JPH10332478A - 赤外線検知器及びその製造方法 - Google Patents
赤外線検知器及びその製造方法Info
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- JPH10332478A JPH10332478A JP9136319A JP13631997A JPH10332478A JP H10332478 A JPH10332478 A JP H10332478A JP 9136319 A JP9136319 A JP 9136319A JP 13631997 A JP13631997 A JP 13631997A JP H10332478 A JPH10332478 A JP H10332478A
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- infrared
- infrared detector
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ゲッターが取り付けられた赤外線検知器でも
その性能を損なうことなく、誤動作なく高品質な撮像を
可能にするための赤外線検知器及びその製造方法を提供
することを目的とする。 【解決手段】 端面に赤外線検知素子を搭載した内筒
と、内筒の周囲に配置され、赤外線検知素子に対向する
位置に光学窓を設けた外筒と、内筒と外筒とにより郭成
される空間の真空状態を維持するためのゲッターとを有
する赤外線検知器において、ゲッターと赤外線検知素子
との間に、気体は通過するが、粉塵等の固体は通過させ
ないフィルタを具備して構成する。
その性能を損なうことなく、誤動作なく高品質な撮像を
可能にするための赤外線検知器及びその製造方法を提供
することを目的とする。 【解決手段】 端面に赤外線検知素子を搭載した内筒
と、内筒の周囲に配置され、赤外線検知素子に対向する
位置に光学窓を設けた外筒と、内筒と外筒とにより郭成
される空間の真空状態を維持するためのゲッターとを有
する赤外線検知器において、ゲッターと赤外線検知素子
との間に、気体は通過するが、粉塵等の固体は通過させ
ないフィルタを具備して構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、赤外線検知器及び
赤外線検知器の製造方法に関するものである。
赤外線検知器の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】赤外線検知器は、波長２〜１５μｍの赤
外線帯域の波長の電磁波をＨｇ1-x Ｃｄx Ｔｅなどの混
晶で形成される赤外線検知素子により検知するセンサで
ある。赤外線検知素子は、サファイアなどの基板にＨｇ
1-x Ｃｄx Ｔｅなどを結晶成長させて、主表面の両側に
一対のコンタクト電極を形成し、電極間の領域を赤外線
受光部とする光伝導型のものが知られている。
外線帯域の波長の電磁波をＨｇ1-x Ｃｄx Ｔｅなどの混
晶で形成される赤外線検知素子により検知するセンサで
ある。赤外線検知素子は、サファイアなどの基板にＨｇ
1-x Ｃｄx Ｔｅなどを結晶成長させて、主表面の両側に
一対のコンタクト電極を形成し、電極間の領域を赤外線
受光部とする光伝導型のものが知られている。
【０００３】この種の赤外線検知素子は、その性能を最
大限に引き出すために、７７Ｋ程度の液体窒素程度にま
で冷却した状態で使用される。このため、一般的な赤外
線検知器では、デュア構造の真空断熱容器を用い、その
真空スペース側に赤外線検知素子を収容する。
大限に引き出すために、７７Ｋ程度の液体窒素程度にま
で冷却した状態で使用される。このため、一般的な赤外
線検知器では、デュア構造の真空断熱容器を用い、その
真空スペース側に赤外線検知素子を収容する。
【０００４】図６は、従来の赤外線検知器の一部断面側
面図である。この図に示すように、赤外線検知器は、上
面に赤外線が入射できるように光学窓（Ｇｅなど）１８
が融着された外筒１６の内部に、内筒２が収容されたデ
ュア構造となっている。
面図である。この図に示すように、赤外線検知器は、上
面に赤外線が入射できるように光学窓（Ｇｅなど）１８
が融着された外筒１６の内部に、内筒２が収容されたデ
ュア構造となっている。
【０００５】内筒２は、ガラスなどの絶縁体からなり、
光学窓１８に対向する上面には赤外線検知素子１４を配
置し、側面には、赤外線検知素子１４と接続される配線
パターン４が形成され、配線パターン４とセラミック基
板６上の信号ピン８とがワイヤ１０により接続されてい
る。
光学窓１８に対向する上面には赤外線検知素子１４を配
置し、側面には、赤外線検知素子１４と接続される配線
パターン４が形成され、配線パターン４とセラミック基
板６上の信号ピン８とがワイヤ１０により接続されてい
る。
【０００６】図示しない排気管が設けられており、この
排気管により内筒２と外筒１６とで画成される空間を真
空排気をするようになっている。しかしながら、赤外線
検知素子１４は約１００℃以上の温度で処理してしまう
と、その性能が全く劣化してしまうので、通常、真空度
維持のために、容器内には放出ガス吸着用のゲッター１
２が取り付けられている。
排気管により内筒２と外筒１６とで画成される空間を真
空排気をするようになっている。しかしながら、赤外線
検知素子１４は約１００℃以上の温度で処理してしまう
と、その性能が全く劣化してしまうので、通常、真空度
維持のために、容器内には放出ガス吸着用のゲッター１
２が取り付けられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ゲッター１
２は、約数十μｍのＺｒ、Ｖ、Ｆｅなどを焼結した軽石
状のポーラスなものであるが、装置実装時や運用時に振
動・衝撃などが加わると、時として、この焼結体の一部
が砕け、約数十μｍの粉塵が発生して、真空容器内を飛
び回る。
２は、約数十μｍのＺｒ、Ｖ、Ｆｅなどを焼結した軽石
状のポーラスなものであるが、装置実装時や運用時に振
動・衝撃などが加わると、時として、この焼結体の一部
が砕け、約数十μｍの粉塵が発生して、真空容器内を飛
び回る。
【０００８】この砕けた粉塵は、撮像時に赤外線検知素
子１４の受光面を横切り、その結果、映像に疑似信号と
して現れて、赤外線撮像装置が誤動作するなどの問題が
あった。
子１４の受光面を横切り、その結果、映像に疑似信号と
して現れて、赤外線撮像装置が誤動作するなどの問題が
あった。
【０００９】本発明は、このような点に鑑みてなされた
ものであり、ゲッターが取り付けられた赤外線検知器で
もその性能を損なうことなく、誤動作なく高品質な撮像
を可能にするための赤外線検知器及びその製造方法を提
供することを目的としている。
ものであり、ゲッターが取り付けられた赤外線検知器で
もその性能を損なうことなく、誤動作なく高品質な撮像
を可能にするための赤外線検知器及びその製造方法を提
供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理図で
ある。この図に示すように、端面に赤外線検知素子２２
を搭載した内筒２０と、内筒２０の周囲に配置され、赤
外線検知素子２２に対向する位置に光学窓２６を設けた
外筒２４と、内筒２０と外筒２４とにより画成される空
間の真空状態を維持するためのゲッター２８とを有する
赤外線検知器において、ゲッター２８と赤外線検知素子
２２との間に、気体は通過するが、粉塵等の固体は通過
させないフィルタ３０を設けたことを特徴とする。
ある。この図に示すように、端面に赤外線検知素子２２
を搭載した内筒２０と、内筒２０の周囲に配置され、赤
外線検知素子２２に対向する位置に光学窓２６を設けた
外筒２４と、内筒２０と外筒２４とにより画成される空
間の真空状態を維持するためのゲッター２８とを有する
赤外線検知器において、ゲッター２８と赤外線検知素子
２２との間に、気体は通過するが、粉塵等の固体は通過
させないフィルタ３０を設けたことを特徴とする。
【００１１】以上のように発明を構成したので、内筒２
０と外筒２４とにより画成される空間が真空状態になる
と、この空間中のガスがフィルタ３０を通過し、ゲッタ
ー２８がこのガスを吸着して、真空状態を維持する。
０と外筒２４とにより画成される空間が真空状態になる
と、この空間中のガスがフィルタ３０を通過し、ゲッタ
ー２８がこのガスを吸着して、真空状態を維持する。
【００１２】ゲッター２８が振動・衝撃などを受ける
と、ゲッターが砕けて、約数十μｍの粉塵が発生するす
るが、フィルタ３０がこの粉塵を阻止するので、赤外線
検知素子２２には粉塵は届かない。従って、従来のよう
に粉塵が、撮像時に赤外線検知素子１４の受光面を横切
り、映像に疑似信号として現れるようなことが無くな
る。
と、ゲッターが砕けて、約数十μｍの粉塵が発生するす
るが、フィルタ３０がこの粉塵を阻止するので、赤外線
検知素子２２には粉塵は届かない。従って、従来のよう
に粉塵が、撮像時に赤外線検知素子１４の受光面を横切
り、映像に疑似信号として現れるようなことが無くな
る。
【００１３】例えば、フィルタ３０を気体通過用の穴が
開いた支持板３２で挟んだサンドイッチ構造とし、フィ
ルタ３０及び支持板３２に設けた欠損部に内筒２０を配
置する。これにより、フィルタ３０が支持板３４に支持
されて、振動・衝撃などを受けても破損するようなこと
もなくなる。
開いた支持板３２で挟んだサンドイッチ構造とし、フィ
ルタ３０及び支持板３２に設けた欠損部に内筒２０を配
置する。これにより、フィルタ３０が支持板３４に支持
されて、振動・衝撃などを受けても破損するようなこと
もなくなる。
【００１４】また、フィルタ３０及び支持板３２は、内
筒２０から離間して配置することが望ましい。これによ
り、内筒２０が冷却されて使用される構造の場合におい
て、内筒２０の冷却特性を損なうことがない。
筒２０から離間して配置することが望ましい。これによ
り、内筒２０が冷却されて使用される構造の場合におい
て、内筒２０の冷却特性を損なうことがない。
【００１５】また、フィルタ３０は、真空度劣化を起こ
さないガス放出の少ない材料で構成することがさらに望
ましい。支持板３２は、その側面に切ったねじを合わせ
て固定するとよい。これにより、支持板３２が容器に容
易に密着して固定されて隙間の発生を防止できるため、
隙間からゲッター２８などの微粉塵が赤外線検知素子２
２に到達することがない。
さないガス放出の少ない材料で構成することがさらに望
ましい。支持板３２は、その側面に切ったねじを合わせ
て固定するとよい。これにより、支持板３２が容器に容
易に密着して固定されて隙間の発生を防止できるため、
隙間からゲッター２８などの微粉塵が赤外線検知素子２
２に到達することがない。
【００１６】本発明の赤外線検知器の製造方法は、台座
３６に支持され、端面に赤外線検知素子２２が搭載され
る内筒２０を作製するステップと、ゲッター２８を内部
に取り付けたゲッターケース３４を作製するステップ
と、端面に光学窓２６を設けた外筒２４を作製するステ
ップと、内筒２０が配置される部位に第１欠損部を有す
る一対の支持板３２と、内筒２０が配置される部位に第
２欠損部を有し、支持板３２に挟まれ、気体は通過させ
るが、粉塵等の固体は通過させないフィルタ３０とのサ
ンドイッチ構造の仕切り板を作製するステップと、ゲッ
ターケース３４又は外筒２４に仕切り板を取り付けるス
テップと、台座３６とゲッターケース３４とを気密接合
するステップと、ゲッターケース３４と外筒２４とを気
密接合するステップとを含む。
３６に支持され、端面に赤外線検知素子２２が搭載され
る内筒２０を作製するステップと、ゲッター２８を内部
に取り付けたゲッターケース３４を作製するステップ
と、端面に光学窓２６を設けた外筒２４を作製するステ
ップと、内筒２０が配置される部位に第１欠損部を有す
る一対の支持板３２と、内筒２０が配置される部位に第
２欠損部を有し、支持板３２に挟まれ、気体は通過させ
るが、粉塵等の固体は通過させないフィルタ３０とのサ
ンドイッチ構造の仕切り板を作製するステップと、ゲッ
ターケース３４又は外筒２４に仕切り板を取り付けるス
テップと、台座３６とゲッターケース３４とを気密接合
するステップと、ゲッターケース３４と外筒２４とを気
密接合するステップとを含む。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。 （ａ） 赤外線検知器の構造 図２は、本発明の実施形態による赤外線検知器の一部断
面側面図である。
施の形態について説明する。 （ａ） 赤外線検知器の構造 図２は、本発明の実施形態による赤外線検知器の一部断
面側面図である。
【００１８】この図に示すように、赤外線検知器は、Ｈ
ｇ1-x Ｃｄx Ｔｅなどの赤外線検知素子５１が搭載され
た内筒５０の周囲に外筒７０を配置したデュア構造とな
っている。
ｇ1-x Ｃｄx Ｔｅなどの赤外線検知素子５１が搭載され
た内筒５０の周囲に外筒７０を配置したデュア構造とな
っている。
【００１９】内筒５０は、ガラスなどの絶縁体からな
り、赤外線検知素子５１を搭載する表面及び側面上に配
線パターン５２が形成されている。配線パターン５２と
セラミック基板５６上に配置した信号ピン６０とがワイ
ヤ５８により電気的に接続されている。
り、赤外線検知素子５１を搭載する表面及び側面上に配
線パターン５２が形成されている。配線パターン５２と
セラミック基板５６上に配置した信号ピン６０とがワイ
ヤ５８により電気的に接続されている。
【００２０】ゲッターケース６２は、その底部の穴を上
方から内筒５０に挿入して配置され、気密溶接などによ
り、台座５４に接合されている。ゲッター６４がゲッタ
ーケース６２の側面から取り付けられている。
方から内筒５０に挿入して配置され、気密溶接などによ
り、台座５４に接合されている。ゲッター６４がゲッタ
ーケース６２の側面から取り付けられている。
【００２１】ゲッター６４は、Ｚｒ、Ｖ、Ｆｅなどを焼
結した軽石状のポーラスなものである。排気管６８は、
ゲッターケース６２の側面の開口部から挿入されて、溶
接などによりゲッターケース６２に接合されている。
結した軽石状のポーラスなものである。排気管６８は、
ゲッターケース６２の側面の開口部から挿入されて、溶
接などによりゲッターケース６２に接合されている。
【００２２】金属筒６９が、内筒５０と外筒７０の間に
挿入され、ゲッターケース６２の底面に接合されてい
る。金属筒６９は外筒７０の壁面の温度Ｔ１と内筒５０
の表面温度Ｔ２とを熱遮断するためのものであり、コバ
ールなどからなる。
挿入され、ゲッターケース６２の底面に接合されてい
る。金属筒６９は外筒７０の壁面の温度Ｔ１と内筒５０
の表面温度Ｔ２とを熱遮断するためのものであり、コバ
ールなどからなる。
【００２３】仕切り板６６は、ゲッター６４と赤外線検
知素子５１とを隔離して、ゲッター６４の粉塵などの通
過を阻止するものであり、その取り付け位置は、ゲッタ
ー６４と赤外線検知素子５１との間であればよく、ゲッ
ターケース６２又は外筒７０のいずれてもよいが、本例
では、ゲッターケース６２に取り付ける構造としてい
る。そのために、ゲッターケース６２の上方の側壁の内
側には、ねじが切られている。
知素子５１とを隔離して、ゲッター６４の粉塵などの通
過を阻止するものであり、その取り付け位置は、ゲッタ
ー６４と赤外線検知素子５１との間であればよく、ゲッ
ターケース６２又は外筒７０のいずれてもよいが、本例
では、ゲッターケース６２に取り付ける構造としてい
る。そのために、ゲッターケース６２の上方の側壁の内
側には、ねじが切られている。
【００２４】仕切り板６６にも、側面にねじが切られて
おり、このねじがゲッターケース６２側壁のねじに噛み
合わさって、仕切り板６６がゲッターケース６２に固定
されている。
おり、このねじがゲッターケース６２側壁のねじに噛み
合わさって、仕切り板６６がゲッターケース６２に固定
されている。
【００２５】仕切り板６６は、容器内に飛散するゲッタ
ー６４の微粉塵を赤外線検出素子５１の受光面に到達さ
せないこと、内筒５０の冷却部とは完全に熱遮断し、冷
却特性を損なわないようにすること、ガス放出の少なく
真空劣化を起こさせないものであること、安価なもので
あること、容器内の均一な真空度を半永久的に保持する
こと、などを満足することが要求される。
ー６４の微粉塵を赤外線検出素子５１の受光面に到達さ
せないこと、内筒５０の冷却部とは完全に熱遮断し、冷
却特性を損なわないようにすること、ガス放出の少なく
真空劣化を起こさせないものであること、安価なもので
あること、容器内の均一な真空度を半永久的に保持する
こと、などを満足することが要求される。
【００２６】図３は、図２中の仕切り板６６の斜視図で
ある。この図に示すように、仕切り板６６は、フィルタ
８０が一対の支持板８２によって挟まれたサンドイッチ
構造である。フィルタ８０は、中心部に金属筒６９の外
径に概略等しい径の穴が開き、放出ガスなどの気体は通
過するが、疑似信号の発生源となる約数十μｍの粉塵な
どは通らない「分子ふるい構造をした材料」であり、例
えば、厚さ約５００μｍで約数μｍ以下の穴が全体に均
一に開いたフッソ系樹脂のフィルムシート（商品名：ミ
リポアフィルタ）である。
ある。この図に示すように、仕切り板６６は、フィルタ
８０が一対の支持板８２によって挟まれたサンドイッチ
構造である。フィルタ８０は、中心部に金属筒６９の外
径に概略等しい径の穴が開き、放出ガスなどの気体は通
過するが、疑似信号の発生源となる約数十μｍの粉塵な
どは通らない「分子ふるい構造をした材料」であり、例
えば、厚さ約５００μｍで約数μｍ以下の穴が全体に均
一に開いたフッソ系樹脂のフィルムシート（商品名：ミ
リポアフィルタ）である。
【００２７】支持板８２は、フィルタ８０を支持するも
のであり、側面にネジが切られており、中心部に金属筒
６９の外径に概略等しい径の穴が開き、ゲッターケース
６２の内径に概略等しい外径を有する円盤状のものであ
り、数ｍｍΦの穴の開いた厚み約数ｍｍのコバールなど
で構成する。
のであり、側面にネジが切られており、中心部に金属筒
６９の外径に概略等しい径の穴が開き、ゲッターケース
６２の内径に概略等しい外径を有する円盤状のものであ
り、数ｍｍΦの穴の開いた厚み約数ｍｍのコバールなど
で構成する。
【００２８】そして、仕切り板６６は、内周が金属筒６
９に、外周がゲッターケース６２の側壁面にに密着して
おり、内筒５０からは離間して位置し、内筒５０の冷却
部とは完全に熱遮断された状態となっている。
９に、外周がゲッターケース６２の側壁面にに密着して
おり、内筒５０からは離間して位置し、内筒５０の冷却
部とは完全に熱遮断された状態となっている。
【００２９】外筒７０は、気密溶接などにより、ゲッタ
ーケース６２の上面で接合されている。外筒７０の上面
には、赤外線が入射できるようにＧｅなどからなる光学
窓７２が融着されている。
ーケース６２の上面で接合されている。外筒７０の上面
には、赤外線が入射できるようにＧｅなどからなる光学
窓７２が融着されている。
【００３０】以下、図２の赤外線検知器の動作説明をす
る。赤外線検知器は、排気管６８から真空排気をした
後、封止される。赤外線検知器が真空封止されてから発
生する放出ガスは、図３中の支持板８２の穴及びフィル
タ８０を通して、ゲッター６４に吸着されて、内筒５０
と外筒７０とにより画成される空間の高真空度が維持さ
れる。
る。赤外線検知器は、排気管６８から真空排気をした
後、封止される。赤外線検知器が真空封止されてから発
生する放出ガスは、図３中の支持板８２の穴及びフィル
タ８０を通して、ゲッター６４に吸着されて、内筒５０
と外筒７０とにより画成される空間の高真空度が維持さ
れる。
【００３１】この赤外線検知器の使用時には、内筒５０
の内側にジュールトムソン式冷却装置などの冷却装置を
挿入しておくか、或いは液体窒素などの冷却媒体を充填
し、赤外線検知素子５１を低温に冷却する。
の内側にジュールトムソン式冷却装置などの冷却装置を
挿入しておくか、或いは液体窒素などの冷却媒体を充填
し、赤外線検知素子５１を低温に冷却する。
【００３２】この時、金属筒６９により、外筒７０の壁
面の温度Ｔ１と内筒５０の表面温度Ｔ２とを熱遮断をす
るので、内筒５０の冷却効果が損なわれない。そして、
仕切り板６６は、この金属筒６９の外側に位置するの
で、この内筒５０の冷却特性を損なうことがない。
面の温度Ｔ１と内筒５０の表面温度Ｔ２とを熱遮断をす
るので、内筒５０の冷却効果が損なわれない。そして、
仕切り板６６は、この金属筒６９の外側に位置するの
で、この内筒５０の冷却特性を損なうことがない。
【００３３】そして、赤外線検知素子５１を低温に冷却
した状態で、赤外線検知素子５１に適当なバイアス電流
を与えておくと、受光した赤外線の強度に応じた電圧信
号が信号ピン６０から外部の装置に取り出されて、画像
処理される。
した状態で、赤外線検知素子５１に適当なバイアス電流
を与えておくと、受光した赤外線の強度に応じた電圧信
号が信号ピン６０から外部の装置に取り出されて、画像
処理される。
【００３４】ところで、この赤外線検知器を装置実装時
や運用時に外部から振動・衝撃などを受けて、ゲッター
６４の焼結体の一部が砕け、約数十μｍの大きさの粉塵
が飛散するが、フィルタ８０は、約数十μｍの大きさの
粉塵の通過を阻止するので、赤外線検知素子５１の方に
到達することはない。
や運用時に外部から振動・衝撃などを受けて、ゲッター
６４の焼結体の一部が砕け、約数十μｍの大きさの粉塵
が飛散するが、フィルタ８０は、約数十μｍの大きさの
粉塵の通過を阻止するので、赤外線検知素子５１の方に
到達することはない。
【００３５】これにより、従来のように粉塵が、撮像時
に赤外線検知素子５１の受光面を横切り、映像に疑似信
号として現れるようなことが無くなる。また、仕切り板
６６は、ガス放出が少ないので、気密封止後の赤外線検
知器の真空劣化も起こり難い。
に赤外線検知素子５１の受光面を横切り、映像に疑似信
号として現れるようなことが無くなる。また、仕切り板
６６は、ガス放出が少ないので、気密封止後の赤外線検
知器の真空劣化も起こり難い。
【００３６】（ｂ） 赤外線検知器の製造方法 図４及び図５は、図２の赤外線検知器の製造方法を示す
工程図である。以下、これらの図を参照しつつ、本発明
の実施形態による赤外線検知器の製造方法の説明をす
る。
工程図である。以下、これらの図を参照しつつ、本発明
の実施形態による赤外線検知器の製造方法の説明をす
る。
【００３７】図４（ａ）に示すように、図示しない配線
パターンや信号ピン６０を有するセラミック基板６０を
取り付けた台座５４にガラスなどの絶縁体からなる筒状
の内筒５０を溶接する。
パターンや信号ピン６０を有するセラミック基板６０を
取り付けた台座５４にガラスなどの絶縁体からなる筒状
の内筒５０を溶接する。
【００３８】図４（ｂ）に示すように、ガラスの上面及
び側面に導体金属膜を蒸着法などの手法により形成した
後、レーザー光で所望の配線パターン５２に加工する。
次に、信号ピン６０と配線パターン５２とを接続するた
めにワイヤ５８をワイヤボンディングした後、赤外線検
知素子５１を内筒５０の上面に搭載する。
び側面に導体金属膜を蒸着法などの手法により形成した
後、レーザー光で所望の配線パターン５２に加工する。
次に、信号ピン６０と配線パターン５２とを接続するた
めにワイヤ５８をワイヤボンディングした後、赤外線検
知素子５１を内筒５０の上面に搭載する。
【００３９】図５（ａ）に示すように、内筒５０が挿入
される底面に所定の大きさの穴を開け、金属筒６９を底
面に固定し、側壁の内面にねじ８６を切り、側壁からゲ
ッター６４を取り付け、排気管６８を側壁から挿入して
溶接した円筒状のゲッターケース６２を作製する。
される底面に所定の大きさの穴を開け、金属筒６９を底
面に固定し、側壁の内面にねじ８６を切り、側壁からゲ
ッター６４を取り付け、排気管６８を側壁から挿入して
溶接した円筒状のゲッターケース６２を作製する。
【００４０】図５（ｂ）に示すように、図３に示した構
造の仕切り板６６の外周面に切ったねじ８４をゲッター
ケース６２のねじ８６に嵌め合わせ、例えば、仕切り板
６６の上面がゲッターケース６２の上面に一致する位置
で、仕切り板６６をゲッターケース６２に固定する。
造の仕切り板６６の外周面に切ったねじ８４をゲッター
ケース６２のねじ８６に嵌め合わせ、例えば、仕切り板
６６の上面がゲッターケース６２の上面に一致する位置
で、仕切り板６６をゲッターケース６２に固定する。
【００４１】図５（ｃ）に示すように、上面にＧｅなど
の光学窓７２を融着した外筒７０をゲッターケース６２
の上面に気密溶接によって接合する。外筒７０などを９
５℃〜１００℃程度に加熱してガスを放出させながら、
排気管６８より１０-8Ｔｏｒｒ程度にまで、真空排気し
て、排気管６８を封止する。そして、ゲッター６４にバ
イアス電流を流して活性化して、図２に示す赤外線検知
器の作製を終了する。
の光学窓７２を融着した外筒７０をゲッターケース６２
の上面に気密溶接によって接合する。外筒７０などを９
５℃〜１００℃程度に加熱してガスを放出させながら、
排気管６８より１０-8Ｔｏｒｒ程度にまで、真空排気し
て、排気管６８を封止する。そして、ゲッター６４にバ
イアス電流を流して活性化して、図２に示す赤外線検知
器の作製を終了する。
【００４２】以上説明した実施形態によれば、ゲッタ−
６４と赤外線検知素子５１とを仕切り板６６により分離
し、この仕切り板６６のフィルタ８０によって、約数十
μｍの粉塵の赤外線検知素子５１への通過を阻止するの
で、粉塵が赤外線検知素子５１の方に到達することはな
く、従来のように粉塵が、撮像時に赤外線検知素子の受
光面を横切り、映像に疑似信号として現れるようなこと
が無くなる。
６４と赤外線検知素子５１とを仕切り板６６により分離
し、この仕切り板６６のフィルタ８０によって、約数十
μｍの粉塵の赤外線検知素子５１への通過を阻止するの
で、粉塵が赤外線検知素子５１の方に到達することはな
く、従来のように粉塵が、撮像時に赤外線検知素子の受
光面を横切り、映像に疑似信号として現れるようなこと
が無くなる。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ゲッターと赤外線検知素子とを仕切り板により分離する
ので、約数十μｍの粉塵の赤外線検知素子への通過を阻
止できるので、粉塵が赤外線検知素子の方に到達するこ
とはなく、従来のように粉塵が、撮像時に赤外線検知素
子の受光面を横切り、映像に疑似信号として現れること
を防止可能である。
ゲッターと赤外線検知素子とを仕切り板により分離する
ので、約数十μｍの粉塵の赤外線検知素子への通過を阻
止できるので、粉塵が赤外線検知素子の方に到達するこ
とはなく、従来のように粉塵が、撮像時に赤外線検知素
子の受光面を横切り、映像に疑似信号として現れること
を防止可能である。
【図１】本発明の原理図である。
【図２】本発明の実施形態による赤外線検知器の一部断
面側面図である。
面側面図である。
【図３】図２中の仕切り板の構成図である。
【図４】本発明の実施形態による赤外線検知器の製造方
法を示す工程図である。
法を示す工程図である。
【図５】本発明の実施形態による赤外線検知器の製造方
法を示す工程図である。
法を示す工程図である。
【図６】従来の赤外線検知器の一部断面側面図である。
２０ 内筒 ２２ 赤外線検知素子 ２４ 外筒 ２６ 光学窓 ２８ ゲッター ３０ フィルタ ３４ ゲッターケース ３６ 台座
Claims (6)
- 【請求項１】 端面に赤外線検知素子を搭載した内筒
と、該内筒の周囲に配置され、該赤外線検知素子に対向
する位置に光学窓を設けた外筒と、前記内筒と前記外筒
とにより画成される空間の真空状態を維持するためのゲ
ッターとを有する赤外線検知器において、 前記ゲッターと前記赤外線検知素子との間に、気体は通
過するが、粉塵等の固体は通過させないフィルタを設け
たことを特徴とする赤外線検知器。 - 【請求項２】 前記フィルタを気体通過用の穴が開いた
一対の支持板で挟んだサンドイッチ構造とし、該フィル
タ及び該支持板に設けた欠損部に前記内筒を配置したこ
とを特徴とする請求項１記載の赤外線検知器。 - 【請求項３】 前記フィルタ及び前記支持板は、前記内
筒から離間して配置されていることを特徴とする請求項
２記載の赤外線検知器。 - 【請求項４】 前記フィルタは、真空度劣化を起こさな
いガス放出の少ない材料で構成されていることを特徴と
する請求項１記載の赤外線検知器。 - 【請求項５】 前記支持板は、その側面に切ったねじを
嵌め合わせて外筒に固定されていることを特徴とする請
求項２記載の赤外線検知器。 - 【請求項６】 台座に支持され、端面に赤外線検知素子
が搭載される内筒を作製するステップと、 ゲッターを内部に取り付けたゲッターケースを作製する
ステップと、 端面に光学窓を設けた外筒を作製するステップと、 前記内筒が配置される部位に第１欠損部を有する一対の
支持板と、前記内筒が配置される部位に第２欠損部を有
し、該支持板に挟まれ、気体は通過させるが、粉塵等の
固体は通過させないフィルタとのサンドイッチ構造の仕
切り板を作製するステップと、 前記ゲッターケース又は前記外筒に前記仕切り板を取り
付けるステップと、 前記台座と前記ゲッターケースとを気密接合するステッ
プと、 前記ゲッターケースと前記外筒とを気密接合するステッ
プと、 を含むことを特徴とする赤外線検知器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9136319A JPH10332478A (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 赤外線検知器及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9136319A JPH10332478A (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 赤外線検知器及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10332478A true JPH10332478A (ja) | 1998-12-18 |
Family
ID=15172449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9136319A Withdrawn JPH10332478A (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 赤外線検知器及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10332478A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003521365A (ja) * | 1999-06-10 | 2003-07-15 | サエス ピュア ガス インク | 一体型加熱ゲッター精製器システム |
| WO2005027176A1 (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-24 | Hamamatsu Photonics K.K. | 電子管 |
| US7486021B2 (en) | 2003-09-10 | 2009-02-03 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube with electron-bombarded semiconductor device |
| US7491918B2 (en) | 2003-09-10 | 2009-02-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron beam detection device and electron tube |
| JP2009297890A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Honeywell Internatl Inc | 上部感知プレート設計システム中のダイ上のゲッター |
| US7692384B2 (en) | 2003-09-10 | 2010-04-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube |
| US7876033B2 (en) | 2008-10-23 | 2011-01-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube |
| US8040060B2 (en) | 2008-10-23 | 2011-10-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube |
| US8080806B2 (en) | 2008-10-23 | 2011-12-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube |
| US8203266B2 (en) | 2008-10-23 | 2012-06-19 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube |
| CN110887569A (zh) * | 2019-11-04 | 2020-03-17 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 吸气剂组件、杜瓦组件及其装配方法、红外探测器 |
-
1997
- 1997-05-27 JP JP9136319A patent/JPH10332478A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003521365A (ja) * | 1999-06-10 | 2003-07-15 | サエス ピュア ガス インク | 一体型加熱ゲッター精製器システム |
| US7692384B2 (en) | 2003-09-10 | 2010-04-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube |
| US7486021B2 (en) | 2003-09-10 | 2009-02-03 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube with electron-bombarded semiconductor device |
| US7491918B2 (en) | 2003-09-10 | 2009-02-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron beam detection device and electron tube |
| US7525249B2 (en) | 2003-09-10 | 2009-04-28 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube with electron-bombarded semiconductor device |
| WO2005027176A1 (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-24 | Hamamatsu Photonics K.K. | 電子管 |
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| US7876033B2 (en) | 2008-10-23 | 2011-01-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube |
| US8040060B2 (en) | 2008-10-23 | 2011-10-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube |
| US8080806B2 (en) | 2008-10-23 | 2011-12-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube |
| US8203266B2 (en) | 2008-10-23 | 2012-06-19 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron tube |
| CN110887569A (zh) * | 2019-11-04 | 2020-03-17 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 吸气剂组件、杜瓦组件及其装配方法、红外探测器 |
| CN110887569B (zh) * | 2019-11-04 | 2021-11-05 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 吸气剂组件、杜瓦组件及其装配方法、红外探测器 |
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