JPH10293075A - Instrument for measuring amount of leakage - Google Patents
Instrument for measuring amount of leakageInfo
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- JPH10293075A JPH10293075A JP10317897A JP10317897A JPH10293075A JP H10293075 A JPH10293075 A JP H10293075A JP 10317897 A JP10317897 A JP 10317897A JP 10317897 A JP10317897 A JP 10317897A JP H10293075 A JPH10293075 A JP H10293075A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は容器のリーク量を測
定するリーク量測定装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a leak amount measuring device for measuring a leak amount of a container.
【0002】[0002]
【従来の技術】今日では部品等の信頼性を向上させるた
めに容器に密封することがある。この場合、容器に部品
等を密封しても容器がリークするようなものでは信頼性
が向上できず、容器のリーク量を測定する必要がある。2. Description of the Related Art At present, parts are sometimes hermetically sealed in order to improve the reliability of parts and the like. In this case, the reliability cannot be improved if the container leaks even if the parts are sealed in the container, and it is necessary to measure the leak amount of the container.
【0003】また、自動車等においてはエアコンディシ
ョニング用の機器が搭載され、これらの機器にリークが
あった場合ガス漏れが発生するため、リーク量が規定値
以内であるかを判定しなければならない。従来、低リー
ク量を測定する方法としては、例えばハロゲン,ヘリウ
ム等のガスを使用する方法、真空放置法、差圧法等があ
る。[0003] In addition, vehicles and the like are equipped with air conditioning equipment, and if there is a leak in these devices, gas leakage occurs. Therefore, it is necessary to determine whether the leak amount is within a specified value. Conventionally, methods for measuring a low leak amount include a method using a gas such as halogen and helium, a vacuum standing method, a differential pressure method, and the like.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ガスによる方法は10
-9cc/sec程度のリーク量を容易に測定することができる
が、ガスを使用するためにランニングコストが高く、リ
ークしたガス量を検出する測定装置が複雑高価で、更に
ガスがリークして測定できるようになるまでの時間(応
答時間)が長くなり、流れ作業によって作られる製品の
リーク量を測定するには測定系が膨大となる欠点があ
る。The method using gas is 10
The leak amount of about -9 cc / sec can be easily measured, but the running cost is high because the gas is used, the measuring device for detecting the leaked gas amount is complicated and expensive, and the gas leaks. The time required for the measurement (response time) becomes long, and there is a disadvantage that the measurement system is enormous in measuring the leak amount of the product produced by the assembly work.
【0005】また真空放置法は検査物の容器の圧力を設
定した圧力(真空)にして放置し、所定時間後の容器の
圧力との差よりリーク量を測定する方法であるが、低リ
ーク量の場合はリーク量が測定可能となる圧力に変化す
るまでに長時間を要する欠点がある。[0005] The vacuum leaving method is a method of measuring the leak amount from the difference between the pressure of the container and the pressure of the container after a predetermined period of time, by leaving the container of the test object at a set pressure (vacuum) and leaving it to stand. In the case of (1), there is a disadvantage that it takes a long time until the leak amount changes to a pressure at which measurement is possible.
【0006】また差圧法は、図5に示すように、マスタ
チャンバ1および取付具2に取付けられた検査物3を排
気ポンプ5で排気し、所定の気圧に排気されたならばバ
ルブV1 およびV2 を閉じ、バルブV3 およびV4 を開
いて差圧計4で差圧を測定してリーク量を測定するもの
である。[0006] differential pressure method, as shown in FIG. 5, the inspected object 3 which is attached to the master chamber 1 and the mount 2 is evacuated by the exhaust pump 5, the valve V 1 and if it is evacuated to a predetermined pressure close V 2, and measures the amount of leakage by measuring the differential pressure in the differential pressure gauge 4 by opening the valve V 3 and V 4.
【0007】 すなわち、時間t=T1 で測定した差圧をDP1 時間t=T1 +Tで測定した差圧をDP2 取付具+検査物の容積をQ とすると、リーク量Lは L=Q(DP1 −DP2 )/T ……(1) で算出することができる。That is, assuming that the differential pressure measured at time t = T 1 is DP 1, the differential pressure measured at time t = T 1 + T is the DP 2 fixture + the volume of the inspection object is Q, the leak amount L is L = Q (DP 1 −DP 2 ) / T (1)
【0008】この方法によればリーク量が10-2cc/sec
程度のものを容易に短時間で測定することができる。し
かし、流れ作業で出来上った製品には多くの水蒸気やそ
の他のガスが含まれており、10-5cc/sec以下のリーク
量を測定するには、これらのガスが放出され、測定され
たリーク量に多くの誤差が含まれ、実際上使いものには
ならなかった。According to this method, the leak amount is 10 −2 cc / sec.
The degree can be easily measured in a short time. However, the products produced by the line work contain a lot of water vapor and other gases, and these gases are released and measured to measure the leak rate of 10 -5 cc / sec or less. The leak amount contained many errors and was not practical.
【0009】本発明は簡単な装置構成で短時間に正確に
リーク量を測定可能にしたリーク量測定装置を提供する
ことを課題とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a leak amount measuring device capable of accurately measuring a leak amount in a short time with a simple device configuration.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、本発明が採用した手段を説明する。第1の発明に
おいては、マスタチャンバと取付具に取付けられた検査
物の空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の変化
より前記検査物のリーク量を測定するリーク量測定装置
において、前記検査物より放出されるガスの放出流量に
対応した値を予め記録する放出流量記録部と、前記両者
の差圧測定時に、前記放出流量記録部に記録されている
放出流量に対応した気体を前記マスタチャンバに放出す
る気体放出手段と、を備える。[Means for Solving the Problems] Means adopted by the present invention to solve the above problems will be described. In the first invention, a leak amount measuring device for measuring the leak amount of the test object based on a change in a differential pressure between the master chamber and the test object attached to the fixture after exhausting air from the test object and sealing the test object. In the discharge flow rate recording unit that pre-records a value corresponding to the discharge flow rate of the gas released from the inspection object, and at the time of measuring the pressure difference between the two, the discharge flow rate recorded in the discharge flow rate recording unit Gas releasing means for releasing gas into the master chamber.
【0011】検査物より放出されるガスの放出流量に対
応する値を予め記録し、差圧測定時に記録されている放
出流量に対応する気体をマスタチャンバに放出するよう
にしたので、検査物より放出されるガスによる圧力の変
化は打消され、真のリーク量を測定することができる。A value corresponding to the discharge flow rate of the gas released from the test object is recorded in advance, and the gas corresponding to the discharge flow rate recorded at the time of measuring the differential pressure is discharged to the master chamber. The change in pressure due to the released gas is canceled out, and the true leak amount can be measured.
【0012】第2の発明においては、前記気体放出手段
を、気体を設定した圧力に調圧するレギュレータと、該
レギュレータで調圧された気体を前記マスタチャンバに
放出するノズルと、前記放出流量記録部に記録されてい
る放出量が前記ノズルより放出されるよう前記レギュレ
ータの圧力を設定する流量圧力変換部と、で構成する。In the second invention, a regulator for regulating the gas discharge means to a gas set pressure, a nozzle for releasing the gas regulated by the regulator to the master chamber, and a discharge flow recording unit And a flow rate pressure converter for setting the pressure of the regulator so that the discharge amount recorded in the nozzle is discharged from the nozzle.
【0013】マスタチャンバに気体を放出する気体放出
手段を気体の圧力を調整するレギュレータとノズルとで
構成し、レギュレータの圧力を変化させて放出量を変化
させるようにしたので、簡単な構成で正確な気体の放出
を行うことができる。第3の発明においては、前記放出
流量記録部に記録する放出流量を、前記取付具に検査物
と同一種類の検査物を取付け、空気を排気して密封直後
の差圧と長時間排気後または複数回排気して放出ガス量
が無視できるようになった状態での差圧より放出流量を
求める。The gas releasing means for releasing gas into the master chamber is composed of a regulator and a nozzle for adjusting the pressure of the gas, and the amount of release is changed by changing the pressure of the regulator. It is possible to release a gas. In the third invention, the discharge flow rate recorded in the discharge flow rate recording section is obtained by attaching a test object of the same type as the test object to the fixture, evacuating air, and a differential pressure immediately after sealing and after evacuation for a long time or The discharge flow rate is determined from the differential pressure in a state in which the discharge gas amount can be ignored by exhausting a plurality of times.
【0014】取付具に検査物と同一種類の検査物を取付
けて排気し、排気直後の差圧と長時間排気後の差圧より
算出されたリーク量の差より放出ガスの流量を求めるよ
うにしたので、放出流量記録部に記録する放出流量を特
別な装置を必要とせずに正確に求めることができる。An inspection object of the same type as the inspection object is mounted on the fixture and exhausted, and the flow rate of the released gas is obtained from the difference between the differential pressure immediately after exhaustion and the leak amount calculated from the differential pressure after exhaustion for a long time. Therefore, the discharge flow rate recorded in the discharge flow rate recording unit can be accurately obtained without requiring a special device.
【0015】第4の発明においては、前記ノズルより前
記マスタチャンバに放出する気体を空気とする。マスタ
チャンバに放出する気体を空気としたので、特別な気体
を必要とせず、ランニングコストを低下させることがで
きる。In a fourth aspect of the present invention, the gas discharged from the nozzle to the master chamber is air. Since the gas released to the master chamber is air, no special gas is required and the running cost can be reduced.
【0016】また第5の発明においては、前記マスタチ
ャンバと取付具に取付けられた検査物との間の差圧を測
定する測定系を、差圧計と、差圧計の一方の入力と前記
マスタチャンバとの間にバルブ(V3 )を、差圧計の他
方の入力と前記取付具との間にバルブ(V4 )を、また
前記マスタチャンバおよび検査物の排気を行う排気手段
と差圧計の両入力との間にそれぞれバルブ(V5 ,
V6 )を設け、差圧の測定開始時に先ず排気手段に接続
された開状態の両バルブ(V5 ,V6 )に前記マスタチ
ャンバおよび取付具に接続されている両バルブ(V3 ,
V4 )を開にし、その後排気手段に接続された両バルブ
(V5 ,V6 )を閉にして差圧測定を開始する。According to a fifth aspect of the present invention, a measuring system for measuring a differential pressure between the master chamber and an inspection object attached to a fixture is provided by: a differential pressure gauge; one input of the differential pressure gauge; both of the exhaust means and a differential pressure gauge that performs the exhaust valve (V 3), the valve (V 4) between the second input and the fitting of the differential pressure gauge, also the master chamber and inspected between Valves (V 5 ,
V 6) to provided, both valves of the connected open state to first exhaust means at the start of measurement of the differential pressure (V 5, V 6) two valve wherein connected to the master chamber and fixture (V 3,
V 4 ) is opened, and then both valves (V 5 , V 6 ) connected to the exhaust means are closed to start differential pressure measurement.
【0017】差圧の測定開始時に、先ず差圧計の両入力
を排気手段に接続して排気し、その後マスタチャンバお
よび取付具と接続して差圧を測定するようにしたので、
差圧計の振動がなくなり、直ちに差圧を測定することが
でき、正確なリーク量を測定することができる。At the start of the measurement of the differential pressure, first, both inputs of the differential pressure gauge are connected to the exhaust means to exhaust the gas, and then the differential pressure is measured by connecting the master chamber and the fixture.
The vibration of the differential pressure gauge is eliminated, the differential pressure can be measured immediately, and the accurate leak amount can be measured.
【0018】[0018]
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図1〜図
3を参照して説明する。図1は本発明の実施例の構成
図、図2および図3は同実施例の動作フローチャートで
ある。図1において、1はマスタチャンバ、2は検査物
3を取付ける取付具、4は差圧計、5は排気ポンプ、6
は空気圧を調整するレギュレータ、7はレギュレータ6
で調圧された空気をマスタチャンバ1に放出するノズ
ル、8および9は圧力計、V1 〜V8 はバルブである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are operation flowcharts of the embodiment. In FIG. 1, 1 is a master chamber, 2 is a fixture for mounting an inspection object 3, 4 is a differential pressure gauge, 5 is an exhaust pump, 6
Is a regulator for adjusting air pressure, 7 is a regulator 6
In the nozzle to release the pressure-regulated air to the master chamber 1, 8 and 9 a pressure gauge, V 1 ~V 8 is a valve.
【0019】また、11はマスタチャンバに放出する放
出流量を記録する放出流量記録部、12は放出流量記録
部11に記録されている放出流量がマスタチャンバに放
出するようにレギュレータ6の圧力に変換する流量圧力
変換部、13はレギュレータ制御部、14はリーク量算
出部、15は制御部、16はインタフェース(I/
O)、17は処理を実行するプロセッサ(CPU)であ
る。Reference numeral 11 denotes a discharge flow rate recording unit for recording the discharge flow rate discharged to the master chamber, and 12 denotes a pressure of the regulator 6 so that the discharge flow rate recorded in the discharge flow rate recording unit 11 is discharged to the master chamber. 13 is a regulator control unit, 14 is a leak amount calculation unit, 15 is a control unit, and 16 is an interface (I /
O) and 17 are processors (CPU) that execute processing.
【0020】まず放出流量記録部11に記録する放出流
量について説明する。検査物を或る真空圧にしたとき、
検査物には水蒸気やその他のガスが含まれているため、
図4に示すように、ガスが放出される。ガスの放出流量
は、始めは多く、時間とともに減少し、長時間真空状態
にすると殆んどのガスが放出されてガスの放出が無くな
る。マスタチャンバ1や取付具2は、リークが無く、か
つ、このようにエージングされた状態のものが使用され
る。First, the discharge flow rate recorded in the discharge flow rate recording section 11 will be described. When the test object is at a certain vacuum pressure,
Since the test object contains water vapor and other gases,
Gas is released as shown in FIG. The gas discharge flow rate is initially large and decreases with time. When a vacuum is applied for a long time, most of the gas is released and the gas is not released. As the master chamber 1 and the mounting fixture 2, those having no leak and being aged in this way are used.
【0021】放出流量記録部に記録する放出流量は、先
ず検査物と同一種類の検査物を取付具2に取付け、設定
真空圧になったときの差圧計4の差圧を前述した式
(1)に代入してリーク量L1 を求める。この求められ
たL1 には真のリーク量に加えて放出ガス量も含まれて
いる。The discharge flow rate to be recorded in the discharge flow rate recording section is obtained by first mounting the test object of the same type as the test object on the fixture 2, and calculating the differential pressure of the differential pressure gauge 4 when the set vacuum pressure is reached, using the above-mentioned formula (1). ) by substituting the determined amount of leakage L 1. Also it includes discharge gas amount in addition to the true amount of leakage in the thus determined was L 1.
【0022】次に真空状態を長時間保った後、または何
度も真空状態をくり返す等を行って放出ガスが無視でき
るような状態で再度設定真空圧にし、式(1)よりリー
ク量L2 を求める。このようにして求めたL2 は真のリ
ーク量のみとなる。そこで、L1 −L2 の演算を行ない
放出流量L3 を算出し、放出流量記録部11に予め記録
する。なおマスタチャンバ1の容量Q′と取付具2+検
査物3の容量Qが等しくない場合は、(L1 −L2 )
Q′/Qを放出流量L3 として記録する。Next, after maintaining the vacuum state for a long time, or by repeating the vacuum state many times, the set vacuum pressure is again set in a state where the released gas can be neglected. Ask for 2 . Thus L 2 obtained by the is only true leakage quantity. Therefore, the discharge flow rate L 3 is calculated by performing the calculation of L 1 −L 2 and recorded in the discharge flow rate recording unit 11 in advance. In the case the capacity of the master chamber 1 Q 'and capacity Q fixture 2+ inspected 3 are unequal, (L 1 -L 2)
The Q '/ Q is recorded as the release flow rate L 3.
【0023】つぎに流量圧力変換部12について説明す
る。ノズル7の孔の直径およびマスタチャンバ1の真空
圧が決まれば、レギュレータ6で調圧する圧力とマスタ
チャンバ1に放出される放出流量の関係を求めることが
できる。Next, the flow rate pressure converter 12 will be described. If the diameter of the hole of the nozzle 7 and the vacuum pressure of the master chamber 1 are determined, the relationship between the pressure regulated by the regulator 6 and the discharge flow discharged to the master chamber 1 can be obtained.
【0024】ノズル7の直径を精密に測定してレギュレ
ータ1の圧力を求めることもできるが、従来例で説明し
たガスを用いる方法等によって圧力と放出流量の関係を
求めるようにしてもよい。流量圧力変換部12には、こ
のようにして得られた放出流量に対応するレギュレータ
の圧力を予め記録する。Although the pressure of the regulator 1 can be obtained by precisely measuring the diameter of the nozzle 7, the relationship between the pressure and the discharge flow rate may be obtained by the method using gas described in the conventional example. The pressure of the regulator corresponding to the discharge flow rate thus obtained is recorded in the flow rate pressure converter 12 in advance.
【0025】また、レギュレータ制御部13は、後述す
るリーク量測定中は、放出流量記録部11に記録されて
いる放出流量を読出し、読出した放出流量に対応する圧
力を流量圧力変換部12により変換し、I/O16を介
して入力される圧力計8の圧力が流量圧力変換部12で
変換された圧力となるようにI/O16を介してレギュ
レータ6を制御する。The regulator control unit 13 reads the discharge flow rate recorded in the discharge flow rate recording unit 11 during the leak amount measurement described later, and converts the pressure corresponding to the read discharge flow rate by the flow rate pressure conversion unit 12. Then, the regulator 6 is controlled via the I / O 16 so that the pressure of the pressure gauge 8 input via the I / O 16 becomes the pressure converted by the flow pressure converter 12.
【0026】つぎに図2および図3を参照して実施例の
動作を説明する。先ず、検査物3を取付具2に取付けて
動作が開始される。ステップS1では、制御部15は、
先ず各バルブV1 〜V8 の初期設定を行なう。Next, the operation of the embodiment will be described with reference to FIGS. First, the inspection object 3 is attached to the fixture 2, and the operation is started. In step S1, the control unit 15
First performs initial setting of each valve V 1 ~V 8.
【0027】すなわち、バルブV8 (以後バルブは略し
Vn とする)を閉じて取付具2に空気が吸気されるのを
防止する。またV3 およびV4 を閉じ、V1 ,V2 ,V
5 ,V6 およびV7 を開とする。ステップS2では、ス
テップS1でV1 およびV2 が開となると排気ポンプ5
によりマスタチャンバ1および検査物3と取付具2内に
ある空気が排気される。[0027] That is, the air in the mount 2 by closing the valves V 8 (hereinafter valve and short V n) is prevented from being intake. The closed V 3 and V 4, V 1, V 2 , V
5, the V 6 and V 7 to open. In step S2, the exhaust pump and V 1 and V 2 is opened at step S1 5
As a result, air in the master chamber 1, the inspection object 3, and the fitting 2 is exhausted.
【0028】ステップS3では、制御部15は、圧力計
9の指示する圧力をI/O16を介して読込み、測定開
始準備圧力になったか否かを判定し、準備圧力になるま
で待機する。すなわち、リーク量測定時の圧力(設定圧
力)に達するまでに設けられた準備圧力になるまで待機
する。In step S3, the control section 15 reads the pressure indicated by the pressure gauge 9 via the I / O 16, determines whether or not the pressure has reached the measurement start preparation pressure, and waits until the preparation pressure is reached. That is, the process waits until the pressure reaches the pressure (set pressure) at the time of measuring the leak amount (set pressure).
【0029】ステップS4では、制御部15は、準備圧
力になるとV3 およびV4 を開とし、その後V5 および
V6 を閉じるよう指示する。このように、先ずV5 およ
びV6 を開にした状態でV3 およびV4 を開にしV 5 お
よびV6 を閉じる理由は、短時間で差圧計4の振れを停
止させるためである。In step S4, the controller 15 sets the preparatory pressure
V when it comes to strengthThreeAnd VFourAnd then VFiveand
V6To close. Thus, first, VFiveAnd
And V6With V openThreeAnd VFourOpen and V FiveYou
And V6The reason for closing is that the swing of differential pressure gauge 4 stops in a short time.
It is to stop.
【0030】高感度の差圧計は振動の周期が長く、最初
に大きな差圧があるものを入力した場合は大きく振動
し、その振動が停止するまでには長時間を要する。そこ
で、先ず同じV5 およびV6 を開状態として同じ圧力の
ものを入力し、次にV3 およびV4 を開いても、その差
圧による影響は無視できるようになり、V5 およびV6
を閉じて差圧の測定を開始させるようにしている。A high-sensitivity differential pressure gauge has a long oscillation cycle, and when a signal having a large differential pressure is inputted first, it vibrates greatly, and it takes a long time until the oscillation stops. Therefore, first type having the same pressure the same V 5 and V 6 is opened condition, then even open V 3 and V 4, the influence due to the pressure difference becomes negligible, V 5 and V 6
Is closed to start measuring the differential pressure.
【0031】このように短時間で差圧の測定を開始でき
るようにすることにより正確なリーク量を測定すること
ができる。すなわち、放出ガス量は、図4で説明したよ
うに、時間とともに大きく変化する。したがって、振動
が停止するまでの時間が大きく異なった場合は、放出流
量記録部11に記録されている放出流量と実際に検査物
より放出されるガス量に違いを生じ、リーク量の測定結
果に大きな誤差を生ずるが、短時間で測定可能であれば
記録されている放出流量と同じとなり、誤差が含まれな
くなる。By enabling the measurement of the differential pressure to be started in a short time, an accurate leak amount can be measured. That is, the amount of released gas greatly changes with time as described with reference to FIG. Therefore, if the time until the vibration stops is greatly different, a difference occurs between the discharge flow rate recorded in the discharge flow rate recording unit 11 and the gas amount actually discharged from the inspection object, and the measurement result of the leak amount Although a large error occurs, if it can be measured in a short time, it will be the same as the recorded discharge flow rate, and the error will not be included.
【0032】つぎに、また動作にもどって、ステップS
5では、制御部15は、圧力計9の指示する圧力が設定
圧力になったか否かを判定し、設定圧力となるまで待機
する。ステップS6では、制御部15は、V1 およびV
2 を閉じて排気を停止させる。Next, returning to the operation, step S
In 5, the control unit 15 determines whether the pressure indicated by the pressure gauge 9 has reached the set pressure, and waits until the pressure reaches the set pressure. In step S6, the control unit 15 determines that V 1 and V
Close 2 to stop evacuation.
【0033】ステップS7では、制御部15は、差圧計
4の指示する差圧DP1 を取込み、ステップS8に移っ
て設定時間(T)経過させ、ステップS9に移って差圧
DP 2 を取込む。ステップS10では、リーク量算出部
14は、式(1)に基づいてDP1 およびDP2 よりリ
ーク量Lを算出して出力する。In step S7, the control unit 15 controls the differential pressure gauge
Differential pressure DP indicated by 41And proceed to step S8.
After a set time (T) has elapsed, the process proceeds to step S9, where the differential pressure
DP TwoTake in. In step S10, the leak amount calculation unit
14 is DP based on equation (1).1And DPTwoMore
The calculated amount L is output.
【0034】ステップS11では、制御部15は、
V3 、V4 およびV7 を閉じてステップS12に移り、
V8 を開にして取付具2と検査物3内に空気を流し込み
大気圧にする。ステップS13では、検査物3を交換す
る。In step S11, the control unit 15
Close V 3 , V 4 and V 7 and move to step S12,
To atmospheric pressure pouring air and the V 8 to open the inspection object 3 and the mount 2. In step S13, the inspection object 3 is exchanged.
【0035】ステップS13で検査物3の交換が終了す
ると、ステップS14に移り、制御部15は、V8 を閉
じ、V5 ,V6 およびV7 を開にすると共にV1 および
V2を開にして排気を開始し、以下ステップS2に移
り、ステップS2〜S14が繰り返される。[0035] When the replacement of the test object 3 in step S13 is completed, the flow proceeds to step S14, the control unit 15 closes the V 8, the V 1 and V 2 as well as the V 5, V 6 and V 7 to Open Open , And the process proceeds to step S2, and steps S2 to S14 are repeated.
【0036】なお実施例では放出流量記録部11に記録
する放出流量を1点としたが、この場合はステップS8
で設定した時間Tが小さい場合であって、Tが大の場合
は時間T内の放出流量を複数個記録させ、時間の経過と
ともに放出流量を変化させれば正確なリーク量を測定す
ることができる。In the embodiment, the discharge flow rate recorded in the discharge flow rate recording unit 11 is set to one point.
When the time T set in the above is small, and when T is large, a plurality of discharge flow rates within the time T are recorded, and if the discharge flow rate is changed with time, an accurate leak amount can be measured. it can.
【0037】また実施例では、ステップS7〜S10に
よりリーク量を算出していたが、ステップS7〜S10
を複数回行って複数個のリーク量を算出し、算出された
複数個の平均値をリーク量として出力するようにしても
よい。In the embodiment, the leak amount is calculated in steps S7 to S10.
May be performed a plurality of times to calculate a plurality of leak amounts, and output the calculated plurality of average values as the leak amount.
【0038】[0038]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次
の効果が得られる。検査物より放出されるガスの放出流
量に対応する値を予め記録し、差圧測定時に記録されて
いる放出流量に対応する気体をマスタチャンバに放出す
るようにしたので、検査物より放出されるガスによる圧
力の変化は差圧測定値には打消されて測定されず、真の
リーク量を測定することができる。As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained. A value corresponding to the release flow rate of the gas released from the test object is recorded in advance, and the gas corresponding to the release flow rate recorded at the time of measuring the differential pressure is released to the master chamber. The change in pressure due to the gas is canceled out by the differential pressure measurement value and is not measured, and the true leak amount can be measured.
【0039】また、マスタチャンバに気体を放出する気
体放出手段を気体の圧力を調整するレギュレータとノズ
ルとで構成し、レギュレータの圧力を変化させて放出量
を変化させるようにしたので、簡単な構成で正確な気体
の放出を行うことができる。また、取付具に検査物と同
一種類の検査物を取付けて排気し、排気直後の差圧と長
時間排気後の差圧より算出されたリーク量の差より放出
ガスの流量を求めるようにしたので、放出流量記録部に
記録する放出流量を特別な装置を必要とせずに正確に求
めることができる。Further, the gas discharging means for discharging gas into the master chamber is composed of a regulator for adjusting the gas pressure and a nozzle, and the discharge amount is changed by changing the pressure of the regulator. And accurate gas release can be performed. In addition, the same type of inspection object as the inspection object is attached to the fixture and exhausted, and the flow rate of the released gas is obtained from the difference between the differential pressure immediately after exhaustion and the leak amount calculated from the differential pressure after long-time exhaustion. Therefore, the discharge flow rate recorded in the discharge flow rate recording section can be accurately obtained without requiring any special device.
【0040】また、マスタチャンバに放出する気体を空
気としたので、特別な気体を必要とせず、ランニングコ
ストを低下させることができる。また、差圧の測定開始
時に、先ず差圧計の両入力を排気手段に接続して排気
し、その後マスタチャンバおよび取付具と接続して差圧
を測定するようにしたので、差圧計の振動がなくなり、
直ちに差圧を測定することができ、正確なリーク量を測
定することができる。Further, since the gas released to the master chamber is air, no special gas is required and the running cost can be reduced. Also, at the start of the measurement of the differential pressure, first, both inputs of the differential pressure gauge are connected to the exhaust means to exhaust the gas, and then the differential pressure is measured by connecting the master chamber and the fixture. Gone
The differential pressure can be measured immediately, and the accurate leak amount can be measured.
【図1】本発明の実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.
【図2】同実施例の動作フローチャートである。FIG. 2 is an operation flowchart of the embodiment.
【図3】同実施例の動作フローチャートである。FIG. 3 is an operation flowchart of the embodiment.
【図4】時間に対する放出ガス量を説明するための図で
ある。FIG. 4 is a diagram for explaining a released gas amount with respect to time.
【図5】従来例の構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram of a conventional example.
【符号の説明】 1 マスタチャンバ 2 取付具 3 検査物 4 差圧計 5 排気ポンプ 6 レギュレータ 7 ノズル 8,9 圧力計 V1 〜V8 バルブ 11 放出流量記録部 12 流量圧力変換部 13 レギュレータ制御部 14 リーク量算出部 15 制御部 16 インタフェース(I/O) 17 プロセッサ(CPU)[EXPLANATION OF SYMBOLS] 1 master chamber 2 fixture 3 inspected 4 differential pressure gauge 5 exhaust pump 6 regulator 7 nozzles 8,9 manometer V 1 ~V 8 valve 11 discharge flow rate recording unit 12 flow pressure converter unit 13 regulator control section 14 Leakage amount calculation unit 15 Control unit 16 Interface (I / O) 17 Processor (CPU)
Claims (5)
検査物の空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の
変化より前記検査物のリーク量を測定するリーク量測定
装置において、 前記検査物より放出されるガスの放出流量に対応した値
を予め記録する放出流量記録部と、 前記両者の差圧測定時に、前記放出流量記録部に記録さ
れている放出流量に対応した気体を前記マスタチャンバ
に放出する気体放出手段と、を備えたことを特徴とする
リーク量測定装置。1. A leak amount measuring device for measuring a leak amount of an inspection object from a change in a differential pressure between the master chamber and an inspection object attached to a fixture after exhausting air from the inspection object, A discharge flow rate recording unit that records in advance a value corresponding to the release flow rate of the gas released from the inspection object, and a gas corresponding to the release flow rate recorded in the release flow rate recording unit when measuring the differential pressure between the two. A gas discharging means for discharging the gas into the master chamber.
力に調圧するレギュレータと、該レギュレータで調圧さ
れた気体を前記マスタチャンバに放出するノズルと、前
記放出流量記録部に記録されている放出量が前記ノズル
より放出されるよう前記レギュレータの圧力を設定する
流量圧力変換部と、で構成するようにしたことを特徴と
する請求項1記載のリーク量測定装置。2. A regulator for regulating the pressure of the gas to a predetermined pressure, a nozzle for discharging the gas regulated by the regulator to the master chamber, and a gas recorded in the discharge flow rate recording unit. The leak amount measuring device according to claim 1, further comprising: a flow rate pressure conversion unit that sets a pressure of the regulator so that the discharge amount is discharged from the nozzle.
を、前記取付具に検査物と同一種類の検査物を取付け、
空気を排気して密封直後の差圧と長時間排気後または複
数回排気して放出ガス量が無視できるようになった状態
での差圧より放出流量を求めるようにしたことを特徴と
する請求項1または2記載のリーク量測定装置。3. An inspection object of the same type as an inspection object is attached to the fixture by measuring an emission flow recorded in the emission flow recording unit.
The discharge flow rate is obtained from the differential pressure immediately after the air is exhausted and sealed and the differential pressure after the exhaust for a long time or a plurality of times and the amount of the released gas is negligible. Item 3. The leak amount measuring device according to Item 1 or 2.
出する気体を空気としたことを特徴とすることを特徴と
する請求項1,2または3記載のリーク量測定装置。4. The leak amount measuring apparatus according to claim 1, wherein the gas discharged from the nozzle to the master chamber is air.
れた検査物との間の差圧を測定する測定系を、差圧計
と、差圧計の一方の入力と前記マスタチャンバとの間に
バルブ(V3 )を、差圧計の他方の入力と前記取付具と
の間にバルブ(V4 )を、また前記マスタチャンバおよ
び検査物の排気を行う排気手段と差圧計の両入力との間
にそれぞれバルブ(V5 ,V6 )を設け、差圧の測定開
始時に先ず排気手段に接続された開状態の両バルブ(V
5 ,V6 )に前記マスタチャンバおよび取付具に接続さ
れている両バルブ(V3 ,V4 )を開にし、その後排気
手段に接続された両バルブ(V5 ,V6 )を閉にして差
圧測定を開始するようしたことを特徴とする請求項1,
2,3または4記載のリーク量測定装置。5. A measuring system for measuring a differential pressure between the master chamber and a test object attached to a fixture, comprising a differential pressure gauge, a valve between one input of the differential pressure gauge and the master chamber. V 3 ), a valve (V 4 ) between the other input of the differential pressure gauge and the fixture, and a valve (V 4 ) between the exhaust means for exhausting the master chamber and the test object and both inputs of the differential pressure gauge. Valves (V 5 , V 6 ) are provided, and at the start of measurement of the differential pressure, both valves (V
5 and V 6 ), open both valves (V 3 and V 4 ) connected to the master chamber and the fixture, and then close both valves (V 5 and V 6 ) connected to the exhaust means. The method according to claim 1, wherein the differential pressure measurement is started.
The leak amount measuring apparatus according to 2, 3, or 4.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9103178A JP3038321B2 (en) | 1997-04-21 | 1997-04-21 | Leak amount measurement device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9103178A JP3038321B2 (en) | 1997-04-21 | 1997-04-21 | Leak amount measurement device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10293075A true JPH10293075A (en) | 1998-11-04 |
JP3038321B2 JP3038321B2 (en) | 2000-05-08 |
Family
ID=14347271
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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JP (1) | JP3038321B2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013141691A (en) * | 2012-01-11 | 2013-07-22 | Honda Motor Co Ltd | Method for calculating volume of air chamber in furnace, casting method, device for calculating volume of air chamber in furnace and program for calculating volume of air chamber in furnace |
JP2017524903A (en) * | 2014-06-12 | 2017-08-31 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH | Differential pressure measurement using a film chamber |
CN113640630A (en) * | 2021-08-03 | 2021-11-12 | 广东省医疗器械质量监督检验所 | Method and system for testing pipeline gas pressure regulator |
-
1997
- 1997-04-21 JP JP9103178A patent/JP3038321B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013141691A (en) * | 2012-01-11 | 2013-07-22 | Honda Motor Co Ltd | Method for calculating volume of air chamber in furnace, casting method, device for calculating volume of air chamber in furnace and program for calculating volume of air chamber in furnace |
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CN113640630A (en) * | 2021-08-03 | 2021-11-12 | 广东省医疗器械质量监督检验所 | Method and system for testing pipeline gas pressure regulator |
CN113640630B (en) * | 2021-08-03 | 2024-02-06 | 广东省医疗器械质量监督检验所 | Testing method and system for pipeline gas pressure regulator |
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