JPH09203630A - Projection detection sensor, projection detection apparatus and projection detection method - Google Patents

Projection detection sensor, projection detection apparatus and projection detection method

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JPH09203630A
JPH09203630A JP3267796A JP3267796A JPH09203630A JP H09203630 A JPH09203630 A JP H09203630A JP 3267796 A JP3267796 A JP 3267796A JP 3267796 A JP3267796 A JP 3267796A JP H09203630 A JPH09203630 A JP H09203630A
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JP
Japan
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protrusion
projection
detection sensor
magnetic disk
detecting
Prior art date
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Application number
JP3267796A
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Japanese (ja)
Inventor
Osami Morita
修身 森田
Masaru Itaya
大 板谷
Shoji Tanaka
彰二 田中
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately detect a projection on a magnetic recording medium by detecting a change of a temperature due to an energy obtained when a resistance body butts against the projection and detecting the projection. SOLUTION: In order to manufacture a projection detection sensor 1, first, a Permalloy film is formed by vapor deposition at a rear end of a head slider 5. The Permalloy film is the etched by dry etching thereby to form a resistance body 4. Lead wires 2, 3 are formed at both ends of the Permalloy film. A sensor 1 is constituted in this manner. The sensor 1 utilizes an energy converter into heat among an energy of the resistance body 4 generated when the resistance body 4 butts against a projection on a magnetic disk 6. The resistance body 4 is exposed at a surface of the slider 5. Therefore, the energy generated when the resistance body 4 butts against the projection on the magnetic disk 6 is directly converted into heat by the resistance body 4 because of no intervening substance. A detecting sensitivity of the sensor 1 is accordingly enhanced, so that even a minute projection can be detected by the sensor 1.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、磁気によりデー
タやプログラム等の情報が記録再生される磁気記録媒体
上の突起を検出するセンサ、突起を検出する装置及び突
起を検出する方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sensor for detecting a protrusion on a magnetic recording medium on which information such as data and programs is recorded and reproduced by magnetism, a device for detecting the protrusion, and a method for detecting the protrusion. .

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気記録媒体としては、例えば磁気ディ
スクや磁気テープ等がある。磁気ディスクに情報を記録
し、磁気ディスクに記録された情報を再生する装置とし
ては、例えばハードディスク装置やフレキシブルディス
ク装置等がある。ハードディスク装置に内蔵されている
磁気ディスクの両表面には磁性膜が成膜されており、磁
気ディスクの表面上を浮上するヘッドスライダに搭載さ
れている磁気ヘッドにより、磁性膜に情報がトラック状
に記録され、また磁性膜にトラック状に記録された情報
が再生されるようになっている。磁気ヘッドが搭載され
た浮上型のヘッドスライダを駆動する機構部と、磁気デ
ィスクを駆動する駆動部とは、筐体の内部に予め組み込
まれているため、データ等を比較的高密度に記録するこ
とが可能であり、また、記録されたデータ等に対して高
速にアクセスすることが可能である。
2. Description of the Related Art As a magnetic recording medium, there is, for example, a magnetic disk or a magnetic tape. Examples of a device that records information on a magnetic disk and reproduces the information recorded on the magnetic disk include a hard disk device and a flexible disk device. Magnetic films are formed on both surfaces of the magnetic disk built into the hard disk drive, and information is track-shaped on the magnetic film by a magnetic head mounted on a head slider floating above the surface of the magnetic disk. Information recorded and recorded in a track shape on the magnetic film is reproduced. The mechanism for driving the flying head slider on which the magnetic head is mounted and the drive for driving the magnetic disk are pre-installed inside the housing, so that data and the like are recorded at a relatively high density. It is also possible to access recorded data and the like at high speed.

【0003】磁気ディスクの両表面に成膜されている磁
性膜は、スパッタリング等により形成されるため、成膜
直後の磁性膜表面には突起が生じている場合がある。こ
の突起は、ヘッドスライダに搭載されている磁気ヘッド
による情報の記録再生時に悪影響を及ぼすおそれがある
ため、突起を除去する必要がある。そこで、磁気ディス
クの表面上に、やすりの機能を有するワッフルヘッドが
搭載されたヘッドスライダを配置し、磁気ディスクを回
転させつつワッフルヘッドを磁気ディスクの半径方向に
移動させて、突起を削り取っている。そして、この突起
除去が終了した後、磁気ディスクの表面上に、突起検出
センサが搭載されたヘッドスライダを配置し、磁気ディ
スクを回転させつつ突起検出センサを磁気ディスクの半
径方向に移動させて、除去できなかった突起の有無を検
出している。
Since the magnetic films formed on both surfaces of the magnetic disk are formed by sputtering or the like, projections may be formed on the surface of the magnetic film immediately after the film formation. These projections may adversely affect the recording and reproduction of information by the magnetic head mounted on the head slider, so it is necessary to remove the projections. Therefore, a head slider on which a waffle head having a filing function is mounted is arranged on the surface of the magnetic disk, and the waffle head is moved in the radial direction of the magnetic disk while rotating the magnetic disk to scrape off the protrusions. . After the protrusion removal is completed, a head slider on which the protrusion detection sensor is mounted is arranged on the surface of the magnetic disk, and the protrusion detection sensor is moved in the radial direction of the magnetic disk while rotating the magnetic disk. The presence or absence of protrusions that could not be removed is detected.

【0004】従来の突起検出センサには、圧電素子が用
いられている。そして、突起の検出方法は、この圧電素
子が搭載されたヘッドスライダを磁気ディスク上で任意
の浮上量で浮上させ、この浮上量よりも高い突起にヘッ
ドスライダが衝突した際に生じる振動を圧電素子で検出
し、この衝突の度合いに応じた圧電素子からの出力電圧
により突起を検出するようにしている。このときのヘッ
ドスライダの振動は、突起によるヘッドスライダの浮上
安定性の喪失により発生するものではなく、ほとんどの
場合、ヘッドスライダに衝撃が加わることにより発生す
る固有振動である。従って、圧電素子から観測される電
圧の振動周波数もヘッドスライダの固有振動数となる。
A piezoelectric element is used in the conventional protrusion detection sensor. Then, the protrusion detection method is such that the head slider on which the piezoelectric element is mounted is levitated on the magnetic disk at an arbitrary flying height, and vibration generated when the head slider collides with the protrusion higher than the flying height is generated by the piezoelectric element. The projection is detected by the output voltage from the piezoelectric element according to the degree of the collision. The vibration of the head slider at this time does not occur due to the loss of the flying stability of the head slider due to the protrusion, but in most cases, it is natural vibration that occurs when an impact is applied to the head slider. Therefore, the vibration frequency of the voltage observed from the piezoelectric element also becomes the natural frequency of the head slider.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の磁気記
録媒体の突起の検出方法では、以下の3つの問題があ
る。1つ目の問題は、ヘッドスライダの振動が静定する
までの時間が長いということである。この振動静定時間
は、ヘッドスライダが持っている減衰定数により多少異
なるが、ヘッドスライダが突起に衝突してから圧電素子
の出力電圧が完全に消滅するまでとしたときは約1.5
msとなる。突起検出時の磁気ディスクの回転数は約3
600rpmであるから、ヘッドスライダが磁気ディス
クの半径25mm付近に位置しているときは約14mm
走行してしまい、この間は突起の検出が不可能となる。
The above-described conventional method for detecting protrusions on a magnetic recording medium has the following three problems. The first problem is that it takes a long time for the vibration of the head slider to settle. This vibration settling time varies somewhat depending on the damping constant of the head slider, but is about 1.5 when the output voltage of the piezoelectric element disappears after the head slider collides with the protrusion.
ms. The rotation speed of the magnetic disk is about 3 when detecting protrusions.
Since it is 600 rpm, it is about 14 mm when the head slider is located near the radius of 25 mm of the magnetic disk.
While traveling, the protrusions cannot be detected during this period.

【0006】2つ目の問題は、圧電素子の検出感度に限
界があるということである。突起の形状によってはヘッ
ドスライダの固有振動が微弱な場合があり、この場合は
微弱な固有振動が圧電素子まで伝搬しないことが起こり
得るので、突起の検出が不可能となる。このような圧電
素子では検出することができない突起が残って磁気ヘッ
ドに衝突した場合、バルク型のインダクティブヘッドで
は、ヘッドそのものが損傷することはないが、磁気抵抗
効果を利用したMRヘッドでは、機能膜がヘッドスライ
ダの表面に剥き出しになっているため、ヘッドそのもの
が損傷するおそれがあった。
The second problem is that the detection sensitivity of the piezoelectric element is limited. The natural vibration of the head slider may be weak depending on the shape of the protrusion, and in this case, the weak natural vibration may not propagate to the piezoelectric element, so that the protrusion cannot be detected. When a protrusion that cannot be detected by such a piezoelectric element remains and collides with the magnetic head, the bulk inductive head does not damage the head itself, but the MR head using the magnetoresistive effect has a function. Since the film is exposed on the surface of the head slider, the head itself may be damaged.

【0007】3つ目の問題は、表面に形成された凹凸部
によりデータ記録領域と制御信号記録領域に放射状に区
分されている磁気ディスクの場合、突起でない箇所を突
起として検出してしまうということである。凹凸部が形
成されている磁気ディスク上をヘッドスライダが浮上走
行する場合、データ記録領域から制御信号記録領域に移
行するときにヘッドスライダの浮上量に変動が生じる。
この浮上量の変動が起きるときに、ヘッドスライダは磁
気ディスクから加速度を受けて振動するので、圧電素子
は電圧を出力してしまい、突起として検出してしまう。
従って、この出力電圧が、ヘッドスライダと突起の衝突
によるものか、ヘッドスライダの浮上量に変動によるも
のかの判別ができず、突起の検出が不可能となる。一般
的に、電圧を判別する場合は、その電圧の大きさ、周波
数、位相等を用いる。しかし、上記の場合、ヘッドスラ
イダと突起の衝突による出力電圧と、ヘッドスライダの
浮上量に変動による出力電圧は、突起の大きさと、制御
信号記録領域の形状により変化するため、一概に出力電
圧の大きさのみで判別することは困難であり、また、ど
ちらの出力電圧もヘッドスライダの固有振動数で振動す
る波形であるため、出力電圧の周波数、位相等により判
別することも困難である。
A third problem is that, in the case of a magnetic disk radially divided into a data recording area and a control signal recording area by a concavo-convex portion formed on the surface, a non-protrusion is detected as a protrusion. Is. When the head slider flies over a magnetic disk on which irregularities are formed, the flying height of the head slider fluctuates when moving from the data recording area to the control signal recording area.
When the fluctuation of the flying height occurs, the head slider vibrates by receiving the acceleration from the magnetic disk, so that the piezoelectric element outputs a voltage and detects it as a protrusion.
Therefore, it is not possible to determine whether the output voltage is due to the collision between the head slider and the protrusion or the variation in the flying height of the head slider, and the protrusion cannot be detected. Generally, when discriminating a voltage, the magnitude, frequency, phase, etc. of the voltage are used. However, in the above case, the output voltage due to the collision between the head slider and the protrusion and the output voltage due to the change in the flying height of the head slider vary depending on the size of the protrusion and the shape of the control signal recording area. It is difficult to make a distinction based only on the magnitude, and it is also difficult to make a distinction based on the frequency, phase, etc. of the output voltage because both output voltages are waveforms that vibrate at the natural frequency of the head slider.

【0008】この発明は、以上の点に鑑み、磁気記録媒
体上の突起を精度良く検出することができる突起検出セ
ンサ、突起検出方法及び突起検出装置を提供することを
目的としている。
In view of the above points, an object of the present invention is to provide a protrusion detection sensor, a protrusion detection method, and a protrusion detection device capable of accurately detecting protrusions on a magnetic recording medium.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的は、この発明に
よれば、磁気により情報が記録再生される磁気記録媒体
上の突起を検出するセンサにおいて、前記突起に衝突し
た際に得られるエネルギによる温度の変化を検知して前
記突起を検出することにより達成される。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, the above object is to provide a sensor for detecting a protrusion on a magnetic recording medium on which information is magnetically recorded and reproduced, by means of energy obtained when the protrusion collides. This is achieved by detecting a change in temperature and detecting the protrusion.

【0010】上記構成によれば、突起との衝突エネルギ
のうち、熱エネルギを利用して突起を検出するようにし
ているので、精度の高い突起検出を行うことができる。
According to the above construction, the protrusion is detected by utilizing the thermal energy of the collision energy with the protrusion, so that the protrusion can be detected with high accuracy.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を添付図を参照しながら詳細に説明する。尚、以下に述
べる実施の形態は、この発明の好適な具体例であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、こ
の発明の範囲は、以下の説明において特にこの発明を限
定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるも
のではない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, and therefore, various technically preferable limitations are added. However, the scope of the present invention is not limited to the following description. It is not limited to these forms unless otherwise stated.

【0012】図1は、この発明の突起検出センサの実施
形態を示す斜視図である。この突起検出センサ1は、リ
ード線2、3が両端に接続された素子である抵抗体4
が、ヘッドスライダ5の後端に設けられた構成となって
いる。抵抗体4の材料としては、例えば熱伝導率が60
W/mK〜80W/mK、抵抗値が27Ωのパーマロイ
が用いられる。リード線2、3の材料としては、例えば
銅が用いられる。また、ヘッドスライダ5は、一般的な
ナノスライダの大きさである。このような突起検出セン
サ1を作製する場合は、先ず、ヘッドスライダ5の後端
に、パーマロイを蒸着法により例えば膜厚60nmで成
膜する。次に、このパーマロイ膜をドライエッチング法
により縦10μm、横2.5μmにエッチングして抵抗
体4を形成する。そして、このパーマロイ膜の両端に銅
によりリード線2、3を形成して突起検出センサ1とす
る。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a protrusion detecting sensor of the present invention. The protrusion detection sensor 1 includes a resistor 4 which is an element in which lead wires 2 and 3 are connected to both ends.
Is provided at the rear end of the head slider 5. As the material of the resistor 4, for example, the thermal conductivity is 60.
Permalloy having a W / mK to 80 W / mK and a resistance value of 27Ω is used. As a material for the lead wires 2 and 3, for example, copper is used. The head slider 5 has a size of a general nano slider. When manufacturing such a protrusion detection sensor 1, first, permalloy is formed on the rear end of the head slider 5 by a vapor deposition method to have a film thickness of 60 nm, for example. Next, the permalloy film is etched to a length of 10 μm and a width of 2.5 μm by a dry etching method to form a resistor 4. Then, the lead wires 2 and 3 are formed of copper on both ends of the permalloy film to form the protrusion detection sensor 1.

【0013】この突起検出センサ1は、抵抗体4と磁気
記録媒体である例えば磁気ディスク6上の突起とが衝突
することにより抵抗体4が得るエネルギのうち、熱に変
換されるエネルギを利用するものである。即ち、熱に変
換されたエネルギは、抵抗体4の温度を上昇させて抵抗
体4の抵抗を上昇させるので、抵抗体4の抵抗値の変化
を検出することにより、磁気ディスク6上の突起を検出
することができる。ここで、抵抗体4はヘッドスライダ
5の表面で剥き出しとなっているが、このようにするこ
とにより、抵抗体4と磁気ディスク6上の突起とが衝突
した際のエネルギは、何も介在することなく、抵抗体4
そのもので熱に直接変換されるので、突起検出センサ1
の検出感度を高めて微小突起でも検出することが可能と
なる。
The protrusion detecting sensor 1 utilizes the energy converted into heat, out of the energy obtained by the resistor 4 when the resistor 4 collides with the protrusion on the magnetic recording medium, for example, the magnetic disk 6. It is a thing. That is, since the energy converted into heat raises the temperature of the resistor 4 and raises the resistance of the resistor 4, the protrusion on the magnetic disk 6 is detected by detecting the change in the resistance value of the resistor 4. Can be detected. Here, the resistor 4 is exposed on the surface of the head slider 5. By doing so, the energy when the resistor 4 collides with the protrusion on the magnetic disk 6 is mediated. Without resistor 4
Since it is directly converted into heat by itself, the protrusion detection sensor 1
It is possible to increase the detection sensitivity of and detect even minute protrusions.

【0014】また、抵抗体4は薄膜で形成されている
が、このようにすることにより、抵抗体4の熱容量が小
さくなるので、微小突起に衝突した際の小さなエネルギ
でも抵抗体4の抵抗値の変化は大きくなり、また、抵抗
体4の熱拡散度が大きくなるので、突起検出時間、即ち
抵抗体4が磁気ディスク6上の突起と衝突してから抵抗
体4が静定するまでの時間は短くなる。尚、抵抗体4の
両端にはリード線2、3が接続されているので、このリ
ード線2、3に定電流源を接続して定電流を抵抗体4に
供給することにより、抵抗体4の抵抗値の変化を電圧の
変化として検出することができる。
Although the resistor 4 is formed of a thin film, by doing so, the heat capacity of the resistor 4 is reduced, so that the resistance value of the resistor 4 is small even when a small amount of energy is applied to a minute protrusion. Changes, and the thermal diffusivity of the resistor 4 increases, so that the protrusion detection time, that is, the time from when the resistor 4 collides with the protrusion on the magnetic disk 6 until the resistor 4 stabilizes. Becomes shorter. Since the lead wires 2 and 3 are connected to both ends of the resistor body 4, a constant current source is connected to the lead wires 2 and 3 to supply a constant current to the resistor body 4, It is possible to detect a change in the resistance value of the device as a change in voltage.

【0015】先ず、一般的な表面が平坦な磁気ディスク
6上の突起の検出について調べた。用いた磁気ディスク
6は、直径30μm、高さ40nmの円筒形のバンプ
が、磁気ディスク6の半径20mm、24mm、28m
mの各位置に半径方向に一直線状に配置されたバンプデ
ィスクである。ヘッドスライダ5をバンプディスクの半
径28mmの位置に配置し、ヘッドスライダ5とバンプ
ディスクの相対速度を変化させることにより、ヘッドス
ライダ5の浮上量を変化させた。即ち、ヘッドスライダ
5とバンプディスクの相対速度が大きい程、ヘッドスラ
イダ5の浮上量も大きくなる。
First, the detection of protrusions on the magnetic disk 6 having a generally flat surface was examined. The magnetic disk 6 used had cylindrical bumps with a diameter of 30 μm and a height of 40 nm, and the radius of the magnetic disk 6 was 20 mm, 24 mm, and 28 m.
The bump disks are arranged linearly in the radial direction at each position of m. The flying height of the head slider 5 was changed by arranging the head slider 5 at a position where the radius of the bump disk was 28 mm and changing the relative speed between the head slider 5 and the bump disk. That is, the larger the relative speed between the head slider 5 and the bump disk, the larger the flying height of the head slider 5.

【0016】図2は、突起検出センサ1の出力電圧とヘ
ッドスライダ5の浮上量との関係を示す図である。突起
検出センサ1の出力電圧は、図2からも明らかなよう
に、ヘッドスライダ5の浮上量がバンプの高さよりも大
きいときは小さくなり、ヘッドスライダ5の浮上量がバ
ンプの高さよりも小さいときは極端に大きくなる。ま
た、突起検出センサ1の出力電圧の波形は、図3(A)
に示すように、ヘッドスライダ5の浮上量がバンプの高
さよりも大きいときは下に凸の波形となり、図3(B)
に示すように、ヘッドスライダ5の浮上量がバンプの高
さよりも小さいときは上に凸の波形となる。これは以下
の理由による。
FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the output voltage of the protrusion detection sensor 1 and the flying height of the head slider 5. As is apparent from FIG. 2, the output voltage of the protrusion detection sensor 1 becomes smaller when the flying height of the head slider 5 is larger than the height of the bump, and becomes smaller when the flying height of the head slider 5 is smaller than the height of the bump. Will be extremely large. The waveform of the output voltage of the protrusion detection sensor 1 is shown in FIG.
As shown in FIG. 3B, when the flying height of the head slider 5 is larger than the height of the bump, a downward convex waveform is generated, as shown in FIG.
As shown in, when the flying height of the head slider 5 is smaller than the height of the bump, the waveform is convex upward. This is for the following reason.

【0017】ヘッドスライダ5の浮上量がバンプの高さ
よりも大きい場合は、抵抗体4はバンプに衝突しない
が、抵抗体4がバンプ上を通過する際に、抵抗体4とバ
ンプディスク面との距離がバンプの高さ分だけ小さくな
る。これにより、抵抗体4とバンプディスクの間の熱抵
抗が小さくなるので、抵抗体4の熱がバンプディスク側
に放出され、抵抗体4の抵抗値が小さくなるからであ
る。従って、定電流が流れている抵抗体4の出力電圧は
小さくなる。また、ヘッドスライダ5の浮上量がバンプ
の高さよりも小さい場合は、抵抗体4はバンプに衝突
し、抵抗体4に熱が発生して抵抗体4の抵抗値が大きく
なるからである。従って、定電流が流れている抵抗体4
の出力電圧は大きくなる。尚、ヘッドスライダ5の浮上
量とバンプの高さが略同じ場合は、バンプへ近づく際の
放熱の効果とバンプと衝突する際の吸熱の効果が混在し
ていると考える。以上より、抵抗体4を用いることによ
り一般的な表面が平坦な磁気ディスク上の突起の検出が
可能である。
When the flying height of the head slider 5 is larger than the height of the bump, the resistor 4 does not collide with the bump, but when the resistor 4 passes over the bump, the resistor 4 and the bump disk surface are separated. The distance is reduced by the height of the bump. As a result, the thermal resistance between the resistor 4 and the bump disk becomes small, so that the heat of the resistor 4 is radiated to the bump disk side, and the resistance value of the resistor 4 becomes small. Therefore, the output voltage of the resistor 4 through which the constant current flows decreases. Also, when the flying height of the head slider 5 is smaller than the height of the bump, the resistor 4 collides with the bump, heat is generated in the resistor 4, and the resistance value of the resistor 4 increases. Therefore, the resistor 4 in which a constant current flows
The output voltage of is large. When the flying height of the head slider 5 and the height of the bump are substantially the same, it is considered that the effect of heat dissipation when approaching the bump and the effect of heat absorption when colliding with the bump are mixed. As described above, by using the resistor 4, it is possible to detect a protrusion on a magnetic disk whose surface is generally flat.

【0018】次に、表面に凹凸部が形成されている磁気
ディスク6上の突起の検出について調べた。用いた磁気
ディスク6は、図4(A)の全体形状を示す平面図及び
同図(B)の表面の部分形状を示す平面図のように、凹
凸部(図4(B)の黒部が凸部、白部が凹部を示す)で
成るデータ記録領域(データゾーン)と制御信号記録領
域(サーボゾーン)とがそれぞれ放射状に形成された磁
気ディスク6である。サーボゾーンは、磁気ヘッドのス
キュー角度に対応した磁気ディスク6の内周から外周に
かけての円弧状であって、64個/周で凹部の深さが2
00nmとなるように形成されている。また、データゾ
ーンには、同心円状であって、データ等を記録するため
のデータトラックがトラックピッチ4.8μm、トラッ
ク幅3.8μmとなるように形成されている。ヘッドス
ライダ5を磁気ディスク6上の高さ100nmの突起箇
所に配置し、ヘッドスライダ5を50nm浮上させた。
Next, the detection of protrusions on the magnetic disk 6 having an uneven surface is examined. The magnetic disk 6 used has an uneven portion (the black portion in FIG. 4B is convex) as in the plan view showing the entire shape of FIG. 4A and the plan view showing the partial shape of the surface of FIG. 4B. Is a magnetic disk 6 in which a data recording area (data zone) and a control signal recording area (servo zone) each of which is composed of a portion and a white portion indicate a concave portion are radially formed. The servo zone has a circular arc shape from the inner circumference to the outer circumference of the magnetic disk 6 corresponding to the skew angle of the magnetic head, and the depth of the recess is 2 per 64 per circumference.
It is formed to have a thickness of 00 nm. In the data zone, a concentric data track for recording data or the like is formed so as to have a track pitch of 4.8 μm and a track width of 3.8 μm. The head slider 5 was placed on the magnetic disk 6 at a protrusion having a height of 100 nm, and the head slider 5 was levitated by 50 nm.

【0019】図5は、このときの突起検出センサ1の出
力電圧の波形を示す図である。図5の両端に表れた小さ
な波形が、突起検出センサ1のサーボゾーン通過時の出
力電圧の波形であり、それらの中央に表れた大きな波形
が、突起検出センサ1の磁気ディスク6上の突起衝突時
の出力電圧の波形である。このように、突起検出センサ
1の出力電圧の大きさは、サーボゾーン通過時と突起衝
突時とで異なり、サーボゾーン通過時より突起衝突時の
方が大きくなる。また、突起検出センサ1の出力電圧の
波形は、サーボゾーン通過時と突起衝突時とで異なる。
以上より、抵抗体4を用いることにより表面に凹凸部が
形成されている磁気ディスク6上の突起の検出が可能で
ある。
FIG. 5 is a diagram showing the waveform of the output voltage of the protrusion detection sensor 1 at this time. Small waveforms appearing at both ends in FIG. 5 are waveforms of the output voltage of the protrusion detection sensor 1 when passing through the servo zone, and large waveforms appearing in the center of them are protrusion collisions on the magnetic disk 6 of the protrusion detection sensor 1. It is a waveform of the output voltage when. As described above, the magnitude of the output voltage of the protrusion detection sensor 1 is different between when the servo zone passes and when the protrusion collides, and becomes larger when the protrusion collides than when the servo zone passes. Further, the waveform of the output voltage of the protrusion detection sensor 1 is different between when the servo zone passes and when the protrusion collides.
As described above, by using the resistor 4, it is possible to detect the protrusion on the magnetic disk 6 having the uneven portion formed on the surface.

【0020】ここで、突起検出センサ1のサーボゾーン
通過時にも電圧が出力される理由を述べる。抵抗体4と
磁気ディスク6の隙間はヘッドスライダ5の浮上量に等
しく、50nm程度である。抵抗体4のディメンション
と上記隙間のディメンションを考慮すると、抵抗体4は
この隙間を介して磁気ディスク6上に熱を常に放出して
いると考えられる。サーボゾーンとデータゾーンでは、
ヘッドスライダ5下の磁気ディスク6面の凹凸部の比率
が異なる。このことは、抵抗体4と磁気ディスク6との
熱抵抗が異なることを示している。一般的に、凹凸部の
比率はデータゾーンの方が大きい。よって、データゾー
ンの方が熱抵抗が小さいことになる。このことより、突
起検出センサ1がサーボゾーンを通過するときは、抵抗
体4の抵抗値は若干大きくなり、電圧が出力されること
になる。
Here, the reason why the voltage is output even when the protrusion detection sensor 1 passes through the servo zone will be described. The gap between the resistor 4 and the magnetic disk 6 is equal to the flying height of the head slider 5 and is about 50 nm. Considering the dimension of the resistor 4 and the dimension of the gap, it is considered that the resistor 4 always radiates heat onto the magnetic disk 6 through this gap. In the servo zone and data zone,
The ratio of the uneven portions on the surface of the magnetic disk 6 under the head slider 5 is different. This means that the thermal resistances of the resistor 4 and the magnetic disk 6 are different. Generally, the ratio of the uneven portions is larger in the data zone. Therefore, the data zone has lower thermal resistance. As a result, when the protrusion detection sensor 1 passes through the servo zone, the resistance value of the resistor 4 is slightly increased and a voltage is output.

【0021】尚、突起検出センサ1のサーボゾーン通過
時の抵抗体4の抵抗値の上昇は、突起検出センサ1の突
起衝突時の抵抗体4の抵抗値の上昇に比べて非常に小さ
い。なぜならば、抵抗体4が磁気ディスク6に面してい
る面は超薄膜抵抗の厚さ方向の面である。抵抗体4の厚
さはナノメートルオーダであることを考慮すると、凹凸
部の比率の違いによる熱抵抗の違いの出力電圧は、突起
検出センサ1の突起衝突時の出力電圧に比べて小さいの
は明らかである。従って、突起検出センサ1のサーボゾ
ーン通過時の出力電圧と、突起検出センサ1の突起衝突
時の出力電圧との間にスライスレベルを設けることによ
り、突起検出センサ1の突起衝突時の出力電圧のみを判
別することは可能である。また、突起検出センサ1のサ
ーボゾーン通過時の出力電圧と、突起検出センサ1の突
起衝突時の出力電圧とでは波形が異なっているので、こ
れらの出力電圧を信号処理回路に通すことにより、突起
検出センサ1の突起衝突時の出力電圧のみを判別するこ
とは可能である。
The increase in the resistance value of the resistor 4 when the protrusion detection sensor 1 passes through the servo zone is much smaller than the increase in the resistance value of the resistor 4 when the protrusion detection sensor 1 collides with the protrusion. This is because the surface of the resistor 4 facing the magnetic disk 6 is the surface of the ultrathin film resistor in the thickness direction. Considering that the thickness of the resistor 4 is on the order of nanometers, the output voltage due to the difference in thermal resistance due to the difference in the ratio of the uneven portions is smaller than the output voltage at the time of collision of the protrusion detection sensor 1. it is obvious. Therefore, by providing a slice level between the output voltage of the protrusion detection sensor 1 when the protrusion detection sensor 1 passes through the servo zone and the output voltage of the protrusion detection sensor 1 when the protrusion collision occurs, only the output voltage of the protrusion detection sensor 1 when the protrusion collision occurs. It is possible to determine Further, since the output voltage of the protrusion detection sensor 1 when it passes through the servo zone and the output voltage of the protrusion detection sensor 1 when it collides with the protrusion have different waveforms, the output voltage is passed through the signal processing circuit to obtain the protrusion voltage. It is possible to determine only the output voltage of the detection sensor 1 when the protrusion collides.

【0022】図6は、表面に凹凸部が形成されている磁
気ディスク上の突起の検出を行うこの発明の突起検出装
置の第1の実施形態を示すブロック図である。この突起
検出装置10は、突起検出センサ1からの出力電圧が電
圧増幅器11に入力されて増幅され、増幅された電圧が
電圧比較器12に入力され、予め設定されている比較基
準電圧より大きいときに出力されるようになっている。
従って、比較基準電圧を、サーボゾーン通過時の突起検
出センサ1の出力電圧以上、突起衝突時の突起検出セン
サ1の出力電圧以下に設定することにより、抵抗体4が
磁気ディスク6上の突起に衝突した場合にのみ、突起検
出装置10から出力を得ることができるようになる。
FIG. 6 is a block diagram showing a first embodiment of the projection detecting apparatus of the present invention for detecting a projection on a magnetic disk having an uneven surface. In the protrusion detection device 10, when the output voltage from the protrusion detection sensor 1 is input to and amplified by the voltage amplifier 11, and the amplified voltage is input to the voltage comparator 12 and is larger than a preset comparison reference voltage. It is designed to be output to.
Therefore, by setting the comparison reference voltage to be equal to or higher than the output voltage of the protrusion detection sensor 1 when the servo zone is passed and equal to or lower than the output voltage of the protrusion detection sensor 1 when the protrusion collides, the resistor 4 becomes a protrusion on the magnetic disk 6. The output can be obtained from the protrusion detection device 10 only when a collision occurs.

【0023】図7は、図5に示す突起検出センサ1の出
力電圧の波形に対して、100kHz〜300kHzの
間の周波数でバンドパスフィルタをかけた波形を示す図
である。図5に示す突起検出センサ1のサーボゾーン通
過時の出力電圧の波形の最初の立ち上がり方向は、図7
(A)に示すように負の方向となり、突起検出センサ1
の突起衝突時の出力電圧の波形の最初の立ち上がり方向
は、図7(B)に示すように正の方向となる。このよう
に、突起検出センサ1の出力電圧の波形の最初の立ち上
がり方向は、サーボゾーン通過時と突起衝突時とで異な
る。以上より、抵抗体4を用いることにより表面に凹凸
部が形成されている磁気ディスク上の突起の検出が可能
である。
FIG. 7 is a diagram showing a waveform of the output voltage waveform of the protrusion detection sensor 1 shown in FIG. 5, which is band-pass filtered at a frequency between 100 kHz and 300 kHz. The first rising direction of the waveform of the output voltage when the protrusion detection sensor 1 shown in FIG.
As shown in (A), the projection detection sensor 1 has a negative direction.
The first rising direction of the waveform of the output voltage at the time of collision of the protrusions is the positive direction as shown in FIG. 7 (B). As described above, the initial rising direction of the waveform of the output voltage of the protrusion detection sensor 1 is different when the servo zone is passed and when the protrusion collides. As described above, by using the resistor 4, it is possible to detect the protrusion on the magnetic disk having the uneven portion formed on the surface.

【0024】図8は、表面に凹凸部が形成されている磁
気ディスク上の突起の検出を行うこの発明の突起検出装
置の第2の実施形態を示すブロック図である。この突起
検出装置20は、突起検出センサ1からの出力電圧が電
圧増幅器21に入力されて増幅され、増幅された電圧が
バンドパスフィルタ22に入力されて所定の周波数帯域
にされ、所定の周波数帯域にされた電圧が極性判定器2
3に入力され、その極性が判定されて判定結果が出力さ
れるようになっている。従って、判定結果により、突起
検出センサ1からの出力電圧がサーボゾーン通過時に発
生したものであるか、突起衝突時に発生したものである
かを判定することができる。
FIG. 8 is a block diagram showing a second embodiment of the projection detecting apparatus of the present invention for detecting a projection on a magnetic disk having an uneven surface. In the protrusion detection device 20, the output voltage from the protrusion detection sensor 1 is input to and amplified by a voltage amplifier 21, and the amplified voltage is input to a bandpass filter 22 to be converted into a predetermined frequency band and a predetermined frequency band. The determined voltage is polarity determiner 2
3, the polarity is determined and the determination result is output. Therefore, based on the determination result, it is possible to determine whether the output voltage from the protrusion detection sensor 1 is generated when the servo zone passes or when the protrusion collides.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば、
磁気記録媒体上の突起を精度良く検出することができる
ので、情報の記録再生の精度を向上させることができ
る。
As described above, according to the present invention,
Since protrusions on the magnetic recording medium can be detected with high accuracy, the accuracy of information recording and reproduction can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の突起検出センサの実施形態を示す斜
視図。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a protrusion detection sensor of the present invention.

【図2】図1に示す突起検出センサの出力電圧とヘッド
スライダの浮上量との関係を示す図。
FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the output voltage of the protrusion detection sensor shown in FIG. 1 and the flying height of the head slider.

【図3】図1に示す突起検出センサの出力電圧の波形を
示す図。
FIG. 3 is a diagram showing a waveform of an output voltage of the protrusion detection sensor shown in FIG.

【図4】磁気ディスクの全体形状を示す平面図及び磁気
ディスクの表面の部分形状を示す平面図。
FIG. 4 is a plan view showing the entire shape of the magnetic disk and a plan view showing a partial shape of the surface of the magnetic disk.

【図5】図1に示す突起検出センサの出力電圧の波形を
示す図。
5 is a diagram showing a waveform of an output voltage of the protrusion detection sensor shown in FIG.

【図6】この発明の突起検出装置の第1の実施形態を示
すブロック図。
FIG. 6 is a block diagram showing a first embodiment of a protrusion detection device of the present invention.

【図7】図5に示す突起検出センサの出力電圧の波形に
対して、所定の間の周波数でバンドパスフィルタをかけ
た波形を示す図。
7 is a diagram showing a waveform of a waveform of an output voltage of the protrusion detection sensor shown in FIG. 5, which is band-pass filtered at a frequency within a predetermined range.

【図8】この発明の突起検出装置の第2の実施形態を示
すブロック図。
FIG. 8 is a block diagram showing a second embodiment of the protrusion detection device of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・突起検出センサ、2・・・リード線、3・・・
リード線、4・・・抵抗体、5・・・ヘッドスライダ、
6・・・磁気ディスク、10・・・突起検出装置、11
・・・電圧増幅器、12・・・電圧比較器、20・・・
突起検出装置、21・・・電圧増幅器、22・・・バン
ドパスフィルタ、23・・・極性判定器
1 ... Protrusion detection sensor, 2 ... Lead wire, 3 ...
Lead wire, 4 ... Resistor, 5 ... Head slider,
6 ... Magnetic disk, 10 ... Protrusion detection device, 11
... Voltage amplifier, 12 ... Voltage comparator, 20 ...
Protrusion detection device, 21 ... Voltage amplifier, 22 ... Band pass filter, 23 ... Polarity determination device

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁気により情報が記録再生される磁気記
録媒体上の突起を検出するセンサにおいて、 前記突起に衝突した際に得られるエネルギによる温度の
変化を検知して前記突起を検出することを特徴とする突
起検出センサ。
1. A sensor for detecting a protrusion on a magnetic recording medium, on which information is magnetically recorded and reproduced, wherein the protrusion is detected by detecting a change in temperature due to energy obtained when the protrusion collides with the magnetic recording medium. A unique protrusion detection sensor.
【請求項2】 磁気により情報が記録再生される磁気記
録媒体上の突起を検出するセンサにおいて、 前記突起に衝突した際に得られるエネルギによる温度の
変化により、抵抗値が変化する素子を備えたことを特徴
とする突起検出センサ。
2. A sensor for detecting a protrusion on a magnetic recording medium, on which information is magnetically recorded and reproduced, comprising an element whose resistance value changes due to a change in temperature due to energy obtained when the protrusion collides with the magnetic recording medium. A protrusion detection sensor characterized in that
【請求項3】 磁気により情報が記録再生される磁気記
録媒体上の突起を検出する装置において、 前記突起に衝突した際に得られるエネルギによる温度の
変化により、抵抗値が変化する素子と、 前記素子に定電流を供給して、前記素子の抵抗値の変化
に対応する電圧の変化を検出する回路とを備えたことを
特徴とする突起検出装置。
3. A device for detecting a protrusion on a magnetic recording medium, on which information is magnetically recorded and reproduced, wherein the resistance value changes due to a change in temperature due to energy obtained when the protrusion collides, And a circuit for supplying a constant current to the element to detect a change in voltage corresponding to a change in the resistance value of the element.
【請求項4】 磁気により情報が記録再生される磁気記
録媒体上の突起を検出する方法において、 突起検出手段に定電流を供給し、 前記突起検出手段を前記突起に衝突させ、 その衝突により、前記突起検出手段の温度を変化させ、 その温度の変化により、前記突起検出手段の抵抗値を変
化させ、 その抵抗値の変化に対応する前記突起検出手段の電圧の
変化を検出し、 前記電圧の変化により前記突起を検出することを特徴と
する突起検出方法。
4. A method for detecting a protrusion on a magnetic recording medium, on which information is magnetically recorded and reproduced, wherein a constant current is supplied to the protrusion detecting means to cause the protrusion detecting means to collide with the protrusion, and by the collision, The temperature of the protrusion detecting means is changed, the resistance value of the protrusion detecting means is changed by the temperature change, and the change in the voltage of the protrusion detecting means corresponding to the change in the resistance value is detected. A protrusion detection method, characterized in that the protrusion is detected by a change.
JP3267796A 1996-01-25 1996-01-25 Projection detection sensor, projection detection apparatus and projection detection method Pending JPH09203630A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012234597A (en) * 2011-04-28 2012-11-29 Showa Denko Kk Inspection method and manufacturing method for magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing device

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