JPH1064059A - Projection detecting method and its device - Google Patents
Projection detecting method and its deviceInfo
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- JPH1064059A JPH1064059A JP23590496A JP23590496A JPH1064059A JP H1064059 A JPH1064059 A JP H1064059A JP 23590496 A JP23590496 A JP 23590496A JP 23590496 A JP23590496 A JP 23590496A JP H1064059 A JPH1064059 A JP H1064059A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、磁気によりデー
タやプログラム等の情報が記録再生される磁気記録媒体
上の突起を検出する方法及びその装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and apparatus for detecting protrusions on a magnetic recording medium on which information such as data and programs are recorded and reproduced by magnetism.
【0002】[0002]
【従来の技術】磁気記録媒体としては、例えば磁気ディ
スクや磁気テープ等がある。磁気ディスクに情報を記録
し、磁気ディスクに記録された情報を再生する装置とし
ては、例えばハードディスク装置やフレキシブルディス
ク装置等がある。ハードディスク装置に内蔵されている
磁気ディスクの両表面には磁性膜が成膜されており、磁
気ディスクの表面上を浮上するヘッドスライダに搭載さ
れている磁気ヘッドにより、磁性膜に情報がトラック状
に記録され、また磁性膜にトラック状に記録された情報
が再生されるようになっている。2. Description of the Related Art As a magnetic recording medium, there is, for example, a magnetic disk or a magnetic tape. Examples of a device that records information on a magnetic disk and reproduces the information recorded on the magnetic disk include a hard disk device and a flexible disk device. Magnetic films are formed on both surfaces of the magnetic disk built into the hard disk drive, and information is track-shaped on the magnetic film by a magnetic head mounted on a head slider floating above the surface of the magnetic disk. Information recorded and recorded in a track shape on the magnetic film is reproduced.
【0003】磁気ディスクの両表面に成膜されている磁
性膜は、スパッタリング等により形成されるため、成膜
直後の磁性膜表面には突起が生じている場合がある。こ
の突起は、ヘッドスライダに搭載されている磁気ヘッド
による情報の記録再生時に悪影響を及ぼすおそれがある
ため、突起を除去する必要がある。そこで、磁気ディス
クの表面上に、やすりの機能を有するワッフルヘッドが
搭載されたヘッドスライダを配置し、磁気ディスクを回
転させつつワッフルヘッドを磁気ディスクの径方向に移
動させて、突起を削り取っている。Since the magnetic films formed on both surfaces of the magnetic disk are formed by sputtering or the like, projections may be formed on the surface of the magnetic film immediately after the film formation. These projections may adversely affect the recording and reproduction of information by the magnetic head mounted on the head slider, so it is necessary to remove the projections. Therefore, a head slider on which a waffle head having a file function is mounted is arranged on the surface of the magnetic disk, and the waffle head is moved in the radial direction of the magnetic disk while rotating the magnetic disk to cut off the protrusion. .
【0004】そして、この突起除去が終了した後、図1
0に示すように、磁気ディスク1の表面上に、突起検出
センサが搭載されたスライダ2を配置し、磁気ディスク
1を回転させつつスライダ2を磁気ディスク1の径方向
に移動させて、除去できなかった突起の有無を突起検出
センサにより検出して磁気ディスク1を検査している。After the removal of the protrusions is completed, FIG.
As shown in FIG. 0, a slider 2 on which a protrusion detection sensor is mounted is arranged on the surface of the magnetic disk 1, and the slider 2 can be moved in the radial direction of the magnetic disk 1 while rotating the magnetic disk 1 to remove the slider. The presence or absence of the missing protrusion is detected by the protrusion detection sensor, and the magnetic disk 1 is inspected.
【0005】従来の突起検出センサには、圧電素子が用
いられている。そして、突起の検出方法は、この突起検
出センサが搭載されたスライダ2を磁気ディスク1上で
任意の浮上量で浮上させ、この浮上量よりも高い突起に
スライダ2が衝突した際に生じる振動を圧電素子で検出
し、この衝突の度合いに応じた圧電素子からの出力電圧
により突起を検出するようにしている。このときのスラ
イダ2の振動は、突起によるスライダ2の浮上安定性の
喪失により発生するものではなく、ほとんどの場合、ス
ライダ2に衝撃が加わることにより発生する固有振動で
ある。従って、圧電素子から観測される電圧の振動周波
数もスライダ2の固有振動数となる。[0005] A piezoelectric element is used in a conventional projection detection sensor. The protrusion is detected by causing the slider 2 on which the protrusion detection sensor is mounted to fly above the magnetic disk 1 with an arbitrary flying height, and the vibration generated when the slider 2 collides with a protrusion higher than the flying height. The protrusion is detected by the piezoelectric element, and the protrusion is detected by the output voltage from the piezoelectric element according to the degree of the collision. The vibration of the slider 2 at this time does not occur due to the loss of the flying stability of the slider 2 due to the protrusion, but in most cases is the natural vibration generated due to the impact applied to the slider 2. Therefore, the vibration frequency of the voltage observed from the piezoelectric element is also the natural frequency of the slider 2.
【0006】ところが、上述した圧電素子を用いた突起
検出センサによる突起の検出方法には、以下の欠点があ
る。即ち、スライダ2の突起衝突時の振動が静定するま
では次の突起を検出することはできないが、この静定時
間が長いため、静定する間に出現した突起を検出できな
いという欠点である。さらに、圧電素子の検出感度に限
界があるため、問題となる微小突起を検出することがで
きないという欠点である。However, the above-described method for detecting a projection by the projection detection sensor using a piezoelectric element has the following disadvantages. That is, the next protrusion cannot be detected until the vibration of the slider 2 at the time of the collision of the protrusion is settled. However, since the settling time is long, the protrusion appearing during the settling cannot be detected. . Furthermore, since the detection sensitivity of the piezoelectric element is limited, it is not possible to detect minute projections, which are problematic.
【0007】また、表面に形成された凹凸部によりデー
タ記録領域と制御信号記録領域に放射状に区分されてい
る磁気ディスクを検査する場合、突起でない箇所を突起
として検出してしまう場合があるという欠点である。即
ち、凹凸部が形成されている磁気ディスク上をスライダ
2が浮上走行する場合、データ記録領域から制御信号記
録領域に移行するときにスライダ2の浮上量に変動が生
じる。この浮上量の変動が起きるときに、スライダ2は
磁気ディスクから加速度を受けて振動するので、圧電素
子は電圧を出力してしまい、突起として検出してしま
う。Further, when inspecting a magnetic disk radially divided into a data recording area and a control signal recording area by an uneven portion formed on the surface, a non-projection may be detected as a projection. It is. That is, when the slider 2 flies over the magnetic disk on which the irregularities are formed, the flying height of the slider 2 fluctuates when the slider 2 moves from the data recording area to the control signal recording area. When the fluctuation of the flying height occurs, the slider 2 vibrates by receiving acceleration from the magnetic disk, so that the piezoelectric element outputs a voltage and is detected as a protrusion.
【0008】そこで、圧電素子の代わりに抵抗体を用い
た突起検出センサによる突起の検出方法が考えられる。
この抵抗体を用いた突起検出センサは、抵抗体と突起と
が衝突することにより抵抗体が得るエネルギのうち、熱
に変換されるエネルギを利用するものである。即ち、熱
に変換されたエネルギは、抵抗体の温度を上昇させて抵
抗体の抵抗を上昇させるので、抵抗体の抵抗値の変化を
検出することにより、突起を検出することができる。Therefore, a method of detecting a protrusion by a protrusion detection sensor using a resistor instead of the piezoelectric element is considered.
The projection detection sensor using the resistor uses the energy that is converted into heat, out of the energy obtained by the resistor when the resistor and the projection collide. That is, since the energy converted into heat raises the temperature of the resistor to increase the resistance of the resistor, the protrusion can be detected by detecting a change in the resistance value of the resistor.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上述した圧電素子を用
いた突起検出センサによる突起の検出方法では、突起が
圧電素子以外の部分に衝突しても、スライダ2は共振し
てその振動が圧電素子に伝搬するので、突起検出信号が
発生する。従って、この検出分解能は、図11(A)に
示すように、圧電素子3がスライダ2の後端面の一方の
側面近傍に搭載されていても、検出感度を示すグラフに
示すように、スライダ2の幅で決定される。In the above-described method for detecting a projection by the projection detection sensor using a piezoelectric element, even if the projection collides with a portion other than the piezoelectric element, the slider 2 resonates and its vibration is reduced. , A projection detection signal is generated. Accordingly, even if the piezoelectric element 3 is mounted near one side of the rear end face of the slider 2 as shown in FIG. Is determined by the width of
【0010】一方、抵抗体を用いた突起検出センサによ
る突起の検出方法では、突起がスライダ2に衝突しても
突起検出信号は発生せず、突起が抵抗体に衝突したとき
のみ、突起検出信号が発生する。従って、この検出分解
能は、図11(B)に示すように、抵抗体4がスライダ
2の後端面の一方の側面近傍に搭載されていると、検出
感度を示すグラフに示すように、抵抗体4の幅で決定さ
れる。On the other hand, in the method of detecting a projection by a projection detection sensor using a resistor, a projection detection signal is not generated even when the projection collides with the slider 2, and the projection detection signal is generated only when the projection collides with the resistor. Occurs. Accordingly, as shown in FIG. 11B, when the resistor 4 is mounted near one side of the rear end face of the slider 2 as shown in FIG. 4 is determined.
【0011】ここで、スライダ2の磁気ディスク1にお
ける浮上範囲は、スライダ2の内周側の側面が磁気ディ
スク1の情報記録領域を画する内周縁に接するところか
ら、スライダ2の外周側の側面が磁気ディスク1の情報
記録領域を画する外周縁に接するところまでである。圧
電素子3を用いた突起検出センサの場合は、上記理由か
ら、圧電素子3がスライダ2のどこに配置されようと
も、磁気ディスク1の情報記録領域全面にわたって突起
を検出することができる。Here, the flying range of the slider 2 on the magnetic disk 1 is defined by the fact that the inner peripheral side surface of the slider 2 contacts the inner peripheral edge defining the information recording area of the magnetic disk 1, and the outer peripheral side surface of the slider 2 Is in contact with the outer peripheral edge defining the information recording area of the magnetic disk 1. In the case of the protrusion detection sensor using the piezoelectric element 3, the protrusion can be detected over the entire information recording area of the magnetic disk 1 regardless of where the piezoelectric element 3 is disposed on the slider 2 for the above reason.
【0012】ところが、抵抗体4を用いた突起検出セン
サの場合は、例えば抵抗体4がスライダ2の中央に配置
されているときは、磁気ディスク1の情報記録領域を画
する内周縁よりスライダ2の幅の半分だけ外周側にずれ
たところから、磁気ディスク1の情報記録領域を画する
外周縁よりスライダ2の幅の半分だけ内周側にずれたと
ころまでの領域上しか抵抗体は通過できないので、上記
理由から、磁気ディスク1の情報記録領域全面にわたっ
て突起を検出することができない。However, in the case of the protrusion detection sensor using the resistor 4, for example, when the resistor 4 is disposed at the center of the slider 2, the slider 2 is positioned at a position closer to the inner periphery of the magnetic disk 1 to define the information recording area. The resistor can only pass over the area from the position shifted to the outer peripheral side by half the width of the slider 2 to the position shifted from the outer peripheral edge defining the information recording area of the magnetic disk 1 to the inner peripheral side by half the width of the slider 2. Therefore, for the above reason, it is impossible to detect the protrusion over the entire information recording area of the magnetic disk 1.
【0013】また、例えば抵抗体4がスライダ2の一方
の側に配置されているときは、磁気ディスク1の情報記
録領域を画する内周縁よりスライダ2の幅分だけ外周側
にずれたところから、磁気ディスク1の情報記録領域を
画する外周縁までの領域上、又は磁気ディスク1の情報
記録領域を画する内周縁から、磁気ディスク1の情報記
録領域を画する外周縁よりスライダ2の幅分だけ内周側
にずれたところまでの領域上しか抵抗体4は通過できな
いので、同様に磁気ディスク1の情報記録領域全面にわ
たって突起を検出することができない。For example, when the resistor 4 is disposed on one side of the slider 2, the resistor 4 is shifted from the inner periphery defining the information recording area of the magnetic disk 1 to the outer periphery by the width of the slider 2. The width of the slider 2 from the outer edge defining the information recording area of the magnetic disk 1 on the area up to the outer edge defining the information recording area of the magnetic disk 1 or from the inner edge defining the information recording area of the magnetic disk 1 Since the resistor 4 can pass only over the area shifted to the inner peripheral side by the distance, the protrusion cannot be similarly detected over the entire information recording area of the magnetic disk 1.
【0014】このような場合、スライダ2を浮上範囲を
越えて移動させれば、磁気ディスク1の情報記録領域全
面にわたって突起を検出することができるが、スライダ
2が浮上せずに墜落する場合もあり、突起の検出そのも
のが不可能になるという問題があった。In such a case, if the slider 2 is moved beyond the flying range, protrusions can be detected over the entire information recording area of the magnetic disk 1. However, the slider 2 may crash without flying. There is a problem that the detection of the projection itself becomes impossible.
【0015】この発明は、以上の点に鑑み、磁気記録媒
体上の突起を全面にわたって精度良く検出することがで
きる突起検出方法及びその装置を提供することを目的と
している。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the foregoing, it is an object of the present invention to provide a projection detecting method and apparatus capable of accurately detecting the projections on a magnetic recording medium over the entire surface.
【0016】[0016]
【課題を解決するための手段】上記目的は、この発明に
よれば、磁気により情報が記録再生される磁気記録媒体
上の突起を検出する方法において、前記磁気記録媒体上
を浮上する少なくとも2個のスライダに突起検出センサ
をそれぞれ搭載し、前記各スライダを並設し、前記各ス
ライダを並設方向に移動させ、前記各突起検出センサに
て前記突起を検出することにより達成される。According to the present invention, there is provided a method for detecting a protrusion on a magnetic recording medium on which information is recorded / reproduced by magnetism. This is achieved by mounting a projection detection sensor on each of the sliders, arranging the sliders side by side, moving the sliders in the alignment direction, and detecting the projections by the projection detection sensors.
【0017】上記構成によれば、並設された複数の突起
検出センサにより突起を検出するようにしているので、
突起検出不能領域が生じることはなく、磁気記録媒体上
の突起を全面にわたって精度良く検出することができ
る。According to the above configuration, the protrusions are detected by the plurality of protrusion detection sensors arranged in parallel.
There is no projection undetectable area, and projections on the magnetic recording medium can be accurately detected over the entire surface.
【0018】[0018]
【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を添付図を参照しながら詳細に説明する。尚、以下に述
べる実施の形態は、この発明の好適な具体例であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、こ
の発明の範囲は、以下の説明において特にこの発明を限
定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるも
のではない。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, and therefore, various technically preferable limitations are added. However, the scope of the present invention is not limited to the following description. It is not limited to these forms unless otherwise stated.
【0019】図1は、この発明の突起検出装置の実施形
態を示す構成図である。この突起検出装置100は、回
転部110に装着されている磁気ディスク1の突起を突
起検出部120により検出し、回転部110及び突起検
出部120からの信号を信号処理回路130により処理
して外部に出力するようになっている。回転部110
は、スピンドルモータ111に接続されている回転盤1
12上に磁気ディスク1を載置固定して、回転コントロ
ーラ113の制御により回転させるようになっている。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a projection detecting device according to the present invention. The projection detecting device 100 detects the projection of the magnetic disk 1 mounted on the rotating unit 110 by the projection detecting unit 120, processes the signals from the rotating unit 110 and the projection detecting unit 120 by the signal processing circuit 130, and Output. Rotating part 110
Is the rotary disk 1 connected to the spindle motor 111
The magnetic disk 1 is mounted and fixed on the magnetic disk 12 and rotated under the control of the rotation controller 113.
【0020】突起検出部120は、回転部110近傍に
配置された移動ステージ121に装着されている2台の
サスペンション122、123及び各サスペンション1
22、123に取り付けられているスライダ124、1
25を、ステージコントローラ126の制御により磁気
ディスク1の径方向に移動させ、各スライダ124、1
25に搭載されている突起検出センサ127、128に
より磁気ディスク1上の突起を検出するようになってい
る。The protrusion detecting section 120 includes two suspensions 122 and 123 mounted on a moving stage 121 disposed near the rotating section 110 and each suspension 1.
Sliders 124, 1 attached to
The slider 25 is moved in the radial direction of the magnetic disk 1 under the control of the stage controller 126, and the sliders 124, 1
The protrusions on the magnetic disk 1 are detected by the protrusion detection sensors 127 and 128 mounted on the magnetic disk 1.
【0021】信号処理回路130は、突起検出センサ1
27、128からの突起検出信号を信号増幅回路131
を介して信号比較回路132に入力すると共に、スライ
スレベル信号記憶回路133に予め記憶されているスラ
イスレベル信号を信号比較回路132に入力して突起検
出信号と比較する。そして、信号比較回路132からの
比較結果をデータ出力回路134に入力し、その比較結
果に従って回転コントローラ113から入力したディス
ク角度情報及びステージコントローラ124から入力し
たディスク半径位置情報を、記録媒体141等に出力す
ると共に表示装置142に表示するようになっている。The signal processing circuit 130 includes the protrusion detection sensor 1
The protrusion detection signal from the signal amplification circuit 131
, And the slice level signal stored in advance in the slice level signal storage circuit 133 is input to the signal comparison circuit 132 and compared with the protrusion detection signal. Then, the comparison result from the signal comparison circuit 132 is input to the data output circuit 134, and the disk angle information input from the rotation controller 113 and the disk radius position information input from the stage controller 124 are written to the recording medium 141 or the like according to the comparison result. It is output and displayed on the display device 142.
【0022】2台のサスペンション122、123の一
端は磁気ディスク1の径方向に並設されて移動ステージ
121に固定されており、他端にはスライダ124、1
25が固定されている。そして、図2に示すように、磁
気ディスク1の外周側に配置されているスライダ124
の後端面の外周側近傍に、突起検出センサ127が搭載
され、磁気ディスク1の内周側に配置されているスライ
ダ125の後端面の内周側近傍に、突起検出センサ12
8が搭載されている。One end of each of the two suspensions 122 and 123 is arranged in parallel in the radial direction of the magnetic disk 1 and is fixed to the moving stage 121, and the other end has sliders 124 and 1
25 is fixed. Then, as shown in FIG. 2, the slider 124 disposed on the outer peripheral side of the magnetic disk 1
The protrusion detection sensor 127 is mounted near the outer peripheral side of the rear end face of the slider 125, and the protrusion detection sensor 127 is mounted near the inner peripheral side of the rear end face of the slider 125 disposed on the inner peripheral side of the magnetic disk 1.
8 is mounted.
【0023】この突起検出装置100により、磁気ディ
スク1の情報記録領域全面にわたって突起を検出するた
めの配置例を図2及び図3で説明する。磁気ディスク1
の半径方向における突起検出センサ127、128の中
心からスライダ124、125の中心までの距離をsと
し、スライダ124、125の中心間距離をdとし、磁
気ディスク1の情報記録領域を画する内周縁から外周縁
までの距離をlとすると、d=l/2−2sの関係を満
たすように突起検出センサ127、128等を配置すれ
ば、磁気ディスク1の情報記録領域全面にわたって突起
を検出することができる。An example of an arrangement for detecting protrusions over the entire information recording area of the magnetic disk 1 using the protrusion detection device 100 will be described with reference to FIGS. Magnetic disk 1
The distance from the center of the protrusion detection sensors 127 and 128 in the radial direction to the center of the sliders 124 and 125 is s, the distance between the centers of the sliders 124 and 125 is d, and the inner peripheral edge defining the information recording area of the magnetic disk 1 If the distance from the edge to the outer peripheral edge is 1 and the projection detection sensors 127 and 128 are arranged so as to satisfy the relationship of d = 1 / 2-2s, the projection can be detected over the entire information recording area of the magnetic disk 1. Can be.
【0024】即ち、磁気ディスク1の情報記録領域を画
する内周縁から外周縁までのうち、内周側の半分の領域
は、突起検出センサ128により検査することができ、
外周側の半分の領域は、突起検出センサ127により検
査することができる。このときの移動ステージ121の
移動距離はl/2で良く、このl/2の1回の移動中に
突起検出センサ127及び128による検査は同時に行
われる。従って、磁気ディスク1の情報記録領域を全面
にわたって検査することができると共に、その検査時間
を従来のほぼ半分に短縮させることができる。That is, a half area on the inner circumference side from the inner circumference to the outer circumference defining the information recording area of the magnetic disk 1 can be inspected by the protrusion detection sensor 128,
The half area on the outer peripheral side can be inspected by the protrusion detection sensor 127. The moving distance of the moving stage 121 at this time may be l / 2, and the inspection by the protrusion detection sensors 127 and 128 is performed simultaneously during one l / 2 movement. Therefore, the information recording area of the magnetic disk 1 can be inspected over the entire surface, and the inspection time can be reduced to almost half of the conventional case.
【0025】ここで、突起検出センサ127、128
は、図4に示すように、リード線127a、128a、
127b、128bが両端に接続された抵抗体127
c、128cで構成されている。抵抗体127c、12
8cの材料としては、熱伝導率が60W/mK〜80W
/mK、抵抗値が27Ωのパーマロイや比熱が0.13
9J/gK、密度が16.6g/cm3、温度感度が
0.1%/℃のタンタル等を用いることができる。リー
ド線127a、128a、127b、128bの材料と
しては、銅を用いることができる。また、スライダ12
4、125としては、一般的なナノスライダの大きさの
ものを用いることができ、このスライダ124、125
に荷重を与えるサスペンション122、123として
は、いわゆるタイプ19のものを用いることができる。Here, the protrusion detection sensors 127 and 128
Are, as shown in FIG. 4, lead wires 127a, 128a,
A resistor 127 having 127b and 128b connected to both ends
c, 128c. Resistors 127c, 12
8c has a thermal conductivity of 60 W / mK to 80 W
/ MK, permalloy with a resistance value of 27Ω and specific heat of 0.13
For example, tantalum having 9 J / gK, a density of 16.6 g / cm3, and a temperature sensitivity of 0.1% / ° C can be used. Copper can be used as a material for the lead wires 127a, 128a, 127b, and 128b. The slider 12
As the sliders 4 and 125, those having the size of a general nano-slider can be used.
As the suspensions 122 and 123 for applying a load to the vehicle, so-called type 19 suspensions can be used.
【0026】このような突起検出センサ127、128
を作成するには、先ず、スライダ124、125の後端
面に、パーマロイを蒸着法により、あるいはタンタルを
スパッタにより成膜する。次に、このパーマロイ膜ある
いはタンタル膜をドライエッチング法によりエッチング
して抵抗体127c、128cを形成する。そして、こ
のパーマロイ膜あるいはタンタル膜の両端に銅によりリ
ード線127a、128a、127b、128bを形成
して突起検出センサ127、128とする。Such projection detecting sensors 127 and 128
First, permalloy is formed on the rear end surfaces of the sliders 124 and 125 by vapor deposition or tantalum by sputtering. Next, the permalloy film or the tantalum film is etched by a dry etching method to form resistors 127c and 128c. Then, lead wires 127a, 128a, 127b, 128b are formed of copper at both ends of the permalloy film or the tantalum film to form projection detection sensors 127, 128.
【0027】突起検出センサ127、128は、抵抗体
127c、128cと磁気ディスク1上の突起とが衝突
することにより抵抗体127c、128cが得るエネル
ギのうち、熱に変換されるエネルギを利用するものであ
る。即ち、熱に変換されたエネルギは、抵抗体127
c、128cの温度を上昇させて抵抗を上昇させるの
で、抵抗体127c、128cの抵抗値の変化を検出す
ることにより、突起を検出することができる。The protrusion detection sensors 127 and 128 use the energy converted into heat from the energy obtained by the resistors 127c and 128c when the resistors 127c and 128c collide with the protrusions on the magnetic disk 1. It is. That is, the energy converted into heat is converted into the resistance 127
Since the resistance is increased by increasing the temperature of c and 128c, the protrusion can be detected by detecting the change in the resistance value of the resistors 127c and 128c.
【0028】抵抗体127c、128cは薄膜で形成さ
れているが、このようにすることにより、抵抗体127
c、128cの熱容量が小さくなるので、微小突起に衝
突した際の小さなエネルギでも抵抗体127c、128
cの抵抗値の変化は大きくなり、また、抵抗体127
c、128cの熱拡散度が大きくなるので、突起検出時
間、即ち抵抗体127c、128cが突起と衝突してか
ら抵抗体127c、128cが静定するまでの時間は短
くなる。The resistors 127c and 128c are formed of a thin film.
Since the heat capacities of c and 128c are small, even if the energy is small at the time of colliding with the minute projection, the resistors 127c and 128c may be used.
The change in the resistance value of c increases, and the resistance of the resistor 127 increases.
Since the thermal diffusivity of c and 128c increases, the protrusion detection time, that is, the time from when the resistors 127c and 128c collide with the protrusion to when the resistors 127c and 128c settle becomes shorter.
【0029】また、抵抗体127c、128cはスライ
ダ124、125の表面で剥き出しとなっているが、こ
のようにすることにより、抵抗体127c、128cと
突起とが衝突した際のエネルギは、何も介在することな
く、抵抗体127c、128cそのもので熱に直接変換
されるので、突起検出センサ127、128の検出感度
を高めて微小突起でも検出することが可能となる。尚、
抵抗体127c、128cの両端にはリード線127
a、128a、127b、128bが接続されているの
で、このリード線127a、128a、127b、12
8bに定電流源を接続して定電流を抵抗体127c、1
28cに供給することにより、抵抗体127c、128
cの抵抗値の変化を電圧の変化として検出することがで
きる。The resistors 127c and 128c are exposed on the surfaces of the sliders 124 and 125. By doing so, no energy is generated when the resistors 127c and 128c collide with the projections. Since heat is directly converted by the resistors 127c and 128c themselves without any intervention, the detection sensitivity of the protrusion detection sensors 127 and 128 can be enhanced to detect even minute protrusions. still,
Lead wires 127 are provided at both ends of the resistors 127c and 128c.
a, 128a, 127b, 128b are connected, so that the lead wires 127a, 128a, 127b, 12
8b is connected to a constant current source to supply a constant current to the resistors 127c and 1c.
28c, the resistors 127c, 128
A change in the resistance value of c can be detected as a change in voltage.
【0030】このような突起検出センサ127(12
8)による表面が平坦な一般的な磁気ディスク1上の突
起の検出について説明する。用いた磁気ディスク1は、
直径30μm、高さ40nmの円筒形のバンプが、磁気
ディスク1の半径20mm、24mm、28mmの各位
置に径方向に一直線状に配置されたバンプディスクであ
る。スライダ124(125)を各バンプの位置に配置
し、スライダ124(125)とバンプディスクの相対
速度を変化させることにより、スライダ124(12
5)の浮上量を変化させた。即ち、スライダ124(1
25)とバンプディスクの相対速度が大きい程、スライ
ダ124(125)の浮上量も大きくなる。Such a protrusion detection sensor 127 (12
The detection of a projection on a general magnetic disk 1 having a flat surface according to 8) will be described. The magnetic disk 1 used was
This is a bump disk in which cylindrical bumps having a diameter of 30 μm and a height of 40 nm are linearly arranged radially at respective positions of a radius of 20 mm, 24 mm and 28 mm of the magnetic disk 1. The slider 124 (125) is arranged at each bump position, and the slider 124 (125) is changed by changing the relative speed between the slider 124 (125) and the bump disk.
The flying height of 5) was changed. That is, the slider 124 (1
The flying height of the slider 124 (125) increases as the relative speed between the bump disk 25) and the bump disk increases.
【0031】図5は、突起検出センサ127(128)
の出力電圧とスライダ124(125)の浮上量との関
係を示す図である。突起検出センサ127(128)の
出力電圧は、同図からも明らかなように、スライダ12
4(125)の浮上量がバンプの高さよりも大きいとき
は小さくなり、スライダ124(125)の浮上量がバ
ンプの高さよりも小さいときは極端に大きくなる。ま
た、突起検出センサ127(128)の出力電圧の波形
は、図6(A)に示すように、スライダ124(12
5)の浮上量がバンプの高さよりも大きいときは下に凸
の波形となり、同図(B)に示すように、スライダ12
4(125)の浮上量がバンプの高さよりも小さいとき
は上に凸の波形となる。これは以下の理由による。FIG. 5 shows the protrusion detection sensor 127 (128).
FIG. 9 is a diagram showing a relationship between the output voltage of the slider 124 and the flying height of the slider 124 (125). The output voltage of the protrusion detection sensor 127 (128) is, as is apparent from FIG.
4 (125) becomes smaller when the flying height is larger than the height of the bump, and becomes extremely large when the flying height of the slider 124 (125) is smaller than the height of the bump. As shown in FIG. 6A, the waveform of the output voltage of the protrusion detection sensor 127 (128) is
When the flying height of 5) is larger than the height of the bump, a downwardly convex waveform is formed, and as shown in FIG.
When the flying height of No. 4 (125) is smaller than the height of the bump, an upwardly convex waveform is obtained. This is for the following reason.
【0032】スライダ124(125)の浮上量がバン
プの高さよりも大きい場合は、抵抗体127c(128
c)はバンプに衝突しないが、抵抗体127c(128
c)がバンプ上を通過する際に、抵抗体127c(12
8c)とバンプディスク面との距離がバンプの高さ分だ
け小さくなる。これにより、抵抗体127c(128
c)とバンプディスクの間の熱抵抗が小さくなるので、
抵抗体127c(128c)の熱がバンプディスク側に
放出され、抵抗体127c(128c)の抵抗値が小さ
くなるからである。従って、定電流が流れている抵抗体
127c(128c)の出力電圧は小さくなる。When the flying height of the slider 124 (125) is larger than the height of the bump, the resistor 127c (128)
Although c) does not collide with the bump, the resistor 127c (128)
When c) passes over the bump, the resistor 127c (12
The distance between 8c) and the bump disk surface is reduced by the height of the bump. Thereby, the resistor 127c (128
c) the thermal resistance between the bump disk and
This is because the heat of the resistor 127c (128c) is released to the bump disk side, and the resistance of the resistor 127c (128c) decreases. Therefore, the output voltage of the resistor 127c (128c) through which the constant current flows becomes small.
【0033】また、スライダ124(125)の浮上量
がバンプの高さよりも小さい場合は、抵抗体127c
(128c)はバンプに衝突し、抵抗体127c(12
8c)に熱が発生して抵抗体127c(128c)の抵
抗値が大きくなるからである。従って、定電流が流れて
いる抵抗体127c(128c)の出力電圧は大きくな
る。尚、スライダ124(125)の浮上量とバンプの
高さが略同じ場合は、バンプへ近づく際の放熱の効果と
バンプと衝突する際の吸熱の効果が混在していると考え
る。以上より、抵抗体127c(128c)を用いるこ
とにより一般的な表面が平坦な磁気ディスク上の突起の
検出が可能である。If the flying height of the slider 124 (125) is smaller than the height of the bump, the resistor 127c
(128c) collides with the bump, and the resistor 127c (12
This is because heat is generated in 8c) and the resistance value of the resistor 127c (128c) increases. Therefore, the output voltage of the resistor 127c (128c) through which the constant current flows increases. When the flying height of the slider 124 (125) is substantially the same as the height of the bump, it is considered that the effect of heat dissipation when approaching the bump and the effect of heat absorption when colliding with the bump are mixed. As described above, by using the resistor 127c (128c), it is possible to detect a projection on a general magnetic disk having a flat surface.
【0034】次に、上述した突起検出センサ127(1
28)による表面に凹凸部が形成されている磁気ディス
ク上の突起の検出について説明する。用いた磁気ディス
クは、図7(A)の全体形状を示す平面図及び同図
(B)の表面の部分形状を示す平面図のように、凹凸部
(図7(B)の黒部が凸部、白部が凹部を示す)で成る
データ記録領域(データゾーン)と制御信号記録領域
(サーボゾーン)とがそれぞれ放射状に形成された磁気
ディスク11である。Next, the above-described protrusion detection sensor 127 (1
The detection of the protrusion on the magnetic disk having the unevenness on the surface according to the method 28) will be described. The magnetic disk used has an uneven portion (a black portion in FIG. 7B is a convex portion) as shown in a plan view showing the entire shape of FIG. 7A and a plan view showing a partial shape of the surface in FIG. The magnetic disk 11 has a data recording area (data zone) and a control signal recording area (servo zone) which are formed radially.
【0035】サーボゾーンは、磁気ヘッドのスキュー角
度に対応した磁気ディスク11の内周から外周にかけて
の円弧状であって、64個/周で凹部の深さが200n
mとなるように形成されている。また、データゾーンに
は、同心円状であって、データ等を記録するためのデー
タトラックがトラックピッチ4.8μm、トラック幅
3.8μmとなるように形成されている。スライダ12
4(125)を磁気ディスク11上の高さ100nmの
突起箇所に配置し、スライダ124(125)を50n
m浮上させた。The servo zone has an arc shape from the inner circumference to the outer circumference of the magnetic disk 11 corresponding to the skew angle of the magnetic head.
m. In the data zone, a concentric data track for recording data or the like is formed so as to have a track pitch of 4.8 μm and a track width of 3.8 μm. Slider 12
4 (125) is disposed on the magnetic disk 11 at a protrusion of 100 nm in height, and the slider 124 (125) is
m.
【0036】図8は、このときの突起検出センサ127
(128)の出力電圧の波形を示す図である。同図の両
端に表れた小さな波形が、突起検出センサ127(12
8)のサーボゾーン通過時の出力電圧の波形であり、そ
れらの中央に表れた大きな波形が、突起検出センサ12
7(128)の磁気ディスク11上の突起衝突時の出力
電圧の波形である。このように、突起検出センサ127
(128)の出力電圧の大きさは、サーボゾーン通過時
と突起衝突時とで異なり、サーボゾーン通過時より突起
衝突時の方が大きくなる。また、突起検出センサ127
(128)の出力電圧の波形は、サーボゾーン通過時と
突起衝突時とで異なる。以上より、抵抗体127c(1
28c)を用いることにより表面に凹凸部が形成されて
いる磁気ディスク11上の突起の検出が可能である。FIG. 8 shows the projection detection sensor 127 at this time.
It is a figure showing the waveform of the output voltage of (128). Small waveforms appearing at both ends of the figure are the protrusion detection sensors 127 (12
8) The waveform of the output voltage at the time of passing through the servo zone of FIG.
7 shows a waveform of an output voltage at the time of a projection collision on the magnetic disk 11 of FIG. 7 (128). Thus, the protrusion detection sensor 127
The magnitude of the output voltage of (128) is different between when passing through the servo zone and when colliding with the projection, and is larger when colliding with the projection than when passing through the servo zone. Also, the protrusion detection sensor 127
The waveform of the output voltage of (128) is different between when passing through the servo zone and when projecting. From the above, the resistor 127c (1
By using the method 28c), it is possible to detect a protrusion on the magnetic disk 11 having an uneven portion on the surface.
【0037】ここで、突起検出センサ127(128)
のサーボゾーン通過時にも電圧が出力される理由を述べ
る。抵抗体127c(128c)と磁気ディスク11の
隙間はスライダ124、125の浮上量に等しく、50
nm程度である。抵抗体127c(128c)のディメ
ンションと上記隙間のディメンションを考慮すると、抵
抗体127c(128c)はこの隙間を介して磁気ディ
スク11上に熱を常に放出していると考えられる。Here, the protrusion detection sensor 127 (128)
The reason why the voltage is output even when the servo zone passes through will be described. The gap between the resistor 127c (128c) and the magnetic disk 11 is equal to the flying height of the sliders 124 and 125,
nm. Considering the dimension of the resistor 127c (128c) and the dimension of the gap, it is considered that the resistor 127c (128c) always emits heat onto the magnetic disk 11 through the gap.
【0038】サーボゾーンとデータゾーンでは、スライ
ダ124、125下の磁気ディスク11面の凹凸部の比
率が異なる。このことは、抵抗体127c(128c)
と磁気ディスク11との熱抵抗が異なることを示してい
る。一般的に、凹凸部の比率はデータゾーンの方が大き
い。よって、データゾーンの方が熱抵抗が小さいことに
なる。このことより、突起検出センサ127(128)
がサーボゾーンを通過するときは、抵抗体127c(1
28c)の抵抗値は若干大きくなり、電圧が出力される
ことになる。In the servo zone and the data zone, the ratio of the concave and convex portions on the surface of the magnetic disk 11 under the sliders 124 and 125 is different. This means that the resistor 127c (128c)
This indicates that the thermal resistance of the magnetic disk 11 differs from that of the magnetic disk 11. Generally, the ratio of the uneven portions is larger in the data zone. Therefore, the data zone has lower thermal resistance. Thus, the protrusion detection sensor 127 (128)
Is passed through the servo zone, the resistor 127c (1
The resistance value of 28c) is slightly increased, and a voltage is output.
【0039】尚、突起検出センサ127(128)のサ
ーボゾーン通過時の抵抗体127c(128c)の抵抗
値の上昇は、突起検出センサ127(128)の突起衝
突時の抵抗体127c(128c)の抵抗値の上昇に比
べて非常に小さい。なぜならば、抵抗体127c(12
8c)が磁気ディスク11に面している面は超薄膜抵抗
の厚さ方向の面である。抵抗体127c(128c)の
厚さはナノメートルオーダであることを考慮すると、凹
凸部の比率の違いによる熱抵抗の違いの出力電圧は、突
起検出センサ127(128)の突起衝突時の出力電圧
に比べて小さいのは明らかである。The rise in the resistance value of the resistor 127c (128c) when the protrusion detection sensor 127 (128) passes through the servo zone depends on the resistance of the resistor 127c (128c) when the protrusion detection sensor 127 (128) collides with the protrusion. Very small compared to the rise in resistance. This is because the resistor 127c (12
The surface 8c) facing the magnetic disk 11 is the surface of the ultra-thin film resistor in the thickness direction. Considering that the thickness of the resistor 127c (128c) is on the order of nanometers, the output voltage of the difference in thermal resistance due to the difference in the ratio of the concave and convex portions is the output voltage of the protrusion detection sensor 127 (128) when the protrusion collides. Obviously, it is smaller than.
【0040】従って、突起検出センサ127(128)
のサーボゾーン通過時の出力電圧と、突起検出センサ1
27(128)の突起衝突時の出力電圧との間にスライ
スレベルを設けることにより、突起検出センサ127
(128)の突起衝突時の出力電圧のみを判別すること
は可能である。よって、スライスレベルを、サーボゾー
ン通過時の突起検出センサ127(128)の出力電圧
以上、突起衝突時の突起検出センサ127(128)の
出力電圧以下に設定することにより、抵抗体127c
(128c)が磁気ディスク11上の突起に衝突した場
合にのみ出力を得ることができるようになる。Therefore, the protrusion detection sensor 127 (128)
Output voltage when passing through the servo zone and the protrusion detection sensor 1
By providing a slice level between the projection voltage and the output voltage at the time of collision of the protrusion 27 (128), the protrusion detection sensor 127 is provided.
It is possible to determine only the output voltage at the time of the projection collision of (128). Therefore, by setting the slice level to be equal to or higher than the output voltage of the projection detection sensor 127 (128) when passing through the servo zone and equal to or lower than the output voltage of the projection detection sensor 127 (128) when colliding with the projection, the resistor 127c is set.
An output can be obtained only when (128c) collides with a protrusion on the magnetic disk 11.
【0041】また、突起検出センサ127(128)の
サーボゾーン通過時の出力電圧と、突起検出センサ12
7(128)の突起衝突時の出力電圧とでは波形が異な
っているので、これらの出力電圧を信号処理回路に通す
ことにより、突起検出センサ127(128)の突起衝
突時の出力電圧のみを判別することは可能である。The output voltage of the protrusion detection sensor 127 (128) when passing through the servo zone and the output voltage of the protrusion detection sensor
Since the output voltage of the projection detection sensor 127 (128) is determined only by the output voltage of the projection detection sensor 127 (128) at the time of the projection collision, since the output voltage of the projection detection sensor 127 (128) is different from the output voltage of the projection detection sensor 127 (128). It is possible to do.
【0042】上述した突起検出装置100の動作例を図
9のフローチャートで説明する。先ず、磁気ディスク1
を回転盤112上にセットする(ステップSTP1)。
回転コントローラ113は、回転盤112が所定の回転
数で回転するようにスピンドルモータ111の回転を制
御する(ステップSTP2)。ステージコントローラ1
26は、例えば内周側のスライダ125に搭載されてい
る突起検出センサ128が磁気ディスク1の情報記録領
域を画する内周縁に位置するように移動ステージ121
の移動を制御する(ステップSTP3)。An example of the operation of the above-described protrusion detection device 100 will be described with reference to the flowchart of FIG. First, the magnetic disk 1
Is set on the turntable 112 (step STP1).
The rotation controller 113 controls the rotation of the spindle motor 111 so that the turntable 112 rotates at a predetermined rotation speed (step STP2). Stage controller 1
Reference numeral 26 denotes a moving stage 121 so that, for example, a protrusion detection sensor 128 mounted on an inner slider 125 is located at an inner periphery defining an information recording area of the magnetic disk 1.
Is controlled (step STP3).
【0043】突起検出センサ128が磁気ディスク1の
情報記録領域を画する内周縁に位置したら(ステップS
TP4)、ステージコントローラ126は、移動ステー
ジ121が外周方向へ所定の速度で移動するように制御
する(ステップSTP5)。信号増幅回路131は、突
起検出センサ127、128から突起検出信号を入力し
たら増幅して信号比較回路132に出力する。信号比較
回路132は、信号増幅回路131から突起検出信号を
入力したらスライスレベル信号記憶回路133からスラ
イスレベル信号を読み込み、突起検出信号とスライスレ
ベル信号の大きさを比較する(ステップSTP6)。When the protrusion detection sensor 128 is located at the inner periphery defining the information recording area of the magnetic disk 1 (step S
TP4) The stage controller 126 controls the moving stage 121 to move at a predetermined speed in the outer peripheral direction (step STP5). The signal amplifying circuit 131 receives the protrusion detection signals from the protrusion detection sensors 127 and 128, amplifies the signals, and outputs the amplified signals to the signal comparison circuit 132. Upon receiving the projection detection signal from the signal amplification circuit 131, the signal comparison circuit 132 reads the slice level signal from the slice level signal storage circuit 133 and compares the magnitude of the projection detection signal with the slice level signal (step STP6).
【0044】信号比較回路132は、突起検出信号がス
ライスレベル信号より小さいときはステップSTP5に
戻って上述した動作を繰り返し、突起検出信号がスライ
スレベル信号以上のときは、その突起検出信号をデータ
出力回路134へ出力する。そして、データ出力回路1
34は、信号比較回路132から入力した突起検出信号
に対応する、回転コントローラ113から入力したディ
スク角度情報及びステージコントローラ126から入力
した突起検出センサ127、128のディスク半径位置
情報を、記録媒体141等に記録すると共に表示装置1
42に表示する(ステップSTP7)。When the protrusion detection signal is smaller than the slice level signal, the signal comparing circuit 132 returns to step STP5 and repeats the above-described operation. When the protrusion detection signal is equal to or larger than the slice level signal, the signal comparison circuit 132 outputs the protrusion detection signal to the data output. Output to the circuit 134. Then, the data output circuit 1
Reference numeral 34 denotes the disk angle information input from the rotation controller 113 and the disk radius position information of the protrusion detection sensors 127 and 128 input from the stage controller 126 corresponding to the protrusion detection signal input from the signal comparison circuit 132, and the recording medium 141 or the like. And display device 1
42 is displayed (step STP7).
【0045】そして、ステージコントローラ126は、
外周側のスライダ124に搭載されている突起検出セン
サ127が磁気ディスク1の情報記録領域を画する外周
縁に位置したか否かを確認し(ステップSTP8)、突
起検出センサ127が磁気ディスク1の情報記録領域を
画する外周縁にまだ位置していないときは、ステップS
TP5に戻って上述した動作を繰り返す。一方、突起検
出センサ127が磁気ディスク1の情報記録領域を画す
る外周縁に位置したときは、検査処理を終了する。Then, the stage controller 126
It is checked whether or not the protrusion detection sensor 127 mounted on the outer peripheral side slider 124 is positioned at the outer peripheral edge defining the information recording area of the magnetic disk 1 (step STP8). If it is not located at the outer peripheral edge defining the information recording area yet, step S
Returning to TP5, the above operation is repeated. On the other hand, when the protrusion detection sensor 127 is located at the outer peripheral edge defining the information recording area of the magnetic disk 1, the inspection processing ends.
【0046】尚、上述した実施形態における突起検出セ
ンサ等の配置は限定されるものではなく、磁気ディスク
の情報記録領域を全面にわたって検査することができる
ような配置であれば良い。また、スライダを2個並設す
る場合を説明したが、3個以上のスライダを並設しても
良く、その分だけ検査時間を短縮させることができる。
さらに、移動ステージを各スライダ毎に設けて、各スラ
イダ毎に移動を制御するようにしても良い。The arrangement of the protrusion detection sensors and the like in the above embodiment is not limited, and may be any arrangement as long as it can inspect the entire information recording area of the magnetic disk. Also, the case where two sliders are arranged in parallel has been described, but three or more sliders may be arranged in parallel, and the inspection time can be shortened accordingly.
Further, a moving stage may be provided for each slider, and the movement may be controlled for each slider.
【0047】[0047]
【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば、
磁気記録媒体上の突起を全面にわたって精度良く検出す
ることができるので、情報の記録再生の精度を向上させ
ることができる。As described above, according to the present invention,
Since the protrusions on the magnetic recording medium can be accurately detected over the entire surface, the accuracy of information recording and reproduction can be improved.
【図1】この発明の突起検出装置の実施形態を示す構成
図。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a protrusion detection device of the present invention.
【図2】図1に示す突起検出装置の主要部の詳細例を示
す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing a detailed example of a main part of the protrusion detection device shown in FIG.
【図3】図1に示す突起検出装置の主要部の配置例を示
す平面図。FIG. 3 is a plan view showing an example of arrangement of main parts of the protrusion detection device shown in FIG. 1;
【図4】図1に示す突起検出装置に用いられる突起検出
センサの詳細例を示す斜視図。FIG. 4 is a perspective view showing a detailed example of a protrusion detection sensor used in the protrusion detection device shown in FIG.
【図5】図4に示す突起検出センサの出力電圧とヘッド
スライダの浮上量との関係を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a relationship between an output voltage of a protrusion detection sensor shown in FIG. 4 and a flying height of a head slider.
【図6】図4に示す突起検出センサの出力電圧の波形を
示す図。6 is a diagram showing a waveform of an output voltage of the protrusion detection sensor shown in FIG.
【図7】磁気ディスクの全体形状を示す平面図及び磁気
ディスクの表面の部分形状を示す平面図。FIG. 7 is a plan view showing the overall shape of the magnetic disk and a plan view showing a partial shape of the surface of the magnetic disk.
【図8】図4に示す突起検出センサの出力電圧の波形を
示す図。8 is a diagram showing a waveform of an output voltage of the protrusion detection sensor shown in FIG.
【図9】この発明の突起検出方法の実施形態を説明する
ためのフローチャート。FIG. 9 is a flowchart illustrating an embodiment of a protrusion detection method according to the present invention.
【図10】従来の突起検出方法を説明するための斜視
図。FIG. 10 is a perspective view for explaining a conventional projection detection method.
【図11】従来の突起検出方法で用いる突起検出センサ
の違いによるセンサ感度を示す図。FIG. 11 is a diagram showing sensor sensitivity depending on a difference in a projection detection sensor used in a conventional projection detection method.
1、11・・・磁気ディスク、100・・・突起検出装
置、110・・・回転部、111・・・スピンドルモー
タ、112・・・回転盤、113・・・回転コントロー
ラ、120・・・突起検出部、121・・・移動ステー
ジ、122、123・・・サスペンション、124、1
25・・・スライダ、126・・・ステージコントロー
ラ、127、128・・・突起検出センサ、127a、
128a、127b、128b・・・リード線、127
c、128c・・・抵抗体、130・・・信号処理回
路、131・・・信号増幅回路、132・・・信号比較
回路、133・・・スライスレベル信号記憶回路、13
4・・・データ出力回路、141・・・記録媒体、14
2・・・表示装置Reference numerals 1, 11: magnetic disk, 100: protrusion detecting device, 110: rotating unit, 111: spindle motor, 112: rotating disk, 113: rotation controller, 120: protrusion Detector, 121: moving stage, 122, 123: suspension, 124, 1
25: slider, 126: stage controller, 127, 128 ... protrusion detection sensor, 127a,
128a, 127b, 128b ... lead wire, 127
c, 128c: resistor, 130: signal processing circuit, 131: signal amplification circuit, 132: signal comparison circuit, 133: slice level signal storage circuit, 13
4 Data output circuit 141 Recording medium 14
2 Display device
Claims (7)
録媒体上の突起を検出する方法において、 前記磁気記録媒体上を浮上する少なくとも2個のスライ
ダに突起検出センサをそれぞれ搭載し、 前記各スライダを並設し、 前記各スライダを並設方向に移動させ、 前記各突起検出センサにて前記突起を検出することを特
徴とする突起検出方法。1. A method for detecting protrusions on a magnetic recording medium on which information is recorded / reproduced by magnetism, wherein a protrusion detection sensor is mounted on at least two sliders floating on the magnetic recording medium, respectively. A projection detecting method, wherein the sliders are moved in the direction in which the sliders are arranged, and the projections are detected by the respective projection detection sensors.
した際に得られるエネルギによる温度の変化を検知する
抵抗体で成る請求項1に記載の突起検出方法。2. The projection detection method according to claim 1, wherein the projection detection sensor comprises a resistor that detects a change in temperature due to energy obtained when the projection collides with the projection.
の前記スライダの一方の移動方向側の側面近傍に前記突
起検出センサを搭載し、他方の前記スライダの他方の移
動方向側の側面近傍に前記突起検出センサを搭載する請
求項1に記載の突起検出方法。3. When two sliders are arranged side by side, the protrusion detection sensor is mounted near one side of the one slider in the direction of movement, and near the side of the other slider on the side of the other movement. The projection detection method according to claim 1, wherein the projection detection sensor is mounted on the projection.
項1に記載の突起検出方法。4. The projection detection method according to claim 1, wherein the movement of each of the sliders is simultaneous.
録媒体上の突起を検出する装置において、 前記磁気記録媒体上を浮上する並設された少なくとも2
個のスライダと、 前記各スライダに搭載された突起検出センサと、 前記各スライダを並設方向に同時に移動させる移動手段
と、 前記突起検出センサからの信号を処理する信号処理回路
とを備えたことを特徴とする突起検出装置。5. An apparatus for detecting a protrusion on a magnetic recording medium on which information is recorded / reproduced by magnetism, comprising:
Sliders, a protrusion detection sensor mounted on each of the sliders, a moving unit for simultaneously moving the sliders in the juxtaposed direction, and a signal processing circuit for processing a signal from the protrusion detection sensor. A projection detection device characterized by the above-mentioned.
した際に得られるエネルギによる温度の変化を検知する
抵抗体で成る請求項5に記載の突起検出装置。6. The projection detection device according to claim 5, wherein the projection detection sensor is a resistor that detects a change in temperature due to energy obtained when the projection collides with the projection.
の前記スライダの一方の移動方向側の側面近傍に前記突
起検出センサを搭載し、他方の前記スライダの他方の移
動方向側の側面近傍に前記突起検出センサを搭載する請
求項5に記載の突起検出装置。7. When two sliders are provided side by side, the protrusion detection sensor is mounted near a side surface of one of the sliders on the side of one movement direction, and near a side surface of the other slider on the side of the other movement direction. The projection detection device according to claim 5, wherein the projection detection sensor is mounted on the projection detection device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23590496A JPH1064059A (en) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | Projection detecting method and its device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23590496A JPH1064059A (en) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | Projection detecting method and its device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1064059A true JPH1064059A (en) | 1998-03-06 |
Family
ID=16992964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23590496A Pending JPH1064059A (en) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | Projection detecting method and its device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1064059A (en) |
-
1996
- 1996-08-19 JP JP23590496A patent/JPH1064059A/en active Pending
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