JPH1031301A - 描画用図形データの検証方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 処理する図形データの数を少なくし、実際の
不一致図形に近いものを得ることができる描画図形デー
タと元の図形データとの検証方法を提供する。 【解決手段】 （Ａ）図形論理演算の排他的論理和によ
り両図形データから、不一致の図形データを抽出する不
一致図形データ抽出工程と、（Ｂ）抽出された全不一致
図形データから、処理する図形データを選別する図形デ
ータ選別工程と、（Ｃ）選別された全図形データに対
し、接する図形データ同志を１つの図形データとするア
ウトライン化処理工程と、（Ｄ）アウトライン化処理さ
れた図形データに対し、許容値Ｄだけ、Ｘ方向、Ｙ方向
に縮小した図形データを得る縮小処理をし、得られた縮
小処理後の図形データを許容値Ｄだけ、Ｘ方向、Ｙ方向
に拡大した図形データを得る拡大処理を行い、得られた
図形データのみを新たに不一致図形データとする図形デ
ータの縮小拡大処理工程とからなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術の分野】本発明は，電子線、レーザ
光、イオンビーム、Ｘ線等の電離放射線による露光によ
り、該電離放射線に感光性のあるレジストを選択的に所
望の形状に露光するための露光描画装置の分野における
もので、描画図形データをいかに設計図形データに近い
状態で処理しているか否かをチエックするための検証方
法に関する。特に、ＬＳＩ、超ＬＳＩ、超々ＬＳＩ等の
回路製造に用いられるフオトマスク、レチクル等のマス
クパターンの作成に用いられる露光描画装置における描
画用図形データの検証に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩの集積度は年々高まってきてお
り、ＬＳＩを作製する際に用いられるパターニング用の
フオトマスク、レチクル等のマスクパターンも益々微細
化が求められてきた。この為、フオトマスクやレチクル
の作製においては、カメラワークを用いた縮小投影によ
るパターンニングに代わり、電子線や紫外線、レーザ光
等を用いた露光描画装置によるパターンニングが主流に
なってきた。中でも、高精度・高品質にレジストをパタ
ーニングするレジストパターンの作製方法として、電子
線を用いた電子線露光描画装置によるパターニング方法
が一般に知られている。この方法は、真空中で電子線を
電磁界により制御し、ＸＹ制御されたステージ上のフオ
トマスク等用の基板上の電子線に感光性のあるレジスト
部へ選択的に露光することにより所定のレジストパター
ン潜像を形成し、これを現像することによりレジストパ
ターンを得るものである。そして、レジストパターンを
耐エッチング性膜として、遮光層をエッチングしてフオ
トマスク等を得る。尚、ここでは、電離放射線とは、赤
外線、可視光、紫外線、遠紫外線、レーザ光、Ｘ線、イ
オンビーム等を言い、電離放射線を用いた露光描画装置
とは、これらの電離線を描画用に用いた装置を総称して
言っている。一般には、電子線露光描画装置、レーザ光
露光描画装置、イオンビーム露光装置、Ｘ線露光装置等
がある。

【０００３】上記電子線露光描画装置における描画作業
を行う際、設計図形データにできるだけ近い描画用デー
タを用いることが重要となるが、描画用データと設計デ
ータとは必ずしも同じ形状にならない。例えば、図８
（ａ）に示す斜め線のある設計図形データ８１０から、
図８（ｂ）に示す矩形図形データで近似された描画用図
形データ８２０を加工して得ることがある。尚、図８
（ｂ）は両図形データとの不一致箇所を図形ｃ８１〜ｃ
８９により表したものである。また、図９に示すよう
に、設計データの基本単位と描画用データの基本単位が
異なるため、量子化による誤差（丸めとも言う）が生じ
る場合がある。図９（ａ）は元の設計図形データが０．
００１μｍをアドレス単位としているのに対し、図９
（ｂ）は描画用図形データが０．０５μｍをアドレス単
位おり、元の設計図形データの矩形データａ９１が、
０．０５μｍのメッシュにのらない場合には、元の設計
図形データから作成される描画用図形データの矩形デー
タｂ９１は、変換の際に量子化され、０．０５μｍのメ
ッシュにのるように、データを丸められる。したがっ
て、矩形データａ９１から形状の異なる矩形データｂ９
１が生成されることとなる。このため、設計図形データ
と描画用データとが異なることに起因して、設計思想に
反した描画が行われる場合も起こり、描画用図形データ
が設計図形データと許容範囲の誤差内で一致しているか
否かの検証作業が必要となってくる。尚、ここで言う設
計データとは、設計されたレンイアウトデータから台形
ベースのデータに変換した図形データを言い、基本的に
両者間では誤差は発生しない。また、描画用用図形デー
タとは、描画用装置へ入力できる各種描画装置用のフオ
ーマットの図形データをＸないしＹ昇順の台形ベースの
図形フオーマットに変換したもので、基本的には両者間
では誤差は発生しない。

【０００４】従来の描画用図形データの検証を、図７に
基づいて簡単に説明しておく。先ず、元の図形データ
（設計図形データ）とこれから加工された描画用図形デ
ータについて、図形データの排他的論理和（Ｅｘｃｌｕ
ｓｉｖｅ−ＯＲ）を求め、両者の不一致図形データを抽
出する。（Ｓ７１） 次いで、得られた全不一致図形データについて、Ｘ、Ｙ
両方向について縮小処理（アンダーサイズとも言う）を
行い（Ｓ７２）、縮小値Ｄ０（以下許容値とも言う）よ
り幅ないし高さが小さい図形をここで消去する。次い
で、縮小処理後残った全図形データに対して、Ｘ、Ｙ両
方向について拡大処理（オーバーサイズとも言う）を行
い（Ｓ７３）、得られた図形データ（縮小拡大図）を新
たに不一致データとする。このようにして、所定の許容
値より大きい不一致図形データのみを抽出していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
装置の高密度化とともに、描画用図形データのデータ数
は多くなり、且つ、精度の高いものが求められるように
なってきた。図７に示す、処理する図形データの増加と
ともに、従来の描画図形データの検証方法においては、
Ｓ７１（ステップ７１）の工程にて検出される図形デー
タの数が極端に多くなり、処理が不能となる、ないし処
理に多くの時間を必要とする場合が発生し、問題になっ
てきた。例えば、Ｓ７１の工程においては、図８（ｃ）
に示すように、元の設定図形データ８１０（図８
（ａ））、描画用図形データ８２０（図８（ｂ））に比
べ、両図形データの排他的論理和により得られる図形デ
ータ数は極端に増える。本発明は、このような状況のも
と、描画図形データの検証に際し、できるだけ図７に示
す縮小処理、拡大処理する処理する図形データの数を少
なくし、且つ、これまでと同様の結果を得ようとするも
のである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の描画用図形デー
タの検証方法は、台形ベースの図形データを持つ、レイ
アウトデータから得られた設計図形データと該設計図形
データから得られた描画用図形データとの不一致箇所を
抽出するための描画用データの検証方法であって、
（Ａ）図形論理演算の排他的論理和により両図形データ
から、不一致の図形データを抽出する不一致図形データ
抽出工程と、（Ｂ）抽出された全不一致図形データか
ら、処理する図形データを選別する図形データ選別工程
と、（Ｃ）選別された全図形データに対し、接する図形
データ同志を１つの図形データとするアウトライン化処
理工程と、（Ｄ）アウトライン化処理された図形データ
に対し、許容値Ｄだけ、Ｘ方向、Ｙ方向に縮小した図形
データを得る縮小処理をし、得られた縮小処理後の図形
データを許容値Ｄだけ、Ｘ方向、Ｙ方向に拡大した図形
データを得る拡大処理を行い、得られた図形データのみ
を新たに不一致図形データとする図形データの縮小拡大
処理工程とからなることを特徴とするものである。そし
て、上記において、設計図形データと描画用図形データ
とはいずれもＹ方向に高さをもつ台形ベースの図形デー
タからなる図形データ群であり、図形データ選別工程
が、抽出された全不一致図形データから、Ｘ方向の幅が
許容値Ｄ以下のものは除去し、許容値Ｄより大きいもの
は処理対象図形データとして残す第一の選択工程と、第
一の選択工程にて残った各不一致図形データに対して、
Ｙ方向に接する他の図形データがある場合、少なくとも
一方側の他の図形データのＸ方向の幅およびＹ方向の幅
が許容値Ｄより大きい場合には、その不一致図形データ
を含めて接する図形データを全て出力して出力図形デー
タとし、接する他の図形データ全てに対し、図形データ
のＸ方向の幅、Ｙ方向の幅のいずれか一方が許容値Ｄよ
り小さい場合には、不一致図形データのＹ方向の幅が許
容値Ｄより大きい場合はその不一致図形データを含めて
接する図形データを全て出力して出力図形データとし、
Ｙ方向の幅が許容値Ｄより小である場合はその不一致図
形データを捨てる第二の選択工程と、第一の選択工程に
て残った各不一致図形データに対して、Ｙ方向に接する
他の図形データがない場合、その不一致図形データのＹ
方向の幅をチエックして、Ｙ方向の幅が許容値Ｄより大
きい場合は出力して出力図形データとし、Ｙ方向の幅が
許容値Ｄより小である場合は図形データを捨てる第三の
選択工程とからなり、各選択工程において、すでに出力
図形データとして処理されている図形データと同じ図形
データについては、重複して出力図形データとしないも
のであることを特徴とするものである。

【０００７】

【作用】本発明の描画用データの検証方法は、このよう
な構成にすることにより、描画図形データの検証におい
て、縮小処理、拡大処理等の処理を行う際の図形データ
の数を少なくでき、且つ、実際の不一致図形に近いもの
を得ることを可能とするものである。詳しくは、（Ａ）
図形論理演算の排他的論理和により両図形データから、
不一致の図形データを抽出する不一致図形データ抽出工
程と、（Ｂ）抽出された全不一致図形データから、処理
する図形データを選別する図形データ選別工程と、
（Ｃ）選別された全図形データに対し、接する図形デー
タ同志を１つの図形データとするアウトライン化処理工
程と、（Ｄ）アウトライン化処理された図形データに対
し、許容値Ｄだけ、Ｘ方向、Ｙ方向に縮小した図形デー
タを得る縮小処理をし、得られた縮小処理後の図形デー
タを許容値Ｄだけ、Ｘ方向、Ｙ方向に拡大した図形デー
タを得る拡大処理を行い、得られた図形データのみを新
たに不一致図形データとする図形データの縮小拡大処理
工程とからなることによりこれを達成している。更に詳
しくは、抽出された全不一致図形データから、処理する
図形データを選別する図形データ選別工程を設けている
ことにより、処理する図形データの数を、従来の図７に
示す工程に比べ減らし、大容量の描画用図形データの検
証にも耐えるものとしており、選別された全図形データ
に対し、接する図形データ同志を１つの図形データとす
るアウトライン化処理工程を設けていることにより、実
際の不一致図形データに近い、許容値より大きい図形デ
ータの抽出を可能としている。具体的には、設計図形デ
ータと描画用図形データとはいずれもＹ方向に高さをも
つ台形ベースの図形データからなる図形データ群であ
り、図形データ選別工程が、抽出された全不一致図形デ
ータから、Ｘ方向の幅が許容値Ｄ以下のものは除去し、
許容値Ｄより大きいものは処理対象図形データとして残
す第一の選択工程を有することにより、処理するデータ
量を大きく減らすことを可能としている。そして、第一
の選択工程にて残った各不一致図形データに対して、Ｙ
方向に接する他の図形データがある場合、少なくとも一
方側の他の図形データのＸ方向の幅およびＹ方向の幅が
許容値Ｄより大きい場合には、その不一致図形データを
含めて接する図形データを全て出力して出力図形データ
とし、接する他の図形データ全てに対し、図形データの
Ｘ方向の幅、Ｙ方向の幅のいずれか一方が許容値Ｄより
小さい場合には、不一致図形データのＹ方向の幅が許容
値Ｄより大きい場合はその不一致図形データを含めて接
する図形データを全て出力して出力図形データとし、Ｙ
方向の幅が許容値Ｄより小である場合はその不一致図形
データを捨てる第二の選択工程と、第一の選択工程にて
残った各不一致図形データに対して、Ｙ方向に接する他
の図形データがない場合、その不一致図形データのＹ方
向の幅をチエックして、Ｙ方向の幅が許容値Ｄより大き
い場合は出力して出力図形データとし、Ｙ方向の幅が許
容値Ｄより小である場合は図形データを捨てる第三の選
択工程とを有することにより、アウトライン化処理工
程、縮小拡大処理工程を経て、許容値より大きく、且
つ、実際の不一致図形データに近い形状の図形データを
不一致図形データとして得ることを可能としている。

【０００８】

【実施する形態】本発明の描画用データの検証方法を図
にもとづいて説明する。図１は、本発明の描画用データ
の検証方法のフローの１例を具体的に示した図である。
尚、元の設計図形データおよび設計図形データから得ら
れた描画用図形データは、いずれもＹ方向に高さをもつ
台形ベースの図形データからなる。先ず、元の設計図形
データとこれから加工された描画用図形データとの排他
的論理和を行い不一致図形を抽出する。（Ｓ１） 排他的論理和を行い不一致図形を抽出する処理は、図７
に示す従来の検証方法においても用いられているもの
で、一般に知られている手法であり、ここではこれにつ
いては言及しない。次いで、抽出された全不一致図形デ
ータに対して、各図形データをＹの昇順に１個づつ取り
出す。（Ｓ２） 取り出された各図形データに対し、Ｘ方向の幅（横幅）
が許容値以内である場合は処理対象とせず除去し、許容
値より大きい場合には次の処理へ渡す。（Ｓ３） 前記取り出された図形データのＸ方向の幅が許容値より
大きい場合には、Ｙ方向にその図形に接する他の図形あ
るか否かをチエックしする。（Ｓ４） 接する他の図形データがない場合には、その図形のＹ方
向の幅（高さ）をチエックし、Ｙ方向の幅が許容値より
大きい場合はそのまま出力し出力データとし、許容値よ
り小さい場合は処理の対象から除去する。（Ｓ５） また、接する他の図形データがある場合には、全ての接
する他の図形ータに対し、Ｘ方向の幅、Ｙ方向の幅のど
ちらかが許容値より大きい図形データがあるか否かをチ
エックし、１つでもある場合には取り出された図形デー
タを含めて接する図形データを全て出力し出力図形デー
タとし（Ｓ６）、無い場合には不一致図形データのＹ方
向の幅をチエックし、Ｙ方向の幅が許容値以下の場合に
は除去し、Ｙ方向の幅が許容値より大の場合にはこの不
一致図形を含め、接する図形データ全部を出力し、出力
図形データとする。（Ｓ７） 選別工程においては、同じ図形データの重複した出力を
行わないが、実際の処理としては、出力処理済の場合に
は処理済のフラグ等を立てて、同じ図形データの重複し
た出力の防止を簡単にできる。

【０００９】このようにして、ステップ１（Ｓ１）の排
他的論理和を行い得られた不一致図形の全てに対して終
了するるまで、ステップ２（Ｓ２）〜ステップ７を繰り
返し、全ての不一致図形に対して処理が終了した時点
で、得られた全出力図形データ（ＤＡＴＡ１）に対し、
接している図形を全て１図形データとするアウトライン
化処理を行い、アウトライン化データ（ＤＡＴＡ２）を
作成する。（Ｓ８） 次いで、得られたアウトライン化データ（ＤＡＴＡ２）
に対して、図７に示す従来の方法と同様にして、許容値
Ｄの半分だけＸ方向、Ｙ方向に縮小する縮小処理を行
い、縮小された縮小処理データ（ＤＡＴＡ３）を得た
（Ｓ９）後、更にこの縮小処理データ（ＤＡＴＡ３）に
対し、許容値Ｄの半分だけＸ方向、Ｙ方向に拡大する拡
大処理を行い、拡大された拡大を得て（Ｓ１０）、これ
を求める許容範囲外の不一致図形データとする。

【００１０】尚、ここでは、元の設計図形データおよび
設計図形データから得られた描画用図形データは、いず
れもＹ方向に高さをもつ台形ベースの図形データとして
いるが、これは、台形ベースの図形データについて、高
さ方向をＹ、幅方向をＸと定義しているものである。

【００１１】

【実施例】次に、更に具体的に図形データを用いて、本
発明の描画用データの検証方法を説明する。図２（ａ）
は元の設計図形データを図示したもので、２個の図形デ
ータａ１、ａ２から成っている。図２（ｂ）は図２
（ａ）に示す元の図形データを所定のソフト等により加
工して得られた描画用図形データで、５個の図形データ
ｂ１、ｂ２、ｂ３、ｂ４、ｂ５から成っている。図２に
示す元の図形データと描画用図形データとの不一致が許
容範囲でない図形を以下抽出する。尚、ここで言う許容
範囲とは、両図形データの一致部からＸ方向、Ｙ方向に
それぞれ片側許容値ｄだけの距離にある領域を言う。

【００１２】先ず、図２（ａ）に示す元の図形データ
と、図２（ｂ）に示す描画図形データに対し図形論理演
算の排他的論理和を行ない、図３に示す、図形データＣ
１〜Ｃ１０を抽出して得る。尚、図３は、図２（ａ）に
示す元の図形データと、図２（ｂ）に示す描画図形デー
タとの不一致箇所を分かり易くするため、図２（ａ）に
示す元の図形データと図２（ｂ）に示す描画図形データ
の外形も示してある。図３（ａ）に示す図形データは、
ｃ１〜ｃ１０の１０個から成り、当初の元の図形データ
と描画用図形データの図形データ数を合わせた６個より
も多くなっていることが分かる。

【００１３】次いで、排他的論理和を行ない得られた全
図形データに対し、処理する図形を選択する選択処理を
以下のように行う。順に、１図形データづつ取り出し、
図１に示すステップ３（図１（Ｓ３））以下の処理を施
す。Ｙ座標の昇順に１図形データづつ取り出す。先ず、
図形データｃ１を取り出し、Ｘ方向の幅（横幅）をチエ
ックする（図１（Ｓ３））が、横幅は許容値Ｄよりも大
きいため、Ｙ方向にこの図形データに接する図形データ
があるか否かをチエックする。（図１（Ｓ４）） 接する図形データｃ２があり、且つ、図形データｃ２の
Ｙ方向の幅（高さ）、Ｘ方向の幅（横幅）がともに許容
値Ｄより大きいため図形データｃ１を含め、これと接す
る図形データＣ２も出力して出力データとする。図形デ
ータＣ２についてはすでに出力データとなっており、新
たに処理しない。次に、図形データｃ３を取り出す、Ｘ
方向の幅をチエックする（図１（Ｓ３））が、Ｘ方向の
幅は許容値Ｄよりも小さいため、処理する図形とせず除
去する。次に、図形データｃ４を取り出す、Ｘ方向の幅
をチエックする（図１（Ｓ３））が、横幅は許容値Ｄよ
りも大きいため、Ｙ方向にこの図形データに接する図形
データがあるか否かをチエックする。（図１（Ｓ４）） 接する図形データｃ３があり、且つ、図形データｃ３の
Ｘ方向の幅（横幅）が許容値Ｄより小さいため図形デー
タｃ４は処理する図形とせず除去する。図形データｃ５
〜ｃ９については、いずれもＸ方向の幅（横幅）が許容
値Ｄ以下であるので順次、処理する図形とせず除去す
る。この結果、図４（ａ）に示すように、図形データｃ
１、ｃ２の２個のみが処理対象として残ることになる
る。

【００１４】次に、この互いに接する図形データｃ１と
図形データｃ２とを１つの図形とするアウトライン化処
理を行ってアウトライン化されたデータｃ０を得た（図
４（ｂ））後に、このアウトライン化された図形データ
ｃ０に対し、全体をＸ方向、Ｙ方向にＤだけ縮小する縮
小処理を行い（Ｓ９）、図５（ａ）に示す縮小された図
形データｃＳを得た。更に、この縮小された図形データ
ｃＳを拡大処理して、図５（ｂ）に示す、図形データｃ
ＳＬを得た。この図形データｃＳＬが、許容値範囲でな
い不一致図形データであり、図５に示す斜線部分を表し
たもので、図３に示す不一致図形ｃ２と不一致図形ｃ１
の一部に相当する。

【００１５】

【発明の効果】本発明は、元の設計図形データと描画用
図形データの全不一致図形データをそのまま図５に示す
従来の検証方法のように、縮小処理、拡大処理にて用い
ておらず、不一致図形データに対し、処理を行う対象と
するか否かの選別工程を設けており、これにより、描画
用図形のデータ大容量化にも耐えるものとしている。ま
た、選別工程により得られた接する図形同志を一つの図
形とするアウトライン化処理の後に、縮小拡大処理を行
うため、許容値より大きい、実際の不一致図形に近いも
のを得ることを可能としている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の描画用図形データの検証方法のフロー
図

【図２】設計図形データ、描画用図形データを示した図

【図３】設計図形データと描画用図形データとの排他的
論理和を説明するための図

【図４】アウトライン化処理を説明するための図

【図５】縮小処理、拡大処理を説明するための図

【図６】処理後の図形と処理前の不一致図形との関係を
示した図

【図７】従来の描画用図形データの検証方法のフロー図

【図８】設計図形データと描画用図形データで不一致図
形が発生する理由を説明するための図

【図９】設計図形データと描画用図形データで不一致図
形が発生する理由を説明するための図

【符号の説明】

１１０、８１０ 元の設計図形データ １２０、８２０ 描画用図形データ ａ１、ａ２ 図形データ ｂ１〜ｂ５ 図形データ ｃ１〜ｃ９ 図形データ ｃＯ （アウトライン化処理
後の）図形データ ｃＳ 縮小処理後の図形デ
ータ ｃＳＬ 拡大処理後の図形デ
ータ ａ８１、ｂ８１〜ｂ８３、ｃ８１〜ｃ８９ 図形データ ａ９１、ｂ９１ 図形データ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 台形ベースの図形データを持つ、レイア
   ウトデータから得られた設計図形データと該設計図形デ
   ータから得られた描画用図形データとの不一致箇所を抽
   出するための描画用データの検証方法であって、（Ａ）
   図形論理演算の排他的論理和により両図形データから、
   不一致の図形データを抽出する不一致図形データ抽出工
   程と、（Ｂ）抽出された全不一致図形データから、処理
   する図形データを選別する図形データ選別工程と、
   （Ｃ）選別された全図形データに対し、接する図形デー
   タ同志を１つの図形データとするアウトライン化処理工
   程と、（Ｄ）アウトライン化処理された図形データに対
   し、許容値Ｄだけ、Ｘ方向、Ｙ方向に縮小した図形デー
   タを得る縮小処理をし、得られた縮小処理後の図形デー
   タを許容値Ｄだけ、Ｘ方向、Ｙ方向に拡大した図形デー
   タを得る拡大処理を行い、得られた図形データのみを新
   たに不一致図形データとする図形データの縮小拡大処理
   工程とからなることを特徴とする描画用図形データの検
   証方法。
2. 【請求項２】 請求項１において、設計図形データと描
   画用図形データとはいずれもＹ方向に高さをもつ台形ベ
   ースの図形データからなる図形データ群であり、図形デ
   ータ選別工程が、抽出された全不一致図形データから、
   Ｘ方向の幅が許容値Ｄ以下のものは除去し、許容値Ｄよ
   り大きいものは処理対象図形データとして残す第一の選
   択工程と、第一の選択工程にて残った各不一致図形デー
   タに対して、Ｙ方向に接する他の図形データがある場
   合、少なくとも一方側の他の図形データのＸ方向の幅お
   よびＹ方向の幅が許容値Ｄより大きい場合には、その不
   一致図形データを含めて接する図形データを全て出力し
   て出力図形データとし、接する他の図形データ全てに対
   し、図形データのＸ方向の幅、Ｙ方向の幅のいずれか一
   方が許容値Ｄより小さい場合には、不一致図形データの
   Ｙ方向の幅が許容値Ｄより大きい場合はその不一致図形
   データを含めて接する図形データを全て出力して出力図
   形データとし、Ｙ方向の幅が許容値Ｄより小である場合
   はその不一致図形データを捨てる第二の選択工程と、第
   一の選択工程にて残った各不一致図形データに対して、
   Ｙ方向に接する他の図形データがない場合、その不一致
   図形データのＹ方向の幅をチエックして、Ｙ方向の幅が
   許容値Ｄより大きい場合は出力して出力図形データと
   し、Ｙ方向の幅が許容値Ｄより小である場合は図形デー
   タを捨てる第三の選択工程とからなり、各選択工程にお
   いて、すでに出力図形データとして処理されている図形
   データと同じ図形データについては、重複して出力図形
   データとしないものであることを特徴とする描画用図形
   データの検証方法。