JPH10501893A - 垂直空洞表面放出レーザを用いた超音波検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 超音波／振動検出器アレイが、電気的にポンピングされた垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイを含んでいる。アレイの各々のレーザ又は各々の画素の空洞長は、音響場が画素に接触する点で音響場によって変調される。その結果得られるレーザ出力は、音響場によって周波数変調される。この変調は、検出器ヘッドで振幅変調に変換され、その後、電荷結合デバイス（ＣＣＤ）アレイで検出されて、情報が電気的に信号処理アセンブリに伝えられるか、又は光ファイバにより信号処理アセンブリに直接送られて、処理される。この超音波／振動検出器アレイによって、高度の周波数帯域幅検出、高空間分解能、及び最小の電気ケーブリングが得られる。

Description

【発明の詳細な説明】 垂直空洞表面放出レーザを用いた超音波検出器 発明の背景 本出願は、同時に出願され、譲り受け人が同じである１９９５年に出願された 、エーアール・デュガル（AR Duggal）等の米国特許出願（ＲＤ−２４，３２１ ）に関連し、本出願の開示は、ここに参照されるべきものである。 本発明は、一般的には音響エネルギのイメージング（作像）に関し、更に詳し くはレーザに基づく超音波検出装置に関すると共に、最も詳しくは半導体マイク ロレーザに基づく超音波検出装置のアレイに関する。 超音波装置は一般に、医用イメージング及び物質の非破壊検査（ＮＤＥ（non- destructive evaluation））で使用されている。超音波分析では、音響波として 固体、液体及び気体を通るエネルギの伝搬を必要とする。典型的には、音響エネ ルギのパルスをイメージング対象に印加して、音響パルスの反射波を検出すると 共に処理することにより、イメージング及び分析が行われる。反射波の空間関係 及び振幅から、被分析対象内で音響エネルギを反射した構造の位置及び性質につ いての情報が得られる。 しばしば圧電変換器を用いることにより、被分析対象に送り込まれる超音波パ ルスを発生して、変換器で受信された反射波を検出する。圧電素子は長大な電気 ケーブル布線 （ケーブリング）を必要とし、これにより変換器アレイに配置され得る画素数に 実際的な限界が課され、その結果、アレイの分解能が制限される。 詳しく述べると、医用イメージングで使用されている超音波装置に対して圧電 変換器を使用するときに、現在、１２８要素、即ち１２８画素の１次元アレイが 利用されている。圧電画素は、各々独立にワイヤによって信号処理ユニットに電 気的に接続されている。信号処理ユニットは次に、変換器から受け取った信号を 処理してイメージングを行う。超音波画像の品質を改善するために、例えば１２ ８×１２８変換器／画素を有している２次元アレイが必要とされることが望まし い。圧電変換器を信号処理ユニットに接続するために必要とされる多くのワイヤ の複雑さのため、及び圧電変換器の複雑さのため、圧電変換器は単に複雑過ぎる 。 光学的技術も、超音波イメージングにおける音響波の発生及び検出に用いられ てきた。例えば、被検査対象の表面に集束されるレーザ・ビームからのエネルギ は、対象内に音響パルスを発生することができる。音響エネルギの戻りパルスは 典型的には、干渉観測を用いることにより光学的に検出される。このような技術 の概観は、ここに参照されるべきシー・ビー・スクラビー及びエル・イー・ドレ イン著、１９９０年アイオーピー出版社発行の書籍「レーザ超音波−技術及び応 用」（Laser Ultrasonics-Techniques and Appliations by C.B.Scruby and L.E .Drain,IOP Publishing Ltd 1990）で行われている。超音波の光学的検出の 非干渉観測技術としては、ナイフエッジ技術及び表面回折格子技術、並びに反射 率及び光フィルタに基づく技術等がある。ここに参照されるべきアイイーイーイ ー・トランザクションズ・オン・ウルトラソニックス・フェロエレクトリックス ・アンド・フリークェンシー・コントロール、ＵＦＦＣ−３３、１９８６年９月 のジェー・ピー・モンチャリン執筆の「超音波の光学的検出」（"Optical Detec tion of Ultrasound" by J.P.Monchalin，IEEE Transactions on Ultrasonics， Ferroelectrics，and Frequency Control，UFFC-33，September 1986）を参照さ れたい。超音波検出のこれらのレーザに基づく方法は、従来の圧電に基づく方法 に比べて数桁感度が低い。 音波を検出するためのもう１つのレーザに基づく方法が、ソビエト・フィジッ クス・アコースティック、３４、第２０４頁、１９８８年３月のワイ・エー・ビ コフスキー等執筆の論文「レーザ水中聴音器」（"Laser Hydrophone" by Y.A.By kovskii et al.，in Sov．Phys．Acoust．34，p204, March 1988）に示唆されて いる。ビコフスキー等の光学的水中聴音器では、水中聴音器の膜の動きが水中聴 音器内の半導体レーザの出力及び位相の一方又は両方を変化させることにより、 光学的信号の振幅に変化を生じる。ビコフスキーのソナー水中聴音器は比較的効 率が悪いので、感度が低い。 超音波の用途のために光学的変換器アセンブリを使用するためのより最近の手 法では、レーザ空洞との超音波妨害 の相互作用によって生じるレーザ出力の周波数変調を監視することにより超音波 を検出するために、変換器ハウジングと、光学的に供給される（ポンピングされ る）マイクロ空洞レーザ又はマイクロチップ・レーザのような信号レーザとを含 んでいる光学的変換器アセンブリが、変換器ハウジングに取り付けられている。 この相互作用には、レーザ空洞長さの変化、及びレーザ媒体の屈折率の変化の一 方又は両方が含まれていた。この手法は更に、マイクロ空洞レーザのアレイを使 用するときの相互接続の複雑さを軽減させるために、光ファイバ・ケーブルを使 用する方式の詳細も明らかにした。信号レーザによって発生される光学的周波数 は、変換器アセンブリに入射する音響エネルギに応じて変調可能である（即ち、 変調されるように構成されている、又は変調されることが可能である。）。信号 レーザは、レーザ媒体が内部に配設されている光空洞と、その空洞の光路軸に沿 った光空洞の両端のそれぞれの表面に配設されている第１及び第２の反射器とを 含んでいる。代替的には、第２の反射器は、ジル−トルノア（Gires-Tournois） の干渉計として作用するコンプライアント空洞に置き換えることができる。信号 レーザは、変換器アセンブリに入射する音響エネルギが光路軸に沿った空洞の長 さを変化させ、又は代替的には光空洞の屈折率を変化させ、そしてこのような変 化の結果として、レーザによって発生される光の光学的周波数を実質的に線形に 変化させるように構成されている。 本出願の譲り受け人に譲渡され、その開示内容がここに参照されるべき米国特 許第５，３５３，２６２号に開示されている一実施例では、超音波システムで使 用されているような光変換器が信号レーザを含んでおり、この信号レーザは、周 波数が変換器に入射した音響エネルギに応じて変化する光信号を発生する。信号 レーザの光空洞は、入射した音響エネルギが光空洞の圧縮及び希薄化を生じさせ ると共に、この変位がレーザによって発生される光周波数を変化させるように配 設されている。レーザ媒体に結合されているレーザ・ポンプは、音響パルスの検 出に適した励起エネルギの選択されたレベルを印加するように構成されている。 信号レーザは代替的には、光空洞の屈折率が入射音響エネルギに応じて変化させ られて、信号レーザによって発生される光の光学的周波数が変調されるように構 成されている。 代替実施例では、圧電素子は入射音響エネルギを受け取って、対応する電気信 号を発生するように配設されており、この電気信号は、光空洞内の電気光学セル に、又はその代わりに導体に印加されて、レーザ媒体の両端の間に電界を発生す る。 より簡単で、よりコンパクトな超音波検出装置を提供するための上述した努力 にも拘わらず、医用イメージング及び物質の非破壊検査（ＮＤＥ（nondestructi ve evaluation））では、相互接続の複雑さを最小にする装置を支援するために インタフェースされる超音波変換器が尚、必要とさ れている。例えば、上述のように、現在の最新式の技術の超音波イメージング・ アレイは、約１００個の個別の超音波画素の線形アレイを使用しており、各々の 画素は、別々の同軸ケーブルに接続されている。アレイのサイズは現在、相互接 続ケーブリングの複雑さによって制限されている。変換器ヘッドと支援装置との 間の光インタフェースを使用することにより、同じ数の画素に対してケーブル布 線を著しく減少させることができる。代替的には、同じサイズのケーブルによっ てずっと多数の画素を接続することができる。更に、音響信号のできる限り広い 周波数帯域幅を検出できることが非破壊検査及び水中音響検知に対して都合がよ い。最後に、生物学的構造及びミクロ電子工学的構造の超音波マイクロスコーピ ック・イメージングは、イメージング対象の試料と比べて小さな高帯域幅超音波 検出器のアレイを必要とする。 発明の概要 本発明の超音波／振動検出器アレイは、電気的にポンピングされた垂直空洞表 面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ（vertical cavity surface emitting laser））アレ イを含んでいる。アレイの各々のレーザ又は各々の画素の空洞長は、音響場が画 素に接触する点で音響場によって変調される。その結果得られるレーザ出力は、 音響場によって周波数変調される。この変調は検出器ヘッドで振幅変調に変換さ れ、その後、電荷結合デバイス（ＣＣＤ（charge-coupled-device））アレイで 検出されて、情報が電気的に信号処理アセ ンブリに伝えられるか、又は光ファイバによって信号処理アセンブリに直接送ら れて、処理される。本発明の超音波／振動検出器アレイによって、高度の周波帯 域幅検出、高空間分解能、及び最小の電気ケーブリングが得られる。 本発明の一実施例では、媒体を通って伝搬する音響エネルギを検出するための 検出器が含まれており、この検出器は、検出器ハウジングと、検出器ハウジング 内に動作配置されている電気的にポンピングされる垂直空洞表面放出レーザ（Ｖ ＣＳＥＬ）アレイとを含んでいる。アレイの各々の画素は、ある空洞長を有して いるレーザであり、その空洞長は、音響場によって変調されている。 本発明のもう１つの実施例では、超音波マイクロスコープが含まれており、こ の超音波マイクロスコープは、検出器ハウジング内に動作配置されている電気的 にポンピングされる垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイであって、ア レイの各々の画素は、ある空洞長を有しているレーザであり、その空洞長は、音 響場によって変調されているような垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレ イと、電気的にポンピングされる垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイ とイメージングされるべき試料との間に動作配置されている音響整合層と、垂直 空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイに動作接続されている透明な音響バッ キング層であって、垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイは、その光周 波数が入射超音波場によって変調される光ビームのアレイを発生しており、その ビームは、 自由空間又は光ファイバ・ケーブル布線を通って伝搬しているような音響バッキ ング層と、音響妨害によって生じるレーザ出力の周波数変調を振幅変調に変換す るために、バッキング層に対して動作配置されており、しかもバッキング層から 自由空間又は光ファイバ・ケーブル布線により離されているファブリ−ペロー（ Fabry-Perot）空洞とを含んでいる。 本発明の更にもう１つの実施例では、対象を分析するための超音波システムが 含まれており、この超音波システムは、検出器と、検出器に動作接続されている 信号処理アセンブリとを含んでいる。その光検出器は、検出器ハウジングと、検 出器ハウジング内に動作配置されている電気的にポンピングされる垂直空洞表面 放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイであって、アレイの各々の画素は、ある空洞長 を有しているレーザであり、空洞長は、音響場によって変調されているような垂 直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイとを含んでいる。 従って、本発明の１つの目的は、音響エネルギを検出するためのレーザ検出器 を提供することにある。 本発明のもう１つの目的は、比較的コンパクトなレーザ超音波システムを提供 することにある。 本発明のもう１つの目的は、コンパクトな検出器アレイに多数の検出器画素を 有しているレーザ超音波検出器を提供することにある。 本発明の更にもう１つの目的は、高い感度及び広いダイ ナミック・レンジを示すレーザ超音波検出器を提供することにある。 本発明の他の目的及び利点は、以下の説明、図面及び請求の範囲から明らかと なる。 図面の簡単な説明 図１は本発明を含んでいる超音波システムのブロック図である。 図２は本発明の一実施例を示す光検出器の概略図である。 図３は本発明のもう１つの実施例を示す光検出器の概略図である。 図４は本発明の更にもう１つの実施例を示す光検出器の概略図である。 本発明の詳しい説明 図１は音響エネルギで検査対象１５を分析するための超音波システム１０を示 す。超音波システム１０は、検出器２０と、信号処理アセンブリ３０と、ディス プレイ及び分析モジュール４０とを含んでいる。検出器２０は、対象１５から反 射されるエネルギ又は対象１５を通して伝送される音響エネルギが検出器２０に よって受信されるように、音響カプラント又は整合層２５を介して対象１５に音 響的に結合されている。 本発明によれば、検出器２０は、検出器に入射する音響エネルギが電気的にポ ンピングされた垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイの各々の画素の空 洞長を変調するように構成されている。この変調は、電気的にポンピン グされた垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）の各々の画素の光周波数変調に 変換される。光周波数変調は次に、各々の画素に対する光振幅変調に変換される 。検出器２０は、受信された音響エネルギに対応する処理された出力信号が発生 されるように、信号処理アセンブリ３０に動作接続されている。ディスプレイ及 び分析モジュール４０は、処理された出力信号が視覚的に提示されるか、又は他 の方法で分析されるように、信号処理アセンブリ３０に動作接続されている。 本発明は、垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）又は半導体マイクロレーザ のアレイを利用して、各々個別のレーザ空洞との超音波妨害の相互作用によるレ ーザ出力の周波数変調を監視することにより超音波を検出する。各々のＶＣＳＥ Ｌアレイは、半導体処理方法により必要とされるように、又は製造することがで きる数に応じて、例えば約１０個から約１０，０００個以上の個別のマイクロレ ーザ又は画素を含んでいてもよい。 現在、ＶＣＳＥＬの特性付け及び改善において、かなりの科学的研究が行われ つつある。最新式の技術についての有用な説明は、次の最近の出版物に見出すこ とができる。１つは、アイイーイーイー・ジャーナル・オブ・クオンタム・エレ クトロニクス、２７、１９９１年、第１３３２頁、ジュエル等の「垂直空洞表面 放出レーザの設計、成長、製造、特性付け」（Jewell et．al．"Vertical-Cavit y Surface-Emitting Lasers: Design，Growth，Fabrication，Ch aracterization"，IEEE Journal of Quantum Electronics, 27（1991）p.1332） であり、１つは、オプティックス・アンド・フォトニックス・ニューズ、１９９ ３年２月、第８頁、スラッシャ（Slusher）による「半導体マイクロレーザ及び その応用」（Slusher"Semiconductor Microlasers and Their Applications"，O ptics & Photonics News，February 1993，p.8）である。これらの各々の開示は 、ここに参照されるべきものである。 垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）は、複数の種々の構成によって音響検 出器に組み込むことができる。例えば、異なる画素に対する電気的相互接続を最 小にするように、音響検出器に垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）を組み込 む２つの可能な概略構成が図２及び図３に示されている。 図２は、各々の垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）画素から信号処理アセ ンブリに出力信号を伝えるために光ファイバを使用している検出器２０に対する １つの可能な構成を示す。この構成では、垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ ）アレイ４２が、検出器アセンブリへの最大音響結合が可能なように設計されて いる音響整合層４４上に組み立てられている。音響エネルギを消して検出器内の 反射を回避するために、アレイ４２の後に音響減衰層４６が用いられている。代 替的には、特定の用途の所要の感度及び帯域幅に応じて、減衰層４６の代わりに 音響反射層を用いることができる。 次に、音響妨害によって生ずるレーザ出力の周波数変調は、減衰層４６に取り 付けられているファブリ−ペロー（Fabry-Perot）空洞アレイ４８又は単一のフ ァブリ−ペロー（Fabry-Perot）空洞内で、振幅変調に変換される。この空洞ア レイ４８は、音響周波数よりも低い周波数でのあらゆるレーザの変動を補正する ために帰還（フィードバック）が可能なような空間光変換器アレイ又は何か他の 同調素子を用いることもできる。最後に、光ファイバ・カプラのアレイ５０が、 振幅変調された信号を信号処理アセンブリ３０に結合する。 図３は、信号処理アセンブリ３０に信号情報を伝える光ファイバ束５０を必要 としない検出器２０の構成を示す。この構成は、図２に示された構成と同様であ るが、電荷結合デバイス（ＣＣＤ）アレイ５２を使用している検出器ヘッドで光 情報が電気情報に変換される点が異なっている。すべての画素のイメージングを 行うために１つのＣＣＤ又は２つ若しくは３つのＣＣＤの組み合わせを使用する ことにより、唯１つの信号線、又は高々２つ若しくは３つの信号線５４を使用し て、すべての光振幅変調情報を信号処理アセンブリ３０に返送することができる 。これを行うためには、ＣＣＤフレーム速度が音響周波数に比べて高速でなけれ ばならない。現状の最新技術のＣＣＤアレイのフレーム速度は、１００ｋＨｚよ りも大きい。このようなＣＣＤアレイを使用すれば、約５０ｋＨｚまでの音響周 波数の良好な分析を行うことができる。 ＣＣＤからの信号伝送速度が十分に高い場合には、信号処理アセンブリ３０に 情報を送るために電気信号線５４を、光ファイバ通信の分野では公知の技術を用 いた光ファイバに置き換える必要があるかもしれない。 図４は超音波マイクロスコープに対する１つの可能な構成を示す。イメージン グすべき試料５６が、音響インピーダンス整合層によって垂直空洞表面放出レー ザ（ＶＣＳＥＬ）アレイ４２と音響的に接触している。垂直空洞表面放出レーザ （ＶＣＳＥＬ）アレイ４２は、光ビーム６０のアレイを発生する。光ビーム６０ の光周波数は、入射超音波場によって変調される。音響エネルギを消して、検出 器内の反射を回避するために、アレイ４２の後に音響減衰層４６が用いられてい る。代替的には、特定の用途の所要の感度及び帯域幅に応じて、減衰層４６の代 わりに音響反射層を用いることができる。垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ ）の高周波機能により高超音波周波数を使用することができるので、優れた空間 イメージング分解能が得られる。 本発明によれば、検出器は、医用イメージング又は物質の非破壊検査のために 、超音波マイクロスコープのために、及び水中音響検知のために使用される超音 波システムのような音響エネルギ・イメージング・システムにおいて有利に使用 される。 本発明の目的にとって最も重要な２つの特徴的な点は、次の通りである。（１ ）各々のレーザ又は画素の表面積が約１０ミクロン平方のオーダで、そして空洞 長が約２ミク ロン又は３ミクロンのオーダで垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）のアレイ を製造することができる。（２）レーザを電気的にポンピングすることができる 。第１の特徴的な点が示唆することは、垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ） の音響検出では、２次元検知アレイに対して画素を極めて小さくできるというこ とである。更に、ある音響インピーダンス整合層の組み合わせの場合に、検出の 相互作用にレーザ空洞長の変化が含まれ、空洞長が音響波長よりもずっと小さい という条件が保持されるときには、検出レーザ空洞長が小さくなるにつれて、音 響周波数検出帯域幅が大きくなるということを示すことができる。このように、 垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）の空洞長が小さいと、音響周波数検出帯 域幅は大きくなる。第２の点は、アレイ全体の給電を２つの電気線のみで行うこ とができることを示唆している。 本明細書に含まれているシステム及び装置は、本発明の好ましい実施例を構成 しているが、本発明は、これらの詳細なシステム及び装置に限定されるものでは なく、請求の範囲に画定されている本発明の要旨を逸脱することなく、変更を加 え得ることは理解されるはずである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 媒体を通って伝搬する音響エネルギを検出する検出器であって、 検出器ハウジングと、 該検出器ハウジング内に動作配置されている電気的にポンピングされる垂直空 洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイであって、該アレイの各々の画素は、あ る空洞長を有しているレーザであり、前記空洞長は、音響場により変調されてい る、垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイとを備えた検出器。 ２． 結果として得られるレーザ出力は、前記音響場により周波数変調されてい る請求項１に記載の検出器。 ３． 結果として得られるレーザ出力変調は、前記検出器で振幅変調に変換され ている請求項２に記載の検出器。 ４． 前記振幅変調は、ＣＣＤアレイで検出されており、情報が信号処理アセン ブリに電気的に伝えられている請求項３に記載の検出器。 ５． 前記振幅変調は、光ファイバ手段により信号処理アセンブリに直接送られ ている請求項３に記載の検出器。 ６． 前記検出器への最大音響結合が行えるように、前記電気的にポンピングさ れる垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイに動作接続されている音響整 合層を更に含んでいる請求項１に記載の検出器。 ７． 音響エネルギを消して前記検出器内の反射を回避す るために、前記電気的にポンピングされる垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ ）アレイの後に動作配置されている音響減衰層を更に含んでいる請求項１に記載 の検出器。 ８． 前記電気的にポンピングされる垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）ア レイの後に動作配置されている音響反射層を更に含んでいる請求項１に記載の検 出器。 ９． 音響妨害により生じるレーザ出力の周波数変調を振幅変調に変換するため に、前記減衰層に動作接続されているファブリ−ペロー空洞を更に含んでいる請 求項７に記載の検出器。 １０． 振幅変調された信号を信号処理アセンブリに動作接続する光ファイバ・ カプラのアレイを更に含んでいる請求項９に記載の検出器。 １１． 前記ファブリ−ペロー空洞に動作接続されており、光情報を電気情報に 変換する手段を更に含んでいる請求項９に記載の検出器。 １２． 前記変換する手段は、電荷結合デバイス（ＣＣＤ）アレイを含んでいる 請求項１１に記載の検出器。 １３． すべての画素のイメージングを行うために前記ＣＣＤアレイ又は２つ若 しくは３つのＣＣＤの組み合わせを用いることにより、すべての光振幅変調情報 が、１つの信号線のみを用いて信号処理アセンブリに伝えられている請求項１２ に記載の検出器。 １４． 検出器ハウジング内に動作配置されている電気的にポンピングされる垂 直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ） アレイであって、該アレイの各々の画素は、ある空洞長を有しているレーザであ り、前記空洞長は、音響場により変調されている、垂直空洞表面放出レーザ（Ｖ ＣＳＥＬ）アレイと、 該電気的にポンピングされる垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイと イメージングされるべき試料との間に動作配置されている音響整合層と、 前記垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイに動作接続されている透明 な音響減衰層であって、前記垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイは、 その光周波数が入射超音波場により変調される光ビームのアレイを発生しており 、該ビームは、自由空間を通って伝搬している、音響減衰層と、 音響妨害により生じるレーザ出力の周波数変調を振幅変調に変換するために、 前記減衰層に対して動作配置されており、しかも前記減衰層から離されているフ ァブリ−ペロー空洞とを備えた超音波マイクロスコープ。 １５． 前記ファブリ−ペロー空洞に動作接続されている電荷結合デバイス（Ｃ ＣＤ）アレイを更に含んでいる請求項１４に記載の超音波マイクロスコープ。 １６． 対象を分析する超音波システムであって、 検出器と、 該検出器に動作接続されている信号処理アセンブリとを含んでいる超音波シス テムであって、 光検出器は、 検出器ハウジングと、 該検出器ハウジング内に動作配置されている電気的にポンピングされる垂直空 洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイであって、該アレイの各々の画素は、あ る空洞長を有しているレーザであり、前記空洞長は、音響場により変調されてい る、垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイとを備えた超音波システム。 １７． 結果として得られるレーザ出力は、前記音響場により周波数変調されて いる請求項１８に記載のシステム。 １８． 結果として得られるレーザ出力変調は、前記検出器で振幅変調に変換さ れている請求項１７に記載のシステム。 １９． 前記振幅変調は、ＣＣＤアレイで検出されており、情報が信号処理アセ ンブリに電気的に伝えられている請求項１８に記載のシステム ２０． 前記検出器への最大音響結合が行えるように、前記電気的にポンピング される垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイに動作接続されている音響 整合層を更に含んでいる請求項１６に記載のシステム。 ２１． 音響エネルギを消して前記検出器内の反射を回避するために、前記電気 的にポンピングされる垂直空洞表面放出レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイの後に動作 配置されている音響減衰層を更に含んでいる請求項１６に記載のシステム。