JPH10332519A - Characteristic measuring instrument for pressure sensor - Google Patents
Characteristic measuring instrument for pressure sensorInfo
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- JPH10332519A JPH10332519A JP14171997A JP14171997A JPH10332519A JP H10332519 A JPH10332519 A JP H10332519A JP 14171997 A JP14171997 A JP 14171997A JP 14171997 A JP14171997 A JP 14171997A JP H10332519 A JPH10332519 A JP H10332519A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサの圧力
特性を測定する特性測定装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a characteristic measuring device for measuring a pressure characteristic of a pressure sensor.
【0002】[0002]
【従来の技術】ダイアフラム構造を有する圧力センサチ
ップは、ピエゾ効果を利用したものであり、図2に示す
ように、シリコン基板からなる半導体基板11の表面に
はピエゾ抵抗12、フィールド酸化膜13、シリコン窒
化膜14及びピエゾ抵抗12から電極を取り出すための
電極配線15が形成されており、裏面側は異方性エッチ
ング技術により半導体基板11を異方性エッチングし、
ダイアフラム16が形成されている。そして、これらを
カバーで覆って圧力センサ本体をなす。この圧力センサ
本体と後述の圧力導入管及び電極配線15に接続された
外部端子とで圧力センサが構成される。19は電極配線
15とオーミックに接続する電極パッドである。この圧
力センサの動作原理は、ダイアフラム16が圧力を受け
てたわむと、ピエゾ抵抗12にはたわみ量に応じた応力
が発生する。この応力に応じてピエゾ抵抗12の抵抗値
が変化し、これを電気信号の変化として検知するもので
ある。2. Description of the Related Art A pressure sensor chip having a diaphragm structure utilizes a piezo effect, and as shown in FIG. 2, a piezo resistor 12, a field oxide film 13, An electrode wiring 15 for extracting an electrode from the silicon nitride film 14 and the piezoresistor 12 is formed, and the semiconductor substrate 11 is anisotropically etched on the back side by an anisotropic etching technique.
A diaphragm 16 is formed. Then, these are covered with a cover to form a pressure sensor main body. A pressure sensor is composed of the pressure sensor main body and an external terminal connected to a pressure introducing pipe and electrode wiring 15 described later. Reference numeral 19 denotes an electrode pad that is in ohmic connection with the electrode wiring 15. The principle of operation of this pressure sensor is that when the diaphragm 16 bends under pressure, a stress corresponding to the amount of deflection is generated in the piezoresistor 12. The resistance value of the piezoresistor 12 changes according to this stress, and this is detected as a change in an electric signal.
【0003】この圧力センサの特徴としては、シリコン
を用いているので、従来のブルドン管式のものと比較し
て小型で高感度である点や、再現性が良く、信頼性も高
いという点があげられる。[0003] The characteristics of this pressure sensor are that it uses silicon, so that it is smaller and more sensitive than the conventional Bourdon tube type, and it has good reproducibility and high reliability. can give.
【0004】このような圧力センサの圧力特性を測定す
るための測定設備は、一般的には、圧力発生器、定電圧
電源または定電流電源、電圧計または電流計、恒温槽及
びこれらを自動制御するためのコントローラ等で構成さ
れている。そして、測定すべき圧力センサを、圧力を印
加するための圧力印加治具に組み込み、圧力センサから
圧力特性を示す信号を外部に出力するための出力取出し
部とともに恒温槽の中に入れて、所定の温度状態での諸
特性を測定する。[0004] Measuring equipment for measuring the pressure characteristics of such a pressure sensor generally includes a pressure generator, a constant voltage power supply or a constant current power supply, a voltmeter or an ammeter, a thermostat, and automatic control of these. And the like. Then, the pressure sensor to be measured is incorporated in a pressure applying jig for applying pressure, and is put in a constant temperature bath together with an output extracting unit for outputting a signal indicating a pressure characteristic from the pressure sensor to the outside. Various characteristics are measured in the temperature state.
【0005】ここで、図3に示すように、圧力印加治具
2は、アルミ等の金属製で、内部に中空部21を有し、
中空部21とつながり、圧力センサ本体1内のダイアフ
ラム16に圧力を導入する圧力導入管17に対応した複
数の圧力導入孔22を有している。出力取出し部として
は、配線基板3に複数のICソケット31を装着したも
のを用いる。Here, as shown in FIG. 3, the pressure applying jig 2 is made of a metal such as aluminum and has a hollow portion 21 therein.
It has a plurality of pressure introduction holes 22 connected to the hollow portion 21 and corresponding to the pressure introduction pipe 17 for introducing pressure to the diaphragm 16 in the pressure sensor main body 1. As the output take-out unit, a unit in which a plurality of IC sockets 31 are mounted on the wiring board 3 is used.
【0006】配線基板3のICソケット31に、測定す
べき圧力センサの電気信号を外部へ取り出すための外部
端子18を、圧力導入管17が配線基板3側と逆方向を
向くようにして差し込み、次に、圧力導入孔22に圧力
導入管17が嵌まるようにして圧力印加治具2を装着す
る。この時、配線基板3と圧力印加治具2との間のスペ
ーサとしてのストッパー32を両者間に介在させる。ス
トッパー32は予め配線基板3に固定されており、圧力
印加治具2とストッパー32とはネジ23により固定す
る。圧力印加治具2には、圧力配管24が設けられてお
り、圧力配管24から中空部21を介して圧力が圧力導
入孔22に導入され、更には、圧力導入管17を介して
圧力センサ本体1内のダイアフラム16に導入されるよ
うになっている。[0006] An external terminal 18 for taking out an electric signal of the pressure sensor to be measured to the outside is inserted into the IC socket 31 of the wiring board 3 so that the pressure introducing pipe 17 faces in the opposite direction to the wiring board 3 side. Next, the pressure applying jig 2 is mounted so that the pressure introducing pipe 17 fits into the pressure introducing hole 22. At this time, a stopper 32 as a spacer between the wiring board 3 and the pressure applying jig 2 is interposed therebetween. The stopper 32 is fixed to the wiring board 3 in advance, and the pressure applying jig 2 and the stopper 32 are fixed with the screw 23. The pressure applying jig 2 is provided with a pressure pipe 24, pressure is introduced from the pressure pipe 24 into the pressure introducing hole 22 through the hollow portion 21, and furthermore, the pressure sensor main body through the pressure introducing pipe 17. 1 to be introduced into the diaphragm 16.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような圧力センサの圧力特性測定方法にあっては、圧力
センサの圧力導入管17と圧力印加治具2の圧力導入孔
22との間に水平方向の位置ずれが発生した場合に、圧
力導入管17に圧力印加治具2により水平方向を主とし
た応力が加わる。この応力が圧力センサ本体1内のダイ
アフラム16に加わり、圧力特性が変化してしまう。さ
らに、1つの圧力印加治具2で複数の圧力センサの特性
測定をするように、圧力印加治具2が一体型に形成され
ているので、1つの圧力センサの位置ずれが全体のずれ
となり、他の圧力センサにも応力がかかることになる。However, in the above-described method of measuring the pressure characteristics of the pressure sensor, the method for measuring the pressure characteristics of the pressure sensor is described as follows. When the positional displacement occurs in the direction, a stress mainly in the horizontal direction is applied to the pressure introducing pipe 17 by the pressure applying jig 2. This stress is applied to the diaphragm 16 in the pressure sensor main body 1, and the pressure characteristic changes. Further, since the pressure applying jig 2 is formed integrally so as to measure the characteristics of a plurality of pressure sensors with one pressure applying jig 2, the displacement of one pressure sensor becomes the whole displacement, Stress will also be applied to other pressure sensors.
【0008】さらには、複数のネジ23により圧力印加
治具2を固定していた場合に、ネジ23の締め付けトル
クにばらつきがあると、圧力印加治具2にわずかな傾き
や反りが生じ、圧力センサの圧力導入管17に、前記と
同様の応力が加わり、圧力特性の変動が起こるという問
題があった。Further, when the pressure applying jig 2 is fixed by a plurality of screws 23 and the tightening torque of the screws 23 varies, the pressure applying jig 2 slightly tilts and warps, There is a problem that the same stress as described above is applied to the pressure introducing pipe 17 of the sensor, and the pressure characteristics fluctuate.
【0009】具体的には、圧力印加治具2より、圧力セ
ンサ本体1に約4kgf/cm2 の応力が加わってお
り、この応力によりオフセット電圧が1.2mV変動す
ることが明らかになっている。Specifically, a stress of about 4 kgf / cm 2 is applied to the pressure sensor main body 1 from the pressure applying jig 2, and it has been clarified that the offset voltage fluctuates by 1.2 mV due to this stress. .
【0010】また、別の問題としては、温度特性測定等
の温度特性は圧力センサの特性項目の中で重要な項目の
1つであるが、この温度特性測定の効率が悪いというこ
とがあげられる。つまり、一体型の圧力印加治具2で多
数の圧力センサを同時に測定するためには、圧力印加治
具2の容積が大きくなり、その熱容量が増大してしまう
のである。その上、測定すべき圧力センサは、配線基板
3と圧力印加治具2とストッパー32とにより密閉され
た状態となっているので、雰囲気温度を変化させて圧力
特性を測定しようとしても、圧力センサの温度が変化す
るのに時間がかかり、測定の効率が悪くなるのである。
実際、3点の温度(0℃、25℃、50℃)の特性を測
定するための時間は約2時間であり、その内、温度昇
降、安定に必要な時間は約1.5時間であり、測定時間
の大きな割合を占めている。Another problem is that the temperature characteristic such as temperature characteristic measurement is one of the important items among the characteristic items of the pressure sensor, but the efficiency of the temperature characteristic measurement is low. . In other words, in order to simultaneously measure a large number of pressure sensors with the integrated pressure applying jig 2, the volume of the pressure applying jig 2 increases, and the heat capacity thereof increases. In addition, since the pressure sensor to be measured is sealed by the wiring board 3, the pressure applying jig 2, and the stopper 32, even if the pressure characteristic is measured by changing the ambient temperature, It takes time for the temperature to change, and the efficiency of the measurement becomes poor.
In fact, the time required to measure the characteristics of the three temperatures (0 ° C., 25 ° C., 50 ° C.) is about 2 hours, and the time required for temperature rise and fall and stabilization is about 1.5 hours. , Account for a large proportion of the measurement time.
【0011】本発明は、上記の点に鑑みてなしたもので
あり、その目的とするところは、機械的応力の発生を抑
え、高精度且つ高効率で特性測定のできる圧力センサの
特性測定装置を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a pressure sensor characteristic measuring apparatus capable of suppressing the occurrence of mechanical stress and measuring characteristics with high accuracy and high efficiency. Is to provide.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内のダイアフラム
に圧力を導入する圧力導入管と、前記ダイアフラムのた
わみに応じて出力される電気信号を外部に取り出す外部
端子とを有してなる圧力センサの圧力特性を測定するた
めの特性測定装置であって、内部に中空部を有し、該中
空部につながり前記圧力導入管を差し込む圧力導入孔を
複数有する圧力印加治具と、圧力センサを装着できるソ
ケットを実装した配線基板と、該配線基板を弾性により
支持する支持部材とを有してなり、前記ソケットに前記
外部端子を装着し、前記圧力印加治具の圧力導入孔に圧
力センサの圧力導入管を差し込み、前記圧力印加治具の
中空部から圧力導入管を介して圧力センサ本体に圧力を
導入し、導入した圧力により生じたダイアフラムのたわ
みに応じて発生した電気信号を前記外部端子から前記ソ
ケットを介して取り出すようにしたことを特徴とするも
のである。According to the first aspect of the present invention,
Pressure of a pressure sensor having a pressure sensor main body, a pressure introducing pipe for introducing pressure to a diaphragm in the pressure sensor main body, and an external terminal for taking out an electric signal output according to the deflection of the diaphragm to the outside. A characteristic measuring device for measuring characteristics, comprising a pressure applying jig having a hollow portion therein, and having a plurality of pressure introducing holes connected to the hollow portion and into which the pressure introducing tube is inserted, and a socket to which a pressure sensor can be attached. And a support member for elastically supporting the wiring board. The external terminal is mounted on the socket, and a pressure introducing pipe of a pressure sensor is inserted into a pressure introducing hole of the pressure applying jig. And pressure is introduced into the pressure sensor body from the hollow portion of the pressure applying jig through the pressure introducing pipe, and the pressure is generated according to the deflection of the diaphragm caused by the introduced pressure. It is characterized in that an electrical signal from the external terminal was taken out through the socket.
【0013】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、前記支持部材を、前記配線基板の垂直方向
及び水平方向に配置するようにしたことを特徴とするも
のである。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the support member is arranged in a vertical direction and a horizontal direction of the wiring board.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の一例
を図面に基づき説明する。図1は、本発明の実施の形態
の一例に係る圧力センサの特性測定装置の概略構成を示
す断面の模式図である。本実施形態の圧力センサの特性
測定装置は、配線基板4、支持部材6及び圧力印加治具
2を有してなる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a schematic configuration of a pressure sensor characteristic measuring device according to an example of an embodiment of the present invention. The pressure sensor characteristic measuring device of the present embodiment includes a wiring board 4, a support member 6, and a pressure applying jig 2.
【0015】配線基板4には、圧力センサを装着できる
ソケット5が実装されている。配線基板4は基台7に対
して、ばね等の弾性を有する支持部材6を介して支持さ
れる。本実施形態では、基台7の凹部の底面71及び側
面72から支持部材6で配線基板4を支持している。つ
まり、配線基板4を垂直方向及び水平方向から支持して
いるのである。On the wiring board 4, a socket 5 on which a pressure sensor can be mounted is mounted. The wiring board 4 is supported by a base 7 via a support member 6 having elasticity such as a spring. In the present embodiment, the wiring board 4 is supported by the support member 6 from the bottom surface 71 and the side surface 72 of the concave portion of the base 7. That is, the wiring board 4 is supported from the vertical direction and the horizontal direction.
【0016】圧力印加治具2は、中空部21を有し、例
えばアルミにより作製される。さらに、圧力印加治具2
には、中空部21とつながっており、圧力センサの圧力
導入管17を嵌めるための圧力導入孔(開口部)22が
形成される。図1では圧力導入孔22は1つしか示され
ていないが、複数の圧力センサの特性測定ができるよう
に、複数の圧力導入孔22が形成されている。The pressure applying jig 2 has a hollow portion 21 and is made of, for example, aluminum. Further, a pressure applying jig 2
Is formed with a pressure introducing hole (opening) 22 for connecting the pressure introducing pipe 17 of the pressure sensor. Although only one pressure introducing hole 22 is shown in FIG. 1, a plurality of pressure introducing holes 22 are formed so that the characteristics of a plurality of pressure sensors can be measured.
【0017】本実施形態の圧力センサの特性測定装置に
より特性測定を行う場合には、まず、基台7に支持部材
6により支持された配線基板4上に実装されたソケット
5に圧力センサの外部端子18を装着する。次に、圧力
印加治具2の圧力導入孔22に、圧力センサの圧力導入
管17を差し込む。この時、圧力導入管17と圧力導入
孔22との間にはOリング8を介在させ、密閉すること
により、圧力がリークしないようにしている。この状態
で、基台7を恒温槽に投入し、所定の温度に保持し、圧
力配管(図示せず)から圧力印加治具2の中空部21を
介して圧力を導入すると、その圧力は圧力センサの圧力
導入管17を介して圧力センサ本体1内のダイアフラム
16に印加される。ダイアフラム16に印加される圧力
に応じて外部端子18から出力される電気信号を外部端
子18に接続されるソケット5を介して取り出すことに
より、圧力特性の測定を行うことができるのである。When the characteristic is measured by the pressure sensor characteristic measuring device of the present embodiment, first, the socket 5 mounted on the wiring board 4 supported by the support member 6 on the base 7 is externally mounted on the socket 5. The terminal 18 is mounted. Next, the pressure introducing pipe 17 of the pressure sensor is inserted into the pressure introducing hole 22 of the pressure applying jig 2. At this time, an O-ring 8 is interposed between the pressure introducing pipe 17 and the pressure introducing hole 22 and sealed to prevent pressure from leaking. In this state, the base 7 is put into a thermostat, maintained at a predetermined temperature, and pressure is introduced from a pressure pipe (not shown) through the hollow portion 21 of the pressure applying jig 2. The pressure is applied to the diaphragm 16 in the pressure sensor main body 1 via the pressure introducing pipe 17 of the sensor. By extracting an electric signal output from the external terminal 18 according to the pressure applied to the diaphragm 16 through the socket 5 connected to the external terminal 18, pressure characteristics can be measured.
【0018】本実施形態によれば、ソケット5を介して
配線基板4に装着された圧力センサ本体1が基台7に対
して弾性を有する支持部材6により保持されているの
で、圧力センサ本体1に加わる機械的応力により外部端
子18が変動しても、支持部材6の弾性により吸収さ
れ、垂直方向及び水平方向の両方向の機械的応力が緩和
される。また、圧力センサ本体1の上部には圧力印加治
具2があるが、圧力センサ本体1の大部分が露出し、恒
温槽内の雰囲気に直接さらされる。従って、恒温槽内の
雰囲気温度を変化させて圧力特性を測定しようとした場
合、雰囲気温度の変化に追随して圧力センサの温度が変
化するので、特性測定の効率が悪くなることはない。According to the present embodiment, since the pressure sensor main body 1 mounted on the wiring board 4 via the socket 5 is held by the support member 6 having elasticity with respect to the base 7, the pressure sensor main body 1 Even if the external terminals 18 fluctuate due to the mechanical stress applied to the support member 6, the external terminals 18 are absorbed by the elasticity of the support member 6, and the mechanical stress in both the vertical direction and the horizontal direction is reduced. A pressure applying jig 2 is provided at an upper portion of the pressure sensor main body 1, but most of the pressure sensor main body 1 is exposed and is directly exposed to the atmosphere in the constant temperature bath. Therefore, when the pressure characteristic is measured by changing the ambient temperature in the constant temperature bath, the temperature of the pressure sensor changes following the change in the ambient temperature, so that the efficiency of the characteristic measurement does not deteriorate.
【0019】なお、本実施形態では、基台7の凹部に配
線基板4を設置する場合を示したが、平面状の基台7で
あっても良く、この場合には、基台7の凹部の側面72
に対応するものとして、水平方向の支持のための支持部
材を固定するための固定部を基台7上に設けておけば良
い。In this embodiment, the case where the wiring board 4 is installed in the concave portion of the base 7 has been described, but a flat base 7 may be used. Side 72 of
In order to cope with the above, a fixing portion for fixing a support member for horizontal support may be provided on the base 7.
【0020】[0020]
【発明の効果】以上のように、請求項1記載の発明によ
れば、圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内のダイア
フラムに圧力を導入する圧力導入管と、前記ダイアフラ
ムのたわみに応じて出力される電気信号を外部に取り出
す外部端子とを有してなる圧力センサの圧力特性を測定
するための特性測定装置であって、内部に中空部を有
し、該中空部につながり前記圧力導入管を差し込む圧力
導入孔を複数有する圧力印加治具と、圧力センサを装着
できるソケットを実装した配線基板と、該配線基板を弾
性により支持する支持部材とを有してなり、前記ソケッ
トに前記外部端子を装着し、前記圧力印加治具の圧力導
入孔に圧力センサの圧力導入管を差し込み、前記圧力印
加治具の中空部から圧力導入管を介して圧力センサ本体
に圧力を導入し、導入した圧力により生じたダイアフラ
ムのたわみに応じて発生した電気信号を前記外部端子か
ら前記ソケットを介して取り出すようにしたので、圧力
供給配管と圧力センサとの間で位置ずれ等が発生して
も、機械的応力は前記弾性を有する支持部材により吸収
されることになり機械的応力の発生を抑え、さらに、圧
力センサ本体の大部分は恒温槽内の雰囲気に直接さらさ
れることになり、高精度且つ高効率で特性測定のできる
圧力センサの特性測定装置が提供できた。As described above, according to the first aspect of the present invention, the pressure sensor main body, the pressure introducing pipe for introducing pressure to the diaphragm in the pressure sensor main body, and the output according to the deflection of the diaphragm. A pressure sensor for measuring a pressure characteristic of a pressure sensor having an external terminal for taking out an electric signal to be output to the outside, wherein the pressure introduction pipe has a hollow portion therein and is connected to the hollow portion. A pressure applying jig having a plurality of pressure introducing holes into which a pressure sensor is inserted, a wiring board on which a socket on which a pressure sensor can be mounted is mounted, and a support member for elastically supporting the wiring board. Is mounted, a pressure introducing pipe of a pressure sensor is inserted into a pressure introducing hole of the pressure applying jig, and pressure is introduced into a pressure sensor main body from a hollow portion of the pressure applying jig via a pressure introducing pipe to conduct pressure. Since the electric signal generated in accordance with the deflection of the diaphragm caused by the applied pressure is taken out from the external terminal via the socket, even if a positional shift or the like occurs between the pressure supply pipe and the pressure sensor, The mechanical stress is absorbed by the supporting member having the elasticity, thereby suppressing the generation of the mechanical stress, and furthermore, most of the pressure sensor body is directly exposed to the atmosphere in the constant temperature bath, thereby achieving high precision and A pressure sensor characteristic measuring device capable of measuring characteristics with high efficiency was provided.
【0021】請求項2記載の発明によれば、請求項1記
載の発明において、前記支持部材を、前記配線基板の垂
直方向及び水平方向に配置するようにすれば、垂直方向
及び水平方向の両方向の機械的応力の発生を抑えること
ができる。According to the second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, if the support member is arranged in a vertical direction and a horizontal direction of the wiring board, the support member can be arranged in both the vertical and horizontal directions. Can suppress the generation of mechanical stress.
【図1】本発明の一実施形態に係る圧力センサの特性測
定装置の概略構成の断面状態を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a cross-sectional state of a schematic configuration of a pressure sensor characteristic measuring device according to an embodiment of the present invention.
【図2】圧力センサチップの断面を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a cross section of a pressure sensor chip.
【図3】従来の圧力センサの特性測定装置の概略構成を
示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a conventional pressure sensor characteristic measuring device.
1 圧力センサ本体 2 圧力印加治具 4 配線基板 5 ソケット 6 支持部材 7 基台 8 Oリング 16 ダイアフラム 17 圧力導入管 18 外部端子 21 中空部 22 圧力導入孔 71 底面 72 側面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pressure sensor main body 2 Pressure application jig 4 Wiring board 5 Socket 6 Support member 7 Base 8 O-ring 16 Diaphragm 17 Pressure introduction pipe 18 External terminal 21 Hollow part 22 Pressure introduction hole 71 Bottom 72 Side
Claims (2)
のダイアフラムに圧力を導入する圧力導入管と、前記ダ
イアフラムのたわみに応じて出力される電気信号を外部
に取り出す外部端子とを有してなる圧力センサの圧力特
性を測定するための特性測定装置であって、内部に中空
部を有し、該中空部につながり前記圧力導入管を差し込
む圧力導入孔を複数有する圧力印加治具と、圧力センサ
を装着できるソケットを実装した配線基板と、該配線基
板を弾性により支持する支持部材とを有してなり、前記
ソケットに前記外部端子を装着し、前記圧力印加治具の
圧力導入孔に圧力センサの圧力導入管を差し込み、前記
圧力印加治具の中空部から圧力導入管を介して圧力セン
サ本体に圧力を導入し、導入した圧力により生じたダイ
アフラムのたわみに応じて発生した電気信号を前記外部
端子から前記ソケットを介して取り出すようにしたこと
を特徴とする圧力センサの特性測定装置。1. A pressure sensor having a pressure sensor main body, a pressure introduction pipe for introducing pressure to a diaphragm in the pressure sensor main body, and an external terminal for taking out an electric signal output in accordance with the deflection of the diaphragm. A pressure measuring jig for measuring pressure characteristics of a pressure sensor comprising: a pressure applying jig having a hollow portion therein, and having a plurality of pressure introducing holes connected to the hollow portion and through which the pressure introducing pipe is inserted; and It has a wiring board mounted with a socket on which a sensor can be mounted, and a supporting member for elastically supporting the wiring board. The external terminal is mounted on the socket, and pressure is applied to a pressure introducing hole of the pressure applying jig. The pressure introduction pipe of the sensor is inserted, pressure is introduced into the pressure sensor main body from the hollow portion of the pressure applying jig through the pressure introduction pipe, and the deflection of the diaphragm caused by the introduced pressure is reduced. An electric signal generated in response to the electric signal is taken out from the external terminal through the socket.
向及び水平方向に配置するようにしたことを特徴とする
請求項1記載の圧力センサの特性測定装置。2. The pressure sensor characteristic measuring device according to claim 1, wherein said support member is arranged in a vertical direction and a horizontal direction of said wiring board.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14171997A JPH10332519A (en) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | Characteristic measuring instrument for pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14171997A JPH10332519A (en) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | Characteristic measuring instrument for pressure sensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10332519A true JPH10332519A (en) | 1998-12-18 |
Family
ID=15298617
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14171997A Pending JPH10332519A (en) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | Characteristic measuring instrument for pressure sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10332519A (en) |
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