JPH10327038A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPH10327038A JPH10327038A JP13624197A JP13624197A JPH10327038A JP H10327038 A JPH10327038 A JP H10327038A JP 13624197 A JP13624197 A JP 13624197A JP 13624197 A JP13624197 A JP 13624197A JP H10327038 A JPH10327038 A JP H10327038A
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- JP
- Japan
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- crystal
- cut angle
- langasite
- vibrator
- piezoelectric
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 周波数温度特性が良好でかつ容量比を小さく
できる。 【解決手段】 Ｘ軸方向（幅方向）の長さがｌ1、Ｚ軸
方向（長さ方向）の長さがｌ3、厚みｔの薄い方形板状
の圧電結晶ランガサイト２１は、その図示両面全域に励
振用の電極２２が形成されている。圧電結晶ランガサイ
ト２１は水晶と同じ三方晶系で点群３２に属するため、
その結晶の結晶切断角（カット角）を適切に設定する
と、四隅が振動の節点となるラーメモード振動子として
実現することができるようになる。このときの結晶切断
角θは４５゜、カット角φは１０゜または１１０゜に形
成すると、一次の温度係数αはα＝０となり、周波数、
温度特性は良好になる。
できる。 【解決手段】 Ｘ軸方向（幅方向）の長さがｌ1、Ｚ軸
方向（長さ方向）の長さがｌ3、厚みｔの薄い方形板状
の圧電結晶ランガサイト２１は、その図示両面全域に励
振用の電極２２が形成されている。圧電結晶ランガサイ
ト２１は水晶と同じ三方晶系で点群３２に属するため、
その結晶の結晶切断角（カット角）を適切に設定する
と、四隅が振動の節点となるラーメモード振動子として
実現することができるようになる。このときの結晶切断
角θは４５゜、カット角φは１０゜または１１０゜に形
成すると、一次の温度係数αはα＝０となり、周波数、
温度特性は良好になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、圧電結晶ランガ
サイト（Ｌａ3Ｇａ5ＳｉＯ14）を使用したラーメモード
における圧電振動子およびその振動子の製造方法に関す
る。
サイト（Ｌａ3Ｇａ5ＳｉＯ14）を使用したラーメモード
における圧電振動子およびその振動子の製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】圧電振動子の１つに水晶振動子がある。
この水晶振動子は、優れた周波数・温度特性と高いＱ値
により電子機器の基準発振子として広く使用されてい
る。図８はシリンダ形水晶振動子の構成説明図で、図８
において、１は基台で、この基台には２本のリード端子
２ａ，２ｂが設けられている。このリード端子２ａ，２
ｂには、水晶片３が水晶片支持部材４を介して電気的接
触を保持して取付支持されている。水晶片３の全体は金
属カバー５により覆われている。なお、６は水晶片３の
両面に形成された電極である。
この水晶振動子は、優れた周波数・温度特性と高いＱ値
により電子機器の基準発振子として広く使用されてい
る。図８はシリンダ形水晶振動子の構成説明図で、図８
において、１は基台で、この基台には２本のリード端子
２ａ，２ｂが設けられている。このリード端子２ａ，２
ｂには、水晶片３が水晶片支持部材４を介して電気的接
触を保持して取付支持されている。水晶片３の全体は金
属カバー５により覆われている。なお、６は水晶片３の
両面に形成された電極である。
【０００３】上記のように、水晶片３は支持部材４によ
り固定されるために振動部が拘束され、水晶振動子の等
価抵抗値Ｒ１の上昇やＱ値の低下が生じてしまう。これ
を防止するために、水晶振動子の振動の節点で保持する
手段が実用化されている。しかし、常に振動の節点を正
確に固定することは極めて困難であり、水晶振動子の製
造的なばらつきを考慮すると問題点が多い。
り固定されるために振動部が拘束され、水晶振動子の等
価抵抗値Ｒ１の上昇やＱ値の低下が生じてしまう。これ
を防止するために、水晶振動子の振動の節点で保持する
手段が実用化されている。しかし、常に振動の節点を正
確に固定することは極めて困難であり、水晶振動子の製
造的なばらつきを考慮すると問題点が多い。
【０００４】水晶振動子は種々の振動モードを利用して
構成されているが、この中でもラーメモードは水晶振動
子の四隅が振動の節点となるため、特性の劣化を招くこ
となく保持が可能である。図９にそのラーメモードにお
ける圧電振動子の構成を示す。図９に示す圧電振動子１
１はエッチング加工により保持体１２も一体的に構成し
たもので、従来より水晶振動子においても、結晶切断角
（以下カット角と称す）を適切にすることにより、ラー
メモード水晶振動子の構成が可能であることが知られて
いる。また、特定のカット角において、零温度係数を持
つために、外部の温度変化に対しても周波数温度特性が
安定な振動子を得ることが可能である。 ［文献として：川島宏文、松山勝、２軸回転ラーメモー
ド振動子のエネルギー法による解析、信学論、vol.J79-
A,No.6,pp1157-1164,1996(6)］
構成されているが、この中でもラーメモードは水晶振動
子の四隅が振動の節点となるため、特性の劣化を招くこ
となく保持が可能である。図９にそのラーメモードにお
ける圧電振動子の構成を示す。図９に示す圧電振動子１
１はエッチング加工により保持体１２も一体的に構成し
たもので、従来より水晶振動子においても、結晶切断角
（以下カット角と称す）を適切にすることにより、ラー
メモード水晶振動子の構成が可能であることが知られて
いる。また、特定のカット角において、零温度係数を持
つために、外部の温度変化に対しても周波数温度特性が
安定な振動子を得ることが可能である。 ［文献として：川島宏文、松山勝、２軸回転ラーメモー
ド振動子のエネルギー法による解析、信学論、vol.J79-
A,No.6,pp1157-1164,1996(6)］
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のように水晶片を
使用したラーメモード水晶振動子は優れた特徴を有する
が、電気機械結合係数が小さいため、容量比の小さな振
動子の実現が困難であった。このため、容量比の小さな
振動子を構成するためには、電気機械結合係数の大きな
基板が望まれている。このような電気機械結合係数の大
きな基板を持つものに、タンタル酸リチウムがあるけれ
ども、このタンタル酸リチウムは、零温度係数を持たな
いため周波数・温度特性の良好な振動子として実現がで
きない問題がある。
使用したラーメモード水晶振動子は優れた特徴を有する
が、電気機械結合係数が小さいため、容量比の小さな振
動子の実現が困難であった。このため、容量比の小さな
振動子を構成するためには、電気機械結合係数の大きな
基板が望まれている。このような電気機械結合係数の大
きな基板を持つものに、タンタル酸リチウムがあるけれ
ども、このタンタル酸リチウムは、零温度係数を持たな
いため周波数・温度特性の良好な振動子として実現がで
きない問題がある。
【０００６】このような問題を解消できるものとして、
近年圧電結晶ランガサイト（Ｌａ3Ｇａ5ＳｉＯ14）が注
目されるようになって来た。この圧電結晶ランガサイト
は、水晶振動子とタンタル酸リチウムの間の周波数・温
度特性、電気機械結合係数を持つ基板材料としてデバイ
ス応用が期待されている。しかし、この圧電結晶ランガ
サイトは、ラーメモード振動子に適用できるものとして
検討された例がなく適切なカット角は未だ見いだされて
いない。
近年圧電結晶ランガサイト（Ｌａ3Ｇａ5ＳｉＯ14）が注
目されるようになって来た。この圧電結晶ランガサイト
は、水晶振動子とタンタル酸リチウムの間の周波数・温
度特性、電気機械結合係数を持つ基板材料としてデバイ
ス応用が期待されている。しかし、この圧電結晶ランガ
サイトは、ラーメモード振動子に適用できるものとして
検討された例がなく適切なカット角は未だ見いだされて
いない。
【０００７】この発明は上記の事情に鑑みてなされたも
ので、圧電結晶ランガサイトを使用してカット角を適切
に設定することにより、周波数温度特性が良好でかつ容
量比を小さくできる圧電振動子およびその振動子の製造
方法を提供することを課題とする。
ので、圧電結晶ランガサイトを使用してカット角を適切
に設定することにより、周波数温度特性が良好でかつ容
量比を小さくできる圧電振動子およびその振動子の製造
方法を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を達成するために、第１発明は、圧電結晶ランガサイト
の結晶切断角θが、θ＝４５゜±５゜の範囲で、かつカ
ット角φが、φ＝０〜３６０゜でラーメモード振動が可
能となるように形成したことを特徴とするものである。
を達成するために、第１発明は、圧電結晶ランガサイト
の結晶切断角θが、θ＝４５゜±５゜の範囲で、かつカ
ット角φが、φ＝０〜３６０゜でラーメモード振動が可
能となるように形成したことを特徴とするものである。
【０００９】第２発明は、前記カット角φがφ＝１０±
１０゜またはφ＝１１０±１０゜の範囲に形成されたも
のである。
１０゜またはφ＝１１０±１０゜の範囲に形成されたも
のである。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１はこの発明の実施の第１形態
を示す圧電結晶ランガサイトにおける２軸回転の振動形
状と座標系を示す構成説明図で、図１において、２１は
Ｘ軸方向（幅方向）の長さがｌ1、Ｚ軸方向（長さ方
向）の長さがｌ3、厚みｔの薄い方形板状の圧電結晶ラ
ンガサイトで、このランガサイト２１の図示両面全域に
励振用の電極２２が形成されている。圧電結晶ランガサ
イト２１は水晶と同じ三方晶系で点群３２に属するた
め、その結晶の結晶切断角（カット角）を適切に設定す
ると、四隅が振動の節点となるラーメモード振動子とし
て実現することができる。このときの結晶切断角θは４
５゜、カット角φは１０゜または１１０゜に形成する
と、一次の温度係数αはα＝０となり、周波数温度特性
は良好になる。
に基づいて説明する。図１はこの発明の実施の第１形態
を示す圧電結晶ランガサイトにおける２軸回転の振動形
状と座標系を示す構成説明図で、図１において、２１は
Ｘ軸方向（幅方向）の長さがｌ1、Ｚ軸方向（長さ方
向）の長さがｌ3、厚みｔの薄い方形板状の圧電結晶ラ
ンガサイトで、このランガサイト２１の図示両面全域に
励振用の電極２２が形成されている。圧電結晶ランガサ
イト２１は水晶と同じ三方晶系で点群３２に属するた
め、その結晶の結晶切断角（カット角）を適切に設定す
ると、四隅が振動の節点となるラーメモード振動子とし
て実現することができる。このときの結晶切断角θは４
５゜、カット角φは１０゜または１１０゜に形成する
と、一次の温度係数αはα＝０となり、周波数温度特性
は良好になる。
【００１１】以下その理由を水晶振動子と特性を比較し
ながら述べる。一般にラーメモードを励振するために
は、図１に示すランガサイト２１の幅方向（Ｘ方向）
と、長さ方向（Ｚ方向）の弾性コンプライアンス定数ｓ
11 E＝ｓ33 Eが等しく、幅方向と長さ方向の横効果圧電定
数ｄ21とｄ23の符号が逆であることが求められる。図３
に圧電結晶ランガサイトのθ＝４５゜（θは結晶切断
角）における弾性コンプライアンス定数ｓ11 E＝ｓ33 Eの
カット角φ依存性を示す特性曲線図で、図中太い実線は
水晶振動子の弾性コンプライアンス定数を示し、破線は
圧電結晶ランガサイトの弾性コンプライアンス定数を示
すもので、いづれもθ＝４５゜である。この図３からφ
＝０〜１８０゜のすべての範囲で弾性コンプライアンス
定数ｓ11 E＝ｓ33 Eが得られ、ラーメモード励振が可能と
なる。
ながら述べる。一般にラーメモードを励振するために
は、図１に示すランガサイト２１の幅方向（Ｘ方向）
と、長さ方向（Ｚ方向）の弾性コンプライアンス定数ｓ
11 E＝ｓ33 Eが等しく、幅方向と長さ方向の横効果圧電定
数ｄ21とｄ23の符号が逆であることが求められる。図３
に圧電結晶ランガサイトのθ＝４５゜（θは結晶切断
角）における弾性コンプライアンス定数ｓ11 E＝ｓ33 Eの
カット角φ依存性を示す特性曲線図で、図中太い実線は
水晶振動子の弾性コンプライアンス定数を示し、破線は
圧電結晶ランガサイトの弾性コンプライアンス定数を示
すもので、いづれもθ＝４５゜である。この図３からφ
＝０〜１８０゜のすべての範囲で弾性コンプライアンス
定数ｓ11 E＝ｓ33 Eが得られ、ラーメモード励振が可能と
なる。
【００１２】次にＸ方向伸縮ひずみに関係する横効果圧
電定数ｄ21とＺ方向伸縮ひずみに関係する横効果圧電定
数ｄ23のθ＝４５゜におけるカット角φ依存性の特性曲
線図を図４に示す。この特性曲線図からφ＝０〜１８０
゜のすべてのカット角においてｄ21＝−ｄ23となり、ｄ
21とｄ23は大きさが等しく符号が逆になる。
電定数ｄ21とＺ方向伸縮ひずみに関係する横効果圧電定
数ｄ23のθ＝４５゜におけるカット角φ依存性の特性曲
線図を図４に示す。この特性曲線図からφ＝０〜１８０
゜のすべてのカット角においてｄ21＝−ｄ23となり、ｄ
21とｄ23は大きさが等しく符号が逆になる。
【００１３】以上の関係から上記形態においては、横効
果圧電定数ｄ21，ｄ23が零となる点を除いてφ＝０〜１
８０゜の範囲においてラーメモード振動子が構成可能に
なる（結晶の対称性を考慮するとφ＝０〜３６０゜の範
囲でラーメモードが励振可能である）。
果圧電定数ｄ21，ｄ23が零となる点を除いてφ＝０〜１
８０゜の範囲においてラーメモード振動子が構成可能に
なる（結晶の対称性を考慮するとφ＝０〜３６０゜の範
囲でラーメモードが励振可能である）。
【００１４】上記形態をデバイスとして応用する場合、
温度変化に対して周波数特性が安定であることが必要で
ある。デバイスの温度ｔに対する周波数偏差Δｆ／ｆは
テイラ展開の３次の項まで考慮に入れると以下のように
表される。
温度変化に対して周波数特性が安定であることが必要で
ある。デバイスの温度ｔに対する周波数偏差Δｆ／ｆは
テイラ展開の３次の項まで考慮に入れると以下のように
表される。
【００１５】Δｆ／ｆ＝α（ｔ−ｔ0）＋β（ｔ−ｔ0）
2＋γ（ｔ−ｔ0）3 次に、辺比ｌ1／ｌ3＝１の正方形板ラーメモードランガ
サイト振動子のθ＝４５゜におけるカット角φと一次の
温度係数α、二次の温度係数βの関係の特性曲線図を図
５に示す。この図５において、カット角φ＝１０゜と１
１０゜において、一次の温度係数αが零となる。特にカ
ット角φ＝１１０゜では、二次の温度係数βが約−２.
０×１０-8／℃と小さく温度特性の良好な素子が実現で
きる。
2＋γ（ｔ−ｔ0）3 次に、辺比ｌ1／ｌ3＝１の正方形板ラーメモードランガ
サイト振動子のθ＝４５゜におけるカット角φと一次の
温度係数α、二次の温度係数βの関係の特性曲線図を図
５に示す。この図５において、カット角φ＝１０゜と１
１０゜において、一次の温度係数αが零となる。特にカ
ット角φ＝１１０゜では、二次の温度係数βが約−２.
０×１０-8／℃と小さく温度特性の良好な素子が実現で
きる。
【００１６】図６は、水晶振動子と圧電結晶ランガサイ
トのそれぞれの基板を使用した正方形板ラーメモード振
動子のθ＝４５゜におけるカット角φと周波数定数の関
係の特性曲線図で、この図６において、素子板の寸法は
ｌ1，ｌ3＝１.２ｍｍ、ｔ＝５５μｍのものを使用し
た。なお、水晶板ではカット角φ＝０〜１８０゜に対し
て、周波数定数は２４０〜３７０ｋＨｚ・ｃｍの範囲で
変化している。一方、圧電ランガサイト板は、変化量が
１７０〜２５０ｋＨｚ・ｃｍの範囲で変化している。特
に、ランガサイト板は、水晶板に比較して周波数定数が
小さく同周波数の素子を構成する場合には小型化が可能
である。
トのそれぞれの基板を使用した正方形板ラーメモード振
動子のθ＝４５゜におけるカット角φと周波数定数の関
係の特性曲線図で、この図６において、素子板の寸法は
ｌ1，ｌ3＝１.２ｍｍ、ｔ＝５５μｍのものを使用し
た。なお、水晶板ではカット角φ＝０〜１８０゜に対し
て、周波数定数は２４０〜３７０ｋＨｚ・ｃｍの範囲で
変化している。一方、圧電ランガサイト板は、変化量が
１７０〜２５０ｋＨｚ・ｃｍの範囲で変化している。特
に、ランガサイト板は、水晶板に比較して周波数定数が
小さく同周波数の素子を構成する場合には小型化が可能
である。
【００１７】振動子を電気的素子として利用する上で
は、容量比γは大変重要なパラメータである。この容量
比γとランガサイトラーメモード振動子（θ＝４５゜）
のカット角φの関係を特性曲線で示したものが図７であ
る。
は、容量比γは大変重要なパラメータである。この容量
比γとランガサイトラーメモード振動子（θ＝４５゜）
のカット角φの関係を特性曲線で示したものが図７であ
る。
【００１８】なお、ｌ1，ｌ3＝１.２ｍｍ，ｔ＝５５μ
ｍの素子を使用した。この図７から明らかのように、容
量比γがカット角φに依存して大きく変化していること
が判る。一次の温度係数αが零となるカット角φ＝１０
゜、１１０゜の時、容量比γはそれぞれ３００、７２０
で実用的な値が得られた。
ｍの素子を使用した。この図７から明らかのように、容
量比γがカット角φに依存して大きく変化していること
が判る。一次の温度係数αが零となるカット角φ＝１０
゜、１１０゜の時、容量比γはそれぞれ３００、７２０
で実用的な値が得られた。
【００１９】なお、上記この発明の実施の第１形態にお
いては、ｌ1＝ｌ3の素子について述べてきたが、ｌ1と
ｌ3の比が整数比を持つ振動子であれば、ラーメモード
振動子として使用することが可能である。
いては、ｌ1＝ｌ3の素子について述べてきたが、ｌ1と
ｌ3の比が整数比を持つ振動子であれば、ラーメモード
振動子として使用することが可能である。
【００２０】
【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば、
結晶切断角θ＝４５゜±５゜の時、カット角φ＝０〜３
６０゜において、ラーメモード励振が可能であり、特に
φ＝１０゜または１１０゜の時に、一次の温度係数α＝
０となるため、周波数、温度特性の優れた振動子が得ら
れる。また、ラーメモードを振動姿態として使用してい
るために、特性の劣化を招くこと無く保持ができる。さ
らに、水晶振動しと比較して電気機械結合係数が大きい
ため、容量比の小さな振動子を形成することができると
ともに、周波数定数が小さいため同周波数の素子であれ
ば小型化が可能となるなどの利点がある。
結晶切断角θ＝４５゜±５゜の時、カット角φ＝０〜３
６０゜において、ラーメモード励振が可能であり、特に
φ＝１０゜または１１０゜の時に、一次の温度係数α＝
０となるため、周波数、温度特性の優れた振動子が得ら
れる。また、ラーメモードを振動姿態として使用してい
るために、特性の劣化を招くこと無く保持ができる。さ
らに、水晶振動しと比較して電気機械結合係数が大きい
ため、容量比の小さな振動子を形成することができると
ともに、周波数定数が小さいため同周波数の素子であれ
ば小型化が可能となるなどの利点がある。
【図１】この発明の実施の第１形態を示す圧電結晶ラン
ガサイトにおける２軸回転の振動形状と座標系を示す構
成説明図。
ガサイトにおける２軸回転の振動形状と座標系を示す構
成説明図。
【図２】弾性コンプライアンス定数ｓ11 E＝ｓ33 Eのカッ
ト角φ依存性を示す特性曲線図。
ト角φ依存性を示す特性曲線図。
【図３】横効果圧電定数のθ＝４５゜におけるカット角
φ依存性の特性曲線図。
φ依存性の特性曲線図。
【図４】カット角φと一次の温度係数α、二次の温度係
数βの関係を示す特性曲線図。
数βの関係を示す特性曲線図。
【図５】正方形板ラーメモード振動子のθ＝４５゜にお
けるカット角φと周波数定数の関係を示す特性曲線図。
けるカット角φと周波数定数の関係を示す特性曲線図。
【図６】容量比γとランガサイトラーメモード振動子
（θ＝４５゜）のカット角φの関係を示す特性曲線図。
（θ＝４５゜）のカット角φの関係を示す特性曲線図。
【図７】シリンダ形水晶振動子の構成説明図。
【図８】ラーメモードにおける圧電振動子の構成説明
図。
図。
２１…圧電結晶ランガサイト ２２…電極
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電結晶ランガサイトの結晶切断角θ
が、θ＝４５゜±５゜の範囲で、かつカット角φが、φ
＝０〜３６０゜でラーメモード振動が可能となるように
形成したことを特徴とする圧電振動子。 - 【請求項２】 前記カット角φがφ＝１０±１０゜また
はφ＝１１０±１０゜の範囲に形成された請求項１記載
の圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13624197A JPH10327038A (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13624197A JPH10327038A (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10327038A true JPH10327038A (ja) | 1998-12-08 |
Family
ID=15170592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13624197A Pending JPH10327038A (ja) | 1997-05-27 | 1997-05-27 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10327038A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6285112B1 (en) * | 1997-03-14 | 2001-09-04 | Ngk Insulators Ltd. | Surface acoustic wave device comprising langasite single crystal substrate |
| US6545394B2 (en) | 2000-11-17 | 2003-04-08 | Piedek Technical Laboratory & Quark Crystal Technical Laboratory Inc. | Lame mode quartz crystal resonator |
| JP2005094727A (ja) * | 2002-11-11 | 2005-04-07 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器とそれらの製造方法 |
| JP2007518312A (ja) * | 2004-01-15 | 2007-07-05 | ザ・ユニバーシティ・オブ・シドニー | 結晶振動子 |
| JP2014093626A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Kyocera Crystal Device Corp | 圧電振動子 |
-
1997
- 1997-05-27 JP JP13624197A patent/JPH10327038A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6285112B1 (en) * | 1997-03-14 | 2001-09-04 | Ngk Insulators Ltd. | Surface acoustic wave device comprising langasite single crystal substrate |
| US6545394B2 (en) | 2000-11-17 | 2003-04-08 | Piedek Technical Laboratory & Quark Crystal Technical Laboratory Inc. | Lame mode quartz crystal resonator |
| JP2005094727A (ja) * | 2002-11-11 | 2005-04-07 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器とそれらの製造方法 |
| JP2007518312A (ja) * | 2004-01-15 | 2007-07-05 | ザ・ユニバーシティ・オブ・シドニー | 結晶振動子 |
| JP2014093626A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Kyocera Crystal Device Corp | 圧電振動子 |
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