JPH1068968A - Spatial optical modulation element and picture projecting device using the element - Google Patents

Spatial optical modulation element and picture projecting device using the element

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JPH1068968A
JPH1068968A JP22416296A JP22416296A JPH1068968A JP H1068968 A JPH1068968 A JP H1068968A JP 22416296 A JP22416296 A JP 22416296A JP 22416296 A JP22416296 A JP 22416296A JP H1068968 A JPH1068968 A JP H1068968A
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JP
Japan
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light
layer
signal
spatial
incident
Prior art date
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Application number
JP22416296A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takayuki Ishii
石井  隆之
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPH1068968A publication Critical patent/JPH1068968A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the spatial optical modulation element in which the photoconductive layer is reset from a signal takeout side, and the picture projecting device using the elements. SOLUTION: An optical modulating section 100 provided between transparent substrates 101 and 107 is formed by a photoconductive layer 103, a dielectric mirror layer 104 and an optical modulating layer 105. Then, the reflecting wavelength range of the layer 104 is set to the range which passes the light beams having a prescribed sensitivity wavelength among the light beams having sensitivity wavelengths that vary the photoconductivity of the layer 103 included in a signal takeout light beams 200 made incident from the layer 107 of the signal takeout side. Thus, the layer 103 is reset from the signal takeout side.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プロジェクタ、デ
ィスプレイ等に利用される空間光変調素子及びこれを用
いた画像投影装置に関し、特に画像書き込み部の小型化
や無調整化を図るものに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spatial light modulator used for a projector, a display, and the like, and an image projection apparatus using the same, and more particularly, to a device for miniaturizing an image writing unit and eliminating adjustment.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、空間光変調素子(SLM素子)は
第1の透明基板上に透明電極、光入射に対して光導電率
が変化する光導電層(以下PC層という)、遮光層、誘
電体ミラー層(反射層)、光変調層(例えば液晶層)、
第2の透明電極または第2の透明電極を有する第2の透
明基板から構成されており、第1及び第2の透明電極間
に印加される電圧をPC層を介して光変調層へ印加する
構造である。
2. Description of the Related Art Conventionally, a spatial light modulator (SLM) has a transparent electrode on a first transparent substrate, a photoconductive layer (hereinafter referred to as a PC layer) whose photoconductivity changes with incident light, a light shielding layer, A dielectric mirror layer (reflection layer), a light modulation layer (for example, a liquid crystal layer),
It is composed of a second transparent electrode or a second transparent substrate having a second transparent electrode, and applies a voltage applied between the first and second transparent electrodes to the light modulation layer via the PC layer. Structure.

【0003】この構成において、光変調層に印加される
電圧はPC層に入射する信号光の光量に応じて変化する
ため、PC層への入射光量の変化を光変調層を介して取
り出すことで信号光により変調された出射光が得られ
る。
In this configuration, since the voltage applied to the light modulation layer changes according to the amount of signal light incident on the PC layer, the change in the amount of light incident on the PC layer is extracted through the light modulation layer. Output light modulated by the signal light is obtained.

【0004】ところで、空間光変調素子に連続的に入射
する第1の信号光により変調された第1の出力光から、
第2の信号光により変調された第2の出力光に変化する
際、第1の信号光により光変調層に印加された電圧を、
第2の信号光により印加される電圧を安定させるため、
一旦初期値(一定値)に戻す必要がある。このため、第
1の信号光と第2の信号光の入射の間に、印加電圧を初
期値とするため光導電層の光導電率を初期値に戻す光
(リセット光)を入射するように構成されている。
By the way, from the first output light modulated by the first signal light continuously incident on the spatial light modulator,
When changing to the second output light modulated by the second signal light, the voltage applied to the light modulation layer by the first signal light is:
To stabilize the voltage applied by the second signal light,
It is necessary to return to the initial value (constant value) once. Therefore, between the incidence of the first signal light and the second signal light, light (reset light) for returning the photoconductivity of the photoconductive layer to the initial value so as to set the applied voltage to the initial value may be incident. It is configured.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の空間光変調素子において、リセット光は光変調層
全体が同じ状態に初期化されるようにPC層全面に充分
な光量を与える必要がある。そのため、このような空間
光変調素子を用いた従来の画像投影装置においては、図
13に示すように空間光変調素子1AのPC層側にリセ
ット光用の光源20を設ける必要があり、またこの光源
20を設置するため、信号光を書き込む手段として用い
られるCRT6やLCD等を空間光変調素子1Aの書き
込み面から離して設置する必要がある。
Incidentally, in such a conventional spatial light modulator, it is necessary to provide a sufficient amount of reset light to the entire surface of the PC layer so that the entire light modulation layer is initialized to the same state. is there. Therefore, in a conventional image projection apparatus using such a spatial light modulator, it is necessary to provide a light source 20 for reset light on the PC layer side of the spatial light modulator 1A as shown in FIG. In order to install the light source 20, it is necessary to install a CRT 6, an LCD, or the like used as a means for writing signal light away from the writing surface of the spatial light modulator 1A.

【0006】ここで、このようにCRT6やLCD等を
空間光変調素子1Aの書き込み面から離して設置するよ
うにすると、CRT/LCD上に形成される画像を空間
光変調素子1AのPC層上に結像させる光学系21が必
要となる。なお、この光学系21としてファイバープレ
ート等の小型化に適したものがあるが、リセット光の導
入のための空間が必要であり、従来例では使用すること
ができない。また、信号光の結像系を使用するために発
生する光学調整等の複雑な作業も要求されるようにな
る。
Here, when the CRT 6, LCD, etc. are set apart from the writing surface of the spatial light modulator 1A, an image formed on the CRT / LCD is placed on the PC layer of the spatial light modulator 1A. An optical system 21 for forming an image is required. Although there is an optical system 21 suitable for downsizing such as a fiber plate, the optical system 21 requires a space for introducing reset light and cannot be used in the conventional example. In addition, complicated operations such as optical adjustments that occur due to the use of the signal light imaging system are required.

【0007】このように、リセット光をPC層側から入
射するようにした場合は、空間光変調素子の入射画像の
書き込み側の構成が制限を受けるようになり、小型化や
無調整化が阻害されるという問題点があった。
As described above, when the reset light is made to enter from the PC layer side, the configuration of the spatial light modulation element on the writing side of the incident image is restricted, and miniaturization and non-adjustment are hindered. There was a problem that it was done.

【0008】そこで、本発明は、このような問題点を解
決するためになされたものであり、信号取出側から光導
電層をリセットできる空間光変調素子及びこれを用いた
画像投影装置を提供することを目的とするものである。
Accordingly, the present invention has been made to solve such a problem, and provides a spatial light modulator capable of resetting a photoconductive layer from a signal extraction side and an image projection apparatus using the same. The purpose is to do so.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、透明電極がそ
れぞれ形成された信号入力側及び信号取出側の一対の透
明基板間に設けられた光導電層と、誘電体ミラー層と、
光変調層とを有する空間光変調素子において、前記信号
取出側の透明基板から入射される光に含まれる前記光導
電層の光導電率を変化させる感度波長を有する光のう
ち、所定の感度波長を有する光が前記誘電体ミラー層を
透過するよう該誘電体ミラー層の反射波長範囲が設定さ
れていることを特徴とするものである。
According to the present invention, there is provided a photoconductive layer provided between a pair of transparent substrates on a signal input side and a signal extraction side on which transparent electrodes are respectively formed, a dielectric mirror layer,
A spatial light modulating element having a light modulating layer, the light having a sensitivity wavelength that changes the photoconductivity of the photoconductive layer contained in light incident from the transparent substrate on the signal extraction side, a predetermined sensitivity wavelength The reflection wavelength range of the dielectric mirror layer is set so that the light having the following is transmitted through the dielectric mirror layer.

【0010】また本発明は、透明電極がそれぞれ形成さ
れた信号入力側及び信号取出側の一対の透明基板間に設
けられ光導電層と、遮光層と、誘電体ミラー層と、光変
調層とを有する空間光変調素子において、前記信号取出
側の透明基板から入射される光に含まれる前記光導電層
の光導電率を変化させる感度波長を有する光のうち、所
定の感度波長を有する光が前記誘電体ミラー層及び前記
遮光層を透過するよう該誘電体ミラー層の反射波長範囲
及び該遮光層の遮光波長範囲が設定されていることを特
徴とするものである。
Further, the present invention provides a photoconductive layer, a light shielding layer, a dielectric mirror layer, a light modulating layer, and a photoconductive layer provided between a pair of transparent substrates on a signal input side and a signal extraction side each having a transparent electrode formed thereon. In the spatial light modulation element having, the light having a predetermined sensitivity wavelength among the light having a sensitivity wavelength that changes the photoconductivity of the photoconductive layer included in the light incident from the transparent substrate on the signal extraction side is light having a predetermined sensitivity wavelength. A reflection wavelength range of the dielectric mirror layer and a light shielding wavelength range of the light shielding layer are set so as to transmit through the dielectric mirror layer and the light shielding layer.

【0011】また本発明は、前記光変調層として液晶層
を用いたことを特徴とするものである。
Further, the present invention is characterized in that a liquid crystal layer is used as the light modulation layer.

【0012】また本発明は、前記透明電極及び透明基板
は可視光線に対し透明であると共に、前記各透明基板か
ら入射される光に対しても透明であることを特徴とする
ものである。
Further, the present invention is characterized in that the transparent electrode and the transparent substrate are transparent to visible light and also transparent to light incident from each of the transparent substrates.

【0013】また本発明は、空間光変調素子と、前記空
間光変調素子に信号光を入射するよう該空間光変調素子
の信号入力側に設けられた書き込み部と、前記信号光を
取り出すための信号取出光を前記空間光変調素子に入射
するよう該空間光変調素子の信号取り出し側に設けられ
た光源とを備えた画像投影装置において、前記空間光変
調素子を請求項1乃至4記載の空間光変調素子とする一
方、該空間光変調素子と前記光源の間には前記信号光に
て変化した前記光導電層の光導電率を次の信号光が入射
される前に初期値に戻す初期化手段を設けたことを特徴
とするものである。
The present invention also provides a spatial light modulator, a writing section provided on the signal input side of the spatial light modulator so that the signal light is incident on the spatial light modulator, and a writing section for extracting the signal light. 5. An image projection apparatus comprising: a light source provided on a signal extraction side of the spatial light modulation element so that signal extraction light is incident on the spatial light modulation element. On the other hand, between the spatial light modulation element and the light source, the photoconductivity of the photoconductive layer changed by the signal light is returned to an initial value before the next signal light is incident. It is characterized in that a conversion means is provided.

【0014】また本発明は、前記初期化手段は、前記光
導電層の光導電率を変化させる感度波長の光のうち所定
の感度波長の光を該空間光変調素子に入射させて前記光
変調層を初期化するように構成されていることを特徴と
するものである。
Further, in the invention, it is preferable that the initialization means causes the light having a predetermined sensitivity wavelength out of the light having the sensitivity wavelength for changing the photoconductivity of the photoconductive layer to be incident on the spatial light modulation element, and The method is characterized by being configured to initialize a layer.

【0015】また本発明は、前記初期化手段は、前記光
変調層を初期化する所定の感度波長の光を前記信号取出
光から形成する初期化信号形成手段を有していることを
特徴とするものである。
Further, the present invention is characterized in that the initialization means has initialization signal formation means for forming light of a predetermined sensitivity wavelength for initializing the light modulation layer from the signal extraction light. Is what you do.

【0016】また本発明は、前記初期化手段は、前記所
定の感度波長の光を前記信号取出光に重畳して前記空間
光変調素子に入射することを特徴とするものである。
Further, in the invention, it is preferable that the initialization means superimposes the light having the predetermined sensitivity wavelength on the signal extraction light and enters the spatial light modulation element.

【0017】また本発明は、前記初期化手段は、前記信
号取出光を入射する光源とは別な光源を用いて前記所定
の感度波長の光を形成することを特徴とするものであ
る。
Further, in the invention, it is preferable that the initialization means forms the light having the predetermined sensitivity wavelength by using a light source different from a light source into which the signal extraction light is incident.

【0018】また、本発明のように信号入力側及び信号
取出側の一対の透明基板間に光導電層と、誘電体ミラー
層と、光変調層とを設ける一方、誘電体ミラーの反射波
長範囲を、信号取出側の透明基板から入射される光に含
まれる光導電層の光導電率を変化させる感度波長を有す
る光のうち、所定の感度波長を有する光を透過させるよ
うな範囲に設定することにより、信号取出側から光導電
層をリセットすることができるようにする。
Further, as in the present invention, a photoconductive layer, a dielectric mirror layer, and a light modulation layer are provided between a pair of transparent substrates on a signal input side and a signal extraction side, and a reflection wavelength range of the dielectric mirror is provided. Out of the light having the sensitivity wavelength that changes the photoconductivity of the photoconductive layer included in the light incident from the transparent substrate on the signal extraction side, so as to transmit light having a predetermined sensitivity wavelength. Thus, the photoconductive layer can be reset from the signal extraction side.

【0019】また、信号入力側及び信号取出側の一対の
透明基板間に光導電層と、遮光層と、誘電体ミラー層
と、光変調層とを設ける一方、誘電体ミラーの反射波長
範囲及び遮光層の遮光波長範囲を、信号取出側の透明基
板から入射される光に含まれる光導電層の光導電率を変
化させる感度波長を有する光のうち、所定の感度波長を
有する光を透過させるような範囲に設定することによ
り、信号取出側から光導電層をリセットできるようにす
る。
A photoconductive layer, a light-shielding layer, a dielectric mirror layer, and a light modulation layer are provided between a pair of transparent substrates on the signal input side and the signal extraction side. The light having a predetermined sensitivity wavelength among the light having the sensitivity wavelength that changes the photoconductivity of the photoconductive layer included in the light incident from the transparent substrate on the signal extraction side is transmitted through the light shielding wavelength range of the light shielding layer. By setting such a range, the photoconductive layer can be reset from the signal extraction side.

【0020】また、書き込み部から空間光変調素子に入
射された信号光を取り出すための信号取出光を空間光変
調素子に入射する光源を空間光変調素子の信号取出側に
設ける一方、この光源と空間光変調素子との間に初期化
手段を設け、この初期化手段にて信号光にて変化した光
導電層の光導電率を次の信号光が入射される前に初期値
に戻すことにより、次の信号光が前の信号光の影響を受
けないようにする。
A light source for injecting the spatial light modulation element with signal extraction light for extracting the signal light incident on the spatial light modulation element from the writing section is provided on the signal extraction side of the spatial light modulation element. By providing initialization means between the spatial light modulator and the initialization means, by returning the photoconductivity of the photoconductive layer changed by the signal light to the initial value before the next signal light is incident. , So that the next signal light is not affected by the previous signal light.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
を用いて説明する。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0022】図1は、本発明の第1の実施の形態に係る
空間光変調素子の構造を示す断面図であり、同図におい
て、1は反射型の空間光変調素子、101は信号入力側
の透明基板である第1の透明基板、107は信号取出側
の透明基板である第2の透明基板である。
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a spatial light modulator according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a reflective spatial light modulator, and 101 denotes a signal input side. Reference numeral 107 denotes a second transparent substrate which is a transparent substrate on the signal extraction side.

【0023】ここで、第1の透明基板101にはスパッ
タリング法で形成されたITO膜(インジウム・スズ酸
化膜)である透明電極102と、水素化アモルファスシ
リコンにて成膜されたPC層103と、SiO2 層とT
iO2 層を交互に重ねて形成された誘電体ミラー層10
4とが順次積層されており、第2の透明基板107には
ITO膜である透明電極106が形成されている。
Here, on the first transparent substrate 101, a transparent electrode 102 which is an ITO film (indium tin oxide film) formed by a sputtering method, and a PC layer 103 formed of hydrogenated amorphous silicon are provided. , SiO 2 layer and T
Dielectric mirror layer 10 formed by alternately overlapping iO 2 layers
4 are sequentially stacked, and a transparent electrode 106 which is an ITO film is formed on the second transparent substrate 107.

【0024】また、これら2つの透明基板101,10
7の間には、第1の透明基板101から入射される信号
光202に応じて状態が変化する光変調層として液晶層
105が挟持されている。なお、これら第1の透明基板
101から順に形成されたPC層103、誘電体ミラー
層104及び液晶層105とにより光変調部100が形
成されるようになっている。
Further, these two transparent substrates 101, 10
7, a liquid crystal layer 105 is interposed as a light modulation layer whose state changes according to the signal light 202 incident from the first transparent substrate 101. The light modulation section 100 is formed by the PC layer 103, the dielectric mirror layer 104, and the liquid crystal layer 105 formed in order from the first transparent substrate 101.

【0025】そして、信号光202を取り出すための信
号取出光200は、第2の透明基板107側から入射し
た後、誘電体ミラー104により反射されていくが、そ
の際、第1の透明基板101からPC層103に入射す
る信号光202に応じて変化する液晶層105により変
調され、出力光201となって出力されるようになって
いる。
The signal extraction light 200 for extracting the signal light 202 is incident from the second transparent substrate 107 side and then reflected by the dielectric mirror 104. At this time, the first transparent substrate 101 The light is modulated by the liquid crystal layer 105 which changes in accordance with the signal light 202 incident on the PC layer 103 from the light, and is output as output light 201.

【0026】なお、このような構成の空間光変調素子1
は、次のように作製される。
The spatial light modulator 1 having such a configuration is
Is manufactured as follows.

【0027】まず、透明電極102としてITO膜(イ
ンジウム・スズ酸化膜)を第1の透明基板101上にス
パッタリング法で形成する。次に、この第1の透明基板
102を低圧プラズマ装置に設置し、この装置内で約2
00℃に加熱すると共に装置内にSiH4 /H2 の混合
ガスを導入し、この後低圧プラズマ装置内に高周波電源
によりSiH4 /H2 の混合プラズマを励起して基板1
01上に水素化アモルファスシリコン膜を形成してPC
層103を成膜する。さらに、この後、このPC層10
3の上にSiO2 層とTiO2 層を交互に27層重ねて
反射層として誘電体ミラー層104を形成する。
First, an ITO film (indium tin oxide film) is formed as a transparent electrode 102 on the first transparent substrate 101 by a sputtering method. Next, the first transparent substrate 102 is set in a low-pressure plasma device, and about 2
00 introducing a mixed gas of SiH 4 / H 2 into the apparatus while heated to ° C., the substrate 1 to excite the mixed plasma of SiH 4 / H 2 by the high frequency power to this after the low-pressure plasma apparatus
01 to form a hydrogenated amorphous silicon film on PC
The layer 103 is formed. After that, the PC layer 10
The dielectric mirror layer 104 is formed as a reflective layer by alternately stacking 27 SiO 2 layers and TiO 2 layers on 3.

【0028】次に、第2の透明基板107に透明基板1
01と同様に透明電極106となるITO膜をスパッタ
リング法で形成し、この後第1の透明基板101と第2
の透明基板107により液晶層105を挟持して空間光
変調素子1が作製される。
Next, the transparent substrate 1 is placed on the second transparent substrate 107.
01, an ITO film to be a transparent electrode 106 is formed by a sputtering method.
The liquid crystal layer 105 is sandwiched between the transparent substrates 107 to manufacture the spatial light modulator 1.

【0029】ところで、図2は、PC層103(水素化
アモルファスシリコン)の光入射に対する分光感度を、
また図3は誘電体ミラー層104の反射率の分光特性を
示すものであり、これら図2及図3からわかるように、
誘電体ミラー104の反射波長範囲は、PC層103の
光導電率が変化する感度波長のうち所定の感度波長を含
まないようになっている。
FIG. 2 shows the spectral sensitivity of the PC layer 103 (hydrogenated amorphous silicon) to light incidence.
FIG. 3 shows the spectral characteristics of the reflectance of the dielectric mirror layer 104. As can be seen from FIGS. 2 and 3,
The reflection wavelength range of the dielectric mirror 104 does not include a predetermined sensitivity wavelength among the sensitivity wavelengths at which the photoconductivity of the PC layer 103 changes.

【0030】そして、このように所定の感度波長を含ま
ないように反射波長範囲を設定することにより、信号取
出光200に含まれる所定の感度波長を有する光が誘電
体ミラー104を透過するようになり、これによりPC
層103が変化し、信号取出側からの光によってPC層
103を制御(リセット)できるようにしている。
By setting the reflection wavelength range so as not to include the predetermined sensitivity wavelength, the light having the predetermined sensitivity wavelength included in the signal extraction light 200 passes through the dielectric mirror 104. Become a PC
The layer 103 changes so that the PC layer 103 can be controlled (reset) by light from the signal extraction side.

【0031】次に、本発明の第2の実施の形態に係る空
間光変調素子について説明する。
Next, a spatial light modulator according to a second embodiment of the present invention will be described.

【0032】図4は、第2の実施の形態に係る空間光変
調素子の構造を示す断面図であり、第1の実施の形態と
同様に第1の透明基板101としてガラス基板を用いた
ものである。同図において、1’は反射型の空間光変調
素子、108はアモルファスシリコンゲルマニウム膜よ
りなる遮光層であり、この遮光層108の遮光波長範囲
はPC層103の所定の感度波長を含まない範囲として
いる。なお、100’は、PC層103、遮光層10
8、誘電体ミラー層104及び液晶層105とを有する
光変調部である。
FIG. 4 is a sectional view showing the structure of the spatial light modulator according to the second embodiment, in which a glass substrate is used as the first transparent substrate 101 in the same manner as in the first embodiment. It is. In the figure, 1 'is a reflective spatial light modulator, 108 is a light-shielding layer made of an amorphous silicon germanium film, and the light-shielding wavelength range of this light-shielding layer 108 is a range not including a predetermined sensitivity wavelength of the PC layer 103. I have. Note that 100 ′ is the PC layer 103, the light shielding layer 10
8, a light modulation unit having a dielectric mirror layer 104 and a liquid crystal layer 105.

【0033】そして、このように遮光層108の遮光波
長範囲をPC層103の所定の感度波長を含まない範囲
とすることにより、誘電体ミラー104を透過した光の
中にもPC層103の光感度を有する光が含まれるよう
になり、これにより信号取出側からの光によってPC層
103を制御(リセット)できるようにしている。
By setting the light blocking wavelength range of the light blocking layer 108 so as not to include the predetermined sensitivity wavelength of the PC layer 103, the light of the PC layer 103 is included in the light transmitted through the dielectric mirror 104. Light having sensitivity is included, so that the PC layer 103 can be controlled (reset) by light from the signal extraction side.

【0034】なお、本実施の形態に係る空間光変調素子
の作製は、まず透明電極102としてITO膜(インジ
ウム・スズ酸化膜)を第1の透明基板101上にスパッ
タリング法で形成し、さらに高周波プラズマ法により水
素化アモルファスシリコンを形成する。その後、SiH
4 /H2 の混合ガスの他にGeH4 を加えた混合ガスに
よりアモルファスシリコンゲルマニウム膜を成膜し、遮
光層108を形成する。更に、この遮光層108の上に
Sio2 層とTiO2 層を交互に27層重ねて誘電体ミ
ラー層104を形成する。
In the fabrication of the spatial light modulator according to this embodiment, an ITO film (indium tin oxide film) is first formed as a transparent electrode 102 on a first transparent substrate 101 by a sputtering method, and then a high frequency Hydrogenated amorphous silicon is formed by a plasma method. Then, SiH
An amorphous silicon germanium film is formed with a mixed gas obtained by adding GeH 4 in addition to the mixed gas of 4 / H 2 , and the light-shielding layer 108 is formed. Furthermore, a dielectric mirror layer 104 stacked 27 layers alternately Sio 2 layer and a TiO 2 layer on the light-shielding layer 108.

【0035】次に、第2の透明基板107に透明電極1
06としてITO膜を形成し、第1の透明基板101と
第2の透明基板107の間に液晶層105を成す液晶を
挟持して空間光変調素子1’が作製される。
Next, the transparent electrode 1 is formed on the second transparent substrate 107.
In the step 06, an ITO film is formed, and the liquid crystal forming the liquid crystal layer 105 is sandwiched between the first transparent substrate 101 and the second transparent substrate 107 to manufacture the spatial light modulator 1 '.

【0036】次に、既述した構成の空間光変調素子を用
いた本発明の第3の実施の形態に係る映像投影装置につ
いて説明する。
Next, a description will be given of a video projection apparatus according to a third embodiment of the present invention using the spatial light modulator having the above-described configuration.

【0037】図5は、第1の実施の形態に係る空間光変
調素子1を用いた本実施の形態に係る映像投影装置の構
成を示す図であり、本実施の形態においては、空間光変
調素子1への信号光の書き込みはCRT6を用い、像形
成のための光学系7としてはファイバープレ−トを用い
た場合を示している。
FIG. 5 is a diagram showing a configuration of an image projection apparatus according to the present embodiment using the spatial light modulator 1 according to the first embodiment. The case where a signal light is written to the element 1 using a CRT 6 and a fiber plate as an optical system 7 for image formation is shown.

【0038】同図において、2は空間光変調素子1の信
号取出し側に設けられ、集光ミラー2a付きのメタルハ
ライドランプ2bを使用した光源であり、この光源2か
らの信号取出光200は反射ミラー11で反射された
後、偏光ビームスプリッタ3にてS偏光のみが反射され
て空間光変調素子1に入射するようになっている。ま
た、この空間光変調素子1に入射した光は、空間光変調
素子1の信号入力側に設けられた書き込み部であるCR
T6から入射した信号光に応じた液晶層(図1及び図4
参照)の変化により偏光度が変調されて出射されるよう
になっている。
In FIG. 1, reference numeral 2 denotes a light source provided on the signal extraction side of the spatial light modulator 1 and using a metal halide lamp 2b with a condenser mirror 2a. The signal extraction light 200 from the light source 2 is a reflection mirror. After being reflected at 11, only the S-polarized light is reflected by the polarization beam splitter 3 and enters the spatial light modulator 1. The light incident on the spatial light modulator 1 is transmitted to a CR, which is a writing unit provided on the signal input side of the spatial light modulator 1.
The liquid crystal layer corresponding to the signal light incident from T6 (see FIGS. 1 and 4)
), The degree of polarization is modulated and emitted.

【0039】さらに、この変調光は、偏光ビームスプリ
ッタ3により透過光と反射光とに分離された後、透過光
のみが出力光201として投影レンズ4を通過し、この
後スクリーン5に投影され、CRT6による信号光に対
応した出力を表示するようになっている。
Further, the modulated light is separated into transmitted light and reflected light by the polarization beam splitter 3, and only the transmitted light passes through the projection lens 4 as output light 201, and is thereafter projected on the screen 5. The output corresponding to the signal light from the CRT 6 is displayed.

【0040】一方、10は光源2と反射ミラー11の間
に設けられた初期化手段である回転フィルタであり、こ
の回転フィルタ10は、光源2からの信号取出光200
のうち空間光変調素子1のPC層(図1参照)が感度を
持つ波長を除去するよう、例えば回転式のフィルタに赤
外光を反射する多層膜を形成することで実現されたもの
である。なお、10Aは回転フィルタ10の回転軸であ
る。
On the other hand, reference numeral 10 denotes a rotary filter as initialization means provided between the light source 2 and the reflection mirror 11, and the rotary filter 10 outputs a signal output light 200 from the light source 2.
For example, the filter is realized by forming a multilayer film that reflects infrared light on a rotary filter so as to remove a wavelength at which the PC layer (see FIG. 1) of the spatial light modulator 1 has sensitivity. . In addition, 10A is a rotation axis of the rotary filter 10.

【0041】ところで、この回転フィルタ10には、図
6に示すようにフィルタ機能を有していない部分が、例
えば回転フィルタ10を一部扇状に切欠いて形成されて
いる。また、この回転フィルタ10は、信号光の書き換
え同期と同じ同期、即ち第1の信号光が入光した後、次
の信号光が入光する間に、この切欠10aが光源2と反
射ミラー11との間に形成される光路上を通過するタイ
ミングで回転するようになっている。
As shown in FIG. 6, a portion of the rotary filter 10 having no filtering function is formed, for example, by partially cutting the rotary filter 10 into a fan shape. The notch 10a is provided between the light source 2 and the reflection mirror 11 during the same synchronization as the rewriting synchronization of the signal light, that is, during the time when the first signal light enters and the next signal light enters. It rotates at the timing when it passes on the optical path formed between them.

【0042】ここで、このような光変調層を初期化する
所定の感度波長の光を信号取出光から形成する初期化信
号形成手段である切欠10aが形成された回転フィルタ
10を備えることにより、通常はこの回転フィルタ10
により信号取出光200のうちの赤外光が遮光される一
方、第1の信号光とそれに続く第2の信号光の間は回転
フィルタ10の切欠10aが光路上を通過するようにな
り、PC層(図1参照)に感度を有する赤外光が誘電体
ミラー(図1参照)を透過し、PC層に照射されるよう
になる。
Here, by providing the rotary filter 10 having the notch 10a as initialization signal forming means for forming light of a predetermined sensitivity wavelength for initializing such a light modulation layer from signal extraction light, Normally, this rotary filter 10
While the infrared light of the signal extraction light 200 is shielded, the notch 10a of the rotary filter 10 passes on the optical path between the first signal light and the subsequent second signal light, so that the PC Infrared light having sensitivity to the layer (see FIG. 1) passes through the dielectric mirror (see FIG. 1) and is irradiated on the PC layer.

【0043】そして、このように回転フィルタ10を設
けると共に信号取出光200からリセット光である赤外
光を形成する一方、第1の信号光とそれに続く第2の信
号光の間に、空間光変調素子1の取り出し側(出力側)
からPC層に感度を有する赤外光であるリセット光を照
射することにより、第1の信号光により形成されたPC
層の状態をリセットすることができ、これにより第2の
信号光に影響を与えないようにすることができる。
The rotary filter 10 is provided and the infrared light, which is the reset light, is formed from the signal extraction light 200, and the spatial light is interposed between the first signal light and the subsequent second signal light. Take-out side (output side) of modulation element 1
Irradiates the PC layer with a reset light, which is infrared light having sensitivity, to form a PC formed by the first signal light.
The state of the layer can be reset, so that the second signal light is not affected.

【0044】次に、第4の実施の形態に係る映像投影装
置を説明する。
Next, an image projection apparatus according to a fourth embodiment will be described.

【0045】図7は、本実施の形態に係る映像投影装置
の構成を示す図であり、この映像投影装置は空間光変調
素子1、光源2、偏光ビームスプリッタ3、書き込み用
CRT6、書き込み光学系用ファイバープレート7、投
影レンズ4、スクリーン5を備える一方、初期化手段と
して回転フィルタ10の代わりに回転反射板12を備え
たものである。なお、12Aは回転反射板12の回転軸
である。
FIG. 7 is a diagram showing a configuration of an image projection apparatus according to the present embodiment. This image projection apparatus includes a spatial light modulator 1, a light source 2, a polarizing beam splitter 3, a writing CRT 6, a writing optical system. The apparatus comprises a fiber plate 7, a projection lens 4, and a screen 5, while a rotating reflector 12 is provided in place of the rotating filter 10 as initialization means. In addition, 12A is a rotation axis of the rotary reflection plate 12.

【0046】ところで、この回転反射板12は図8に示
すように、可視光線を反射して赤外光線を通過するいわ
ゆるコールドミラー部12aと、Ag等を蒸着して赤外
光を反射するようにした初期化信号形成手段である赤外
光反射部12bとを有したものである。
As shown in FIG. 8, the rotary reflecting plate 12 has a so-called cold mirror portion 12a for reflecting visible light and passing infrared light, and a reflective mirror for reflecting infrared light by depositing Ag or the like. And an infrared light reflecting portion 12b as initialization signal forming means.

【0047】ここで、このような回転反射板12を設け
ることにより、光源2からの光のうちの赤外光Lは、通
常図7の破線で示すように回転反射板12を透過して空
間光変調素子3には到達しないが、赤外光反射部12b
が光路上に来た場合には赤外光を含んだ取出し光が空間
光変調素子1に入射するようになる。
Here, by providing such a rotary reflector 12, the infrared light L of the light from the light source 2 usually passes through the rotary reflector 12 as shown by a broken line in FIG. Although it does not reach the light modulation element 3, the infrared light reflection part 12b
When light comes on the optical path, the extracted light including infrared light enters the spatial light modulator 1.

【0048】そして、この回転反射板12を、既述した
第1の実施の形態と同様に書き込み用CRT6の入力に
同期すると共に第1の信号光と第2の信号光の間のタイ
ミングで赤外光反射部12bが光路上を通過するように
回転させることで、第1の信号光の影響を第2の信号光
に与えないためのリセット光を信号取出光200に含ま
せることが可能となる。
Then, the rotary reflecting plate 12 is synchronized with the input of the writing CRT 6 in the same manner as in the first embodiment described above, and at the same time as the timing between the first signal light and the second signal light. By rotating the external light reflecting portion 12b so as to pass on the optical path, the signal extraction light 200 can include reset light for preventing the influence of the first signal light from affecting the second signal light. Become.

【0049】なお、これまでの説明では回転フィルタ1
0に切欠10aを、また回転反射板12に赤外光反射部
12bを、それぞれ一箇所に設けた場合について説明し
たが、本発明はこれに限らず入力の切換えのタイミング
に合わせて回転スピードを変化させるようにすれば2箇
所以上設けることもできる。
In the above description, the rotation filter 1
Although the notch 10a is provided at 0 and the infrared light reflecting portion 12b is provided at one position on the rotary reflection plate 12, the present invention is not limited to this, and the rotation speed is adjusted in accordance with the input switching timing. If it is changed, two or more places can be provided.

【0050】次に、第5の実施の形態に係る映像投影装
置を説明する。
Next, a video projector according to a fifth embodiment will be described.

【0051】図9は、本実施の形態に係る映像投影装置
の構成を示す図であり、空間光変調素子1、光源2、偏
光ビームスプリッタ3、投影レンズ4、スクリーン5、
書き込み用CRT6と、書き込み光学系用ファイバープ
レート7を備える一方、既述した回転フィルタ10、回
転反射板12の代わりに同期シャッター15、コールド
ミラー16及び反射ミラー17から構成される初期化手
段を備えたものである。
FIG. 9 is a diagram showing the configuration of an image projection apparatus according to the present embodiment, which includes a spatial light modulator 1, a light source 2, a polarization beam splitter 3, a projection lens 4, a screen 5,
It has a writing CRT 6 and a writing optical system fiber plate 7, and has an initialization means composed of a synchronous shutter 15, a cold mirror 16 and a reflecting mirror 17 instead of the rotary filter 10 and the rotary reflecting plate 12 described above. It is a thing.

【0052】ここで、このコールドミラー16は赤外光
を透過するものであり、同期シャッター15は第1の信
号光と第2の信号光の間のタイミングで開く構成のもの
である。また、反射ミラー17は凸面を有し、コールド
ミラー16を透過した赤外光Lを同図に示すように反射
して空間光変調素子1に入射するためのものである。
The cold mirror 16 transmits infrared light, and the synchronous shutter 15 opens at a timing between the first signal light and the second signal light. The reflection mirror 17 has a convex surface, and reflects the infrared light L transmitted through the cold mirror 16 as shown in FIG.

【0053】そして、このような構成とすることによ
り、光源2からの信号取出光200は、コールドミラー
16で反射され、赤外光以外が偏光ビームスプリッタ3
を通過して偏光となる一方、信号取出光200に含まれ
る赤外光Lはコールドミラー16を透過した後、反射ミ
ラー17により光路を変えられて直接空間光変調素子1
に向かうようになる。なお、この赤外光Lは、通常は閉
じられている同期シャッター15により遮断されるた
め、空間光変調素子1には入射しない。この状態で偏光
ビームスプリッタ3からの赤外光を含まない光を液晶層
で変調して出射する。
With such a configuration, the signal extraction light 200 from the light source 2 is reflected by the cold mirror 16, and the light other than the infrared light is reflected by the polarization beam splitter 3.
Is converted into polarized light, while the infrared light L included in the signal extraction light 200 passes through the cold mirror 16, and the optical path is changed by the reflection mirror 17 to directly direct the spatial light modulator 1.
I will be heading to. Since the infrared light L is blocked by the normally closed synchronous shutter 15, it does not enter the spatial light modulator 1. In this state, light not including infrared light from the polarizing beam splitter 3 is modulated by the liquid crystal layer and emitted.

【0054】一方、この同期シャッター15が、CRT
6からの入力の切換えのタイミングつまり第1の信号光
と第2の信号光の間のタイミングで開かれると、空間光
変調素子1のPC層へ、信号取出光200と重畳して赤
外光Lが入射するようになる。これにより、第1の信号
光により形成されたPC層の状態をリセットすることが
でき、第2の信号光に影響を与えないようにすることが
できる。
On the other hand, this synchronous shutter 15
6 is opened at the timing of switching the input from the second signal light, that is, at the timing between the first signal light and the second signal light, the signal light 200 is superimposed on the PC layer of the spatial light modulator 1 with the infrared light. L is incident. Thereby, the state of the PC layer formed by the first signal light can be reset, and the second signal light can be prevented from being affected.

【0055】次に、第6の実施の形態に係る映像投影装
置を説明する。
Next, an image projection apparatus according to a sixth embodiment will be described.

【0056】図10は、本実施の形態に係る映像投影装
置の構成を示す図であり、空間光変調素子1、光源2、
偏光ビームスプリッタ3、投影レンズ4、スクリーン
5、書き込み用CRT6、書き込み光学系用ファイバー
プレート7を備える一方、赤外光反射ミラー14、反射
ミラー16及び同期シャッター15から構成される初期
化手段を備えている。なお、光源2は空間光変調素子1
側に設けられている。
FIG. 10 is a diagram showing a configuration of an image projection apparatus according to the present embodiment, in which a spatial light modulator 1, a light source 2,
A polarization beam splitter 3, a projection lens 4, a screen 5, a writing CRT 6, and a fiber plate 7 for a writing optical system are provided, and an initialization unit including an infrared light reflection mirror 14, a reflection mirror 16, and a synchronous shutter 15 is provided. ing. The light source 2 is a spatial light modulator 1
It is provided on the side.

【0057】ここで、赤外光反射ミラー14は赤外光L
を反射すると共に、反射させた赤外光Lを空間光変調素
子1に向かって照射させるように設置されている。そし
て、赤外光反射ミラー14により、光源2からの信号取
出光200は赤外光が除去された状態で反射ミラー13
に向かった後、反射され、更に偏光ビームスプリッタ3
で偏光されて空間光変調素子1に入射する。そして、こ
の入射光はCRT6から信号光により変調された後、出
力光201としてスクリーン5上に出力される。
Here, the infrared light reflecting mirror 14 is
And the reflected infrared light L is directed toward the spatial light modulator 1. The signal extracting light 200 from the light source 2 is removed by the infrared light reflecting mirror 14 in a state where the infrared light is removed.
, Then reflected, and further polarized light splitter 3
And is incident on the spatial light modulator 1. Then, this incident light is modulated by the signal light from the CRT 6 and then output on the screen 5 as output light 201.

【0058】なお、赤外光反射ミラー14により反射さ
せられた赤外光Lは空間光変調素子1に向かうが、この
赤外光Lは通常は閉じられている同期シャッター15に
より遮断されるため、空間光変調素子1には入射しな
い。
The infrared light L reflected by the infrared light reflecting mirror 14 travels to the spatial light modulator 1, but the infrared light L is blocked by the normally closed synchronous shutter 15. , Does not enter the spatial light modulator 1.

【0059】一方、この同期シャッター15が、CRT
6からの入力の切換えのタイミングつまり第1の信号光
と第2の信号光の間のタイミングで開かれると、空間光
変調素子1のPC層へ信号取出光200と重畳して赤外
光Lが入射するようになる。これにより、第1の信号光
により形成されたPC層の状態をリセットすることがで
き、第2の信号光に影響を与えないようにすることがで
きる。
On the other hand, this synchronous shutter 15
6, the signal is opened at the timing of switching the input from the first signal light, that is, at the timing between the first signal light and the second signal light. Becomes incident. Thereby, the state of the PC layer formed by the first signal light can be reset, and the second signal light can be prevented from being affected.

【0060】次に、第7の実施の形態に係る映像投影装
置を説明する。
Next, an image projection apparatus according to a seventh embodiment will be described.

【0061】図11は、本実施の形態に係る映像投影装
置の構成を示す図であり、空間光変調素子1、光源2、
偏光ビームスプリッタ3、投影レンズ、スクリーン5、
コールドミラー8、反射ミラー9を備える一方、空間光
変調素子1の出力側に、初期化手段として光源2とは別
のリセット用の赤外光を発生するリセット用光源18を
設けると共に、リセット用光源18をCRT6からの入
力光の切換えに対応して動作させることにより、第1の
信号光によるPC層の変化が第2の信号光に対して影響
を与えないようにすることができる。
FIG. 11 is a diagram showing a configuration of an image projection apparatus according to the present embodiment, in which a spatial light modulator 1, a light source 2,
Polarizing beam splitter 3, projection lens, screen 5,
A cold mirror 8 and a reflecting mirror 9 are provided. On the output side of the spatial light modulator 1, a reset light source 18 for generating infrared light for reset, which is different from the light source 2 as initialization means, is provided. By operating the light source 18 in response to the switching of the input light from the CRT 6, it is possible to prevent a change in the PC layer due to the first signal light from affecting the second signal light.

【0062】次に、第8の実施の形態に係る映像投影装
置を説明する。
Next, an image projection apparatus according to an eighth embodiment will be described.

【0063】図12は、本実施の形態に係る映像投影装
置の構成を示す図であり、空間光変調素子1、光源2、
偏光ビームスプリッタ3、投影レンズ4、スクリーン
5、コールドミラー8、反射ミラー9を備える一方、リ
セット用の赤外光を発生するリセット用光源19と同期
シャッター15とから構成される初期化手段を備えてい
る。
FIG. 12 is a diagram showing a configuration of an image projection apparatus according to the present embodiment, in which a spatial light modulator 1, a light source 2,
It includes a polarizing beam splitter 3, a projection lens 4, a screen 5, a cold mirror 8, and a reflecting mirror 9, and also includes an initialization unit including a reset light source 19 for generating infrared light for reset and a synchronous shutter 15. ing.

【0064】そして、CRT6からの入力光の切換えの
タイミングに同期して同期シャッター15を開くことに
より、第1の信号光によるPC層の変化をリセットし、
第2の信号光に対して影響を与えないことが可能とな
る。なお、このリセット用光源19は常時点灯していて
も構わない。
Then, by opening the synchronous shutter 15 in synchronization with the switching timing of the input light from the CRT 6, the change of the PC layer due to the first signal light is reset,
It is possible to have no effect on the second signal light. Note that the reset light source 19 may be constantly turned on.

【0065】ところで、これまでの説明において、光源
2としてメタルハライドランプ2bを用いたもの挙げて
いるが、ハロゲンランプ、Hgアークランプ等を用いた
ものを使用することもできる。また、第5及び第6の実
施の形態においては、LED光源等も用いることが可能
である。
In the above description, a light source using a metal halide lamp 2b as the light source 2 has been described, but a light source using a halogen lamp, an Hg arc lamp, or the like may be used. In the fifth and sixth embodiments, an LED light source or the like can be used.

【0066】さらに、偏光ビームスプリッタ3は、液晶
層が偏液晶層と異なる場合には、単なるビームスプリッ
タでも代用できる。また更に、書き込み信号の発生源と
したCRT6はこれに限定されるものではなく、LED
パネル、レーザスキャン装置、等の光画像形成可能なも
のであれば代替可能である。また、書き込み光学系とし
て記載したファイバープレート以外にプレートレンズ、
レンズ結像系、反射結像系等の使用も可能である。
Further, when the liquid crystal layer is different from the polarized liquid crystal layer, the polarization beam splitter 3 can be replaced with a simple beam splitter. Further, the CRT 6 used as the source of the write signal is not limited to this, but may be an LED.
A panel, a laser scanning device, or the like can be used as long as it can form an optical image. Also, besides the fiber plate described as the writing optical system, a plate lens,
Use of a lens imaging system, a reflection imaging system, or the like is also possible.

【0067】[0067]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、信
号取出光に含まれる光導電層の光導電率を変化させる感
度波長の光が誘電体ミラー層等を透過するようになるの
で、信号取出側から光導電層をリセットできる。これに
より、光導電層側以外からのリセットが可能となり、入
射画像の書き込み側の構成の制限を少なくでき、小型化
や無調整化などの利点が生かせるようになる。
As described above, according to the present invention, light having a sensitivity wavelength that changes the photoconductivity of the photoconductive layer contained in the signal extraction light is transmitted through the dielectric mirror layer and the like. The photoconductive layer can be reset from the signal extraction side. This makes it possible to reset from a position other than the photoconductive layer side, thereby reducing the limitation on the configuration on the writing side of the incident image, and making use of advantages such as miniaturization and no adjustment.

【0068】また、光源と空間光変調素子との間に設け
た初期化手段により、信号光にて変化した光導電層の光
導電率を次の信号光が入射される前に初期値に戻すこと
ができ、次の信号光が前の信号光の影響を受けないよう
にすることができる。
Further, the initialization means provided between the light source and the spatial light modulator returns the photoconductivity of the photoconductive layer changed by the signal light to the initial value before the next signal light is incident. The next signal light can be prevented from being affected by the previous signal light.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態に係る空間光変調素
子の構造を示す断面図。
FIG. 1 is a sectional view showing a structure of a spatial light modulator according to a first embodiment of the present invention.

【図2】上記空間光変調素子のPC層の分光感度を示す
図表。
FIG. 2 is a table showing a spectral sensitivity of a PC layer of the spatial light modulator.

【図3】上記空間光変調素子の誘電体ミラーの分光反射
率を示す図表。
FIG. 3 is a table showing a spectral reflectance of a dielectric mirror of the spatial light modulator.

【図4】本発明の第2の実施の形態に係る空間光変調素
子の構造を示す断面図。
FIG. 4 is a sectional view showing the structure of a spatial light modulator according to a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第3の実施の形態に係る映像投影装置
の構成を示す図。
FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a video projection device according to a third embodiment of the present invention.

【図6】上記映像投影装置の回転フィルタの平面図。FIG. 6 is a plan view of a rotation filter of the image projection device.

【図7】本発明の第4の実施の形態に係る映像投影装置
の構成を示す図。
FIG. 7 is a diagram showing a configuration of a video projection device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図8】上記映像投影装置の回転反射板の平面図。FIG. 8 is a plan view of a rotating reflector of the image projection device.

【図9】本発明の第5の実施の形態に係る映像投影装置
の構成を示す図。
FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a video projection device according to a fifth embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第6の実施の形態に係る映像投影装
置の構成を示す図。
FIG. 10 is a diagram showing a configuration of a video projection device according to a sixth embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第7の実施の形態に係る映像投影装
置の構成を示す図。
FIG. 11 is a diagram showing a configuration of a video projection device according to a seventh embodiment of the present invention.

【図12】本発明の第8の実施の形態に係る映像投影装
置の構成を示す図。
FIG. 12 is a diagram showing a configuration of a video projection device according to an eighth embodiment of the present invention.

【図13】従来の空間光変調素子を用いた画像投影装置
の構成図。
FIG. 13 is a configuration diagram of an image projection apparatus using a conventional spatial light modulator.

【符号の説明】 1,1’,1A 空間光変調素子 100,100’ 光変調部 101,107 透明基板 102,106 透明電極 103 PC層 104 誘電体ミラー層 108 遮光層 2 光源 200 信号取出光 202 信号光 6 CRT 10 回転フィルタ 10a 切欠き 12 回転反射板 12b 赤外光反射部 14 赤外光反射ミラー 15 同期シャッター 16 コールドミラー 17 反射ミラー 18,19 リセット用光源 L 赤外光[Description of Signs] 1, 1 ', 1A Spatial light modulator 100, 100' Light modulator 101, 107 Transparent substrate 102, 106 Transparent electrode 103 PC layer 104 Dielectric mirror layer 108 Light shielding layer 2 Light source 200 Signal extraction light 202 Signal light 6 CRT 10 Rotating filter 10a Notch 12 Rotating reflector 12b Infrared light reflecting part 14 Infrared light reflecting mirror 15 Synchronous shutter 16 Cold mirror 17 Reflecting mirror 18, 19 Reset light source L Infrared light

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明電極がそれぞれ形成された信号入力
側及び信号取出側の一対の透明基板間に設けられた光導
電層と、誘電体ミラー層と、光変調層とを有する空間光
変調素子において、 前記信号取出側の透明基板から入射される光に含まれる
前記光導電層の光導電率を変化させる感度波長を有する
光のうち、所定の感度波長を有する光が前記誘電体ミラ
ー層を透過するよう該誘電体ミラー層の反射波長範囲が
設定されていることを特徴とする空間光変調素子。
1. A spatial light modulator comprising: a photoconductive layer provided between a pair of transparent substrates on a signal input side and a signal extraction side each having a transparent electrode formed thereon; a dielectric mirror layer; and a light modulation layer. In the light having a sensitivity wavelength that changes the photoconductivity of the photoconductive layer included in the light incident from the transparent substrate on the signal extraction side, light having a predetermined sensitivity wavelength passes through the dielectric mirror layer. A spatial light modulation device, wherein a reflection wavelength range of the dielectric mirror layer is set so as to transmit light.
【請求項2】 透明電極がそれぞれ形成された信号入力
側及び信号取出側の一対の透明基板間に設けられた光導
電層と、遮光層と、誘電体ミラー層と、光変調層とを有
する空間光変調素子において、 前記信号取出側の透明基板から入射される光に含まれる
前記光導電層の光導電率を変化させる感度波長を有する
光のうち、所定の感度波長を有する光が前記誘電体ミラ
ー層及び前記遮光層を透過するよう該誘電体ミラー層の
反射波長範囲及び該遮光層の遮光波長範囲が設定されて
いることを特徴とする空間光変調素子。
2. A photoconductive layer, a light shielding layer, a dielectric mirror layer, and a light modulation layer provided between a pair of transparent substrates on a signal input side and a signal extraction side each having a transparent electrode formed thereon. In the spatial light modulator, among the light having a sensitivity wavelength that changes the photoconductivity of the photoconductive layer included in the light incident from the transparent substrate on the signal extraction side, the light having a predetermined sensitivity wavelength is the dielectric material. A spatial light modulator, wherein a reflection wavelength range of the dielectric mirror layer and a light shielding wavelength range of the light shielding layer are set so as to transmit through the body mirror layer and the light shielding layer.
【請求項3】 前記光変調層として液晶層を用いたこと
を特徴とする請求項1又は2記載の空間光変調素子。
3. The spatial light modulation device according to claim 1, wherein a liquid crystal layer is used as the light modulation layer.
【請求項4】 前記透明電極及び透明基板は可視光線に
対し透明であると共に、前記各透明基板から入射される
光に対しても透明であることを特徴とする請求項1又は
2記載の空間光変調素子。
4. The space according to claim 1, wherein the transparent electrode and the transparent substrate are transparent to visible light and transparent to light incident from each of the transparent substrates. Light modulation element.
【請求項5】 空間光変調素子と、前記空間光変調素子
に信号光を入射するよう該空間光変調素子の信号入力側
に設けられた書き込み部と、前記信号光を取り出すため
の信号取出光を前記空間光変調素子に入射するよう該空
間光変調素子の信号取り出し側に設けられた光源とを備
えた画像投影装置において、 前記空間光変調素子を請求項1乃至4記載の空間光変調
素子とする一方、該空間光変調素子と前記光源の間には
前記信号光にて変化した前記光導電層の光導電率を次の
信号光が入射される前に初期値に戻す初期化手段を設け
たことを特徴とする画像投影装置。
5. A spatial light modulator, a writing section provided on a signal input side of the spatial light modulator so that signal light is incident on the spatial light modulator, and a signal extracting light for extracting the signal light. And a light source provided on a signal extraction side of the spatial light modulator so that the light is incident on the spatial light modulator. The spatial light modulator according to claim 1, wherein the spatial light modulator is Meanwhile, between the spatial light modulator and the light source, initialization means for returning the photoconductivity of the photoconductive layer changed by the signal light to an initial value before the next signal light is incident. An image projection device, comprising:
【請求項6】 前記初期化手段は、前記光導電層の光導
電率を変化させる感度波長の光のうち所定の感度波長の
光を該空間光変調素子に入射させて前記光変調層を初期
化するように構成されていることを特徴とする請求項5
記載の画像投影装置。
6. The light modulating layer initializes the light modulating layer by causing light having a predetermined sensitivity wavelength of the light having a sensitivity wavelength that changes the photoconductivity of the photoconductive layer to be incident on the spatial light modulating element. 6. The apparatus according to claim 5, wherein
The image projection device according to claim 1.
【請求項7】 前記初期化手段は、前記光変調層を初期
化する所定の感度波長の光を前記信号取出光から形成す
る初期化信号形成手段を有していることを特徴とする請
求項5及び6記載の画像投影装置。
7. The apparatus according to claim 1, wherein said initialization means has initialization signal forming means for forming light having a predetermined sensitivity wavelength for initializing said light modulation layer from said signal extraction light. 7. The image projection device according to 5 or 6.
【請求項8】 前記初期化手段は、前記所定の感度波長
の光を前記信号取出光に重畳して前記空間光変調素子に
入射することを特徴とする請求項7記載の画像投影装
置。
8. The image projection apparatus according to claim 7, wherein said initialization means superimposes the light having the predetermined sensitivity wavelength on the signal extraction light and enters the spatial light modulation element.
【請求項9】 前記初期化手段は、前記信号取出光を入
射する光源とは別な光源を用いて前記所定の感度波長の
光を形成することを特徴とする請求項5及び6記載の画
像投影装置。
9. The image according to claim 5, wherein said initialization means forms light of said predetermined sensitivity wavelength using a light source different from a light source on which said signal extraction light is incident. Projection device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2002520675A (en) * 1998-07-15 2002-07-09 ハンプ,ノルベルト Optical modulator having photochromic layer

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