JPH1051120A - Flux coater - Google Patents

Flux coater

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JPH1051120A
JPH1051120A JP21616396A JP21616396A JPH1051120A JP H1051120 A JPH1051120 A JP H1051120A JP 21616396 A JP21616396 A JP 21616396A JP 21616396 A JP21616396 A JP 21616396A JP H1051120 A JPH1051120 A JP H1051120A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flux
pins
pin
jig
tip
Prior art date
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Pending
Application number
JP21616396A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kuniaki Tsurushima
邦明 鶴島
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Ueno Seiki Co Ltd
Original Assignee
Ueno Seiki Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH1051120A publication Critical patent/JPH1051120A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3489Composition of fluxes; Methods of application thereof; Other methods of activating the contact surfaces

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a coater wherein amount of coating can be controlled and irregurality can be reduced, when flux is previously spread on a position on a board wherein a solder bump electrode is to be formed. SOLUTION: A first jig 1 having a plurality of pins 2 which are arranged downward at the same pitch as the outside pads of a board is descended, and tips of the pins are made to abut against tips of pins 4 of a second jig 3 arranged in a tank 5 in which flux 6 is accommodated. Then the pins 2 receives flux from the pins 4. Since the contact area of the pins 4 and the pins 2 is smaller than the area of tip parts of the pins 2, transfer is performed without adhesion of the flux to the side surfaces of the pins 2. After that, the first jig is lifted by a driving mechanism, and the flux is spread on, e.g. pads of a BGA(ball grid array) package. Since the flux is transferred by using the pins 4, the flux is not stuck on the side surfaces of the pins 2, irregurality of the amount of coating of flux is reduced, and washing and drying of the tips of the pins 2 are unnecessary.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体パッケージ
基板や半導体素子等の基板上に半田バンプ電極を形成す
る前処理として、電極形成位置にあらかじめフラックス
を塗布する技術に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for applying a flux to an electrode forming position in advance as a pretreatment for forming a solder bump electrode on a substrate such as a semiconductor package substrate or a semiconductor element.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来この種のフラックス塗布において
は、ピントランスファー法が採用されていた。図4〜図
6の(A)〜(F)にピントランスファー法によるフラ
ックス塗布のプロセスを示す。先ず、図4の(A)にお
いて21はトランスファー治具であり、例えばBGA
(BALL GRID ARRAY)の外部パッドと同一ピッチに配置
されたピン22を備えている。ステージ23上に高粘度
フラックス24をおき、これをスキージ25で掻き均一
な厚さにする。次に、図4の(B)に示すように、図示
しない駆動機構によりトランスファー治具21を下降さ
せ、ピン22の先端をフラックス24の中に入れる。次
に、図5の(C)に示すように、前記図示しない駆動機
構によりトランスファー治具21を上昇させるが、ここ
でピン22の先端にはフラックス24が付着した状態と
なる。そして図5の(D)及び図6の(E)に示すよう
に、BGAパッケージ26の半田電極形成位置にフラッ
クス24を塗布し、図6の(F)に示すように、トラン
スファー治具21を上昇させることにより、フラックス
塗布が完了する。
2. Description of the Related Art Conventionally, in this type of flux coating, a pin transfer method has been adopted. FIGS. 4A to 6F show a flux coating process by a pin transfer method. First, in FIG. 4A, reference numeral 21 denotes a transfer jig, for example, a BGA
It has pins 22 arranged at the same pitch as the external pads of (BALL GRID ARRAY). A high-viscosity flux 24 is placed on the stage 23 and is scraped with a squeegee 25 to have a uniform thickness. Next, as shown in FIG. 4B, the transfer jig 21 is lowered by a driving mechanism (not shown), and the tip of the pin 22 is put into the flux 24. Next, as shown in FIG. 5C, the transfer jig 21 is raised by the drive mechanism (not shown), and the flux 24 adheres to the tip of the pin 22 here. Then, as shown in FIGS. 5D and 6E, a flux 24 is applied to the solder electrode forming position of the BGA package 26, and as shown in FIG. By raising, the flux application is completed.

【0003】しかしながら、上記従来の手法によれば、
図7に示すように、ピン22の側面にフラックス24が
つき塗布量がバラツキ易いという問題があった。また、
ピン22の側面に付着したフラックス24が乾燥固化し
てピン22の実質的な直径が大きくなり、塗布量が経時
的に増えることから、塗布を繰り返すたびにピン22の
先端を洗浄、乾燥させる必要があり、作業性の低下を招
いていた。
[0003] However, according to the above conventional method,
As shown in FIG. 7, there is a problem that the flux 24 is applied to the side surface of the pin 22 and the application amount is likely to vary. Also,
The flux 24 attached to the side surface of the pin 22 is dried and solidified to increase the substantial diameter of the pin 22 and the amount of application increases with time. Therefore, it is necessary to clean and dry the tip of the pin 22 each time the application is repeated. And the workability was reduced.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
従来技術の問題点を解消し、基板上の半田バンプ電極を
形成すべき位置にあらかじめフラックスを塗布する技術
において、フラックス塗布量をコントロールできるとと
もにそのバラツキを小さくすることができるフラックス
塗布装置を提供することをその課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art and provides a technique for controlling the amount of applied flux in a technique of applying a flux in advance to a position on a substrate where a solder bump electrode is to be formed. It is an object of the present invention to provide a flux coating device which can reduce the variation of the flux coating device.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、前記課
題を解決するために、基板上の半田バンプ電極を形成す
べき位置にあらかじめフラックスを塗布する装置であっ
て、前記基板の外部パッドと同一のピッチで下向きに配
置された複数のピンを有する第1の治具と、フラックス
を収容する槽中に設置され、該第1の治具の複数のピン
と同一のピッチで上向きに配置された複数のピンを有す
る第2の治具と、該第1の治具と該第2の治具とを、該
第1の治具のピンと該第2の治具のピンとが離隔しかつ
該第2の治具のピンの先端が前記槽内のフラックスに浸
漬した状態となる第1の位置と、該第1の治具のピンの
先端と該第2の治具のピンの先端が当接し該第2のピン
の先端が前記槽内のフラックスの液面より上方に突出す
る第2の位置との間で上下動させる駆動機構を有するこ
とを特徴とするフラックス塗布装置が提供される。
According to the present invention, there is provided an apparatus for applying a flux to a position on a substrate where a solder bump electrode is to be formed, the method comprising: A first jig having a plurality of pins arranged downward at the same pitch as the first jig, and is disposed in a tank containing the flux, and is arranged upward at the same pitch as the plurality of pins of the first jig. A second jig having a plurality of pins, the first jig and the second jig being separated from each other by a pin of the first jig and a pin of the second jig; The first position where the tip of the pin of the second jig is immersed in the flux in the tank, and the tip of the pin of the first jig and the tip of the pin of the second jig correspond to each other. A second position where the tip of the second pin contacts and projects above the liquid level of the flux in the tank. Fluxing apparatus is provided, characterized in that it comprises a drive mechanism in vertically moving.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】以下本発明を実施例に基づき詳細
に説明する。図1の(A)は本発明の一実施例のフラッ
クス塗布装置の要部を示す模式的に示す図である。図中
1は第1の治具(トランスファー治具)であり、例えば
BGAの外部パッドと同一ピッチに配置されたピン2を
備えており、ピン2は下方に向けて延びている。ピン2
の構成材料としては例えばステンレス鋼、塩化ビニル等
適宜の材料を用いることができる。ピン2の先端面はフ
ラットに形成されている。一方、3は第2の治具であ
り、第1の治具1のピン2と同一ピッチに配置されたピ
ン4を備えており、ピン4は上方に向けて延びている。
本例ではピン4の先端面はフラットに形成されており、
その先端の径はピン2の先端の径より小さく設定されて
いる。ピン4の構成材料としてはピン2の構成材料と同
じものが使用できるが異なっていてもよい。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail based on embodiments. FIG. 1A is a diagram schematically showing a main part of a flux coating apparatus according to one embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a first jig (transfer jig), which includes pins 2 arranged at the same pitch as, for example, external pads of a BGA, and the pins 2 extend downward. Pin 2
Suitable materials such as stainless steel, vinyl chloride, and the like can be used as the constituent materials. The tip surface of the pin 2 is formed flat. On the other hand, reference numeral 3 denotes a second jig, which includes pins 4 arranged at the same pitch as the pins 2 of the first jig 1, and the pins 4 extend upward.
In this example, the tip surface of the pin 4 is formed flat,
The diameter of the tip is set smaller than the diameter of the tip of the pin 2. As the constituent material of the pin 4, the same material as the constituent material of the pin 2 can be used, but may be different.

【0007】第2の治具3は、図示しない公知の駆動機
構により、図1の(A)に示すように槽5内のフラック
ス6中に浸漬された位置と、図1の(B)あるいは図2
の(C)に示すようにピン2の先端が槽5に収容された
フラックス6の液面より上へ突出する位置との間を上下
動するようになっている。前記公知の駆動機構として
は、例えばサーボモータを利用したもの、カムとバネを
利用したもの等を用いることができる。一方、第1の治
具1は、同様の図示しない駆動機構により、図1の
(A)に示すように第2の治具4の先端から離隔した位
置と、図2の(C)に示すようにピン2に先端が第2の
治具3のピン4の先端と当接する位置との間を上下動す
るようになっている。
As shown in FIG. 1A, the second jig 3 is immersed in the flux 6 in the tank 5 by a known driving mechanism (not shown), and is moved to the position shown in FIG. FIG.
(C), the tip of the pin 2 moves up and down between the position where the tip of the pin 6 projects above the liquid level of the flux 6 stored in the tank 5. As the known driving mechanism, for example, a mechanism using a servomotor, a mechanism using a cam and a spring, and the like can be used. On the other hand, the first jig 1 is moved away from the tip of the second jig 4 by a similar driving mechanism (not shown) as shown in FIG. 1A, and shown in FIG. 2C. As described above, the tip of the pin 2 moves up and down between the position at which the tip of the pin 4 of the second jig 3 contacts the tip of the pin 4.

【0008】次に動作について述べる。先ず、図1の
(A)に示すように、第2の治具3を槽5のフラックス
6内に浸漬させる。次に、この状態から、図1の(B)
に示すように、図示しない駆動機構により第2の治具3
を上昇させ、ピン4の先端をフラックス6の液面より上
部に突出させ、ピン4の先端に所要量のフラックス6を
保持させる。一方、図示しない駆動機構により第1の治
具1を下降させ、ピン2の先端を第2の治具3のピン4
の先端と当接させる(図2の(C))。これにより、ピ
ン2はピン4よりフラックス6を受け取る。ここでピン
4とピン2の接触面積がピン2の先端部の面積より小さ
いので、図3に示すように、フラックス6はピン2の側
面に付着することなく移される。その後、図示しない駆
動機構により第1の治具1が上昇し(図2の(D))、
フラックス6は従来と同様にして例えばBGAパッケー
ジのパッドに塗布される。
Next, the operation will be described. First, as shown in FIG. 1A, the second jig 3 is immersed in the flux 6 of the tank 5. Next, from this state, FIG.
As shown in FIG. 5, the second jig 3 is driven by a driving mechanism (not shown).
Is raised so that the tip of the pin 4 protrudes above the liquid level of the flux 6 to hold a required amount of the flux 6 at the tip of the pin 4. On the other hand, the first jig 1 is lowered by a driving mechanism (not shown), and the tip of the pin 2 is moved to the pin 4 of the second jig 3.
(FIG. 2C). Thus, the pin 2 receives the flux 6 from the pin 4. Here, since the contact area between the pin 4 and the pin 2 is smaller than the area of the tip of the pin 2, the flux 6 is transferred without adhering to the side surface of the pin 2 as shown in FIG. Thereafter, the first jig 1 is raised by a driving mechanism (not shown) (FIG. 2D),
The flux 6 is applied to, for example, pads of a BGA package in the same manner as in the related art.

【0009】本実施例では、上記のように第2の治具3
のピン4を利用してフラックス6の転写を行っているの
で、ピン2の側面にフラックス6が付着せず、フラック
ス塗布量のバラツキを少なくすることができる。また、
ピン2の側面にフラックス6が付着することがないの
で、塗布を繰り返すたびにピン2先端を洗浄・乾燥させ
なくてもよくなり、作業性が向上する。
In this embodiment, as described above, the second jig 3
Since the transfer of the flux 6 is performed by using the pin 4, the flux 6 does not adhere to the side surface of the pin 2, and the variation of the flux application amount can be reduced. Also,
Since the flux 6 does not adhere to the side surface of the pin 2, the tip of the pin 2 does not have to be washed and dried each time the coating is repeated, and the workability is improved.

【0010】以上本発明を一実施例に基づいて説明した
が、本発明はこの実施例のみに限定されるものではなく
種々の変形、変更が可能である。例えば、上記実施例で
はピン4の径をピン2の径よりも小さくし、平面どうし
で接触させたが、ピン4の先端形状を凸型とすればピン
2に転写されるフラックス量を少なくすることができ、
ピン4の先端形状を凹型とすればピン2に転写されるフ
ラックス量を多くすることができる。また、ピン4の形
状に加え、ピン2に対するピン4の径の比を変えること
によってもフラックス量のコントロールが可能となる。
また、従来のピントランスファー法では高粘度フラック
スしか使えなかったが、前記コントロールにより、低粘
度フラックスの使用も可能となる。
Although the present invention has been described based on one embodiment, the present invention is not limited to this embodiment alone, and various modifications and changes are possible. For example, in the above embodiment, the diameter of the pin 4 is made smaller than the diameter of the pin 2 and the pins are brought into contact with each other on a plane, but if the tip of the pin 4 is made convex, the amount of flux transferred to the pin 2 is reduced. It is possible,
If the shape of the tip of the pin 4 is concave, the amount of flux transferred to the pin 2 can be increased. The flux amount can be controlled by changing the diameter ratio of the pin 4 to the pin 2 in addition to the shape of the pin 4.
Further, in the conventional pin transfer method, only a high-viscosity flux can be used. However, the above control enables the use of a low-viscosity flux.

【0011】[0011]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、上記構成を採用したので、次のような顕著なる効
果が得られる。 (1)塗布するフラックス量のバラツキを少なくするこ
とが可能となる。 (2)塗布を繰り返すたびピン先端を洗浄・乾燥させる
必要がなくなり、作業性が向上する。 (3)フラックス量のコントロールが可能となるため、
従来は高粘度フラックスしか使えなかったが、低粘度フ
ラックスも使用できるようになった。 (4)フラックス量のコントロールが可能となるため、
小パッドに対しても容易に塗布可能となった。
As described above in detail, according to the present invention, the following remarkable effects can be obtained by employing the above-described structure. (1) It is possible to reduce the variation in the amount of applied flux. (2) Each time coating is repeated, it is not necessary to clean and dry the tip of the pin, thereby improving workability. (3) Since the amount of flux can be controlled,
Conventionally, only high-viscosity fluxes could be used, but low-viscosity fluxes can now be used. (4) Since the amount of flux can be controlled,
It can be easily applied to small pads.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例のフラックス塗布装置によるフ
ラックス塗布のプロセスを模式的に示す図である。
FIG. 1 is a view schematically showing a flux application process by a flux application apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例のフラックス塗布装置によるフ
ラックス塗布のプロセスを模式的に示す図である。
FIG. 2 is a view schematically showing a flux application process by a flux application apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明によるピンのフラックスの付着状態を示
す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a state of flux adhesion of a pin according to the present invention.

【図4】従来のピントランスファー法によりフラックス
をBGAパッケージに塗布するプロセスを模式的に示す
図である。
FIG. 4 is a view schematically showing a process of applying a flux to a BGA package by a conventional pin transfer method.

【図5】従来のピントランスファー法によりフラックス
をBGAパッケージに塗布するプロセスを模式的に示す
図である。
FIG. 5 is a view schematically showing a process of applying a flux to a BGA package by a conventional pin transfer method.

【図6】従来のピントランスファー法によりフラックス
をBGAパッケージに塗布するプロセスを模式的に示す
図である。
FIG. 6 is a view schematically showing a process of applying a flux to a BGA package by a conventional pin transfer method.

【図7】従来法の場合のピンのフラックスの付着状態を
示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a state of flux adhesion of a pin in the case of a conventional method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 第1の治具(トランスファー治具) 2 ピン 3 第2の治具 4 ピン 5 槽 6 フラックス DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st jig (transfer jig) 2 pin 3 2nd jig 4 pin 5 tank 6 flux

─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成8年10月1日[Submission date] October 1, 1996

【手続補正1】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】特許請求の範囲[Correction target item name] Claims

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【特許請求の範囲】[Claims]

【手続補正2】[Procedure amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0005[Correction target item name] 0005

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、前記課
題を解決するために、基板上の半田バンプ電極を形成す
べき位置にあらかじめフラックスを塗布する装置であっ
て、フラックスを収容する槽の上方に位置し前記基板の
外部パッドと同一のピッチで下向きに配置された複数の
ピンを有する第1の治具と、フラックスを収容する槽中
に設置され、該第1の治具の複数のピンと同一のピッチ
で上向きに配置された複数のピンを有する第2の治具
と、前記第2の治具のピンの先端を前記槽内のフラック
スに浸漬した状態となる第1の位置と、該第2の治具の
ピンの先端を前記槽内のフラックスの液面より上方に突
出させ、第1の治具のピンの先端と当接させる第2の位
置との間で第1の治具と第2の治具を上下動させる駆動
機構を有することを特徴とするフラックス塗布装置が提
供される。
According to the present invention, there is provided an apparatus for applying a flux in advance to a position on a substrate where a solder bump electrode is to be formed, comprising a tank for accommodating a flux. A first jig having a plurality of pins disposed above the substrate and arranged downward at the same pitch as the external pads of the substrate; and a plurality of the first jigs installed in a bath containing flux. A second jig having a plurality of pins arranged upward at the same pitch as the pins of the second jig, and a first position in which a tip of the pin of the second jig is immersed in the flux in the tank. The first end of the pin of the second jig is projected above the liquid level of the flux in the tank, and the first end is brought into contact with the second end of the pin of the first jig. Having a drive mechanism for vertically moving the jig and the second jig. Fluxing apparatus is provided to symptoms.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上の半田バンプ電極を形成すべき位
置にあらかじめフラックスを塗布する装置であって、 前記基板の外部パッドと同一のピッチで下向きに配置さ
れた複数のピンを有する第1の治具と、 フラックスを収容する槽中に設置され、該第1の治具の
複数のピンと同一のピッチで上向きに配置された複数の
ピンを有する第2の治具と、 該第1の治具と該第2の治具とを、該第1の治具のピン
と該第2の治具のピンとが離隔しかつ該第2の治具のピ
ンの先端が前記槽内のフラックスに浸漬した状態となる
第1の位置と、該第1の治具のピンの先端と該第2の治
具のピンの先端が当接し該第2のピンの先端が前記槽内
のフラックスの液面より上方に突出する第2の位置との
間で上下動させる駆動機構を有することを特徴とするフ
ラックス塗布装置。
1. An apparatus for applying a flux in advance to a position on a substrate at which a solder bump electrode is to be formed, comprising: a first pin having a plurality of pins arranged downward at the same pitch as an external pad of the substrate. A jig, a second jig having a plurality of pins disposed in a tank for accommodating the flux, and having a plurality of pins arranged upward at the same pitch as the plurality of pins of the first jig; The pin of the first jig and the pin of the second jig were separated from each other, and the tip of the pin of the second jig was immersed in the flux in the tank. A first position to be in a state, a tip of a pin of the first jig and a tip of a pin of the second jig are in contact with each other, and the tip of the second pin is higher than the liquid level of the flux in the tank. A flux having a drive mechanism for vertically moving between a second position protruding upward and the second position. Coating device.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20230007787A1 (en) * 2021-06-30 2023-01-05 Samsung Electronics Co., Ltd Flux dotting tool

Cited By (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20230007787A1 (en) * 2021-06-30 2023-01-05 Samsung Electronics Co., Ltd Flux dotting tool
US11818850B2 (en) * 2021-06-30 2023-11-14 Samsung Electronics Co., Ltd. Flux dotting tool

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