JPH10289677A - Plane type display device - Google Patents

Plane type display device

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Publication number
JPH10289677A
JPH10289677A JP9387097A JP9387097A JPH10289677A JP H10289677 A JPH10289677 A JP H10289677A JP 9387097 A JP9387097 A JP 9387097A JP 9387097 A JP9387097 A JP 9387097A JP H10289677 A JPH10289677 A JP H10289677A
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JP
Japan
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getter
panel
evaporable getter
display device
evaporable
Prior art date
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Pending
Application number
JP9387097A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masashi Agari
将史 上里
Masahiro Fujikawa
正洋 藤川
Shuji Iwata
修司 岩田
Kozaburo Shibayama
耕三郎 柴山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPH10289677A publication Critical patent/JPH10289677A/en
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  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To minimize external dimensions of a plane type display device by disposing a non-evaporation type getter in a container without providing a scape for getter disposition in the periphery of a display face. SOLUTION: This device comprises a front panel 1 on which a phosphor 8 is formed and a rear panel 2 on which an electron source 4 is formed, and an electron emission space is formed in vacuum state between the front panel 1 and the rear panel 2. A non-evaporation type getter 5 activated to a gas adsorption state by being heated is disposed in an electron emission space between any electron gun 4 and its adjacent electron source 4.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、平板型表示装置に
係り、さらに詳しくは、冷陰極より放出される電子の放
電空間にガスを吸着するための非蒸発型ゲッタを備えた
平板型表示装置の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display, and more particularly, to a flat panel display having a non-evaporable getter for adsorbing a gas into a discharge space of electrons emitted from a cold cathode. Regarding improvement.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、平板型表示装置(フラット・パネ
ル・ディスプレイ)が盛んに開発されてきている。その
中でも、平面状に配置された電界放出型陰極、すなわ
ち、冷陰極(Cold Cathode)からなる電子源を備えたF
ED(Field Emission Display)は、高輝度、広視野
角、高速応答及び低消費電力を達成できる自発光型表示
装置として注目されている。
2. Description of the Related Art In recent years, flat panel displays (flat panel displays) have been actively developed. Among them, a field emission type cathode arranged in a plane, that is, an F source provided with an electron source composed of a cold cathode (Cold Cathode).
2. Description of the Related Art An ED (Field Emission Display) has attracted attention as a self-luminous display device that can achieve high luminance, a wide viewing angle, high-speed response, and low power consumption.

【0003】一般的にFEDにおいては、背面パネル
(リアパネル)には、電界放出型陰極からなる電子源が
配置され、この背面パネルと対向する前面パネルの内面
側には、画素を構成する蛍光体が被着形成されている。
そして、電子源から放出される電子が蛍光体を励起して
発光させる。このため、表示装置の電子源から電子を十
分に安定して放出させ、蛍光体を発光させるためには、
対向する前面パネル、背面パネル及びその周囲を囲む外
枠(スペーサガラス)からなる容器(外囲器)内を10
-6〜10-8Torr程度の高真空状態に維持して、前面
パネル、背面パネル間に電子の放電空間(飛翔空間)を
形成する必要がある。
Generally, in a FED, an electron source composed of a field emission type cathode is disposed on a rear panel (rear panel), and a phosphor constituting a pixel is provided on an inner surface of the front panel opposed to the rear panel. Are formed.
Then, the electrons emitted from the electron source excite the phosphor to emit light. Therefore, in order to emit electrons from the electron source of the display device in a sufficiently stable manner and to cause the phosphor to emit light,
The inside of a container (envelope) composed of the facing front panel, rear panel, and outer frame (spacer glass) surrounding the periphery is 10
It is necessary to maintain a high vacuum of about -6 to 10 -8 Torr to form a discharge space (flying space) for electrons between the front panel and the back panel.

【0004】ところが、容器を高真空状態となるよう排
気し封止して表示装置を製作しても、例えば、その後に
蛍光体や容器の内面からアウトガスが発生して容器内の
真空度を低下させたり、アウトガス分子が陰極の表面に
付着したりする場合があり、陰極からの電子放出を阻害
するようになる。そこで、このようなアウトガスを吸着
して容器内を高真空状態に保ち、表示装置の輝度の低下
を抑えるため、すなわち、表示装置の寿命を維持するた
め、この種の表示装置は、ゲッタと呼ばれるアウトガス
吸着用の金属が容器内に装着されている。
However, even if a display device is manufactured by evacuating and sealing the container to a high vacuum state, for example, afterwards, outgas is generated from the phosphor or the inner surface of the container and the degree of vacuum in the container is reduced. Or the outgassed molecules may adhere to the surface of the cathode, which hinders electron emission from the cathode. Therefore, in order to adsorb such outgas and maintain the inside of the container in a high vacuum state and suppress a decrease in luminance of the display device, that is, to maintain the life of the display device, this type of display device is called a getter. Outgas adsorption metal is mounted in the container.

【0005】この様なゲッタには、容器内面に蒸着(ゲ
ッタフラッシュ)して使用する蒸発型ゲッタと、容器内
に蒸着されることなく加熱処理によりガスを吸着する状
態に活性化して使用する非蒸発型ゲッタとに大別され
る。
[0005] Such getters include an evaporable getter which is used by vapor deposition (getter flash) on the inner surface of a container and a non-evaporable getter which is activated and used to adsorb a gas by heat treatment without being deposited in the container. It is roughly divided into evaporable getters.

【0006】蒸着型ゲッタは、例えば、リング状の金属
製コンテナにバリウム等を成分とする粉末状のゲッタ材
を充填して容器内に装着しておき、容器封着後に例えば
外部から高周波磁界を印加することにより発生する閉ル
ープ電流により加熱処理(誘導加熱)して容器内面に蒸
着(ゲッタフラッシュ)するものである。
[0006] In the vapor deposition type getter, for example, a ring-shaped metal container is filled with a powdery getter material containing barium or the like and mounted in a container, and after sealing the container, a high-frequency magnetic field is applied from the outside, for example. Heat treatment (induction heating) is performed by a closed loop current generated by application, and vapor deposition (getter flash) is performed on the inner surface of the container.

【0007】また、非蒸着型ゲッタは、ジルコニウム等
を成分とする粉末状のゲッタ材の表面に酸化防止膜を形
成した後、例えば、帯状(短冊状)やワイヤ状に加工さ
れたものであり、容器内に配置された非蒸発型ゲッタ
を、容器の封着中または封着後に数百度まで加熱するこ
とにより、ゲッタ材表面の酸化防止膜を除去して、ガス
を吸着する状態に活性化されるものである。
The non-evaporable getter is obtained by forming an antioxidant film on the surface of a powdery getter material containing zirconium or the like and then processing it into, for example, a strip (strip) or a wire. By heating the non-evaporable getter placed in the container to several hundred degrees during or after sealing the container, the antioxidant film on the surface of the getter material is removed and activated to adsorb gas. Is what is done.

【0008】ここで、容器内にゲッタフラッシュのため
のスペースが十分に確保できない表示装置に蒸着型ゲッ
タを用いると、蒸着されたゲッタ面積が小さくなりアウ
トガス吸着能力が不十分となる可能性がある。また、ゲ
ッタにより容器内部の電極等が飛散したゲッタによりシ
ョートしたりする可能性がある。このため、この様な表
示装置においては非蒸発型ゲッタが使用される。特に、
FEDのような薄型(前面パネルと背面パネルとのギャ
ップが数百μm〜数mm程度)の平板型表示装置におい
ては、しばしば非蒸着型ゲッタが使用される。
Here, if a vapor deposition type getter is used in a display device in which a space for getter flash cannot be sufficiently secured in the container, the area of the vapor-deposited getter may be small and the outgas adsorption capability may be insufficient. . Further, there is a possibility that an electrode or the like inside the container is short-circuited by the scattered getter. Therefore, a non-evaporable getter is used in such a display device. Especially,
Non-deposited getters are often used in thin flat panel display devices such as FEDs (the gap between the front and back panels is on the order of hundreds of micrometers to several mm).

【0009】図20は、特開平5−124015号公報
に記載された従来の平板型表示装置の構成例を示した断
面図である。図中の120は前面パネル、121は前面
パネル120に被着された蛍光体であり、赤、緑及び青
の蛍光体が順次に配列して蛍光面が形成されている。1
22は背面パネル、123は前面パネル120及び背面
パネル122を所定の間隔を保持するように封着するた
めの絶縁性封着材、124は蛍光面120の周囲に設け
られた溝、125は溝124に収められた非蒸発型ゲッ
タ材、126はカソード電極、ゲート電極を含む電極構
体、127は排気口、128は排気口の周囲に封着され
たチップオフ管、129はチップオフ管を封着するため
のフリットガラス、130はアドレス端子である。
FIG. 20 is a sectional view showing an example of the configuration of a conventional flat panel display device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-124015. In the drawing, reference numeral 120 denotes a front panel, and 121 denotes a phosphor adhered to the front panel 120. Red, green, and blue phosphors are sequentially arranged to form a phosphor screen. 1
22 is a back panel, 123 is an insulating sealing material for sealing the front panel 120 and the back panel 122 so as to keep a predetermined interval, 124 is a groove provided around the fluorescent screen 120, and 125 is a groove A non-evaporable getter material 124 is accommodated, 126 is an electrode structure including a cathode electrode and a gate electrode, 127 is an exhaust port, 128 is a chip-off tube sealed around the exhaust port, and 129 is a chip-off tube. A frit glass 130 is provided, and 130 is an address terminal.

【0010】前面パネル120及び背面パネル122を
絶縁性封着材にて封着して作製された容器の排気時に、
溝124に収められた非蒸発型ゲッタ材125を誘導加
熱や通電加熱により加熱し、非蒸発型ゲッタ材125自
体のガス放出を行うとともに、ガスを吸着する状態へ活
性化される。そして、容器内が高真空度に達した後、チ
ップオフ管の小径部を封止する。また、電極構体126
はカソード電極、ゲート電極を含んで構成されており、
カソード電極とゲート電極の交差部には、赤、緑及び青
の蛍光体に対応する電界放出型カソード(冷陰極)が形
成されている。
At the time of evacuation of a container manufactured by sealing the front panel 120 and the rear panel 122 with an insulating sealing material,
The non-evaporable getter material 125 housed in the groove 124 is heated by induction heating or energization heating to release the gas from the non-evaporable getter material 125 itself and to be activated to adsorb gas. Then, after the inside of the container reaches a high degree of vacuum, the small diameter portion of the tip-off tube is sealed. Also, the electrode assembly 126
Is configured to include a cathode electrode and a gate electrode,
Field emission cathodes (cold cathodes) corresponding to red, green, and blue phosphors are formed at intersections of the cathode electrode and the gate electrode.

【0011】一方、表示装置を縦横に多数マトリクス配
列することにより構成した大画面ディスプレイ装置が知
られている。図21は、この様な大画面ディスプレイに
用いされる各表示装置を示した外観図であり、図22
は、図21に示した表示装置を配列させて構成される大
画面ディスプレイ装置の一部を示した外観図である。
On the other hand, there is known a large-screen display device in which a large number of display devices are arranged in a matrix in a matrix. FIG. 21 is an external view showing each display device used for such a large screen display.
22 is an external view showing a part of a large-screen display device configured by arranging the display devices shown in FIG. 21.

【0012】図において140は前面パネル、141は
前面パネルの内面に被着形成された画素としての蛍光
体、142はスペーサガラス、143は背面パネル、1
44は表示装置である。前面パネル140、スペーサガ
ラス142、背面パネル143はフリットガラスにより
封着されて容器(外囲器)を構成し、背面パネル143
には容器内部を高真空状態となるよう排気するための排
気管(不図示)が設けられている。
In the figure, 140 is a front panel, 141 is a phosphor as a pixel adhered to the inner surface of the front panel, 142 is a spacer glass, 143 is a rear panel, 1
44 is a display device. The front panel 140, the spacer glass 142, and the rear panel 143 are sealed with frit glass to form a container (envelope).
Is provided with an exhaust pipe (not shown) for exhausting the inside of the container to a high vacuum state.

【0013】また、背面パネル143には電子を放出す
る線状のフィラメントからなる熱陰極(不図示)が装着
されており、前面パネル140に塗布された蛍光体14
1の上に形成されたアルミ膜(いわゆるアルミバック、
不図示)をアノード電極として、熱陰極からの電子が蛍
光体141に当ることにより発光する。なお、図示した
表示装置は、赤、緑及び青の蛍光体を1画素当りそれぞ
れ1、2、1ドットの計4ドットを配列(いわゆる「田
の字配列」)する装置である。
A hot cathode (not shown) made of a linear filament for emitting electrons is mounted on the back panel 143, and the phosphor 14 coated on the front panel 140 is mounted on the back panel 143.
Aluminum film formed on 1 (so-called aluminum back,
(Not shown) as an anode electrode, and emits light when electrons from the hot cathode hit the phosphor 141. The illustrated display device is a device that arranges a total of four dots of red, green, and blue phosphors of 1, 2, and 1 dots per pixel (so-called “cross-shaped arrangement”).

【0014】このような大画面ディスプレイは、通常屋
外等の比較的周囲照度の高い環境での使用を考慮すると
より高輝度での発光が求められるため、高圧(例えば1
0kV程度)のアノード電圧が印加される。そして表示
装置144はそれぞれ図22に示すように配列され(例
えば、縦横4×4個)、表示ユニットが構成される。こ
の表示ユニットをさらに複数個配列することにより、大
画面ディスプレイが構成される。
Such a large-screen display is required to emit light with higher luminance when used in an environment having a relatively high ambient illuminance such as an outdoor environment.
An anode voltage of about 0 kV) is applied. Then, the display devices 144 are arranged as shown in FIG. 22 (for example, 4 × 4 in length and width), and a display unit is configured. By arranging a plurality of display units, a large screen display is formed.

【0015】図23は、各表示装置における画素配列の
一例を示した図である。図中、R、G、Bはそれぞれ赤
色、緑色、青色のドットを示している。この場合、R−
G−G−Bの4ドットにより1画素を構成しており、こ
の場合、1つの表示装置につき4画素の発光を表示画像
に応じて行う。このような表示装置のマトリクス配列し
た大画面ディスプレイにおいては、隣接する表示装置と
の境界(目地)が視感上目立たないようにするため、表
示装置内の画素間ピッチと、隣接する表示装置間ピッチ
とがほぼ等しくなるように構成する必要がある。
FIG. 23 is a diagram showing an example of a pixel arrangement in each display device. In the figure, R, G, and B represent red, green, and blue dots, respectively. In this case, R-
One pixel is constituted by four dots of GGB, and in this case, light emission of four pixels per one display device is performed according to a display image. In such a large-screen display in which the display devices are arranged in a matrix, the pitch between pixels in the display device and the distance between adjacent display devices are set so that the boundary (joint) between the adjacent display devices is not noticeable. It is necessary to make the pitch substantially equal.

【0016】図24は、隣接する2つの表示装置につい
ての画素間ピッチを示した図であり、画素間ピッチaと
表示装置間ピッチbがほぼ等しくなるように、各表示装
置を構成する必要がある。このため、画素間ピッチを小
さくして高精細化を図るためには、表示装置間ピッチb
も小さくする必要がある。すなわち、隣接する表示装置
とのスペースを極力小さくすることが必要であり、陰極
からの電子放出を制御するための制御電極(不図示)を
表示装置外部へ接続するリードもしくはピンや真空排気
のための排気管等も後方(背面方向(リア方向)、すな
わち、表示面と反対の方向)に引き出す必要がある。
FIG. 24 is a diagram showing the pitch between pixels for two adjacent display devices. It is necessary to configure each display device such that the pitch a between pixels is substantially equal to the pitch b between display devices. is there. Therefore, in order to reduce the pixel pitch and achieve high definition, the display device pitch b
Also need to be smaller. That is, it is necessary to minimize the space between the display and the adjacent display device, and to connect a control electrode (not shown) for controlling electron emission from the cathode to the outside of the display device with a lead or pin or a vacuum exhaust. It is also necessary to draw out the exhaust pipe and the like backward (to the rear (rear direction), that is, in the direction opposite to the display surface).

【0017】ところが、非蒸発型ゲッタを備えた従来の
表示装置は、表示面の周辺(蛍光面の周囲)にゲッタを
配置するためのスペースを確保する必要があるため、表
示装置の外形寸法が大きくなるという問題点があった。
However, in the conventional display device provided with the non-evaporable getter, it is necessary to secure a space for disposing the getter around the display surface (around the fluorescent screen). There was a problem of becoming large.

【0018】特に、表示装置を縦横に所定個マトリクス
配列することにより構成する大画面ディスプレイ装置に
適用した場合、装置間の境界(目地)が視感上目立たな
いようにする必要がある一方、各表示装置の表示面周辺
にゲッタ配置スペースを設けなければならない。このた
め、装置間ピッチを小さくすることができず、画素ピッ
チも制限され、高精細な大画面ディスプレイを実現でき
ないといった問題点があった。
In particular, when the present invention is applied to a large screen display device in which a predetermined number of display devices are arranged vertically and horizontally in a matrix, it is necessary to make the boundaries (joints) between the devices inconspicuous in visual sense. A getter arrangement space must be provided around the display surface of the display device. For this reason, there has been a problem that the pitch between devices cannot be reduced, the pixel pitch is also limited, and a high-definition large-screen display cannot be realized.

【0019】また、ゲッタを溝に収める際の保持方法に
よっては加熱の際に前面パネルへの熱伝導が大きくなっ
て前面パネルが割れる可能性があるという問題点があっ
た。
Further, depending on the method of holding the getter in the groove, there is a problem that the heat conduction to the front panel increases during heating and the front panel may be broken.

【0020】また、ゲッタが前面パネル側に配置される
ため、表示装置をマトリクス配列することにより構成す
る大画面ディスプレイ装置に適用した場合、ゲッタ通電
加熱用電極を装置背面から取出すための方法やそのため
の構成が複雑になるという問題点があった。
Further, since the getter is arranged on the front panel side, when applied to a large-screen display device configured by arranging display devices in a matrix, a method for taking out the getter energizing heating electrode from the back surface of the device and the However, there is a problem that the configuration is complicated.

【0021】また、特に高輝度の表示が必要とされる表
示装置において、アノード電圧を高圧(数kV程度)に
して動作させる時に、非蒸発型ゲッタの電位が固定され
ない状態(フローティング状態)であれば、非蒸発型ゲ
ッタから不要な電界放射(放電)が起こる場合がある。
即ち、電子源から放出された電子の一部が非蒸発型ゲッ
タ5に当たると、非蒸発型ゲッタがチャージされ、チャ
ージした電荷が蛍光面に向かって放出され、不要な電界
放射が起こる。その結果、蛍光体の誤発光を生ずるとい
う問題があった。
Further, in a display device which requires a particularly high-luminance display, when operating at a high anode voltage (about several kV), the potential of the non-evaporable getter is not fixed (floating state). For example, unnecessary electric field emission (discharge) may occur from the non-evaporable getter.
That is, when a part of the electrons emitted from the electron source strikes the non-evaporable getter 5, the non-evaporable getter is charged, the charged electric charge is emitted toward the phosphor screen, and unnecessary electric field emission occurs. As a result, there is a problem that erroneous light emission of the phosphor occurs.

【0022】また、特に高輝度の表示が必要とされる表
示装置において、アノード電極を高電圧にして動作させ
る時に、例えば、真空容器内に浮遊する微細な塵等が引
き金となってアノード電極と電子源との間で直接放電が
起こる場合があり、この直接放電により電子源が破壊さ
れるという問題があった。
Further, in a display device which requires a particularly high-brightness display, when the anode electrode is operated at a high voltage, for example, fine dust floating in the vacuum container triggers the anode electrode. There is a case where a direct discharge occurs between the electron source and the electron source, and there is a problem that the electron source is destroyed by the direct discharge.

【0023】[0023]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記のような
問題点を解決するためになされたものであり、表示面の
周辺にゲッタ配置のためのスペースを設けることなく、
大きなガス吸着面積を確保するためのゲッタを容器内に
配置し、外形寸法の小さい平板型表示装置を提供するこ
とを目的の一つとする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and does not provide a space for getter arrangement around the display surface.
Another object is to provide a flat panel display device having a small external dimension by arranging a getter for securing a large gas adsorption area in a container.

【0024】また、表示面の周辺にゲッタ配置のための
スペースを設けることなく、大きなガス吸着面積を確保
するためのゲッタを容器内に配置し、表示装置間ピッチ
の小さい平板型表示装置を提供することを目的の一つと
する。
Further, there is provided a flat panel display device having a small pitch between display devices in which a getter for securing a large gas adsorption area is disposed in a container without providing a space for getter placement around the display surface. One of the purposes.

【0025】また、ゲッタ加熱の際の容器への熱伝導を
抑えた平板型表示装置を提供することを目的の一つとす
る。
Another object is to provide a flat panel display device in which heat conduction to a container during getter heating is suppressed.

【0026】また、簡単な構成により、ゲッタ加熱用電
極を背面から取り出した平板型表示装置を提供すること
を目的との一つとする。
Another object of the present invention is to provide a flat panel display device in which a getter heating electrode is taken out from the back with a simple configuration.

【0027】また、隣接する表示装置間における画素間
隔が小さい表示装置をマトリクス配列することにより、
装置間の境界が視感上目立たない高精細な大画面ディス
プレイを提供することを目的の一つとする。
In addition, by arranging display devices having a small pixel interval between adjacent display devices in a matrix,
It is an object to provide a high-definition large-screen display in which boundaries between devices are inconspicuous in visual sense.

【0028】また、非蒸発型ゲッタから発光面への不要
な電界輻射を抑制し、蛍光体の誤発光を抑制した平板型
表示装置を提供することを目的の一つとする。
Another object of the present invention is to provide a flat panel display device in which unnecessary electric field radiation from a non-evaporable getter to a light emitting surface is suppressed, and erroneous light emission of a phosphor is suppressed.

【0029】また、アノード電極と電子源との間で直接
放電が生ずるのを抑えて、電子源の破壊を抑制した平板
型表示装置を提供することを目的の一つとする。
Another object of the present invention is to provide a flat panel display device in which the occurrence of a direct discharge between the anode electrode and the electron source is suppressed, and the destruction of the electron source is suppressed.

【0030】[0030]

【課題を解決するための手段】本発明による平板型表示
装置は、蛍光体が形成された前面パネルと、前面パネル
に対向して配置され、蛍光体に対し電子を放出する複数
の電子源が形成された背面パネルとを備え、前面パネル
及び背面パネル間を真空状態にして電子の放出空間を形
成する平板型表示装置であって、加熱されることにより
ガスを吸着する状態へ活性化される非蒸発型ゲッタを、
電子の放出空間内であって、いずれかの電子源とこれに
隣接する電子源との間に配置して構成される。
A flat panel display device according to the present invention comprises a front panel on which a phosphor is formed, and a plurality of electron sources arranged to face the front panel and emitting electrons to the phosphor. A flat panel display device comprising: a formed rear panel; and a vacuum state between the front panel and the rear panel to form an electron emission space. The flat panel display device is activated to a state of adsorbing gas by being heated. Non-evaporable getter,
It is arranged in one of the electron emission spaces and between any one of the electron sources and the adjacent electron source.

【0031】また、本発明による平板型表示装置は、非
蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の形状を有し、背面パ
ネルを貫通し、一方の端子が非蒸発型ゲッタの端部に接
続されるとともに、他方の端子が背面パネルの外面から
表出する一対のゲッタ電極を備え、非蒸発型ゲッタが、
ゲッタ電極を介して通電されて活性化されるとともに、
ゲッタ電極により背面パネルから離間して支持されるよ
うに構成される。
In the flat panel display device according to the present invention, the non-evaporable getter has a band-like or wire-like shape, penetrates the back panel, and one terminal is connected to an end of the non-evaporable getter. In addition, the other terminal includes a pair of getter electrodes exposed from the outer surface of the back panel, and a non-evaporable getter is provided.
While being energized and activated through the getter electrode,
The getter electrode is configured to be supported separately from the rear panel.

【0032】また、本発明による平板型表示装置は、非
蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の形状を有し、一方の
端子を非蒸発型ゲッタの端部に接続し、他方の端子を背
面パネルの周辺部から引き出し、前面パネル及び背面パ
ネルを封着する際の封着剤とともに背面パネルの周辺部
に固定される一対のゲッタ電極を備え、非蒸発型ゲッタ
が、ゲッタ電極を介して通電されて活性化されるととも
に、ゲッタ電極により背面パネルから離間して支持され
るように構成される。
In the flat panel display device according to the present invention, the non-evaporable getter has a band-like or wire-like shape, one terminal is connected to an end of the non-evaporable getter, and the other terminal is connected to the back panel. A pair of getter electrodes fixed to the periphery of the back panel together with a sealing agent for sealing the front panel and the back panel, and the non-evaporable getter is energized through the getter electrodes. And is supported by the getter electrode while being separated from the back panel.

【0033】また、本発明による平板型表示装置は、ゲ
ッタ電極を介して非蒸発型ゲッタに通電し、非蒸発型ゲ
ッタが活性化された後に、ゲッタ電極が背面パネルの周
辺部において切断されて構成される。
In the flat panel display according to the present invention, the non-evaporable getter is energized through the getter electrode, and after the non-evaporable getter is activated, the getter electrode is cut off at the peripheral portion of the back panel. Be composed.

【0034】また、本発明による平板型表示装置は、非
蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の形状を有し、背面パ
ネルの内面上であって、いずれかの電子源とこれに隣接
する電子源との間に溝を形成し、この溝に非蒸発型ゲッ
タを配置して構成される。
Further, in the flat panel display device according to the present invention, the non-evaporable getter has a band shape or a wire shape, and any one of the electron sources and the electron source adjacent to the electron source on the inner surface of the back panel. And a non-evaporable getter is arranged in this groove.

【0035】また、本発明による平板型表示装置は、非
蒸発型ゲッタが、その前面が隣接するいずれの電子源の
電子放出部よりも後方となる様に配置されて構成され
る。
In the flat panel display according to the present invention, the non-evaporable getter is arranged such that the front surface thereof is located rearward of the electron emission portions of any adjacent electron sources.

【0036】また、本発明による平板型表示装置は、一
方の端子を非蒸発型ゲッタの端部の前面に接続し、他方
の端子を背面パネル周辺部から引き出し、前面パネル及
び背面パネルを封着する際の封着剤とともに前面パネル
及び背面パネル間に固定される一対のゲッタ電極を備
え、非蒸発型ゲッタがゲッタ電極により背面パネルから
離間して支持されるように構成される。
Further, in the flat panel display according to the present invention, one terminal is connected to the front surface of the end of the non-evaporable getter, and the other terminal is pulled out from the peripheral portion of the rear panel to seal the front panel and the rear panel. And a pair of getter electrodes fixed between the front panel and the back panel together with the sealing agent at the time of the operation, and the non-evaporable getter is configured to be supported by being separated from the back panel by the getter electrodes.

【0037】また、本発明による平板型表示装置は、背
面パネルに形成される溝が、その開口部の幅がその内部
の幅よりも小さく形成され、この溝の内部に非蒸発型ゲ
ッタを配置するとともに、溝の開口部の周縁が非蒸発型
ゲッタの側面を覆うように構成される。
Further, in the flat panel display device according to the present invention, the width of the opening formed in the back panel is smaller than the width of the inside thereof, and the non-evaporable getter is arranged inside the groove. At the same time, the periphery of the opening of the groove is configured to cover the side surface of the non-evaporable getter.

【0038】また、本発明による平板型表示装置は、非
蒸発型ゲッタが平板状の形状を有し、前面パネルに対向
させて、背面パネルよりも前方に配置され、背面パネル
に形成される電子源の位置に対応して、非蒸発型ゲッタ
に貫通孔が形成され、この貫通孔が、電子源より放出さ
れてから対応する蛍光体に到達するまでの電子の軌跡よ
りも貫通孔の周縁が外側に位置する大きさに形成され、
背面パネルを貫通し、一方の端子が非蒸発型ゲッタに接
続され、他方の端子が背面パネルの外面から表出する一
対のゲッタ電極を備えて構成される。
Further, in the flat panel display device according to the present invention, the non-evaporable getter has a flat plate shape, is disposed in front of the rear panel so as to face the front panel, and is formed on the rear panel. A through-hole is formed in the non-evaporable getter corresponding to the position of the source, and the through-hole has a smaller peripheral edge than the trajectory of electrons from the emission from the electron source to the corresponding phosphor. It is formed in a size located on the outside,
One terminal is connected to the non-evaporable getter and penetrates the back panel, and the other terminal includes a pair of getter electrodes exposed from the outer surface of the back panel.

【0039】また、本発明による平板型表示装置は、蛍
光体が形成された前面パネルと、前面パネルに対向して
配置された背面パネルと、背面パネルの内側に前面パネ
ルに対向して配置され、蛍光体に対し電子を放出する複
数の電子源が形成されたカソードパネルとを備え、前面
パネル及び背面パネル間を真空状態にして電子の放出空
間を形成する平板型表示装置であって、加熱されること
によりガスを吸着する状態へ活性化される非蒸発型ゲッ
タを、電子の放出空間内であって、いずれかの電子源と
これに隣接する電子源との間に配置して構成される。
Further, the flat panel display according to the present invention is provided with a front panel on which a phosphor is formed, a back panel arranged opposite to the front panel, and an inside of the rear panel opposed to the front panel. A flat panel display device, comprising: a cathode panel on which a plurality of electron sources for emitting electrons to the phosphor are formed; and forming a vacuum between the front panel and the back panel to form an electron emission space. A non-evaporable getter activated to a state of adsorbing gas by being carried out is arranged in one of the electron emission spaces and between any one of the electron sources and the electron source adjacent thereto. You.

【0040】また、本発明による平板型表示装置は、非
蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の形状を有し、カソー
ドパネルの内面上であって、いずれかの電子源とこれに
隣接する電子源との間に溝状の孔を形成し、非蒸発型ゲ
ッタをこの溝状の孔に配置して構成される。
Further, in the flat panel display device according to the present invention, the non-evaporable getter has a band-like or wire-like shape, and any one of the electron sources and the electron source adjacent thereto are formed on the inner surface of the cathode panel. And a groove-shaped hole is formed between them, and a non-evaporable getter is arranged in the groove-shaped hole.

【0041】また、本発明による平板型表示装置は、非
蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の形状を有し、カソー
ドパネルが、いずれかの電子源とこれに隣接する電子源
との間に形成された溝状の貫通孔を有し、この貫通孔よ
りも幅の大きい溝が、この貫通孔に対応して、背面パネ
ルに形成され、この溝に非蒸発型ゲッタを配置し、カソ
ードパネル貫通孔の周縁が非蒸発型ゲッタの側面を覆う
ように構成される。
Further, in the flat panel display according to the present invention, the non-evaporable getter has a band-like or wire-like shape, and the cathode panel is formed between any one of the electron sources and an adjacent electron source. A groove having a larger width than the through hole is formed in the back panel corresponding to the through hole, and a non-evaporable getter is arranged in the groove to pass through the cathode panel. The periphery of the hole is configured to cover the side surface of the non-evaporable getter.

【0042】また、本発明による平板型表示装置は、非
蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の形状を有し、背面パ
ネルを貫通し、一方の端子が非蒸発型ゲッタの端部に接
続され、他方の端子が背面パネルの外面から表出する一
対のゲッタ電極を備え、非蒸発型ゲッタは、ゲッタ電極
を介して通電されて活性化されるとともに、ゲッタ電極
により背面パネルから離間して支持されるように構成さ
れる。
In the flat panel display device according to the present invention, the non-evaporable getter has a band-like or wire-like shape, penetrates the back panel, and one terminal is connected to an end of the non-evaporable getter. The other terminal includes a pair of getter electrodes that are exposed from the outer surface of the back panel, and the non-evaporable getter is energized and activated through the getter electrode, and is supported by the getter electrode while being separated from the back panel. It is configured to be.

【0043】また、本発明による平板型表示装置は、非
蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の形状を有し、一方の
端子を非蒸発型ゲッタの端部に接続し、他方の端子を背
面パネル周辺部から引き出し、前面パネル及び背面パネ
ルを封着する際の封着剤とともに背面パネル周辺部に固
定される一対のゲッタ電極を備え、非蒸発型ゲッタは、
ゲッタ電極を介して通電されて活性化されるとともに、
ゲッタ電極により背面パネルから離間して支持されるよ
うに構成される。
Further, in the flat panel display according to the present invention, the non-evaporable getter has a band-like or wire-like shape, one terminal is connected to an end of the non-evaporable getter, and the other terminal is connected to the back panel. Withdrawing from the peripheral portion, comprising a pair of getter electrodes fixed to the rear panel peripheral portion together with a sealing agent for sealing the front panel and the rear panel, the non-evaporable getter,
While being energized and activated through the getter electrode,
The getter electrode is configured to be supported separately from the rear panel.

【0044】また、本発明による平板型表示装置は、ゲ
ッタ電極を介して非蒸発型ゲッタに通電し、非蒸発型ゲ
ッタが活性化された後に、ゲッタ電極が背面パネルの周
辺部において切断されて構成される。
In the flat panel display according to the present invention, the non-evaporable getter is energized through the getter electrode, and after the non-evaporable getter is activated, the getter electrode is cut off at the peripheral portion of the back panel. Be composed.

【0045】[0045]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図を用いて説明する。 実施の形態1.図1は、本発明の実施の形態1である平
板型表示装置の一構成例を示した図であり、同図(a)
は表示面側からみた一部破断の正面図、(b)はA−A
断面でみたときの断面図である。この図において、1は
前面パネル(フェースパネル)、2は背面パネル(リア
パネル)、3はスペーサガラス、4は冷陰極からなる電
子源、5は帯状の非蒸発型ゲッタ、6は非蒸発型ゲッタ
5の両端部に接続されたゲッタ加熱用電極であり、ピン
形状であるものとする。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Embodiment 1 FIG. FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of a flat panel display device according to a first embodiment of the present invention, and FIG.
Is a front view of a partially broken view from the display surface side, and FIG.
It is sectional drawing when it sees in a cross section. In this figure, 1 is a front panel (face panel), 2 is a rear panel (rear panel), 3 is a spacer glass, 4 is an electron source composed of a cold cathode, 5 is a strip-shaped non-evaporable getter, and 6 is a non-evaporable getter. 5 is a getter heating electrode connected to both ends and has a pin shape.

【0046】また、7は容器(外囲器)内の真空排気を
行うための排気管、8は各表示ドットに対応する蛍光
体、9はアノード電極(陽極)として働くアルミ膜(ア
ルミバック)である。電子源4は、各蛍光体(表示ドッ
ト)8に対応して背面パネル2上に形成されている。ま
た、本実施の形態においては、R−G−G−Bの4ドッ
トで1画素を構成するものとし、表示装置としては4×
4画素(64ドット)を備えるものとする。
Reference numeral 7 denotes an exhaust pipe for evacuating the container (envelope), 8 denotes a phosphor corresponding to each display dot, and 9 denotes an aluminum film (aluminum back) serving as an anode electrode (anode). It is. The electron source 4 is formed on the back panel 2 corresponding to each phosphor (display dot) 8. Further, in the present embodiment, one pixel is constituted by four dots of R, G, G, and B, and the display device is 4 ×
It is assumed that four pixels (64 dots) are provided.

【0047】前面パネル1と背面パネル2は、それぞれ
スペーサガラス3に、例えばフリットガラス(低融点ガ
ラス)等の封着材を用いて封着され、前面パネル1、背
面パネル2及びスペーサガラス3により真空容器(外囲
器)を構成する。この真空容器は、装置製造時に排気管
7により容器内部を例えば10-6〜10-8Torr程度
の高真空となるように真空排気された後、封止されてい
る。
The front panel 1 and the rear panel 2 are respectively sealed to the spacer glass 3 using a sealing material such as frit glass (low melting glass), and the front panel 1, the rear panel 2 and the spacer glass 3 are used. Construct a vacuum container (envelope). This vacuum container is sealed after the inside of the container is evacuated to a high vacuum of, for example, about 10 -6 to 10 -8 Torr by an exhaust pipe 7 at the time of manufacturing the device.

【0048】図2は、本実施の形態である平板型表示装
置における画素配列の一例を示した図である。この図に
おいて、前面パネル1の各ドット(蛍光体領域)を実線
で、それに対応する電子源領域を点線で示している。1
画素はR−G−G−Bの4ドットで構成され(いわゆる
「田の字配列」)、それぞれのドット寸法は例えば2m
m角、画素間ピッチaは2mmである。
FIG. 2 is a diagram showing an example of a pixel array in the flat panel display device according to the present embodiment. In this figure, each dot (phosphor region) of the front panel 1 is indicated by a solid line, and the corresponding electron source region is indicated by a dotted line. 1
Each pixel is composed of four R, G, G, and B dots (so-called “cross-shaped arrangement”), and each dot size is, for example, 2 m.
The m-square and the pixel pitch a are 2 mm.

【0049】この場合、電子源4から放出される電子の
発散角を法線方向に対して約±15°程度とし、前面パ
ネル1、背面パネル2間のギャップ長を約3mm程度と
すれば、各電子源4の大きさは0.4mm角程度とな
る。
In this case, if the divergence angle of the electrons emitted from the electron source 4 is about ± 15 ° with respect to the normal direction, and the gap length between the front panel 1 and the back panel 2 is about 3 mm, The size of each electron source 4 is about 0.4 mm square.

【0050】図3は、図1及び2に示した電子源4の一
構成例を示した一部破断図である。この図中には、多数
の冷陰極からなる電子源4の概略構成が示されている。
なお、ここでは、便宜上3×3個の冷陰極10により電
子源4が構成される様子を示したが、実際には例えば数
百〜数千個の冷陰極10により電子源4が構成されてい
る。この様な電子源4に用いられる冷陰極10として
は、スピント型冷陰極が好適である。
FIG. 3 is a partially cutaway view showing one configuration example of the electron source 4 shown in FIGS. FIG. 1 shows a schematic configuration of an electron source 4 including a large number of cold cathodes.
Although the electron source 4 is constituted by 3 × 3 cold cathodes 10 for convenience, the electron source 4 is constituted by, for example, hundreds to thousands of cold cathodes 10 in practice. I have. As the cold cathode 10 used for such an electron source 4, a Spindt-type cold cathode is preferable.

【0051】背面パネル2には、一方向のラインごとに
区切られた冷陰極10に電気的に接続されたカソ−ド電
極11が形成されており、さらにそれと絶縁層12を挟
んで対向して直交する他方向にゲ−ト電極13が構成さ
れている。カソード電極11とゲート電極13はそれぞ
れ例えば行、列単位でマトリクス状に配線され、その交
点部分に複数の円形の開口部14が空いており、その中
に電子放出部である例えばモリブデン(Mo)から構成さ
れたスピント型の冷陰極10がある。
The rear panel 2 is provided with a cathode electrode 11 electrically connected to the cold cathode 10 divided for each line in one direction. The cathode electrode 11 faces the cathode electrode 11 with the insulating layer 12 interposed therebetween. The gate electrode 13 is formed in the other direction perpendicular to the direction. The cathode electrode 11 and the gate electrode 13 are arranged in a matrix in units of rows and columns, for example, and a plurality of circular openings 14 are provided at intersections thereof, and an electron emission unit such as molybdenum (Mo) is provided therein. There is a Spindt-type cold cathode 10 composed of

【0052】ここで、例えば、冷陰極10の配列ピッチ
を5μm、1画素に対応する各電子源4の各領域を0.
4×0.4mm角とすれば、その中に6400個(80
×80)の冷陰極10が形成されていることになる。ま
た、開口部14の直径は例えば3μm程度である。
Here, for example, the arrangement pitch of the cold cathodes 10 is 5 μm, and each area of each electron source 4 corresponding to one pixel is set to 0.
If it is 4 x 0.4 mm square, 6400 pieces (80
× 80) cold cathodes 10 are formed. The diameter of the opening 14 is, for example, about 3 μm.

【0053】そして、カソード電極11及びゲート電極
13は外部電極(不図示)に接続され、外部へ接続され
ている。このため、マトリックス配列されたカソード電
極11及びゲート電極13により、所望の電子源4を選
択することにより、選択された電子源4の冷陰極10の
先端に電界が集中し、電子が放出される。放出された電
子は、電子源4に対応して前面パネル1の内側に設けら
れた蛍光体8に当り、蛍光体8が励起され発光する。
The cathode electrode 11 and the gate electrode 13 are connected to external electrodes (not shown), and are connected to the outside. For this reason, by selecting a desired electron source 4 by the cathode electrode 11 and the gate electrode 13 arranged in a matrix, an electric field is concentrated on the tip of the cold cathode 10 of the selected electron source 4 and electrons are emitted. . The emitted electrons impinge on a phosphor 8 provided inside the front panel 1 corresponding to the electron source 4, and the phosphor 8 is excited to emit light.

【0054】一方、背面パネル2には、電子源4の間
隙、すなわち、電子源4とこれに隣接する電子源4との
間にゲッタ加熱用電極6を介して帯状の非蒸発型ゲッタ
5が配置されている。上述したように、本実施の形態に
おいては、例えばドット寸法2mm角、画素間ピッチ2
mmとして、電子源4は0.4mm角程度であり、画素
間の電子源4の間隔は3.6mm程度ある。このため、
図に示すように、画素間の電子源4の間隙に2mm程度
の幅の帯状の非蒸発型ゲッタ5を配置することができ
る。
On the other hand, a strip-shaped non-evaporable getter 5 is provided on the back panel 2 via a getter heating electrode 6 between the electron source 4 and the electron source 4 and the electron source 4 adjacent thereto. Are located. As described above, in the present embodiment, for example, the dot size is 2 mm square, and the pixel pitch is 2 mm.
mm, the electron source 4 is about 0.4 mm square, and the interval between the electron sources 4 between pixels is about 3.6 mm. For this reason,
As shown in the figure, a band-shaped non-evaporable getter 5 having a width of about 2 mm can be arranged in a gap between the electron sources 4 between pixels.

【0055】非蒸発型ゲッタ5として、ゲッタフラッシ
ュすることなくアウトガスを吸着できる状態へ活性化す
ることができるゲッタが使用される。この様なゲッタ
は、例えば、電流により加熱することができるニクロム
材をベースにして構成され、その表面に酸化防止膜が形
成された粉末状のゲッタ材(例えば、ジルコニウム等を
成分とする合金の粉末)がコーティングされたものであ
る。
As the non-evaporable getter 5, a getter which can be activated to a state where outgas can be adsorbed without getter flushing is used. Such a getter is formed, for example, of a powdery getter material (for example, an alloy containing zirconium or the like as a component) which is formed based on a nichrome material which can be heated by an electric current and has an antioxidant film formed on the surface thereof. (Powder) is coated.

【0056】そして、前面パネル1、背面パネル2及び
スペーサ3を封着して真空容器を作製後に真空容器を排
気する際にそれぞれの非蒸発型ゲッタ5は、例えばスポ
ット溶接により接合された1対のゲッタ加熱用電極6の
間に所定の電流を通電することにより活性化される。つ
まり、ゲッタ加熱用電極6を介してベースとなるニクロ
ム材に所定の電流を通電することによりジュール熱が発
生し、それによりゲッタ材が加熱されゲッタ材表面の酸
化防止膜が除去されて、ゲッタ材自体が表面に現れ、ア
ウトガスを吸着できる状態に活性化される。
When the vacuum container is evacuated after the front panel 1, the rear panel 2 and the spacer 3 are sealed to form a vacuum container, the respective non-evaporable getters 5 are joined by, for example, spot welding. Is activated by applying a predetermined current between the getter heating electrodes 6. That is, when a predetermined current is applied to the base nichrome material through the getter heating electrode 6, Joule heat is generated, thereby heating the getter material and removing the antioxidant film on the surface of the getter material. The material itself appears on the surface and is activated so that the outgas can be adsorbed.

【0057】この様な非蒸発型ゲッタ5を用いることに
より、電子源4や蛍光体8にゲッタ材が飛散することが
ない。また、真空容器をフリットガラス等により封着す
る過程において、数百℃の高温処理が必要な場合には、
これに耐えうる非蒸発型ゲッタ(例えば、サエス ゲッ
タズ社製St301(商品名)等のフリッタブル・ゲッ
タ)を用いればよい。さらに、非蒸発型ゲッタ5の加熱
によるゲッタ自体からのアウトガスがほとんどないので
あれば、排気後に非蒸発型ゲッタ5を加熱してもよい。
By using such a non-evaporable getter 5, the getter material does not scatter to the electron source 4 and the phosphor 8. Also, in the process of sealing the vacuum container with frit glass or the like, when high temperature processing of several hundred degrees Celsius is necessary,
A non-evaporable getter that can withstand this (for example, a fritable getter such as St301 (trade name) manufactured by Saes Getters) may be used. Furthermore, if there is almost no outgas from the getter itself due to the heating of the non-evaporable getter 5, the non-evaporable getter 5 may be heated after the evacuation.

【0058】この様にして、非蒸発型ゲッタ5を背面パ
ネル側の電子源4の間隙に配置することにより、表示面
の周辺にゲッタ配置やゲッタフラッシュのためのスペー
スを確保する必要がなくなり、ゲッタ配置のために外形
寸法を大きくする必要がない。特に、表示装置をマトリ
クス配列して構成する大画面ディスプレイの高精細化に
おいて問題となる表示装置間ピッチを小さくすることが
可能となる。また、ゲッタ加熱用電極は背面パネルを貫
通するようにしているので、ゲッタ加熱用電極を装置背
面から容易に取出すことが可能である。
In this way, by disposing the non-evaporable getter 5 in the gap between the electron sources 4 on the back panel side, it is not necessary to secure a space for getter flash and getter flash around the display surface. There is no need to increase the outer dimensions for getter placement. In particular, it is possible to reduce the pitch between display devices, which is a problem in increasing the definition of a large screen display in which the display devices are arranged in a matrix. Further, since the getter heating electrode penetrates the back panel, the getter heating electrode can be easily taken out from the back of the apparatus.

【0059】また、非蒸発型ゲッタ5は加熱することに
より活性化されるので、非蒸発型ゲッタ5が背面パネル
2に接していると、加熱の際に背面パネル2も局所的に
加熱されることとなり、それによる歪みが発生して背面
パネル2が割れる可能性がある。そこで、極力、背面パ
ネル2への熱伝導を抑えるため、非蒸発型ゲッタ5はそ
れに溶接されたゲッタ加熱用電極6により背面パネル2
の表面から浮かせて配置する。
Since the non-evaporable getter 5 is activated by heating, when the non-evaporable getter 5 is in contact with the back panel 2, the back panel 2 is also locally heated during heating. As a result, there is a possibility that the rear panel 2 will be cracked due to the resulting distortion. Therefore, in order to suppress heat conduction to the rear panel 2 as much as possible, the non-evaporable getter 5 is connected to the rear panel 2 by the getter heating electrode 6 welded thereto.
Float from the surface of

【0060】このためには、背面パネル2にゲッタ加熱
用電極6を貫通させるための穴(貫通孔)を設けてお
き、その上に冷陰極からなる電子源4等を形成する。一
方、非蒸発型ゲッタ5にゲッタ加熱用電極6を接合して
おき、ゲッタ加熱用電極6を背面パネル2の穴に貫通さ
せる。そして、非蒸発型ゲッタ5が背面パネル2に直接
接触しない浮いた状態となる様に、ゲッタ加熱用電極6
を貫通させた穴をフリットガラス等で塞げば、非蒸発型
ゲッタ5を背面パネルから離間して支持することができ
る。その後、非蒸発型ゲッタ5が配置された背面パネル
2は、前面パネル1及びスペーサ3と封着されて真空容
器を構成する。
For this purpose, a hole (through hole) for penetrating the getter heating electrode 6 is provided in the rear panel 2, and the electron source 4 made of a cold cathode is formed thereon. On the other hand, the getter heating electrode 6 is joined to the non-evaporable getter 5, and the getter heating electrode 6 is made to pass through a hole of the back panel 2. The getter heating electrode 6 is placed in a floating state such that the non-evaporable getter 5 does not directly contact the back panel 2.
If the hole through which is passed is closed with frit glass or the like, the non-evaporable getter 5 can be supported away from the rear panel. Thereafter, the rear panel 2 on which the non-evaporable getter 5 is disposed is sealed with the front panel 1 and the spacer 3 to form a vacuum container.

【0061】また、先にゲッタ加熱用電極6を背面パネ
ル2に貫通させて、その周囲をフリットガラス等で塞い
だ後、ゲッタ加熱用電極6に非蒸発型ゲッタ5をスポッ
ト溶接等により接合することもできる。この際、非蒸発
型ゲッタ5の加熱はゲッタ加熱用電極6を介してフリッ
トガラスが溶解してしまうことのないように、その融点
(450℃程度)より低い温度で例えば数10分程度の
比較的長い時間をかけて行うようにすればよい。
After the getter heating electrode 6 is first penetrated through the back panel 2 and its periphery is closed with frit glass or the like, the non-evaporable getter 5 is joined to the getter heating electrode 6 by spot welding or the like. You can also. At this time, the non-evaporable getter 5 is heated at a temperature lower than its melting point (about 450 ° C.) for several tens of minutes, for example, so that the frit glass is not melted via the getter heating electrode 6. It may take a long time.

【0062】この様にして、ゲッタ加熱用電極を用いて
非蒸発型ゲッタを背面パネルから離間して支持すれば、
非蒸発型ゲッタを加熱する際の背面パネルへの熱伝導を
極力抑えることができる。
In this way, if the non-evaporable getter is supported away from the rear panel using the getter heating electrode,
Heat conduction to the back panel when heating the non-evaporable getter can be minimized.

【0063】なお、非蒸発型ゲッタ4として再活性化可
能なもの(例えば、サエス ゲッターズ社製St101
(商品名)等。)を使用すれば、表示装置の動作後、か
なりの時間が経過して非蒸発型ゲッタ4のアウトガス吸
着能力が低下した時点で、再度、加熱して活性化させ、
アウトガス吸着能力をある程度まで復活させることも可
能である。
A non-evaporable getter 4 which can be reactivated (for example, St101 manufactured by SAES Getters)
(Product name) etc. ), When the outgas adsorption ability of the non-evaporable getter 4 is reduced after a considerable time has elapsed after the operation of the display device, it is heated again to activate it.
It is also possible to restore the outgas adsorption capacity to a certain extent.

【0064】実施の形態2.実施の形態1における表示
装置は、例えば縦横4×4画素構成として電子源4の間
隙に3本の非蒸発型ゲッタ5を配置し、それぞれの非蒸
発型ゲッタ5の両端にゲッタ加熱用電極6を設けるよう
構成したが、非蒸発型ゲッタ5を電子源4の間隙を縫う
ようにジグザグ形状として1つの非蒸発型ゲッタにより
同様のゲッタ面積を得るとともにゲッタ加熱用電極を2
個に減らすように構成する事も可能である。
Embodiment 2 In the display device according to the first embodiment, for example, three non-evaporable getters 5 are arranged in a space between the electron sources 4 in a 4 × 4 pixel configuration, and getter heating electrodes 6 are provided at both ends of each non-evaporable getter 5. However, the non-evaporable getter 5 is formed in a zigzag shape so as to sew the gap between the electron sources 4 to obtain the same getter area by one non-evaporable getter, and the getter heating electrode is formed by two.
It is also possible to configure so as to reduce the number to one.

【0065】図4は、実施の形態2である平板型表示装
置の一構成例を示した図であり、同図(a)は表示面側
からみた一部破断の正面図、(b)はA−A断面でみた
ときの断面図である。この図において、20は帯状の非
蒸発型ゲッタを電子源4の間隙を縫うようにジグザグ形
状に接合した非蒸発型ゲッタ、21は非蒸発型ゲッタ2
0に接合されたサポートである。その他の構成は実施の
形態1で説明したものと同様である。
FIG. 4 is a diagram showing an example of the configuration of a flat panel display device according to the second embodiment. FIG. 4A is a partially cutaway front view from the display surface side, and FIG. It is sectional drawing when it sees in AA cross section. In this figure, reference numeral 20 denotes a non-evaporable getter in which a strip-shaped non-evaporable getter is joined in a zigzag shape so as to sew a gap between the electron sources 4, and 21 denotes a non-evaporable getter 2.
Supports joined to zero. Other configurations are the same as those described in the first embodiment.

【0066】非蒸発型ゲッタ20は、その両端に1対の
ゲッタ加熱用電極6が接合されるとともに、適宜、サポ
ート21が接合されており、ゲッタ加熱用電極6及びサ
ポート部21により支持されて、背面パネル2と接触し
ないように浮かせて配置される。そして、1対のゲッタ
加熱用電極の両端から所定の電流を通電することにより
非蒸発型ゲッタ20を加熱して活性化することができ
る。
The non-evaporable getter 20 has a pair of getter heating electrodes 6 joined to both ends thereof and an appropriate support 21 joined thereto, and is supported by the getter heating electrode 6 and the support portion 21. , So as not to come into contact with the rear panel 2. The non-evaporable getter 20 can be heated and activated by applying a predetermined current from both ends of the pair of getter heating electrodes.

【0067】なお、サポート21は、背面パネル2の表
面(内面)と接して、非蒸発型ゲッタ20を支えてい
る。また、非蒸発型ゲッタ20が、サポート21のない
場合でも、1対のゲッタ加熱用電極6により背面パネル
2に接することなく支持できれば、サポート21は省略
することができる。さらに、非蒸発型ゲッタ20が、サ
ポート部21のみにより支持することができれば、ゲッ
タ加熱用電極6が電気的接続のみを目的とするものであ
って、非蒸発型ゲッタ20を支持するものでない構成で
あってもよい。
The support 21 is in contact with the surface (inner surface) of the back panel 2 and supports the non-evaporable getter 20. In addition, even if the non-evaporable getter 20 does not have the support 21, if the pair of getter heating electrodes 6 can support the non-evaporable getter 20 without contacting the back panel 2, the support 21 can be omitted. Furthermore, if the non-evaporable getter 20 can be supported only by the support portion 21, the getter heating electrode 6 is intended only for electrical connection, and is not configured to support the non-evaporable getter 20. It may be.

【0068】以上のように、本実施の形態においては、
さらに、ゲッタ面積を確保しつつ、ゲッタ加熱用電極数
を2本に削減できる。このことは、画素数が多く、それ
ぞれの制御電極の取出しリードもしくはピン数の多い表
示装置においては、特に効果的である。
As described above, in the present embodiment,
Furthermore, the number of getter heating electrodes can be reduced to two while securing the getter area. This is particularly effective in a display device having a large number of pixels and a large number of leads or pins for taking out each control electrode.

【0069】図5は、実施の形態2である平板型表示装
置の他の構成例を示した図であり、表示面側からみた一
部破断の正面図が示されている。図4に示した平板型表
示装置の場合は、帯状の非蒸発型ゲッタをジグザグ状に
接続するよう構成したが、図5に示すように、帯状のゲ
ッタを非蒸発型ゲッタを一角を開放にして四角環状に接
続し、その両端にゲッタ加熱用電極6を設けるように構
成することもできる。図中の22が一角を開放した四角
環状の非蒸発型ゲッタである。
FIG. 5 is a diagram showing another configuration example of the flat panel display device according to the second embodiment, and shows a partially cutaway front view as viewed from the display surface side. In the case of the flat panel display device shown in FIG. 4, the belt-shaped non-evaporable getter is configured to be connected in a zigzag manner. However, as shown in FIG. It can also be configured to be connected in a square ring shape and to provide getter heating electrodes 6 at both ends. Reference numeral 22 in the figure denotes a non-evaporable getter having a square ring shape with an open corner.

【0070】また、帯状の非蒸発型ゲッタをジグザグ状
にまたは四角環状に接続するようにしなくても、例えば
板状の非蒸発型ゲッタを型打ち抜き加工するなどして、
非蒸発型ゲッタ自体をジグザグ状または四角環状に例え
ば形成しておいてもよい。また、ニクロム等のヒータ材
をベースに非蒸発型ゲッタを形成する場合には、ヒータ
材をジグザグ状または四角状に型打ち抜き加工、折り曲
げ加工等により形成し、それに粉末状のゲッタ材をコー
ティングするようにすればよい。
Further, even if the strip-shaped non-evaporable getter is not connected in a zigzag or square ring shape, for example, a plate-shaped non-evaporable getter may be stamped out.
The non-evaporable getter itself may be formed, for example, in a zigzag or square ring shape. When a non-evaporable getter is formed based on a heater material such as nichrome, the heater material is formed in a zigzag or square shape by stamping, bending, or the like, and a powdery getter material is coated thereon. What should I do?

【0071】実施の形態3.図6は実施の形態3である
平板型表示装置の一構成例を示した図であり、同図
(a)は表示面側からみた一部破断の正面図、(b)は
A−A断面でみたときの断面図である。この図におい
て、40は背面パネル2に形成された溝である。そし
て、帯状の非蒸発型ゲッタ5は溝40の内部に配置され
ている。
Embodiment 3 FIGS. 6A and 6B are diagrams showing an example of the configuration of a flat panel display device according to the third embodiment, wherein FIG. 6A is a partially cutaway front view from the display surface side, and FIG. FIG. In this figure, reference numeral 40 denotes a groove formed in the back panel 2. The strip-shaped non-evaporable getter 5 is disposed inside the groove 40.

【0072】この際、上記各実施の形態と同様、非蒸発
型ゲッタ5はゲッタ加熱用電極6を介して背面パネル2
に接触しないように配置されている。さらに、非蒸発型
ゲッタ5の表面は電子源4の電子放出点(コーン状の冷
陰極の先端付近)より下になるように配置される。但
し、実際には冷陰極からなる電子源4の高さ(厚さ)は
数μm程度であるので、実質的には、背面パネル2の内
面よりも下となるように埋設すればよい。
At this time, similarly to the above embodiments, the non-evaporable getter 5 is connected to the back panel 2 via the getter heating electrode 6.
It is arranged so that it does not touch. Further, the surface of the non-evaporable getter 5 is arranged below the electron emission point of the electron source 4 (near the tip of the cone-shaped cold cathode). However, since the height (thickness) of the electron source 4 composed of a cold cathode is actually about several μm, the electron source 4 may be embedded so as to be substantially lower than the inner surface of the back panel 2.

【0073】さて、特に高輝度表示を達成するためにア
ノード電圧を高圧(数kV程度)にして表示装置を動作
させるときに、非蒸発型ゲッタ5の電位が固定されない
状態(フローティング状態)にあると、電子源4から放
出された電子の一部が非蒸発型ゲッタ5にも当たること
により、非蒸発型ゲッタ5がチャージしてしまい、チャ
ージした電荷が蛍光面に向かって放出して、不要な電界
放射(放電)が起こり、それに伴う蛍光体の誤発光がお
きるという不都合点が生じる。このため、本実施の形態
においては、背面パネル2に溝40を設け、この溝40
に非蒸発型ゲッタ5を埋設することにより、電子源4か
ら放出される電子が非蒸発型ゲッタ5に当るのを防ぐよ
うにしている。
When the display device is operated with a high anode voltage (approximately several kV) to achieve a high-luminance display, the potential of the non-evaporable getter 5 is not fixed (floating state). And a part of the electrons emitted from the electron source 4 also hits the non-evaporable getter 5, so that the non-evaporable getter 5 is charged, and the charged electric charge is emitted toward the phosphor screen. The electric field emission (discharge) occurs, which causes a problem that erroneous light emission of the phosphor occurs. For this reason, in the present embodiment, a groove 40 is provided in the back panel 2 and the groove 40 is provided.
By embedding the non-evaporable getter 5 in the, the electron emitted from the electron source 4 is prevented from hitting the non-evaporable getter 5.

【0074】また、表示装置動作時にゲッタ加熱用電極
6を通じて非蒸発型ゲッタ5をグランド電位に落として
おくことで、電子源4から放出される電子が非蒸発型ゲ
ッタ5に当ったとしてもチャージアップしないようにす
ることができる。ところが、この場合には、非蒸発型ゲ
ッタ5と電子源4が近接して配置される状況のもとで
は、特に電子源4より上方に非蒸発型ゲッタ5が配置さ
れていると、そのグランド電位により電子源4からアノ
ード電極(アルミバック)へ向かって放出される電子軌
道が曲げられ、正規の蛍光体の一部にしか電子が当たら
ずに輝度が低下したり、隣のドットの蛍光体の一部に電
子が当たってしまい、誤発光を生じたりする可能性があ
る。
Further, the non-evaporable getter 5 is dropped to the ground potential through the getter heating electrode 6 during the operation of the display device, so that even if the electrons emitted from the electron source 4 hit the non-evaporable getter 5, the charge is maintained. Can be kept up. However, in this case, under the situation where the non-evaporable getter 5 and the electron source 4 are arranged close to each other, particularly when the non-evaporable getter 5 is arranged above the electron source 4, the ground becomes The electron trajectory emitted from the electron source 4 toward the anode electrode (aluminum back) is bent by the electric potential, so that the electron hits only a part of the regular phosphor and the brightness is reduced. There is a possibility that an electron strikes a part of the light emission and erroneous light emission occurs.

【0075】そこで、本実施の形態においては、背面パ
ネル2に溝40を設け、その中に非蒸発型ゲッタ5を、
その前面(図6(b)、(c)中では上面)を電子源4
の電子放出点(実質的には、背面パネル2の内面)より
も後方となるように配置することにより、非蒸発型ゲッ
タ5をグランド電位にすることに起因する電子軌道への
影響を抑えることが可能となる。従って、電子軌道への
影響を抑制しつつ、非蒸発型ゲッタのチャージアップを
防止することができる。
Therefore, in the present embodiment, a groove 40 is provided in the back panel 2 and the non-evaporable getter 5 is provided therein.
The front surface (the upper surface in FIGS. 6B and 6C) is the electron source 4
Is arranged behind the electron emission point (substantially the inner surface of the back panel 2), thereby suppressing the influence on the electron trajectory caused by setting the non-evaporable getter 5 to the ground potential. Becomes possible. Therefore, charge-up of the non-evaporable getter can be prevented while suppressing the influence on the electron orbit.

【0076】また、非蒸発型ゲッタ5が背面パネル2の
溝40に配置されたとき、溝40の内部に非蒸発型ゲッ
タ5が完全に格納されず、その前面が、背面パネルの内
面又は電子源4の電子放出点よりも前方となる場合であ
っても、溝40への配置により非蒸発型ゲッタ5が後方
へ後退する距離に応じて非蒸発型ゲッタのチャージアッ
プを防止することができる。すなわち、非蒸発型ゲッタ
5を溝40に配置することにより、電子源4から放出さ
れた電子が非蒸発型ゲッタ5に当たる確率を低くするこ
とができ、不要な電界放射による蛍光体の誤発光を低減
することができる。
When the non-evaporable getter 5 is disposed in the groove 40 of the rear panel 2, the non-evaporable getter 5 is not completely stored inside the groove 40, and its front surface is formed by the inner surface of the rear panel or the electronic device. Even in the case where the non-evaporable getter 5 is retracted rearward, the charge-up of the non-evaporable getter 5 can be prevented by the arrangement in the groove 40 even when the non-evaporable getter 5 is retracted backward even when the electron emission point of the source 4 is located forward. . That is, by arranging the non-evaporable getter 5 in the groove 40, the probability that electrons emitted from the electron source 4 hit the non-evaporable getter 5 can be reduced, and erroneous light emission of the phosphor due to unnecessary electric field radiation can be prevented. Can be reduced.

【0077】実施の形態4.図7は、実施の形態4であ
る平板型表示装置の一構成例を示した図であり、同図
(a)は表示面側からみた一部破断の正面図、(b)は
A−A断面でみたときの断面図、(c)はB−B断面か
らみたときの断面図である。この図において、30は非
蒸発型ゲッタ5に接続されたゲッタ加熱用電極、31は
非蒸発型ゲッタ5を支持するサポートである。上記実施
の形態1においては、ゲッタ加熱用電極の一例としてピ
ン形状のものを使用したが、本実施の形態においては、
板状のものを使用する。その他の構成は、実施の形態1
で説明したのと同様である。
Embodiment 4 FIGS. 7A and 7B are diagrams showing a configuration example of a flat panel display device according to a fourth embodiment, in which FIG. 7A is a partially cutaway front view from the display surface side, and FIG. FIG. 3C is a cross-sectional view when viewed from a cross section, and FIG. 3C is a cross-sectional view when viewed from a BB cross section. In this figure, reference numeral 30 denotes a getter heating electrode connected to the non-evaporable getter 5, and 31 denotes a support for supporting the non-evaporable getter 5. In the first embodiment, a pin-shaped electrode is used as an example of the getter heating electrode, but in the present embodiment,
Use a plate. Other configurations are described in Embodiment 1.
This is the same as described above.

【0078】ゲッタ加熱用電極30は帯状の非蒸発型ゲ
ッタ5の両端に下面と接するようにスポット溶接等によ
り接合され、ゲッタ加熱用電極30を背面パネル2の外
周より突出するように(装置外側にはみ出すように)、
スペーサガラス3と背面パネル2に挟持された状態(挟
み込んだ状態)でフリットガラス等の封着材により封着
することにより、非蒸発型ゲッタ5と背面パネル2とが
直接接触しないように固定される。
The getter heating electrode 30 is joined to both ends of the strip-shaped non-evaporable getter 5 by spot welding or the like so as to be in contact with the lower surface, and the getter heating electrode 30 is projected from the outer periphery of the back panel 2 (outside the device) ),
The non-evaporable getter 5 and the rear panel 2 are fixed so that they do not come into direct contact with each other by sealing with a sealing material such as frit glass while being sandwiched between the spacer glass 3 and the rear panel 2 (sandwiched state). You.

【0079】なお、非蒸発型ゲッタ5と背面パネル2と
の接触の可能性がある場合には、非蒸発型ゲッタ5の下
面に、例えば、先端部分が背面パネルに埋設されたサポ
ート31を設ければよい。また、スペーサガラス3と背
面パネル2に隙間が容器封着時に問題となる場合には、
予め、スペーサガラス3の背面パネル側端面にゲッタ加
熱用電極30が入るような凹部を設けておけばよい。
When there is a possibility of contact between the non-evaporable getter 5 and the back panel 2, a support 31 whose tip is embedded in the rear panel is provided on the lower surface of the non-evaporable getter 5, for example. Just do it. If a gap between the spacer glass 3 and the back panel 2 becomes a problem when sealing the container,
It is sufficient that a concave portion for receiving the getter heating electrode 30 is provided in advance on the rear panel side end surface of the spacer glass 3.

【0080】図8(a)、(b)は、ともに図7に示し
た平板型表示装置をA−A断面を模式的に示した図であ
る。図8(a)に示すように、容器封着後、装置外側に
はみ出したゲッタ加熱用電極30の両端から所定の電流
を通電することにより、非蒸発型ゲッタ5を加熱し活性
化させる。そして、その後、同図(b)に示すようにマ
トリクス配列により隣接する表示装置との間隙ができな
いように、表示装置側面に沿ってゲッタ加熱用電極30
をカット(切断)すれば、外形寸法を小さくすることが
できる。このため、この平板型表示装置をマトリクス配
列して大画面ディスプレイを構成する際、表示装置間ピ
ッチを小さくして、大画面ディスプレイをより高精細化
することが可能となる。
FIGS. 8A and 8B are diagrams schematically showing a cross section taken along the line AA of the flat panel display device shown in FIG. As shown in FIG. 8A, after sealing the container, a predetermined current is applied from both ends of the getter heating electrode 30 protruding outside the device, thereby heating and activating the non-evaporable getter 5. Then, as shown in FIG. 3B, the getter heating electrode 30 is formed along the side surface of the display device so that a gap between adjacent display devices is not formed due to the matrix arrangement.
By cutting (cutting) the external dimensions can be reduced. Therefore, when a large screen display is configured by arranging the flat panel display devices in a matrix, the pitch between the display devices can be reduced, and the large screen display can have higher definition.

【0081】なお、非蒸発型ゲッタ5の加熱はゲッタ加
熱用電極30を介してフリットガラスが溶解してしまう
ことのないように、その融点(450℃程度)より低い
温度で例えば数10分程度の比較的長い時間をかけて行
うようにすればよい。
The non-evaporable getter 5 is heated at a temperature lower than its melting point (about 450 ° C.) for several tens of minutes, for example, so that the frit glass is not melted through the getter heating electrode 30. Should be performed over a relatively long time.

【0082】以上のように、本実施の形態においては、
さらに、表示装置の背面から取出すゲッタ加熱用電極を
無くすことができるとともに、封着工程中にゲッタ加熱
用電極を背面パネルから浮かせた状態で容易に固定でき
る。このことは、画素数が多く、それぞれの制御電極の
背面取出しリードもしくはピン数の多い表示装置におい
ては、特に効果的である。
As described above, in the present embodiment,
Further, it is possible to eliminate the getter heating electrode taken out from the back surface of the display device, and it is possible to easily fix the getter heating electrode in a state of being floated from the back panel during the sealing step. This is particularly effective in a display device having a large number of pixels and a large number of leads or pins for taking out the back surface of each control electrode.

【0083】実施の形態5.図9は、実施の形態5であ
る平板型表示装置の一構成例を示した図であり、同図
(a)は表示面側からみたときの正面図、(b)はA−
A断面でみたときの断面図、(c)はB−B断面でみた
ときの断面図である。本実施の形態においても、上記実
施の形態4同様、背面パネル2には溝40が形成されて
いる。
Embodiment 5 FIGS. 9A and 9B are diagrams showing a configuration example of a flat panel display device according to the fifth embodiment, where FIG. 9A is a front view when viewed from the display surface side, and FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view as viewed in a section A, and FIG. 4C is a cross-sectional view as viewed in a section BB. Also in the present embodiment, the groove 40 is formed in the back panel 2 as in the fourth embodiment.

【0084】一方、帯状の非蒸発型ゲッタ5の前面に
は、板状のゲッタ加熱用電極50がスポット溶接等によ
り接合されている。そして、帯状の非蒸発型ゲッタ5は
溝40の内部に配置(埋設)されている。この時、上記
各実施の形態と同様、非蒸発型ゲッタ5はゲッタ加熱用
電極50を介して背面パネル2に接触しないように配置
されている。さらに、非蒸発型ゲッタ5の前面は電子源
4の電子放出点(コーン状の冷陰極の先端付近)より下
になるように装着される。
On the other hand, a plate-shaped getter heating electrode 50 is joined to the front surface of the strip-shaped non-evaporable getter 5 by spot welding or the like. The band-shaped non-evaporable getter 5 is disposed (buried) inside the groove 40. At this time, as in the above embodiments, the non-evaporable getter 5 is arranged so as not to contact the back panel 2 via the getter heating electrode 50. Further, the front surface of the non-evaporable getter 5 is mounted so as to be lower than the electron emission point of the electron source 4 (near the tip of the cone-shaped cold cathode).

【0085】ここで、本実施の形態においては、上記実
施の形態4と同様、容器封着時に、ゲッタ加熱用電極5
0を背面パネル2の外周より突出するように(装置外側
にはみ出すように)、スペーサガラス3と背面パネル2
に狭持された状態(挟み込んだ状態)でフリットガラス
等の封着材により封着することにより、非蒸発型ゲッタ
5と背面パネル2とが直接接触しないように固定され
る。
Here, in the present embodiment, as in Embodiment 4, when the container is sealed, the getter heating electrode 5
0 so as to protrude from the outer periphery of the rear panel 2 (so as to protrude outside the device), and the spacer glass 3 and the rear panel 2
The non-evaporable getter 5 and the rear panel 2 are fixed so as not to directly contact with each other by sealing with a sealing material such as frit glass in a state of being sandwiched (sandwiched).

【0086】そして、実施の形態4同様、図8に示した
ように、容器封着後、外側にはみ出したゲッタ加熱用電
極50の両端に所定の電圧を印加することにより、非蒸
発型ゲッタ5を加熱し活性化させる。その後、マトリク
ス配列により隣接する表示装置との間隙ができないよう
に、表示装置側面に沿ってゲッタ加熱用電極50をカッ
ト(切断)する。
Then, as in the fourth embodiment, as shown in FIG. 8, after sealing the container, a predetermined voltage is applied to both ends of the getter heating electrode 50 which has protruded outside, so that the non-evaporable getter 5 is formed. Is heated to activate. Then, the getter heating electrode 50 is cut (cut) along the side surface of the display device so that a gap between adjacent display devices is not formed due to the matrix arrangement.

【0087】このようにすれば、非蒸発型ゲッタ5の前
面の装着時の位置は、背面パネル2の内面とほぼ同一面
となり、電子源4の電子放出部分より下にすることがで
きるので、実施の形態4同様、非蒸発型ゲッタ5をグラ
ンド電位にすることによる電子軌道への影響を抑えるこ
とが可能となる。
In this manner, the position of the front surface of the non-evaporable getter 5 at the time of mounting is substantially flush with the inner surface of the rear panel 2 and can be lower than the electron emission portion of the electron source 4. As in the fourth embodiment, it is possible to suppress the influence on the electron trajectory caused by setting the non-evaporable getter 5 to the ground potential.

【0088】また、実施の形態4同様、表示装置の背面
から取出すゲッタ加熱用電極数を無くすことができると
ともに、封着工程中にゲッタ加熱用電極を背面パネルか
ら浮かせた状態で容易に固定できる。このことは、画素
数が多く、それぞれの制御電極の背面取出しリードもし
くはピン数の多い表示装置においては、特に効果があ
る。
Further, as in the fourth embodiment, the number of getter heating electrodes to be taken out from the back of the display device can be eliminated, and the getter heating electrodes can be easily fixed while floating from the back panel during the sealing step. . This is particularly effective in a display device having a large number of pixels and a large number of leads or pins for taking out the back surface of each control electrode.

【0089】実施の形態6.図10は実施の形態6であ
る平板型表示装置の一構成例を示した図であり、同図
(a)は表示面側からみた一部破断の正面図、(b)は
A−A断面でみたときの断面図、(c)はB−B断面で
みたときの断面図である。この図において、60はその
表面に多数の冷陰極からなる電子源4が形成されたカソ
ードパネル、61はカソードパネルに設けられた帯状の
非蒸発型ゲッタ5を装着するための溝状の孔(長穴)、
62は非蒸発型ゲッタ5にスポット溶接等により接合さ
れた板状のゲッタ加熱用電極、63は非蒸発型ゲッタ5
にスポット溶接等により接合されたサポートである。
Embodiment 6 FIG. FIG. 10 is a diagram showing a configuration example of a flat panel display device according to the sixth embodiment.
(a) is a partially cutaway front view as viewed from the display surface side, (b) is a cross-sectional view as viewed along AA section, and (c) is a cross-sectional view as viewed along BB section. In this drawing, reference numeral 60 denotes a cathode panel on the surface of which a plurality of electron sources 4 composed of cold cathodes are formed, and 61 denotes a groove-shaped hole (not shown) for mounting a strip-shaped non-evaporable getter 5 provided on the cathode panel. Slot),
Reference numeral 62 denotes a plate-like getter heating electrode joined to the non-evaporable getter 5 by spot welding or the like, and 63 denotes a non-evaporable getter 5.
Is a support joined by spot welding or the like.

【0090】図10に示すように、電子源4は背面パネ
ル2とは別個に設けられたカソードパネル60上に形成
し、フリットガラス等により背面パネル2に固定され
る。ここで、非蒸発型ゲッタ5の背面には板状のゲッタ
加熱用電極62及びサポート63が接合されており、そ
れぞれ背面パネル2及びカソードパネル60の間に挟持
される。さらに、カソード加熱用電極62は背面パネル
2の外周より突出しており(容器外へも伸びており)、
実施の形態4同様、スペーサガラス3及び背面パネル2
に挟持された状態で容器が封着される。このとき、非蒸
発型ゲッタ5は、背面パネル2とカソードパネル60に
直接接触しないように支持されている。
As shown in FIG. 10, the electron source 4 is formed on a cathode panel 60 provided separately from the back panel 2, and is fixed to the back panel 2 by frit glass or the like. Here, a plate-like getter heating electrode 62 and a support 63 are joined to the back surface of the non-evaporable getter 5, and are sandwiched between the back panel 2 and the cathode panel 60, respectively. Further, the cathode heating electrode 62 protrudes from the outer periphery of the back panel 2 (extends outside the container), and
As in the fourth embodiment, the spacer glass 3 and the back panel 2
The container is sealed in a state of being sandwiched between the containers. At this time, the non-evaporable getter 5 is supported so as not to directly contact the back panel 2 and the cathode panel 60.

【0091】そして、実施の形態4同様、図8に示した
ように、容器封着後、外側にはみ出したゲッタ加熱用電
極62の両端に所定の電圧を印加することにより、非蒸
発型ゲッタ5を加熱し活性化させる。その後、マトリク
ス配列により隣接する表示装置との間隙ができないよう
に、表示装置側面に沿ってゲッタ加熱用電極62をカッ
ト(切断)する。
As in the case of the fourth embodiment, as shown in FIG. 8, after sealing the container, a predetermined voltage is applied to both ends of the getter heating electrode 62 which has protruded outside, so that the non-evaporable getter 5 is formed. Is heated to activate. Thereafter, the getter heating electrode 62 is cut (cut) along the side surface of the display device so that a gap between adjacent display devices is not formed due to the matrix arrangement.

【0092】以上のように、電子源4の形成プロセス等
の関係で電子源4が形成される板厚(半導体製造装置を
流用するとすれば、1mm程度)が十分にとれない場合
でも、背面(リア)側を二重構造とすることにより、非
蒸発型ゲッタ5の表面を電子源4の電子放出部より下げ
て容易に装着することが可能となり、実施の形態4同
様、非蒸発型ゲッタ5をグランド電位にすることによる
電子軌道への影響を抑えることが可能となる。
As described above, even when the thickness (about 1 mm if the semiconductor manufacturing apparatus is diverted) on which the electron source 4 is formed cannot be sufficiently obtained due to the formation process of the electron source 4, etc. Since the rear) side has a double structure, the surface of the non-evaporable getter 5 can be easily mounted with the surface of the non-evaporable getter 5 lowered below the electron-emitting portion of the electron source 4. To the ground potential can suppress the effect on the electron orbit.

【0093】また、実施の形態4と同様、表示装置の背
面から取出すゲッタ加熱用電極数を無くすことができる
とともに、封着工程中にゲッタ加熱用電極を固定でき
る。このことは、画素数が多く、それぞれの制御電極の
背面取出しリードもしくはピン数の多い表示装置におい
ては、特に効果的である。
Further, as in the fourth embodiment, the number of getter heating electrodes taken out from the back surface of the display device can be eliminated, and the getter heating electrodes can be fixed during the sealing step. This is particularly effective in a display device having a large number of pixels and a large number of leads or pins for taking out the back surface of each control electrode.

【0094】なお、本実施の形態においては、ゲッタ加
熱用電極62を板状としたが、図11に示すように、実
施の形態1で説明したようなピン状とし、これが背面パ
ネル2を貫通するようにしてもよい。64は非蒸発型ゲ
ッタ6を支持するサポートである。非蒸発型ゲッタ5
は、ピン状のゲッタ加熱用電極6又はサポート64によ
って、背面パネル2とカソードパネル60に直接接触し
ないように支持されている。
In this embodiment, the getter heating electrode 62 has a plate shape. However, as shown in FIG. 11, the getter heating electrode 62 has a pin shape as described in the first embodiment. You may make it. Reference numeral 64 denotes a support for supporting the non-evaporable getter 6. Non-evaporable getter 5
Are supported by the pin-shaped getter heating electrode 6 or the support 64 so as not to directly contact the back panel 2 and the cathode panel 60.

【0095】この場合、予めこのゲッタ加熱用電極6が
貫通して固定するように背面パネル2をガラス整形して
おき、カソードパネル60を背面パネル2に固定する前
に、非蒸発型ゲッタ5を既に背面パネル2に貫通して固
定されているゲッタ加熱用電極6にスポット溶接等によ
り接合すれば良い。また、カソードパネル60を背面パ
ネル2に固定した後に、非蒸発型ゲッタ5を既に背面パ
ネル2に貫通して固定されているゲッタ加熱用電極6に
接合しても良い。
In this case, the rear panel 2 is glass-shaped so that the getter heating electrode 6 penetrates and is fixed in advance, and before the cathode panel 60 is fixed to the rear panel 2, the non-evaporable getter 5 is removed. What is necessary is just to join by the spot welding etc. to the getter heating electrode 6 which has already penetrated and fixed to the back panel 2. After the cathode panel 60 is fixed to the rear panel 2, the non-evaporable getter 5 may be joined to the getter heating electrode 6 already penetrating the rear panel 2.

【0096】サポート64は、背面パネル2を貫通する
必要はなく、一部が背面パネル2に埋設されていればよ
い。また、サポート64を特に用いなくても、非蒸発型
ゲッタ6と背面パネル2とが直接接触する恐れの無い場
合には省略してもよい。
The support 64 does not need to penetrate the rear panel 2, but only needs to be partially embedded in the rear panel 2. In addition, even if the support 64 is not particularly used, the non-evaporable getter 6 and the back panel 2 may be omitted if there is no possibility of direct contact.

【0097】また、図10に示したような板状のサポー
ト63を非蒸発型ゲッタ6の下面に接合して、カソード
パネル60と背面パネル2により狭持されることにより
非蒸発型ゲッタ5を支持するようにしてもよい。また、
図11に示した構成においては、カソードパネル60に
設けた溝状の孔61が、背面パネル2を貫通しない溝
(溝状の凹部)であっても良い。
A plate-like support 63 as shown in FIG. 10 is joined to the lower surface of the non-evaporable getter 6, and the non-evaporable getter 5 is sandwiched between the cathode panel 60 and the rear panel 2 to form the non-evaporable getter 5. It may be supported. Also,
In the configuration shown in FIG. 11, the groove-shaped hole 61 provided in the cathode panel 60 may be a groove (a groove-shaped concave portion) that does not penetrate the back panel 2.

【0098】なお、サポートを特に用いなくても、非蒸
発型ゲッタ6と背面パネル2とが直接接触する恐れの無
い場合には省略してもよい。
[0098] Even if the support is not particularly used, the non-evaporable getter 6 and the back panel 2 may be omitted if there is no possibility of direct contact.

【0099】なお、上記各実施の形態においては、非蒸
発型ゲッタ5は帯状(短冊状)のものとしたが、ワイヤ
状のものを用いてもよい。また、ゲッタ加熱用電極6は
非蒸発型ゲッタ6の端面に接合するようにしたが、その
下面に接合してもよい。
In each of the above embodiments, the non-evaporable getter 5 has a band shape (strip shape), but a wire shape may be used. Further, although the getter heating electrode 6 is joined to the end face of the non-evaporable getter 6, it may be joined to the lower face.

【0100】実施の形態7.上記実施の形態3乃至6
は、非蒸発型ゲッタ5が装着される背面パネル2または
カソードパネル60に設けられた溝を非蒸発型ゲッタ5
の外形よりも大きくして、背面パネル2またはカソード
パネル60に接触しないようにして、加熱時に熱が極力
伝わらないようにした。ところが、特に非蒸発型ゲッタ
5として帯状のものを用いた場合、その端面が鋭利な状
態にあると、特にアノード電圧を数kV程度の高圧を印
加して駆動する場合で非蒸発型ゲッタ5をグランド電位
にしたときに、非蒸発型ゲッタ5の端面から不要な電界
放射が起こり、蛍光体が誤発光する可能性がある。
Embodiment 7 FIG. Embodiments 3 to 6 above
The groove formed in the back panel 2 or the cathode panel 60 on which the non-evaporable getter 5 is mounted is
, So as not to come into contact with the rear panel 2 or the cathode panel 60, so that heat is not transmitted as much as possible during heating. However, in particular, when a strip-shaped one is used as the non-evaporable getter 5 and the end face is in a sharp state, the non-evaporable getter 5 is used especially when the anode voltage is driven by applying a high voltage of about several kV. When the potential is set to the ground potential, unnecessary electric field emission occurs from the end face of the non-evaporable getter 5, and the phosphor may emit light erroneously.

【0101】図12は実施の形態6である平板型表示装
置の要部の一構成例を示した図である。この図には、非
蒸発型ゲッタ5の装着部分の断面が示されている。図中
の70は、背面パネル2に形成された溝であり、その開
口部の幅は、内部の幅よりも狭くなっている。この開口
部の周縁が非蒸発型ゲッタ5の側面(端面)を覆うよう
に、溝70の内部にゲッタ加熱用電極6に支持されて非
蒸発型ゲッタ5が配置されるように背面パネル2を形成
する。
FIG. 12 is a diagram showing an example of a configuration of a main part of a flat panel display device according to the sixth embodiment. In this figure, a cross section of a mounting portion of the non-evaporable getter 5 is shown. Reference numeral 70 in the drawing denotes a groove formed in the back panel 2, and the width of the opening is smaller than the internal width. The back panel 2 is supported by the getter heating electrode 6 inside the groove 70 so that the non-evaporable getter 5 is disposed so that the periphery of the opening covers the side surface (end surface) of the non-evaporable getter 5. Form.

【0102】例えば、ゲッタ加熱用電極6を可撓性を有
するような形状または材質とし、それを非蒸発型ゲッタ
5に接合しておき、一方、背面パネル2には予めゲッタ
加熱用電極6が貫通する穴を設けておく。そして、ゲッ
タ加熱用電極6を背面パネル2の穴に貫通させる。そし
て、非蒸発型ゲッタ6を図12において右または左に傾
けた状態において、開口部の幅が非蒸発型ゲッタ6の幅
よりも狭い溝70に装着する。そして、ゲッタ加熱用電
極6を貫通させた孔を非蒸発型ゲッタ5が直接背面パネ
ル2接触しない状態で容器の外側からフリットガラス等
で塞ぐようにすればよい。
For example, the getter heating electrode 6 is formed in a shape or material having flexibility and is bonded to the non-evaporable getter 5, while the getter heating electrode 6 is previously provided on the back panel 2. A through hole is provided. Then, the getter heating electrode 6 is passed through the hole of the back panel 2. Then, in a state where the non-evaporable getter 6 is inclined right or left in FIG. Then, the hole through which the getter heating electrode 6 penetrates may be closed with frit glass or the like from the outside of the container in a state where the non-evaporable getter 5 does not directly contact the back panel 2.

【0103】図13は実施の形態6である平板型表示装
置の要部の他の構成例を示した図である。この図には、
実施の形態6において図11をもとに説明したような背
面側(リア側)を背面パネル2及びカソードパネル60
の二重構造とする場合における非蒸発型ゲッタ5の装着
部分の断面が示されている。
FIG. 13 is a diagram showing another configuration example of a main part of the flat panel display device according to the sixth embodiment. In this figure,
The rear side (rear side) as described with reference to FIG.
2 shows a cross section of a mounting portion of the non-evaporable getter 5 in the case of a double structure.

【0104】図13(a)に示した様に、背面パネル2
に溝71を設け、ゲッタ加熱用電極6を介して、非蒸発
型ゲッタ5を背面パネル2と直接接触しないように溝7
1に配置する。その後に、電子源4の形成されたカソー
ドパネル60を背面パネル2に重ねてフリットガラス等
により固定する。ここで、カソードパネル60の溝状の
貫通孔(長穴)610を非蒸発型ゲッタ5の側面(端
面)を覆うように非蒸発型ゲッタ5の外形よりも小さく
形成しておくことにより、非蒸発型ゲッタ5の側面(端
面)は溝状の貫通孔(長穴)63周辺のカソードパネル
60で覆われた状態となる。
As shown in FIG. 13A, the rear panel 2
The non-evaporable getter 5 is provided via the getter heating electrode 6 so that the non-evaporable getter 5 does not come into direct contact with the back panel 2.
Place at 1. Thereafter, the cathode panel 60 on which the electron source 4 is formed is placed on the back panel 2 and fixed with frit glass or the like. Here, by forming the groove-like through-hole (elongated hole) 610 of the cathode panel 60 smaller than the outer shape of the non-evaporable getter 5 so as to cover the side surface (end surface) of the non-evaporable getter 5, The side surface (end surface) of the evaporable getter 5 is in a state of being covered by the cathode panel 60 around the groove-like through hole (elongated hole) 63.

【0105】また、実施の形態6において図10をもと
に説明したような背面側(リア側)を背面パネル2及び
カソードパネル60の二重構造とする場合には、図13
(b)に示すように背面パネル2に溝71を設けるとと
もに、平板状のゲッタ加熱用電極64の一方の端部を非
蒸発型ゲッタ5の上面に接合しておく。そして、真空容
器を封着する際に、ゲッタ加熱用電極64の他方の端部
が背面パネル2の外周から突出するようにスペーサガラ
ス3と背面パネル2に挟持された状態(挟み込んだ状
態)でフリットガラス等の封着材により封着することに
より、非蒸発型ゲッタ5と背面パネル2とが直接接触し
ないように固定される。
When the back side (rear side) as described with reference to FIG. 10 in the sixth embodiment has a double structure of the back panel 2 and the cathode panel 60, FIG.
As shown in (b), a groove 71 is provided in the rear panel 2, and one end of the flat getter heating electrode 64 is joined to the upper surface of the non-evaporable getter 5. When sealing the vacuum container, the getter heating electrode 64 is sandwiched between the spacer glass 3 and the back panel 2 so that the other end of the getter heating electrode 64 projects from the outer periphery of the back panel 2 (in a sandwiched state). By sealing with a sealing material such as frit glass, the non-evaporable getter 5 and the back panel 2 are fixed so as not to directly contact.

【0106】ここで、カソードパネル60の溝状の貫通
孔(長穴)610を非蒸発型ゲッタ5の端面を覆うよう
に非蒸発型ゲッタ5の外形よりも小さく形成しておくこ
とにより、非蒸発型ゲッタ5の端面は溝状の貫通孔(長
穴)610周辺のカソードパネルで覆われた状態とな
る。
Here, by forming the groove-like through-hole (elongated hole) 610 of the cathode panel 60 smaller than the outer shape of the non-evaporable getter 5 so as to cover the end face of the non-evaporable getter 5, The end surface of the evaporable getter 5 is in a state of being covered with the cathode panel around the groove-shaped through hole (elongated hole) 610.

【0107】以上のように、非蒸発型ゲッタ5の端面か
らアノードの間には絶縁体である背面パネル2もしくは
カソードパネル60のガラス材が介在することになり、
非蒸発型ゲッタ5の端面が鋭利な状態あって、特にアノ
ード電圧を数kV程度の高圧を印加して駆動する場合で
非蒸発型ゲッタ5をグランド電位にしたときであって
も、非蒸発型ゲッタ5の端面からの不要な電界放射(放
電)を抑えることができる。
As described above, the glass material of the back panel 2 or the cathode panel 60, which is an insulator, is interposed between the end face of the non-evaporable getter 5 and the anode.
Even when the non-evaporable getter 5 is driven to a ground potential when the end surface of the non-evaporable getter 5 is sharp and the anode voltage is driven by applying a high voltage of about several kV, the non-evaporable Unnecessary electric field emission (discharge) from the end face of the getter 5 can be suppressed.

【0108】実施の形態8.上記各実施の形態において
は、非蒸発型ゲッタに設けたゲッタ加熱用電極及びサポ
ートにより非蒸発型ゲッタが背面パネルに接触しないよ
うに支持するよう構成したが、サポートの代わりに、背
面パネル状の非蒸発型ゲッタと対向する位置に、例えば
球面状の突起(凸部)を設け、これにより非蒸発型ゲッ
タを支持するように構成することも可能である。
Embodiment 8 FIG. In each of the above embodiments, the non-evaporable getter and the support provided on the non-evaporable getter are configured to support the non-evaporable getter so as not to contact the back panel. It is also possible to provide, for example, a spherical projection (convex portion) at a position facing the non-evaporable getter, thereby supporting the non-evaporable getter.

【0109】図14は実施の形態8である平板型表示装
置の非蒸発型ゲッタの取付け部の要部を一構成例を示し
た図であり、同図中(a)は背面パネルを表示面側から
見た平面図、(b)はA−A断面で見たときの断面図で
ある。80は背面パネル側に設けた球面状の突起(凸
部)である。
FIG. 14 is a view showing an example of a configuration of a main part of a mounting portion of a non-evaporable getter of a flat panel display device according to an eighth embodiment, in which (a) shows a rear panel with a display surface. FIG. 2B is a plan view seen from the side, and FIG. Reference numeral 80 denotes a spherical projection (convex portion) provided on the back panel side.

【0110】図に示した様に、実施の形態1同様、非蒸
発型ゲッタ5は背面パネル2面に直接接触しないように
浮かせてゲッタ加熱用電極6が背面パネルを貫通して装
着される。この際、非蒸発型ゲッタ5は背面パネル2の
非蒸発型ゲッタ5との対向部分に設けられた球面状の突
起80と点接触するように支持される。これにより、非
蒸発型ゲッタ5に特にサポートを設けなくても、非蒸発
型ゲッタ5を加熱して活性化する時の熱の背面パネル2
への伝導を極力抑えつつ、非蒸発型ゲッタ5を背面パネ
ル2に容易に装着することができる。
As shown in the figure, as in the first embodiment, the non-evaporable getter 5 is floated so as not to be in direct contact with the surface of the back panel 2 and the getter heating electrode 6 is mounted through the back panel. At this time, the non-evaporable getter 5 is supported so as to make point contact with a spherical projection 80 provided on a portion of the back panel 2 facing the non-evaporable getter 5. Thereby, even if the non-evaporable getter 5 is not provided with a special support, the heat back panel 2 when the non-evaporable getter 5 is heated and activated is activated.
The non-evaporable getter 5 can be easily mounted on the back panel 2 while minimizing conduction to the rear panel 2.

【0111】実施の形態9.上記各実施の形態において
は、非蒸発型ゲッタの電流通電により加熱し活性化する
ように構成した。このような通電加熱方法においては、
ゲッタに所定の通電が行えるようにゲッタ加熱用電極間
に印加する電圧を設定して通電を行えばよいので、確実
にゲッタの加熱が行えるものである。反面、ゲッタ加熱
用電極が別途必要となることから、所定の通電量を発生
できるような外部磁界発生装置を使用することができる
場合には、これにより高周波磁界を印加し誘導加熱でき
るように構成し、ゲッタ加熱用電極を省略することも可
能である。以下、非蒸発型ゲッタを誘導加熱するように
構成した実施の形態につき説明する。
Embodiment 9 FIG. In each of the above embodiments, the non-evaporable getter is configured to be heated and activated by current supply. In such an electric heating method,
It is sufficient to set the voltage applied between the getter heating electrodes so that the getter can be supplied with a predetermined current, so that the getter can be heated reliably. On the other hand, since an electrode for getter heating is separately required, if an external magnetic field generator capable of generating a predetermined amount of current can be used, a high-frequency magnetic field can be applied to perform induction heating. However, the getter heating electrode can be omitted. Hereinafter, an embodiment configured to heat a non-evaporable getter by induction will be described.

【0112】図15及び図16は実施の形態9である平
板型表示装置の一構成例を示した図であり、それぞれ図
中(a)は表示面側からみたときの正面図、(b)はA
−A断面でみたときの断面図である。90〜96は、例
えば帯状の非蒸発型ゲッタがそれぞれ四角環状に接続さ
れた非蒸発型ゲッタ、97は各非蒸発型ゲッタを支持す
るサポートである。
FIGS. 15 and 16 are views showing an example of the configuration of a flat panel display device according to the ninth embodiment, in which (a) is a front view as viewed from the display surface side, and (b) is a view. Is A
FIG. 4 is a cross-sectional view when viewed from a -A cross section. Numerals 90 to 96 denote non-evaporable getters in which, for example, band-shaped non-evaporable getters are respectively connected in a square ring, and 97 denotes a support for supporting each non-evaporable getter.

【0113】図15は四角環状の非蒸発型ゲッタ90〜
92が同心状に配置された場合の構成を示しており、図
16は例えば2×2画素に対応する電子源を囲むよう
に、4箇所に同等の大きさの四角環状の非蒸発型ゲッタ
93〜96を配置した場合の構成を示している。
FIG. 15 shows a square annular non-evaporable getter 90 to 90.
FIG. 16 shows a configuration in the case where 92 are arranged concentrically, and FIG. 16 shows, for example, a square annular non-evaporable getter 93 of the same size at four places so as to surround an electron source corresponding to 2 × 2 pixels. The configuration in the case where ~ 96 are arranged is shown.

【0114】なお、各図は前面パネル等は省略し、背面
パネルの構成を記載しているが、前面パネル等の構成は
上記各実施の形態と同様である。但し、本実施の形態
は、例えばR−G−G−Bの蛍光体によるドットからな
る画素を縦横8×8画素配列するものとする。
In each of the drawings, the front panel and the like are omitted, and the configuration of the rear panel is described. However, the configuration of the front panel and the like is the same as in each of the above embodiments. However, in the present embodiment, it is assumed that, for example, pixels formed of dots of RGBG phosphor are arranged 8 × 8 pixels in length and width.

【0115】図に示すように、各四角環状の非蒸発型ゲ
ッタ90〜96は直接背面パネルに接触しないように、
例えば四隅をサポート97で支持され、各画素に対応す
る冷陰極からなる電子源4の間隙に配置されるよう背面
パネル2に装着される。そして、容器封着後、真空排気
中に容器外部から高周波磁界を印加することにより、各
四角環状の非蒸発型ゲッタ90〜96には誘導電流が発
生し、それによるジュール熱により加熱し、ゲッタ自体
からのガス放出が行われるとともに、ガス吸着状態とな
るよう活性化される。
As shown in the figure, each of the non-evaporable getters 90 to 96 in the shape of a square ring is so arranged that it does not directly contact the rear panel.
For example, four corners are supported by supports 97 and mounted on the back panel 2 so as to be arranged in the gaps between the electron sources 4 formed of cold cathodes corresponding to the respective pixels. Then, after sealing the container, by applying a high-frequency magnetic field from the outside of the container during vacuum evacuation, an induction current is generated in each of the non-evaporable getters 90 to 96 having a rectangular ring shape, and the getter is heated by Joule heat thereby to obtain the getter. The gas is released from itself and activated to be in a gas adsorption state.

【0116】各サポート97は容器外部に貫通している
必要はなく、例えば、それぞれ一端を四角環状に接続さ
れた非蒸発型ゲッタ90〜96に溶接等により接続して
おき、他端の一部が背面パネル2に埋設されるようにし
ておけばよい。
Each support 97 does not need to penetrate outside the container. For example, one end of each support 97 is connected to a non-evaporable getter 90 to 96 connected in a square ring by welding or the like. May be embedded in the back panel 2.

【0117】なお、サポート94は非蒸発型ゲッタ90
〜97の四隅に接続され、非蒸発型ゲッタを支持するよ
うにしたが、個数場所等はこれに限定されるものではな
い。また、通電加熱による活性化と同様、加熱される際
に発生する非蒸発型ゲッタ自体からのガス放出が特に問
題とならなければ、容器内を排気して排気管を封止した
後に加熱して活性化してもよい。
The support 94 is a non-evaporable getter 90.
Although the non-evaporable getters are connected to the four corners to support the non-evaporable getters, the number and the like are not limited to these. Also, similarly to the activation by the electric heating, if the gas release from the non-evaporable getter itself generated during heating is not a problem, the inside of the container is evacuated and the exhaust pipe is sealed and then heated. It may be activated.

【0118】このように、非蒸発型ゲッタ90〜96を
背面パネル側の電子源4の間隙に配置することにより、
表示面の周辺にゲッタ配置やゲッタフラッシュのための
スペースを確保する必要がなくなり、ゲッタ配置のため
に外形寸法を大きくする必要もなく、特に、表示装置を
マトリクス配列して構成する大画面ディスプレイの高精
細化において問題となる表示装置間ピッチを小さくする
ことが可能となる。
In this way, by disposing the non-evaporable getters 90 to 96 in the gap between the electron sources 4 on the back panel side,
There is no need to secure space for getter placement and getter flash around the display surface, and there is no need to increase the external dimensions for getter placement.Especially for large-screen displays configured with display devices arranged in a matrix. It is possible to reduce the pitch between display devices, which is a problem in high definition.

【0119】また、ゲッタ加熱用電極を別途設けること
なくゲッタの加熱・活性化を行うことができる。さら
に、非蒸発型ゲッタをサポートを介して背面パネルから
浮かせて装着するようにしたので、非蒸発型ゲッタを加
熱する際の背面パネルへの熱伝導を極力抑えることがで
きる。
Further, the getter can be heated and activated without separately providing a getter heating electrode. Further, since the non-evaporable getter is mounted so as to float from the rear panel via the support, heat conduction to the rear panel when heating the non-evaporable getter can be suppressed as much as possible.

【0120】実施の形態10.図17は実施の形態10
である平板型表示装置の一構成例を示した図であり、同
図中(a)は表示面側から見た平面図、(b)はA−A
断面から見た断面図である。この図において、101は
方形板状の非蒸発型ゲッタ、102はサポート、103
は非蒸発型ゲッタ101に背面パネル上に形成された各
電子源に対応して各電子源より外形が大きくなるように
設けられた貫通孔(穴)である。
Embodiment 10 FIG. FIG. 17 shows Embodiment 10
It is a figure showing an example of 1 composition of a flat-panel type display device in which (a) is the top view seen from the display side, and (b) is AA in the same figure.
It is sectional drawing seen from the cross section. In this figure, 101 is a square plate-shaped non-evaporable getter, 102 is a support, 103
Is a through-hole (hole) provided on the non-evaporable getter 101 so as to correspond to each electron source formed on the back panel so that the outer shape is larger than each electron source.

【0121】また、104a〜104cは非蒸発型ゲッ
タの上辺部分に接合されたゲッタ加熱用電極、104
a’〜104c’はそれらと対向するように非蒸発型ゲ
ッタの下辺部分で接合されたゲッタ加熱用電極、104
d〜104fは非蒸発型ゲッタの左辺部分に接合された
ゲッタ加熱用電極、104d’〜104f’はそれらと
対向するように非蒸発型ゲッタの右辺部分に接合された
ゲッタ加熱用電極である。
Also, reference numerals 104a to 104c denote getter heating electrodes joined to the upper side of the non-evaporable getter.
a ′ to 104c ′ are getter heating electrodes 104 joined at the lower side of the non-evaporable getter so as to face them;
d to 104f are getter heating electrodes joined to the left side of the non-evaporable getter, and 104d 'to 104f' are getter heating electrodes joined to the right side of the non-evaporable getter so as to face them.

【0122】図に示した様に、方形板状の非蒸発型ゲッ
タ101は背面パネルに直接接触しないように浮かせて
各ゲッタ加熱用電極104a〜104f及び104a’
〜104f’が背面パネルを貫通するように装着されて
いる。また、非蒸発型ゲッタの数箇所(図は9個所の場
合を示す。)にはピン状にサポート102が接合されて
おり、非蒸発型ゲッタ101を支持する。サポート10
2は必ずしも背面パネル2を貫通する必要はなく、先端
部分が背面パネル2に埋設されていればよい。
As shown in the figure, the non-evaporable getter 101 in the form of a rectangular plate is floated so as not to come into direct contact with the back panel and each of the getter heating electrodes 104a to 104f and 104a '.
To 104f 'are attached so as to penetrate the rear panel. In addition, a support 102 is joined in a pin shape to several places of the non-evaporable getter (the figure shows the case of nine places) and supports the non-evaporable getter 101. Support 10
2 does not necessarily need to penetrate the back panel 2, and it is sufficient that the tip portion is embedded in the back panel 2.

【0123】ここで、各ゲッタ加熱用電極104a〜1
04f及び104a’〜104f’は、例えばピン状の
電極部110と各画素の間隙に対応する部分で非蒸発型
ゲッタ101と接合される方形状の接合部とからなる。
Here, each getter heating electrode 104a-1
Reference numerals 04f and 104a 'to 104f' each include, for example, a pin-shaped electrode portion 110 and a rectangular joint portion joined to the non-evaporable getter 101 at a portion corresponding to a gap between pixels.

【0124】そして、例えば容器内を真空排気中に非蒸
発型ゲッタ101を加熱するときには、まず、ゲッタ加
熱用電極104a―104a’間、104b−104
b’間、及び104c−104c’間に外部電源により
所定の電流が通電させる。この際、通電される電流は、
概ねゲッタ加熱用電極の接合部の幅でそれぞれ対向する
側の接合部に流れ、非蒸発型ゲッタ101は対向する接
合部の幅を中心に加熱される。
For example, when heating the non-evaporable getter 101 while evacuating the container, first, the getter heating electrodes 104a-104a ', 104b-104
A predetermined current is supplied by an external power supply between b ′ and between 104c and 104c ′. At this time, the current passed is
The non-evaporable getter 101 is heated around the width of the opposing joint, and flows to the opposing sides of the getter heating electrode approximately at the width of the junction.

【0125】つぎに、ゲッタ加熱用電極104d―10
4d’間、104e−104e’間、及び104f−1
04f’間に外部電源により所定の通電させ、非蒸発型
ゲッタ101は対向する接合部の幅を中心に加熱され
る。これにより、非蒸発型ゲッタ101は図18に斜線
で示した領域を中心として活性化するのに十分な温度に
加熱される。
Next, the getter heating electrode 104d-10
4d ', 104e-104e', and 104f-1
A predetermined current is supplied from an external power supply during the period 04f ', and the non-evaporable getter 101 is heated around the width of the opposing joint. As a result, the non-evaporable getter 101 is heated to a temperature sufficient to activate around the shaded region in FIG.

【0126】さて、表示装置動作時には、各電子源から
放出された電子は、それぞれ非蒸発型ゲッタ101に設
けられた貫通孔(穴)103を通過して対応する蛍光体
に当たって発光する。
During the operation of the display device, the electrons emitted from the respective electron sources pass through the through-holes (holes) 103 provided in the non-evaporable getter 101 and hit the corresponding phosphors to emit light.

【0127】このとき、非蒸発型ゲッタ101は所定の
負電位を与えることにより電子源から放出される電子軌
道の発散を抑えて収束させるための集束用電極として機
能させることも可能である。すなわち、表示装置の動作
時において、非蒸発型ゲッタ101をグランド電位また
は適当な負電位にすることにより、電子源から蛍光体に
向かって放出される電子の軌道を図19に示すように集
束させることができ、電子軌道が発散して隣接ドットに
当たることによる誤発光を抑えることが可能となる。
At this time, the non-evaporable getter 101 can also function as a focusing electrode for applying a predetermined negative potential to suppress and converge the divergence of the electron orbit emitted from the electron source. That is, during operation of the display device, the trajectory of electrons emitted from the electron source toward the phosphor is focused as shown in FIG. 19 by setting the non-evaporable getter 101 to the ground potential or an appropriate negative potential. As a result, it is possible to suppress erroneous light emission due to the divergence of the electron trajectory hitting an adjacent dot.

【0128】また、特に高輝度の表示が必要とされ、ア
ノード電極(アルミバック9)の電圧を数kVの高圧と
して動作させる時に、例えば真空容器4内に浮遊する微
細な塵等が引き金となってアノード電極と電子源4との
間で直接放電が起こると、それにより電子源4が破壊す
る可能性がある。
[0128] In particular, when a high-brightness display is required, and when the voltage of the anode electrode (aluminum bag 9) is operated at a high voltage of several kV, for example, fine dust floating in the vacuum vessel 4 may be a trigger. If a direct discharge occurs between the anode electrode and the electron source 4, the electron source 4 may be broken.

【0129】このような場合であっても、上記のように
非蒸発型ゲッタ101をグランド電位または適当な負電
位にしてそのインピーダンスを下げてくことにより、ア
ノード電極からの放電が仮に生じたとしても、電子源4
より上部にある非蒸発型ゲッタ101に向けて放電路が
形成されるので、直接電子源4への放電を抑えることが
でき、アノード電極からの放電による電子源4の破壊を
防止することができる。
Even in such a case, if the non-evaporable getter 101 is set to the ground potential or an appropriate negative potential to lower its impedance as described above, even if the discharge from the anode electrode occurs, , Electron source 4
Since the discharge path is formed toward the non-evaporable getter 101 at the upper portion, discharge to the electron source 4 can be suppressed directly, and damage to the electron source 4 due to discharge from the anode electrode can be prevented. .

【0130】上記実施の形態10においては、非蒸発型
ゲッタ101を通電加熱により加熱するように構成した
が、外部より高周波磁界を印加して誘導加熱によっても
加熱できる。このときには、ゲッタ加熱用電極は省略す
ることができる。外部から高周波磁界を印加することに
より、非蒸発型ゲッタ101の穴105周囲の閉回路に
誘導電流が流れるとともに、それ以外の箇所にもうず電
流が発生することになり、それらによるジュール熱によ
り非蒸発型ゲッタ101が加熱される。
In the tenth embodiment, the non-evaporable getter 101 is configured to be heated by energizing heating. However, the non-evaporable getter 101 can be heated by induction heating by applying a high-frequency magnetic field from the outside. In this case, the getter heating electrode can be omitted. When a high-frequency magnetic field is applied from the outside, an induced current flows through a closed circuit around the hole 105 of the non-evaporable getter 101, and a current is generated at other locations. The evaporable getter 101 is heated.

【0131】また、上記各実施の形態においては、真空
容器は、前面パネル1、背面パネル2及びスペーサ3を
低融点ガラス等の封着剤にて気密に接合して構成した
が、前面パネル1と背面パネル2との間隔(ギャップ)
が小さい場合には、特にスペーサ3を用いることなく構
成することもできる。即ち、前面パネル1及び背面パネ
ル2が所定の間隔となるように両者の周囲を直接に低融
点ガラス等の封着剤にて封着してもよい。また、前面パ
ネル1がスペーサ3と一体に形成されて、前面パネル1
のスペーサ部と背面パネル2とを封着する構成であって
もよい。
Further, in each of the above embodiments, the vacuum vessel is formed by hermetically joining the front panel 1, the rear panel 2 and the spacer 3 with a sealing agent such as a low melting point glass. (Gap) between the back panel 2
When the distance is small, the configuration can be made without using the spacer 3. That is, the periphery of both the front panel 1 and the rear panel 2 may be directly sealed with a sealing agent such as low-melting glass so as to have a predetermined interval. In addition, the front panel 1 is formed integrally with the spacer 3,
The spacer portion and the back panel 2 may be sealed.

【0132】[0132]

【発明の効果】本発明による平板型表示装置は、加熱さ
れることによりガスを吸着する状態へ活性化される非蒸
発型ゲッタを、電子の放出空間内であって、いずれかの
電子源とこれに隣接する電子源との間に配置するように
したので、表示面の周辺にゲッタ配置のスペースを設け
ることなく大きなガス吸着面積を確保するためのゲッタ
を配置することができる。また、複数の表示装置をマト
リクス配列することのより大画面ディスプレイを構成す
る場合にも、隣接する表示装置間の画素間隔を小さくす
ることができ、高精細な大画面ディスプレイを実現する
ことが可能となる。
According to the flat panel display device of the present invention, a non-evaporable getter which is activated to be in a state of adsorbing a gas by being heated is provided in one of the electron emission spaces and one of the electron sources. Since it is arranged between the electron source and the adjacent electron source, a getter for securing a large gas adsorption area can be arranged without providing a space for getter arrangement around the display surface. In addition, even when a large-screen display is configured by arranging a plurality of display devices in a matrix, the pixel interval between adjacent display devices can be reduced, and a high-definition large-screen display can be realized. Becomes

【0133】また、本発明による平板型表示装置は、非
蒸発型ゲッタが、ゲッタ電極を介して通電されて活性化
することができるとともに、ゲッタ電極により背面パネ
ルから離間して支持されるので、ゲッタ加熱の際の背面
パネルへの熱伝導を抑えることができる。
In the flat panel display device according to the present invention, the non-evaporable getter can be activated by being energized through the getter electrode, and is supported by the getter electrode while being separated from the rear panel. Heat conduction to the back panel during getter heating can be suppressed.

【0134】また、本発明による平板型表示装置は、一
方の端子を非蒸発型ゲッタの端部に接続し、他方の端子
を背面パネルの周辺部から引き出し、前面パネル及び背
面パネルを封着する際の封着剤とともに背面パネルの周
辺部に固定され、非蒸発型ゲッタに通電することにより
加熱するための一対のゲッタ電極を備え、非蒸発型ゲッ
タはゲッタ電極により背面パネルから離間して支持され
る。このため、表示装置の背面から取出すゲッタ加熱用
電極を無くすことができるとともに、封着工程中にゲッ
タ加熱用電極を背面パネルから離間した状態で容易に固
定でき、ゲッタ加熱の際の背面パネルへの熱伝導を抑え
ることができる。
In the flat panel display device according to the present invention, one terminal is connected to the end of the non-evaporable getter, and the other terminal is pulled out from the periphery of the rear panel to seal the front panel and the rear panel. A pair of getter electrodes fixed to the periphery of the back panel together with the sealing agent at the time of heating and heating by energizing the non-evaporable getter, and the non-evaporable getter is supported by being separated from the back panel by the getter electrode Is done. For this reason, the getter heating electrode taken out from the back of the display device can be eliminated, and the getter heating electrode can be easily fixed in a state separated from the back panel during the sealing process, and can be fixed to the back panel during getter heating. Heat conduction can be suppressed.

【0135】また、本発明による平板型表示装置は、ゲ
ッタ電極を介して非蒸発型ゲッタに通電し、非蒸発型ゲ
ッタが活性化された後に、ゲッタ電極が背面パネルの周
辺部において切断される。このため、複数の表示装置を
マトリクス配列することのより大画面ディスプレイを構
成する場合にも、隣接する表示装置間の画素間隔を小さ
くすることができ、高精細な大画面ディスプレイを実現
することが可能となる。
In the flat panel display according to the present invention, the non-evaporable getter is energized through the getter electrode, and after the non-evaporable getter is activated, the getter electrode is cut off at the periphery of the back panel. . Therefore, even when a large-screen display is configured by arranging a plurality of display devices in a matrix, the pixel interval between adjacent display devices can be reduced, and a high-definition large-screen display can be realized. It becomes possible.

【0136】また、本発明による平板型表示装置は、背
面パネルの内面上に形成された溝に非蒸発型ゲッタを配
置するので、電子源から放出される電子が非蒸発型ゲッ
タに当るのを防ぎ、あるいは低減することができ、非蒸
発型ゲッタから蛍光面への不要な電界放射を抑えること
ができる。
Further, in the flat panel display according to the present invention, since the non-evaporable getter is arranged in the groove formed on the inner surface of the back panel, it is possible to prevent electrons emitted from the electron source from hitting the non-evaporable getter. It can be prevented or reduced, and unnecessary electric field emission from the non-evaporable getter to the phosphor screen can be suppressed.

【0137】また、本発明による平板型表示装置は、非
蒸発型ゲッタが、その前面が隣接するいずれの電子源の
電子放出部よりも後方となる様に配置されるので、非蒸
発型ゲッタをグランド電位に落とすことにより非蒸発型
ゲッタのチャージアップを防ぐ場合にも、電子源から放
出される電子軌道への影響を抑えることができる。
Further, in the flat panel display device according to the present invention, the non-evaporable getter is arranged such that the front surface is located behind the electron emission portion of any adjacent electron source. Even when the charge of the non-evaporable getter is prevented by dropping to the ground potential, the influence on the electron trajectory emitted from the electron source can be suppressed.

【0138】また、本発明による平板型表示装置は、一
方の端子を非蒸発型ゲッタの端部の上面に接続し、他方
の端子を背面パネル周辺部から引き出し、前面パネル及
び背面パネルを封着する際の封着剤とともに前面パネル
及び背面パネル間に固定される一対のゲッタ電極を備
え、非蒸発型ゲッタがゲッタ電極により背面パネルから
離間して支持される。このため、表示装置の背面から取
り出されるゲッタ電極を無くすことができるとともに、
封着工程中にゲッタ電極を背面パネルから離間した状態
で容易に固定でき、ゲッタ加熱の際の背面パネルへの熱
伝導を抑えることができる。
Further, in the flat panel display device according to the present invention, one terminal is connected to the upper surface of the end of the non-evaporable getter, and the other terminal is pulled out from the peripheral portion of the rear panel to seal the front panel and the rear panel. And a pair of getter electrodes fixed between the front panel and the back panel together with the sealing agent for the non-evaporable getter, and the non-evaporable getter is supported by being separated from the back panel by the getter electrodes. For this reason, the getter electrode taken out from the back of the display device can be eliminated, and
During the sealing step, the getter electrode can be easily fixed in a state of being separated from the back panel, and heat conduction to the back panel during getter heating can be suppressed.

【0139】また、本発明による平板型表示装置は、背
面パネルに形成される溝の開口部の幅が、内部の幅より
も小さく、溝の開口部の周縁が、内部に配置された非蒸
発型ゲッタの側面を覆うように構成される。このため、
非蒸発型ゲッタの端面からアノードの間には絶縁体であ
る背面パネルが介在することになり、非蒸発型ゲッタの
端面が鋭利な状態あっても、非蒸発型ゲッタの端面から
の不要な電界放射(放電)を抑えることができる。
Further, in the flat panel display device according to the present invention, the width of the opening of the groove formed in the back panel is smaller than the width of the inside, and the periphery of the opening of the groove is formed in the non-evaporating portion. It is configured to cover the side surface of the mold getter. For this reason,
The back panel, which is an insulator, is interposed between the end face of the non-evaporable getter and the anode. Even if the end face of the non-evaporable getter is sharp, an unnecessary electric field from the end face of the non-evaporable getter is obtained. Radiation (discharge) can be suppressed.

【0140】また、本発明による平板型表示装置は、表
示装置の動作時において、非蒸発型ゲッタをグランド電
位または適当な負電位にすることにより、電子源から蛍
光体に向かって放出される電子の軌道を集束させること
ができ、電子軌道が発散して隣接ドットに当たることに
よる誤発光を抑えることが可能となる。
Further, in the flat panel display device according to the present invention, when the non-evaporable getter is set to the ground potential or an appropriate negative potential during the operation of the display device, the electrons emitted from the electron source toward the phosphor can be obtained. Orbits can be focused, and erroneous light emission due to the divergence of the electron orbits and the impact on adjacent dots can be suppressed.

【0141】また、本発明による平板型表示装置は、加
熱されることによりガスを吸着する状態へ活性化される
非蒸発型ゲッタを、電子の放出空間内であって、いずれ
かの電子源とこれに隣接する電子源との間に配置するよ
うにしたので、表示面の周辺にゲッタ配置のスペースを
設けることなく大きなガス吸着面積を確保するためのゲ
ッタを配置することができる。また、複数の表示装置を
マトリクス配列することのより大画面ディスプレイを構
成する場合にも、隣接する表示装置間の画素間隔を小さ
くすることができ、高精細な大画面ディスプレイを実現
することが可能となる。
Further, in the flat panel display device according to the present invention, the non-evaporable getter which is activated to be in a state of adsorbing gas by being heated is connected to any one of the electron sources in the electron emission space. Since it is arranged between the electron source and the adjacent electron source, a getter for securing a large gas adsorption area can be arranged without providing a space for getter arrangement around the display surface. In addition, even when a large-screen display is configured by arranging a plurality of display devices in a matrix, the pixel interval between adjacent display devices can be reduced, and a high-definition large-screen display can be realized. Becomes

【0142】また、本発明による平板型表示装置は、カ
ソードパネルの内面上に形成された孔に非蒸発型ゲッタ
を配置するので、電子源から放出される電子が非蒸発型
ゲッタに当るのを防ぐことができ、非蒸発型ゲッタから
蛍光面への不要な電界放射を抑えることができる。
Further, in the flat panel display according to the present invention, since the non-evaporable getter is disposed in the hole formed on the inner surface of the cathode panel, it is possible to prevent the electrons emitted from the electron source from hitting the non-evaporable getter. Therefore, unnecessary electric field emission from the non-evaporable getter to the phosphor screen can be suppressed.

【0143】また、本発明による平板型表示装置は、カ
ソードパネルの孔の周縁が、溝に配置された非蒸発型ゲ
ッタの側面を覆うようにしたので、非蒸発型ゲッタの端
面からアノードの間には絶縁体であるカソードパネルが
介在することになり、非蒸発型ゲッタの端面が鋭利な状
態あっても、非蒸発型ゲッタ5の端面からの不要な電界
放射(放電)を抑えることができる。
Further, in the flat panel display device according to the present invention, since the periphery of the hole of the cathode panel covers the side surface of the non-evaporable getter disposed in the groove, the gap between the end face of the non-evaporable getter and the anode is provided. A cathode panel, which is an insulator, is interposed between the end faces of the non-evaporable getter 5, so that unnecessary electric field emission (discharge) from the end face of the non-evaporable getter 5 can be suppressed even if the end face of the non-evaporable getter is sharp. .

【0144】また、本発明による平板型表示装置は、非
蒸発型ゲッタは、ゲッタ電極を介して通電されて活性化
することができるとともに、ゲッタ電極により背面パネ
ルから離間して支持されるので、ゲッタ加熱の際の背面
パネルへの熱伝導を抑えることができ、熱的歪みにより
背面パネルが割れるのを防ぐことができる。
In the flat panel display device according to the present invention, the non-evaporable getter can be activated by being energized through the getter electrode, and is supported by the getter electrode so as to be separated from the rear panel. Heat conduction to the rear panel during getter heating can be suppressed, and the rear panel can be prevented from cracking due to thermal distortion.

【0145】また、本発明による平板型表示装置は、一
方の端子を非蒸発型ゲッタの端部に接続し、他方の端子
を背面パネル周辺部から引き出し、前面パネル及び背面
パネルを封着する際の封着剤とともに前面パネル及び背
面パネル間に固定される一対のゲッタ電極を備え、非蒸
発型ゲッタは、ゲッタ電極により背面パネルから離間し
て支持されるので、非蒸発型ゲッタは、ゲッタ電極によ
り背面パネルから離間して支持される表示装置の背面か
ら取出すゲッタ加熱用電極を無くすことができるととも
に、封着工程中にゲッタ加熱用電極を背面パネルから離
間した状態で容易に固定でき、ゲッタ加熱の際の背面パ
ネルへの熱伝導を抑えることができる。
In the flat panel display device according to the present invention, one terminal is connected to the end of the non-evaporable getter, and the other terminal is pulled out from the periphery of the rear panel to seal the front panel and the rear panel. A pair of getter electrodes fixed between the front panel and the rear panel together with the sealing agent, and the non-evaporable getter is supported by being separated from the rear panel by the getter electrode. The getter heating electrode that is taken out from the back of the display device that is supported by being separated from the back panel can be eliminated, and the getter heating electrode can be easily fixed in a state of being separated from the back panel during the sealing process. Heat conduction to the back panel during heating can be suppressed.

【0146】また、本発明による平板型表示装置は、ゲ
ッタ電極を介して非蒸発型ゲッタに通電し、非蒸発型ゲ
ッタが活性化された後に、ゲッタ電極が背面パネルの周
辺部において切断されるので、複数の表示装置をマトリ
クス配列することのより大画面ディスプレイを構成する
場合にも、隣接する表示装置間の画素間隔を小さくする
ことができ、高精細な大画面ディスプレイを実現するこ
とが可能となる。
In the flat panel display according to the present invention, the non-evaporable getter is energized through the getter electrode, and after the non-evaporable getter is activated, the getter electrode is cut off at the peripheral portion of the back panel. Therefore, even when a large-screen display is configured by arranging a plurality of display devices in a matrix, the pixel interval between adjacent display devices can be reduced, and a high-definition large-screen display can be realized. Becomes

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の実施の形態1である平板型表示装
置の一構成例を示した図である。
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a flat panel display device according to a first embodiment of the present invention;

【図2】 この発明の実施の形態1である平板型表示装
置における画素配列の一例を示した図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a pixel array in the flat panel display device according to the first embodiment of the present invention;

【図3】 図1及び2に示した電子源の一構成例を示し
た一部破断図である。
FIG. 3 is a partially cutaway view showing one configuration example of the electron source shown in FIGS. 1 and 2;

【図4】 この発明の実施の形態2である平板型表示装
置の一構成例を示した図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration example of a flat panel display device according to a second embodiment of the present invention;

【図5】 この発明の実施の形態2である平板型表示装
置の他の構成例を示した図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating another configuration example of the flat panel display device according to the second embodiment of the present invention;

【図6】 この発明の実施の形態3である平板型表示装
置の一構成例を示した図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration example of a flat panel display device according to a third embodiment of the present invention;

【図7】 この発明の実施の形態4である平板型表示装
置の一構成例を示した図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration example of a flat panel display device according to a fourth embodiment of the present invention;

【図8】 この発明の実施の形態4である平板型表示装
置の非蒸発型ゲッタの活性化方法の一例を説明する図で
ある。
FIG. 8 is a diagram illustrating an example of a method of activating a non-evaporable getter of a flat panel display device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図9】 この発明の実施の形態5である平板型表示装
置の一構成例を示した図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration example of a flat panel display device according to a fifth embodiment of the present invention;

【図10】 この発明の実施の形態6である平板型表示
装置の一構成例を示した図である。
FIG. 10 is a diagram illustrating a configuration example of a flat panel display device according to a sixth embodiment of the present invention;

【図11】 この発明の実施の形態6である平板型表示
装置の他の構成例を示した図である。
FIG. 11 is a diagram showing another configuration example of the flat panel display device according to the sixth embodiment of the present invention.

【図12】 この発明の実施の形態7である平板型表示
装置の非蒸発型ゲッタの装着状態を示す断面図である。
FIG. 12 is a cross-sectional view showing a non-evaporable getter of a flat panel display according to a seventh embodiment of the present invention;

【図13】 この発明の実施の形態7である平板型表示
装置の他の非蒸発型ゲッタの他の装着状態を示す断面図
である。
FIG. 13 is a sectional view showing another mounted state of another non-evaporable getter of the flat panel display device according to the seventh embodiment of the present invention.

【図14】 この発明の実施の形態8である平板型表示
装置の非蒸発型ゲッタの取付け要部を示す構成図であ
る。
FIG. 14 is a configuration diagram showing a main part of a non-evaporable getter of a flat panel display device according to an eighth embodiment of the present invention.

【図15】 この発明の実施の形態9である平板型表示
装置の一構成例を示した図である。
FIG. 15 is a diagram illustrating a configuration example of a flat panel display device according to a ninth embodiment of the present invention;

【図16】 この発明の実施の形態9である平板型表示
装置の他の構成例を示した図である。
FIG. 16 is a diagram showing another configuration example of the flat panel display device according to the ninth embodiment of the present invention.

【図17】 この発明の実施の形態10である平板型表
示装置の他の構成例を示した図である。
FIG. 17 is a diagram showing another configuration example of the flat panel display device according to the tenth embodiment of the present invention.

【図18】 この発明の実施の形態10である平板型表
示装置の非蒸発型ゲッタの加熱状態を説明する図であ
る。
FIG. 18 is a diagram illustrating a heating state of a non-evaporable getter of a flat panel display device according to Embodiment 10 of the present invention.

【図19】 この発明の実施の形態10である平板型表
示装置の非蒸発型ゲッタの電子集束状態を示す図であ
る。
FIG. 19 is a diagram showing an electron focusing state of a non-evaporable getter of a flat panel display device according to Embodiment 10 of the present invention.

【図20】 従来の平板型表示装置の構成図である。FIG. 20 is a configuration diagram of a conventional flat panel display device.

【図21】 大画面ディスプレイ用表示装置の外観図で
ある。
FIG. 21 is an external view of a display device for a large screen display.

【図22】 大画面ディスプレイにおける表示装置の配
列状態を示す図である。
FIG. 22 is a diagram showing an arrangement state of display devices in a large screen display.

【図23】 大画面ディスプレイ用表示装置の画素配列
図である。
FIG. 23 is a pixel array diagram of a display device for a large screen display.

【図24】 大画面ディスプレイ用表示装置の配列状態
における画素間ピッチを示す図である。
FIG. 24 is a diagram showing an inter-pixel pitch in an arrangement state of the display device for a large screen display.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 前面パネル、 2 背面パネル 3 スペーサガラス、 4 電子源 5 非蒸発型ゲッタ、 6 ゲッタ加熱
用電極 7 排気管、 8 蛍光体 9 アルミ膜、 10 冷陰極 20 非蒸発型ゲッタ、 22 非蒸発型
ゲッタ 40 溝、 30 ゲッタ加
熱用電極 50 ゲッタ加熱用電極、 60 カソード
パネル 61 溝状の孔 610 溝状の
貫通孔 62 ゲッタ加熱用電極 70 溝、 80 突起部 90〜96 非蒸発型ゲッタ、 101 非蒸発
型ゲッタ 103 貫通孔 104 ゲッタ
加熱用電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Front panel, 2 Back panel 3 Spacer glass, 4 Electron source 5 Non-evaporable getter, 6 Getter heating electrode 7 Exhaust pipe, 8 Phosphor 9 Aluminum film, 10 Cold cathode 20 Non-evaporable getter, 22 Non-evaporable getter Reference Signs List 40 groove, 30 getter heating electrode 50 getter heating electrode, 60 cathode panel 61 grooved hole 610 grooved through hole 62 getter heating electrode 70 groove, 80 protrusion 90-96 non-evaporable getter, 101 non-evaporation Type getter 103 Through hole 104 Getter heating electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柴山 耕三郎 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Kozaburo Shibayama 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Mitsubishi Electric Corporation

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 蛍光体が形成された前面パネルと、前面
パネルに対向して配置され、蛍光体に対し電子を放出す
る複数の電子源が形成された背面パネルとを備え、前面
パネル及び背面パネル間を真空状態にして電子の放出空
間を形成する平板型表示装置において、 加熱されることによりガスを吸着する状態へ活性化され
る非蒸発型ゲッタを、電子の放出空間内であって、いず
れかの電子源とこれに隣接する電子源との間に配置する
ことを特徴とする平板型表示装置。
1. A front panel comprising a front panel on which a phosphor is formed, and a rear panel disposed opposite to the front panel and having a plurality of electron sources for emitting electrons to the phosphor. In a flat panel display device which forms an electron emission space by applying a vacuum between the panels, a non-evaporable getter activated to a state of adsorbing a gas by being heated is provided in the electron emission space, A flat panel display device, which is disposed between any one of the electron sources and an electron source adjacent thereto.
【請求項2】 非蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の形
状を有し、 背面パネルを貫通し、一方の端子が非蒸発型ゲッタの端
部に接続されるとともに、他方の端子が背面パネルの外
面から表出する一対のゲッタ電極を備え、 非蒸発型ゲッタは、ゲッタ電極を介して通電されて活性
化されるとともに、ゲッタ電極により背面パネルから離
間して支持されることを特徴とする請求項1に記載の平
板型表示装置。
2. A non-evaporable getter having a band-like or wire-like shape, penetrating the rear panel, one terminal being connected to an end of the non-evaporable getter, and the other terminal being connected to the rear panel. The non-evaporable getter is provided with a pair of getter electrodes exposed from the outer surface, and the non-evaporable getter is activated by being energized through the getter electrode, and is supported by the getter electrode at a distance from the rear panel. Item 2. A flat panel display device according to item 1.
【請求項3】 非蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の形
状を有し、 一方の端子を非蒸発型ゲッタの端部に接続し、他方の端
子を背面パネルの周辺部から引き出し、前面パネル及び
背面パネルを封着する際の封着剤とともに背面パネルの
周辺部に固定される一対のゲッタ電極を備え、 非蒸発型ゲッタは、ゲッタ電極を介して通電されて活性
化されるとともに、ゲッタ電極により背面パネルから離
間して支持されることを特徴とする請求項1に記載の平
板型表示装置。
3. A non-evaporable getter having a band-like or wire-like shape, one terminal being connected to an end of the non-evaporable getter, and the other terminal being pulled out from a peripheral portion of the rear panel, and A non-evaporable getter is provided with a pair of getter electrodes fixed to the peripheral portion of the back panel together with a sealing agent for sealing the back panel. The flat panel display device according to claim 1, wherein the flat panel display device is supported by being spaced apart from the back panel.
【請求項4】 ゲッタ電極を介して非蒸発型ゲッタに通
電し、非蒸発型ゲッタが活性化された後に、ゲッタ電極
が背面パネルの周辺部において切断されることを特徴と
する請求項3に記載の平板型表示装置。
4. The non-evaporable getter is energized through the getter electrode, and after the non-evaporable getter is activated, the getter electrode is cut at a peripheral portion of the back panel. The flat panel display device as described in the above.
【請求項5】 非蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の形
状を有し、 背面パネルの内面上であって、いずれかの電子源とこれ
に隣接する電子源との間に溝を形成し、 この溝に非蒸発型ゲッタを配置することを特徴とする請
求項1に記載の平板型表示装置。
5. A non-evaporable getter having a band-like or wire-like shape, wherein a groove is formed on the inner surface of the back panel between any one of the electron sources and an electron source adjacent thereto. The flat panel display according to claim 1, wherein a non-evaporable getter is arranged in the groove.
【請求項6】 非蒸発型ゲッタは、その前面が隣接する
いずれの電子源の電子放出部よりも後方となる様に配置
されることを特徴とする請求項5に記載の平板型表示装
置。
6. The flat panel display device according to claim 5, wherein the non-evaporable getter is arranged such that a front surface thereof is located rearward of an electron emission portion of any adjacent electron source.
【請求項7】 一方の端子を非蒸発型ゲッタの端部の前
面に接続し、他方の端子を背面パネル周辺部から引き出
し、前面パネル及び背面パネルを封着する際の封着剤と
ともに前面パネル及び背面パネル間に固定される一対の
ゲッタ電極を備え、 非蒸発型ゲッタは、ゲッタ電極により背面パネルから離
間して支持されることを特徴とする請求項6に記載の平
板表示装置。
7. One of the terminals is connected to the front surface of the end of the non-evaporable getter, and the other terminal is pulled out from the periphery of the rear panel, and the front panel is sealed together with a sealing agent for sealing the front panel and the rear panel. The flat panel display according to claim 6, further comprising a pair of getter electrodes fixed between the rear panel and the back panel, wherein the non-evaporable getter is supported by the getter electrode while being separated from the rear panel.
【請求項8】 背面パネルに形成される溝は、その開口
部の幅がその内部の幅よりも小さく形成され、 この溝の内部に非蒸発型ゲッタを配置するとともに、溝
の開口部の周縁が非蒸発型ゲッタの側面を覆うことを特
徴とする請求項5に記載の平板型表示装置。
8. A groove formed in the back panel has a width of an opening smaller than an inner width of the groove. A non-evaporable getter is arranged inside the groove, and a peripheral edge of the opening of the groove is formed. 6. The flat panel display according to claim 5, wherein the cover covers a side surface of the non-evaporable getter.
【請求項9】 非蒸発型ゲッタが平板状の形状を有し、
前面パネルに対向させて、背面パネルよりも前方に配置
され、 背面パネルに形成される電子源の位置に対応して、非蒸
発型ゲッタに貫通孔が形成され、 この貫通孔は、電子源より放出されてから対応する蛍光
体に到達するまでの電子の軌跡よりも貫通孔の周縁が外
側に位置する大きさに形成され、 背面パネルを貫通し、一方の端子が非蒸発型ゲッタに接
続され、他方の端子が背面パネルの外面から表出する一
対のゲッタ電極を備えたことを特徴とする請求項1に記
載の平板型表示装置。
9. The non-evaporable getter has a flat plate shape,
A through hole is formed in the non-evaporable getter corresponding to the position of the electron source formed on the back panel, facing the front panel and ahead of the rear panel. The perimeter of the through hole is formed outside the trajectory of the electron from the time it is emitted until it reaches the corresponding phosphor, and it is formed in a size that is located outside, and penetrates the back panel, and one terminal is connected to the non-evaporable getter. 2. The flat panel display according to claim 1, wherein the other terminal includes a pair of getter electrodes exposed from an outer surface of the back panel.
【請求項10】 蛍光体が形成された前面パネルと、前
面パネルに対向して配置された背面パネルと、背面パネ
ルの内側に前面パネルに対向して配置され、蛍光体に対
し電子を放出する複数の電子源が形成されたカソードパ
ネルとを備え、前面パネル及び背面パネル間を真空状態
にして電子の放出空間を形成する平板型表示装置におい
て、 加熱されることによりガスを吸着する状態へ活性化され
る非蒸発型ゲッタを、電子の放出空間内であって、いず
れかの電子源とこれに隣接する電子源との間に配置する
ことを特徴とする平板型表示装置。
10. A front panel on which a phosphor is formed, a rear panel disposed opposite to the front panel, and disposed inside the rear panel opposite to the front panel to emit electrons to the phosphor. In a flat panel display device comprising a cathode panel on which a plurality of electron sources are formed, and a vacuum is formed between the front panel and the rear panel to form an electron emission space, the device is activated to a state in which a gas is adsorbed by being heated. A flat panel display device, wherein a non-evaporable getter to be formed is disposed in an electron emission space and between any one of the electron sources and an electron source adjacent thereto.
【請求項11】 非蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の
形状を有し、 カソードパネルの内面上であって、いずれかの電子源と
これに隣接する電子源との間に溝状の孔を形成し、 非蒸発型ゲッタを、この溝状の孔に配置することを特徴
とする請求項10に記載の平板型表示装置。
11. A non-evaporable getter having a band-like or wire-like shape, and a groove-like hole is formed between an electron source and an adjacent electron source on an inner surface of a cathode panel. The flat panel display device according to claim 10, wherein the non-evaporable getter is formed and arranged in the groove-shaped hole.
【請求項12】 非蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の
形状を有し、 カソードパネルは、いずれかの電子源とこれに隣接する
電子源との間に形成された溝状の貫通孔を有し、 この貫通孔よりも幅の大きい溝が、この貫通孔に対応し
て背面パネルに形成され、この溝に非蒸発型ゲッタを配
置し、 カソードパネル貫通孔の周縁が、非蒸発型ゲッタの側面
を覆うことを特徴とする請求項10に記載の平板型表示
装置。
12. The non-evaporable getter has a band-like or wire-like shape, and the cathode panel has a groove-like through hole formed between any one of the electron sources and an adjacent electron source. A groove wider than the through hole is formed in the rear panel corresponding to the through hole, and a non-evaporable getter is arranged in the groove. The flat panel display according to claim 10, wherein the side surface is covered.
【請求項13】 非蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の
形状を有し、 背面パネルを貫通し、一方の端子が非蒸発型ゲッタの端
部に接続され、他方の端子が背面パネルの外面から表出
する一対のゲッタ電極を備え、 非蒸発型ゲッタは、ゲッタ電極を介して通電されて活性
化されるとともに、ゲッタ電極により背面パネルから離
間して支持されることを特徴とする請求項10に記載の
平板型表示装置。
13. The non-evaporable getter has a band-like or wire-like shape, penetrates the back panel, one terminal is connected to an end of the non-evaporable getter, and the other terminal is connected to an outer surface of the back panel. 11. A non-evaporable getter comprising a pair of exposed getter electrodes, wherein the non-evaporable getter is activated by being energized through the getter electrode and is supported by the getter electrode at a distance from the rear panel. 4. The flat panel display device according to 1.
【請求項14】 非蒸発型ゲッタが帯状又はワイヤ状の
形状を有し、 一方の端子を非蒸発型ゲッタの端部に接続し、他方の端
子を背面パネル周辺部から引き出し、前面パネル及び背
面パネルを封着する際の封着剤とともに背面パネル周辺
部に固定される一対のゲッタ電極を備え、 非蒸発型ゲッタは、ゲッタ電極を介して通電されて活性
化されるとともに、ゲッタ電極により背面パネルから離
間して支持されることを特徴とする請求項10に記載の
平板型表示装置。
14. A non-evaporable getter having a band-like or wire-like shape, one terminal being connected to an end of the non-evaporable getter, and the other terminal being pulled out from a peripheral portion of a rear panel, and a front panel and a rear surface. A non-evaporable getter is provided with a pair of getter electrodes fixed to the periphery of the rear panel together with a sealing agent for sealing the panel. The flat panel display device according to claim 10, wherein the flat panel display device is supported away from the panel.
【請求項15】 ゲッタ電極を介して非蒸発型ゲッタに
通電し、非蒸発型ゲッタが活性化された後に、ゲッタ電
極が背面パネルの周辺部において切断されることを特徴
とする請求項14に記載の平板型表示装置。
15. The non-evaporable getter is energized through the getter electrode, and after the non-evaporable getter is activated, the getter electrode is cut off at the periphery of the back panel. The flat panel display device as described in the above.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007012557A (en) * 2005-07-04 2007-01-18 Mitsubishi Electric Corp Field emission type image display device
JP2010515217A (en) * 2006-12-29 2010-05-06 セレックス システミ インテグラティ エッセ. ピ. ア. High frequency, cold cathode, triode type, field emitter vacuum tube and manufacturing method thereof
JP2016069232A (en) * 2014-09-30 2016-05-09 パナソニックIpマネジメント株式会社 Glass panel unit, assembly of glass panel unit, and production method of glass panel unit

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