JPH10302938A - Ceramic heater - Google Patents
Ceramic heaterInfo
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- JPH10302938A JPH10302938A JP10785997A JP10785997A JPH10302938A JP H10302938 A JPH10302938 A JP H10302938A JP 10785997 A JP10785997 A JP 10785997A JP 10785997 A JP10785997 A JP 10785997A JP H10302938 A JPH10302938 A JP H10302938A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は熱放射効率を高め
て、長寿命化を達成したセラミックヒータに関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic heater which has improved heat radiation efficiency and has a longer life.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のセラミックヒータはアルミナ焼結
体で構成し、その焼結体の全体が加熱されることで熱放
射するが、熱放射効率が小さく、たとえば９００℃の温
度で約５５％程度であるために、熱放射効率の低い分に
対して、ヒータへの印加電力を高めるようにしている。2. Description of the Related Art A conventional ceramic heater is made of an alumina sintered body, and radiates heat by heating the entire sintered body. However, the heat radiation efficiency is small, for example, about 55% at a temperature of 900 ° C. Therefore, the power applied to the heater is increased for the lower heat radiation efficiency.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにヒータへの印加電力を高めることで、熱放射量が
高くなるが、その反面、ヒータ自体の温度上昇に伴って
ヒータ自体の耐久性が劣化するという問題点がある。す
なわち、ヒータを構成するセラミックスの粒界層にはア
ルカリ金属イオンおよびアルカリ土類金属イオンなどが
含有されているが、これらのイオンが温度上昇に伴って
移動されやすくなって、陽極部側や陰極部側に偏析領域
もしくは疎な領域が形成され、これによって昇降温時の
熱応力に耐えきれなくなって、クラックや断線が発生さ
れ易くなるという問題点がある。However, by increasing the power applied to the heater as described above, the amount of heat radiation increases, but on the other hand, the durability of the heater itself increases with the temperature rise of the heater itself. There is a problem of deterioration. In other words, the grain boundary layer of the ceramics constituting the heater contains alkali metal ions and alkaline earth metal ions, but these ions are easily moved as the temperature rises, so that the anode side and the cathode There is a problem that a segregated region or a sparse region is formed on the part side, which makes it impossible to withstand thermal stress at the time of temperature rise and fall, and that cracks and disconnections are easily generated.
【０００４】したがって本発明の目的は対象物を所要ど
おりに加熱させながらも、ヒータ自体の放熱効果を上げ
ることで、ヒータ自体の温度を下げ、これによって耐久
性を高めた長寿命化のセラミックヒータを提供すること
にある。Accordingly, an object of the present invention is to increase the durability of a ceramic heater having a long life by lowering the temperature of the heater itself by increasing the heat radiation effect of the heater itself while heating the object as required. Is to provide.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明のセラミックヒー
タは、発熱抵抗体パターンが埋設されたセラミック基体
の熱放射面にＭｏ、Ｗ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍ
ｎ、Ｔｉのうち少なくとも一種を含有するセラミックか
らなる熱放射性膜を形成してなることを特徴とする。According to the ceramic heater of the present invention, Mo, W, Ni, Cr, Fe, Co, and M are formed on a heat radiating surface of a ceramic substrate in which a heating resistor pattern is embedded.
A heat radiation film made of a ceramic containing at least one of n and Ti is formed.
【０００６】[0006]
【発明の実施の形態】以下、本発明を円筒体のセラミッ
クヒータを例にして図１および図２により説明する。図
１は本発明のセラミックヒータ１の正面図、図２は図１
における縦断面図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2 by taking a cylindrical ceramic heater as an example. FIG. 1 is a front view of a ceramic heater 1 of the present invention, and FIG.
FIG.
【０００７】このセラミックヒータ１において、２は円
筒状のセラミックロッド、３はセラミックロッド２の外
周面に被覆したセラミックからなるコート層であり、こ
れらセラミックロッド２とコート層３は同一もしくは異
なるセラミック材でもって一体的に焼成してセラミック
基体４を構成する。５はセラミック基体４の内部に、す
なわちコート層３の内側に形成した発熱抵抗体パターン
であって、これによってセラミック基体４に発熱抵抗体
パターン５を埋設させている。そして、６はコート層３
の外側（セラミック基体４の熱放射面）に形成した熱放
射性膜である。In this ceramic heater 1, reference numeral 2 denotes a cylindrical ceramic rod, and reference numeral 3 denotes a coating layer made of ceramic coated on the outer peripheral surface of the ceramic rod 2. These ceramic rods 2 and the coating layer 3 are made of the same or different ceramic material. Thus, the ceramic substrate 4 is integrally fired. Reference numeral 5 denotes a heating resistor pattern formed inside the ceramic base 4, that is, inside the coat layer 3, whereby the heating resistor pattern 5 is embedded in the ceramic base 4. And 6 is the coat layer 3
(A heat radiation surface of the ceramic substrate 4).
【０００８】また、コート層３の内側には発熱抵抗体パ
ターン５から延在された導通パターン７が設けられ、そ
の外側には電極端子８が付設され、これら導通パターン
７と電極端子８とを導電させるために、コート層３にビ
ヤホール９が貫設されている。そして、電極端子８の上
にはヒータ端子１０が形成されている。１１はセラミッ
クヒータ１を所定の位置に固定するための位置決め用の
フランジである。A conductive pattern 7 extending from the heating resistor pattern 5 is provided inside the coat layer 3, and an electrode terminal 8 is provided outside the conductive pattern 7. The conductive pattern 7 and the electrode terminal 8 are connected to each other. A via hole 9 is provided in the coat layer 3 to make it conductive. A heater terminal 10 is formed on the electrode terminal 8. Reference numeral 11 denotes a positioning flange for fixing the ceramic heater 1 at a predetermined position.
【０００９】上記セラミックロッド２やコート層３はア
ルミナ、コージライト、ムライト、チタン酸アルミニウ
ム、β−スポジュメン、ジルコン、チタニアなどの電気
的に絶縁性のセラミック材からなり、さらに発熱抵抗体
パターン５はＷ、Ｍｏなどの高融点金属材からなる。The ceramic rod 2 and the coating layer 3 are made of an electrically insulating ceramic material such as alumina, cordierite, mullite, aluminum titanate, β-spodumene, zircon, titania and the like. It is made of a high melting point metal material such as W or Mo.
【００１０】また、熱放射性膜６はＭｏ、Ｗ、Ｎｉ、Ｃ
ｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｔｉの各金属のうち少なくとも
一種を黒色化成分として含有するセラミックスからな
る。そして、これを構成するセラミック材は上記セラミ
ックロッド２やコート層３を構成する電気的絶縁性のセ
ラミック材と同じでよい。The heat radiation film 6 is made of Mo, W, Ni, C
It is made of ceramics containing at least one of the metals r, Fe, Co, Mn, and Ti as a blackening component. The ceramic material constituting the ceramic rod 2 and the coat layer 3 may be the same as the electrically insulating ceramic material.
【００１１】つぎにセラミック基体４および熱放射性膜
６がアルミナからなる場合の作製方法を述べる。アルミ
ナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）の生セラミックシートの一方の主面に
Ｗ、Ｍｏなどを含む導電ペーストを印刷手法により塗布
してパターニングし、他方の主面には別のペースト、す
なわちＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ2 、ＺｒＯ2 のうち少な
くとも１種類以上を０．３〜１２重量％と、上記黒色化
成分が０．３〜１０重量％含有されるように、その酸化
物を加え、残部がＡｌ2 Ｏ3 であるペーストを塗布し、
ついで、かかる生セラミックシートを他方の主面が外側
になるように未焼成状態の生セラミックからなるセラミ
ックロッド２の外周面に巻き付ける。なお、このセラミ
ックロッド２用の生セラミックもＭｇＯ、ＣａＯ、Ｓｉ
Ｏ2 、ＺｒＯ2 のうち少なくとも１種類以上を０．３〜
１２重量％含むアルミナからなる。その後に還元雰囲気
中１４００〜１７００℃で焼成する。これよって発熱抵
抗体パターン５が埋設された円筒状のセラミック基体４
の外周面に熱放射性膜６が焼結一体化された状態で被覆
されたセラミックヒータ１が得られる。Next, a manufacturing method when the ceramic substrate 4 and the heat radiation film 6 are made of alumina will be described. A conductive paste containing W, Mo, or the like is applied to one main surface of a raw ceramic sheet of alumina (Al 2 O 3 ) by a printing method and patterned, and another paste, that is, MgO, CaO, and 0.3 to 12 wt% of at least one or more of SiO 2, ZrO 2, as described above blackening ingredients are contained 0.3 to 10 wt%, the oxide addition, the balance being Al 2 O Apply the paste that is 3 ,
Next, the green ceramic sheet is wound around the outer peripheral surface of the ceramic rod 2 made of green ceramic in an unfired state such that the other main surface is on the outside. The raw ceramic for this ceramic rod 2 is also made of MgO, CaO, Si
At least one of O 2 and ZrO 2 is 0.3 to
It consists of alumina containing 12% by weight. Thereafter, firing is performed at 1400 to 1700 ° C. in a reducing atmosphere. Thus, the cylindrical ceramic base 4 in which the heating resistor pattern 5 is embedded.
The ceramic heater 1 is obtained in which the heat radiation film 6 is coated on the outer peripheral surface in a state of being sintered and integrated.
【００１２】上記作製方法によれば、Ｍｏ、Ｗ、Ｎｉ、
Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｔｉの酸化物として添加して
も、還元雰囲気焼成によって不十分なままに還元された
酸化物ないし金属単体となり、これらが黒色化成分とな
る。According to the above manufacturing method, Mo, W, Ni,
Even when added as oxides of Cr, Fe, Co, Mn, and Ti, they become insufficiently reduced oxides or simple metals by firing in a reducing atmosphere, and these become blackening components.
【００１３】かくして本発明のセラミックヒータ１によ
れば、このように黒色化した熱放射性膜６を白色のセラ
ミック基体４上に被覆することで、熱放射性が顕著に向
上し、これにより、ヒータ自体の温度を下げながらも、
対象物を所要どおりに加熱でき、それゆえにセラミック
基体４自体の蓄熱割合が小さくなることで、ヒータ寿命
が長くなった。ちなみに、本発明のセラミックヒータ１
では、波数３２００における３５０℃の放射率が０．５
以上になった。この放射率の測定は黒体の標準サンプル
を用いて放射率１００％を設定し、それに対して、被測
定物の放射率を測定する手法である。Thus, according to the ceramic heater 1 of the present invention, by coating the blackened heat-radiating film 6 on the white ceramic substrate 4, the heat radiation property is remarkably improved. While lowering the temperature of
The object can be heated as required, and therefore, the heat storage ratio of the ceramic base 4 itself is reduced, thereby prolonging the heater life. By the way, the ceramic heater 1 of the present invention
, The emissivity at 350 ° C. at a wave number of 3200 is 0.5
That's all. The measurement of the emissivity is a technique of setting the emissivity to 100% using a black body standard sample and measuring the emissivity of the measured object.
【００１４】また、本発明のように、白色のセラミック
基体４の上に黒色化した熱放射性膜６を形成した場合
に、熱放射性膜６を著しく薄くすると、白色のセラミッ
ク基体４が透けるので、セラミックヒータ１の黒色化が
阻止される。そこで、熱放射性膜６の厚みを１０μｍ以
上、好適には１５μｍ以上に厚くすると、セラミック基
体４のかかる白色でもってセラミックヒータ１の色合い
が淡色化しなくなり、その結果、より優れた熱放射率が
得られる。When the blackened heat-radiating film 6 is formed on the white ceramic substrate 4 as in the present invention, if the heat-radiating film 6 is extremely thin, the white ceramic substrate 4 becomes transparent. Blackening of the ceramic heater 1 is prevented. Therefore, if the thickness of the heat-radiating film 6 is increased to 10 μm or more, preferably 15 μm or more, the color of the ceramic heater 1 does not become pale due to the white color of the ceramic substrate 4, and as a result, a better heat radiation rate is obtained. Can be
【００１５】[0015]
（例１）本発明を上述した作製方法にしたがって、全体
がアルミナからなるセラミックヒータ１を作製した。た
だし、前記生セラミックシートの他方の主面に塗布する
ペーストはＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ2 、ＺｒＯ2 のうち
少なくとも１種類以上を０．３〜１２重量％と、残部が
Ａｌ2 Ｏ3 である組成物に対して、ＭｏＯ3 ２重量％添
加し、この混合物を１００重量部として、さらにエチル
セルロース２．５重量％、ニトロセルロース０．５重量
％、ＤＢＰ４０重量％加え、そして、ボールミル混合お
よび３本ロール混合でもって十分に混練したものを用い
て、１５μｍの厚みで塗布形成した。また、この生セラ
ミックシートの両主面のそれぞれの一部に導通パターン
７および電極端子８をプリント法で形成し、さらに生セ
ラミックシートの一部に貫通された孔にインクを埋めて
ビヤホール９を形成した。(Example 1) A ceramic heater 1 made entirely of alumina was manufactured according to the manufacturing method of the present invention described above. However, the paste applied to the other main surface of the green ceramic sheet has a composition in which at least one or more of MgO, CaO, SiO 2 and ZrO 2 is 0.3 to 12% by weight, and the balance is Al 2 O 3. 2% by weight of MoO 3 based on the mixture, 100 parts by weight of this mixture, 2.5% by weight of ethyl cellulose, 0.5% by weight of nitrocellulose and 40% by weight of DBP were added. Using a mixture sufficiently kneaded with a mixture, a coating was formed with a thickness of 15 μm. In addition, conductive patterns 7 and electrode terminals 8 are formed on each of both main surfaces of the green ceramic sheet by a printing method, and ink is buried in a hole penetrating a part of the green ceramic sheet to form a via hole 9. Formed.
【００１６】そして、このような生セラミックシートを
生セラミックからなるセラミックロッド２の外周面に巻
き付け、そして、還元雰囲気中１４００〜１７００℃で
一体焼成してセラミックヒータ１が得られる（この焼成
によって黒色化成分であるＭｎが０．５重量％もしくは
それ以上含有した厚み１２〜１３μｍの黒色化した熱放
射性膜６が被覆形成される）。その後に電極端子８の上
にヒータ端子１０をロウ付けする。Then, such a green ceramic sheet is wound around the outer peripheral surface of a ceramic rod 2 made of green ceramic, and then integrally fired at 1400 to 1700 ° C. in a reducing atmosphere to obtain a ceramic heater 1 (black by this firing). The blackened heat-radiating film 6 having a thickness of 12 to 13 μm containing 0.5% by weight or more of Mn, which is an oxidation component, is formed. After that, the heater terminal 10 is brazed on the electrode terminal 8.
【００１７】かくして得られたセラミックヒータ１の熱
放射率を図３の測定装置１２を用いて測定した。この装
置１２はＳＵＳパイプ１３（外径φ３２ｍｍ、長手寸法
２７０ｍｍ）の内部中心軸にそってセラミックヒータ１
（外径φ１１．５５ｍｍ、長手寸法９６ｍｍ）を配し
て、その端部２０ｍｍ寸法間にＳＵＳからなるリング状
体１４に貫入されている。そして、発熱抵抗体パターン
５に電力印加（１００Ｖ−１５．３７Ω）すると熱放射
されるが、部位Ａ（ＳＵＳパイプ１３の外周面の端より
４２ｍｍの部位）および部位Ｂ（セラミックヒータ１の
外周面の部位Ａに対応する部位）の各温度を測定すると
ともに、このような温度に至るまでの印加電力を測定し
たところ、印加電力：１７７．５６Ｗ、部位Ａ：４７７
℃、部位Ｂ：９４１℃となった。The thermal emissivity of the ceramic heater 1 thus obtained was measured using the measuring device 12 shown in FIG. This device 12 is provided with a ceramic heater 1 along an inner central axis of a SUS pipe 13 (outer diameter φ32 mm, longitudinal dimension 270 mm).
(Outer diameter φ11.55 mm, longitudinal dimension 96 mm), and penetrates the ring-shaped body 14 made of SUS between the end 20 mm dimensions. When electric power is applied to the heating resistor pattern 5 (100 V-15.37Ω), heat is radiated, but the portion A (the portion 42 mm from the end of the outer peripheral surface of the SUS pipe 13) and the portion B (the outer peripheral surface of the ceramic heater 1). And the applied power up to such a temperature was measured. The applied power was 177.56 W, and the portion A was 477.
° C, site B: 941 ° C.
【００１８】これに対して、熱放射性膜６を形成せず、
その他の構成を本発明と同じにしたものを比較例とし、
同様に測定したところ、印加電力：１６８．９２Ｗ、部
位Ａ：４７６℃、部位Ｂ：１０００℃となった。On the other hand, without forming the heat radiation film 6,
As a comparative example, the other configuration is the same as the present invention,
When measured similarly, the applied power was 168.92 W, the site A was 476 ° C, and the site B was 1000 ° C.
【００１９】この結果から明らかなとおり、本発明のセ
ラミックヒータ１の部位Ｂの温度を、比較例の部位Ｂと
比べ低下させても、双方の部位Ａをほぼ同じ温度に加熱
することができた。また、上記実施例では、ＭｏＯ3 を
黒色化成分のために出発原料に使用したが、これに代え
てＷ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｔｉの酸化物を
使用しても同様な結果が得られた。As is apparent from the results, even when the temperature of the portion B of the ceramic heater 1 of the present invention was lowered as compared with the portion B of the comparative example, both portions A could be heated to substantially the same temperature. . In the above embodiment, MoO 3 was used as a starting material for the blackening component. However, the same applies when an oxide of W, Ni, Cr, Fe, Co, Mn, or Ti is used instead. The result was obtained.
【００２０】また、本発明と比較例の両者セラミックヒ
ータに対して、印加電力およびヒーター温度との関係を
測定したところ、図４に示すとおりの結果が得られた。
なお、このヒーター温度はヒータ単体で自己発熱させた
場合の表面最高温度部での測定温度である。When the relationship between the applied power and the heater temperature was measured for both the ceramic heaters of the present invention and the comparative example, the results shown in FIG. 4 were obtained.
The heater temperature is a temperature measured at the highest temperature portion of the surface when the heater itself generates heat.
【００２１】同図から明らかなとおり、遠赤外線の放射
率が低い比較例のセラミックヒータにおいては、蓄熱効
果によって小さい消費電力でもって昇温させることがで
きるのに対して、遠赤外線の放射率が高い本発明のセラ
ミックヒータでは、高い熱放散性のために消費電力が高
くなっている。すなわち、本発明のセラミックヒータ
は、熱放射率が高いために、熱を周囲に有効に放散で
き、そして、被加熱体を有効に加熱できる。As can be seen from the figure, in the ceramic heater of the comparative example having a low far-infrared emissivity, the temperature can be raised with a small power consumption due to the heat storage effect, while the far-infrared emissivity is low. In the high ceramic heater of the present invention, power consumption is high due to high heat dissipation. That is, since the ceramic heater of the present invention has a high thermal emissivity, heat can be effectively radiated to the surroundings, and the object to be heated can be effectively heated.
【００２２】（例２）（例１）の本発明セラミックヒー
タ１はＭｏＯ3 を黒色化成分のために２重量％添加した
場合であるが、その添加量と熱放射性膜の厚みを幾とお
りにも変え、その他は同じ構成のセラミックヒータを作
製し、それぞれの熱放射性能を測定したところ、表１に
示すとおりの結果が得られた。この測定データについて
は図３の測定装置を用いて、同様に部位Ａの温度値を４
７６〜４７７℃にまで昇温するための印加温度および部
位Ｂを示す。(Example 2) In the ceramic heater 1 of the present invention of (Example 1), MoO 3 was added in an amount of 2% by weight for a blackening component, and the amount of addition and the thickness of the heat-radiating film were varied. The ceramic heaters having the same configuration were manufactured, and the heat radiation performance of each heater was measured. The results shown in Table 1 were obtained. Using the measurement device of FIG.
The application temperature and site B for raising the temperature to 76 to 477 ° C are shown.
【００２３】[0023]
【表１】 [Table 1]
【００２４】同表から明らかなとおり、試料Ｎｏ．２〜
試料Ｎｏ．４、試料Ｎｏ．７、試料Ｎｏ．８について
は、黒色化成分量の少ない試料Ｎｏ．１、熱放射性膜の
厚みの小さい試料Ｎｏ．５、６での部位Ｂと対比して低
下しているが、いずれも部位Ａをほぼ同じ温度に加熱す
ることができた。As is clear from the table, the sample No. Two
Sample No. 4, sample no. 7, sample no. Sample No. 8 having a small amount of blackening component Sample No. 1 having a small thickness of the heat radiation film. Although the temperature was lower than that of the site B at 5 and 6, the site A could be heated to almost the same temperature in each case.
【００２５】つぎにＭｏＯ3 に代えて、Ｗ、Ｎｉ、Ｃ
ｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｔｉの酸化物を用いた場合を表
２により示す。Next, instead of MoO 3 , W, Ni, C
Table 2 shows the case where oxides of r, Fe, Co, Mn, and Ti were used.
【００２６】[0026]
【表２】 [Table 2]
【００２７】同表によれば、試料Ｎｏ．１１、１５、１
８、２４では、黒色化成分量が少ないために、他の試料
と比べ部位Ｂの温度が上昇していることがわかる。According to the table, the sample No. 11, 15, 1
8 and 24, since the amount of the blackening component is small, the temperature of the portion B is higher than that of the other samples.
【００２８】なお、本発明は上記実施形態例に限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種
々の変更や改善は何ら差し支えない。たとえばセラミッ
クロッド２のほぼ外周面全体を熱放射性膜６で被覆した
り、もしくは発熱部付近の外周面だけに熱放射性膜６を
設けてもよい。さらに上記実施形態例のようにセラミッ
ク基体がロッド状である場合の他に板状や円柱状であっ
てもよい。The present invention is not limited to the above embodiment, and various changes and improvements may be made without departing from the scope of the present invention. For example, substantially the entire outer peripheral surface of the ceramic rod 2 may be covered with the heat radiating film 6, or the heat radiating film 6 may be provided only on the outer peripheral surface near the heat generating portion. Furthermore, in addition to the case where the ceramic base is rod-shaped as in the above-described embodiment, the ceramic base may be plate-shaped or column-shaped.
【００２９】[0029]
【発明の効果】以上のとおり、本発明のセラミックヒー
タによれば、セラミック基体の熱放射面にＭｏ、Ｗ、Ｎ
ｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｔｉのうち少なくとも一
種を含有するセラミックからなる熱放射性膜を形成した
ことで、熱放射性が顕著に向上し、これにより、ヒータ
自体の温度を下げながらも、対象物を所要どおりに加熱
でき、その結果、クラックや断線が発生しない長寿命の
セラミックヒータが提供できた。As described above, according to the ceramic heater of the present invention, Mo, W, N
By forming a heat-radiating film made of a ceramic containing at least one of i, Cr, Fe, Co, Mn, and Ti, the heat radiation property is remarkably improved, thereby lowering the temperature of the heater itself, The object can be heated as required, and as a result, a long-life ceramic heater free from cracks and disconnections can be provided.
【図１】本発明のセラミックヒータの正面図である。FIG. 1 is a front view of a ceramic heater according to the present invention.
【図２】図１における縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view in FIG.
【図３】ヒータの熱放射率測定装置の概略断面図であ
る。FIG. 3 is a schematic sectional view of a thermal emissivity measuring device for a heater.
【図４】印加電力およびヒーター温度との関係を示す線
図である。FIG. 4 is a diagram showing a relationship between applied power and heater temperature.
１ セラミックヒータ ２ セラミックロッド ３ コート層 ４ セラミック基体 ５ 発熱抵抗体パターン ６ 熱放射性膜 ７ 導通パターン ８ 電極端子 ９ ビヤホール １０ ヒータ端子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ceramic heater 2 Ceramic rod 3 Coat layer 4 Ceramic base 5 Heating resistor pattern 6 Thermal radiation film 7 Conduction pattern 8 Electrode terminal 9 Via hole 10 Heater terminal
Claims (1)
ク基体の熱放射面にＭｏ、Ｗ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃ
ｏ、Ｍｎ、Ｔｉのうち少なくとも一種を含有するセラミ
ックからなる熱放射性膜を形成してなるセラミックヒー
タ。1. A heat radiation surface of a ceramic substrate in which a heating resistor pattern is buried, wherein Mo, W, Ni, Cr, Fe, C
A ceramic heater in which a heat radiation film made of a ceramic containing at least one of o, Mn, and Ti is formed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10785997A JPH10302938A (en) | 1997-04-24 | 1997-04-24 | Ceramic heater |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10785997A JPH10302938A (en) | 1997-04-24 | 1997-04-24 | Ceramic heater |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10302938A true JPH10302938A (en) | 1998-11-13 |
Family
ID=14469888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10785997A Pending JPH10302938A (en) | 1997-04-24 | 1997-04-24 | Ceramic heater |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10302938A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020019120A1 (en) * | 2018-07-23 | 2020-01-30 | 湖北中烟工业有限责任公司 | Ceramic heater and preparation method and use of ceramic heater |
-
1997
- 1997-04-24 JP JP10785997A patent/JPH10302938A/en active Pending
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| RU2758588C1 (en) * | 2018-07-23 | 2021-11-01 | Чайна Тобэкко Хубэй Индастриал Корпорейшн Лимитед | Ceramic heating element, method for its manufacture and its application |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040810 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041012 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050111 |