JPH10277506A - Washing apparatus - Google Patents

Washing apparatus

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JPH10277506A
JPH10277506A JP9085100A JP8510097A JPH10277506A JP H10277506 A JPH10277506 A JP H10277506A JP 9085100 A JP9085100 A JP 9085100A JP 8510097 A JP8510097 A JP 8510097A JP H10277506 A JPH10277506 A JP H10277506A
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JP
Japan
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cleaning
cleaning liquid
air
liquid
washing
Prior art date
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Pending
Application number
JP9085100A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Keiichi Honda
啓一 本田
Yasuhiro Nakajima
康博 中島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Trinity Industrial Corp
Toyota Motor Corp
Original Assignee
Trinity Industrial Corp
Toyota Motor Corp
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Publication date
Application filed by Trinity Industrial Corp, Toyota Motor Corp filed Critical Trinity Industrial Corp
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Publication of JPH10277506A publication Critical patent/JPH10277506A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a washing liquid from dripping out of a washing liquid jetting nozzle after washing is finished and shorten the time for washing process by installing a negative pressure producing means, which can generate negative pressure in a liquid supplying pipe to inhibit dripping of the washing liquid out of the washing liquid spraying nozzle, in a washing apparatus. SOLUTION: When a work W is transported to a washing and air blowing chamber 10, a supply pump 18 is driven and at the same time a washing controlling valve 19 is opened and a washing liquid is jetted out of a washing liquid jetting nozzle 11. Simultaneously, a vacuum controlling valve 33 is opened and a vacuum tank 32 is evacuated. After a prescribed time, the supply pump 18 is stopped and the washing controlling valve 19 is closed. Further, at the same time, a liquid discharging valve 34 is opened and an air blowing valve 27 is opened to generate negative pressure in the liquid supplying pipe 16 and the washing liquid remaining in the nozzle 11 is sucked and recovered in a vacuum tank 32. While the washing liquid being prevented from dripping out of the nozzle 11, air is blown out of an air jetting nozzle 21.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ワークに洗浄液を
噴射して洗浄した後エアーブローしてワークに付着した
洗浄液を除去可能な洗浄装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cleaning apparatus capable of removing a cleaning liquid adhering to a work by spraying the cleaning liquid onto the work and then cleaning the work by air blowing.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4に洗浄装置の従来構成を示す。図に
おいて、1は装置本体,10Pは洗浄室,20Pはエア
ーブロー室である。洗浄室10P内には、ワークWに向
けて洗浄液を噴射可能な洗浄液噴射ノズル11が設けら
れている。この洗浄液噴射ノズル11には、液供給配管
16を介して洗浄液供給手段15から洗浄液が供給され
る。
2. Description of the Related Art FIG. 4 shows a conventional structure of a cleaning apparatus. In the figure, 1 is an apparatus main body, 10P is a cleaning room, and 20P is an air blow room. In the cleaning chamber 10P, a cleaning liquid jet nozzle 11 that can jet a cleaning liquid toward the work W is provided. The cleaning liquid is supplied from the cleaning liquid supply means 15 to the cleaning liquid injection nozzle 11 through the liquid supply pipe 16.

【0003】エアーブロー室20P内には、エアー噴射
ノズル21が設けられており、当該ノズル21にはエア
ー供給配管26を介して圧縮エアー供給源25から圧縮
エアーが供給される。エアー噴射ノズル21から洗浄済
みのワークWにエアーを吹付けて当該ワークWの表面に
付着した洗浄液を除去可能に形成されている。
[0003] An air injection nozzle 21 is provided in the air blow chamber 20 P, and compressed air is supplied to the nozzle 21 from a compressed air supply source 25 through an air supply pipe 26. Air is sprayed from the air injection nozzle 21 onto the cleaned work W to remove the cleaning liquid attached to the surface of the work W.

【0004】このエアーブロー室20Pと洗浄室10P
とは、開口部3を有する仕切壁2によって仕切られてお
り、当該開口部3は扉4によって開閉可能に構成されて
いる。
The air blow chamber 20P and the cleaning chamber 10P
Is partitioned by a partition wall 2 having an opening 3, and the opening 3 can be opened and closed by a door 4.

【0005】なお、図4中、50は搬送手段である。搬
送手段50は、油圧シリンダ51と,この油圧シリンダ
51のロッド先端部に装着されたワーク受け台52とを
含み、ワーク受け台52上に載置されたワークWを外部
からエアーブロー室20Pへ搬入・搬出可能かつエアー
ブロー室20Pと洗浄室10Pとの間で搬送可能に形成
されている。また、5はエアーブロー室20Pへのワー
クWの搬入出を行うための扉で開閉可能に形成されてい
る。
In FIG. 4, reference numeral 50 denotes a conveying means. The transfer means 50 includes a hydraulic cylinder 51 and a work receiving table 52 mounted on a tip end of a rod of the hydraulic cylinder 51, and transfers the work W placed on the work receiving table 52 from the outside to the air blow chamber 20P. It is formed so that it can be carried in and out, and can be carried between the air blow chamber 20P and the cleaning chamber 10P. Reference numeral 5 denotes a door for carrying the work W into and out of the air blow chamber 20P, which is formed to be openable and closable.

【0006】上記洗浄装置を用いてワークWを洗浄する
には、扉(4,5)を開放した後,搬送手段50を用い
てワークWを洗浄室10P内に搬入する。次に、扉
(4,5)を閉鎖して、洗浄液噴射ノズル11から洗浄
液を所定時間ワークWに向けて噴射して当該ワークWを
洗浄する。
In order to clean the work W using the above-described cleaning apparatus, the doors (4, 5) are opened, and then the work W is carried into the cleaning room 10P using the transfer means 50. Next, the doors (4, 5) are closed, and the cleaning liquid is sprayed from the cleaning liquid injection nozzle 11 toward the work W for a predetermined time to clean the work W.

【0007】ワークWの洗浄終了後、扉4を開放して当
該ワークWをエアーブロー室20Pへ搬送する。そし
て、エアーブロー室20P内において、エアー噴射ノズ
ル21からエアーをワークWに所定時間だけ吹き付けて
当該ワークWに付着した洗浄液を除去した後、室外へ搬
出する。
After the cleaning of the work W, the door 4 is opened and the work W is transported to the air blow chamber 20P. Then, in the air blow chamber 20P, the air is sprayed from the air injection nozzle 21 onto the work W for a predetermined time to remove the cleaning liquid attached to the work W, and then the work W is carried out.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記した洗浄装置にお
いては、洗浄・エアーブローからなる洗浄工程の時間短
縮を図ることが強く要請されている。
In the above-described cleaning apparatus, there is a strong demand for shortening the time of a cleaning step including cleaning and air blowing.

【0009】ここにおいて、洗浄は洗浄室10P内でエ
アーブローはエアーブロー室20P内でそれぞれ行うこ
ととされているが、洗浄室10P内で洗浄とエアーブロ
ーとを行うことにすれば、両室(10P,20P)間で
ワークWを搬送する必要もなくなり、洗浄工程時間の短
縮が達成できるはずである。
Here, the cleaning is performed in the cleaning chamber 10P and the air blowing is performed in the air blowing chamber 20P. However, if the cleaning and the air blowing are performed in the cleaning chamber 10P, both chambers are cleaned. There is no need to transport the work W between (10P, 20P), and the cleaning process time can be shortened.

【0010】そこで、図5に示す如く、洗浄液噴射ノズ
ル11とエアー噴射ノズル21とが設けられた洗浄・エ
アーブロー室10内でワークWの洗浄とエアーブローと
を行う洗浄装置が開発されている。
Therefore, as shown in FIG. 5, a cleaning apparatus has been developed for cleaning the work W and air blowing in the cleaning / air blowing chamber 10 provided with the cleaning liquid injection nozzle 11 and the air injection nozzle 21. .

【0011】ところで、ワークWを洗浄後、噴射を停止
した洗浄液噴射ノズル11から洗浄液の滴が垂れ落ちワ
ークWの表面に残留してしまうことがある。かかる不都
合は、ワークWが洗浄後に洗浄室10P内に止まってい
る時間が長くなるほど発生しやすくなる。
By the way, after the cleaning of the work W, a drop of the cleaning liquid may drop from the cleaning liquid injection nozzle 11 whose injection is stopped, and may remain on the surface of the work W. Such an inconvenience becomes more likely to occur as the time during which the work W remains in the cleaning chamber 10P after cleaning becomes longer.

【0012】そこで、図5に示す洗浄装置にあっては、
ワークWの表面に洗浄液噴射ノズル11から洗浄液が垂
れ落ちたとしても当該洗浄液の滴が除去できるようにエ
アーブローの時間を設定する必要であるが、当該滴をエ
アーブローで除去するには長時間を必要とするため、洗
浄とエアーブローとを同一場所で行う意味がなくなって
しまう。
Therefore, in the cleaning apparatus shown in FIG.
It is necessary to set the air blow time so that even if the cleaning liquid drips from the cleaning liquid injection nozzle 11 on the surface of the work W, the cleaning liquid droplets can be removed. Therefore, there is no point in performing the cleaning and the air blowing in the same place.

【0013】本発明の目的は、洗浄・エアーブロー室内
で洗浄終了後に洗浄液噴射ノズルから洗浄液が垂れ落ち
るのを防止しつつエアーブローして洗浄工程時間を大幅
短縮することができる洗浄装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a cleaning apparatus which can greatly reduce a cleaning process time by air blowing while preventing a cleaning liquid from dripping from a cleaning liquid injection nozzle after cleaning is completed in a cleaning / air blowing chamber. It is in.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、洗浄
液噴射ノズルおよびエアー噴射ノズルが設けられた洗浄
・エアーブロー室と,洗浄液噴射ノズルに液供給配管を
介して洗浄液を供給可能な洗浄液供給手段とを備えた洗
浄装置において、前記洗浄液噴射ノズルから洗浄液が垂
れ落ちるのを阻止し得る負圧を前記液供給配管内に生成
可能な負圧生成手段を設けたことを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a cleaning / air blow chamber provided with a cleaning liquid injection nozzle and an air injection nozzle, and a cleaning liquid capable of supplying a cleaning liquid to the cleaning liquid injection nozzle via a liquid supply pipe. A cleaning device provided with a supply unit, wherein a negative pressure generating unit capable of generating a negative pressure in the liquid supply pipe capable of preventing the cleaning liquid from dripping from the cleaning liquid injection nozzle is provided.

【0015】かかる発明では、ワーク洗浄後に負圧生成
手段によって液供給配管内には負圧が生成される。これ
により、洗浄液噴射ノズル内の洗浄液は、圧力差によっ
て液供給配管内へ向けて付勢されることになり、自重等
によって垂れ落ちるのが阻止される。したがって、洗浄
・エアーブロー室内で、洗浄終了後に洗浄液噴射ノズル
から洗浄液が垂れ落ちるのを防止しつつエアーブローし
て洗浄工程時間を大幅短縮することができる。
[0015] In this invention, a negative pressure is generated in the liquid supply pipe by the negative pressure generating means after the work is washed. Thus, the cleaning liquid in the cleaning liquid injection nozzle is urged toward the liquid supply pipe by the pressure difference, and is prevented from dripping by its own weight or the like. Therefore, in the cleaning / air blowing chamber, after the cleaning is completed, the cleaning liquid can be prevented from dripping from the cleaning liquid injection nozzle and air blow can be performed to greatly reduce the cleaning process time.

【0016】請求項2の発明は、前記負圧生成手段が、
前記エアー噴射ノズルに供給される圧縮エアーの一部を
高速流動させてそのエジェクタ効果により前記液供給配
管内に負圧を生成可能に構成された洗浄装置である。
According to a second aspect of the present invention, the negative pressure generating means includes:
The cleaning device is configured so that a part of the compressed air supplied to the air injection nozzle is caused to flow at a high speed to generate a negative pressure in the liquid supply pipe by an ejector effect.

【0017】かかる発明では、エアー噴射ノズルに供給
される圧縮エアーの一部を利用して液供給配管内に負圧
が生成されるので、請求項1の発明の場合と同様な作用
・効果を奏し得る他、一段と構成を簡素化してコスト低
減を図ることができる。
In this invention, a part of the compressed air supplied to the air injection nozzle is used to generate a negative pressure in the liquid supply pipe, so that the same operation and effect as those of the first invention can be obtained. Besides, it is possible to further reduce the cost by simplifying the configuration.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。本洗浄装置は、図1〜図3に示す如
く、基本的構成は従来例(図5)の場合と同様とされて
いるが、負圧生成手段30を設け、液供給配管16内に
負圧を生成して洗浄液噴射ノズル11からの洗浄液の垂
れ落ちを防止して洗浄・エアーブロー室10内でワーク
Wの洗浄とエアーブローとを実行可能に構成されてい
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 to 3, the present cleaning apparatus has a basic configuration similar to that of the conventional example (FIG. 5). However, a negative pressure generating means 30 is provided, and a negative pressure is provided in the liquid supply pipe 16. Is generated so as to prevent the cleaning liquid from dripping from the cleaning liquid injection nozzle 11 and perform the cleaning of the work W and the air blowing in the cleaning / air blowing chamber 10.

【0019】なお、従来例(図5)の場合と共通する構
成要素については同一の符号を付し、その説明を簡略化
または省略する。
The same components as those in the conventional example (FIG. 5) are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be simplified or omitted.

【0020】洗浄・エアーブロー室10内には、洗浄液
噴射ノズル11とエアー噴射ノズル21とが設けられて
いる。洗浄液噴射ノズル11には、液供給配管16を介
して洗浄液供給手段15が接続されている。また、エア
ー噴射ノズル21には、エアー供給配管26を介して圧
縮エアー供給源25が接続されている。
A cleaning liquid jet nozzle 11 and an air jet nozzle 21 are provided in the cleaning / air blow chamber 10. The cleaning liquid supply nozzle 15 is connected to the cleaning liquid injection nozzle 11 via a liquid supply pipe 16. A compressed air supply source 25 is connected to the air injection nozzle 21 via an air supply pipe 26.

【0021】洗浄液供給手段15は、洗浄液収容タンク
17と供給ポンプ18とを含み、タンク17内の洗浄液
を液供給配管16を介して洗浄液噴射ノズル11に供給
可能に形成されている。液供給配管16には、洗浄液の
供給流量を調節可能な洗浄制御弁19が介装されてい
る。一方、エアー供給配管26にはエアーブロー弁27
が介装されている。
The cleaning liquid supply means 15 includes a cleaning liquid storage tank 17 and a supply pump 18, and is formed so that the cleaning liquid in the tank 17 can be supplied to the cleaning liquid injection nozzle 11 through a liquid supply pipe 16. A cleaning control valve 19 capable of adjusting the supply flow rate of the cleaning liquid is interposed in the liquid supply pipe 16. On the other hand, the air supply pipe 26 has an air blow valve 27
Is interposed.

【0022】なお、洗浄・エアーブロー室10の出口に
は、搬出時にワークWを最終的にエアーブローするため
の補助エアー噴射ノズル22が設けられている。このノ
ズル22は、配管26Aを介してエアー供給配管26に
接続されており、当該配管26Aには搬出時エアーブロ
ー弁28が介装されている。
At the outlet of the cleaning / air blow chamber 10, there is provided an auxiliary air injection nozzle 22 for finally blowing the work W at the time of unloading. The nozzle 22 is connected to an air supply pipe 26 via a pipe 26A, and an air blow valve 28 for carrying out is interposed in the pipe 26A.

【0023】負圧生成手段30は、液供給配管16内に
負圧を生成して洗浄液噴射ノズル11からの洗浄液の垂
れ落ちを防止可能に形成されている。この実施形態で
は、負圧生成手段30は、真空エジェクタ31,バキュ
ームタンク32,真空制御弁33,液抜き弁34および
排出弁35を含み、エアー噴射ノズル21に供給される
圧縮エアーの一部を利用して液供給配管16内に負圧を
生成可能に形成されている。
The negative pressure generating means 30 is formed so as to generate a negative pressure in the liquid supply pipe 16 to prevent dripping of the cleaning liquid from the cleaning liquid injection nozzle 11. In this embodiment, the negative pressure generating means 30 includes a vacuum ejector 31, a vacuum tank 32, a vacuum control valve 33, a drain valve 34, and a discharge valve 35, and a part of the compressed air supplied to the air injection nozzle 21. The liquid supply pipe 16 is formed so as to be able to generate a negative pressure by utilizing the same.

【0024】この実施形態では、負圧生成手段30は、
上記洗浄液の垂れ落ちを一段と確実に防止できるよう
に,洗浄液噴射ノズル11内に残存する洗浄液を吸引し
てバキュームタンク32内へ回収可能に形成されてい
る。
In this embodiment, the negative pressure generating means 30
The cleaning liquid remaining in the cleaning liquid injection nozzle 11 is sucked and collected in the vacuum tank 32 so that the dripping of the cleaning liquid can be more reliably prevented.

【0025】真空エジェクタ31は、圧縮エアー供給源
25に接続用配管36を介して接続されており、当該配
管36には真空制御弁33が介装されている。バキュー
ムタンク32は、エアー吸引用配管37を介して真空エ
ジェクタ31に接続されているとともに、液吸引用配管
38を介して洗浄液噴射ノズル11と接続されている。
なお、液吸引用配管38には、液抜き弁34が介装され
ている。また、バキュームタンク32には、真空開放弁
33Aが接続されている。
The vacuum ejector 31 is connected to the compressed air supply source 25 via a connection pipe 36, and the pipe 36 is provided with a vacuum control valve 33. The vacuum tank 32 is connected to the vacuum ejector 31 via an air suction pipe 37, and is connected to the cleaning liquid jet nozzle 11 via a liquid suction pipe 38.
The liquid suction pipe 38 is provided with a liquid drain valve 34. The vacuum tank 32 is connected to a vacuum release valve 33A.

【0026】上記真空制御弁33を開放して圧縮エアー
供給源25から真空エジェクタ31に圧縮エアーを供給
すると、当該真空エジェクタ31において圧縮エアは高
速で流動(噴出)され,該圧縮エアのエジェクタ効果
(まき込み効果)によりバキュームタンク32内のエア
ーがエアー吸引用配管37を介して吸引される。する
と、バキュームタンク32に液吸引用配管38を介して
接続された液供給配管16内には負圧が生成される。
When the vacuum control valve 33 is opened and compressed air is supplied from the compressed air supply source 25 to the vacuum ejector 31, the compressed air flows (spouts) at a high speed in the vacuum ejector 31, and the ejector effect of the compressed air is generated. The air in the vacuum tank 32 is sucked through the air suction pipe 37 by the (feed-in effect). Then, a negative pressure is generated in the liquid supply pipe 16 connected to the vacuum tank 32 via the liquid suction pipe 38.

【0027】これにより、洗浄液噴射ノズル11内に残
存していた洗浄液が負圧吸引されてバキュームタンク3
2内へ回収される。バキュームタンク32内に収容され
た洗浄液は、排出弁35を開放することにより排出管3
9を介して洗浄液収容タンク17へ戻される。
As a result, the cleaning liquid remaining in the cleaning liquid injection nozzle 11 is sucked under a negative pressure, so that the vacuum tank 3
Collected in 2. The cleaning liquid contained in the vacuum tank 32 is discharged to the discharge pipe 3 by opening the discharge valve 35.
9 and is returned to the cleaning liquid storage tank 17.

【0028】上記した供給ポンプ18および真空制御弁
33等は、図2に示す如く、本洗浄装置全体を駆動制御
する制御手段40によって開閉制御等される。制御手段
40は、CPU41,ROM42,RAM43,キーボ
ード44,表示器45,入出力ポート46等から形成さ
れている。入出力ポート46には、供給ポンプ18およ
び上記各種弁(19,27,28,33,33A,3
4,35)等が接続されている。
As shown in FIG. 2, the supply pump 18 and the vacuum control valve 33 are controlled to be opened and closed by control means 40 for controlling the operation of the entire cleaning apparatus. The control means 40 includes a CPU 41, a ROM 42, a RAM 43, a keyboard 44, a display 45, an input / output port 46, and the like. The input / output port 46 includes the supply pump 18 and the various valves (19, 27, 28, 33, 33A, 3A).
4, 35) are connected.

【0029】次に、この実施形態の作用について図3に
示すタイミングチャートに基き説明する。洗浄・エアー
ブロー室10内にワークWが搬入されたことが、図示し
ない検出手段によって検出されると、CPU41は供給
ポンプ18を駆動するとともに,洗浄制御弁19を開放
する。これにより、洗浄液噴射ノズル11から洗浄液が
ワークWに向けて噴射され,当該ワークWは洗浄され
る。なお、供給ポンプ18の駆動開始と同時に真空制御
弁33が開放されて、バキュームタンク32内は真空引
きされる。
Next, the operation of this embodiment will be described with reference to the timing chart shown in FIG. When the detection means (not shown) detects that the work W has been carried into the cleaning / air blow chamber 10, the CPU 41 drives the supply pump 18 and opens the cleaning control valve 19. As a result, the cleaning liquid is injected from the cleaning liquid injection nozzle 11 toward the work W, and the work W is cleaned. The vacuum control valve 33 is opened at the same time when the supply pump 18 starts to be driven, and the inside of the vacuum tank 32 is evacuated.

【0030】供給ポンプ18の駆動開始から所定時間T
1(例えば、T1=16秒)経過後、CPU41は供給
ポンプ18を駆動停止するととともに,洗浄制御弁19
を閉鎖する。これにより、洗浄液噴射ノズル11からの
洗浄液の噴射が停止される。すなわち、ワークWの洗浄
が終了される。
A predetermined time T from the start of driving of the supply pump 18
1 (for example, T1 = 16 seconds), the CPU 41 stops driving the supply pump 18 and at the same time
To close. Thus, the injection of the cleaning liquid from the cleaning liquid injection nozzle 11 is stopped. That is, the cleaning of the work W is completed.

【0031】また、CPU41は、所定時間T1(例え
ば、T1=16秒)経過後、液抜き弁34を開放すると
ともにエアーブロー弁27を開放する。これにより、液
供給配管16内に負圧が生成され,洗浄液噴射ノズル1
1内に残存する洗浄液は吸引されてバキュームタンク3
2内へ回収される。したがって、洗浄終了後に洗浄液噴
射ノズル11から洗浄液が垂れ落ちるのを防止しつつエ
アーブローすることができる。
After a lapse of a predetermined time T1 (for example, T1 = 16 seconds), the CPU 41 opens the liquid drain valve 34 and opens the air blow valve 27. As a result, a negative pressure is generated in the liquid supply pipe 16 and the cleaning liquid injection nozzle 1
The cleaning liquid remaining in the vacuum tank 3
Collected in 2. Therefore, it is possible to perform the air blow while preventing the cleaning liquid from dripping from the cleaning liquid injection nozzle 11 after the cleaning is completed.

【0032】なお、上記洗浄液吸引時に、洗浄液噴射ノ
ズル11を介して洗浄・エアーブロー室10内に浮遊す
るミストも吸引されるので、より清浄な環境下でエアー
ブローを良好に行うことができる。
Since the mist floating in the cleaning / air blow chamber 10 is also sucked through the cleaning liquid jet nozzle 11 at the time of suctioning the cleaning liquid, air blowing can be satisfactorily performed in a cleaner environment.

【0033】液抜き弁34等を開放してから所定時間T
2(例えば、T2=19秒)経過後、CPU41は液抜
き弁34,エアーブロー弁27および真空制御弁33を
閉鎖するととともに,真空開放弁33Aおよび排出弁3
5を開放する。これにより、エアーブローが終了される
とともに、バキュームタンク32内の真空引きが解除さ
れ当該タンク32内に回収された洗浄液が洗浄液収容タ
ンク17へ戻される。
A predetermined time T after opening the liquid drain valve 34, etc.
2 (for example, T2 = 19 seconds), the CPU 41 closes the drain valve 34, the air blow valve 27, and the vacuum control valve 33, and also releases the vacuum release valve 33A and the discharge valve 3
Release 5. As a result, the air blow is terminated, the vacuum in the vacuum tank 32 is released, and the cleaning liquid collected in the tank 32 is returned to the cleaning liquid storage tank 17.

【0034】エアーブロー終了後、ワークWは洗浄・エ
アーブロー室10から所定時間T3(例えば、T3=1
6秒)かけて搬出される。この際、搬出時エアーブロー
弁28が開放されて最終的なエアーブローが行われる。
After the end of the air blow, the work W is removed from the cleaning / air blow chamber 10 for a predetermined time T3 (for example, T3 = 1).
6 seconds). At this time, the unloading air blow valve 28 is opened, and the final air blow is performed.

【0035】しかして、この実施形態では、負圧生成手
段30を設け、液供給配管16内に負圧を生成して洗浄
液噴射ノズル11からの洗浄液の垂れ落ちを防止して、
洗浄・エアーブロー室10内でワークWの洗浄とエアー
ブローとを実行可能に構成されているので、洗浄終了後
に洗浄液噴射ノズル11から洗浄液が垂れ落ちるのを防
止しつつエアーブローして洗浄工程時間を大幅短縮する
ことができる。
In this embodiment, the negative pressure generating means 30 is provided to generate a negative pressure in the liquid supply pipe 16 to prevent the cleaning liquid from dripping from the cleaning liquid injection nozzle 11,
Since the cleaning and air blowing of the work W can be performed in the cleaning / air blowing chamber 10, the cleaning process time is performed by air blowing while preventing the cleaning liquid from dripping from the cleaning liquid injection nozzle 11 after the cleaning is completed. Can be greatly reduced.

【0036】また、エアー噴射ノズル21に供給される
圧縮エアーの一部を利用して液供給配管16内に負圧を
生成するので、一段と構成を簡素化してコスト低減を図
ることができる。
Further, since a negative pressure is generated in the liquid supply pipe 16 by utilizing a part of the compressed air supplied to the air injection nozzle 21, the configuration can be further simplified and the cost can be reduced.

【0037】また、負圧生成手段30が真空エジェクタ
31に接続されたバキュームタンク32を含み形成され
ているので、洗浄時間中に真空エジェクタ31を駆動し
てバキュームタンク32内を真空引きしておくことがで
きる。したがって、洗浄終了後、ただちに液供給配管1
6内に負圧を生成して洗浄液噴射ノズル11からの洗浄
液の垂れ落ちを防止することができ、一段と迅速かつ円
滑にエアブローすることができる。
Further, since the negative pressure generating means 30 is formed to include the vacuum tank 32 connected to the vacuum ejector 31, the vacuum ejector 31 is driven during the cleaning time to evacuate the vacuum tank 32. be able to. Therefore, immediately after washing is completed, the liquid supply piping 1
By generating a negative pressure in the cleaning liquid 6, dripping of the cleaning liquid from the cleaning liquid injection nozzle 11 can be prevented, and air can be blown more quickly and smoothly.

【0038】また、洗浄液吸引時に、洗浄液噴射ノズル
11を介して洗浄・エアーブロー室10内に浮遊するミ
ストも吸引できるので、より良好な環境下でエアーブロ
ーを行うことができる。
Further, at the time of sucking the cleaning liquid, mist floating in the cleaning / air blow chamber 10 can also be sucked through the cleaning liquid jet nozzle 11, so that air blowing can be performed in a more favorable environment.

【0039】なお、上記実施形態では、負圧生成手段3
0を真空エジェクタ31等から形成したが、真空ポンプ
を用いて液供給配管16内に負圧を生成可能に形成して
もよい。また、負圧生成手段30を、水流ポンプを用い
て洗浄液供給手段15から供給される洗浄液を高速で流
動(噴出)させてそのエジェクタ効果により液供給配管
16内に負圧を生成可能に形成してもよい。
In the above embodiment, the negative pressure generating means 3
Although 0 is formed from the vacuum ejector 31 and the like, it may be formed so that a negative pressure can be generated in the liquid supply pipe 16 using a vacuum pump. Further, the negative pressure generating means 30 is formed so that the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply means 15 is caused to flow (spout) at a high speed by using a water flow pump so that a negative pressure can be generated in the liquid supply pipe 16 by its ejector effect. You may.

【0040】[0040]

【発明の効果】請求項1の発明は、負圧生成手段を設
け、液供給配管内に負圧を生成して洗浄液噴射ノズルか
らの洗浄液の垂れ落ちを防止して洗浄・エアーブロー室
内でワークの洗浄とエアーブローとを実行可能に構成さ
れているので、洗浄・エアーブロー室内で洗浄終了後に
洗浄液噴射ノズルから洗浄液が垂れ落ちるのを防止しつ
つエアーブローして洗浄工程時間を大幅短縮することが
できる。
According to the first aspect of the present invention, a negative pressure generating means is provided to generate a negative pressure in the liquid supply pipe to prevent dripping of the cleaning liquid from the cleaning liquid injection nozzle, thereby preventing the cleaning liquid from dripping from the cleaning / air blow chamber. Cleaning and air blow can be performed, so that the cleaning liquid is dripped from the cleaning liquid injection nozzle after cleaning is completed in the cleaning / air blow chamber and air blowing is performed, greatly reducing the cleaning process time. Can be.

【0041】また、請求項2の発明によれば、エアー噴
射ノズルに供給される圧縮エアーの一部を利用して液供
給配管内に負圧を生成するので、請求項1の発明の場合
と同様な効果を奏し得る他、一段と構成を簡素化してコ
スト低減を図ることができる。
According to the second aspect of the present invention, a negative pressure is generated in the liquid supply pipe by using a part of the compressed air supplied to the air injection nozzle. The same effects can be obtained, and the configuration can be further simplified to reduce the cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態を説明するための図である。FIG. 1 is a diagram for describing an embodiment of the present invention.

【図2】同じく、全体構成を説明するためのブロック図
である。
FIG. 2 is a block diagram for explaining the overall configuration.

【図3】同じく、動作を説明するためのタイミングチャ
ートである。
FIG. 3 is a timing chart for explaining the operation.

【図4】洗浄装置の従来構成(1)を説明するための図
である。
FIG. 4 is a view for explaining a conventional configuration (1) of a cleaning apparatus.

【図5】洗浄装置の従来構成(2)を説明するための図
である。
FIG. 5 is a view for explaining a conventional configuration (2) of the cleaning apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 洗浄・エアーブロー室 11 洗浄液噴射ノズル 15 洗浄液供給手段 16 液供給配管 17 洗浄液収容タンク 18 供給ポンプ 19 洗浄制御弁 21 エアー噴射ノズル 25 圧縮エアー供給源 26 エアー供給配管 27 エアーブロー弁 30 負圧生成手段 31 真空エジェクタ 33 真空制御弁 34 液抜き弁 35 排出弁 Reference Signs List 10 cleaning / air blow chamber 11 cleaning liquid injection nozzle 15 cleaning liquid supply means 16 liquid supply pipe 17 cleaning liquid storage tank 18 supply pump 19 cleaning control valve 21 air injection nozzle 25 compressed air supply source 26 air supply pipe 27 air blow valve 30 negative pressure generation Means 31 Vacuum ejector 33 Vacuum control valve 34 Drain valve 35 Discharge valve

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 洗浄液噴射ノズルおよびエアー噴射ノズ
ルが設けられた洗浄・エアーブロー室と,洗浄液噴射ノ
ズルに液供給配管を介して洗浄液を供給可能な洗浄液供
給手段とを備えた洗浄装置において、 前記洗浄液噴射ノズルから洗浄液が垂れ落ちるのを阻止
し得る負圧を前記液供給配管内に生成可能な負圧生成手
段を設けたことを特徴とする洗浄装置。
1. A cleaning apparatus comprising: a cleaning / air blow chamber provided with a cleaning liquid injection nozzle and an air injection nozzle; and cleaning liquid supply means capable of supplying a cleaning liquid to the cleaning liquid injection nozzle via a liquid supply pipe. A cleaning apparatus, comprising: a negative pressure generating means capable of generating a negative pressure in the liquid supply pipe capable of preventing a cleaning liquid from dripping from a cleaning liquid injection nozzle.
【請求項2】 前記負圧生成手段が、前記エアー噴射ノ
ズルに供給される圧縮エアーの一部を高速流動させてそ
のエジェクタ効果により前記液供給配管内に負圧を生成
可能に構成されたことを特徴とする請求項1記載の洗浄
装置。
2. The negative pressure generating means is configured to generate a negative pressure in the liquid supply pipe by ejecting a part of the compressed air supplied to the air injection nozzle at a high speed. The cleaning device according to claim 1, wherein:
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100819019B1 (en) 2006-12-27 2008-04-02 세메스 주식회사 Apparatus for cleaning substrate
KR101066908B1 (en) 2011-01-18 2011-09-27 아주대학교산학협력단 Surviving reagent elimination device of slide having capillary gap
CN114652229A (en) * 2022-05-05 2022-06-24 北京顺造科技有限公司 Wet surface cleaning apparatus and method of operating the same

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