk drive of the present invention, the first magnetic body having the easy axis oriented in parallel with the magnetization direction of the magnetic recording medium, and the magnetization oriented in the direction perpendicular to the easy axis are provided. The magnetic core is composed of the second magnetic body having an easy axis. Further, a conductor insulated in the magnetic core, a carrier signal oscillating means for applying a high-frequency signal to the conductor, and a bias magnetic field generating means for generating a bias magnetic field in the magnetic core are provided. With this configuration, it is possible to obtain a magnetic flux responsive reproducing head that reproduces recorded magnetization without providing a magnetic gap, a shield layer, and the like.

【0046】さらに、他の発明の磁気ディスク装置によ
れば、キャリア信号発振手段からの高周波信号の周波数
を500KHzから10MHzとしている。このことに
より、磁気ヘッドに接続され、再生信号を処理する回路
の動作を安定なものにすることができる。
Further, according to the magnetic disk drive of another invention, the frequency of the high-frequency signal from the carrier signal oscillating means is set to 500 kHz to 10 MHz. Thus, the operation of the circuit connected to the magnetic head and processing the reproduced signal can be stabilized.

【0047】さらに、他の発明の磁気ヘッドによれば、
磁気コアとコイルとを少なくとも備えた誘導型ヘッド
と、前記磁気コア内に配置された請求項1に記載の磁気
ヘッドとを備え、前記磁気ヘッドの磁気コアの磁化容易
軸が前記誘導型ヘッドの磁気コア内を流れる磁束の方向
と平行に前記磁気ヘッドを配置している。このことによ
り、再生感度が優れ、かつ簡単な構成の複合型薄膜磁気
ヘッドを得ることができる。
Further, according to the magnetic head of another invention,
An inductive head including at least a magnetic core and a coil, and the magnetic head according to claim 1 disposed in the magnetic core, wherein the axis of easy magnetization of the magnetic core of the magnetic head is the same as that of the inductive head. The magnetic head is arranged parallel to the direction of the magnetic flux flowing in the magnetic core. As a result, it is possible to obtain a composite thin-film magnetic head having excellent reproduction sensitivity and a simple configuration.

【0048】さらに、他の発明の磁気ディスク装置によ
れば、請求項9に記載の磁気ヘッドを搭載している。こ
のことにより、磁気ディスク装置の構成を簡単なものに
することができる。
According to another aspect of the present invention, there is provided a magnetic disk drive having the magnetic head according to the ninth aspect. Thus, the configuration of the magnetic disk drive can be simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を実施した第1の例としての磁気ヘッド
を示す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing a magnetic head as a first example embodying the present invention.

【図2】図1に示した磁気ヘッドを有する磁気再生装置
の再生回路を示すブロック図。
FIG. 2 is a block diagram showing a reproducing circuit of a magnetic reproducing apparatus having the magnetic head shown in FIG.

【図3】図3の(a)は磁気インピーダンス素子の磁化
容易軸と外部磁界の磁束との位置関係を示す説明図であ
り、図3の(b)は磁気インピーダンス素子の磁化容易
軸と外部磁界の磁束との別の位置関係を示す説明図。
3A is an explanatory diagram showing a positional relationship between an axis of easy magnetization of a magnetic impedance element and a magnetic flux of an external magnetic field, and FIG. FIG. 4 is an explanatory diagram showing another positional relationship between a magnetic field and a magnetic flux.

【図4】図3の(a)に示した位置関係での磁気インピ
ーダンス素子の出力の変化を示すグラフ。
FIG. 4 is a graph showing a change in output of the magneto-impedance element in the positional relationship shown in FIG.

【図5】図3の(b)に示した位置関係での磁気インピ
ーダンス素子の出力の変化を示すグラフ。
FIG. 5 is a graph showing a change in output of the magnetic impedance element in the positional relationship shown in FIG.

【図6】図1に示した磁気ヘッドの製造工程を示す説明
図。
FIG. 6 is an explanatory view showing a manufacturing process of the magnetic head shown in FIG. 1;

【図7】本発明を実施した第2の例としての磁気ヘッド
を示す斜視図。
FIG. 7 is a perspective view showing a magnetic head as a second example embodying the present invention.

【図8】図7に示した磁気ヘッドの製造工程を示す説明
図。
FIG. 8 is an explanatory view showing a manufacturing process of the magnetic head shown in FIG. 7;

【図9】本発明を実施した第3の例としての磁気ディス
ク装置の主要部を示す説明図。
FIG. 9 is an explanatory diagram showing a main part of a magnetic disk device as a third example embodying the present invention.

【図10】図9に示した磁気ディスク装置の再生回路を
示すブロック図。
10 is a block diagram showing a reproduction circuit of the magnetic disk device shown in FIG.

【図11】磁気記録媒体の漏れ磁界の変化を示すグラ
フ。
FIG. 11 is a graph showing a change in a leakage magnetic field of a magnetic recording medium.

【図12】バイアス磁界がかけられていない場合の、外
部磁界とインピーダンスとの関係を示すグラフ。
FIG. 12 is a graph showing a relationship between an external magnetic field and impedance when no bias magnetic field is applied.

【図13】バイアス磁界がかけられている場合の、外部
磁界とインピーダンスとの関係を示すグラフ。
FIG. 13 is a graph showing a relationship between an external magnetic field and impedance when a bias magnetic field is applied.

【図14】本発明を実施した第4の例としての磁気ディ
スク装置の主要部を示す説明図。
FIG. 14 is an explanatory diagram showing a main part of a magnetic disk device as a fourth example embodying the present invention.

【図15】本発明を実施した第5の例としての磁気ディ
スク装置の主要部を示す説明図。
FIG. 15 is an explanatory diagram showing a main part of a magnetic disk device as a fifth example embodying the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 第1の磁性層 2 第2の磁性層 2a 突出部 3 導体線 4 第1の磁性層の磁化容易軸 5 第2の磁性層の磁化容易軸 22、55 キャリヤ信号発生器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st magnetic layer 2 2nd magnetic layer 2a Projection 3 Conductor line 4 Easy axis of 1st magnetic layer 5 Easy axis of 2nd magnetic layer 22, 55 Carrier signal generator

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 楠本 修 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 横山 和夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Osamu Kusumoto, Inventor 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Kazuo Yokoyama 1006 Kadoma Kadoma, Kadoma City, Osaka Pref.

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも1箇の磁性体で構成された磁
気コアと、前記磁気コア内に絶縁配置され、少なくとも
高周波信号が供給される細長い導体とを備え、前記磁性
体の磁化容易軸を前記導体に対して直交する方向に配向
したことを特徴とする磁気ヘッド。
1. A magnetic core comprising at least one magnetic body, and an elongated conductor insulated within the magnetic core and supplied with at least a high-frequency signal. A magnetic head which is oriented in a direction perpendicular to a conductor.
【請求項2】 磁気記録媒体の表面と垂直な方向に磁化
容易軸を配向した第1の磁性体と、 前記第1の磁性体の磁化容易軸と直交する方向に磁化容
易軸を配向した第2の磁性体と、 前記第1の磁性体の磁化容易軸と直交し、かつ前記第1
の磁性体と前記第2の磁性体との間に絶縁配置され、少
なくとも高周波信号が供給される導体とを具備したこと
を特徴とする磁気ヘッド。
2. A first magnetic body having an easy axis of magnetization oriented in a direction perpendicular to the surface of a magnetic recording medium; and a second magnetic body having an easy axis of magnetization oriented in a direction orthogonal to the easy axis of the first magnetic body. And a magnetic material perpendicular to the axis of easy magnetization of the first magnetic material, and
And a conductor to which at least a high-frequency signal is supplied, the conductor being insulated between the magnetic body and the second magnetic body.
【請求項3】 前記第2の磁性体の下端部に前記第1の
磁性体の下端部から突出した突出部を設けて、前記突出
部を前記磁気記録媒体と近接して配置することを特徴と
する請求項2に記載の磁気ヘッド。
3. A projection protruding from a lower end of the first magnetic body is provided at a lower end of the second magnetic body, and the projection is arranged close to the magnetic recording medium. The magnetic head according to claim 2, wherein
【請求項4】 前記第1の磁性体の膜厚に比較して、前
記第2の磁性体の膜厚を薄く形成したことを特徴とする
請求項2に記載の磁気ヘッド。
4. The magnetic head according to claim 2, wherein the thickness of the second magnetic body is smaller than the thickness of the first magnetic body.
【請求項5】 静磁界中で加熱することにより、第1の
磁性体の磁化容易軸を所定の方向に配向する工程と、 前記第1の磁性体上に第1の絶縁層を形成する第1の絶
縁層形成工程と、 前記第1の絶縁層上に前記第1の磁性体の磁化容易軸と
直交する方向に導体を形成する導体形成工程と、 前記導体上に第2の絶縁層を形成する第2の絶縁層形成
工程と、 前記第2の絶縁層上に第2の磁性体を、静磁界中で前記
第2の磁性体の磁化容易軸を前記第1の磁性体の磁化容
易軸と直交する方向に配向しながら形成する工程とを具
備することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
5. A step of orienting the easy axis of the first magnetic body in a predetermined direction by heating in a static magnetic field, and forming a first insulating layer on the first magnetic body. A first insulating layer forming step, a conductor forming step of forming a conductor on the first insulating layer in a direction orthogonal to the easy axis of magnetization of the first magnetic body, and a second insulating layer on the conductor. Forming a second insulating layer, forming a second magnetic body on the second insulating layer, and changing the axis of easy magnetization of the second magnetic body in a static magnetic field to the easy magnetization of the first magnetic body. Forming the magnetic head while orienting it in a direction perpendicular to the axis.
【請求項6】 静磁界中で加熱することにより、第2の
磁性体の磁化容易軸を所定の方向に配向する工程と、 前記第2の磁性体上に第1の絶縁層を形成する第1の絶
縁層形成工程と、 前記第1の絶縁層上に前記第2の磁性体の磁化容易軸と
平行な方向に導体を形成する導体形成工程と、 前記導体上に第2の絶縁層を形成する第2の絶縁層形成
工程と、 前記第2の絶縁層上に第1の磁性体を、静磁界中で前記
第1の磁性体の磁化容易軸を前記第2の磁性体の磁化容
易軸と直交する方向に配向しながら形成する工程とを具
備することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
6. A step of orienting a magnetization easy axis of a second magnetic body in a predetermined direction by heating in a static magnetic field, and forming a first insulating layer on the second magnetic body. A first insulating layer forming step; a conductor forming step of forming a conductor on the first insulating layer in a direction parallel to the easy axis of magnetization of the second magnetic body; and a second insulating layer on the conductor. Forming a second insulating layer; forming a first magnetic material on the second insulating layer, and changing an axis of easy magnetization of the first magnetic material in a static magnetic field to an easy magnetization of the second magnetic material. Forming the magnetic head while orienting it in a direction perpendicular to the axis.
【請求項7】 磁気記録媒体の表面と垂直な方向に磁化
容易軸を配向した第1の磁性体と、 前記第1の磁性体の磁化容易軸と直交する方向に磁化容
易軸を配向した第2の磁性体と、 前記第1の磁性体、及び前記第2の磁性体のいずれか一
方の磁化容易軸と直交し、かつ前記第1の磁性体と前記
第2の磁性体との間に絶縁配置された導体と、 前記導体に高周波信号を印加するキャリア信号発振手段
と、 前記第1の磁性体、及び前記第2の磁性体で構成される
磁気コアにバイアス磁界を発生するバイアス磁界発生手
段と、 上記磁気コアに対して相対的に移動するよう前記磁気記
録媒体を保持する手段とを具備することを特徴とする磁
気ディスク装置。
7. A first magnetic body having an easy axis of magnetization oriented in a direction perpendicular to the surface of a magnetic recording medium, and a first magnetic body having an easy axis of magnetization oriented in a direction orthogonal to the easy axis of the first magnetic body. 2, the first magnetic body and the second magnetic body, which are perpendicular to the axis of easy magnetization of any one of the magnetic bodies, and between the first magnetic body and the second magnetic body. A conductor that is insulated, a carrier signal oscillating unit that applies a high-frequency signal to the conductor, and a bias magnetic field that generates a bias magnetic field in a magnetic core that includes the first magnetic body and the second magnetic body Means, and means for holding the magnetic recording medium so as to move relative to the magnetic core.
【請求項8】 前記高周波信号の周波数が500KHz
から10MHzであることを特徴とする請求項7に記載
の磁気ディスク装置。
8. The frequency of the high-frequency signal is 500 kHz.
8. The magnetic disk drive according to claim 7, wherein the frequency is 10 MHz to 10 MHz.
【請求項9】 磁気コアとコイルとを少なくとも備えた
誘導型ヘッドと、前記磁気コア内に配置された請求項1
に記載の磁気ヘッドとを備え、前記磁気ヘッドの磁気コ
アの磁化容易軸が前記誘導型ヘッドの磁気コア内を流れ
る磁束の方向と平行に前記磁気ヘッドを配置したことを
特徴とする磁気ヘッド。
9. An inductive head including at least a magnetic core and a coil, and disposed in the magnetic core.
A magnetic head comprising: a magnetic head according to any one of claims 1 to 3, wherein the axis of easy magnetization of the magnetic core of the magnetic head is arranged parallel to a direction of a magnetic flux flowing in the magnetic core of the inductive head.
【請求項10】 請求項9に記載の磁気ヘッドを搭載し
たことを特徴とする磁気ディスク装置。
10. A magnetic disk drive on which the magnetic head according to claim 9 is mounted.
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