JPH1027739A - Cleaning method of resist piping of resist coating device and its jig - Google Patents
Cleaning method of resist piping of resist coating device and its jigInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
係り、特に、レジスト塗布装置（以下、レジストコータ
という）のレジスト配管の洗浄方法及びそれに使用する
治具に関するものである。The present invention relates to a semiconductor manufacturing apparatus and, more particularly, to a method for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus (hereinafter referred to as a resist coater) and a jig used for the method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば、以下に示すようなものがあった。図４はかかる
従来のレジストコータ内のレジスト配管システムの全体
構成図、図５はその第１のレジストフィルタの構成図、
図６はその第２のレジストフィルタの構成図である。2. Description of the Related Art Conventionally, techniques in such a field include:
For example, there are the following. FIG. 4 is an overall configuration diagram of a conventional resist piping system in the conventional resist coater, FIG. 5 is a configuration diagram of the first resist filter,
FIG. 6 is a configuration diagram of the second resist filter.
【０００３】図４に示すように、レジストコータ内のレ
ジスト配管システムは、加圧されたＮ2 ガスを通すフィ
ルタ１、ガロン瓶２（レジスト瓶、シンナ瓶、空瓶
等）、残量センサタンク３、ボールバルブ４、ポンプ
５、ドレインタンク６、ニードルバルブ７、レジストフ
ィルタ８、エア弁及びサックバックユニット９、ノズル
１０とを有している。As shown in FIG. 4, a resist piping system in a resist coater includes a filter 1 for passing a pressurized N 2 gas, a gallon bottle 2 (resist bottle, thinner bottle, empty bottle, etc.), a remaining amount sensor tank. 3, a ball valve 4, a pump 5, a drain tank 6, a needle valve 7, a resist filter 8, an air valve and a suck back unit 9, and a nozzle 10.
【０００４】このように、レジスト配管システムでは、
レジストフィルタ８が設けられており、ポンプ５から排
出されるレジストを濾過するようにしている。そのレジ
ストフィルタ８は、第１の例としては、図５に示すよう
に、カートリッジ１１、ハウジング１２、上蓋１３、Ｏ
リング１４、クランプ（留め具）１５、イン配管１６、
アウト配管１７、ドレイン配管１８を有している。Thus, in the resist piping system,
A resist filter 8 is provided to filter the resist discharged from the pump 5. As a first example, as shown in FIG. 5, the resist filter 8 includes a cartridge 11, a housing 12, an upper lid 13, an O.
Ring 14, clamp (clamp) 15, in-pipe 16,
It has an out pipe 17 and a drain pipe 18.
【０００５】また、そのレジストフィルタ８は、第２の
例としては、図６に示すように、イン配管１６Ａが上蓋
１３側になく、ハウジング１２の下方に設置されている
場合がある。そのレジストフィルタの交換時のレジスト
配管の洗浄方法は次の通りである（図４参照）。As a second example, the resist filter 8 may be provided below the housing 12 without the in-pipe 16A on the side of the upper lid 13 as shown in FIG. The method of cleaning the resist pipe when replacing the resist filter is as follows (see FIG. 4).
【０００６】使用済のフィルタを取外した後、空のフィ
ルタハウジングを取付け、ガロン瓶２として、レジスト
瓶の代わりにシンナ瓶を接続し、これをＮ2 ガスでの加
圧によりレジスト配管９Ａに流し込み、ノズル１０から
出す。液の色のレジスト色が消えて、シンナの無色透明
になるまで流し続けて配管を洗浄する。洗浄が終了した
ら、空瓶を接続し、これをＮ2 ガスで加圧して、配管内
に残存するシンナをノズル１０から押し出す。After removing the used filter, an empty filter housing is attached, a thinner bottle is connected as the gallon bottle 2 instead of the resist bottle, and this is poured into the resist pipe 9A by pressurizing with N 2 gas. Out of the nozzle 10. The piping is washed by continuing the flow until the resist color of the liquid disappears and the thinner becomes colorless and transparent. When the cleaning is completed, an empty bottle is connected, and the bottle is pressurized with N 2 gas to push out the thinner remaining in the pipe from the nozzle 10.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の装置では、シンナによるレジスト配管洗浄時に
次の問題点があった。フィルタを外した後に空のハウジ
ングを取付けているため、シンナを流し込んだ際に、一
定量のシンナがハウジング内に溜まる。従って、 ハウジング内に溜まったシンナの置換が迅速に行われ
ず、洗浄に多量のシンナが必要となる。However, the above-mentioned conventional apparatus has the following problems when cleaning the resist pipe with a thinner. Since the empty housing is attached after removing the filter, a certain amount of thinner accumulates in the housing when the thinner is poured. Therefore, the thinner accumulated in the housing is not quickly replaced, and a large amount of thinner is required for cleaning.
【０００８】ハウジング内に溜まったシンナは、洗浄
後のＮ2 ガス加圧によっても完全に排除できず、ハウジ
ング内に残り、ハウジング取外し時にこぼれ出る等の作
業性の障害となる。本発明は、上記問題点を除去し、レ
ジストフィルタ部の内容積を低減して容易にして、確実
で、しかも安全なレジスト配管の洗浄が可能なレジスト
塗布装置のレジスト配管の洗浄方法及びその治具を提供
することを目的とする。The thinner accumulated in the housing cannot be completely removed even by pressurizing the N 2 gas after the cleaning, and remains in the housing, causing a trouble such as spilling when removing the housing. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances and provides a method of cleaning a resist pipe in a resist coating apparatus capable of easily and securely cleaning a resist pipe by reducing the internal volume of a resist filter portion and a method for cleaning the same. The purpose is to provide tools.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕レジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法にお
いて、前記レジスト配管の洗浄時に、イン配管とアウト
配管とドレイン配管を有する上蓋からレジストフィルタ
部のハウジングを外し、このハウジングに代えて深さの
浅い凹部を有するキャップを前記上蓋に取り付け、前記
キャップにより、内容積を少なくして前記レジスト配管
の洗浄を行うようにしたものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus, comprising the steps of: The housing of the resist filter portion is removed from the upper lid having a cap, and a cap having a concave portion having a small depth is attached to the upper lid in place of the housing, and the inner volume is reduced by the cap to clean the resist pipe. It was done.
【００１０】〔２〕レジスト塗布装置のレジスト配管の
洗浄方法において、前記レジスト配管の洗浄時に、アウ
ト配管とドレイン配管を有する上蓋と底部にイン配管を
有するレジストフィルタ部のハウジング内に、台座部と
深さの浅い凹部を有するキャップと、このキャップと台
座部間を貫通して、この台座部の下方に突出する凸部を
有するパイプからなるレジスト配管洗浄用治具を装着
し、前記キャップにより、内容積を少なくして前記レジ
スト配管の洗浄を行うようにしたものである。[2] In the method for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus, when the resist pipe is washed, a pedestal section is provided in a housing of a resist filter section having an upper lid having an out pipe and a drain pipe and an in pipe at a bottom. A cap having a concave portion having a shallow depth, a resist pipe cleaning jig made of a pipe having a convex portion protruding below the pedestal portion penetrating between the cap and the pedestal portion, and the cap, The resist pipe is cleaned with a reduced internal volume.
【００１１】〔３〕レジスト塗布装置のレジスト配管の
洗浄用治具において、前記レジスト配管の洗浄時に、イ
ン配管とアウト配管とドレイン配管を有する上蓋に取り
付けられる、深さの浅い凹部と、ハウジングの上蓋への
接触部及び鍔部とが同じ寸法を有するキャップを用いる
ようにしたものである。 〔４〕レジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄用治具に
おいて、前記レジスト配管の洗浄時に、アウト配管とド
レイン配管を有する上蓋と底部にイン配管を有するレジ
ストフィルタ部のハウジング内に装着される、台座部
と、深さの浅い凹部を有するキャップと、このキャップ
と台座部間を貫通してこの台座部の下方に突出する凸部
を有するパイプを用いるようにしたものである。[3] In a jig for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus, a shallow concave portion attached to an upper lid having an in-pipe, an out-pipe, and a drain pipe when cleaning the resist pipe; A cap having a contact portion to the upper lid and the same size as the flange portion is used. [4] In a jig for cleaning a resist pipe of a resist coating device, a pedestal mounted in a housing of a resist filter portion having an upper lid having an out pipe and a drain pipe and an in pipe at a bottom when the resist pipe is washed. And a cap having a concave portion having a shallow depth, and a pipe having a convex portion penetrating between the cap and the pedestal portion and projecting below the pedestal portion.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
第１実施例を示すレジスト配管洗浄用治具の断面図であ
る。この実施例では、通常のレジストフィルタを構成す
るハウジング１２（図５参照）の代わりに、内容積を減
少させるために、レジスト配管洗浄用治具として凹部２
２の深さが浅いキャップ２１を用いる。材質はテフロン
等の耐薬品性のものを使用する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a jig for cleaning a resist pipe showing a first embodiment of the present invention. In this embodiment, instead of the housing 12 (see FIG. 5) constituting a normal resist filter, in order to reduce the internal volume, the concave portion 2 is used as a resist pipe cleaning jig.
The cap 21 having a shallow depth of 2 is used. Use a chemical resistant material such as Teflon.
【００１３】このキャップ２１の上蓋１３との接触部２
３の形状、寸法は、従来のハウジング１２と全く同等と
する。上蓋１３とキャップ２１の鍔部２４はＯリング１
４でシールされ、クランプ１５で留める。このＯリング
１４及びクランプ１５の構造は従来のもの（図５参照）
と同じである。キャップ２１の凹部２２の深さｄ（隙
間）は、イン配管１６から入ったシンナがアウト配管１
７、ドレイン配管１８の両配管へ流れ出る径路であり、
ある程度の幅が必要であるが、広すぎるとシンナの溜ま
りが増え、置換効率が悪くなるため、例えば、イン配管
１６、アウト配管１７、ドレイン配管１８等の配管の内
径サイズと同等程度の５ｍｍ前後とする。The contact portion 2 between the cap 21 and the upper lid 13
The shape and dimensions of 3 are completely the same as those of the conventional housing 12. The O-ring 1
Sealed at 4 and fastened with clamps 15. The structure of the O-ring 14 and the clamp 15 is a conventional one (see FIG. 5).
Is the same as The depth d (gap) of the concave portion 22 of the cap 21 is such that the thinner entered from the in-pipe 16 is
7. This is the path that flows out to both pipes of the drain pipe 18,
A certain width is required, but if it is too wide, the pool of thinners increases and the replacement efficiency deteriorates. For example, about 5 mm, which is about the same as the inner diameter of the pipes such as the IN pipe 16, the OUT pipe 17, and the drain pipe 18 And
【００１４】そこで、図４に示したレジスト配管全体を
洗浄する場合、レジストフィルタにおいて図５に示した
カートリッジ１１及びハウジング１２を取外し、図１に
示したキャップ２１の鍔部２４にＯリング１４を装着
し、キャップ２１の鍔部２４を上蓋１３にクランプ１５
で留めて取付ける。次に、図４に示すガロン瓶部２にシ
ンナの入った瓶を接続し、このシンナ瓶内をＮ2 ガスで
加圧する。圧送されたシンナは、各部を通過し、レジス
トフィルタ８を経由してノズル１０から吐出される。In order to clean the entire resist pipe shown in FIG. 4, the cartridge 11 and the housing 12 shown in FIG. 5 are removed from the resist filter, and the O-ring 14 is attached to the flange 24 of the cap 21 shown in FIG. Attached, the flange 24 of the cap 21 is clamped to the upper lid 13.
And fasten it. Next, a bottle containing thinner is connected to the gallon bottle portion 2 shown in FIG. 4, and the inside of the thinner bottle is pressurized with N 2 gas. The thinner fed by pressure passes through each part and is discharged from the nozzle 10 via the resist filter 8.
【００１５】レジストフィルタ８では、図１に示すイン
配管１６からシンナは入り、アウト配管１７から流出す
る。ドレイン配管１８からは、図４に示すニードルバル
ブ７を開いた場合にのみシンナは流出する。洗浄が終了
したら、図４に示すガロン瓶２部に空瓶を接続し、これ
をＮ2 ガスで加圧し、配管全体にＮ2 ガスを圧送する。
これにより、レジスト配管内に残存するシンナをノズル
１０から吐出及びニードルバルブ７を通してドレインタ
ンク６へ排出する。In the resist filter 8, the thinner enters from the in-pipe 16 shown in FIG. The thinner flows out of the drain pipe 18 only when the needle valve 7 shown in FIG. 4 is opened. When the washing is completed, an empty bottle is connected to the two gallon bottles shown in FIG. 4, which is pressurized with N 2 gas, and N 2 gas is fed to the entire piping.
Thus, thinner remaining in the resist pipe is discharged from the nozzle 10 and discharged to the drain tank 6 through the needle valve 7.
【００１６】以上のように、第１実施例によれば、キャ
ップ２１によって内容積を必要かつ十分に小さくしたこ
とによって、シンナが流された場合、過剰なシンナがキ
ャップ内に溜まることがない。従って、シンナはイン配
管１６からアウト配管１７、またはドレイン配管１８へ
連続的に滞留なく流れるようになる。As described above, according to the first embodiment, since the inner volume is made necessary and sufficiently small by the cap 21, when the thinner is flown, excessive thinner does not accumulate in the cap. Therefore, the thinner continuously flows from the IN pipe 16 to the OUT pipe 17 or the drain pipe 18 without stagnation.
【００１７】これによって、シンナの置換は促進され、
洗浄に要するシンナの量及び作業時間が削減されるとい
う効果が得られる。さらに、洗浄が終了し、Ｎ2 ガス圧
送により、配管内のシンナを排出した後は、キャップ内
にはシンナの残りはなく、キャップを取外してもシンナ
がこぼれ出るといった不具合も生じないという作業（安
全）性の向上を図ることができる。This promotes the substitution of thinner,
The effect of reducing the amount of thinner required for cleaning and the operation time can be obtained. Furthermore, after the cleaning is completed and the thinner in the pipe is discharged by N 2 gas pressure feeding, there is no remaining thinner in the cap, and there is no problem that the thinner does not spill out even if the cap is removed ( Safety) can be improved.
【００１８】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。図２は本発明の第２実施例を示すレジスト配管洗浄
用治具の断面図、図３はそのレジスト配管洗浄用治具の
斜視図である。フィルタ構成については、図５に示すも
の以外に、図６に示すようにイン配管１６Ａが上蓋１３
側になく、ハウジング１２の下方に設置されている場合
がある。この場合に、この実施例に示すレジスト配管洗
浄用治具（アダプタ）４０を使用する。Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 2 is a sectional view of a resist pipe cleaning jig showing a second embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a perspective view of the resist pipe cleaning jig. Regarding the filter configuration, in addition to the one shown in FIG. 5, as shown in FIG.
It may be located below the housing 12 instead of on the side. In this case, a resist pipe cleaning jig (adapter) 40 shown in this embodiment is used.
【００１９】このレジスト配管洗浄用治具（アダプタ）
４０は、ハウジング１２内にセットされ、下方に配置さ
れる台座部４４とパイプ４３を介して上方に配置される
第１実施例で示したキャップ２１と同様の構造のキャッ
プ４１を有する。すなわち、そのキャップ４１は深さが
浅い凹部４２を形成し、その深さｄ（隙間）を確保され
ている。また、パイプ４３の下端は台座部４４から下方
に突出し、凸部４５を形成している。This resist pipe cleaning jig (adapter)
The cap 40 is set in the housing 12 and has a pedestal 44 disposed below and a cap 41 having the same structure as the cap 21 shown in the first embodiment disposed above via a pipe 43. That is, the cap 41 forms a recess 42 having a small depth, and the depth d (gap) is secured. The lower end of the pipe 43 projects downward from the pedestal part 44 to form a convex part 45.
【００２０】そこで、レジスト配管洗浄用治具（アダプ
タ）４０の台座部４４から突出した凸部４５を、ハウジ
ング１２のイン配管１６Ａに差し込み、凸部４５の根元
には、Ｏリング４６を装着しシールする。一方、レジス
ト配管洗浄用治具（アダプタ）４０の上方には、キャッ
プ４１が配置される。すなわち、そのキャップ４１は深
さ浅い凹部４２を形成し、その深さｄ（隙間）を確保
し、Ｏリング４７でシールする。このキャップ４１上端
の高さはハウジング１２の高さと同一に揃える。Therefore, a convex portion 45 protruding from the pedestal portion 44 of the resist pipe cleaning jig (adapter) 40 is inserted into the in-pipe 16A of the housing 12, and an O-ring 46 is attached to the root of the convex portion 45. Seal. On the other hand, a cap 41 is arranged above the resist pipe cleaning jig (adapter) 40. That is, the cap 41 forms a concave portion 42 having a shallow depth, secures the depth d (gap), and seals with the O-ring 47. The height of the upper end of the cap 41 is made equal to the height of the housing 12.
【００２１】このように、台座部４４とキャップ４１と
はパイプ４３でつながっており、このパイプ４３の径は
イン配管１６Ａと同等とする。このように構成したの
で、レジスト配管の洗浄のために流されたシンナは、ハ
ウジング１２下方のイン配管１６Ａから流入し、レジス
ト配管洗浄用治具（アダプタ）４０の下方の凸部４５の
口からレジスト配管洗浄用治具（アダプタ）４０の内に
入る。そして、パイプ４３内を通り上方に上がったシン
ナは、アウト配管１７及びドレイン配管１８へと流出す
る。As described above, the pedestal portion 44 and the cap 41 are connected by the pipe 43, and the diameter of the pipe 43 is equal to that of the in-pipe 16A. With this configuration, the thinner flowing for cleaning the resist pipe flows from the in-pipe 16A below the housing 12 and passes through the opening of the convex portion 45 below the resist pipe cleaning jig (adapter) 40. It enters the resist pipe cleaning jig (adapter) 40. Then, the thinner that has risen upward through the inside of the pipe 43 flows out to the out pipe 17 and the drain pipe 18.
【００２２】他の基本的な動作は全て第１実施例と同等
である。以上のように、第２実施例によれば、ハウジン
グ１２内にレジスト配管洗浄用治具（アダプタ）４０を
装着したことによって、第１実施例と同様に、シンナの
滞留スペースをなくすことができ、第１実施例と全く同
等の効果を奏することができる。All other basic operations are the same as in the first embodiment. As described above, according to the second embodiment, since the resist pipe cleaning jig (adapter) 40 is mounted in the housing 12, the thinner staying space can be eliminated as in the first embodiment. Thus, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.
【００２３】また、イン配管１６Ａがハウジング１２側
に設置してあるために、ハウジング１２自体を用いざる
を得ない場合に、ハウジング１２内スペースを低減する
ことができる。なお、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可
能であり、これらを本発明の範囲から排除するものでは
ない。Further, since the in-pipe 16A is provided on the housing 12 side, when the housing 12 itself has to be used, the space in the housing 12 can be reduced. It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made based on the gist of the present invention, and these are not excluded from the scope of the present invention.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 〔Ａ〕レジストフィルタのハウジングに代えて、凹部の
浅いキャップを装着して、内容積を必要かつ十分に小さ
くすることによって、シンナが流された場合、過剰なシ
ンナがキャップ内に溜まることがない。As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained. [A] In place of the resist filter housing, a cap having a shallow recess is mounted to reduce the internal volume as necessary and sufficiently, so that when thinner is flown, excess thinner does not accumulate in the cap. .
【００２５】従って、シンナはイン配管からアウト配管
またはドレイン配管へ連続的に滞留なく流れるようにな
る。これによって、シンナの置換は促進され、洗浄に要
するシンナの量及び作業時間が削減される。さらに、洗
浄が終了し、Ｎ2 ガス圧送により配管内のシンナを排出
した後は、キャップ内にはシンナの残りはなく、キャッ
プを取外してもシンナがこぼれ出るといった不具合も生
じことがでく、作業（安全）性の向上を図ることができ
る。Therefore, the thinner flows continuously from the in-pipe to the out-pipe or the drain pipe without stagnation. Thereby, the replacement of thinner is promoted, and the amount of thinner required for cleaning and the operation time are reduced. Further, after the cleaning is completed and the thinner in the pipe is discharged by N 2 gas pressure feeding, there is no remaining thinner in the cap, and a problem that the thinner spills even when the cap is removed may not occur. Work (safety) can be improved.
【００２６】〔Ｂ〕ハウジング内にレジスト配管洗浄用
治具（アダプタ）を装着したことによって、上記〔Ａ〕
と同様に、シンナの滞留スペースをなくすことができ、
同等の効果を奏することができる。また、イン配管がハ
ウジングの底側に設置してあるために、ハウジング自体
を用いざるを得ない場合に、レジスト配管の洗浄時のハ
ウジング内の内容積を低減することができ、シンナの滞
留スペースをなくすことができる。[B] By mounting a resist pipe cleaning jig (adapter) in the housing, the above [A]
In the same way, you can eliminate the stay space of thinner,
An equivalent effect can be achieved. Further, when the housing itself has to be used because the in-pipe is installed on the bottom side of the housing, the internal volume in the housing at the time of cleaning the resist pipe can be reduced, and the thinner retention space can be reduced. Can be eliminated.
【図１】本発明の第１実施例を示すレジスト配管洗浄用
治具の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a jig for cleaning a resist pipe showing a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２実施例を示すレジスト配管洗浄用
治具の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a jig for cleaning a resist pipe according to a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第２実施例を示すレジスト配管洗浄用
治具の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a jig for cleaning a resist pipe showing a second embodiment of the present invention.
【図４】従来のレジストコータ内のレジスト配管システ
ムの全体構成図である。FIG. 4 is an overall configuration diagram of a conventional resist piping system in a resist coater.
【図５】従来のレジストコータ内のレジスト配管システ
ムの第１のレジストフィルタの構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram of a first resist filter of a conventional resist piping system in a resist coater.
【図６】従来のレジストコータ内のレジスト配管システ
ムの第２のレジストフィルタの構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram of a second resist filter of a conventional resist piping system in a resist coater.
２ ガロン瓶部 ６ ドレインタンク ７ ニードルバルブ ８ レジストフィルタ １０ ノズル １１ カートリッジ １２ ハウジング １３ 上蓋 １４，４６，４７ Ｏリング １５ クランプ １６，１６Ａ イン配管 １７ アウト配管 １８ ドレイン配管 ２１，４１ キャップ ２２，４２ 凹部 ２３ 接触部 ２４ 鍔部 ４０ レジスト配管洗浄用治具（アダプタ） ４３ パイプ ４４ 台座部 ４５ 凸部 2 gallon bottle part 6 drain tank 7 needle valve 8 resist filter 10 nozzle 11 cartridge 12 housing 13 top cover 14, 46, 47 O-ring 15 clamp 16, 16A in pipe 17 out pipe 18 drain pipe 21, 41 cap 22, 41 recess 23 Contact part 24 Flange part 40 Jig (adapter) for resist pipe cleaning 43 Pipe 44 Pedestal part 45 Convex part
Claims (4)
方法において、（ａ）前記レジスト配管の洗浄時に、イ
ン配管とアウト配管とドレイン配管を有する上蓋からレ
ジストフィルタ部のハウジングを外し、（ｂ）該ハウジ
ングに代えて深さの浅い凹部を有するキャップを前記上
蓋に取り付け、（ｃ）前記キャップにより、内容積を少
なくして前記レジスト配管の洗浄を行うことを特徴とす
るレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法。1. A method for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus, comprising: (a) removing the housing of the resist filter section from an upper lid having an in-pipe, an out-pipe, and a drain pipe when cleaning the resist pipe; A cap having a recess having a small depth is attached to the upper lid in place of the housing, and (c) the resist pipe is washed with the cap to reduce the internal volume thereof. Cleaning method.
方法において、（ａ）前記レジスト配管の洗浄時に、ア
ウト配管とドレイン配管を有する上蓋と底部にイン配管
を有するレジストフィルタ部のハウジング内に、台座部
と深さの浅い凹部を有するキャップと該キャップと台座
部間を貫通して該台座部の下方に突出する凸部を有する
パイプからなるレジスト配管洗浄用治具を装着し、
（ｂ）前記キャップにより、内容積を少なくして前記レ
ジスト配管の洗浄を行うことを特徴とするレジスト塗布
装置のレジスト配管の洗浄方法。2. A method for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus, comprising: (a) at the time of cleaning the resist pipe, a pedestal in a housing of an upper lid having an out pipe and a drain pipe and a resist filter section having an in pipe at a bottom. A resist pipe cleaning jig comprising a cap having a concave portion having a shallow concave portion and a pipe having a convex portion protruding below the pedestal portion penetrating between the cap and the pedestal portion,
(B) A method of cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus, wherein the cap is used to wash the resist pipe with a reduced internal volume.
用治具において、 前記レジスト配管の洗浄時に、イン配管とアウト配管と
ドレイン配管を有する上蓋に取り付けられる、深さの浅
い凹部と、ハウジングの上蓋への接触部及び鍔部とが同
じ寸法を有するキャップからなるレジスト塗布装置のレ
ジスト配管の洗浄用治具。3. A jig for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus, comprising: a recess having a small depth attached to an upper lid having an IN pipe, an OUT pipe, and a drain pipe when cleaning the resist pipe; A jig for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus comprising a cap having a contact portion and a flange having the same dimensions.
用治具において、 前記レジスト配管の洗浄時に、アウト配管とドレイン配
管を有する上蓋と底部にイン配管を有するレジストフィ
ルタ部のハウジング内に装着される、台座部と深さの浅
い凹部を有するキャップと該キャップと台座部間を貫通
して該台座部の下方に突出する凸部を有するパイプから
なるレジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄用治具。4. A jig for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus, wherein said jig for cleaning the resist pipe is mounted in a housing of an upper lid having an out pipe and a drain pipe and a resist filter section having an in pipe at a bottom. A jig for cleaning a resist pipe of a resist coating apparatus, comprising: a cap having a pedestal portion and a concave portion having a shallow depth; and a pipe having a convex portion penetrating between the cap and the pedestal portion and projecting below the pedestal portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17971196A JP3725936B2 (en) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | Cleaning method for resist piping of resist coating equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17971196A JP3725936B2 (en) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | Cleaning method for resist piping of resist coating equipment |
Related Child Applications (4)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003190983A Division JP3789909B2 (en) | 2003-07-03 | 2003-07-03 | Jig for cleaning resist piping of resist coating equipment |
| JP2003190984A Division JP4286597B2 (en) | 2003-07-03 | 2003-07-03 | Resist coating device |
| JP2005122656A Division JP4191162B2 (en) | 2005-04-20 | 2005-04-20 | Cleaning method for resist piping of resist coating equipment |
| JP2005122657A Division JP4173491B2 (en) | 2005-04-20 | 2005-04-20 | Resist application method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1027739A true JPH1027739A (en) | 1998-01-27 |
| JP3725936B2 JP3725936B2 (en) | 2005-12-14 |
Family
ID=16070544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17971196A Expired - Lifetime JP3725936B2 (en) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | Cleaning method for resist piping of resist coating equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3725936B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004056131A (en) * | 2003-07-03 | 2004-02-19 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | Resist coating machine |
| JP2006202795A (en) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Tokyo Electron Ltd | Processing equipment and method |
| JP2009060129A (en) * | 2008-10-30 | 2009-03-19 | Oki Semiconductor Miyazaki Co Ltd | Resist coating method |
-
1996
- 1996-07-10 JP JP17971196A patent/JP3725936B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004056131A (en) * | 2003-07-03 | 2004-02-19 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | Resist coating machine |
| JP2006202795A (en) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Tokyo Electron Ltd | Processing equipment and method |
| JP4647316B2 (en) * | 2005-01-18 | 2011-03-09 | 東京エレクトロン株式会社 | Processing apparatus and processing method |
| JP2009060129A (en) * | 2008-10-30 | 2009-03-19 | Oki Semiconductor Miyazaki Co Ltd | Resist coating method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3725936B2 (en) | 2005-12-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Written amendment |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110930 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
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