JPH10307123A - Photoionization detection method and device - Google Patents

Photoionization detection method and device

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Publication number
JPH10307123A
JPH10307123A JP11717797A JP11717797A JPH10307123A JP H10307123 A JPH10307123 A JP H10307123A JP 11717797 A JP11717797 A JP 11717797A JP 11717797 A JP11717797 A JP 11717797A JP H10307123 A JPH10307123 A JP H10307123A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
discharge
gas
sample
photoionization
detector
Prior art date
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Pending
Application number
JP11717797A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeyoshi Kawazoe
重義 川副
Shinji Kurita
信二 栗田
Keiichi Iida
圭一 飯田
Hideyasu Chiba
英康 千葉
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Hitachi Ltd
Hitachi Science Systems Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Science Systems Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Hitachi Science Systems Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPH10307123A publication Critical patent/JPH10307123A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To also detect a small amount of organic constituent in an inorganic gas by selecting discharged gases being subjected to gas discharge from He, Ne, Ar, Xe, or H2 and changing the energy of ionization radiation. SOLUTION: A photoionization detector consists of a light source part 1 and a detection part 8. A sample flowing into a detection part 8 through the inside of a collector counter electrode 10 from a flow-in port 11 of a sample to be detected is generated by the gas discharge between a discharge cathode 2 and a discharge anode 3 of the light source part 1 and is exposed to light being applied to the detection part 8 from a light path 13. Then, an ionized sample constituent being ionized by receiving light from the light source part 1 is measured by measuring the flow of an ion current that flows to a collector electrode 9 being installed against the flow of the sample. In this case, discharge gases being subjected to gas discharge are selected from He, Ne, Ar, Xe, or H2 and the energy of ionization radiation is changed, thus achieving selectivity for a detection constituent. For example, a discharge stabilization resistor 7 with a resistance of 15-90 kΩ is required for using He as a discharge gas.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、物質を分離して定
量あるいは定性分析を行うガスクロマトグラフにおける
検出器及びその検出器を設置してなるガスクロマトグラ
フ装置に関し、特に被検出ガスに電離放射線すなわち真
空紫外光あるいは紫外光を照射して、イオン化し、その
イオン電流を測定する光イオン化検出器及びその検出器
を設置してなるガスクロマトグラフ装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a detector in a gas chromatograph for separating a substance and performing quantitative or qualitative analysis, and a gas chromatograph apparatus provided with the detector. The present invention relates to a photoionization detector for irradiating and irradiating with ultraviolet light or ultraviolet light and measuring an ion current thereof, and a gas chromatograph apparatus provided with the detector.

【0002】[0002]

【従来の技術】ガスクロマトグラフの構成、原理、検出
器及び利用範囲については、例えば舟阪、池川著「最新
ガスクロマトグラフィー」広川書店(1967年)に詳
述されている。ガスクロマトグラフ装置の性能向上を図
るためには、可能な限り低濃度で微量な試料を用いて、
成分を分離し検出することが要求される。したがって、
従来から高感度検出器の研究開発が継続して行われてき
た。これまで開発され利用されている検出器の代表例と
しては、熱伝導度検出器、水素炎イオン化検出器、電子
捕獲検出器及び光イオン化検出器などがある。これらの
検出器の開発によってガスクロマトグラフ装置は著しく
発達し、分離分析に必須な装置となっている。
2. Description of the Related Art The structure, principle, detector and use range of a gas chromatograph are described in detail in, for example, "Latest Gas Chromatography" written by Funasaka and Ikegawa, Hirokawa Shoten (1967). In order to improve the performance of the gas chromatograph, use a small amount of sample at the lowest possible concentration,
It is required to separate and detect the components. Therefore,
Conventionally, research and development of high-sensitivity detectors have been continuously performed. Representative examples of detectors that have been developed and used so far include a thermal conductivity detector, a flame ionization detector, an electron capture detector, and a photoionization detector. With the development of these detectors, the gas chromatograph has been remarkably developed and has become an indispensable device for separation and analysis.

【0003】特に、光イオン化検出器(Photoionizatio
n Detector、以下PIDと記す)で、光源としてHe気
体放電を利用したPID(以下、He−PIDと記す)
は、無機物及び有機物にも高感度であり、万能形の検出
器として利用されている。しかし、He−PIDは無機
ガスに高感度であるがゆえに、窒素(N2 )ガス中、酸
素(O2 )ガス中あるいは空気中の微量有機物の分析に
は不適切である。その理由は、無機ガスの出力ピークが
有機物の微量成分の出力ピークを覆ってしまい、分析精
度が低減するためである。したがって、無機ガス中の有
機微量成分の分析には、無機ガスに応答せず有機物にの
み高感度である水素炎イオン化検出器(FID)が使用
されている。しかし、FIDは水素を使用するため常に
安全性に注意する必要がある。
In particular, a photoionization detector (Photoionizatio
n Detector (hereinafter referred to as PID) and a PID using He gas discharge as a light source (hereinafter referred to as He-PID)
Is highly sensitive to inorganic and organic substances and is used as a universal detector. However, since He-PID has high sensitivity to inorganic gas, it is not suitable for analyzing trace organic substances in nitrogen (N 2 ) gas, oxygen (O 2 ) gas, or air. The reason is that the output peak of the inorganic gas covers the output peak of the trace component of the organic substance, and the analysis accuracy is reduced. Therefore, a flame ionization detector (FID) that does not respond to the inorganic gas and has high sensitivity only to organic substances is used for the analysis of the organic trace components in the inorganic gas. However, since FID uses hydrogen, it is necessary to always pay attention to safety.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】PIDの検出原理は
J. E. Lovelock: Nature 188, 401(1960)に論じられて
おり、この説を用いて以下に説明する。He放電によっ
て発生する最大エネルギーでの波長は58.4nmで、
約20eVのエネルギーである。H2 ,N2 ,O2など
の無機ガスの一次イオン化ポテンシャルはそれぞれ順に
15.45eV、15.59eV及び12.07eVで
ある。有機物のイオン化ポテンシャルは無機ガスより低
く、最も高いメタン(CH4 )で約13eVである。し
たがって、He放電によって発生する光を被検出試料の
無機ガスあるいは有機ガスに照射することによって、被
検出試料はイオン化される。この現象は次の〔数1〕の
ように表現できる。
The principle of PID detection is as follows.
This is discussed in JE Lovelock: Nature 188, 401 (1960), and will be described below using this theory. The wavelength at the maximum energy generated by the He discharge is 58.4 nm,
Energy of about 20 eV. Primary ionization potentials of inorganic gases such as H 2 , N 2 , and O 2 are 15.45 eV, 15.59 eV, and 12.07 eV, respectively. The ionization potential of organic matter is lower than that of inorganic gas, and is about 13 eV for the highest methane (CH 4 ). Therefore, the sample to be detected is ionized by irradiating the inorganic gas or the organic gas of the sample to be detected with light generated by the He discharge. This phenomenon can be expressed as the following [Equation 1].

【0005】[0005]

【数1】M+hν→M++e- ここでMは被検出物の分子、hはプランクの定数、νは
光の振動数を表し、eは電子を表す。すなわち、被検試
料は光の照射を受けてイオン化され、そのイオン電流を
測定することで検出される。
[Number 1] M + hν → M + + e - where M is the molecular of the detected object, h is Planck's constant, [nu represents the frequency of light, e is an electron. That is, the test sample is ionized by being irradiated with light, and is detected by measuring the ion current.

【0006】しかし、He−PIDは光源のエネルギー
準位が約20eVと高く、無機ガスも有機ガスも共にイ
オン化されるため、無機ガス中の微量有機成分の分析は
困難になる。本発明は、このような従来技術の問題点に
鑑みてなされたもので、無機ガス中の微量有機成分の検
出も可能なPIDを提供することを目的とする。また、
本発明は、無機ガス中の微量有機成分の検出が可能なP
IDを組み込んだガスクロマトグラフ装置を提供するこ
とを目的とする。
However, the energy level of the light source of He-PID is as high as about 20 eV, and both the inorganic gas and the organic gas are ionized, so that it becomes difficult to analyze the trace organic components in the inorganic gas. The present invention has been made in view of such problems of the related art, and has as its object to provide a PID capable of detecting a trace organic component in an inorganic gas. Also,
The present invention provides a method for detecting a trace amount of organic components in an inorganic gas.
An object of the present invention is to provide a gas chromatograph device incorporating an ID.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するに
は、PIDに被検出試料に応じて光源の光エネルギーを
変化させ得る機能があればよい。PIDにおける光源の
エネルギーは、PIDの光源である放電部に供給される
気体によって決定される。例えば、PIDの放電部にH
eが供給されれば約20eVのエネルギーの光が発生す
るが、Arが供給されれば約12eVのエネルギーの光
が発生する。
In order to achieve the above object, it is sufficient that the PID has a function of changing the light energy of the light source according to the sample to be detected. The energy of the light source in the PID is determined by the gas supplied to the discharge unit, which is the light source of the PID. For example, H
When e is supplied, light having an energy of about 20 eV is generated, but when Ar is supplied, light having an energy of about 12 eV is generated.

【0008】Ar放電によって発生する光のエネルギー
レベルでは、O2 ,N2 ,CO,CO2 などの無機ガス
をイオン化することはできないが、有機化合物のイオン
化ポテンシャルは9〜11eVであるので、たいていの
有機物には高感度を有する。しかし、ArによるPID
は、有機物でもメタン、エタン及びアセトニトリルなど
のようにイオン化ポテンシャルの高いものに対しては感
度を示さないか低感度である。
At the energy level of light generated by Ar discharge, inorganic gases such as O 2 , N 2 , CO and CO 2 cannot be ionized. However, since the ionization potential of an organic compound is 9 to 11 eV, it is almost always used. Has high sensitivity to organic substances. However, PID by Ar
Has no or low sensitivity to organic substances having a high ionization potential such as methane, ethane and acetonitrile.

【0009】イオン化ポテンシャルの高い有機化合物
は、Ne放電によって発生する約16eVのエネルギー
の光を光源にすることにより高感度で検出できる。Ne
放電を光源とした場合は、無機ガスは中程度の感度で検
出できる。このように、PIDの放電部に供給するガス
を変えることによって光源の光のエネルギーを変えるこ
とができる。したがって、無機ガス中の微量有機不純物
を測定する場合はAr放電を光源としたPID(以下、
Ar−PIDと記す)を使用することにより、無機ガス
を検出することなく有機微量成分のみを検出することが
可能となる。
An organic compound having a high ionization potential can be detected with high sensitivity by using light having an energy of about 16 eV generated by Ne discharge as a light source. Ne
When discharge is used as the light source, the inorganic gas can be detected with moderate sensitivity. As described above, the energy of light from the light source can be changed by changing the gas supplied to the discharge unit of the PID. Therefore, when measuring trace organic impurities in an inorganic gas, a PID using Ar discharge as a light source (hereinafter referred to as PID)
By using Ar-PID), only organic trace components can be detected without detecting inorganic gas.

【0010】従来技術では、FIDを用いて無機ガス中
の微量有機不純物を測定してきたが水素を使用するため
安全に対して常に留意する必要があった。本発明よって
提供されるAr−PIDは可燃性ガスを使用しないた
め、安全性の点で従来のFIDに比較して優れた検出器
である。PIDの光源の光エネルギーレベルの制御は、
放電ガスとして混合ガスを使用することでも可能であ
る。例えば、He中にArを混入した放電ガスを使用す
ると、Arに由来した共鳴線である約11.6eVのエ
ネルギーの光が得られる。同様にHe中にH2 を混入し
た放電ガスでは、H2 に由来した約10eV前後のエネ
ルギーからなる光が得られる。このように、He中に低
エネルギーの共鳴線を持ったガスを数%以上混入して放
電させることにより、PIDの光源の光エネルギーレベ
ルを変化させることができる。
In the prior art, trace organic impurities in inorganic gas were measured using FID. However, since hydrogen was used, it was necessary to always pay attention to safety. Since the Ar-PID provided by the present invention does not use a combustible gas, it is a detector superior in safety to the conventional FID. The control of the light energy level of the light source of the PID
It is also possible to use a mixed gas as the discharge gas. For example, when a discharge gas in which Ar is mixed in He is used, light having an energy of about 11.6 eV, which is a resonance line derived from Ar, is obtained. Similarly, in a discharge gas in which H 2 is mixed in He, light having an energy of about 10 eV derived from H 2 is obtained. As described above, by mixing a gas having a low-energy resonance line in He by several percent or more and discharging it, the light energy level of the light source of the PID can be changed.

【0011】放電ガスとして混合ガスを使用すると、低
エネルギーの共鳴線を持ったガスに由来するエネルギー
の光が得られる理由は、次のように説明することができ
る。He中に他のガスを混入した状態での放電では、
(1)Heから発生する光により混合ガス成分がイオン
化あるいは励起される現象と、(2)Heの励起成分に
よるクェンチング作用により混合ガス成分がイオン化あ
るいは励起される現象の二通の現象が生じていると考え
られる。上記(1)及び(2)との作用で発生した混入
ガス成分の励起成分が基底状態に戻る時に光を発生す
る。ここで、Heに混合したガス成分から発生する光の
エネルギーはHeの励起エネルギ−及びイオン化エネル
ギ−より遥かに低いので、Heによって吸収される現象
は起きない。したがって、Heに混合したガス成分から
の発光が得られ、光イオン化検出器の光源として利用す
ることができる。
The reason why light of energy derived from a gas having a low energy resonance line can be obtained when a mixed gas is used as a discharge gas can be explained as follows. In the discharge with other gas mixed in He,
Two phenomena occur: (1) a phenomenon in which the mixed gas component is ionized or excited by the light generated from He, and (2) a phenomenon in which the mixed gas component is ionized or excited by the quenching effect of the excited component of He. It is thought that there is. Light is generated when the excited component of the mixed gas component generated by the actions (1) and (2) returns to the ground state. Here, since the energy of light generated from the gas component mixed with He is much lower than the excitation energy and ionization energy of He, the phenomenon of being absorbed by He does not occur. Therefore, light emission is obtained from the gas component mixed with He, and can be used as a light source of a photoionization detector.

【0012】次の表1に、比較的イオン化ポテンシャル
の高い有機物及び無機物のイオン化ポテンシャルの例を
示す。
Table 1 below shows examples of the ionization potentials of organic substances and inorganic substances having relatively high ionization potentials.

【0013】[0013]

【表1】 [Table 1]

【0014】前述のように、検出すべき物質のイオン化
ポテンシャル、検出したくない物質(妨害物質)のイオ
ン化ポテンシャル、及び気体放電によって発生する光の
エネルギー相互の関係を勘案し、気体放電によって発生
する光のエネルギーが検出すべき物質のイオン化ポテン
シャルより大きく、検出したくない物質のイオン化ポテ
ンシャルより小さくなるように、PIDの気体放電に用
いる気体の種類を選択することにより、妨害物質に対す
る感度を下げ、かつ検出すべき物質に対する感度を上げ
ることができる。
As described above, the gas is generated by gas discharge in consideration of the ionization potential of a substance to be detected, the ionization potential of a substance (interfering substance) not to be detected, and the energy of light generated by gas discharge. Reduce the sensitivity to interfering substances by selecting the type of gas used for PID gas discharge so that the light energy is greater than the ionization potential of the substance to be detected and smaller than the ionization potential of the substance you do not want to detect. In addition, the sensitivity to the substance to be detected can be increased.

【0015】PIDの気体放電に用いられる気体の種類
と、その放電によって発生する光エネルギー、及び検出
に適した物質の一例を表2に示す。
Table 2 shows types of gas used for gas discharge of PID, light energy generated by the discharge, and an example of a substance suitable for detection.

【0016】[0016]

【表2】 [Table 2]

【0017】PIDの光源としてNe,ArあるいはH
eとの混合ガスの気体放電を利用する場合には、放電極
の構成として電気抵抗の設置を工夫しないと放電が安定
しない。Ne,ArあるいはHeとの混合ガスの気体放
電を安定化させるためには、放電陰極と供給電源との間
に電気抵抗を設置するだけでなく、放電陽極と接地との
間にもある一定以上の電気抵抗を設置する必要がある。
これは、放電によって発生する放電ガスにおけるプラズ
マのなだれ現象を防止するためである。
Ne, Ar or H as a PID light source
In the case of utilizing the gas discharge of the mixed gas with e, the discharge is not stabilized unless the electric discharge electrode is provided with an electric resistance. In order to stabilize the gas discharge of a mixed gas of Ne, Ar or He, not only an electric resistance is provided between the discharge cathode and the power supply, but also a certain level or more between the discharge anode and the ground. It is necessary to install an electric resistance.
This is to prevent the avalanche phenomenon of the plasma in the discharge gas generated by the discharge.

【0018】一般に、グロー放電に基づいた気体放電で
の電圧電流特性は、定電圧特性を示す。すなわち、印加
電圧を変化させても放電電極間の電圧はほとんど変化せ
ずに放電電流のみが変化する。しかし、放電開始電圧は
放電ガスの組成によって異なる。例えば、Heガスでの
放電開始電圧は600〜750Vであり、Arガスでの
放電開始電圧は700〜900Vである。放電ガスの種
類にかかわらず、一旦放電が開始すると、この放電を維
持するための電圧(放電維持電圧)は放電開始電圧より
100〜200V低い。放電維持電圧が放電開始電圧よ
り低いという現象は、放電が定電圧特性であることを裏
付けている。
In general, voltage-current characteristics in gas discharge based on glow discharge show constant voltage characteristics. That is, even if the applied voltage is changed, the voltage between the discharge electrodes hardly changes, and only the discharge current changes. However, the discharge starting voltage differs depending on the composition of the discharge gas. For example, the discharge starting voltage for He gas is 600 to 750V, and the discharge starting voltage for Ar gas is 700 to 900V. Regardless of the type of the discharge gas, once the discharge starts, the voltage for maintaining the discharge (discharge maintaining voltage) is 100 to 200 V lower than the discharge start voltage. The phenomenon that the discharge sustaining voltage is lower than the discharge starting voltage supports that the discharge has a constant voltage characteristic.

【0019】ところで、放電電流は印加電圧、電極間
隔、放電ガスの種類及び放電ガスの圧力などの因子によ
って定められるが、電源と陰電極との間にバラスト抵抗
が設置されないと放電は間欠放電になり放電電流は安定
しない。つまり、ある気体雰囲気中に設置された放電電
極間で放電が開始すると、放電に伴って、気体分子の陽
イオンと陰電極との衝突、気体分子と電子との衝突等に
よって発生する二次電子の増殖によって放電電極間に流
れる電流は次第に増大し、最終的には放電はアークに達
し、電源容量を超えた電流が流れることになり、間欠放
電につながる。
The discharge current is determined by factors such as applied voltage, electrode spacing, type of discharge gas, and pressure of discharge gas. If no ballast resistor is provided between the power supply and the negative electrode, the discharge will be an intermittent discharge. The discharge current is not stable. In other words, when a discharge starts between the discharge electrodes installed in a certain gas atmosphere, secondary electrons generated by the collision between the cations of the gas molecules and the negative electrode, the collision between the gas molecules and the electrons, and the like are caused by the discharge. As a result, the current flowing between the discharge electrodes gradually increases, and finally, the discharge reaches an arc, and a current exceeding the power supply capacity flows, leading to intermittent discharge.

【0020】このような放電の不安定現象を防止するた
めに、供給電源と放電陰極との間に電流制限抵抗を設置
するのが一般的である。しかし、放電ガスの種類によっ
ては、電流制限抵抗(バラスト抵抗)の設置だけでは必
ずしも放電は安定しない。気体放電を理想的に安定化す
るためには、放電陽極と接地との間に抵抗(以下、この
抵抗を放電安定化抵抗という)を設置することが必要で
ある。放電安定化抵抗値は放電気体によって異なる。放
電電流の安定領域は数十μA〜150μAである。
In order to prevent such an unstable discharge phenomenon, a current limiting resistor is generally provided between a power supply and a discharge cathode. However, depending on the type of the discharge gas, the discharge is not always stable only by providing the current limiting resistor (ballast resistor). In order to ideally stabilize gas discharge, it is necessary to provide a resistor (hereinafter, this resistor is referred to as a discharge stabilizing resistor) between the discharge anode and ground. The discharge stabilization resistance varies depending on the discharge gas. The stable region of the discharge current is several tens μA to 150 μA.

【0021】本発明は、以上のような検討のもとになさ
れたものであり、気体放電によって発生した紫外線ある
いは真空紫外線からなる電離放射線を被検出試料に照射
し、被検出試料のイオン化電流を測定することにより試
料成分の検出を行う光イオン化検出方法において、気体
放電の放電ガスをHe,Ne,Ar,Xe又はH2 から
選択して電離放射線のエネルギーを変えることにより、
検出成分に対して選択性をもたせることを特徴とする。
The present invention has been made based on the above considerations, and irradiates ionization radiation consisting of ultraviolet rays or vacuum ultraviolet rays generated by gas discharge to a sample to be detected, and reduces the ionization current of the sample to be detected. in photoionization detection method for detecting a sample component by measuring the discharge gas of the gas discharge He, Ne, Ar, by selected from Xe or H 2 changing the energy of the ionizing radiation,
It is characterized in that it has selectivity for a detected component.

【0022】また、本発明は、気体放電によって発生し
た電離放射線を被検出試料に照射し、被検出試料のイオ
ン化電流を測定することにより試料成分の検出を行う光
イオン化検出方法において、気体放電の放電ガスをHe
とNeの混合気体、HeとArの混合気体、HeとXe
の混合気体、HeとH2 の混合気体、NeとArの混合
気体、NeとXeの混合気体、HeとN2 の混合気体、
又はHeとCO2 の混合気体から選択して電離放射線の
エネルギーを変えることにより、検出成分に対して選択
性をもたせることを特徴とする。
The present invention also provides a photoionization detection method for irradiating a sample to be detected with ionizing radiation generated by a gas discharge and detecting a sample component by measuring an ionization current of the sample to be detected. Discharge gas is He
Mixed gas of He and Ar, mixed gas of He and Ar, He and Xe
A mixed gas of He, H 2, a mixed gas of Ne and Ar, a mixed gas of Ne and Xe, a mixed gas of He and N 2 ,
Alternatively, by changing the energy of ionizing radiation by selecting from a mixed gas of He and CO 2 , selectivity is given to a detection component.

【0023】また、本発明は、気体放電によって発生し
た電離放射線を被検出試料に照射し、被検出試料のイオ
ン化電流を測定することにより試料成分の検出を行う光
イオン化検出方法において、気体放電の放電ガスをAr
又はArとHeとの混合ガスとすることにより、無機ガ
スを含む被検出試料中の有機物成分を検出することを特
徴とする。
The present invention also provides a photoionization detection method for irradiating a sample to be detected with ionizing radiation generated by gas discharge and measuring the ionization current of the sample to detect sample components. Ar gas discharge
Alternatively, by using a mixed gas of Ar and He, an organic component in a sample to be detected including an inorganic gas is detected.

【0024】また、本発明は、気体放電によって電離放
射線を発生する放電電極と、電離放射線にさらされる被
検出試料流路と、電離放射線の照射を受けてイオン化し
た被検出試料のイオン電流を測定する測定電極とを備え
る光イオン化検出器において、気体放電の放電ガスを切
り換えることによって電離放射線のエネルギーを変化さ
せる手段を備えることを特徴とする。
The present invention also provides a discharge electrode for generating ionizing radiation by gas discharge, a sample flow path exposed to ionizing radiation, and an ion current of the sample ionized by irradiation with ionizing radiation. A photoionization detector provided with a measuring electrode for changing the energy of ionizing radiation by switching a discharge gas of a gas discharge.

【0025】この光イオン化検出器においては、放電陰
極と電源との間に電気抵抗を設置し、さらに放電陽極と
接地との間にも電気抵抗を設置するのが好ましい。本発
明による光イオン化検出器は、光源の光エネルギーを変
化することができるため、万能形検出器としてあるいは
有機化合物専用検出器として利用することができ、応用
範囲が広い。
In this photoionization detector, it is preferable to provide an electric resistance between the discharge cathode and the power supply, and to provide an electric resistance between the discharge anode and the ground. Since the photoionization detector according to the present invention can change the light energy of the light source, it can be used as a universal detector or a detector dedicated to organic compounds, and has a wide range of applications.

【0026】また、本発明は、試料注入部と、注入され
た試料成分を分離する分離カラムと、分離された試料成
分を検出する検出器とを備えるガスクロマトグラフ装置
において、検出器として前述の光イオン化検出器を備え
ることを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a gas chromatograph apparatus comprising a sample injection section, a separation column for separating the injected sample component, and a detector for detecting the separated sample component. It is characterized by comprising an ionization detector.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図1は、本発明による光イオン化
検出器の一例を示す構成図である。光イオン化検出器
は、光源部1と検出部8とからなる。光源部1は放電陰
極2と放電陽極3とを備え、放電ガス供給口4にボンベ
14a,14b等から放電ガスが供給される。電源5と
放電陰極2との間には電流制限抵抗6が設置され、放電
陽極3と接地との間には放電安定化抵抗7が設置されて
いる。検出部8には、コレクター電極9と中空のコレク
ター対極10とが設けられている。コレクター対極10
の一端には、被検出試料流入口11が設けられており、
被検出試料流入口11から供給された試料ガスはコレク
ター対極10の中を通って検出部8に導かれ、被検出試
料流出口16から排出される。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing an example of the photoionization detector according to the present invention. The photoionization detector includes a light source unit 1 and a detection unit 8. The light source unit 1 includes a discharge cathode 2 and a discharge anode 3, and discharge gas is supplied to a discharge gas supply port 4 from cylinders 14a, 14b and the like. A current limiting resistor 6 is provided between the power supply 5 and the discharge cathode 2, and a discharge stabilizing resistor 7 is provided between the discharge anode 3 and the ground. The detection unit 8 is provided with a collector electrode 9 and a hollow collector counter electrode 10. Collector opposite pole 10
At one end of the sample is provided a sample inlet 11 to be detected,
The sample gas supplied from the detected sample inlet 11 passes through the collector counter electrode 10 and is guided to the detector 8, and is discharged from the detected sample outlet 16.

【0028】光源部1と検出部8とは、光源部1からの
光を検出部8に導びく光路13で接続されている。光路
13は、放電ガス供給口4から供給された放電ガスが検
出部8に流れ込む流路を兼ねている。被検出試料流入口
11からコレクター対極10の内部を通って検出部8に
流入した試料は、光源部1の放電陰極2及び放電陽極3
の間の気体放電によって発生され、光路13から検出部
8に照射される光にさらされる。そして、光源部1から
の光照射を受けてイオン化された試料成分は、試料の流
れに対向して設置されたコレクター電極9にイオン電流
が流れることで測定が行われる。光源部1の発光波長を
変えるための放電ガスの切り替えは、流路切替バルブ1
5の操作によって行われる。
The light source unit 1 and the detection unit 8 are connected by an optical path 13 that guides light from the light source unit 1 to the detection unit 8. The optical path 13 also functions as a flow path through which the discharge gas supplied from the discharge gas supply port 4 flows into the detection unit 8. The sample that has flowed into the detection unit 8 from the sample inlet 11 through the inside of the collector counter electrode 10 is discharged to the discharge cathode 2 and the discharge anode 3 of the light source unit 1.
Is generated by the gas discharge during the exposure, and is exposed to light emitted from the optical path 13 to the detection unit 8. The sample component ionized by the light irradiation from the light source unit 1 is measured by an ionic current flowing through the collector electrode 9 installed facing the flow of the sample. Switching of the discharge gas for changing the emission wavelength of the light source unit 1 is performed by using the flow path switching valve 1.
5 is performed.

【0029】図2は、Arの気体放電を用いた場合の放
電安定化抵抗7の抵抗値と放電の安定領域との関係を示
す。図2から、Arの気体放電の安定領域は放電電流1
00μA以上であり、放電安定化抵抗7の抵抗値として
50kΩ以上が必要であることが分かる。この放電の安
定領域は放電ガスの種類によって異なり、例えばヘリウ
ムを放電ガスとする場合には15kΩ〜90kΩの放電
安定化抵抗が必要である。
FIG. 2 shows the relationship between the resistance value of the discharge stabilizing resistor 7 and the stable discharge region when Ar gas discharge is used. From FIG. 2, the stable region of the gas discharge of Ar is the discharge current 1
It is found that the resistance value of the discharge stabilizing resistor 7 needs to be 50 kΩ or more. The stable region of the discharge varies depending on the type of the discharge gas. For example, when helium is used as the discharge gas, a discharge stabilization resistor of 15 kΩ to 90 kΩ is required.

【0030】図3は、検出部に前記した光イオン化検出
器を備えたガスクロマトグラフ装置の概略構成図であ
り、検出器を除くガスクロマトグラフ装置の本体は周知
の構成のものである。キャリアガス供給源21から供給
されたキャリアガスは、キャリアガス流量調節部22で
流量が調節され、試料注入部23を介して分離カラム2
5に導入される。分離カラム25は恒温槽部24内で一
定温度に保持されている。試料注入部23からキャリア
ガス中に注入された試料ガスは、分離カラム25を通過
する間に分離され、図1に示した光イオン化検出器26
に導入されて検出される。キャリアガス流量調節部2
2、試料注入部23、恒温槽部24、及び光イオン化検
出部26は、制御装置27に設定された内容に従って動
作する。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a gas chromatograph apparatus provided with the above-described photoionization detector in the detecting section. The main body of the gas chromatograph apparatus except for the detector has a well-known configuration. The flow rate of the carrier gas supplied from the carrier gas supply source 21 is adjusted by the carrier gas flow rate adjustment unit 22, and the separation gas is supplied to the separation column 2 via the sample injection unit 23.
5 is introduced. The separation column 25 is maintained at a constant temperature in the thermostat unit 24. The sample gas injected into the carrier gas from the sample injection unit 23 is separated while passing through the separation column 25, and is separated by the photoionization detector 26 shown in FIG.
Is introduced and detected. Carrier gas flow controller 2
2. The sample injection unit 23, the constant temperature bath unit 24, and the photoionization detection unit 26 operate according to the contents set in the control device 27.

【0031】制御装置27はキーボード等の入力手段2
8及びCRT等の表示装置29を有するパーソナルコン
ピュータによって構成することができ、入力手段28を
操作することにより、検出器26の測定条件を測定成分
に応じて自動的に設定することができる。たとえば空気
中の微量有機成分を測定する場合、測定成分を制御装置
27に指定すると、ガスクロマトグラフの測定条件と同
時に検出器26の設定条件が表示装置29の画面に表示
され、測定者の指示に従って自動的に測定条件が設定さ
れる。
The control device 27 includes an input means 2 such as a keyboard.
8 and a personal computer having a display device 29 such as a CRT. By operating the input means 28, the measurement conditions of the detector 26 can be automatically set according to the measurement components. For example, when measuring a trace amount of organic components in the air, when the measurement components are designated to the control device 27, the setting conditions of the detector 26 are displayed on the screen of the display device 29 at the same time as the measurement conditions of the gas chromatograph, and according to the instruction of the measurer. The measurement conditions are set automatically.

【0032】図4に、表示装置の画面表示の例を示す。
図4(a)は測定条件設定の初期画面の例を示し、図4
(b)は検出器の詳細条件設定画面の例を示す。図4
(a)に示すように、表示装置29の表示画面上で、分
析対象成分、成分濃度、分離カラム、検出器、温度(注
入口温度、検出器温度)等をキー入力、あるいは表示さ
れた候補から選択して入力することで測定条件の設定を
行う。分析対象成分を入力すると、分離カラムの箇所に
はその分析対象成分に適した各種分離カラムが表示され
るので、表示された分離カラムから最も適当と考えられ
るものを選択し、選択したカラムを装置に装着する。ま
た、検出器の箇所には、分析対象成分及び成分濃度から
それに対応した各種検出器が表示されるので、その中か
ら最も適当と考えられる検出器を選択し、キャリアガス
流路配管を選択された検出器に接続する。
FIG. 4 shows an example of a screen display of the display device.
FIG. 4A shows an example of an initial screen for setting measurement conditions.
(B) shows an example of a detailed condition setting screen of the detector. FIG.
As shown in (a), on the display screen of the display device 29, the candidate to be analyzed is displayed by key input of a component to be analyzed, a component concentration, a separation column, a detector, a temperature (inlet port temperature, a detector temperature), or the like. The measurement conditions are set by selecting and inputting from. When you enter a component to be analyzed, various separation columns suitable for the component to be analyzed are displayed in the column of the separation column.Select the most appropriate column from the displayed separation columns, and select the selected column. Attach to In addition, at the detector, various detectors corresponding to the components to be analyzed and the component concentrations are displayed, so that the most appropriate detector is selected from among them, and the carrier gas flow path piping is selected. Connected to the detector.

【0033】検出器の選択で、例えばHeガスを放電ガ
スに使用したヘリウム光イオン化検出器(He−PI
D)を選択したとする。その後、表示装置29の表示画
面を詳細設定画面に切り換えることで、例えば図4
(b)に示すように、放電ガスの流量、放電電流、印加
電圧など、He−PIDの詳細を設定することができ
る。He−PIDは、ここで設定された条件に従って自
動的に運転される。
In selecting a detector, for example, a helium photoionization detector (He-PI) using He gas as a discharge gas is used.
Suppose that D) is selected. Then, by switching the display screen of the display device 29 to the detailed setting screen, for example, FIG.
As shown in (b), the details of the He-PID, such as the flow rate of the discharge gas, the discharge current, and the applied voltage, can be set. The He-PID is automatically operated according to the conditions set here.

【0034】図5は、本発明のガスクロマトグラフ装置
による分析の一例を示す図である。このガスクロマトグ
ラフ装置は、放電ガスとしてアルゴンガスを使用した本
発明のAr−PIDを検出器として備える。試料は、無
鉛レギュラーガソリンである。カラムには内径0.25
mm、長さ60mの液相OV−1(日立製作所製)を用
いた。カラム温度は30〜45℃までは1℃/min、
45〜200℃までは7.5℃/minで昇温を行い分
離した例である。試料注入温度は230℃、Ar−PI
Dの温度は250℃とした。PIDの光源部の放電電極
間隙は1.5mm、電流制限抵抗6は3MΩとし、放電
安定化抵抗7は100kΩとした。放電ガスとしてAr
を50ml/minの割合で供給し、放電電流は100
μAとした。図5から、安定したベースラインで多成分
からなる有機化合物の検出が十分可能であることが分か
る。
FIG. 5 is a diagram showing an example of analysis by the gas chromatograph of the present invention. This gas chromatograph device includes an Ar-PID of the present invention using argon gas as a discharge gas as a detector. The sample is unleaded regular gasoline. 0.25 id inside column
A liquid phase OV-1 (manufactured by Hitachi, Ltd.) having a length of 60 mm and a length of 60 mm was used. Column temperature is 1 ° C / min from 30 to 45 ° C,
This is an example in which the temperature is raised at a rate of 7.5 ° C./min from 45 to 200 ° C. and separated. Sample injection temperature is 230 ° C, Ar-PI
The temperature of D was 250 ° C. The gap between the discharge electrodes of the light source section of the PID was 1.5 mm, the current limiting resistor 6 was 3 MΩ, and the discharge stabilizing resistor 7 was 100 kΩ. Ar as a discharge gas
Is supplied at a rate of 50 ml / min, and the discharge current is 100
μA. FIG. 5 shows that the detection of an organic compound composed of multiple components is sufficiently possible with a stable baseline.

【0035】図6は、本発明によるAr−PIDを検出
器としたガスクロマトグラフ装置による分析の他の例を
示す図である。試料は、窒素ガスで濃度調整した低級炭
化水素である。カラムには、アルミナにスクアランを2
%コーティングした充填剤を充填した直径3mm、長さ
2mのカラムを用いた。カラム温度は40℃とした。キ
ャリアガスには窒素(N2)を使用し、流速40ml/
minで測定した。
FIG. 6 is a diagram showing another example of analysis by a gas chromatograph using Ar-PID as a detector according to the present invention. The sample is a lower hydrocarbon whose concentration is adjusted with nitrogen gas. In the column, 2 squalane on alumina
A column having a diameter of 3 mm and a length of 2 m packed with a% -coated filler was used. The column temperature was 40 ° C. Nitrogen (N 2 ) was used as the carrier gas, and the flow rate was 40 ml /
It was measured in min.

【0036】図中、1はエタンのピーク(1ppm)、
2はエチレンのピーク(1ppm)である。このよう
に、無機ガス中の微量有機成分でも、無機ガスの影響を
全く受けずに分離分析が可能である。図7は、本発明に
よるHe−PIDを検出器としたガスクロマトグラフ装
置により、空気中の微量成分分析を行った例を示す図で
ある。He−PIDの検出部は、放電ガス流量50ml
/min、放電電流100μAとした。分離カラムには
MS5A(GLサイエンス社製)を用い、カラム温度は
50℃とした。キャリアガスにとしてはHeを流量25
ml/minで流した。ここで用いた試料空気はH2
0.5ppm、CH4を0.8ppm含有している。図
示するように、空気成分であるO2とN2とのピークが空
気中の微量成分であるCH4のピークにオーバーラップ
しており、定量精度に影響を与えていることが明らかで
ある。
In the figure, 1 is the peak of ethane (1 ppm),
2 is the ethylene peak (1 ppm). As described above, even a trace amount of organic components in the inorganic gas can be separated and analyzed without being affected by the inorganic gas at all. FIG. 7 is a diagram showing an example in which a trace component in air is analyzed by a gas chromatograph using He-PID as a detector according to the present invention. The detection unit of He-PID has a discharge gas flow rate of 50 ml.
/ Min and a discharge current of 100 μA. MS5A (manufactured by GL Sciences) was used for the separation column, and the column temperature was 50 ° C. He is used as a carrier gas at a flow rate of 25.
It flowed at ml / min. Here air sample used was 0.5ppm the H 2, and the CH 4 containing 0.8 ppm. As shown in the figure, the peaks of O 2 and N 2 as air components overlap with the peak of CH 4 as a trace component in air, which clearly affects the quantitative accuracy.

【0037】図8は、本発明による光イオン化検出器の
他の例の説明図である。図1に示した光イオン化検出器
と同じ機能部分には図1と同じ番号を付し、詳細な説明
を省略する。図8の光イオン化検出器が図1に示した光
イオン化検出器と異なるのは、光源部1における放電電
極の構造だけである。すなわち、放電陽極33として白
金製平板状で中心に光路となる穴を設けたものを使用す
る。放電陽極を、このように中心に穴を設けた板状の構
造とすることにより、放電部で発生した光が効率的に検
出部へ入射される。
FIG. 8 is an explanatory view of another example of the photoionization detector according to the present invention. The same functional portions as those of the photoionization detector shown in FIG. 1 are assigned the same reference numerals as those in FIG. The only difference between the photoionization detector of FIG. 8 and the photoionization detector shown in FIG. That is, as the discharge anode 33, a platinum plate having a hole serving as an optical path at the center is used. By forming the discharge anode in a plate-like structure having a hole at the center, light generated in the discharge unit is efficiently incident on the detection unit.

【0038】[0038]

【発明の効果】本発明によると、光イオン化検出器の検
出成分に対する感度を変えることができ、無機ガス中の
微量有機成分の検出なども可能となる。また、このよう
な光イオン化検出器を組み込むことにガスクロマトグラ
フ装置の性能向上を図ることができる。
According to the present invention, the sensitivity of the photoionization detector to the detection components can be changed, and the detection of trace organic components in the inorganic gas becomes possible. Further, by incorporating such a photoionization detector, the performance of the gas chromatograph can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による光イオン化検出器の一例を示す構
成図。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an example of a photoionization detector according to the present invention.

【図2】放電安定化抵抗の抵抗値と放電の安定領域との
関係を示す図。
FIG. 2 is a diagram showing a relationship between a resistance value of a discharge stabilization resistor and a stable discharge region.

【図3】ガスクロマトグラフ装置の概略構成図。FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a gas chromatograph device.

【図4】表示装置の画面表示の例を示す図。FIG. 4 is a diagram showing an example of a screen display of the display device.

【図5】本発明のガスクロマトグラフ装置による分析の
一例を示す図。
FIG. 5 is a diagram showing an example of analysis by the gas chromatograph device of the present invention.

【図6】本発明のガスクロマトグラフ装置による分析の
他の例を示す図。
FIG. 6 is a diagram showing another example of analysis by the gas chromatograph device of the present invention.

【図7】本発明のガスクロマトグラフ装置による分析の
他の例を示す図。
FIG. 7 is a diagram showing another example of analysis by the gas chromatograph device of the present invention.

【図8】本発明による光イオン化検出器の他の例の説明
図。
FIG. 8 is an explanatory diagram of another example of the photoionization detector according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…光源部、2…放電陰極、3…放電陽極、4…放電ガ
ス供給口、5…電源、6…電流制限抵抗、7…放電安定
化抵抗、8…検出部、9…コレクター電極、10…コレ
クター対極、11…被検出試料流入口、13…光路、1
4a,14b…ボンベ、15…流路切替バルブ、16…
被検出試料流出口、21…キャリアガス供給源、22…
キャリアガス流量調節部、23…試料注入部、24…恒
温槽、25…分離カラム、26…光イオン化検出器、2
7…制御装置、28…入力手段、29…表示装置、33
…放電陽極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Light source part, 2 ... Discharge cathode, 3 ... Discharge anode, 4 ... Discharge gas supply port, 5 ... Power supply, 6 ... Current limiting resistance, 7 ... Discharge stabilization resistance, 8 ... Detection part, 9 ... Collector electrode, 10 ... Collector counter electrode, 11 ... Sample inlet, 13 ... Optical path, 1
4a, 14b: cylinder, 15: flow switching valve, 16:
Outflow port of sample to be detected, 21 ... Carrier gas supply source, 22 ...
Carrier gas flow control unit, 23: sample injection unit, 24: constant temperature bath, 25: separation column, 26: photoionization detector, 2
7 control device, 28 input means, 29 display device, 33
… Discharge anode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 栗田 信二 茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地 株 式会社日立サイエンスシステムズ内 (72)発明者 飯田 圭一 茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地 株 式会社日立サイエンスシステムズ内 (72)発明者 千葉 英康 茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地 株 式会社日立サイエンスシステムズ内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Shinji Kurita 1040 Ichimo Ichimo, Hitachinaka City, Ibaraki Prefecture Inside Hitachi Science Systems Co., Ltd. Within Science Systems (72) Inventor Hideyasu Chiba 1040 Ichimo Ichige, Hitachinaka City, Ibaraki Prefecture Within Hitachi Science Systems, Ltd.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 気体放電によって発生した電離放射線を
被検出試料に照射し、被検出試料のイオン化電流を測定
することにより試料成分の検出を行う光イオン化検出方
法において、 前記気体放電の放電ガスをHe,Ne,Ar,Xe又は
2 から選択して電離放射線のエネルギーを変えること
により、検出成分に対して選択性をもたせることを特徴
とする光イオン化検出方法。
1. A photoionization detection method for irradiating ionization radiation generated by a gas discharge to a sample to be detected and measuring a sample component by measuring an ionization current of the sample to be detected, wherein the discharge gas of the gas discharge is He, Ne, Ar, Xe or by varying the energy of ionizing radiation selected from H 2, photoionization detector wherein the to have a selectivity for detection component.
【請求項2】 気体放電によって発生した電離放射線を
被検出試料に照射し、被検出試料のイオン化電流を測定
することにより試料成分の検出を行う光イオン化検出方
法において、 前記気体放電の放電ガスをHeとNeの混合気体、He
とArの混合気体、HeとXeの混合気体、HeとH2
の混合気体、NeとArの混合気体、NeとXeの混合
気体、HeとN2 の混合気体、又はHeとCO2 の混合
気体から選択して電離放射線のエネルギーを変えること
により、検出成分に対して選択性をもたせることを特徴
とする光イオン化検出方法。
2. A photoionization detection method for irradiating ionization radiation generated by a gas discharge to a sample to be detected and detecting a sample component by measuring an ionization current of the sample to be detected, comprising: He and Ne mixed gas, He
Mixed gas of He and Xe, mixed gas of He and Xe, He and H 2
, Mixed gas of Ne and Ar, mixed gas of Ne and Xe, mixed gas of He and N 2 , or mixed gas of He and CO 2 to change the energy of ionizing radiation, A photoionization detection method characterized in that the photoionization detection method is provided with selectivity to the photoionization.
【請求項3】 気体放電によって発生した電離放射線を
被検出試料に照射し、被検出試料のイオン化電流を測定
することにより試料成分の検出を行う光イオン化検出方
法において、 前記気体放電の放電ガスをAr又はHeとArとの混合
ガスとすることにより、無機ガスを含む被検出試料中の
有機物成分を検出することを特徴とする光イオン化検出
方法。
3. A photoionization detection method for irradiating ionization radiation generated by a gas discharge to a sample to be detected and measuring an ionization current of the sample to detect a sample component, wherein the discharge gas of the gas discharge is A photoionization detection method, wherein an organic component in a sample to be detected including an inorganic gas is detected by using Ar or a mixed gas of He and Ar.
【請求項4】 気体放電によって電離放射線を発生する
放電電極と、前記電離放射線にさらされる被検出試料流
路と、前記電離放射線の照射を受けてイオン化した被検
出試料のイオン電流を測定する測定電極とを備える光イ
オン化検出器において、 前記気体放電の放電ガスを切り換えることによって前記
電離放射線のエネルギーを変化させる手段を備えること
を特徴とする光イオン化検出器。
4. A discharge electrode for generating ionizing radiation by gas discharge, a sample flow path to be exposed to the ionizing radiation, and a measurement for measuring an ion current of the sample to be ionized by irradiation with the ionizing radiation. A photoionization detector comprising: an electrode; and a means for changing an energy of the ionizing radiation by switching a discharge gas of the gas discharge.
【請求項5】 請求項4記載の光イオン化検出器におい
て、放電陰極と電源との間に電気抵抗を設置し、さらに
放電陽極と接地との間にも電気抵抗を設置したことを特
徴とする光イオン化検出器。
5. The photoionization detector according to claim 4, wherein an electric resistance is provided between the discharge cathode and the power supply, and an electric resistance is further provided between the discharge anode and the ground. Photoionization detector.
【請求項6】 試料注入部と、注入された試料成分を分
離する分離カラムと、分離された試料成分を検出する検
出器とを備えるガスクロマトグラフ装置において、 前記検出器として請求項4又は5記載の光イオン化検出
器を備えることを特徴とするガスクロマトグラフ装置。
6. A gas chromatograph apparatus comprising a sample injection section, a separation column for separating the injected sample component, and a detector for detecting the separated sample component, wherein the detector is used as the detector. A gas chromatograph apparatus comprising the photoionization detector of (1).
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2001096852A1 (en) * 2000-06-14 2001-12-20 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd Device for detecting chemical substance and method for measuring concentration of chemical substance
CN103163256A (en) * 2011-12-16 2013-06-19 株式会社岛津制作所 Discharge ionization current detector
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