JPH10280174A - Processing rate calculating device, processing rate calculation and computer recordable medium which is recorded with processing rate calculating program - Google Patents
Processing rate calculating device, processing rate calculation and computer recordable medium which is recorded with processing rate calculating programInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、処理レート算出装置、
処理レート算出方法及び処理レート算出プログラムが記
録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関し、
詳しくは、処理レート（例えば、膜の堆積レートやエッ
チングレート）から処理条件（例えば、膜の堆積条件や
エッチング条件）を推定して決定する必要があると共
に、処理の特性が不安定（例えば、処理レートが日によ
って異なったり、パーティクル数が装置によって異なっ
たりすること）であるため、処理の直前に処理条件を決
定する必要がある処理装置を用いて製品に対して処理を
行なう際の処理レートを算出する、算出装置、算出方法
及び算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り
可能な記録媒体に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a processing rate calculating device,
A computer-readable recording medium on which a processing rate calculation method and a processing rate calculation program are recorded,
Specifically, it is necessary to estimate and determine processing conditions (for example, film deposition conditions and etching conditions) from processing rates (for example, film deposition rates and etching rates), and the characteristics of the processing are unstable (for example, (The processing rate varies from day to day, and the number of particles varies from device to device.) Therefore, the processing rate when processing a product using a processing device that needs to determine processing conditions immediately before processing The present invention relates to a computer-readable recording medium on which a calculation device, a calculation method, and a calculation program are calculated.
【０００２】[0002]
【従来の技術】以下、従来の処理条件決定装置を図８を
参照しながら説明する。2. Description of the Related Art A conventional processing condition determining apparatus will be described below with reference to FIG.
【０００３】図８は従来の処理条件決定装置の全体構成
を示しており、該処理条件決定装置は、処理レートを算
出する処理レート算出手段１と、処理条件を決定する処
理条件決定手段２とを備えている。処理レート算出手段
１は、特定の工程において製品の処理を開始する前に、
製品モニターによる仮処理を行なった後、仮処理の結果
に基づき処理レートを算出する。処理条件決定手段２
は、処理レート算出手段１により算出された処理レート
に基づいて処理条件を決定する。FIG. 8 shows the overall configuration of a conventional processing condition determining apparatus. The processing condition determining apparatus includes a processing rate calculating means 1 for calculating a processing rate, a processing condition determining means 2 for determining a processing condition, and It has. The processing rate calculating means 1 sets a value before starting processing of a product in a specific process.
After performing the temporary processing by the product monitor, the processing rate is calculated based on the result of the temporary processing. Processing condition determination means 2
Determines the processing condition based on the processing rate calculated by the processing rate calculating means 1.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】前述したように、従来
の処理条件決定装置は、製品の処理を開始する前に、製
品モニターによる仮処理を行なった後、仮処理の結果に
基づいて処理レートを算出し、算出された処理レートに
基づいて処理条件を決定するので、処理条件を決定する
ために要する時間が多大になるという問題がある。この
処理条件を決定するために要する時間が多大になる原因
は、処理レートを算出するために要する時間が長いこと
にある。As described above, the conventional processing condition determining apparatus performs a tentative process by a product monitor before starting a process of a product, and then performs a process rate based on a result of the tentative process. Is calculated, and the processing conditions are determined based on the calculated processing rate. Therefore, there is a problem that the time required for determining the processing conditions becomes long. The reason why the time required for determining the processing conditions becomes large is that the time required for calculating the processing rate is long.
【０００５】前記に鑑み、本発明は、処理レートを算出
するために要する時間を低減することを目的とする。In view of the above, an object of the present invention is to reduce the time required for calculating a processing rate.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明は、処理工程又は処理装置の安定度には高低
があることに着目し、処理工程又は処理装置の安定度が
高い場合には、製品モニターによる仮処理を行なうこと
なく、蓄積しておいた過去の情報に基づいて処理レート
を算出するものである。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention focuses on the fact that the stability of a processing step or processing apparatus has a high or low level. In, a processing rate is calculated based on accumulated past information without performing temporary processing by a product monitor.
【０００７】具体的には、本発明に係る第１の処理レー
ト算出装置は、複数の工程を処理した結果を処理結果情
報として蓄積しておく処理結果蓄積手段と、処理結果蓄
積手段に蓄積されている処理結果情報に基づいて、複数
の工程のうち処理の対象となる処理工程の安定度を判定
する安定度判定手段と、安定度判定手段が処理工程は安
定していると判定したときに、処理結果蓄積手段に蓄積
されている処理結果情報に基づいて処理工程を処理する
処理レートを算出する第１の処理レート算出手段と、安
定度判定手段が処理工程は安定していないと判定したと
きに、処理工程を実際に行なって処理工程を処理する処
理レートを算出する第２の処理レート算出手段とを備え
ている。More specifically, the first processing rate calculating device according to the present invention stores processing results obtained by processing a plurality of processes as processing result information, and processing results stored in the processing result storing means. A stability determining unit that determines the stability of the processing step to be processed among the plurality of steps based on the processing result information that has been processed, and when the stability determining unit determines that the processing step is stable. The first processing rate calculating means for calculating the processing rate for processing the processing step based on the processing result information stored in the processing result storing means, and the stability determining means have determined that the processing step is not stable. A second processing rate calculating means for calculating a processing rate for actually performing the processing step and processing the processing step.
【０００８】第１の処理レート算出装置によると、安定
度判定手段が処理工程は安定していると判定したときに
は、処理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報に
基づいて処理工程を処理する処理レートを算出するた
め、処理工程を実際に行なって処理レートを算出する手
間が省ける。According to the first processing rate calculating device, when the stability determining means determines that the processing step is stable, the processing step is processed based on the processing result information stored in the processing result storing means. Since the processing rate is calculated, the trouble of actually performing the processing steps and calculating the processing rate can be omitted.
【０００９】第１の処理レート算出装置において、処理
結果蓄積手段に蓄積される処理結果情報は処理日時及び
処理レートを含み、安定度判定手段は、処理結果情報に
含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキに基づ
いて処理工程の安定度を判定する手段を有することが好
ましい。In the first processing rate calculating device, the processing result information stored in the processing result storing means includes a processing date and a processing rate, and the stability determining means determines whether or not the processing rate included in the processing result information during a predetermined period of the processing rate is included. It is preferable to have a means for determining the stability of the processing step based on the variation.
【００１０】本発明に係る第２の処理レート算出装置
は、特定の装置により複数の工程を処理した結果を装置
特性情報として蓄積しておく装置特性蓄積手段と、装置
特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に基づいて
特定の装置の安定度を判定する安定度判定手段と、安定
度判定手段が特定の装置は安定していると判定したとき
に、装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に
基づいて、特定の装置が処理の対象となる処理工程を処
理する処理レートを算出する第１の処理レート算出手段
と、安定度判定手段が特定の装置は安定していないと判
定したときに、特定の装置により処理工程を実際に行な
って特定の装置が処理工程を処理する処理レートを算出
する第２の処理レート算出手段とを備えている。[0010] A second processing rate calculating device according to the present invention is a device characteristic storing means for storing, as device characteristic information, a result of processing a plurality of processes by a specific device, and a device characteristic storing device. The stability determining means for determining the stability of the specific device based on the device characteristic information and the stability determining device determine the stability of the specific device. First processing rate calculating means for calculating a processing rate at which a specific apparatus processes a processing step to be processed by the specific apparatus, and stability determining means for determining that the specific apparatus is not stable based on the apparatus characteristic information And a second processing rate calculating means for calculating a processing rate at which the specific apparatus performs the processing step by actually performing the processing step by the specific apparatus.
【００１１】第２の処理レート算出装置によると、安定
度判定手段が特定の装置は安定していると判定したとき
には、装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報
に基づいて特定の装置が処理する処理レートを算出する
ため、特定の装置により実際に処理を行なって処理レー
トを算出する手間が省ける。According to the second processing rate calculating device, when the stability determining means determines that the specific device is stable, the specific device is determined based on the device characteristic information stored in the device characteristic storing device. Since the processing rate to be processed is calculated, the trouble of actually performing the processing by a specific device and calculating the processing rate can be omitted.
【００１２】第２の処理レート算出装置において、装置
特性蓄積手段に蓄積される装置特性情報は処理日時及び
パーティクル数を含み、安定度判定手段は、装置特性情
報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラツ
キに基づいて特定の装置の安定度を判定する手段を有す
ることが好ましい。In the second processing rate calculating device, the device characteristic information stored in the device characteristic storing means includes the processing date and the number of particles, and the stability determining means determines the number of particles included in the device characteristic information during a predetermined period. It is preferable to have means for determining the stability of a specific device based on the variation.
【００１３】本発明に係る第３の処理レート算出装置
は、第１のグループに属する複数の工程を処理した結果
を処理結果情報として蓄積しておく処理結果蓄積手段
と、特定の装置により第２のグループに属する複数の工
程を処理した結果を装置特性情報として蓄積しておく装
置特性蓄積手段と、処理結果蓄積手段に蓄積されている
処理結果情報及び装置特性蓄積手段に蓄積されている装
置特性情報に基づいて、第１のグループ及び第２のグル
ープの両方に属し且つ特定の装置による処理の対象とな
る処理工程の安定度を判定する安定度判定手段と、安定
度判定手段が特定の装置により行なわれる処理工程は安
定していると判定したときに、処理結果蓄積手段に蓄積
されている処理結果情報又は装置特性蓄積手段に蓄積さ
れている装置特性情報に基づいて、特定の装置により処
理工程を処理する処理レートを算出する第１の処理レー
ト算出手段と、安定度判定手段が特定の装置により行な
われる処理工程は安定していないと判定したときに、特
定の装置により処理工程を実際に行なって特定の装置が
処理工程を処理する処理レートを算出する第２の処理レ
ート算出手段とを備えている。[0013] A third processing rate calculating apparatus according to the present invention comprises a processing result accumulating means for accumulating, as processing result information, the results of processing a plurality of processes belonging to the first group, and a second processing rate calculating means for processing the second step by a specific device. Device characteristic storing means for storing the results of processing of a plurality of processes belonging to the group of devices as device characteristic information; processing result information stored in the processing result storing means; and device characteristics stored in the device characteristic storing means. A stability determining unit that determines the stability of a processing step that belongs to both the first group and the second group and is to be processed by the specific device based on the information; When it is determined that the processing step performed is stable, the processing result information stored in the processing result storage means or the apparatus characteristic information stored in the apparatus characteristic storage means A first processing rate calculating means for calculating a processing rate for processing the processing step by a specific device, and a stability determining means for determining, when the processing step performed by the specific device is not stable, A second processing rate calculating means for calculating a processing rate at which the specific apparatus performs the processing step by actually performing the processing step by the specific apparatus;
【００１４】第３の処理レート算出装置によると、安定
度判定手段が特定の装置により行なわれる処理工程は安
定していると判定したときには、処理結果蓄積手段に蓄
積されている処理結果情報又は装置特性蓄積手段に蓄積
されている装置特性情報に基づいて、特定の装置により
処理工程を処理する処理レートを算出するため、特定の
装置により処理装置の処理を実際に行なって処理レート
を算出する手間が省ける。According to the third processing rate calculating device, when the stability determining means determines that the processing step performed by the specific device is stable, the processing result information or the processing result information stored in the processing result storing means is stored. In order to calculate a processing rate for processing a processing step by a specific device based on the device characteristic information stored in the characteristic storage means, it is necessary to actually perform the processing of the processing device by the specific device and to calculate the processing rate. Can be omitted.
【００１５】第３の処理レート算出装置において、処理
結果蓄積手段に蓄積される処理結果情報は処理日時及び
処理レートを含むと共に、装置特性蓄積手段に含まれる
装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、安
定度判定手段は、処理結果情報に含まれる処理レートの
所定期間におけるバラツキ又は装置特性情報に含まれる
パーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づい
て、特定の装置により行なわれる処理工程の安定度を判
定することが好ましい。In the third processing rate calculating device, the processing result information stored in the processing result storing means includes the processing date and time and the processing rate, and the device characteristic information included in the device characteristic storing means includes the processing date and time and the number of particles. And the stability determining means determines the stability of the processing performed by the specific device based on the variation in the processing rate included in the processing result information during the predetermined period or the variation in the number of particles included in the device characteristic information during the predetermined period. Is preferably determined.
【００１６】本発明に係る第１の処理レート算出方法
は、複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄
積する処理結果蓄積工程と、処理結果蓄積工程において
蓄積された処理結果情報に基づいて、複数の工程のうち
処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度判
定工程と、安定度判定工程において処理工程は安定して
いると判定されたときには、処理結果蓄積工程において
蓄積された処理結果情報に基づいて処理工程を処理する
処理レートを算出する一方、安定度判定工程において処
理工程は安定していないと判定されたときには、処理工
程を実際に行なって処理工程を処理する処理レートを算
出する処理レート算出工程とを備えている。In a first processing rate calculating method according to the present invention, a processing result accumulating step of accumulating the results of processing a plurality of steps as processing result information, and a processing result information accumulated in the processing result accumulating step. A stability determination step for determining the stability of a processing step to be processed among a plurality of steps; and a processing result storage step when the processing step is determined to be stable in the stability determination step. While calculating the processing rate for processing the processing step based on the processing result information obtained, if it is determined that the processing step is not stable in the stability determination step, the processing for actually performing the processing step and processing the processing step And a processing rate calculating step of calculating a rate.
【００１７】第１の処理レート算出方法によると、安定
度判定工程において処理工程は安定していると判定され
たときには、処理結果蓄積工程において蓄積された処理
結果情報に基づいて処理工程を処理する処理レートを算
出するため、処理工程の処理を実際に行なって処理レー
トを算出する手間が省ける。According to the first processing rate calculation method, when it is determined in the stability determination step that the processing step is stable, the processing step is processed based on the processing result information accumulated in the processing result accumulation step. Since the processing rate is calculated, it is not necessary to actually perform the processing of the processing step and calculate the processing rate.
【００１８】第１の処理レート算出方法において、処理
結果蓄積工程において蓄積される処理結果情報は処理日
時及び処理レートを含み、安定度判定工程は、処理結果
情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラツキ
に基づいて処理工程の安定度を判定する工程を含むこと
が好ましい。In the first processing rate calculating method, the processing result information stored in the processing result storing step includes the processing date and time and the processing rate, and the stability determining step performs the processing in the predetermined period of the processing rate included in the processing result information. It is preferable to include a step of determining the stability of the processing step based on the variation.
【００１９】本発明に係る第２の処理レート算出方法
は、特定の装置により複数の工程を処理した結果を装置
特性情報として蓄積する装置特性蓄積工程と、装置特性
蓄積工程において蓄積された装置特性情報に基づいて特
定の装置の安定度を判定する安定度判定工程と、安定度
判定工程において特定の装置は安定していると判定され
たときには、装置特性蓄積工程において蓄積された装置
特性情報に基づいて、特定の装置が処理対象となる処理
工程を処理する処理レートを算出する一方、安定度判定
工程において特定の装置は安定していないと判定された
ときには、特定の装置により処理工程を実際に行なって
特定の装置が処理工程を処理する処理レートを算出する
処理レート算出工程とを備えている。A second processing rate calculating method according to the present invention includes an apparatus characteristic storing step of storing, as apparatus characteristic information, a result of processing a plurality of processes by a specific apparatus, and an apparatus characteristic storing step performed in the apparatus characteristic storing step. A stability determining step of determining the stability of the specific device based on the information, and, when the specific device is determined to be stable in the stability determining step, the device characteristic information stored in the device characteristic storing process is used. While calculating a processing rate at which the specific apparatus processes the processing step to be processed, based on the specific apparatus, when the specific apparatus is determined to be not stable in the stability determination step, the specific apparatus actually executes the processing step. And a processing rate calculating step of calculating a processing rate at which the specific apparatus processes the processing step.
【００２０】第２の処理レート算出方法によると、安定
度判定工程において特定の装置は安定していると判定さ
れたときには、装置特性蓄積工程において蓄積された装
置特性情報に基づいて特定の装置が処理する処理レート
を算出するため、特定の装置により実際に処理を行なっ
て処理レートを算出する手間が省ける。According to the second processing rate calculation method, when it is determined in the stability determining step that the specific device is stable, the specific device is determined based on the device characteristic information stored in the device characteristic storing step. Since the processing rate to be processed is calculated, the trouble of actually performing the processing by a specific device and calculating the processing rate can be omitted.
【００２１】第２の処理レート算出方法において、装置
特性蓄積工程において蓄積される装置特性情報は処理日
時及びパーティクル数を含み、安定度判定工程は、装置
特性情報に含まれるパーティクル数の所定期間における
バラツキに基づいて特定の装置の安定度を判定する工程
を含むことが好ましい。In the second processing rate calculating method, the apparatus characteristic information accumulated in the apparatus characteristic accumulating step includes the processing date and the number of particles, and the stability determining step includes the step of determining the number of particles included in the apparatus characteristic information during a predetermined period. It is preferable to include a step of determining the stability of a specific device based on the variation.
【００２２】本発明に係る第３の処理レート算出方法
は、第１のグループに属する複数の工程を処理した結果
を処理結果情報として蓄積する処理結果蓄積工程と、特
定の装置により第２のグループに属する複数の工程を処
理した結果を装置特性情報として蓄積する装置特性蓄積
工程と、処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果
情報及び装置特性蓄積工程において蓄積された装置特性
情報に基づいて、第１のグループ及び第２のグループの
両方に属し且つ特定の装置による処理の対象となる処理
工程の安定度を判定する安定度判定工程と、安定度判定
工程において特定の装置により行なわれる処理工程は安
定していると判定されたときには、処理結果蓄積工程に
おいて蓄積された処理結果情報又は装置特性蓄積工程に
おいて蓄積された装置特性情報に基づいて、特定の装置
により処理工程を処理する処理レートを算出する一方、
安定度判定工程において特定の装置により行なわれる処
理工程は安定していないと判定されたときには、特定の
装置により処理工程を実際に行なって特定の装置が処理
工程を処理する処理レートを算出する処理レート算出工
程とを備えている。A third processing rate calculating method according to the present invention comprises a processing result accumulating step of accumulating, as processing result information, a result of processing a plurality of steps belonging to a first group; A device characteristic accumulating step of accumulating a result obtained by processing a plurality of processes belonging to a plurality of processes as device characteristic information; and The stability determination step for determining the stability of a processing step that belongs to both the first group and the second group and that is to be processed by a specific apparatus, and the processing steps performed by the specific apparatus in the stability determination step If it is determined that the information is stable, the processing result information stored in the processing result storing step or the device stored in the apparatus characteristic storing step is stored. Based on the characteristic information, while calculating the processing rate for processing the processing steps by a particular device,
When it is determined that the processing performed by the specific device is not stable in the stability determination process, the process of actually performing the processing by the specific device and calculating the processing rate at which the specific device processes the processing is performed. A rate calculating step.
【００２３】第３の処理レート算出方法によると、安定
度判定工程において特定の装置により行なわれる処理工
程は安定していると判定されたときには、処理結果蓄積
工程において蓄積された処理結果情報又は装置特性蓄積
工程において蓄積された装置特性情報に基づいて、特定
の装置により処理工程を処理する処理レートを算出する
ため、特定の装置により処理工程を実際に行なって処理
レートを算出する手間が省ける。According to the third processing rate calculation method, when it is determined in the stability determining step that the processing step performed by the specific device is stable, the processing result information or the device information stored in the processing result storing step is stored. Since the processing rate at which the processing step is processed by the specific device is calculated based on the device characteristic information accumulated in the characteristic storing step, the trouble of actually performing the processing step by the specific device and calculating the processing rate can be omitted.
【００２４】第３の処理レート算出方法において、処理
結果蓄積工程において蓄積される処理結果情報は処理日
時及び処理レートを含むと共に、装置特性蓄積工程にお
いて蓄積される装置特性情報は処理日時及びパーティク
ル数を含み、安定度判定工程は、処理結果情報に含まれ
る処理レートの所定期間におけるバラツキ又は装置特性
情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラ
ツキに基づいて、特定の装置により行なわれる処理工程
の安定度を判定することが好ましい。In the third processing rate calculation method, the processing result information accumulated in the processing result accumulating step includes the processing date and time and the processing rate, and the apparatus characteristic information accumulated in the apparatus characteristic accumulating step includes the processing date and time and the number of particles. The stability determination step includes the step of determining whether the process performed by the specific apparatus is stable based on the variation in the processing rate included in the processing result information during the predetermined period or the variation in the number of particles included in the apparatus characteristic information during the predetermined period. It is preferable to determine the degree.
【００２５】本発明に係る第１のコンピュータ読み取り
可能な記録媒体は、処理レートを算出するための処理レ
ート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り
可能な記録媒体を対象とし、複数の工程を処理した結果
を処理結果情報として蓄積する処理結果蓄積手順と、処
理結果蓄積手順において蓄積された処理結果情報に基づ
いて、複数の工程のうち処理の対象となる処理工程の安
定度を判定する安定度判定手順と、安定度判定手順にお
いて処理工程は安定していると判定されたときには、処
理結果蓄積手順において蓄積された処理結果情報に基づ
いて処理工程を処理する処理レートを算出する一方、安
定度判定手順において処理工程は安定していないと判定
されたときには、処理工程を実際に行なって処理工程を
処理する処理レートを算出する処理レート算出手順とを
コンピュータに実行させるための処理レート算出プログ
ラムが記録されている。The first computer-readable recording medium according to the present invention is a computer-readable recording medium on which a processing rate calculation program for calculating a processing rate is recorded, and is a result of processing a plurality of steps. And a stability determination procedure for determining the stability of a processing step to be processed among a plurality of processes based on the processing result information stored in the processing result storage procedure. And when the processing step is determined to be stable in the stability determination procedure, the processing rate for processing the processing step is calculated based on the processing result information accumulated in the processing result accumulation procedure, while the stability determination procedure is performed. When it is determined that the processing step is not stable in the processing step, the processing step for actually performing the processing step and processing the processing step is performed. It is recorded a processing rate calculation program for executing a processing rate calculation procedure for calculating the computer.
【００２６】第１のコンピュータ読み取り可能な記録媒
体において、処理結果蓄積手順において蓄積される処理
結果情報は処理日時及び処理レートを含み、安定度判定
手順は、処理結果情報に含まれる処理レートの所定期間
におけるバラツキに基づいて処理工程の安定度を判定す
る手順を含むことが好ましい。In the first computer-readable recording medium, the processing result information stored in the processing result storing procedure includes the processing date and time and the processing rate, and the stability determining procedure determines the processing rate included in the processing result information. It is preferable to include a procedure for determining the stability of the processing step based on the variation in the period.
【００２７】本発明に係る第２のコンピュータ読み取り
可能な記録媒体は、処理レートを算出するための処理レ
ート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り
可能な記録媒体を対象とし、特定の装置により複数の工
程を処理した結果を装置特性情報として蓄積する装置特
性蓄積手順と、装置特性蓄積手順において蓄積された装
置特性情報に基づいて特定の装置の安定度を判定する安
定度判定手順と、安定度判定手順において特定の装置は
安定していると判定されたときには、装置特性蓄積手順
において蓄積された装置特性情報に基づいて、特定の装
置が処理対象となる処理工程を処理する処理レートを算
出する一方、安定度判定手順において特定の装置は安定
していないと判定されたときには、特定の装置により処
理工程を実際に行なって特定の装置が処理工程を処理す
る処理レートを算出する処理レート算出手順とをコンピ
ュータに実行させるための処理レート算出プログラムが
記録されている。The second computer-readable recording medium according to the present invention is intended for a computer-readable recording medium on which a processing rate calculation program for calculating a processing rate is recorded. Device characteristic accumulation procedure for accumulating the result of processing as device characteristic information, a stability determination procedure for determining the stability of a specific device based on the device characteristic information accumulated in the device characteristic accumulation procedure, and a stability determination procedure When the specific device is determined to be stable, based on the device characteristic information accumulated in the device characteristic accumulation procedure, while calculating the processing rate at which the specific device processes the processing step to be processed, When it is determined in the stability determination procedure that a specific device is not stable, the processing steps are actually performed by the specific device. Processing rate calculation program for executing a processing rate calculation procedure for calculating a processing rate of a particular device for processing a processing step on a computer are recorded me.
【００２８】第２のコンピュータ読み取り可能な記録媒
体において、装置特性蓄積手順において蓄積される装置
特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、安定度
判定手順は、装置特性情報に蓄積されているパーティク
ル数の所定期間におけるバラツキに基づいて特定の装置
の安定度を判定する手順を含むことが好ましい。In the second computer-readable recording medium, the device characteristic information stored in the device characteristic storing procedure includes the processing date and time and the number of particles, and the stability determining procedure determines the number of particles stored in the device characteristic information. It is preferable to include a procedure for determining the stability of a specific device based on the variation in the predetermined period.
【００２９】本発明に係る第３のコンピュータ読み取り
可能な記録媒体は、処理レートを算出するための処理レ
ート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り
可能な記録媒体を対象とし、第１のグループに属する複
数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積する
処理結果蓄積手順と、特定の装置により第２のグループ
に属する複数の工程を処理した結果を装置特性情報とし
て蓄積する装置特性蓄積手順と、処理結果蓄積手順にお
いて蓄積された処理結果情報及び装置特性蓄積手順にお
いて蓄積された装置特性情報に基づいて、第１のグルー
プ及び第２のグループの両方に属し且つ特定の装置によ
る処理の対象となる処理工程の安定度を判定する安定度
判定手順と、安定度判定手順において特定の装置により
行なわれる処理工程は安定していると判定されたときに
は、処理結果蓄積手順において蓄積された処理結果情報
又は装置特性蓄積手順において蓄積された装置特性情報
に基づいて、特定の装置により処理工程を処理する処理
レートを算出する一方、安定度判定手順において特定の
装置により行なわれる処理工程は安定していないと判定
されたときには、特定の装置により処理工程を実際に行
なって特定の装置が処理工程を処理する処理レートを算
出する処理レート算出手順とをコンピュータに実行させ
るための処理レート算出プログラムが記録されている。A third computer-readable recording medium according to the present invention is intended for a computer-readable recording medium on which a processing rate calculation program for calculating a processing rate is recorded. A process result accumulating procedure for accumulating the result of processing of the step as process result information, an apparatus characteristic accumulating procedure for accumulating the result of processing a plurality of processes belonging to the second group by a specific apparatus as apparatus characteristic information, Based on the processing result information accumulated in the result accumulation procedure and the apparatus characteristic information accumulated in the apparatus characteristic accumulation procedure, processing belonging to both the first group and the second group and targeted for processing by a specific apparatus A stability determination procedure for determining the stability of a process, and a processing step performed by a specific device in the stability determination procedure. If it is determined that the processing rate is stable, the processing rate for processing the processing step by a specific device is determined based on the processing result information accumulated in the processing result accumulation procedure or the apparatus characteristic information accumulated in the apparatus characteristic accumulation procedure. On the other hand, when it is determined in the stability determination procedure that the process performed by the specific device is not stable, the processing rate at which the specific device actually processes the process and processes the process by the specific device is determined. And a processing rate calculation program for causing a computer to execute the processing rate calculation procedure for calculating the processing rate.
【００３０】第３のコンピュータ読み取り可能な記録媒
体において、処理結果蓄積手順において蓄積される処理
結果情報は処理日時及び処理レートを含むと共に、装置
特性蓄積手順において蓄積される装置特性情報は処理日
時及びパーティクル数を含み、安定度判定手順は、処理
結果情報に含まれる処理レートの所定期間におけるバラ
ツキ又は装置特性情報に含まれるパーティクル数の所定
期間におけるバラツキに基づいて、特定の装置により行
なわれる処理工程の安定度を判定する手順を含むことが
好ましい。In the third computer-readable recording medium, the processing result information stored in the processing result storing procedure includes the processing date and time and the processing rate, and the device characteristic information stored in the apparatus characteristic storing procedure includes the processing date and time and The stability determination procedure includes a number of particles, and the stability determination procedure is performed by a specific device based on a variation in the processing rate included in the processing result information during a predetermined period or a variation in the number of particles included in the device characteristic information during the predetermined period. It is preferable to include a procedure for determining the degree of stability.
【００３１】[0031]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態に係
る、処理レート算出装置、処理レート算出方法、及び処
理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み
取り可能な記録媒体について、図面を参照しながら説明
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A processing rate calculation device, a processing rate calculation method, and a computer-readable recording medium storing a processing rate calculation program according to one embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. explain.
【００３２】図１は一実施形態に係る処理レート算出装
置を有する処理条件決定装置のブロック図であって、図
２は一実施形態に係る処理レート算出方法を有する処理
条件決定方法のフロー図である。FIG. 1 is a block diagram of a processing condition determining apparatus having a processing rate calculating apparatus according to one embodiment, and FIG. 2 is a flowchart of a processing condition determining method having a processing rate calculating method according to one embodiment. is there.
【００３３】処理条件決定装置は、図１に示すように、
工程の処理結果を蓄積する処理結果蓄積手段１１と、装
置の特性を蓄積する装置特性蓄積手段１２と、蓄積され
ている工程の処理結果及び装置の特性に基づいて工程の
安定度を判定する工程安定度判定手段１３と、工程が安
定していると判定される場合に、過去の処理結果に基づ
いて処理レートを自動算出する第１の処理レート算出手
段としての処理レート自動算出手段１４と、工程が安定
していないと判定される場合に、実際に処理を行なって
処理レートの算出を再度行なう第２の処理レート算出手
段としての処理レート再算出手段１５と、算出された処
理レートから処理条件を決定する処理条件決定手段１６
とを備えている。As shown in FIG. 1, the processing condition determining device
A process result accumulating unit 11 for accumulating process results of the process, a device characteristic accumulating unit 12 for accumulating device characteristics, and a process of determining the stability of the process based on the accumulated process results of the process and the device characteristics A stability determination unit 13, a processing rate automatic calculation unit 14 as a first processing rate calculation unit that automatically calculates a processing rate based on a past processing result when the process is determined to be stable, If it is determined that the process is not stable, processing rate recalculation means 15 as second processing rate calculation means for actually performing processing and calculating the processing rate again, and processing based on the calculated processing rate Processing condition determining means 16 for determining conditions
And
【００３４】以下、前記の処理条件決定装置を用いて行
なう処理決定方法について、エッチング装置によりエッ
チングを行なう処理条件を決定する場合を例にとって、
図２〜図７を参照しながら説明する。In the following, a method of determining processing performed by using the above-described processing condition determining apparatus will be described by taking as an example a case where processing conditions for performing etching by an etching apparatus are determined.
This will be described with reference to FIGS.
【００３５】まず、処理結果蓄積手段１１は、ステップ
Ｓ１において、エッチング装置により製品の処理を行な
った結果の情報を処理結果情報として蓄積する。具体的
には、図６に示すように、処理日時、エッチング時間、
エッチング膜厚及びエッチングレートをアイテムとして
持つ処理結果テーブルのレコードに、処理日時、エッチ
ング時間及びエッチング膜厚を登録すると共に、エッチ
ング膜厚をエッチング時間で除算することにより算出し
たエッチングレートも登録する。図３に示すように、処
理結果情報は製品に対してエッチング処理を行なう度毎
に登録する。尚、処理結果テーブルの作成場所は特に限
定されず、アクセス可能なコンピュータ上に作成すれば
よい。First, in step S1, the processing result accumulating means 11 accumulates information on the result of processing the product by the etching apparatus as processing result information. Specifically, as shown in FIG. 6, the processing date and time, the etching time,
The processing date and time, the etching time and the etching film thickness are registered in the record of the processing result table having the etching film thickness and the etching rate as items, and the etching rate calculated by dividing the etching film thickness by the etching time is also registered. As shown in FIG. 3, the processing result information is registered each time an etching process is performed on a product. The location where the processing result table is created is not particularly limited, and may be created on an accessible computer.
【００３６】また、装置特性蓄積手段１２は、ステップ
Ｓ２において、エッチング装置の特性を示す情報を処理
特性情報として蓄積する。具体的には、図７に示すよう
に、処理日時及びパーティクル数をアイテムとして持つ
装置特性テーブルのレコードに、処理時間及びパーティ
クル数を登録する。図４に示すように、処理特性情報は
エッチング装置の性能を確認する毎に登録する。尚、装
置特性テーブルに登録する特性データは、パーティクル
数のほかに、プラズマ密度等のようにエッチング装置の
性能を示すデータを適宜選択する。また、装置特性テー
ブルの作成場所は特に限定されず、アクセス可能なコン
ピュータ上に作成すればよい。In step S2, the device characteristic storage means 12 stores information indicating the characteristics of the etching device as processing characteristic information. Specifically, as shown in FIG. 7, the processing time and the number of particles are registered in the record of the device characteristic table having the processing date and the number of particles as items. As shown in FIG. 4, the processing characteristic information is registered each time the performance of the etching apparatus is confirmed. As the characteristic data to be registered in the apparatus characteristic table, in addition to the number of particles, data indicating the performance of the etching apparatus such as a plasma density is appropriately selected. Further, the place where the device characteristic table is created is not particularly limited, and may be created on an accessible computer.
【００３７】次に、工程安定度判定手段１３は、ステッ
プＳ３において、製品に対してエッチング処理を行なう
前に、処理結果蓄積手段１１に蓄積された処理結果情報
と、装置特性蓄積手段１２に蓄積された装置特性情報と
に基づいて、工程の安定度を判定する。Next, in step S 3, the process stability determining means 13 stores the processing result information stored in the processing result storing means 11 and the processing result information The stability of the process is determined based on the obtained device characteristic information.
【００３８】以下、工程安定度判定手段１３がステップ
Ｓ３において工程の安定度を判定する方法について、図
５に示すフロー図を参照しながら説明する。Hereinafter, a method in which the process stability determining means 13 determines the stability of the process in step S3 will be described with reference to a flowchart shown in FIG.
【００３９】ステップＳ３１において、過去のエッチン
グレートを抽出する。具体的には、図６に示す処理結果
テーブルの処理日時を検索キーとして、処理結果テーブ
ルの最新データから順に過去の５つのエッチングレート
を抽出する。In step S31, a past etching rate is extracted. Specifically, using the processing date and time of the processing result table shown in FIG. 6 as a search key, the past five etching rates are extracted sequentially from the latest data of the processing result table.
【００４０】ステップＳ３２において、抽出した５つの
エッチングレートのバラツキを調べるために、エッチン
グレートの標準偏差を計算する。尚、抽出するデータの
個数は５つに限定されず、何個でもよい。また、バラツ
キの指標は、標準偏差に限定されず、偏差、平方和、分
散、範囲又は変化率等を適宜選択できる。In step S32, the standard deviation of the etching rates is calculated in order to check the variation of the extracted five etching rates. The number of data to be extracted is not limited to five, but may be any number. Further, the index of the variation is not limited to the standard deviation, and a deviation, a sum of squares, a variance, a range, a change rate, or the like can be appropriately selected.
【００４１】ステップＳ３３において、過去のパーティ
クル数を抽出する。具体的には、装置特性テーブルの処
理日時を検索キーとして、図７に示す装置特性テーブル
の最新データから順に過去の５つのパーティクル数を抽
出する。In step S33, the number of past particles is extracted. Specifically, using the processing date and time of the device characteristic table as a search key, the past five particle numbers are extracted sequentially from the latest data of the device characteristic table shown in FIG.
【００４２】ステップＳ３４において、抽出した５つの
パーティクルのバラツキを調べるために、パーティクル
数の標準偏差を計算する。尚、抽出するデータの個数は
５つに限定されず、何個でもよい。また、バラツキの指
標は、標準偏差に限定されず、偏差、平方和、分散、範
囲又は変化率等を適宜選択できる。In step S34, the standard deviation of the number of particles is calculated in order to examine the dispersion of the five extracted particles. The number of data to be extracted is not limited to five, but may be any number. Further, the index of the variation is not limited to the standard deviation, and a deviation, a sum of squares, a variance, a range, a change rate, or the like can be appropriately selected.
【００４３】ステップＳ３５において、エッチングレー
トの標準偏差とパーティクルの標準偏差との平均値、つ
まりバラツキの平均値を算出する。In step S35, the average value of the standard deviation of the etching rate and the standard deviation of the particles, that is, the average value of the variation is calculated.
【００４４】ステップＳ３６において、バラツキの平均
値が所定値よりも小さいか否かの判断、つまり工程が安
定しているか否かの判断をする。具体的には、バラツキ
の平均値が所定値（例えば、５）よりも小さければ「工
程は安定している」と判断し、大きければ「工程は安定
していない」と判断する。尚、２つの標準偏差から平均
値を算出する際に、抽出したデータの特質等に応じて各
値に重みづけ、例えば、最近のデータには１よりも大き
い数を掛ける等の重みづけを行なった後に、平均値を算
出してもよい。また、所定値は装置の特質等に応じて適
宜決定すればよく、特に限定されない。In step S36, it is determined whether or not the average value of the variation is smaller than a predetermined value, that is, whether or not the process is stable. Specifically, if the average value of the variation is smaller than a predetermined value (for example, 5), it is determined that "the process is stable", and if it is larger, it is determined that "the process is not stable". When calculating an average value from two standard deviations, each value is weighted according to the characteristics of the extracted data, for example, weighting such as multiplying recent data by a number larger than 1 is performed. After that, the average value may be calculated. In addition, the predetermined value may be determined as appropriate according to the characteristics of the apparatus, and is not particularly limited.
【００４５】尚、工程安定度判定手段１３がステップＳ
３において工程の安定度を判定する場合、ステップＳ３
５において算出したエッチングレートの標準偏差の平均
値を用いたが、これに代えて、エッチングレートの標準
偏差又はパーティクルの標準偏差をそれぞれ単独で用い
てもよい。It should be noted that the process stability determining means 13 determines in step S
If the stability of the process is determined in step S3, the process proceeds to step S3
Although the average value of the standard deviation of the etching rate calculated in 5 is used, the standard deviation of the etching rate or the standard deviation of the particles may be used alone instead.
【００４６】次に、工程安定度判定手段１３がステップ
Ｓ３において「工程は安定している」と判断すると、処
理レート自動算出手段１４は、製品に対するエッチング
を行なう前に、ステップＳ４において、処理レートであ
るエッチングレートを算出する。具体的には、図６に示
す処理結果テーブルの処理日時を検索キーとして、処理
結果テーブルの最新データから順に過去の５つのエッチ
ングレートを抽出し、抽出した５つのエッチングレート
の平均値を計算する。尚、抽出するデータの個数は５つ
に限定されず、何個でもよいと共に、ステップＳ３１に
おいて抽出したデータの個数と一致させる必要もない。
また、エッチングレートの平均値を算出する際に、装置
の特質等に応じて各データに重みづけを行なった後、平
均値を算出してもよい。Next, when the process stability determining means 13 determines that the process is stable in step S3, the processing rate automatic calculating means 14 determines in step S4 the processing rate before performing etching on the product. Is calculated. Specifically, using the processing date and time of the processing result table shown in FIG. 6 as a search key, the past five etching rates are sequentially extracted from the latest data of the processing result table, and the average value of the extracted five etching rates is calculated. . Note that the number of data to be extracted is not limited to five, and may be any number, and need not match the number of data extracted in step S31.
When calculating the average value of the etching rate, the data may be weighted according to the characteristics of the apparatus or the like, and then the average value may be calculated.
【００４７】次に、工程安定度判定手段１３がステップ
Ｓ３において「工程は安定していない」と判断すると、
処理レート再算出手段１５は、製品に対するエッチング
を行なう前に、ステップＳ５において、エッチングレー
トを算出する。エッチングレートの算出方法は、従来よ
り行われているエッチングモニターによる先行エッチン
グを通して算出する等、実際にエッチング装置によって
エッチングした結果からエッチングレートを算出すれば
よく、特に限定されない。Next, when the process stability determining means 13 determines that "the process is not stable" in step S3,
The processing rate recalculation means 15 calculates an etching rate in step S5 before performing etching on the product. The method of calculating the etching rate is not particularly limited, as long as the etching rate is calculated from the result of actual etching by an etching apparatus, such as calculation through prior etching using a conventional etching monitor.
【００４８】次に、処理条件決定手段１６は、ステップ
Ｓ６において、処理レート自動算出手段１４又は処理レ
ート再算出手段１５により算出されたエッチングレート
からエッチング条件を決定する。具体的には、製品のエ
ッチング膜厚を、処理レート自動算出手段１４又は処理
レート再算出手段１５により算出されたエッチングレー
トで除算して、エッチング時間を求める。Next, the processing condition determining means 16 determines the etching condition from the etching rate calculated by the processing rate automatic calculating means 14 or the processing rate recalculating means 15 in step S6. Specifically, the etching time is determined by dividing the etching film thickness of the product by the etching rate calculated by the processing rate automatic calculation means 14 or the processing rate recalculation means 15.
【００４９】以上のように、本実施形態に係る処理レー
ト算出方法及び処理レート算出装置によると、エッチン
グ工程における処理の安定度によってエッチングレート
の算出方法を変更し、処理の安定度が高い場合には、エ
ッチングモニターによる先行エッチングを行なうことな
く、蓄積しておいた過去のエッチングレートから自動的
にエッチングレートを算出するので、エッチングレート
を算出するために要する時間を低減することができる。As described above, according to the processing rate calculating method and the processing rate calculating apparatus according to the present embodiment, the method for calculating the etching rate is changed depending on the stability of the processing in the etching step, and the processing rate is high when the processing stability is high. In this method, the etching rate is automatically calculated from the accumulated etching rates in the past without performing the preceding etching by the etching monitor, so that the time required for calculating the etching rate can be reduced.
【００５０】尚、処理結果蓄積手段１１又は装置特性蓄
積手段１２により処理結果情報又は装置特性情報を蓄積
する場合、図６又は図７に示すテーブルに代えて、リス
ト構造（コンピュータのメモリ上に記憶されている構
造）等を用いてもよい。When processing result information or apparatus characteristic information is stored by the processing result storing means 11 or the apparatus characteristic storing means 12, a list structure (stored in the memory of the computer) instead of the table shown in FIG. 6 or FIG. May be used.
【００５１】また、本発明における処理条件は、エッチ
ング装置による処理条件のほかに、ＣＶＤ装置、スパッ
タ装置、露光装置又は酸化装置等のように、処理レート
から処理条件を推定して決定する必要があると共に、処
理の特性が不安定であるため、処理の直前に処理条件を
再決定する必要がある製造装置を用いて製品の製造を行
なう際の処理条件を広く対象としている。Further, the processing conditions in the present invention need to be determined by estimating the processing conditions from the processing rate, such as a CVD apparatus, a sputtering apparatus, an exposure apparatus or an oxidizing apparatus, in addition to the processing conditions by the etching apparatus. In addition, since the characteristics of the processing are unstable, the processing conditions when manufacturing a product using a manufacturing apparatus that requires redetermining the processing conditions immediately before the processing are widely targeted.
【００５２】従って、本実施形態に係る処理レート算出
方法を実現する処理レート算出プログラムを作成すると
共に、コンピュータが読み取り可能な記録媒体に処理レ
ート算出プログラムを記録しておけば、記録媒体をコン
ピュータの補助記憶装置に装着することにより、本実施
形態に係る処理レート算出プログラムがコンピュータの
主記憶装置にロードされ、所定の動作タイミング（イベ
ント）が発生したときに、コンピュータのＣＰＵによっ
て各手順の所定の機能が実行される。Therefore, if a processing rate calculation program for realizing the processing rate calculation method according to the present embodiment is created, and the processing rate calculation program is recorded on a computer-readable recording medium, the recording medium can be used for the computer. By mounting the processing rate calculation program according to the present embodiment in the auxiliary storage device, the processing rate calculation program according to the present embodiment is loaded into the main storage device of the computer, and when a predetermined operation timing (event) occurs, a predetermined CPU of each procedure is executed by the CPU of the computer. The function is performed.
【００５３】[0053]
【発明の効果】第１の処理レート算出装置によると、処
理工程が安定しているときには、処理工程を実際に行な
って処理レートを算出する手間が省けるので、処理レー
トを算出するために要する時間を低減することができ
る。According to the first processing rate calculating apparatus, when the processing step is stable, the time required to calculate the processing rate can be saved because the time for actually performing the processing step and calculating the processing rate can be omitted. Can be reduced.
【００５４】第１の処理レート算出装置において、安定
度判定手段が、処理結果情報に含まれる処理レートの所
定期間におけるバラツキに基づいて処理工程の安定度を
判定すると、算出される処理レートの信頼性が高くな
る。In the first processing rate calculating device, when the stability determining means determines the stability of the processing step based on the variation of the processing rate included in the processing result information during a predetermined period, the reliability of the calculated processing rate is determined. The nature becomes high.
【００５５】第２の処理レート算出装置によると、特定
の装置が安定しているときには、特定の装置により実際
に処理を行なって処理レートを算出する手間が省けるの
で、処理レートを算出するために要する時間を低減する
ことができる。According to the second processing rate calculating device, when the specific device is stable, the process of calculating the processing rate by actually performing the processing by the specific device can be omitted. The time required can be reduced.
【００５６】第２の処理レート算出装置において、安定
度判定手段が、装置特性情報に含まれるパーティクル数
の所定期間におけるバラツキに基づいて特定の装置の安
定度を判定すると、算出される処理レートの信頼性が高
くなる。In the second processing rate calculating device, when the stability determining means determines the stability of a specific device based on the variation in the number of particles included in the device characteristic information during a predetermined period, the calculated processing rate is calculated. Increases reliability.
【００５７】第３の処理レート算出装置によると、特定
の装置により行なわれる処理工程が安定しているときに
は、特定の装置により処理工程の処理を実際に行なって
処理レートを算出する手間が省けるので、処理レートを
算出するために要する時間を低減することができる。According to the third processing rate calculating device, when the processing performed by the specific device is stable, the process of calculating the processing rate by actually performing the processing of the processing by the specific device can be omitted. Thus, the time required to calculate the processing rate can be reduced.
【００５８】第３の処理レート算出装置において、安定
度判定手段が、処理結果情報に含まれる処理レートの所
定期間におけるバラツキ又は装置特性情報に含まれるパ
ーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて、
特定の装置により行なわれる処理工程の安定度を判定す
ると、算出される処理レートの信頼性が一層高くなる。In the third processing rate calculating device, the stability determining means may determine whether the processing rate included in the processing result information varies in a predetermined period or the number of particles included in the apparatus characteristic information varies in a predetermined period.
When the stability of the processing performed by a specific device is determined, the reliability of the calculated processing rate is further increased.
【００５９】第１の処理レート算出方法によると、処理
工程が安定しているときには、処理工程を実際に行なっ
て処理レートを算出する手間が省けるので、処理レート
を算出するために要する時間を低減することができる。According to the first processing rate calculating method, when the processing steps are stable, the time required to calculate the processing rate by actually performing the processing steps and calculating the processing rate can be reduced. can do.
【００６０】第１の処理レート算出方法において、安定
度判定工程が、処理結果情報に含まれる処理レートの所
定期間におけるバラツキに基づいて処理工程の安定度を
判定すると、算出される処理レートの信頼性が高くな
る。In the first processing rate calculation method, when the stability determination step determines the stability of the processing step based on the variation of the processing rate included in the processing result information during a predetermined period, the reliability of the calculated processing rate is determined. The nature becomes high.
【００６１】第２の処理レート算出方法によると、特定
の装置が安定しているときには、特定の装置により実際
に処理を行なって処理レートを算出する手間が省けるの
で、処理レートを算出するために要する時間を低減する
ことができる。According to the second processing rate calculation method, when a specific device is stable, the process of calculating the processing rate by actually performing processing by the specific device can be omitted. The time required can be reduced.
【００６２】第２の処理レート算出方法において、安定
度判定工程が、装置特性情報に蓄積されているパーティ
クル数の所定期間におけるバラツキに基づいて特定の装
置の安定度を判定すると、算出される処理レートの信頼
性が高くなる。In the second processing rate calculating method, when the stability determining step determines the stability of a specific device based on the variation in the number of particles accumulated in the device characteristic information during a predetermined period, the process is calculated. The rate is more reliable.
【００６３】第３の処理レート算出方法によると、特定
の装置により行なわれる処理工程が安定しているときに
は、特定の装置により処理工程を実際に行なって処理レ
ートを算出する手間が省けるので、処理レートを算出す
るために要する時間を低減することができる。According to the third processing rate calculation method, when the processing performed by a specific device is stable, the process of actually performing the processing by a specific device and calculating the processing rate can be omitted. The time required to calculate the rate can be reduced.
【００６４】第３の処理レート算出方法において、安定
度判定工程が、処理結果情報に含まれる処理レートの所
定期間におけるバラツキ又は装置特性情報に含まれるパ
ーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて、
特定の装置により行なわれる処理工程の安定度を判定す
ると、算出される処理レートの信頼性が一層高くなる。In the third processing rate calculation method, the stability determination step includes determining whether the processing rate included in the processing result information varies in a predetermined period or the number of particles included in the apparatus characteristic information varies in a predetermined period.
When the stability of the processing performed by a specific device is determined, the reliability of the calculated processing rate is further increased.
【００６５】また、本発明に係る処理レート算出方法の
うちのいづれか１つをコンピュータに実現させる処理レ
ート算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り
可能な記録媒体によると、該記録媒体に記録されている
処理レート算出プログラムをコンピュータで実行させる
ことにより、前記１つの処理レート算出方法を確実に実
行することができる。Further, according to a computer-readable recording medium on which a processing rate calculation program for causing a computer to implement any one of the processing rate calculation methods according to the present invention, the processing recorded on the recording medium is performed. By causing the computer to execute the rate calculation program, the one processing rate calculation method can be reliably executed.
【図１】本発明の一実施形態に係る処理レート算出装置
を有する処理条件決定装置のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of a processing condition determination device having a processing rate calculation device according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施形態に係る処理レート算出方法
を有する処理条件決定方法のフロー図である。FIG. 2 is a flowchart of a processing condition determination method having a processing rate calculation method according to an embodiment of the present invention.
【図３】前記の処理条件決定装置の処理結果蓄積手段が
エッチング装置により製品の処理を行なった結果得られ
る情報を処理結果情報として蓄積する工程を説明する図
である。FIG. 3 is a view for explaining a process in which information obtained as a result of processing a product by an etching device is stored as processing result information by a processing result storage unit of the processing condition determination device.
【図４】前記の処理条件決定装置の装置特性蓄積手段が
エッチング装置の特性を示す情報を処理特性情報として
蓄積する工程を説明する図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a process in which device characteristic storage means of the processing condition determination device stores information indicating characteristics of an etching device as processing characteristic information.
【図５】前記の処理条件決定方法における工程安定度判
定工程の各処理を説明するフロー図である。FIG. 5 is a flowchart illustrating each process of a process stability determination step in the processing condition determination method.
【図６】前記処理条件決定装置及び処理条件決定方法に
おいて用いる処理結果テーブルを示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a processing result table used in the processing condition determination device and the processing condition determination method.
【図７】前記処理条件決定装置及び処理条件決定方法に
おいて用いる処理特性テーブルを示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a processing characteristic table used in the processing condition determination device and the processing condition determination method.
【図８】従来の処理条件決定装置のブロック図である。FIG. 8 is a block diagram of a conventional processing condition determination device.
１１ 処理結果蓄積手段 １２ 装置特性蓄積手段 １３ 工程安定度判定手段 １４ 処理レート自動算出手段 １５ 処理レート再算出手段 １６ 処理条件決定手段 Ｓ１ 処理結果蓄積工程 Ｓ２ 装置特性蓄積工程 Ｓ３ 工程安定度判定工程 Ｓ４ 処理レート自動算出工程 Ｓ５ 処理レート再算出工程 Ｓ６ 処理条件決定工程 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Processing result accumulation means 12 Device characteristic accumulation means 13 Process stability judgment means 14 Automatic processing rate calculation means 15 Processing rate recalculation means 16 Processing condition determination means S1 Processing result accumulation step S2 Device characteristic accumulation step S3 Process stability judgment step S4 Processing rate automatic calculation step S5 Processing rate recalculation step S6 Processing condition determination step
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｈ０１Ｌ 21/203 Ｓ 21/203 21/205 21/205 Ｇ０６Ｆ 15/21 Ｒ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２Ｇ 21/302 21/302 Ｚ ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI H01L 21/02 H01L 21/203 S 21/203 21/205 21/205 G06F 15/21 R 21/027 H01L 21/30 502G 21 / 302 21/302 Z
Claims (18)
報として蓄積しておく処理結果蓄積手段と、 前記処理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報に
基づいて、前記複数の工程のうち処理の対象となる処理
工程の安定度を判定する安定度判定手段と、 前記安定度判定手段が前記処理工程は安定していると判
定したときに、前記処理結果蓄積手段に蓄積されている
処理結果情報に基づいて前記処理工程を処理する処理レ
ートを算出する第１の処理レート算出手段と、 前記安定度判定手段が前記処理工程は安定していないと
判定したときに、前記処理工程を実際に行なって前記処
理工程を処理する処理レートを算出する第２の処理レー
ト算出手段とを備えていることを特徴とする処理レート
算出装置。A processing result storage unit configured to store a result of processing a plurality of processes as processing result information; and a processing result storage unit configured to store a result of the plurality of processes based on the processing result information stored in the processing result storage unit. A stability determining means for determining the stability of the processing step to be processed; and a processing stored in the processing result storing means when the stability determining means determines that the processing step is stable. First processing rate calculating means for calculating a processing rate for processing the processing step based on the result information; and when the stability determining means determines that the processing step is not stable, the processing step is actually executed. And a second processing rate calculating means for calculating a processing rate for performing the processing step.
結果情報は処理日時及び処理レートを含み、 前記安定度判定手段は、前記処理結果情報に含まれる処
理レートの所定期間におけるバラツキに基づいて前記処
理工程の安定度を判定する手段を有することを特徴とす
る請求項１に記載の処理レート算出装置。2. The processing result information stored in the processing result storage means includes a processing date and a processing rate, and the stability determining means determines a processing rate included in the processing result information based on a variation in a predetermined period. 2. The processing rate calculation device according to claim 1, further comprising means for determining the stability of the processing step.
結果を装置特性情報として蓄積しておく装置特性蓄積手
段と、 前記装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に
基づいて前記特定の装置の安定度を判定する安定度判定
手段と、 前記安定度判定手段が前記特定の装置は安定していると
判定したときに、前記装置特性蓄積手段に蓄積されてい
る装置特性情報に基づいて、前記特定の装置が処理の対
象となる処理工程を処理する処理レートを算出する第１
の処理レート算出手段と、 前記安定度判定手段が前記特定の装置は安定していない
と判定したときに、前記特定の装置により前記処理工程
を実際に行なって前記特定の装置が前記処理工程を処理
する処理レートを算出する第２の処理レート算出手段と
を備えていることを特徴とする処理レート算出装置。3. A device characteristic accumulating means for accumulating a result of processing a plurality of processes by a specific device as device characteristic information, and the specific characteristic based on the device characteristic information accumulated in the device characteristic accumulating means. Stability determining means for determining the stability of the device, and when the stability determining means determines that the specific device is stable, based on the device characteristic information stored in the device characteristic storing device. Calculating a processing rate at which the specific device processes a processing step to be processed;
Processing rate calculation means, and when the stability determining means determines that the specific device is not stable, the specific device actually performs the processing step, the specific device performs the processing step A processing rate calculation device comprising: a second processing rate calculation unit that calculates a processing rate to be processed.
特性情報は処理日時及びパーティクル数を含み、 前記安定度判定手段は、前記装置特性情報に含まれるパ
ーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づいて前
記特定の装置の安定度を判定する手段を有することを特
徴とする請求項３に記載の処理レート算出装置。4. The device characteristic information stored in the device characteristic storage unit includes a processing date and a number of particles, and the stability determination unit determines the number of particles included in the device characteristic information based on a variation in a predetermined period. 4. The processing rate calculation device according to claim 3, further comprising means for determining the stability of the specific device.
理した結果を処理結果情報として蓄積しておく処理結果
蓄積手段と、 特定の装置により第２のグループに属する複数の工程を
処理した結果を装置特性情報として蓄積しておく装置特
性蓄積手段と、 前記処理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報及
び前記装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報
に基づいて、前記第１のグループ及び前記第２のグルー
プの両方に属し且つ前記特定の装置による処理の対象と
なる処理工程の安定度を判定する安定度判定手段と、 前記安定度判定手段が前記特定の装置により行なわれる
前記処理工程は安定していると判定したときに、前記処
理結果蓄積手段に蓄積されている処理結果情報又は前記
装置特性蓄積手段に蓄積されている装置特性情報に基づ
いて、前記特定の装置により前記処理工程を処理する処
理レートを算出する第１の処理レート算出手段と、 前記安定度判定手段が前記特定の装置により行なわれる
前記処理工程は安定していないと判定したときに、前記
特定の装置により前記処理工程を実際に行なって前記特
定の装置が前記処理工程を処理する処理レートを算出す
る第２の処理レート算出手段とを備えていることを特徴
とする処理レート算出装置。5. A processing result accumulating means for storing results of processing a plurality of processes belonging to a first group as processing result information, and a result of processing a plurality of processes belonging to a second group by a specific device. Based on the processing result information stored in the processing result storage means and the device characteristic information stored in the device characteristic storage means. A stability determination unit that belongs to both the group and the second group and determines the stability of a processing step to be processed by the specific device; and wherein the stability determination unit is performed by the specific device. When it is determined that the processing step is stable, the processing result information stored in the processing result storage means or the device characteristic information stored in the device characteristic storage means is determined. First processing rate calculating means for calculating a processing rate for processing the processing step by the specific device based on the information, and the processing step in which the stability determining means is performed by the specific device is stable. When it is determined that there is no second processing rate calculating means for actually performing the processing step by the specific apparatus and calculating a processing rate for processing the processing step by the specific apparatus. Characteristic processing rate calculation device.
結果情報は処理日時及び処理レートを含むと共に、前記
装置特性蓄積手段に含まれる装置特性情報は処理日時及
びパーティクル数を含み、 前記安定度判定手段は、前記処理結果情報に含まれる処
理レートの所定期間におけるバラツキ又は前記装置特性
情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラ
ツキに基づいて、前記特定の装置により行なわれる前記
処理工程の安定度を判定する手段を有することを特徴と
する請求項５に記載の処理レート算出装置。6. The processing result information stored in the processing result storage unit includes a processing date and time and a processing rate, and the device characteristic information included in the device characteristic storage unit includes a processing date and a number of particles. The determining unit is configured to determine, based on a variation in the processing rate included in the processing result information during a predetermined period or a variation in the number of particles included in the device characteristic information during the predetermined period, the stability of the processing performed by the specific device. The processing rate calculation device according to claim 5, further comprising: means for determining the processing rate.
報として蓄積する処理結果蓄積工程と、 前記処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果情報
に基づいて、前記複数の工程のうち処理の対象となる処
理工程の安定度を判定する安定度判定工程と、 前記安定度判定工程において前記処理工程は安定してい
ると判定されたときには、前記処理結果蓄積工程におい
て蓄積された処理結果情報に基づいて前記処理工程を処
理する処理レートを算出する一方、前記安定度判定工程
において前記処理工程は安定していないと判定されたと
きには、前記処理工程を実際に行なって前記処理工程を
処理する処理レートを算出する処理レート算出工程とを
備えていることを特徴とする処理レート算出方法。7. A processing result accumulating step of accumulating a result of processing a plurality of steps as processing result information; and a processing target of the plurality of steps based on the processing result information accumulated in the processing result accumulating step. A stability determining step for determining the stability of the processing step to be performed, and, when the processing step is determined to be stable in the stability determining step, based on the processing result information accumulated in the processing result accumulating step. The stability rate determining step determines that the processing step is not stable, and when the stability rate determining step determines that the processing step is not stable, the processing rate at which the processing step is actually performed to process the processing step. And a processing rate calculating step of calculating the processing rate.
る処理結果情報は処理日時及び処理レートを含み、 前記安定度判定工程は、前記処理結果情報に含まれる処
理レートの所定期間におけるバラツキに基づいて前記処
理工程の安定度を判定する工程を含むことを特徴とする
請求項７に記載の処理レート算出方法。8. The processing result information stored in the processing result storing step includes a processing date and a processing rate, and the stability determining step is performed based on a variation in the processing rate included in the processing result information during a predetermined period. The method according to claim 7, further comprising a step of determining a stability of the processing step.
結果を装置特性情報として蓄積する装置特性蓄積工程
と、 前記装置特性蓄積工程において蓄積された装置特性情報
に基づいて前記特定の装置の安定度を判定する安定度判
定工程と、 前記安定度判定工程において前記特定の装置は安定して
いると判定されたときには、前記装置特性蓄積工程にお
いて蓄積された装置特性情報に基づいて、前記特定の装
置が処理対象となる処理工程を処理する処理レートを算
出する一方、前記安定度判定工程において前記特定の装
置は安定していないと判定されたときには、前記特定の
装置により前記処理工程を実際に行なって前記特定の装
置が前記処理工程を処理する処理レートを算出する処理
レート算出工程とを備えていることを特徴とする処理レ
ート算出方法。9. A device characteristic accumulating step of accumulating a result of processing a plurality of processes by a specific device as device characteristic information, and stabilizing the specific device based on the device characteristic information accumulated in the device characteristic accumulating step. A stability determination step for determining the degree, when the specific device is determined to be stable in the stability determination step, based on the device characteristic information accumulated in the device characteristic accumulation step, the specific While the apparatus calculates a processing rate for processing the processing step to be processed, when it is determined that the specific apparatus is not stable in the stability determination step, the specific apparatus actually performs the processing step. A processing rate calculating step of calculating a processing rate at which the specific device performs the processing step by performing the processing. Way out.
れる装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含
み、 前記安定度判定工程は、前記装置特性情報に蓄積されて
いるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づ
いて前記特定の装置の安定度を判定する工程を含むこと
を特徴とする請求項９に記載の処理レート算出方法。10. The device characteristic information stored in the device characteristic storing step includes a processing date and a number of particles, and the stability determining step includes determining whether the number of particles stored in the device characteristic information varies during a predetermined period. The method according to claim 9, further comprising: determining a stability of the specific device based on the processing rate.
処理した結果を処理結果情報として蓄積する処理結果蓄
積工程と、 特定の装置により第２のグループに属する複数の工程を
処理した結果を装置特性情報として蓄積する装置特性蓄
積工程と、 前記処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果情報
及び前記装置特性蓄積工程において蓄積された装置特性
情報に基づいて、前記第１のグループ及び前記第２のグ
ループの両方に属し且つ前記特定の装置による処理の対
象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定工程
と、 前記安定度判定工程において前記特定の装置により行な
われる前記処理工程は安定していると判定されたときに
は、前記処理結果蓄積工程において蓄積された処理結果
情報又は前記装置特性蓄積工程において蓄積された装置
特性情報に基づいて、前記特定の装置により前記処理工
程を処理する処理レートを算出する一方、前記安定度判
定工程において前記特定の装置により行なわれる前記処
理工程は安定していないと判定されたときには、前記特
定の装置により前記処理工程を実際に行なって前記特定
の装置が前記処理工程を処理する処理レートを算出する
処理レート算出工程とを備えていることを特徴とする処
理レート算出方法。11. A processing result accumulating step of accumulating a result of processing a plurality of steps belonging to a first group as processing result information, and an apparatus storing a result of processing a plurality of steps belonging to a second group by a specific device. The first group and the second group based on the processing result information stored in the processing result storing step and the processing result information stored in the processing result storing step, and the device characteristic information stored in the processing result storing step. A stability determination step for determining the stability of a processing step that belongs to both of the groups and to be processed by the specific apparatus; and the processing step performed by the specific apparatus in the stability determination step is stable. When it is determined that the processing result information is stored in the processing result storing step or the processing result information stored in the apparatus characteristic storing step, Based on the obtained device characteristic information, a processing rate for processing the processing step by the specific device is calculated, while the processing step performed by the specific device in the stability determination step is determined to be not stable. A process rate calculating step of actually performing the processing step by the specific device and calculating a processing rate at which the specific device processes the processing step. .
れる処理結果情報は処理日時及び処理レートを含むと共
に、前記装置特性蓄積工程において蓄積される装置特性
情報は処理日時及びパーティクル数を含み、 前記安定度判定工程は、前記処理結果情報に含まれる処
理レートの所定期間におけるバラツキ又は前記装置特性
情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラ
ツキに基づいて、前記特定の装置により行なわれる前記
処理工程の安定度を判定する工程を含むことを特徴とす
る請求項１１に記載の処理レート算出方法。12. The processing result information stored in the processing result storing step includes a processing date and a processing rate, and the device characteristic information stored in the device characteristic storing step includes a processing date and a number of particles. The degree judging step is based on a variation in the processing rate included in the processing result information during a predetermined period or a variation in the number of particles included in the apparatus characteristic information during the predetermined period, to stabilize the processing performed by the specific device. 12. The processing rate calculation method according to claim 11, further comprising a step of determining a degree.
ト算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可
能な記録媒体であって、 複数の工程を処理した結果を処理結果情報として蓄積す
る処理結果蓄積手順と、 前記処理結果蓄積手順において蓄積された処理結果情報
に基づいて、前記複数の工程のうち処理の対象となる処
理工程の安定度を判定する安定度判定手順と、 前記安定度判定手順において前記処理工程は安定してい
ると判定されたときには、前記処理結果蓄積手順におい
て蓄積された処理結果情報に基づいて前記処理工程を処
理する処理レートを算出する一方、前記安定度判定手順
において前記処理工程は安定していないと判定されたと
きには、前記処理工程を実際に行なって前記処理工程を
処理する処理レートを算出する処理レート算出手順と、
をコンピュータに実行させるための処理レート算出プロ
グラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒
体。13. A computer-readable recording medium on which a processing rate calculation program for calculating a processing rate is recorded, wherein a processing result storing procedure stores processing results of a plurality of processes as processing result information; A stability determining step of determining the stability of a processing step to be processed among the plurality of steps based on the processing result information stored in the processing result storing step; When it is determined that is stable, the processing rate for processing the processing step is calculated based on the processing result information accumulated in the processing result accumulation procedure, while the processing step is stable in the stability determination procedure. If it is determined that the processing has not been performed, the processing for calculating the processing rate for actually performing the processing and processing the processing is performed. Calculation procedure of the rate,
Computer-readable recording medium on which a processing rate calculation program for causing a computer to execute the processing is recorded.
れる処理結果情報は処理日時及び処理レートを含み、 前記安定度判定手順は、前記処理結果情報に含まれる処
理レートの所定期間におけるバラツキに基づいて前記処
理工程の安定度を判定する手順を含むことを特徴とする
請求項１３に記載の処理レート算出プログラムが記録さ
れたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。14. The processing result information stored in the processing result storing procedure includes a processing date and a processing rate, and the stability determining step is performed based on a variation in the processing rate included in the processing result information during a predetermined period. 14. A computer-readable recording medium having recorded thereon a processing rate calculation program according to claim 13, further comprising a step of determining a stability of said processing step.
ト算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可
能な記録媒体であって、 特定の装置により複数の工程を処理した結果を装置特性
情報として蓄積する装置特性蓄積手順と、 前記装置特性蓄積手順において蓄積された装置特性情報
に基づいて前記特定の装置の安定度を判定する安定度判
定手順と、 前記安定度判定手順において前記特定の装置は安定して
いると判定されたときには、前記装置特性蓄積手順にお
いて蓄積された装置特性情報に基づいて、前記特定の装
置が処理対象となる処理工程を処理する処理レートを算
出する一方、前記安定度判定手順において前記特定の装
置は安定していないと判定されたときには、前記特定の
装置により前記処理工程を実際に行なって前記特定の装
置が前記処理工程を処理する処理レートを算出する処理
レート算出手順と、をコンピュータに実行させるための
処理レート算出プログラムが記録されたコンピュータ読
み取り可能な記録媒体。15. A computer-readable recording medium on which a processing rate calculation program for calculating a processing rate is recorded, wherein device characteristics for accumulating, as device characteristic information, results of processing a plurality of processes by a specific device. An accumulation procedure; a stability determination procedure for determining the stability of the specific device based on the device characteristic information accumulated in the device characteristic accumulation procedure; and the specific device is stable in the stability determination procedure. When it is determined that, based on the device characteristic information accumulated in the device characteristic accumulation procedure, the processing rate at which the specific device processes the processing step to be processed, while calculating the processing rate in the stability determination procedure When it is determined that the specific device is not stable, the process is actually performed by the specific device, and the specific process is performed. A computer-readable recording medium storing a processing rate calculation program for causing a computer to execute a processing rate calculation procedure for calculating a processing rate at which the apparatus according to the first embodiment processes the processing step.
れる装置特性情報は処理日時及びパーティクル数を含
み、 前記安定度判定手順は、前記装置特性情報に蓄積されて
いるパーティクル数の所定期間におけるバラツキに基づ
いて前記特定の装置の安定度を判定する手順を含むこと
を特徴とする請求項１５に記載の処理レート算出プログ
ラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒
体。16. The apparatus characteristic information accumulated in the apparatus characteristic accumulation procedure includes a processing date and a number of particles, and the stability determination procedure includes a step of determining a variation in the number of particles accumulated in the apparatus characteristic information during a predetermined period. 16. A computer-readable recording medium in which a processing rate calculation program according to claim 15, further comprising a step of determining a stability of the specific device based on the program.
ト算出プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可
能な記録媒体であって、 第１のグループに属する複数の工程を処理した結果を処
理結果情報として蓄積する処理結果蓄積手順と、 特定の装置により第２のグループに属する複数の工程を
処理した結果を装置特性情報として蓄積する装置特性蓄
積手順と、 前記処理結果蓄積手順において蓄積された処理結果情報
及び前記装置特性蓄積手順において蓄積された装置特性
情報に基づいて、前記第１のグループ及び前記第２のグ
ループの両方に属し且つ前記特定の装置による処理の対
象となる処理工程の安定度を判定する安定度判定手順
と、 前記安定度判定手順において前記特定の装置により行な
われる前記処理工程は安定していると判定されたときに
は、前記処理結果蓄積手順において蓄積された処理結果
情報又は前記装置特性蓄積手順において蓄積された装置
特性情報に基づいて、前記特定の装置により前記処理工
程を処理する処理レートを算出する一方、前記安定度判
定手順において前記特定の装置により行なわれる前記処
理工程は安定していないと判定されたときには、前記特
定の装置により前記処理工程を実際に行なって前記特定
の装置が前記処理工程を処理する処理レートを算出する
処理レート算出手順と、をコンピュータに実行させるた
めの処理レート算出プログラムが記録されたコンピュー
タ読み取り可能な記録媒体。17. A computer-readable recording medium having recorded thereon a processing rate calculation program for calculating a processing rate, wherein results of processing a plurality of steps belonging to a first group are accumulated as processing result information. A processing result accumulation procedure, an apparatus characteristic accumulation procedure for accumulating, as apparatus characteristic information, a result of processing a plurality of processes belonging to the second group by a specific apparatus; a processing result information accumulated in the processing result accumulation procedure; Stability that determines the stability of a processing step that belongs to both the first group and the second group and that is to be processed by the specific device, based on the device characteristic information accumulated in the device characteristic accumulation procedure In the stability determination procedure, the processing steps performed by the specific device in the stability determination procedure are determined to be stable. When the processing rate is calculated, the processing rate for processing the processing step by the specific device is calculated based on the processing result information stored in the processing result storing procedure or the device characteristic information stored in the device characteristic storing procedure. When it is determined in the stability determination procedure that the processing performed by the specific device is not stable, the processing is actually performed by the specific device, and the specific device performs the processing. A computer-readable recording medium that stores a processing rate calculation program for causing a computer to execute a processing rate calculation procedure for calculating a processing rate to be processed.
れる処理結果情報は処理日時及び処理レートを含むと共
に、前記装置特性蓄積手順において蓄積される装置特性
情報は処理日時及びパーティクル数を含み、 前記安定度判定手順は、前記処理結果情報に含まれる処
理レートの所定期間におけるバラツキ又は前記装置特性
情報に含まれるパーティクル数の所定期間におけるバラ
ツキに基づいて、前記特定の装置により行なわれる前記
処理工程の安定度を判定する手順を含むことを特徴とす
る請求項１７に記載の処理レート算出プログラムが記録
されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。18. The processing result information stored in the processing result storing procedure includes a processing date and a processing rate, and the device characteristic information stored in the device characteristic storing procedure includes a processing date and a number of particles. The degree determination procedure is based on the variation in the processing rate included in the processing result information during a predetermined period or the variation in the number of particles included in the device characteristic information during the predetermined period, and stabilization of the processing performed by the specific device. 18. A computer-readable recording medium having recorded thereon a processing rate calculation program according to claim 17, further comprising a step of determining a degree.
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|---|---|---|---|
| JP00015198A JP3380849B2 (en) | 1997-02-06 | 1998-01-05 | Processing rate calculation method |
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
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|---|---|
| JP (1) | JP3380849B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002035587A1 (en) * | 2000-10-23 | 2002-05-02 | Sony Corporation | Method of producing semiconductor device and processing conditions setting device |
| JP2006301974A (en) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Omron Corp | Manufacturing condition setting system, manufacturing condition setting method, control program, and computer readable recording medium having control program recorded therein |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114641386A (en) * | 2019-11-07 | 2022-06-17 | 纳米电子成像有限公司 | Systems, methods, and media for manufacturing processes |
-
1998
- 1998-01-05 JP JP00015198A patent/JP3380849B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2002035587A1 (en) * | 2000-10-23 | 2002-05-02 | Sony Corporation | Method of producing semiconductor device and processing conditions setting device |
| JP2006301974A (en) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Omron Corp | Manufacturing condition setting system, manufacturing condition setting method, control program, and computer readable recording medium having control program recorded therein |
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|---|---|
| JP3380849B2 (en) | 2003-02-24 |
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