JPH1048414A - Forming method of color pattern for color filter - Google Patents

Forming method of color pattern for color filter

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JPH1048414A
JPH1048414A JP20691896A JP20691896A JPH1048414A JP H1048414 A JPH1048414 A JP H1048414A JP 20691896 A JP20691896 A JP 20691896A JP 20691896 A JP20691896 A JP 20691896A JP H1048414 A JPH1048414 A JP H1048414A
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JP
Japan
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photosensitive resin
film
colored
transparent substrate
pattern
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Application number
JP20691896A
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Japanese (ja)
Inventor
Mamoru Kiyoo
守 清尾
Akira Yamamoto
山本  明
Satoshi Fujiwara
智 藤原
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Nippon Paint Co Ltd
Original Assignee
Nippon Paint Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To produce a color filter of high definition, excellent in color characteristics of pixels and contrast, with good reproducibility, by repeating for required times from a process to form a photosensitive resin coating film on a transparent substrate up to a process to leave only a desired color coating film only on an opening in the photosensitive resin film. SOLUTION: A photosensitive resin compsn. soln. is applied on the whole or a part of one surface of a transparent substrate and dried to form a photosensitive resin coating film. Openings corresponding to a desired pattern are formed on the photosensitive resin film to expose a part of the transparent substrate. A desired color coating film is formed on the whole surface or a part of the transparent substrate coated with the photosensitlve resin. By peeling or developing the unnecessary photosensitive resin film and color coating film on the transparent substrate, only a desired color coating film on the openings of the photosensitive resin film can be left. These processes are repeated for required times to obtain a color filter color pattern.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示素子など
の各種表示装置を多色化するために用いられるカラーフ
ィルターの着色パターンを形成する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a color pattern of a color filter used for multicoloring various display devices such as a liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、液晶ディスプレイ(LCD)はあ
らゆるフラットパネルディスプレイの中でも、最も注目
されているものであり、ブラウン管(CRT)に対抗す
る高精細のカラーディスプレイとして期待されている。
2. Description of the Related Art In recent years, a liquid crystal display (LCD) has attracted the most attention among all flat panel displays, and is expected as a high-definition color display that competes with a cathode ray tube (CRT).

【0003】液晶ディスプレイにおいて、多色化(カラ
ー化)に最も重要な部材は、カラーフィルターである。
現在、一般に使用されているカラーフィルターの製造法
には、染色法、印刷法、顔料分散法、電着法等があり、
いずれも優れた方法ではあるが、大画面化や高精細化、
さらに低コスト化の製造技術の点で解決すべき課題が残
されている。例えば、染色法の場合、染料が熱や光によ
って劣化するため、形成されたカラーフィルターの着色
層の耐熱性および/または耐候性に問題がある。印刷法
の場合、パターンの微細化に限界があり、寸法精度にも
問題がある。また、電着法は、透明導電層を有する基板
上に着色塗料を電着する方法であるが、透明導電層を形
成するための生産コストがかかり、かつ該導電層により
基板全体の光透過性が低下するという欠点がある。顔料
分散法の場合には、着色レジストをパターニングするの
に適度の光透過性が必要であることから、該レジスト中
に分散する顔料の濃度が高くできず、そのため、ブラッ
クマトリックス(BM)を含むカラーフィルターにおい
て、光学濃度(OD値)が十分に得られないという問題
が生じる。そこで、この問題を解決するために、一般
に、基板上に遮光膜として金属クロムや酸化クロムによ
る2層メッキ層を形成する方法が取られているが、生産
工程が複雑化するとともに、製造コストも高くなるとい
う不利益が生ずる。
[0003] In a liquid crystal display, the most important member for multicoloring (coloring) is a color filter.
Currently, generally used color filter manufacturing methods include a dyeing method, a printing method, a pigment dispersion method, an electrodeposition method, and the like.
Both are excellent methods, but they require a larger screen, higher definition,
Further, there remains a problem to be solved in terms of low-cost manufacturing technology. For example, in the case of the dyeing method, since the dye is deteriorated by heat or light, there is a problem in the heat resistance and / or weather resistance of the coloring layer of the formed color filter. In the case of the printing method, there is a limit to miniaturization of a pattern, and there is a problem in dimensional accuracy. In addition, the electrodeposition method is a method of electrodepositing a colored paint on a substrate having a transparent conductive layer. However, the production cost for forming the transparent conductive layer is high, and the light transmittance of the entire substrate is increased by the conductive layer. Is reduced. In the case of the pigment dispersion method, since an appropriate light transmittance is required for patterning the colored resist, the concentration of the pigment dispersed in the resist cannot be increased, and therefore, the pigment contains a black matrix (BM). In the color filter, there is a problem that a sufficient optical density (OD value) cannot be obtained. In order to solve this problem, a method of forming a two-layer plating layer of metal chromium or chromium oxide as a light-shielding film on a substrate is generally used, but the production process becomes complicated and the production cost is reduced. There is a disadvantage of being expensive.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、感光性樹脂
および着色塗料の機能性が高くかつ選択自由度が広いこ
とから、上記のような不利益のない、高精細な液晶ディ
スプレイ用カラーフィルターを提供することができる。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a high-definition color filter for a liquid crystal display which does not suffer from the above-mentioned disadvantages because the functionalities of the photosensitive resin and the coloring paint are high and the degree of freedom is wide. Can be provided.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、(I)透明基
板の一方の面の全面または一部に感光性樹脂組成物溶液
を塗布し、乾燥することにより、感光性樹脂被膜を形成
する工程、(II)所望の着色層部位に対応したパターン
を有するマスクを介して、感光性樹脂被膜を露光し、次
いで現像することにより、感光性樹脂被膜に所望のパタ
ーンに対応した開口部を設けて前記透明基板の一部を露
出させる工程、(III)透明基板の感光性樹脂被膜を設
けた面の全面または一部に所望の着色塗料組成物を塗布
し、乾燥することにより、着色塗料被膜を形成する工
程、および(IV)透明基板上の不要の感光性樹脂被膜
と不要の着色塗料被膜を共に剥離または現像することに
より、前記感光性樹脂被膜の開口部にのみ所望の着色塗
料被膜を残す工程からなり、前記(I)〜(IV)の工
程を必要回数繰り返すことによるカラーフィルター用着
色パターンの形成方法を提供する。さらに、本発明は、
感光性樹脂溶液にポジ型感光性樹脂溶液を用い、かつ前
記工程(IV)の前に透明基板の着色塗料被膜を設けた
面からおよび/または透明基板の着色塗料被膜を設けた
面とその反対の面の両面から全面露光するカラーフィル
ター用着色パターンの形成方法を提供するものである。
本発明の方法によれば、高感度の感光性樹脂と高い顔料
濃度の着色塗料を用いて、高解像度、高精細、高コント
ラスト、および高輝度のカラーフィルターを提供するこ
とができる。
According to the present invention, (I) a photosensitive resin composition solution is applied to the whole or a part of one surface of a transparent substrate and dried to form a photosensitive resin film. Step (II): Exposing the photosensitive resin film through a mask having a pattern corresponding to a desired colored layer portion, and then developing the photosensitive resin film to form an opening corresponding to the desired pattern in the photosensitive resin film. Exposing a part of the transparent substrate to (III) applying a desired colored coating composition to the entire surface or a part of the surface of the transparent substrate on which the photosensitive resin film is provided, and drying the coated composition. And (IV) peeling off or developing both the unnecessary photosensitive resin film and the unnecessary colored paint film on the transparent substrate so that the desired colored paint film is formed only in the openings of the photosensitive resin film. From the process of leaving , Providing the (I) ~ forming method of the color pattern for a color filter by repeating a required number of times the steps of (IV). Further, the present invention provides
A positive-type photosensitive resin solution is used as the photosensitive resin solution, and the surface of the transparent substrate provided with the colored coating film before the step (IV) and / or the surface provided with the colored coating film of the transparent substrate and vice versa. The present invention provides a method for forming a colored pattern for a color filter in which the entire surface is exposed from both sides.
According to the method of the present invention, a high-resolution, high-definition, high-contrast, and high-brightness color filter can be provided by using a high-sensitivity photosensitive resin and a high-pigment-colored paint.

【0006】本発明以外にも、感光性樹脂を用いたフォ
トリソグラフィー法によってカラーフィルターを製造す
る方法が従来行われている。これは、基板上に感光性樹
脂被膜を形成し、着色層を形成するためにパターニング
(露光および現像)して、基板の一部を露出させ、そこ
へ着色塗料を適当な方法で塗布し、不要な感光性樹脂被
膜を剥離(現像)することで所望の着色層を所定の位置
に形成する方法である。しかしながら、この従来の製法
は、製造工程数が多いために生産面において不利であ
り、また、プロセス面でも、感光性樹脂被膜の剥離(現
像)工程において、露光不足または着色塗料被膜との接
触混和によって生じる剥離(現像)不良、並びにそれに
よるパターン精度の不良および白ヌケ(必要部における
着色塗料被膜の剥がれ)等の問題点があった。これらの
問題点は、露光量を増やしたり、感光性樹脂被膜の剥離
液および剥離条件を強化することで対処し得るが、それ
によって、更に、所望の着色パターン層の溶解および/
または剥離並びにパターンの直線性不良が発生すること
があった。
In addition to the present invention, a method of manufacturing a color filter by a photolithography method using a photosensitive resin has been conventionally performed. This involves forming a photosensitive resin film on a substrate, patterning (exposure and development) to form a colored layer, exposing a portion of the substrate, applying a colored paint to the substrate by an appropriate method, In this method, a desired colored layer is formed at a predetermined position by removing (developing) an unnecessary photosensitive resin film. However, this conventional manufacturing method is disadvantageous in terms of production due to the large number of manufacturing steps. In addition, in the process step, in the step of peeling (developing) the photosensitive resin film, insufficient exposure or contact mixing with the colored paint film is required. There are problems such as peeling (development) failure, poor pattern accuracy and white spots (peeling of the colored paint film in necessary portions) caused by the peeling (development). These problems can be dealt with by increasing the exposure dose or strengthening the stripping solution and stripping conditions for the photosensitive resin film, thereby further dissolving and / or dissolving the desired colored pattern layer.
Alternatively, peeling and poor linearity of the pattern may occur.

【0007】本発明は、上記のような従来のフォトリソ
グラフィー法における問題点を克服し、更に高性能のカ
ラーフィルターを提供するものである。
The present invention overcomes the problems of the conventional photolithography method as described above and provides a high-performance color filter.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】本発明において使用される感光性
樹脂組成物溶液は、当業者に既知のポジ型またはネガ型
のいずれかの感光性樹脂組成物溶液であってよく、好ま
しくは、ポジ型感光性樹脂組成物である。着色パターン
層を形成するために、感光性樹脂が塗布されるが、該樹
脂は、その後の工程において剥離されるため、管理マー
ジン(具体的には、塗布条件、露光条件等の工程管理お
よび液管理)を幅広く設定することができる。本発明の
方法で使用する感光性樹脂組成物は、ポジ型の場合、逐
次露光性は、必ずしも必要ではないが、逐次露光性があ
ってもよい。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The photosensitive resin composition solution used in the present invention may be either a positive type or a negative type photosensitive resin composition solution known to those skilled in the art. It is a type photosensitive resin composition. In order to form a colored pattern layer, a photosensitive resin is applied. However, since the resin is peeled off in a subsequent step, a control margin (specifically, process control such as application conditions and exposure conditions and liquid control) are performed. Management) can be set widely. When the photosensitive resin composition used in the method of the present invention is of a positive type, sequential exposure is not necessarily required, but may be sequential.

【0009】本発明の方法では、好ましくは、現像およ
び/または剥離条件における作業性に優れかつ解像度の
高いナフトキノンジアジド系感光性樹脂組成物が用いら
れる。
In the method of the present invention, a naphthoquinonediazide-based photosensitive resin composition having excellent workability under development and / or peeling conditions and high resolution is preferably used.

【0010】本発明では、感光性樹脂被膜上で着色塗料
組成物をはじかせて、不均一な着色塗料被膜を形成する
ことによって、光透過性を高めたり、感光性樹脂用剥離
液の浸透を促進したりすることができる。このような不
均一な着色塗料被膜の形成は、感光性樹脂溶液への表面
調整剤の添加、および/または表面調整剤による感光性
樹脂組成物の化学変性等の表面改質によって達成でき
る。表面調整剤としては、シリコーン樹脂系添加剤、フ
ッ素樹脂系添加剤、および一般に市販されている界面活
性剤が挙げられる。
In the present invention, the colored coating composition is repelled on the photosensitive resin film to form a nonuniform colored coating film, so that the light transmittance is increased and the penetration of the stripping solution for the photosensitive resin is prevented. Can be promoted. The formation of such a non-uniform colored paint film can be achieved by adding a surface conditioner to the photosensitive resin solution and / or by surface modification such as chemical modification of the photosensitive resin composition by the surface conditioner. Examples of the surface conditioner include silicone resin-based additives, fluororesin-based additives, and generally commercially available surfactants.

【0011】本発明で使用する着色塗料組成物は、熱硬
化性または光硬化性であり、熱硬化性の場合はバインダ
ー樹脂および熱硬化剤を含み、また光硬化性の場合はバ
インダー樹脂、光重合開始剤、および重合可能な不飽和
結合を有するモノマーを含み得る。バインダー樹脂とし
ては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエス
テル樹脂、ウレタン樹脂、およびアミノ樹脂等の従来公
知の樹脂のいずれであってもよい。熱硬化剤としては、
例えば、メラミン、エポキシ、ブロックイソシアナート
化合物等、従来公知のものが挙げられ、それらを単独で
あるいは混合して使用してよい。光重合開始剤として
は、例えば、ベンゾインエーテル系、ベンジルケタール
系、アセトフェノン系、ホスフィンオキサイド系、ベン
ゾフェノン系、およびチオキサントン系の各化合物、並
びに必要に応じて有機アミン系光重合促進剤等の従来公
知のものが挙げられ、それらを単独であるいは混合して
使用してよい。重合可能な不飽和結合を有するモノマー
としては、上記の化合物と同様に従来公知の化合物、具
体的には、多官能(メタ)アクリレート[例えば、ポリ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチ
ロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリ
スリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリ
トールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリト
ールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタ(メタ)アクリレート、トリス(2−アクリ
ロイルオキシエチル)イソシアヌレート等]が例示さ
れ、それらを単独であるいは混合して使用してよい。本
発明に使用される着色塗料組成物において、熱硬化性の
場合には、バインダー樹脂配合量は固形分で2〜15重
量%、熱硬化剤は1〜5重量%であり、光硬化性の場合
には、バインダー樹脂量は、固形分で1〜15重量%、
光重合開始剤は0.01〜5重量%、重合可能なモノマ
ーは1〜15重量%である。また、必要に応じて光硬化
性組成物中に熱硬化剤を0〜5重量%の範囲内で加える
ことにより、熱硬化性を付与してもよい。
The colored coating composition used in the present invention is thermosetting or photocurable, and contains a binder resin and a thermosetting agent in the case of thermosetting, and a binder resin and a photocuring agent in the case of photocuring. It may include a polymerization initiator and a monomer having a polymerizable unsaturated bond. As the binder resin, for example, any of conventionally known resins such as an acrylic resin, an epoxy resin, a polyester resin, a urethane resin, and an amino resin may be used. As a thermosetting agent,
For example, conventionally known compounds such as melamine, epoxy and block isocyanate compounds may be mentioned, and these may be used alone or in combination. As the photopolymerization initiator, for example, conventionally known compounds such as benzoin ether-based, benzyl ketal-based, acetophenone-based, phosphine oxide-based, benzophenone-based, and thioxanthone-based compounds, and if necessary, an organic amine-based photopolymerization accelerator and the like. And these may be used alone or as a mixture. As the monomer having a polymerizable unsaturated bond, similarly to the above compound, a conventionally known compound, specifically, a polyfunctional (meth) acrylate [for example, polyethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri ( Meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, tris (2-acryloyloxyethyl) isocyanurate, etc. Illustrated, they may be used alone or in combination. In the coloring coating composition used in the present invention, in the case of thermosetting, the compounding amount of the binder resin is 2 to 15% by weight in solid content, the thermosetting agent is 1 to 5% by weight, In this case, the amount of the binder resin is 1 to 15% by weight on a solid basis,
The photopolymerization initiator is 0.01 to 5% by weight, and the polymerizable monomer is 1 to 15% by weight. Further, if necessary, a thermosetting agent may be added to the photocurable composition in the range of 0 to 5% by weight to impart thermosetting properties.

【0012】着色塗料組成物は、上記配合物以外に、顔
料、溶媒(例えば、有機溶剤、水)、および通常使用さ
れる従来公知の添加剤を適宜配合して調製される。着色
塗料組成物中の顔料濃度は、いずれの色(黒、赤、青、
緑等)の顔料においても、3〜30重量%の範囲が好ま
しい。その他の添加剤の配合量は合わせて、着色塗料組
成物中0.01〜5重量%であり得る。
The colored coating composition is prepared by appropriately blending a pigment, a solvent (for example, an organic solvent, water), and a conventionally known additive which is usually used, in addition to the above-mentioned blend. The pigment concentration in the colored coating composition can be any color (black, red, blue,
For example, the pigment of (green) is preferably in the range of 3 to 30% by weight. The combined amount of other additives may be from 0.01 to 5% by weight in the colored coating composition.

【0013】本発明で使用する着色塗料組成物は、好ま
しくは、塗料の安定性、耐光性、および耐薬品性等の塗
膜性能が得られ易いため、水性アクリル樹脂系塗料組成
物が用いられる。
The colored coating composition used in the present invention is preferably an aqueous acrylic resin-based coating composition because the coating properties such as coating stability, light resistance, and chemical resistance are easily obtained. .

【0014】本発明の方法では、感光性樹脂組成物と着
色塗料組成物を、随意に組み合わせることができ、着色
塗料組成物は、顔料濃度および不揮発分などの組成を、
目的に応じて変えることができる。そのため、本発明
は、幅広い用途および目的に対応し得るカラーフィルタ
ーの製造方法であると考えられる。
In the method of the present invention, the photosensitive resin composition and the colored coating composition can be optionally combined, and the colored coating composition has a composition such as a pigment concentration and a nonvolatile content.
It can be changed according to the purpose. Therefore, the present invention is considered to be a method for producing a color filter that can respond to a wide range of uses and purposes.

【0015】さらに、本発明の方法を、添付した図面を
参照しながらより詳細に説明する。
Further, the method of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

【0016】図1および2は、本発明の方法によるカラ
ーフィルターの製造工程図を表している。
FIGS. 1 and 2 show a process of manufacturing a color filter according to the method of the present invention.

【0017】図1の(A)は、透明基板1上にポジ型感
光性樹脂被膜2を形成する本発明の工程(I)を図示し
ている。
FIG. 1A shows a step (I) of the present invention for forming a positive photosensitive resin film 2 on a transparent substrate 1.

【0018】本発明の方法において用いられる透明基板
1としては、ガラス、プラスチック等のカラーフィルタ
ー用として従来公知の透明な基板が挙げられる。
As the transparent substrate 1 used in the method of the present invention, a conventionally known transparent substrate for a color filter such as glass and plastic can be used.

【0019】通常の方法において、上記基板を洗浄剤で
洗浄し、水洗、乾燥した後、基板の全面または一部に、
感光性樹脂被膜の乾燥膜厚が所望の着色パターン層の膜
厚になるように調製でき、好ましくは5μm以下、特に
0.5〜3.0μmになるようにポジ型感光性樹脂組成物
を塗布する。基板に感光性樹脂組成物を塗布する方法
は、スピンコート法、スプレー法、フローコート法等の
いずれの方法であってもよく、適当な乾燥条件下(例え
ば、70〜120℃で5〜20分間)において、含まれ
る溶剤を蒸発させることにより、感光性樹脂被膜を形成
する。
In a usual method, the above substrate is washed with a cleaning agent, washed with water, and dried.
The positive photosensitive resin composition can be applied so that the dry thickness of the photosensitive resin film can be adjusted to a desired thickness of the colored pattern layer, and is preferably 5 μm or less, particularly 0.5 to 3.0 μm. I do. The method of applying the photosensitive resin composition to the substrate may be any method such as a spin coating method, a spray method, and a flow coating method, and is performed under appropriate drying conditions (for example, 5 to 20 at 70 to 120 ° C.). ), The solvent contained therein is evaporated to form a photosensitive resin film.

【0020】図1の(B)〜(C)は、第1着色パター
ン層部位に対応したパターンを有するマスク3を介し
て、感光性樹脂被膜2を露光し、次いで現像することに
より、所望のパターンに対応したポジ型感光性樹脂開口
部を設けて前記透明基板の一部を露出させる本発明の工
程(II)を示している。露光および現像条件は、使用す
る感光性樹脂組成物によって変化できる。好ましい露光
条件は、感光性樹脂組成物の感光波長域を有する光源
(例えば、超高圧水銀ランプ)を用いて露光量:50〜
1000mJ/cm2の範囲で、従来公知の方法を適用
して行ってよい。また、好ましい現像条件は、現像液:
0.1〜3.0%有機アミン水溶液を用いて、現像条件:
10〜40℃、30〜150秒間で、従来公知の方法
(例えば、スプレー法および/または浸漬法)により行
ってよい。
FIGS. 1B to 1C show a case where the photosensitive resin film 2 is exposed to light via a mask 3 having a pattern corresponding to the first colored pattern layer portion and then developed to obtain a desired pattern. The step (II) of the present invention in which a positive photosensitive resin opening corresponding to a pattern is provided to expose a part of the transparent substrate is shown. Exposure and development conditions can be changed depending on the photosensitive resin composition used. Preferred exposure conditions are as follows: Exposure amount: 50 to 50% using a light source having a photosensitive wavelength range of the photosensitive resin composition (for example, an ultrahigh pressure mercury lamp)
It may be performed in a range of 1000 mJ / cm 2 by applying a conventionally known method. Further, preferred development conditions are as follows:
Development conditions using 0.1 to 3.0% organic amine aqueous solution:
It may be performed at 10 to 40 ° C. for 30 to 150 seconds by a conventionally known method (for example, a spray method and / or a dipping method).

【0021】好ましくは、現像後、20〜120℃で5
〜60分間乾燥する。
Preferably, after development, at 20 to 120 ° C., 5
Dry for ~ 60 minutes.

【0022】図1の(D)は、透明基板の全面または一
部に第1着色塗料組成物を塗布し、乾燥することによ
り、第1着色塗料被膜4を形成する本発明の工程(II
I)を示している。基板に着色塗料組成物を塗布する方
法は、スピンコート法、フローコート法、ロールコート
法等のいずれの方法であってもよく、適当な乾燥条件下
(例えば、50〜150℃で5〜20分間)において、
含まれる溶剤を蒸発させることにより、着色塗料被膜を
形成する。感光性被膜上の着色塗料被膜の乾燥膜厚は、
光透過性および剥離液の浸透性の点で薄い程良く、でき
るだけ薄膜になるように塗布され、平均3μm以下が好
ましい。その膜厚は、塗布方法の限界塗布膜厚および膜
厚分布に左右されるため、塗料組成物の調製段階におい
て、適宜調整できる。
FIG. 1D shows the step (II) of the present invention in which the first colored coating composition is applied to the entire surface or a part of the transparent substrate and dried to form the first colored coating film 4.
I). The method of applying the colored coating composition to the substrate may be any method such as a spin coating method, a flow coating method, and a roll coating method, and may be performed under appropriate drying conditions (for example, 5 to 20 ° C. at 50 to 150 ° C.). Minutes)
By evaporating the contained solvent, a colored paint film is formed. The dry film thickness of the colored paint film on the photosensitive film is
The thinner the better, the better in terms of light transmittance and permeability of the stripping solution. The coating is performed so as to be as thin as possible. Since the film thickness depends on the critical coating film thickness and the film thickness distribution of the coating method, it can be appropriately adjusted at the stage of preparing the coating composition.

【0023】図1の(E)〜(F)は、透明基板の第1
着色塗料被膜4を設けた面および/またはその反対の面
から全面露光した後、現像することにより、前記感光性
樹脂開口部にのみ所望の着色塗料被膜を残した第1着色
パターン層5を形成する本発明の工程(IV)を図示し
ている。この着色パターン層5は、例えば、着色塗料が
黒色の場合には、ブラックマトリックス(BM)層を表
す。ここで用いられる全面露光用光源としては、UV領
域の光を発生する光源(例えば、高圧水銀灯)が用いら
れ、基板の感光性樹脂被膜を有する面用の光源と、その
反対の面用の光源は、同一のものでなくてもよい。この
場合の全面露光量は、基板の感光性樹脂被膜を有する面
およびそれとは反対の面の両側からの露光量を合わせ
て、200〜1000mJ/cm2の範囲が好ましい。
あるいは、全面露光は、基板の感光性樹脂被膜を有する
面のみから、200〜1000mJ/cm2の範囲の露
光量で行ってよい。
FIGS. 1E to 1F show a first example of a transparent substrate.
After the entire surface is exposed from the surface provided with the colored paint film 4 and / or the opposite surface, development is performed to form the first colored pattern layer 5 leaving the desired colored paint film only in the photosensitive resin opening. FIG. 4 illustrates the step (IV) of the present invention. The colored pattern layer 5 represents a black matrix (BM) layer when the colored paint is black, for example. A light source (for example, a high-pressure mercury lamp) that generates light in the UV region is used as a light source for the entire surface exposure used here, and a light source for a surface having a photosensitive resin film on a substrate and a light source for the opposite surface are used. Need not be the same. In this case, the total amount of exposure is preferably in the range of 200 to 1000 mJ / cm 2 , including the amount of exposure from both sides of the surface of the substrate having the photosensitive resin film and the opposite surface.
Alternatively, the entire surface exposure may be performed at an exposure amount in the range of 200 to 1000 mJ / cm 2 only from the surface of the substrate having the photosensitive resin film.

【0024】図1の(G)〜(K)は、上記図1の
(A)〜(F)を繰り返すことによる第2着色パターン
層7の形成工程を示している。第2着色塗料被膜6およ
び第2着色パターン層7の形成条件およびその乾燥膜厚
については、上記第1着色塗料被膜4および第1着色パ
ターン層5と同様であってよい。その後、所望の着色パ
ターンが得られるまで、上記(A)〜(F)の方法を必
要回数繰り返すことにより、着色パターン層8および9
それぞれを形成し、高品質の着色画素パターンを有する
カラーフィルター10を作製する(図1(L))。各着
色パターン層の厚さはそれぞれ、第1着色パターン5と
同様に、光透過性等の観点から、3μm以下が好まし
い。
FIGS. 1G to 1K show the steps of forming the second colored pattern layer 7 by repeating the steps shown in FIGS. 1A to 1F. The conditions for forming the second colored paint film 6 and the second colored pattern layer 7 and the dry film thickness thereof may be the same as those of the first colored paint film 4 and the first colored pattern layer 5. Thereafter, the above-mentioned methods (A) to (F) are repeated as many times as necessary until a desired colored pattern is obtained, whereby the colored pattern layers 8 and 9 are repeated.
Each is formed, and a color filter 10 having a high-quality colored pixel pattern is manufactured (FIG. 1 (L)). Like the first colored pattern 5, the thickness of each colored pattern layer is preferably 3 μm or less from the viewpoint of light transmittance and the like.

【0025】この着色パターンを、最後に、従来公知の
方法で250℃で1時間焼成することにより、液晶表示
用カラーフィルター10が提供される。
This color pattern is finally baked at 250 ° C. for 1 hour by a conventionally known method to provide a color filter 10 for liquid crystal display.

【0026】図2には、本発明のもう一つの方法による
着色パターンの形成手順を示している。図2の(a)〜
(c)は、上記図1の(A)〜(C)と同様に、第1着
色パターン層部位に対応したパターンを有するマスク2
3を介して、ポジ型の感光性樹脂被膜22を露光し、次
いで現像することにより、所望のパターンに対応した感
光性樹脂開口部を設けて前記透明基板の一部を露出させ
る本発明の工程(I)〜(II)を表している。感光性樹
脂被膜の乾燥膜厚は、好ましくは5μm以下、特に0.
5〜3.0μmの範囲であってよい。
FIG. 2 shows a procedure for forming a colored pattern according to another method of the present invention. FIG.
(C) shows a mask 2 having a pattern corresponding to the first colored pattern layer portion, as in (A) to (C) of FIG.
Step 3 of the present invention in which the positive photosensitive resin film 22 is exposed through 3 and then developed to provide a photosensitive resin opening corresponding to a desired pattern to expose a part of the transparent substrate. (I) to (II) are shown. The dry film thickness of the photosensitive resin film is preferably 5 μm or less, particularly preferably 0.1 μm or less.
It may be in the range of 5 to 3.0 μm.

【0027】次に、図2の(d)は、第1着色塗料24
を塗布する前に、基板21をポジ型の感光性樹脂被膜2
2を設けた面およびそれと反対の面の両側から全面露光
する本発明の任意の工程を示している。ここで用いる全
面露光用光源としては、前記図1の(E)〜(F)にお
いて挙げたものがいずれも用ることができる。着色塗料
を塗布する前に基板を全面露光することにより、露光不
良の減少、露光時間の短縮、およびそれによるランプの
交換回数の低減等の利点が生じる。この場合の全面露光
量は、基板の感光性樹脂被膜を有する面およびそれとは
反対の面の両側からの露光量を合わせて、100〜60
0mJ/cm2の範囲が好ましい。あるいは、全面露光
は、基板の感光性樹脂被膜を有する面のみから、100
〜600mJ/cm2の範囲の露光量で行ってよい。
Next, FIG. 2D shows the first colored paint 24.
Before applying, the substrate 21 is coated with the positive photosensitive resin film 2.
2 shows an optional step of the present invention in which the entire surface is exposed from both sides of the surface provided with 2 and the opposite surface. As the light source for full-surface exposure used here, any of the light sources shown in FIGS. 1E to 1F can be used. By exposing the entire surface of the substrate before applying the coloring paint, advantages such as a reduction in exposure failure, a reduction in exposure time, and a reduction in the number of lamp replacements are thereby achieved. In this case, the total exposure amount is 100 to 60 in total, including the exposure amounts from both sides of the surface of the substrate having the photosensitive resin film and the opposite surface.
A range of 0 mJ / cm 2 is preferred. Alternatively, the entire surface exposure is performed only from the surface of the substrate having the photosensitive resin film by 100%.
It may be performed with an exposure amount ranging from ~600mJ / cm 2.

【0028】その後、図2の(e)〜(f)で示される
ように、透明基板の全面または一部に第1着色塗料組成
物を塗布し、乾燥することにより、第1着色塗料被膜2
4を形成した後、現像することにより、前記感光性樹脂
開口部にのみ第1着色塗料被膜を残した第1着色パター
ン層25を形成することができる(本発明の工程(ii
i)〜(iv))。この場合の着色塗料被膜の形成条件お
よび乾燥膜厚は、上記図1と同様であってよい。
Thereafter, as shown in FIGS. 2E to 2F, the first colored coating composition is applied to the entire surface or a part of the transparent substrate and dried to form the first colored coating film 2.
After forming 4, the first colored pattern layer 25 with the first colored paint film left only in the photosensitive resin opening can be formed by developing (step (ii) of the present invention).
i) to (iv)). In this case, the formation conditions and the dry film thickness of the colored paint film may be the same as those in FIG.

【0029】次に、図2の(g)〜(k)は、上記図2
の(a)〜(f)を繰り返すことによる第2着色パター
ン層27の形成工程を示している。第2着色塗料被膜2
6および第2着色パターン層27の形成条件およびその
乾燥膜厚については、上記第1着色塗料被膜24および
第1着色パターン層25と同様であってよい。その後、
所望の着色パターンが得られるまで、上記(a)〜
(f)の方法を必要回数繰り返すことにより、着色パタ
ーン層28および29それぞれを形成し、高品質の着色
画素パターンを有するカラーフィルター30を作製する
(図2の(l))。各着色パターン層の厚さはそれぞ
れ、上記図1において述べたように、3μm以下が好ま
しい。
Next, (g) to (k) of FIG.
2A to 2F are repeated to form a second colored pattern layer 27. Second colored paint film 2
The conditions for forming the sixth colored pattern layer 27 and the dry film thickness thereof may be the same as those of the first colored paint film 24 and the first colored pattern layer 25 described above. afterwards,
Until a desired coloring pattern is obtained, the above (a) to
By repeating the method (f) a required number of times, the colored pattern layers 28 and 29 are formed, and the color filter 30 having a high-quality colored pixel pattern is manufactured ((l) in FIG. 2). As described in FIG. 1, the thickness of each colored pattern layer is preferably 3 μm or less.

【0030】これを、最後に、図1について記載したの
と同様に、250℃で1時間焼成することにより、液晶
表示用カラーフィルターが提供される。
This is finally fired at 250 ° C. for 1 hour as described with reference to FIG. 1 to provide a color filter for liquid crystal display.

【0031】本発明においてネガ型感光性樹脂組成物を
使用する場合には、図1の(E)および(J)、並びに
図2の(d)および(i)で表した全面露光を行わず、
かつ図1の(F)および(K)、並びに図2の(f)お
よび(k)において、透明基板上の不要の感光性樹脂被
膜と不要の着色塗料被膜を、現像する代わりに剥離剤を
用いて剥離する。その際に使用する剥離剤としては、無
機アルカリ水溶液、有機アミン水溶液、および水溶性溶
剤の混合液が挙げられる。
When the negative photosensitive resin composition is used in the present invention, the entire surface exposure shown in FIGS. 1E and 1J and FIGS. 2D and 2I is not performed. ,
1 (F) and 1 (K) and FIGS. 2 (f) and 2 (k), a release agent is used instead of developing an unnecessary photosensitive resin film and an unnecessary colored paint film on a transparent substrate. And peel off. Examples of the release agent used at that time include a mixture of an aqueous solution of an inorganic alkali, an aqueous solution of an organic amine, and a water-soluble solvent.

【0032】[0032]

【実施例】以下に実施例を用いて本発明を説明するが、
本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
The present invention will be described below with reference to examples.
The present invention is not limited to the following examples.

【0033】実施例1 本発明の方法に従って、カラーフィルターを製造した。手順(1) 洗浄したガラス基板(寸法:400×500×0.7m
m)にポジ型感光性樹脂溶液(フォトED−P−200
0:日本ペイント製)をスピンコーターを用いて塗布
し、100℃で10分間乾燥してポジ型感光性樹脂被膜
を得た。接触式膜厚測定機(DEKTAK−3030S
T:日本真空技術製)を用いて、基板の所定の位置(1
0カ所)の該被膜の乾燥膜厚を測定した。結果は、1.
8±0.3μmであった。
Example 1 A color filter was manufactured according to the method of the present invention. Procedure (1) Washed glass substrate (dimensions: 400 × 500 × 0.7 m)
m) in a positive photosensitive resin solution (Photo ED-P-200)
0: Nippon Paint Co., Ltd.) was applied using a spin coater and dried at 100 ° C. for 10 minutes to obtain a positive photosensitive resin film. Contact type film thickness measuring machine (DEKTAK-3030S
T: manufactured by Nippon Vacuum Technology) at a predetermined position (1
(0 places), the dry film thickness of the film was measured. The result is 1.
It was 8 ± 0.3 μm.

【0034】この基板を、画素部が遮光されたマスクを
介して、露光機(MAP−1200L:大日本スクリー
ン製)を用い、露光量150mJ/cm2で露光した
後、相対湿度55%において5分間放置した。次いで、
1.0%ジメチルエタノールアミン水溶液中、20℃で
1分間現像処理した後、洗浄し、次に100℃で10分
間乾燥して、所定のパターン形状に対応した開口部を設
けて基板の一部を露出させた。
After exposing this substrate at an exposure amount of 150 mJ / cm 2 using an exposure machine (MAP-1200L: manufactured by Dainippon Screen) through a mask in which the pixel portion is shielded from light, the substrate was exposed to light at 55% relative humidity. Let stand for minutes. Then
After developing in a 1.0% dimethylethanolamine aqueous solution at 20 ° C. for 1 minute, washing, and then drying at 100 ° C. for 10 minutes, an opening corresponding to a predetermined pattern shape is provided to form a part of the substrate. Was exposed.

【0035】手順(2) 次に、黒色の水性樹脂塗料(エクセリードBK−130
0:日本ペイント製)を、感光性樹脂被膜の上にスピン
コーターで塗布した後、110℃で10分間乾燥して、
乾燥膜厚1.6±0.3μm(ただし、基板露出部の着色
塗料被膜の乾燥膜厚2.0±0.3μm)の被膜を得た。
Procedure (2) Next, a black aqueous resin paint (Excellead BK-130)
0: Nippon Paint Co., Ltd.) was applied on the photosensitive resin film with a spin coater, and then dried at 110 ° C. for 10 minutes.
A film having a dry film thickness of 1.6 ± 0.3 μm (however, a dry film thickness of the colored paint film of the exposed portion of the substrate of 2.0 ± 0.3 μm) was obtained.

【0036】これを、上記と同様にして、基板の着色塗
料被膜を有する面およびその反対の面から合わせて露光
量400mJ/cm2で全面露光した後、1.0%ジメチ
ルエタノールアミン水溶液中、30℃で2分間剥離処理
して、不要な感光性樹脂被膜と不要な黒色塗膜を一緒
に、完全に剥離した。水洗後、黒色パターン層を形成し
た基板を160℃で10分間乾燥し、黒色の遮光パター
ン層(ブラックマトリックス層)を得た。
This was entirely exposed in the same manner as described above from the surface having the colored coating film on the substrate and the opposite surface at an exposure amount of 400 mJ / cm 2 , and then exposed to a 1.0% dimethylethanolamine aqueous solution. By peeling at 30 ° C. for 2 minutes, the unnecessary photosensitive resin film and the unnecessary black coating film were completely peeled off together. After washing with water, the substrate on which the black pattern layer was formed was dried at 160 ° C. for 10 minutes to obtain a black light-shielding pattern layer (black matrix layer).

【0037】手順(3) 次に、この黒色の遮光パターン層を形成した基板上に、
手順(1)と同様の感光性樹脂溶液を、手順(1)と同
様の方法で塗布、露光、および現像して、上記の黒色と
は異なる色の画素部分に対応する開口部を設けて基板の
一部を露出させた。次いで、手順(2)と同様にして、
赤色の水性樹脂塗料(エクセリードR−1300:日本
ペイント製)を、基板露出部の乾燥膜厚が黒色の遮光パ
ターン層とほぼ等しくなるように、塗布し、露光および
現像した後、乾燥させて、赤色の画素パターン層を得
た。
Step (3) Next, on the substrate on which the black light-shielding pattern layer is formed,
The same photosensitive resin solution as in step (1) is applied, exposed, and developed in the same manner as in step (1) to provide an opening corresponding to the pixel portion of a color different from the above black, and Part of was exposed. Then, in the same manner as in the procedure (2),
A red aqueous resin paint (EXERID R-1300: manufactured by Nippon Paint) is applied so that the dry film thickness of the exposed portion of the substrate is substantially equal to the black light-shielding pattern layer, exposed and developed, and then dried. Thus, a red pixel pattern layer was obtained.

【0038】手順(4) その後、緑色の水性塗料(エクセリードG−1200:
日本ペイント製)、次いで青色の水性塗料(エクセリー
ドB−1300:日本ペイント製)を用い、手順(3)
を繰り返すことで、緑色および青色の画素パターン層を
形成した。
Procedure (4) Then, a green water-based paint (Excelid G-1200:
Using Nippon Paint) and a blue water-based paint (Exelead B-1300: Nippon Paint), the procedure (3)
Were repeated to form green and blue pixel pattern layers.

【0039】手順(5) 上記で形成された黒色遮光パターン層と3色(赤色、緑
色、および青色)の画素パターン層を有する基材を、最
後に、250℃で1時間焼成した。
Procedure (5) The substrate having the black light-shielding pattern layer and the three-color (red, green, and blue) pixel pattern layers formed above was finally fired at 250 ° C. for 1 hour.

【0040】最終的に、赤色、緑色、青色の画素パター
ン層の膜厚はそれぞれ、赤:1.2±0.2μm、緑:
1.3±0.1μm、青:1.3±0.1μmであった。画
素周辺の黒色の遮光パターン層の膜厚は、1.1±0.1
μmであった。この製造されたブラックマトリックス層
の光学濃度(OD値)は4.3であった。
Finally, the thicknesses of the red, green and blue pixel pattern layers are respectively red: 1.2 ± 0.2 μm, green:
1.3 ± 0.1 μm, blue: 1.3 ± 0.1 μm. The thickness of the black light-shielding pattern layer around the pixel is 1.1 ± 0.1.
μm. The optical density (OD value) of the produced black matrix layer was 4.3.

【0041】実施例2 実施例1で用いた感光性樹脂組成物、並びに黒色、赤
色、緑色、および青色の着色塗料組成物を用いて、以下
の手順に従って、カラーフィルターを作製した。手順(1) 実施例1の手順(1)と同様にして、ガラス基板(寸
法:400×500×0.7mm)上に、所定のパター
ン形状で基板の一部に開口部を設けて基板を露出させた
ポジ型感光性樹脂被膜(乾燥膜厚1.5±0.2μm)を
形成した。
Example 2 Using the photosensitive resin composition used in Example 1 and the black, red, green, and blue colored coating compositions, a color filter was prepared according to the following procedure. Procedure (1) In the same manner as in procedure (1) of Example 1, an opening is provided in a part of the substrate in a predetermined pattern shape on a glass substrate (dimensions: 400 × 500 × 0.7 mm) to form the substrate. An exposed positive photosensitive resin film (dry film thickness: 1.5 ± 0.2 μm) was formed.

【0042】手順(2) 次に、実施例1の手順(2)と同様にして、基板の表面
および裏面から合わせて露光量250mJ/cm2で全
面露光した後、黒色の水性樹脂塗料を感光性樹脂被膜の
上にスピンコーターで塗布し、110℃で10分間乾燥
することで、乾燥膜厚1.5±0.5μm(ただし、基板
露出部の着色塗料被膜の乾燥膜厚1.8±0.2μm)の
被膜を得た。
Procedure (2) Next, in the same manner as in Procedure (2) of Example 1, the entire surface was exposed at an exposure amount of 250 mJ / cm 2 from the front and back surfaces of the substrate. A dry film thickness of 1.5 ± 0.5 μm (provided that the dry film thickness of the colored coating film on the exposed portion of the substrate is 1.8 ± 1 μm) is coated on the conductive resin film with a spin coater and dried at 110 ° C. for 10 minutes. 0.2 μm).

【0043】これを、0.5%ジメチルエタノールアミ
ン水溶液中、30℃で2分間剥離処理して、不要な感光
性樹脂被膜と不要な黒色塗膜を一緒に、完全に剥離し
た。水洗後、黒色パターン層を形成した基板を160℃
で10分間乾燥し、黒色の遮光パターン層(ブラックマ
トリックス層)を得た。
This was peeled off in a 0.5% aqueous solution of dimethylethanolamine at 30 ° C. for 2 minutes to completely peel off the unnecessary photosensitive resin film and unnecessary black film together. After washing with water, the substrate on which the black pattern layer was formed was heated to 160 ° C.
For 10 minutes to obtain a black light-shielding pattern layer (black matrix layer).

【0044】手順(3) 次に、この黒色の遮光パターン層を形成した基板上に、
上記手順(I)〜(II)を繰り返すことで、赤色、緑
色、および青色の着色塗料被膜を形成した。
Step (3) Next, on the substrate on which the black light-shielding pattern layer is formed,
By repeating the above procedures (I) to (II), red, green, and blue colored paint films were formed.

【0045】手順(4) 上記で形成された黒色遮光パターン層と3色(赤色、緑
色、および青色)の画素パターン層を有する基材を、最
後に、250℃で1時間焼成した。
Procedure (4) The substrate having the black light-shielding pattern layer and the three-color (red, green, and blue) pixel pattern layers formed above was finally fired at 250 ° C. for one hour.

【0046】最終的に、赤色、緑色、青色の画素パター
ン層の膜厚はそれぞれ、赤:1.25±0.2μm、緑:
1.3±0.1μm、青:1.2±0.2μmであった。画
素周辺の黒色の遮光パターン層の膜厚は、1.0±0.1
μmであった。この製造されたブラックマトリックス層
の光学濃度(OD値)は3.9であった。
Finally, the thicknesses of the red, green, and blue pixel pattern layers are respectively red: 1.25 ± 0.2 μm, green:
1.3 ± 0.1 μm, blue: 1.2 ± 0.2 μm. The thickness of the black light-shielding pattern layer around the pixel is 1.0 ± 0.1.
μm. The optical density (OD value) of the produced black matrix layer was 3.9.

【0047】[0047]

【発明の効果】本発明の方法によれば、高感度の感光性
樹脂と顔料濃度の高い着色塗料を用いて、高精細、並び
に画素の色特性およびコントラストに優れたカラーフィ
ルターが再現性良く製造できる。
According to the method of the present invention, a color filter having high definition and excellent color characteristics and contrast of pixels can be manufactured with good reproducibility by using a photosensitive resin having high sensitivity and a coloring paint having a high pigment concentration. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の方法においてポジ型感光性樹脂組成
物を用いた場合のカラーフィルター用着色パターン層の
製造工程図を表す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a colored pattern layer for a color filter when a positive photosensitive resin composition is used in the method of the present invention.

【図2】 本発明の方法においてポジ型感光性樹脂組成
物を用いた場合のカラーフィルター用着色パターン層の
製造工程図を表す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a manufacturing process of a color filter colored pattern layer when a positive photosensitive resin composition is used in the method of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…透明基板、2…感光性樹脂被膜、3…フォトマス
ク、4…第1着色塗料被膜、5…第1着色パターン層、
6…第2着色塗料被膜、7…第2着色パターン層、8…
第3着色パターン層、9…第x着色パターン層、10…
カラーフィルター、21…基板、22…感光性樹脂被
膜、23…フォトマスク、24…第1着色塗料被膜、2
5…第1着色パターン層、26…第2着色塗料被膜、2
7…第2着色パターン層、28…第3着色パターン層、
29…第x着色パターン層、30…カラーフィルター。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transparent substrate, 2 ... Photosensitive resin film, 3 ... Photomask, 4 ... First colored paint film, 5 ... First colored pattern layer,
6 ... second colored paint film, 7 ... second colored pattern layer, 8 ...
3rd colored pattern layer, 9 ... xth colored pattern layer, 10 ...
Color filter, 21: substrate, 22: photosensitive resin film, 23: photomask, 24: first colored paint film, 2
5: first colored pattern layer, 26: second colored paint film, 2
7 ... second colored pattern layer, 28 ... third colored pattern layer,
29: x-th colored pattern layer, 30: color filter.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (I)透明基板の一方の面の全面または
一部に感光性樹脂組成物溶液を塗布し、乾燥することに
より、感光性樹脂被膜を形成する工程、(II)所望の着
色層部位に対応したパターンを有するマスクを介して、
感光性樹脂被膜を露光し、次いで現像することにより、
感光性樹脂被膜に所望のパターンに対応した開口部を設
けて前記透明基板の一部を露出させる工程、(III)透
明基板の感光性樹脂被膜を設けた面の全面または一部に
所望の着色塗料組成物を塗布し、乾燥することにより、
着色塗料被膜を形成する工程、および(IV)透明基板
上の不要の感光性樹脂被膜と不要の着色塗料被膜を共に
剥離または現像することにより、前記感光性樹脂被膜の
開口部にのみ所望の着色塗料被膜を残す工程からなり、
前記(I)〜(IV)の工程を必要回数繰り返すことに
よるカラーフィルター用着色パターンの形成方法。
1. A step of forming a photosensitive resin film by applying and drying a photosensitive resin composition solution on the whole or a part of one surface of a transparent substrate, and (II) a desired coloring. Through a mask having a pattern corresponding to the layer portion,
By exposing and then developing the photosensitive resin film,
A step of providing an opening corresponding to a desired pattern in the photosensitive resin film to expose a part of the transparent substrate; and (III) a desired coloring on the entire surface or a part of the surface of the transparent substrate on which the photosensitive resin film is provided. By applying the coating composition and drying,
A step of forming a colored paint film, and (IV) peeling or developing both the unnecessary photosensitive resin film and the unnecessary colored paint film on the transparent substrate to obtain desired coloring only at the opening of the photosensitive resin film. It consists of a process that leaves a paint film,
A method of forming a colored pattern for a color filter by repeating the above steps (I) to (IV) a required number of times.
【請求項2】 感光性樹脂溶液がポジ型感光性樹脂溶液
である請求項1に記載のカラーフィルター用着色パター
ンの形成方法。
2. The method for forming a color pattern for a color filter according to claim 1, wherein the photosensitive resin solution is a positive photosensitive resin solution.
【請求項3】 前記工程(IV)の前に透明基板の着色
塗料被膜を設けた面からおよび/または透明基板の着色
塗料被膜を設けた面とその反対の面の両面から全面露光
する請求項2に記載のカラーフィルター用着色パターン
の形成方法。
3. The method according to claim 1, wherein prior to the step (IV), the entire surface is exposed from both sides of the transparent substrate provided with the colored paint film and / or the opposite surface of the transparent substrate provided with the colored paint film. 3. The method for forming a color pattern for a color filter according to item 2.
【請求項4】 前記工程(III)の前に透明基板の着色
塗料被膜を設けた面からおよび/または透明基板の着色
塗料被膜を設けた面とその反対の面の両面から全面露光
する請求項2に記載のカラーフィルター用着色パターン
の形成方法。
4. The method according to claim 1, wherein prior to the step (III), the entire surface is exposed from both sides of the transparent substrate provided with the colored paint film and / or the opposite surface of the transparent substrate provided with the colored paint film. 3. The method for forming a color pattern for a color filter according to item 2.
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JP (1) JPH1048414A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007225852A (en) * 2006-02-23 2007-09-06 Toppan Printing Co Ltd Method for manufacturing color filter
JP2007256661A (en) * 2006-03-23 2007-10-04 Toppan Printing Co Ltd Method of manufacturing color filter

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