JPH10332329A - Optical frequency sweeping type tomoimage measuring method and its device - Google Patents

Optical frequency sweeping type tomoimage measuring method and its device

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JPH10332329A
JPH10332329A JP14258497A JP14258497A JPH10332329A JP H10332329 A JPH10332329 A JP H10332329A JP 14258497 A JP14258497 A JP 14258497A JP 14258497 A JP14258497 A JP 14258497A JP H10332329 A JPH10332329 A JP H10332329A
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light
image
optical frequency
interference
image signal
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JP14258497A
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Takeaki Yoshimura
武晃 吉村
Keiichi Yamada
圭一 山田
Koichi Murayama
幸市 村山
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Daiken Iki Co Ltd
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Daiken Iki Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical frequency sweeping type tomoimage measuring method and its device capable of providing tomoimage information in a wide space domain in a short time with high resolving power without using mechanical scanning. SOLUTION: A coherent light is generated from a light source 1 where optical frequency sweeping is possible, and after the coherent light is divided into a reference light and a measuring light, a specimen SP is irradiated by the measuring light, and interference light is generated by interference between a reflected object light and the reference light. The interference light is image- picked up using an image-picking up element 20 composed by arranging a plurality of light receiving picture elements in one dimension or two dimensions, and an image signal is outputted from the picking-up element 20 every fixed flame period during the sweeping term of the optical frequency. After the image signal is housed every flame in a flame memory 23, the image signal housed in the flame memory 23 is Fourier transformed every picture element on a time base to compute a tomoimage.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、物体光と参照光と
の干渉によって物体の断層画像を測定するための光周波
数掃引式断層画像測定方法および装置に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an optical frequency sweep type tomographic image measuring method and apparatus for measuring a tomographic image of an object by interference between object light and reference light.

【0002】[0002]

【従来の技術】生体に対して比較的透過性のある近赤外
光を用いて、生体内部の断層情報を得るための研究がい
くつか発表されている(Joseph A.Izatt,et al.,"Ophth
almicDiagnotics using Optical Coherence Tomograph
y",SPIE Vol.1877,pp.136-144,1993),(Udo Haberland,e
t al.,"Investigation of highly scattering mediausi
ng near-infrared continuous wave tunable semicondu
ctor laser",SPIEVol.2389,pp.504-512,1995),(田尻秀
幸等:「低コヒーレンス光干渉による屈折率と厚さ同時
精密測定」,信学技報OPE95-121,pp.7-12,1996-01)。
2. Description of the Related Art Several studies for obtaining tomographic information inside a living body using near-infrared light which is relatively transparent to the living body have been published (Joseph A. Izatt, et al., "Ophth
almicDiagnotics using Optical Coherence Tomograph
y ", SPIE Vol. 1877, pp. 136-144, 1993), (Udo Haberland, e
t al., "Investigation of highly scattering mediausi
ng near-infrared continuous wave tunable semicondu
ctor laser ", SPIEVol.2389, pp.504-512, 1995), (Hideyuki Tajiri et al .:" Simultaneous precision measurement of refractive index and thickness by low coherence optical interference ", IEICE Technical Report OPE95-121, pp.7- 12,1996-01).

【0003】生体の内部情報を計測する方式として、透
過型計測法と反射型計測法に大別できる。前者は、直進
光や準直進光などの透過光を利用するもので、この透過
光を精度良く検出できれば従来のX線CTアルゴリスム
をそのまま適用可能であり、断層画像の再構成が容易に
なる。
[0003] Methods for measuring internal information of a living body can be broadly classified into a transmission measurement method and a reflection measurement method. The former uses transmitted light such as straight-traveling light or quasi-straight-traveling light. If the transmitted light can be detected with high accuracy, a conventional X-ray CT algorithm can be applied as it is, and reconstruction of a tomographic image becomes easy.

【0004】しかしながら、生体は光に対して多重散乱
体であり、近赤外領域における直進光の吸収係数は0.
01〜0.1mm-1程度と比較的小さいが、拡散係数は
10mm-1程度と極めて大きいため拡散による減衰が著
しい。このため直進光は生体を数mm通過すると減衰し
て、検出限界以下となってしまう。
However, a living body is a multiple scatterer for light, and the absorption coefficient of straight-ahead light in the near-infrared region is 0.1.
Although relatively small 01~0.1mm about -1, diffusion coefficient significant attenuation due to diffusion for very large as about 10 mm -1. For this reason, the straight traveling light is attenuated when passing through the living body by several mm, and becomes lower than the detection limit.

【0005】一方、準直進光を利用すれば、拡散係数は
等価的に1.0〜3.0mm-1程度となり、検出限界を
cmオーダに拡大することができる。しかし、人体の断
層計測に応用するためには、20〜30cm程度の検出
距離が必要となるため、現在の技術では困難である。
On the other hand, if quasi-straight light is used, the diffusion coefficient is equivalently about 1.0 to 3.0 mm -1 , and the detection limit can be expanded to the order of cm. However, in order to apply it to tomographic measurement of the human body, a detection distance of about 20 to 30 cm is required, so that it is difficult with current technology.

【0006】後者の反射型計測法は、生体の表面から一
定の深さ位置での反射率を断層画像として計測するもの
であり、生体が大きくても適用可能である。この開発例
としてコヒーレンスゲート方式の干渉計があり、これは
光源のコヒーレンス長が10〜30μmであることを利
用して、高分解能の断層像を得ている。
The latter reflection-type measurement method measures the reflectance at a certain depth position from the surface of a living body as a tomographic image, and is applicable to a large living body. As an example of this development, there is a coherence gate type interferometer, which uses a coherence length of a light source of 10 to 30 μm to obtain a high-resolution tomographic image.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、コヒー
レンスゲート方式には幾つかの問題点があり、1)ある
一定の深さでの断層像を得るには、干渉光学系と物体と
を相対的に横方向に走査する必要があり、さらに深さ方
向の断層像を得るには深さ方向の走査を必要とする。そ
のため、立体画像を得るには機械的な3次元走査が必要
となる。2)生体に近赤外線を照射したとき、全ての深
さ位置から反射光が発生するが、コヒーレンスゲート方
式はそのうちの特定の深さ位置からの反射光しか検出で
きない。したがって、反射光自体が微弱であり、しかも
その一部しか測定に寄与しないため、光利用効率が著し
く低い。3)光の干渉現象を利用するため、測定光とし
て空間コヒーレンスに優れた平行光が必要になる。一
方、光源は時間コヒーレンスを低下させて、断層画像測
定を高分解能化する必要がある。これらの2つのコヒー
レンスを満足する光源として、スーパールミネッセント
ダイオード(SLD)が開発されているが、数mW以下
の低い出力のものしかなく、さらに空間コヒーレンスを
満足させるための光学系による光損失によって、利用可
能な光量はさらに低下する。
However, the coherence gate method has several problems. 1) To obtain a tomographic image at a certain depth, the interference optical system and the object must be relatively positioned. Scanning in the horizontal direction is required, and scanning in the depth direction is required to obtain a tomographic image in the depth direction. Therefore, mechanical three-dimensional scanning is required to obtain a stereoscopic image. 2) When a living body is irradiated with near-infrared rays, reflected light is generated from all depth positions, but the coherence gate method can only detect reflected light from a specific depth position. Therefore, the reflected light itself is weak and only a part of the reflected light contributes to the measurement, so that the light use efficiency is extremely low. 3) Since the light interference phenomenon is used, parallel light having excellent spatial coherence is required as measurement light. On the other hand, it is necessary for the light source to reduce the time coherence and increase the resolution of the tomographic image measurement. A super luminescent diode (SLD) has been developed as a light source that satisfies these two coherences, but has only a low output of several mW or less, and further has a light loss due to an optical system for satisfying the spatial coherence. This further reduces the amount of light available.

【0008】このようにコヒーレンスゲート方式を生体
に適用した場合、表面から数百μmまでの断層計測が限
界であり、眼の角膜など応用分野が限られている。
As described above, when the coherence gate method is applied to a living body, the tomographic measurement from the surface to several hundred μm is the limit, and the application field such as the cornea of the eye is limited.

【0009】本発明の目的は、機械的な走査を行わず
に、広い空間領域での断層画像情報を短時間かつ高分解
能で得られる光周波数掃引式断層画像測定方法および装
置を提供することである。
An object of the present invention is to provide an optical frequency sweep type tomographic image measuring method and apparatus capable of obtaining tomographic image information in a wide space area in a short time and with high resolution without performing mechanical scanning. is there.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、光周波数掃引
が可能な光源からコヒーレント光を発生して、該コヒー
レント光を参照光と測定光とに分割した後、測定光で物
体を照射し、反射した物体光と該参照光との干渉によっ
て干渉光を発生して、複数の受光画素が1次元または2
次元に配置されて構成された撮像素子を用いて、該干渉
光を撮像して、光周波数の掃引期間中に所定のフレーム
周期毎に撮像素子から画像信号を出力させ、該画像信号
をフレーム毎に画像メモリに格納した後、画像メモリに
格納された画像信号を画素毎に時間軸でフーリエ変換し
て、断層画像を算出することを特徴とする光周波数掃引
式断層画像測定方法である。
According to the present invention, a coherent light is generated from a light source capable of sweeping an optical frequency, the coherent light is divided into a reference light and a measuring light, and an object is irradiated with the measuring light. The interference between the reflected object light and the reference light generates interference light, and the plurality of light receiving pixels are one-dimensional or two-dimensional.
Using the imaging device arranged in a three-dimensional manner, the interference light is imaged, and an image signal is output from the imaging device every predetermined frame period during the optical frequency sweep period. An optical frequency sweep type tomographic image measuring method characterized in that a tomographic image is calculated by Fourier transforming the image signal stored in the image memory on a time axis for each pixel after storing the image signal in the image memory.

【0011】本発明に従えば、光源から光周波数が連続
的に変化するコヒーレント光を発生して物体に照射する
とともに、干渉計を用いて物体内部で反射した物体光
(直進光および準直進光)と参照光とを干渉させて、こ
の干渉光の強度分布を計測し、光周波数の変化に対応し
た強度分布の変化を測定することによって、深さ方向に
沿った断層画像を構築できる。
According to the present invention, a light source generates coherent light having a continuously changing optical frequency and irradiates the object with the coherent light, and reflects the object light (straight light and quasi-straight light) reflected inside the object using an interferometer. ) And the reference light, and by measuring the intensity distribution of the interference light, and measuring the change in the intensity distribution corresponding to the change in the optical frequency, a tomographic image along the depth direction can be constructed.

【0012】その原理を詳説する。干渉計における2つ
の腕の長さ、すなわち参照鏡までの距離と物体表面まで
の距離が等しい場合、参照光および物体光の光周波数は
同じ周波数であるから、干渉光のビート周波数はゼロと
なる。次に、物体光が物体内部のある深さ位置からの反
射光である場合、物体光側の腕の長さが長くなる。この
とき光源の光周波数が連続的に変化しているため、参照
光の光周波数と物体光の光周波数とが異なるため、干渉
光にビートが生じて、そのビート周波数は2つの腕の長
さの差に対応する。反射光は、物体内の測定光光路に沿
った全ての深さ位置で発生するから、物体光は異なった
深さ位置での反射光の混合となる。さらに、反射位置の
深さに対応して干渉計の腕の長さが異なるため、干渉光
は異なるビート周波数を持つ。したがって、参照鏡を固
定した状態で、干渉光の強度変化を周波数分析すること
によって、ビート周波数に対応する深さ位置での反射係
数を算出することができ、反射係数の空間分布が断層画
像として測定できる。
The principle will be described in detail. When the lengths of the two arms in the interferometer, that is, the distance to the reference mirror and the distance to the object surface are equal, the beat frequency of the interference light becomes zero because the optical frequencies of the reference light and the object light are the same. . Next, when the object light is reflected light from a certain depth position inside the object, the length of the arm on the object light side becomes longer. At this time, since the optical frequency of the light source is continuously changing, the optical frequency of the reference light and the optical frequency of the object light are different, so that a beat is generated in the interference light, and the beat frequency is equal to the length of the two arms. Corresponding to the difference. Since the reflected light occurs at all the depth positions along the measurement light path in the object, the object light is a mixture of the reflected lights at different depth positions. Furthermore, since the length of the arm of the interferometer differs according to the depth of the reflection position, the interference light has a different beat frequency. Therefore, with the reference mirror fixed, the reflection coefficient at the depth position corresponding to the beat frequency can be calculated by frequency-analyzing the intensity change of the interference light, and the spatial distribution of the reflection coefficient is obtained as a tomographic image. Can be measured.

【0013】さらに本発明では、複数の受光画素が1次
元または2次元に配置されて構成された撮像素子を用い
て、干渉光を撮像している。これによって、1次元また
は2次元の撮像領域に関するデータを一度に取り込むこ
とが可能となる。また、深さ方向のデータについては、
干渉光の周波数分析によって区別できる。したがって、
機械的走査を行わずに断層画像を得ることができ、送り
誤差や振動の影響を受けることなく、短時間で高精度の
測定が可能になる。
Further, in the present invention, the interference light is imaged by using an image sensor having a plurality of light receiving pixels arranged one-dimensionally or two-dimensionally. This makes it possible to capture data relating to a one-dimensional or two-dimensional imaging area at a time. For data in the depth direction,
It can be distinguished by analyzing the frequency of the interference light. Therefore,
A tomographic image can be obtained without performing mechanical scanning, and high-precision measurement can be performed in a short time without being affected by a feed error or vibration.

【0014】また、光周波数の掃引期間中に所定のフレ
ーム周期毎に撮像素子から画像信号を出力させ、画像信
号をフレーム毎に画像メモリに格納した後、画像メモリ
に格納された画像信号を画素毎に時間軸でフーリエ変換
して、断層画像を算出している。これによって、フレー
ム別に格納した画像信号を画素毎に周波数分析すること
が可能となり、断層画像の構築を容易に実施できる。
Further, during the sweeping period of the optical frequency, an image signal is output from the image sensor at a predetermined frame period, and the image signal is stored in the image memory for each frame. Each time, a tomographic image is calculated by performing a Fourier transform on the time axis. This makes it possible to analyze the frequency of the image signal stored for each frame for each pixel, and to easily construct a tomographic image.

【0015】また本発明は、光周波数の掃引が可能で、
コヒーレント光を発生するための光源と、光源からのコ
ヒーレント光を参照光と物体を照射する測定光とに分割
し、物体で反射した物体光と該参照光との干渉によって
得られる干渉光を発生するための干渉計と、複数の受光
画素が1次元または2次元に配置されて構成され、干渉
計からの干渉光を撮像するための撮像素子と、光周波数
の掃引期間中に、所定のフレーム周期毎に撮像素子から
出力される画像信号をフレーム毎に格納するための画像
メモリと、画像メモリに格納された画像信号を画素毎に
時間軸でフーリエ変換して、断層画像を算出するための
信号処理手段とを備えることを特徴とする光周波数掃引
式断層画像測定装置である。
Further, according to the present invention, the optical frequency can be swept,
A light source for generating coherent light, the coherent light from the light source is split into reference light and measurement light for irradiating an object, and interference light obtained by interference between the object light reflected by the object and the reference light is generated. And an image sensor for imaging the interference light from the interferometer, and a predetermined frame during the optical frequency sweep period. An image memory for storing an image signal output from the image sensor in each cycle for each frame, and a Fourier transform on the time axis of the image signal stored in the image memory for each pixel to calculate a tomographic image. An optical frequency sweep type tomographic image measuring apparatus comprising a signal processing unit.

【0016】本発明に従えば、上述と同様に、光源から
光周波数が連続的に変化するコヒーレント光を発生して
物体に照射するとともに、干渉計を用いて物体内部で反
射した物体光(直進光および準直進光)と参照光とを干
渉させて、この干渉光の強度分布を計測し、光周波数の
変化に対応した強度分布の変化を測定することによっ
て、深さ方向に沿った断層画像を構築できる。
According to the present invention, as described above, a coherent light having a continuously changing optical frequency is generated from a light source to irradiate the object, and the object light reflected straight inside the object using an interferometer (straight forward). Light and quasi-straight light) and the reference light, thereby measuring the intensity distribution of the interference light, and measuring the change in the intensity distribution corresponding to the change in the optical frequency to obtain a tomographic image along the depth direction. Can be constructed.

【0017】また、複数の受光画素が1次元または2次
元に配置されて構成された撮像素子を用いて、干渉光を
撮像している。これによって、1次元または2次元の撮
像領域に関するデータを一度に取り込むことが可能とな
る。また、深さ方向のデータについては、干渉光の周波
数分析によって区別できる。したがって、機械的走査を
行わずに断層画像を得ることができ、送り誤差や振動の
影響を受けることなく、短時間で高精度の測定が可能に
なる。
Further, an interference light is imaged by using an image pickup device having a plurality of light receiving pixels arranged one-dimensionally or two-dimensionally. This makes it possible to capture data relating to a one-dimensional or two-dimensional imaging area at a time. The data in the depth direction can be distinguished by analyzing the frequency of the interference light. Therefore, a tomographic image can be obtained without performing mechanical scanning, and high-precision measurement can be performed in a short time without being affected by a feed error or vibration.

【0018】また、光周波数の掃引期間中に所定のフレ
ーム周期毎に撮像素子から画像信号を出力させ、画像信
号をフレーム毎に画像メモリに格納した後、画像メモリ
に格納された画像信号を画素毎に時間軸でフーリエ変換
して、断層画像を算出している。これによって、フレー
ム別に格納した画像信号を画素毎に周波数分析すること
が可能となり、断層画像の構築を容易に実施できる。
Further, during the sweeping period of the optical frequency, an image signal is output from the image sensor at a predetermined frame period, and the image signal is stored in the image memory for each frame. Each time, a tomographic image is calculated by performing a Fourier transform on the time axis. This makes it possible to analyze the frequency of the image signal stored for each frame for each pixel, and to easily construct a tomographic image.

【0019】また本発明は、前記撮像素子はフレーム周
期の逆数であるフレーム周波数と同じカットオフ周波数
を持つローパスフィルタ特性を有することを特徴とす
る。
Further, the present invention is characterized in that the image pickup device has a low-pass filter characteristic having a cutoff frequency equal to a frame frequency which is a reciprocal of a frame period.

【0020】本発明に従えば、撮像素子は一般にローパ
スフィルタ特性を有するが、このカットオフ周波数はフ
レーム周波数にほぼ一致する。干渉計における参照鏡の
腕の長さを一定の値に設定して、光源の光周波数を連続
的に変化させると、ビート周波数が低周波数で変動する
時系列信号として検出される。ビート周波数は物体内部
の深さに対応するため、測定されたビート周波数の範囲
に対応する一定の深さ範囲が測定レンジとなる。したが
って、測定する深さ範囲以外の信号はノイズとして重畳
されるため、撮像素子のカットオフ周波数より高い周波
数のノイズを除去することによって、高S/N比の画像
信号を得ることができる。
According to the present invention, the image pickup device generally has a low-pass filter characteristic, but the cutoff frequency substantially matches the frame frequency. When the length of the arm of the reference mirror in the interferometer is set to a constant value and the optical frequency of the light source is continuously changed, the beat frequency is detected as a time-series signal that fluctuates at a low frequency. Since the beat frequency corresponds to the depth inside the object, a certain depth range corresponding to the range of the measured beat frequency is the measurement range. Therefore, since signals outside the depth range to be measured are superimposed as noise, an image signal having a high S / N ratio can be obtained by removing noise having a frequency higher than the cutoff frequency of the image sensor.

【0021】また本発明は、前記光源は、半導体レーザ
素子で構成されることを特徴とする。
Further, the invention is characterized in that the light source is constituted by a semiconductor laser device.

【0022】本発明に従えば、ビート周波数の周波数分
析によって深さ方向の情報を得ているため、時間コヒー
レンスに対する厳しい制約が要求されない。したがっ
て、SLD光源の代わりに高出力化が可能な半導体レー
ザ素子を利用できるため、物体の深い部分まで測定可能
となる。
According to the present invention, since the information in the depth direction is obtained by the frequency analysis of the beat frequency, a strict restriction on the time coherence is not required. Therefore, a semiconductor laser device capable of increasing the output can be used instead of the SLD light source, so that it is possible to measure a deep part of the object.

【0023】また本発明は、干渉計と撮像素子との間に
設けられ、干渉計からの干渉光を集光する集光レンズ、
集光スポットだけを通過させるピンホール、およびピン
ホールを通過した光をコリメートするコリメートレンズ
で構成される空間フィルタを備えることを特徴とする。
Further, the present invention provides a condensing lens provided between the interferometer and the image pickup device, for condensing interference light from the interferometer.
It is characterized by including a spatial filter composed of a pinhole for passing only a condensing spot and a collimating lens for collimating light passing through the pinhole.

【0024】本発明に従えば、測定光が物体を通過する
際に、直進光や準直進光から成る物体光以外にかなり強
い拡散光も発生するため、干渉計と撮像素子との間に空
間フィルタを設けることによって有害な拡散光を除去す
ることができ、高S/N比の画像信号が得られる。
According to the present invention, when the measurement light passes through the object, a considerably strong diffused light is generated in addition to the object light composed of the straight light and the quasi-straight light. By providing a filter, harmful diffused light can be removed, and an image signal with a high S / N ratio can be obtained.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施の一形態を
示す構成図である。本装置は、光源1と、ビームスプリ
ッタ5と、参照鏡6と、測定対象である試料SPと、光
検出用の撮像素子20とで形成されるマイケルソン型干
渉計として構成される。なお、本発明はマイケルソン型
以外の干渉計にも適用可能である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. The present apparatus is configured as a Michelson-type interferometer formed by a light source 1, a beam splitter 5, a reference mirror 6, a sample SP to be measured, and an image sensor 20 for light detection. The present invention can be applied to interferometers other than the Michelson type.

【0026】光源1はコヒーレント光を発生する半導体
レーザ素子(LD)で構成され、駆動回路1aが注入電
流を変調することによって光周波数の掃引が可能であ
り、たとえば注入電流を鋸波状に変化させると光周波数
が線形かつ連続的に変化する。光周波数の変調振幅は、
レーザ発振がモードポップを起こさない範囲に設定さ
れ、その変調周期は制御回路25によって撮像素子20
のフレーム走査と同期するように制御される。なお、光
源1の波長は、生体に対して透過性のある700nm〜
900nmの近赤外光が好適である。
The light source 1 is composed of a semiconductor laser element (LD) that generates coherent light, and the drive circuit 1a modulates the injection current to sweep the optical frequency. For example, the injection current changes in a sawtooth shape. And the optical frequency changes linearly and continuously. The modulation amplitude of the optical frequency is
The laser oscillation is set in a range where mode pop does not occur, and the modulation cycle is set by the control circuit 25 to the image pickup device 20.
Is controlled so as to be synchronized with the frame scanning of the frame. In addition, the wavelength of the light source 1 is 700 nm
Near-infrared light of 900 nm is preferred.

【0027】光源1の光出射側にはコリメートレンズ2
が設けられ、光源1からのコヒーレント光が平行光とな
るように調整される。光源1とビームスプリッタ5との
間には、偏光素子3と1/4波長板3とから成る戻り光
防止用素子が設けられ、光源1のレーザ発振を安定化し
ている。
A collimating lens 2 is provided on the light emitting side of the light source 1.
Is adjusted so that the coherent light from the light source 1 becomes parallel light. Between the light source 1 and the beam splitter 5, a return light preventing element composed of a polarizing element 3 and a quarter-wave plate 3 is provided to stabilize laser oscillation of the light source 1.

【0028】ビームスプリッタ5は、光源1からのコヒ
ーレント光を参照光と測定光とに分割する。参照光は参
照鏡6によって反射されて、再びビームスプリッタ5に
戻る。測定光は試料SPを照射して、その一部が試料S
Pで反射すると物体光となって再びビームスプリッタ5
に戻る。こうして参照光と物体光とが干渉する。
The beam splitter 5 splits the coherent light from the light source 1 into reference light and measurement light. The reference light is reflected by the reference mirror 6 and returns to the beam splitter 5 again. The measurement light irradiates the sample SP, and a part of the sample SP
When the light is reflected by P, it becomes an object light and the beam splitter 5 again.
Return to Thus, the reference light and the object light interfere with each other.

【0029】参照鏡6は、鏡駆動回路7aによって駆動
される微動ステージ7によって保持され、光周波数掃引
時には固定されるが、試料SPでの測定範囲を切換える
際に移動する。
The reference mirror 6 is held by the fine movement stage 7 driven by the mirror drive circuit 7a, and is fixed at the time of optical frequency sweep, but moves when the measurement range of the sample SP is switched.

【0030】試料SPは、生体と同等な光学特性を有す
るもので、ここでは標準試料であるイントラリピッド水
溶液(濃度0.1%)をガラス容器に入れたものを使用
し、さらに一定深さでの反射係数を付与するため、光反
射率が30%と1%であるクロム蒸着膜をパターン状に
形成したターゲットTAを用意して、測定光に対して垂
直反射となるように水溶液中に保持している。
The sample SP has optical characteristics equivalent to those of a living body. Here, a sample in which an intralipid aqueous solution (concentration: 0.1%), which is a standard sample, is placed in a glass container is used. In order to give a reflection coefficient, a target TA having a pattern of chromium vapor deposited films having a light reflectance of 30% and 1% is prepared, and is held in an aqueous solution so as to be perpendicularly reflected with respect to measurement light. doing.

【0031】ビームスプリッタ5からの干渉光は、撮像
素子20に入射して、干渉光の強度分布に応じた画像信
号に変換される。
The interference light from the beam splitter 5 enters the image sensor 20 and is converted into an image signal according to the intensity distribution of the interference light.

【0032】ビームスプリッタ5と撮像素子20との間
には、空間フィルタ11が設けられる。空間フィルタ1
1は、干渉光をスポット状に集光する集光レンズ8、集
光スポットだけを通過させるピンホール板9、およびピ
ンホール板9を通過した光をコリメートするコリメート
レンズ10で構成され、テレセントリック系に配置した
2重レンズ結像系の焦点面にピンホール板9が配置され
る。この空間フィルタ11は、1)ピンホールによって
焦点深度が深い結像光学系を形成して、試料SPでの撮
像許容深度を拡大する機能と、2)試料SPからの戻り
光のうち、高強度の拡散光をピンホール板9でできる限
り除去して、試料SPからの直進光および準直進光だけ
を取り出す機能を果たす。
A spatial filter 11 is provided between the beam splitter 5 and the image sensor 20. Spatial filter 1
1 includes a condensing lens 8 for condensing the interference light in a spot shape, a pinhole plate 9 for passing only the condensing spot, and a collimating lens 10 for collimating the light passing through the pinhole plate 9, and is a telecentric system. The pinhole plate 9 is arranged on the focal plane of the double lens imaging system arranged in the above. The spatial filter 11 has the following functions: 1) a function of forming an imaging optical system having a large depth of focus by means of a pinhole to increase the imaging allowable depth of the sample SP; and 2) high intensity of return light from the sample SP. The diffused light is removed by the pinhole plate 9 as much as possible, and the function of extracting only the straight light and the quasi-straight light from the sample SP is achieved.

【0033】撮像素子20は、複数の受光画素が1次元
または2次元に配置された高感度CCD(電荷結合素
子)センサなどで構成され、制御回路25からの同期信
号によって、たとえば約1/30秒のフレーム周期Tf
で1画面を画像信号として時系列に出力する。撮像素子
20からの画像信号は、A/D(アナログデジタル)変
換回路21によってデジタル値に変換された後、電子計
算機内のフレームメモリ23に格納される。フレームメ
モリ23は、光周波数の1回の掃引時間Tsをフレーム
周期Tfと等しく設定し、測定時間をTmとすると、測
定時間Tmをフレーム周期Tfで除算した枚数分のフレ
ーム画像を格納するメモリ容量を有し、たとえば測定時
間Tm=2秒で、2÷(1/30)=60枚分の画像デ
ータを格納する。なお、撮像素子20が1次元センサで
あれば1次元のフレーム画像を出力し、2次元センサで
あれば2次元のフレーム画像を出力する。
The image pickup device 20 is composed of a high-sensitivity CCD (charge-coupled device) sensor or the like in which a plurality of light-receiving pixels are arranged one-dimensionally or two-dimensionally. Second frame period Tf
Output one screen as an image signal in time series. The image signal from the image sensor 20 is converted into a digital value by an A / D (analog-digital) conversion circuit 21 and then stored in a frame memory 23 in the computer. The frame memory 23 has a memory capacity for storing the number of frame images obtained by dividing the measurement time Tm by the frame period Tf, where one sweep time Ts of the optical frequency is set equal to the frame period Tf and the measurement time is Tm. And stores image data for 2 ÷ (1/30) = 60 sheets, for example, with a measurement time Tm = 2 seconds. If the image sensor 20 is a one-dimensional sensor, it outputs a one-dimensional frame image, and if it is a two-dimensional sensor, it outputs a two-dimensional frame image.

【0034】電子計算機内の信号処理部22は、所定の
プログラムの従って各種演算処理を行うもので、ここで
はフレームメモリ23に格納された画像信号を画素毎に
時間軸でフーリエ変換することによって周波数分析を行
う。フーリエ周波数は干渉光のビート周波数と一致し、
さらに物体光が反射した深さ位置に対応付けできるた
め、結局、深さ方向の断層画像を算出することができ
る。
The signal processing section 22 in the electronic computer performs various arithmetic processing according to a predetermined program. In this case, the image signal stored in the frame memory 23 is subjected to a Fourier transform on a time axis for each pixel, thereby obtaining a frequency. Perform analysis. The Fourier frequency matches the beat frequency of the interference light,
Furthermore, since it can be associated with the depth position where the object light is reflected, it is possible to calculate a tomographic image in the depth direction after all.

【0035】1次元のフレーム画像を時間軸でフーリエ
変換すると、1次元の撮像領域での断層画像が得られ、
CRT(陰極線管)等のディスプレイ装置24にそのま
ま表示できる。2次元のフレーム画像を時間軸でフーリ
エ変換すると、2次元の撮像領域における断層画像が得
られるため、直線状の表示位置を指定することによっ
て、表示位置での断層画像をディスプレイ装置24に表
示できる。
When a one-dimensional frame image is Fourier-transformed on the time axis, a tomographic image in a one-dimensional imaging region is obtained.
The image can be directly displayed on a display device 24 such as a CRT (cathode ray tube). When the two-dimensional frame image is Fourier-transformed on the time axis, a tomographic image in the two-dimensional imaging region is obtained. Therefore, by specifying a linear display position, the tomographic image at the display position can be displayed on the display device 24. .

【0036】図2は、光周波数の掃引波形を示すグラフ
である。横軸は時間、縦軸は光源1の光周波数である。
たとえばフレーム周期Tf=1/30秒、掃引時間Ts
=1/30秒で、光周波数の上限値fbと下限値faと
の差である掃引幅(fb−fa)=50GHzに設定し
た場合、撮像素子20のカットオフ周波数は約30Hz
となり、掃引幅50GHzに対応して約2mmの深さ範
囲に渡るビート周波数をもつ干渉信号がメモリに格納さ
れる。このため測定時間Tm=2秒とし、格納されたデ
ータをフーリエ解析し、フーリエ周波数ごとの断層画像
を得る場合、深さ方向の断層画像間隔は2mm/60枚
=33μmとなる。また、参照鏡6の位置を移動するこ
とによって、測定できる深さ範囲が全体にシフトする。
したがって、2mm単位で測定範囲を移動しながら複数
回計測することによって、0cm〜数cmに渡る断層撮
影を高分解で実現できる。
FIG. 2 is a graph showing a sweep waveform of an optical frequency. The horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the optical frequency of the light source 1.
For example, frame period Tf = 1/30 second, sweep time Ts
= 1/30 second, and when the sweep width (fb-fa), which is the difference between the upper limit value fb and the lower limit value fa of the optical frequency, is set to 50 GHz, the cutoff frequency of the image sensor 20 is about 30 Hz.
And an interference signal having a beat frequency over a depth range of about 2 mm corresponding to a sweep width of 50 GHz is stored in the memory. For this reason, when the measurement time is set to Tm = 2 seconds and the stored data is subjected to Fourier analysis to obtain a tomographic image for each Fourier frequency, the tomographic image interval in the depth direction is 2 mm / 60 = 33 μm. Further, by moving the position of the reference mirror 6, the depth range that can be measured is shifted as a whole.
Therefore, by performing measurement a plurality of times while moving the measurement range in units of 2 mm, tomography over 0 cm to several cm can be realized with high resolution.

【0037】また、撮像素子20のカットオフ周波数を
フレーム周波数に一致させることによって、測定する深
さ範囲以外からのノイズを除去できるため、高S/N比
の画像信号を得ることができる。
Further, by making the cut-off frequency of the image sensor 20 coincide with the frame frequency, noise from outside the depth range to be measured can be removed, so that an image signal with a high S / N ratio can be obtained.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上詳説したように本発明によれば、複
数の受光画素が1次元または2次元に配置されて構成さ
れた撮像素子を用いることよって、1次元または2次元
の撮像領域に関するデータを一度に取り込むことが可能
となり、機械的走査は不要になる。そのため、送り誤差
や振動の影響を受けることなく、短時間で高精度の測定
が可能になる。
As described above in detail, according to the present invention, by using an image pickup device in which a plurality of light receiving pixels are arranged one-dimensionally or two-dimensionally, data relating to a one-dimensional or two-dimensional imaging region is obtained. At a time, and no mechanical scanning is required. Therefore, high-precision measurement can be performed in a short time without being affected by a feed error or vibration.

【0039】また、光周波数の掃引期間中に所定のフレ
ーム周期毎に撮像素子から画像信号を出力させ、画像信
号をフレーム毎に画像メモリに格納した後、画像メモリ
に格納された画像信号を画素毎に時間軸でフーリエ変換
して、断層画像を算出している。これによって、フレー
ム別に格納した画像信号を画素毎に周波数分析すること
が可能となり、断層画像の構築を容易に実施できる。
Further, during the optical frequency sweep period, an image signal is output from the image sensor at predetermined frame periods, and the image signal is stored in the image memory for each frame. Each time, a tomographic image is calculated by performing a Fourier transform on the time axis. This makes it possible to analyze the frequency of the image signal stored for each frame for each pixel, and to easily construct a tomographic image.

【0040】また、撮像素子のカットオフ周波数はフレ
ーム周波数にほぼ一致することを利用することによっ
て、測定する深さ範囲以外からのノイズを除去できるた
め、高S/N比の画像信号を得ることができる。
Also, by utilizing the fact that the cutoff frequency of the image sensor substantially coincides with the frame frequency, it is possible to remove noise from a range other than the depth range to be measured, thereby obtaining an image signal with a high S / N ratio. Can be.

【0041】また、高出力化が可能な半導体レーザ素子
を利用することによって、物体の深い部分まで測定可能
となる。
Further, by using a semiconductor laser element capable of increasing the output, it is possible to measure a deep part of an object.

【0042】また、干渉計と撮像素子との間に空間フィ
ルタを設けることによって有害な拡散光を除去すること
ができ、高S/N比の画像信号が得られる。
By providing a spatial filter between the interferometer and the image sensor, harmful diffused light can be removed, and an image signal with a high S / N ratio can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の一形態を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of the present invention.

【図2】光周波数の掃引波形を示すグラフである。FIG. 2 is a graph showing a sweep waveform of an optical frequency.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光源 2 コリメートレンズ 3 偏光素子 4 1/4波長板 5 ビームスプリッタ 6 参照鏡 11 空間フィルタ 20 撮像素子 21 A/D変換回路 23 フレームメモリ 22 信号処理部 24 ディスプレイ装置 SP 試料 REFERENCE SIGNS LIST 1 light source 2 collimating lens 3 polarizing element 4 波長 wavelength plate 5 beam splitter 6 reference mirror 11 spatial filter 20 image sensor 21 A / D conversion circuit 23 frame memory 22 signal processing unit 24 display device SP sample

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 圭一 大阪府堺市浜寺船尾町東4丁36番地 大研 医器株式会社商品開発研究所内 (72)発明者 村山 幸市 大阪府堺市浜寺船尾町東4丁36番地 大研 医器株式会社商品開発研究所内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Keiichi Yamada, Inventor Keiichi Yamada 4-36 Hamadera-Funao-cho, Sakai-shi, Osaka Daiken Medical Instruments Co., Ltd. 4-36, Daiken Medical Device Co., Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光周波数掃引が可能な光源からコヒーレ
ント光を発生して、 該コヒーレント光を参照光と測定光とに分割した後、測
定光で物体を照射し、反射した物体光と該参照光との干
渉によって干渉光を発生して、 複数の受光画素が1次元または2次元に配置されて構成
された撮像素子を用いて、該干渉光を撮像して、 光周波数の掃引期間中に所定のフレーム周期毎に撮像素
子から画像信号を出力させ、該画像信号をフレーム毎に
画像メモリに格納した後、 画像メモリに格納された画像信号を画素毎に時間軸でフ
ーリエ変換して、断層画像を算出することを特徴とする
光周波数掃引式断層画像測定方法。
An optical frequency sweepable light source generates coherent light, divides the coherent light into reference light and measurement light, irradiates an object with measurement light, and reflects reflected object light and the reference light. An interference light is generated by interference with light, and the interference light is imaged using an image sensor configured by arranging a plurality of light receiving pixels one-dimensionally or two-dimensionally. An image signal is output from the image sensor every predetermined frame period, the image signal is stored in the image memory for each frame, and the image signal stored in the image memory is Fourier-transformed for each pixel on the time axis to obtain a tomographic image. An optical frequency sweep type tomographic image measuring method, comprising calculating an image.
【請求項2】 光周波数の掃引が可能で、コヒーレント
光を発生するための光源と、 光源からのコヒーレント光を参照光と物体を照射する測
定光とに分割し、物体で反射した物体光と該参照光との
干渉によって得られる干渉光を発生するための干渉計
と、 複数の受光画素が1次元または2次元に配置されて構成
され、干渉計からの干渉光を撮像するための撮像素子
と、 光周波数の掃引期間中に、所定のフレーム周期毎に撮像
素子から出力される画像信号をフレーム毎に格納するた
めの画像メモリと、 画像メモリに格納された画像信号を画素毎に時間軸でフ
ーリエ変換して、断層画像を算出するための信号処理手
段とを備えることを特徴とする光周波数掃引式断層画像
測定装置。
2. A light source capable of sweeping an optical frequency to generate coherent light, a coherent light from the light source being split into a reference light and a measuring light for irradiating the object, and an object light reflected by the object An interferometer for generating interference light obtained by interference with the reference light, and an image sensor configured to arrange a plurality of light receiving pixels one-dimensionally or two-dimensionally, and for imaging interference light from the interferometer And an image memory for storing, for each frame, an image signal output from the image sensor every predetermined frame period during the optical frequency sweep period, and a time axis for storing the image signal stored in the image memory for each pixel. And a signal processing means for calculating a tomographic image by performing a Fourier transform on the tomographic image.
【請求項3】 前記撮像素子は、フレーム周期の逆数で
あるフレーム周波数と同じカットオフ周波数を持つロー
パスフィルタ特性を有することを特徴とする請求項2記
載の光周波数掃引式断層画像測定装置。
3. The optical frequency sweep type tomographic image measuring apparatus according to claim 2, wherein the image sensor has a low-pass filter characteristic having a cutoff frequency equal to a frame frequency which is a reciprocal of a frame period.
【請求項4】 前記光源は、半導体レーザ素子で構成さ
れることを特徴とする請求項2記載の光周波数掃引式断
層画像測定装置。
4. The optical frequency sweep type tomographic image measuring apparatus according to claim 2, wherein said light source is constituted by a semiconductor laser device.
【請求項5】 干渉計と撮像素子との間に設けられ、干
渉計からの干渉光を集光する集光レンズ、集光スポット
だけを通過させるピンホール、およびピンホールを通過
した光をコリメートするコリメートレンズで構成される
空間フィルタを備えることを特徴とする請求項2記載の
光周波数掃引式断層画像測定装置。
5. A condensing lens provided between an interferometer and an image sensor for condensing interference light from the interferometer, a pinhole passing only a condensing spot, and collimating light passing through the pinhole. 3. An optical frequency sweep type tomographic image measuring apparatus according to claim 2, further comprising a spatial filter constituted by a collimating lens.
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