JPH1047967A - エネルギー閉じ込め振動モードを利用した圧電振動ジャイロ - Google Patents
エネルギー閉じ込め振動モードを利用した圧電振動ジャイロInfo
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- JPH1047967A JPH1047967A JP8204947A JP20494796A JPH1047967A JP H1047967 A JPH1047967 A JP H1047967A JP 8204947 A JP8204947 A JP 8204947A JP 20494796 A JP20494796 A JP 20494796A JP H1047967 A JPH1047967 A JP H1047967A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】入出力用の端子をリード線を用いないで接続す
ることが可能で，駆動，検出回路を振動ジャイロを構成
した基板上に構成した，小形，薄形の圧電振動ジャイロ
を提供すること。 【解決手段】 エネルギー閉じ込め振動モードを利用し
た圧電振動ジャイロは，厚さ方向に分極軸を有する圧電
板１の一方の主面の略中央部の略二等辺三角形を構成す
る各頂点の位置に第１，第２，及び第３の電極１１，１
２，及び１３を形成し，前記第１の電極１１を頂角の位
置，前記第２及び第３の電極１２，１３をそれぞれ底角
の位置に配置し，前記第１の電極１１を接地し，前記第
２及び第３の電極１２，１３にそれぞれ抵抗を介して励
振用の駆動電圧を印加し，前記圧電板１をその主面と直
交する軸の回りに回転させたときに生ずるコリオリ力の
作用により前記第２及び第３の電極１２，１３に生ずる
電圧の差を検出するように構成した。
ることが可能で，駆動，検出回路を振動ジャイロを構成
した基板上に構成した，小形，薄形の圧電振動ジャイロ
を提供すること。 【解決手段】 エネルギー閉じ込め振動モードを利用し
た圧電振動ジャイロは，厚さ方向に分極軸を有する圧電
板１の一方の主面の略中央部の略二等辺三角形を構成す
る各頂点の位置に第１，第２，及び第３の電極１１，１
２，及び１３を形成し，前記第１の電極１１を頂角の位
置，前記第２及び第３の電極１２，１３をそれぞれ底角
の位置に配置し，前記第１の電極１１を接地し，前記第
２及び第３の電極１２，１３にそれぞれ抵抗を介して励
振用の駆動電圧を印加し，前記圧電板１をその主面と直
交する軸の回りに回転させたときに生ずるコリオリ力の
作用により前記第２及び第３の電極１２，１３に生ずる
電圧の差を検出するように構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，自動車のナビゲー
ションシステムやカメラー体型ＶＴＲカメラの手ブレ補
正などに用いられるジャイロスコープの内，圧電振動子
の超音波振動を利用した振動ジャイロに関し，特に圧電
振動子の振動モードとしてエネルギー閉じ込め振動モー
ドを利用し，構造が簡単で支持が容易な耐振動特性及び
耐衝撃性に優れた圧電振動ジャイロに関する。
ションシステムやカメラー体型ＶＴＲカメラの手ブレ補
正などに用いられるジャイロスコープの内，圧電振動子
の超音波振動を利用した振動ジャイロに関し，特に圧電
振動子の振動モードとしてエネルギー閉じ込め振動モー
ドを利用し，構造が簡単で支持が容易な耐振動特性及び
耐衝撃性に優れた圧電振動ジャイロに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電振動ジャイロとは，振動している物
体に回転角速度が加えられると，その振動方向と直角な
方向にコリオリ力を生ずると言う力学現象を利用したジ
ャイロスコープである。
体に回転角速度が加えられると，その振動方向と直角な
方向にコリオリ力を生ずると言う力学現象を利用したジ
ャイロスコープである。
【０００３】一般に，直交する二つの異なる方向の振動
を励振可能に構成した複合振動系において，方の振動を
励振した状態で，振動子を回転させると，前述のコリオ
リ力の作用によりこの振動と直角な方向に力が作用し，
他方の振動が励振される。この振動の大きさは，入力側
の振動の振幅及び回転角速度に比例するため，入力側の
振動振幅を一定にした楊合，出力電圧の大きさから印加
された回転角速度の大きさを求めることができる。
を励振可能に構成した複合振動系において，方の振動を
励振した状態で，振動子を回転させると，前述のコリオ
リ力の作用によりこの振動と直角な方向に力が作用し，
他方の振動が励振される。この振動の大きさは，入力側
の振動の振幅及び回転角速度に比例するため，入力側の
振動振幅を一定にした楊合，出力電圧の大きさから印加
された回転角速度の大きさを求めることができる。
【０００４】図５は，従来の圧電振動ジャイロの構造例
を示す斜視図である。図５を参照すると，正方形断面形
状を有する金属角柱５１の隣合う面のほぼ中央部に，圧
電セラミックス薄板５２，５３が接合されている。これ
らの圧電セラミックス薄板５２，５３は，それぞれ両面
に電極が形成され，厚さ方向に分極されている。
を示す斜視図である。図５を参照すると，正方形断面形
状を有する金属角柱５１の隣合う面のほぼ中央部に，圧
電セラミックス薄板５２，５３が接合されている。これ
らの圧電セラミックス薄板５２，５３は，それぞれ両面
に電極が形成され，厚さ方向に分極されている。
【０００５】正方形断面の金属角柱５１には，互いに直
交する二つの屈曲振動モードが存在し，材料の特性が均
質である場合には，二つの屈曲振動モードの共振周波数
は，ほぼ等しくなることが知られている。従つて，圧電
セラミックス薄板５２に，この金属角柱５１の屈曲振動
の共振周波数にほぼ等しい周波数の電圧を印加すると，
圧電セラミックス５２を接合した面が凹凸となる方向
（ｙ軸方向）に屈曲振動する。この状態で，金属角柱５
１を長さ方向ど平行な軸（ｚ軸）の回りに回転させる
と，コリオリ力の作用により，金属角柱５１は，圧電セ
ラミックス薄板５３を接合した面が凹凸となる方向（ｘ
軸方向）にも屈曲振動し，圧電効果により，圧電セラミ
ックス薄板５３に電圧が発生する。この電圧の大きさ
は，圧電セラミックス薄板５２によって励振されている
振動の大きさと印加した回転角速度の大きさとに比例す
る。従って，圧電セラミックス薄板５２に印加する励振
電圧の大きさを一定とすれば，圧電セラミックス薄板５
３に発生する電圧は，金属角柱５１の回転角速度に比例
した電圧となる。
交する二つの屈曲振動モードが存在し，材料の特性が均
質である場合には，二つの屈曲振動モードの共振周波数
は，ほぼ等しくなることが知られている。従つて，圧電
セラミックス薄板５２に，この金属角柱５１の屈曲振動
の共振周波数にほぼ等しい周波数の電圧を印加すると，
圧電セラミックス５２を接合した面が凹凸となる方向
（ｙ軸方向）に屈曲振動する。この状態で，金属角柱５
１を長さ方向ど平行な軸（ｚ軸）の回りに回転させる
と，コリオリ力の作用により，金属角柱５１は，圧電セ
ラミックス薄板５３を接合した面が凹凸となる方向（ｘ
軸方向）にも屈曲振動し，圧電効果により，圧電セラミ
ックス薄板５３に電圧が発生する。この電圧の大きさ
は，圧電セラミックス薄板５２によって励振されている
振動の大きさと印加した回転角速度の大きさとに比例す
る。従って，圧電セラミックス薄板５２に印加する励振
電圧の大きさを一定とすれば，圧電セラミックス薄板５
３に発生する電圧は，金属角柱５１の回転角速度に比例
した電圧となる。
【０００６】一方，ＦＭラジオやテレビの中間周波数フ
イルタには，図６（ａ）の平面図，図６（ｂ）の断面
図，及び図７の側面図に示すようなエネルギー閉じ込め
振動型フィルタが用いられている。このエネルギー閉じ
込め振動とは，振動のエネルギーが駆動電極近傍に集中
している振動モードで，圧電板の厚さ方向の縦振動やす
べり振動，圧電矩形板の縦振動やすべり振動など多くの
振動モードがある。
イルタには，図６（ａ）の平面図，図６（ｂ）の断面
図，及び図７の側面図に示すようなエネルギー閉じ込め
振動型フィルタが用いられている。このエネルギー閉じ
込め振動とは，振動のエネルギーが駆動電極近傍に集中
している振動モードで，圧電板の厚さ方向の縦振動やす
べり振動，圧電矩形板の縦振動やすべり振動など多くの
振動モードがある。
【０００７】図６（ａ）及び図６（ｂ）を参照して，エ
ネルギー閉じ込め振動は，振動のエネルギーが駆動電極
の近傍に集中しているため，例えば，図に示すように，
６ｍｍ×６ｍｍで厚さ０．２ｍｍの圧電板６１を用い
て，そのほぼ中央部の直径１．５ｍｍの領域に駆動電極
６２，６３及び対向電極６４を形成したＦＭラジオ用１
０．７ＭＨｚセラミックフイルタにおいて，図７に示す
ように，前記駆動電極６２，６３及び前記対向電極６４
を中心として直径約３ｍｍの領域の両面に空洞部分６６
を形成すれば，その他の部分を樹脂６５で固定しても振
動子特性にほとんど影響を与えない。すなわち，リード
端子の形成が自由で，支持による影響の無い圧電振動子
あるいはそれを利用したフィルタが得られる。
ネルギー閉じ込め振動は，振動のエネルギーが駆動電極
の近傍に集中しているため，例えば，図に示すように，
６ｍｍ×６ｍｍで厚さ０．２ｍｍの圧電板６１を用い
て，そのほぼ中央部の直径１．５ｍｍの領域に駆動電極
６２，６３及び対向電極６４を形成したＦＭラジオ用１
０．７ＭＨｚセラミックフイルタにおいて，図７に示す
ように，前記駆動電極６２，６３及び前記対向電極６４
を中心として直径約３ｍｍの領域の両面に空洞部分６６
を形成すれば，その他の部分を樹脂６５で固定しても振
動子特性にほとんど影響を与えない。すなわち，リード
端子の形成が自由で，支持による影響の無い圧電振動子
あるいはそれを利用したフィルタが得られる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】図５に示した従来の圧
電振動ジャイロにおいては，金属角柱５１の屈曲振動モ
ードを利用しているため，振動子の支持，固定は，振動
の節の位置で行わなければならない。また，従来の圧電
振動ジャイロにおいて，駆動，検出回路と振動子の電極
をリード線で接続する必要があり，接続の状態のばらつ
きによる特性のばらつきを抑えることが難しかった。さ
らに，駆動，検出回路の構成された基板の上に，保持具
により支持された振動子を載せて組み立てるため，形，
薄形の圧電振動ジャイロを構成することが困難であっ
た。
電振動ジャイロにおいては，金属角柱５１の屈曲振動モ
ードを利用しているため，振動子の支持，固定は，振動
の節の位置で行わなければならない。また，従来の圧電
振動ジャイロにおいて，駆動，検出回路と振動子の電極
をリード線で接続する必要があり，接続の状態のばらつ
きによる特性のばらつきを抑えることが難しかった。さ
らに，駆動，検出回路の構成された基板の上に，保持具
により支持された振動子を載せて組み立てるため，形，
薄形の圧電振動ジャイロを構成することが困難であっ
た。
【０００９】一方，図６に示した圧電振動子を用いるこ
とができれば，上記したように小形，薄形であるという
課題を解決できるものと考えられる。
とができれば，上記したように小形，薄形であるという
課題を解決できるものと考えられる。
【００１０】そこで，本発明の技術的課題は，以上に示
した従来の圧電振動ジャイロにおける欠点を除去し，構
造が簡単で，入出力用の端子をリード線を用いないで接
続することが可能で，駆動，検出回路を振動ジャイロを
構成した基板上に構成した，小形，薄形の圧電振動ジャ
イロを提供することにある。
した従来の圧電振動ジャイロにおける欠点を除去し，構
造が簡単で，入出力用の端子をリード線を用いないで接
続することが可能で，駆動，検出回路を振動ジャイロを
構成した基板上に構成した，小形，薄形の圧電振動ジャ
イロを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によれば，厚さ方
向に分極軸を有する圧電板の一方の主面の略中央部の略
二等辺三角形を構成する各頂点の位置に第１，第２，及
び第３の電極を形成し，前記第１の電極を頂角の位置，
前記第２及び第３の電極をそれぞれ底角の位置に配置
し，前記第１の電極を接地し，前記第２及び第３の電極
にそれぞれ抵抗を介して励振用の駆動電圧を印加し，前
圧電板をその主面と直交する軸の回りに回転させたとき
に生ずるコリオリ力の作用により前記第２及び第３の電
極に生ずる電圧の差を検出するように構成したことを特
徴とするエネルギー閉じ込め振動モードを利用した圧電
振動ジャイロが得られる。
向に分極軸を有する圧電板の一方の主面の略中央部の略
二等辺三角形を構成する各頂点の位置に第１，第２，及
び第３の電極を形成し，前記第１の電極を頂角の位置，
前記第２及び第３の電極をそれぞれ底角の位置に配置
し，前記第１の電極を接地し，前記第２及び第３の電極
にそれぞれ抵抗を介して励振用の駆動電圧を印加し，前
圧電板をその主面と直交する軸の回りに回転させたとき
に生ずるコリオリ力の作用により前記第２及び第３の電
極に生ずる電圧の差を検出するように構成したことを特
徴とするエネルギー閉じ込め振動モードを利用した圧電
振動ジャイロが得られる。
【００１２】また，本発明によれば，前記エネルギー閉
じ込め振動を利用した圧電振動ジャイロにおいて，前記
圧電板として圧電セラミックスを用い，前記第１乃至第
３の電極が形成された領域近傍のみを厚さ方向に分極し
たことを特徴とする請求項１に記載のエネルギー閉じ込
め振動モードを利用した圧電振動ジャイロが得られる。
じ込め振動を利用した圧電振動ジャイロにおいて，前記
圧電板として圧電セラミックスを用い，前記第１乃至第
３の電極が形成された領域近傍のみを厚さ方向に分極し
たことを特徴とする請求項１に記載のエネルギー閉じ込
め振動モードを利用した圧電振動ジャイロが得られる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下，本発明の実施の形態につい
て説明する。
て説明する。
【００１４】図１は，本発明の実施の形態によるエネル
ギー閉じ込め型圧電振動ジャイロの圧電振動子構造を示
す斜視図である。図１に示すように，圧電振動子１は，
厚さ方向に分極軸を有する圧電板１０の一方の主面のほ
ぼ中央部のおよそ二等辺三角形を構成する各頂点の位置
に第１の電極１１，第２の電極１２，及び第３の電極１
３が形成されている。
ギー閉じ込め型圧電振動ジャイロの圧電振動子構造を示
す斜視図である。図１に示すように，圧電振動子１は，
厚さ方向に分極軸を有する圧電板１０の一方の主面のほ
ぼ中央部のおよそ二等辺三角形を構成する各頂点の位置
に第１の電極１１，第２の電極１２，及び第３の電極１
３が形成されている。
【００１５】図２は図１の圧電振動子１を含み，これに
接続される回路構成を示すブロック図である。図２を参
照すると，圧電振動子１は，第１の電極１１は接地され
ており，第２及び第３の電極１２及び１３には，それぞ
れ抵抗２０，２１を介して交流電源２２が接続され，第
２及び第３の電極１２及び１３は，それぞれ差動増幅回
路２３の入力端子にも接続されている。
接続される回路構成を示すブロック図である。図２を参
照すると，圧電振動子１は，第１の電極１１は接地され
ており，第２及び第３の電極１２及び１３には，それぞ
れ抵抗２０，２１を介して交流電源２２が接続され，第
２及び第３の電極１２及び１３は，それぞれ差動増幅回
路２３の入力端子にも接続されている。
【００１６】差動増幅回路２３の出力端子は，検波回路
２４を介して，圧電振動ジャイロのセンサ出力となる。
２４を介して，圧電振動ジャイロのセンサ出力となる。
【００１７】次に，更に具体的に本発明の実施の形態に
よる圧電振動子の駆動原理を図面を参照して説明する。
図３（ａ）及び（ｂ）は，図１及び図２示した平行電界
励振型厚みすべりエネルギー閉じ込め振動子の基本的な
構造を夫々示す平面図及び電極部分のみを示す断面図で
ある。また，図４は図３（ａ）及び（ｂ）に示す圧電振
動子の振動の変位分布を示す図である。
よる圧電振動子の駆動原理を図面を参照して説明する。
図３（ａ）及び（ｂ）は，図１及び図２示した平行電界
励振型厚みすべりエネルギー閉じ込め振動子の基本的な
構造を夫々示す平面図及び電極部分のみを示す断面図で
ある。また，図４は図３（ａ）及び（ｂ）に示す圧電振
動子の振動の変位分布を示す図である。
【００１８】図３（ａ）及び（ｂ）を参照すると，厚さ
方向（ｚ軸方向）に分極された圧電板１０の中央部の同
一面上に，ｘ軸方向に対向する部分電極１４，１５が形
成されている。部分電極１４，１５に挟まれている部分
には，ほぼ板の面に平行な方向（ｘ軸方向）の電界が印
加されるため，この電界と直交する厚さ方向の分極との
相互作用により，部分電極１４，１５の寸法を，使用す
る圧電材料の特性に合わせて適当に設計すると，この部
分に平行電界励振型厚みすべりエネルギー閉じ込め振動
子を構成することができる。この厚みすべり振動とは，
変位の方向が板面に平行で，波の伝搬方向が板の厚さ方
向の振動である。
方向（ｚ軸方向）に分極された圧電板１０の中央部の同
一面上に，ｘ軸方向に対向する部分電極１４，１５が形
成されている。部分電極１４，１５に挟まれている部分
には，ほぼ板の面に平行な方向（ｘ軸方向）の電界が印
加されるため，この電界と直交する厚さ方向の分極との
相互作用により，部分電極１４，１５の寸法を，使用す
る圧電材料の特性に合わせて適当に設計すると，この部
分に平行電界励振型厚みすべりエネルギー閉じ込め振動
子を構成することができる。この厚みすべり振動とは，
変位の方向が板面に平行で，波の伝搬方向が板の厚さ方
向の振動である。
【００１９】図４を参照すると，圧電振動子は，半波長
で共振している場合の厚さ方向（ｚ軸方向）の変位分布
が示されている。
で共振している場合の厚さ方向（ｚ軸方向）の変位分布
が示されている。
【００２０】図１に戻って，第１の電極１１を頂角の位
置に，第２の電極１２及び第３の電極１３をそれぞれ底
角の位置に配置し，第１の電極１１を接地し，第２の電
極１２及び第３の電極１３は，それぞれ抵抗２０及び２
１を介して交流電源２２に接続する。交流電源からそれ
ぞれ抵抗２０及び２１を介して，第２の電極１２及び第
３の電極１３に前記圧電板の厚みすべりモードの共振周
波数にほぼ等しい周波数の励振用の駆動電圧を印加する
と，第１，第２，及び第３の電極１１，１２及び１３に
よって囲まれる領域に，第１の電極１１の中心と第２の
電極１２の中心を結ぶ方向のエネルギー閉じ込め振動モ
ードのすべり振動と第１の電極１１の中心と第３の電極
１３の中心を結ぶ方向のエネルギー閉じ込め振動モード
のすべり振動が発生し，これらの振動は合成されて第１
の電極１１の中心と，第２及び第３の電極１２及び１３
の中心を結ぶ直線の中点を結ぶ直線の方向のエネルギー
閉じ込め振動モードのすべり振動が発生する。この状態
で，前記圧電板１０をその主面と直交する軸の回りに回
転させると，コリオリ力の作用により，前記励振されて
いる厚みすべり振動の方向と直角な方向の厚みすべり振
動が発生する。このコリオリ力により発生した厚みすべ
り振動により，第１の電極１１と第２の電極１２間，及
び第１の電極１１と第３の電極１３間のインピーダンス
が変化し，その結果として，前記第２の電極１２及び第
３の電極１３の端子電圧が変化する。このインピーダン
スの変化は励振の電圧が一定の場合，加えられた回転角
速度に比例する。
置に，第２の電極１２及び第３の電極１３をそれぞれ底
角の位置に配置し，第１の電極１１を接地し，第２の電
極１２及び第３の電極１３は，それぞれ抵抗２０及び２
１を介して交流電源２２に接続する。交流電源からそれ
ぞれ抵抗２０及び２１を介して，第２の電極１２及び第
３の電極１３に前記圧電板の厚みすべりモードの共振周
波数にほぼ等しい周波数の励振用の駆動電圧を印加する
と，第１，第２，及び第３の電極１１，１２及び１３に
よって囲まれる領域に，第１の電極１１の中心と第２の
電極１２の中心を結ぶ方向のエネルギー閉じ込め振動モ
ードのすべり振動と第１の電極１１の中心と第３の電極
１３の中心を結ぶ方向のエネルギー閉じ込め振動モード
のすべり振動が発生し，これらの振動は合成されて第１
の電極１１の中心と，第２及び第３の電極１２及び１３
の中心を結ぶ直線の中点を結ぶ直線の方向のエネルギー
閉じ込め振動モードのすべり振動が発生する。この状態
で，前記圧電板１０をその主面と直交する軸の回りに回
転させると，コリオリ力の作用により，前記励振されて
いる厚みすべり振動の方向と直角な方向の厚みすべり振
動が発生する。このコリオリ力により発生した厚みすべ
り振動により，第１の電極１１と第２の電極１２間，及
び第１の電極１１と第３の電極１３間のインピーダンス
が変化し，その結果として，前記第２の電極１２及び第
３の電極１３の端子電圧が変化する。このインピーダン
スの変化は励振の電圧が一定の場合，加えられた回転角
速度に比例する。
【００２１】従って，前記第２の電極１２及び第３の電
極１３の端子電圧の差を差動増幅回路２３により検出
し，この電圧を所定のタイミングで同期検波をすること
により，印加した回転角速度に比例した出力電圧を得る
ことが出来る。
極１３の端子電圧の差を差動増幅回路２３により検出
し，この電圧を所定のタイミングで同期検波をすること
により，印加した回転角速度に比例した出力電圧を得る
ことが出来る。
【００２２】従って，本発明の実施の形態において，重
要な点は，各電極対が対向する領域に不要振動の無いき
れいなエネルギー閉じ込め振動を励振することであり，
特に圧電板１０として圧電セラミックスを用いた場合に
は，第１から第３の電極１１，１２及び１３が形成され
た領域近傍のみを厚さ方向に分極することにより，この
目的を達成することが出来る。
要な点は，各電極対が対向する領域に不要振動の無いき
れいなエネルギー閉じ込め振動を励振することであり，
特に圧電板１０として圧電セラミックスを用いた場合に
は，第１から第３の電極１１，１２及び１３が形成され
た領域近傍のみを厚さ方向に分極することにより，この
目的を達成することが出来る。
【００２３】
【発明の効果】以上に示したように，本発明によれば，
構造が簡単で，入出力用の端子をリード線を用いないで
接続することが可能で，支持，固定によるジャイロ特性
への影響がほとんど無く，強固に支持することが可能
で，耐振動，耐衝撃特性の優れた小形の圧電振動ジャイ
ロを提供することができる。
構造が簡単で，入出力用の端子をリード線を用いないで
接続することが可能で，支持，固定によるジャイロ特性
への影響がほとんど無く，強固に支持することが可能
で，耐振動，耐衝撃特性の優れた小形の圧電振動ジャイ
ロを提供することができる。
【図１】本発明の実施の形態によるエネルギー閉じ込め
型振動ジャイロの圧電振動子を示す斜視図である。
型振動ジャイロの圧電振動子を示す斜視図である。
【図２】図１の圧電振動子に接続される回路構成を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図３】図１及び図２の圧電振動ジャイロに用いる平行
電界励振型厚みすべりモードエネルギー閉じ込め振動子
の駆動原理を説明するための基本構成を示す図である。
電界励振型厚みすべりモードエネルギー閉じ込め振動子
の駆動原理を説明するための基本構成を示す図である。
【図４】図３の厚みすべりモードエネルギー閉じ込め振
動子の変位分布を示す図である。
動子の変位分布を示す図である。
【図５】従来の圧電振動ジャイロの一例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図６】従来のエネルギー閉じ込め振動子の構造図であ
り，（ａ）は平面図，（ｂ）は断面図である。
り，（ａ）は平面図，（ｂ）は断面図である。
【図７】図６のエネルギー閉じ込め振動子の支持構造を
示す側面図である。
示す側面図である。
１ 圧電振動子 １０，６１ 圧電板 １１ 第１の電極 １２ 第２の電極 １３ 第３の電極 １５ 部分電極 ２０，２１ 抵抗 ２２ 交流電源 ２３ 差動増幅回路 ２４ 検波回路 ５１ 金属角柱 ５３ 圧電セラミックス薄板 ６２，６３ 駆動電極 ６４ 対向電極 ６５ 樹脂 ６６ 空洞
Claims (2)
- 【請求項１】 厚さ方向に分極軸を有する圧電板の一方
の主面の略中央部の略二等辺三角形を構成する各頂点の
位置に第１，第２，及び第３の電極を形成し，前記第１
の電極を頂角の位置，前記第２及び第３の電極をそれぞ
れ底角の位置に配置し，前記第１の電極を接地し，前記
第２及び第３の電極にそれぞれ抵抗を介して励振用の駆
動電圧を印加し，前記圧電板をその主面と直交する軸の
回りに回転させたときに生ずるコリオリ力の作用により
前記第２及び第３の電極に生ずる電圧の差を検出するよ
うに構成したことを特徴とするエネルギー閉じ込め振動
モードを利用した圧電振動ジャイロ。 - 【請求項２】 請求項１記載のエネルギー閉じ込め振動
モードを利用した圧電振動ジャイロにおいて，前記圧電
板として圧電セラミックスを用い，前記第１乃至第３の
電極が形成された領域近傍のみを当該圧電セラミックス
の厚さ方向に分極したことを特徴とするエネルギー閉じ
込め振動モードを利用した圧電振動ジャイロ。
Priority Applications (9)
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|---|---|---|---|
| JP20494796A JP3640004B2 (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | エネルギー閉じ込め振動モードを利用した圧電振動ジャイロ |
| US08/878,409 US5887480A (en) | 1996-06-20 | 1997-06-18 | Piezoelectric vibratory gyroscope utilizing an energy-trapping vibration mode |
| DE69701595T DE69701595T2 (de) | 1996-06-20 | 1997-06-19 | Piezoelektrischer Vibrationskreisel welcher einen Energie-Einfangsvibrationsmodus verwendet |
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|---|---|---|---|
| JP20494796A JP3640004B2 (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | エネルギー閉じ込め振動モードを利用した圧電振動ジャイロ |
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| Country | Link |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110546775A (zh) * | 2016-12-04 | 2019-12-06 | 艾科索成像公司 | 具有直接互连能力的低电压、低功耗mems传感器 |
-
1996
- 1996-08-02 JP JP20494796A patent/JP3640004B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110546775A (zh) * | 2016-12-04 | 2019-12-06 | 艾科索成像公司 | 具有直接互连能力的低电压、低功耗mems传感器 |
| CN110546775B (zh) * | 2016-12-04 | 2023-12-19 | 艾科索成像公司 | 具有直接互连能力的低电压、低功耗mems传感器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3640004B2 (ja) | 2005-04-20 |
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