JPH10309768A - Article with water repellent oil repellent film, and its manufacture - Google Patents

Article with water repellent oil repellent film, and its manufacture

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JPH10309768A
JPH10309768A JP10080952A JP8095298A JPH10309768A JP H10309768 A JPH10309768 A JP H10309768A JP 10080952 A JP10080952 A JP 10080952A JP 8095298 A JP8095298 A JP 8095298A JP H10309768 A JPH10309768 A JP H10309768A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for forming a fluorine coating film having satisfactory adhesive properties with a base without pinhole and excellent water and oil repellence of a surface, and to improve performance of an equipment necessary for heat resistant, weather resistant, wear resistant coating with excellent water and oil repellence of a building, electric apparatus, vehicle or industrial equipment. SOLUTION: This article is obtained by treating a surface of a base 1 with composition containing a mixture of perfluoroalkyl with silane 3 completely hydrolyzable with alkylsilane and forming the base 1 with a non-wettable surface 4 having water repellence and oil repellence on the base selected from a group consisting of glass, ceramics, metal, plastic and inorganic film.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、撥水撥油性被膜
(非濡れ性表面層ともいう)およびその製造方法に関す
るものである。さらに詳しくは、基体表面を非濡れ性表
面に改質する際、基体表面にペルフルオロアルキル ア
ルキルシランと完全に加水分解可能なシランとの混合物
と接触させて脱塩酸反応または脱アルコール反応させて
基体表面に撥水撥油性被膜を形成する発明に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a water / oil repellent coating (also referred to as a non-wetting surface layer) and a method for producing the same. More specifically, when modifying the substrate surface to a non-wetting surface, the substrate surface is brought into contact with a mixture of perfluoroalkylalkylsilane and a completely hydrolyzable silane to cause a dehydrochlorination reaction or a dealcoholation reaction to effect a dehydrochlorination reaction or alcohol removal reaction. To form a water- and oil-repellent coating on the substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、建物や電化製品、乗り物、産
業機器、鏡、眼鏡レンズ等には、耐熱性、耐候性、耐摩
耗性で且つ防汚機能を有する超薄膜コーティングが要求
されている。このような撥水撥油防汚を目的としたコー
ティング膜の製造方法として、現在、フロロカーボン系
ポリマーを焼き付ける方法が知られている。この方法で
は、基体の表面をサンドブラシ、ワイヤブラシや化学エ
ッチング等で荒し、さらにプライマー等を塗布した後、
さらにポリ4フッ化エチレン等のフロロカーボン系微粉
末をエタノール等に懸濁させた塗料を塗布し、乾燥後4
00℃程度で1時間程度ベーキング(焼き付け処理)を
おこない、基体表面にフロロカーボン系ポリマーを焼き
付ける方法が一般的であった。
2. Description of the Related Art Conventionally, buildings, electrical appliances, vehicles, industrial equipment, mirrors, spectacle lenses, and the like have been required to have an ultra-thin coating having heat resistance, weather resistance, abrasion resistance and an antifouling function. . As a method for producing such a coating film for the purpose of water / oil repellency / antifouling, a method of baking a fluorocarbon polymer is known at present. In this method, the surface of the substrate is roughened with a sand brush, a wire brush, chemical etching, or the like, and after further applying a primer or the like,
Further, a paint in which a fluorocarbon-based fine powder such as polytetrafluoroethylene or the like is suspended in ethanol or the like is applied.
A method of baking (baking) at about 00 ° C. for about 1 hour and baking a fluorocarbon polymer on the surface of the substrate has been common.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法では製造が容易である反面、ポリマーと基体は単にア
ンカー効果でのみ接着されているに過ぎないため、基体
との密着性に限界があり、耐久性に劣っていた。また、
コーティング膜表面は400℃の高温ベーキングをおこ
なうため表面が平坦化されて良好な撥水撥油面が得られ
なかった。従って、電化製品や自動車、産業機器等の撥
水撥油性のコーティング膜を必要とする機器の製造方法
としては不十分であった。
However, while this method is easy to manufacture, the polymer and the substrate are merely bonded by the anchor effect only, so that the adhesion between the polymer and the substrate is limited, and the durability is low. The sex was inferior. Also,
Since the coating film surface was baked at a high temperature of 400 ° C., the surface was flattened, and a good water- and oil-repellent surface could not be obtained. Therefore, it is insufficient as a method for manufacturing an appliance, such as an electric appliance, an automobile, or an industrial device, which requires a water- and oil-repellent coating film.

【0004】以上述べてきた従来法の欠点に鑑み、本発
明の目的は、基体と密着性よく且つピンホール無く、し
かも表面の撥水撥油性が優れたフッ素系コーティング膜
の作成方法を提供し、建物や電化製品、乗り物、産業機
器等の撥水撥油性に優れた耐熱性、耐候性、耐摩耗性コ
ーティングを必要とする機器の性能を向上させることに
ある。
In view of the above-mentioned drawbacks of the conventional method, an object of the present invention is to provide a method for forming a fluorine-based coating film having good adhesion to a substrate, no pinholes, and excellent surface water / oil repellency. Another object of the present invention is to improve the performance of equipment requiring heat-resistant, weather-resistant, and wear-resistant coatings having excellent water and oil repellency, such as buildings, electric appliances, vehicles, and industrial equipment.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の撥水撥油性被膜を有する物品は、基体の表
面の少なくとも一部分が、ペルフルオロアルキル アル
キルシランと完全に加水分解可能なシランとの混合物を
含む組成物で処理されており、しかも、ガラス、セラミ
ック、金属、プラスチック基体、および無機被膜で被覆
された基体から選ばれる少なくとも一つの基体からなる
ことを特徴とする。
In order to achieve the above object, an article having a water- and oil-repellent coating according to the present invention is characterized in that at least a part of the surface of the substrate has a perfluoroalkylalkylsilane and a completely hydrolyzable silane. Characterized by comprising at least one substrate selected from the group consisting of a glass, ceramic, metal, plastic substrate, and a substrate coated with an inorganic coating.

【0006】次に、本発明の撥水撥油性被膜を製造する
方法は、基体の表面を、ペルフルオロアルキル アルキ
ルシランと完全に加水分解可能なシランとの混合物と接
触させる工程を含み、しかも、前記基体がガラス、セラ
ミック、金属、プラスチック、および無機被膜で被服さ
れたそれらの基体から成る群から選択される基体に非濡
れ性表面を形成することを特徴とする。
Next, the method for producing a water- and oil-repellent coating of the present invention comprises the step of contacting the surface of a substrate with a mixture of a perfluoroalkylalkylsilane and a completely hydrolyzable silane. The substrate is characterized by forming a non-wetting surface on a substrate selected from the group consisting of glass, ceramic, metal, plastic, and those substrates coated with an inorganic coating.

【0007】前記物品においては、ペルフルオロアルキ
ル アルキル シランが、一般式CF3−(CF2)n−R
−SiXpCl3-p(nは0または整数、Rはアルキレン
基、エチレン基、アセチレン基、またはSi、酸素原子
を含む置換基、XはHまたはアルキル基、シクロアルキ
ル基、アリル基またはこれらの誘導体から選ばれる置換
基、pは0,1または2)、またはCF3−(CF2n
−R−SiYq(OA) 3-q(nは0または整数、Rはア
ルキレン基、エチレン基、アセチレン基、またはSi、
酸素原子を含む置換基、OAはアルコキシ基(ただし、
AはHまたはアルキル基)、qは0,1または2)で示
される化合物から選択されると防汚性を向上する上で好
ましい。
[0007] In the article, the perfluoroalkyl
Le alkyl silane has the general formula CFThree− (CFTwo)n-R
-SiXpCl3-p(N is 0 or an integer, R is alkylene
Group, ethylene group, acetylene group, or Si, oxygen atom
X is H or an alkyl group, cycloalkyl
Or a substituent selected from an allyl group or a derivative thereof
Group, p is 0, 1 or 2), or CFThree− (CFTwo)n
-R-SiYq(OA) 3-q(N is 0 or an integer, R is
Alkylene group, ethylene group, acetylene group, or Si,
A substituent containing an oxygen atom, OA is an alkoxy group (however,
A represents H or an alkyl group), and q represents 0, 1 or 2).
When selected from the compounds to be used, it is effective in improving the antifouling property.
Good.

【0008】ここで、ペルフルオロアルキル アルキル
シランが、下記の化合物から選ばれる少なくとも一つ
であることが好ましい。 (1) CF3(CF25(CH22SiCl3 (2) CF3(CF27(CH22SiCl3 (3) CF3CH2O(CH215SiCl3 (4) CF3(CH22Si(CH32(CH215Si
Cl3 (5) F(CF24(CH22Si(CH32(CH2
9SiCl3 (6) CF3COO(CH215SiCl3 (7) CF3(CF25(CH22SiCl3 (8) F(CF28(CH22Si(CH32(CH2
9SiCl3 (9) F(CF28(CH22Si(CH32(CH2
6SiCl3 (10) CF3CH2O(CH215Si(OCH33 (11) CF3(CF27(CH22Si(OC253 (12) CF3(CH22Si(CH32(CH215Si
(OCH33 (13) F(CF28(CH22Si(CH32(CH2
9Si(OCH33 (14) CF3COO(CH215Si(OC253
Here, the perfluoroalkylalkylsilane is preferably at least one selected from the following compounds. (1) CF 3 (CF 2 ) 5 (CH 2 ) 2 SiCl 3 (2) CF 3 (CF 2 ) 7 (CH 2 ) 2 SiCl 3 (3) CF 3 CH 2 O (CH 2 ) 15 SiCl 3 ( 4) CF 3 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 ) 15 Si
Cl 3 (5) F (CF 2) 4 (CH 2) 2 Si (CH 3) 2 (CH 2)
9 SiCl 3 (6) CF 3 COO (CH 2 ) 15 SiCl 3 (7) CF 3 (CF 2 ) 5 (CH 2 ) 2 SiCl 3 (8) F (CF 2 ) 8 (CH 2 ) 2 Si (CH 3) 2 (CH 2)
9 SiCl 3 (9) F (CF 2 ) 8 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 )
6 SiCl 3 (10) CF 3 CH 2 O (CH 2) 15 Si (OCH 3) 3 (11) CF 3 (CF 2) 7 (CH 2) 2 Si (OC 2 H 5) 3 (12) CF 3 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 ) 15 Si
(OCH 3 ) 3 (13) F (CF 2 ) 8 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 )
9 Si (OCH 3 ) 3 (14) CF 3 COO (CH 2 ) 15 Si (OC 2 H 5 ) 3

【0009】さらに、無機被膜としてガラス状シリカ膜
を用いておくと耐久性を上げるのに好都合である。ま
た、ガラス状シリカ膜が、ガラス基材表面にシリケート
グラスを塗布し、さらに加熱処理またはプラズマアッシ
ング処理することにより形成されていると好ましい。さ
らにまた、基体の最表面が、サブミクロン乃至ミクロン
オーダの凸凹であると撥水撥油性向上にとって好まし
い。
Further, if a glassy silica film is used as the inorganic coating, it is convenient to increase the durability. Further, it is preferable that the glassy silica film is formed by applying silicate glass to the surface of a glass substrate and further performing a heat treatment or a plasma ashing treatment. Furthermore, it is preferable that the outermost surface of the substrate has irregularities on the order of submicron to micron for improving the water / oil repellency.

【0010】また、基体表面とペルフルオロアルキル
アルキルシランと完全に加水分解可能なシランとの混合
物とが、脱塩化水素反応又は脱アルコール反応により処
理されていると耐久性が向上して好ましい。また、完全
に加水分解可能なシランとしてSiXsCl4-s(XはH
−またはCl(SiCl2O)n−(ここでnは整数)、
sは0または1または2)、またはSi(OA)4(A
はHまたはアルキル基)からなる群から選ばれるシラン
を用いると耐ひっかき強度が増して好都合である。さら
に、ペルフルオロアルキル アルキルシランと完全に加
水分解可能なシランの組合せに、ペルフルオロアルキル
アルキルクロロシランとSiXsCl4-s(XはH−ま
たはCl(SiCl2O)n−(ここでnは整数)、sは
0または1または2)の組合せ、またはペルフルオロア
ルキル アルキルアルコキシシランとSi(OA)
4(AはHまたはアルキル基)の組合せから選ばれるこ
とが好ましい。一方、前記方法においては、ペルフルオ
ロアルキル アルキルシランが、一般式CF3−(CF2)
n−R−SiXpCl3-p(nは0または整数、Rはアル
キレン基、エチレン基、アセチレン基、またはSi、酸
素原子を含む置換基、XはHまたはアルキル基、シクロ
アルキル基、アリル基またはこれらの誘導体から選ばれ
る置換基、pは0,1または2)、またはCF3−(C
2n−R−SiYq(OA)3-q(nは0または整数、
Rはアルキレン基、エチレン基、アセチレン基、または
Si、酸素原子を含む置換基、OAはアルコキシ基(た
だし、AはHまたはアルキル基)、qは0,1または
2)で示される化合物を用いると撥水撥油性の優れた表
面を得る上で好ましい。
Further, the surface of the substrate and the perfluoroalkyl
It is preferable that the mixture of the alkylsilane and the completely hydrolyzable silane is treated by a dehydrochlorination reaction or a dealcoholization reaction because durability is improved. Further, as a completely hydrolyzable silane, Six s Cl 4-s (X is H
— Or Cl (SiCl 2 O) n — (where n is an integer),
s is 0 or 1 or 2), or Si (OA) 4 (A
The use of a silane selected from the group consisting of H or an alkyl group) is advantageous because scratch resistance increases. Furthermore, the combination of completely hydrolyzable silane and perfluoroalkyl alkyl silanes, perfluoroalkyl alkyl chlorosilane and SiX s Cl 4-s (X is H- or Cl (SiCl 2 O) n - ( where n is an integer) , S is 0 or a combination of 1 or 2), or perfluoroalkylalkylalkoxysilane and Si (OA)
4 (A is H or an alkyl group). On the other hand, in the above method, the perfluoroalkylalkylsilane has the general formula CF 3- (CF 2 )
n -R-SiX p Cl 3- p (n is 0 or an integer, R represents an alkylene group, an ethylene group, an acetylene group or Si, a substituent containing an oxygen atom, X is H or an alkyl group, a cycloalkyl group, an allyl A substituent selected from the group or a derivative thereof, p is 0, 1 or 2), or CF 3- (C
F 2 ) n -R-SiY q (OA) 3-q (n is 0 or an integer,
R is an alkylene group, ethylene group, acetylene group, or a substituent containing Si or an oxygen atom, OA is an alkoxy group (where A is H or an alkyl group), and q is a compound represented by 0, 1, or 2. This is preferable for obtaining a surface having excellent water and oil repellency.

【0011】また、ペルフルオロアルキル アルキルシ
ランとして、下記の化合物から選ばれる少なくとも一つ
を用いるのが好ましい。 (1) CF3(CF25(CH22SiCl3 (2) CF3(CF27(CH22SiCl3 (3) CF3CH2O(CH215SiCl3 (4) CF3(CH22Si(CH32(CH215Si
Cl3 (5) F(CF24(CH22Si(CH32(CH2
9SiCl3 (6) CF3COO(CH215SiCl3 (7) CF3(CF25(CH22SiCl3 (8) F(CF28(CH22Si(CH32(CH2
9SiCl3 (9) F(CF28(CH22Si(CH32(CH2
6SiCl3 (10) CF3CH2O(CH215Si(OCH33 (11) CF3(CF27(CH22Si(OC253 (12) CF3(CH22Si(CH32(CH215Si
(OCH33 (13) F(CF28(CH22Si(CH32(CH2
9Si(OCH33 (14) CF3COO(CH215Si(OC253
Further, it is preferable to use at least one selected from the following compounds as the perfluoroalkylalkylsilane. (1) CF 3 (CF 2 ) 5 (CH 2 ) 2 SiCl 3 (2) CF 3 (CF 2 ) 7 (CH 2 ) 2 SiCl 3 (3) CF 3 CH 2 O (CH 2 ) 15 SiCl 3 ( 4) CF 3 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 ) 15 Si
Cl 3 (5) F (CF 2) 4 (CH 2) 2 Si (CH 3) 2 (CH 2)
9 SiCl 3 (6) CF 3 COO (CH 2 ) 15 SiCl 3 (7) CF 3 (CF 2 ) 5 (CH 2 ) 2 SiCl 3 (8) F (CF 2 ) 8 (CH 2 ) 2 Si (CH 3) 2 (CH 2)
9 SiCl 3 (9) F (CF 2 ) 8 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 )
6 SiCl 3 (10) CF 3 CH 2 O (CH 2) 15 Si (OCH 3) 3 (11) CF 3 (CF 2) 7 (CH 2) 2 Si (OC 2 H 5) 3 (12) CF 3 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 ) 15 Si
(OCH 3 ) 3 (13) F (CF 2 ) 8 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 )
9 Si (OCH 3 ) 3 (14) CF 3 COO (CH 2 ) 15 Si (OC 2 H 5 ) 3

【0012】また、無機被膜としてガラス状シリカ膜を
用いると耐久性向上の上で好ましい。さらにまた、ガラ
ス状シリカ膜の製造に、ガラス基材表面にシリケートグ
ラスを塗布し、さらに加熱処理またはプラズマアッシン
グ処理する工程を用いると効率的にシリカ被膜を形成で
きて都合がよい。
It is preferable to use a glassy silica film as the inorganic coating in order to improve durability. Furthermore, it is convenient to apply a silicate glass to the surface of a glass substrate and then to perform a heat treatment or a plasma ashing process for the production of the glassy silica film because the silica film can be efficiently formed.

【0013】また、基体の最表面を、サブミクロン乃至
ミクロンオーダの凸凹に加工する工程を含めておくと更
に撥水撥油性能を向上する上で好ましい。さらに、基体
表面をペルフルオロアルキル アルキルシランと完全に
加水分解可能なシランとの混合物で処理するとき、脱塩
化水素反応又は脱アルコール反応させる工程を短縮する
上で好都合である。
It is preferable to further include a step of processing the outermost surface of the base into irregularities on the order of submicron to micron in order to further improve the water / oil repellency. Further, when the substrate surface is treated with a mixture of a perfluoroalkylalkylsilane and a completely hydrolyzable silane, it is advantageous in shortening the step of dehydrochlorination or dealcoholation.

【0014】さらにまた、完全に加水分解可能なシラン
としては、SiXsCl4-s(XはH−またはCl(Si
Cl2O)n−(ここでnは整数)、sは0または1また
は2)、またはSi(OA)4(AはHまたはアルキル
基)からなる群から選ばれる物質が好ましい。さらに、
ペルフルオロアルキル アルキルシランと完全に加水分
解可能なシランの組合せとして、ペルフルオロアルキル
アルキルクロロシランとSiXsCl4-s(XはH−ま
たはCl(SiCl2O)n−(ここでnは整数)、sは
0または1または2)の組合せ、またはペルフルオロア
ルキル アルキルアルコキシシランとSi(OA)
4(AはHまたはアルキル基)の組合せから選ぶと、反
応が同じになり均一被膜を得る上で好ましい。
Further, silanes which can be completely hydrolyzed include Six s Cl 4-s (X is H- or Cl (Si
A substance selected from the group consisting of Cl 2 O) n- (where n is an integer), s is 0, 1 or 2, or Si (OA) 4 (A is H or an alkyl group) is preferable. further,
As a combination of fully hydrolyzable silane and perfluoroalkyl alkyl silanes, perfluoroalkyl alkyl chlorosilane and SiX s Cl 4-s (X is H- or Cl (SiCl 2 O) n - ( where n is an integer), s Is a combination of 0 or 1 or 2), or a perfluoroalkyl alkylalkoxysilane and Si (OA)
4 (A is H or an alkyl group) is preferable in that the reaction becomes the same and a uniform coating is obtained.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】次に本発明の第1番目の実施形態
は、基体表面に無機被膜であるシリカ下地層を形成する
工程と、フロロカーボン基及びクロロシラン基を含む物
質を混合した非水系の溶媒を塗布する工程、またはフロ
ロカーボン基及びクロロシラン基を含む物質を混ぜた非
水系の溶媒中に、さらに前記物質の架橋剤として完全に
加水分解可能なSiXsCl4-s(XはHまたはアルキル
基などの置換基、sは0または1または2)を添加した
工程を含む。次に、本発明の2番目の実施形態は、フロ
ロカーボン基及びアルコキシシラン基を含む物質を混ぜ
た溶媒を塗布する工程、またはフロロカーボン基及びア
ルコキシシラン基を含む物質を混ぜた溶媒中に、さらに
前記物質の架橋剤として完全に加水分解可能なSiYt
(OA)4-t(Yはアルキル基などの置換基、OAはア
ルコキシ基(ただし、AはHまたはアルキル基)tは0
または1または2)を添加した工程と、加熱処理を行う
工程を含む。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention comprises a step of forming a silica base layer as an inorganic coating on the surface of a substrate, and a non-aqueous system in which a substance containing a fluorocarbon group and a chlorosilane group is mixed. In a step of applying a solvent, or in a non-aqueous solvent mixed with a substance containing a fluorocarbon group and a chlorosilane group, a completely hydrolyzable SiX s Cl 4-s (X is H or alkyl) And a substituent such as a group, s is 0 or 1 or 2). Next, the second embodiment of the present invention is a step of applying a solvent mixed with a substance containing a fluorocarbon group and an alkoxysilane group, or in a solvent mixed with a substance containing a fluorocarbon group and an alkoxysilane group, completely hydrolyzable SiY t as a crosslinking agent substances
(OA) 4-t (Y is a substituent such as an alkyl group, OA is an alkoxy group (A is H or an alkyl group), and t is 0
Or a step of adding 1 or 2) and a step of performing a heat treatment.

【0016】次に本発明の第3番目の実施形態は、基体
の表面に凸凹を作成する工程と、クロロシリル基を複数
個含む物質を混ぜた非水系溶媒に接触させて前記基体表
面の水酸基と前記クロロシリル基を複数個含む物質のク
ロロシリル基とを反応させて前記物質を前記基体表面に
析出させる工程と、非水系有機溶媒を用い前記基体上に
残った余分なクロロシリル基を物質を洗浄除去した後、
水と反応させて、前記基体上にシラノール基を複数個含
む物質より成るシロキサン結合を主成分としたシリカ単
分子膜(この膜をシリカ下地層ともいう)を形成する工
程と、一端にクロルシラン基(SiCln3-n基、n=
1、2、3、Xは官能基)を有し他の一端に直鎖状フッ
化炭素基を含むクロロシラン系界面活性剤を基体表面に
化学吸着し単分子吸着膜を累積する工程とを含む。
Next, a third embodiment of the present invention comprises a step of forming irregularities on the surface of the substrate, and contacting a hydroxyl group on the surface of the substrate with a non-aqueous solvent mixed with a substance containing a plurality of chlorosilyl groups. Reacting the chlorosilyl group of the substance containing a plurality of chlorosilyl groups with the chlorosilyl group to deposit the substance on the surface of the substrate, and washing away the excess chlorosilyl group remaining on the substrate using a non-aqueous organic solvent. rear,
A step of reacting with water to form a silica monomolecular film having a siloxane bond as a main component and comprising a substance containing a plurality of silanol groups on the substrate (this film is also referred to as a silica underlayer); (SiCl n X 3-n group, n =
(1, 2, 3, and X are functional groups) and a step of accumulating a monomolecular adsorption film by chemically adsorbing a chlorosilane-based surfactant having a linear fluorocarbon group at the other end to the substrate surface. .

【0017】前記本発明の第1,2または3番目の実施
形態においては、基体表面にシリカ下地層を形成する工
程において、微粒子及びシリケートグラスを混合し基体
表面に塗布した後、基体諸とも加熱ベーキングを行なう
方法、電解エッチング法、化学エッチング法、サンドブ
ラスト法、スパッタリング法、またはラビング法から選
ばれる少なくとも一種の方法を用いる。
In the first, second or third embodiment of the present invention, in the step of forming a silica underlayer on the surface of the substrate, fine particles and silicate glass are mixed and applied to the surface of the substrate, and then the substrates are heated. At least one method selected from a baking method, an electrolytic etching method, a chemical etching method, a sand blast method, a sputtering method, and a rubbing method is used.

【0018】また前記本発明の第1,2または3番目の
実施形態においては、基体表面にシリカ下地層を形成す
る工程と、一端にクロルシラン基(SiCln
3-n 基、n=1、2、3、Xは官能基)を有するフロロ
カーボン系分子からなるフロロシラン系界面活性剤を用
いて基体上に化学吸着膜を形成する工程とを含む。
In the first, second or third embodiment of the present invention, a step of forming a silica underlayer on the surface of the substrate and a chlorosilane group (SiCl n X
Forming a chemisorption film on a substrate using a fluorosilane-based surfactant comprising a fluorocarbon-based molecule having a 3-n group, where n = 1, 2, 3, and X is a functional group.

【0019】また前記本発明の第1または3番目の実施
形態においては、フロロカーボン基及びクロロシラン基
を含む物質として、CF3-(CF2n-R-SiXpCl
3-p(ペルフルオロアルキル アルキル シラン系のペ
ルフルオロアルキル アルキルクロロシラン;nは0ま
たは整数、Rはアルキレン基、エチレン基、アセチレン
基、またはSi、酸素原子を含む置換基、XはHまたは
アルキル基、シクロアルキル基、アリル基またはこれら
の誘導体から選ばれる置換基、pは0,1または2)を
用いる。
In the first or third embodiment of the present invention, the substance containing a fluorocarbon group and a chlorosilane group is CF 3- (CF 2 ) n -R-SiX p Cl.
3-p (perfluoroalkylalkylsilane - based perfluoroalkylalkylchlorosilane; n is 0 or an integer; R is an alkylene group, ethylene group, acetylene group, or a substituent containing Si or an oxygen atom; X is H or an alkyl group; A substituent selected from an alkyl group, an allyl group or a derivative thereof, and p is 0, 1 or 2).

【0020】また前記本発明の第2または3番目の実施
形態においては、フロロカーボン基及びアルコキシシラ
ン基を含む物質として、CF3−(CF2n−R−Si
q(OA)3-q(ペルフルオロアルキル アルキルシラ
ン系のペルフルオロアルキルアルキル アルコキシシラ
ン;nは0または整数、Rはアルキレン基、エチレン
基、アセチレン基、またはSi、酸素原子を含む置換
基、XはHまたはアルキル基、シクロアルキル基、アリ
ル基またはこれらの誘導体から選ばれる置換基、OAは
アルコキシ基(ただし、AはHまたはアルキル基)、q
は0,1または2)を用いる。
In the second or third embodiment of the present invention, the substance containing a fluorocarbon group and an alkoxysilane group is CF 3- (CF 2 ) n -R-Si
Y q (OA) 3-q (perfluoroalkylalkylsilane - based perfluoroalkylalkylalkoxysilane; n is 0 or an integer, R is an alkylene group, an ethylene group, an acetylene group, or a substituent containing Si or an oxygen atom; H or a substituent selected from an alkyl group, a cycloalkyl group, an allyl group or a derivative thereof, OA is an alkoxy group (where A is H or an alkyl group), q
Is 0, 1 or 2).

【0021】前記本発明の実施形態によれば、シリカ下
地層が形成された基体の表面に、少なくともシロキサン
結合を介してフッ素を含む化学吸着単分子膜が形成され
ているので、基体と密着性よく且つピンホール無く、し
かも撥水撥油性(非濡れ性)、耐熱性、耐候性、耐摩耗
性等が優れたフッ素系コーティング膜ができる。
According to the embodiment of the present invention, since the chemically adsorbed monomolecular film containing fluorine is formed at least through a siloxane bond on the surface of the substrate on which the silica base layer is formed, A fluorine-based coating film having good and no pinholes and having excellent water and oil repellency (non-wetting), heat resistance, weather resistance, abrasion resistance and the like can be obtained.

【0022】また、本発明においては、予めフロロカー
ボン系コーティング膜形成用基体表面に、ガラス微粒子
及びシリケートグラスを混合塗布後ベーキングして表面
がサブミクロン乃至ミクロンオーダで凸凹のガラス状シ
リカ下地層を作成したり、基体そのものをエッチングや
サンドブラスト処理して粗面加工する工程を含めること
により、後工程で作成されたフロロカーボン系コーティ
ング膜の表面に微細な凸凹を形成できる作用がある。従
って、表面に任意の凸凹のあるきわめて撥水撥油性の優
れたフロロカーボン系コーティング膜(以下、フロロカ
ーボン系ポリマー膜ともいう。)を形成できる。
Further, in the present invention, glass fine particles and silicate glass are mixed and coated on the surface of a fluorocarbon-based coating film forming substrate in advance, and then baked to form a glassy silica base layer having an irregular surface with a submicron to micron order. Or a step of roughening the substrate by etching or sandblasting the substrate itself, has the effect of forming fine irregularities on the surface of the fluorocarbon-based coating film formed in a later step. Therefore, it is possible to form a fluorocarbon-based coating film (hereinafter, also referred to as a fluorocarbon-based polymer film) having any surface irregularities and extremely excellent water / oil repellency.

【0023】なお、このときフロロカーボン基を有する
ポリマーは−O−を介して基体と化学結合されているた
め、極めて密着性が優れている。また微粒子を塗布する
方法においては、表面の凸凹の荒さは、シリケートグラ
スに添加する微粒子の直径と添加量で制御できる。
At this time, since the polymer having a fluorocarbon group is chemically bonded to the base via -O-, the adhesion is extremely excellent. In the method of applying fine particles, the roughness of the surface can be controlled by the diameter and the amount of fine particles added to the silicate glass.

【0024】さらにまた、表面に凸凹を作成する工程の
後、クロロシリル基を複数個含む物質を混合した非水系
溶媒に接触させて前記基体表面の水酸基と前記クロロシ
リル基を複数個含む物質のクロロシリル基とを反応させ
て前記物質を前記基体表面に析出させる工程と、非水系
有機溶媒を用い前記基体上に残った余分なクロロシリル
基を複数個含む物質を洗浄除去した後水と反応させる工
程を挿入し、前記基体上にシラノール基を複数個含む純
粋なシリカ単分子膜を形成する工程と、一端にクロルシ
ラン基(SiCln3-n基、n=1、2、3、Xは官能
基)を有し他の一端に直鎖状フッ化炭素基を含むクロロ
シラン系界面活性剤を基体表面に化学吸着し単分子吸着
膜を累積する工程を行なえば、より分子吸着密度の大き
なフッ化炭素系(フロロカーボン系)化学吸着単分子膜
を作製できる作用がある。
Furthermore, after the step of forming irregularities on the surface, the substrate is brought into contact with a non-aqueous solvent in which a substance containing a plurality of chlorosilyl groups is mixed to form a hydroxyl group on the surface of the substrate and a chlorosilyl group on the substance containing a plurality of chlorosilyl groups. And a step of causing the substance to precipitate on the surface of the substrate by reacting with water and washing and removing a substance containing a plurality of excess chlorosilyl groups remaining on the substrate using a non-aqueous organic solvent, and then reacting with water. A step of forming a pure silica monomolecular film containing a plurality of silanol groups on the substrate, and a chlorosilane group (SiCl n X 3-n group, n = 1, 2, 3, X is a functional group) at one end. If the step of chemically adsorbing a chlorosilane-based surfactant containing a linear fluorocarbon group at the other end to the substrate surface and accumulating a monomolecular adsorption film is performed, a fluorocarbon-based surfactant having a higher molecular adsorption density can be obtained. ( Fluorocarbon) has the function of producing a chemically adsorbed monomolecular film.

【0025】また、フロロカーボン基及びクロロシラン
基を含む物質としては、CF3−(CF2n−R−Si
pCl3-p、さらにフロロカーボン基及びアルコキシシ
ラン基を含む物質としては、CF3−(CF2n−R−
SiYq(OA)3-qを用いることが可能である(ここ
で、n、R、p、qは、前記と同じである。)。
Further, as a substance containing a fluorocarbon group and a chlorosilane group, CF 3- (CF 2 ) n -R-Si
Examples of the substance containing X p Cl 3-p , a fluorocarbon group and an alkoxysilane group include CF 3- (CF 2 ) n -R-
It is possible to use SiY q (OA) 3-q (where n, R, p, and q are the same as described above).

【0026】さらに、形成されたフロロカーボン系ポリ
マー膜の硬度を調節するためには、フロロカーボン基及
びクロロシラン基を含む物質を混ぜた非水系の溶媒の場
合は、前記物質の架橋剤としてSiXsCl4-s(XはH
またはアルキル基などの置換基、sは0または1または
2)を添加して用い、フロロカーボン基及びアルコキシ
シラン基を含む物質を混ぜた溶媒の場合は、架橋剤とし
てSiYt(OA)4-t(Yはアルキル基などの置換基、
OAはアルコキシ基、(ただし、AはHまたはアルキル
基)tは0または1または2)を用いることで、作成さ
れたフロロカーボン系ポリマー膜内の3次元架橋密度が
調整でき、表面に形成された非濡れ性フロロカーボン系
ポリマー膜の硬度を制御できる作用がある。
Further, in order to adjust the hardness of the formed fluorocarbon polymer film, in the case of a non-aqueous solvent mixed with a substance containing a fluorocarbon group and a chlorosilane group, SiX s Cl 4 is used as a crosslinking agent for the substance. -s (X is H
Or a substituent such as an alkyl group, s is used with the addition of 0 or 1 or 2), in the case of solvents mixed with material containing fluorocarbon groups and alkoxysilane groups, SiY t (OA) 4- t as a crosslinking agent (Y is a substituent such as an alkyl group,
OA is an alkoxy group (where A is H or an alkyl group) and t is 0, 1 or 2), whereby the three-dimensional crosslink density in the prepared fluorocarbon polymer film can be adjusted and formed on the surface. This has the effect of controlling the hardness of the non-wetting fluorocarbon polymer film.

【0027】[0027]

【実施例】本発明が適用できる基体としては、ガラス、
セラミック、金属、プラスチック等様々なものがある
が、ガラス基体に適用するのが最も好ましい。以下一例
を挙げて説明する。なお、以下の実施例においては、単
に%としているのは、重量%を意味する。
The substrates to which the present invention can be applied include glass,
Although there are various types such as ceramics, metals, and plastics, it is most preferable to apply to a glass substrate. This will be described below with reference to an example. In the following examples, the unit “%” means “% by weight”.

【0028】[0028]

【実施例1】たとえば、図1に示すように、親水性基体
1[ガラス等のセラミクッス、AlやCu等の金属、表
面を親水化したプラスチック基体(プラスチックの様な
表面に酸化膜を持たない物質であれば、予め表面を酸素
を含むプラズマ雰囲気中で、例えば100Wで20分処
理して親水性化、すなわち表面に水酸基を導入しておけ
ばよい。)]の表面に直径が1乃至20ミクロン(好ま
しくは10ミクロン程度)のシリカ微粒子2(例えば、
旭硝子社製のミクロシェヤアーゲルDF10−60Aま
たは120A等)及びシリケートグラス(例えば、信越
化学工業社製のハードコーティング剤KP−1100A
または1100Bや東京応化工業社製のSi−8000
0等がある。これらのコーティング剤は、コーティング
後加熱処理することでシリカ被膜になる。)を1:1程
度の組成で混合しキャスト法で塗布した後、500℃、
30分加熱処理したりプラズマアッシング(300W、
20分程度)を行うと、表面にミクロンオーダの凸凹の
あるガラス状のシリカ下地層(以下シリカ下地層ともい
う)3が形成できた(図2)。次に、フロロカーボン基
及びクロロシラン基を含む物質を混合した非水系の溶媒
(例えば、CF3−(CF2n−R−SiXpCl
3-p(n、R、X、pは前記したとおり)を数パーセン
トの濃度でノルマルヘキサデカン90%、クロロホルム
10%の溶媒に溶解したもの)を塗布し、水分を含む雰
囲気中で200℃、30分程度ベーキングを行うと、ガ
ラス状のシリカ下地層3の表面は−OH基が露出してい
るため、フッ素を含むクロロシラン系界面活性剤のクロ
ロシリル基と−OH基が脱塩酸反応して表面に、…Si
(O−)3 の結合が生成され、表面にミクロンオーダの
凸凹のあるガラス状のシリカ下地層表面にフッ素を含む
シロキサンフロロカーボン系ポリマー膜4が化学結合し
た状態で凸凹に形成された(図2)。
EXAMPLE 1 For example, as shown in FIG. 1, a hydrophilic substrate 1 [ceramics such as glass, a metal such as Al or Cu, a plastic substrate having a hydrophilic surface (a plastic-like surface having no oxide film). If it is a substance, the surface may be treated in advance in a plasma atmosphere containing oxygen, for example, at 100 W for 20 minutes to make it hydrophilic, that is, a hydroxyl group may be introduced into the surface.)] Micron silica particles 2 (preferably about 10 microns) (for example,
Micro Shear Gel DF10-60A or 120A manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) and silicate glass (for example, hard coating agent KP-1100A manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
Or 1100B or Si-8000 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
0 magnitude. These coating agents are converted into a silica coating by heat treatment after coating. ) Was mixed at a composition of about 1: 1 and applied by a casting method.
Heat treatment for 30 minutes or plasma ashing (300W,
After about 20 minutes, a glass-like silica underlayer 3 (hereinafter, also referred to as a silica underlayer) 3 having irregularities on the order of microns was formed on the surface (FIG. 2). Next, a non-aqueous solvent mixed with a substance containing a fluorocarbon group and a chlorosilane group (for example, CF 3- (CF 2 ) n -R-SiX p Cl)
3-p (n, R, X, and p are as described above) was dissolved at a concentration of several percent in a solvent of 90% normal hexadecane and 10% chloroform, and applied at 200 ° C. in an atmosphere containing water at 200 ° C. After baking for about 30 minutes, the surface of the glassy silica base layer 3 has exposed -OH groups. Therefore, the chlorosilyl group of the fluorine-containing chlorosilane-based surfactant and the -OH group undergo a dehydrochlorination reaction, and the surface is dehydrochlorinated. , ... Si
The bond of (O-) 3 was generated, and the siloxane fluorocarbon-based polymer film 4 containing fluorine was formed unevenly on the surface of the glass-like silica base layer having irregularities on the order of microns on the surface (FIG. 2). ).

【0029】例えば、ガラス基体表面に、微粒子として
直径が約10ミクロンのDF10−60A、シリケート
グラスとしてKP−1100Aを用いディップコートし
350℃で熱処理(ベーキング)すると、表面に10ミ
クロン(μm)程度の凸凹のあるガラス状のシリカ下地
層が得られた。さらにその後、CF3CH2O(CH2
15SiCl3を用い、1重量%程度の濃度で溶かした8
0%n−ヘキサデカン、12%四塩化炭素、8%クロロ
ホルム溶液を調整し、前記表面にSiOH結合を数多く
持つポリシロキサン塗膜の形成された基体表面に塗布
し、水分を含む雰囲気中で200℃、30分程度ベーキ
ングを行うと、CF3CH2O(CH215Si(O−)3
の結合が生成され、10ミクロン程度の凸凹を持つ1〜
5ミクロン厚さのシロキサンフロロカーボン系ポリマー
膜(フロロカーボン系コーティング膜ともいう。)4が
製造できた(図2)。なお、この塗膜は碁番目試験を行
なっても殆ど剥離することがなかった。
For example, DF10-60A having a diameter of about 10 μm as fine particles and KP-1100A as a silicate glass are dip-coated on the surface of a glass substrate and heat-treated (baked) at 350 ° C. to give a surface of about 10 μm (μm). A glassy silica underlayer having irregularities was obtained. After that, CF 3 CH 2 O (CH 2 )
Dissolved at a concentration of about 1% by weight using 15 SiCl 3 8
A solution of 0% n-hexadecane, 12% carbon tetrachloride and 8% chloroform was prepared and applied to the surface of a substrate on which a polysiloxane coating film having a large number of SiOH bonds was formed. , when the order of 30 minutes baking, CF 3 CH 2 O (CH 2) 15 Si (O-) 3
Is formed, and has a roughness of about 10 microns.
A 5-micron-thick siloxane fluorocarbon polymer film (also referred to as a fluorocarbon coating film) 4 was produced (FIG. 2). In addition, this coating film hardly peeled off even when the goth test was performed.

【0030】このときまた、フロロカーボン基及びクロ
ロシラン基を含む物質を混ぜた非水系の溶媒中に前記物
質の架橋剤としてSiXsCl4-s(XはHまたはアルキ
ル基などの置換基、sは0または1または2;特にSが
0のとき、およびsが1または2でXがHまたはCl
(SiCl2O)n−(ここでnは整数)で表される物質
の場合は、完全に加水分解可能なシランである。)を添
加(例えば、SiCl4を3重量パーセント)しておく
と、CF3CH2O(CH215Si(O−)3 の結合が
−Si(O−)3の結合を介して3次元的に架橋され
て、SiCl4を添加してない場合に比べ約2倍の硬度
のフロロカーボン系コーティング膜が製造できた。ちな
みに、このようにして作成された表面に10ミクロン
(μm)程度の凹凸があるフロロカーボン系コーティン
グ膜の水滴5に対する濡れ角度は約130〜140度で
あった(図3)。
At this time, in a non-aqueous solvent mixed with a substance containing a fluorocarbon group and a chlorosilane group, SiX s Cl 4-s (X is a substituent such as H or an alkyl group, and s is 0 or 1 or 2; especially when S is 0, and s is 1 or 2 and X is H or Cl
In the case of a substance represented by (SiCl 2 O) n- (where n is an integer), it is a silane that can be completely hydrolyzed. ) Added (e.g., when the SiCl 4 3% by weight) to keep, CF 3 CH 2 O (CH 2) 15 Si (O-) 3 3 binding via binding -Si (O-) 3 of The fluorocarbon-based coating film was cross-dimensionally cross-linked to have a hardness approximately twice that of the case where SiCl 4 was not added. Incidentally, the wetting angle of the fluorocarbon coating film having irregularities of about 10 μm (μm) on the surface formed in this way with respect to the water droplet 5 was about 130 to 140 degrees (FIG. 3).

【0031】[0031]

【実施例2】実施例1と同様に、図1に示したように基
体上に表面が凸凹なガラス状のシリカ下地層を形成した
後、フロロカーボン基及びアルコキシシラン基を含む物
質を混合したアルコール溶媒(例えば、CF3 −(CF
2 n −R−SiYq (OA)3-q (nは0または整
数、Rはアルキレン基、エチレン基、アセチレン基、S
iまたは酸素原子を含む置換基、YはHまたはアルキル
基などの置換基、OAはアルコキシ基(ただし、AはH
またはアルキル基)、qは0または1または2)を数パ
ーセントの濃度でメタノールに溶解したもの)を塗布
し、200℃、30分程度ベーキングを行うとガラス状
のシリカ下地層3は表面に−OH基が露出しているた
め、フッ素を含むアルコキシシラン系界面活性剤のアル
コキシ基と−OH基が脱アルコール反応して表面に−S
i(O−)3 の結合が生成され、凸凹なガラス状のシリ
カ下地層表面にフッ素を含むシロキサンフロロカーボン
系ポリマー膜が実施例1と同様に形成された。
Example 2 As in Example 1, as shown in FIG. 1, after forming a glassy silica base layer having an uneven surface on a substrate, an alcohol containing a substance containing a fluorocarbon group and an alkoxysilane group was mixed. Solvent (for example, CF 3- (CF
2) n -R-SiY q ( OA) 3-q (n is 0 or an integer, R represents an alkylene group, an ethylene group, an acetylene group, S
i is a substituent containing an oxygen atom, Y is a substituent such as H or an alkyl group, OA is an alkoxy group (where A is H
Or an alkyl group), q is 0 or 1 or 2) dissolved in methanol at a concentration of several percent), and baked at 200 ° C. for about 30 minutes to form a glassy silica underlayer 3 on the surface. Since the OH group is exposed, the alkoxy group of the fluorine-containing alkoxysilane-based surfactant and the -OH group undergo a dealcoholization reaction to form -S on the surface.
Bonds of i (O-) 3 were generated, and a siloxane fluorocarbon-based polymer film containing fluorine was formed on the surface of the uneven glassy silica underlayer in the same manner as in Example 1.

【0032】例えば、CF3CH2O(CH215Si
(OCH33 を用い、1%程度の濃度で溶かしたエタ
ノール溶液を調整し、前記表面にSiOH結合を数多く
持つポリシロキサン塗膜(この膜も、シリカ下地膜であ
る)の形成された基体表面に塗布し、200℃、30分
程度ベーキングを行うと、CF3CH2O(CH215
i(O−)3の結合が生成され、10ミクロン程度の凸
凹のある1〜5ミクロン厚さのフロロカーボン系ポリマ
ー膜4が製造できた(図2)。なお、この塗膜は碁番目
試験を行っても殆ど剥離することがなかった。
For example, CF 3 CH 2 O (CH 2 ) 15 Si
Using (OCH 3 ) 3 , an ethanol solution dissolved at a concentration of about 1% was prepared, and a substrate on which a polysiloxane coating film having many SiOH bonds (this film is also a silica base film) was formed. When applied on the surface and baked at 200 ° C. for about 30 minutes, CF 3 CH 2 O (CH 2 ) 15 S
Bonds of i (O-) 3 were generated, and a fluorocarbon polymer film 4 having a thickness of 1 to 5 microns having irregularities of about 10 microns was produced (FIG. 2). In addition, this coating film hardly peeled off even when the goth test was performed.

【0033】また、このときフロロカーボン基及びアル
コキシシラン基を含む物質を混合した溶媒中に前記物質
の架橋剤としてSiYt(OA)4-t(Yはアルキル基な
どの置換基、OAはアルコキシ基、(ただし、AはHま
たはアルキル基)tは0または1または2;特にtが0
の場合は、完全に加水分解可能なシランである。)を添
加(例えば、Si(OCH34を5重量パーセント)し
ておくと、CF3CH2O(CH215Si(O−)3の結
合が、−Si(O−)3の結合を介して3次元的に架橋
されて、Si(OCH34を添加してない場合に比べ約
2〜2.5倍の硬度のフロロカーボン系ポリマー膜が製
造できた。
At this time, SiY t (OA) 4-t (Y is a substituent such as an alkyl group, OA is an alkoxy group) is used as a crosslinking agent for the substance in a solvent in which a substance containing a fluorocarbon group and an alkoxysilane group is mixed. (Where A is H or an alkyl group) t is 0 or 1 or 2;
Is a completely hydrolyzable silane. ) (For example, 5% by weight of Si (OCH 3 ) 4 ), the bond of CF 3 CH 2 O (CH 2 ) 15 Si (O—) 3 is changed to that of —Si (O—) 3 . Cross-linking was performed three-dimensionally through the bond, and a fluorocarbon polymer film having a hardness about 2 to 2.5 times as high as that obtained when Si (OCH 3 ) 4 was not added was produced.

【0034】ちなみに、このようにして作成された表面
に10ミクロン程度の凹凸があるフロロカーボン系ポリ
マー膜に水滴5を滴下した場合、水滴は突起部でのみフ
ロロカーボン系ポリマー膜と接触するので、図3に示し
た如く極めて撥水性が高く、水に対する濡れ角度は約1
35〜140度であった。
By the way, when the water droplet 5 is dropped on the fluorocarbon polymer film having the irregularities of about 10 microns on the surface formed as described above, the water droplet comes into contact with the fluorocarbon polymer film only at the protruding portion. The water repellency is extremely high as shown in Fig.
35 to 140 degrees.

【0035】このときまた、フロロカーボン基及びアル
コキシシラン基を含む物質を混合した溶媒中に前記物質
の架橋剤としてSi(OC374を10重量パーセン
ト添加しておいた場合、約4倍の硬度のフロロカーボン
系ポリマー膜が製造できた。また、同様のコーティング
をフロロカーボン系ポリマー(ポリ4フッ化エチレン)
の微粒子をさらに20%分散添加したフロロカーボン基
及びアルコキシシラン基を含む物質を混ぜた非水系の溶
媒を用いて行った場合、硬度は従来並となったが従来に
比べて極めて密着性が優れた撥水撥油性の高いフロロカ
ーボン系ポリマー膜が製造できた。
At this time, when 10% by weight of Si (OC 3 H 7 ) 4 is added as a cross-linking agent to a solvent containing a substance containing a fluorocarbon group and an alkoxysilane group, about four times as much A fluorocarbon-based polymer film having a hardness of 5 was produced. In addition, a similar coating is formed using a fluorocarbon polymer (polytetrafluoroethylene).
When a non-aqueous solvent mixed with a substance containing a fluorocarbon group and an alkoxysilane group in which 20% of the fine particles were further dispersed and added was used, the hardness was almost the same as the conventional one, but the adhesion was extremely excellent as compared with the conventional one. A fluorocarbon polymer film having high water and oil repellency was produced.

【0036】さらにまた、上記実施例では試薬としてC
3CH2O(CH215Si(OCH33、CF3(CF
27(CH22Si(OC253を用いたが、アルキ
ル鎖部分にエチレン基やアセチレン基を付加したり組み
込んでおけば、塗膜形成後5メガラド程度の電子線照射
で架橋できるのでさらに10倍程度の硬度の塗膜も容易
に得られる。
Further, in the above embodiment, C was used as the reagent.
F 3 CH 2 O (CH 2 ) 15 Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 (CF
2 ) 7 (CH 2 ) 2 Si (OC 2 H 5 ) 3 was used, but if an ethylene group or an acetylene group was added to or incorporated in the alkyl chain portion, electron beam irradiation of about 5 megarads after coating film formation And a coating film having a hardness of about 10 times can be easily obtained.

【0037】またフロロカーボン系界面活性剤として上
記のもの以外にも、CF3(CH2 2Si(CH3
2(CH215Si(OCH33、F(CF28(C
22Si(CH32(CH29Si(OCH33、C
3COO(CH215Si(OC253等が利用でき
る。
As a fluorocarbon-based surfactant,
In addition to the above, CFThree(CHTwo) TwoSi (CHThree)
Two(CHTwo)FifteenSi (OCHThree)Three, F (CFTwo)8(C
HTwo)TwoSi (CHThree)Two(CHTwo)9Si (OCHThree)Three, C
FThreeCOO (CHTwo)FifteenSi (OCTwoHFive)ThreeEtc. are available
You.

【0038】[0038]

【実施例3】実施例1と同様に、図1に示したようにガ
ラス基体上に表面が凸凹なガラス状のシリカ下地層を形
成した後、フロロカーボン基及びクロロシラン基を含む
物質を混ぜた非水系の溶媒、例えば、CF3(CF27
(CH22SiCl3を用い、1%程度の濃度で溶かし
た80%n−ヘキサデカン、12%四塩化炭素、8%ク
ロロホルム溶液を調整し、前記表面にSiOH結合を数
多く持つ単分子膜の形成された基材を30分程度浸漬す
ると、基体表面にCF3(CF27(CH22Si(O
−)3の結合が生成され、フッ素を含む撥水撥油膜4
(化学吸着単分子膜)がガラス状のシリカ下地層と化学
結合した状態で凸凹に形成できた(図4)。なお、この
撥水撥油膜4´(単分子膜)は碁番目試験を行なっても
全く剥離することがなかった。また、この場合、フロロ
カーボン基は配向した状態で表面に形成されるため、表
面エネルギーが極めて低く、水に対する濡れ角度は13
5〜145度であった。
Example 3 As in Example 1, as shown in FIG. 1, a glassy silica base layer having an uneven surface was formed on a glass substrate, and then a mixture containing a substance containing a fluorocarbon group and a chlorosilane group was prepared. Aqueous solvents such as CF 3 (CF 2 ) 7
Using (CH 2 ) 2 SiCl 3 , a solution of 80% n-hexadecane, 12% carbon tetrachloride and 8% chloroform dissolved at a concentration of about 1% was prepared, and a monomolecular film having many SiOH bonds on the surface was prepared. When the formed base material is immersed for about 30 minutes, CF 3 (CF 2 ) 7 (CH 2 ) 2 Si (O
−) Water- and oil-repellent film 4 containing 3 bonds and containing fluorine
(Chemically adsorbed monomolecular film) could be formed unevenly in a state chemically bonded to the glassy silica base layer (FIG. 4). The water- and oil-repellent film 4 '(monomolecular film) did not peel off at all even when the cross test was performed. In this case, since the fluorocarbon group is formed on the surface in an oriented state, the surface energy is extremely low, and the wetting angle to water is 13
5 to 145 degrees.

【0039】さらにまた、上記実施例では、フロロカー
ボン系界面活性剤としてCF3(CF27(CH22
iCl3を用いたが、アルキル鎖部分にエチレン基やア
セチレン基を付加したり組み込んでおけば、単分子膜形
成後5メガラド程度の電子線照射で架橋できるのでさら
に硬度を向上させることも可能である。
Further, in the above embodiment, CF 3 (CF 2 ) 7 (CH 2 ) 2 S was used as the fluorocarbon surfactant.
Although iCl 3 was used, if an ethylene group or an acetylene group is added to or incorporated into the alkyl chain portion, it can be cross-linked by electron beam irradiation of about 5 megarads after forming a monomolecular film, so that the hardness can be further improved. is there.

【0040】なお、フロロカーボン系界面活性剤として
上記のもの以外にもCF3CH2O(CH215SiC
3、CF3(CH22Si(CH32(CH215Si
Cl3、F(CF28(CH22Si(CH32(C
29SiCl3、CF3COO(CH215SiCl3
が利用できる。
In addition to the above-mentioned fluorocarbon surfactants, CF 3 CH 2 O (CH 2 ) 15 SiC
l 3 , CF 3 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 ) 15 Si
Cl 3 , F (CF 2 ) 8 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (C
H 2) 9 SiCl 3, CF 3 COO (CH 2) 15 SiCl 3 and the like can be used.

【0041】[0041]

【実施例4】まず、加工の終了したガラス板を用意し、
有機溶媒で洗浄した後、表面をサンドブラスト法を用い
て粗面処理して表面にサブミクロン(0.1乃至1.
0)オーダーの凸凹、例えば0.4乃至0.9ミクロン
程度凸凹を形成する。なお、この方法以外にフッ酸を用
いた化学エッチング法やサンドペーパーによるラビング
法が利用できる。次に、フッ化炭素基及びクロロシラン
基を含む物質を混ぜた非水系の溶媒、例えば、CF
3(CF27(CH22SiCl3を用い、1%程度の濃
度で溶かした80%n−ヘキサデカン(トルエン、キシ
レン、ジシクロヘキシルでもよい)、12%四塩化炭
素、8%クロロホルム溶液を調整し、前記ガラス板を2
時間程度浸漬すると、ガラス板の表面は自然酸化膜が形
成されており、その酸化膜表面には水酸基が多数含まれ
ているので、フッ化炭素基及びクロロシラン基を含む物
質のSiCl基と前記水酸基が反応し脱塩酸反応が生じ
ガラス表面全面に亘り、CF3(CF27(CH22
i(O−)3の結合が生成され、フッ素を含む単分子膜
ガガラス板の表面と化学結合した状態で約15オングス
トロームの膜厚で形成できた。なお、単分子膜はきわめ
て強固に化学結合しているので全く剥離することがなか
った。なお、ガラス板の材質が、アクリル樹脂やポリカ
ーボネート樹脂等のプラスチックの場合には、粗面化処
理後、表面をプラズマ処理(300W、10分程度)し
て表面を酸化し親水性とすること、および吸着液をフレ
オン溶剤に換えることで同様の技術を用いることが可能
であつた。
Embodiment 4 First, a processed glass plate is prepared.
After washing with an organic solvent, the surface is roughened using a sand blast method and submicron (0.1 to 1.
0) Form irregularities on the order of, for example, 0.4 to 0.9 microns. Note that, other than this method, a chemical etching method using hydrofluoric acid or a rubbing method using sandpaper can be used. Next, a non-aqueous solvent mixed with a substance containing a fluorocarbon group and a chlorosilane group, for example, CF
Using 3 (CF 2 ) 7 (CH 2 ) 2 SiCl 3 , a solution of 80% n-hexadecane (toluene, xylene, dicyclohexyl), 12% carbon tetrachloride and 8% chloroform dissolved at a concentration of about 1% Adjust the glass plate to 2
When the glass plate is immersed for about an hour, a natural oxide film is formed on the surface of the glass plate, and the surface of the oxide film contains a large number of hydroxyl groups. Therefore, the SiCl group of the substance containing a fluorocarbon group and a chlorosilane group and the hydroxyl group React with each other to cause a dehydrochlorination reaction, and CF 3 (CF 2 ) 7 (CH 2 ) 2 S
A bond of i (O-) 3 was generated, and a monomolecular film containing fluorine was formed to a thickness of about 15 angstroms in a state of being chemically bonded to the surface of the glass plate. In addition, since the monomolecular film was very strongly chemically bonded, it did not peel off at all. When the material of the glass plate is a plastic such as an acrylic resin or a polycarbonate resin, after the surface is roughened, the surface is plasma-treated (300 W, about 10 minutes) to oxidize the surface to make it hydrophilic. A similar technique could be used by replacing the adsorbed liquid with a Freon solvent.

【0042】このガラス板を用い実使用を試みたが、処
理しないものに比べ汚物の付着を大幅に低減できた、ま
た、たとえ付着した場合にもブラシでこする程度で簡単
に除去できた。このとき、傷は全く付かなかった。ま
た、油脂分汚れでも除去は水洗のみで可能であった。水
に対する濡れ性は蓮の葉並みであり、濡れ角度は155
度であった。
An attempt was made to actually use this glass plate, but the adhesion of dirt could be greatly reduced as compared with the case where the glass plate was not treated, and even if it adhered, it could be easily removed by rubbing with a brush. At this time, no scratch was made. In addition, the removal of oil and fat stains was possible only by washing with water. The wettability to water is similar to that of a lotus leaf, and the wetting angle is 155.
Degree.

【0043】[0043]

【実施例5】親水性ではあるが水酸基を含む割合が少な
いアルミ板6の場合、表面を電解エッチングしてして表
面に0.5乃至0.8ミクロン程度凸凹を形成する。な
おこの方法以外にフッ酸を用いた化学エッチング法や真
空中でのプラズマによるスパッタリング法、サンドペー
パーによるラビング法などが利用できる。また金属なら
すべて同じように使用可能であるが、材質が、アクリル
樹脂やポリカーボネート樹脂等のプラスチックの場合に
は、表面を荒した後、200W、10分程度プラズマ処
理して表面を酸化し親水性とすることで、同様の技術を
用いることが可能となる。
Embodiment 5 In the case of an aluminum plate 6 which is hydrophilic but has a small proportion of hydroxyl groups, the surface is electrolytically etched to form irregularities of about 0.5 to 0.8 microns. In addition to this method, a chemical etching method using hydrofluoric acid, a sputtering method using plasma in a vacuum, a rubbing method using sandpaper, or the like can be used. All metals can be used in the same way, but when the material is plastic such as acrylic resin or polycarbonate resin, the surface is roughened, and the surface is oxidized and hydrophilically treated by plasma treatment at 200 W for about 10 minutes. By doing so, a similar technique can be used.

【0044】次に、クロロシリル基を複数個含む物質
(例えば、SiCl4、またはSiHCl3、SiH2
2、Cl−(SiCl2O)n−SiCl3(nは整
数)、特に、SiCl4を用いれば、分子が小さく水酸
基に対する活性も大きいので、アルミ板表面を均一に親
水化する効果が大きい)を混ぜた非水系溶媒、例えばク
ロロホルム溶媒に1重量パーセント溶解した溶液に30
分間程度浸漬すると、アルミ板表面には親水性のOH基
が多少とも存在するので表面で脱塩酸反応が生じクロロ
シリル基を複数個含む物質のクロロシラン単分子膜が形
成される。
Next, a substance containing a plurality of chlorosilyl groups (eg, SiCl 4 , SiHCl 3 , SiH 2 C
If l 2 , Cl— (SiCl 2 O) n —SiCl 3 (n is an integer), particularly SiCl 4 , the molecules are small and the activity toward hydroxyl groups is large, so that the effect of uniformly hydrophilizing the surface of the aluminum plate is large. ) In a non-aqueous solvent, for example, a 1% by weight solution in a chloroform solvent.
When the aluminum plate is immersed for about a minute, a dehydrochlorination reaction occurs on the surface of the aluminum plate because some OH groups are present on the surface, and a chlorosilane monomolecular film of a substance containing a plurality of chlorosilyl groups is formed.

【0045】例えば、クロロシリル基を複数個含む物質
としてSiCl4を用いれば、アルミ板表面には少量の
親水性のOH基が露出されているので、表面で脱塩酸反
応が生じCl3SiO− や Cl2Si(O−)2の様
に分子が−SiO−結合を介して表面に固定される。
[0045] For example, with the use of the SiCl 4 as the substance containing a plurality of chlorosilyl groups, because the aluminum plate surface is a small amount of hydrophilic OH groups are exposed, dehydrochlorination reaction occurs Cl 3 SiO- Ya at the surface Cl 2 Si (O-) molecules as in 2 is fixed to the surface via -SiO- bonds.

【0046】その後、非水系の溶媒例えばクロロホルム
で洗浄して、さらに水で洗浄すると、アルミ板と反応し
ていないSiCl4 分子は除去され、アルミ板表面に
(OH)3SiO− や (OH)2Si(O−)2等の
シロキサン結合を主成分とするシロキサン単分子膜7
(純粋なシリカ下地層)が得られた。
Thereafter, by washing with a non-aqueous solvent such as chloroform and further washing with water, SiCl 4 molecules that have not reacted with the aluminum plate are removed, and (OH) 3 SiO— or (OH) 2 Si (O-) siloxane monomolecular film 7 composed mainly of siloxane bonds 2 such
(Pure silica underlayer) was obtained.

【0047】なお、このときできた単分子膜はアルミ板
とは−SiO−の化学結合を介して完全に結合されてい
るので剥がれることが全く無い。また、得られた単分子
膜は表面にSiOH(シラノール)結合を数多く持つ。
当初の水酸基の約3倍程度の数が生成される。
Since the monomolecular film formed at this time is completely bonded to the aluminum plate through the chemical bond of -SiO-, it does not peel off at all. Moreover, the obtained monomolecular film has many SiOH (silanol) bonds on the surface.
About three times the number of the original hydroxyl groups are generated.

【0048】そこでさらに、フッ化炭素基及びクロロシ
ラン基を含む物質を混ぜた非水系の溶媒、例えば、CF
3(CF27(CH22SiCl3を用い、1%程度の濃
度で溶かした80%n−ヘキサデカン、12%四塩化炭
素、8%クロロホルム溶液を調整し、前記表面にSiO
H結合を数多く持つシリカ単分子膜の形成されたアルミ
板を1時間程度浸漬すると、アルミ板表面にCF3(C
27(CH22Si(O−)3の結合が生成され、フ
ッ素を含むポリマー膜4が下層のシロキサン単分子膜と
化学結合した状態でアルミ板表面全面に亘り約15nm
の膜厚で形成できた(図5)。なお、このポリマー膜は
剥離試験を行っても全く剥離することがなかった。ま
た、水に対する濡れ角度は約155度であった。
Then, a non-aqueous solvent mixed with a substance containing a fluorocarbon group and a chlorosilane group, for example, CF
Using 3 (CF 2 ) 7 (CH 2 ) 2 SiCl 3 , an 80% n-hexadecane, 12% carbon tetrachloride, 8% chloroform solution dissolved at a concentration of about 1% was prepared, and a SiO 2 solution was formed on the surface.
When an aluminum plate on which a silica monomolecular film having many H bonds is formed is immersed for about 1 hour, CF 3 (C
A bond of F 2 ) 7 (CH 2 ) 2 Si (O—) 3 is generated, and the fluorine-containing polymer film 4 is chemically bonded to the underlying siloxane monomolecular film, and has a thickness of about 15 nm over the entire surface of the aluminum plate.
(FIG. 5). This polymer film did not peel at all even when a peeling test was performed. The wetting angle with water was about 155 degrees.

【0049】さらにまた、上記実施例では、フッ化炭素
系界面活性剤としてCF3(CF2 7(CH22SiC
3を用いたが、フッ化炭素系界面活性剤として上記の
もの以外にもCF3CH2O(CH215SiCl3、CF
3(CH22Si(CH32(CH215SiCl3、F
(CF24(CH22Si(CH32(CH29SiC
3、CF3COO(CH215SiCl3、CF3(C
25(CH22SiCl3等が利用できる。
Further, in the above embodiment, the fluorocarbon
CF as a surfactantThree(CFTwo) 7(CHTwo)TwoSiC
lThreeWas used, but as the fluorocarbon surfactant
Other than CFThreeCHTwoO (CHTwo)FifteenSiClThree, CF
Three(CHTwo)TwoSi (CHThree)Two(CHTwo)FifteenSiClThree, F
(CFTwo)Four(CHTwo)TwoSi (CHThree)Two(CHTwo)9SiC
lThree, CFThreeCOO (CHTwo)FifteenSiClThree, CFThree(C
FTwo)Five(CHTwo)TwoSiClThreeEtc. are available.

【0050】なお、第4の実施例において、アルミ板の
代わりにガラス板を用い、フッ化炭素基及びクロロシラ
ン基を含む物質を化学吸着する際、防曇効果を付与する
ため親水性のままで残したい面(例えば内面)に有機溶
媒不溶性の親水性被膜(例えば、ポバール(ポリビニル
アルコール)やプルランの水溶液を塗布し数ミクロン厚
さのとする)を形成しておくことで、吸着終了後前記親
水性被膜を水洗除去して、表面が撥水撥油防汚性単分子
膜で、内面が親水性の水酸基を有する単分子膜(シロキ
サンより成るシリカ膜)の透光ガラスが得られた。この
ガラスで防曇効果を確かめたが、親水性のままで残した
ガラス面は、水に対してきわめて濡れ易く全く曇ること
がなかった。
In the fourth embodiment, when a glass plate is used instead of an aluminum plate and a substance containing a fluorocarbon group and a chlorosilane group is chemically adsorbed, the glass plate is kept hydrophilic to impart an anti-fogging effect. By forming an organic solvent-insoluble hydrophilic coating (for example, by applying an aqueous solution of poval (polyvinyl alcohol) or pullulan to a thickness of several microns) on the surface to be left (for example, the inner surface), The hydrophilic film was washed away with water to obtain a light-transmitting glass having a water-repellent, oil-repellent, antifouling monomolecular film on the surface and a monomolecular film (silica film composed of siloxane) having a hydrophilic hydroxyl group on the inner surface. The antifogging effect of this glass was confirmed, but the glass surface left hydrophilic remained extremely wet with water and did not fog at all.

【0051】また、吸着用試薬の分子の長さを変えたも
の2種を混合して(例えば、F(CF28(CH22
i(CH32(CH29SiCl3と、F(CF2
8(CH22Si(CH32(CH26SiCl3、ある
いは、CF3(CF27(CH2 2SiCl3と、CF3
(CF25(CH22SiCl3の組合せで、組成を
3:1〜1:3とする)吸着すれば、部材表面を分子レ
ベルで凸凹にする事が可能であり、撥水撥油性がさらに
良くなる。
In addition, the length of the molecule of the adsorption reagent was changed.
(For example, F (CFTwo)8(CHTwo)TwoS
i (CHThree)Two(CHTwo)9SiClThreeAnd F (CFTwo)
8(CHTwo)TwoSi (CHThree)Two(CHTwo)6SiClThree,is there
Well, CFThree(CFTwo)7(CHTwo) TwoSiClThreeAnd CFThree
(CFTwo)Five(CHTwo)TwoSiClThreeThe composition
3: 1 to 1: 3) If adsorbed, the surface of the member becomes
It is possible to make it uneven with a bell, further improving water and oil repellency
Get better.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上説明した通り、本発明の方法を用い
れば、AlやCu、ステンレスの様な金属や金属酸化物
のセラミクスあるいはガラスやプラスチック基体にも、
撥水撥油性膜の優れたフロロカーボン系単分子膜を基体
と化学結合した状態で高密度にピンホール無く形成でき
る。従って、耐久性が極めて高く撥水撥油性の優れた高
性能フロロカーボン系被膜を提供できる効果がある。
As described above, when the method of the present invention is used, ceramics of metals and metal oxides such as Al, Cu, and stainless steel, or glass and plastic substrates can be used.
An excellent fluorocarbon monomolecular film having a water- and oil-repellent film can be formed at a high density without pinholes in a state of being chemically bonded to a substrate. Therefore, there is an effect that a high-performance fluorocarbon-based coating having extremely high durability and excellent water and oil repellency can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施例1の撥水撥油性被膜の製造工
程を説明するための工程断面概念図である。
FIG. 1 is a conceptual cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a water / oil repellent coating of Example 1 of the present invention.

【図2】 本発明の実施例1の撥水撥油性被膜の製造工
程を説明するための工程断面概念図である。
FIG. 2 is a conceptual cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a water- and oil-repellent coating of Example 1 of the present invention.

【図3】 本発明の実施例1の撥水撥油性被膜上に水滴
を滴下した場合の断面概念図である。
FIG. 3 is a conceptual cross-sectional view showing a case where a water droplet is dropped on the water- and oil-repellent coating of Example 1 of the present invention.

【図4】 本発明の実施例3において、単分子膜状撥水
撥油性被膜の製造工程を説明するために分子レベルまで
拡大した撥水撥油性被膜の断面概念図である。
FIG. 4 is a conceptual cross-sectional view of a water- and oil-repellent coating enlarged to a molecular level in order to explain a manufacturing process of a monomolecular film-shaped water- and oil-repellent coating in Example 3 of the present invention.

【図5】 本発明の実施例5において図2におけるA部
分を分子レベルまで拡大した撥水撥油性被膜断面概念図
である。
FIG. 5 is a conceptual cross-sectional view of a water- and oil-repellent coating in which a portion A in FIG. 2 is enlarged to a molecular level in Example 5 of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基体 2 微粒子 3 シリケートガラス膜 4 ポリマー膜状撥水撥油膜 4´単分子膜状撥水撥油膜 5 水滴 6 アルミ板 7 シロキサン単分子膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2 Fine particles 3 Silicate glass film 4 Polymer film-like water- and oil-repellent film 4 'monomolecular film-like water- and oil-repellent film 5 Water droplet 6 Aluminum plate 7 Siloxane monomolecular film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C09D 183/08 C09D 183/08 C09K 3/18 102 C09K 3/18 102 104 104 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification symbol FI C09D 183/08 C09D 183/08 C09K 3/18 102 C09K 3/18 102 104 104

Claims (18)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基体の表面の少なくとも一部分が、ペル
フルオロアルキル アルキルシランと完全に加水分解可
能なシランとの混合物を含む組成物で処理されており、
しかも、ガラス、セラミック、金属、プラスチック基
体、および無機被膜で被覆された基体から選ばれる少な
くとも一つの基体からなる撥水撥油性被膜を有する物
品。
At least a portion of the surface of a substrate is treated with a composition comprising a mixture of a perfluoroalkylalkyl silane and a fully hydrolyzable silane,
Moreover, an article having a water- and oil-repellent coating composed of at least one substrate selected from a glass, ceramic, metal, plastic substrate, and a substrate coated with an inorganic coating.
【請求項2】 ペルフルオロアルキル アルキルシラン
が、一般式CF3−(CF2)n−R−SiXpCl3-p(n
は0または整数、Rはアルキレン基、エチレン基、アセ
チレン基、またはSi、酸素原子を含む置換基、XはH
またはアルキル基、シクロアルキル基、アリル基または
これらの誘導体から選ばれる置換基、pは0,1または
2)、またはCF3−(CF2n−R−SiYq(OA)
3-q(nは0または整数、Rはアルキレン基、エチレン
基、アセチレン基、またはSi、酸素原子を含む置換
基、XはHまたはアルキル基、シクロアルキル基、アリ
ル基またはこれらの誘導体から選ばれる置換基、OAは
アルコキシ基(ただし、AはHまたはアルキル基)、q
は0,1または2)である請求項1に記載の撥水撥油性
被膜を有する物品。
2. The perfluoroalkylalkylsilane has the general formula CF 3 — (CF 2 ) n —R—Six p Cl 3-p (n
Is 0 or an integer, R is an alkylene group, an ethylene group, an acetylene group, or a substituent containing Si or an oxygen atom, and X is H
Or a substituent selected from an alkyl group, a cycloalkyl group, an allyl group or a derivative thereof, p is 0, 1 or 2), or CF 3- (CF 2 ) n -R-SiY q (OA)
3-q (n is 0 or an integer, R is an alkylene group, an ethylene group, an acetylene group, or a substituent containing Si or an oxygen atom, X is H or an alkyl group, a cycloalkyl group, an allyl group, or a derivative thereof. OA is an alkoxy group (where A is H or an alkyl group), q
Is 0, 1 or 2). The article having the water / oil repellent coating according to claim 1.
【請求項3】 ペルフルオロアルキル アルキルシラン
が、下記の化合物から選ばれる少なくとも一つである請
求項1に記載の撥水撥油性被膜を有する物品。 (1) CF3(CF25(CH22SiCl3 (2) CF3(CF27(CH22SiCl3 (3) CF3CH2O(CH215SiCl3 (4) CF3(CH22Si(CH32(CH215Si
Cl3 (5) F(CF24(CH22Si(CH32(CH2
9SiCl3 (6) CF3COO(CH215SiCl3 (7) CF3(CF25(CH22SiCl3 (8) F(CF28(CH22Si(CH32(CH2
9SiCl3 (9) F(CF28(CH22Si(CH32(CH2
6SiCl3 (10) CF3CH2O(CH215Si(OCH33 (11) CF3(CF27(CH22Si(OC253 (12) CF3(CH22Si(CH32(CH215Si
(OCH33 (13) F(CF28(CH22Si(CH32(CH2
9Si(OCH33 (14) CF3COO(CH215Si(OC253
3. The article having a water / oil repellent coating according to claim 1, wherein the perfluoroalkylalkylsilane is at least one selected from the following compounds. (1) CF 3 (CF 2 ) 5 (CH 2 ) 2 SiCl 3 (2) CF 3 (CF 2 ) 7 (CH 2 ) 2 SiCl 3 (3) CF 3 CH 2 O (CH 2 ) 15 SiCl 3 ( 4) CF 3 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 ) 15 Si
Cl 3 (5) F (CF 2) 4 (CH 2) 2 Si (CH 3) 2 (CH 2)
9 SiCl 3 (6) CF 3 COO (CH 2 ) 15 SiCl 3 (7) CF 3 (CF 2 ) 5 (CH 2 ) 2 SiCl 3 (8) F (CF 2 ) 8 (CH 2 ) 2 Si (CH 3) 2 (CH 2)
9 SiCl 3 (9) F (CF 2 ) 8 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 )
6 SiCl 3 (10) CF 3 CH 2 O (CH 2) 15 Si (OCH 3) 3 (11) CF 3 (CF 2) 7 (CH 2) 2 Si (OC 2 H 5) 3 (12) CF 3 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 ) 15 Si
(OCH 3 ) 3 (13) F (CF 2 ) 8 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 )
9 Si (OCH 3 ) 3 (14) CF 3 COO (CH 2 ) 15 Si (OC 2 H 5 ) 3
【請求項4】 無機被膜がガラス状シリカ膜である請求
項1〜3記載のいずれかに記載の撥水撥油性被膜を有す
る物品。
4. The article having a water- and oil-repellent coating according to claim 1, wherein the inorganic coating is a glassy silica film.
【請求項5】 ガラス状シリカ膜が、ガラス基材表面に
シリケートグラスを塗布し、さらに加熱処理またはプラ
ズマアッシング処理することにより形成されている請求
項1〜4のいずれかに記載の撥水撥油性被膜を有する物
品。
5. The water-repellent material according to claim 1, wherein the glassy silica film is formed by applying a silicate glass to a surface of a glass substrate and further performing a heat treatment or a plasma ashing treatment. An article having an oily coating.
【請求項6】 基体の最表面が、サブミクロン乃至ミク
ロンオーダの凸凹である請求項1〜5に記載の撥水撥油
性被膜を有する物品。
6. The article having a water- and oil-repellent coating according to claim 1, wherein the outermost surface of the substrate has irregularities on the order of submicron to micron.
【請求項7】 基体表面とペルフルオロアルキル アル
キルシランと完全に加水分解可能なシランとの混合物と
が、脱塩化水素反応又は脱アルコール反応により処理さ
れている請求項1〜6のいずれかに記載の撥水撥油性被
膜を有する物品。
7. The method according to claim 1, wherein the surface of the substrate and the mixture of the perfluoroalkylalkylsilane and the completely hydrolyzable silane are treated by a dehydrochlorination reaction or a dealcoholation reaction. An article having a water and oil repellent coating.
【請求項8】 完全に加水分解可能なシランがSiXs
Cl4-s(XはH−またはCl(SiCl2O)n−(こ
こでnは整数)、sは0または1または2)、またはS
i(OA)4(AはHまたはアルキル基)からなる群か
ら選ばれる請求項1〜7のいずれかに記載の撥水撥油性
被膜を有する物品。
8. The fully hydrolyzable silane is Six s
Cl 4-s (X is H- or Cl (SiCl 2 O) n- (where n is an integer), s is 0 or 1 or 2), or S
The article having a water / oil repellent coating according to any one of claims 1 to 7, wherein the article is selected from the group consisting of i (OA) 4 (A is H or an alkyl group).
【請求項9】 ペルフルオロアルキル アルキルシラン
と完全に加水分解可能なシランの組合せが、ペルフルオ
ロアルキル アルキルクロロシランとSiXsCl
4-s(XはH−またはCl(SiCl2O)n−(ここで
nは整数)、sは0または1または2)の組合せ、また
はペルフルオロアルキル アルキルアルコキシシランと
Si(OA)4(AはHまたはアルキル基)の組合せか
ら選ばれる請求項8に記載の撥水撥油性被膜を有する物
品。
9. The combination of a perfluoroalkylalkyl silane and a completely hydrolyzable silane is a combination of a perfluoroalkylalkylchlorosilane and Six s Cl.
4-s (X is H— or Cl (SiCl 2 O) n — (where n is an integer), s is 0 or 1 or 2), or a combination of perfluoroalkylalkylalkoxysilane and Si (OA) 4 (A The article having a water- and oil-repellent coating according to claim 8, which is selected from a combination of H and an alkyl group).
【請求項10】 基体の表面を、ペルフルオロアルキル
アルキルシランと完全に加水分解可能なシランとの混
合物と接触させることからなり、しかも、前記基体がガ
ラス、セラミック、金属、プラスチック、および無機被
膜で被覆されたそれらの基体から成る群から選択される
基体に非濡れ性表面を形成する方法。
10. A method comprising contacting the surface of a substrate with a mixture of a perfluoroalkylalkylsilane and a fully hydrolyzable silane, said substrate being coated with a glass, ceramic, metal, plastic, and inorganic coating. Forming a non-wetting surface on a substrate selected from the group consisting of:
【請求項11】 ペルフルオロアルキル アルキルシラ
ンが、一般式CF3−(CF2)n−R−SiXpCl
3-p(nは0または整数、Rはアルキレン基、エチレン
基、アセチレン基、またはSi、酸素原子を含む置換
基、XはHまたはアルキル基、シクロアルキル基、アリ
ル基またはこれらの誘導体から選ばれる置換基、pは
0,1または2)、またはCF3−(CF2n−R−S
iYq(OA)3-q(nは0または整数、Rはアルキレン
基、エチレン基、アセチレン基、またはSi、酸素原子
を含む置換基、OAはアルコキシ基(ただし、AはHま
たはアルキル基)、qは0,1または2)で示される化
合物から選択される請求項10に記載の方法。
11. A perfluoroalkylalkylsilane having the general formula CF 3 — (CF 2 ) n —R—Six p Cl
3-p (n is 0 or an integer, R is an alkylene group, ethylene group, acetylene group, or a substituent containing Si or an oxygen atom, X is H or an alkyl group, a cycloalkyl group, an allyl group, or a derivative thereof. Substituents, p is 0, 1 or 2), or CF 3- (CF 2 ) n -RS
iY q (OA) 3-q (n is 0 or an integer, R is an alkylene group, an ethylene group, an acetylene group, or a substituent containing Si or an oxygen atom, and OA is an alkoxy group (where A is H or an alkyl group) , Q is selected from the compounds represented by 0, 1 or 2).
【請求項12】 ペルフルオロアルキル アルキルシラ
ンが、下記の化合物から選ばれる少なくとも一つである
請求項10または11に記載の方法。 (1) CF3(CF25(CH22SiCl3 (2) CF3(CF27(CH22SiCl3 (3) CF3CH2O(CH215SiCl3 (4) CF3(CH22Si(CH32(CH215Si
Cl3 (5) F(CF24(CH22Si(CH32(CH2
9SiCl3 (6) CF3COO(CH215SiCl3 (7) CF3(CF25(CH22SiCl3 (8) F(CF28(CH22Si(CH32(CH2
9SiCl3 (9) F(CF28(CH22Si(CH32(CH2
6SiCl3 (10) CF3CH2O(CH215Si(OCH33 (11) CF3(CF27(CH22Si(OC253 (12) CF3(CH22Si(CH32(CH215Si
(OCH33 (13) F(CF28(CH22Si(CH32(CH2
9Si(OCH33 (14) CF3COO(CH215Si(OC253
12. The method according to claim 10, wherein the perfluoroalkylalkylsilane is at least one selected from the following compounds. (1) CF 3 (CF 2 ) 5 (CH 2 ) 2 SiCl 3 (2) CF 3 (CF 2 ) 7 (CH 2 ) 2 SiCl 3 (3) CF 3 CH 2 O (CH 2 ) 15 SiCl 3 ( 4) CF 3 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 ) 15 Si
Cl 3 (5) F (CF 2) 4 (CH 2) 2 Si (CH 3) 2 (CH 2)
9 SiCl 3 (6) CF 3 COO (CH 2 ) 15 SiCl 3 (7) CF 3 (CF 2 ) 5 (CH 2 ) 2 SiCl 3 (8) F (CF 2 ) 8 (CH 2 ) 2 Si (CH 3) 2 (CH 2)
9 SiCl 3 (9) F (CF 2 ) 8 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 )
6 SiCl 3 (10) CF 3 CH 2 O (CH 2) 15 Si (OCH 3) 3 (11) CF 3 (CF 2) 7 (CH 2) 2 Si (OC 2 H 5) 3 (12) CF 3 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 ) 15 Si
(OCH 3 ) 3 (13) F (CF 2 ) 8 (CH 2 ) 2 Si (CH 3 ) 2 (CH 2 )
9 Si (OCH 3 ) 3 (14) CF 3 COO (CH 2 ) 15 Si (OC 2 H 5 ) 3
【請求項13】 無機被膜がガラス状シリカ膜である請
求項10〜12のいずれかに記載の方法。
13. The method according to claim 10, wherein the inorganic coating is a vitreous silica film.
【請求項14】 ガラス状シリカ膜を、ガラス基材表面
にシリケートグラスを塗布し、さらに加熱処理またはプ
ラズマアッシング処理することにより形成する請求項1
3に記載の方法。
14. The glassy silica film is formed by applying silicate glass to the surface of a glass substrate, and further performing a heat treatment or a plasma ashing treatment.
3. The method according to 3.
【請求項15】 基体の最表面を、サブミクロン乃至ミ
クロンオーダの凸凹に加工する工程を含む請求項10〜
14に記載の方法。
15. The method according to claim 10, further comprising the step of processing the outermost surface of the base into irregularities on the order of submicron to micron.
15. The method according to 14.
【請求項16】 基体表面とペルフルオロアルキル ア
ルキル シランと完全に加水分解可能なシランとの混合
物とを、脱塩化水素反応又は脱アルコール反応させる請
求項10〜15のいずれかに記載の方法。
16. The method according to claim 10, wherein the substrate surface and a mixture of a perfluoroalkylalkylsilane and a completely hydrolyzable silane are subjected to a dehydrochlorination reaction or a dealcoholation reaction.
【請求項17】 完全に加水分解可能なシランとしてS
iXsCl4-s(XはH−またはCl(SiCl2O)n
(ここでnは整数)、sは0または1または2)、また
はSi(OA)4(AはHまたはアルキル基)からなる
群から選ばれる請求項10〜16のいずれかに記載の方
法。
17. S as a completely hydrolyzable silane
iX s Cl 4-s (X is H- or Cl (SiCl 2 O) n -
The method according to any one of claims 10 to 16, wherein (n is an integer), s is 0 or 1 or 2, or Si (OA) 4 (A is H or an alkyl group).
【請求項18】 ペルフルオロアルキル アルキルシラ
ンと完全に加水分解可能なシランの組合せが、ペルフル
オロアルキル アルキルクロロシランとSiX sCl4-s
(XはH−またはCl(SiCl2O)n−(ここでnは
整数)、sは0または1または2)の組合せ、またはペ
ルフルオロアルキル アルキルアルコキシシランとSi
(OA)4(AはHまたはアルキル基)の組合せから選
ばれる請求項17に記載の方法。
18. Perfluoroalkyl alkylsila
The combination of silane and fully hydrolyzable silane
Oroalkyl alkylchlorosilane and SiX sCl4-s
(X is H- or Cl (SiClTwoO)n− (Where n is
Integer), s is 0 or a combination of 1 or 2), or
Fluoroalkyl alkylalkoxysilane and Si
(OA)Four(A is H or an alkyl group)
18. The method of claim 17, wherein the method is performed.
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004002187A (en) * 1991-01-23 2004-01-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd Water repellent and oil repellent coating film
JP2005206790A (en) * 2003-12-22 2005-08-04 Kazufumi Ogawa Water repellent and oil repellent antifouling treating agent and its manufacturing method
DE102010053633A1 (en) 2009-12-18 2011-06-22 Engel Austria Gmbh Plasticizing unit with insulating element in the filling area
US9067821B2 (en) 2008-10-07 2015-06-30 Ross Technology Corporation Highly durable superhydrophobic, oleophobic and anti-icing coatings and methods and compositions for their preparation
US9139744B2 (en) 2011-12-15 2015-09-22 Ross Technology Corporation Composition and coating for hydrophobic performance
US9388325B2 (en) 2012-06-25 2016-07-12 Ross Technology Corporation Elastomeric coatings having hydrophobic and/or oleophobic properties
JP2017001000A (en) * 2015-06-15 2017-01-05 学校法人関東学院 Method for forming water-repellent surface and water-repellent article with water-repellent surface formed using the same method
US9546299B2 (en) 2011-02-21 2017-01-17 Ross Technology Corporation Superhydrophobic and oleophobic coatings with low VOC binder systems
US9914849B2 (en) 2010-03-15 2018-03-13 Ross Technology Corporation Plunger and methods of producing hydrophobic surfaces

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004002187A (en) * 1991-01-23 2004-01-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd Water repellent and oil repellent coating film
JP2005206790A (en) * 2003-12-22 2005-08-04 Kazufumi Ogawa Water repellent and oil repellent antifouling treating agent and its manufacturing method
US9067821B2 (en) 2008-10-07 2015-06-30 Ross Technology Corporation Highly durable superhydrophobic, oleophobic and anti-icing coatings and methods and compositions for their preparation
US9926478B2 (en) 2008-10-07 2018-03-27 Ross Technology Corporation Highly durable superhydrophobic, oleophobic and anti-icing coatings and methods and compositions for their preparation
US9279073B2 (en) 2008-10-07 2016-03-08 Ross Technology Corporation Methods of making highly durable superhydrophobic, oleophobic and anti-icing coatings
DE102010053633A1 (en) 2009-12-18 2011-06-22 Engel Austria Gmbh Plasticizing unit with insulating element in the filling area
US9914849B2 (en) 2010-03-15 2018-03-13 Ross Technology Corporation Plunger and methods of producing hydrophobic surfaces
US9546299B2 (en) 2011-02-21 2017-01-17 Ross Technology Corporation Superhydrophobic and oleophobic coatings with low VOC binder systems
US10240049B2 (en) 2011-02-21 2019-03-26 Ross Technology Corporation Superhydrophobic and oleophobic coatings with low VOC binder systems
US9528022B2 (en) 2011-12-15 2016-12-27 Ross Technology Corporation Composition and coating for hydrophobic performance
US9139744B2 (en) 2011-12-15 2015-09-22 Ross Technology Corporation Composition and coating for hydrophobic performance
US9388325B2 (en) 2012-06-25 2016-07-12 Ross Technology Corporation Elastomeric coatings having hydrophobic and/or oleophobic properties
JP2017001000A (en) * 2015-06-15 2017-01-05 学校法人関東学院 Method for forming water-repellent surface and water-repellent article with water-repellent surface formed using the same method

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